JP2001051166A - 半導体レーザモジュール - Google Patents

半導体レーザモジュール

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JP2001051166A
JP2001051166A JP11228321A JP22832199A JP2001051166A JP 2001051166 A JP2001051166 A JP 2001051166A JP 11228321 A JP11228321 A JP 11228321A JP 22832199 A JP22832199 A JP 22832199A JP 2001051166 A JP2001051166 A JP 2001051166A
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JP
Japan
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semiconductor laser
optical fiber
single mode
mode optical
light
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JP11228321A
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Satoshi Koyanagi
諭 小柳
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高い光出力での動作が可能な、より高信頼の
半導体レーザモジュールを提供する。 【解決手段】 半導体レーザ素子13と、半導体レーザ
素子13から出射される光を受光するシングルモード光
ファイバ17と、半導体レーザ素子13とシングルモー
ド光ファイバ17の間に介設されレーザ光をシングルモ
ード光ファイバ17に光学的に結合する光結合手段15
を有する半導体レーザモジュールであって、シングルモ
ード光ファイバ17が、コア17aと、コア17aの周
囲に形成されコアよりも小さい屈折率を有する第一のク
ラッド17bと、第一のクラッド17bの周囲に形成さ
れ第一のクラッド17bよりも小さい屈折率を有する被
覆層17cを有する半導体レーザモジュール。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体レーザモジ
ュールに関し、特に高い光出力での動作が可能な半導体
レーザモジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体レーザは、光通信の分野に
おいて信号用光源や光ファイバ増幅器の励起用光源とし
て大量に用いられるようになってきた。半導体レーザが
光通信の信号用光源や励起用光源として用いられる場
合、半導体レーザからのレーザ光を光ファイバに光学的
に結合させるデバイスである半導体レーザモジュールと
して使用される場合が多い。
【0003】図5は、このような従来の半導体レーザモ
ジュール40の構造の一例を示したものである。同図に
おいて、11はパッケージで、パッケージ11内にペル
チェモジュール12が固定されている。ペルチェモジュ
ール42の上には、半導体レーザ素子13とサーミスタ
14、及びレンズ15を固定した固定基板16が固定さ
れている。また、パッケージ11の側壁11bの貫通孔
11cには、フェルール20が固定されていて、このフ
ェルール20内の光ファイバ挿通孔にはシングルモード
光ファイバ47が挿通固定されている。
【0004】この半導体レーザモジュール40は、半導
体レーザ素子13から出射されたレーザ光がレンズ15
により集光された後、シングルモード光ファイバ77の
端面に入射され、これがシングルモード光ファイバ47
内を導波し所望の用途に供される。
【0005】上記の半導体レーザモジュール40の半導
体レーザ素子13を駆動するために電流を流すと、半導
体レーザ素子13自体の発熱により半導体レーザ素子1
3の温度が上昇するが、この温度上昇は半導体レーザ素
子13の発振波長と光出力の変化を引き起こす。
【0006】このため、半導体レーザ素子13の近傍に
固定されたサーミスタ14により半導体レーザ素子13
の温度を測定し、この測定値を用いてペルチェモジュー
ル12に流す電流を調整することによって半導体レーザ
素子13の温度を一定に保つことでその特性を安定化し
ている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、光通
信における信号光波長の多重化が進むにつれ、光ファイ
バ増幅器にも多数の信号光を同時に増幅可能にするた
め、従来に増して、より高出力の動作が求められるよう
になってきた。
【0008】このため、光ファイバ増幅器の励起光源と
して使用される1480nm帯又は980nm帯の半導
体レーザモジュールには、200mW以上の高光出力で
動作可能なものが必要とされ、半導体レーザ素子13に
おいても端面から放射される光出力が300mW以上の
ものが使用されるようになってきた。
【0009】半導体レーザモジュールは、前述のように
半導体レーザ素子13から出射されたレーザ光をシング
ルモード光ファイバ47に光学的に結合するデバイスで
ある。ここでシングルモード光ファイバ47の半導体レ
ーザ素子13側と反対側の端から放射されるシングルモ
ード光出力(以下、この光出力を本明細書において「フ
ァイバ端出力」(Pf)という。)と、半導体レーザ素
子13の前端面13aから放射される光出力(以下、こ
の光出力を本明細書において「素子出力」(Po)とい
う。)との比を結合効率と呼ぶが、この結合効率の値
は、通常70%程度である。
【0010】上記の素子出力(Po)のうち、ファイバ
端出力(Pf)に寄与する約70%の光は、シングルモ
ード光ファイバ47のコア内を伝搬するが、ファイバ端
出力(Pf)に寄与しない約30%の光は、反射により
失われるものを除き、シングルモード光ファイバ47の
半導体レーザ素子13側のシングルモード光ファイバ4
7の端部47dに入射する際にシングルモード光ファイ
バ47のクラッド内においてクラッドモードを誘起し、
光ファイバ47内を伝搬するうちに、その一部は徐々に
外部に放射されることにより失われる。
【0011】図6は、半導体レーザモジュール40のシ
ングルモード光ファイバ47を少しずつ切断し、ファイ
バ端から放射される光出力の大きさがどのように変化す
るかを調べたデータである。同図において、横軸は光フ
ァイバの半導体レーザ素子側の端部47dから測った長
さ、縦軸は光ファイバの半導体レーザ素子13と反対側
の端面から放射される光出力(ファイバ端出力)であ
る。
【0012】同図から、ファイバ端面47dからの距離
が大きくなるほど、ファイバ端出力は小さくなることが
わかる。これはファイバ端面47dにおいて光ファイバ
にクラッドモードとして結合した光が、伝搬するにした
がってクラッドの外部に逃げてしまうためであると考え
られる。
【0013】なお、ここで使用した半導体レーザモジュ
ール40は、298mWの端面光出力を放射する半導体
レーザ素子13を有し、ファイバ端面47dからの距離
150cmにおける光ファイバ出力は201mWであ
る。
【0014】この結果、約97mWの光がクラッドモー
ド光として結合し、光ファイバ外部に失われていること
になる。
【0015】また、同図によれば、フェルール20端面
から約30cm以上離れた位置では、ファイバ端出力は
ファイバの長さによらなくなる。このことは、半導体レ
ーザ素子13から放射された光のうち、ファイバ端面4
7dにおいてクラッドモードとして光ファイバ47に結
合した光は、ファイバ端面17dから約30cmまでの
間でクラッド外に放出されることを意味している。
【0016】特に、ファイバ端面47dから5cm以内
の領域では変化率が大きく、クラッドモード光の多くは
この部分で失われるものであることがわかる。
【0017】図7は、シングルモード光ファイバ47の
端部47dが挿通固定されるフェルール20の断面構造
を示す説明図で、図8(a)は光ファイバ47の構造を
表した説明図、同図(b)は光ファイバ47の屈折率分
布を表した説明図である。
【0018】図7において、フェルール20は両端に互
いに連通する貫通孔20a、および20bを有してい
る。貫通孔20aにはジルコニア(ZrO2)製のキャ
ピラリ22が嵌入されている。シングルモード光ファイ
バ47は、先端部のUV被覆47cが除去されてナイロ
ンチューブ21に挿入された状態でフェルール20の貫
通孔20bよりフェルール20に挿入され、先端部のU
V被覆47cが除去された部分はジルコニア製のキャピ
ラリ22の貫通孔22aに挿入されている。この状態で
シングルモード光ファイバ47の先端は貫通孔22aお
よび貫通孔20b内部のナイロンチューブ21とともに
フェルール20およびキャピラリ22に接着剤23で固
定されている。
【0019】このようなフェルール20の長さは、種々
の設計がありうるが、半導体レーザモジュール40に使
用される典型的な数値例としては9mm乃至20mmの
ものが使用される。
【0020】また、図8(a)、(b)において、コア
47aの屈折率に対して、クラッド層47bの屈折率は
低く設定される。クラッド層47bの周囲には、紫外線
硬化樹脂(以下、単にUV樹脂という。)からなる被覆
層47cがあるが、光通信の分野で使用される光ファイ
バにおけるこの被覆層47cの屈折率は、通常、クラッ
ドモード光をできるだけ外部に逃がすため、同図(c)
のようにクラッド層47bの屈折率よりも高く設計され
る。
【0021】このようにフェルール20に端部が挿通固
定されたシングルモード光ファイバ47に、半導体レー
ザ素子13から放射されるレーザ光が入射すると、ファ
イバ端面47dにおいてクラッドモードとして結合した
光は、ファイバ端部47dの近傍においてクラッド層4
7bの外部に放射されて失われる。このため、このよう
なレーザ光は、光ファイバ増幅器の励起光として有効に
利用できない。
【0022】一方、フェルール20の内部においてクラ
ッド層47bの外部に放射される光は、光ファイバ47
の周囲の接着剤23やナイロンチューブ21、フェルー
ル20によって吸収されて熱に変換される結果、フェル
ール20の内部において局所的な温度上昇が起こる。
【0023】このような現象は、半導体レーザモジュー
ル40に使用される半導体レーザ素子13が高出力化
し、フェルール20内部におけるクラッドモード光の放
射光強度も大きくなると、ますます顕著に起こる。
【0024】このように局所的な温度上昇が起こると、
光ファイバ47を構成する石英ガラスと、周辺の部材と
の熱膨張率の差によって、光ファイバ47が破断するこ
とがある。また、温度が上昇することによって接着剤2
3およびナイロンチューブ21が劣化するため、フェル
ール20の内部の光ファイバ47やナイロンチューブ2
1の接着力が低下するという問題が発生する。
【0025】このように、従来の半導体レーザモジュー
ルでは、半導体レーザ素子の高出力化に伴って、クラッ
ドモード光も高出力化するために、信頼性が確保できな
くなるという問題があった。
【0026】本発明は、上記した従来の半導体レーザ素
子が高出力化されることにより顕著になる課題を解決す
るためになされたものであり、その目的は、半導体レー
ザモジュールに用いられる光ファイバのクラッドモード
の放射を防ぐことによって、高い光出力での動作が可能
な、より高信頼の半導体レーザモジュールを提供するこ
とにある。
【0027】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決する手
段としている。すなわち、本第1の発明は、半導体レー
ザ素子と、前記半導体レーザ素子から出射される光を受
光するシングルモード光ファイバと、前記半導体レーザ
素子と前記シングルモード光ファイバの間に介設され前
記半導体レーザ素子から出射されるレーザ光を前記シン
グルモード光ファイバに光学的に結合する光結合手段を
有する半導体レーザモジュールであって、前記シングル
モード光ファイバが、コアと、コアの周囲に形成されコ
アよりも小さい屈折率を有する第一のクラッドと、前記
第一のクラッドの周囲に形成され前記第一のクラッドよ
りも小さい屈折率を有する被覆層を有する構成を持って
課題を解決する手段としている。
【0028】かかる構成の本第1の発明においては、第
一のクラッド層の周囲にある被覆層の屈折率が第一のク
ラッド層の屈折率よりも小さく形成されているため、シ
ングルモード光ファイバのコア部に伝搬モードとして結
合しなかったクラッドモード光が、第一のクラッド層外
部に逃げることなく、第一のクラッド層内部に閉じこめ
られて伝搬しするため、フェルール内部での局所的な温
度上昇が抑制されるため、より信頼度の高い半導体レー
ザモジュールが得られる。
【0029】また、本第2の発明は、半導体レーザ素子
と、前記半導体レーザ素子から出射される光を受光する
シングルモード光ファイバと、前記半導体レーザ素子と
前記シングルモード光ファイバの間に介設され前記半導
体レーザ素子から出射されるレーザ光を前記シングルモ
ード光ファイバに光学的に結合する光結合手段を有する
半導体レーザモジュールであって、前記シングルモード
光ファイバが、コアと、コアの周囲に形成されコアより
も小さい屈折率を有する第一のクラッドと、前記第一の
クラッドの周囲に形成され前記第一のクラッドよりも小
さい屈折率を有する第二のクラッドとからなるダブルク
ラッドファイバである構成を持って課題を解決する手段
としている。
【0030】かかる構成の本第2の発明によれば、第一
のクラッド層の周囲にある第二のクラッド層の屈折率が
第一のクラッド層の屈折率よりも小さく形成されている
ため、シングルモード光ファイバのコア部に伝搬モード
として結合しなかったクラッドモード光が、第一のクラ
ッド層外部に逃げることなく、第一のクラッド層内部に
閉じこめられて伝搬するため、フェルール内部での局所
的な温度上昇が防止されるため、より信頼度の高い半導
体レーザモジュールが得られる。
【0031】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。なお、本実施の形態例の説
明において、従来例と同一名称部分には同一符号を付
し、その重複説明は省略する。
【0032】(第1の実施形態例)図1には、本発明に
係る半導体レーザモジュールの第1の実施形態例が示さ
れている。図1に示す半導体レーザモジュール10は、
半導体レーザ素子13が基板16に固定され、さらに基
板16は、パッケージ11の底板11a上に半田固定さ
れたペルチェモジュール12上に半田固定されている。
【0033】パッケージ11の側壁11bには、シング
ルモード光ファイバ17を挿入固定したフェルール20
が固定され、基板16上に固定されたレンズ15により
集光された半導体レーザ素子13からの光が結合される
ように配置されている。
【0034】本発明の半導体レーザモジュールに使用さ
れる半導体レーザ素子13は、横シングルモード発振す
る高出力半導体レーザ素子である。このような半導体レ
ーザ素子13としては、例えば1480nm帯のものと
して、InP基板上に形成されたGaInAsP歪み多
重量子井戸構造からなる活性層を含むものが使用され
る。この半導体レーザ素子13は前端面及び後端面から
なる共振器の長さ及び前端面及び後端面の反射率を最適
化することにより、300mWを超える高い光出力での
連続動作が可能である。
【0035】図2は、本発明に係る半導体レーザモジュ
ール10の第一の実施形態例に使用されるシングルモー
ド光ファイバ17の構造および屈折率プロファイルを示
したものである。シングルモード光ファイバ17は同図
(a)に示すように、コア17aとクラッド層17b1
およびUV樹脂被覆層17cとからなり、UV樹脂被覆
層17cの屈折率は、同図(b)に示すようにクラッド
層17b1の屈折率よりも低く設定されている。
【0036】このような屈折率差は、公知の方法により
UV樹脂材料を適宜変更することにより、又はクラッド
層17b1の屈折率を調整することにより、所望のもの
とすることが可能である。
【0037】シングルモード光ファイバ17は、図3に
示すように先端部のUV被覆17cが除去されてナイロ
ンチューブ21に挿入された状態でフェルール20の貫
通孔20bよりフェルール20に挿入され、先端部のU
V被覆17cが除去された部分はジルコニア製のキャピ
ラリ22の貫通孔22aに挿入されている。この状態で
シングルモード光ファイバ17の先端は貫通孔22aお
よび貫通孔20b内部のナイロンチューブ21とともに
フェルール20およびキャピラリ22に接着剤23で固
定されている。
【0038】なお、フェルール20の長さは、12mm
のものが使用される。
【0039】上記の構成の半導体レーザモジュール10
では、半導体レーザ素子13から出射した光は、レンズ
により集光されてシングルモード光ファイバ17に入射
する。入射した光のうち、コア17aに結合した光は、
コア17a内を基本モードとして伝搬する。
【0040】一方、コア17aに結合しなかった光はク
ラッド層17b1においてクラッドモードを励起する。
ここで励起されるクラッドモード光は複数の伝搬モード
から成るものであって、第一のクラッド層17b1の屈
折率がUV被覆層17cの屈折率よりも大きく作製され
ているために、第一のクラッド層の17b1外部に漏れ
ることなく、第一のクラッド層17b1とUV被覆層1
7cとの界面において反射を繰り返しながら、伝搬をす
る。
【0041】このため、クラッドモードとして結合した
光の強度が非常に大きい半導体レーザモジュールであっ
ても、フェルール内部での局所的な温度上昇が抑制され
るため、より信頼度の高い半導体レーザモジュールが提
供される。
【0042】図4は、本発明に係る半導体レーザモジュ
ールの第二の実施形態例に使用されるシングルモード光
ファイバ27の構造および屈折率プロファイルを示した
ものである。
【0043】すなわち、同図(a)に示すように、本第
二の実施形態例に使用されるシングルモード光ファイバ
27は、コア27aと、第一のクラッド層27b1およ
び第一のクラッド層27b1の周囲に形成された第二の
クラッド層27b2を有するダブルクラッドファイバで
ある。同図(b)に示すように、第二のクラッド層27
b2の屈折率は第一のクラッド層27b1の屈折率よりも
低く設定される。
【0044】このような屈折率差は、第一のクラッド層
27b1および第二のクラッド層27b2にドープするド
ーパントの種類又は量を適宜調製することにより、所望
の値とすることができる。
【0045】ダブルクラッドファイバ27の先端部は、
第一の実施形態例と同様に図3に示すように先端部のU
V被覆27cが除去されてナイロンチューブ21に挿入
された状態でフェルール20の貫通孔20bよりフェル
ール20に挿入され、先端部のUV被覆27cが除去さ
れた部分はジルコニア製のキャピラリ22の貫通孔22
aに挿入され、貫通孔20a、22b内部で、ナイロン
チューブ21とともにフェルール20およびキャピラリ
22に接着剤23で固定されている。
【0046】かかる構成の第二の実施形態の半導体レー
ザモジュールでは、半導体レーザ素子13からレンズ1
5を介してシングルモード光ファイバ27に入射した光
のうち、コア27aに結合した光は、コア27a内を基
本モードとして伝搬する。
【0047】一方、コア27aに結合しなかった光は第
一のクラッド層27b1においてクラッドモードを励起
する。ここで励起されるクラッドモード光は複数の伝搬
モードから成るものであって、第一のクラッド層の屈折
率が第二のクラッド層27b2の屈折率よりも大きく作
製されているために、第一のクラッド層27b1の外部
に漏れることなく、第一のクラッド層27b1と第二の
クラッド層27b2との界面において反射を繰り返しな
がら、伝搬をする。
【0048】本第二の実施形態例では、シングルモード
光ファイバ27としてダブルクラッドファイバを使用し
ているため、シングルモード光ファイバ27のフェルー
ル20内部に位置するUV被覆27cを除去した部分に
おいてもクラッドモードが外部に放射されることがな
い。
【0049】したがって、第一の実施形態例と比較して
クラッドモードの放射を更に効率的に防ぐことが可能と
なり、フェルール内部での局所的な温度上昇がほぼ完全
に防止されるため、より信頼度の高い半導体レーザモジ
ュールが提供される。
【0050】以上、本発明を実施形態に基づいて詳細に
説明したが、本発明は上記実施形態のみに限定されるこ
とはなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能で
あり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【0051】特に上記実施形態においては、半導体レー
ザ素子から出射された光をシングルモード光ファイバに
結合する光結合手段として1枚のレンズからなる結合光
学系を示したが、光結合手段としてはこの他、2枚のレ
ンズからなるもの、シングルモード光ファイバの先端を
レンズ形状に加工したもの等、種々の公知の光結合手段
が適用可能である。
【0052】また、上記実施形態では、特に高い光ファ
イバ出力を得るために本発明を適用した例を開示してい
るが、本発明はかかる用途に限定されるものではない。
すなわち、半導体レーザ素子として通常の端面光出力を
有するものに対しても、フェルールの温度上昇を抑える
ことによってより高信頼性を有する半導体レーザモジュ
ールが提供される。
【0053】また、本発明の実施形態においては、ペル
チェモジュールを有する半導体レーザモジュールについ
て説明したが、本発明はペルチェモジュールを有しない
半導体レーザモジュール、とりわけ同軸型の半導体レー
ザモジュールにも適用できることはいうまでもない。
【0054】
【発明の効果】以上説明したように、本第一の発明によ
れば、半導体レーザ素子からシングルモード光ファイバ
17に入射した光のうち、クラッドモード光として伝搬
する光が、シングルモード光ファイバのクラッド層内部
に閉じこめられたまま伝搬し、フェルール内部での局所
的な温度上昇が抑制されるため、信頼度のある高い光出
力での動作が可能な半導体レーザモジュールとなる。
【0055】また、本第二の発明によれば、シングルモ
ード光ファイバとしてダブルクラッドファイバを使用し
ているため、シングルモード光ファイバのフェルール内
部に位置するUV被覆を除去した部分においてもクラッ
ドモードが外部に放射されることがなく、クラッドモー
ドの放射を更に効率的に防ぐことが可能となり、フェル
ール内部での局所的な温度上昇が防止されるため、より
信頼度のある高い光出力での動作が可能な半導体レーザ
モジュールとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体レーザモジュールの第一の
実施形態を示す説明図である。
【図2】(a)は本発明の第一の実施形態に係る半導体
レーザモジュールに用いられるシングルモード光ファイ
バの断面示す説明図、(b)はその屈折率プロファイル
を示す説明図である。
【図3】本発明に係る半導体レーザモジュールのフェル
ールの断面の一例を示す説明図である。
【図4】(a)は本発明の第二の実施形態に係る半導体
レーザモジュールに用いられるシングルモード光ファイ
バの断面を示す説明図、(b)はその屈折率プロファイ
ルを示す説明図である。
【図5】従来の半導体レーザモジュールの構造例を示す
説明図である。
【図6】従来の半導体レーザモジュールにおいて、光フ
ァイバの半導体レーザ素子側の端部からの距離と光ファ
イバ端から放射される光出力との大きさとの関係を示す
説明図である。
【図7】従来の半導体レーザモジュールのフェルールの
断面の一例を示す説明図である。
【図8】(a)は従来の半導体レーザモジュールに用い
られるシングルモード光ファイバの断面を示す説明図、
(b)はその屈折率プロファイルを示す説明図である。
【符号の説明】
10 半導体レーザモジュール 11 パッケージ 12 ペルチェモジュール 13 半導体レーザ素子 14 サーミスタ 15 レンズ 16 固定基板 17 シングルモード光ファイバ 17a コア 17b クラッド層 17c UV被覆 20 フェルール 27 シングルモード光ファイバ 27a コア 27b1 第一のクラッド層 27b2 第二のクラッド層 27c UV被覆

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 導体レーザ素子と、前記半導体レーザ素
    子から出射される光を受光するシングルモード光ファイ
    バと、前記半導体レーザ素子と前記シングルモード光フ
    ァイバの間に介設され前記半導体レーザ素子から出射さ
    れるレーザ光を前記シングルモード光ファイバに光学的
    に結合する光結合手段を有する半導体レーザモジュール
    であって、前記シングルモード光ファイバが、コアと、
    コアの周囲に形成されコアよりも小さい屈折率を有する
    第一のクラッドと、前記第一のクラッドの周囲に形成さ
    れ前記第一のクラッドよりも小さい屈折率を有する被覆
    層を有することを特徴とする半導体レーザモジュール。
  2. 【請求項2】 半導体レーザ素子と、前記半導体レーザ
    素子から出射される光を受光するシングルモード光ファ
    イバと、前記半導体レーザ素子と前記シングルモード光
    ファイバの間に介設され前記半導体レーザ素子から出射
    されるレーザ光を前記シングルモード光ファイバに光学
    的に結合する光結合手段を有する半導体レーザモジュー
    ルであって、前記シングルモード光ファイバが、コア
    と、コアの周囲に形成されコアよりも小さい屈折率を有
    する第一のクラッドと、前記第一のクラッドの周囲に形
    成され前記第一のクラッドよりも小さい屈折率を有する
    第二のクラッドとからなるダブルクラッドファイバであ
    ることを特徴とする半導体レーザモジュール。
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