JP2001027730A - Confocal microscope - Google Patents
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- JP2001027730A JP2001027730A JP11257129A JP25712999A JP2001027730A JP 2001027730 A JP2001027730 A JP 2001027730A JP 11257129 A JP11257129 A JP 11257129A JP 25712999 A JP25712999 A JP 25712999A JP 2001027730 A JP2001027730 A JP 2001027730A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、共焦点光学系を採
用した共焦点顕微鏡に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a confocal microscope employing a confocal optical system.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、共焦点光学系を採用した共焦
点顕微鏡がある。共焦点光学系は、主として光源、対物
レンズ、ピンホールを有する光絞り部および検出部から
構成される。2. Description of the Related Art Conventionally, there has been a confocal microscope employing a confocal optical system. The confocal optical system mainly includes a light source, an objective lens, an optical diaphragm having a pinhole, and a detector.
【０００３】対物レンズは、光源から出射された光を、
対象物の表面に集光するとともに、対象物の表面からの
反射光を集光する。対物レンズの焦点位置に対象物の表
面がある場合、対物レンズにより集光された反射光は、
光絞り部のピンホールを通過して検出部により検出され
る。この場合、反射光のほとんどがピンホールを通過す
るため、検出部で検出される光量は大きくなる。[0003] The objective lens converts the light emitted from the light source into
The light is focused on the surface of the object and the light reflected from the surface of the object is collected. When the surface of the object is at the focal position of the objective lens, the reflected light collected by the objective lens is
The light passes through the pinhole of the optical diaphragm and is detected by the detector. In this case, since most of the reflected light passes through the pinhole, the amount of light detected by the detection unit increases.
【０００４】一方、対象物の表面が対物レンズの焦点位
置から外れた位置にある場合、ピンホールを通過する反
射光の量が激減するため、検出部により検出される光量
が少なくなる。On the other hand, when the surface of the object is located at a position deviating from the focal position of the objective lens, the amount of reflected light passing through the pinhole is drastically reduced, so that the amount of light detected by the detection unit is reduced.
【０００５】共焦点顕微鏡では、光源から出射した光を
対象物の表面に走査させ、検出部により検出される光量
値をつなぎ合わせることにより、対象物の表面の画像を
得ることができる。[0005] In the confocal microscope, an image of the surface of the object can be obtained by scanning the surface of the object with light emitted from the light source and joining the light amounts detected by the detection unit.
【０００６】共焦点顕微鏡の種類としては、対象物を支
持する支持台を有する光学顕微鏡に共焦点光学系を追加
して使用するタイプ、支持台を有する光学顕微鏡に予め
共焦点光学系が組み込まれたタイプ、および支持台を持
たない光学顕微鏡に予め共焦点光学系が組み込まれたタ
イプがある。The confocal microscope is of a type in which a confocal optical system is added to an optical microscope having a support for supporting an object, and a confocal optical system is previously incorporated in an optical microscope having a support. And a type in which a confocal optical system is previously incorporated in an optical microscope having no support base.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】先の２つのタイプの共
焦点顕微鏡においては、支持台上で対象物を支持して対
象物の表面を観察するため、支持台から対物レンズまで
の距離により対象物の外形寸法が制限される。In the above two types of confocal microscopes, since the object is supported on a support and the surface of the object is observed, the object is determined by the distance from the support to the objective lens. The external dimensions of the object are limited.
【０００８】一方、最後のタイプの共焦点顕微鏡におい
ては、支持台を持たないため、対象物の外形寸法上の制
限がなく、また観察できる方向の自由度が高い。しかし
ながら、共焦点光学系を対象物に対して支持するものが
ないため、安定な状態での観察が困難である。安定な状
態での観察を行うためには、別途共焦点光学系を支持す
る治具を用意することが必要となる。On the other hand, in the last type of confocal microscope, since there is no support table, there is no limitation on the external dimensions of the object and the degree of freedom in the observing direction is high. However, since there is no support for the confocal optical system with respect to the object, observation in a stable state is difficult. In order to perform observation in a stable state, it is necessary to separately prepare a jig for supporting the confocal optical system.
【０００９】本発明の目的は、対象物を支持する機能を
有しかつ対象物の寸法の制限を容易に緩和することがで
きる共焦点顕微鏡を提供することである。An object of the present invention is to provide a confocal microscope which has a function of supporting an object and can easily reduce the size limitation of the object.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段および発明の効果】（１）
第１の発明 第１の発明に係る共焦点顕微鏡は、対象物を支持する支
持部を備えた台座と、光を出射する光源および光源から
出射された光を対象物に集光し対象物からの反射光また
は透過光を対物レンズを含む光学系を通して受光する受
光部により共焦点光学系を構成し、台座に着脱可能に取
り付けられた光学部とを備えたものである。Means for Solving the Problems and Effects of the Invention (1)
First invention A confocal microscope according to a first invention comprises a pedestal provided with a supporting portion for supporting an object, a light source for emitting light, and a device for condensing light emitted from the light source on the object and collecting the light from the object. A confocal optical system is configured by a light receiving unit that receives the reflected light or transmitted light through an optical system including an objective lens, and includes an optical unit detachably mounted on a pedestal.
【００１１】本発明に係る共焦点顕微鏡においては、光
源、対物レンズおよび受光部を含む共焦点光学系を構成
する光学部が、支持部を備えた台座に着脱可能に取り付
けられる。これにより、光学部を台座から取り外すこと
が可能となる。In the confocal microscope according to the present invention, an optical section constituting a confocal optical system including a light source, an objective lens, and a light receiving section is detachably attached to a pedestal provided with a supporting section. Thus, the optical unit can be removed from the pedestal.
【００１２】光学部を台座に取り付けた場合には、支持
部上に支持された対象物を安定な状態で観察することが
できる。また、光学部と台座との間に間隔保持部材（ス
ペーサ）を挿入することにより、寸法の大きな対象物を
安定な状態で観察することができる。さらに、光学部と
台座との間に間隔保持部材を挿入するとともに光学部の
向きを変えることにより、任意の位置にあるさらに寸法
の大きな対象物を安定な状態で観察することができる。When the optical section is mounted on the pedestal, the object supported on the supporting section can be observed in a stable state. In addition, by inserting a spacing member (spacer) between the optical unit and the pedestal, a large-sized object can be observed in a stable state. Furthermore, by inserting a spacing member between the optical unit and the pedestal and changing the direction of the optical unit, it is possible to observe a larger object at an arbitrary position in a stable state.
【００１３】また、光学部を台座から取り外した場合、
任意の寸法を有しかつ任意の位置にある対象物を観察す
ることができる。この場合、種々の治具を用いて光学部
を固定することにより、安定な状態で対象物を観察する
ことができる。When the optical unit is removed from the pedestal,
An object having any dimensions and located at any position can be observed. In this case, the object can be observed in a stable state by fixing the optical unit using various jigs.
【００１４】このように、対象物を支持する機能を有し
かつ対象物の寸法の制限を容易に緩和することが可能な
共焦点顕微鏡が実現される。As described above, a confocal microscope having a function of supporting an object and capable of easily relaxing the size limitation of the object is realized.
【００１５】（２）第２の発明 第２の発明に係る共焦点顕微鏡は、第１の発明に係る共
焦点顕微鏡の構成において、光学部は、光源、対物レン
ズおよび受光部により構成される共焦点光学系を搭載す
る光学系搭載部と、台座に着脱可能に取り付けられると
ともに光学系搭載部が取り付けられる間接取り付け部と
を含むものである。(2) Second invention A confocal microscope according to a second invention is a confocal microscope according to the first invention, wherein the optical section is a confocal microscope constituted by a light source, an objective lens and a light receiving section. It includes an optical system mounting section for mounting the focusing optical system, and an indirect mounting section detachably attached to the pedestal and to which the optical system mounting section is mounted.
【００１６】この場合、光学系搭載部は、間接取り付け
部を介して台座に間接的に取り付けられるため、台座に
固定されることで発生する応力やひずみが光学系搭載部
に直接伝わらず、光学系搭載部に搭載される光学部品の
位置ずれをもたらさない。In this case, since the optical system mounting portion is indirectly attached to the pedestal via the indirect mounting portion, the stress and strain generated by being fixed to the pedestal are not directly transmitted to the optical system mounting portion, and the optical system mounting portion is not mounted on the pedestal. It does not cause the displacement of the optical components mounted on the system mounting unit.
【００１７】（３）第３の発明 第３の発明に係る共焦点顕微鏡は、第２の発明に係る共
焦点顕微鏡の構成において、間接取り付け部は、台座に
直接または所定の間隔保持部材を介して取り付け可能な
底面、背面、または少なくとも一方の側面を有するもの
である。(3) Third invention A confocal microscope according to a third invention is the confocal microscope according to the second invention, wherein the indirect mounting portion is provided directly on the pedestal or via a predetermined spacing member. It has a bottom surface, a back surface, or at least one side surface that can be attached by mounting.
【００１８】この場合、間接取り付け部の底面、背面、
または少なくとも一方の側面を台座に直接または間隔保
持部材を介して取り付けることにより任意の方向にある
任意の寸法の対象物を観察することができる。In this case, the bottom surface, the back surface,
Alternatively, by attaching at least one side surface to the pedestal directly or via a spacing member, an object having an arbitrary dimension in an arbitrary direction can be observed.
【００１９】（４）第４の発明 第４の発明に係る共焦点顕微鏡は、対象物を支持する支
持部を備えた台座と、光を出射する光源および光源から
出射された光を対象物に集光し対象物からの反射光また
は透過光を対物レンズを含む光学系を通して受光する受
光部により共焦点光学系を構成する光学部と、台座と光
学部との間に着脱可能に挿入される間隔保持部材とを備
えたものである。(4) Fourth Invention A confocal microscope according to a fourth invention comprises a pedestal having a support for supporting an object, a light source for emitting light, and light emitted from the light source for the object. A light receiving unit that condenses and receives reflected light or transmitted light from an object through an optical system including an objective lens is detachably inserted between an optical unit constituting a confocal optical system and a pedestal and the optical unit. And a spacing member.
【００２０】本発明に係る共焦点顕微鏡においては、光
源、対物レンズおよび受光部を含む共焦点光学系を構成
する光学部と支持部を備えた台座との間に間隔保持部材
が着脱可能に挿入される。光学部を台座に直接取り付け
た場合には、支持部上に支持された対象物を安定な状態
で観察することができる。また、光学部と台座との間に
間隔保持部材を挿入した場合には、寸法の大きな対象物
を安定な状態で観察することができる。さらに、光学部
と台座との間に間隔保持部材を挿入するとともに光学部
の向きを変えることにより、任意の位置にあるさらに寸
法の大きな対象物を安定な状態で観察することができ
る。In the confocal microscope according to the present invention, a spacing member is detachably inserted between an optical part constituting a confocal optical system including a light source, an objective lens, and a light receiving part and a pedestal having a support part. Is done. When the optical unit is directly attached to the pedestal, the object supported on the support unit can be observed in a stable state. In addition, when the spacing member is inserted between the optical unit and the pedestal, a large-sized object can be observed in a stable state. Furthermore, by inserting a spacing member between the optical unit and the pedestal and changing the direction of the optical unit, it is possible to observe a larger object at an arbitrary position in a stable state.
【００２１】また、光学部を台座上の間隔保持部材から
取り外した場合には、任意の寸法を有しかつ任意の位置
にある対象物を観察することができる。この場合、種々
の治具を用いて光学部を固定することにより、安定な状
態で対象物を観察することができる。Further, when the optical section is detached from the spacing member on the pedestal, an object having an arbitrary size and at an arbitrary position can be observed. In this case, the object can be observed in a stable state by fixing the optical unit using various jigs.
【００２２】このように、対象物を支持する機能を有し
かつ対象物の寸法の制限を容易に緩和することが可能な
共焦点顕微鏡が実現される。Thus, a confocal microscope having a function of supporting an object and capable of easily relieving the size limitation of the object is realized.
【００２３】（５）第５の発明 第５の発明に係る共焦点顕微鏡は、第４の発明に係る共
焦点顕微鏡の構成において、間隔保持部材は、複数の板
状部材を積層することにより構成されるものである。(5) Fifth Invention A confocal microscope according to a fifth invention is the confocal microscope according to the fourth invention, wherein the spacing member is formed by stacking a plurality of plate members. Is what is done.
【００２４】この場合、間隔保持部材は、複数の板状部
材により構成されるので、安価に製造することができ
る。In this case, since the spacing member is constituted by a plurality of plate members, it can be manufactured at a low cost.
【００２５】また、板状部材の数または厚さを変更する
ことにより光学部の対物レンズと台座の支持部との間の
距離および光学部の対物レンズと設置面との間の距離を
容易に調整することができる。それにより、任意の高さ
および厚さを有する対象物を簡易に観察することができ
る。Further, by changing the number or thickness of the plate-like members, the distance between the objective lens of the optical unit and the support of the pedestal and the distance between the objective lens of the optical unit and the installation surface can be easily set. Can be adjusted. Thereby, an object having an arbitrary height and thickness can be easily observed.
【００２６】さらに、複数の板状部材の積層位置または
向きを変更することにより光学部の対物レンズの光軸と
台座の支持部との間の水平距離を容易に調整することが
できる。それにより、任意の奥行きまたは広さを有する
対象物を簡単に観察することができる。Further, the horizontal distance between the optical axis of the objective lens of the optical unit and the support of the pedestal can be easily adjusted by changing the lamination position or the orientation of the plurality of plate members. Thereby, an object having an arbitrary depth or size can be easily observed.
【００２７】このように、間隔保持部材の形状および構
造を変更することなく、種々の寸法および形状の対象物
を容易に観察することができる。As described above, objects having various sizes and shapes can be easily observed without changing the shape and structure of the spacing member.
【００２８】また、間隔保持部材が複数の板状部材を積
層することにより構成されるので、経時変化による寸法
の変化および強度の低下が小さく、かつ耐振動性が高
い。Further, since the spacing member is formed by laminating a plurality of plate members, a change in dimensions and a decrease in strength due to a change with time are small, and the vibration resistance is high.
【００２９】[0029]
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例における
共焦点顕微鏡の側面図、図２は図１の共焦点顕微鏡の正
面図、図３は図１の共焦点顕微鏡の背面図、図４は図１
の共焦点顕微鏡の平面図である。FIG. 1 is a side view of a confocal microscope according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the confocal microscope of FIG. 1, FIG. 3 is a rear view of the confocal microscope of FIG. FIG. 4 shows FIG.
3 is a plan view of a confocal microscope of FIG.
【００３０】図１、図２および図３に示すように、共焦
点顕微鏡１００は、台座７０および光学部８０を備え
る。光学部８０は台座７０に着脱自在に取り付けられて
いる。As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the confocal microscope 100 includes a pedestal 70 and an optical unit 80. The optical section 80 is detachably attached to the base 70.
【００３１】台座７０は、前方部７０ａおよび後方部７
０ｂからなる。前方部７０ａの上面には、対象物を支持
する支持台３０を上下に移動させるための手動ハンドル
３１が設けられている。また、前方部７０ａの両側面に
は、支持台３０を前後左右に移動させるための手動ハン
ドル３２が設けられている。さらに、前方部７０ａの前
面および後方部７０ｂの背面にはそれぞれ持ち手７１
ａ，７１ｂが設けられている。The pedestal 70 has a front part 70a and a rear part 7
0b. On the upper surface of the front part 70a, a manual handle 31 for moving the support base 30 for supporting the object up and down is provided. Further, on both side surfaces of the front portion 70a, manual handles 32 for moving the support base 30 back and forth and left and right are provided. Further, a handle 71 is provided on the front of the front part 70a and on the back of the rear part 70b, respectively.
a, 71b are provided.
【００３２】これにより、台座７０の持ち手７１ａ，７
１ｂに指をかけて共焦点顕微鏡１００の全体を持ち運ぶ
ことができる。この場合、光学系搭載部５０に直接力が
伝わらず、光学部品の位置ずれをもたらさない。As a result, the handles 71a, 7
The entire confocal microscope 100 can be carried by putting a finger on 1b. In this case, the force is not directly transmitted to the optical system mounting unit 50, and the optical components do not shift.
【００３３】図３に示すように、後方部７０ｂは両側部
にテーパー部７６を有し、台形の背面形状をしている。
さらに、図４に示すように、台座７０は、後方部７０ｂ
に前方部７０ａが垂直に接合したほぼＴ字形をしてお
り、前方部７０ａと後方部７０ｂとの間には１対のはり
７５が形成されている。As shown in FIG. 3, the rear portion 70b has tapered portions 76 on both sides, and has a trapezoidal back shape.
Further, as shown in FIG. 4, the pedestal 70 has a rear portion 70b.
The front part 70a has a substantially T-shape vertically joined, and a pair of beams 75 is formed between the front part 70a and the rear part 70b.
【００３４】これにより、台座７０に外力が加えられた
場合でも、台座７０は、はり７５およびテーパー部７６
を有するため、変形しにくい。As a result, even when an external force is applied to the pedestal 70, the pedestal 70 can be moved by the beam 75 and the tapered portion 76.
, It is difficult to deform.
【００３５】図１および図２に示すように、光学部８０
は、光学系搭載部５０および間接取り付け部６０からな
る。光学系搭載部５０の下面には、対物レンズ１７ａ，
１７ｂ，１７ｃ，１７ｄが取り付けられたレボルバ５３
が設けられている。レボルバ５３を回転させることによ
り、観察に用いる対物レンズを選択することができる。As shown in FIG. 1 and FIG.
Comprises an optical system mounting section 50 and an indirect mounting section 60. On the lower surface of the optical system mounting unit 50, the objective lens 17a,
Revolver 53 with 17b, 17c, 17d attached
Is provided. By rotating the revolver 53, an objective lens used for observation can be selected.
【００３６】また、光学系搭載部５０の側面には、外部
装置との間で電気信号の伝送を行うための雄型コネクタ
５２ａおよび雌型コネクタ５２ｂが設けられている。雄
型コネクタ５２ａ用のケーブルの両端には雌型コネクタ
が接続されている。また、雌型コネクタ５２ｂ用のケー
ブルの両端には雄型コネクタが接続されている。A male connector 52a and a female connector 52b for transmitting electric signals to and from an external device are provided on the side of the optical system mounting section 50. Female connectors are connected to both ends of the cable for the male connector 52a. A male connector is connected to both ends of the cable for the female connector 52b.
【００３７】このように、雄型コネクタ５２ａ、雌型コ
ネクタ５２ｂ用のケーブルの両端のコネクタはそれぞれ
雌−雌および雄−雄であるため、雄型コネクタ５２ａお
よび雌型コネクタ５２ｂにケーブルのコネクタを差し間
違えることがない。As described above, since the connectors at both ends of the cable for the male connector 52a and the female connector 52b are female-female and male-male, respectively, the cable connectors are connected to the male connector 52a and the female connector 52b. There is no mistake.
【００３８】間接取り付け部６０は、背板部６０ａ、底
板部６０ｂおよび１対の側板部６０ｃから構成されてい
る。背板部６０ａおよび底板部６０ｂの側端面には複数
のねじ穴６５、側板部６０ｃの側面には複数のねじ穴６
８、底板部６０ｂの前端面には１対のねじ穴６７がそれ
ぞれ設けられている。また、背板部６０ａの背面には複
数のねじ穴６６が設けられている。The indirect mounting portion 60 includes a back plate portion 60a, a bottom plate portion 60b, and a pair of side plate portions 60c. A plurality of screw holes 65 are provided on side end surfaces of the back plate portion 60a and the bottom plate portion 60b, and a plurality of screw holes 6 are provided on side surfaces of the side plate portion 60c.
8. A pair of screw holes 67 are provided on the front end face of the bottom plate portion 60b. A plurality of screw holes 66 are provided on the back surface of the back plate portion 60a.
【００３９】図５は図１の共焦点顕微鏡１００の光学系
搭載部５０、間接取り付け部６０および台座７０の組み
立て構造を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing an assembly structure of the optical system mounting portion 50, the indirect mounting portion 60, and the pedestal 70 of the confocal microscope 100 of FIG.
【００４０】図５に示すように、光学系搭載部５０の底
面には複数のねじ穴５１が設けられている。複数のねじ
穴５１に対応するように、間接取り付け部６０の底板部
６０ｂに複数の貫通孔６１が設けられている。貫通孔６
１の底面側には、取り付けボルトの頭部を収納するため
の座ぐりが設けられている。As shown in FIG. 5, a plurality of screw holes 51 are provided on the bottom surface of the optical system mounting section 50. A plurality of through holes 61 are provided in the bottom plate portion 60b of the indirect mounting portion 60 so as to correspond to the plurality of screw holes 51. Through hole 6
A counterbore for accommodating the head of the mounting bolt is provided on the bottom side of 1.
【００４１】間接取り付け部６０の底板部６０ｂには、
貫通孔６１とねじ穴５１との位置合わせを容易にするた
めに凹部１６０が設けられている。光学系搭載部５０を
凹部１６０上に載置した後、ボルト８１を貫通孔６１を
通してねじ穴５１に螺合させることにより、光学系搭載
部５０と間接取り付け部６０とが一体化する。The bottom plate portion 60b of the indirect mounting portion 60 includes
A recess 160 is provided to facilitate alignment between the through hole 61 and the screw hole 51. After the optical system mounting unit 50 is placed on the recess 160, the bolt 81 is screwed into the screw hole 51 through the through hole 61, so that the optical system mounting unit 50 and the indirect mounting unit 60 are integrated.
【００４２】また、間接取り付け部６０の底板部６０ｂ
に複数のねじ穴６２，６３が設けられている。複数のね
じ穴６２に対応するように、台座７０には複数の貫通孔
７２が形成されている。貫通孔７２は、台座７０の両側
面から延びる溝部８３内に位置している。さらに、間接
取り付け部６０の背板部６０ａには、凹部６９が形成さ
れている。この背板部６０ａには、凹部６９内から底面
まで上下に貫通する複数の貫通孔６４が設けられてい
る。複数の貫通孔６４に対応するように、台座７０には
複数のねじ穴７４が設けられている。The bottom plate portion 60b of the indirect mounting portion 60
Are provided with a plurality of screw holes 62 and 63. A plurality of through holes 72 are formed in the pedestal 70 so as to correspond to the plurality of screw holes 62. The through holes 72 are located in grooves 83 extending from both side surfaces of the pedestal 70. Further, a concave portion 69 is formed in the back plate portion 60a of the indirect mounting portion 60. The back plate portion 60a is provided with a plurality of through holes 64 vertically penetrating from the inside of the concave portion 69 to the bottom surface. The pedestal 70 is provided with a plurality of screw holes 74 so as to correspond to the plurality of through holes 64.
【００４３】台座７０には、間接取り付け部６０のねじ
穴６２と台座７０の貫通孔７２との位置合わせおよび間
接取り付け部６０の貫通孔６４と台座７０のねじ穴７４
との位置合わせを容易にするために凹部１７０が設けら
れている。光学系搭載部５０と一体化した間接取り付け
部６０を凹部１７０上に載置した後、ボルト８２を貫通
孔７２を通してねじ穴６２に螺合させるとともに、ボル
ト８４を貫通孔６４を通してねじ穴７４に螺合させる。
これにより、台座７０に間接取り付け部６０および光学
系搭載部５０が固定される。In the pedestal 70, the screw hole 62 of the indirect mounting part 60 and the through hole 72 of the pedestal 70 are aligned, and the through hole 64 of the indirect mounting part 60 and the screw hole 74 of the pedestal 70 are aligned.
A concave portion 170 is provided to facilitate alignment with the above. After placing the indirect mounting portion 60 integrated with the optical system mounting portion 50 on the concave portion 170, the bolt 82 is screwed into the screw hole 62 through the through hole 72, and the bolt 84 is screwed into the screw hole 74 through the through hole 64. Screw together.
Thereby, the indirect mounting part 60 and the optical system mounting part 50 are fixed to the pedestal 70.
【００４４】図６は図１の共焦点顕微鏡１００の光学系
搭載部５０に搭載される光学系の一例を示す概略構成図
である。FIG. 6 is a schematic diagram showing an example of an optical system mounted on the optical system mounting section 50 of the confocal microscope 100 of FIG.
【００４５】図６に示すように、光学系搭載部５０は、
レーザ光学系１および白色光光学系２を備える。As shown in FIG. 6, the optical system mounting section 50 includes
A laser optical system 1 and a white light optical system 2 are provided.
【００４６】レーザ光学系１は、共焦点光学系であり、
光源として例えば赤色のレーザ光Ｌ１を出射する半導体
レーザ１０を有する。レーザ１０はレーザ駆動回路４４
により駆動され、レーザ光Ｌ１を出射する。レーザ光Ｌ
１は第１のコリメートレンズ１１を透過した後、偏光ビ
ームスプリッタ１２により反射され、１／４波長板１
３、水平方向偏向装置１４ａ、垂直方向偏向装置１４
ｂ、第１のリレーレンズ１５、第２のハーフミラー２
３、第２のリレーレンズ１６および第１のハーフミラー
２２を通して対物レンズ１７に導かれる。対物レンズ１
７の焦点位置の付近には、支持台３０が配設されてい
る。レーザ光Ｌ１は対物レンズ１７により対象物Ｗの表
面に集光される。図６の対物レンズ１７は、図１および
図２の対物レンズ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄのい
ずれかに相当する。The laser optical system 1 is a confocal optical system,
A semiconductor laser 10 that emits, for example, red laser light L1 is provided as a light source. The laser 10 has a laser drive circuit 44
And emits the laser light L1. Laser light L
1 is reflected by the polarizing beam splitter 12 after passing through the first collimating lens 11, and
3, horizontal deflection device 14a, vertical deflection device 14
b, first relay lens 15, second half mirror 2
3. The light is guided to the objective lens 17 through the second relay lens 16 and the first half mirror 22. Objective lens 1
In the vicinity of the focus position 7, a support table 30 is provided. The laser light L1 is focused on the surface of the object W by the objective lens 17. The objective lens 17 in FIG. 6 corresponds to any one of the objective lenses 17a, 17b, 17c, and 17d in FIGS.
【００４７】水平方向偏向装置１４ａおよび垂直方向偏
向装置１４ｂは、例えばそれぞれ１枚のガルバノミラー
から構成され、レーザ光Ｌ１を矢印ＸおよびＹで示す水
平方向および垂直方向に偏向させることにより、対象物
Ｗの表面にレーザ光Ｌ１を二次元的に走査させる。Each of the horizontal deflecting device 14a and the vertical deflecting device 14b is composed of, for example, one galvanomirror, and deflects the laser beam L1 in the horizontal and vertical directions indicated by arrows X and Y, respectively. The laser beam L1 is two-dimensionally scanned on the surface of W.
【００４８】なお、支持台３０は、手動ハンドル３１に
より矢印Ｚで示す上下方向に移動可能となっており、矢
印ＸおよびＹの方向については手動ハンドル３２で移動
可能となっている。The support table 30 can be moved up and down by a manual handle 31 by a manual handle 31, and can be moved by a manual handle 32 in the directions of arrows X and Y.
【００４９】対象物Ｗで反射されたレーザ光Ｌ１は、対
物レンズ１７、第１のハーフミラー２２、第２のリレー
レンズ１６、第２のハーフミラー２３および第１のリレ
ーレンズ１５を通り、再び、垂直方向偏向装置１４ｂお
よび水平方向偏向装置１４ａを介して１／４波長板１３
および偏光ビームスプリッタ１２を透過し、結像レンズ
１８に向かう。レーザ光Ｌ１は、結像レンズ１８によっ
て集光され、ピンホールを有する光絞り部１９ａを通過
して第１の受光素子１９ｂに入射する。The laser beam L1 reflected by the object W passes through the objective lens 17, the first half mirror 22, the second relay lens 16, the second half mirror 23, and the first relay lens 15, and again. １ ／ wavelength plate 13 via vertical deflecting device 14b and horizontal deflecting device 14a
Then, the light passes through the polarization beam splitter 12 and travels toward the imaging lens 18. The laser light L1 is condensed by the imaging lens 18, passes through the optical aperture 19a having a pinhole, and enters the first light receiving element 19b.
【００５０】第１の受光素子１９ｂは、例えばフォトマ
ルチプライヤまたはフォトダイオード等で構成され、入
射したレーザ光Ｌ１を光電変換し、アナログ光量信号と
して第１の増幅回路１９ｄを介して第１のＡ／Ｄコンバ
ータ（アナログデジタル変換器）４１に出力する。第１
のＡ／Ｄコンバータ４１から輝度情報が出力される。The first light receiving element 19b is composed of, for example, a photomultiplier or a photodiode. The first light receiving element 19b photoelectrically converts the incident laser light L1 and converts the incident laser light L1 into an analog light quantity signal via the first amplifier circuit 19d. Output to a / D converter (analog-digital converter) 41. First
A / D converter 41 outputs luminance information.
【００５１】次に、レーザ光学系１によって得られる輝
度情報について説明する。光絞り部１９ａは、結像レン
ズ１８の焦点位置に配設されている。光絞り部１９ａの
ピンホールは極めて微小である。そのため、レーザ光Ｌ
１が対象物Ｗ上で焦点を結ぶと、そのレーザ光Ｌ１のほ
とんどが光絞り部１９ａのピンホールを通過するので、
第１の受光素子１９ｂの受光量が著しく大きくなる。逆
に、レーザ光Ｌ１が対象物Ｗ上で焦点を結んでいない
と、レーザ光Ｌ１の大部分が光絞り部１９ａのピンホー
ルを通過しないので、第１の受光素子１９ｂの受光量が
著しく小さくなる。したがって、レーザ光学系１による
走査領域のうち、焦点の合った部分について明るい映像
が得られ、それ以外の部分については暗い映像が得られ
る。なお、レーザ光学系１は単色のレーザ光Ｌ１を用い
た共焦点光学系であるから、分解能に優れた輝度情報が
得られる。Next, the luminance information obtained by the laser optical system 1 will be described. The light stop 19 a is provided at the focal position of the imaging lens 18. The pinhole of the optical diaphragm 19a is extremely small. Therefore, the laser light L
When 1 is focused on the object W, most of the laser light L1 passes through the pinhole of the optical aperture 19a.
The amount of light received by the first light receiving element 19b is significantly increased. Conversely, if the laser beam L1 is not focused on the object W, most of the laser beam L1 does not pass through the pinhole of the optical aperture 19a, so that the amount of light received by the first light receiving element 19b is extremely small. Become. Therefore, a bright image is obtained in a focused portion of the scanning region by the laser optical system 1, and a dark image is obtained in other portions. Since the laser optical system 1 is a confocal optical system using the monochromatic laser light L1, luminance information with excellent resolution can be obtained.
【００５２】次に、白色光光学系２について説明する。
白色光光学系２は、光源として色情報用の照明光である
白色光Ｌ２を出射する白色光源２０を有する。白色光源
２０から出射された白色光Ｌ２は、第２のコリメートレ
ンズ２１を通過した後、第１のハーフミラー２２により
反射され、対物レンズ１７によりレーザ光Ｌ１の走査領
域と同一の箇所に集光される。Next, the white light optical system 2 will be described.
The white light optical system 2 has a white light source 20 that emits white light L2, which is illumination light for color information, as a light source. The white light L2 emitted from the white light source 20 passes through the second collimating lens 21, is reflected by the first half mirror 22, and is condensed by the objective lens 17 at the same position as the scanning area of the laser light L1. Is done.
【００５３】対象物Ｗで反射された白色光Ｌ２は、対物
レンズ１７、第１のハーフミラー２２および第２のリレ
ーレンズ１６を透過し、さらに、第２のハーフミラー２
３で反射され、カラーＣＣＤ２４の表面で結像する。す
なわち、カラーＣＣＤ２４は、光絞り部１９ａと共役な
いし共役に近い位置に配設されている。The white light L2 reflected by the object W passes through the objective lens 17, the first half mirror 22, and the second relay lens 16, and further passes through the second half mirror 2
3 and forms an image on the surface of the color CCD 24. That is, the color CCD 24 is disposed at a position conjugate to or close to the conjugate with the light stop unit 19a.
【００５４】カラーＣＣＤ２４は、ＣＣＤ駆動回路４３
により駆動される。カラーＣＣＤ２４の出力信号は、ア
ナログカラー撮像信号として、ＣＣＤ駆動回路４３およ
び第２の増幅回路４３ａを介して第２のＡ／Ｄコンバー
タ（アナログ・デジタル変換器）４２に出力される。第
２のＡ／Ｄコンバータ４２からカラー撮像情報が出力さ
れる。The color CCD 24 includes a CCD driving circuit 43
Driven by The output signal of the color CCD 24 is output to a second A / D converter (analog-to-digital converter) 42 via a CCD drive circuit 43 and a second amplifier circuit 43a as an analog color image pickup signal. Color imaging information is output from the second A / D converter 42.
【００５５】第１のＡ／Ｄコンバータ４１からの輝度情
報および第２のＡ／Ｄコンバータ４２からのカラー撮像
情報に所定の処理を行うことにより、カラー映像信号が
得られ、カラーの拡大画像が表示装置に映し出される。By performing predetermined processing on the luminance information from the first A / D converter 41 and the color imaging information from the second A / D converter 42, a color video signal is obtained, and a color enlarged image is obtained. The image is displayed on the display device.
【００５６】図７（ａ）は図１の共焦点顕微鏡１００の
光学系搭載部５０に搭載される光学系の他の例を示す概
略構成図、図７（ｂ）は図７（ａ）のレーザ光の走査方
向を説明するための図である。FIG. 7A is a schematic configuration diagram showing another example of an optical system mounted on the optical system mounting section 50 of the confocal microscope 100 of FIG. 1, and FIG. 7B is a diagram of FIG. FIG. 3 is a diagram for explaining a scanning direction of laser light.
【００５７】図７（ａ）の光学系と図６の光学系との大
きな違いは、図６のレーザ光学系１では対象物Ｗの表面
に点状に集光するレーザ光Ｌ１を用いたのに対し、図７
（ａ）のレーザ光学系１では対象物Ｗの表面に線状に集
光するラインレーザ光Ｌ１を用いている点である。これ
にともなって、図７（ａ）のレーザ光学系１では、図６
のレーザ１０ａに代えてラインレーザ光Ｌ３を出射する
Ｈｅ−Ｎｅレーザ１０ａを用いる。また、図６のレーザ
光学系１では点状の第１の受光素子１９ｂを用いている
のに対し、図７（ａ）のレーザ光学系１では、結像レン
ズ１８の焦点位置に矢印Ｙの方向に延びる一次元ＣＣＤ
１９ｃを設け、さらに、図６の水平方向偏向装置１４ａ
および垂直方向偏向装置１４ｂに代えて一次元偏向装置
１１４を用いる。この場合、図７（ｂ）に示すように、
ラインレーザ光Ｌ３は、対象物Ｗの表面で集光させた際
の矢印Ｘの方向に走査させる。The major difference between the optical system shown in FIG. 7A and the optical system shown in FIG. 6 is that the laser optical system 1 shown in FIG. FIG.
The point that the laser optical system 1 of (a) uses the line laser light L1 condensed linearly on the surface of the object W. Accordingly, in the laser optical system 1 of FIG.
He-Ne laser 10a that emits line laser light L3 is used in place of laser 10a. In the laser optical system 1 of FIG. 6, a point-like first light receiving element 19b is used, whereas in the laser optical system 1 of FIG. One-dimensional CCD extending in the direction
19c, and the horizontal deflecting device 14a of FIG.
And a one-dimensional deflecting device 114 is used in place of the vertical deflecting device 14b. In this case, as shown in FIG.
The line laser light L3 scans in the direction of the arrow X when focused on the surface of the object W.
【００５８】また、図６のレーザ光学系１では、第１の
受光素子１９ｂの前方に光絞り部１９ａを設けたが、図
７（ａ）のレーザ光学系１では、一次元ＣＣＤ１９ｃが
光絞り部の機能を兼ねる。Further, in the laser optical system 1 shown in FIG. 6, an optical aperture 19a is provided in front of the first light receiving element 19b. However, in the laser optical system 1 shown in FIG. Also functions as a part.
【００５９】図８は図１の共焦点顕微鏡１００の光学系
搭載部５０に搭載される光学系のさらに他の例を示す概
略構成図である。FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing still another example of the optical system mounted on the optical system mounting section 50 of the confocal microscope 100 of FIG.
【００６０】図８のレーザ光学系１では、図６のレーザ
光学系１と同様に対象物Ｗの表面に点状に集光するレー
ザ光Ｌ１を用いる。しかしながら、図８のレーザ光学系
１では図６のレーザ光学系１で設けられている光絞り部
１９ａを設けず、また、図６のレーザ光学系１で設けら
れている点状の第１の受光素子１９ｂに代えて、結像レ
ンズ１８の焦点位置に一次元ＣＣＤ１９ｃを設けてい
る。これに対応して、水平方向偏向装置１４ａおよび垂
直方向偏向装置１４ｂに代えて、第１の一次元偏向装置
１１４ａを第１のコリメートレンズ１１と偏光ビームス
プリッタ１２との間に設け、第２の一次元偏向装置１１
４ｂを１／４波長板１３と第１のリレーレンズ１５との
間に設けている。The laser optical system 1 shown in FIG. 8 uses the laser light L1 condensed on the surface of the object W in a point-like manner as in the laser optical system 1 shown in FIG. However, the laser optical system 1 shown in FIG. 8 does not include the optical aperture 19a provided in the laser optical system 1 shown in FIG. 6, and the first point-shaped first optical system provided in the laser optical system 1 shown in FIG. A one-dimensional CCD 19c is provided at the focal position of the imaging lens 18 instead of the light receiving element 19b. Correspondingly, a first one-dimensional deflecting device 114a is provided between the first collimating lens 11 and the polarizing beam splitter 12, instead of the horizontal deflecting device 14a and the vertical deflecting device 14b. One-dimensional deflection device 11
4 b is provided between the 波長 wavelength plate 13 and the first relay lens 15.
【００６１】また、対象物にレーザ光を二次元的に走査
させるために、図６、図７（ａ）および図８の走査方式
以外にマルチピンホール走査方式（ニポウディスク方
式）を用いてもよい。Further, in order to scan the object two-dimensionally with a laser beam, a multi-pinhole scanning method (Nipkow disk method) may be used in addition to the scanning methods shown in FIGS. 6, 7A and 8. .
【００６２】一方、一次元的な情報を得る場合には、対
象物の表面に点状に集光するレーザ光を一次元偏向装置
で一次元的に走査させ、その反射光を一次元偏向装置を
介して点状の受光素子または一次元ＣＣＤで受光する。
あるいは、ラインレーザ光を対象物の表面に集光させ、
その反射光を、そのまま一次元ＣＣＤで受光する。On the other hand, when obtaining one-dimensional information, a one-dimensional deflecting device scans one-dimensionally with a laser beam focused on the surface of the object in a point-like manner, and reflects the reflected light. The light is received by a point-like light-receiving element or a one-dimensional CCD via the.
Alternatively, focus the line laser light on the surface of the object,
The reflected light is directly received by a one-dimensional CCD.
【００６３】本実施例では、支持台３０が支持部に相当
し、台座７０が台座に相当し、レーザ１０，１０ａが光
源に相当し、対物レンズ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７
ｄのいずれかが対物レンズに相当し、第１の受光素子１
９ｂおよび一次元ＣＣＤ１９ｃが受光部に相当し、レー
ザ１０，１０ａ、対物レンズ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，
１７ｄのいずれか、第１の受光素子１９ｂまたは一次元
ＣＣＤ１９ｃが共焦点光学系を構成し、光学部８０が光
学部に相当し、光学系搭載部５０が光学系搭載部に相当
し、間接取り付け部６０が間接取り付け部に相当する。In this embodiment, the support 30 corresponds to a support, the pedestal 70 corresponds to a pedestal, the lasers 10 and 10a correspond to light sources, and the objective lenses 17a, 17b, 17c and 17 correspond to each other.
d corresponds to the objective lens, and the first light receiving element 1
9b and the one-dimensional CCD 19c correspond to a light receiving unit, and include lasers 10 and 10a, objective lenses 17a, 17b, 17c,
17d, the first light receiving element 19b or the one-dimensional CCD 19c constitutes a confocal optical system, the optical unit 80 corresponds to the optical unit, the optical system mounting unit 50 corresponds to the optical system mounting unit, and indirect mounting. The part 60 corresponds to an indirect attachment part.
【００６４】図９（ａ），（ｂ）は図１の共焦点顕微鏡
１００に使用される第１のスペーサを示すそれぞれ平面
図および側面図である。FIGS. 9A and 9B are a plan view and a side view, respectively, showing the first spacer used in the confocal microscope 100 of FIG.
【００６５】図９（ａ），（ｂ）に示すように、第１の
スペーサ９０は、間接取り付け部６０と接合される取り
付け部９０ａ、台座７０と接合される底板部９０ｂ、お
よび取り付け部９０ａと底板部９０ｂとの間に設けられ
た支持部９０ｃからなる。底板部９０ｂには、複数のね
じ穴９３および複数の貫通孔９４が設けられている。複
数のねじ穴９３および複数の貫通孔９４は、図５に示す
台座７０の複数の貫通孔７２および複数のねじ穴７４に
対応する。As shown in FIGS. 9A and 9B, the first spacer 90 includes a mounting portion 90a connected to the indirect mounting portion 60, a bottom plate portion 90b connected to the pedestal 70, and a mounting portion 90a. And a support portion 90c provided between the bottom plate portion 90b and the bottom plate portion 90b. A plurality of screw holes 93 and a plurality of through holes 94 are provided in the bottom plate portion 90b. The plurality of screw holes 93 and the plurality of through holes 94 correspond to the plurality of through holes 72 and the plurality of screw holes 74 of the pedestal 70 shown in FIG.
【００６６】第１のスペーサ９０の取り付け部９０ａに
は、複数の貫通孔９１，９２がそれぞれ設けられてい
る。複数の貫通孔９１は、図５に示す間接取り付け部６
０の底板部６０ｂの複数のねじ穴６２，６３に対応す
る。また、複数の貫通孔９２は、図５に示す間接取り付
け部６０の背板部６０ａおよび底板部６０ｂの複数のね
じ穴６５に対応する。A plurality of through holes 91 and 92 are provided in the mounting portion 90a of the first spacer 90, respectively. The plurality of through holes 91 are provided in the indirect mounting portion 6 shown in FIG.
0 corresponds to the plurality of screw holes 62 and 63 of the bottom plate portion 60b. Further, the plurality of through holes 92 correspond to the plurality of screw holes 65 of the back plate portion 60a and the bottom plate portion 60b of the indirect mounting portion 60 shown in FIG.
【００６７】図１０は図１の共焦点顕微鏡１００におけ
る第１のスペーサ９０の使用例を示す側面図である。FIG. 10 is a side view showing an example of use of the first spacer 90 in the confocal microscope 100 of FIG.
【００６８】図１０に示すように、台座７０の凹部１７
０上に第１のスペーサ９０を載置し、ボルト８２，８４
により第１のスペーサ９０を台座７０に固定する。ま
た、第１のスペーサ９０の取り付け部９０ａ上に、光学
系搭載部５０と一体化した間接取り付け部６０を載置す
る。ボルト８５を第１のスペーサ９０の貫通孔９１を通
して間接取り付け部６０のねじ穴６２，６３と螺合させ
ることにより、光学系搭載部５０および間接取り付け部
６０を第１のスペーサ９０を介して台座７０に固定す
る。これにより、対物レンズ１７ａと図１の支持台３０
との間の距離が長くなり、高さ寸法の大きい対象物を観
察することが可能となる。As shown in FIG. 10, the recess 17 of the pedestal 70
0, the first spacer 90 is placed thereon, and the bolts 82, 84
Thus, the first spacer 90 is fixed to the base 70. Further, the indirect mounting portion 60 integrated with the optical system mounting portion 50 is mounted on the mounting portion 90a of the first spacer 90. By screwing the bolt 85 through the through hole 91 of the first spacer 90 and the screw holes 62 and 63 of the indirect mounting part 60, the optical system mounting part 50 and the indirect mounting part 60 are pedestal via the first spacer 90. Fix to 70. Thereby, the objective lens 17a and the support 30 of FIG.
Becomes longer, and an object having a large height dimension can be observed.
【００６９】図１１は図１の共焦点顕微鏡１００におけ
る第１のスペーサ９０の他の使用例を示す側面図であ
る。FIG. 11 is a side view showing another example of use of the first spacer 90 in the confocal microscope 100 of FIG.
【００７０】図１１に示すように、間接取り付け部６０
および光学系搭載部５０を、前後逆にした状態でボルト
８５により第１のスペーサ９０に固定する。これによ
り、対物レンズ１７ａが台座７０の後方に位置し、高さ
寸法のさらに大きい対象物を観察することができる。As shown in FIG.
Then, the optical system mounting unit 50 is fixed to the first spacer 90 with the bolt 85 in a state where the optical system mounting unit 50 is turned upside down. Thereby, the objective lens 17a is located behind the pedestal 70, and an object having a larger height dimension can be observed.
【００７１】図１２は図１の共焦点顕微鏡１００におけ
る第１のスペーサ９０のさらに他の使用例を示す平面
図、図１３は図１２の側面図である。FIG. 12 is a plan view showing another example of use of the first spacer 90 in the confocal microscope 100 of FIG. 1, and FIG. 13 is a side view of FIG.
【００７２】図１２および図１３に示すように、光学系
搭載部５０および間接取り付け部６０を側面を下にして
第１のスペーサ９０上に載置し、間接取り付け部６０の
複数のねじ穴６５を第１のスペーサ９０の複数の貫通孔
９２（図９）に位置決めした後、複数のボルト８６によ
り第１のスペーサ９０に固定する。この場合、対物レン
ズ１７ａが側方を向き、側方にある対象物を観察するこ
とができる。As shown in FIGS. 12 and 13, the optical system mounting portion 50 and the indirect mounting portion 60 are mounted on the first spacer 90 with the side face down, and a plurality of screw holes 65 of the indirect mounting portion 60 are provided. Is positioned in the plurality of through holes 92 (FIG. 9) of the first spacer 90, and is fixed to the first spacer 90 by the plurality of bolts 86. In this case, the objective lens 17a faces the side, and the object on the side can be observed.
【００７３】図１４（ａ），（ｂ）は図１の共焦点顕微
鏡１００に使用される第２のスペーサを示すそれぞれ正
面図および側面図である。FIGS. 14A and 14B are a front view and a side view showing the second spacer used in the confocal microscope 100 of FIG. 1, respectively.
【００７４】図１４（ａ），（ｂ）に示すように、第２
のスペーサ１１０は、間接取り付け部６０と接合される
取り付け部１１０ａ、台座７０と接合される底板部１１
０ｂ、および取り付け部１１０ａと底板部１１０ｂとの
間に設けられた支持部１１０ｃからなる。底板部１１０
ｂには、複数のねじ穴１１５および複数の貫通孔１１６
が設けられている。複数のねじ穴１１５および複数の貫
通孔１１６は、図５に示す間接取り付け部６０の複数の
貫通孔７２および複数のねじ穴７４にそれぞれ対応す
る。As shown in FIGS. 14A and 14B, the second
The spacer 110 has an attachment portion 110a joined to the indirect attachment portion 60 and a bottom plate portion 11 joined to the pedestal 70.
0b, and a support portion 110c provided between the attachment portion 110a and the bottom plate portion 110b. Bottom plate 110
b has a plurality of screw holes 115 and a plurality of through holes 116.
Is provided. The plurality of screw holes 115 and the plurality of through holes 116 respectively correspond to the plurality of through holes 72 and the plurality of screw holes 74 of the indirect mounting portion 60 shown in FIG.
【００７５】取り付け部１１０ａは、１対の側方板１１
１および後方板１１２を有する。後方板１１２には、複
数の貫通孔１１４が設けられている。また、１対の側方
板１１１のそれぞれには、複数の貫通孔１１３が設けら
れている。後方板１１２の複数の貫通孔１１４は、図３
に示す間接取り付け部６０の複数のねじ穴６６に対応す
る。また、側方板１１１の複数の貫通孔１１３は、図１
に示す間接取り付け部６０の背板部６０ａに設けられた
複数のねじ穴６５に対応する。The mounting portion 110a is a pair of side plates 11
1 and a rear plate 112. A plurality of through holes 114 are provided in the rear plate 112. A plurality of through holes 113 are provided in each of the pair of side plates 111. The plurality of through holes 114 of the rear plate 112 are
And a plurality of screw holes 66 of the indirect mounting portion 60 shown in FIG. Further, the plurality of through holes 113 of the side plate 111 are
And a plurality of screw holes 65 provided in the back plate portion 60a of the indirect mounting portion 60 shown in FIG.
【００７６】図１５は図１の共焦点顕微鏡１００におけ
る第２のスペーサ１１０の使用例を示す側面図である。FIG. 15 is a side view showing an example of use of the second spacer 110 in the confocal microscope 100 of FIG.
【００７７】図１５に示すように、台座７０の凹部１７
０上に第２のスペーサ１１０を載置し、ボルト８２，８
４により第２のスペーサ１１０を台座７０に固定する。
光学系搭載部５０および間接取り付け部６０を、上下逆
にして、図１の間接取り付け部６０の背板部６０ａの側
面の複数のねじ穴６５を図１４（ａ），（ｂ）に示す第
２のスペーサ１１０の貫通孔１１３に位置決めし、図３
における間接取り付け部６０の背板部６０ａのねじ穴６
６を第２のスペーサ１１０の後方板１１２の貫通孔１１
４に位置決めし、ボルト１１７，１１８により第２のス
ペーサ１１０に固定する。この場合、対物レンズ１７ａ
が上方を向き、上方にある対象物を観察することができ
る。As shown in FIG. 15, the concave portion 17 of the pedestal 70
0, the second spacer 110 is placed thereon, and the bolts 82, 8
4 fixes the second spacer 110 to the base 70.
The optical system mounting part 50 and the indirect mounting part 60 are turned upside down, and the plurality of screw holes 65 on the side surface of the back plate part 60a of the indirect mounting part 60 in FIG. 2 is positioned in the through hole 113 of the spacer 110, and FIG.
Screw hole 6 of the back plate portion 60a of the indirect mounting portion 60 in FIG.
6 is the through hole 11 of the rear plate 112 of the second spacer 110.
4 and fixed to the second spacer 110 by bolts 117 and 118. In this case, the objective lens 17a
Faces upward, and an object located above can be observed.
【００７８】図１６は図１の共焦点顕微鏡１００に使用
するカバーの一例を示す側面図である。FIG. 16 is a side view showing an example of a cover used for the confocal microscope 100 of FIG.
【００７９】図１６に示すように、カバー９５は、前方
カバー部９５ａおよび後方カバー部９５ｂからなる。前
方カバー部９５ａには複数の貫通孔９７ａが設けられて
いる。後方カバー部９５ｂには、複数の貫通孔９６、複
数のねじ穴９７ｂ、段差部９５ｃおよびコネクタ窓９５
ｄが設けられている。複数の貫通孔９６は、図１に示す
間接取り付け部６０の側板部６０ｃの複数のねじ穴６８
に対応する。段差部９５ｃは前方カバー部９５ａ内に挿
入される。As shown in FIG. 16, the cover 95 includes a front cover 95a and a rear cover 95b. The front cover part 95a is provided with a plurality of through holes 97a. The rear cover part 95b has a plurality of through holes 96, a plurality of screw holes 97b, a step part 95c, and a connector window 95.
d is provided. The plurality of through holes 96 are formed in the plurality of screw holes 68 of the side plate portion 60c of the indirect mounting portion 60 shown in FIG.
Corresponding to The step 95c is inserted into the front cover 95a.
【００８０】前方カバー部９５ａの複数の貫通孔９７ａ
は、後方カバー部９５ｂの複数のねじ穴９７ｂに対応す
る。また、前方部９５ａおよび後方部９５ｂの外形寸法
は、図１に示す光学系搭載部５０および間接取り付け部
６０の側板部６０ｃを覆うように設定される。A plurality of through holes 97a in the front cover 95a
Corresponds to the plurality of screw holes 97b of the rear cover part 95b. The outer dimensions of the front part 95a and the rear part 95b are set so as to cover the optical system mounting part 50 and the side plate part 60c of the indirect mounting part 60 shown in FIG.
【００８１】図１７は図１の共焦点顕微鏡１００にカバ
ー９５を取り付けた状態を示す側面図である。FIG. 17 is a side view showing a state where the cover 95 is attached to the confocal microscope 100 of FIG.
【００８２】図１７に示すように、カバー９５は、前方
カバー部９５ａと後方カバー部９５ｂとがねじ８７によ
り一体化された状態で、ねじ８８により間接取り付け部
６０に固定される。このように、カバー９５は間接取り
付け部６０に固定されるため、カバー９５に外力が加わ
っても光学系搭載部５０には直接力が伝わらない。これ
により、光学系搭載部５０に搭載される光学部品の位置
ずれをもたらさない。As shown in FIG. 17, the cover 95 is fixed to the indirect mounting portion 60 by screws 88 with the front cover portion 95a and the rear cover portion 95b integrated by screws 87. As described above, since the cover 95 is fixed to the indirect mounting portion 60, even if an external force is applied to the cover 95, no direct force is transmitted to the optical system mounting portion 50. Thus, the optical components mounted on the optical system mounting unit 50 do not shift in position.
【００８３】図１８（ａ），（ｂ）は持ち運び治具が取
り付けられた光学部８０のそれぞれ平面図および側面図
である。FIGS. 18A and 18B are a plan view and a side view, respectively, of the optical section 80 to which the carrying jig is attached.
【００８４】なお、図１８では、間接取り付け部８０と
一体化した光学系搭載部５０の図示を省略している。In FIG. 18, the illustration of the optical system mounting section 50 integrated with the indirect mounting section 80 is omitted.
【００８５】図１８（ａ），（ｂ）に示すように、持ち
運び治具６６はコの字形に形成されている。持ち運び治
具６６は、光学部８０を台座７０から分離して持ち運ぶ
際に用いられる。持ち運び治具６６の両端部には、それ
ぞれ貫通孔（図示せず）が設けられており、それぞれの
貫通孔は、図５に示す間接取り付け部６０の１対のねじ
穴６７に対応している。それにより、持ち運び治具６６
をボルト８９により間接取り付け部６０に取り付けるこ
とができる。As shown in FIGS. 18A and 18B, the carrying jig 66 is formed in a U-shape. The carrying jig 66 is used when the optical unit 80 is separated from the pedestal 70 and carried. Each end of the carrying jig 66 is provided with a through hole (not shown), and each through hole corresponds to a pair of screw holes 67 of the indirect mounting portion 60 shown in FIG. . Thereby, the carrying jig 66
Can be attached to the indirect attachment portion 60 with the bolt 89.
【００８６】光学部８０を運ぶ際には、持ち運び治具６
６および間接取り付け部６０の凹部６９を持つことによ
り、光学系搭載部５０に力が加わることが防止される。
これにより、光学系搭載部５０に搭載される光学部品の
位置ずれをもたらさない。When carrying the optical section 80, the carrying jig 6
6 and the concave portion 69 of the indirect mounting portion 60 prevent a force from being applied to the optical system mounting portion 50.
Thus, the optical components mounted on the optical system mounting unit 50 do not shift in position.
【００８７】上記のように、本実施例の共焦点顕微鏡１
００では、間接取り付け部６０が台座７０に着脱可能に
取り付けられているため、光学系搭載部５０および間接
取り付け部６０を台座７０から取り外すことが可能とな
る。間接取り付け部６０を台座７０に取り付けた場合に
は、支持台３０上に支持された対象物を安定した状態で
観察することができる。また、台座７０と間接取り付け
部６０との間に第１のスペーサ９０または第２のスペー
サ１１０を挿入することにより、寸法の大きな対象物を
安定な状態で観察することができる。さらに、間接取り
付け部６０と台座７０との間に第１のスペーサ９０また
は第２のスペーサ１１０を挿入するとともに間接取り付
け部６０の向きを変えることにより、任意の位置にある
さらに寸法の大きな対象物を安定な状態で観察すること
ができる。As described above, the confocal microscope 1 of the present embodiment
In 00, since the indirect mounting portion 60 is detachably mounted on the pedestal 70, the optical system mounting portion 50 and the indirect mounting portion 60 can be removed from the pedestal 70. When the indirect attachment portion 60 is attached to the pedestal 70, the object supported on the support 30 can be observed in a stable state. Further, by inserting the first spacer 90 or the second spacer 110 between the pedestal 70 and the indirect mounting portion 60, an object having a large dimension can be observed in a stable state. Further, by inserting the first spacer 90 or the second spacer 110 between the indirect mounting portion 60 and the pedestal 70 and changing the orientation of the indirect mounting portion 60, an object having a larger size at an arbitrary position can be obtained. Can be observed in a stable state.
【００８８】また、間接取り付け部６０を台座７０から
取り外した場合、任意の寸法を有しかつ任意の位置にあ
る対象物を観察することができる。この場合、種々の治
具を用いて間接取り付け部６０を固定することにより、
安定な状態で対象物を観察することができる。このよう
に、対象物を支持する機能を有しかつ対象物の寸法の制
限を容易に緩和することが可能な共焦点顕微鏡が実現さ
れる。When the indirect mounting portion 60 is detached from the pedestal 70, an object having an arbitrary size and at an arbitrary position can be observed. In this case, by fixing the indirect mounting portion 60 using various jigs,
An object can be observed in a stable state. As described above, a confocal microscope having a function of supporting an object and capable of easily relaxing the size limitation of the object is realized.
【００８９】さらに、光学系搭載部５０は、間接取り付
け部６０を介して台座７０に間接的に取り付けられるた
め、台座７０に加わる外力が光学系搭載部５０に直接伝
わず、光学系搭載部５０に搭載される光学部品の位置ず
れをもたらさない。Further, since the optical system mounting section 50 is indirectly mounted on the pedestal 70 via the indirect mounting section 60, external force applied to the pedestal 70 is not directly transmitted to the optical system mounting section 50, and the optical system mounting section 50 is not mounted. It does not cause the displacement of the optical components mounted on the device.
【００９０】図１９（ａ）は図１の共焦点顕微鏡１００
に使用される第３のスペーサを構成する上板の平面図、
図１９（ｂ）は図１９（ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。
図２０（ａ）は図１の共焦点顕微鏡１００に使用される
第３のスペーサを構成する中板の平面図、図２０（ｂ）
は図２０（ａ）のＹ−Ｙ線断面図である。図２１（ａ）
は図１の共焦点顕微鏡１００に使用される第３のスペー
サを構成する下板の平面図、図２１（ｂ）は図２１
（ａ）のＺ−Ｚ線断面図である。FIG. 19A shows the confocal microscope 100 of FIG.
Plan view of an upper plate constituting a third spacer used for
FIG. 19B is a cross-sectional view taken along line XX of FIG.
FIG. 20A is a plan view of a middle plate constituting a third spacer used in the confocal microscope 100 of FIG. 1, and FIG.
FIG. 21 is a sectional view taken along line YY of FIG. FIG. 21 (a)
FIG. 21B is a plan view of a lower plate constituting a third spacer used in the confocal microscope 100 of FIG. 1, and FIG.
It is a ZZ line sectional view of (a).
【００９１】第３のスペーサは図１９の上板２１０、図
２０の中板２２０および図２１の下板２３０を積層する
ことにより構成される。図２１の中板２２０は任意の枚
数使用することができる。The third spacer is formed by laminating the upper plate 210 of FIG. 19, the middle plate 220 of FIG. 20, and the lower plate 230 of FIG. Any number of the middle plates 220 in FIG. 21 can be used.
【００９２】図１９に示すように、上板２１０の対向す
る２辺の近傍には１対の貫通孔２１１および１対のねじ
孔２１２が設けられている。上板２１０の上記２辺から
所定距離内側の位置には１対のねじ孔２１３および１対
の貫通孔２１４が設けられている。また、上板２１０の
裏面の中央部には上記２辺に平行に延びる溝２１６が形
成され、溝２１６に対応する上板２１０の上面の位置に
は複数の突起２１５が形成されている。As shown in FIG. 19, a pair of through holes 211 and a pair of screw holes 212 are provided near two opposing sides of the upper plate 210. A pair of screw holes 213 and a pair of through holes 214 are provided at positions inside the upper plate 210 at a predetermined distance from the two sides. A groove 216 extending parallel to the two sides is formed at the center of the back surface of the upper plate 210, and a plurality of protrusions 215 are formed at positions on the upper surface of the upper plate 210 corresponding to the grooves 216.
【００９３】図２０に示すように、中板２２０の対向す
る２辺の近傍には２対の貫通孔２２１，２２２が設けら
れている。また、中板２２０の裏面の中央部には上記２
辺に平行に延びる溝２２４が形成され、溝２２４に対応
する中板２２０の上面の位置には複数の突起２２３が形
成されている。As shown in FIG. 20, two pairs of through holes 221 and 222 are provided near two opposing sides of the middle plate 220. In addition, the above-mentioned 2
A groove 224 extending parallel to the side is formed, and a plurality of protrusions 223 are formed at positions on the upper surface of the middle plate 220 corresponding to the groove 224.
【００９４】図２１に示すように、下板２３０は上板２
１０および中板２２０よりも長く形成されている。下板
２３０の対向する２辺の近傍には１対の貫通孔２３１、
２対のねじ孔２３２，２３３および１対の貫通孔２３４
が設けられている。下板２３０の上記２辺から所定距離
内側の位置には２対の貫通孔２３５，２３６、３対のね
じ孔２３７，２３８，２３９および１対の貫通孔２４０
が設けられている。また、下板２３０の裏面の中央部に
は上記２辺に平行に延びる溝２４２が形成され、溝２４
２に対応する下板２３０の上面の位置には複数の突起２
４１が形成されている。As shown in FIG. 21, the lower plate 230 is
10 and the middle plate 220 are formed longer. A pair of through holes 231 is provided near two opposing sides of the lower plate 230,
Two pairs of screw holes 232 and 233 and a pair of through holes 234
Is provided. Two pairs of through holes 235, 236, three pairs of screw holes 237, 238, 239 and a pair of through holes 240
Is provided. A groove 242 extending parallel to the two sides is formed at the center of the back surface of the lower plate 230.
In the position of the upper surface of the lower plate 230 corresponding to
41 are formed.
【００９５】中板２２０の貫通孔２２１と貫通孔２２２
との間の距離は上板２１０の貫通孔２１１とねじ孔２１
２との間の距離に等しい。また、下板２３０の貫通孔２
３１とねじ孔２３３との距離およびねじ孔２３２と貫通
孔２３４との間の距離は上板２１０の貫通孔２１１とね
じ孔２１２との間の距離に等しい。The through hole 221 and the through hole 222 of the middle plate 220
Between the through hole 211 of the upper plate 210 and the screw hole 21.
Equal to the distance between two. Also, the through hole 2 of the lower plate 230
The distance between 31 and screw hole 233 and the distance between screw hole 232 and through hole 234 are equal to the distance between through hole 211 and screw hole 212 of upper plate 210.
【００９６】上板２１０のねじ孔２１３と貫通孔２１４
との間の距離は図５の光学部８０の凹部６９内の貫通孔
６４とねじ穴６２との間の距離に等しい。下板２３０の
貫通孔２３５とねじ孔２３８との間の距離および貫通孔
２３６とねじ孔２３９との間の距離は図５の台座７０の
ねじ穴７４と貫通孔７２との間の距離に等しい。また、
下板２３０のねじ孔２３７と貫通孔２４０との間の距離
は図５の光学部８０の凹部６９内の貫通孔６４とねじ穴
６２との間の距離に等しい。The screw hole 213 and the through hole 214 of the upper plate 210
Is equal to the distance between the through hole 64 and the screw hole 62 in the concave portion 69 of the optical section 80 in FIG. The distance between the through hole 235 and the screw hole 238 of the lower plate 230 and the distance between the through hole 236 and the screw hole 239 are equal to the distance between the screw hole 74 and the through hole 72 of the pedestal 70 in FIG. . Also,
The distance between the screw hole 237 of the lower plate 230 and the through hole 240 is equal to the distance between the through hole 64 and the screw hole 62 in the concave portion 69 of the optical unit 80 in FIG.
【００９７】上板２１０、中板２２０および下板２３０
を積層すると、下板２３０の上面の突起２４１が中板２
２０の裏面の溝２２４に嵌合し、中板２２０の上面の突
起２２３が上板２１０の裏面の溝２１６に嵌合する。こ
れにより、上板２１０、中板２２０および下板２３０が
正確に位置決めされる。Upper plate 210, middle plate 220 and lower plate 230
Are stacked, the protrusion 241 on the upper surface of the lower plate 230 is
The projection 223 on the upper surface of the middle plate 220 fits into the groove 216 on the rear surface of the upper plate 210. Thereby, the upper plate 210, the middle plate 220, and the lower plate 230 are accurately positioned.
【００９８】図２２は図１の共焦点顕微鏡１００におけ
る第３のスペーサの第１の使用例を示す分解斜視図、図
２３は図１の共焦点顕微鏡１００における第３のスペー
サの第１の使用例を示す斜視図である。FIG. 22 is an exploded perspective view showing a first use example of the third spacer in the confocal microscope 100 of FIG. 1, and FIG. 23 is a first use of the third spacer in the confocal microscope 100 of FIG. It is a perspective view showing an example.
【００９９】図２２に示すように、ボルトを光学部８０
の凹部６９内の貫通孔６４（図５参照）を通して上板２
１０のねじ孔２１３に螺合させるとともに、上板２１０
の裏面側から貫通孔２１４を通してボルトを光学部８０
のねじ穴６２（図５参照）に螺合させることにより、上
板２１０を光学部８０に取り付ける。また、下板２３０
の上面側から貫通孔２３６を通してボルトを台座７０の
ねじ穴７４に螺合させるとともに、台座７０の裏面側か
ら貫通孔７２を通してボルトを下板２３０のねじ孔２３
９に螺合させることにより、下板２３０の前方側を台座
７０に取り付ける。さらに、上板２１０の上面側から貫
通孔２１１および２枚の中板２２０の貫通孔２２１を通
してボルトを下板２３０のねじ孔２３２に螺合させると
ともに、下板２３０の裏面側から貫通孔２３４および中
板２２０の貫通孔２２２を通してボルトを上板２１０の
ねじ孔２１２に螺合させることにより、上板２１０、中
板２２０および下板２３０を固定する。As shown in FIG. 22, the bolt is
Through the through hole 64 (see FIG. 5) in the recess 69 of the upper plate 2
10 and the upper plate 210
A bolt is passed through the through hole 214 from the back side of the
The upper plate 210 is attached to the optical unit 80 by screwing into the screw holes 62 (see FIG. 5). Also, the lower plate 230
A bolt is screwed into the screw hole 74 of the pedestal 70 through the through hole 236 from the upper surface side of the base plate, and the bolt is screwed into the screw hole 23 of the lower plate 230 through the through hole 72 from the back surface side of the pedestal 70.
9, the front side of the lower plate 230 is attached to the pedestal 70. Further, bolts are screwed into the screw holes 232 of the lower plate 230 through the through holes 211 and the through holes 221 of the two middle plates 220 from the upper surface side of the upper plate 210, and the through holes 234 and The upper plate 210, the middle plate 220, and the lower plate 230 are fixed by screwing bolts into the screw holes 212 of the upper plate 210 through the through holes 222 of the middle plate 220.
【０１００】これにより、図２３に示すように、台座７
０上に下板２３０の前方側が取り付けられ、下板２３０
上の前方側に２枚の中板２２０および上板２１０を介し
て光学部８０が取り付けられる。As a result, as shown in FIG.
0, the front side of the lower plate 230 is attached.
The optical section 80 is attached to the upper front side via two middle plates 220 and an upper plate 210.
【０１０１】図２３の例では、支持台３０と対物レンズ
１７ａとの間の距離Ｈ１を長くすることができる。それ
により、支持台３０上に高さの高い対象物を支持して観
察することができる。In the example shown in FIG. 23, the distance H1 between the support 30 and the objective lens 17a can be increased. Thereby, a tall object can be supported and observed on the support base 30.
【０１０２】図２４は図１の共焦点顕微鏡１００におけ
る第３のスペーサの第２の使用例を示す側面図である。FIG. 24 is a side view showing a second use example of the third spacer in the confocal microscope 100 of FIG.
【０１０３】図２４の例では、台座７０上に下板２３０
の後方側を取り付け、下板２３０上の前方側に２枚の中
板２２０および上板２１０を介して光学部８０を取り付
けている。この場合、下板２３０の上面側から貫通孔２
３５を通してボルトを台座７０のねじ穴７４に螺合させ
るとともに、台座７０の裏面側から貫通孔７２を通して
ボルトを下板２３０のねじ孔２３８に螺合させることに
より、台座７０上に下板２３０の後方側を取り付ける。
光学部８０への上板２１０の取り付け方法および上板２
１０、中板２２０および下板２３０の固定方法は、図２
２および図２３の例と同様である。In the example of FIG. 24, the lower plate 230
The optical unit 80 is attached to the front side of the lower plate 230 via two middle plates 220 and the upper plate 210. In this case, the through holes 2 are formed from the upper surface side of the lower plate 230.
The bolt is screwed into the screw hole 74 of the pedestal 70 through 35 and the bolt is screwed into the screw hole 238 of the lower plate 230 through the through hole 72 from the back side of the pedestal 70, so that the lower plate 230 Install the rear side.
Method of attaching upper plate 210 to optical section 80 and upper plate 2
10, the fixing method of the middle plate 220 and the lower plate 230 is shown in FIG.
2 and the example of FIG.
【０１０４】図２４の例では、対物レンズ１７ａが支持
台３０の前方に位置する。それにより、対物レンズ７０
ａと共焦点顕微鏡１００の設置面との間に距離Ｈ２を確
保することができる。したがって、支持台３０の前方の
設置面上にさらに高さの高い対象物を設置して観察する
ことができる。In the example shown in FIG. 24, the objective lens 17a is located in front of the support 30. Thereby, the objective lens 70
A distance H2 can be ensured between a and the installation surface of the confocal microscope 100. Therefore, an object having a higher height can be installed on the installation surface in front of the support 30 and observation can be performed.
【０１０５】なお、対物レンズ１７ａの光軸と台座７０
の後方部の前面との間の距離Ｌ２は図２３の例に比べて
長くなる。この距離Ｌ２は対物レンズ１７ａの光軸と第
３のスペーサとの間の距離Ｌ１に比べて長くなる。The optical axis of the objective lens 17a and the pedestal 70
23 is longer than that in the example of FIG. This distance L2 is longer than the distance L1 between the optical axis of the objective lens 17a and the third spacer.
【０１０６】図２５は図１の共焦点顕微鏡１００におけ
る第３のスペーサの第３の使用例を示す側面図である。FIG. 25 is a side view showing a third use example of the third spacer in the confocal microscope 100 of FIG.
【０１０７】図２５の例では、台座７０上に下板２３０
の後方側を取り付け、下板２３０上の前方側に上板２１
０を介して光学部８０を取り付けている。光学部８０へ
の上板２１０の取り付け方法は図２２および図２３の例
と同様であり、台座７０への下板２３０の取り付け方法
は図２４の例と同様である。また、上板２１０および下
板２３０の固定方法は、中板２２０を挿入しない点を除
いて図２２および図２３の例と同様である。In the example of FIG. 25, the lower plate 230 is
The upper side of the upper plate 21
The optical unit 80 is attached via the “0”. The method of attaching the upper plate 210 to the optical unit 80 is the same as in the example of FIGS. 22 and 23, and the method of attaching the lower plate 230 to the pedestal 70 is the same as the example of FIG. The fixing method of the upper plate 210 and the lower plate 230 is the same as the example of FIGS. 22 and 23 except that the middle plate 220 is not inserted.
【０１０８】図２５の例では、対物レンズ１７ａの光軸
と台座７０の後方部の前面との間の距離Ｌ２が図２４の
例と同様に長くなり、かつ対物レンズ１７ａと支持台３
０との間の距離Ｈ１が図２４の例に比べて短くなる。し
たがって、支持台３０上に奥行きが長く厚さの薄い対象
物を設置して観察することができる。また、支持台３０
の前方の設置面上に高さの高い対象物を設置して観察す
ることができる。In the example shown in FIG. 25, the distance L2 between the optical axis of the objective lens 17a and the front surface of the rear part of the pedestal 70 becomes longer as in the example shown in FIG.
The distance H1 to 0 is shorter than in the example of FIG. Therefore, an object having a long depth and a small thickness can be placed on the support base 30 and observed. Also, the support 30
A tall object can be installed on the installation surface in front of the camera for observation.
【０１０９】図２６は図１の共焦点顕微鏡１００におけ
る第３のスペーサの第４の使用例を示す側面図である。FIG. 26 is a side view showing a fourth use example of the third spacer in the confocal microscope 100 of FIG.
【０１１０】図２６の例では、台座７０上に下板２３０
の前方側を取り付け、下板２３０上の後方側に２枚の中
板２２０および上板２１０を介して光学部８０を後ろ向
きに取り付けている。この場合、光学部８０への上板２
１０の取り付け方法および台座７０への下板２３０の取
り付け方法は図２２および図２３の例と同様である。下
板２３０上の後方側に２枚の中板２２０を載置し、光学
部８０に取り付けられた上板２１０を中板２２０上に図
２２および図２３の場合と逆向きに載置する。そして、
上板２１０の上面側から貫通孔２１１および中板２２０
の貫通孔２２１を通してボルトを下板２３０のねじ孔２
３３に螺合させるとともに、下板２３０の下面側から貫
通孔２３１および中板２２０の貫通孔２２１を通してボ
ルトを上板２１０のねじ孔２１２に螺合させることによ
り、上板２１０、中板２２０および下板２３０を固定す
る。In the example of FIG. 26, the lower plate 230 is
The optical unit 80 is attached to the rear side of the lower plate 230 via two middle plates 220 and the upper plate 210. In this case, the upper plate 2 to the optical unit 80
The method of attaching the lower plate 230 to the pedestal 70 and the method of attaching the lower plate 10 are the same as those in the examples of FIGS. The two middle plates 220 are placed on the rear side of the lower plate 230, and the upper plate 210 attached to the optical unit 80 is placed on the middle plate 220 in a direction opposite to that in FIGS. And
The through hole 211 and the middle plate 220
Bolt through the through hole 221 of the lower plate 230 into the screw hole 2
33, and by screwing a bolt into the screw hole 212 of the upper plate 210 through the through hole 231 and the through hole 221 of the middle plate 220 from the lower surface side of the lower plate 230, The lower plate 230 is fixed.
【０１１１】図２６の例では、対物レンズ１７ａと共焦
点顕微鏡１００の設置面との間に距離Ｈ２を確保するこ
とができる。また、対物レンズ１７ａの光軸と台座７０
の後方部の背面との間に距離Ｌ３を確保することができ
る。この距離Ｌ３は対物レンズ１７ａの光軸と第３のス
ペーサとの間の距離Ｌ１に比べて長くなる。したがっ
て、台座７０の後方に高さが高く奥行きの長い対象物を
設置して観察することができる。In the example of FIG. 26, a distance H2 can be ensured between the objective lens 17a and the installation surface of the confocal microscope 100. Also, the optical axis of the objective lens 17a and the pedestal 70
The distance L3 can be secured between the rear portion of the camera and the rear surface of the camera. This distance L3 is longer than the distance L1 between the optical axis of the objective lens 17a and the third spacer. Therefore, an object having a high height and a long depth can be set and observed behind the pedestal 70.
【０１１２】図２７は図１の共焦点顕微鏡１００におけ
る第３のスペーサの第５の使用例を示す側面図である。FIG. 27 is a side view showing a fifth usage example of the third spacer in the confocal microscope 100 of FIG.
【０１１３】図２７の例では、台座７０上に下板２３０
の前方側を取り付け、下板２３０上の後方側に上板２１
０を介して光学部８０を後ろ向きに取り付けている。こ
の場合、光学部８０への上板２１０の取り付け方法およ
び台座７０への下板２３０の取り付け方法は図２２およ
び図２３の例と同様である。上板２１０および下板２３
０の固定方法は、中板２２０を挿入しない点を除いて図
２６の例と同様である。In the example of FIG. 27, the lower plate 230 is
The upper side of the upper plate 21 is attached to the lower side of the lower plate 230.
The optical unit 80 is attached to the rear side through the “0”. In this case, the method of attaching the upper plate 210 to the optical unit 80 and the method of attaching the lower plate 230 to the pedestal 70 are the same as in the examples of FIGS. Upper plate 210 and lower plate 23
The fixing method of 0 is the same as the example of FIG. 26 except that the middle plate 220 is not inserted.
【０１１４】図２７の例では、対物レンズ１７ａと共焦
点顕微鏡１００の設置面との間の距離Ｈ２が図２６の例
に比べて短くなる。また、対物レンズ１７ａの光軸と台
座７０の後方部の背面との間に図２６と同様の距離Ｌ３
を確保することができる。したがって、台座７０の後方
に例えば球状の対象物を設置して観察することができ
る。In the example of FIG. 27, the distance H2 between the objective lens 17a and the installation surface of the confocal microscope 100 is shorter than in the example of FIG. A distance L3 between the optical axis of the objective lens 17a and the rear surface of the rear part of the pedestal 70 is the same as in FIG.
Can be secured. Therefore, for example, a spherical target object can be placed behind the pedestal 70 for observation.
【０１１５】上記のように、第３のスペーサを用いる
と、中板２２０の枚数を調整することにより、任意の高
さまたは厚さを有する対象物を容易に観察することがで
きる。また、下板２３０への上板２１０および中板２２
０の取り付け位置を変更することにより、任意の奥行き
または広さを有する対象物を容易に観察することができ
る。さらに、下板２３０に対する上板２１０の向きを逆
にして光学部８０を後ろ向きに取り付けることにより、
大型または任意の形状の対象物を容易に観察することが
できる。このように、スペーサの構造および形状を変更
することなく、種々の寸法および形状の対象物を測定す
ることができる。As described above, when the third spacer is used, an object having an arbitrary height or thickness can be easily observed by adjusting the number of the intermediate plates 220. Also, the upper plate 210 and the middle plate 22 on the lower plate 230
By changing the attachment position of 0, an object having an arbitrary depth or size can be easily observed. Furthermore, by mounting the optical unit 80 backward by reversing the direction of the upper plate 210 with respect to the lower plate 230,
A large or arbitrary shaped object can be easily observed. In this way, objects of various dimensions and shapes can be measured without changing the structure and shape of the spacer.
【０１１６】第３のスペーサは簡単な板状の上板２１
０、中板２２０および下板２３０により構成されている
ので、安価に製造することができる。The third spacer is a simple plate-like upper plate 21.
0, the middle plate 220 and the lower plate 230 can be manufactured at low cost.
【０１１７】また、第３のスペーサは板状の上板２１
０、中板２２０および下板２３０の積層構造を有するの
で、経時変化による寸法の変化および強度の低下が小さ
く、かつ耐振動性が高い。したがって、長期間にわたっ
て安定かつ正確な測定ができる。The third spacer is a plate-like upper plate 21.
0, the middle plate 220 and the lower plate 230 have a laminated structure, so that a change in dimensions and a decrease in strength due to a change with time are small, and vibration resistance is high. Therefore, stable and accurate measurement can be performed over a long period of time.
【０１１８】さらに、上板２１０を光学部８０に取り付
けるためにボルトを締めたときの歪みが台座７０に加わ
らず、かつ台座７０に下板２３０を取り付けるためにボ
ルトを締めたときの歪みが光学部８０に加わらない。し
たがって、光学系の歪みが低減され、安定かつ高精度な
測定が可能となる。Furthermore, the distortion when tightening the bolts for attaching the upper plate 210 to the optical section 80 does not apply to the pedestal 70, and the distortion when tightening the bolts for attaching the lower plate 230 to the pedestal 70 is an optical distortion. It does not join the part 80. Therefore, distortion of the optical system is reduced, and stable and highly accurate measurement can be performed.
【図１】本発明の一実施例における共焦点顕微鏡の側面
図である。FIG. 1 is a side view of a confocal microscope according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１の共焦点顕微鏡の正面図である。FIG. 2 is a front view of the confocal microscope of FIG.
【図３】図１の共焦点顕微鏡の背面図である。FIG. 3 is a rear view of the confocal microscope of FIG. 1;
【図４】図１の共焦点顕微鏡の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the confocal microscope of FIG.
【図５】図１の共焦点顕微鏡の光学系搭載部、間接取り
付け部および台座の組立構造を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing an assembly structure of an optical system mounting unit, an indirect mounting unit, and a pedestal of the confocal microscope of FIG. 1;
【図６】図１の共焦点顕微鏡の光学系搭載部に搭載され
る光学系の一例を示す概略構成図である。6 is a schematic configuration diagram illustrating an example of an optical system mounted on an optical system mounting section of the confocal microscope in FIG.
【図７】図１の共焦点顕微鏡の光学系搭載部に搭載され
る光学系の他の例を示す概略構成図およびレーザ光の走
査方向を説明するための図である。7 is a schematic configuration diagram illustrating another example of an optical system mounted on the optical system mounting portion of the confocal microscope in FIG. 1 and a diagram for explaining a scanning direction of laser light.
【図８】図１の共焦点顕微鏡の光学系搭載部に搭載され
る光学系のさらに他の例を示す概略構成図である。8 is a schematic configuration diagram showing still another example of the optical system mounted on the optical system mounting unit of the confocal microscope in FIG.
【図９】図１の共焦点顕微鏡に使用される第１のスペー
サを示すそれぞれ平面図および側面図である。9 is a plan view and a side view showing a first spacer used in the confocal microscope of FIG. 1, respectively.
【図１０】図１の共焦点顕微鏡における第１のスペーサ
の使用例を示す側面図である。FIG. 10 is a side view showing an example of use of a first spacer in the confocal microscope of FIG. 1;
【図１１】図１の共焦点顕微鏡における第１のスペーサ
の他の使用例を示す側面図である。FIG. 11 is a side view showing another example of use of the first spacer in the confocal microscope of FIG. 1;
【図１２】図１の共焦点顕微鏡における第１のスペーサ
のさらに他の使用例を示す平面図である。FIG. 12 is a plan view showing still another usage example of the first spacer in the confocal microscope of FIG. 1;
【図１３】図１２の側面図である。FIG. 13 is a side view of FIG.
【図１４】図１の共焦点顕微鏡に使用される第２のスペ
ーサを示すそれぞれ正面図および側面図である。FIG. 14 is a front view and a side view showing a second spacer used in the confocal microscope of FIG. 1, respectively.
【図１５】図１の共焦点顕微鏡における第２のスペーサ
の使用例を示す側面図である。FIG. 15 is a side view showing an example of use of a second spacer in the confocal microscope of FIG. 1;
【図１６】図１の共焦点顕微鏡に適用するカバーの一例
を示す側面図である。FIG. 16 is a side view showing an example of a cover applied to the confocal microscope of FIG.
【図１７】図１の共焦点顕微鏡にカバーを取り付けた状
態を示す側面図である。FIG. 17 is a side view showing a state where a cover is attached to the confocal microscope of FIG. 1;
【図１８】持ち運び治具が取り付けられた光学部のそれ
ぞれ平面図および側面図である。FIG. 18 is a plan view and a side view of an optical unit to which a carrying jig is attached.
【図１９】図１の共焦点顕微鏡に使用される第３のスペ
ーサを構成する上板の平面図およびＸ−Ｘ線断面図であ
る。FIG. 19 is a plan view and a sectional view taken along line XX of an upper plate constituting a third spacer used in the confocal microscope of FIG. 1;
【図２０】図１の共焦点顕微鏡に使用される第３のスペ
ーサを構成する中板の平面図およびＹ−Ｙ線断面図であ
る。FIG. 20 is a plan view and a cross-sectional view taken along line YY of a middle plate constituting a third spacer used in the confocal microscope of FIG. 1;
【図２１】図１の共焦点顕微鏡に使用される第３のスペ
ーサを構成する下板の平面図およびＺ−Ｚ線断面図であ
る。FIG. 21 is a plan view and a cross-sectional view taken along line ZZ of a lower plate constituting a third spacer used in the confocal microscope of FIG. 1;
【図２２】図１の共焦点顕微鏡における第３のスペーサ
の第１の使用例を示す分解斜視図である。FIG. 22 is an exploded perspective view showing a first usage example of a third spacer in the confocal microscope of FIG. 1;
【図２３】図１の共焦点顕微鏡における第３のスペーサ
の第１の使用例を示す斜視図である。FIG. 23 is a perspective view showing a first usage example of a third spacer in the confocal microscope of FIG. 1;
【図２４】図１の共焦点顕微鏡における第３のスペーサ
の第２の使用例を示す側面図である。FIG. 24 is a side view showing a second use example of the third spacer in the confocal microscope of FIG. 1;
【図２５】図１の共焦点顕微鏡における第３のスペーサ
の第３の使用例を示す側面図である。FIG. 25 is a side view showing a third usage example of the third spacer in the confocal microscope of FIG. 1;
【図２６】図１の共焦点顕微鏡における第３のスペーサ
の第４の使用例を示す側面図である。FIG. 26 is a side view showing a fourth usage example of the third spacer in the confocal microscope of FIG. 1;
【図２７】図１の共焦点顕微鏡における第３のスペーサ
の第５の使用例を示す側面図である。FIG. 27 is a side view showing a fifth usage example of the third spacer in the confocal microscope of FIG. 1;
１ レーザ光学系 １０，１０ａ レーザ １７ 対物レンズ １９ｂ 第１の受光素子 １９ｃ 一次元ＣＣＤ ３０ 支持台 ５０ 光学系搭載部 ６０ 間接取り付け部 ７０ 台座 ８０ 光学部 ２１０ 上板 ２２０ 中板 ２３０ 下板 Reference Signs List 1 laser optical system 10, 10a laser 17 objective lens 19b first light receiving element 19c one-dimensional CCD 30 support base 50 optical system mounting unit 60 indirect mounting unit 70 pedestal 80 optical unit 210 upper plate 220 middle plate 230 lower plate
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H052 AA08 AB25 AC04 AC14 AC15 AC16 AC33 AC34 AD02 AD10 AD16 AD37 AF14 Continued on front page F-term (reference) 2H052 AA08 AB25 AC04 AC14 AC15 AC16 AC33 AC34 AD02 AD10 AD16 AD37 AF14
Claims (5)
と、 光を出射する光源および前記光源から出射された光を対
象物に集光し前記対象物からの反射光または透過光を対
物レンズを含む光学系を通して受光する受光部により共
焦点光学系を構成し、前記台座に着脱可能に取り付けら
れた光学部とを備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。1. A pedestal having a supporting portion for supporting an object, a light source for emitting light, and light emitted from the light source condensed on the object to reflect light or transmitted light from the object. A confocal microscope comprising: a confocal optical system including a light receiving unit that receives light through an optical system including a lens; and an optical unit detachably attached to the pedestal.
される前記共焦点光学系を搭載する光学系搭載部と、 前記台座に着脱可能に取り付けられるとともに前記光学
系搭載部が取り付けられる間接取り付け部とを含むこと
を特徴とする請求項１記載の共焦点顕微鏡。2. The optical unit, comprising: an optical system mounting unit for mounting the confocal optical system including the light source, the objective lens, and the light receiving unit; and the optical system being detachably attached to the pedestal. 2. The confocal microscope according to claim 1, further comprising an indirect mounting portion to which the mounting portion is mounted.
または所定の間隔保持部材を介して取り付け可能な底
面、背面、または少なくとも一方の側面を有することを
特徴とする請求項２記載の共焦点顕微鏡。3. The confocal lens according to claim 2, wherein the indirect attachment portion has a bottom surface, a back surface, or at least one side surface that can be attached to the pedestal directly or via a predetermined spacing member. microscope.
と、 光を出射する光源および前記光源から出射された光を対
象物に集光し前記対象物からの反射光または透過光を対
物レンズを含む光学系を通して受光する受光部により共
焦点光学系を構成する光学部と、 前記台座と前記光学部との間に着脱可能に挿入される間
隔保持部材とを備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。4. A pedestal having a support for supporting an object, a light source for emitting light, and light emitted from the light source condensed on the object to reflect light or transmitted light from the object. An optical unit forming a confocal optical system by a light receiving unit that receives light through an optical system including a lens, and a spacing member that is detachably inserted between the pedestal and the optical unit. Confocal microscope.
積層することにより構成されることを特徴とする請求項
４記載の共焦点顕微鏡。5. The confocal microscope according to claim 4, wherein the spacing member is formed by stacking a plurality of plate members.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11257129A JP2001027730A (en) | 1999-05-13 | 1999-09-10 | Confocal microscope |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-132484 | 1999-05-13 | ||
| JP13248499 | 1999-05-13 | ||
| JP11257129A JP2001027730A (en) | 1999-05-13 | 1999-09-10 | Confocal microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family Applications (1)
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| Country | Link |
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