JP2001024052A - 基板を縦向きに支持するグリッパ - Google Patents
基板を縦向きに支持するグリッパInfo
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Abstract
供する。 【解決手段】 基板を縦向きで支持するグリッパアセン
ブリが提供される。グリッパアセンブリのエンドエフェ
クタは、基板のエッジだけに接触する。第1の態様で
は、エンドエフェクタの各々が、第1の一対の対向面と
第2の一対の対向面とを備えており、その全てが基板へ
同時に接触して、基板をクランプ式の方法で保持する。
第2の態様では、エンドエフェクタの各々が、基板に同
時に接触する下側の一対の対向面と、基板の厚さより大
きく、基板が水平方向へ傾斜することを制限する上側の
一対の対向面と、を備える。第2の態様では、エンドエ
フェクタは、基板に接触しない第1の高さで閉じること
ができ、その後、上昇して、基板に緩く接触し、基板を
ポケット式の方法で支持することができる。
Description
設計する場合、三つの主要な関心事が優先される。すな
わち、1)基板ハンドラの信頼性、2)基板ハンドラの
パーティクル生成と基板汚染の可能性、および3)基板
ハンドラの大きさである。これらの関心事の各々は、損
傷または欠陥を有する基板に関連するコストを低減する
ことを本質的に目的としている。基板ハンドラの信頼性
向上は、基板が不適切に把持される等の場合に起り得る
基板の損傷を回避し、修理および/または再較正に伴っ
て停止時間が生じることを防ぐ。パーティクル生成を低
減することは、パーティクルが基板表面に接触するとき
に生じる欠陥の低減に役立ち、基板ハンドラの大きさを
小さくすることは、プロセスチャンバの開口を小さく
し、それによりチャンバへのパーティクル侵入の可能性
とそれによる基板汚染の可能性を低減することができ
る。
ハンドラのエンドエフェクタ表面に沿って摺動するとき
に生じる。したがって、ウェーハがエンドエフェクタ上
へ載置/ロードされた後、従来は、ピンまたは他の保持
機構が所定の位置に移動して基板を固定し、基板が移送
中にエンドエフェクタに対して摺動することを防止す
る。しかしながら、摺動とその結果生じるパーティクル
は、ローディングプロセスの一部として起こりうる。さ
らに、保持機構は、それ自体が可動部品であって、パー
ティクルを生成するおそれがあり、また、信頼性の問題
を提起して基板ハンドラのコストを増加させるおそれが
ある。さらにまた、ローディングおよび移送プロセス全
体の間、パーティクルおよび他の汚染物質が基板上に、
またはエンドエフェクタと基板との間に集まる可能性が
ある。
えた基板ハンドラに対するニーズ、特に、基板の摺動を
低減する改良型エンドエフェクタを有する基板ハンドラ
に対するニーズが存在しており、これに伴って、基板の
摺動を制御する可動部品に対するニーズも存在してい
る。このような基板ハンドラおよびエンドエフェクタ
は、能率化を図るべきであり、また、汚染物質の基板表
面との接触の可能性および/またはエンドエフェクタと
基板との間に汚染物質が捕捉される可能性を低減すべき
である。
置との間を移動するようにグリッパに動作的に連結され
る一対のフィンガーを有するグリッパアセンブリを提供
する。各フィンガーには、縦向きの基板を挟んで支持す
るエンドエフェクターが連結されている。各エンドエフ
ェクタは、第1の一対の対向面と第2の一対の対向面を
有する。各対向面対は、エンドエフェクタによって支持
された縦向き基板のエッジに同時に接触する(クランプ
型接触)か、あるいはエンドエフェクタによって支持さ
れる縦向き基板の水平方向の移動を制限する(ポケット
型接触)。対向面の各々は、好ましくは、他方に対して
移動しない。相互に対して移動しない一対の対向面は、
それが一つの部品から構成されていても二つ以上の部品
から構成されていても、本明細書では単体と呼ぶ。好ま
しくは、第1および第2対向面の双方は、ウェーハの外
周に合致するようにアールが付けられ、それにより、流
体および汚染物質が基板とエンドエフェクタの表面との
間に集まることを防止するとよい。
の両側に配置され、好ましくは、以下に説明する二つの
方法のいずれかで基板を持ち上げ、または把持する。具
体的には、クランプ型接触用に構成されたグリッパアセ
ンブリの場合では、エンドエフェクタが縦向き基板を安
定して支持できる位置へエンドエフェクタが移動させら
れる。その後、エンドエフェクタの第1および第2の一
対の対向面が基板のエッジに接触することによって基板
を支持するように、エンドエフェクタが閉じられる。
リッパアセンブリの場合では、グリッパアセンブリは、
基板のボトムエッジの最も近くに位置する二の対向面対
が基板に接触するように、単純に閉じることができる。
このほかに、ポケット型のエンドエフェクタは、エンド
エフェクタが閉位置にあるとき、基板に沿った位置であ
るが一対の対向面が基板に接触する高さよりも下の高さ
にある位置に移動することができる。この高さは、基板
の完全に下であってもよいし、基板のうち横径より下の
任意の位置であってもよい。この後、閉じたエンドエフ
ェクタ対は、エンドエフェクタの下側の対向面対が基板
のエッジを介して基板に接触し基板を支持するように上
昇させられる。ポケット型グリッパは、好ましい実施形
態の詳細な説明を参照すると明らかになるように、グリ
ッパが基板のまわりで上昇および下降することにより基
板を持ち上げ、および載置することができるので、開位
置および閉位置を有する必要がない。
的広い許容差内にあるウェーハを把持することができ、
従って、最初のロボット較正およびチャンバアライメン
トに必要な時間を低減し、また、再較正およびアライメ
ントに必要な回数と時間を低減するという点で好適であ
る。
を低減するという点で好適である。ポケット型グリッパ
は、基板の下で閉じてポケットを形成し、その後、上昇
して、基板がポケットの底に緩く接触(例えば、下側の
一対の対向面に接触)し、上側の一対の対向面が基板を
取り囲んで基板が水平方向で過度に傾斜することを防止
する。したがって、基板に印加される唯一の力は、完全
に垂直な持上げ力であり、この力は、多方向の力よりも
パーティクルの生成が少ない傾向がある。更に、垂直持
上げ力に対抗する外力が存在しないので、基板に外部対
抗力は作用せず、基板が損傷を受ける可能性は少ない。
にあるようにグリッパアセンブリが構成される場合、グ
リッパが基板の真上でなく、基板の前、後、または最も
好ましくは横に位置するようにフィンガーが曲げられて
いることが好ましい。従って、グリッパからのパーティ
クルが基板を汚染する可能性は少ない。
ェクタは、クランプ型、ポケット型いずれであろうと
も、可動部品を有さないことが好ましく、したがって安
価であり、故障しにくい。更に、可動部品がないことで
能率的な設計が可能になり、これにより、グリッパアセ
ンブリが基板を基板のエッジで把持する事実に加えて、
本発明のグリッパアセンブリが、半導体製造装置に見ら
れるような狭い開口を通じて基板を移動させることが可
能になる。
安価であり、また、グリッパアセンブリは、較正時間の
低減、パーティクル生成の低減、および基板損傷の危険
性の低減を享受するので、本発明のグリッパアセンブリ
を使用する基板ハンドラは、半導体用途に理想的に適合
する。その上、本発明のグリッパアセンブリは、基板を
縦向きに支持するので、汚染物質が基板の表面上に集ま
りにくい。更なる汚染の低減は、ウェーハの外周に合致
するようにアールが付けられたアール付きエンドエフェ
クタ面によって達成することができる。このエンドエフ
ェクタ面は、ウェーハの前面または裏面との接触を最少
限に抑え、あるいは排除することができ、ウェーハの面
取りエッジとだけ接触することができる。
以下の好適な実施形態の詳細な説明、特許請求の範囲、
および添付図面からより充分に明らかになるであろう。
センブリの第1態様のクランプ型エンドエフェクタ11
の側面斜視図である。クランプ型エンドエフェクタ11
は、自身が支持する縦向き基板のエッジに同時に接触す
る第1の一対の対向面13a−b(図2〜3)と、自身
が支持する縦向き基板に同時に接触する第2の一対の対
向面15a−bと、を備えている。第1の対向面対13
a−bと第2の対向面対15a−bは、好ましくは、最
少接触で(例えば、二つの対向する点によって)基板を
支持する溝、例えば「v」字状の溝を備えている。好ま
しくは、第1の対向面対13a−bおよび/または第2
の対向面対15a−bと基板表面との間でパーティクル
および流体汚染物質が捕捉されることを防止するため
に、図1に示されるように、第1の対向面対13a−b
と第2の対向面対15a−bは、ウェーハの外周に合致
するようにアールが付けられており、従って、ウェーハ
の前面または背面との接触を最少限に抑え、または排除
することができ、ウェーハの面取りエッジのみと接触す
ることができる。更に、第1の対向面対13a−bと第
2の対向面対15a−bは好ましくは単体であり、それ
によって可動部品を最小限に抑えることができる。
よび第2の対向面対15a−bは、基板の直径に中心合
わせされる点C(例えば、図示の構成では、点Cは基板
の横径に中心合わせされる)から同じ距離x(図1に関
しては、水平距離)および同じ距離y(図1に関して
は、垂直距離)だけ延在しているので、点Cが基板の直
径に沿って中心合わせされると(この場合、クランプ型
エンドエフェクタ11は最大の安定性を提供する)、図
2、3に示すように、第1の対向面対13a−bおよび
第2の対向面対15a−bだけが基板との接触点を提供
し、最大の安定性を与えるように、基板の直径から等距
離で基板に接触する。
タ11を使用するグリッパアセンブリ17の正面図であ
り、それぞれ開位置および閉位置におけるグリッパアセ
ンブリ17を示している。グリッパアセンブリ17はグ
リッパ19を備えており、グリッパ19には一対のフィ
ンガー21a−bが動作的に連結され、グリッパ19が
フィンガー対21a−bを開位置と閉位置との間で移動
させることができるようになっている。フィンガー対2
1a−bのうちグリッパ19と反対側の端部に連結され
るのは、一対のクランプ型エンドエフェクタ11a−b
であり、これは図1を参照して説明したように構成され
ている。クランプ型エンドエフェクタ11a−bは、第
1のエンドエフェクタ11aの第1の対向面対13a−
bと第2の対向面対15a−bがそれぞれ第2のエンド
エフェクタ11bの第1の対向面対13a−bと第2の
対向面対15a−bに対向するように、一対のフィンガ
ー21a−bに連結されている。
で移動させるグリッパは、当該技術において周知であ
り、従って、本明細書では詳細には説明しない。同様
に、フィンガー対21a−bは、はさみ連結構造で図示
されているが、開位置および閉位置を達成するために任
意の方法で連結することができる。しかし、図示のはさ
み連結構造では、開位置および閉位置におけるクランプ
型エンドエフェクタ間の距離を調整ねじ23によって容
易に調整することができる。この調整ねじは、この技術
で既知のように、スロット25内で前後に摺動すること
によりフィンガー対21a−b間の相対的な移動を制御
する。
ように構成される場合、グリッパ19は、フィンガー2
1a−bの基部を移動させて離間させ、フィンガー21
a−bの端部を移動させて離すことによって開位置をと
る。開位置では、第1の対向面対13a−bおよび第2
の対向面対15a−bが、支持する基板の直径より更に
離れて配置される(図2に示すとおり)。閉位置をとる
ためには、グリッパ19が、フィンガー対21a−bの
基部を互いに向けて移動させ、フィンガー対21a−b
の端部を互いの方向へ動かして、ある位置にする。この
位置では、第1の対向面対13a−bの各々および第2
の対向面対15a−bの各々が基板Sに接触するように
第1の対向面対13a−bおよび第2の対向面対15a
−bが配置される(図3に示すとおり)。好ましくは、
二つの第1対向面対および二つの第2対向面対のうち下
側のものは、基板Sがその直径よりも狭くなっている箇
所(例えば、基板の横径の下や、基板の縦径付近である
が縦径からずれている箇所)に位置する。従って、基板
の幅がその直径に近づくにつれて増大するという事実に
より、基板Sは、下側の対向面対(例えば、図2、3に
関しては、第1の対向面対13a−b)を通って下方へ
摺動することはできない。
れた基板ハンドラ(図示せず)は、クランプ型エンドエ
フェクタ11a−bが縦向き基板Sを安定して支持でき
る位置へグリッパアセンブリ17を移動させる。第1の
対向面対13a−bと第2の対向面対15a−bが安定
して基板Sを支持できる位置は、第1の対向面対13a
−bと第2の対向面対15a−bの特定の構成(例え
ば、第1の対向面対13a−bおよび第2の対向面対1
5a−bが延在する距離xおよびy(等距離または異な
る距離)など)に応じて異なる。しかし、クランプ型エ
ンドエフェクタ11a−bが基板Sを安定して支持でき
る位置は、好ましくは、クランプ型エンドエフェクタ1
1a−bの中心Cを基板Sの直径(例えば、図2、3に
示されるように横径)上に配置する。その後、グリッパ
アセンブリ17は、第1の対向面対13a−bおよび第
2の対向面対15a−bのそれぞれが基板Sのエッジに
接触し、それによって基板Sが支持されるような閉位置
をとる。
は、基板に対するグリッパの位置に関係なく基板を縦向
きで支持することができる。従って、図2、3を回転さ
せて様々な方向から図面を見ることによって、縦向きの
基板をそのエッジで依然として支持するグリッパアセン
ブリ17を様々な向きで見ることができる。このよう
に、図2、3のグリッパアセンブリは、様々な構成の基
板支持体との間で基板を移送することに容易に適応する
ことができる。しかしながら、ほとんどの垂直基板支持
部は、基板をその下半球に沿って支持するので、グリッ
パアセンブリ17は、エンドエフェクタ11a−bより
も高い位置にグリッパ19を有するように構成すること
が好ましい。したがって、基板汚染の可能性を低減する
ために、フィンガー21a−bは、グリッパ19を基板
Sの横(この場所では、パーティクルが基板の前面へ移
動する可能性が少ない)に配置するように曲げられる
(例えば、図2、3に示す)。それほど好ましくはない
が、フィンガー21a−bは、グリッパ19を基板Sの
前方、または好ましくは後方に配置するように曲げても
よい。
は、フラット付き基板をその向きにかかわらず取り上げ
ることができる、これは、エンドエフェクタ11a−b
の各々を、それによって把持される基板のフラット部分
の長さよりも長くなるような大きさにできるからであ
る。したがって、対向面対13a−bのなかの少なくと
も三つは、所定の時点にフラット付き基板に接触するこ
とになる。3点接触は、基板を確実に把持するために充
分である。
のポケット型態様のポケット型エンドエフェクタ31を
示す側面斜視図である。図1のクランプ型エンドエフェ
クタ11と同様に、図4のポケット型エンドエフェクタ
31は、第1および第2の一対の対向面を有している。
これは、図5、6に関しては、自身が支持する縦向き基
板Sのエッジに(例えば、二つの対向する点を介して)
同時に接触する下側の一対の対向面33a−bとして最
も良く記載されている。ポケット型グリッパアセンブリ
31は、上側の一対の対向面35a−bも備えている。
しかしながら、図4の実施形態では、上側の対向面対3
5a−bは基板Sをクランプするのでなく、下側の対向
面対33a−bによって支持される縦向き基板Sの水平
方向の移動を制限するようになっている。このため、上
側の対向面対35a−bは、ある程度の水平方向の移動
(紙面の内外への移動)を可能にするように充分に離間
して配置されている。
び上側対向面対35a−bの双方は、「v」字状の溝な
ど、基板Sの前面および背面との接触を最小限に抑える
溝を備えている。好ましくは、下側対向面対33a−b
および/または上側対向面対35a−bと基板Sとの間
にパーティクルおよび流体汚染物質が捕捉されることを
防止するために、図4に示すように、下側対向面対33
a−bおよび/または上側対向面対35a−bは、ウェ
ーハの外周に合致するようにアールが付けられ、従っ
て、ウェーハの前面または背面との接触を最少限に抑
え、または排除でき、ウェーハの面取りエッジのみと接
触することができる。更に、下側対向面対33a−bお
よび上側対向面対35a−bは好ましくは単体であり、
それによって可動部品を最小限に抑える。
35a−bが延在する距離(X2)よりも大きな水平距
離(X1)だけ延在していることが好ましい。同様に、
下側対向面対33a−bは、基板Sの横径に中心合わせ
される点Cから、上側対向面対35a−bの距離
(Y2)よりも大きな垂直距離Y1に配置されている。
フェクタ31a−bは、基板Sの狭い部分(例えば、下
側対向面対33a−bが基板Sに接触する高さより下の
部分)に沿って配置されたときに閉じることができる。
従って、エンドエフェクタ31a−bが上昇すると、上
側対向面対35a−b(これは、下側対向面対33a−
bほどには内側へ延在しない)は、図5、6を参照して
更に説明するように、基板Sに接触しないことになる。
このほかに、ポケット型エンドエフェクタは、図2、3
のクランプ型エンドエフェクタと同様に、閉位置にある
ときに下側対向面対が基板Sに接触する高さから基板S
のまわりで開閉してもよい。
タを使用するグリッパアセンブリ37の正面図であり、
それぞれ基板非接触閉位置および基板接触閉位置でのグ
リッパアセンブリを示している。ポケット型エンドエフ
ェクタ31a−bを除くと、図5、6のグリッパアセン
ブリ37は、図2、3のグリッパアセンブリ17と同一
である。したがって、その説明は、図5、6に関して繰
り返さない。
れた基板ハンドラ(図示せず)は、閉位置のとき下側対
向面対33a−bが基板Sと交差する高さよりも下の高
さへグリッパアセンブリ37を下降させる。その後、グ
リッパアセンブリ37がまだ閉じていなければ、グリッ
パアセンブリ37は、上側対向面対35a−bが基板S
のまわりで閉じるが基板Sに接触しないような閉位置を
とる(図5)。次に、基板ハンドラ(図示せず)は、グ
リッパアセンブリ37を上昇させ、グリッパアセンブリ
37が下側対向面対33a−bを基板Sに緩く接触させ
て、ポケット式の方法で基板Sを支持するようにする
(図6)。基板Sと下側対向面対33a−bとの間に作
用する力は、完全に垂直であることが好ましく、これに
よりパーティクル生成が最小限に抑えられる。基板のピ
ックアップと移送の間、上側対向面対35a−b(これ
らは、基板Sのエッジの厚さより更に離間している)
は、基板Sが水平方向で前後に傾斜しない限り、基板S
に接触しない。
リ41の正面図である。ポケット型グリッパアセンブリ
41は、グリッパ19が基板Sの横に位置するような向
きに配置されている。下部エンドエフェクタ43および
上部エンドエフェクタ45を除くと、グリッパアセンブ
リ41の残りの部分は、図1〜6と同様の部材を備えて
いる。したがって、グリッパアセンブリ41のうちグリ
ッパアセンブリ17および37と異なる点だけを、図7
を参照して説明する。具体的には、下部エンドエフェク
タ43は、第1および第2の一対の対向面33a1−
b1、33a2−b2が水平線にあるように配置される。
第1および第2対向面対33a1−b1、33a2−b
2は、両対向面が同時に基板Sと接触し、それによって
基板Sを支持するように構成されている。上部エンドエ
フェクタ45も、第1および第2の一対の対向面35a
1−b1、35a2−b2が水平線にあるように配置され
る。しかしながら、上部エンドエフェクタ45の第1お
よび第2対向面対35a1−b1、35a2−b2は、図
5、6の上側対向面対35a−bと同様に構成される。
具体的には、上部エンドエフェクタ45の第1および第
2対向面対35a1−b1、35a 1−b1は、下部エンド
エフェクタ43により支持された縦向き基板Sの水平方
向の移動を制限するようになっている。
置をとり、上部および下部エンドエフェクタ43、45
の中心点Cを基板Sの縦径に沿って配置するように移動
して、その後、図7に示すように閉じる。グリッパアセ
ンブリ41が閉じると、下部エンドエフェクタ43は、
基板Sに緩く接触して基板を基板支持体(図示せず)か
ら持ち上げ、上部エンドエフェクタ45は、その対向面
が基板Sの水平方向の移動を制限するが基板Sをクラン
プしない高さ(例えば、基板Sが水平方向で前後に移動
しない限り、対向面によって形成された溝内へエッジを
接触させるほど基板Sが挿入されない高さ)まで下降す
る。
1の各々のグリッパは、好ましくは、通常、閉位置へ
(例えば、図5に示すばね47により)付勢されてい
る。従って、グリッパアセンブリ17、37、41が基
板Sを支持している間に電源不良が発生する場合、グリ
ッパアセンブリは、閉位置を維持して、基板Sを落とさ
ない。また、各グリッパアセンブリ17、37、および
41の各々は、図8の概略側面図に示すように、グリッ
パアセンブリを昇降するための可動アーム53を有する
基板ハンドラ51へ好適に連結することができる。この
ようなウェーハハンドラは、本明細書で説明したエンド
エフェクタ、特に、ポケット型エンドエフェクタととも
に好適に使用することができる。従って、図8に示すよ
うに、グリッパはエンドエフェクタより高い位置にあ
り、フィンガーの少なくとも一つは、エンドエフェクタ
によって支持された基板の上方にグリッパが位置しない
ように曲げられる。
みを開示しており、本発明の範囲内に含まれる上記開示
装置および方法の変形は、当業者には容易に明らかにな
るであろう。例えば、前述のように、エンドエフェクタ
11および/または31は、単体である代わりに、基板
Sに選択的に接触するように、対向面を水平方向で接近
および離間させる可動部品を備えていてもよい。さら
に、クランプ型およびポケット型エンドエフェクタの双
方は、基板Sの直径に沿って配置されることが好ましい
が、他の位置でも基板を支持することができる。もちろ
ん、双方の型のエンドエフェクタに対して、上側および
下側対向面対の長さは、基板に接触する位置に応じて変
化することになる。これらの対向面はv字形である必要
はなく、基板を支持できる任意の一対の面を使用するこ
とができる。従って、本発明は、基板のエッジに接触す
ることにより縦向き基板をクランプまたは包囲する任意
のグリッパアセンブリを包含している。
の非縦向き基板(例えば、横向き等)を把持するために
好適に使用することができる。このような実施形態で
は、従来の水平エンドエフェクタで行われることがある
ように、基板をエンドエフェクタに対して(例えば、エ
ンドエフェクタの底板に対して)摺動させる必要はな
い。具体的には、本発明のエンドエフェクタは、押圧/
摺動動作ではなく「はさみ」式の動作で対応エンドエフ
ェクタを動かすことができる個々のグリッパフィンガー
にそれぞれ取り付けられている。
ータおよびグリッパフィンガーの構成は、単なる典型例
である。グリッパフィンガーは、図示のように交差する
必要はなく、グリッパクチュエータは、はさみ型アクチ
ュエータ、摺動型アクチュエータ等を備えていてもよ
い。
との関連で開示してきたが、特許請求の範囲によって定
められるように、他の実施形態が本発明の趣旨および範
囲内に含まれることがある。
クランプ型エンドエフェクタの側面斜視図である。
グリッパアセンブリの正面図であり、開位置でのグリッ
パアセンブリを示している。
グリッパアセンブリの正面図であり、閉位置でのグリッ
パアセンブリを示している。
ポケット型エンドエフェクタの側面斜視図である。
グリッパアセンブリの正面図であり、基板非接触閉位置
でのグリッパアセンブリを示している。
グリッパアセンブリの正面図であり、基板接触閉位置で
のグリッパアセンブリを示している。
ある。
面、17…グリッパアセンブリ、19…グリッパ、21
…フィンガー、31…エンドエフェクタ、33…下側対
向面、35…上側対向面、37…グリッパアセンブリ。
Claims (41)
- 【請求項1】 縦向きの基板をハンドリングする方法で
あって、 縦向き基板を支持する一対の対向面を各々が有する一対
のエンドエフェクタを、縦向き基板の両側に配置するス
テップと、 前記一対の対向面が前記基板と交わる高さよりも下の高
さへ前記エンドエフェクタを移動させるステップと、 前記エンドエフェクタの前記一対の対向面が前記基板の
エッジを介して前記基板に接触し前記基板を支持するよ
うに、前記一対のエンドエフェクタを上昇させるステッ
プと、を備える方法。 - 【請求項2】 前記エンドエフェクタの前記一対の対向
面が前記基板に接触して前記基板を支持する高さよりも
下の高さにある間に、前記一対のエンドエフェクタを閉
位置へ移動させるステップを更に備える請求項1記載の
方法。 - 【請求項3】 前記エンドエフェクタの前記一対の対向
面が前記基板に接触し前記基板を支持するように前記一
対のエンドエフェクタを上昇させる前記ステップは、完
全に垂直の力で前記基板に接触するステップを含んでい
る、請求項1記載の方法。 - 【請求項4】 前記エンドエフェクタの前記一対の対向
面が前記基板に接触し前記基板を支持するように前記一
対のエンドエフェクタを上昇させる前記ステップは、完
全に垂直の力で前記基板に接触するステップを含んでい
る、請求項2記載の方法。 - 【請求項5】 上側の一対の対向面によって水平方向の
過度の基板移動を防止するステップを更に備える請求項
3記載の方法。 - 【請求項6】 前記基板に接触し前記基板を前記一対の
対向面で支持する前記ステップは、二つの対向する点で
前記基板に接触する溝で前記基板に接触するステップを
含んでいる、請求項5記載の方法。 - 【請求項7】 上側の一対の対向面によって水平方向の
過度の基板移動を防止するステップを更に備える請求項
1記載の方法。 - 【請求項8】 前記基板に接触し前記基板を前記一対の
対向面で支持する前記ステップは、二つの対向する点で
前記基板に接触する溝で前記基板に接触するステップを
含んでいる、請求項7記載の方法。 - 【請求項9】 縦向きの基板をハンドリングする方法で
あって、 縦向き基板を支持する一対のエンドエフェクタを、縦向
き基板の互いに反対側に位置するエッジに沿って配置す
るステップと、 前記エンドエフェクタが前記縦向き基板を安定して支持
できる高さへ前記エンドエフェクタを移動させるステッ
プと、 前記エンドエフェクタの各々が前記縦向き基板のエッジ
に接触するように前記エンドエフェクタを閉じるステッ
プと、を備える方法。 - 【請求項10】 前記エンドエフェクタが前記縦向き基
板に接触して前記基板を支持するように前記エンドエフ
ェクタを閉じるステップは、二つの対向する点で前記基
板のエッジに各々が接触する複数の溝で前記基板に接触
するステップを含んでいる、請求項9記載の方法。 - 【請求項11】 前記エンドエフェクタが前記縦向き基
板に接触して前記基板を支持するように前記エンドエフ
ェクタを閉じるステップは、四対の対向面で前記基板に
接触するステップを含んでいる、請求項9記載の方法。 - 【請求項12】 複数の溝で前記基板に接触する前記ス
テップは、二つの支持溝で前記基板に接触するステップ
を含んでおり、 水平方向の基板の傾斜を防止するステップを更に備える
請求項10記載の方法。 - 【請求項13】 グリッパと、 前記グリッパに動作的に連結される一対のフィンガー
と、 縦向きの基板を挟んで支持する一対のエンドエフェクタ
と、を備えるグリッパアセンブリであって、 前記エンドエフェクタの各々は、 前記エンドエフェクタによって支持される縦向き基板の
エッジに同時に接触する下側の一対の対向面と、 前記エンドエフェクタによって支持される縦向き基板の
水平方向の移動を制限する上側の一対の対向面と、を備
えている、グリッパアセンブリ。 - 【請求項14】 前記下側の一対の対向面は、前記基板
に2点で接触する単体の溝を備えている、請求項13記
載の装置。 - 【請求項15】 前記下側の一対の対向面は、支持する
基板の外周に合致するようにアールが付けられている、
請求項14記載の装置。 - 【請求項16】 前記上側の一対の対向面は、内部で前
記基板が水平方向に移動できる単体の溝を備えている、
請求項14記載の装置。 - 【請求項17】 前記上側の一対の対向面は、支持する
基板の外周に合致するようにアールが付けられている、
請求項16記載の装置。 - 【請求項18】 前記上側の一対の対向面は、支持する
基板の外周に合致するようにアールが付けられている、
請求項16記載の装置。 - 【請求項19】 前記上側の一対の対向面は、支持する
基板の外周に合致するようにアールが付けられている、
請求項17記載の装置。 - 【請求項20】 前記上側および下側の一対の対向面
は、各々が単体の溝を備えており、前記グリッパは、前
記エンドエフェクタが支持する基板の直径より更に離間
する開位置と、前記エンドエフェクタが基板を包囲する
ように配置される閉位置との間で前記フィンガーを移動
させるようになっている、請求項13記載の装置。 - 【請求項21】 前記グリッパを標準の閉位置に付勢す
る付勢機構を更に備える請求項20記載の装置。 - 【請求項22】 グリッパと、 前記グリッパに動作的に連結される一対のフィンガー
と、 縦向きの基板を挟んで支持する一対のエンドエフェクタ
と、を備えるグリッパアセンブリであって、 前記エンドエフェクタの各々は、 前記エンドエフェクタによって支持される縦向き基板の
エッジに同時に接触する第1の一対の対向面と、 前記エンドエフェクタによって支持される縦向き基板の
エッジに同時に接触する第2の一対の対向面と、を備え
ている、グリッパアセンブリ。 - 【請求項23】 前記第1の一対の対向面は、前記基板
に2点で接触する単体の溝を備えている、請求項22記
載の装置。 - 【請求項24】 前記第1の一対の対向面は、支持する
基板の外周に合致するようにアールが付けられている、
請求項23記載の装置。 - 【請求項25】 前記第2の一対の対向面は、前記基板
に2点で接触する単体の溝を備えている、請求項23記
載の装置。 - 【請求項26】 前記第2の一対の対向面は、支持する
基板の外周に合致するようにアールが付けられている、
請求項25記載の装置。 - 【請求項27】 前記第1および第2の一対の対向面
は、各々が単体の溝を備えており、前記グリッパは、前
記エンドエフェクタが支持する基板の直径より更に離間
する開位置と、前記エンドエフェクタが基板をクランプ
するように配置される閉位置との間で前記フィンガーを
移動させるようになっている、 - 【請求項28】 前記グリッパが標準の閉位置に付勢さ
れる、請求項27記載の装置。 - 【請求項29】 上昇および下降が可能な可動アーム
と、 前記可動アームの端部に連結された請求項22記載の装
置と、を備える基板ハンドラ。 - 【請求項30】 上昇および下降が可能な可動アーム
と、 前記可動アームの端部に連結された請求項27記載の装
置と、を備える基板ハンドラ。 - 【請求項31】 グリッパと、 前記グリッパに動作的に連結される一対のフィンガー
と、 縦向きの基板をそのエッジで支持する一対のエンドエフ
ェクタであって、その各々が前記フィンガーの各々に連
結された一対のエンドエフェクタと、を備えるグリッパ
アセンブリ。 - 【請求項32】 前記グリッパは、前記エンドエフェク
タよりも高い位置にあり、前記フィンガーの少なくとも
一つは、前記グリッパが前記エンドエフェクタによって
支持される基板の上に位置しないように曲げられてい
る、請求項31記載の装置。 - 【請求項33】 前記グリッパが標準の閉状態に付勢さ
れている、請求項31記載の装置。 - 【請求項34】 グリッパと、 前記グリッパに動作的に連結される一対のフィンガー
と、 縦向きの基板を挟んで支持する一対のエンドエフェクタ
と、を備え、前記エンドエフェクタの各々が、第1の一
対の対向面および第2の一対の対向面を備えている、グ
リッパアセンブリ。 - 【請求項35】 前記第1の一対の対向面は、支持する
基板の外周に合致するようにアールが付けられている、
請求項34記載の装置。 - 【請求項36】 前記第2の一対の対向面は、支持する
基板の外周に合致するようにアールが付けられている、
請求項34記載の装置。 - 【請求項37】 前記エンドエフェクタの一方の前記第
1および第2の一対の対向面は、双方とも前記エンドエ
フェクタの他方の前記第1および第2の一対の対向面に
よって支持される縦向き基板の水平方向の移動を制限す
るようになっている、請求項34記載の装置。 - 【請求項38】 前記第1の一対の対向面は、支持する
基板の外周に合致するようにアールが付けられている、
請求項37記載の装置。 - 【請求項39】 前記第2の一対の対向面は、支持する
基板の外周に合致するようにアールが付けられている、
請求項37記載の装置。 - 【請求項40】 前記エンドエフェクタの各々の前記第
2の一対の対向面は、双方とも前記エンドエフェクタの
各々の前記第1の一対の対向面によって支持される縦向
き基板の水平方向の移動を制限するようになっている、
請求項34記載の装置。 - 【請求項41】 前記エンドエフェクタの各々の前記第
1の一対の対向面と、前記エンドエフェクタの各々の前
記第2の一対の対向面とは、支持する基板に同時に接触
するようになっている、請求項34記載の装置。
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