JP2001023211A - Optical pickup device - Google Patents
Optical pickup deviceInfo
- Publication number
- JP2001023211A JP2001023211A JP11196529A JP19652999A JP2001023211A JP 2001023211 A JP2001023211 A JP 2001023211A JP 11196529 A JP11196529 A JP 11196529A JP 19652999 A JP19652999 A JP 19652999A JP 2001023211 A JP2001023211 A JP 2001023211A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- solid immersion
- pickup device
- immersion lens
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光学記録媒体を用
いて情報の記録や再生を行なう技術分野に属しており、
特に、レーザビームを収束させる対物レンズの開口数の
増大により高密度記録を図るために用いて好適な光学ピ
ックアップ装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention belongs to the technical field of recording and reproducing information using an optical recording medium,
In particular, the present invention relates to an optical pickup device suitable for use in achieving high-density recording by increasing the numerical aperture of an objective lens for converging a laser beam.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、例えば相変形の光ディスクや光磁
気ディスクのような書換型の光ディスクには、ディスク
径を大きくすることなく動画像データのような大量のデ
ータを記録することを可能にするために、記録密度を増
大させることが求められている。この記録密度の増大
は、光ディスクの信号記録面に照射されるレーザビーム
のスポットサイズを小さくすることにより実現される。2. Description of the Related Art In recent years, a large amount of data such as moving image data can be recorded on a rewritable optical disk such as a phase-change optical disk or a magneto-optical disk without increasing the disk diameter. Therefore, it is required to increase the recording density. This increase in recording density is realized by reducing the spot size of the laser beam applied to the signal recording surface of the optical disc.
【０００３】このスポットサイズｄは、レーザビームの
波長λに近いオーダーでは、フーリエ結像論に基づき、
この波長λとレーザビームを収束させる対物レンズの開
口数（ＮＡ）とから次式（１）により求められることが
知られている。[0003] In the order close to the wavelength λ of the laser beam, the spot size d is based on Fourier imaging theory,
It is known that the wavelength λ and the numerical aperture (NA) of the objective lens for converging the laser beam can be obtained by the following equation (1).
【０００４】ｄ＝１．２２・λ／ＮＡ …（１） したがって、レーザビームの波長が短く対物レンズの開
口数が大きいほど、このスポットサイズが小さくなるの
で、記録密度を増大させることができる。D = 1.22 · λ / NA (1) Accordingly, as the wavelength of the laser beam is shorter and the numerical aperture of the objective lens is larger, the spot size is smaller, so that the recording density can be increased.
【０００５】このうち、開口数を大きくした光学ピック
アップ装置として、ソリッドイマージョンレンズ（Soli
d Immersion Lens：ＳＩＬ）を用いて構成された光学ピ
ックアップ装置が提案されている。この光学ピックアッ
プ装置の構成は、原理的には、図１３中のＡに示すよう
に、対物レンズ６１と光ディスク６２との間に、対物レ
ンズ６１，光ディスク６２に対向する面がそれぞれが球
面６３ａ，平面６３ｂであるソリッドイマージョンレン
ズ６３を介在させることにより、対物レンズ６１を経た
レーザビームＬを、ソリッドイマージョンレンズ６３の
球面６３ａに対して垂直に入射させて、その平面６３ｂ
の中央部に収束させるというものである。ソリッドイマ
ージョンレンズ６３の屈折率をｎとすると、対物レンズ
６１及びソリッドイマージョンレンズ６３から成るレン
ズ群の開口数（実効的な開口数）は、対物レンズ６１自
体の開口数よりもｎ倍大きくなる。[0005] Among them, a solid immersion lens (Soli
An optical pickup device configured using d Immersion Lens (SIL) has been proposed. In principle, the configuration of this optical pickup device is such that a surface facing the objective lens 61 and the optical disk 62 has a spherical surface 63a between the objective lens 61 and the optical disk 62, as shown at A in FIG. By interposing the solid immersion lens 63 which is the plane 63b, the laser beam L having passed through the objective lens 61 is made to be perpendicularly incident on the spherical surface 63a of the solid immersion lens 63, and the plane 63b
Is converged to the central part of. Assuming that the refractive index of the solid immersion lens 63 is n, the numerical aperture (effective numerical aperture) of the lens group including the objective lens 61 and the solid immersion lens 63 is n times larger than the numerical aperture of the objective lens 61 itself.
【０００６】ただし、実際には、後述するスティグマチ
ックフォーカシング（Stigmatic focusing）の条件を満
たして実効的な開口数がｎ2 倍大きくなるようにするた
めに、図１３中のＢに示すように、対物レンズ６１を経
たレーザビームＬを、ソリッドイマージョンレンズ６３
の球面６３ａに対して垂直とは異なる角度で入射させる
ことにより、球面６３ａで若干屈折させるようにする。However, actually, in order to satisfy the condition of stigmatic focusing (to be described later) and to increase the effective numerical aperture by n 2 times, as shown in FIG. The laser beam L passing through the objective lens 61 is converted into a solid immersion lens 63
By being incident on the spherical surface 63a at an angle different from the perpendicular, the light is slightly refracted by the spherical surface 63a.
【０００７】例えば、１９９３年発刊の『Ｏｐｔｉｃｓ
Ｌｅｔｔｅｒ』第１８号の３０５頁乃至３０７頁に掲
載のＳ．Ｍ．Ｍａｎｓｆｉｅｌｄ氏等の論文「Ｈｉｇｈ
−ｎｕｍｅｒｉｃａｌ−ａｐｅｒｔｕｒｅ ｌｅｎｓ
ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ ｏｐｔｉｃａｌ ｓｔｏｒａｇ
ｅ」（以下「参考文献１」と呼ぶ）や、１９９６年発刊
の『Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒ』
第６８号の１４１頁乃至１４３頁に掲載のＨ．Ｊ．Ｍａ
ｍｉｎ氏等の論文「Ｎｅａｒ−ｆｉｅｌｄ ｏｐｔｉｃ
ａｌ ｄａｔａ ｓｔｏｒａｇｅ」（以下「参考文献
２」と呼ぶ）では、このソリッドイマージョンレンズを
用いることにより、１を超える開口数が実現されること
が報告されている。[0007] For example, "Optics" published in 1993.
Letter, No. 18, pages 305 to 307. M. Mansfield et al.'S paper "High
-Numerical-aperture lens
system for optical storage
e "(hereinafter referred to as" Reference Document 1 ") and" Applied Physics Letter "published in 1996.
No. 68, pp. 141-143. J. Ma
Min's paper "Near-field optics"
al data storage ”(hereinafter referred to as“ Reference Document 2 ”) reports that a numerical aperture exceeding 1 is realized by using this solid immersion lens.
【０００８】ところで、このように開口数が１を超える
と、レーザビームの光軸方向上でのソリッドイマージョ
ンレンズと光ディスクとの間の距離、すなわち、動作距
離（エアギャップ）が大きくなるにつれて、レーザービ
ームのうち開口数が１を超える成分のソリッドイマージ
ョンレンズの平面部での反射率が大きくなることによ
り、ソリッドイマージョンレンズを透過して光ディスク
に照射されるレーザビームの強度が急激に低下してい
く。そして、この動作距離が近接場（ニアフィールド）
の範囲以上になったときには、ソリッドイマージョンレ
ンズの平面でこの開口数が１を超える成分のほとんどが
反射されるようになるので、光ディスクに照射されるレ
ーザビームの強度が著しく低くなってしまう。When the numerical aperture exceeds 1, the distance between the solid immersion lens and the optical disk in the direction of the optical axis of the laser beam, that is, as the operating distance (air gap) increases, the laser beam becomes larger. The intensity of the laser beam that passes through the solid immersion lens and irradiates the optical disk rapidly decreases due to the increase in the reflectance of the solid immersion lens of the component having a numerical aperture exceeding 1 in the plane portion of the beam. . And this movement distance is near field (near field)
When the value exceeds the range, most of the components having a numerical aperture exceeding 1 are reflected on the plane of the solid immersion lens, so that the intensity of the laser beam applied to the optical disk is significantly reduced.
【０００９】図１４は、そのことを具体的に表すため
に、動作距離が０ｎｍ，５０ｎｍ，１００ｎｍ，２００
ｎｍ，５００ｎｍの各場合について、横軸に光ディスク
の信号記録面上でのレーザビームのスポット中心からの
距離をとり、縦軸にこの信号記録面に照射されるレーザ
ビームの強度（動作距離が０ｎｍのときのスポット中心
での強度に対する比）をとって、開口数ＮＡ＝１．５，
波長λ＝６４０ｎｍのときのこの信号記録面上でのレー
ザビームの強度分布（Ｓｔｒｅｈｌ ｉｎｔｅｎｓｉｔ
ｙ）の計算値を示したものである。FIG. 14 shows the operation distances of 0 nm, 50 nm, 100 nm, and 200 nm in order to specifically show the above.
For each of the cases of nm and 500 nm, the horizontal axis represents the distance from the spot center of the laser beam on the signal recording surface of the optical disk, and the vertical axis represents the intensity of the laser beam applied to the signal recording surface (the operating distance is 0 nm). Ratio to the intensity at the center of the spot), the numerical aperture NA = 1.5,
When the wavelength λ is 640 nm, the intensity distribution of the laser beam on this signal recording surface (Strehl intensity)
7 shows a calculated value of y).
【００１０】図１４には、スポット中心でのレーザビー
ムの強度は、動作距離が５０ｎｍのときには動作距離が
０ｎｍのときの８５％程度であるが、動作距離が１００
ｎｍになると動作距離が０ｎｍのときの６０％程度にな
り、動作距離が２００ｎｍに達すると動作距離が０ｎｍ
のときの３５％程度にまで低下してしまうことが表れて
いる。FIG. 14 shows that the intensity of the laser beam at the center of the spot is about 85% when the operating distance is 50 nm and that when the operating distance is 0 nm.
When the operating distance reaches 200 nm, the operating distance becomes about 60% of that when the operating distance is 0 nm, and when the operating distance reaches 200 nm, the operating distance becomes 0 nm.
It can be seen that it is reduced to about 35% of the case of.
【００１１】そのため、開口数が１を超える場合には、
この動作距離を十分小さくするような（図１４の例の場
合には、最大でも１００ｎｍ以内、望ましくは５０ｎｍ
程度にするような）制御を行なわないと、光ディスクの
信号記録面に照射されるレーザビームの強度の低下によ
り、記録精度や再生精度の悪化を招いてしまう。Therefore, when the numerical aperture exceeds 1,
The operating distance is set to be sufficiently small (in the case of the example in FIG. 14, the maximum is within 100 nm, preferably 50 nm).
Unless such control is performed, the intensity of the laser beam applied to the signal recording surface of the optical disc is reduced, thereby deteriorating the recording accuracy and the reproduction accuracy.
【００１２】動作距離を小さくするような制御が行なえ
る構成としては、ソリッドイマージョンレンズを搭載し
たレンズホルダを、ハードディスク装置における磁気ヘ
ッドと同様に、光ディスクの回転に伴う空気流により光
ディスクに対して浮上させる構成が考えられる。As a configuration capable of performing control to reduce the operating distance, a lens holder on which a solid immersion lens is mounted floats on the optical disk by airflow accompanying rotation of the optical disk, like a magnetic head in a hard disk drive. It is possible to adopt a configuration in which the control is performed.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のよう
に、レンズホルダを空気流により浮上させる構成では、
空気流の強さが光ディスクの線速度に依存する。そのた
め、例えばＣＡＶ（角速度一定記録）方式の場合には、
ディスク半径方向上でのレーザビームの照射位置が変化
するにつれて（すなわちアクセスするトラックが変化す
るにつれて）浮上量が変化してしまうし、また、ＣＬＶ
（線速度一定記録）方式の場合でも線速度が異なる光デ
ィスク装置同士では、浮上量も異なってしまう。その結
果、この構成においては動作距離を高精度に制御するこ
とは困難である。However, as described above, in the configuration in which the lens holder is levitated by an air flow,
The strength of the air flow depends on the linear velocity of the optical disk. Therefore, for example, in the case of the CAV (constant angular velocity recording) method,
As the irradiation position of the laser beam in the radial direction of the disk changes (that is, as the track to be accessed changes), the flying height changes.
Even in the case of the (constant linear velocity recording) method, the flying height differs between optical disk apparatuses having different linear velocities. As a result, in this configuration, it is difficult to control the operating distance with high accuracy.
【００１４】また、上述の光学ピックアップ装置におい
ては、ソリッドイマージョンレンズの光軸に対する傾き
も高精度に調整する必要がある。ソリッドイマージョン
レンズが光軸に対して傾いてしまうと、光学的特性が劣
化するばかりでなく、ソリッドイマージョンレンズの光
ディスクに対する接触、衝突が生ずる虞れがある。In the above-described optical pickup device, it is necessary to adjust the inclination of the solid immersion lens with respect to the optical axis with high accuracy. When the solid immersion lens is tilted with respect to the optical axis, not only the optical characteristics are deteriorated, but also the contact and collision of the solid immersion lens with the optical disk may occur.
【００１５】そこで、本発明は、ソリッドイマージョン
レンズを用いることにより開口数を大きくすることがで
き、かつ、ソリッドイマージョンレンズの傾きを高精度
に制御することができる光学ピックアップ装置を提供し
ようとするものである。Therefore, the present invention is to provide an optical pickup device which can increase the numerical aperture by using a solid immersion lens and can control the inclination of the solid immersion lens with high accuracy. It is.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る光学ピックアップ装置は、光源と、ソ
リッドイマージョンレンズを備えて構成され光源から発
せられた光束を光学記録媒体に収束させて照射する光学
手段と、ソリッドイマージョンレンズの光学記録媒体に
対向する対向面上に設けられた複数の導電性部と、これ
ら複数の導電性部と記録媒体が有する導電性部との間の
各静電容量を検出する静電容量検出手段と、この静電容
量検出手段による検出結果に基づいて光学手段の光軸に
対する傾きを検出する傾き検出手段とを備えていること
を特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, an optical pickup device according to the present invention is provided with a light source and a solid immersion lens, and converges a light beam emitted from the light source onto an optical recording medium. Optical means for irradiating the optical recording medium, a plurality of conductive portions provided on the opposing surface of the solid immersion lens facing the optical recording medium, and each of the plurality of conductive portions and the conductive portion of the recording medium It is characterized by comprising electrostatic capacitance detecting means for detecting the capacitance, and inclination detecting means for detecting the inclination of the optical means with respect to the optical axis based on the detection result by the capacitance detecting means.
【００１７】そして、複数の導電性部は、ソリッドイマ
ージョンレンズの光学記録媒体に対向する対向面上に導
電性の素材から成る複数の領域に分割された膜として設
けることができる。これら複数の導電性部と光学記録媒
体の導電性部との間には、複数の静電容量が形成され
る。The plurality of conductive portions can be provided as a film divided into a plurality of regions made of a conductive material on a surface of the solid immersion lens facing the optical recording medium. A plurality of capacitances are formed between the plurality of conductive portions and the conductive portion of the optical recording medium.
【００１８】したがって、これら静電容量に基づいて、
ソリッドイマージョンレンズの傾き及びソリッドイマー
ジョンレンズと光学記録媒体との間の距離（動作距離）
を制御する制御信号を生成し、この制御信号に基づいて
ソリッドイマージョンレンズの位置及び傾きを制御すれ
ば、いわゆるフォーカスサーボ及びスキューサーボが実
現される。Therefore, based on these capacitances,
The tilt of the solid immersion lens and the distance between the solid immersion lens and the optical recording medium (operating distance)
Is generated, and the position and the inclination of the solid immersion lens are controlled based on the control signal, so-called focus servo and skew servo are realized.
【００１９】このように、この光学ピックアップ装置に
おいては、ソリッドイマージョンレンズを備えることに
より、開口数を、例えば１を超えて大きくすることがで
き、かつ、動作距離を、例えば１００ｎｍ以下というよ
うに充分に小さくし、また、ソリッドイマージョンレン
ズの傾きを防止する制御を各静電容量に基づいて高精度
に行なうことができる。As described above, in this optical pickup device, by providing the solid immersion lens, the numerical aperture can be increased to, for example, more than 1, and the operating distance can be sufficiently reduced to, for example, 100 nm or less. The control for preventing the inclination of the solid immersion lens can be performed with high accuracy based on each capacitance.
【００２０】なお、ソリッドイマージョンレンズの光学
記録媒体への対向面を、中央部に突起を有する形状とす
るとともに、その周辺部を平面とし、この周辺部に導電
性の素材から成る膜である導電性部を形成することによ
り、ソリッドイマージョンレンズ自体と光学記録媒体と
の間に静電容量を形成するようにする構成が好適であ
る。この場合には、導電性部と光学記録媒体との間の距
離が短いので、静電容量値が大きく、静電容量に基づく
制御信号の生成を一層高精度に行なうことができる。The surface of the solid immersion lens facing the optical recording medium has a shape having a projection at the center, the periphery thereof is flat, and the periphery is a conductive film which is made of a conductive material. It is preferable to form the electrostatic portion so as to form a capacitance between the solid immersion lens itself and the optical recording medium. In this case, since the distance between the conductive portion and the optical recording medium is short, the capacitance value is large, and the control signal based on the capacitance can be generated with higher accuracy.
【００２１】また、図１３にも示したように、レーザビ
ームは、ソリッドイマージョンレンズのうち光学記録媒
体への対向面の中央部を通るので、この対向面の周辺部
に形成した膜が光学記録媒体へのレーザビームの照射に
とって妨げとなることはない。As shown in FIG. 13, the laser beam passes through the center of the surface of the solid immersion lens facing the optical recording medium. It does not hinder the irradiation of the medium with the laser beam.
【００２２】また、この対向面の中央部が突起している
分だけ、光学ピックアップ装置のその他の部分が光学記
録媒体に対して後退するので、仮に光学ピックアップ装
置全体が光学記録媒体に対して傾いたような場合にも、
光学ピックアップ装置が光学記録媒体に接触するおそれ
が少なくなる。Further, the other portion of the optical pickup device retreats with respect to the optical recording medium by an amount corresponding to the projection of the central portion of the facing surface, so that the entire optical pickup device is inclined with respect to the optical recording medium. In case
The possibility that the optical pickup device contacts the optical recording medium is reduced.
【００２３】[0023]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２４】この実施の形態は、本発明に係る光学ピッ
クアップ装置を、光学記録媒体として相変化形の光ディ
スクを用いる記録再生装置において使用される光学ピッ
クアップ装置として構成したものである。In this embodiment, the optical pickup device according to the present invention is configured as an optical pickup device used in a recording / reproducing device using a phase-change optical disk as an optical recording medium.
【００２５】この光学ピックアップ装置１は、図１に示
すように、記録再生装置に装着された相変化形の光ディ
スク５１に照射すべきレーザビームＬを収束させる対物
レンズ２及び光ディスク５１と該対物レンズ２との間に
介在されるソリッドイマージョンレンズ（Solid Immers
ion Lens（ＳＩＬ））３からなる光学手段と、これら対
物レンズ２及びソリッドイマージョンレンズ３からなる
光学手段を一体的に保持した保持部材となるレンズホル
ダ４と、このレンズホルダ４を移動させる電磁アクチュ
エータ５（レーザビームＬの光軸方向に移動させるフォ
ーカスアクチュエータ５ａと、光ディスク５１のディス
ク面方向に移動させるトラッキングアクチュエータ５
ｂ）とを備えている。また、電磁アクチュエータ５は、
レンズホルダ４の光軸に対する傾きも制御することがで
きる。As shown in FIG. 1, the optical pickup device 1 comprises an objective lens 2 and an optical disk 51 for converging a laser beam L to be irradiated on a phase-change optical disk 51 mounted on a recording / reproducing apparatus. Solid immersion lens (Solid Immers)
ion lens (SIL)) 3, a lens holder 4 as a holding member integrally holding the objective lens 2 and the optical means including the solid immersion lens 3, and an electromagnetic actuator for moving the lens holder 4 5 (a focus actuator 5a that moves in the optical axis direction of the laser beam L, and a tracking actuator 5 that moves in the disk surface direction of the optical disk 51)
b). In addition, the electromagnetic actuator 5
The inclination of the lens holder 4 with respect to the optical axis can also be controlled.
【００２６】このように、対物レンズ２とソリッドイマ
ージョンレンズ３とが１つのレンズホルダ４に一体に保
持されており、レンズホルダ４が１つの電磁アクチュエ
ータにより光軸方向への移動や傾きの制御をなされるの
で、対物レンズ２とソリッドイマージョンレンズ３と
が、互いの距離を一定にしたまま移動操作されるように
なっている。As described above, the objective lens 2 and the solid immersion lens 3 are integrally held in one lens holder 4, and the lens holder 4 controls movement and tilt in the optical axis direction by one electromagnetic actuator. Therefore, the objective lens 2 and the solid immersion lens 3 are moved while the distance between them is kept constant.
【００２７】ソリッドイマージョンレンズ３は、球形レ
ンズの一部を切りとった形状をしたもの（一般に「Ｓｕ
ｐｅｒ Ｓｐｈｅｒｅ ＳＩＬ」または「Ｈｙｐｅｒ
Ｓｐｈｅｒｅ ＳＩＬ」と呼ばれているもの）であり、
球面を対物レンズ２に対向させ、球面とは反対側の面
（以下「底面」と呼ぶ）を光ディスク５１に対向させて
レンズホルダ４に保持されている。The solid immersion lens 3 has a shape obtained by cutting a part of a spherical lens (generally, “Su”).
per Sphere SIL "or" Hyper
Sphere SIL))
The spherical surface faces the objective lens 2, and the surface opposite to the spherical surface (hereinafter referred to as “bottom surface”) faces the optical disk 51 and is held by the lens holder 4.
【００２８】このソリッドイマージョンレンズ３は、レ
ーザビームＬを無収差に収束する（スティグマチックフ
ォーカシング（Stigmatic focusing）の条件を満たす）
ように設計されており、球面の曲率半径をｒ、屈折率を
ｎとすると、レーザビームＬの光軸方向上でのソリッド
イマージョンレンズ３の厚さｔは、次式（２）のように
決定されている。The solid immersion lens 3 converges the laser beam L without aberration (satisfies the condition of stigmatic focusing).
Assuming that the radius of curvature of the spherical surface is r and the refractive index is n, the thickness t of the solid immersion lens 3 in the optical axis direction of the laser beam L is determined as in the following equation (2). Have been.
【００２９】ｔ＝ｒ・（１＋１／ｎ） …（２） 前述の参考文献２では、この対物レンズ２及びソリッド
イマージョンレンズ３から成るレンズ群の開口数（実効
的な開口数）ＮＡeffは、対物レンズ２の開口数ＮＡobj
と屈折率ｎとから、次式（３）により求められることが
報告されている。T = r · (1 + 1 / n) (2) In Reference 2, the numerical aperture (effective numerical aperture) NAeff of the lens group including the objective lens 2 and the solid immersion lens 3 is expressed by Numerical aperture NAobj of lens 2
And the refractive index n, it is reported that the refractive index can be obtained by the following equation (3).
【００３０】ＮＡeff＝ｎ2・ＮＡobj …（３） ここでは、一例として、対物レンズ２として開口数ＮＡ
obj＝０．４５のものを用い、ソリッドイマージョンレ
ンズ３として屈折率ｎ＝１．８３のものを用いる。した
がって、式（３）によりＮＡeffは約１．５になるの
で、レーザビームＬの波長が例えば６４０ｎｍである場
合には、図１４を用いて説明したような理由から、レー
ザビームＬの光軸方向上でのソリッドイマージョンレン
ズ３と光ディスク５１との距離（動作距離）を、最大で
も１００ｎｍ以内、望ましくは５０ｎｍ程度に制御する
ことが必要となる。NAeff = n 2 · NAobj (3) Here, as an example, the numerical aperture NA is set as the objective lens 2.
obj = 0.45, and a solid immersion lens 3 having a refractive index n = 1.83. Therefore, NAeff is about 1.5 according to the equation (3). Therefore, when the wavelength of the laser beam L is, for example, 640 nm, for the reason described with reference to FIG. It is necessary to control the distance (operating distance) between the solid immersion lens 3 and the optical disk 51 above to at most 100 nm, preferably about 50 nm.
【００３１】このソリッドイマージョンレンズ３は、図
２に示すように、底面の直径Ｄが１．５ｍｍであり、こ
の底面の中央部３ａが段差状に突起していると共に、そ
の周辺部３ｂが平面になっている。中央部３ａの突起の
径φ及び高さは、それぞれ約４０μｍ、２μｍである。As shown in FIG. 2, the solid immersion lens 3 has a bottom surface having a diameter D of 1.5 mm, a central portion 3a of the bottom surface projecting in a step shape, and a peripheral portion 3b having a flat surface. It has become. The diameter φ and the height of the projection of the central portion 3a are about 40 μm and 2 μm, respectively.
【００３２】周辺部３ｂには、図３に示すように、４つ
の領域６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄに放射状に等分割された
導電性の素材（例えば、アルミニウム）から成る膜６
が、複数の導電性部として、中央部３ａの突起の高さよ
りも薄く形成されている。これにより、この膜６と光デ
ィスク５１のアルミニウム製の反射面とがそれぞれ導電
性部となり、これら膜６及び反射面間に複数の静電容量
が形成される。As shown in FIG. 3, a film 6 made of a conductive material (for example, aluminum) radially divided equally into four regions 6a, 6b, 6c and 6d is formed on the peripheral portion 3b.
However, as the plurality of conductive portions, the conductive portions are formed thinner than the height of the projections of the central portion 3a. As a result, the film 6 and the aluminum reflecting surface of the optical disk 51 become conductive portions, and a plurality of capacitances are formed between the film 6 and the reflecting surface.
【００３３】これら静電容量の値Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3，Ｃ
4は、膜６の分割された各領域６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ
と光ディスク５１との対向面積をＳ1，Ｓ2，Ｓ3，Ｓ4、
該各領域６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄと光ディスク５１との
間の距離をｈ1，ｈ2，ｈ3，ｈ4とすると、次式（４）乃
至（７）により求められる。These capacitance values C 1 , C 2 , C 3 , C
4 is a divided region 6a, 6b, 6c, 6d of the film 6
The opposing areas of the optical disk 51 and S 1 , S 2 , S 3 , S 4 ,
Respective regions 6a, 6b, 6c, and the distance between the 6d and the optical disk 51 and h 1, h 2, h 3 , h 4, is obtained by the following expression (4) to (7).
【００３４】 Ｃ1＝ε0・εr・Ｓ1／ｈ1 …（４） Ｃ2＝ε0・εr・Ｓ2／ｈ2 …（５） Ｃ3＝ε0・εr・Ｓ3／ｈ3 …（６） Ｃ4＝ε0・εr・Ｓ4／ｈ4 …（７） ただし、ε0は真空誘電率（８．８５４×１０-12 （Ｆ
／ｍ））、εrは比誘電率（空気中ではほぼ１）であ
る。C 1 = ε 0 · ε r · S 1 / h 1 (4) C 2 = ε 0 · ε r · S 2 / h 2 (5) C 3 = ε 0 · ε r · S 3 / H 3 (6) C 4 = ε 0 · ε r · S 4 / h 4 (7) where ε 0 is the vacuum dielectric constant (8.854 × 10 −12 (F
/ M)), and ε r is the relative dielectric constant (almost 1 in air).
【００３５】これら面積Ｓ1，Ｓ2，Ｓ3，Ｓ4は、前述の
ようにソリッドイマージョンレンズ３の底面の直径Ｄが
１．５ｍｍであることから、それぞれ約４．４２×１０
-5ｍ2 となる。また、距離ｈは、中央部３ａが光ディス
ク５１に接触するとき（動作距離が０のとき）最小値の
２μｍとなり、動作距離が５０ｎｍ、１００ｎｍ、２０
０ｎｍとなったとき、それぞれ２．０５μｍ，２．１μ
ｍ，２．２μｍとなる。These areas S 1 , S 2 , S 3 , S 4 are about 4.42 × 10, respectively, because the diameter D of the bottom surface of the solid immersion lens 3 is 1.5 mm as described above.
-5 m 2 . The distance h is a minimum value of 2 μm when the central portion 3a contacts the optical disk 51 (when the operating distance is 0), and the operating distance is 50 nm, 100 nm, and 20 nm.
0 nm, 2.05 μm and 2.1 μm, respectively.
m, 2.2 μm.
【００３６】したがって、動作距離が０ｎｍ、５０ｎ
ｍ、１００ｎｍ、２００ｎｍのときの静電容量値Ｃは、
（４）乃至（７）式から、それぞれ１．９６ｐＦ、１．
９１ｐＦ、１．８６ｐＦ、１．７８ｐＦとなる。Therefore, the operating distance is 0 nm, 50 n
The capacitance value C at m, 100 nm, and 200 nm is
From equations (4) to (7), 1.96 pF, 1.
It becomes 91 pF, 1.86 pF, and 1.78 pF.
【００３７】なお、この膜６の各領域６ａ，６ｂ，６
ｃ，６ｄは、図１に示すように、はんだ７によりレンズ
ホルダ４上の所定の端子部に対応して接合させることが
できる。これにより、静電容量値Ｃを示す電圧信号をレ
ンズホルダ４から取り出す（すなわち、静電容量値
Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3，Ｃ4をレンズホルダ４上の端子部を介し
て検出する）ことができるようになる。The respective regions 6a, 6b, 6
As shown in FIG. 1, c and 6 d can be joined to the predetermined terminal portions on the lens holder 4 by the solder 7. As a result, a voltage signal indicating the capacitance value C is extracted from the lens holder 4 (that is, the capacitance values C 1 , C 2 , C 3 , and C 4 are detected via the terminals on the lens holder 4). Will be able to do it.
【００３８】次に、図４及び図６は、図１に示した光学
ピックアップ装置１を光学ピックアップに取り付けた記
録再生装置のフォーカスサーボ、スキューサーボ及びト
ラッキングサーボ用の信号処理系の構成例を示す。FIGS. 4 and 6 show examples of signal processing systems for focus servo, skew servo and tracking servo of a recording / reproducing apparatus in which the optical pickup device 1 shown in FIG. 1 is mounted on an optical pickup. .
【００３９】記録再生装置に装着された光ディスク５１
は、図４に示すように、スピンドルモータ１１によりＣ
ＡＶ（角速度一定記録）方式で回転駆動される。この光
ディスク５１に対して、光学ピックアップ装置１によ
り、波長６４０ｎｍのレーザビームが照射されることに
より、情報の記録及び再生が行なわれる。Optical disc 51 mounted on recording / reproducing apparatus
As shown in FIG. 4, C
It is rotationally driven by an AV (constant angular velocity recording) method. The optical disc 51 is irradiated with a laser beam having a wavelength of 640 nm by the optical pickup device 1 to record and reproduce information.
【００４０】フォーカスサーボ用の信号処理系は、図４
に示すように構成されている。光学ピックアップ装置１
から取り出された、各静電容量値Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3，Ｃ4を
示す電圧信号は、合計された静電容量値Ｃとして、第１
の電圧制御発振器（ＶＣＯ１）１３に供給される（Ｃ＝
Ｃ1＋Ｃ2＋Ｃ3＋Ｃ4）。The signal processing system for the focus servo is shown in FIG.
It is configured as shown in FIG. Optical pickup device 1
The voltage signals indicating the respective capacitance values C 1 , C 2 , C 3 , and C 4 extracted from the first and second capacitance values are represented by the first capacitance value C as
Is supplied to the voltage-controlled oscillator (VCO1) 13 (C =
C 1 + C 2 + C 3 + C 4).
【００４１】第１の電圧制御発振器１３は、ＬＣ発振器
から成っており、この電圧信号の示す静電容量値Ｃと第
１の電圧制御発振器１３の内部の一定値のインダクタン
スＬとに基づき、次式（８）に示すような発振周波数ｆ
の信号を出力する。The first voltage controlled oscillator 13 is composed of an LC oscillator. Based on the capacitance value C indicated by this voltage signal and the constant value of the inductance L inside the first voltage controlled oscillator 13, The oscillation frequency f as shown in equation (8)
The signal of is output.
【００４２】ｆ＝１／２π√（ＬＣ） …（８） ここでは、一例として、第１の電圧制御発振器１３の内
部のインダクタンスＬを１００μＨとする。F = 1 / 2π√ (LC) (8) Here, as an example, the inductance L inside the first voltage controlled oscillator 13 is set to 100 μH.
【００４３】したがって、動作距離が０ｎｍ、５０ｎ
ｍ、１００ｎｍ、２００ｎｍのとき、前出の（４）乃至
（７）式から、静電容量値Ｃがそれぞれ７．８２ｐＦ、
７．６３ｐＦ、７．４５ｐＦ、７．１１ｐＦとなるの
で、この（８）式から、第１の電圧制御発振器１３の発
振周波数ｆは、それぞれ、５．６９ＭＨｚ、５．７６Ｍ
Ｈｚ、５．８３ＭＨｚ、５．９７ＭＨｚとなる。Therefore, the operating distance is 0 nm, 50 n
When m, 100 nm, and 200 nm, the capacitance value C is 7.82 pF, respectively, from the above equations (4) to (7).
Since the values are 7.63 pF, 7.45 pF, and 7.11 pF, the oscillation frequency f of the first voltage controlled oscillator 13 is 5.69 MHz and 5.76 M, respectively, from the equation (8).
Hz, 5.83 MHz and 5.97 MHz.
【００４４】この第１の電圧制御発振器１３の出力信号
は、基準電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）１４から出力され
る基準周波数５．７６ＭＨｚ（すなわち動作距離が５０
ｎｍのときの第１の電圧制御発振器１３の発振周波数ｆ
に等しい周波数）の信号と共に、第１の周波数位相比較
器（フェーズロックドループ：ＰＬＬ）１５に供給され
る。この第１の周波数位相比較器１５は、信号処理回路
（ＣＰＵ）２２に制御されて動作する。The output signal of the first voltage controlled oscillator 13 has a reference frequency of 5.76 MHz (that is, an operating distance of 50) output from a reference voltage controlled oscillator (VCXO) 14.
The oscillation frequency f of the first voltage controlled oscillator 13 at nm
Along with a signal having a frequency equal to?) Is supplied to a first frequency phase comparator (phase locked loop: PLL) 15. The first frequency phase comparator 15 operates under the control of the signal processing circuit (CPU) 22.
【００４５】第１の周波数位相比較器１５は、第１の電
圧制御発振器１３の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器１４の出力信号の周波数及び位相とを比較
し、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出力す
る。The first frequency / phase comparator 15 compares the frequency and phase of the output signal of the first voltage controlled oscillator 13 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 14, And outputs a signal corresponding to the error.
【００４６】この第１の周波数位相比較器１５の出力信
号は、位相補償回路１６により位相補償され、増幅器１
７で増幅された後、光学ピックアップ装置１の電磁アク
チュエータ５のうちのフォーカスアクチュエータ５ａ
に、動作距離を制御する制御信号として供給される。The output signal of the first frequency-phase comparator 15 is phase-compensated by a phase compensation circuit 16 and
7, the focus actuator 5a of the electromagnetic actuator 5 of the optical pickup device 1.
Is supplied as a control signal for controlling the operating distance.
【００４７】フォーカスアクチュエータ５ａが、この制
御信号に従ってレンズホルダ４を光軸方向に移動させる
ことにより、動作距離が５０ｎｍに調整されると同時
に、対物レンズ３と光ディスク５１との間の距離も一定
に調整されるので、フォーカスサーボが実現される。The focus actuator 5a moves the lens holder 4 in the direction of the optical axis in accordance with the control signal, so that the operating distance is adjusted to 50 nm and the distance between the objective lens 3 and the optical disk 51 is kept constant. Since the adjustment is performed, a focus servo is realized.
【００４８】なお、信号処理回路２２は、光学ピックア
ップ１２におけるレーザビームの出射パワーを制御する
オートパワーコントロール（ＡＰＣ）回路２３を制御し
ている。The signal processing circuit 22 controls an automatic power control (APC) circuit 23 for controlling the emission power of the laser beam from the optical pickup 12.
【００４９】ところで、相変化光ディスクのトラック部
は、図５に示すように、突条部（ランド部）７１及び溝
部（グルーブ部）７２が並列的に配列されることにより
形成されている。これら突条部７１及び溝部７２の段
差、すなわち、溝深さ７３は、約２０ｎｍとなってい
る。By the way, as shown in FIG. 5, the track portion of the phase-change optical disc is formed by arranging ridges (lands) 71 and grooves (grooves) 72 in parallel. The step between the ridge 71 and the groove 72, that is, the groove depth 73 is about 20 nm.
【００５０】また、この実施の形態において、相変化記
録膜は、基板側から、Ａｌ、ＺｎＳ−ＳｉＯ2、ＧｅＳ
ｂＴｅ、ＺｎＳ−ＳｉＯ2によって構成されている。図
２乃至図４を用いて示した静電容量検出型の焦点制御サ
ーボにおいては、静電容量検出面積がφ＝１．５ｍｍと
なっており、一方、ディスク基板上に形成された突条部
７１及び溝部７２の幅は、それぞれ約０．３μｍ程度
と、前記検出面積に比べてはるかに小さいため、この実
施の形態においては、突条部７１及び溝部７２を平均し
た動作距離が一定となるように制御されることとなる。In this embodiment, the phase change recording film is formed of Al, ZnS—SiO 2 , GeS
BTE, is constituted by ZnS-SiO 2. In the capacitance detection type focus control servo shown in FIGS. 2 to 4, the capacitance detection area is φ = 1.5 mm, while the ridge portion formed on the disk substrate is used. Since the width of each of the groove 71 and the groove 72 is about 0.3 μm, which is much smaller than the detection area, in this embodiment, the average operating distance of the ridge 71 and the groove 72 is constant. Will be controlled as follows.
【００５１】したがって、突条部７１において動作距離
が５０ｎｍとなるように制御を行うためには、（４）乃
至（７）式におけるｈ1，ｈ2，ｈ3，ｈ4が約６０ｎｍと
なるように、一方、溝部７２においては、その値が約４
０ｎｍとなるよう、前記信号処理回路２２の指示によ
り、切り換え制御をおこなえば良いこととなる。このよ
うな切換え制御が行われることにより、突条部７１及び
溝部７２のそれぞれについて、ソリッドイマージョンレ
ンズ３と光ディスク５１との間の距離が最適となるよう
に、フォーカスアクチュエータ５ａが制御される。[0051] Therefore, in order to control so that the operating distance in the protruding portion 71 is 50nm is, h 1, h 2, h 3, h 4 is about 60nm in (4) to (7) On the other hand, in the groove 72, the value is about 4
Switching control may be performed in accordance with an instruction from the signal processing circuit 22 so as to be 0 nm. By performing such switching control, the focus actuator 5a is controlled such that the distance between the solid immersion lens 3 and the optical disk 51 is optimized for each of the ridge 71 and the groove 72.
【００５２】そして、スキューサーボ用の信号処理系
は、図６に示すように構成されている。光学ピックアッ
プ装置１から取り出された、各静電容量値Ｃ1，Ｃ2，Ｃ
3，Ｃ4を示す電圧信号は、セレクタ８０を介して、第２
の電圧制御発振器（ＶＣＯ１）８１及び第３の電圧制御
発振器（ＶＣＯ２）８２に供給される。第２の電圧制御
発振器８１には、各静電容量値のうちの隣接する２つの
領域についての静電容量値Ｃ1，Ｃ2が合計された静電容
量値Ｃａが供給される（Ｃａ＝Ｃ1＋Ｃ2）。また、第３
の電圧制御発振器８２には、各静電容量値のうちの隣接
する他の２つの領域についての静電容量値Ｃ3，Ｃ4が合
計された静電容量値Ｃｂが供給される（Ｃｂ＝Ｃ3＋
Ｃ4）。The signal processing system for the skew servo is configured as shown in FIG. Each capacitance value C 1 , C 2 , C taken out of the optical pickup device 1
3 and C 4 are supplied to the second
Are supplied to the voltage controlled oscillator (VCO1) 81 and the third voltage controlled oscillator (VCO2). The second voltage-controlled oscillator 81 is supplied with a capacitance value Ca that is the sum of the capacitance values C 1 and C 2 of two adjacent regions among the respective capacitance values (Ca = C 1 + C 2). Also, the third
Is supplied with the capacitance value Cb obtained by summing the capacitance values C 3 and C 4 of the other two adjacent regions among the capacitance values (Cb = C 3 +
C 4).
【００５３】第２及び第３の電圧制御発振器８１，８２
は、それぞれＬＣ発振器から成っており、この電圧信号
の示す静電容量値Ｃａ，Ｃｂと第２及び第３の電圧制御
発振器８１，８２の内部の一定値のインダクタンスＬと
に基づき、次式（９）及び（１０）に示すような発振周
波数ｆａ，ｆｂの信号を出力する。Second and third voltage controlled oscillators 81 and 82
Are composed of LC oscillators, respectively, and based on the capacitance values Ca and Cb indicated by the voltage signals and the constant inductance L inside the second and third voltage controlled oscillators 81 and 82, the following equation ( Signals of oscillation frequencies fa and fb as shown in 9) and (10) are output.
【００５４】 ｆａ＝１／２π√（ＬＣａ） …（９） ｆｂ＝１／２π√（ＬＣｂ） …（１０） ソリッドイマージョンレンズの光軸に対する傾きがない
場合には、第２及び第３の電圧制御発振器８１，８２の
出力信号の周波数ｆａ，ｆｂは互いに等しい周波数とな
る。したがって、これら周波数ｆａ，ｆｂが互いに等し
くなるようにソリッドイマージョンレンズの傾きを制御
すれば、該ソリッドイマージョンレンズの光軸に対する
傾きを防止することができる。また、第２及び第３の電
圧制御発振器に供給される静電容量値Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3，
Ｃ4をセレクタ８０において選択することにより、検出
される傾きの方向を選択することができる。すなわち、
静電容量値Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3，Ｃ4が光軸回りに順次周方向
に配列された領域に対応している場合において、「Ｃａ
＝Ｃ1＋Ｃ2、Ｃｂ＝Ｃ3＋Ｃ4」とする場合と、「Ｃａ＝
Ｃ1＋Ｃ4、Ｃｂ＝Ｃ2＋Ｃ3」とする場合とでは、検出さ
れる傾きの方向は互いに直交したもの、例えば、光ディ
スクの半径方向及び記録トラック方向となる。また、
「Ｃａ＝Ｃ1、Ｃｂ＝Ｃ3」とする場合及び「Ｃａ＝
Ｃ2、Ｃｂ＝Ｃ4」は、上述の場合に対して４５°方向の
傾きが検出されることとなる。Fa = 1 / 2π√ (LCa) (9) fb = １ ／ ππ (LCb) (10) When there is no inclination with respect to the optical axis of the solid immersion lens, the second and third voltages are set. The frequencies fa and fb of the output signals of the control oscillators 81 and 82 are equal to each other. Therefore, if the inclination of the solid immersion lens is controlled so that the frequencies fa and fb become equal to each other, the inclination of the solid immersion lens with respect to the optical axis can be prevented. Further, the capacitance values C 1 , C 2 , C 3 , supplied to the second and third voltage controlled oscillators,
The C 4 by selecting the selector 80 can select the direction of the tilt to be detected. That is,
When the capacitance values C 1 , C 2 , C 3 , and C 4 correspond to regions sequentially arranged in the circumferential direction around the optical axis, “Ca
= C 1 + C 2 , Cb = C 3 + C 4 ”and“ Ca =
In the case of “C 1 + C 4 , Cb = C 2 + C 3 ”, the detected inclination directions are orthogonal to each other, for example, the radial direction of the optical disk and the recording track direction. Also,
When “Ca = C 1 , Cb = C 3 ” and “Ca =
In the case of “C 2 , Cb = C 4 ”, the inclination in the 45 ° direction is detected with respect to the case described above.
【００５５】すなわち、第２の電圧制御発振器８１の出
力信号は、基準電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）８９から出
力される基準周波数（すなわち動作距離が５０ｎｍのと
きの第２の電圧制御発振器８１の発振周波数ｆａに等し
い周波数）の信号と共に、第２の周波数位相比較器（Ｐ
ＬＬ１）８３に供給される。That is, the output signal of the second voltage controlled oscillator 81 is the reference frequency output from the reference voltage controlled oscillator (VCXO) 89 (that is, the oscillation frequency of the second voltage controlled oscillator 81 when the operating distance is 50 nm). with a second frequency phase comparator (P
LL1) 83.
【００５６】第２の周波数位相比較器８３は、第２の電
圧制御発振器８１の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器８９の出力信号の周波数及び位相とを比較
し、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出力す
る。この第２の周波数位相比較器８３の出力信号は、第
１の傾き補正回路８５に送られる。The second frequency / phase comparator 83 compares the frequency and phase of the output signal of the second voltage controlled oscillator 81 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 89, And outputs a signal corresponding to the error. The output signal of the second frequency / phase comparator 83 is sent to the first inclination correction circuit 85.
【００５７】第３の電圧制御発振器８２の出力信号は、
基準電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）８９から出力される基
準周波数（すなわち動作距離が５０ｎｍのときの第３の
電圧制御発振器８２の発振周波数ｆｂに等しい周波数）
の信号と共に、第３の周波数位相比較器（ＰＬＬ２）８
４に供給される。The output signal of the third voltage controlled oscillator 82 is
The reference frequency output from the reference voltage controlled oscillator (VCXO) 89 (that is, the frequency equal to the oscillation frequency fb of the third voltage controlled oscillator 82 when the operating distance is 50 nm)
And a third frequency phase comparator (PLL2) 8
4 is supplied.
【００５８】第３の周波数位相比較器８４は、第３の電
圧制御発振器８２の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器８９の出力信号の周波数及び位相とを比較
し、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出力す
る。この第３の周波数位相比較器８４の出力信号は、第
２の傾き補正回路８６に送られる。The third frequency / phase comparator 84 compares the frequency and phase of the output signal of the third voltage controlled oscillator 82 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 89, and compares the frequency and phase of both. And outputs a signal corresponding to the error. The output signal of the third frequency / phase comparator 84 is sent to the second inclination correction circuit 86.
【００５９】第１及び第２の傾き補正回路８５，８６の
出力信号は、それぞれ増幅器８７，８８で増幅された
後、光学ピックアップ装置１の電磁アクチュエータ５に
傾きを制御する制御信号として供給される。電磁アクチ
ュエータ５が、この制御信号に従ってレンズホルダ４の
光軸に対する傾きを制御することにより、スキューサー
ボが実現される。The output signals of the first and second tilt correction circuits 85 and 86 are amplified by amplifiers 87 and 88, respectively, and then supplied to the electromagnetic actuator 5 of the optical pickup device 1 as control signals for controlling the tilt. . The skew servo is realized by the electromagnetic actuator 5 controlling the inclination of the lens holder 4 with respect to the optical axis according to the control signal.
【００６０】そして、トラッキングサーボ用の信号処理
系は、次のようにして構成されている。The signal processing system for tracking servo is configured as follows.
【００６１】図７は、光学ピックアップ１の全体の構成
を示しており、半導体レーザ３１から出射された波長６
４０ｎｍの直線偏光のレーザビームＬが、コリメータレ
ンズ３２で平行光とされ、回折格子３３でメインビーム
（０次光）とサイドビーム（±１次光）とに分離され、
１／２波長板３４で偏光面を回転された後、偏光ビーム
スプリッタ３５に入射する。FIG. 7 shows the entire configuration of the optical pickup 1, and shows the wavelength 6 emitted from the semiconductor laser 31.
A 40 nm linearly polarized laser beam L is converted into parallel light by a collimator lens 32 and separated into a main beam (0th-order light) and side beams (± 1st-order light) by a diffraction grating 33.
After the polarization plane is rotated by the half-wave plate 34, the light enters the polarization beam splitter 35.
【００６２】この入射ビームは、大部分が偏光ビームス
プリッタ３５を通過し、１／４波長板３６で円偏光とさ
れて、光学ピックアップ装置１の対物レンズ２及びソリ
ッドイマージョンレンズ３により収束されて光ディスク
５１の信号記録面に照射される。Most of this incident beam passes through a polarizing beam splitter 35, is converted into circularly polarized light by a quarter-wave plate 36, is converged by an objective lens 2 and a solid immersion lens 3 of an optical pickup device 1, and is converged on an optical disk. The signal is irradiated on the signal recording surface 51.
【００６３】なお、この入射ビームの一部は、ビームス
プリッタ３５で反射され、集光レンズ３９を経て、レー
ザビームの強度のモニター用の光検出器４０に入射す
る。A part of the incident beam is reflected by the beam splitter 35, passes through the condenser lens 39, and is incident on the photodetector 40 for monitoring the intensity of the laser beam.
【００６４】光ディスク５１の信号記録面で反射された
レーザビームは、光学ピックアップ装置１を経て、１／
４波長板３６で光ディスク５１への入射時に対して直交
する方向の直線偏光とされ、ビームスプリッタ３５で反
射され、集光レンズ３７を経て、トラッキングエラー信
号及びＲＦ信号検出用の光検出器３８に入射する。The laser beam reflected on the signal recording surface of the optical disk 51 passes through the optical pickup device 1 and
The light is converted into linearly polarized light in the direction orthogonal to the time when the light enters the optical disk 51 by the four-wavelength plate 36, reflected by the beam splitter 35, passes through the condenser lens 37, and is transmitted to a tracking error signal and an optical detector 38 for detecting an RF signal Incident.
【００６５】光検出器３８は、図８に示すように、中央
部にメインビーム受光用の４分割の受光素子（フォトダ
イオード）３８Ａ，３８Ｂ，３８Ｃ，３８Ｄが配置さ
れ、その両側にサイドビーム受光用の２分割の受光素子
３８Ｅ，３８Ｆ、３８Ｇ，３８Ｈが配置された８分割の
光検出器である。As shown in FIG. 8, the photodetector 38 has four divided light receiving elements (photodiodes) 38A, 38B, 38C and 38D for receiving the main beam at the center, and side beam receiving elements on both sides thereof. Divided photodetector on which two divided light receiving elements 38E, 38F, 38G, 38H are arranged.
【００６６】光検出器３８の各受光素子３８Ａ乃至３８
Ｈの出力信号Ａ乃至Ｈは、図４に示すように、ヘッドア
ンプ１８で増幅された後、トラッキングマトリクス回路
１９に供給される。Each light receiving element 38A to 38 of the photodetector 38
The H output signals A to H are supplied to a tracking matrix circuit 19 after being amplified by a head amplifier 18 as shown in FIG.
【００６７】トラッキングマトリクス回路１９は、出力
信号Ａ〜Ｈに基づいて次式（１１）の計算を行なうこと
により、トラッキングエラー信号ＴＥを生成する。The tracking matrix circuit 19 generates the tracking error signal TE by calculating the following equation (11) based on the output signals A to H.
【００６８】 ＴＥ＝（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）＋ｋ・｛（Ｅ−Ｆ）＋（Ｇ−Ｈ）｝…（１１） ただし、ｋは定数である。TE = (A + D) − (B + C) + k · {(EF) + (GH)} (11) where k is a constant.
【００６９】なお、光検出器３８の各受光素子３８Ａ乃
至３８Ｄの出力信号Ａ乃至Ｄは、ヘッドアンプ１８で増
幅された後この記録再生装置の図示しない再生信号処理
系にも送られ、その再生信号処理系で次式（１２）の計
算を行なうことにより、再生ＲＦ信号ＲＦが生成され
る。The output signals A to D of the light receiving elements 38A to 38D of the photodetector 38 are amplified by the head amplifier 18 and then sent to a reproduction signal processing system (not shown) of the recording / reproducing apparatus. The reproduction RF signal RF is generated by calculating the following equation (12) in the signal processing system.
【００７０】ＲＦ＝Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ …（１２） トラッキングエラー信号ＴＥは、信号処理回路２２に制
御される位相補償回路２０により位相補償され、増幅器
２１で増幅された後、光学ピックアップ装置１の電磁ア
クチュエータ５のトラッキングアクチュエータ５ｂに供
給される。RF = A + B + C + D (12) The tracking error signal TE is phase-compensated by the phase compensation circuit 20 controlled by the signal processing circuit 22 and amplified by the amplifier 21. It is supplied to the tracking actuator 5b.
【００７１】トラッキングアクチュエータ５ｂが、この
トラッキングエラー信号ＴＥに従ってレンズホルダ４を
光ディスク５１のディスク面方向に移動させることによ
り、トラッキングサーボが実現される。The tracking servo is realized by the tracking actuator 5b moving the lens holder 4 in the direction of the disk surface of the optical disk 51 in accordance with the tracking error signal TE.
【００７２】これらのフォーカスサーボ及びトラッキン
グサーボは、信号処理回路２２の制御のもとで行なわれ
る。The focus servo and tracking servo are performed under the control of the signal processing circuit 22.
【００７３】また、図７に示すモニター用の光検出器４
０の出力信号が、図４に示すように、オートパワーコン
トロール回路２３に供給されており、信号処理回路２２
の制御のもとで、このオートパワーコントロール回路２
３により、光検出器４０の出力信号の値が所定の基準値
（記録モードでの基準値と再生モードでの基準値とのい
ずれか）と一致するように、半導体レーザ３１の出力レ
ベルが調整される。The monitor photodetector 4 shown in FIG.
4 is supplied to the auto power control circuit 23 as shown in FIG.
Under the control of this auto power control circuit 2
3, the output level of the semiconductor laser 31 is adjusted so that the value of the output signal of the photodetector 40 matches a predetermined reference value (either the reference value in the recording mode or the reference value in the reproduction mode). Is done.
【００７４】そして、この光学ピックアップ装置におい
ては、図９に示すように、ソリッドイマージョンレンズ
に形成される膜６は、３つの領域６ａ，６ｂ，６ｃに放
射状に等分割して形成することとしてもよい。この場合
には、膜６は、３つの導電性部として、光ディスクとの
間に３つの静電容量を形成する。In this optical pickup device, as shown in FIG. 9, the film 6 formed on the solid immersion lens may be equally divided radially into three regions 6a, 6b, 6c. Good. In this case, the film 6 forms three capacitances with the optical disc as three conductive portions.
【００７５】これら静電容量の値Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3は、膜
６の分割された各領域６ａ，６ｂ，６ｃと光ディスク５
１との対向面積をＳ1，Ｓ2，Ｓ3、該各領域６ａ，６
ｂ，６ｃと光ディスク５１との間の距離をｈ1，ｈ2，ｈ
3とすると、次式（１３）乃至（１５）により求められ
る。The capacitance values C 1 , C 2 , and C 3 are determined by dividing the respective areas 6 a, 6 b, and 6 c of the film 6 and the optical disk 5.
The areas facing S1 and S1 are S 1 , S 2 and S 3 , and the respective areas 6 a and 6
The distances between the optical disks 51 and b, 6c and h 1 , h 2 , h
If it is set to 3 , it is obtained by the following equations (13) to (15).
【００７６】 Ｃ1＝ε0・εr・Ｓ1／ｈ1 …（１３） Ｃ2＝ε0・εr・Ｓ2／ｈ2 …（１４） Ｃ3＝ε0・εr・Ｓ3／ｈ3 …（１５） ただし、ε0は真空誘電率（８．８５４×１０-12 （Ｆ
／ｍ））、εrは比誘電率（空気中ではほぼ１）であ
る。C 1 = ε 0 · ε r · S 1 / h 1 (13) C 2 = ε 0 · ε r · S 2 / h 2 (14) C 3 = ε 0 · ε r · S 3 / H 3 (15) where ε 0 is the vacuum dielectric constant (8.854 × 10 −12 (F
/ M)), and ε r is the relative dielectric constant (almost 1 in air).
【００７７】そして、この場合におけるスキューサーボ
用の信号処理系は、図１０に示すように構成されてい
る。光学ピックアップ装置１から取り出された、各静電
容量値Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3を示す電圧信号は、第４、第５及
び第６の電圧制御発振器（ＶＣＯ１）９１，（ＶＣＯ
２）９２，（ＶＣＯ３）９３に供給される。The signal processing system for the skew servo in this case is configured as shown in FIG. The voltage signals indicating the capacitance values C 1 , C 2 , and C 3 extracted from the optical pickup device 1 are output from the fourth, fifth, and sixth voltage-controlled oscillators (VCO1) 91, (VCO1).
2) It is supplied to 92 and (VCO3) 93.
【００７８】第４乃至第６の電圧制御発振器９１，９
２，９３は、それぞれＬＣ発振器から成っており、この
電圧信号の示す静電容量値Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3と第４乃至第
６の電圧制御発振器９１，９２，９３の内部の一定値の
インダクタンスＬとに基づき、次式（１６）乃至（１
８）に示すような発振周波数ｆ1，ｆ2，ｆ3の信号を出
力する。Fourth to sixth voltage controlled oscillators 91 and 9
Numerals 2 and 93 are respectively composed of LC oscillators, and the capacitance values C 1 , C 2 and C 3 indicated by the voltage signals and the constant values inside the fourth to sixth voltage controlled oscillators 91, 92 and 93. (16) to (1) based on the inductance L of
Signals of oscillation frequencies f 1 , f 2 and f 3 as shown in 8) are output.
【００７９】 ｆ1＝１／２π√（ＬＣ1） …（１６） ｆ2＝１／２π√（ＬＣ2） …（１７） ｆ3＝１／２π√（ＬＣ3） …（１８） ソリッドイマージョンレンズの光軸に対する傾きがない
場合には、第４乃至第６の電圧制御発振器９１，９２，
９３の出力信号の周波数ｆ1，ｆ2，ｆ3は互いに等しい
周波数となる。したがって、これら周波数ｆ1，ｆ2，ｆ
3が互いに等しくなるようにソリッドイマージョンレン
ズの傾きを制御すれば、該ソリッドイマージョンレンズ
の光軸に対する傾きを防止することができる。F 1 = １ ／ π√ (LC 1 ) (16) f 2 = １ ／ π√ (LC 2 ) (17) f 3 = １ ／ π√ (LC 3 ) (18) Solid immersion When there is no tilt with respect to the optical axis of the lens, the fourth to sixth voltage controlled oscillators 91, 92,
The frequencies f 1 , f 2 , f 3 of the output signal 93 are equal to each other. Therefore, these frequencies f 1 , f 2 , f
If the inclination of the solid immersion lens is controlled so that 3 becomes equal to each other, the inclination of the solid immersion lens with respect to the optical axis can be prevented.
【００８０】すなわち、第４の電圧制御発振器９１の出
力信号は、基準電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）１０１から
出力される基準周波数（すなわち動作距離が５０ｎｍの
ときの第４の電圧制御発振器９１の発振周波数ｆ1に等
しい周波数）の信号と共に、第４の周波数位相比較器
（ＰＬＬ１）９４に供給される。That is, the output signal of the fourth voltage controlled oscillator 91 is the reference frequency output from the reference voltage controlled oscillator (VCXO) 101 (that is, the oscillation frequency of the fourth voltage controlled oscillator 91 when the operating distance is 50 nm). signals with equal frequency) to f 1, is supplied to the fourth frequency phase comparator (PLL1) 94.
【００８１】第４の周波数位相比較器９４は、第４の電
圧制御発振器９１の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器１０１の出力信号の周波数及び位相とを比
較して、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出
力する。この第４の周波数位相比較器９４の出力信号
は、第３及び第４の傾き補正回路９７，９８に送られ
る。The fourth frequency / phase comparator 94 compares the frequency and phase of the output signal of the fourth voltage controlled oscillator 91 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 101, A signal corresponding to the phase error is output. The output signal of the fourth frequency / phase comparator 94 is sent to third and fourth inclination correction circuits 97 and 98.
【００８２】また、第５の電圧制御発振器９２の出力信
号は、基準電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）１０１から出力
される基準周波数（すなわち動作距離が５０ｎｍのとき
の第５の電圧制御発振器９２の発振周波数ｆ2に等しい
周波数）の信号と共に第５の周波数位相比較器（ＰＬＬ
２）９５に供給される。The output signal of the fifth voltage controlled oscillator 92 is the reference frequency output from the reference voltage controlled oscillator (VCXO) 101 (that is, the oscillation frequency of the fifth voltage controlled oscillator 92 when the operating distance is 50 nm). fifth frequency phase comparator with a signal equal frequency) to f 2 (PLL
2) Supplied to 95.
【００８３】第５の周波数位相比較器９５は、第５の電
圧制御発振器９２の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器１０１の出力信号の周波数及び位相とを比
較して、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出
力する。この第５の周波数位相比較器９５の出力信号
は、第３及び第４の傾き補正回路９７，９８に送られ
る。The fifth frequency / phase comparator 95 compares the frequency and phase of the output signal of the fifth voltage controlled oscillator 92 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 101, A signal corresponding to the phase error is output. The output signal of the fifth frequency / phase comparator 95 is sent to third and fourth inclination correction circuits 97 and 98.
【００８４】そして、第６の電圧制御発振器９３の出力
信号は、基準電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）１０１から出
力される基準周波数（すなわち動作距離が５０ｎｍのと
きの第６の電圧制御発振器９３の発振周波数ｆ3に等し
い周波数）の信号と共に、第６の周波数位相比較器（Ｐ
ＬＬ３）９６に供給される。The output signal of the sixth voltage controlled oscillator 93 is the reference frequency output from the reference voltage controlled oscillator (VCXO) 101 (that is, the oscillation frequency of the sixth voltage controlled oscillator 93 when the operating distance is 50 nm). together with the signal of frequency equal) to f 3, sixth frequency phase comparator (P
LL3) 96.
【００８５】第６の周波数位相比較器９６は、第６の電
圧制御発振器９３の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器１０１の出力信号の周波数及び位相とを比
較して、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出
力する。この第６の周波数位相比較器９６の出力信号
は、第３及び第４の傾き補正回路９７，９８に送られ
る。The sixth frequency / phase comparator 96 compares the frequency and phase of the output signal of the sixth voltage controlled oscillator 93 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 101, A signal corresponding to the phase error is output. The output signal of the sixth frequency / phase comparator 96 is sent to third and fourth inclination correction circuits 97 and 98.
【００８６】第３及び第４の傾き補正回路９７，９８の
出力信号は、それぞれ増幅器９９，１００で増幅された
後、光学ピックアップ装置１の電磁アクチュエータ５に
傾きを制御する制御信号として供給される。電磁アクチ
ュエータ５が、この制御信号に従ってレンズホルダ４の
光軸に対する傾きを制御することにより、スキューサー
ボが実現される。The output signals of the third and fourth tilt correction circuits 97 and 98 are amplified by amplifiers 99 and 100, respectively, and then supplied to the electromagnetic actuator 5 of the optical pickup device 1 as control signals for controlling the tilt. . The skew servo is realized by the electromagnetic actuator 5 controlling the inclination of the lens holder 4 with respect to the optical axis according to the control signal.
【００８７】また、この光学ピックアップ装置において
は、導電性の素材から成る膜は、図１１に示すように、
等分割ではなく、全体の１／４の面積を有する２つの領
域６ａ，６ｂと、全体の１／２の面積を有する１つの領
域６ｃとに放射状に３分割されたものとしてもよい。こ
の場合における各領域６ａ，６ｂ，６ｃと光ディスクと
の間の静電容量の値をＣ1，Ｃ2，Ｃ3とすると、面積が
他の領域の６ａ，６ｂの２倍である領域６ｃについての
静電容量Ｃ3は、他の領域についての静電容量Ｃ1，Ｃ2
の２倍となる。In this optical pickup device, the film made of a conductive material is formed as shown in FIG.
Instead of being equally divided, it may be radially divided into three regions, i.e., two regions 6a and 6b having an area of 1/4 of the whole and one region 6c having an area of 1/2 of the whole. Each region 6a in this case, 6b, when the value of the capacitance between the 6c and the optical disc and C 1, C 2, C 3 , area of the other regions 6a, the region 6c is twice as 6b the capacitance of C 3 is the capacitance of the other areas C 1, C 2
Is twice as large as
【００８８】そして、この場合におけるスキューサーボ
用の信号処理系は、図１０に示すように構成される。光
学ピックアップ装置１から取り出された、各静電容量値
Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3を示す電圧信号は、第４、第５及び第６
の電圧制御発振器（ＶＣＯ１）９１，（ＶＣＯ２）９
２，（ＶＣＯ３）９３に供給される。The signal processing system for the skew servo in this case is configured as shown in FIG. The voltage signals indicating the capacitance values C 1 , C 2 , and C 3 extracted from the optical pickup device 1 are the fourth, fifth, and sixth voltage signals.
Voltage-controlled oscillators (VCO1) 91, (VCO2) 9
2, (VCO3) 93.
【００８９】第４乃至第６の電圧制御発振器９１，９
２，９３は、それぞれＬＣ発振器から成っており、この
電圧信号の示す静電容量値Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3と第４乃至第
６の電圧制御発振器９１，９２，９３の内部の一定値の
インダクタンスＬとに基づき、次式（１６）乃至（１
８）に示すような発振周波数ｆ1，ｆ2，ｆ3の信号を出
力する。Fourth to sixth voltage controlled oscillators 91 and 9
Numerals 2 and 93 are respectively composed of LC oscillators, and the capacitance values C 1 , C 2 and C 3 indicated by the voltage signals and the constant values inside the fourth to sixth voltage controlled oscillators 91, 92 and 93. (16) to (1) based on the inductance L of
Signals of oscillation frequencies f 1 , f 2 and f 3 as shown in 8) are output.
【００９０】 ｆ1＝１／２π√（ＬＣ1） …（１９） ｆ2＝１／２π√（ＬＣ2） …（２０） ｆ3＝１／２π√（ＬＣ3） …（２１） なお、ここでは、ｆ3は、ｆ1及びｆ2の（１／√２）と
なる。ソリッドイマージョンレンズの光軸に対する傾き
がない場合には、第４乃至第６の電圧制御発振器９１，
９２，９３の出力信号の周波数ｆ1，ｆ2，ｆ3について
次式（２２）が成立する。F 1 = １ ／ π√ (LC 1 ) (19) f 2 = １ ／ π√ (LC 2 ) (20) f 3 = １ ／ π√ (LC 3 ) (21) Here, f 3 is (1 / √2) of f 1 and f 2 . When there is no inclination of the solid immersion lens with respect to the optical axis, the fourth to sixth voltage controlled oscillators 91,
The following equation (22) holds for the frequencies f 1 , f 2 , and f 3 of the output signals 92 and 93.
【００９１】ｆ1＝ｆ2＝√２・ｆ3 …（２２） したがって、この式（２２）が成立するようにソリッド
イマージョンレンズの傾きを制御すれば、該ソリッドイ
マージョンレンズの光軸に対する傾きを防止することが
できる。F 1 = f 2 = √2 · f 3 (22) Therefore, if the inclination of the solid immersion lens is controlled so as to satisfy the equation (22), the inclination of the solid immersion lens with respect to the optical axis is obtained. Can be prevented.
【００９２】また、この場合においては、静電容量Ｃ1
とＣ2について比較、すなわち、発振周波数ｆ1とｆ2と
の比較により、例えば、記録トラック方向の傾きの検出
ができ、静電容量（Ｃ1＋Ｃ2）とＣ3について比較、す
なわち、発振周波数（ｆ1＋ｆ2）・（１／２√２）とｆ
3との比較により、記録トラック方向に直交する光ディ
スクの半径方向の傾きの検出を行うことができる。In this case, the capacitance C 1
And C 2 , that is, by comparing the oscillation frequencies f 1 and f 2 , for example, the inclination in the recording track direction can be detected, and the capacitance (C 1 + C 2 ) and C 3 are compared, ie, oscillation Frequency (f 1 + f 2 ) · (1 / 2√2) and f
By comparison with 3 , it is possible to detect the inclination of the optical disk in the radial direction orthogonal to the recording track direction.
【００９３】スキューサーボ用の信号処理系において
は、第４の電圧制御発振器９１の出力信号は、基準電圧
制御発振器（ＶＣＸＯ）１０１から出力される基準周波
数（すなわち動作距離が５０ｎｍのときの第４の電圧制
御発振器９１の発振周波数ｆ1に等しい周波数）の信号
と共に、第４の周波数位相比較器（ＰＬＬ１）９４に供
給される。In the signal processing system for skew servo, the output signal of the fourth voltage controlled oscillator 91 is the reference frequency output from the reference voltage controlled oscillator (VCXO) 101 (that is, the fourth signal when the operating distance is 50 nm). with signals of equal frequency) to the oscillation frequency f 1 of the voltage controlled oscillator 91, it is supplied to the fourth frequency phase comparator (PLL1) 94.
【００９４】第４の周波数位相比較器９４は、第４の電
圧制御発振器９１の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器１０１の出力信号の周波数及び位相とを比
較して、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出
力する。この第４の周波数位相比較器９４の出力信号
は、第３及び第４の傾き補正回路９７，９８に送られ
る。The fourth frequency / phase comparator 94 compares the frequency and phase of the output signal of the fourth voltage controlled oscillator 91 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 101, A signal corresponding to the phase error is output. The output signal of the fourth frequency / phase comparator 94 is sent to third and fourth inclination correction circuits 97 and 98.
【００９５】また、第５の電圧制御発振器９２の出力信
号は、基準電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）１０１から出力
される基準周波数（すなわち動作距離が５０ｎｍのとき
の第５の電圧制御発振器９２の発振周波数ｆ2に等しい
周波数）の信号と共に第５の周波数位相比較器（ＰＬＬ
２）９５に供給される。The output signal of the fifth voltage controlled oscillator 92 is the reference frequency output from the reference voltage controlled oscillator (VCXO) 101 (that is, the oscillation frequency of the fifth voltage controlled oscillator 92 when the operating distance is 50 nm). fifth frequency phase comparator with a signal equal frequency) to f 2 (PLL
2) Supplied to 95.
【００９６】第５の周波数位相比較器９５は、第５の電
圧制御発振器９２の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器１０１の出力信号の周波数及び位相とを比
較して、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出
力する。この第５の周波数位相比較器９５の出力信号
は、第３及び第４の傾き補正回路９７，９８に送られ
る。The fifth frequency / phase comparator 95 compares the frequency and phase of the output signal of the fifth voltage controlled oscillator 92 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 101, A signal corresponding to the phase error is output. The output signal of the fifth frequency / phase comparator 95 is sent to third and fourth inclination correction circuits 97 and 98.
【００９７】そして、第６の電圧制御発振器９３の出力
信号は、基準電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）１０１から出
力される基準周波数（すなわち動作距離が５０ｎｍのと
きの第６の電圧制御発振器９３の発振周波数ｆ3に等し
い周波数）の信号と共に、第６の周波数位相比較器（Ｐ
ＬＬ３）９６に供給される。The output signal of the sixth voltage controlled oscillator 93 is the reference frequency output from the reference voltage controlled oscillator (VCXO) 101 (that is, the oscillation frequency of the sixth voltage controlled oscillator 93 when the operating distance is 50 nm). together with the signal of frequency equal) to f 3, sixth frequency phase comparator (P
LL3) 96.
【００９８】第６の周波数位相比較器９６は、第６の電
圧制御発振器９３の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器１０１の出力信号の周波数及び位相とを比
較して、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出
力する。この第６の周波数位相比較器９６の出力信号
は、第３及び第４の傾き補正回路９７，９８に送られ
る。The sixth frequency / phase comparator 96 compares the frequency and phase of the output signal of the sixth voltage controlled oscillator 93 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 101, A signal corresponding to the phase error is output. The output signal of the sixth frequency / phase comparator 96 is sent to third and fourth inclination correction circuits 97 and 98.
【００９９】第３及び第４の傾き補正回路９７，９８の
出力信号は、それぞれ増幅器９９，１００で増幅された
後、光学ピックアップ装置１の電磁アクチュエータ５に
傾きを制御する制御信号として供給される。電磁アクチ
ュエータ５が、この制御信号に従ってレンズホルダ４の
光軸に対する傾きを制御することにより、スキューサー
ボが実現される。Output signals from the third and fourth tilt correction circuits 97 and 98 are amplified by amplifiers 99 and 100, respectively, and then supplied to the electromagnetic actuator 5 of the optical pickup device 1 as control signals for controlling tilt. . The skew servo is realized by the electromagnetic actuator 5 controlling the inclination of the lens holder 4 with respect to the optical axis according to the control signal.
【０１００】さらに、この光学ピックアップ装置におい
ては、導電性の素材から成る膜は、図１２に示すよう
に、２つの領域６ａ，６ｂに放射状に２分割されたもの
としてもよい。ただし、この場合には、記録トラック方
向、または、光ディスクの半径方向など、一の方向の傾
きしか検出することはできない。Further, in this optical pickup device, the film made of a conductive material may be radially divided into two regions 6a and 6b as shown in FIG. However, in this case, it is possible to detect only a tilt in one direction such as the recording track direction or the radial direction of the optical disk.
【０１０１】この場合におけるスキューサーボ用の信号
処理系は、図６に示すように構成される。光学ピックア
ップ装置１から取り出された、各静電容量値Ｃ1，Ｃ2を
示す電圧信号は、セレクタ８０を介して、第２の電圧制
御発振器（ＶＣＯ１）８１及び第３の電圧制御発振器
（ＶＣＯ２）８２に供給される。第２の電圧制御発振器
８１には、静電容量値Ｃ1が供給される。また、第３の
電圧制御発振器８２には、静電容量値Ｃ2が供給され
る。The signal processing system for the skew servo in this case is configured as shown in FIG. The voltage signals indicating the capacitance values C 1 and C 2 extracted from the optical pickup device 1 are passed through a selector 80 to a second voltage controlled oscillator (VCO 1) 81 and a third voltage controlled oscillator (VCO 2). ) 82. The capacitance value C 1 is supplied to the second voltage controlled oscillator 81. Further, the capacitance value C 2 is supplied to the third voltage controlled oscillator 82.
【０１０２】第２及び第３の電圧制御発振器８１，８２
は、それぞれＬＣ発振器から成っており、この電圧信号
の示す静電容量値Ｃ1，Ｃ2と第２及び第３の電圧制御発
振器８１，８２の内部の一定値のインダクタンスＬとに
基づき、次式（２３）及び（２４）に示すような発振周
波数ｆ1，ｆ2の信号を出力する。Second and third voltage controlled oscillators 81 and 82
Are respectively composed of LC oscillators, and based on the capacitance values C 1 and C 2 indicated by the voltage signals and the constant value inductance L inside the second and third voltage controlled oscillators 81 and 82, Signals of oscillation frequencies f 1 and f 2 as shown in equations (23) and (24) are output.
【０１０３】 ｆ1＝１／２π√（ＬＣ1） …（２３） ｆ2＝１／２π√（ＬＣ2） …（２４） ソリッドイマージョンレンズの光軸に対する傾きがない
場合には、第２及び第３の電圧制御発振器８１，８２の
出力信号の周波数ｆ1，ｆ2は互いに等しい周波数とな
る。したがって、これら周波数ｆ1，ｆ2が互いに等しく
なるようにソリッドイマージョンレンズの傾きを制御す
れば、該ソリッドイマージョンレンズの光軸に対する一
定方向の傾きを防止することができる。F 1 = １ ／ π√ (LC 1 ) (23) f 2 = １ ／ π√ (LC 2 ) (24) If there is no inclination with respect to the optical axis of the solid immersion lens, The frequencies f 1 and f 2 of the output signals of the third voltage controlled oscillators 81 and 82 are equal to each other. Therefore, if the inclination of the solid immersion lens is controlled so that the frequencies f 1 and f 2 become equal to each other, it is possible to prevent the solid immersion lens from being inclined with respect to the optical axis in a certain direction.
【０１０４】第２の電圧制御発振器８１の出力信号は、
基準電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）８９から出力される基
準周波数（すなわち動作距離が５０ｎｍのときの第２の
電圧制御発振器８１の発振周波数ｆ1に等しい周波数）
の信号と共に、第２の周波数位相比較器（ＰＬＬ１）８
３に供給される。The output signal of the second voltage controlled oscillator 81 is
A reference frequency output from a reference voltage controlled oscillator (VCXO) 89 (that is, a frequency equal to the oscillation frequency f 1 of the second voltage controlled oscillator 81 when the operating distance is 50 nm)
And the second frequency phase comparator (PLL1) 8
3 is supplied.
【０１０５】第２の周波数位相比較器８３は、第２の電
圧制御発振器８１の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器８９の出力信号の周波数及び位相とを比較
し、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出力す
る。この第２の周波数位相比較器８３の出力信号は、第
１の傾き補正回路８５に送られる。The second frequency / phase comparator 83 compares the frequency and phase of the output signal of the second voltage controlled oscillator 81 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 89, and compares the frequency and phase of both. And outputs a signal corresponding to the error. The output signal of the second frequency / phase comparator 83 is sent to the first inclination correction circuit 85.
【０１０６】第３の電圧制御発振器８２の出力信号は、
基準電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）８９から出力される基
準周波数（すなわち動作距離が５０ｎｍのときの第３の
電圧制御発振器８２の発振周波数ｆ2に等しい周波数）
の信号と共に、第３の周波数位相比較器（ＰＬＬ２）８
４に供給される。The output signal of the third voltage controlled oscillator 82 is
Reference frequency output from reference voltage controlled oscillator (VCXO) 89 (that is, frequency equal to oscillation frequency f 2 of third voltage controlled oscillator 82 when operating distance is 50 nm)
And a third frequency phase comparator (PLL2) 8
4 is supplied.
【０１０７】第３の周波数位相比較器８４は、第３の電
圧制御発振器８２の出力信号の周波数及び位相と基準電
圧制御発振器８９の出力信号の周波数及び位相とを比較
し、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信号を出力す
る。この第３の周波数位相比較器８４の出力信号は、第
２の傾き補正回路８６に送られる。The third frequency / phase comparator 84 compares the frequency and phase of the output signal of the third voltage controlled oscillator 82 with the frequency and phase of the output signal of the reference voltage controlled oscillator 89, and compares the frequency and phase of both. And outputs a signal corresponding to the error. The output signal of the third frequency / phase comparator 84 is sent to the second inclination correction circuit 86.
【０１０８】第１及び第２の傾き補正回路８５，８６の
出力信号は、それぞれ増幅器８７，８８で増幅された
後、光学ピックアップ装置１の電磁アクチュエータ５に
傾きを制御する制御信号として供給される。電磁アクチ
ュエータ５が、この制御信号に従ってレンズホルダ４の
光軸に対する傾きを制御することにより、スキューサー
ボが実現される。The output signals of the first and second tilt correction circuits 85 and 86 are amplified by amplifiers 87 and 88, respectively, and then supplied to the electromagnetic actuator 5 of the optical pickup device 1 as control signals for controlling the tilt. . The skew servo is realized by the electromagnetic actuator 5 controlling the inclination of the lens holder 4 with respect to the optical axis according to the control signal.
【０１０９】なお、以上の実施の形態では、光ディスク
にレーザ光束を照射させる対物レンズの機能を持つ光学
素子と、この対物レンズと光ディスクとの間に介在され
るソリッドイマージョンレンズの機能を持つ光学素子と
して、対物レンズ及びソリッドイマージョンレンズとい
う２つのレンズを設けている。しかし、本発明に係る光
学ピックアップ装置は、このような構成に限られず、こ
れら対物レンズの機能及びソリッドイマージョンレンズ
の機能を併せ持つ単一の光学素子を有して構成されるも
のとしてもよい。In the above embodiment, the optical element having the function of an objective lens for irradiating the optical disk with a laser beam and the optical element having the function of a solid immersion lens interposed between the objective lens and the optical disk are described. , Two lenses, an objective lens and a solid immersion lens, are provided. However, the optical pickup device according to the present invention is not limited to such a configuration, and may be configured to include a single optical element having both the function of the objective lens and the function of the solid immersion lens.
【０１１０】このような単一の光学素子としては、例え
ば、１９９８年にＳＰＩＥから発刊された『Ｄｉｇｅｓ
ｔ ｏｆ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｄａｔａ Ｓｔｏｒａｇ
ｅ』Ａｓｐｅｎの１３７〜１３９頁に掲載のＣｈｕｌ
Ｗｏｏ Ｌｅｅ氏等の論文「Ｆｅａｓｉｂｉｌｉｔｙ
ｓｔｕｄｙ ｏｎ ｎｅａｒ ｆｉｅｌｄ ｏｐｔｉｃ
ａｌ ｍｅｍｏｒｙ ｕｓｉｎｇ ａ ｃａｔａｄｉｏ
ｐｔｒｉｃ ｏｐｔｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍ」に記載さ
れている反射型集光素子を挙げることができる。As such a single optical element, for example, “Diges” published by SPIE in 1998
t of Optical Data Storage
e] Chul on pages 137-139 of Aspen.
Woo Lee et al.'S paper "Feasibility"
study on near field optic
al memory using a catadio
and a reflective light-collecting element described in “Ptric optical system”.
【０１１１】あるいは、対物レンズの機能を持つ光学素
子とソリッドイマージョンレンズの機能を持つ光学素子
として、３つ以上の光学素子から構成されるものとして
もよく、また、ホログラム素子からなるものとしてもよ
い。Alternatively, the optical element having the function of the objective lens and the optical element having the function of the solid immersion lens may be composed of three or more optical elements, or may be composed of the hologram element. .
【０１１２】また、以上の実施の形態では、本発明に係
る光学ピックアップ装置を、記録媒体として相変化形の
光ディスクを用いる記録再生装置において使用されるも
のとして構成しているが、本発明に係る光学ピックアッ
プ装置は、光磁気ディスクを記録媒体として用いる記録
再生装置や、記録媒体からの情報信号の再生のみを行う
再生装置や、例えば光カードの如き光ディスク以外の光
学記録媒体を記録媒体として用いる記録再生装置におい
て使用されるものとして構成してもよい。In the above embodiment, the optical pickup device according to the present invention is configured to be used in a recording / reproducing device using a phase-change optical disk as a recording medium. An optical pickup device is a recording / reproducing device that uses a magneto-optical disk as a recording medium, a reproducing device that only reproduces an information signal from the recording medium, or a recording device that uses an optical recording medium other than an optical disk such as an optical card as a recording medium. It may be configured to be used in a playback device.
【０１１３】[0113]
【発明の効果】上述のように、本発明に係る光学ピック
アップ装置は、ソリッドイマージョンレンズを備えて構
成され光源から発せられた光束を光学記録媒体に収束さ
せて照射する光学手段と、ソリッドイマージョンレンズ
の光学記録媒体に対向する対向面上に設けられた複数の
導電性部と、これら複数の導電性部と記録媒体が有する
導電性部との間の各静電容量を検出する静電容量検出手
段と、この静電容量検出手段による検出結果に基づいて
光学手段の光軸に対する傾きを検出する傾き検出手段と
を備えている。As described above, the optical pickup device according to the present invention is provided with the solid immersion lens, the optical means for converging and irradiating the light beam emitted from the light source to the optical recording medium, and the solid immersion lens. Capacitance detection for detecting a plurality of conductive portions provided on a facing surface facing an optical recording medium, and detecting respective capacitances between the plurality of conductive portions and a conductive portion of the recording medium Means, and inclination detecting means for detecting an inclination of the optical means with respect to the optical axis based on the detection result by the capacitance detecting means.
【０１１４】したがって、本発明は、ソリッドイマージ
ョンレンズを用いることにより光学手段の開口数を大き
くすることができ、かつ、ソリッドイマージョンレンズ
の傾きを高精度に制御することができる光学ピックアッ
プ装置を提供することができるものである。Therefore, the present invention provides an optical pickup device which can increase the numerical aperture of the optical means by using a solid immersion lens and can control the inclination of the solid immersion lens with high precision. Is what you can do.
【図１】本発明に係る光学ピックアップ装置の構成を示
す縦断面側面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional side view showing a configuration of an optical pickup device according to the present invention.
【図２】上記光学ピックアップ装置の光学手段を構成す
るソリッドイマージョンレンズの構成を示す側面図であ
る。FIG. 2 is a side view showing a configuration of a solid immersion lens constituting an optical unit of the optical pickup device.
【図３】上記ソリッドイマージョンレンズの底面部の構
成を示す底面図である。FIG. 3 is a bottom view showing a configuration of a bottom portion of the solid immersion lens.
【図４】上記光学ピックアップ装置を用いた記録再生装
置のフォーカスサーボ信号及びトラッキングサーボ信号
処理系の構成例を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram illustrating a configuration example of a focus servo signal and tracking servo signal processing system of a recording / reproducing apparatus using the optical pickup device.
【図５】光ディスクにおけるランド部及びグループ部の
構成を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a configuration of a land portion and a group portion on the optical disc.
【図６】上記光学ピックアップ装置を用いた記録再生装
置のスキューサーボ信号処理系の構成例を示すブロック
図である。FIG. 6 is a block diagram illustrating a configuration example of a skew servo signal processing system of a recording / reproducing apparatus using the optical pickup device.
【図７】上記光学ピックアップ装置の全体の構成を示す
側面図である。FIG. 7 is a side view showing the overall configuration of the optical pickup device.
【図８】上記光学ピックアップ装置の光検出器上の受光
素子の配置を示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing an arrangement of light receiving elements on a photodetector of the optical pickup device.
【図９】上記ソリッドイマージョンレンズの底面部の構
成の他の形態（膜を３等分割したもの）を示す底面図で
ある。FIG. 9 is a bottom view showing another embodiment (three divided films) of the configuration of the bottom part of the solid immersion lens.
【図１０】上記ソリッドイマージョンレンズの底面部の
構成を図９に示すものとした場合のスキューサーボ信号
処理系の構成例を示すブロック図である。FIG. 10 is a block diagram showing a configuration example of a skew servo signal processing system when the configuration of the bottom portion of the solid immersion lens is as shown in FIG. 9;
【図１１】上記ソリッドイマージョンレンズの底面部の
構成の他の形態（膜を３分割したもの）を示す底面図で
ある。FIG. 11 is a bottom view showing another embodiment (three divided films) of the configuration of the bottom part of the solid immersion lens.
【図１２】上記ソリッドイマージョンレンズの底面部の
構成の他の形態（膜を２等分割したもの）を示す底面図
である。FIG. 12 is a bottom view showing another embodiment of the configuration of the bottom portion of the solid immersion lens (a film obtained by dividing the film into two equal parts).
【図１３】ソリッドイマージョンレンズによる開口数の
増大の原理を示す側面図である。FIG. 13 is a side view showing the principle of increasing the numerical aperture by a solid immersion lens.
【図１４】開口数が１を超えるときの光ディスク上での
レーザビームの強度分布を示すグラフである。FIG. 14 is a graph showing the intensity distribution of a laser beam on an optical disk when the numerical aperture exceeds 1.
１ 光学ピックアップ装置、２ 対物レンズ、３ ソリ
ッドイマージョンレンズ、３ａ （ソリッドイマージョ
ンレンズの底面の）中央部、３ｂ （ソリッドイマージ
ョンレンズの底面の）周辺部、４ レンズホルダ、５
電磁アクチュエータ、５ａ フォーカスアクチュエー
タ、５ｂ トラッキングアクチュエータ、６ アルミニ
ウム膜、１１ スピンドルモータ、１３ 電圧制御発振
器（ＶＣＯ）、１４ 電圧制御発振器（ＶＣＸＯ）、１
５ フェーズロックドループ（ＰＬＬ）、１６，２０
位相補償回路、１７，２１ 増幅器、１８ ヘッドアン
プ、１９ トラッキングマトリクス回路、２２ 信号処
理回路（ＣＰＵ）、２３ オートパワーコントロール
（ＡＰＣ）回路、３１ 半導体レーザ、３２ コリメー
タレンズ、３３ 回折格子、３４ １／２波長板、３５
偏光ビームスプリッタ、３６ １／４波長板、３７，
３９ 集光レンズ、３８，４０ 光検出器、３８Ａ〜３
８Ｈ 受光素子（フォトダイオード）、５１ 光ディス
クReference Signs List 1 optical pickup device, 2 objective lens, 3 solid immersion lens, 3a central part (on bottom surface of solid immersion lens), 3b peripheral part (on bottom surface of solid immersion lens), 4 lens holder, 5 lens holder
Electromagnetic actuator, 5a focus actuator, 5b tracking actuator, 6 aluminum film, 11 spindle motor, 13 voltage controlled oscillator (VCO), 14 voltage controlled oscillator (VCXO), 1
5 Phase locked loop (PLL), 16, 20
Phase compensation circuit, 17, 21 amplifier, 18 head amplifier, 19 tracking matrix circuit, 22 signal processing circuit (CPU), 23 auto power control (APC) circuit, 31 semiconductor laser, 32 collimator lens, 33 diffraction grating, 341 / 2 wavelength plate, 35
Polarizing beam splitter, 36 1/4 wavelength plate, 37,
39 condenser lens, 38, 40 photodetector, 38A-3
8H light receiving element (photodiode), 51 optical disk
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒田 裕児 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 山本 健二 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 大里 潔 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 5D118 AA06 BA01 CD04 CD15 CF27 DC02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroji Kuroda 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Kenji Yamamoto 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Kiyoshi Osato 6-7-35 Kita Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation F-term (reference) 5D118 AA06 BA01 CD04 CD15 CF27 DC02
Claims (7)
源から発せられた光束を光学記録媒体に収束させて照射
する光学手段と、 上記ソリッドイマージョンレンズの光学記録媒体に対向
する対向面上に設けられた複数の導電性部と、 上記複数の導電性部と上記記録媒体が有する導電性部と
の間の各静電容量を検出する静電容量検出手段と、 上記静電容量検出手段による検出結果に基づき、上記光
学手段の光軸に対する傾きを検出する傾き検出手段とを
備えたことを特徴とする光学ピックアップ装置。1. An optical means comprising a light source and a solid immersion lens, for converging and irradiating a light beam emitted from the light source onto an optical recording medium, and opposing the solid immersion lens to the optical recording medium. A plurality of conductive portions provided on a surface; capacitance detection means for detecting each capacitance between the plurality of conductive portions and the conductive portion of the recording medium; An optical pickup device comprising: a tilt detection unit that detects a tilt of the optical unit with respect to the optical axis based on a detection result by the detection unit.
き、光学手段の最も記録媒体側の面と該記録媒体の表面
との間の動作距離を検出する動作距離検出手段を備えた
ことを特徴とする請求項１記載の光学ピックアップ装
置。2. An operating distance detecting means for detecting an operating distance between a surface of the optical means closest to the recording medium and a surface of the recording medium based on a detection result by the capacitance detecting means. The optical pickup device according to claim 1, wherein
光学手段の傾きを制御する傾き制御手段を備えているこ
とを特徴とする請求項１記載の光学ピックアップ装置。3. Based on the detection result by the inclination detecting means,
2. The optical pickup device according to claim 1, further comprising a tilt control unit for controlling a tilt of the optical unit.
き、光学手段の最も記録媒体側の面と該記録媒体の表面
との間の動作距離を検出する動作距離検出手段と、 上記動作距離検出手段による検出結果に基づき、動作距
離を制御する動作距離制御手段とを備えていることを特
徴とする請求項３記載の光学ピックアップ装置。4. An operating distance detecting means for detecting an operating distance between a surface of the optical means closest to the recording medium and a surface of the recording medium, based on a detection result by the electrostatic capacity detecting means; 4. The optical pickup device according to claim 3, further comprising an operation distance control unit that controls an operation distance based on a detection result by the unit.
記録媒体に対向する面は、中央部が突起していると共に
その周辺部が平面であり、該周辺部に導電性の素材から
成る複数の領域に分割された膜である複数の導電性部が
形成されていることを特徴とする請求項１記載の光学ピ
ックアップ装置。5. A surface of the solid immersion lens facing the optical recording medium has a central portion protruding and a peripheral portion flat, and the peripheral portion is divided into a plurality of regions made of a conductive material. 2. The optical pickup device according to claim 1, wherein a plurality of conductive portions, which are formed films, are formed.
る３つの領域に分割された膜であることを特徴とする請
求項５記載の光学ピックアップ装置。6. The optical pickup device according to claim 5, wherein the plurality of conductive portions are films divided into three regions made of a conductive material.
る４つの領域に分割された膜であることを特徴とする請
求項５記載の光学ピックアップ装置。7. The optical pickup device according to claim 5, wherein the plurality of conductive portions are films divided into four regions made of a conductive material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11196529A JP2001023211A (en) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | Optical pickup device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11196529A JP2001023211A (en) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | Optical pickup device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001023211A true JP2001023211A (en) | 2001-01-26 |
Family
ID=16359266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11196529A Withdrawn JP2001023211A (en) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | Optical pickup device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001023211A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006004596A (en) * | 2004-05-18 | 2006-01-05 | Sony Corp | Optical pickup device, optical recording/reproducing apparatus and gap detection method |
-
1999
- 1999-07-09 JP JP11196529A patent/JP2001023211A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006004596A (en) * | 2004-05-18 | 2006-01-05 | Sony Corp | Optical pickup device, optical recording/reproducing apparatus and gap detection method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3487001B2 (en) | Optical head, light irradiation method, recording medium driving device | |
| US6307689B1 (en) | Optical head and drive device for optical recording medium | |
| KR20070050482A (en) | Optical scanning device | |
| KR20010082723A (en) | Apparatus and method for position control of optical system and storage and reproduction appratus | |
| JP4269471B2 (en) | Optical recording medium, optical pickup and optical recording / reproducing apparatus | |
| US6404710B1 (en) | Position controller and position control method of optical system and recording/reproducing apparatus and driving method thereof | |
| CN100397508C (en) | Optical head and optical information recording and reproducing apparatus using the same | |
| US8031575B2 (en) | Optical pickup device and recording/reproducing device | |
| US20090190453A1 (en) | Solid immersion lens (sil) near-field system and method of controlling tilt | |
| KR20110020753A (en) | Objective lens and optical pickup comprising the objective lens | |
| EP1115110B1 (en) | Optical pickup apparatus | |
| JPWO2002063621A1 (en) | Optical device and optical storage device | |
| JP2003263770A (en) | Optical recording/playback device and optical recording medium | |
| JP2001023211A (en) | Optical pickup device | |
| US8437239B2 (en) | Optical pickup, optical disk drive device, optical information recording device, and optical information reproduction device | |
| JPH11259894A (en) | Optical pickup head | |
| JP2000195074A (en) | Optical head and driver for optical recording medium | |
| JP4106818B2 (en) | POSITIONING DEVICE, POSITIONING METHOD, AND RECORDING / REPRODUCING DEVICE | |
| US20090028037A1 (en) | Optical scanning device | |
| US20090109825A1 (en) | Optical scanning device | |
| US20080192615A1 (en) | Actuator for an Optical Scanning Device | |
| JP3046394B2 (en) | Optical head and optical information recording device | |
| US20020141319A1 (en) | Optical pickup device capable of emitting small-diameter laser beam used with enhanced efficiency | |
| JP2001023252A (en) | Optical master disk base material, manufacture of optical master disk and optical picking up device | |
| JP2002074703A (en) | Method and device for detecting tracking error signal, optical pickup, tracking controller and optical recording /reproducing device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20061003 |