JP2001021607A - 部分放電発生位置検出装置 - Google Patents

部分放電発生位置検出装置

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JP2001021607A
JP2001021607A JP11197695A JP19769599A JP2001021607A JP 2001021607 A JP2001021607 A JP 2001021607A JP 11197695 A JP11197695 A JP 11197695A JP 19769599 A JP19769599 A JP 19769599A JP 2001021607 A JP2001021607 A JP 2001021607A
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longitudinal wave
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Yoshihisa Asao
芳久 浅尾
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電力ケーブル接続部等の欠陥による部分放電
位置を超音波センサにより検出する際に、音響信号に含
まれる縦波と横波のいずれか一方のみを正確に検出して
その検出信号に基づいて部分放電位置を正確に算出す
る。 【解決手段】 部分放電発生位置検出装置は、対象物の
部分放電位置から任意の位置に1対の超音波センサ10
a、10bを互いに所定間隔で配置し、それぞれのセン
サ信号から信号処理部11において縦波又は横波成分の
いずれかを消去する処理をし、そのいずれかの波成分信
号に基づいて演算部12で放電発生点までの距離を正確
に算出するように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、電力ケーブル、
電力ケーブル接続部等で発生する部分放電を検出する部
分放電発生位置検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電力ケーブル、電力ケーブル接続部等の
部分的な欠陥に起因して部分放電が発生し、このため接
続部の劣化により絶縁破壊するような現象が広く知られ
ており、その対処方法として部分放電を電気的な位置検
出手段で検出して位置を特定する方法や、部分放電に伴
って生じる超音波を検出して位置を特定する方法、ある
いは上記2つの方法を併用する方法などがある。
【0003】特に超音波による位置検出方法は、その伝
搬速度が電気信号に比べ非常に小さいため、特定精度が
高いという利点があり、種々の方法が既に提案されてい
る。その一例として特開平1−185458号公報によ
る部分放電位置標定方法が開示されている。この方法で
は複数個(少なくとも5つ)の超音波センサを部分放電
位置からそれぞれ任意の距離位置に配置し、最短位置の
超音波センサを決定してその距離、各センサの検出時間
差の算出により超音波速度を決定し、部分放電位置を特
定するようにしている。
【0004】同様な複数個の超音波センサによる方法と
して、電気学会論文集112巻10号、平成4年に「A
EセンサによるCVケーブル用プレハブ接続箱の部分放
電検出」のタイトルで提案された検出方法がある。この
検出方法は、プレハブ接続箱に複数個(4個)の超音波
センサを取り付け、放電電気信号と各センサの部分放電
発生時の音響信号の検出時間差から部分放電位置を特定
するというものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、部分放電に
よる音響信号を超音波センサで検出して部分放電の位置
を特定する際に、固体中を伝わる音響信号には伝搬速度
の異なる縦波と横波が含まれている点に留意する必要が
ある。上述した音響信号を検出する方式の従来例では、
縦波か横波かの区別をせずそのいずれか、あるいはその
中間の伝搬速度を用い次式で位置標定を行っている。 L=V×Δt L :放電点からセンサまでの距離 V :伝搬速度 Δt:放電電気信号と音響信号との時間差 このため、位置標定誤差が発生する。その詳細な理由は
次の通りである。Δtは、図6に示すように、音響信号
の立上りで測定する。しかし、一般に縦波は横波に比べ
距離減衰が大きく、センサ位置によって検出される場合
と検出されない場合がある。このため、検出した音響信
号の立上りが縦波によるものか、横波によるものか判断
できない。一方、縦波と横波の伝搬速度は約2倍程度に
異なる(例えば銅の場合、縦波5010m/s、横波2
270m/s、理科年表による)ため、検出した立上り
の波の種類を誤ると距離誤差となるのである(平均化処
理すれば感度は上るが、波の種類の検出の点では効果は
ない)。
【0006】この発明は、従来の超音波センサを用いて
部分放電位置を検出する方法又は装置の問題点に留意し
て、超音波センサで検出される音響信号に含まれる縦波
と横波のいずれかを消去して一方の波形に基づいて正確
に放電発生点までの距離を検出することができる検出装
置を提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決する手段として、部分放電を測定すべき対象物に
互いに所定間隔で1対の音響センサを配設し、これらの
音響センサから送られるセンサ信号の一方の信号の縦波
及び横波成分からそのいずれか一方を他方の信号の縦波
又は横波成分を用いて消去し、横波又は縦波の信号成分
のみをうるように信号処理をする信号処理部と、この処
理部で得た上記いずれかの信号の伝搬速度から放電位置
を算出する演算部とを備えて成る部分放電発生位置検出
装置としたのである。
【0008】上記の構成としたこの発明の部分放電発生
位置を検出する検出装置は、部分放電発生位置から測定
対象物の固体内を伝導される超音波の音響信号を音響セ
ンサで検出して放電発生点までの距離を正確に検出する
ものである。上記音響信号には一般に縦波と横波の両方
が含まれるが、この検出装置ではそのいずれかを他方の
波成分で消去し、縦波又は横波のいずれかの成分のみを
検出することによって距離位置の標定を行う。
【0009】検出された音響信号から縦波又は横波のい
ずれかを消去する際に、例えば縦波を消去する場合は2
つの音響センサの相互間隔を基準となる周波数信号と縦
波及び横波の伝搬速度から所定の演算に基づいて求めら
れる距離とし、放電発生位置に近い側の音響センサの検
出信号を上記設定距離の縦波伝搬時間分、遅らせてその
信号から遠い側の音響センサの検出信号を差し引く処理
をする。
【0010】このような処理をすると、縦波を基準とし
て両センサの検出信号のうち縦波成分が一致するように
処理をして差し引かれるため縦波成分が消去されるので
ある。一方、横波成分はその伝搬速度が縦波と異なるた
め両センサにおいて同一時間での波形変化が異なること
により不一致のため差し引き処理をしても消去されず、
横波成分のみが正確に検出される。縦波成分のみを得よ
うとする場合は上記と逆の処理をすればよい。
【0011】
【実施の形態】以下、この発明の実施の形態について図
面を参照して説明する。図1は実施形態の部分放電発生
位置検出装置の概略ブロック図である。測定対象物は、
例えば電力ケーブルの接続部に用いられるプレハブ接続
箱などである。部分放電発生位置検出装置は、(a)図
に示す下記の部材を備えている。まず、対象物の任意の
位置に互いに所定間隔で1対の超音波センサ10a、1
0bが音響センサとして配設されている。これら超音波
センサ10a、10bの検出信号は信号処理部11へ送
られる。
【0012】信号処理部11は、上記超音波センサ10
a、10bの一方の信号の縦波及び横波成分からそのい
ずれか一方を他方のセンサ信号の縦波又は横波成分を用
いて消去し、横波又は縦波の信号成分のみを得るように
信号処理をする処理部である。得られた横波又は縦波成
分の合成信号は演算部12へ送られ、この演算部12で
その信号成分の立上り時間、及び波の伝搬速度に基づい
て放電位置までの距離を算出する。算出された放電位置
の距離は表示器13に表示される。又、信号処理部11
で処理された信号は波形計測器14へ送り1対のセンサ
信号と共にそれぞれの波形を計測できるようにしてもよ
い。
【0013】信号処理部11は、この実施形態では、
(b)図に示すように、1対のアンプ(増幅器)21
a、21b、バンドパスフィルタ(BPF)22a、2
2b、遅延回路23、差動回路24を備えている。超音
波センサ10a、10bの検出信号は、アンプ21a、
21bで増幅後バンドパスフィルタ(BPF)22a、
22bで所要の周波数の信号を抽出する。周波数は測定
対象物によって感度のよい周波数を選択できるようにバ
ンドパスフィルタ22a、22bの中心周波数を設定す
る(例えば、電力ケーブル接続部の場合100kHz程
度あるいはそれ以下)。
【0014】1対の超音波センサ10a、10bの間隔
ΔLは、(横波の速度は一般に縦波の1/2程度である
から、理解し易くするため単純化して想定すれば)簡易
的にBPF中心周波数と縦波伝搬速度から得られる1/
2波長λ(又はその倍数)の距離とする(横波伝搬速度
を用いる場合は横波の1/2λ)。具体的には次のよう
な演算に基づいて設定される。 BPF中心周波数:100kHz 対象物 :銅(縦波速度5010m/s、横波速度
2270m/s) 信号の周期T=1/100kHz=10μSec 信号の波長λ=5010m/s×10μSec =0.050 m λ/2 =0.050 m/2=0.025 m→ΔL 即ちセンサ間距離ΔLは25mmと設定する。但し、厳密に
はセンサ間距離ΔLを定める演算式が異なるため、厳密
解については後で説明する。
【0015】上記1対の超音波センサ10a、10bの
検出信号のうち、放電発生点に近い側のセンサ信号は、
BPFを通過後遅延回路23によって1/2周期(上記
例では5μSec)遅延させ、この信号と遠い側のセン
サ信号との差を差動回路24により得るようになってい
る。そして差動回路24の信号は次の演算部12へ送ら
れる。演算部12では得られた縦波又は横波の伝搬速度
に基づいて前記発明の課題の欄で説明した従来と同じ計
算式により放電発生点までの距離Lが算出される。
【0016】上記構成の検出装置の作用について図2、
図3を参照して説明する。この例では、簡易的にΔLを
BPF中心周波数と縦波伝搬速度から所定の演算で得ら
れる1/2波長λの距離としている。図3に示すよう
に、放電発生に伴って生じる超音波には縦波と横波が含
まれるが、各超音波センサ10a、10bで検出される
センサ信号は縦波と横波の合成波形として検出される。
一般に縦波は横波より伝搬速度が速いため、横波は図示
のように時間遅れが生じ、その時間遅れの横波に先行す
る縦波の減衰波形が重なって合成波形となる。
【0017】このような性質のセンサ信号が放電発生点
からの音響信号として各超音波センサ10a、10bで
検出されるとき、図2に示すように、音源に近い側のセ
ンサ信号の波形をa、遠い側の波形をbとすると、波形
bは同一音源の超音波であっても距離ΔLほど超音波セ
ンサ10bが離れている分だけ遅れて検出される。この
距離ΔLは縦波の伝搬速度での波長λの1/2に相当す
るように設定されているから、波形bの縦波成分の波形
がλ/2に相当する時間分遅れて検出される。
【0018】一方、音源に近い側の超音波センサ10a
の検出波形は、波形aで示され、波形bよりλ/2だけ
先に検出されるが、そのセンサ信号は遅延回路23によ
り縦波伝搬速度による周期の1/2(5μSec)遅延
して差動回路24へ送られる。このため、波形aと波形
bの差動を取った波形cは、波形aとbの縦波成分の部
分が一致するため縦波成分が消去される。しかし、その
横波成分については、縦波と伝搬速度が異なるため、波
形aとbでは上記のように位置的にΔL=λ/2、回路
上で時間的にT/2ずらすような処理をしても、それぞ
れの波形は一致せず、このため差動を取った横波成分は
逆に波形a又はb単一のものより振幅の大きい合成波形
として得られる。即ち、波形cは横波成分のみの合成波
形として得られるのである。
【0019】なお、ΔLは距離が短いため(数10mm
程度以下)その間に波形bが進行する際の減衰は無視で
きるものとする。但し、その減衰量が無視できないとき
は、波形aと同じ振幅となるよう差動回路24へ入力す
る手前で増幅器(図示せず)で増幅すればよい。
【0020】以上のようにして横波成分のみの合成波形
cが得られると、演算部12においてその波形cの立上
り時間、及び横波伝搬速度から従来と同じ計算式で放電
位置までの距離Lが算出されて表示器13に表示され
る。なお、距離Lを算出する際に放電電気信号と音響信
号の立上り点までの時間差Δtを算出するために、図示
していないが、放電電気信号が演算部12へ入力されて
いるものとする。
【0021】又、上記説明では波形cに縦波成分を含ま
ないように消去する手順を前提として説明したが、反対
に横波成分を消去し、縦波成分で放電位置までの距離L
を求めるようにしてもよい。この場合は、超音波センサ
10aと10bの間隔ΔL、遅延回路23での遅延時間
T/2は横波伝搬速度に基づいて設定すればよい。
【0022】次に、上述した1対の超音波センサ10
a、10bの間隔ΔLを厳密解に基づいて設定する場合
について説明する。まず、前提条件として次の記号を定
める。
【0023】・X=Vs/Vp:横波と縦波の速度比
(Vs:横波伝搬速度、Vp:縦波伝搬速度) ・f(周期T=1/f):BPF中心周波数 ・ΔL:2個のセンサ間隔(放電点に近い側をa、遠い
側をbとする) 最適なΔLの決定方法は、センサ10aの遅延信号とセ
ンサ10bの信号の差動をとり、縦波を消去し横波を最
も大きくできる距離ΔLを選定するようにする。この場
合、上記2つのセンサ信号において、a、bの縦波の位
相が一致、a、bの横波の位相が(C/2)・T(C:
奇数)ずれるとする(偶数倍であると横波も消える)。
以上のように想定して最適なΔLを演算する手順は次の
通りである。
【0024】まず、センサ10a、10b間の検出時間
差を次式により求める。 Δtp=L/Vp:センサ10a、10b間の縦波の検
出時間差 Δts=L/Vs:センサ10a、10b間の横波の検
出時間差 上式からVp・Δtp=Vs・Δts→Δts=Δtp
/x(x=Vs/Vpより)となる。センサ10aの信
号をΔtp遅延させ(位相を一致させ)、縦波を消去す
る。そのとき、横波の位相ずれφは次のようになる。
【0025】φ=Δts−Δtp=Δtp/x−Δtp
={(1−x)/x}・Δtp この横波が最も強調されるのは、位相φ=(C/2)・
T(C:奇数)のときである。従って、 {(1−x)/x}・Δtp=(c/2)・T よって、Δtp=(C/2)・T・{x/(1−x)} 以上から最適センサ間隔ΔLは次式で計算される。
【0026】 ΔL=Vp・Δtp=Vp・(C/2)・T・{x/(1−x)}……(1) 上式から分かるように、ΔLは縦波及び横波の伝搬速
度、BPF中心周波数から求められる。上式において、
横波と縦波の速度比x=1/2の場合、ΔLは次の通り
となる。 ΔL=Vp・(c/2)・T (C:奇数) 又、C=1の場合、ΔL=Vp・(1/2)・Tより
「縦波の1/2波長」となる。
【0027】以上は厳密解によるセンサ間距離ΔLを設
定する手順であるが、上記厳密解によりセンサ間距離を
設定した場合は遅延回路23による遅延時間の設定など
も1/2波長に設定したときと同様にして行なう。
【0028】図4は第2実施形態の超音波センサ10
a、10bの配置構成について示している。なお、図示
以外の構成は第1実施形態と同一であるから、図示省略
する。対象物が複雑な構造の場合、(b)図に示すよう
に、同一放電発生点からの音響信号の伝搬経路が2つの
超音波センサ10a、10bに対して異なるため、同一
音響信号を簡易式又は厳密解によるセンサ間距離ΔLで
検出する配置が困難な場合がある。
【0029】このような現実的な困難に対処するため、
(a)図に示すように、対象物に伝導部材10xを突出
させて取り付け、この伝導部材10xに所定の距離ΔL
を置いて1対の超音波センサ10a、10bを取り付け
る。伝導部材10xによって伝搬経路の異なる信号が超
音波センサ10a、10bに伝達されるのが制限され、
上記所定距離の確保ができる。
【0030】図5は第3実施形態の超音波センサの配置
構成について示す。この実施形態も第1実施形態と異な
る部分を中心に図示、説明する。この実施形態では、伝
導部材10xを平板とし、互いに上記所定距離ΔL離れ
た位置の両面に2つずつの超音波センサ10a、10b
を設ける。信号処理部11’にはその両面のセンサ信号
の加算回路25a、25bをアンプ21a〜BPF22
a、アンプ21b〜BPF22bのそれぞれの回路途中
に挿入する。
【0031】上記平板両面に設けたセンサの信号は位相
が互いに反対であるため加算回路25a、25bで加算
されることによって信号強度は2倍となり、一方ランダ
ムノイズは打ち消されるため検出感度が向上する。
【0032】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、この発明
の部分放電発生位置検出装置は、音響センサで対象物の
部分放電の音響信号を検出し、その検出信号の一方の縦
波及び横波成分からそのいずれか一方を他方の信号成分
を用いて消去する信号処理部と、その処理信号に基づい
て放電位置を算出する演算部とを備えたものとしたか
ら、縦波あるいは横波を選択して計測することによりそ
の伝搬速度を用いてより高精度の放電発生位置の標定が
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態の部分放電発生位置検出装置の概略ブ
ロック図
【図2】作用の説明図
【図3】作用の説明図
【図4】第2実施形態の超音波センサ配置構成図
【図5】第3実施形態の超音波センサ配置構成図
【図6】従来の放電位置算出方法の説明図
【符号の説明】
10、10a、10b 超音波センサ 11 信号処理部 12 演算部 13 表示器 14 波形計測器 23 遅延回路 24 差動回路

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 部分放電を測定すべき対象物に互いに所
    定間隔で1対の音響センサを配設し、これらの音響セン
    サから送られるセンサ信号の一方の信号の縦波及び横波
    成分からそのいずれか一方を他方の信号の縦波又は横波
    成分を用いて消去し、横波又は縦波の信号成分のみをう
    るように信号処理をする信号処理部と、この処理部で得
    た上記いずれかの信号の伝搬速度から放電位置を算出す
    る演算部とを備えて成る部分放電発生位置検出装置。
  2. 【請求項2】 前記信号処理部に音響センサの検出信号
    から所定の周波数信号を抽出する帯域通過フィルタと、
    放電発生点に近い側の音響センサの上記フィルタを通過
    した信号を遅らせる遅延回路と、この遅延回路からの信
    号と放電発生点から遠い側のセンサのフィルタ通過信号
    との差を得る差動回路とを設け、フィルタの中心周波数
    と縦波及び横波の伝搬速度から所定の演算に基づいて求
    められる距離に音響センサの間隔を設定し、遅延回路は
    消去する縦波又は横波が上記設定距離を伝搬する時間
    分、遅延させるようにしたことを特徴とする請求項1に
    記載の部分放電発生位置検出装置。
  3. 【請求項3】 前記対象物に伝導部材を設け、この伝導
    部材に前記間隔で音響センサを配設したことを特徴とす
    る請求項2に記載の部分放電発生位置検出装置。
  4. 【請求項4】 前記伝導部材を平板状とし、その両面に
    前記音響センサの複数対を設け、その両面のセンサ信号
    を加算する加算回路を前記信号処理部に設けたことを特
    徴とする請求項3に記載の部分放電発生位置検出装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109782136A (zh) * 2018-12-27 2019-05-21 刘中生 一种基于纵波横波速度差别确定接触网缺陷位置的方法
EP3492934A1 (fr) * 2017-12-01 2019-06-05 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives Dispositif et procédé de détection et de localisation d'un défaut survenant dans un câble
CN112014693A (zh) * 2020-08-18 2020-12-01 江苏方天电力技术有限公司 基于波速不确定性的电缆局部放电定位方法及***
CN112505580A (zh) * 2020-11-03 2021-03-16 深圳供电局有限公司 漏电检测装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3492934A1 (fr) * 2017-12-01 2019-06-05 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives Dispositif et procédé de détection et de localisation d'un défaut survenant dans un câble
FR3074583A1 (fr) * 2017-12-01 2019-06-07 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Procede de detection d'un defaut survenant dans un cable
US10852342B2 (en) 2017-12-01 2020-12-01 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Method for detecting a fault occurring in a cable
CN109782136A (zh) * 2018-12-27 2019-05-21 刘中生 一种基于纵波横波速度差别确定接触网缺陷位置的方法
CN109782136B (zh) * 2018-12-27 2021-04-09 刘中生 一种基于纵波横波速度差别确定接触网缺陷位置的方法
CN112014693A (zh) * 2020-08-18 2020-12-01 江苏方天电力技术有限公司 基于波速不确定性的电缆局部放电定位方法及***
CN112014693B (zh) * 2020-08-18 2023-01-31 江苏方天电力技术有限公司 基于波速不确定性的电缆局部放电定位方法及***
CN112505580A (zh) * 2020-11-03 2021-03-16 深圳供电局有限公司 漏电检测装置

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