JP2001013682A - Photosensitive element and production of color filter using the same - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make suppressible the migration of a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator in a photosensitive resin composition layer to a cushion layer, to make the change of sensitivity slight and to produce a high precision pattern having little difference in level with good productivity. SOLUTION: When a support film, a cushion layer and a photosensitive resin composition layer are successively laminated to obtain the photosensitive element, a fluorine compound having an alkyl group or a silicon compound having an alkyl group is incorporated into the cushion layer. The resulting photosensitive element is stuck to a transparent substrate in such a way that the photosensitive resin composition layer comes in contact with the top of the substrate, the support film and the cushion layer are removed and the photosensitive resin composition layer is patternwise exposed and developed. These steps are repeated to form a multicolor pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性エレメント
及びこれを用いたカラーフィルタの製造法に関する。The present invention relates to a photosensitive element and a method for manufacturing a color filter using the same.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、液晶カラーテレビ、液晶カラー表
示のコンピュータ−などが実用化されているが、これら
の液晶表示装置は、透明電極を設けたガラス等の透明な
基板を１〜１０μｍ程度の間隔をもうけて、その間に液
晶物質を封入し、電極間の印加した電圧により液晶物質
を配向しその濃淡により表示する仕組になっている。さ
らに、カラー表示のため、ガラスなどの光学的に透明な
基板の表面に２種以上の色相を異にする極めて微細なス
トライプ状又はモザイク状のパターンを一定間隔に開け
て、平行又は交差して並べたカラーフィルタを設置して
いる。2. Description of the Related Art Conventionally, liquid crystal color televisions, liquid crystal color display computers, and the like have been put to practical use. However, these liquid crystal display devices require a transparent substrate such as a glass provided with a transparent electrode to have a thickness of about 1 to 10 μm. The liquid crystal material is sealed at intervals, the liquid crystal material is oriented by the voltage applied between the electrodes, and the light and shade are displayed. Further, for color display, two or more kinds of very fine stripe-like or mosaic-like patterns having different hues are spaced at regular intervals on the surface of an optically transparent substrate such as glass, and are parallel or intersected. Color filters are arranged.

【０００３】カラーフィルタは、通常、透明基板、着色
パターン、保護膜、透明電極の順に形成されている。着
色パターンは２種以上の色相を異にする極めて微細なス
トライプ状又はモザイク状のパターンからなるものであ
る。これらのパターンは色相を所定の順序に所定の間隔
をおいて整然と配置し、しかも厚さむらの少ない均一な
層とする必要があり、種々のカラーフィルターの製造法
が提案されている。例えばスクリーン印刷法では低コス
トのカラーフィルターの形成が可能である。またフォト
リソグラフィ技術を用いる方法、すなわち、カラーフィ
ルター用基板上に形成された透明膜に、所定のネガマス
クを通して紫外線照射し、未露光部を除去したのち、防
染層を形成しながら染色する方法が有る。A color filter is usually formed in the order of a transparent substrate, a colored pattern, a protective film, and a transparent electrode. The coloring pattern is composed of an extremely fine stripe or mosaic pattern having two or more different hues. In these patterns, it is necessary to arrange the hues in a predetermined order and at predetermined intervals, and to form uniform layers with little unevenness in thickness. Various color filter manufacturing methods have been proposed. For example, the screen printing method can form a low-cost color filter. Further, a method using photolithography technology, that is, a method of irradiating a transparent film formed on a color filter substrate with ultraviolet light through a predetermined negative mask, removing unexposed portions, and then dyeing while forming an anti-staining layer. Yes.

【０００４】前記の方法の改良方法として、基板上に着
色した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、
露光・現像して一色のパターンを形成させ、該工程を他
の色についても同様に繰り返し行ってカラーフィルタを
形成する方法がある。また、現在プリント配線板製造時
のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジス
ト等に一般に使用されている支持体フィルム及び感光性
樹脂組成物層から成る感光性エレメントを使用した多色
の微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単
に高精度で形成できるカラーフィルターの製造法が知ら
れている。また、透明基板上に支持体フィルムと一色に
着色された感光性樹脂組成物層とから成る感光性エレメ
ントを、着色された感光性樹脂組成物層が基板に面する
ように貼り合わせる工程、露光して所定のパターンを形
成させる工程及び前記支持体フィルムを剥がして現像す
る工程を繰り返して多色パターンを形成させてカラーフ
ィルターが製造される。As an improvement of the above method, a colored solution of the photosensitive resin composition is applied to a substrate, dried,
There is a method in which a pattern of one color is formed by exposure and development, and the process is repeated for other colors in the same manner to form a color filter. In addition, a multi-color fine stripe using a photosensitive element composed of a support film and a photosensitive resin composition layer generally used for an etching resist, a plating resist, a solder resist and the like at the time of manufacturing a printed wiring board or There is known a method of manufacturing a color filter that can easily form a mosaic pattern with high precision. Further, a step of bonding a photosensitive element composed of a support film and a photosensitive resin composition layer colored in one color on a transparent substrate so that the colored photosensitive resin composition layer faces the substrate, and Then, the step of forming a predetermined pattern and the step of peeling and developing the support film are repeated to form a multicolor pattern, thereby producing a color filter.

【０００５】例えば、一つの色相着色剤を含む感光性樹
脂組成物層を透明支持体フィルムに塗布乾燥した感光性
エレメントの感光性樹脂組成物層を透明基板上に転写し
て、所定のパターンのマスクを介して露光・現像してパ
ターンを形成する方法（特開昭６１−９９１０２号公
報）が知られている。また、このフィルムに所定のパタ
ーンのマスクを介して露光・現像してパターンを形成し
たのちに、透明基板上に転写してカラーフィルターのパ
ターンを形成する方法（特開昭６１−９９１０３号公
報）及びこのフィルムを透明基板上に加熱圧着して、所
定のパターンのマスクを介して露光して、支持体フィル
ムを剥離し、現像して透明着色の画像パターンを形成す
る方法（特開昭６３−１８７２０３号公報）が知られて
いる。また、着色感光性樹脂組成物層の上にポリ酢酸ビ
ニル共重合体の接着体を構成した感光性エレメントを用
いて特開昭６３−１８７２０３号公報と同様の方法でカ
ラーフィルターのパターンを形成する方法（特開平２−
２４６２４号公報）が知られている。For example, a photosensitive resin composition layer containing one hue colorant is applied to a transparent support film and dried, and the photosensitive resin composition layer of the photosensitive element is transferred onto a transparent substrate to form a predetermined pattern. A method of forming a pattern by exposing and developing through a mask (JP-A-61-99102) is known. A method of forming a pattern by exposing and developing the film through a mask having a predetermined pattern, and then transferring the pattern on a transparent substrate to form a color filter pattern (Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-99103) And a method in which the film is heated and pressed on a transparent substrate, exposed through a mask having a predetermined pattern, and the support film is peeled off and developed to form a transparent colored image pattern (Japanese Patent Application Laid-Open No. 187203). A color filter pattern is formed on the colored photosensitive resin composition layer by using a photosensitive element having an adhesive of polyvinyl acetate copolymer in the same manner as in JP-A-63-187203. Method (Japanese Unexamined Patent Publication
No. 24624) is known.

【０００６】しかしながら、感光性エレメントを用いた
カラーフィルターの製造においては、多色の内２色目以
降を感光性エレメントのラミネート（積層）で形成する
ため、どうしても既に形成されてパターンが影響し表面
の段差が発生する問題がある。この段差は後工程の透明
樹脂から成るオーバーコート層の塗布むらやその後のス
パッタリングによるＩｎ₂Ｏ₃−ＳｎＯ₂系の電極形成不
良による高抵抗化の問題がある。また、直接に画像の荒
れとして現れることもある。この段差を低減するため
に、着色感光性樹脂組成物層と透明支持体の間に熱可塑
性の樹脂層を設け、ラミネート時の圧力と温度で平坦化
する方法（特開平４−２０８９４０号公報、特開平７−
２０３０９号公報）が提案されている。However, in the production of a color filter using a photosensitive element, the second and subsequent colors of the multi-color are formed by laminating the photosensitive element. There is a problem that a level difference occurs. This step is the high resistance of the problems due to In ₂ O ₃ -SnO ₂ based electrode forming defective by uneven coating and subsequent sputtering of the overcoat layer made of a transparent resin in a subsequent step. In addition, it may directly appear as a rough image. In order to reduce the level difference, a method of providing a thermoplastic resin layer between the colored photosensitive resin composition layer and the transparent support and flattening the layer with pressure and temperature during lamination (JP-A-4-208940, JP-A-7-
No. 20309) has been proposed.

【０００７】この方法では、着色感光性樹脂組成物層と
クッション層が密着しているため、クッション層の上に
定のパターンのマスクを介して露光しなければならな
く、著しい解像度不足を招く結果となっている。このた
め露光前に透明支持体フィルムと一緒にクッション層を
剥離する方法が提案されている。しかし、この方法で
は、透明支持体フィルムとクッション層を剥離する際に
着色感光性樹脂組成物層とクッション層の密着が強く、
着色感光性樹脂組成物層が透明基板上に残らない問題が
ある。In this method, since the colored photosensitive resin composition layer and the cushion layer are in intimate contact with each other, the cushion layer must be exposed through a mask having a predetermined pattern, resulting in a remarkable lack of resolution. It has become. Therefore, a method has been proposed in which the cushion layer is peeled off together with the transparent support film before exposure. However, in this method, when peeling the transparent support film and the cushion layer, the adhesion between the colored photosensitive resin composition layer and the cushion layer is strong,
There is a problem that the colored photosensitive resin composition layer does not remain on the transparent substrate.

【０００８】また、クッション層と着色感光性樹脂組成
物層を積層した後にある種のクッション層は着色感光性
樹脂組成物層に含有する少なくとも２個のエチレン性不
飽和基を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を吸収
することが分かった。これにより、着色感光性樹脂組成
物層中の少なくとも２個のエチレン性不飽和基を有する
光重合性化合物及び光重合開始剤の含有量が減少し、カ
ラーフィルタの製造工程において着色感光性樹脂組成物
層の感度が変動し、生産性が悪いことが問題になる。After laminating the cushion layer and the colored photosensitive resin composition layer, a certain kind of cushion layer is formed of a photopolymerizable compound having at least two ethylenically unsaturated groups contained in the colored photosensitive resin composition layer. And a photopolymerization initiator. Thereby, the content of the photopolymerizable compound having at least two ethylenically unsaturated groups and the photopolymerization initiator in the colored photosensitive resin composition layer is reduced, and the colored photosensitive resin composition is produced in the color filter manufacturing process. The problem is that the sensitivity of the material layer fluctuates and the productivity is poor.

【０００９】[0009]

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明
は、クッション層への感光性樹脂組成物層中の光重合性
化合物及び光重合開始剤の移行を抑制でき、感度変動が
少なく、段差が少なく、高精度のパターンを工程中の各
層の剥離不良が低く、生産性よく製造でき、カラーフィ
ルターの製造に極めて好適な感光性エレメントを提供す
る。請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の効果
を奏し、さらにラミネート後のクッション層と感光性樹
脂組成物層との剥離性が優れる感光性エレメントを提供
する。請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発
明の効果を奏し、さらに分子の立体障害によるクッショ
ン層と感光性樹脂組成物層との間の物質の層間移行量が
低減する感光性エレメントを提供する。According to the first aspect of the present invention, the transfer of the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition layer to the cushion layer can be suppressed, the sensitivity variation is small, and the level difference is reduced. The present invention provides a photosensitive element which is capable of producing a high-precision pattern with a low degree of peeling failure of each layer during the process, high productivity, and is extremely suitable for producing a color filter. The invention according to claim 2 provides a photosensitive element which exhibits the effects of the invention according to claim 1 and further has excellent peelability between the cushion layer after lamination and the photosensitive resin composition layer. The invention according to claim 3 has the effect of the invention according to claim 1 or 2, and further has a photosensitivity in which the amount of interlayer transfer of a substance between the cushion layer and the photosensitive resin composition layer due to steric hindrance of the molecule is reduced. Provide the element.

【００１０】請求項４記載の発明は請求項１、２又は３
記載の発明の効果に加えて、さらに作業性、環境安全性
等が良好が優れる感光性エレメントを提供する。請求項
５記載の発明は、請求項１、２、３又は４記載の発明の
効果を奏し、さらにクッション層への感光性樹脂組成物
層中の光重合性化合物及び光重合開始剤の移行を抑制で
き、感度変動が少ない感光性エレメントを提供する。請
求項６記載の発明は、クッション層への感光性樹脂組成
物層中の光重合性化合物及び光重合開始剤の移行を抑制
でき、感度変動が少く、段差が小さく、高精度のパター
ンを生産性よく製造できるカラーフィルタの製造法を提
供する。[0010] The invention described in claim 4 is claim 1, 2 or 3.
Provided is a photosensitive element having excellent workability, environmental safety, and the like in addition to the effects of the described invention. The invention described in claim 5 has the effects of the invention described in claim 1, 2, 3 or 4, and further prevents the transfer of the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition layer to the cushion layer. Provided is a photosensitive element which can be suppressed and has less sensitivity fluctuation. The invention according to claim 6 can suppress the transfer of the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition layer to the cushion layer, produce a small variation in sensitivity, small steps, and produce a high-precision pattern. Provided is a method for manufacturing a color filter which can be manufactured with good efficiency.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）支持体
フィルム、（ｂ）クッション層及び（ｃ）感光性樹脂組
成物層を順次積層してなる感光性エレメントにおいて、
（ｂ）クッション層中にアルキル基を有するフッ素系化
合物又はアルキル基を有するシリコン系化合物を含有さ
せてなる感光性エレメントに関する。また、本発明は、
（ｂ）クッション層中にアルキル基を有するフッ素系又
はシリコン系化合物を、クッション層の総量１００重量
部に対して、０．０５〜５重量部含有する前記感光性エ
レメントに関する。また、本発明は、アルキル基を有す
るフッ素系又はシリコン系化合物が、アルキル基を有す
るポリマー又はオリゴマーである前記感光性エレメント
に関する。According to the present invention, there is provided a photosensitive element comprising (a) a support film, (b) a cushion layer and (c) a photosensitive resin composition layer which are sequentially laminated.
(B) The present invention relates to a photosensitive element having a cushion layer containing a fluorine compound having an alkyl group or a silicon compound having an alkyl group. Also, the present invention
(B) The photosensitive element contains 0.05 to 5 parts by weight of a fluorine-based or silicon-based compound having an alkyl group in the cushion layer, based on 100 parts by weight of the cushion layer in total. Further, the present invention relates to the photosensitive element, wherein the fluorine-based or silicon-based compound having an alkyl group is a polymer or an oligomer having an alkyl group.

【００１２】また、本発明は、（ｃ）感光性樹脂組成物
層が、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）少なくとも１
個のエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物（Ｃ）
光重合開始剤及び（Ｄ）顔料又は染料を含有してなる前
記感光性エレメントに関する。また、本発明は、（ｂ）
クッション層中にさらに（Ｂ）少なくとも１個のエチレ
ン性不飽和基を有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合
開始剤含有させてなる前記感光性エレメントに関する。
また、本発明は、前記感光性エレメントを（ｃ）感光性
樹脂組成物層が、透明基板上に接するように貼り合わせ
る工程、（ａ）支持体フィルム及び（ｂ）クッション層
を剥離する工程並びに（ｃ）感光性樹脂組成物層をパタ
ーン状に露光、現像する工程を含む工程を繰り返すこと
により、多色のパターンを形成することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造法に関する。In the present invention, (c) the photosensitive resin composition layer comprises (A) a binder polymer, and (B) at least one binder polymer.
Compound having two ethylenically unsaturated groups (C)
The present invention relates to the photosensitive element comprising a photopolymerization initiator and (D) a pigment or a dye. Further, the present invention provides (b)
The present invention relates to the photosensitive element further comprising (B) a photopolymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated group and (C) a photopolymerization initiator in a cushion layer.
Further, the present invention provides (c) a step of bonding the photosensitive element so that the photosensitive resin composition layer is in contact with a transparent substrate, (a) a step of peeling off a support film and (b) a cushion layer, and (C) A method for producing a color filter, characterized by forming a multicolor pattern by repeating a step including a step of exposing and developing a photosensitive resin composition layer in a pattern.

【００１３】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
なお、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸及びそれに
対応するメタクリル酸を意味し、（メタ）アクリレート
とは、アクリレート及びそれに対応するメタクリレート
を意味する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.
In addition, (meth) acrylic acid means acrylic acid and its corresponding methacrylic acid, and (meth) acrylate means acrylate and its corresponding methacrylate.

【００１４】本発明の感光性エレメントにおける（ａ）
支持体フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステ
ル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙
げられ、ポリエステルフィルムであることが好ましい。
支持体フィルムの厚みは２〜１００μｍ程度であること
が好ましく、３０〜８０μｍであることがより好まし
い。この厚みが２μｍ未満であると工業的に塗工困難な
傾向があり、１００μｍを超える場合では本発明の効果
が小さく、また感度が不十分となり、レジスト底部の光
硬化性が悪化する傾向がある。例えば、帝人(株)製テト
ロンフィルム、デュポン社製マイラーフィルム等のポリ
エステルフィルムが挙げられる。(A) in the photosensitive element of the present invention
Examples of the support film include a heat-resistant and solvent-resistant polymer film such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, and polyester, and a polyester film is preferable.
The thickness of the support film is preferably about 2 to 100 μm, and more preferably 30 to 80 μm. If the thickness is less than 2 μm, coating tends to be industrially difficult. If the thickness is more than 100 μm, the effect of the present invention is small, the sensitivity becomes insufficient, and the photocurability at the bottom of the resist tends to deteriorate. . Examples include polyester films such as Tetron film manufactured by Teijin Limited and Mylar film manufactured by DuPont.

【００１５】また、本発明の感光性エレメントにおける
（ｂ）クッション層としては、一般的に熱可塑性樹脂を
用いることが好ましい。そのような熱可塑性樹脂として
は、例えば、ポリエチレン、エチレン酢酸ビニル共重合
体樹脂（ＥＶＡ）、エチレンエチルアクリレート共重合
体樹脂（ＥＥＡ）、エチレンメタアクリレート共重合体
樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、アイオノマー樹脂等が挙げ
られる。それらの中でも、クッション層と感光性樹脂組
成物層との接着力のバランスの見地からは、エチレン共
重合比が６０〜９０重量％のエチレン酢酸ビニル共重合
体樹脂又はエチレンエチルアクリレート共重合体樹脂が
好ましく、６０〜８０重量％のエチレン酢酸ビニル共重
合体樹脂又はエチレンエチルアクリレート共重合体樹脂
がより好ましく、６５〜８０重量％のエチレン酢酸ビニ
ル共重合体樹脂又はエチレンエチルアクリレート共重合
体樹脂が特に好ましい。It is generally preferable to use a thermoplastic resin as the (b) cushion layer in the photosensitive element of the present invention. Examples of such a thermoplastic resin include polyethylene, ethylene vinyl acetate copolymer resin (EVA), ethylene ethyl acrylate copolymer resin (EEA), ethylene methacrylate copolymer resin, polyvinyl chloride resin, and ionomer resin. And the like. Among them, from the viewpoint of the balance of the adhesive force between the cushion layer and the photosensitive resin composition layer, from the viewpoint of the balance of the adhesive force between the cushion layer and the photosensitive resin composition layer, an ethylene vinyl acetate copolymer resin or an ethylene ethyl acrylate copolymer resin having an ethylene copolymerization ratio of 60 to 90% by weight. Is preferably 60 to 80% by weight of an ethylene vinyl acetate copolymer resin or an ethylene ethyl acrylate copolymer resin, and more preferably 65 to 80% by weight of an ethylene vinyl acetate copolymer resin or an ethylene ethyl acrylate copolymer resin. Particularly preferred.

【００１６】本発明における（ｂ）クッション層におい
て、上記熱可塑性樹脂、（ｂ）クッション層の総量１０
０重量部に対して、７０〜９９重量部であることが好ま
しく、８０〜９９重量部であることがより好ましく、９
０〜９７重量部であることが特に好ましい。この配合量
が７０重量部未満ではべたつき及び剥離不良が発生する
傾向があり、９９重量部を超えるとクッション層と感光
性樹脂組成物層の間の物質の層間移行量が増加する傾向
がある。In the present invention, (b) the cushion layer contains the thermoplastic resin, and (b) the total amount of the cushion layer is 10%.
It is preferably from 70 to 99 parts by weight, more preferably from 80 to 99 parts by weight, based on 0 part by weight, and more preferably 9 to 99 parts by weight.
It is particularly preferred that the amount be 0 to 97 parts by weight. If the amount is less than 70 parts by weight, stickiness and peeling failure tend to occur. If the amount is more than 99 parts by weight, the amount of interlayer transfer of the substance between the cushion layer and the photosensitive resin composition layer tends to increase.

【００１７】本発明における（ｂ）クッション層には、
アルキル基を有するフッ素系化合物又はアルキル基を有
するシリコン系化合物を含有させる必要がある。（ｂ）
クッション層と（ｃ）感光性樹脂組成物層の層間移行量
を低減させ、また、（ｂ）クッション層に（ｃ）感光性
樹脂組成物層を塗布する際の適切な濡れ性を確保し、さ
らにラミネート後の（ｃ）感光性樹脂組成物層から
（ｂ）クッション層を剥離する際に適切な各層の剥離特
性を得るという見地からは、アルキル基を有するフッ素
系化合物又はアルキル基を有するシリコン系化合物は、
ポリマー又はオリゴマーであることが好ましく、それら
高分子化合物をクッション層に添加又は共重合させるこ
とが好ましい。上記ポリマーの重量平均分子量は１０，
０００〜３００，０００程度であることが好ましく、上
記オリゴマーの重量平均分子量は２，０００〜１０，０
００程度であることが好ましい。In the (b) cushion layer of the present invention,
It is necessary to contain a fluorine-based compound having an alkyl group or a silicon-based compound having an alkyl group. (B)
(C) reducing the amount of interlayer migration between the cushion layer and the photosensitive resin composition layer, and ensuring appropriate wettability when applying the (c) photosensitive resin composition layer to the (b) cushion layer; Further, from the viewpoint of obtaining appropriate peeling properties of each layer when the (b) cushion layer is peeled from the (c) photosensitive resin composition layer after lamination, a fluorine compound having an alkyl group or silicon having an alkyl group is preferred. The system compound is
It is preferably a polymer or an oligomer, and it is preferable to add or copolymerize such a high molecular compound to the cushion layer. The weight average molecular weight of the polymer is 10,
Preferably, the weight average molecular weight of the oligomer is from 2,000 to 10,000.
It is preferably about 00.

【００１８】上記アルキル基を有するフッ素系化合物又
はアルキル基を有するシリコン系化合物としては、例え
ば、東亜合成(株)製のＧＦ−３００、ＧＦ−１５０、Ｇ
Ｆ−３０、ＵＳ−２７０、ＵＳ−３５０、ＵＳ−３５
２、ＵＳ−３８０、ＵＳ−４１３、ＵＳ−４５０、ＧＰ
−３０１、ＧＰ−３０５、ＧＰ−５０５、ＧＰ−７０
５、ＦＣ−２７５、ＦＣ−５７５、ＦＣ−９７３、旭硝
子(株)製Ｓ−１１１、Ｓ−１１２、Ｓ−１１３、Ｓ−１
２１、Ｓ−１３１、Ｓ−１３２、Ｓ−１４１、Ｓ−１４
５、Ｓ−３８１、Ｓ−３８３、Ｓ−３９３、ＳＣ−１０
１、ＳＣ−１０５、ＫＨ−４０、ＳＡ−１００等が挙げ
られる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて
使用される。Examples of the fluorine compound having an alkyl group or the silicon compound having an alkyl group include GF-300, GF-150, and GF-150 manufactured by Toagosei Co., Ltd.
F-30, US-270, US-350, US-35
2, US-380, US-413, US-450, GP
-301, GP-305, GP-505, GP-70
5, FC-275, FC-575, FC-973, S-111, S-112, S-113, S-1 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.
21, S-131, S-132, S-141, S-14
5, S-381, S-383, S-393, SC-10
1, SC-105, KH-40, SA-100 and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【００１９】本発明における（ｂ）クッション層におい
て、アルキル基を有するフッ素系化合物又はアルキル基
を有するシリコン系化合物の配合量は、（ｂ）クッショ
ン層の総量１００重量部に対して、０．０５〜５重量部
であることが好ましく、０．０８〜３重量部であること
がより好ましい。この配合量が０．０５重量部未満では
表面改質剤の離型効果が安定しない傾向があり、５重量
部を超えると表面改質剤の添加量が過剰なために、表面
改質剤が（ｃ）感光性樹脂組成物層へ移行し、ラミネー
ト時に密着不良が生じる傾向がある。In the (b) cushion layer of the present invention, the compounding amount of the fluorine compound having an alkyl group or the silicon compound having an alkyl group is 0.05 to 100 parts by weight of the total amount of the (b) cushion layer. The amount is preferably from 5 to 5 parts by weight, more preferably from 0.08 to 3 parts by weight. When the amount is less than 0.05 part by weight, the releasing effect of the surface modifier tends to be unstable. When the amount exceeds 5 parts by weight, the amount of the surface modifier is excessive, so (C) Transfer to the photosensitive resin composition layer, and poor adhesion tends to occur during lamination.

【００２０】感光性樹脂組成物層中の光重合性化合物及
び光重合開始剤がクッション層へ移行するのを抑制する
見地からは、（Ｂ）少なくとも２個のエチレン性不飽和
基を有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含
有させることが好ましい。また、クッション層の膜厚
は、５〜１００μｍであることが好ましく、１０〜６０
μｍであることがより好ましく、１５〜４０μｍである
ことが特に好ましい。この厚みが５μｍ未満では埋込性
が悪化する傾向があり、１００μｍを超えるとコストア
ップとなる傾向がある。From the viewpoint of suppressing the transfer of the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition layer to the cushion layer, (B) a photopolymerizable compound having at least two ethylenically unsaturated groups It is preferable to contain a hydrophilic compound and (C) a photopolymerization initiator. Further, the thickness of the cushion layer is preferably 5 to 100 μm,
μm, more preferably 15 to 40 μm. If the thickness is less than 5 μm, the embedding property tends to deteriorate, and if it exceeds 100 μm, the cost tends to increase.

【００２１】上記（Ｂ）少なくとも２個のエチレン性不
飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、多価
アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得
られる化合物、２，２−ビス（４−（ジ（メタ）アクリ
ロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、グリシジル
基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させで
得られる化合物、ウレタンモノマー、ノニルフェニルジ
オキシレン（メタ）アクリレート、γ−クロロ−β−ヒ
ドロキシプロピル−β′−（メタ）アクリロイルオキシ
エチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β′
−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレー
ト、β−ヒドロキシプロピル−β′−（メタ）アクリロ
イルオキシエチル−ｏ−フタレート、（メタ）アクリル
酸アルキルエステル等が挙げられる。Examples of the photopolymerizable compound (B) having at least two ethylenically unsaturated groups include compounds obtained by reacting an α, β-unsaturated carboxylic acid with a polyhydric alcohol; -Bis (4- (di (meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane, a compound obtained by reacting an α, β-unsaturated carboxylic acid with a glycidyl group-containing compound, a urethane monomer, nonylphenyldioxylene (meth) Acrylate, γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyethyl-β ′
-(Meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxypropyl-β '-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, alkyl (meth) acrylate and the like.

【００２２】上記多価アルコールにα，β−不飽和カル
ボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、
エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１
４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキ
シトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパン
テトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロ
ールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレー
ト、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタ
エリスリトールテトラアクリレート等が挙げられる。Compounds obtained by reacting the above polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid include, for example,
Polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups, 2 to 1 propylene groups
4, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropanetri (meth) acrylate, trimethylolpropaneethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropanediethoxytri (meth) acrylate, Trimethylolpropane triethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropanetetraethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropanepentaethoxytri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate , Polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 propylene groups, dipentaerythritol penta (meth) Rate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate and the like.

【００２３】上記α，β−不飽和カルボン酸としては、
例えば、（メタ）アクリル酸等が拳げられる。上記２，
２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）
フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス
（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）
プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ
トリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４
−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）
プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ
デカエトキシ）フェニル）等が挙げられ、２，２−ビス
（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プ
ロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業(株)製、製
品名）として商業的に入手可能である。As the α, β-unsaturated carboxylic acid,
For example, (meth) acrylic acid or the like can be used. 2 above
2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy)
As phenyl) propane, for example, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxy) phenyl)
Propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytriethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4
-((Meth) acryloxypentaethoxy) phenyl)
And propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecaethoxy) phenyl) and the like. 2,2-bis (4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl) propane is BPE-500 (new It is commercially available as Nakamura Chemical Co., Ltd., product name).

【００２４】上記グリシジル基含有化合物としては、例
えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル
トリ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メ
タ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキシ）
フェニル等が拳げられる。上記ウレタンモノマーとして
は、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモ
ノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエ
ンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネー
ト、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等との付
加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレ
ングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシア
ヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、
ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙
げられる。なお、ＥＯはエチレンオキサイドを示し、Ｅ
Ｏ変性された化合物はエチレンオキサイド基のブロック
構造を有する。また、ＰＯはプロピレンオキサイドを示
し、ＰＯ変性された化合物はプロピレンオキサイド基の
ブロック構造を有する。Examples of the glycidyl group-containing compound include trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate and 2,2-bis (4- (meth) acryloxy-2-hydroxy-propyloxy).
Phenyl etc. are fisted. Examples of the urethane monomer include an addition reaction of a (meth) acrylic monomer having an OH group at the β-position with isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate, and the like. Product, tris ((meth) acryloxytetraethylene glycol isocyanate) hexamethylene isocyanurate, EO-modified urethane di (meth) acrylate,
EO, PO-modified urethane di (meth) acrylate and the like. EO indicates ethylene oxide, and E
The O-modified compound has a block structure of an ethylene oxide group. PO represents propylene oxide, and the PO-modified compound has a block structure of a propylene oxide group.

【００２５】上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル
としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アク
リル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチル
ヘキシルエステル等が挙げられる。これらは単独で又は
２種類以上を組み合わせて使用される。Examples of the alkyl (meth) acrylate include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and the like. Is mentioned. These are used alone or in combination of two or more.

【００２６】前記（Ｃ）光重合開始剤としては、例え
ば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，
４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、
Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフ
ェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフ
ェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４
−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−
１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリ
ノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン、２−エチルアン
トラキノン、フェナントレンキノン、２ーｔｅｒｔーブ
チルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、
１，２ーベンズアントラキノン、２，３ーベンズアント
ラキノン、２ーフェニルアントラキノン、２，３ージフ
ェニルアントラキノン、１ークロロアントラキノン、２
ーメチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，
１０−フェナンタラキノン、２−メチル１，４−ナフト
キノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン
類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエー
テル化合物、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベ
ンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタ
ール等のベンジル誘導体、２−（ｏ−クロロフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−
クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イ
ミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メ
トキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二
量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２，２−ビス（ｏ−クロロフ
ェニル）４，５，４′，５′−テトラフェニル−１，
２′−イミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリー
ルイミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，
７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアク
リジン誘導体、Ｎ−フェニルグリシン、クマリン系化合
物、２−ベンジル−２−ジアミノ−１−（４−モルフォ
リノフェニル）−ブタン−１−オン、２−メルカプトベ
ンゾフェノンなどが挙げられる。Examples of the photopolymerization initiator (C) include benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,
4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone),
N, N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4
-Morpholinophenyl) -butanone-1,2-methyl-
Aromatic ketones such as 1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, 2-tert-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone,
1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2
-Methylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,
Quinones such as 10-phenantaraquinone, 2-methyl-1,4-naphthoquinone and 2,3-dimethylanthraquinone; benzoin ether compounds such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether; benzoin, methyl benzoin and ethyl benzoin Benzyl derivatives such as benzyldimethyl ketal, 2- (o-chlorophenyl)
-4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-
(Chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl)-
4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2, 2-bis (o-chlorophenyl) 4,5,4 ', 5'-tetraphenyl-1,
2,4,5-triarylimidazole dimer such as 2'-imidazole dimer, 9-phenylacridine, 1,
Acridine derivatives such as 7-bis (9,9'-acridinyl) heptane, N-phenylglycine, coumarin compounds, 2-benzyl-2-diamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-mercaptobenzophenone and the like.

【００２７】また、２，４，５−トリアリールイミダゾ
ール二量体において、２つの２，４，５−トリアリール
イミダゾールに置換した置換基は同一でも相違していて
もよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミ
ノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化
合物と３級アミン化合物とを組み合わせてもよい。ま
た、密着性及び感度の見地からは、２，４，５−トリア
リールイミダゾール二量体がより好ましい。これらは、
単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。In the 2,4,5-triarylimidazole dimer, the substituents substituted on the two 2,4,5-triarylimidazoles may be the same or different. Further, a thioxanthone-based compound and a tertiary amine compound may be combined like a combination of diethylthioxanthone and dimethylaminobenzoic acid. Further, from the viewpoint of adhesion and sensitivity, 2,4,5-triarylimidazole dimer is more preferable. They are,
Used alone or in combination of two or more.

【００２８】本発明における（ｂ）クッション層におい
て、（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物
の配合量は、（ｂ）クッション層の総量１００重量部に
対して、０．３〜３０重量部であることが好ましく、
０．３〜２０重量部であることがより好ましい。この配
合量が０．３重量部未満では、（ｃ）感光性樹脂組成物
層の感度の変動を制御できない傾向があり、３０重量部
を超えると、（ｂ）クッション層から、（ｃ）感光性樹
脂組成物層へ（Ｂ）成分が逆移行し、所望の感度よりも
感度が高くなり、（ｂ）クッション層が柔らかくなりす
ぎて、（ｃ）着色された感光性樹脂組成物層から剥離で
きなくなる傾向がある。なお、本発明における（ｂ）ク
ッション層に用いる（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する
光重合性化合物は、後述する（ｃ）感光性樹脂組成物層
に用いることができる（Ｂ）エチレン性不飽和基を有す
る光重合性化合物と、同一でも相違していてもよいが、
（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物が同
一であることが好ましい。In the (b) cushion layer of the present invention, the compounding amount of (B) the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group is from 0.3 to 100 parts by weight of the (b) cushion layer in total. It is preferably 30 parts by weight,
More preferably, it is 0.3 to 20 parts by weight. When the amount is less than 0.3 parts by weight, the sensitivity fluctuation of the photosensitive resin composition layer (c) tends to be uncontrollable. The component (B) reversely moves to the photosensitive resin composition layer, the sensitivity becomes higher than desired, and (b) the cushion layer becomes too soft, and (c) peels off from the colored photosensitive resin composition layer. It tends to be impossible. The (B) photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group used in the (b) cushion layer in the present invention can be used in the (C) ethylenically unsaturated group which can be used in the (c) photosensitive resin composition layer described later. Although the same as or different from the photopolymerizable compound having a saturated group,
(B) The photopolymerizable compounds having an ethylenically unsaturated group are preferably the same.

【００２９】本発明における（ｂ）クッション層におい
て、（Ｃ）光重合開始剤の配合量は、（ｂ）クッション
層の総量１００重量部に対して、１．０〜３０重量部で
あることが好ましく、１．０〜１５重量部であることが
より好ましい。この配合量が１．０重量部未満では、
（ｃ）感光性樹脂組成物層の感度の変動を制御できない
傾向があり、３０重量部を超えると、（ｂ）クッション
層から、（ｃ）感光性樹脂組成物層へ（Ｂ）成分が逆移
行し、所望の感度よりも感度が高くなりすぎる傾向があ
る。なお、本発明における（ｂ）クッション層に用いる
（Ｃ）光重合開始剤は、後述する（ｃ）感光性樹脂組成
物層に用いることができる（Ｃ）光重合開始剤と、同一
でも相違していてもよいが、（Ｃ）光重合開始剤が同一
であることが好ましい。In the (b) cushion layer of the present invention, the compounding amount of the (C) photopolymerization initiator is preferably 1.0 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the (b) cushion layer. More preferably, it is 1.0 to 15 parts by weight. If the amount is less than 1.0 part by weight,
(C) There is a tendency that the fluctuation of the sensitivity of the photosensitive resin composition layer cannot be controlled, and when it exceeds 30 parts by weight, the component (B) is reversed from the (b) cushion layer to the (c) photosensitive resin composition layer. There is a tendency for the sensitivity to shift and become higher than the desired sensitivity. The (C) photopolymerization initiator used for the (b) cushion layer in the present invention is different from the (C) photopolymerization initiator that can be used for the (c) photosensitive resin composition layer described below, even if it is the same. However, it is preferable that the photopolymerization initiator (C) is the same.

【００３０】また、本発明における（ｂ）クッション層
には、（ｃ）感光性樹脂組成物層からの剥離を用意にで
きる点から、ワックスを含有させることが好ましい。ま
た、クッション層の材料である熱可塑性樹脂、（Ｂ）少
なくとも２個のエチレン性不飽和基を有する光重合性化
合物、（Ｃ）光重合開始剤、アルキル基を有するフッ素
系又はシリコン系化合物等は、必要に応じて、メタノー
ル、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチ
ルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−
ジメチルホルムアミド等の溶剤又はこれらの混合溶剤に
溶解して塗布することができる。The cushion layer (b) in the present invention preferably contains wax from the viewpoint that it can be easily separated from the photosensitive resin composition layer (c). Also, a thermoplastic resin as a material of the cushion layer, (B) a photopolymerizable compound having at least two ethylenically unsaturated groups, (C) a photopolymerization initiator, a fluorine-based or silicon-based compound having an alkyl group, and the like. Is, if necessary, methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-
It can be applied by dissolving in a solvent such as dimethylformamide or a mixed solvent thereof.

【００３１】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
としては、紫外線により露光され、現像可能な樹脂であ
れば、特に制限はなく、例えば、（Ａ）バインダーポリ
マー、（Ｂ）少なくとも２個のエチレン性不飽和基を有
する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含有して
なる感光性樹脂組成物の層などが挙げられる。アルカリ
現像性の見地からは（Ａ）バインダーポリマーがカルボ
キシル基を有することが好ましい。作業性、カラーフィ
ルター製造ヘの適用性等の見地からは、（Ｄ）顔料又は
染料及び（Ｅ）硫酸バリウム系体質顔料を含有するもの
であることが好ましい。また、プラズマディスプレイパ
ネル等における蛍光パターンを製造する場合は、（ｃ）
感光性樹脂組成物層は、（Ｄ）顔料又は染料の代わりに
（Ｅ）蛍光体を含有してなることが好ましい。The photosensitive resin composition layer (c) in the present invention is not particularly limited as long as it is a resin which can be exposed and developed by ultraviolet rays and is, for example, (A) a binder polymer, (B) at least two resins. And a layer of a photosensitive resin composition containing a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group and a photopolymerization initiator (C). From the viewpoint of alkali developability, the binder polymer (A) preferably has a carboxyl group. From the viewpoints of workability, applicability to the production of a color filter, and the like, it is preferred that the composition contains (D) a pigment or dye and (E) a barium sulfate extender. In the case of manufacturing a fluorescent pattern in a plasma display panel or the like, (c)
The photosensitive resin composition layer preferably contains (E) a phosphor instead of (D) a pigment or dye.

【００３２】本発明における（Ａ）成分であるバインダ
ーポリマーとしては、例えば、アクリル系樹脂、スチレ
ン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポ
キシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂等が挙
げられる。アルカリ現像性の見地からは、アクリル系樹
脂が好ましい。これらは単独で又は２種以上を組み合わ
せて用いることができる。The binder polymer as the component (A) in the present invention includes, for example, acrylic resins, styrene resins, epoxy resins, amide resins, amide epoxy resins, alkyd resins, phenol resins and the like. Can be From the viewpoint of alkali developability, an acrylic resin is preferred. These can be used alone or in combination of two or more.

【００３３】本発明における（Ａ）成分のバインダーポ
リマーは、例えば、重合性単量体をラジカル重合させる
ことにより製造することができる。上記重合性単量体と
しては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチ
ルスチレン等のα−位若しくは芳香族環において置換さ
れている重合可能なスチレン誘導体、ジアセトンアクリ
ルアミド等のアクリルアミド、アクリロニトリル、ビニ
ル−ｎ−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステ
ル類、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）
アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）
アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）ア
クリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アク
リル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロ
エチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラ
フルオロプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アク
リル酸、α−ブロモ（メタ）アクリル酸、α−クロル
（メタ）アクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、
β−スチリル（メタ）アクリル酸、マレイン酸、マレイ
ン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエ
チル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノ
エステル、フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮
酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸、（メ
タ）アクリル酸メチル、グリシジル（メタ）アクリレー
トなどが挙げられる。The binder polymer (A) in the present invention can be produced, for example, by subjecting a polymerizable monomer to radical polymerization. Examples of the polymerizable monomer include, for example, styrene, vinyl toluene, a polymerizable styrene derivative substituted at the α-position or an aromatic ring such as α-methylstyrene, acrylamide such as diacetone acrylamide, acrylonitrile, and vinyl. Esters of vinyl alcohol such as -n-butyl ether, alkyl (meth) acrylate, (meth)
Acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, (meth)
Acrylic acid dimethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid diethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid glycidyl ester, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl ( (Meth) acrylate, (meth) acrylic acid, α-bromo (meth) acrylic acid, α-chloro (meth) acrylic acid, β-furyl (meth) acrylic acid,
β-styryl (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, monomethyl maleate, monoethyl maleate, monoisopropyl maleate and other maleic monoesters, fumaric acid, cinnamic acid, α-cyanocinnamic acid, itacone Acid, crotonic acid, propiolic acid, methyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate and the like.

【００３４】上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル
としては、例えば、一般式（Ｉ）Examples of the alkyl (meth) acrylate include those represented by the general formula (I)

【化１】 （式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ²は炭素
数１〜１２のアルキル基を示す）で表される化合物、こ
れらの化合物のアルキル基に水酸基、エポキシ基、ハロ
ゲン基等が置換した化合物などが挙げられる。上記一般
式（Ｉ）中のＲ²で示される炭素数１〜１２のアルキル
基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル
基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、
オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデ
シル基及びこれらの構造異性体が挙げられる。Embedded image (Wherein, R ¹ represents a hydrogen atom or a methyl group, and R ² represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms), and the alkyl group of these compounds includes a hydroxyl group, an epoxy group, a halogen group and the like. And the like. Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R ² in the general formula (I) include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group,
Examples include an octyl group, a nonyl group, a decyl group, an undecyl group, a dodecyl group, and structural isomers thereof.

【００３５】上記一般式（Ｉ）で表される単量体として
は、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メ
タ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸プ
ロピルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、
（メタ）アクリル酸ペンチルエステル、（メタ）アクリ
ル酸ヘキシルエステル、（メタ）アクリル酸ヘプチルエ
ステル、（メタ）アクリル酸オクチルエステル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、（メタ）
アクリル酸ノニルエステル、（メタ）アクリル酸デシル
エステル、（メタ）アクリル酸ウンデシルエステル、
（メタ）アクリル酸ドデシルエステル、等が挙げられ
る。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いる
ことができる。Examples of the monomer represented by the general formula (I) include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid propyl ester, and (meth) acrylic acid Butyl ester,
Pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, heptyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, (meth)
Nonyl acrylate, decyl (meth) acrylate, undecyl (meth) acrylate,
And (meth) acrylic acid dodecyl ester. These can be used alone or in combination of two or more.

【００３６】また、本発明における（Ａ）成分であるバ
インダーポリマーは、アルカリ現像性の見地から、カル
ボキシル基を含有させることが好ましく、例えば、カル
ボキシル基を有する重合性単量体とその他の重合性単量
体をラジカル重合させることにより製造することができ
る。また、本発明における（Ａ）成分であるバインダー
ポリマーは、可とう性の見地からスチレン又はスチレン
誘導体を重合性単量体として含有させることが好まし
い。これらのバインダーポリマーは、単独で又は２種類
以上を組み合わせて使用される。The binder polymer (A) in the present invention preferably contains a carboxyl group from the viewpoint of alkali developability. For example, a polymerizable monomer having a carboxyl group and another polymerizable monomer may be used. It can be produced by radical polymerization of a monomer. Further, the binder polymer as the component (A) in the present invention preferably contains styrene or a styrene derivative as a polymerizable monomer from the viewpoint of flexibility. These binder polymers are used alone or in combination of two or more.

【００３７】本発明における（Ａ）バインダーポリマー
の重量平均分子量は、２０，０００〜３００，０００と
することが好ましく、３０，０００〜２００，０００で
あることがより好ましい。この重量平均分子量が、２
０，０００未満では、耐現像液性が低下する傾向があ
り、３００，０００を超えると、現像時間が長くなる傾
向がある。なお、本発明における重量平均分子量は、ゲ
ルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定し、
標準ポリスチレン換算したものである。The weight average molecular weight of the binder polymer (A) in the present invention is preferably from 20,000 to 300,000, more preferably from 30,000 to 200,000. This weight average molecular weight is 2
If it is less than 000, the developer resistance tends to decrease, and if it exceeds 300,000, the developing time tends to be long. Incidentally, the weight average molecular weight in the present invention is measured by gel permeation chromatography,
Standard polystyrene equivalent.

【００３８】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
に使用できる（Ｂ）少なくとも２個のエチレン性不飽和
基を有する光重合性化合物としては、例えば、前述した
（ｂ）クッション層に使用できる（Ｂ）エチレン性不飽
和基を有する光重合性化合物等が挙げられ、これらは単
独又は２種類以上を組み合わせて使用される。The (B) photopolymerizable compound having at least two ethylenically unsaturated groups which can be used in the photosensitive resin composition layer (c) of the present invention includes, for example, the (b) cushioning layer described above. And (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, and the like, which are used alone or in combination of two or more.

【００３９】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
に使用できる（Ｃ）光重合開始剤としては、例えば、前
述した（ｂ）クッション層に使用できる（Ｃ）光重合開
始剤等が挙げられ、これらは単独又は２種類以上を組み
合わせて使用される。The (C) photopolymerization initiator that can be used in the photosensitive resin composition layer (c) in the present invention includes, for example, the above-mentioned (B) photopolymerization initiator that can be used in the cushion layer (b). These are used alone or in combination of two or more.

【００４０】本発明における（Ｄ）顔料又は染料として
は、特に制限なく、公知の着色剤を使用することがで
き、例えば、感光性樹脂組成物層の成分、特に（Ａ）バ
インダーポリマー又は（Ｂ）少なくとも２個のエチレン
性不飽和基を有する光重合性化合物に対する相溶性、目
標とする色相、光透過性等を考慮して選択され、例え
ば、フクシン、オーラミン塩基、カルコシドグリーン
Ｓ、パラマジェンタ、クリスタルバイオレット、メチル
オレンジ、ナイトブルー２Ｂ、ビクトリアブルー、マラ
カイトグリーン、ベイシックブルー２０、アイオジング
グリーン、ナイトグリーンＢ、トリバロサン、ニューマ
ジェンタ、アシッドバイオレットＲＲＨ、レッドバイオ
レット５ＲＳ、エチルバイオレット、メチレンブルー、
ニューメチレンブルーＧＧ、フタロシアニングリーン、
ダイヤモンドグリーン、ローダミンＢ等の染料、フタロ
シアニンブルー等のフタロシアニン系顔料、インダンス
レンブルー、フタロシアニングリーン、ハロゲン化フタ
ロシアニン、ジオキサジンバイオレット、キナクリドン
レッド等のキナクリドン顔料、ピロロ・ピロール系顔
料、アントラキノン系顔料、ベリレン系顔料、カーボ
ン、チタンカーボン、酸化鉄、アゾ系黒色顔料、チタン
白、シリカ、タルク、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウ
ム、天然マイカ、合成マイカ、水酸化アルミニウム、沈
降性炭酸バリウム、チタン酸バリウム、山陽色素(株)製
colortex red ＵＥＭ、colortex blue ＵＥＭ、colorte
x green ＵＥ−１２０３などが挙げられる。これらは単
独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。The pigment or dye (D) in the present invention is not particularly limited, and a known coloring agent can be used. For example, the components of the photosensitive resin composition layer, particularly, (A) the binder polymer or (B) ) Selected in consideration of the compatibility with the photopolymerizable compound having at least two ethylenically unsaturated groups, the target hue, the light transmittance, etc., for example, fuchsin, auramine base, chalcosid green S, paramagenta , Crystal Violet, Methyl Orange, Night Blue 2B, Victoria Blue, Malachite Green, Basic Blue 20, Iozing Green, Night Green B, Trivarosan, New Magenta, Acid Violet RRH, Red Violet 5RS, Ethyl Violet, Methylene Blue,
New methylene blue GG, phthalocyanine green,
Dyes such as diamond green, rhodamine B, phthalocyanine pigments such as phthalocyanine blue, indanthrene blue, phthalocyanine green, phthalocyanine halides, dioxazine violet, quinacridone pigments such as quinacridone red, pyrrolo-pyrrole pigments, anthraquinone pigments, Berylene pigment, carbon, titanium carbon, iron oxide, azo black pigment, titanium white, silica, talc, magnesium carbonate, calcium carbonate, natural mica, synthetic mica, aluminum hydroxide, precipitated barium carbonate, barium titanate, Sanyo Dye Co., Ltd.
colortex red UEM, colortex blue UEM, colorte
x green UE-1203 and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【００４１】本発明における（Ｅ）蛍光体としては、特
に制限はなく、通常の金属酸化物を主体とするものが用
いられる。赤色発色の蛍光体としては、例えば、Ｙ₂Ｏ₂
Ｓ：Ｅｕ、Ｚｎ₃(ＰＯ₄)₂：Ｍｎ、Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ、ＹＶ
Ｏ₄：Ｅｕ、(Ｙ，Ｇｄ)ＢＯ₃：Ｅｕ等が挙げられる。青
色発色の蛍光体としては、例えば、ＺｎＳ：Ａｇ、Ｚｎ
Ｓ：Ａｇ，Ａｌ、ＺｎＳ：Ａｇ，Ｇａ，Ａｌ、ＺｎＳ：
Ａｇ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｃｌ、ＺｎＳ：Ａｇ⁺Ｉｎ₂Ｏ₃、Ｃ
ａ₂Ｂ₅Ｏ₉Ｃｌ：Ｅｕ²⁺、(Ｓｒ，Ｃａ，Ｂａ，Ｍｇ)
₁₀(ＰＯ₄)₆Ｃｌ₂：Ｅｕ²⁺、Ｓｒ₁₀(ＰＯ₄)₆Ｃｌ₂：Ｅｕ
²⁺、ＢａＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ²⁺、ＢａＭｇＡｌ
₁₆Ｏ₂₆：Ｅｕ²⁺等が挙げられる。緑色発色の蛍光体とし
ては、例えば、ＺｎＳ：Ｃｕ、Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ、Ｚ
ｎＳ：Ｃｕ⁺Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ、Ｇｄ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ、
Ｙ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂：Ｃｅ、ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ、Ｙ₂Ｏ₂Ｓ：
Ｔｂ、ＺｎＯ：Ｚｎ、Ｚｎ₂ＧｅＯ₂Ｍｎ、ＺｎＳ：Ｃ
ｕ，Ａｌ⁺Ｉｎ₂Ｏ₃、ＬａＰＯ₄：Ｃｅ，Ｔｂ、ＢａＯ・
６Ａｌ₂Ｏ₃：Ｍｎ等が挙げられる。なお、上記した蛍光
体は、化成オプトニクス(株)や日亜化学工業(株)等から
購入することができる。これらは単独で又は２種類以上
を組み合わせて使用される。The phosphor (E) in the present invention is not particularly limited, and a phosphor mainly composed of an ordinary metal oxide is used. As a red-colored phosphor, for example, Y ₂ O ₂
S: Eu, Zn ₃ (PO ₄ ) ₂ : Mn, Y ₂ O ₃ : Eu, YV
O ₄ : Eu, (Y, Gd) BO ₃ : Eu and the like. Examples of the blue-colored phosphor include ZnS: Ag, Zn
S: Ag, Al, ZnS: Ag, Ga, Al, ZnS:
Ag, Cu, Ga, Cl, ZnS: Ag ⁺ In ₂ O ₃ , C
a ₂ B ₅ O ₉ Cl: Eu ²⁺ , (Sr, Ca, Ba, Mg)
₁₀ (PO ₄ ) ₆ Cl ₂ : Eu ²⁺ , Sr ₁₀ (PO ₄ ) ₆ Cl ₂ : Eu
²⁺ , BaMgAl ₁₄ O ₂₃ : Eu ²⁺ , BaMgAl
₁₆ O ₂₆ : Eu ^{2+ and the} like. Examples of green-colored phosphors include ZnS: Cu, Zn ₂ SiO ₄ : Mn, and Z
nS: Cu ⁺ Zn ₂ SiO ₄ : Mn, Gd ₂ O ₂ S: Tb,
Y ₃ Al ₅ O ₁₂ : Ce, ZnS: Cu, Al, Y ₂ O ₂ S:
Tb, ZnO: Zn, Zn ₂ GeO ₂ Mn, ZnS: C
u, Al ⁺ In ₂ O ₃ , LaPO ₄ : Ce, Tb, BaO.
6Al ₂ O ₃ : Mn and the like. The above-mentioned phosphor can be purchased from Kasei Optonics Co., Ltd. or Nichia Corporation. These are used alone or in combination of two or more.

【００４２】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
において（Ａ）成分の配合量は（ｃ）感光性樹脂組成物
層中の（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して、３０〜８０重量部とすることが好ましく、４０
〜８０重量部であることがより好ましい。この配合量が
３０重量部未満では塗膜性が不十分となる傾向があり、
８０重量部を超えると硬化物の膜特性が低下する傾向が
ある。In the photosensitive resin composition layer (c) in the present invention, the amount of the component (A) is based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (B) in the photosensitive resin composition layer (c). On the other hand, it is preferably 30 to 80 parts by weight,
More preferably, it is 80 parts by weight. If the amount is less than 30 parts by weight, the coating properties tend to be insufficient,
If it exceeds 80 parts by weight, the film properties of the cured product tend to decrease.

【００４３】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
において（Ｂ）成分の配合量は（ｃ）感光性樹脂組成物
層中の（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して、２０〜７０重量部とすることが好ましく、２０
〜６０重量部であることがより好ましい。この配合量が
２０重量部未満では光感度が不十分となる傾向があり、
硬化物の膜特性が低下する傾向があり、７０重量部を超
えると塗膜性が低下する傾向がある。In the photosensitive resin composition layer (c) of the present invention, the amount of the component (B) is based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (B) in the photosensitive resin composition layer (c). On the other hand, the content is preferably 20 to 70 parts by weight,
More preferably, the amount is 60 parts by weight. If the amount is less than 20 parts by weight, the light sensitivity tends to be insufficient,
The film properties of the cured product tend to decrease, and if it exceeds 70 parts by weight, the coating properties tend to decrease.

【００４４】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
において（Ｃ）成分の配合量は（ｃ）感光性樹脂組成物
層中の（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して、１．０〜３０重量部とすることが好ましく、
１．０〜１５重量部とすることがより好ましい。この配
合量が１．０重量部未満では光感度が不十分となる傾向
があり、３０重量部を超えると露光の際、（ｃ）感光性
樹脂組成物層の表面での光吸収が増大し、内部の光硬化
塗膜性が低下する傾向がある。In the photosensitive resin composition layer (c) of the present invention, the amount of the component (C) is based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (B) in the photosensitive resin composition layer (c). On the other hand, the content is preferably set to 1.0 to 30 parts by weight,
More preferably, the amount is 1.0 to 15 parts by weight. If the amount is less than 1.0 part by weight, the photosensitivity tends to be insufficient. If the amount exceeds 30 parts by weight, the light absorption on the surface of the photosensitive resin composition layer (c) increases upon exposure. , There is a tendency that the photocurable coating properties inside are reduced.

【００４５】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
において（Ｄ）成分の配合量は（ｃ）感光性樹脂組成物
層中の（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して、１．０〜５０重量部とすることが好ましく、
１．０〜４０重量部であることがより好ましい。この配
合量が１．０重量部未満では着色が不十分となる傾向が
あり、５０重量部を超えると光透過率が低下する傾向が
ある。In the photosensitive resin composition layer (c) of the present invention, the amount of the component (D) is based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (B) in the photosensitive resin composition layer (c). On the other hand, the content is preferably set to 1.0 to 50 parts by weight,
More preferably, it is 1.0 to 40 parts by weight. If the amount is less than 1.0 part by weight, the coloring tends to be insufficient, and if it exceeds 50 parts by weight, the light transmittance tends to decrease.

【００４６】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
において（Ｅ）成分の配合量は（ｃ）感光性樹脂組成物
層中の（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して、３．０〜１５重量部とすることが好ましい。こ
の配合量が３．０重量部未満では（ｃ）感光性樹脂組成
物層ラミネート後の（ｂ）クッション層と（ｃ）感光性
樹脂組成物層の界面剥離性が不安定となる傾向があり、
１５重量部を超えると（ｃ）感光性樹脂組成物層が白化
する傾向がある。In the photosensitive resin composition layer (c) of the present invention, the amount of the component (E) is based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (B) in the photosensitive resin composition layer (c). On the other hand, it is preferably 3.0 to 15 parts by weight. If the amount is less than 3.0 parts by weight, the interfacial peeling property between the (c) cushion layer and the (c) photosensitive resin composition layer after laminating the (c) photosensitive resin composition layer tends to be unstable. ,
If it exceeds 15 parts by weight, the photosensitive resin composition layer (c) tends to whiten.

【００４７】また、本発明における（ｃ）感光性樹脂組
成物層には、例えば、熱重合性成分安定剤、メラミン樹
脂など熱硬化性樹脂等を含有させることができる。ま
た、（ｃ）感光性樹脂組成物層における（Ａ）バインダ
ーポリマー、（Ｂ）少なくとも２個のエチレン性不飽和
基を有する光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、アル
キル基を有するフッ素系又はシリコン系化合物等は、必
要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチ
ルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピ
レングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれら
の混合溶剤に溶解して固形分３０〜６０重量％程度の溶
液として塗布することができる。The photosensitive resin composition layer (c) in the present invention may contain, for example, a thermopolymerizable component stabilizer and a thermosetting resin such as a melamine resin. (C) a binder polymer in the photosensitive resin composition layer, (B) a photopolymerizable compound having at least two ethylenically unsaturated groups, (C) a photopolymerization initiator, and fluorine having an alkyl group. If necessary, the system-based or silicon-based compound is dissolved in a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether, or a mixed solvent thereof. Then, it can be applied as a solution having a solid content of about 30 to 60% by weight.

【００４８】本発明の感光性エレメントをカラーフィル
ターの製造に使用する際には、感光性樹脂組成物層の厚
みを０．５〜１０μｍとすることが好ましく、１〜３μ
ｍとすることがより好ましい。この厚みが０．５μｍ未
満であると現像性及び色特性が悪化する傾向があり、１
０μｍを超えると本発明の効果が小さくなる傾向があ
る。本発明の感光性エレメントをプラズマディスプレイ
の製造に使用する際には、感光性樹脂組成物層の厚みを
５０〜２５０μｍ程度とすることが好ましい。When the photosensitive element of the present invention is used for producing a color filter, the thickness of the photosensitive resin composition layer is preferably 0.5 to 10 μm, and more preferably 1 to 3 μm.
m is more preferable. If the thickness is less than 0.5 μm, developability and color characteristics tend to deteriorate, and
If it exceeds 0 μm, the effect of the present invention tends to decrease. When the photosensitive element of the present invention is used for producing a plasma display, the thickness of the photosensitive resin composition layer is preferably set to about 50 to 250 μm.

【００４９】また、本発明の感光性エレメントには、感
光性樹脂組成物層の保護のため保護フィルムを用いるこ
とが好ましい。この保護フィルムとしては、例えば、ポ
リエステルフィルム、ポリオレフィンフィルム等が用い
られるが、価格、柔軟性、強度、硬度等の見地からポリ
オレフィンフィルムがより好ましく、ポリエチレンフィ
ルムが特に好ましい。また、その厚みは、１〜１００μ
ｍであることが好ましく、１０〜４０μｍであることが
より好ましい。この厚みが１０μｍ未満では取扱性に劣
る傾向があり、４０μｍを超えると、コストアップとな
る傾向がある。本発明で用いられる基板は、透明である
ことが好ましく、その材質としては、例えば、ガラス、
プラスチック等が挙げられる。In the photosensitive element of the present invention, it is preferable to use a protective film for protecting the photosensitive resin composition layer. As the protective film, for example, a polyester film, a polyolefin film, or the like is used. From the viewpoints of price, flexibility, strength, hardness, and the like, a polyolefin film is more preferable, and a polyethylene film is particularly preferable. The thickness is 1 to 100 μm.
m, more preferably 10 to 40 μm. If the thickness is less than 10 μm, the handleability tends to be poor, and if it exceeds 40 μm, the cost tends to increase. The substrate used in the present invention is preferably transparent, and its material is, for example, glass,
Plastics and the like.

【００５０】本発明の感光性エレメントは、例えば、ポ
リエチレンフィルム等の支持体フィルム上にクッション
層の溶液をロールコータ、コンマコータ、グラビアコー
タ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータなど
で塗布、乾燥後、さらに感光性樹脂組成物の溶液を上記
塗工方法で塗布、乾燥後、必要に応じて保護フィルムを
積層することで製造することができる。また、上記とは
別にポリエチレンフィルム等の支持体フィルム上に感光
性樹脂組成物の溶液をロールコータ、コンマコータ、グ
ラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バー
コータなどで塗布、乾燥後、必要に応じて保護フィルム
を積層し感光性樹脂組成物層を有するエレメントを得
る。また、ポリエチレンフィルム等の支持体フィルム上
にクッション層の溶液をロールコータ、コンマコータ、
グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バ
ーコータなどで塗布、乾燥してクッション層を有するエ
レメントを得る。次いで、必要に応じて存在する保護フ
ィルムを剥離した感光性樹脂組成物層を有するエレメン
トの感光性樹脂組成物層とクッション層とを貼り合わせ
るようにして本発明の感光性エレメントを得ることもで
きる。The photosensitive element of the present invention is obtained, for example, by coating a solution of a cushion layer on a support film such as a polyethylene film with a roll coater, a comma coater, a gravure coater, an air knife coater, a die coater, a bar coater, etc., and then drying. The photosensitive resin composition can be manufactured by applying a solution of the photosensitive resin composition by the above-mentioned coating method, drying and, if necessary, laminating a protective film. In addition, separately from the above, a solution of the photosensitive resin composition is coated on a support film such as a polyethylene film with a roll coater, a comma coater, a gravure coater, an air knife coater, a die coater, a bar coater, etc., dried, and then protected if necessary. Films are laminated to obtain an element having a photosensitive resin composition layer. Further, the solution of the cushion layer on a support film such as a polyethylene film roll coater, comma coater,
An element having a cushion layer is obtained by coating and drying with a gravure coater, air knife coater, die coater, bar coater or the like. Next, the photosensitive element of the present invention can also be obtained by laminating the cushion layer with the photosensitive resin composition layer of the element having the photosensitive resin composition layer from which the protective film is removed as necessary. .

【００５１】本発明の感光性エレメントを使用したカラ
ーフィルタは、例えば、以下のようにして製造される。
まず、必要に応じてブラックマトリックスが形成された
カラーフィルタ用基板を必要に応じて１００〜２００℃
の温度で３〜３０分間加熱した後、そのカラーフィルタ
用基板上に必要に応じて存在する保護フィルムを剥がし
ながら感光性エレメントの感光性樹脂組成物層を積層
し、感光性樹脂組成物層の表面の支持体フィルム及びク
ッション層を剥離した後、感光性樹脂組成物層上に所定
のパターンのネガマスクを乗せて像状に露光する。次い
で未露光部分が現像液で現像され着色パターンが形成さ
れる。この着色パターンの形成工程を色の異なる感光性
エレメントを用いて所定回数繰り返すことで多色の着色
パターンを形成させカラーフィルタが得られる。A color filter using the photosensitive element of the present invention is manufactured, for example, as follows.
First, a color filter substrate on which a black matrix is formed as needed is heated to 100 to 200 ° C. as needed.
After heating at a temperature of 3 to 30 minutes, the photosensitive resin composition layer of the photosensitive element is laminated while peeling off the protective film that is present on the color filter substrate as needed, and the photosensitive resin composition layer After the support film and the cushion layer on the surface are peeled off, a negative mask having a predetermined pattern is placed on the photosensitive resin composition layer, and imagewise exposed. Next, the unexposed portion is developed with a developer to form a colored pattern. This color pattern forming process is repeated a predetermined number of times using photosensitive elements of different colors, whereby a multicolored color pattern is formed and a color filter is obtained.

【００５２】前記積層工程は、一般にホットロールと呼
ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと呼ばれる加
熱用のジャケットとラミネートロールと呼ばれるロール
により、感光性樹脂組成物層を加熱し軟化しながら行
う。本発明の感光性エレメントを用いると２色目以降の
パターンを形成する際に、特別な処理をすることなくパ
ターンの段差を低減できる。前記露光工程は、一般に専
用の露光機があり、接触又は非接触型のものを用いて行
う。ランプとしては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタ
ルハライドランプ、キセノンランプ等の紫外線を有効に
放射するものを用いることができる。現像方法は、ディ
ップ法、スプレー法等が挙げられ、高解像度化には高圧
スプレー法が最適である。現像液は、環境性及び安全性
の見地からアルカリ性水溶液であることが好ましく、例
えば、０．１〜５重量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、
０．１〜５重量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１〜５
重量％水酸化ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％
四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液等が好ましい。The laminating step is performed while heating and softening the photosensitive resin composition layer by using a heatable roll generally called a hot roll or a heating jacket called a heat shoe and a roll called a laminate roll. When the photosensitive element of the present invention is used, when forming a pattern for the second and subsequent colors, the step of the pattern can be reduced without performing special processing. The exposure step is generally performed by using a contact or non-contact type exposure apparatus having a dedicated exposure apparatus. As the lamp, a lamp that effectively emits ultraviolet light, such as a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, or a xenon lamp, can be used. Examples of the developing method include a dip method and a spray method, and a high-pressure spray method is optimal for high resolution. The developer is preferably an alkaline aqueous solution from the viewpoint of environmental friendliness and safety, for example, a dilute solution of 0.1 to 5% by weight of sodium carbonate,
Dilute solution of 0.1-5% by weight potassium carbonate, 0.1-5%
Weight% dilute solution of sodium hydroxide, 0.1-5% by weight
A dilute solution of sodium tetraborate or the like is preferred.

【００５３】また、蛍光パターンを製造する場合は、本
発明の感光性エレメントの感光性樹脂組成物層を、プラ
ズマディスプレイパネル用基板上に、積層し、像状に露
光し、現像した後、焼成することによって得ることがで
きる。When a fluorescent pattern is produced, the photosensitive resin composition layer of the photosensitive element of the present invention is laminated on a substrate for a plasma display panel, exposed imagewise, developed, and fired. Can be obtained.

【００５４】[0054]

【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明す
る。 実施例１ （ａ）支持体フィルムのポリエステルフィルム（厚み５
０μｍ、帝人(株)）上に表１に示す（ｂ）クッション層
の溶液をコンマコータで塗布し、１００℃の熱風対流式
乾燥機で２分間乾燥して乾燥後の膜厚が２０μｍの
（ｂ）クッション層を形成したエレメントＡを得た。Next, the present invention will be described in detail with reference to examples. Example 1 (a) Polyester film of support film (thickness 5
0 μm, a solution of the cushion layer (b) shown in Table 1 was applied on a Teikoku Co., Ltd. using a comma coater, and dried with a hot air convection dryer at 100 ° C. for 2 minutes. ) An element A having a cushion layer was obtained.

【００５５】[0055]

【表１】 [Table 1]

【００５６】次に、エレメントＡ上（クッション層面）
に表２及び表３に示す（ｃ）感光性樹脂組成物層の溶液
をダイコータで塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で
１５秒間乾燥して乾燥後の膜厚が２．３μｍの（ｃ）感
光性樹脂組成物層を形成した感光性エレメント１を得
た。Next, on the element A (the surface of the cushion layer)
And (c) a solution of the photosensitive resin composition layer shown in Tables 2 and 3 was applied by a die coater, and dried by a hot air convection dryer at 100 ° C. for 15 seconds to obtain a film having a thickness of 2.3 μm after drying. c) The photosensitive element 1 on which the photosensitive resin composition layer was formed was obtained.

【００５７】[0057]

【表２】 [Table 2]

【００５８】[0058]

【表３】 [Table 3]

【００５９】次に、感光性エレメント１の（ｃ）感光性
樹脂組成物層側の（ｄ）保護フィルムを剥がしながら、
１５０℃で予め加熱したガラス基板上に（ｃ）感光性樹
脂組成物層をロール温度１１０℃、ロール圧力６×１０
⁵Pa、ラミネート速度３ｍ／分でラミネートした。次い
で、（ａ）支持フィルム（ポリエステルフィルム）及び
（ｂ）クッション層を除去し、所定のパターンのネガマ
スクを通して、露光機ＨＭＷ−５９０（５ｋｗ超高圧水
銀灯、(株)オーク製作所製）を使用し、５０mJ/cm²の露
光量で露光した後、３０℃の０．５重量％トリエタノー
ルアミン水溶液で、３０秒間スプレー現像して未露光部
を除去し、１色目の着色パターンを形成した。この着色
パターンの形成工程を赤、緑、青の順に各色の感光性エ
レメントを用いて３回繰り返し行い、多色パターンを形
成した。得られたパターンは整然と並んでおり、膜厚も
良好なものであった。また、各工程においてフィルム間
の界面剥離性に問題は無かった。次いで、得られた多色
パターンを１５０℃で４５分間加熱してカラーフィルタ
を得た。Next, while peeling off the protective film (d) on the photosensitive resin composition layer side (c) of the photosensitive element 1,
On a glass substrate heated in advance at 150 ° C., the photosensitive resin composition layer (c) was rolled at 110 ° C. and roll pressure 6 × 10
Lamination was performed at ⁵ Pa and a lamination speed of 3 m / min. Next, (a) the support film (polyester film) and (b) the cushion layer are removed, and an exposure machine HMW-590 (5 kW ultra-high pressure mercury lamp, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) is used through a predetermined pattern of a negative mask. After exposure at an exposure amount of 50 mJ / cm ² , spray development was performed with a 0.5% by weight aqueous solution of triethanolamine at 30 ° C. for 30 seconds to remove unexposed portions, thereby forming a first colored pattern. This step of forming a colored pattern was repeated three times using photosensitive elements of each color in the order of red, green, and blue to form a multicolor pattern. The obtained patterns were arranged neatly and the film thickness was good. In each step, there was no problem in the interfacial peelability between the films. Next, the obtained multicolor pattern was heated at 150 ° C. for 45 minutes to obtain a color filter.

【００６０】比較例１ 実施例１において、表１に示す（ｂ）クッション層の溶
液の配合から、表面改質剤を除去した以外は実施例１と
同様にして、感光性エレメント２を作製し、次いで着色
パターンを形成した。得られた多色パターンは赤、緑、
青の画素の膜厚は不揃いになり、カラーフィルタとして
使用できるものではなかった。Comparative Example 1 A photosensitive element 2 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the surface modifier was removed from the formulation of the (b) cushion layer solution shown in Table 1. Then, a colored pattern was formed. The resulting multicolor pattern is red, green,
The thicknesses of the blue pixels were uneven, and could not be used as color filters.

【００６１】[0061]

【発明の効果】請求項１記載の感光性エレメントは、ク
ッション層への感光性樹脂組成物層中の光重合性化合物
及び光重合開始剤の移行を抑制でき、感度変動が少な
く、段差が少なく、高精度のパターンを工程中の各層の
剥離不良が低く、生産性よく製造でき、カラーフィルタ
ーの製造に極めて好適である。請求項２記載の感光性エ
レメントは、請求項１記載の発明の効果を奏し、さらに
ラミネート後のクッション層と感光性樹脂組成物層との
剥離性が優れる。請求項３記載の感光性エレメントは、
請求項１又は２記載の発明の効果を奏し、さらに分子の
立体障害によるクッション層と感光性樹脂組成物層との
間の物質の層間移行量が低減する。According to the photosensitive element of the first aspect, the transfer of the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition layer to the cushion layer can be suppressed, the sensitivity fluctuation is small, and the step is small. A high-precision pattern can be manufactured with low peeling failure of each layer during the process with high productivity, which is extremely suitable for manufacturing a color filter. The photosensitive element according to claim 2 has the effects of the invention according to claim 1 and further has excellent peelability between the cushion layer after lamination and the photosensitive resin composition layer. The photosensitive element according to claim 3 is
The effect of the invention described in claim 1 or 2 is exerted, and the amount of transfer of a substance between the cushion layer and the photosensitive resin composition layer due to steric hindrance of the molecule is reduced.

【００６２】請求項４記載の感光性エレメントは請求項
１、２又は３記載の発明の効果に加えて、さらに作業
性、環境安全性等が良好である。請求項５記載の感光性
エレメントは、請求項１、２、３又は４記載の発明の効
果を奏し、さらにクッション層への感光性樹脂組成物層
中の光重合性化合物及び光重合開始剤の移行を抑制で
き、感度変動が少ない。請求項６記載のカラーフィルタ
の製造法は、クッション層への感光性樹脂組成物層中の
光重合性化合物及び光重合開始剤の移行を抑制でき、感
度変動が少く、段差が小さく、高精度のパターンを生産
性よく製造できる。The photosensitive element according to the fourth aspect has good workability and environmental safety in addition to the effects of the first, second or third aspect of the invention. The photosensitive element according to the fifth aspect has the effects of the invention according to the first, second, third, or fourth aspect, and further includes the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition layer on the cushion layer. Transfer can be suppressed and sensitivity fluctuation is small. The method for producing a color filter according to claim 6, wherein the migration of the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition layer to the cushion layer can be suppressed, the sensitivity variation is small, the step is small, and the precision is high. Can be manufactured with high productivity.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０３Ｆ 7/032 Ｇ０３Ｆ 7/032 7/11 ５０３ 7/11 ５０３ 7/30 7/30 Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AB13 AC01 AD01 BC31 BC51 CA01 CA20 CA28 CB06 CB14 CC12 CC13 DA13 DA40 FA04 FA17 2H048 BA45 BA47 BA48 BB02 BB42 2H096 AA00 AA28 BA05 CA05 CA16 CA20 EA02 EA12 GA08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. ⁷ Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G03F 7/032 G03F 7/032 7/11 503 7/11 503 7/30 7/30 F-term (reference) 2H025 AA00 AB13 AC01 AD01 BC31 BC51 CA01 CA20 CA28 CB06 CB14 CC12 CC13 DA13 DA40 FA04 FA17 2H048 BA45 BA47 BA48 BB02 BB42 2H096 AA00 AA28 BA05 CA05 CA16 CA20 EA02 EA12 GA08

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 （ａ）支持体フィルム、（ｂ）クッショ
ン層及び（ｃ）感光性樹脂組成物層を順次積層してなる
感光性エレメントにおいて、（ｂ）クッション層中にア
ルキル基を有するフッ素系化合物又はアルキル基を有す
るシリコン系化合物を含有させてなる感光性エレメン
ト。1. A photosensitive element obtained by sequentially laminating (a) a support film, (b) a cushion layer and (c) a photosensitive resin composition layer, wherein (b) fluorine having an alkyl group in the cushion layer. A photosensitive element containing a compound or a silicon compound having an alkyl group. 【請求項２】 （ｂ）クッション層中にアルキル基を有
するフッ素系又はシリコン系化合物を、クッション層の
総量１００重量部に対して、０．０５〜５重量部含有す
る請求項１記載の感光性エレメント。2. The photosensitive material according to claim 1, wherein (b) the cushion layer contains 0.05 to 5 parts by weight of a fluorine-based or silicon-based compound having an alkyl group based on 100 parts by weight of the total amount of the cushion layer. Sex element. 【請求項３】 アルキル基を有するフッ素系又はシリコ
ン系化合物が、アルキル基を有するポリマー又はオリゴ
マーである請求項１又は２記載の感光性エレメント。3. The photosensitive element according to claim 1, wherein the fluorine-based or silicon-based compound having an alkyl group is a polymer or an oligomer having an alkyl group. 【請求項４】 （ｃ）感光性樹脂組成物層が、（Ａ）バ
インダーポリマー、（Ｂ）少なくとも１個のエチレン性
不飽和基を有する光重合性化合物（Ｃ）光重合開始剤及
び（Ｄ）顔料又は染料を含有してなる請求項１、２又は
３記載の感光性エレメント。4. The photosensitive resin composition layer (c) comprises: (A) a binder polymer; (B) a photopolymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated group; (C) a photopolymerization initiator; 4. The photosensitive element according to claim 1, 2 or 3, comprising a pigment or a dye. 【請求項５】 （ｂ）クッション層中にさらに（Ｂ）少
なくとも１個のエチレン性不飽和基を有する光重合性化
合物及び（Ｃ）光重合開始剤含有させてなる請求項１、
２、３又は４記載の感光性エレメント。5. The method according to claim 1, wherein (b) the cushion layer further comprises (B) a photopolymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated group and (C) a photopolymerization initiator.
5. The photosensitive element according to 2, 3 or 4. 【請求項６】 請求項１、２、３、４又は５記載の感光
性エレメントを（ｃ）感光性樹脂組成物層が、透明基板
上に接するように貼り合わせる工程、（ａ）支持体フィ
ルム及び（ｂ）クッション層を剥離する工程並びに
（ｃ）感光性樹脂組成物層をパターン状に露光、現像す
る工程を含む工程を繰り返すことにより、多色のパター
ンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造
法。6. A step of bonding the photosensitive element according to claim 1, 2, 3, 4, or 5 so that the photosensitive resin composition layer is in contact with a transparent substrate, and (a) a support film. And (b) repeating the step of peeling the cushion layer and the step of (c) exposing and developing the photosensitive resin composition layer in a pattern to form a multicolor pattern. Manufacturing method of filter.