【発明の詳細な説明】
輸送コンテナ製造用材料
本発明は、大容量輸送・貯蔵コンテナの製造、ならびに化学品、特に電子工業
用高純度液体化学品の輸送・貯蔵用の内張りした輸送・貯蔵コンテナの製造にポ
リエチレン材料を使用することに関する。本発明はさらに、該輸送コンテナから
又は該コンテナ中へ該化学品を排出又は充填するのに必要な装置の製造にこれら
材料を使用することにも関する。
多くの場合、電子的構成要素の製造には最も厳しい純度基準を条件とする液体
化学品を必要とする。このことは大規模集積マイクロチップの製造の場合特に当
てはまる。一方では、これら化学品の純度は、その化学品を、必要とする純度に
製造するだけでは充分でないようなレベルのものであり、輸送中又は貯蔵及び取
扱い中にいかなる不純物も製品中に入らないようにすることも必要である。他方
では、これら化学品のあるものの腐蝕性が取扱いと貯蔵を困難にするので、貯蔵
及び輸送の安全が保証されなければならない。多くの場合これら化学品はまた、
毒物学的に有害であるか又は危険な化学的性質を有する。これら若干の化学品の
腐蝕性によって生じる、例えば輸送コンテナの損傷による偶発的なこぼれ又は洩
れなどは、高度の確実性で排除されねばならない。
輸送すべき化学品には上記のような必要要件があるため、このような輸送コン
テナ用の材料の選択は、何よりもまず不純物の排除ということによって決めねば
ならない。通常この必要要件は、フッ素化また過フッ素化した物質でつくったコ
ンテナ又はこのような材料で内張りしたコンテナによって充足されている。
必要条件によっては、これらの輸送・貯蔵コンテナは、圧力のかからないか又
は圧力のかかるコンテナとして製造される。
圧力のかからないコンテナは、外部から加えられるいかなる内圧にもさらして
はならない。
同様に、液体化学品は、圧力を加えずに、すなわちポンプの援助によって、そ
のようなコンテナから排出されねばならない。これらのポンプは必然的に可動部
分を有するので、ポンプ領域で起こる摩耗による不純物発生の可能性を完全には
排除できない。
しかしながら、特に耐圧性コンテナを用いる場合は、ポンプを必要とせず、し
たがって摩耗が起こらないように、浸漬管を通して加圧不活性ガスを導入して化
学品を排出することが知られている。ドイツ特許３６ ３６ ８８６は、２重鞘
の内部コンテナを有し、その最内側の内張りがフッ素化したプラスチックからな
る、高純度液体化学品用輸送コンテナを開示した。多重鞘デザインのこの輸送コ
ンテナはしたがって加圧することができる。しかし、その欠点は、一方では、そ
のような内部内張りの製造に適する唯一の材料が、苦労がかかり、したがって費
用のかかる方法で製造しなければならない特別なフッ素化プラスチックであるこ
と；さらに他方では、輸送する化学品に高純度という要求事項があるため、プラ
スチック中にほんの僅かの加工助剤も添加できず、さらに道具類や環境因子によ
る汚染を極力最小にする必要があるということによってこれらのプラスチックの
加工性が非常に困難にされていることである。
大容量輸送コンテナ製造用材料の選択に関しては、このポリマー物質は、輸送
すべき化学品によって起こり得る浸出や脆弱化に対して抵抗性であるばかりでな
く、ある程度の弾力性とともに充分な剛性をも有し、その結果、この材料でつく
ったコンテナは、圧力及び衝撃に対して不感性、かつ、安定であって、変形又は
クラック（亀裂）を起こす傾向がないようでなければならない。さらに、これら
の材料の性質は、長期間の貯蔵の際にも輸送する化学品の純度とコンテナの特性
の両方とも保持されるように耐久性がなければならない。
したがって本発明の一つの目的は、経済的に製造され、合成を通じて高純度に
得られ、極く低濃度の重合触媒しか含まず、出来れば加工助剤を添加することな
く、あるいは使用に際して有害な効果を与えない加工助剤又は輸送する化学品に
よって材料から浸出されない加工助剤のみを添加して容易に加工することができ
る、高純度液体化学品用の輸送コンテナ及び付属設備の製造に適する材料を提供
することである。本発明の他の目的は、高純度の液体化学品用の大容量貯蔵・輸
送コンテナ、ならびに加圧することのできる当該コンテナ用のライニング（内張
り）の両方を製造することが可能な、好適なポリマー物質を提供することである
。
この目的は、本発明により、電子工業用高純度液体化学用品大容量貯蔵・輸送
コンテナ及びその付属装置製造用に；さらに、加圧することのできる当該コンテ
ナ及び付属装置用のライニング製造用に、ＨＤポリエチレン（ＨＤ＝高密度）を
使用することによって達成される。本目的は、特に比重が０．９４０−０．９７
０ｇ／ｃｍ3、特に０．９４２−０．９６１ｇ／ｃｍ3のＨＤポリエチレンを使用
することによって達成される。
現行の見解によれば、高純度酸又は塩基を輸送するのに使用されるコンテナ用
に適当な唯一の材料は、フッ素化炭化水素をベースとするプラスチックである。
このような物質の例には、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフル
オロアルコキシポリマー（ＰＦＡ）、フッ化ポリビニリデン（ＰＶＤＦ）又はポ
リ（エチレン／クロロトリフルオロエチレン）（ＥＣＴＦＥ）があり、これらは
公知の商標「テフロン」の一般適使用法に記載されている。当業者にとって、テ
フロンといわれているプラスチックは、特に強酸又は強塩基のような腐蝕性化学
品の影響及び温度の影響も受けないということは自明である。これらのプラスチ
ックは価格が高く、不経済な材料である。
ところで驚くべきことに、電子工業用高純度液体化学品用の高品質輸送コンテ
ナならびにその付属装置；例えば浸漬管、ポンプ部品及びホース；などの製造に
、非フッ素化プラスチックも使用できることが実験によってわかった。選択した
ＨＤポリエチレン（高密度ポリエチレン）、すなわち、比重が０．９４０−０．
９７０ｇ／ｃｍ3、特に０．９４２−０．９６１ｇ／ｃｍ3の範囲のポリエチレン
が、前記の所望用途に対して特に好適な材料であることがわかった。さらに、こ
れらのポリエチレングレードは、分析により触媒残渣が特に低含量であることで
はっきり区別される。それ故、他の材料と比較して、これらの材料は、塩基性及
び酸性の高純度化学品と接触したとき、イオン性不純物を極めて僅かしかレリー
ズ（放出）しない。また、化学品と接触したとき、化学品とこの材料間の相互作
用により比較的僅かの粒子しか生じない。このことは、コンテナを充填し、化学
品を排出する装置の製造にこの材料を使用することに関しては特に重要である。
意外なことに、これらの材料は、浸漬管の製造ならびに圧力をかけない輸送コン
テナから高純度化学品を排出して処理サイトに運ふのに必要なポンプの製造の両
方に適している。
これは、長年の間危険物品の輸送に適するとして成功裡に使用されていた別の
相当ポリエチレン材料が、高純度液体化学品の輸送・貯蔵には適さないという理
由のため特に驚嘆すべきことであった。試験してみると、これらのプラスチック
は、極めて多量の粒子と許容限界以上のイオン性不純物をレリーズすることがわ
かった。
ＢＡＳＦ社より商標名ルポレン（Lupolen）で市販されているポリエチレン物
質が、前記目的に対して特に好適な材料であることがわかった。貯蔵テストでは
、Lupolen 6021 D，Lupolen 5021 D，Lupolen 4261 AQ 149及びLupolen 4261 AQ
135の商標名で入手可能のグレードが、このグループのポリエチレン仕様から特
に適当であることがわかった。
これらの材料は、押出し可能であるが品質を損なうことなく溶接することもで
きるので、本発明による使用には特に好適である。このことは、この材料の適宜
なスラブを溶接することによって殆どいかなるサイズのコンテナをも製造できる
可能性をもたらす。これらのスラブの一方につけて材料中に固定した、繊維の織
物によって、比較的薄い壁の内部コンテナを前もって作ることが可能となる。ガ
ラス繊維強化ポリエステル樹胆の使用により、それ自体安定で、適宜にデザイン
すると、圧力コンテナを規定する規制にしたがうコンテナを製造することが可能
となる。これらのコンテナはそれ故、構造的には２重鞘のデザインを有する。特
に、該構造は、内側鞘が本発明にしたがって選択されたＨＤポリエチレンからな
り、外側の鞘がガラス繊維強化ポリエステル樹脂からなる、互いに接合された２
つの鞘で構成されている。製造したコンテナの表面を、例えばペインティング、
バッキング又は適当なバリヤーポリマーによる分散コーティング、あるいは薄い
金属フォイルでの被覆などの当業者にとっては公知の方法によって、改質する可
能性がさらにある。この目的用に適するバリヤーポリマーは、ポリアマイド、ポ
リエステル、二フッ化ポリビニリデン又はアクリロニトリルをベースとするポリ
マーである。ガス、蒸気及び液体に対する透過性は、この方法で減少させること
ができる。
以下の表に示す値は本発明を詳細に説明するものであるが、本発明を前記検討
したLupolenポリエチレン材料に限定しようとするものではない。
［表１］
高純度化学品存在下でのポリエチレン材料からのカチオン性不純物の放出
［表２］
高純度化学品存在下での他のポリエチレン材料からのカチオン性不純物の放出
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Materials for the manufacture of transport containers The invention relates to lined transport and storage containers for the production of large-capacity transport and storage containers and for transport and storage of chemicals, especially high-purity liquid chemicals for the electronics industry. The use of polyethylene materials in the manufacture of The invention further relates to the use of these materials in the manufacture of the equipment required to discharge or fill the chemical from or into the shipping container. In many cases, the production of electronic components requires liquid chemicals subject to the most stringent purity standards. This is especially true for the production of large-scale integrated microchips. On the one hand, the purity of these chemicals is such that it is not enough to produce them to the required purity, so that no impurities enter the product during transport or during storage and handling It is also necessary to do so. On the other hand, the safety of storage and transport must be ensured, since the corrosive nature of some of these chemicals makes them difficult to handle and store. Often these chemicals also have toxicologically hazardous or dangerous chemical properties. Accidental spills or leaks caused by the corrosive nature of these chemicals, for example due to damage to shipping containers, must be eliminated with a high degree of certainty. Due to the above requirements for the chemicals to be transported, the choice of materials for such transport containers must be determined first and foremost by the elimination of impurities. Usually this requirement is satisfied by containers made of fluorinated or perfluorinated substances or containers lined with such materials. Depending on the requirements, these transport and storage containers are manufactured as pressureless or pressured containers. Unpressurized containers shall not be exposed to any externally applied internal pressure. Similarly, liquid chemicals must be discharged from such containers without pressure, ie with the aid of a pump. Since these pumps necessarily have moving parts, the possibility of impurity generation due to wear occurring in the pump area cannot be completely ruled out. However, it is known to discharge chemicals by introducing a pressurized inert gas through a dip tube so that no pump is required, especially when a pressure-resistant container is used, so that abrasion does not occur. German Patent 36 36 886 discloses a high-purity liquid chemical shipping container having a double-sheathed inner container, the innermost lining of which is made of fluorinated plastic. This shipping container in a multi-sheath design can therefore be pressurized. The disadvantage, however, is that, on the one hand, the only materials suitable for the production of such interior linings are special fluorinated plastics, which have to be produced in a laborious and therefore costly way; However, due to the high purity requirements of the transported chemicals, only a small amount of processing aids can be added to the plastic and the need to minimize contamination by tools and environmental factors. It is very difficult to process plastics. With regard to the choice of materials for the production of large-volume shipping containers, this polymer material is not only resistant to leaching and embrittlement that can be caused by the chemicals to be transported, but also has sufficient rigidity with some elasticity. As a result, containers made of this material should be insensitive to pressure and impact and stable and not prone to deformation or cracking. In addition, the properties of these materials must be durable so that both the purity of the transported chemicals and the properties of the container are preserved during long-term storage. Accordingly, one object of the present invention is to produce economically, obtain high purity through synthesis, contain only very low concentrations of polymerization catalyst, preferably without the addition of processing aids, or harmful to use. Materials suitable for the manufacture of high-purity liquid chemical transport containers and ancillary equipment that can be easily processed by adding only processing aids that have no effect or are not leached from the material by the transporting chemicals. It is to provide. Another object of the present invention is to provide a suitable polymer capable of producing both large-capacity storage and transport containers for high-purity liquid chemicals, as well as pressurizable linings for such containers. Is to provide the substance. The present invention provides, according to the invention, for the production of high-capacity liquid chemical storage and transport containers and their accessories for the electronics industry; and for the production of linings for such containers and accessories which can be pressurized, HD. Achieved by using polyethylene (HD = high density). This object is achieved, in particular specific gravity 0.940-0.97 0g / cm 3, is achieved in particular by using HD polyethylene 0.942-0.961g / cm 3. According to the current view, the only material suitable for containers used to transport high-purity acids or bases is fluorinated hydrocarbon-based plastics. Examples of such materials include polytetrafluoroethylene (PTFE), perfluoroalkoxy polymer (PFA), polyvinylidene fluoride (PVDF) or poly (ethylene / chlorotrifluoroethylene) (ECTFE). It is described in the general use of the well-known trademark "Teflon". It is obvious to those skilled in the art that plastics referred to as Teflon are not affected by corrosive chemicals such as strong acids or strong bases, and also by temperature. These plastics are expensive and uneconomical materials. Surprisingly, however, experiments have shown that non-fluorinated plastics can also be used in the manufacture of high-quality shipping containers for high-purity liquid chemicals for the electronics industry and their accessories; such as dip tubes, pump parts and hoses. Was. The selected HD polyethylene (high density polyethylene), that is, the specific gravity is 0.940-0. Polyethylene in the range of 970 g / cm < 3 >, especially 0.942-0.961 g / cm < 3 > has been found to be a particularly suitable material for the desired application. Furthermore, these polyethylene grades are clearly distinguished by analysis, in particular with a particularly low content of catalyst residues. Therefore, compared to other materials, these materials release very little ionic impurities when contacted with basic and acidic high purity chemicals. Also, when in contact with the chemical, relatively few particles are formed due to the interaction between the chemical and the material. This is particularly important with regard to the use of this material in the manufacture of equipment for filling containers and discharging chemicals. Surprisingly, these materials are suitable for both the manufacture of dip tubes as well as the pumps required to discharge high purity chemicals from pressureless shipping containers and transport them to a processing site. This is particularly alarming because another comparable polyethylene material, which has been used successfully for many years for transporting hazardous goods, is not suitable for transporting and storing high-purity liquid chemicals. there were. Upon testing, these plastics were found to release very large amounts of particles and unacceptable ionic impurities. The polyethylene material sold under the trade name Lupolen by BASF has been found to be a particularly suitable material for this purpose. In storage tests, the grades available under the trade names Lupolen 6021 D, Lupolen 5021 D, Lupolen 4261 AQ 149 and Lupolen 4261 AQ 135 proved to be particularly suitable from this group of polyethylene specifications. These materials are particularly suitable for use according to the invention, since they are extrudable but can also be welded without loss of quality. This offers the possibility of producing containers of almost any size by welding suitable slabs of this material. A woven fabric of fibers, fixed in the material on one of these slabs, makes it possible to make a relatively thin-walled inner container in advance. The use of glass fiber reinforced polyester bile makes it possible to produce containers that are stable in their own right and, if properly designed, comply with regulations governing pressure containers. These containers therefore have a structurally double sheath design. In particular, the structure consists of two sheaths joined together, the inner sheath consisting of HD polyethylene selected according to the invention and the outer sheath consisting of glass fiber reinforced polyester resin. The surface of the manufactured container may further be modified by methods known to those skilled in the art, such as, for example, painting, backing or dispersion coating with a suitable barrier polymer, or coating with a thin metal foil. Suitable barrier polymers for this purpose are polymers based on polyamides, polyesters, polyvinylidene difluoride or acrylonitrile. Permeability to gases, vapors and liquids can be reduced in this way. The values shown in the following table illustrate the invention in detail, but are not intended to limit the invention to the Lupolen polyethylene materials discussed above. [Table 1] Release of cationic impurities from polyethylene materials in the presence of high purity chemicals TABLE 2 Release of cationic impurities from other polyethylene materials in the presence of high purity chemicals
【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項
【提出日】平成１０年７月３日（１９９８．７．３）
【補正内容】
請求の範囲
１． 電子工業用の高純度液体化学品のための貯蔵および輸送用固体コンテナ
−製造への、比重０．９４０−０．９７０ｇ／ｃｍ3、高純度塩基および高純度
酸と接触させて、Ａｌ＝６０ｎｇ／ｇ、Ｃａ＝６０ｎｇ／ｇ、Ｆｅ＝６３ｎｇ／
ｇ、Ｍｇ＝１６ｎｇ／ｇ、Ｔｉ＝４．０ｎｇ／ｇ、Ｚｎ＝６ｎｇ／ｇ、Ｍｎ＝０
．３ｎｇ／ｇ、Ｃｕ＝１．５ｎｇ／ｇを放出するＨＤポリエチレン（ＨＤ：高密
度）の使用。
２． ＨＤ ポリエチレンが重合触媒を含まないことを特徴とする請求項１記
載の使用。
３． 電子工業用の高純度液体化学品のための貯蔵および輸送の固体コンテナ
−製造への、加工助剤を含まず、比重０．９４０−０．９７０ｇ／ｃｍ3、高純
度液体化学品と接触させて、不純物として少量の粒子を放出するＨＤポリエチレ
ンの使用。
４． ０．９４２−０．９６１ｇ／ｃｍ3である請求項１−３記載のポリエチ
レンの使用。
５． 電子工業用の高純度液体化学品のための貯蔵および輸送用固体コンテナ
ーのライニング製造への請求項１−４記載のＨＤポリエチレンの使用。
６． 電子工業用の高純度液体化学品の貯蔵及び輸送ためコンテナーの装置、
；特に侵漬管及び液体搬送ポンプ；のための請求項１−４記載のＨＤポリエチレ
ンの使用。
７． 前記貯蔵・輸送コンテナーのライニングが、内層がＨＤポリエチレン製
であり、かつガラス繊維で強化した外層によって囲まれている、二重層のコンテ
ナーであって、該ＨＤポリエチレンが、特に重合触媒の含有量が低く、密度が０
．９４０−０．９７０ｇ／ｃｍ3、特に０．９４２−０．９６１ｇ／ｃm3であり
、高純度塩基および高純度酸の化学品と接触させて、特に少量のイオン不純物お
よび粒子を放出することを特徴とする請求項５記載のＨＤポリエチレンの使用。
８． 請求項１−７においてＨＤポリエチレンがＬｕｐｏｌｅｎ６０２１Ｄ、
Ｌｕｐｏｌｅｎ５０２１Ｄ、Ｌｕｐｏｌｅｎ４２６１ＡＱ１４９及びＬｕｐｏｌ
ｅｎ４２６１ＡＱ１３５からなる群から選ばれることを特徴とするＨＤポリエチ
レンの使用。
９． 請求項１−７においてＨＤポリエチレンがＬｕｐｏｌｅｎ４２６１ＡＱ
１４９であることを特徴とするＨＤポリエチレンの使用。
１０． 比重０．９４０−０．９７０ｇ／ｃｍ3、特に０．９４２−０．９６
１／ｃｍ3であり、高純度塩基および高純度酸である化学品と接触させて、Ａｌ
＝６０ｎｇ／ｇ、Ｃａ＝６０ｎｇ／ｇ、Ｆｅ＝６３ｎｇ／ｇ、Ｍｇ＝１６ｎｇ／
ｇ、Ｔｉ＝４．０ｎｇ／ｇ、Ｚｎ＝６ｎｇ／ｇ、Ｍｎ＝０．３ｎｇ／ｇ、Ｃｕ＝
１．５ｎｇ／ｇのイオン不純物を放出し、同時に特に少量の粒子を放出するＨＤ
ポリエチレンから作られた電子工業用の高純度液体化学品のための貯蔵および輸
送用コンテナー。
１１． 比重０．９４０−０．９７０ｇ／ｃｍ3、特に０．９４２−０．９６
１／ｃｍ3であり、高純度塩基および高純度酸である化学品と接触させて、Ａｌ
＝６０ｎｇ／ｇ、Ｃａ＝６０ｎｇ／ｇ、Ｆｅ＝６３ｎｇ／ｇ、Ｍｇ＝１６ｎｇ／
ｇ、Ｔｉ＝４．０ｎｇ／ｇ、Ｚｎ＝６ｎｇ／ｇ、Ｍｎ＝０．３ｎｇ／ｇ、Ｃｕ＝
１．５ｎｇ／ｇを放出し、同時に特に少量の粒子を放出するＨＤポリエチレンか
ら作られた電子工業用の高純度液体化学品のための貯蔵および輸送用コンテナー
用ライニング。
１２． 比重０．９４０−０．９７０ｇ／ｃｍ3、特に０．９４２−０．９６
１／ｃｍ3であり、高純度塩基および高純度酸と接触させて、Ａｌ＝６０ｎｇ／
ｇ、Ｃａ＝６０ｎｇ／ｇ、Ｆｅ＝６３ｎｇ／ｇ、Ｍｇ＝１６ｎｇ／ｇ、Ｔｉ＝４
．０ｎｇ／ｇ、Ｚｎ＝６ｎｇ／ｇ、Ｍｎ＝０．３ｎｇ／ｇ、Ｃｕ＝１．５ｎｇ／
ｇを放出し、同時に特に少量の粒子を放出するＨＤポリエチレンから作られた電
子工業用の高純度液体化学品のための貯蔵および輸送用コンテナー用侵漬用チユ
ーブ。
１３． 比重０．９４０−０．９７０ｇ／ｃｍ3、特に０．９４２−０．９６
１／ｃｍ3であり、高純度塩基および高純度酸と接触させて、Ａｌ＝６０ｎｇ／
ｇ、Ｃａ＝６０ｎｇ／ｇ、Ｆｅ＝６３ｎｇ／ｇ、Ｍｇ＝１６ｎｇ／ｇ、Ｔｉ＝４
．０ｎｇ／ｇ、Ｚｎ＝６ｎｇ／ｇ、Ｍｎ＝０．３ｎｇ／ｇ，Ｃｕ＝１．５ｎｇ／
ｇを放出し、同時に特に少量の粒子を放出するＨＤポリエチレンから作られた電
子工業用の高純度液体化学品のための液体輸送用ポンプ。[Procedure for Amendment] Article 184-8, Paragraph 1 of the Patent Act [Date of Submission] July 3, 1998 (1998.7.3) [Contents of Amendment] Claims 1. Storage and transport solid container for high purity liquid chemicals for the electronics industry - to manufacture, density 0.940-0.970g / cm 3, is contacted with high purity base and high purity acid, Al = 60 ng / G, Ca = 60 ng / g, Fe = 63 ng / g, Mg = 16 ng / g, Ti = 4.0 ng / g, Zn = 6 ng / g, Mn = 0. Use of HD polyethylene (HD: high density) releasing 3 ng / g, Cu = 1.5 ng / g. 2. Use according to claim 1, characterized in that the HD polyethylene does not contain a polymerization catalyst. 3. Contact with high purity liquid chemicals, specific gravity 0.940-0.970 g / cm 3 , without processing aids, for storage and shipping solid containers for high purity liquid chemicals for the electronics industry Use of HD polyethylene, which releases small amounts of particles as impurities. 4. Use of the polyethylene according to claim 1-3 which is 0.942-0.961 g / cm < 3 >. 5. Use of the HD polyethylene according to claims 1-4 in the manufacture of lining of storage and transport solid containers for high purity liquid chemicals for the electronics industry. 6. Use of the HD polyethylene according to claims 1-4 for the installation of containers for storage and transport of high-purity liquid chemicals for the electronics industry; especially for immersion tubes and liquid transport pumps. 7. A lining of the storage and transport container, wherein the inner layer is made of HD polyethylene and is surrounded by an outer layer reinforced with glass fiber, the container being a double layer, wherein the HD polyethylene has a particularly low polymerization catalyst content; Low, with a density of 0. 940-0.970 g / cm < 3 >, especially 0.942-0.961 g / cm < 3 >, for contacting with high purity base and high acid chemicals to release particularly small amounts of ionic impurities and particles. Use of the HD polyethylene according to claim 5, characterized in that: 8. The use of HD polyethylene according to claim 1-7, wherein the HD polyethylene is selected from the group consisting of Lupolen 6021D, Lupolen 5021D, Lupolen 4261AQ149 and Lupolen 4261AQ135. 9. The use of HD polyethylene according to claim 1-7, wherein the HD polyethylene is Lupolen4261AQ149. 10. The specific gravity is 0.940-0.970 g / cm 3 , especially 0.942-0.96 1 / cm 3 , and is brought into contact with a chemical product which is a high-purity base and a high-purity acid. = 60 ng / g, Fe = 63 ng / g, Mg = 16 ng / g, Ti = 4.0 ng / g, Zn = 6 ng / g, Mn = 0.3 ng / g, Cu = 1.5 ng / g. A storage and shipping container for high-purity liquid chemicals for the electronics industry, made from HD polyethylene that emits and at the same time emits particularly small amounts of particles. 11. The specific gravity is 0.940-0.970 g / cm 3 , especially 0.942-0.96 1 / cm 3 , and is brought into contact with a chemical product which is a high-purity base and a high-purity acid. = 60 ng / g, Fe = 63 ng / g, Mg = 16 ng / g, Ti = 4.0 ng / g, Zn = 6 ng / g, Mn = 0.3 ng / g, Cu = 1.5 ng / g, A lining for storage and shipping containers for high-purity liquid chemicals for the electronics industry made from HD polyethylene, which at the same time emits particularly small amounts of particles. 12. Specific gravity 0.940-0.970 g / cm 3 , especially 0.942-0.96 1 / cm 3 , contacting with a high-purity base and a high-purity acid, Al = 60 ng / g, Ca = 60 ng / g , Fe = 63 ng / g, Mg = 16 ng / g, Ti = 4. A high-purity liquid for the electronics industry made from HD polyethylene that emits 0 ng / g, Zn = 6 ng / g, Mn = 0.3 ng / g, Cu = 1.5 ng / g, and at the same time emits particularly small amounts of particles. Immersion tubes for storage and shipping containers for chemicals. 13. Specific gravity 0.940-0.970 g / cm 3 , especially 0.942-0.96 1 / cm 3 , contacting with a high-purity base and a high-purity acid, Al = 60 ng / g, Ca = 60 ng / g , Fe = 63 ng / g, Mg = 16 ng / g, Ti = 4. A high-purity liquid for the electronics industry made from HD polyethylene which emits 0 ng / g, Zn = 6 ng / g, Mn = 0.3 ng / g, Cu = 1.5 ng / g and at the same time emits particularly small amounts of particles. Liquid transport pump for chemicals.
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ，
ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ
Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ
，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，
ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，Ｓ
Ｄ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ
，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ
，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，
ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，Ｇ
Ｂ，ＧＥ，ＧＨ，ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ
，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，
ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，Ｎ
Ｚ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ
，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，
ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ
(72)発明者 ブラウン、ユルゲン
ドイツ連邦共和国 デー―64839 アルタ
イム シュレシエルシュトラーセ 38────────────────────────────────────────────────── ───
Continuation of front page
(81) Designated countries EP (AT, BE, CH, DE,
DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, L
U, MC, NL, PT, SE), OA (BF, BJ, CF)
, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE,
SN, TD, TG), AP (GH, KE, LS, MW, S
D, SZ, UG, ZW), EA (AM, AZ, BY, KG)
, KZ, MD, RU, TJ, TM), AL, AM, AT
, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA,
CH, CN, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, G
B, GE, GH, HU, IL, IS, JP, KE, KG
, KP, KR, KZ, LK, LR, LS, LT, LU,
LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, N
Z, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI
, SK, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US,
UZ, VN, YU
(72) Inventor Brown, Jürgen
Germany Day-64839 Alta
Im Schlesierstrasse 38