JP2000356604A - X-ray transmission examining device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make observable the transmitted ray of subjects of different sizes with the maximum resolution by changing the reduction rate of a transmitted ray image in a state of the positional relationship of an X-ray sensitive image surface and a pickup element fixed. SOLUTION: A zoom lens 5 is a lens system capable of variably setting only a focal length without changing the position of an image surface, and the transmitted ray images 41, 42 formed on an X-ray sensitive image surface 4 are focused on the pickup element 6 of a TV camera 71 with an arbitrary reduction rate. In the examination of a subject 31 of a size corresponding to the whole visual field W, the zoom lens 5 is variably operated, and the transmitted X-ray 41 of the subject 31 is approximately equalized to a pickup area of the pickup element 6. The pickup element 6 picks up the transmitted X-ray 41 with high resolution, and displays a picked-up image plane onto a monitor 72. Further, in the examination of a subject 32 occupying only a part (w) of the visual field W, the transmitted X-ray 42 of the subject 32 is focused with a size approximately same as the whole pickup area of the pickup element 6 by the variable operation of the zoom lens 5 to pick up the image with high resolution.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線透過検査装
置、さらには蛍光板などのＸ線感像面に作像されたＸ線
透過光像をＣＣＤなどの撮像素子上に結像させて撮像す
る方式のものに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray transmission inspection apparatus, and furthermore, an X-ray transmitted light image formed on an X-ray sensitive surface such as a fluorescent screen is imaged on an image pickup device such as a CCD. It relates to the method of doing.

【０００２】[0002]

【従来の技術】Ｘ線透過検査装置では、被検査物体のＸ
線透過像をできるだけ高分解能で観察するために、焦点
面積が非常に小さい微小焦点Ｘ線源（マイクロフォーカ
スＸ線源）を用いることがある。蛍光板などのＸ線感像
面に投影されるＸ線透過像の解像度はＸ線源の焦点面積
に依存し、その焦点面積が小さいほど、透過像のぼけを
小さくして解像度を高めることができる。2. Description of the Related Art In an X-ray transmission inspection device, the X-ray
In order to observe a line transmission image with as high a resolution as possible, a microfocus X-ray source (microfocus X-ray source) having a very small focal area may be used. The resolution of an X-ray transmission image projected on an X-ray image plane such as a fluorescent screen depends on the focal area of the X-ray source. The smaller the focal area, the smaller the blur of the transmitted image and the higher the resolution. .

【０００３】しかし、微小焦点Ｘ線源は、焦点面積を極
度に小さくする必要から、十分な線強度を得ることが難
しい。このため、蛍光板などのＸ線感像面にて作像され
る透過光像は非常に弱く、そのままではＣＣＤ（電荷結
合素子）などで撮像することができない。 この微弱な
透過光像をＣＣＤなどで撮像できるようにするために
は、Ｘ線透過像を蛍光板などの受動的なＸ線感象面に投
影しただけでは不十分であって、Ｘ線透過像の投影によ
り作像される透過光像を能動的に光増強させるイメージ
インテンシファイアが必要になる。このように、Ｘ線検
査の解像度を高めるためには、微小焦点Ｘ線とイメージ
インテンシファイアの両者を組み合わて使わなければな
らない。[0003] However, it is difficult for a microfocus X-ray source to obtain a sufficient line intensity because the focal area must be extremely small. For this reason, the transmitted light image formed on the X-ray image sensing surface such as a fluorescent screen is very weak, and cannot be imaged as it is with a CCD (charge coupled device) or the like. In order to be able to capture this weak transmitted light image with a CCD or the like, it is not sufficient to simply project the X-ray transmission image on a passive X-ray sensing surface such as a fluorescent screen. An image intensifier that actively enhances the transmitted light image formed by the projection of light is required. As described above, in order to increase the resolution of the X-ray inspection, it is necessary to use both the microfocus X-ray and the image intensifier in combination.

【０００４】ところが、微小焦点Ｘ線とイメージインテ
ンシファイアはどちらも非常に高価であって、両者を使
った場合は、装置コストが著しく高くなってしまうとい
う問題が生じる。そこで、その高価な微小焦点Ｘ線源と
イメージインテンシファイアを使わず、比較的低コスト
で高い解像度を得るために、図２に示すような、縮小光
学系を使ったＸ線検査装置が提供されている。However, the microfocal X-ray and the image intensifier are both very expensive, and when both are used, there is a problem that the cost of the apparatus becomes extremely high. Therefore, in order to obtain high resolution at a relatively low cost without using the expensive microfocus X-ray source and image intensifier, an X-ray inspection apparatus using a reduction optical system as shown in FIG. 2 is provided. Have been.

【０００５】図２は従来のＸ線透過検査装置の概略構成
を示す。この装置は、同図の（Ａ）に示すように、比較
的大きな焦点面積を有するＸ線源１、蛍光板などの受動
的なＸ線感象面４、縮小光学系５、撮像素子（ＣＣＤ）
６、画像モニター７２などを用いて構成される。同図
（Ａ）において、被検査物体３１，３２を透過したＸ線
１１はＸ線感像面４に投影される。これにより、Ｘ線感
像面４に可視のＸ線透過光像４１，４２が作像される。
この透過光像４１，４２は光学系５により縮小されて結
像される。この結像はテレビカメラ７１の撮像素子６で
撮像されてモニター用画像信号に変換され、画像モニタ
ー７２に映し出される。FIG. 2 shows a schematic configuration of a conventional X-ray transmission inspection apparatus. As shown in FIG. 1A, the apparatus comprises an X-ray source 1 having a relatively large focal area, a passive X-ray sensitive surface 4, such as a fluorescent screen, a reduction optical system 5, an image pickup device (CCD).
6, configured using the image monitor 72 and the like. In FIG. 1A, the X-rays 11 transmitted through the inspected objects 31 and 32 are projected onto the X-ray image plane 4. Thereby, visible X-ray transmitted light images 41 and 42 are formed on the X-ray imaging surface 4.
The transmitted light images 41 and 42 are reduced and formed by the optical system 5. This image is captured by the image sensor 6 of the television camera 71, converted into a monitor image signal, and displayed on the image monitor 72.

【０００６】この検査装置では、Ｘ線源１の焦点面積に
よる透過像のぼけを最小にするために、被検査物体３
１，３２をＸ線感像面４に密着させるとともに、Ｘ線感
像面４と撮像素子６の画像分解能を最大限に引き出すた
めに、Ｘ線感像面４にて作像される透過光像４１，４２
を光学系５で縮小して撮像素子６上に結像させるように
している。 同図の（Ｂ）は撮像素子６上に縮小結像さ
れた透過光像４１，４２の平面パターン（輪郭）を示
す。In this inspection apparatus, in order to minimize the blur of the transmitted image due to the focal area of the X-ray source 1, the inspection object 3
Transmitted light formed on the X-ray imaging surface 4 in order to bring the X-ray imaging surfaces 4 into close contact with the X-ray imaging surface 4 and maximize the image resolution of the X-ray imaging surface 4 and the image sensor 6. Images 41,42
Is reduced by the optical system 5 to form an image on the image sensor 6. FIG. 2B shows a planar pattern (contour) of the transmitted light images 41 and 42 reduced and formed on the image sensor 6.

【０００７】撮像素子６上には、多数（Ｍ×Ｎ個）の画
素受光部６１がマトリックス上に配置されていて、上記
透過光像４１，４２を画素（ピクセル）単位に分解して
撮像する。光学系５の縮小倍率（縮尺率）は、視野Ｗと
同サイズの被検査物体３１の透過光像４１が撮像素子６
の撮像面積と同サイズで結像されるように、あらかじめ
固定設定されている。これにより、視野Ｗ全体を高分解
能で観察することができる。On the image sensor 6, a large number (M × N) of pixel light receiving sections 61 are arranged in a matrix, and the transmitted light images 41 and 42 are decomposed into pixels and imaged. . The reduction magnification (scale) of the optical system 5 is such that the transmitted light image 41 of the inspected object 31 having the same size as the field of view W
Are fixedly set in advance so that an image is formed with the same size as the imaging area of the image. Thus, the entire field of view W can be observed with high resolution.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た技術には、次のような問題のあることが本発明者らに
よってあきらかとされた。すなわち、図２に示した従来
のＸ線透過検査装置では、同図の（Ｂ）に示すように、
視野Ｗ全体に広がる大サイズの被検査物体３１を検査す
る場合は、撮像素子６の受光部（Ｍ×Ｎ個）を全部使っ
て高分解能を得ることができるが、視野Ｗの一部ｗしか
占めない小サイズの被検査物体３２を検査する場合は、
撮像素子６の受光部（Ｍ×Ｎ個）の一部（ｍ×ｎ個）し
か使われないため、十分な分解能を得ることができない
という問題が生じる。たとえば、６４ｍｍ×４８ｍｍの
視野Ｗを６４０×４８０画素の撮像素子６で撮像して観
察させるように設定した場合、６４ｍｍ×４８ｍｍサイ
ズの被検査物体３１の透過光像４１は６４０×４８０画
素の高分解能で観察することができるが、１２ｍｍ×１
２ｍｍサイズの被検査物体３２の透過光像４２は１２０
×１２０画素の低分解能でしか観察することができな
い。However, it has been clarified by the present inventors that the above-described technology has the following problems. That is, in the conventional X-ray transmission inspection apparatus shown in FIG. 2, as shown in FIG.
When inspecting a large-sized inspected object 31 that spreads over the entire field of view W, high resolution can be obtained by using all of the light receiving units (M × N) of the image sensor 6, but only a part w of the field of view W is obtained. When inspecting a small-sized inspection object 32 that does not occupy,
Since only a part (m × n) of the light receiving sections (M × N) of the image sensor 6 is used, there is a problem that a sufficient resolution cannot be obtained. For example, when a field of view W of 64 mm × 48 mm is set to be imaged and observed by the imaging element 6 of 640 × 480 pixels, the transmitted light image 41 of the inspection object 31 having a size of 64 mm × 48 mm has a height of 640 × 480 pixels. It can be observed at a resolution of 12 mm x 1
The transmitted light image 42 of the inspection object 32 having a size of 2 mm is 120
It can be observed only with a low resolution of × 120 pixels.

【０００９】本発明の目的は、比較的低コストな構成で
もって、サイズの異なる被検査物体のＸ線透過光像を、
撮像素子の最大分解能で観察できるようにしたＸ線透過
検査装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide an X-ray transmitted light image of an object to be inspected having a different size with a relatively low-cost configuration.
It is an object of the present invention to provide an X-ray transmission inspection apparatus that enables observation at the maximum resolution of an image sensor.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する手段
として、本発明は次の手段を提供する。すなわち、第１
の手段は、被検査物体を透過したＸ線を蛍光板などのＸ
線感像面に投影してＸ線透過光像を作像させるととも
に、この透過光像を撮像素子上に結像させて撮像するＸ
線透過検査装置であって、上記Ｘ線感像面と上記撮像素
子の位置関係を固定したままで上記透過光像の縮小倍率
を変化させる光学手段を備える、というものである。第
２の手段は、第１の手段において、Ｘ線透過光像を撮像
素子上に結像させる光学手段としてズームレンズを備え
る、というものである。第３の手段は、第１または第２
の手段において、Ｘ線透過光像を縮小倍率の異なる複数
の光学系でそれぞれに撮像素子上に結像させる、という
ものである。The present invention provides the following means as means for solving the above-mentioned problems. That is, the first
Means converts X-rays transmitted through the object to be inspected to X-rays such as a fluorescent screen.
X-rays are projected on a line image plane to form an X-ray transmitted light image, and the transmitted light image is formed on an image sensor to be imaged.
A line transmission inspection apparatus comprising an optical unit that changes a reduction magnification of the transmitted light image while keeping a positional relationship between the X-ray image plane and the imaging element fixed. A second means is that, in the first means, a zoom lens is provided as an optical means for forming an X-ray transmitted light image on the image sensor. The third means is the first or second
In this means, an X-ray transmitted light image is formed on an image sensor by a plurality of optical systems having different reduction magnifications.

【００１１】これにより、比較的低コストな構成でもっ
て、サイズの異なる被検査物体のＸ線透過光像を、撮像
素子の最大分解能で観察できるようにしたＸ線透過検査
装置を提供する、という目的が達成される。This provides an X-ray transmission inspection apparatus which can observe X-ray transmission light images of inspected objects having different sizes at the maximum resolution of the image pickup device with a relatively low-cost configuration. Objective is achieved.

【００１２】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態を
図面を参照しながら説明する。なお、図において、同一
符号は同一あるいは相当部分を示すものとする。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.

【００１３】図１は本発明によるＸ線透過検査装置の第
１の実施形態を示す。まず、同図の（Ａ）に示すよう
に、第１の実施形態のＸ線透過検査装置は、Ｘ線源１、
Ｘ線感像面４、ズームレンズ５、ＣＣＤなどの撮像素子
６を用いたテレビカメラ７１、画像モニター７２などに
より構成される。FIG. 1 shows a first embodiment of an X-ray transmission inspection apparatus according to the present invention. First, as shown in FIG. 1A, the X-ray transmission inspection apparatus of the first embodiment includes an X-ray source 1,
It comprises an X-ray imaging surface 4, a zoom lens 5, a television camera 71 using an imaging device 6 such as a CCD, an image monitor 72, and the like.

【００１４】ここで、Ｘ線源１は低コストだが比較的大
きな焦点面積を有するミニフォーカス線源などが使用さ
れている。Ｘ線感像面４は蛍光板などを用いて構成さ
れ、Ｘ線源１から放射されて被検査物体３１，３２を透
過したＸ線１１が投影されることにより、その被検査物
体３１，３２のＸ線透過像を可視化したＸ線透過光像４
１，４２を作像する。Here, the X-ray source 1 is a low-cost mini-focus source having a relatively large focal area. The X-ray image plane 4 is formed using a fluorescent screen or the like, and the X-rays 11 radiated from the X-ray source 1 and transmitted through the inspected objects 31 and 32 are projected, so that the inspected objects 31 and 32 are projected. X-ray transmitted light image 4 visualizing the X-ray transmitted image
1, 42 are imaged.

【００１５】ズームレンズ５は、像面位置を変化させず
に焦点距離だけを可変設定できるように組まれたレンズ
システムを内蔵し、Ｘ線感像面４にて作像された透過光
像４１，４２をテレビカメラ７１の撮像素子６上に任意
の縮小倍率で結像する。撮像素子６はＣＣＤなどであっ
て、その撮像面（受光面）に結像された透過光像４１，
４２を画像信号に変換して画像モニター７２に表示させ
る。上記Ｘ線感像面４と上記撮像素子６は共に定位置に
固定されている。また、ズームレンズ５の取付位置も固
定されていて、光学的な焦点距離だけが像面位置を変え
ずに可変設定されるようになっている。The zoom lens 5 has a built-in lens system which can variably set only the focal length without changing the image plane position, and transmits a transmitted light image 41 formed on the X-ray imaging plane 4. , 42 are formed on the image sensor 6 of the television camera 71 at an arbitrary reduction magnification. The imaging element 6 is a CCD or the like, and the transmitted light image 41 formed on the imaging surface (light receiving surface) thereof,
42 is converted into an image signal and displayed on the image monitor 72. The X-ray image plane 4 and the image sensor 6 are both fixed at fixed positions. Also, the mounting position of the zoom lens 5 is fixed, and only the optical focal length is variably set without changing the image plane position.

【００１６】上述した装置では、サイズの異なる被検査
物体３１，３２のＸ線透過検査を次のようにして行うこ
とができる。 まず、視野Ｗ全体に広がるサイズの被検
査物体３１を検査する場合は、同図の（Ｂ）に示すよう
に、その被検査物体３１のＸ線透過光像４１が撮像素子
６の撮像面積とほぼ同サイズで結像されるように、ズー
ムレンズ５の焦点距離（縮小倍率）を可変操作する。In the above-described apparatus, the X-ray transmission inspection of the inspected objects 31 and 32 having different sizes can be performed as follows. First, when inspecting the inspected object 31 having a size that spreads over the entire field of view W, as shown in (B) of the figure, the X-ray transmitted light image 41 of the inspected object 31 corresponds to the imaging area of the image sensor 6. The focal length (reduction magnification) of the zoom lens 5 is variably operated so that an image is formed at substantially the same size.

【００１７】これにより、その被検査物体３１のＸ線透
過光像４１は、撮像素子６のほぼ全ての受光部（Ｍ×Ｎ
個）を使って高分解能に撮像され、この撮像画面がモニ
ター７２に表示される。また、上記視野Ｗの一部ｗしか
占めない小サイズの被検査物体３２を検査する場合も、
同図の（Ｂ）に示すように、その被検査物体３１のＸ線
透過光像４２が撮像素子６の撮像面積とほぼ同サイズで
結像されるように、ズームレンズ５の焦点距離（縮小倍
率）を可変操作する。これにより、その被検査物体３１
の透過光像４１も、撮像素子６のほぼ全ての受光部（Ｍ
×Ｎ個）を使って高分解能に撮像され、この撮像画面が
モニター７２に表示される。As a result, the X-ray transmitted light image 41 of the inspected object 31 can be read by almost all light receiving sections (M × N
), And the image is displayed on the monitor 72. Also, when inspecting a small-sized inspected object 32 occupying only a part w of the visual field W,
As shown in FIG. 4B, the focal length (reduction) of the zoom lens 5 is adjusted so that the X-ray transmitted light image 42 of the inspection object 31 is formed with substantially the same size as the imaging area of the imaging device 6. Variable). Thereby, the inspected object 31
Transmitted light image 41 of almost all the light receiving portions (M
× N), and the image is displayed on the monitor 72 at a high resolution.

【００１８】このように、ズームレンズ５の焦点距離
（縮小倍率）を可変調節することにより、撮像素子６上
に結像されるＸ線透過光像４１，４２のサイズを、被検
査物体３１，３２のサイズにかかわらず、その撮像素子
６の撮像面積とほぼ同サイズに合わせ込むことができ
る。これにより、被検査物体３１，３２のサイズにかか
わらず、常に、撮像素子６の画素分解能を最大限に活か
した高解像度のＸ線透過画像をモニター観察することが
できる。As described above, by variably adjusting the focal length (reduction magnification) of the zoom lens 5, the sizes of the X-ray transmitted light images 41 and 42 formed on the image pickup device 6 can be changed. Regardless of the size of the image sensor 32, the size of the image sensor 6 can be adjusted to approximately the same size as the imaging area. Thereby, regardless of the sizes of the inspected objects 31 and 32, it is possible to always monitor and observe a high-resolution X-ray transmission image utilizing the pixel resolution of the image sensor 6 to the maximum.

【００１９】たとえば、６４０×４８０画素の撮像素子
６を用いた場合、６４ｍｍ×４８ｍｍサイズの被検査物
体３１のＸ透過光像４１は、その撮像素子６の全画素
（６４０×４８０）を活用することで、１００μｍ×１
００μｍの画素分解能で撮像して観察することができる
が、１２ｍｍ×１２ｍｍサイズの被検査物体３２のＸ透
過光像４２も、その撮像素子６の全画素（６４０×４８
０）を活用することで、２５μｍ×２５μｍの画素分解
能で撮像して観察することができる。For example, when the image pickup device 6 of 640 × 480 pixels is used, the X-transmitted light image 41 of the inspection object 31 of 64 mm × 48 mm uses all the pixels (640 × 480) of the image pickup device 6. By this, 100μm × 1
Although it is possible to image and observe the image with a pixel resolution of 00 μm, the X-transmitted light image 42 of the inspection object 32 having a size of 12 mm × 12 mm can be also observed for all the pixels (640 × 48
By utilizing 0), it is possible to image and observe with a pixel resolution of 25 μm × 25 μm.

【００２０】以上のように、上述した装置では、被検査
物体のサイズが変わっても、常に、撮像素子６の最大分
解能でもって、その被検査物体のＸ線透過光像を観察し
検査することができる。As described above, in the above-described apparatus, even when the size of the object to be inspected changes, the X-ray transmitted light image of the object to be inspected is always observed and inspected with the maximum resolution of the image sensor 6. Can be.

【００２１】図３は本発明によるＸ線透過検査装置の第
２の実施形態を示す。上述した実施形態との相違点に着
目して説明すると、この第２の実施形態では、Ｘ線透過
光像４１，４２を縮小倍率の異なる複数（２つ）の光学
系５Ａ，５Ｂでそれぞれに撮像素子６Ａ，６Ｂ上に結像
させることにより、縮小倍率の異なる複数（２つ）のＸ
線透過光像４１，４２をモニター７２に切替表示させる
ようにしてある。７３はその切り替えのためのビオスイ
ッチを示す。FIG. 3 shows a second embodiment of the X-ray transmission inspection apparatus according to the present invention. In the second embodiment, the X-ray transmitted light images 41 and 42 are respectively separated by a plurality of (two) optical systems 5A and 5B having different reduction magnifications. By forming an image on the imaging devices 6A and 6B, a plurality (two) of X
The line transmitted light images 41 and 42 are switched and displayed on the monitor 72. Reference numeral 73 denotes a bio switch for the switching.

【００２２】この場合、Ｘ線感像面４は共通で、このＸ
線感像面４にて作像される透過光像４１，４２がハーフ
ミラー５３とフルミラー５４とによって２つの光学系５
Ａ，５Ｂに分割される。一方の光学系５Ａは短焦点のレ
ンズシステムで構成され、上記透過光像４１，４２を高
縮小率（低倍率）で撮像素子６Ａ上に結像する。この光
学系５Ａにより、サイズの大きな被検査物体３１のＸ線
透過光像４１を、撮像素子６Ａの撮像面積いっぱいのサ
イズで結像させて、その撮像素子６Ａの画素分解能を最
大限に活かした高解像度のＸ線透過画像を観察すること
ができる。In this case, the X-ray image plane 4 is common,
The transmitted light images 41 and 42 formed on the line image plane 4 are converted into two optical systems 5 by a half mirror 53 and a full mirror 54.
A, 5B. One optical system 5A is constituted by a short-focus lens system, and forms the transmitted light images 41 and 42 on the image sensor 6A at a high reduction ratio (low magnification). With this optical system 5A, an X-ray transmitted light image 41 of the inspection object 31 having a large size is formed in a size that is full of the imaging area of the imaging element 6A, and the pixel resolution of the imaging element 6A is maximized. A high-resolution X-ray transmission image can be observed.

【００２３】他方の光学系５Ｂは長焦点のレンズシステ
ムで構成され、上記透過光像４１，４２を低縮小率（高
倍率）で撮像素子６Ａ上に結像する。この光学系５Ｂに
より、サイズの小さな被検査物体３２のＸ線透過光像４
２も、撮像素子６Ｂの撮像面積いっぱいのサイズで結像
させて、その撮像素子６Ｂの画素分解能を最大限に活か
した高解像度のＸ線透過画像を観察することができる。The other optical system 5B is constituted by a long-focus lens system, and forms the transmitted light images 41 and 42 on the image sensor 6A at a low reduction ratio (high magnification). By this optical system 5B, the X-ray transmitted light image 4 of the inspection object 32 having a small size
2 can also form an image with a size that is full of the imaging area of the imaging element 6B, and observe a high-resolution X-ray transmission image that makes the most of the pixel resolution of the imaging element 6B.

【００２４】この第２の実施形態では、Ｘ線透過光像４
１，４２を縮小倍率の異なる複数（２つ）の光学系５
Ａ，５Ｂでそれぞれに撮像素子６Ａ，６Ｂ上に結像させ
ることにより、ズームレンズを使用する場合よりも、さ
らに低コスト化をはかることができる。In the second embodiment, the X-ray transmitted light image 4
A plurality (two) of optical systems 5 having different reduction magnifications
By forming the images on the image sensors 6A and 6B at A and 5B, respectively, the cost can be further reduced as compared with the case where a zoom lens is used.

【００２５】以上説明したように、本発明の第１の発明
は、被検査物体を透過したＸ線を蛍光板などのＸ線感像
面に投影してＸ線透過光像を作像させるとともに、この
透過光像を撮像素子上に結像させて撮像するＸ線透過検
査装置であって、上記Ｘ線感像面と上記撮像素子の位置
関係を固定したままで上記透過光像の縮小倍率を変化さ
せる光学手段を備えたことを特徴とするものであり、こ
れにより、比較的低コストな構成でもって、サイズの異
なる被検査物体のＸ線透過光像を常に撮像素子の最大分
解能で観察することができる。As described above, according to the first aspect of the present invention, an X-ray transmitted through an object to be inspected is projected on an X-ray imaging surface such as a fluorescent screen to form an X-ray transmitted light image. An X-ray transmission inspection apparatus that forms an image of the transmitted light image on an image sensor by picking up the image, wherein the reduction ratio of the transmitted light image is reduced while the positional relationship between the X-ray image plane and the image sensor is fixed. Characterized in that it has an optical means for changing the X-ray transmitted light images of the objects to be inspected having different sizes at the maximum resolution of the image sensor with a relatively low-cost configuration. be able to.

【００２６】本発明の第２の発明は、第１の発明におい
て、Ｘ線透過光像を撮像素子上に結像させる光学手段と
してズームレンズを備えたことを特徴とするものであ
り、これにより、任意サイズの被検査物体のＸ線透過光
像を常に撮像素子の最大分解能で観察することができ
る。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, a zoom lens is provided as optical means for forming an X-ray transmitted light image on the image pickup device. In addition, an X-ray transmitted light image of an object to be inspected having an arbitrary size can always be observed at the maximum resolution of the image sensor.

【００２７】本発明の第３の発明は、第１または第２の
発明において、Ｘ線透過光像を縮小倍率の異なる複数の
光学系でそれぞれに撮像素子上に結像させることを特徴
とするものであり、これにより、装置の一層の低コスト
化が可能になる。According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, an X-ray transmitted light image is formed on an image sensor by a plurality of optical systems having different reduction magnifications. Therefore, the cost of the apparatus can be further reduced.

【００２８】以上、本発明者によってなされた発明を実
施形態にもとづき具体的に説明したが、本発明は上記実
施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。た
とえば、撮像素子はフォトダイオードアレイのようなＣ
ＣＤ以外の撮像素子であってもよい。また、Ｘ線感像面
は撮像素子が撮像できる光像であれば、可視領域外の光
で光像を作像するものであってよい。As described above, the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiment. However, the invention is not limited to the above embodiment, and can be variously changed without departing from the gist of the invention. Needless to say. For example, the image sensor is a C array such as a photodiode array.
An image sensor other than a CD may be used. The X-ray image plane may be an optical image that can be formed with light outside the visible region as long as it is an optical image that can be imaged by the image sensor.

【００２９】[0029]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、被検査物体を透過したＸ線を蛍光板などのＸ線感像
面に投影してＸ線透過光像を作像させるとともに、この
透過光像を撮像素子上に結像させて撮像するＸ線透過検
査装置であって、上記Ｘ線感像面と上記撮像素子の位置
関係を固定したままで上記透過光像の縮小倍率を変化さ
せる光学手段を備えたことにより、比較的低コストな構
成でもって、サイズの異なる被検査物体のＸ線透過光像
を常に撮像素子の最大分解能で観察することができる、
という効果が得られる。As is apparent from the above description, according to the present invention, an X-ray transmitted through an object to be inspected is projected onto an X-ray imaging surface such as a fluorescent screen to form an X-ray transmitted light image. An X-ray transmission inspection apparatus that forms an image of the transmitted light image on an image sensor by picking up the image, wherein the reduction ratio of the transmitted light image is reduced while the positional relationship between the X-ray image plane and the image sensor is fixed. With the provision of the optical means for changing, with a relatively low-cost configuration, it is possible to always observe the X-ray transmitted light images of the inspected objects having different sizes at the maximum resolution of the image sensor,
The effect is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の技術が適用されたＸ線透過検査装置の
第１の実施形態を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of an X-ray transmission inspection apparatus to which the technology of the present invention is applied.

【図２】従来のＸ線透過検査装置の構成例を示す図であ
る。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of a conventional X-ray transmission inspection apparatus.

【図３】本発明の第２の実施形態を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ Ｘ線源 １１ Ｘ線 ３１ 被検査物体（大サイズ） ３２ 被検査物体（小サイズ） ４ 蛍光板などのＸ線感像面 ４１ 被検査物体３１のＸ線透過光像 ４２ 被検査物体３２のＸ線透過光像 ５ 光学系としてのズームレンズ ５Ａ 光学系（高縮小率） ５Ｂ 光学系（低縮小率） ５３ ハーフミラー ５４ フルミラー ６，６Ａ，６Ｂ 撮像素子 ６１ 画素受光部 ７１ テレビカメラ ７２ 画像モニター ７３ ビデオスイッチ Ｗ 視野 ｗ 視野の一部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray source 11 X-ray 31 Object to be inspected (large size) 32 Object to be inspected (small size) 4 X-ray imaging surface such as a fluorescent plate 41 X-ray transmitted light image of object to be inspected 42 X of object to be inspected 32 Line transmitted light image 5 Zoom lens as optical system 5A Optical system (high reduction ratio) 5B Optical system (low reduction ratio) 53 Half mirror 54 Full mirror 6, 6A, 6B Image sensor 61 Pixel light receiver 71 TV camera 72 Image monitor 73 Video switch W Field of view w Part of the field of view

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 被検査物体を透過したＸ線を蛍光板など
のＸ線感像面に投影してＸ線透過光像を作像させるとと
もに、この透過光像を撮像素子上に結像させて撮像する
Ｘ線透過検査装置であって、上記Ｘ線感像面と上記撮像
素子の位置関係を固定したままで上記透過光像の縮小倍
率を変化させる光学手段を備えたことを特徴とするＸ線
透過検査装置。An X-ray transmitted through an object to be inspected is projected onto an X-ray image plane such as a fluorescent screen to form an X-ray transmitted light image, and the transmitted light image is formed on an image sensor. An X-ray transmission inspection apparatus for imaging, comprising: an optical unit that changes a reduction magnification of the transmitted light image while keeping a positional relationship between the X-ray image plane and the imaging element fixed. Line transmission inspection equipment. 【請求項２】 Ｘ線透過光像を撮像素子上に結像させる
光学手段としてズームレンズを備えたことを特徴とする
請求項１に記載のＸ線透過検査装置。2. The X-ray transmission inspection apparatus according to claim 1, further comprising a zoom lens as optical means for forming an X-ray transmitted light image on the image sensor. 【請求項３】 Ｘ線透過光像を縮小倍率の異なる複数の
光学系でそれぞれに撮像素子上に結像させることを特徴
とする請求項１または２に記載のＸ線透過検査装置。3. The X-ray transmission inspection apparatus according to claim 1, wherein an X-ray transmission light image is formed on the image sensor by a plurality of optical systems having different reduction magnifications.