JP2000340864A - Excimer laser - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はエキシマレーザ装置
に関し、特にレーザ容器内に具備する循環ファンとレー
ザ容器内のガス流路に特徴を有するエキシマレーザ装置
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an excimer laser device, and more particularly to an excimer laser device characterized by a circulation fan provided in a laser vessel and a gas flow path in the laser vessel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図６及び図７は従来のエキシマレーザ装
置の概略構造を示す図で、図６は断面図、図７は図６の
Ｚ−Ｚ断面図である。図示するように、従来のエキシマ
レーザ装置では、ハロゲンガス、例えばフッ素ガス等が
含まれるレーザガスが封入されたレーザ容器１０１の内
部に、レーザガスを予備電離する予備電離電極（図示せ
ず）と、レーザ光の発振を可能とする放電を得るための
一対の主放電電極１０２、１０２とが配置されている。
更に、レーザ容器１０１内には、一対の主放電電極１０
２、１０２の間に高速のレーザガス流れを作りだすため
の貫流ファン１０３が配置されている。2. Description of the Related Art FIGS. 6 and 7 are views showing a schematic structure of a conventional excimer laser device. FIG. 6 is a sectional view, and FIG. 7 is a sectional view taken along the line Z--Z in FIG. As shown in the figure, in a conventional excimer laser device, a preionization electrode (not shown) for preionizing a laser gas is provided inside a laser container 101 in which a laser gas containing a halogen gas, for example, a fluorine gas or the like is sealed. A pair of main discharge electrodes 102, 102 for obtaining a discharge enabling light oscillation are arranged.
Further, a pair of main discharge electrodes 10
A cross-flow fan 103 for producing a high-speed laser gas flow between the two 102 is provided.
【０００３】貫流ファン１０３は、内部を貫通しその両
端部から突出する回転軸１０４を具備していて、該回転
軸１０４はレーザ容器１０１の両端に設置されたラジア
ル磁気軸受１０６、１０７と、アキシャル磁気軸受１０
８で非接触にて回転自在に支持されている。また、ラジ
アル磁気軸受１０７の軸端側にはモータ１０９が設けら
れている。また、ラジアル磁気軸受１０６、１０７及び
アキシャル磁気軸受１０８の動作停止時に貫流ファン１
０３の回転軸１０４を支持する保護用軸受１１０、１１
１は、モータ１０９の軸端側とラジアル磁気軸受１０６
の軸端側にそれぞれ設けられている。The once-through fan 103 has a rotating shaft 104 penetrating therethrough and protruding from both ends thereof. The rotating shaft 104 is provided with radial magnetic bearings 106 and 107 installed at both ends of the laser vessel 101 and an axial shaft. Magnetic bearing 10
At 8, it is rotatably supported in a non-contact manner. A motor 109 is provided on the shaft end side of the radial magnetic bearing 107. When the radial magnetic bearings 106 and 107 and the axial magnetic bearing 108 stop operating, the cross-flow fan 1
03, protective bearings 110 and 11 for supporting the rotating shaft 104
1 is a shaft end side of a motor 109 and a radial magnetic bearing 106
Are provided on the shaft end side.
【０００４】レーザ光の発振は、一対の主放電電極１０
２、１０２間に高電圧を印加することによってレーザ励
起放電が行われて得られる。発生したレーザ光はレーザ
容器１０１の側壁に設けられた窓１０５、１０５を経由
してレーザ容器１０１の外部へ取り出される。レーザ励
起放電が行われると、一対の主放電電極１０２、１０２
間にあるレーザガスの劣化により放電特性が悪くなり、
繰返し発振が行えなくなる。The oscillation of the laser beam is generated by a pair of main discharge electrodes 10.
A laser-excited discharge is performed by applying a high voltage between 2 and 102 to obtain a laser-excited discharge. The generated laser light is extracted to the outside of the laser container 101 via windows 105 provided on the side wall of the laser container 101. When the laser-excited discharge is performed, a pair of main discharge electrodes 102, 102
The discharge characteristics deteriorate due to the deterioration of the laser gas in between,
Repeated oscillation cannot be performed.
【０００５】このため貫流ファン１０３にて、レーザ容
器１０１内のレーザガスを循環させて一対の主放電電極
１０２、１０２の間にレーザガス流を生成し、放電ごと
に一対の主放電電極１０２、１０２の間のレーザガスを
入れ替えることによって、安定した繰返し発振を行って
いる。なお、レーザガス流は、図７において矢印で示す
ように生成され、主放電電極１０２、１０２の長手方向
に向かって均一な流速で流れる。なお、図７において、
１１２は整流板である。[0005] For this reason, the laser gas in the laser vessel 101 is circulated by the once-through fan 103 to generate a laser gas flow between the pair of main discharge electrodes 102, 102. By exchanging the laser gas between them, stable repetitive oscillation is performed. The laser gas flow is generated as shown by the arrow in FIG. 7, and flows at a uniform flow rate in the longitudinal direction of the main discharge electrodes 102, 102. In FIG. 7,
Reference numeral 112 denotes a current plate.
【０００６】ここで、一対の主放電電極１０２、１０２
の間の長手方向の距離は約６００ｍｍである。そして、
貫流ファン１０３の全長は、電極全長にわたって均一な
流速を得るため一対の主放電電極１０２、１０２の長さ
より若干長くなっている。また、繰返し発振数は１秒間
に１０００〜２０００回である。この貫流ファン１０３
を２５００〜３５００ｒｐｍで回転させて、一対の主放
電電極１０２、１０２の間に繰返し発振を行う上で必要
十分な流速を得ている。Here, a pair of main discharge electrodes 102, 102
Is about 600 mm. And
The overall length of the cross-flow fan 103 is slightly longer than the length of the pair of main discharge electrodes 102, 102 in order to obtain a uniform flow velocity over the entire electrode length. The number of repetitive oscillations is 1000 to 2000 times per second. This once-through fan 103
Is rotated at 2500 to 3500 rpm to obtain a necessary and sufficient flow rate for repeatedly oscillating between the pair of main discharge electrodes 102, 102.
【０００７】上記従来構成のエキシマレーザ装置におい
ては、循環ファンに貫流ファンを用いているので、ファ
ン効率（ファンがレーザガスに与える動力に対する回転
軸動力の比）が低いという問題があった。このため、モ
ータ１０９の大型化や運転動力の増大が問題であった。In the above-described conventional excimer laser apparatus, since a once-through fan is used as the circulation fan, there is a problem that the fan efficiency (the ratio of the rotation shaft power to the power given to the laser gas by the fan) is low. For this reason, there has been a problem that the motor 109 is enlarged and the driving power is increased.
【０００８】特に近年のエキシマレーザ装置では、高繰
返し発振運転によるレーザ光の高出力が求められる。高
繰返し発振を行うためには、主放電電極１０２、１０２
間のガス流を高速にしなければならず、従って循環ファ
ンを高速回転させる必要があった。例えば、繰返し発振
数を１秒間に４０００回とすれば、従来の貫流ファン１
０３では６０００〜７０００ｒｐｍで回転させる必要が
あり、循環ファンの高速回転化が進むほど貫流ファン１
０３の低効率による運転動力の増大は問題となる。Particularly in recent excimer laser apparatuses, high output of laser light by high repetition oscillation operation is required. In order to perform high repetition oscillation, the main discharge electrodes 102, 102
The gas flow between them had to be high, and therefore the circulation fan had to be rotated at high speed. For example, if the repetition rate is 4000 times per second, the conventional once-through fan 1
03, it is necessary to rotate at 6000 to 7000 rpm.
An increase in operating power due to the low efficiency of 03 is a problem.
【０００９】また、貫流ファン１０３の長さは、一対の
主放電電極１０２、１０２の間の長手方向に合わせて長
くなる。このため、ファンの強度及び振動の問題から貫
流ファン１０３内部に回転軸１０４を通して強度および
剛性を補強する必要があった。この場合、貫流ファン１
０３はその動作原理上、ファン内部をレーザガスが通っ
て送風するので、貫流ファン１０３の内部に回転軸１０
４を設置するとガス流れの抵抗となり、ファン効率が更
に悪化するという問題があった。特に振動を小さく高速
回転させるためには、回転軸１０４の危険速度を動作回
転数以上に設定しなければならないので、貫流ファン１
０３内部の回転軸１０４は軸径が太くなり、前述したフ
ァンの効率の悪化が著しくなる。The length of the cross-flow fan 103 increases in the longitudinal direction between the pair of main discharge electrodes 102, 102. For this reason, it is necessary to reinforce the strength and rigidity of the once-through fan 103 through the rotating shaft 104 from the problem of the strength and vibration of the fan. In this case, the once-through fan 1
Since the laser gas blows through the inside of the fan 103 due to its operating principle, the rotating shaft 10 is inserted inside the once-through fan 103.
4 has a problem that resistance of gas flow is caused and the fan efficiency is further deteriorated. In particular, in order to rotate at a high speed with a small vibration, the critical speed of the rotating shaft 104 must be set to be equal to or higher than the operating rotational speed.
The rotating shaft 104 inside the shaft 03 has a large shaft diameter, and the efficiency of the fan described above significantly deteriorates.
【００１０】更に、貫流ファン１０３の回転軸１０４を
支持するラジアル磁気軸受１０６、１０７の軸受スパン
はファン全長以上となり、従って、回転軸の危険速度は
低くなるという問題があった。Furthermore, the bearing span of the radial magnetic bearings 106 and 107 for supporting the rotating shaft 104 of the once-through fan 103 is longer than the entire length of the fan, so that the critical speed of the rotating shaft is reduced.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたもので、上記従来構成のエキシマレーザ装
置が有する問題点を除去し、ファンの駆動動力が少な
く、且つファンを高速回転させることができることによ
り主放電電極間に高速のレーザガス流を生成でき、高繰
返しレーザ発振を行うことが出来るエキシマレーザ装置
を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and eliminates the problems of the above-described excimer laser apparatus having the conventional structure, which reduces the driving power of the fan and rotates the fan at a high speed. An object of the present invention is to provide an excimer laser device capable of generating a high-speed laser gas flow between the main discharge electrodes and performing high repetition laser oscillation.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載のエキシマレーザ装置は、ハロゲンガス
を含むレーザガスが封入されたレーザ容器と、該レーザ
容器内に高繰返し発振を可能とする放電を得るための一
対の主放電電極と、レーザガスを循環させる循環ファン
を具備するエキシマレーザ装置において、循環ファンに
少なくとも１個以上のレーザガスの吐き出し方向と吸込
み方向が略直角になる遠心ファンを用い、各遠心ファン
はそれぞれ回転軸を有することを特徴とする。According to an aspect of the present invention, there is provided an excimer laser apparatus, comprising: a laser container in which a laser gas containing a halogen gas is sealed; and a high repetition rate oscillation in the laser container. Excimer laser device having a pair of main discharge electrodes for obtaining a discharge to be discharged and a circulating fan for circulating a laser gas, the circulating fan includes a centrifugal fan in which a discharge direction and a suction direction of at least one or more laser gases are substantially perpendicular to each other. Each centrifugal fan has a rotating shaft.
【００１３】上記のように、一対の主放電電極の間に高
速のレーザガス流を生成する循環ファンにレーザガスの
吐き出し方向と吸込み方向が略直角になる遠心ファンを
用い、各遠心ファンはそれぞれ回転軸を有するから、遠
心ファンをレーザガス流れの流れ方向が略直角に変わる
位置に設置できるため、レーザ容器内のレーザガス流路
における圧力損失が貫流ファンを使用した場合に比して
増大することがない。As described above, a circulating fan for generating a high-speed laser gas flow between a pair of main discharge electrodes uses a centrifugal fan in which the discharge direction and the suction direction of the laser gas are substantially perpendicular to each other. Therefore, since the centrifugal fan can be installed at a position where the flow direction of the laser gas flow changes at a substantially right angle, the pressure loss in the laser gas flow path in the laser vessel does not increase as compared with the case where a once-through fan is used.
【００１４】また、回転軸の軸径、及び／又は回転軸を
支持する軸受の軸受スパンは自由に設定できるので、回
転軸の剛性を大きくすることができる。このため、回転
軸の危険速度を高くできるので、振動の小さい高速回転
が行える。従って、ファンを駆動させる動力が少なく、
且つファンの高速回転が可能となることによって高速の
レーザガス流れが生成でき、高繰返し発振運転が行える
エキシマレーザ装置となる。Further, since the shaft diameter of the rotating shaft and / or the bearing span of the bearing that supports the rotating shaft can be freely set, the rigidity of the rotating shaft can be increased. Therefore, the critical speed of the rotating shaft can be increased, and high-speed rotation with small vibration can be performed. Therefore, there is little power to drive the fan,
In addition, a high-speed rotation of the fan enables a high-speed laser gas flow to be generated, and an excimer laser device capable of performing a high repetition oscillation operation is provided.
【００１５】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のエキシマレーザ装置において、各遠心ファンの
吐出し口と一対の主放電電極間を連通するレーザガス流
路を、その吐出し口の流路断面の形状が該レーザガス流
路が連通する部分の一対の主放電電極間の断面形状と略
同一に形成したことを特徴とする。The invention described in claim 2 is the first invention.
In the excimer laser device described in the above, the laser gas flow path communicating between the discharge port of each centrifugal fan and the pair of main discharge electrodes, the shape of the cross section of the discharge port of the portion where the laser gas flow path communicates The cross-sectional shape between the pair of main discharge electrodes is substantially the same.
【００１６】上記のように、各遠心ファンの吐出し口と
一対の主放電電極間を連通するレーザガス流路の吐出し
口の流路断面形状を該レーザガス流路が連通する部分の
一対の主放電電極間の断面形状と略同一に形成したの
で、該レーザガス流路の吐出し口から流出したレーザガ
スは主放電電極間の断面形状と略同一の細長いガス流れ
に変換される。これにより、主放電電極の長手方向に均
一なレーザガス流れが形成され、安定した高繰返し発振
運転が可能となる。As described above, the cross-sectional shape of the discharge port of the laser gas flow path that communicates between the discharge port of each centrifugal fan and the pair of main discharge electrodes is the same as that of the pair of main portions of the portion where the laser gas flow path communicates. Since the laser gas is formed to have substantially the same cross-sectional shape between the discharge electrodes, the laser gas flowing out of the discharge port of the laser gas flow path is converted into an elongated gas flow having substantially the same cross-sectional shape between the main discharge electrodes. As a result, a uniform laser gas flow is formed in the longitudinal direction of the main discharge electrode, and stable high repetition oscillation operation becomes possible.
【００１７】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
に記載のエキシマレーザ装置において、各遠心ファンの
吐出し口と一対の主放電電極間を連通するレーザガス流
路を、流路断面一定のまま、その吐出し口の流路断面の
形状が該レーザガス流路が連通する部分の一対の主放電
電極間の断面形状と略同一に形成したことを特徴とす
る。The invention described in claim 3 is the first invention.
In the excimer laser device described in the above, the laser gas flow path communicating between the discharge port of each centrifugal fan and the pair of main discharge electrodes, while maintaining the flow path cross section constant, the shape of the flow path cross section of the discharge port is the laser gas The cross-sectional shape between the pair of main discharge electrodes in a portion where the flow paths communicate is substantially the same.
【００１８】上記のように各遠心ファンの吐出し口と一
対の主放電電極間を連通するレーザガス流路を、流路断
面一定のまま、その吐出し口の流路断面の形状が該レー
ザガス流路が連通する部分の一対の主放電電極間の断面
形状と略同一に形成したので、流路の圧力損失を低減で
きると共に、レーザガス流路の吐出し口から流出したレ
ーザガスは主放電電極間の断面形状と略同一の細長いガ
ス流れに変換される。これにより、ファンの駆動動力を
小さくでき、主放電電極の長手方向に均一な流速のレー
ザガス流れが形成され、安定した高繰返し発振運転が行
える。As described above, with the laser gas flow path communicating between the discharge port of each centrifugal fan and the pair of main discharge electrodes, the shape of the flow path cross section of the discharge port is kept constant while the flow path cross section remains constant. Since the cross-sectional shape between the pair of main discharge electrodes in the portion where the passage communicates is substantially the same, the pressure loss in the flow passage can be reduced, and the laser gas flowing out from the discharge port of the laser gas flow passage is located between the main discharge electrodes. It is converted into an elongated gas flow having substantially the same cross-sectional shape. As a result, the driving power of the fan can be reduced, a laser gas flow having a uniform flow rate is formed in the longitudinal direction of the main discharge electrode, and stable high repetition oscillation operation can be performed.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１乃至図３は本発明に係るエ
キシマレーザ装置の構成例を示す図で、図１は本エキシ
マレーザ装置の全体構成を示す斜視断面図、図２は断面
図、図３は図２のＸ−Ｘ断面図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 are views showing a configuration example of an excimer laser device according to the present invention. FIG. 1 is a perspective cross-sectional view showing the entire configuration of the excimer laser device, FIG. 2 is a cross-sectional view, and FIG. It is -X sectional drawing.
【００２０】本発明のエキシマレーザ装置は、アルミニ
ウム合金等で構成された上チャンバー１ａと下チャンバ
ー１ｂからなり、該上チャンバー１ａと下チャンバー１
ｂを接合したレーザ容器１を具備している。レーザ容器
１の内部には、フッ素ガス等のハロゲンガスを含むレー
ザガスと、レーザガスを予備電離する予備電離電極（図
示せず）と、レーザ光の発振を可能とする一対の主放電
電極２、２が配置されている。一対の主放電電極２、２
の一方は上チャンバー１ａの中央部に絶縁物１１を介し
て取り付けられ、他方は下チャンバー１ｂに端部が固着
された仕切り板３の上に、一方の電極に対向する位置に
絶縁物１２を介して取り付けられている。The excimer laser device of the present invention comprises an upper chamber 1a and a lower chamber 1b made of an aluminum alloy or the like.
b is provided with a laser container 1 joined thereto. Inside the laser vessel 1, a laser gas containing a halogen gas such as a fluorine gas, a preionization electrode (not shown) for preionizing the laser gas, and a pair of main discharge electrodes 2, 2 for enabling laser light oscillation. Is arranged. A pair of main discharge electrodes 2, 2
One is attached to the center of the upper chamber 1a via an insulator 11, and the other is provided with an insulator 12 on a partition plate 3 having an end fixed to the lower chamber 1b at a position facing one electrode. Attached through.
【００２１】ここで、絶縁物１１、１２はレーザガスに
対して耐腐食性を有し、且つレーザガスを汚染しない高
純度のアルミナセラミックス（Ａｌ2Ｏ3）で構成され
る。また、上チャンバー１ａの両側面には、レーザ光を
レーザ容器１の外部に取り出すため窓４が設けられてい
る。Here, the insulators 11 and 12 are made of high-purity alumina ceramics (Al 2 O 3 ) which has corrosion resistance to the laser gas and does not contaminate the laser gas. In addition, windows 4 are provided on both side surfaces of the upper chamber 1a to extract the laser light to the outside of the laser container 1.
【００２２】更に、レーザ容器１の内部には、循環する
レーザガスを冷却する熱交換器５、３個のターボファン
６、３個のハウジング７が設置されている。また、ハウ
ジング７にはそれぞれ吸込みコーン８が取り付けられて
おり、吸込みコーン８の開口方向は熱交換器５の方へ向
いている。熱交換器５の配管内には、レーザ容器１の外
部より冷却水が供給されるようになっている。Further, a heat exchanger 5 for cooling the circulating laser gas, three turbo fans 6, and three housings 7 are provided inside the laser vessel 1. A suction cone 8 is attached to each of the housings 7, and the opening direction of the suction cone 8 is directed toward the heat exchanger 5. Cooling water is supplied into the piping of the heat exchanger 5 from outside the laser vessel 1.
【００２３】レーザ容器１内は、仕切り板３によって上
下に略２分割した構造である。上下の空間が通じている
部分は、３個のターボファン６のそれぞれのレーザガス
吐出口９と、一対の主放電電極２、２の間を通過したレ
ーザガスが熱交換器５に流入する部分である。また、３
個のターボファン６のレーザガス吐出口９と一対の主放
電電極２、２の間に流路構成部材１０が仕切り板３上に
設置されている。The inside of the laser container 1 has a structure in which a partition plate 3 divides the upper and lower parts into approximately two parts. A portion where the upper and lower spaces communicate is a portion where the laser gas that has passed between each of the laser gas discharge ports 9 of the three turbo fans 6 and the pair of main discharge electrodes 2 and 2 flows into the heat exchanger 5. . Also, 3
A flow path component 10 is provided on the partition plate 3 between the laser gas discharge port 9 of each of the turbo fans 6 and the pair of main discharge electrodes 2, 2.
【００２４】ハウジング７内には、ターボファン６が収
容される。ターボファン６は回転軸２１とはボルト等の
締結手段により固着されている。回転軸２１は、第１及
び第２のラジアル磁気軸受２２、２３及びアキシャル磁
気軸受２４にて回転自在に支持され、モータ２５により
回転駆動力が与えられる。The housing 7 houses the turbo fan 6. The turbo fan 6 is fixed to the rotating shaft 21 by fastening means such as bolts. The rotating shaft 21 is rotatably supported by first and second radial magnetic bearings 22 and 23 and an axial magnetic bearing 24, and is provided with a rotational driving force by a motor 25.
【００２５】回転軸２１には、第１及び第２のラジアル
磁気軸受２２、２３の変位センサターゲット２２ａ、２
３ａ、電磁石ターゲット２２ｂ、２３ｂがスペーサ等に
より相対位置が決まった状態で固定されている。また、
回転軸２１の軸端部には、アキシャル磁気軸受２４の変
位センサターゲット２４ａ、電磁石ターゲット２４ｂが
固着されている。更に、モータ２５のモータロータ２５
ａは回転軸２１に直接固着し、表面をＳＵＳ３１Ｌ等の
オーステナイト系ステンレス鋼で構成された薄肉円筒状
のキャン２６で覆われている。そしてモータロータ２５
ａの両側にキャン側板２７、２７を設けて、モータロー
タ２５ａを密封空間内に収容し、レーザガス雰囲気より
隔離している。On the rotating shaft 21, displacement sensor targets 22a, 2a of the first and second radial magnetic bearings 22, 23 are provided.
3a, the electromagnet targets 22b and 23b are fixed in a state where their relative positions are determined by spacers or the like. Also,
A displacement sensor target 24a and an electromagnet target 24b of the axial magnetic bearing 24 are fixed to the shaft end of the rotating shaft 21. Further, the motor rotor 25 of the motor 25
a is directly fixed to the rotating shaft 21 and its surface is covered with a thin cylindrical can 26 made of austenitic stainless steel such as SUS31L. And the motor rotor 25
The motor rotor 25a is housed in a sealed space and is isolated from the laser gas atmosphere by providing can side plates 27 on both sides of the laser gas.
【００２６】ここで、各磁気軸受の変位センサターゲッ
ト２２ａ、２３ａ、２４ａ、電磁石ターゲット２２ｂ、
２３ｂ、２４ｂを構成する磁性材料としては、レーザガ
ス中に含まれるフッ素に対して耐腐食性が良好なパーマ
ロイ（３０〜８０％Ｎｉを含むＦｅ‐Ｎｉ合金）を使用
している。Here, displacement sensor targets 22a, 23a and 24a of each magnetic bearing, electromagnet targets 22b,
As a magnetic material constituting 23b and 24b, permalloy (Fe-Ni alloy containing 30 to 80% Ni) having good corrosion resistance to fluorine contained in the laser gas is used.
【００２７】図４は各種材料のフッ素ガスに対する耐腐
食性試験の結果を示す図である。図示するように、パー
マロイは、Ｎｉ含有率が多いほど耐腐食性が良好であ
り、Ｎｉ含有率８０％のＰＣパーマロイ（ＪＩＳ Ｃ２
５３１）では、オーステナイト系ステンレス鋼ＳＵＳ３
１６Ｌより良好な耐腐食性を示している。Ｎｉ含有量４
５％のＰＢパーマロイ（ＪＩＳ Ｃ２５３１）のフッ素
ガスに対する耐腐食性は、オーステナイト系ステンレス
鋼ＳＵＳ３０４の１／２程度であり、ＰＣパーマロイに
比して耐腐食性は劣る。FIG. 4 is a diagram showing the results of a corrosion resistance test of various materials against fluorine gas. As shown in the figure, the higher the Ni content, the better the corrosion resistance of the permalloy, and the PC permalloy having a Ni content of 80% (JIS C2
531) uses austenitic stainless steel SUS3
It shows better corrosion resistance than 16L. Ni content 4
The corrosion resistance against fluorine gas of 5% PB permalloy (JIS C2531) is about 1/2 that of austenitic stainless steel SUS304, and is inferior to PC permalloy.
【００２８】しかしながら、ＰＢパーマロイはパーマロ
イの中で最も飽和磁束密度が大きく電磁石の構成材料と
して好適であるので、使用に際しては表面に耐腐食処理
（例えば、Ｎｉメッキ）を施すとよい。ＰＢパーマロイ
は図示するように、表面にＮｉメッキを施すことにより
ＰＣパーマロイと同様の耐食性を持たせることができ
た。However, since PB permalloy has the highest saturation magnetic flux density among permalloys and is suitable as a constituent material of an electromagnet, it is preferable to apply a corrosion-resistant treatment (for example, Ni plating) to the surface before use. As shown in the figure, PB permalloy was made to have the same corrosion resistance as PC permalloy by applying Ni plating to the surface.
【００２９】また、ラジアル磁気軸受２２、２３の変位
センサターゲット２２ａ、２３ａ及び電磁石ターゲット
２２ｂ、２３ｂには、回転によって生じる磁界変化によ
って渦電流損失が発生する。この渦電流損失を低減する
ため、通常は薄板を積層した構造を採用している。しか
しながら、積層した薄板の間にガス溜まりができ、レー
ザガスを汚染する。ＰＢパーマロイの使用時に積層表面
に均一に密着性の高いＮｉメッキが施せない等の問題が
生じる場合は、変位センサターゲット２２ａ、２３ａ及
び電磁石ターゲット２２ｂ、２３ｂをパーマロイの一体
材料で形成するとよい。Further, eddy current loss occurs in the displacement sensor targets 22a, 23a and the electromagnet targets 22b, 23b of the radial magnetic bearings 22, 23 due to magnetic field changes caused by rotation. In order to reduce the eddy current loss, usually, a structure in which thin plates are stacked is adopted. However, gas accumulation occurs between the laminated thin plates, and contaminates the laser gas. In the case where a problem arises in which Ni plating cannot be uniformly applied to the laminated surface when using PB permalloy, the displacement sensor targets 22a and 23a and the electromagnet targets 22b and 23b may be formed of an integral material of permalloy.
【００３０】なお、アキシャル磁気軸受２４の変位セン
サターゲット２４ａと電磁石ターゲット２４ｂは、回転
により磁界が変化することがないので、パーマロイの一
体材料で形成する。The displacement sensor target 24a and the electromagnet target 24b of the axial magnetic bearing 24 are formed of a permalloy integral material because the magnetic field does not change due to rotation.
【００３１】一方、第１及び第２のラジアル磁気軸受２
２、２３の変位センサ２２ｃ、２３ｃ、電磁石２２ｄ、
２３ｄは、それぞれ各変位センサターゲット２２ａ、２
３ａ、電磁石ターゲット２２ｂ、２３ｂと対向する位置
に設置される。また、モータ２５のモータステータ２５
ｂもモータロータ２５ａと対向する位置に設置される。
変位センサ２２ｃ、２３ｃ、電磁石２２ｄ、２３ｄ、モ
ータステータ２５ｂの内周面には、ＳＵＳ３１６Ｌ等の
オーステナイトケイステンレス鋼で構成された薄肉円筒
状のキャン２８を挿入して両端を溶接等により固着して
いる。On the other hand, the first and second radial magnetic bearings 2
2, 23 displacement sensors 22c, 23c, electromagnets 22d,
23d is each displacement sensor target 22a, 2
3a, installed at a position facing the electromagnet targets 22b and 23b. The motor stator 25 of the motor 25
b is also installed at a position facing the motor rotor 25a.
A thin cylindrical can 28 made of austenitic stainless steel such as SUS316L is inserted into the inner peripheral surfaces of the displacement sensors 22c and 23c, the electromagnets 22d and 23d, and the motor stator 25b, and both ends are fixed by welding or the like. I have.
【００３２】これにより、レーザガスに対して耐腐食性
の乏しい珪素鋼板やコイル巻線から構成される変位セン
サ２２ｃ、２３ｃ、電磁石２２ｄ、２３ｄ、モータステ
ータ２５ｂをレーザ容器１内から除去し、レーザガスと
接触するのを防止している。As a result, the displacement sensors 22c and 23c, the electromagnets 22d and 23d, and the motor stator 25b, which are composed of a silicon steel sheet or a coil winding having poor corrosion resistance to the laser gas, are removed from the inside of the laser vessel 1, and the laser gas and Prevents contact.
【００３３】アキシャル磁気軸受２４の右電磁石２４ｄ
と左電磁石２４ｅは、両方の間に電磁石ターゲット２４
ｂを挟んで互いに対向位置に配置されている。そして、
右電磁石２４ｄと左電磁石２４ｅのコアに設けられたコ
イル溝へ電磁石コイルを挿入して、コイル部とレーザガ
スが接しないように薄肉円板状のキャン２９、２９を溶
接等により固着している。The right electromagnet 24d of the axial magnetic bearing 24
And the left electromagnet 24e are located between the
b are arranged at positions facing each other. And
Electromagnetic coils are inserted into coil grooves provided in the cores of the right electromagnet 24d and the left electromagnet 24e, and the thin disk-shaped cans 29, 29 are fixed by welding or the like so that the coil portion does not come into contact with the laser gas.
【００３４】また、アキシャル磁気軸受２４の変位セン
サ２４ｃは、レーザガスと接触する面に薄肉円板状のキ
ャン３０を溶接等により固着して気密容器外へ配置され
ている。The displacement sensor 24c of the axial magnetic bearing 24 has a thin disk-shaped can 30 fixed to a surface in contact with the laser gas by welding or the like, and is disposed outside the hermetic container.
【００３５】ここで、右電磁石２４ｄと左電磁石２４ｅ
はレーザガスと接触する位置に配置されるので、コアに
はレーザガス中に含まれるフッ素に対して耐腐食性が良
好なパーマロイ（３０〜８０％Ｎｉを含むＦｅ‐Ｎｉ合
金）を使用している。Here, the right electromagnet 24d and the left electromagnet 24e
Is disposed at a position in contact with the laser gas, so that the core is made of permalloy (Fe-Ni alloy containing 30 to 80% Ni) having good corrosion resistance to fluorine contained in the laser gas.
【００３６】ラジアル磁気軸受２２、２３及びアキシャ
ル磁気軸受２４が作動していないときに回転軸２１を支
持する保護用軸受３１、３２は、第１及び第２のラジア
ル磁気軸受２２、２３の近傍へ設けられている。このよ
うに配置すると、ラジアル磁気軸受２２、２３及びアキ
シャル磁気軸受２４で回転軸２１を支持するとき保護用
軸受３１、３２で支持するときの軸受スパンが略等しく
なる。このため、どちらかの軸受で回転軸２１を支持し
ても危険速度に大きな変化はない。よって、ラジアル磁
気軸受２２、２３及びアキシャル磁気軸受２４の故障等
により保護用軸受３１、３２上で回転軸２１を回転させ
る必要が生じた場合でも、振動の少ない安定した回転が
得られる。When the radial magnetic bearings 22 and 23 and the axial magnetic bearing 24 are not operating, the protective bearings 31 and 32 that support the rotating shaft 21 move to the vicinity of the first and second radial magnetic bearings 22 and 23. Is provided. With this arrangement, when the radial magnetic bearings 22 and 23 and the axial magnetic bearing 24 support the rotating shaft 21, the bearing spans when supported by the protective bearings 31 and 32 become substantially equal. Therefore, even if the rotating shaft 21 is supported by one of the bearings, there is no significant change in the critical speed. Therefore, even when the radial magnetic bearings 22 and 23 and the axial magnetic bearing 24 need to rotate the rotating shaft 21 on the protective bearings 31 and 32 due to a failure or the like, stable rotation with little vibration can be obtained.
【００３７】また、エキシマレーザ装置では、レーザ光
の発振により一対の主放電電極２、２から電極材料の粉
末が発生する。この粉末が軸受ハウジング１３内へ混入
すると、回転軸２１の回転を阻害する。また、保護用軸
受３１、３２の転動面への粉末の混入により保護用軸受
３１、３２の動作を劣化させる。このため、軸受ハウジ
ング１３内へ粉末が混入することを防止するため、軸受
ハウジング１３のレーザ容器１側にはねじ溝ラビリンス
３３が設けられている。In the excimer laser device, powder of electrode material is generated from the pair of main discharge electrodes 2 and 2 by the oscillation of laser light. When this powder enters the bearing housing 13, the rotation of the rotating shaft 21 is hindered. In addition, the operation of the protective bearings 31 and 32 is deteriorated due to the powder mixed into the rolling surfaces of the protective bearings 31 and 32. For this reason, a thread groove labyrinth 33 is provided on the laser housing 1 side of the bearing housing 13 in order to prevent powder from entering the bearing housing 13.
【００３８】更に、レーザ容器１にはガス流出口１４が
設けられており、ガス流出口１４より流出したレーザガ
スはガス導入管１７を通ってガス導入室１５に導かれ、
該ガス導入室１５内のダスト除去フィルタ１６にてダス
トが除去され、ガス導入管１８を通って軸受ハウジング
１３の軸端部に導入される。即ち、図２の矢印に示すよ
うにレーザガスを循環させることにより、軸受ハウジン
グ１３内へのダストの混入を確実に防止できる。Further, the laser vessel 1 is provided with a gas outlet 14, and the laser gas flowing out of the gas outlet 14 is guided to a gas introduction chamber 15 through a gas introduction pipe 17.
Dust is removed by a dust removal filter 16 in the gas introduction chamber 15, and is introduced into a shaft end of the bearing housing 13 through a gas introduction pipe 18. That is, by circulating the laser gas as indicated by the arrow in FIG. 2, dust can be reliably prevented from entering the bearing housing 13.
【００３９】次に、上記構成のエキシマレーザ装置の動
作を説明する。レーザ光の発振は、一対の主放電電極
２、２の間に高電圧を印加することによってレーザ励起
放電が行われて得られる。発生したレーザ光はレーザ容
器１の側壁に設けられた窓４を経由してレーザ容器１の
外部へ取り出される。レーザ励起放電が行われると、一
対の主放電電極２、２の間にあるレーザガスは劣化によ
り放電特性が悪くなり、繰返し発振が行えなくなる。こ
のため３個のターボファン６にて、レーザ容器１内のレ
ーザガスを循環させて一対の主放電電極２、２の間に高
速のレーザガス流を生成し、放電ごとに一対の主放電電
極２、２の間のレーザガスを入れ替えている。Next, the operation of the above-structured excimer laser device will be described. The oscillation of the laser light is obtained by applying a high voltage between the pair of main discharge electrodes 2 and 2 to perform laser excitation discharge. The generated laser light is taken out of the laser container 1 via a window 4 provided on a side wall of the laser container 1. When the laser-excited discharge is performed, the discharge characteristics of the laser gas between the pair of main discharge electrodes 2 and 2 are degraded due to deterioration, and repetitive oscillation cannot be performed. Therefore, the laser gas in the laser vessel 1 is circulated by the three turbo fans 6 to generate a high-speed laser gas flow between the pair of main discharge electrodes 2 and 2, and a pair of main discharge electrodes 2 and The laser gas between the two is replaced.
【００４０】ターボファン６は、回転軸２１に取り付け
られたモータロータ２５ａにて回転駆動力が与えられ、
ハウジング７内を回転する。レーザガスは、吸込みコー
ン８からターボファン６の内部へ流入し、羽根内径口６
ａから羽根６ｂ内に流れ込み、回転する羽根６ｂにより
速度エネルギーを与えられ、羽根外径口６ｃから高速度
で流出する。ここでターボファン６のレーザガスの吸込
み方向と吐き出し方向とは略直角になっている。即ち、
吸込みコーン８で吸込まれたレーザガスは略直角に方向
を変えて、レーザガス吐出口９から吐き出される。The turbo fan 6 is given a rotational driving force by a motor rotor 25a attached to the rotating shaft 21.
The inside of the housing 7 rotates. The laser gas flows into the inside of the turbo fan 6 from the suction cone 8 and the blade inner diameter port 6
a flows into the blade 6b, is given velocity energy by the rotating blade 6b, and flows out of the blade outer diameter port 6c at a high speed. Here, the suction direction and the discharge direction of the laser gas of the turbo fan 6 are substantially perpendicular to each other. That is,
The laser gas sucked by the suction cone 8 changes its direction at a substantially right angle and is discharged from the laser gas discharge port 9.
【００４１】ハウジング７は、羽根外径口６ｃより流出
したレーザガスの速度エネルギーの一部を圧力エネルギ
ーに変換して、適当な速度エネルギーと圧力エネルギー
を持ったレーザガス流を生成する。生成されたレーザガ
ス流はレーザガス吐出口９より流出し、流路構成部材１
０で形成されたレーザガス流路により、一対の主放電電
極２、２の長手方向へ流れを広げ、細長いレーザガス流
を生成する。そして、レーザガス流は一対の主放電電極
２、２の電極全長にわたって均一な流れとなって流れ込
む。流路構成部材１０は、レーザガス流れが一対の主放
電電極２、２の電極間で最大の流速が得られるように流
路を形成すると良く、必要なら一対の主放電電極２、２
と熱交換器５の間にも流路構成部材を設けても良い。The housing 7 converts a part of the velocity energy of the laser gas flowing out of the blade outer diameter port 6c into pressure energy, and generates a laser gas flow having appropriate velocity energy and pressure energy. The generated laser gas flow flows out of the laser gas discharge port 9 and the flow path component 1
With the laser gas flow path formed at 0, the flow is spread in the longitudinal direction of the pair of main discharge electrodes 2 and 2 to generate an elongated laser gas flow. Then, the laser gas flow flows in a uniform flow over the entire length of the pair of main discharge electrodes 2 and 2. The flow path forming member 10 should preferably form a flow path so that the laser gas flow has a maximum flow velocity between the pair of main discharge electrodes 2 and 2.
A flow path component may be provided between the heat exchanger 5 and the heat exchanger 5.
【００４２】レーザガス吐出口９と一対の主放電電極
２、２の間のレーザガス流路、即ち流路構成部材１０で
形成されたレーザガス流路Ｇは、図５に示すように、レ
ーザガス流路Ｇ中の各断面（例えば、位置Ａ、Ｂ、Ｃ、
Ｄでの断面）においてその面積Ｓが等しく（Ｓ＝ＳA＝
ＳB＝ＳC＝ＳD）なるように構成されている。これによ
り、レーザガス流路Ｇ中の圧力損失が低減でき、更に好
適である。As shown in FIG. 5, the laser gas flow path formed between the laser gas discharge port 9 and the pair of main discharge electrodes 2 and 2, that is, the laser gas flow path G formed by the flow path constituting member 10, Each cross section (for example, positions A, B, C,
D), the area S is equal (S = S A =
S B = S C = S D ). Thereby, the pressure loss in the laser gas flow path G can be reduced, which is more preferable.
【００４３】また、流路構成部材１０で形成された各レ
ーザガス流路Ｇの吐出し口の断面形状（図５の位置Ｄで
の断面形状）は、該レーザガス流路Ｇが連通する部分の
主放電電極２、２の断面形状と略同一形状である。従っ
て、ここでは３個のレーザガス流路Ｇの吐出し口が並べ
て配置され、その全体の断面形状が主放電電極２、２の
全長の断面形状と略同一形状となる。The sectional shape (the sectional shape at the position D in FIG. 5) of the discharge port of each laser gas flow path G formed by the flow path constituting member 10 is the main part of the portion where the laser gas flow path G communicates. The shape is substantially the same as the cross-sectional shape of the discharge electrodes 2 and 2. Accordingly, here, the discharge ports of the three laser gas flow paths G are arranged side by side, and the entire cross-sectional shape is substantially the same as the cross-sectional shape of the entire length of the main discharge electrodes 2, 2.
【００４４】一対の主放電電極２、２の間から流出した
レーザガスは熱交換器５の位置する部分を流れ、ここで
レーザ発振により、一対の主放電電極２、２から加えら
れた熱を該熱交換器５へ放出する。熱交換器５を通過し
て冷却されたレーザガスは吸込みコーン８から再度ター
ボファン６内部へ流入し、循環する。The laser gas flowing out between the pair of main discharge electrodes 2 and 2 flows through the portion where the heat exchanger 5 is located, where the heat applied from the pair of main discharge electrodes 2 and 2 by the laser oscillation is removed. Release to heat exchanger 5. The laser gas cooled after passing through the heat exchanger 5 flows into the turbo fan 6 again from the suction cone 8 and circulates.
【００４５】上記のように、本エキシマレーザ装置にお
いては、ファン効率の高いターボファン６を用いてレー
ザ容器１内でレーザガスを循環させるので、一対の主放
電電極２、２の間に高速のレーザガス流れを生成するこ
とができる。また、ターボファン６はそれぞれ回転軸２
１を有しているので、従来の貫流ファンの回転軸に比し
て軸長が短い。このため、回転軸２１の剛性を大きくで
きるから、ターボファン６は高速回転が可能になる。従
って、ファンを駆動させる動力が低減できると共に、フ
ァンの高速回転により、一対の主放電電極２、２の間へ
高速のレーザガス流れを生成でき、高繰返しレーザ発振
により高出力のレーザ光が得られる。As described above, in the present excimer laser apparatus, the laser gas is circulated in the laser vessel 1 by using the turbofan 6 having a high fan efficiency. A flow can be created. In addition, each of the turbo fans 6 has a rotating shaft 2.
1, the shaft length is shorter than the rotating shaft of the conventional once-through fan. For this reason, since the rigidity of the rotating shaft 21 can be increased, the turbo fan 6 can rotate at high speed. Therefore, the power for driving the fan can be reduced, and a high-speed rotation of the fan can generate a high-speed laser gas flow between the pair of main discharge electrodes 2 and 2, and a high-output laser beam can be obtained by high-repetition laser oscillation. .
【００４６】なお、本実施形態例では、遠心ファンをタ
ーボファンとして説明したが、遠心ファンはターボファ
ンに限定されるものではなく、例えば、ラジアルファン
やシロッコファンを用いても何等差し支えない。Although the centrifugal fan has been described as a turbo fan in this embodiment, the centrifugal fan is not limited to the turbo fan. For example, a radial fan or a sirocco fan may be used.
【００４７】また、上記実施形態例ではターボファン６
の個数を３個としたが、このファンの数は何個であって
もよいことは当然である。In the above embodiment, the turbo fan 6
The number of fans is three, but it goes without saying that the number of fans may be any number.
【００４８】また、上記実施形態例では、軸受の形態を
高速回転に適した磁気軸受として説明したが、軸受は回
転軸を回転自在に支持するものであればどのような形態
でもよい。更に、モータ２５の形態は、モータステータ
２５ｂから非接触にてモータロータ２５ａへ回転駆動力
を発生できるものであれば、どのような形態でもよい。In the above embodiment, the bearing is described as a magnetic bearing suitable for high-speed rotation. However, the bearing may be of any type as long as the bearing rotatably supports the rotating shaft. Further, the form of the motor 25 may be any form as long as it can generate a rotational driving force from the motor stator 25b to the motor rotor 25a in a non-contact manner.
【００４９】[0049]
【発明の効果】以上、説明したように各請求項に記載の
発明によれば下記のような優れた効果が得られる。As described above, according to the invention described in each claim, the following excellent effects can be obtained.
【００５０】請求項１に記載の発明によれば、一対の主
放電電極の間に高速のレーザガス流を生成する循環ファ
ンにレーザガスの吐き出し方向と吸込み方向が略直角に
なる遠心ファンを用い、各遠心ファンそれぞれに回転軸
を有するから、遠心ファンを、レーザガス流れの流れ方
向が略直角に変わる位置に設置できるから、レーザ容器
内のレーザガス流路における圧力損失が貫流ファンを使
用した場合に比して増大することがない。According to the first aspect of the present invention, a circulating fan for generating a high-speed laser gas flow between a pair of main discharge electrodes is provided with a centrifugal fan in which the discharge direction and the suction direction of the laser gas are substantially perpendicular to each other. Since each centrifugal fan has a rotation axis, the centrifugal fan can be installed at a position where the flow direction of the laser gas flow changes at a substantially right angle, so that the pressure loss in the laser gas flow path in the laser vessel is smaller than when a once-through fan is used. It does not increase.
【００５１】また、回転軸の軸径、及び／又は回転軸を
支持する軸受の軸受スパンは自由に設定できるので、回
転軸の剛性を大きく、且つ回転軸の危険速度を高くでき
るから、振動が小さく、ファン駆動動力が小さく、且つ
ファンの高速回転が可能で高速のレーザガス流れが生成
でき、高繰返し発振運転を行うことができるエキシマレ
ーザ装置を提供できる。Further, since the shaft diameter of the rotating shaft and / or the bearing span of the bearing that supports the rotating shaft can be freely set, the rigidity of the rotating shaft can be increased and the critical speed of the rotating shaft can be increased. It is possible to provide an excimer laser device which is small, has a small fan driving power, can rotate a fan at high speed, can generate a high-speed laser gas flow, and can perform a high repetition oscillation operation.
【００５２】また、請求項２に記載の発明によれば、各
遠心ファンの吐出し口と一対の主放電電極間を連通する
レーザガス流路の吐出し口の流路断面形状を、該レーザ
ガス流路が連通する部分の一対の主放電電極間の断面形
状と略同一に形成したので、該レーザガス流路の吐出し
口から流出したレーザガスは主放電電極間の断面形状と
略同一の細長いガス流れに変換され、主放電電極の長手
方向に均一な流速のレーザガス流れが形成され、安定し
た高繰返し発振運転を行うことができるエキシマレーザ
装置を提供できる。According to the second aspect of the present invention, the cross-sectional shape of the discharge port of the laser gas flow path communicating between the discharge port of each centrifugal fan and the pair of main discharge electrodes is adjusted to the laser gas flow. The laser gas flowing out of the discharge port of the laser gas flow path has an elongated gas flow substantially the same as the cross-sectional shape between the main discharge electrodes, since the cross-sectional shape between the pair of main discharge electrodes at the portion where the passages communicate is substantially the same. Thus, an excimer laser device can be provided in which a laser gas flow having a uniform flow rate is formed in the longitudinal direction of the main discharge electrode and a stable high repetition oscillation operation can be performed.
【００５３】また、請求項３に記載の発明によれば、各
遠心ファンの吐出し口と一対の主放電電極間を連通する
レーザガス流路を、流路断面一定のまま、その吐出し口
の流路断面の形状が該レーザガス流路が連通する部分の
一対の主放電電極間の断面形状と略同一に形成したの
で、上記請求項２に記載の発明の効果に加え、流路の圧
力損失を低減でき、ファン駆動動力の小さいエキシマレ
ーザ装置を提供できる。Further, according to the third aspect of the present invention, the laser gas flow path communicating between the discharge port of each centrifugal fan and the pair of main discharge electrodes is kept at a constant flow path cross section. The cross-sectional shape of the flow path is substantially the same as the cross-sectional shape between the pair of main discharge electrodes at the portion where the laser gas flow path communicates. And an excimer laser device with small fan driving power can be provided.
【図１】本発明に係るエキシマレーザ装置の全体構成を
示す斜視断面図である。FIG. 1 is a perspective sectional view showing the overall configuration of an excimer laser device according to the present invention.
【図２】本発明に係るエキシマレーザ装置の断面図であ
る。FIG. 2 is a sectional view of an excimer laser device according to the present invention.
【図３】図２のＸ−Ｘ断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line XX of FIG. 2;
【図４】各種材料のフッ素ガスに対する耐腐食性試験の
結果を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing the results of a corrosion resistance test of various materials against fluorine gas.
【図５】本発明に係るエキシマレーザ装置のレーザガス
流路の形状を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a shape of a laser gas flow path of the excimer laser device according to the present invention.
【図６】従来のエキシマレーザ装置の概略構造を示す図
である。FIG. 6 is a diagram showing a schematic structure of a conventional excimer laser device.
【図７】図６のＺ−Ｚ断面図である。FIG. 7 is a sectional view taken along the line ZZ of FIG. 6;
１ レーザ容器 ２ 主放電電極 ３ 仕切り板 ４ 窓 ５ 熱交換器 ６ ターボファン ７ ハウジング ８ 吸込みコーン ９ レーザガス吐出口 １０ 流路構成部材 １１ 絶縁物 １２ 絶縁物 １３ 軸受ハウジング １４ ガス流出口 １５ ガス導入室 １６ ダスト除去フィルタ １７ ガス導入管 １８ ガス導入管 ２１ 回転軸 ２２ ラジアル磁気軸受 ２３ ラジアル磁気軸受 ２４ アキシャル磁気軸受 ２５ モータ ２６ キャン ２７ キャン側板 ２８ キャン ２９ キャン ３０ キャン ３１ 保護用軸受 ３２ 保護用軸受 ３３ ねじ溝ラビリンス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser container 2 Main discharge electrode 3 Partition plate 4 Window 5 Heat exchanger 6 Turbo fan 7 Housing 8 Suction cone 9 Laser gas discharge port 10 Flow path constituent member 11 Insulator 12 Insulator 13 Bearing housing 14 Gas outlet 15 Gas introduction chamber Reference Signs List 16 dust removal filter 17 gas introduction pipe 18 gas introduction pipe 21 rotary shaft 22 radial magnetic bearing 23 radial magnetic bearing 24 axial magnetic bearing 25 motor 26 can 27 can side plate 28 can 29 can 30 can 31 protective bearing 32 protective bearing 33 screw Groove labyrinth
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 篠崎 弘行 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 野路 伸治 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 中澤 敏治 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原電産内 (72)発明者 茨田 敏光 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原電産内 Ｆターム(参考） 5F071 AA06 DD03 DD07 EE02 JJ07 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Hiroyuki Shinozaki 11-1 Haneda Asahimachi, Ota-ku, Tokyo Inside the Ebara Works Co., Ltd. (72) Inventor Shinji Noji 11-1 Haneda Asahi-cho, Ota-ku, Tokyo Inside Ebara Corporation (72) Inventor Toshiharu Nakazawa 11-1 Haneda Asahimachi, Ota-ku, Tokyo Inside Ebara Densan Co., Ltd. (72) Inventor Toshimitsu Ibarada 11-1, Haneda Asahi-cho, Ota-ku, Tokyo F-term (reference) 5F071 AA06 DD03 DD07 EE02 JJ07
Claims (3)
れたレーザ容器と、該レーザ容器内に高繰返し発振を可
能とする放電を得るための一対の主放電電極と、レーザ
ガスを循環させる循環ファンを具備するエキシマレーザ
装置において、 前記循環ファンに少なくとも１個以上のレーザガスの吐
き出し方向と吸込み方向が略直角になる遠心ファンを用
い、各遠心ファンはそれぞれ回転軸を有することを特徴
とするエキシマレーザ装置。1. A laser container in which a laser gas containing a halogen gas is sealed, a pair of main discharge electrodes for obtaining a discharge enabling high repetition oscillation in the laser container, and a circulating fan for circulating the laser gas. An excimer laser device according to claim 1, wherein a centrifugal fan in which a discharge direction and a suction direction of at least one laser gas are substantially perpendicular to the circulating fan, and each centrifugal fan has a rotation axis.
おいて、 前記各遠心ファンの吐出し口と前記一対の主放電電極間
を連通するレーザガス流路を、その吐出し口の流路断面
の形状が該レーザガス流路が連通する部分の前記一対の
主放電電極間の断面形状と略同一に形成したことを特徴
とするエキシマレーザ装置。2. The excimer laser device according to claim 1, wherein a laser gas flow path communicating between a discharge port of each of said centrifugal fans and said pair of main discharge electrodes has a cross-sectional shape of said discharge port. An excimer laser device, wherein the cross-sectional shape between the pair of main discharge electrodes at a portion where the laser gas flow path communicates is substantially the same.
おいて、 前記各遠心ファンの吐出し口と一対の主放電電極間を連
通するレーザガス流路を、流路断面一定のまま、その吐
出し口の流路断面の形状が該レーザガス流路が連通する
部分の前記一対の主放電電極間の断面形状と略同一に形
成したことを特徴とするエキシマレーザ装置。3. The excimer laser device according to claim 1, wherein a laser gas flow path communicating between a discharge port of each of the centrifugal fans and a pair of main discharge electrodes has a constant flow channel cross section. An excimer laser device, wherein the cross-sectional shape of the flow path is substantially the same as the cross-sectional shape between the pair of main discharge electrodes at the portion where the laser gas flow path communicates.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14866999A JP2000340864A (en) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | Excimer laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14866999A JP2000340864A (en) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | Excimer laser |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000340864A true JP2000340864A (en) | 2000-12-08 |
Family
ID=15457980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14866999A Pending JP2000340864A (en) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | Excimer laser |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000340864A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001056121A1 (en) * | 2000-01-28 | 2001-08-02 | Ebara Corporation | Excimer laser |
-
1999
- 1999-05-27 JP JP14866999A patent/JP2000340864A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001056121A1 (en) * | 2000-01-28 | 2001-08-02 | Ebara Corporation | Excimer laser |
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