JP2000333477A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JP2000333477A JP2000333477A JP11136610A JP13661099A JP2000333477A JP 2000333477 A JP2000333477 A JP 2000333477A JP 11136610 A JP11136610 A JP 11136610A JP 13661099 A JP13661099 A JP 13661099A JP 2000333477 A JP2000333477 A JP 2000333477A
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 超音波モータの高出力化を容易に達成する。
【解決手段】 第１及び第２電極部間の位相のずれを設
定次数の波長の１／４とし、各電極部をそれぞれ同数の
電極数で分割し、その分割された各分割電極部２ａ・２
ｂ・３ａ・３ｂを第１及び第２電極部が交互になるよう
に配設し、かつそれぞれの周方向間隔を等しく（λ／
４）した。 【効果】 進行波を発生させるための第１及び第２電極
部を周方向に交互に幾何学的に均等に配設したことか
ら、第１及び第２電極部の各分割電極部の間の周方向間
隔が全て等しくなり、固定子の振幅分布のばらつきが小
さくなるため、高出力化が可能になる。
定次数の波長の１／４とし、各電極部をそれぞれ同数の
電極数で分割し、その分割された各分割電極部２ａ・２
ｂ・３ａ・３ｂを第１及び第２電極部が交互になるよう
に配設し、かつそれぞれの周方向間隔を等しく（λ／
４）した。 【効果】 進行波を発生させるための第１及び第２電極
部を周方向に交互に幾何学的に均等に配設したことか
ら、第１及び第２電極部の各分割電極部の間の周方向間
隔が全て等しくなり、固定子の振幅分布のばらつきが小
さくなるため、高出力化が可能になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータに関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、円形弾性体に圧電体を貼り付けて
固定子とし、その圧電体に９０度位相のずれた２相の高
周波電圧を入力して弾性体に進行波を生じさせ、その弾
性体に所定の押圧力をもって同軸的に回転子を接触させ
ることにより、回転子を回転させて駆動力を取り出すよ
うにした超音波モータがある。そのような構造の超音波
モータにおいて可逆回転可能にしたものの固定子の一例
を図６に示す。
固定子とし、その圧電体に９０度位相のずれた２相の高
周波電圧を入力して弾性体に進行波を生じさせ、その弾
性体に所定の押圧力をもって同軸的に回転子を接触させ
ることにより、回転子を回転させて駆動力を取り出すよ
うにした超音波モータがある。そのような構造の超音波
モータにおいて可逆回転可能にしたものの固定子の一例
を図６に示す。
【０００３】図６において、円環状圧電素子の一方の面
（表面）に正逆転用のＡ相分極部１４及びＢ相分極部１
５を直径に対して左右対称に配設した円環状の圧電ユニ
ット１１を形成し、その圧電ユニット１１に円環状弾性
体１２を同軸的に貼り付けて固定子が構成される。その
弾性体１２には共振部としてのくし歯１２ａが周方向に
設けられており、そのくし歯１２ａに回転子としてのロ
ータ１３を弾発的に接触させて、進行波型の超音波モー
タが構成される。
（表面）に正逆転用のＡ相分極部１４及びＢ相分極部１
５を直径に対して左右対称に配設した円環状の圧電ユニ
ット１１を形成し、その圧電ユニット１１に円環状弾性
体１２を同軸的に貼り付けて固定子が構成される。その
弾性体１２には共振部としてのくし歯１２ａが周方向に
設けられており、そのくし歯１２ａに回転子としてのロ
ータ１３を弾発的に接触させて、進行波型の超音波モー
タが構成される。
【０００４】上記超音波モータにあっては、正転／逆転
は２相（Ａ・Ｂ相）の位相差によって切り替えられる。
例えばＡ相に対してＢ相を１／４周期進ませることで正
転、Ａ相に対してＢ相を１／４周期遅らせることで逆転
となる。
は２相（Ａ・Ｂ相）の位相差によって切り替えられる。
例えばＡ相に対してＢ相を１／４周期進ませることで正
転、Ａ相に対してＢ相を１／４周期遅らせることで逆転
となる。
【０００５】例えば設定次数を９次にしたものを図７に
示すが、図７（ａ）に示されるように、Ａ相分極部１４
とＢ相分極部１５との各電極を交互に極性を変えて９次
の波形の半波長に相当する長さで周方向に配設すると共
に、両分極部１４・１５の図における上側の間隔を上記
した１／４周期遅らせるために１／４波長（λ／４）開
けている。なお、図７（ｂ）に示されるように、圧電ユ
ニット１１の裏面には各分極部１４・１５に対応する弧
状のＡ相配線パターン１６ａ及びＢ相配線パターン１６
ｂが設けられている。各配線パターン１６ａ・１６ｂに
ドライバ１７からの所定の高周波電圧が印加されると、
圧電ユニット１１に９０度位相がずれた各定在波が発生
し、両波の重ね合わせで進行波が生じる。なお、両分極
部１４・１５の図における下側の間隔は３／４波長にな
る。
示すが、図７（ａ）に示されるように、Ａ相分極部１４
とＢ相分極部１５との各電極を交互に極性を変えて９次
の波形の半波長に相当する長さで周方向に配設すると共
に、両分極部１４・１５の図における上側の間隔を上記
した１／４周期遅らせるために１／４波長（λ／４）開
けている。なお、図７（ｂ）に示されるように、圧電ユ
ニット１１の裏面には各分極部１４・１５に対応する弧
状のＡ相配線パターン１６ａ及びＢ相配線パターン１６
ｂが設けられている。各配線パターン１６ａ・１６ｂに
ドライバ１７からの所定の高周波電圧が印加されると、
圧電ユニット１１に９０度位相がずれた各定在波が発生
し、両波の重ね合わせで進行波が生じる。なお、両分極
部１４・１５の図における下側の間隔は３／４波長にな
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記した超音波モータ
では設定次数の９次に隣接する８次及び１０次の周波数
でも共振してしまい、それにより、図８に示されるよう
に各歯１２ａの各振幅のばらつきが大きいという問題が
判明した。なお、図８では、横軸にくし歯１２ａの歯の
１つずつの位置を示し、縦軸に各歯の振幅の大きさを示
している。
では設定次数の９次に隣接する８次及び１０次の周波数
でも共振してしまい、それにより、図８に示されるよう
に各歯１２ａの各振幅のばらつきが大きいという問題が
判明した。なお、図８では、横軸にくし歯１２ａの歯の
１つずつの位置を示し、縦軸に各歯の振幅の大きさを示
している。
【０００７】上記各歯１２ａの各振幅のばらつきが大き
いというのは、Ｂ相分極部１５に所定の高周波電圧を印
加した場合の８次・９次・１０次の各波形の状態を示し
た図９に示されるように、Ｂ相分極部１５の端部付近を
節とした場合に、Ｂ相分極部１５の両端部付近の間に、
設定次数の９次はもちろんのこと、隣接する８次及び１
０次のものにおいても半波長が整数個入ることによる。
そのため、高出力化が困難であるという問題がある。
いというのは、Ｂ相分極部１５に所定の高周波電圧を印
加した場合の８次・９次・１０次の各波形の状態を示し
た図９に示されるように、Ｂ相分極部１５の端部付近を
節とした場合に、Ｂ相分極部１５の両端部付近の間に、
設定次数の９次はもちろんのこと、隣接する８次及び１
０次のものにおいても半波長が整数個入ることによる。
そのため、高出力化が困難であるという問題がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決し
て、高出力化を容易に達成し得ることを実現するため
に、本発明に於いては、周方向にそれぞれ分極された第
１分極部と第２分極部とを有する円環状圧電素子を貼り
付けた円環状弾性体からなる固定子と、前記固定子に同
軸的に設けられかつ軸線方向に押圧されて前記弾性体に
接触する回転子とを有する超音波モータであって、前記
各分極部をそれぞれさらに分割すると共に、前記第１分
極部から分割された第１分割分極部と前記第２分極部か
ら分割された第２分割分極部とを交互に配設するものと
した。
て、高出力化を容易に達成し得ることを実現するため
に、本発明に於いては、周方向にそれぞれ分極された第
１分極部と第２分極部とを有する円環状圧電素子を貼り
付けた円環状弾性体からなる固定子と、前記固定子に同
軸的に設けられかつ軸線方向に押圧されて前記弾性体に
接触する回転子とを有する超音波モータであって、前記
各分極部をそれぞれさらに分割すると共に、前記第１分
極部から分割された第１分割分極部と前記第２分極部か
ら分割された第２分割分極部とを交互に配設するものと
した。
【０００９】これによれば、円環状弾性体に進行波を発
生させるための第１及び第２分極部がそれぞれさらに分
割されて各複数の分割分極部が設けられ、それら各分割
分極部同士が周方向に交互に配設されることから、設定
次数に隣接する次数の共振をし難くすることができる。
生させるための第１及び第２分極部がそれぞれさらに分
割されて各複数の分割分極部が設けられ、それら各分割
分極部同士が周方向に交互に配設されることから、設定
次数に隣接する次数の共振をし難くすることができる。
【００１０】また、前記第１分割分極部と前記第２分割
分極部とをそれぞれ２ずつ設け、かつ前記各分割分極部
間の周方向間隔を全て等しくすることにより、分割分極
部の各分極長さを半波長（λ／２）にすると共に各分割
分極部間の周方向間隔を全てλ／４にすることができ、
各分割分極部間に空白部分を無くすことができ、共振時
のばらつきを極力無くすことができる。
分極部とをそれぞれ２ずつ設け、かつ前記各分割分極部
間の周方向間隔を全て等しくすることにより、分割分極
部の各分極長さを半波長（λ／２）にすると共に各分割
分極部間の周方向間隔を全てλ／４にすることができ、
各分割分極部間に空白部分を無くすことができ、共振時
のばらつきを極力無くすことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に添付の図面に示された具体
例に基づいて本発明の実施の形態について詳細に説明す
る。
例に基づいて本発明の実施の形態について詳細に説明す
る。
【００１２】図１は、本発明が適用された超音波モータ
の固定子を構成する圧電ユニット１の電極を示す図であ
り、図１（ａ）は従来例の図７（ａ）に対応し、図１
（ｂ）は同様に図７（ｂ）に対応する。また、本圧電ユ
ニット１を用いる超音波モータの他の要素は（円環状弾
性体１２やロータ１３など）従来例の図６と同様であっ
て良く、その詳細な説明は省略する。
の固定子を構成する圧電ユニット１の電極を示す図であ
り、図１（ａ）は従来例の図７（ａ）に対応し、図１
（ｂ）は同様に図７（ｂ）に対応する。また、本圧電ユ
ニット１を用いる超音波モータの他の要素は（円環状弾
性体１２やロータ１３など）従来例の図６と同様であっ
て良く、その詳細な説明は省略する。
【００１３】円環状の圧電ユニット１に環状に配設され
た第１及び第２分極部としてのＡ相分極部及びＢ相分極
部は、図１（ａ）に示されるように圧電ユニット１の中
心に対してそれぞれ点対称に配設された各一対の分割分
極部同士により構成されている。Ａ相分極部が第１分割
分極部としての第１Ａ相分極部２ａと第２Ａ相分極部２
ｂとからなり、Ｂ相電極部が第２分割分極部としての第
１Ｂ相分極部３ａと第２Ｂ相分極部３ｂとからなる。
た第１及び第２分極部としてのＡ相分極部及びＢ相分極
部は、図１（ａ）に示されるように圧電ユニット１の中
心に対してそれぞれ点対称に配設された各一対の分割分
極部同士により構成されている。Ａ相分極部が第１分割
分極部としての第１Ａ相分極部２ａと第２Ａ相分極部２
ｂとからなり、Ｂ相電極部が第２分割分極部としての第
１Ｂ相分極部３ａと第２Ｂ相分極部３ｂとからなる。
【００１４】それら各分極部２ａ・２ｂ・３ａ・３ｂに
はそれぞれ周方向に４つの電極が並べられており、各電
極は、９次の波を発生させた際の半波長（λ／２）に相
当する周方向長さをもってかつ極性を交互に逆転させて
配設されている。そして、各分極部２ａ・２ｂ・３ａ・
３ｂ同士が周方向に１／４波長（λ／４）の長さの間隔
をもってそれぞれ分離されている。
はそれぞれ周方向に４つの電極が並べられており、各電
極は、９次の波を発生させた際の半波長（λ／２）に相
当する周方向長さをもってかつ極性を交互に逆転させて
配設されている。そして、各分極部２ａ・２ｂ・３ａ・
３ｂ同士が周方向に１／４波長（λ／４）の長さの間隔
をもってそれぞれ分離されている。
【００１５】なお、図１（ｂ）に示されるように、圧電
ユニット１の裏面には各分極部２ａ・２ｂ・３ａ・３ｂ
に対応する弧状のＡ相配線パターン４ａ・４ｂ及びＢ相
配線パターン５ａ・５ｂが設けられている。従来例と同
様に、各配線パターン４ａ・４ｂ・５ａ・５ｂにドライ
バ６からの所定の高周波電圧が印加されると、圧電ユニ
ット１に９０度位相がずれた各波が発生し、両波の重ね
合わせで進行波が生じる。
ユニット１の裏面には各分極部２ａ・２ｂ・３ａ・３ｂ
に対応する弧状のＡ相配線パターン４ａ・４ｂ及びＢ相
配線パターン５ａ・５ｂが設けられている。従来例と同
様に、各配線パターン４ａ・４ｂ・５ａ・５ｂにドライ
バ６からの所定の高周波電圧が印加されると、圧電ユニ
ット１に９０度位相がずれた各波が発生し、両波の重ね
合わせで進行波が生じる。
【００１６】上記したように９０度ピッチで４分割され
た各分極部２ａ・２ｂ・３ａ・３ｂが配設されているこ
とから、一方の例えば両Ａ相分極部２ａ・２ｂについて
見ると、両者の間には、他方の各Ｂ相分極部３ａ・３ｂ
の周方向長さλ／２の電極が同数（４個）存在すると共
に電極の半分の周方向長さからなる間隔（λ／４）が２
箇所あることから、一対のＡ相分極部２ａ・２ｂの間に
は９次の波形の半波長（λ／２）が整数個入ることにな
る。これにより、図２の実線に示されるように、９次の
波が、第１Ｂ相分極部３ａから第２Ｂ相分極部３ｂに連
続し得る。これは両Ａ相分極部２ａ・２ｂにあっても同
じである。
た各分極部２ａ・２ｂ・３ａ・３ｂが配設されているこ
とから、一方の例えば両Ａ相分極部２ａ・２ｂについて
見ると、両者の間には、他方の各Ｂ相分極部３ａ・３ｂ
の周方向長さλ／２の電極が同数（４個）存在すると共
に電極の半分の周方向長さからなる間隔（λ／４）が２
箇所あることから、一対のＡ相分極部２ａ・２ｂの間に
は９次の波形の半波長（λ／２）が整数個入ることにな
る。これにより、図２の実線に示されるように、９次の
波が、第１Ｂ相分極部３ａから第２Ｂ相分極部３ｂに連
続し得る。これは両Ａ相分極部２ａ・２ｂにあっても同
じである。
【００１７】また、各分極部２ａ・２ｂ・３ａ・３ｂが
周方向に均等に配設されていることから、完全に幾何学
的バランスの取れたＡ相−Ｂ相−Ａ相−Ｂ相からなる分
極パターンとすることができる。これにより、従来例で
示した図８と同一目盛で示す図３に示されるように、固
定子のくし歯における各歯の振幅のばらつきが小さくな
った。
周方向に均等に配設されていることから、完全に幾何学
的バランスの取れたＡ相−Ｂ相−Ａ相−Ｂ相からなる分
極パターンとすることができる。これにより、従来例で
示した図８と同一目盛で示す図３に示されるように、固
定子のくし歯における各歯の振幅のばらつきが小さくな
った。
【００１８】また図４に、本実施の形態における９次の
設定次数に対する前後の各２次数の波形を示す。図の中
段に示される９次の波形は、設定次数であることから、
第１Ｂ相分極部３ａの両端部に節を有し、半波長（λ／
２）が整数個入っている。それに対して、１次違いの１
０次及び８次の各波形共、節を第１Ｂ相３ａの一方の端
部に合わせると、他方の端部に対して半波長の約半分ほ
ど節がずれている。そのため、１０次及び８次共、共振
が成立しない。
設定次数に対する前後の各２次数の波形を示す。図の中
段に示される９次の波形は、設定次数であることから、
第１Ｂ相分極部３ａの両端部に節を有し、半波長（λ／
２）が整数個入っている。それに対して、１次違いの１
０次及び８次の各波形共、節を第１Ｂ相３ａの一方の端
部に合わせると、他方の端部に対して半波長の約半分ほ
ど節がずれている。そのため、１０次及び８次共、共振
が成立しない。
【００１９】９次に対して２次離れた１１次及び７次の
波形は、図４の上段及び下段に示されているように、節
を第１Ｂ相３ａの一方の端部に合わせると、他方の端部
付近に節が位置し、共振が発生する。しかしながら、９
次に対して１１次及び７次が共振しても、その影響は図
５に示されるように１０次及び８次程大きくはないた
め、温度変化などにより設定次数以外の次数で共振して
逆向きの進行波が発生することを防止でき、モータの逆
転等の問題を解消できる。
波形は、図４の上段及び下段に示されているように、節
を第１Ｂ相３ａの一方の端部に合わせると、他方の端部
付近に節が位置し、共振が発生する。しかしながら、９
次に対して１１次及び７次が共振しても、その影響は図
５に示されるように１０次及び８次程大きくはないた
め、温度変化などにより設定次数以外の次数で共振して
逆向きの進行波が発生することを防止でき、モータの逆
転等の問題を解消できる。
【００２０】このように、上記した振幅のばらつきの低
減と、設定次数の近接次数の共振防止とにより、モータ
の高出力化が可能になり、同一形状の固定子及び回転子
を用いた場合でモータ出力を４Ｗから６Ｗにすることが
できた。
減と、設定次数の近接次数の共振防止とにより、モータ
の高出力化が可能になり、同一形状の固定子及び回転子
を用いた場合でモータ出力を４Ｗから６Ｗにすることが
できた。
【００２１】なお、本実施の形態では９次を設定次数に
した場合を示したが、設定次数は任意であり、９次に限
定されるものではない。例えば４分割の場合には、電極
の長さを半波長（λ／２）として各相に整数（Ｎ）個の
電極を並べることにより、（２Ｎ＋１）次の次数を設定
することができる。また、全周を４分割して各一対のＡ
相及びＢ相分極部を配設したが、分割数も４分割に限定
されるものではない。
した場合を示したが、設定次数は任意であり、９次に限
定されるものではない。例えば４分割の場合には、電極
の長さを半波長（λ／２）として各相に整数（Ｎ）個の
電極を並べることにより、（２Ｎ＋１）次の次数を設定
することができる。また、全周を４分割して各一対のＡ
相及びＢ相分極部を配設したが、分割数も４分割に限定
されるものではない。
【００２２】
【発明の効果】このように本発明によれば、進行波を発
生させるための第１及び第２分極部をそれぞれ分割する
と共に、各分割分極部を周方向に交互に配設することに
より、進行波を発生させるための第１及び第２分極部を
それぞれ２分割以上に分割することになるため、設定次
数に隣接する次数での共振をし難くしてその隣接次数の
共振による影響を無くすことができ、高出力が可能にな
る。また、各分割分極部を２つずつにしかつ各周方向間
隔をそれぞれ等しくすることにより、各分割分極部が幾
何学的に均等に配設されて、固定子の振幅分布のばらつ
きが小さくなり、より一層の高出力化が可能になる。
生させるための第１及び第２分極部をそれぞれ分割する
と共に、各分割分極部を周方向に交互に配設することに
より、進行波を発生させるための第１及び第２分極部を
それぞれ２分割以上に分割することになるため、設定次
数に隣接する次数での共振をし難くしてその隣接次数の
共振による影響を無くすことができ、高出力が可能にな
る。また、各分割分極部を２つずつにしかつ各周方向間
隔をそれぞれ等しくすることにより、各分割分極部が幾
何学的に均等に配設されて、固定子の振幅分布のばらつ
きが小さくなり、より一層の高出力化が可能になる。
【図１】（ａ）は本発明に基づく圧電ユニットの分極部
の配置を示す図であり、（ｂ）は圧電ユニットの配線パ
ターンを示す図である。
の配置を示す図であり、（ｂ）は圧電ユニットの配線パ
ターンを示す図である。
【図２】本発明に基づく設定次数を９次にした場合の波
形を示す図。
形を示す図。
【図３】弾性体１２のくし歯１２ａの振幅分布を示す
図。
図。
【図４】本発明に基づく設定次数（９次）の前後各２次
の各波形を示す図。
の各波形を示す図。
【図５】本発明に基づく設定次数（９次）の前後各２次
の振幅の大きさを示す図。
の振幅の大きさを示す図。
【図６】従来の超音波モータの構造を示す要部斜視図。
【図７】（ａ）は従来の圧電ユニットの分極部の配置を
示す図であり、（ｂ）はその圧電ユニットの配線パター
ンを示す図である。
示す図であり、（ｂ）はその圧電ユニットの配線パター
ンを示す図である。
【図８】従来の弾性体１２のくし歯１２ａの振幅分布を
示す図。
示す図。
【図９】従来の設定次数を９次にした場合の設定次数及
びその前後の次数の各波形を示す図。
びその前後の次数の各波形を示す図。
１ 圧電ユニット ２ａ 第１Ａ相分極部、２ｂ 第２Ａ相分極部 ３ａ 第１Ｂ相分極部、３ｂ 第２Ｂ相分極部 ４ａ・４ｂ Ａ相配線パターン ５ａ・５ｂ Ｂ相配線パターン １１ 圧電ユニット １２ 弾性体、１２ａ くし歯 １３ ロータ １４・１５ 分極部 １６ａ・１６ｂ 配線パターン
フロントページの続き (72)発明者 斎藤 淳一 群馬県桐生市広沢町１丁目2681番地 株式 会社ミツバ内 Ｆターム(参考） 5H680 AA01 AA08 BB03 BB16 CC07 DD01 DD23 DD35 DD39 DD53 DD66 DD87 DD92 DD97 FF08 FF33
Claims (2)
- 【請求項１】 周方向にそれぞれ分極された第１分極部
と第２分極部とを有する円環状圧電素子を貼り付けた円
環状弾性体からなる固定子と、前記固定子に同軸的に設
けられかつ軸線方向に押圧されて前記弾性体に接触する
回転子とを有する超音波モータであって、 前記各分極部をそれぞれさらに分割すると共に、前記第
１分極部から分割された第１分割分極部と前記第２分極
部から分割された第２分割分極部とを交互に配設したこ
とを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項２】 前記第１分割分極部と前記第２分割分極
部とをそれぞれ２つずつ設け、かつ前記各分割分極部間
の周方向間隔を全て等しくしたことを特徴とする請求項
１に記載の超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11136610A JP2000333477A (ja) | 1999-05-18 | 1999-05-18 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11136610A JP2000333477A (ja) | 1999-05-18 | 1999-05-18 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000333477A true JP2000333477A (ja) | 2000-11-30 |
Family
ID=15179333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11136610A Pending JP2000333477A (ja) | 1999-05-18 | 1999-05-18 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000333477A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6952073B2 (en) | 2002-04-18 | 2005-10-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driving apparatus, vibration member and driving system for the vibration wave driving apparatus |
| JP2008067447A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Canon Inc | 振動制御装置、及び振動制御方法 |
| EP2284984A1 (en) * | 2008-05-27 | 2011-02-16 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Ultrasonic motor |
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