JP2000317247A - ガス吸収ゲッターおよびその製造方法 - Google Patents
ガス吸収ゲッターおよびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】様々な形状、寸法に成形加工することが容易
で、機器への組込みまでの取り扱い中、および機器内で
の使用中に合金の剥落・遊離がおきないゲッター、およ
びその製造方法の提供。 【解決手段】ケース２とその中に収容されケースと一体
に成形されたガス吸収合金粉末３とから成り、上記ガス
吸収合金は、ケースの開口部、例えばスリット４、貫通
孔4-1を通じて外気と接触可能であることを特徴とする
ガス吸収ゲッター。このゲッターは、金属の薄板を筒状
に成形しつつその内部にガス吸収合金粉末を充填し、圧
延、線引、プレスもしくは切断、またはこれらの２以上
の工程により容易に製造することができる。
で、機器への組込みまでの取り扱い中、および機器内で
の使用中に合金の剥落・遊離がおきないゲッター、およ
びその製造方法の提供。 【解決手段】ケース２とその中に収容されケースと一体
に成形されたガス吸収合金粉末３とから成り、上記ガス
吸収合金は、ケースの開口部、例えばスリット４、貫通
孔4-1を通じて外気と接触可能であることを特徴とする
ガス吸収ゲッター。このゲッターは、金属の薄板を筒状
に成形しつつその内部にガス吸収合金粉末を充填し、圧
延、線引、プレスもしくは切断、またはこれらの２以上
の工程により容易に製造することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば魔法瓶、プ
ラズマディスプレイパネル等のような内部が真空または
不活性ガス雰囲気に保たれる容器、機器（以下、密閉機
器と総称する）の中に封入され、その内部の空気または
不純物ガスを吸収するゲッターおよびその製造方法に関
する。
ラズマディスプレイパネル等のような内部が真空または
不活性ガス雰囲気に保たれる容器、機器（以下、密閉機
器と総称する）の中に封入され、その内部の空気または
不純物ガスを吸収するゲッターおよびその製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】前記のような密閉機器は、その製造時に
真空ポンプで内部を真空引きして密封するか、あるいは
真空引きした後に不活性ガスを封入して作製する。そし
て、使用中の真空度の低下を防ぐため、あるいは不活性
ガス中の不純物ガスを吸収するために、機器の内部にガ
ス吸収剤（ゲッター）を封入することが多い。また、機
器の種類や製法によっては、真空ポンプを使用せずにゲ
ッターのみで目的の真空度を得ることもある。
真空ポンプで内部を真空引きして密封するか、あるいは
真空引きした後に不活性ガスを封入して作製する。そし
て、使用中の真空度の低下を防ぐため、あるいは不活性
ガス中の不純物ガスを吸収するために、機器の内部にガ
ス吸収剤（ゲッター）を封入することが多い。また、機
器の種類や製法によっては、真空ポンプを使用せずにゲ
ッターのみで目的の真空度を得ることもある。
【０００３】例えば、プラズマディスプレイパネルで
は、真空引きした後に、ネオンやキセノンなどの不活性
ガスを封入するが、それらに混入する酸素、窒素、水蒸
気、あるいはパネルの製造工程で不可避的に発生するメ
タン等の炭化水素ガスの吸収除去を目的としてゲッター
が使用される。上記のような不純物ガスはパネル使用時
のプラズマの発生強度や安定性に悪影響を及ぼすので、
その除去が必須である。また、プラズマディスプレイパ
ネルは、通常、１０年程度の商品寿命が想定されている
ので、その間に部品材料から上記のようなガスが微量で
も発生すると機能低下を招く。従って、その内部に封入
されるゲッターには長期にわたってガス吸収能力の低下
がないこと、即ち、長寿命であることが必要とされる。
は、真空引きした後に、ネオンやキセノンなどの不活性
ガスを封入するが、それらに混入する酸素、窒素、水蒸
気、あるいはパネルの製造工程で不可避的に発生するメ
タン等の炭化水素ガスの吸収除去を目的としてゲッター
が使用される。上記のような不純物ガスはパネル使用時
のプラズマの発生強度や安定性に悪影響を及ぼすので、
その除去が必須である。また、プラズマディスプレイパ
ネルは、通常、１０年程度の商品寿命が想定されている
ので、その間に部品材料から上記のようなガスが微量で
も発生すると機能低下を招く。従って、その内部に封入
されるゲッターには長期にわたってガス吸収能力の低下
がないこと、即ち、長寿命であることが必要とされる。
【０００４】ゲッター用の物質としては、例えば特公平
5-17293号公報に開示されるように、Zr−Fe−V系をはじ
め、Zr−Al系、Zr−Ni系、Zr−Fe系等の合金が開発され
ている。これらの合金は、反応面積をできるだけ大きく
する必要があるため、通常、平均粒径100μm以下の粉粒
体とし、これを取り扱いの便宜上、ペレットに成形して
使用している。また、米国特許第3,652,317号および同
3,856,709号の明細書には、薄い帯状の基材にゲッター
合金の粉粒体を載せて押圧する異形ゲッターの製造方法
が開示されている。
5-17293号公報に開示されるように、Zr−Fe−V系をはじ
め、Zr−Al系、Zr−Ni系、Zr−Fe系等の合金が開発され
ている。これらの合金は、反応面積をできるだけ大きく
する必要があるため、通常、平均粒径100μm以下の粉粒
体とし、これを取り扱いの便宜上、ペレットに成形して
使用している。また、米国特許第3,652,317号および同
3,856,709号の明細書には、薄い帯状の基材にゲッター
合金の粉粒体を載せて押圧する異形ゲッターの製造方法
が開示されている。
【０００５】ペレット状のゲッターはプレス成形法で製
造するのが一般的であるが、長さが太さの３倍程度まで
のものしか製造できない。また、ダイスやパンチ等の成
形具の作製上の制約から、直径で１mm以下のものは製造
が困難である。
造するのが一般的であるが、長さが太さの３倍程度まで
のものしか製造できない。また、ダイスやパンチ等の成
形具の作製上の制約から、直径で１mm以下のものは製造
が困難である。
【０００６】前記の米国特許明細書では、その製造方法
で厚さが0.2mm程度の帯状のゲッターが製造できるとし
ているが、圧延ロールの作製上の問題からその幅は数cm
から数mm程度までが限界である。さらに、スリットして
狭幅のものにすることも可能ではあるが、その場合は切
断代による歩留まり低下が大きく、工業的生産には不向
きである。上記いずれのゲッターも、形状変更の柔軟性
がなく、しかもガス吸収合金は全体が露出した状態であ
るために、機器への組込み作業時の取り扱い中に崩壊し
たり、機器内での使用中に剥落・遊離して機器に不測の
障害をもたらすことがある。特に、プラズマディスプレ
イパネルでは、遊離した粉末がパネルの前面に移動して
プラズマの発生を阻害したり、粉末の陰が映り込んで画
像の品質を損ねるといった問題を生じる。
で厚さが0.2mm程度の帯状のゲッターが製造できるとし
ているが、圧延ロールの作製上の問題からその幅は数cm
から数mm程度までが限界である。さらに、スリットして
狭幅のものにすることも可能ではあるが、その場合は切
断代による歩留まり低下が大きく、工業的生産には不向
きである。上記いずれのゲッターも、形状変更の柔軟性
がなく、しかもガス吸収合金は全体が露出した状態であ
るために、機器への組込み作業時の取り扱い中に崩壊し
たり、機器内での使用中に剥落・遊離して機器に不測の
障害をもたらすことがある。特に、プラズマディスプレ
イパネルでは、遊離した粉末がパネルの前面に移動して
プラズマの発生を阻害したり、粉末の陰が映り込んで画
像の品質を損ねるといった問題を生じる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、様々な形
状、寸法に成形加工することが容易で、機器への組込み
までの取り扱い中、および機器内での使用中に合金の剥
落・遊離がおきないゲッター、ならびにそのゲッターを
安価に量産することが可能な製造方法を提供することを
課題としてなされたものである。
状、寸法に成形加工することが容易で、機器への組込み
までの取り扱い中、および機器内での使用中に合金の剥
落・遊離がおきないゲッター、ならびにそのゲッターを
安価に量産することが可能な製造方法を提供することを
課題としてなされたものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、「開口
部を有するケースと、その中に収容され上記のケースと
一体成形されたガス吸収合金の粉粒体とから成ることを
特徴とするガス吸収ゲッター」にある。
部を有するケースと、その中に収容され上記のケースと
一体成形されたガス吸収合金の粉粒体とから成ることを
特徴とするガス吸収ゲッター」にある。
【０００９】上記のケースは、耐熱性と加工性のよい金
属、例えば、鉄、ニッケル、銅、アルミニウム、マグネ
シウム、チタン、コバルト、ジルコニウム、またはそれ
らの合金の薄板で製造されることが望ましい。また、こ
のケースは多数の小径の貫通孔を持つ多孔質のものであ
ってもよい。
属、例えば、鉄、ニッケル、銅、アルミニウム、マグネ
シウム、チタン、コバルト、ジルコニウム、またはそれ
らの合金の薄板で製造されることが望ましい。また、こ
のケースは多数の小径の貫通孔を持つ多孔質のものであ
ってもよい。
【００１０】本発明のゲッターの全体形状は、線状、棒
状または帯状（これらを適当な長さに切断したものを含
む）で、その横断面（長軸に垂直の断面）は、円、楕
円、または多角形等の任意の形状でよい。
状または帯状（これらを適当な長さに切断したものを含
む）で、その横断面（長軸に垂直の断面）は、円、楕
円、または多角形等の任意の形状でよい。
【００１１】本発明はまた「金属の薄板を筒状に成形し
つつその内部にガス吸収合金粉末を充填し、圧延、線
引、プレスもしくは切断、またはこれらの２以上の工程
により加工することを特徴とする上記のゲッターの製造
方法」を要旨とする。
つつその内部にガス吸収合金粉末を充填し、圧延、線
引、プレスもしくは切断、またはこれらの２以上の工程
により加工することを特徴とする上記のゲッターの製造
方法」を要旨とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１の(a)〜(f)は、本発明のゲッ
ター１の長手方向に垂直な断面（以下、単に断面とい
う）のいくつかの例を示す図である。ゲッターはいずれ
もケース２とその内部に充填されたガス吸収合金の粉粒
体３（以下、これを「ガス吸収剤」という）とからな
る。図示の例では、ケース２の少なくとも一カ所には、
ガス吸収剤３を外気と接触させるための開口部がある。
これは、ケースの両端部の合わせ目を密着させずに設け
たスリット４、またはケースそのものに設けた多数の貫
通孔4-1、あるいは図２に示す切り口５のいずれか、ま
たはそれらの組み合わせでよい。
ター１の長手方向に垂直な断面（以下、単に断面とい
う）のいくつかの例を示す図である。ゲッターはいずれ
もケース２とその内部に充填されたガス吸収合金の粉粒
体３（以下、これを「ガス吸収剤」という）とからな
る。図示の例では、ケース２の少なくとも一カ所には、
ガス吸収剤３を外気と接触させるための開口部がある。
これは、ケースの両端部の合わせ目を密着させずに設け
たスリット４、またはケースそのものに設けた多数の貫
通孔4-1、あるいは図２に示す切り口５のいずれか、ま
たはそれらの組み合わせでよい。
【００１３】図１の(a)に示すのは断面が円形のもの
で、(b)に示すのは断面が楕円形、(c)に示すのは正方
形、(d)に示すのは矩形、（e）に示すのは三角形であ
る。(b)や(d)の形状のものは更に扁平にして、いわゆる
帯（テープ）状にすることもできる。さらに、(f)に示
すように開口部を大きくしてもよい。要するに断面形状
はゲッターの用途に応じて様々に変えることができる。
で、(b)に示すのは断面が楕円形、(c)に示すのは正方
形、(d)に示すのは矩形、（e）に示すのは三角形であ
る。(b)や(d)の形状のものは更に扁平にして、いわゆる
帯（テープ）状にすることもできる。さらに、(f)に示
すように開口部を大きくしてもよい。要するに断面形状
はゲッターの用途に応じて様々に変えることができる。
【００１４】ゲッターは、使用前にガス吸収剤の活性化
のために200〜700℃程度で熱処理される。従って、ケー
ス２の材料は、その温度で変形しない程度の耐熱性を有
する必要がある。また、後述する成形加工を行うために
は、加工性に富む材料が望ましい。そのような材料とし
て前記の金属または合金があるが、これらに限られるわ
けではない。
のために200〜700℃程度で熱処理される。従って、ケー
ス２の材料は、その温度で変形しない程度の耐熱性を有
する必要がある。また、後述する成形加工を行うために
は、加工性に富む材料が望ましい。そのような材料とし
て前記の金属または合金があるが、これらに限られるわ
けではない。
【００１５】ケースの厚さは、ゲッターのサイズにもよ
るが、およそ0.05〜１mm程度でよい。ケースが相対的に
薄いほどガス吸収剤の充填比率を高めることができる。
るが、およそ0.05〜１mm程度でよい。ケースが相対的に
薄いほどガス吸収剤の充填比率を高めることができる。
【００１６】ガス吸収剤３の種類は任意である。前述の
Zr−Al系、Zr−Ni系、Zr−Fe系Zr−Fe−V系等のガス吸
収合金が使用できる。これらのガス吸収合金の粉粒体を
使用するが、その形状や粒サイズには特に制約はない。
球形の場合は、例えば５μｍから1mm程度のものでよ
い。５μｍよりも細粒では、酸化しやすいので大気中で
の取り扱いが難しく、１mmを超えると表面積が小さくな
ってガス吸収能力が低下する。薄片状の場合は、その厚
さがおよそ５μｍから１mm程度であればよい。なお、充
填密度を高めるためにはできるだけ球に近い形状で、か
つ、粒径の異なる粉粒体が混在するのが望ましい。
Zr−Al系、Zr−Ni系、Zr−Fe系Zr−Fe−V系等のガス吸
収合金が使用できる。これらのガス吸収合金の粉粒体を
使用するが、その形状や粒サイズには特に制約はない。
球形の場合は、例えば５μｍから1mm程度のものでよ
い。５μｍよりも細粒では、酸化しやすいので大気中で
の取り扱いが難しく、１mmを超えると表面積が小さくな
ってガス吸収能力が低下する。薄片状の場合は、その厚
さがおよそ５μｍから１mm程度であればよい。なお、充
填密度を高めるためにはできるだけ球に近い形状で、か
つ、粒径の異なる粉粒体が混在するのが望ましい。
【００１７】スリット４は、ガス吸収剤が外の雰囲気と
接触してその機能（雰囲気中のガスの吸収）を発揮する
ためのものである。従って、このスリットに替えて、あ
るいはスリットに加えて、多数の小孔（通気孔）を設け
てもよい。スリットの幅、あるいは通気孔の径は、必ず
しも充填するガス吸収剤のサイズよりも小さくする必要
はない。ただし、図１に示すように、ガス吸収剤３は、
ケースの外側エッジを結ぶ線Ｌの内側に収めるのが望ま
しい。
接触してその機能（雰囲気中のガスの吸収）を発揮する
ためのものである。従って、このスリットに替えて、あ
るいはスリットに加えて、多数の小孔（通気孔）を設け
てもよい。スリットの幅、あるいは通気孔の径は、必ず
しも充填するガス吸収剤のサイズよりも小さくする必要
はない。ただし、図１に示すように、ガス吸収剤３は、
ケースの外側エッジを結ぶ線Ｌの内側に収めるのが望ま
しい。
【００１８】ガス吸収合金は極めて硬質であるが、本発
明のゲッターではガス吸収合金の粉粒体がケースと一体
に加工される過程で相互に絡み合うだけでなくケースに
接する部分ではそれに食い込んだ状態になる。従って、
図１、２に示したように、開口部が大きくてもガス吸収
合金が剥落することはない。しかし、ガス吸収剤がケー
スの外側エッジを結ぶ線Ｌよりも外に突出していると、
取り扱い時に、ゲッターの相互接触や他の器物との接触
でガス吸収剤の一部が剥落するおそれがある。
明のゲッターではガス吸収合金の粉粒体がケースと一体
に加工される過程で相互に絡み合うだけでなくケースに
接する部分ではそれに食い込んだ状態になる。従って、
図１、２に示したように、開口部が大きくてもガス吸収
合金が剥落することはない。しかし、ガス吸収剤がケー
スの外側エッジを結ぶ線Ｌよりも外に突出していると、
取り扱い時に、ゲッターの相互接触や他の器物との接触
でガス吸収剤の一部が剥落するおそれがある。
【００１９】後述するロールフォーミング法等で連続的
に製造した長尺のゲッターを任意の長さに切断して使用
する場合、その切断端部は、図２に示すように、開口し
た形状になる。その場合は、この開口部（切り口）５が
通気孔として役立つ。なお、端部に開口があっても、充
填したガス吸収剤がケース端面から外側に露出しないよ
うにすれば、剥落のおそれはないが、例えば図２の(b)
に示すように、ケース端部をカシメておいてもよい。な
お、図２に示すようなゲッターには、ケースのスリット
や貫通孔は必ずしも必要ではないが、それらを設けても
よい。
に製造した長尺のゲッターを任意の長さに切断して使用
する場合、その切断端部は、図２に示すように、開口し
た形状になる。その場合は、この開口部（切り口）５が
通気孔として役立つ。なお、端部に開口があっても、充
填したガス吸収剤がケース端面から外側に露出しないよ
うにすれば、剥落のおそれはないが、例えば図２の(b)
に示すように、ケース端部をカシメておいてもよい。な
お、図２に示すようなゲッターには、ケースのスリット
や貫通孔は必ずしも必要ではないが、それらを設けても
よい。
【００２０】本発明のゲッターは種々の方法で製造する
ことができる、例えば、ケースとなる中空材（管）をま
ず作製し、その内部にガス吸収剤を充填し、プレス等に
よって圧縮し一体化させてもよい。この場合、管には予
め通気孔または／およびスリットを設けておく。そのま
ま（以後の加工を行わずに）ゲッターとして使用するの
であれば、ケースの材料には特段の加工性が要求されな
いから、その材料はセラミックスやガラス等であっても
よい。
ことができる、例えば、ケースとなる中空材（管）をま
ず作製し、その内部にガス吸収剤を充填し、プレス等に
よって圧縮し一体化させてもよい。この場合、管には予
め通気孔または／およびスリットを設けておく。そのま
ま（以後の加工を行わずに）ゲッターとして使用するの
であれば、ケースの材料には特段の加工性が要求されな
いから、その材料はセラミックスやガラス等であっても
よい。
【００２１】生産効率およびゲッター形状の可変性とい
う点から望ましい製造方法は、次に述べるロールフォー
ミング法である。
う点から望ましい製造方法は、次に述べるロールフォー
ミング法である。
【００２２】ロールフォーミング法とは、電縫鋼管等の
製造に用いられる方法で、図３に示すように、帯状の薄
板（ケース材）６を太鼓型ロール８、鼓型ロール９、10
等によって漸次円筒状に成形していく方法である。その
成形途中でホッパー７から充填剤（ガス吸収剤）３を内
部に供給し、最終的に所定形状の長尺のゲッターを連続
的に製造することができる。
製造に用いられる方法で、図３に示すように、帯状の薄
板（ケース材）６を太鼓型ロール８、鼓型ロール９、10
等によって漸次円筒状に成形していく方法である。その
成形途中でホッパー７から充填剤（ガス吸収剤）３を内
部に供給し、最終的に所定形状の長尺のゲッターを連続
的に製造することができる。
【００２３】図４は、ロールフォーミングの成形過程に
おけるゲッターの断面を模式的に示したものである。同
図(b)までをロールフォーミング法で成形し、その後、
抽伸法（線引き法）等で、(c)に示すような小径のもの
に加工してもよい。さらに、圧延加工、プレス加工等に
よって、楕円等の扁平な形状（帯状）にすることもでき
る。こうして得られた長尺材を任意の長さに切断して、
製品ゲッターとする。
おけるゲッターの断面を模式的に示したものである。同
図(b)までをロールフォーミング法で成形し、その後、
抽伸法（線引き法）等で、(c)に示すような小径のもの
に加工してもよい。さらに、圧延加工、プレス加工等に
よって、楕円等の扁平な形状（帯状）にすることもでき
る。こうして得られた長尺材を任意の長さに切断して、
製品ゲッターとする。
【００２４】ケースの素材として、予め通気孔を設けた
金属板を使用すれば、成形後の製品ゲッターのスリット
は必ずしも無くてもよい。
金属板を使用すれば、成形後の製品ゲッターのスリット
は必ずしも無くてもよい。
【００２５】
【実施例】V：18wt％、Ni：1.5wt％、Fe：3.5wt％、残
部：Zrの組成のガス吸収合金を真空誘導炉で溶解して真
空中で造塊し、アルゴン雰囲気中で粉砕して平均粒径50
μｍの粉体（ガス吸収剤）とした。
部：Zrの組成のガス吸収合金を真空誘導炉で溶解して真
空中で造塊し、アルゴン雰囲気中で粉砕して平均粒径50
μｍの粉体（ガス吸収剤）とした。
【００２６】ケース材料として純ニッケルの幅７mm、厚
さ0.5mmの板を使用し、ロールフォーミング法で円筒状
に成形し、その途中で上記ガス吸収剤を供給しながら、
外径2.2mmに成形した。ケースの合わせ目のスリット幅
は、約0.1mmとした。この成形材から、次の供試材を作
製した。
さ0.5mmの板を使用し、ロールフォーミング法で円筒状
に成形し、その途中で上記ガス吸収剤を供給しながら、
外径2.2mmに成形した。ケースの合わせ目のスリット幅
は、約0.1mmとした。この成形材から、次の供試材を作
製した。
【００２７】(1)供試材１ 上記の成形材に線引き加工を施して、外径0.8mm（ケー
ス厚さ0.2mm）のゲッターを製造した。この状態で、ガ
ス吸収剤の充填量は0.73g／mであった。このゲッターを
長さ50mmに切断して供試材とした。なお、この供試材
は、ケースの合わせ目に幅約30μｍのスリットを有す
る。
ス厚さ0.2mm）のゲッターを製造した。この状態で、ガ
ス吸収剤の充填量は0.73g／mであった。このゲッターを
長さ50mmに切断して供試材とした。なお、この供試材
は、ケースの合わせ目に幅約30μｍのスリットを有す
る。
【００２８】(2)供試材２ 上記の成形材にプレス加工を施して幅2.3mm、厚さ1.5mm
の扁平状にし、長さ50mmに切断して供試材とした。この
ときのガス吸収剤の充填量は4.3g／mであり、ケースの
合わせ目のスリットの幅は約0.6mmであった。
の扁平状にし、長さ50mmに切断して供試材とした。この
ときのガス吸収剤の充填量は4.3g／mであり、ケースの
合わせ目のスリットの幅は約0.6mmであった。
【００２９】(3)供試材３ 上記の成形材をケースの合わせ目（スリット）がロール
に接するようにして、径250mmのロールで圧延して幅3.7
mm、厚さ0.5mmの扁平状にし、長さ50mmに切断して供試
材とした。このときのガス吸収剤の充填量は2.6g／mで
あり、ケースの合わせ目のスリットは拡大して全幅にわ
たってガス吸収剤が露出した状態（但し、ケースの外側
延長線より外には突出していない）であった。
に接するようにして、径250mmのロールで圧延して幅3.7
mm、厚さ0.5mmの扁平状にし、長さ50mmに切断して供試
材とした。このときのガス吸収剤の充填量は2.6g／mで
あり、ケースの合わせ目のスリットは拡大して全幅にわ
たってガス吸収剤が露出した状態（但し、ケースの外側
延長線より外には突出していない）であった。
【００３０】別に比較のために下記の供試材を作製し
た。
た。
【００３１】(4)供試材４ 前記のガス吸収剤を内径３mmの金型に充填し、５t/cm2
の圧力で圧粉成形し、径３mm、長さ４mmのペレット状
（小円柱形）の供試材とした。
の圧力で圧粉成形し、径３mm、長さ４mmのペレット状
（小円柱形）の供試材とした。
【００３２】上記の供試材１〜４を使用して次の試験を
行った。即ち、内径５mm、長さ150mmの管に供試材を入
れ、450℃に加熱した管の一方の端からアルゴンガス
（不純物として3000ppmのN2および1000ppmのCH4を含
む）を10ミリリットル／分の割合で流した。供試材は、
その内部のガス吸収剤の量が全て同量（１g）になるよ
うに調整した。この試験中、管の出口から排出されるガ
スに含まれる不純物ガスをガスクロマトグラフィーで分
析した。その結果を表１に示す。
行った。即ち、内径５mm、長さ150mmの管に供試材を入
れ、450℃に加熱した管の一方の端からアルゴンガス
（不純物として3000ppmのN2および1000ppmのCH4を含
む）を10ミリリットル／分の割合で流した。供試材は、
その内部のガス吸収剤の量が全て同量（１g）になるよ
うに調整した。この試験中、管の出口から排出されるガ
スに含まれる不純物ガスをガスクロマトグラフィーで分
析した。その結果を表１に示す。
【００３３】併せてゲッター（供試材）の強度を評価す
るために、供試材１〜３の長さを供試材４と同じ４mmに
そろえて、ラトラ値を求めた。その方法は下記のとおり
である。
るために、供試材１〜３の長さを供試材４と同じ４mmに
そろえて、ラトラ値を求めた。その方法は下記のとおり
である。
【００３４】供試材１〜４の各々５個をまとめて重量
（Ａ）を測定した。次いでこれらをラトラ試験機のかご
に入れ、90rpmの回転速度で100回転させ、その後供試材
をかごから取り出して総重量（Ｂ）を測定した。ラトラ
値（Ｓ）は、次の計算式で求められる。この値が小さい
ほど、供試材から剥落したガス吸収合金の粉粒が少ない
ことになる。試験結果を表１に併記する。
（Ａ）を測定した。次いでこれらをラトラ試験機のかご
に入れ、90rpmの回転速度で100回転させ、その後供試材
をかごから取り出して総重量（Ｂ）を測定した。ラトラ
値（Ｓ）は、次の計算式で求められる。この値が小さい
ほど、供試材から剥落したガス吸収合金の粉粒が少ない
ことになる。試験結果を表１に併記する。
【００３５】Ｓ＝｛（Ａ−Ｂ）／Ａ｝×１００ （％）
【００３６】
【表１】
【００３７】表１に示すとおり、供試材１〜４のガス吸
収能力にはほとんど差がない。しかし、供試材４（ガス
吸収合金がむき出しのペレット状ゲッター）では、ラト
ラ値が5.5であるのに対して、本発明のゲッター（供試
材１〜３）のそれは著しく小さい。なお、上記のラトラ
試験は、ゲッターの取り扱いや使用の条件に較べて格段
に厳しい試験であるから、１％前後のラトラ値は実用上
まったく問題にならない。
収能力にはほとんど差がない。しかし、供試材４（ガス
吸収合金がむき出しのペレット状ゲッター）では、ラト
ラ値が5.5であるのに対して、本発明のゲッター（供試
材１〜３）のそれは著しく小さい。なお、上記のラトラ
試験は、ゲッターの取り扱いや使用の条件に較べて格段
に厳しい試験であるから、１％前後のラトラ値は実用上
まったく問題にならない。
【００３８】上記のとおり、本発明のゲッターは、ケー
スに収容されているにもかかわらず、ガス吸収能力にお
いては従来のペレット型ゲッターと遜色なく、他方、耐
久性（耐剥落性）においてははるかに勝る。
スに収容されているにもかかわらず、ガス吸収能力にお
いては従来のペレット型ゲッターと遜色なく、他方、耐
久性（耐剥落性）においてははるかに勝る。
【００３９】
【発明の効果】本発明のゲッターは、ケースに収容され
て一体成形されたものであるから、その取り扱い中およ
び使用中にガス吸収剤が剥落したり、遊離したりするこ
とがない。しかも、所望の形状に成形することができる
ので、使用目的に応じて様々な形状に整えることが可能
である。本発明のゲッターは、プラズマディスプレイパ
ネルをはじめとする密閉機器内に置いて内部のガスを吸
収するゲッターとして、長期にわたり安定してその機能
を発揮する。このゲッターは、種々の方法で製造できる
が、特にロールフォーミング法を用いて製造すれば、安
価に量産することができる。
て一体成形されたものであるから、その取り扱い中およ
び使用中にガス吸収剤が剥落したり、遊離したりするこ
とがない。しかも、所望の形状に成形することができる
ので、使用目的に応じて様々な形状に整えることが可能
である。本発明のゲッターは、プラズマディスプレイパ
ネルをはじめとする密閉機器内に置いて内部のガスを吸
収するゲッターとして、長期にわたり安定してその機能
を発揮する。このゲッターは、種々の方法で製造できる
が、特にロールフォーミング法を用いて製造すれば、安
価に量産することができる。
【図１】本発明のゲッターの横断面形状の数例を模式的
に示す図である。
に示す図である。
【図２】本発明のゲッターの縦断面形状の数例を模式的
に示す図である。
に示す図である。
【図３】本発明のゲッターを製造するロールフォーミン
グ法を説明する図である。
グ法を説明する図である。
【図４】本発明のゲッターの製造過程での横断面形状を
示す図である。
示す図である。
１…ゲッター、 ２…ケース、 ３…ガス吸収合
金、４…開口部（スリット）、 4-1…開口部（貫通
孔） ５…開口部（切り口）、 ６…ケース材料（金属薄
板） ７…ホッパー、 ８…太鼓型ロール、 ９…鼓型ロ
ール 10…鼓型竪ロール
金、４…開口部（スリット）、 4-1…開口部（貫通
孔） ５…開口部（切り口）、 ６…ケース材料（金属薄
板） ７…ホッパー、 ８…太鼓型ロール、 ９…鼓型ロ
ール 10…鼓型竪ロール
フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D020 AA02 AA08 AA10 BA01 BA03 BA04 BA05 BA06 BB01 CA05 CC06 CC14 DA01 DA02 DA03 DB01 DB02 DB03 DB04 DB07 DB10 DB20 4G066 AA15B AA16B AA20B AA23B AA27B BA12 CA37 CA43 CA51 DA20 EA20 FA18 FA22 FA25 FA34 5C012 AA09 5C035 JJ05 JJ11 JJ15 5C040 HA08 MA26
Claims (4)
- 【請求項１】開口部を有するケースと、その中に収容さ
れ上記のケースと一体成形されたガス吸収合金の粉粒体
とから成ることを特徴とするガス吸収ゲッター。 - 【請求項２】ケースが金属の薄板製である請求項１のゲ
ッター。 - 【請求項３】全体形状が線状、棒状または帯状で、その
長軸に垂直の横断面が円、楕円、または多角形である請
求項１または請求項２のゲッター。 - 【請求項４】金属の薄板を筒状に成形しつつその内部に
ガス吸収合金粉末を充填し、圧延、線引、プレスもしく
は切断、またはこれらの２以上の工程により加工するこ
とを特徴とする請求項３に記載のゲッターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13348999A JP2000317247A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | ガス吸収ゲッターおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13348999A JP2000317247A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | ガス吸収ゲッターおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000317247A true JP2000317247A (ja) | 2000-11-21 |
Family
ID=15105975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13348999A Pending JP2000317247A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | ガス吸収ゲッターおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000317247A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002358892A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガス放電表示パネル及びその製造方法 |
| JP2005216752A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Seiko Epson Corp | 吸湿ブロック、電気光学装置、電子機器、画像形成装置及び電気光学装置の製造方法 |
| WO2006090423A1 (en) * | 2005-02-23 | 2006-08-31 | Saes Getters S.P.A. | High pressure discharge lamp containing a getter device |
| WO2007080164A1 (de) * | 2006-01-10 | 2007-07-19 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Hochdruckentladungslampe mit längsgetrecktem getterträger im aussenkolben |
| JP2007261307A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Denso Corp | 衝突検知手段 |
| KR100870990B1 (ko) | 2007-11-13 | 2008-12-01 | 희성소재 (주) | Ｂｌｕ용 형광램프에 수은을 도입시키기 위한 게터조성물및 그 장치 |
| JP2010227920A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | Kyocera Corp | ガス吸着素子形成体、ガス吸着素子の実装方法および真空用パッケージ |
| JP2012533160A (ja) * | 2009-07-15 | 2012-12-20 | サエス・ゲッターズ・エッセ・ピ・ア | 活物質を含む繊条要素のための支持体 |
| KR101455902B1 (ko) * | 2012-05-09 | 2014-11-04 | (주)엘지하우시스 | 나노세공 물질을 포함하는 게터재 및 그 제조방법 |
| CN106903308A (zh) * | 2015-12-22 | 2017-06-30 | 北京有色金属研究总院 | 一种新型电加热型吸气元件的制备方法 |
| CN106910664B (zh) * | 2015-12-22 | 2019-07-19 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种新型电加热型吸气元件 |
-
1999
- 1999-05-14 JP JP13348999A patent/JP2000317247A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002358892A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガス放電表示パネル及びその製造方法 |
| JP4605533B2 (ja) * | 2004-01-30 | 2011-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電子機器、及び画像形成装置 |
| JP2005216752A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Seiko Epson Corp | 吸湿ブロック、電気光学装置、電子機器、画像形成装置及び電気光学装置の製造方法 |
| WO2006090423A1 (en) * | 2005-02-23 | 2006-08-31 | Saes Getters S.P.A. | High pressure discharge lamp containing a getter device |
| KR101107356B1 (ko) * | 2005-02-23 | 2012-01-19 | 사에스 게터스 에스.페.아. | 게터 장치를 포함하는 고압 방전 램프 |
| US7994720B2 (en) | 2005-02-23 | 2011-08-09 | Saes Getters S.P.A. | High pressure discharge lamp containing a getter device |
| WO2007080164A1 (de) * | 2006-01-10 | 2007-07-19 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Hochdruckentladungslampe mit längsgetrecktem getterträger im aussenkolben |
| JP2007261307A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Denso Corp | 衝突検知手段 |
| KR100870990B1 (ko) | 2007-11-13 | 2008-12-01 | 희성소재 (주) | Ｂｌｕ용 형광램프에 수은을 도입시키기 위한 게터조성물및 그 장치 |
| JP2010227920A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | Kyocera Corp | ガス吸着素子形成体、ガス吸着素子の実装方法および真空用パッケージ |
| JP2012533160A (ja) * | 2009-07-15 | 2012-12-20 | サエス・ゲッターズ・エッセ・ピ・ア | 活物質を含む繊条要素のための支持体 |
| KR101455902B1 (ko) * | 2012-05-09 | 2014-11-04 | (주)엘지하우시스 | 나노세공 물질을 포함하는 게터재 및 그 제조방법 |
| CN106903308A (zh) * | 2015-12-22 | 2017-06-30 | 北京有色金属研究总院 | 一种新型电加热型吸气元件的制备方法 |
| CN106910664B (zh) * | 2015-12-22 | 2019-07-19 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种新型电加热型吸气元件 |
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