JP2000317246A - アンモニアの回収方法及び回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高濃度のアンモニアを含む大量のガスからア
ンモニアを短時間で収率よく回収する方法を開発する。 【解決手段】 多管式吸着器にアンモニアの吸着剤を充
填し、吸着剤を冷却しながらアンモニア含有ガスを通気
することによりアンモニアを吸着捕取した後、多管式吸
着器を熱媒体で加熱しながら減圧下にアンモニアを脱離
させて回収する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はアンモニアの回収方
法及び回収装置に関し、更に詳しくは高濃度のアンモニ
アを含む大量のガスからアンモニアを効率よく回収する
回収方法及び回収装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】アンモニアは、化学工業原料として広く
用いられているほか、装飾品や超硬工具の製造、半導体
製造などにおいて窒化膜生成のために使用される。これ
らのアンモニアは使用された後、排ガス処理として価値
の低い物質、または無価値の物質に変換されたり、一部
はそのまま大気中に排出されている。また、アンモニア
が使用される工程によっては有用なアンモニアを大量に
排気することがあり、例えば窒化ガリウム膜などの化合
物半導体製造などにおいては使用された高純度アンモニ
アの大部分が未反応のまま半導体製造装置から排出され
る。このためアンモニアの除害処理に多大の費用を要し
ている。これらのアンモニアは資源の有効利用のほか環
境科学的にもその回収が望まれている。本発明はアンモ
ニアを効率よく回収する方法に関するものである。従
来、アンモニアを使用した後のアンモニア含有排ガス
は、アンモニアが比較的安価な化合物であることから、
アンモニアをそのままの状態で回収することが少なく、
排ガス処理として除去、無害化などの手段で廃棄処理さ
れることが多い。アンモニア排ガス処理としては例え
ば、燃焼処理法、湿式吸収法、乾式吸着法、分解処理方
法、分解と乾式吸着の組み合わせ方法などが知られてい
る。しかしそれらは次のような問題点を有している。

【０００３】燃焼処理法では、燃焼処理にプロパンなど
の燃料を必要とすること、また、燃焼装置が負荷変動に
対する適用範囲が狭いこと、及びアンモニアの燃焼に伴
って窒素酸化物が副生すると言う不都合がある。また、
酸性の水溶液を用いる湿式吸収法では副生するアンモニ
ウム塩の処理が難しい欠点がある。また、化学的吸着で
無害化する乾式吸着法の場合には、吸着剤が高価である
ことから、大量のアンモニアの処理の場合には処理費用
が高額になると言う不都合がある。

【０００４】アンモニアを加熱下にアンモニア分解触媒
と接触させて窒素と水素に分解する方法では、化学平衡
に基づく未分解アンモニアが残存し、完全に処理をする
ことができない。このため、アンモニアを分解触媒に接
触させて窒素と水素に分解した後、未分解アンモニアを
乾式吸着剤で浄化する方法も知られているが、この場合
も乾式吸着剤が高価であり、アンモニアを含む大量のガ
スの処理には処理費用が高額になると言う不都合があ
る。

【０００５】以上のようにアンモニアを排ガスとして処
理する方法にはそれぞれ欠点を有するほか、いずれの方
法においてもアンモニアを有用な物質として回収するこ
とを目的としたものではない。即ち、化学工業原料ある
いは半導体製造における原料として有用であったものを
費用を投じて価値の無いもの、または価値の低い物質に
変換処理するという基本的な問題点を有している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】一方、窒化膜半導体の
製造などにおいては、高純度のアンモニアが多量に使用
される。しかしその大部分が未反応のまま、高濃度で排
出され、かつその量も多いことから、上記いずれの処理
方法を適用する場合にも不都合がある。これらのアンモ
ニアを効率よく回収することができれば、資源の有効利
用となるばかりでなく、環境保全の観点からも好ましい
ことである。しかしながら、いまだ効率よく、アンモニ
アを回収する方法は提案されていない。即ち本発明の課
題は、大量かつ高濃度で排出されるアンモニアを効率よ
く回収する回収方法及び回収装置を開発することであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決すべく鋭意研究を重ねた結果、合成ゼオライト、活
性炭などの吸着剤が充填された複数の吸着管が内蔵さ
れ、該吸着管の外側に熱媒体を流通させることができる
構成とした多管式吸着器を熱媒体で冷却しながらアンモ
ニアを含むガスを通気することによりアンモニアを効率
よく吸着捕取することができることを見出した。また、
アンモニアを吸着した該多管式吸着器を熱媒体で加熱し
ながら減圧下にアンモニアを脱離させることによってア
ンモニアを短時間で収率よく回収し得ることを見出し、
本発明に到達した。

【０００８】即ち本発明は、アンモニアの吸着剤が充填
された複数の吸着管が内蔵され、該吸着管の外側に熱媒
体を流通させることができる構造とされた多管式吸着器
を熱媒体で冷却しながら、該多管式吸着器の吸着管にア
ンモニアを含むガスを通気することによりアンモニアを
吸着捕取した後、該多管式吸着器を熱媒体で加熱しなが
ら吸着管内を減圧に保ち、アンモニアを脱離させて回収
することを特徴とするアンモニアの回収方法である。ま
た本発明は、アンモニアの吸着剤が充填された複数の吸
着管が内蔵され該吸着管の外側に熱媒体を流通させるこ
とができる構造とされた多管式吸着器を並列に複数列設
け、該多管式吸着器を順次切り換えて熱媒体で冷却しな
がら、該多管式吸着器にアンモニアを含むガスを通気す
ることによりアンモニアを吸着捕取した後、該多管式吸
着器を順次切り換えて熱媒体で加熱しながら吸着管内を
減圧に保ち、アンモニアを脱離させて連続的に回収する
ことを特徴とするアンモニアの回収方法でもある。

【０００９】さらに本発明は、アンモニアの吸着剤が充
填された複数の吸着管が内蔵され、該吸着管の外側に熱
媒体を流通させることができる構造とされた多管式吸着
器と、該多管式吸着器の吸着管内を減圧排気するための
ポンプを有し、該多管式吸着器を冷却しながら、アンモ
ニアを含むガスを吸着管に通気することによりアンモニ
アを吸着捕取した後、該多管式吸着器を熱媒体で加熱し
ながら吸着管内を減圧に保ちアンモニアを脱離させて回
収することができる構成としたことを特徴とするアンモ
ニアの回収装置ある。さらにまた本発明は、アンモニア
吸着剤が充填された複数の吸着管が内蔵され該吸着管の
外側に熱媒体を流通させることができる構造とされた多
管式吸着器を並列に複数列有すると共に、該多管式吸着
器の吸着管内を減圧排気するためのポンプを有し、該多
管式吸着器を順次切り換えて熱媒体で冷却しながら、該
多管式吸着器にアンモニアを含むガスを吸着管に通気す
ることによりアンモニアを吸着捕取した後、該多管式吸
着器を順次切り換えて熱媒体で加熱しながら吸着管内を
減圧に保ちアンモニアを脱離させて連続的に回収するこ
とができる構成としたことを特徴とするアンモニアの回
収装置である。

【００１０】本発明は、アンモニアを吸着する際に、吸
着熱により吸着剤が温度上昇し、吸着能力の低下するこ
とを、多管式吸着器を採用し、強制冷却することによっ
て吸着能力の低下を防ぐことができるものである。ま
た、吸着したアンモニアを減圧で脱離させる際に、アン
モニアの気化熱に伴う吸着剤の温度低下及び脱離速度が
低下することを、強制加熱することによって防止し、ア
ンモニアを短時間で収率よく回収する方法、及び回収装
置である。また、このような構成を採ることによって、
少ない吸着剤で大量のアンモニアを吸着することがで
き、吸着したアンモニアの脱離操作が短時間でできるの
で、アンモニア回収装置を小型化することが可能であ
る。さらに、吸着剤の冷却、加熱の際に、吸着剤と熱媒
体との熱交換が良好に行われることから、熱媒体として
特別なものを必要とせず、冷却水、熱水等の組み合わせ
で効率よく行なうことができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明は、主にアンモニアを比較
的高濃度で含む大量のガスからアンモニアを回収する方
法に適用される。本発明におけるアンモニアを含むガス
とは、アンモニアと通常の温度及び圧力範囲において化
学反応を生じないようなガス中にアンモニアを含むガス
を意味するものであり、そのガス種に特に限定はなく、
例えば水素、窒素、ヘリウム、アルゴンなどのガス中に
アンモニアを含むガスを言う。またアンモニアを含むガ
ス中のアンモニアの濃度に特に限定はなく、低濃度から
高濃度までいずれのアンモニア濃度のガスも含まれるも
のである。

【００１２】本発明の多管式吸着器の例を図２により具
体的に説明する。本発明において、多管式吸着器３と
は、吸着剤５が充填された多数の吸着管４が一つの吸着
器内に設けられたものであり、図２に示すように、２枚
の管板８、８’を通して取り付けられたものである。そ
れぞれの吸着管内にアンモニアを含むガスを流通させる
ことができると共に、両管板間の吸着管４と胴部分９と
の間に冷却水、あるいは熱水若しくはスチームなどの熱
媒体を熱媒体入り口６から熱媒体出口７の間で流すこと
ができる構造を有し、吸着剤５を必要に応じて加熱、冷
却することができる構成とされたものである。この多管
式吸着器は、化学工業の分野で多管式熱交換器、あるい
は多管式反応器として用いられているものと同様の構造
を有するものである。これらの多管式吸着器は、一筒で
用いることもできるが、複数列並列に設けることもでき
る。

【００１３】本発明におけるアンモニアの吸着剤とは、
アンモニアを多量に物理吸着することができると共に、
圧力変化または温度変化など操作条件によって容易にア
ンモニアを放出させることができる吸着剤であればいず
れも用いることができ、特に限定されるものではない。
これらの特性を満たすものとして、例えば合成ゼオライ
ト（モレキュラーシーブス１３Ｘ、５Ａ等）、シリカゲ
ル、アルミナ、活性炭などが用いられる。

【００１４】本発明のアンモニア回収装置の例を図１に
より具体的に説明する。本発明は一系列の多管式吸着器
からなる装置で、先ずアンモニアの吸着操作を行い、次
いでアンモニアを含むガスの供給を中止して、アンモニ
アの脱離操作を行う形で実施することもできるが、２系
列以上の多管式吸着器を並列に切換え可能な状態に接続
し、各々の多管式吸着器でのアンモニア吸着捕取と脱離
操作との切換えを行うことによって、連続的に行うこと
が好ましい。図１は多管式吸着器を２系列設け、一方の
吸着器でアンモニアの吸着操作をしている間に、他方の
吸着器ではアンモニアの脱離操作を行う方法で、両系列
を切り換えることによって、連続してアンモニアを含む
ガスからアンモニアを回収することができる構成とした
回収装置の例である。アンモニアを含むガスはアンモニ
ア排出ライン１、バルブ２を経て、吸着器３の上部から
吸着管４に導入される。この時アンモニアの吸着に伴っ
て吸着熱が発生するが、冷却水などの熱媒体を熱媒体入
口６から熱媒体出口７の間で流通させることによって、
温度上昇による吸着能力の低下を防ぐことができる。

【００１５】アンモニアを吸着除去されたガスはバルブ
１０を経て排気ライン１１へ導かれる。アンモニア吸着
剤がアンモニアを吸着し飽和吸着又は飽和吸着近傍に達
した時点で、バルブ２、１０を閉、バルブ２’、１０’
を開にして、アンモニアを含むガスの流通を吸着器３’
に切り換える。次にバルブ１２を開とし、アンモニア回
収ライン１３を通じて真空ポンプ１４で短時間減圧吸引
し、その時の回収ガスはバルブ１５を経て、サージタン
ク２３に導入する。その後バルブ１５を閉、真空ポンプ
１４を稼動の状態でバルブ１７、２０を開とし、加圧ポ
ンプ１９を稼動させると共に、吸着器３に熱水又はスチ
ーム等を流通させることによって加熱し、脱離したアン
モニアをバッファータンク１８を経てアンモタンク２１
に回収する。回収されたアンモニアは必要に応じてバル
ブ２２から抜出す。アンモニアの回収の終了後は減圧吸
引を停止し、吸着器３を常温付近の温度に冷却すると共
に、吸着器３’の出口ガス又は別に設けられた配管から
不活性ガスを導入し、吸着器３内を常圧に戻した上で、
次の切換えに備える。サージタンク２３内の回収ガス
は、バルブ２４、排気ガス循環ライン１６を経て小流量
でアンモニア排出ラインに導入される。

【００１６】本発明において、吸着器に用いられる吸着
管の内径は、通常は２５〜３００ｍｍであり、好ましく
は５０〜１５０ｍｍ程度である。２５ｍｍより細い場合
には吸着剤の充填量が少ないために多数の吸着管を必要
とし、吸着器の製作費用が嵩むばかりでなく吸着器の容
積効率が低くなる不都合がある。また、３００ｍｍより
も大きい場合には吸着剤を冷却あるいは加熱する際の熱
伝導が悪くなる不都合がある。

【００１７】また吸着管の長さとして通常は２５０〜３
０００ｍｍ、好ましくは５００〜１５００ｍｍ程度であ
る。２５０ｍｍよりも短い場合には吸着器の構造が複雑
な割に吸着剤の充填量が少ない欠点を有し、３０００ｍ
ｍよりも長い場合には圧力損失が大となる不都合があ
る。

【００１８】吸着器の胴部分の形状に特に限定はない。
しかし、吸着器のガス導入部分及びガス排出部分の形状
については、アンモニアを吸着させた後、減圧下にアン
モニアを脱離させて回収する際の耐圧性保持の観点から
椀状にすることが好ましく、その点から吸着器の胴部分
の形状は円筒状とすることが好ましい。

【００１９】吸着器内に設けられる吸着管の本数に特に
限定はなく、アンモニアを含むガスの処理量、アンモニ
ア濃度、吸着管の太さ及び長さ、所望の切り換え時間な
どによって適宜選択されるほか、吸着器内の吸着管の配
列方法などに基づいて適宜設定される。このほか、吸着
器の吸着管と胴部分との間に熱媒体を効率よく流通させ
るための仕切り板等を設けることもできる。また、本発
明における吸着器の説明を、吸着管の内側に吸着剤を充
填し、吸着管の外側に熱媒体を流通させる方法で説明し
た。しかし、吸着管の外側に吸着剤を充填し、吸着管の
内側に熱媒体を流通させる構造とすることもできるが、
実用的ではない。

【００２０】アンモニア吸着器の構成材質に特に限定は
ないが、回収するアンモニアガスを汚染することがな
く、腐蝕を生じることがなく、熱伝導の良好な材質であ
ること等を考慮して通常はＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１
６、ＳＵＳ３１６Ｌなどが用いられる。

【００２１】本発明において、アンモニアを吸着させる
際の吸着剤の温度としては、温度が低いほど吸着能力は
大となるが、冷却の容易性から通常は−３０〜７５℃で
あり、好ましくは常温〜５０℃である。このような温度
に冷却するには、冷却したガスを熱媒体として循環させ
ることもできるが、ガスは熱容量が小さく迅速に冷却す
ることができないことから、水又は公知の不凍液を冷却
して用いるのが好ましい。また吸着時の圧力に特に限定
はなく、圧力が高いほど吸着量が増大する利点と、吸着
器の耐圧性の点から、常圧〜５ｋｇ／ｃｍ^２程度で行わ
れるが、主としてアンモニアを含むガスの発生源の条件
によって決定される。

【００２２】また、アンモニアを含むガスを吸着剤と接
触させる際の空筒線速度（ＬＶ）は、アンモニアの濃度
によって異なり一概に特定できないが、通常は１００ｃ
ｍ／ｓｅｃ以下、好ましくは３０ｃｍ／ｓｅｃ以下であ
る。

【００２３】本発明において、アンモニア吸着後の吸着
剤からアンモニアを回収する際の圧力としては、低いほ
どアンモニアの脱離が容易となるが、大きな排気容量の
真空ポンプを要することから通常は０．５〜５００ｍｍ
Ｈｇ、好ましくは２０〜３００ｍＨｇ程度である。ま
た、吸着剤の加熱温度として特に限定はなく、温度が高
いほどアンモニアの脱離が容易であるが、減圧排気を行
うことからさほど高温を必要とせず、通常は５０〜２０
０℃、好ましくは７０〜１５０℃である。このような温
度に加熱するには、加熱したガスを熱媒体として循環さ
せることもできるが、ガスは熱容量が小さく迅速に加熱
することができないことから、熱水又はスチーム、若し
く加圧熱水や加圧スチームを用いることが好ましい。こ
のほか高沸点炭化水素などの熱媒体を用いることもでき
る。

【００２４】本発明はこのように、アンモニアの吸着の
際には熱媒体で吸着剤を強制冷却することによって大
量、かつ高濃度のアンモニアを含むガスであっても吸着
剤の温度上昇を防ぎながら効率よく吸着を行うことがで
きる。一方アンモニアを回収する際には、減圧吸引しな
がら熱媒体で加熱することによって、アンモニアの気化
に伴う吸着剤の温度低下を防ぎ、大量に吸着していたア
ンモニアを短時間で容易に脱離させることができる。な
お、吸着剤の加熱は、減圧下の脱離操作のために、比較
的低い加熱温度でよく、例えば熱水で加熱することがで
きることから、熱媒体として、冷却水と熱水の組み合わ
せで行うことができ、装置構成を単純化することができ
る。

【００２５】また本発明では、アンモニア吸着管を比較
的細く設定し多数の吸着管を一纏めにした吸着器とする
ことによって、加熱冷却を単純化かつ容易にできると共
に、吸着剤の冷却、加熱を迅速に行うことができる。ま
た、それによって高濃度のアンモニアを含むガスであっ
ても効率よく処理することができ、また吸着したアンモ
ニアを短時間で収率よく回収することができる。本発明
で回収されたアンモニアはそのままアンモニア原料とし
て用いることもできるが、所望により公知の精製技術を
用いて、さらに高純度に精製することもできる。

【００２６】

【実施例】次に本発明を実施例により具体的に説明する
が、本発明はこれらにより限定されるものではない。

【００２７】（実施例１） （アンモニア回収装置の製作）内径１０８．３ｍｍ、長
さ１５００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の吸着管１９本を内
蔵し、吸着管と胴との間に熱媒体を流通し得る構造とし
た多管式吸着器を２基製作した。この吸着器それぞれに
モレキュラーシーブス５Ａを２５０リットル充填した。
また、真空ポンプ、加圧ポンプ、バッファータンク、サ
ージタンク、回収アンモニアタンク、さらに冷却水ライ
ンと加熱水ラインとを切り換えられるように接続し、図
１に示すものと同様のアンモニア回収装置を製作した。

【００２８】（アンモニア回収実験）実験に先立ち下記
のようにして、吸着剤の活性化を行った。吸着管４、
４’に窒素ガスを通気して吸着管内の空気を窒素に置換
した。次に、吸着管内を真空ポンプで５ｍｍＨｇ以下の
減圧に保持しながら吸着管の外側に９０℃の熱水を循環
させて５時間加熱した。その後常温に冷却した後、窒素
を導入して大気圧に戻し、活性化終了とした。

【００２９】このアンモニア回収装置の吸着器３に２５
℃の冷却水を流通させて吸着管内を冷却しながら、アン
モニア３０％を含む窒素ガスを常温、常圧下、０．１３
６ｍ ^３／ｍｉｎの流量で吸着器３に供給し、アンモニア
の吸着を行った。アンモニア吸着を８時間続けた後、ア
ンモニアを含むガスの通気を吸着器３’側に切り換え
た。この間、吸着器３の出口ガス中にアンモニアの流出
は認められなかった。

【００３０】吸着管４内を常温付近の温度に保持した状
態で、真空ポンプ１４で１分間軽く減圧排気し、その際
の排気ガスをサージタンク２３に導入した。次に真空ポ
ンプ１４の排気ラインをバッファータンク１８、アンモ
ニア回収タンク２１側に切り換えると共に、加圧ポンプ
１９を稼動させながら、吸着器３の冷却水を９０℃の熱
水に換えて供給し、吸着器管４内を加熱した。加熱下、
真空吸引操作を５時間行って、アンモニア回収操作を終
了とした。次に、熱水の供給を冷却水に換えて常温に冷
却した後、吸着器３に吸着器３’の出口ガスの一部を導
入して常圧に戻し、切換えに備えた。なお、この間にサ
ージタンク２３中の回収ガスはバルブ２４、排気ガス循
環ライン１６を経てアンモニア排出ライン１６に小流量
で導入した。

【００３１】このような方法で吸着器を交互に切り換え
てアンモニアの回収操作を１０回繰り返した。その結
果、アンモニアの回収率は９８％以上であった。また回
収されたアンモニア中の不純物は窒素０．１５％のみで
あった。

【００３２】（比較例１）内径４７２ｍｍ、長さ１８０
０ｍｍの一本の吸着管にモレキュラーシーブス５Ａを２
５０リットル（充填長１５００ｍｍ）充填した。この吸
着筒に電気加熱用のヒーター及び保温材を取り付けた。
さらに吸着筒内部には温度計測用の熱電対を設け、吸着
器を製作した。実施例１における吸着器をこのような吸
着器に換えたほかは、実施例１と同様のアンモニア回収
装置を製作した。このアンモニア回収装置にアンモニア
３０％を含む窒素ガスを常温、常圧で０．１３６ｍ^３／
ｍｉｎの流量で通気した。その結果、吸着剤の温度が上
部から下部に向かって逐次上昇し、２時間後には１２５
℃に到達した。また、３時間後には吸着筒出口にアンモ
ニアの流出が認められた。このため、吸着操作開始から
３．５時間経過した時点で、アンモニアの吸着操作を終
了とした。吸着筒を電気加熱しながら、真空ポンプで減
圧排気してアンモニアの回収を試み、５時間の加熱操作
を行ったが、吸着筒内壁部分は温度が上昇しているもの
の、吸着筒中心部分の温度上昇は小さく、吸着されてい
たアンモニアの２８％しか回収できなかった。

【００３３】

【発明の効果】本発明により、次のことが可能になっ
た。 １．高濃度のアンモニアを含む大量のガスの場合であっ
ても短時間に、収率よく回収することができる。 ２．アンモニア吸着の際に、吸着熱で吸着剤が温度上昇
することを、熱媒体による強制冷却で防ぐことができる
ので、吸着剤の吸着能力の高い状態で効率よく吸着操作
を行うことができる。 ３．アンモニアを脱離させる際には、アンモニアの気化
熱で吸着剤の温度低下することを、熱媒体による強制加
熱で防ぐことができるので、アンモニアを短時間で収率
よく回収することができる。 ４．吸着剤と熱媒体との熱交換が良好に行われることか
ら、熱媒体として特別なものを必要とせず、水と熱水の
組み合わせでも構成することができる。 ５．少量の吸着剤で多量のアンモニアの吸着操作が可能
となったこと、及びアンモニアの脱離操作を短時間でで
きるようになったことにより、アンモニア吸着器の切換
え時間を短く設定することができる。 ６．以上のことから、装置を単純化することができると
共に、小型化することができる。 ７．従来、多額の費用をかけて廃棄していたアンモニア
を、高純度で回収し、再使用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のアンモニア回収装置の例図である。

【図２】本発明における吸着器の例図である。

【符号の説明】

１ アンモニア排出ライン ２、２’、１０、１０’、１２、１２’、１５、１７、
２０、２２、２４ バルブ ３、３’ 吸着器 ４、４’ 吸着管 ５、５’ 吸着剤 ６、６’ 熱媒体入口 ７、７’ 熱媒体出口 ８、８’ 管板 ９ 胴部分 １１ 排気ライン １３ アンモニア回収ライン １４ 真空ポンプ １６ 排気ガス循環ライン １８ バッファータンク １９ 加圧ポンプ ２１ 回収アンモニアタンク ２３ サージタンク

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アンモニアの吸着剤が充填された複数の
   吸着管が内蔵され、該吸着管の外側に熱媒体を流通させ
   ることができる構造とされた多管式吸着器を熱媒体で冷
   却しながら、該多管式吸着器の吸着管にアンモニアを含
   むガスを通気することによりアンモニアを吸着捕取した
   後、該多管式吸着器を熱媒体で加熱しながら吸着管内を
   減圧に保ち、アンモニアを脱離させて回収することを特
   徴とするアンモニアの回収方法。
2. 【請求項２】 アンモニアの吸着剤が合成ゼオライト、
   活性炭、シリカゲル、アルミナ及びシリカアルミナから
   選ばれる少なくとも１種である請求項１に記載のアンモ
   ニアの回収方法。
3. 【請求項３】 アンモニアを含むガスが窒化膜半導体製
   造工程からの排ガスである請求項１に記載のアンモニア
   の回収方法。
4. 【請求項４】 アンモニアの吸着剤が充填された複数の
   吸着管が内蔵され、該吸着管の外側に熱媒体を流通させ
   ることができる構造とされた多管式吸着器を並列に複数
   列設け、該多管式吸着器を順次切り換えて熱媒体で冷却
   しながら、該多管式吸着器にアンモニアを含むガスを通
   気することによりアンモニアを吸着捕取した後、該多管
   式吸着器を順次切り換えて熱媒体で加熱しながら吸着管
   内を減圧に保ち、アンモニアを脱離させて連続的に回収
   することを特徴とするアンモニアの回収方法。
5. 【請求項５】 吸着管として内径２５〜３００ｍｍ、長
   さ２５０〜３０００ｍｍの管を用いる請求項１又は請求
   項４に記載のアンモニアの回収方法。
6. 【請求項６】 アンモニアの吸着剤が充填された複数の
   吸着管が内蔵され該吸着管の外側に熱媒体を流通させる
   ことができる構造とされた多管式吸着器と、該多管式吸
   着器の吸着管内を減圧排気するためのポンプを有し、該
   多管式吸着器を冷却しながら、アンモニアを含むガスを
   吸着管に通気することによりアンモニアを吸着捕取した
   後、該多管式吸着器を熱媒体で加熱しながら吸着管内を
   減圧に保ちアンモニアを脱離させて回収することができ
   る構成としたことを特徴とするアンモニアの回収装置。
7. 【請求項７】 アンモニア吸着剤が充填された複数の吸
   着管が内蔵され該吸着管の外側に熱媒体を流通させるこ
   とができる構造とされた多管式吸着器を並列に複数列有
   すると共に、該多管式吸着器の吸着管内を減圧排気する
   ためのポンプを有し、該多管式吸着器を順次切り換えて
   熱媒体で冷却しながら、該多管式吸着器にアンモニアを
   含むガスを吸着管に通気することによりアンモニアを吸
   着捕取した後、該多管式吸着器を順次切り換えて熱媒体
   で加熱しながら吸着管内を減圧に保ちアンモニアを脱離
   させて連続的に回収することができる構成としたことを
   特徴とするアンモニアの回収装置。
8. 【請求項８】 吸着管が内径２５〜３００ｍｍ、長さ２
   ５０〜３０００ｍｍの管である請求項６又は請求項７に
   記載のアンモニアの回収装置。