JP2000295067A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JP2000295067A JP2000295067A JP11097210A JP9721099A JP2000295067A JP 2000295067 A JP2000295067 A JP 2000295067A JP 11097210 A JP11097210 A JP 11097210A JP 9721099 A JP9721099 A JP 9721099A JP 2000295067 A JP2000295067 A JP 2000295067A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ３次及び５次の高調波周波数を基本波の３及
び５倍の周波数より所定の周波数だけ遠ざけた圧電振動
子を得る。 【解決手段】 円形圧電基板の両面に対向するベース電
極を配置して構成する厚みすべり振動子であって、ベー
ス電極のほぼ中心部に、十字形の中心部に小円形を重ね
た形状の抑圧電極を付着して圧電振動子を構成する。
び５倍の周波数より所定の周波数だけ遠ざけた圧電振動
子を得る。 【解決手段】 円形圧電基板の両面に対向するベース電
極を配置して構成する厚みすべり振動子であって、ベー
ス電極のほぼ中心部に、十字形の中心部に小円形を重ね
た形状の抑圧電極を付着して圧電振動子を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電振動子に関し、
特に３次及び５次の高調波周波数が所定の周波数範囲の
外側に発生するようにした圧電振動子に関する。
特に３次及び５次の高調波周波数が所定の周波数範囲の
外側に発生するようにした圧電振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】水晶振動子、特にＡＴカット水晶振動子
は小型であり高精度、高安定度の周波数が容易に得られ
るため、近年では携帯電話端末からパーソナルコンピュ
ータまで広範囲に、且つ多量に用いられている。図４
は、従来のＡＴカット水晶振動子の構成を示す図であっ
て、保持器11の金属カバー（ケース）を取り除いた平面
図である。蒸着等の手段を用いて、ＡＴカット水晶基板
12の両面に対向する電極13a、13b（以下、ベース電極と
称す）を付着すると共に、ベース電極13a、13bからそれ
ぞれリード電極14、14を基板12の端部まで延在し、水晶
振動素子を形成する。そして、保持器11のガラス絶縁ベ
ース15を気密的に貫通する２つのリード端子16の細孔
に、前記水晶振動素子を挟持し、導電性の接着剤17を塗
布して圧電基板12を保持すると共に、ベース電極13a、1
3bとリード端子16との導通をはかる。
は小型であり高精度、高安定度の周波数が容易に得られ
るため、近年では携帯電話端末からパーソナルコンピュ
ータまで広範囲に、且つ多量に用いられている。図４
は、従来のＡＴカット水晶振動子の構成を示す図であっ
て、保持器11の金属カバー（ケース）を取り除いた平面
図である。蒸着等の手段を用いて、ＡＴカット水晶基板
12の両面に対向する電極13a、13b（以下、ベース電極と
称す）を付着すると共に、ベース電極13a、13bからそれ
ぞれリード電極14、14を基板12の端部まで延在し、水晶
振動素子を形成する。そして、保持器11のガラス絶縁ベ
ース15を気密的に貫通する２つのリード端子16の細孔
に、前記水晶振動素子を挟持し、導電性の接着剤17を塗
布して圧電基板12を保持すると共に、ベース電極13a、1
3bとリード端子16との導通をはかる。
【０００３】一般的に水晶振動子の周波数は製造バラツ
キ等により所望の周波数に合致していないため、水晶振
動子の周波数を測定しながら、蒸着装置等の真空中でベ
ース電極13a、13bより僅かに小さい形状の微調電極18を
付着し、所望の周波数に調整する方法が一般的に行われ
ている。
キ等により所望の周波数に合致していないため、水晶振
動子の周波数を測定しながら、蒸着装置等の真空中でベ
ース電極13a、13bより僅かに小さい形状の微調電極18を
付着し、所望の周波数に調整する方法が一般的に行われ
ている。
【０００４】上記のようにして製造した水晶振動子を用
いて可変範囲の比較的広い電圧制御型水晶発振器を作る
と、「水晶振動子のOvertone振動が発振周波数に及ぼす
影響、水晶発振器の負荷容量変化による発振周波数の異
常変化」（電子情報通信学会技術研究報告、US74−4、p1
−10、原浩一他）に開示されているように、負荷容量を
変化させた場合に発振周波数がジャンプする等の不具合
が生ずることが指摘されている。即ち、発振器の定常状
態では発振周波数においてループ利得が１となるだけで
なく、水晶振動子に存在する高調波共振のため、発振周
波数の奇数倍の高調波周波数に対してもループ利得が高
くなり、ループ中に存在する非線形素子によって発生す
る高調波電流と、ループを一巡した電流とが干渉し合っ
て、周波数のジャンプ現象を引き起こすことが記述され
ている。また、ＡＴカット水晶を用いた場合、周波数−
温度特性はなだらかな３次曲線を描くはずであるが、水
晶振動子に直列に負荷容量を接続した水晶発振器おい
て、しばしば周波数−温度特性曲線がなだらかな３次曲
線から逸脱した特性となることがあり、これも３次オー
バートンの影響を受けていることが原因であると指摘さ
れている。
いて可変範囲の比較的広い電圧制御型水晶発振器を作る
と、「水晶振動子のOvertone振動が発振周波数に及ぼす
影響、水晶発振器の負荷容量変化による発振周波数の異
常変化」（電子情報通信学会技術研究報告、US74−4、p1
−10、原浩一他）に開示されているように、負荷容量を
変化させた場合に発振周波数がジャンプする等の不具合
が生ずることが指摘されている。即ち、発振器の定常状
態では発振周波数においてループ利得が１となるだけで
なく、水晶振動子に存在する高調波共振のため、発振周
波数の奇数倍の高調波周波数に対してもループ利得が高
くなり、ループ中に存在する非線形素子によって発生す
る高調波電流と、ループを一巡した電流とが干渉し合っ
て、周波数のジャンプ現象を引き起こすことが記述され
ている。また、ＡＴカット水晶を用いた場合、周波数−
温度特性はなだらかな３次曲線を描くはずであるが、水
晶振動子に直列に負荷容量を接続した水晶発振器おい
て、しばしば周波数−温度特性曲線がなだらかな３次曲
線から逸脱した特性となることがあり、これも３次オー
バートンの影響を受けていることが原因であると指摘さ
れている。
【０００５】電圧制御型水晶発振器にて生じる上記のよ
うな３次及び５次高調波による発振周波数への影響を除
去すべく、図５（ａ）、（ｂ）に示すような水晶振動子
が開発され実用化されている。即ち、ＡＴカット水晶基
板12の両面に対向するベース電極13a、13bを形成した
後、いずれか一方のベース電極のほぼ中心部に図５
（ａ）に示すようにベース電極に比べて直径の小さな円
形電極18a（以下、抑圧電極と称す）、あるいは同図
（ｂ）に示す十字形の抑圧電極18bを蒸着等の手法を用
いて付加した水晶振動子である。このように構成したこ
とによって三次高調波、五次高調波の周波数を基本波の
３倍、５倍の周波数より遠ざけることができるので、基
本波周波数の温度特性をなだらかにすることができると
報告されている。水晶振動子の基本波周波数をf1、その
高調波周波数をfn（n=3,5・・）とすると、例えばPCM多
重通信システム用電圧制御型水晶発振器に用いられる水
晶振動子の規格では |ΔFn/F|=|（fn／n− f1）／f1|×106 ＞ 250 （１） となることが要求されている。即ち、高調波周波数をそ
の高調波次数で除した周波数fn／nを基本波周波数f1か
ら遠ざけた水晶振動子を電圧制御型水晶発振器に用いる
ことにより、３次、５次高調波による基本波周波数の温
度特性への影響を避けられるとされている。
うな３次及び５次高調波による発振周波数への影響を除
去すべく、図５（ａ）、（ｂ）に示すような水晶振動子
が開発され実用化されている。即ち、ＡＴカット水晶基
板12の両面に対向するベース電極13a、13bを形成した
後、いずれか一方のベース電極のほぼ中心部に図５
（ａ）に示すようにベース電極に比べて直径の小さな円
形電極18a（以下、抑圧電極と称す）、あるいは同図
（ｂ）に示す十字形の抑圧電極18bを蒸着等の手法を用
いて付加した水晶振動子である。このように構成したこ
とによって三次高調波、五次高調波の周波数を基本波の
３倍、５倍の周波数より遠ざけることができるので、基
本波周波数の温度特性をなだらかにすることができると
報告されている。水晶振動子の基本波周波数をf1、その
高調波周波数をfn（n=3,5・・）とすると、例えばPCM多
重通信システム用電圧制御型水晶発振器に用いられる水
晶振動子の規格では |ΔFn/F|=|（fn／n− f1）／f1|×106 ＞ 250 （１） となることが要求されている。即ち、高調波周波数をそ
の高調波次数で除した周波数fn／nを基本波周波数f1か
ら遠ざけた水晶振動子を電圧制御型水晶発振器に用いる
ことにより、３次、５次高調波による基本波周波数の温
度特性への影響を避けられるとされている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
図５（ａ）に示した抑圧電極18aの直径を種々変えて水
晶振動子を製作し、その基本波周波数f1、３次高調波周
波数f3、５次高調波周波数f5を測定した。一例として、
基本波周波数f1を10.6MHz、水晶基板12の直径を8.0mm、
ベース電極13a、13bの直径を4.0mm、抑圧電極18aの直径
を1.6mmとした場合の基本波周波数f1と３次高調波周波
数f3との関係を図６に、基本波周波数f1と５次高調波周
波数f5との関係を図７に示す。即ち、図６は水晶基板11
に直径4.0mmのベース電極13a、13bを付着したとき、ΔF
3/F=（f3/3− f1）/ f1（ΔF/Fと表すのが一般的である
が、３次と５次の高調波を区別するためΔF3/Fとした）
の値を縦軸にppmで表示し、これを「ベース蒸着後」とし
た。そして、直径1.6mmの抑圧電極18aをベース電極13a
のほぼ中央に付着したとき、ΔF3/F =（f3/3− f1）/ f
1の値を図面右側に重ねてプロットし、これを「抑圧電極
付着後」とした。図６から明らかなように、３次高調波
の場合、抑圧電極18aを付加すると、ΔF/Fの値を所定の
周波数範囲、この例では±250ppm、の外側へシフトさせ
ることができ、抑圧電極18aの効果があることが分か
る。上記と同様に、５次高調波ついてベース蒸着13a、1
3bを付着した後のΔF5/F=（f5/5− f1）/ f1（ベース蒸
着後）と、さらに、ベース電極13a、13bに抑圧電極18a
を付加した後のΔF5/F=（f5/5− f1）/ f1（抑圧電極
後）とをプロットした場合を図７に示す。図７から直径
1.6mmの抑圧電極18aは５次高調波のシフトには効果がな
いことが分かる。
図５（ａ）に示した抑圧電極18aの直径を種々変えて水
晶振動子を製作し、その基本波周波数f1、３次高調波周
波数f3、５次高調波周波数f5を測定した。一例として、
基本波周波数f1を10.6MHz、水晶基板12の直径を8.0mm、
ベース電極13a、13bの直径を4.0mm、抑圧電極18aの直径
を1.6mmとした場合の基本波周波数f1と３次高調波周波
数f3との関係を図６に、基本波周波数f1と５次高調波周
波数f5との関係を図７に示す。即ち、図６は水晶基板11
に直径4.0mmのベース電極13a、13bを付着したとき、ΔF
3/F=（f3/3− f1）/ f1（ΔF/Fと表すのが一般的である
が、３次と５次の高調波を区別するためΔF3/Fとした）
の値を縦軸にppmで表示し、これを「ベース蒸着後」とし
た。そして、直径1.6mmの抑圧電極18aをベース電極13a
のほぼ中央に付着したとき、ΔF3/F =（f3/3− f1）/ f
1の値を図面右側に重ねてプロットし、これを「抑圧電極
付着後」とした。図６から明らかなように、３次高調波
の場合、抑圧電極18aを付加すると、ΔF/Fの値を所定の
周波数範囲、この例では±250ppm、の外側へシフトさせ
ることができ、抑圧電極18aの効果があることが分か
る。上記と同様に、５次高調波ついてベース蒸着13a、1
3bを付着した後のΔF5/F=（f5/5− f1）/ f1（ベース蒸
着後）と、さらに、ベース電極13a、13bに抑圧電極18a
を付加した後のΔF5/F=（f5/5− f1）/ f1（抑圧電極
後）とをプロットした場合を図７に示す。図７から直径
1.6mmの抑圧電極18aは５次高調波のシフトには効果がな
いことが分かる。
【０００７】次に、周波数、基板径、ベース電極径とも
上記の値と同一とし、図５（ｂ）に示したように抑圧電
極18bを十字型とした場合について述べる。長さA=4.5m
m、幅B=0.4mmとした十字形の抑圧電極18bを、ベース電
極に付加する前後の、基本波周波数f1と３次高調波周波
数f3との関係ΔF3/Fを図８に、基本波周波数f1と５次高
調波周波数f5との関係ΔF5/Fを図９に示す。図８、９か
ら明らかなよに、十字型抑圧電極18bは５次高調波の周
波数を所定の周波数範囲（例の場合は±250ppm）の外側
にシフトさせる効果はあるが、３次高調波の周波数には
効果が無いことが分かる。このように、従来の抑圧電極
18a、18bは３次高調波あるいは５次高調波のいずれかに
は効果があるが、３次と５次の両方の高調波を同時に抑
圧することはできない。つまり、±250ｐｐｍと広い可
変範囲が要求されるPCM多重通信システム用の電圧制御
型水晶発振器には適用できないという問題があった。本
発明は上記問題を解決するためになされたものであっ
て、可変範囲のやや広い電圧制御型水晶発振器に用いる
ことが可能な水晶振動子を提供することを目的とする。
上記の値と同一とし、図５（ｂ）に示したように抑圧電
極18bを十字型とした場合について述べる。長さA=4.5m
m、幅B=0.4mmとした十字形の抑圧電極18bを、ベース電
極に付加する前後の、基本波周波数f1と３次高調波周波
数f3との関係ΔF3/Fを図８に、基本波周波数f1と５次高
調波周波数f5との関係ΔF5/Fを図９に示す。図８、９か
ら明らかなよに、十字型抑圧電極18bは５次高調波の周
波数を所定の周波数範囲（例の場合は±250ppm）の外側
にシフトさせる効果はあるが、３次高調波の周波数には
効果が無いことが分かる。このように、従来の抑圧電極
18a、18bは３次高調波あるいは５次高調波のいずれかに
は効果があるが、３次と５次の両方の高調波を同時に抑
圧することはできない。つまり、±250ｐｐｍと広い可
変範囲が要求されるPCM多重通信システム用の電圧制御
型水晶発振器には適用できないという問題があった。本
発明は上記問題を解決するためになされたものであっ
て、可変範囲のやや広い電圧制御型水晶発振器に用いる
ことが可能な水晶振動子を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る圧電振動子の請求項１記載の発明は、円
形圧電基板の両面に対向するベース電極を配置して構成
する厚みすべり振動子において、十字形と円形とを互い
の中心が一致するように重ね合わせた形状を有する抑圧
電極を前記ベース電極の少なくとも一方のほぼ中心部に
付着したことを特徴とする圧電振動子である。請求項２
記載の発明は、前記円形圧電基板の直径をＤ、前記十字
形の腕の長さをＡ、幅をＢとし、前記円形の直径をdと
したとき、Ａ／Dを０．１から０．７、Ｂ／Ｄを０．０
１から０．３、ｄ／Ｄを０．１から０．３としたことを
特徴とす請求項１記載の圧電振動子である。
に本発明に係る圧電振動子の請求項１記載の発明は、円
形圧電基板の両面に対向するベース電極を配置して構成
する厚みすべり振動子において、十字形と円形とを互い
の中心が一致するように重ね合わせた形状を有する抑圧
電極を前記ベース電極の少なくとも一方のほぼ中心部に
付着したことを特徴とする圧電振動子である。請求項２
記載の発明は、前記円形圧電基板の直径をＤ、前記十字
形の腕の長さをＡ、幅をＢとし、前記円形の直径をdと
したとき、Ａ／Dを０．１から０．７、Ｂ／Ｄを０．０
１から０．３、ｄ／Ｄを０．１から０．３としたことを
特徴とす請求項１記載の圧電振動子である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図１（ａ）は本発明に
係る水晶振動子の構成を示す図であって、保持器1の金
属カバー（ケース）を取り除いた平面図である。蒸着等
の手段を用いて、ＡＴカット水晶基板2の両面に対向す
る電極3a、3b（ベース電極）を付着すると共に、ベース
電極3a、3bからそれぞれリード電極4、4を基板2の端部
まで延在し、水晶振動素子を形成する。さらに、ベース
電極3a、3bの一方の面のほぼ中央に、図１（ｂ）に示す
ような円形の中心に上下・左右対称な十字形が重なった
ような形状の電極5を抑圧電極として付着する。そし
て、保持器1のガラス絶縁ベース6を気密的に貫通する２
つのリード端子7の細孔に、前記水晶振動素子を挟持
し、導電性の接着剤8を塗布して圧電基板2を保持すると
共に、ベース電極3a、3bとリード端子7との導通をはか
る。この状態では振動子の周波数は所望の周波数に合っ
ていないので、真空中でマスクを介して金属等を蒸着し
所望の周波数に調整する。
形態に基づいて詳細に説明する。図１（ａ）は本発明に
係る水晶振動子の構成を示す図であって、保持器1の金
属カバー（ケース）を取り除いた平面図である。蒸着等
の手段を用いて、ＡＴカット水晶基板2の両面に対向す
る電極3a、3b（ベース電極）を付着すると共に、ベース
電極3a、3bからそれぞれリード電極4、4を基板2の端部
まで延在し、水晶振動素子を形成する。さらに、ベース
電極3a、3bの一方の面のほぼ中央に、図１（ｂ）に示す
ような円形の中心に上下・左右対称な十字形が重なった
ような形状の電極5を抑圧電極として付着する。そし
て、保持器1のガラス絶縁ベース6を気密的に貫通する２
つのリード端子7の細孔に、前記水晶振動素子を挟持
し、導電性の接着剤8を塗布して圧電基板2を保持すると
共に、ベース電極3a、3bとリード端子7との導通をはか
る。この状態では振動子の周波数は所望の周波数に合っ
ていないので、真空中でマスクを介して金属等を蒸着し
所望の周波数に調整する。
【００１０】本発明の特徴はベース電極3a、3bの中心部
に付加する抑圧電極5の形状であり、該抑圧電極5の付加
により３次及び５次高調波周波数を所定の周波数範囲の
外にシフトさせることが可能となった。図２は本発明に
なる振動子の一実施例のデータを示した図で、基本波周
波数f1を10.6MHz、水晶基板2の直径を8.0mmφ、ベース
電極3a、3bの直径を4.0mmφ、抑圧電極5の形状を図１
（ｂ）に示す符号に従って、A=4.5mm、b=0.4mm、d=1.6m
mとした場合である。圧電基板2にベース電極3a、3bを付
着した際の基本波周波数をf 1、その３次高調波周波数を
f3とし、ΔF3/F=（f3/3− f1）/ f1の値をppmで表示し
た点が「ベース蒸着後」として示してある。このベース電
極の状態ではΔF/Fのバラツキは少なく、例えば±250pp
mの範囲内にある。このベース電極3a、3bの一方の面の
中心部に、図１（ｂ）で示す円形に十字形が重なった形
の抑圧電極5を付着すると、ΔF3/Fは±250ppmの周波数
範囲外にシフトする。この状態を「抑圧電極後」として表
示してある。
に付加する抑圧電極5の形状であり、該抑圧電極5の付加
により３次及び５次高調波周波数を所定の周波数範囲の
外にシフトさせることが可能となった。図２は本発明に
なる振動子の一実施例のデータを示した図で、基本波周
波数f1を10.6MHz、水晶基板2の直径を8.0mmφ、ベース
電極3a、3bの直径を4.0mmφ、抑圧電極5の形状を図１
（ｂ）に示す符号に従って、A=4.5mm、b=0.4mm、d=1.6m
mとした場合である。圧電基板2にベース電極3a、3bを付
着した際の基本波周波数をf 1、その３次高調波周波数を
f3とし、ΔF3/F=（f3/3− f1）/ f1の値をppmで表示し
た点が「ベース蒸着後」として示してある。このベース電
極の状態ではΔF/Fのバラツキは少なく、例えば±250pp
mの範囲内にある。このベース電極3a、3bの一方の面の
中心部に、図１（ｂ）で示す円形に十字形が重なった形
の抑圧電極5を付着すると、ΔF3/Fは±250ppmの周波数
範囲外にシフトする。この状態を「抑圧電極後」として表
示してある。
【００１１】同様に、５次高調波の場合を示したデータ
が図３である。ベース電極3a、3bを付着し、抑圧電極5
を付加する前後で基本波周波数f1とその５次高調波周波
数f5との関係ΔF5/F=（f5/5− f1）/ f1がどのように変
化するかをプロットした図である。５次高調波もベース
蒸着の後ではΔF5/Fが中心部（ΔF5/F=0）に分布してい
るが、抑圧電極5を付加すると図３に示すように所定の
周波数範囲（±250ppm）の外側に分布するようになる。
が図３である。ベース電極3a、3bを付着し、抑圧電極5
を付加する前後で基本波周波数f1とその５次高調波周波
数f5との関係ΔF5/F=（f5/5− f1）/ f1がどのように変
化するかをプロットした図である。５次高調波もベース
蒸着の後ではΔF5/Fが中心部（ΔF5/F=0）に分布してい
るが、抑圧電極5を付加すると図３に示すように所定の
周波数範囲（±250ppm）の外側に分布するようになる。
【００１２】このように、本発明に係る水晶振動子は３
次及び５次高調波の周波数とも、所定の周波数範囲の外
側にシフトさせることが可能であることが分かった。こ
のような水晶振動子を比較的可変範囲の広い電圧御型水
晶発振器に用いると、トランジスタ、ダイオード等の非
線形素子が発振回路の中にあったとしても、３次及び５
次高調波振動が基本波振動を結合することはなく、負荷
容量を可変しても周波数変動はなめらかに変化する。ま
た、前記発振器の周波数−温度特性も温度に対してなめ
らかに変動し、周波数がジャンプするような現象は生じ
ないことが分かった。
次及び５次高調波の周波数とも、所定の周波数範囲の外
側にシフトさせることが可能であることが分かった。こ
のような水晶振動子を比較的可変範囲の広い電圧御型水
晶発振器に用いると、トランジスタ、ダイオード等の非
線形素子が発振回路の中にあったとしても、３次及び５
次高調波振動が基本波振動を結合することはなく、負荷
容量を可変しても周波数変動はなめらかに変化する。ま
た、前記発振器の周波数−温度特性も温度に対してなめ
らかに変動し、周波数がジャンプするような現象は生じ
ないことが分かった。
【００１３】以上では圧電基板にＡＴカット水晶基板を
用いた場合を説明したが、ランガサイト、タンタル酸リ
チウム、四硼酸リチウム等の圧電基板にも適用できるこ
とは云うまでもない。
用いた場合を説明したが、ランガサイト、タンタル酸リ
チウム、四硼酸リチウム等の圧電基板にも適用できるこ
とは云うまでもない。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、水晶振動子の３次及び５次の高調波周波数が基本
波周波数の３倍、５倍より、例えば250ppm以上離れて存
在するので、たとい非線形素子が発振回路中にあったと
しても基本振動と３次あるいは５次の高調波とが結合す
ることはなく、負荷容量の変化に伴いなめらかな周波数
変動が得られるという優れた電圧制御型水晶発振器が得
られると効果を奏す。
ので、水晶振動子の３次及び５次の高調波周波数が基本
波周波数の３倍、５倍より、例えば250ppm以上離れて存
在するので、たとい非線形素子が発振回路中にあったと
しても基本振動と３次あるいは５次の高調波とが結合す
ることはなく、負荷容量の変化に伴いなめらかな周波数
変動が得られるという優れた電圧制御型水晶発振器が得
られると効果を奏す。
【図１】（ａ）は本発明に係る水晶振動子の構成を示す
平面図、（ｂ）はその要部の抑圧電極を拡大して示した
図である。
平面図、（ｂ）はその要部の抑圧電極を拡大して示した
図である。
【図２】本発明になる水晶振動子の抑圧電極を付加する
前後の３次高調波振動の周波数変化を示した図である。
前後の３次高調波振動の周波数変化を示した図である。
【図３】本発明になる水晶振動子の抑圧電極を付加する
前後の５次高調波振動の周波数変化を示した図である。
前後の５次高調波振動の周波数変化を示した図である。
【図４】従来の一般的な水晶振動子の構成を示す平面図
である。
である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は３次あるいは５次高調波の周
波数を制御すべく発明された従来の水晶振動子の構成を
示す平面図である。
波数を制御すべく発明された従来の水晶振動子の構成を
示す平面図である。
【図６】抑圧電極に円形小電極を用いた場合で、抑圧電
極を付加する前後の３次高調波の周波数変化を示す図で
ある。
極を付加する前後の３次高調波の周波数変化を示す図で
ある。
【図７】抑圧電極に円形小電極を用いた場合で、抑圧電
極を付加する前後の５次高調波の周波数変化を示す図で
ある。
極を付加する前後の５次高調波の周波数変化を示す図で
ある。
【図８】抑圧電極に十字形小電極を用いた場合で、抑圧
電極を付加する前後の３次高調波の周波数変化を示す図
である。
電極を付加する前後の３次高調波の周波数変化を示す図
である。
【図９】抑圧電極に十字形小電極を用いた場合で、抑圧
電極を付加する前後の５次高調波の周波数変化を示す図
である。
電極を付加する前後の５次高調波の周波数変化を示す図
である。
１・・保持器 ２・・圧電基板 ３ａ、３ｂ・・ベース電極 ４・・リード電極 ５・・抑圧電極 ６・・ガラス絶縁ベース ７・・リード端子 ８・・導電性接着剤 Ａ・・抑圧電極の十字部分の腕の長さ Ｂ・・抑圧電極の十字部分の腕の幅 d・・抑圧電極の円形部分の直径
Claims (2)
- 【請求項１】 円形圧電基板の両面に対向するベース電
極を配置して構成する厚みすべり振動子において、十字
形と円形とを互いの中心が一致するように重ね合わせた
形状を有する抑圧電極を前記ベース電極の少なくとも一
方のほぼ中心部に付着したことを特徴とする圧電振動
子。 - 【請求項２】 前記円形圧電基板の直径をＤ、前記十字
形の腕の長さをＡ、幅をＢとし、前記円形の直径をdと
したとき、Ａ／Dを０．１から０．７、Ｂ／Ｄを０．０
１から０．３、ｄ／Ｄを０．１から０．３としたことを
特徴とす請求項１記載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11097210A JP2000295067A (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11097210A JP2000295067A (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000295067A true JP2000295067A (ja) | 2000-10-20 |
Family
ID=14186272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11097210A Pending JP2000295067A (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000295067A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006129383A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Daishinku Corp | 圧電振動片及びこの圧電振動片を備えた圧電振動デバイス |
| JP2013255052A (ja) * | 2012-06-06 | 2013-12-19 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体および振動素子の製造方法 |
-
1999
- 1999-04-05 JP JP11097210A patent/JP2000295067A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006129383A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Daishinku Corp | 圧電振動片及びこの圧電振動片を備えた圧電振動デバイス |
| JP2013255052A (ja) * | 2012-06-06 | 2013-12-19 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体および振動素子の製造方法 |
| US9450166B2 (en) | 2012-06-06 | 2016-09-20 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, mobile body and method of manufacturing resonator element |
| US10147867B2 (en) | 2012-06-06 | 2018-12-04 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, mobile body and method of manufacturing resonator element |
| US10680158B2 (en) | 2012-06-06 | 2020-06-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, mobile body and method of manufacturing resonator element |
| US11495727B2 (en) | 2012-06-06 | 2022-11-08 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, mobile body and method of manufacturing resonator element |
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