JP2000292383A

JP2000292383A - Ｘ線分析装置およびｘ線分析装置の制御プログラムを記録した記録媒体

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Publication number: JP2000292383A
Application number: JP11095686A
Authority: JP
Inventors: Toshikazu Yurugi; 利和万木; Yoshimichi Sato; 義通佐藤
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 1999-04-02
Filing date: 1999-04-02
Publication date: 2000-10-20
Anticipated expiration: 2019-04-02
Also published as: JP4246840B2

Abstract

(57)【要約】【課題】Ｘ線分析装置において測定したスペクト
ルデータが試料のどの分析位置で測定したものであるか
を画像データとして自動で保存することができるＸ線分
析装置およびＸ線分析装置の制御プログラムを記録した
記録媒体を提供する。【解決手段】分析対象試料Ｓの電子顕微鏡画像を出力
する電子顕微鏡４とＸ線分析部６とこれらを制御するコ
ンピュータ５，７とからなり、電子顕微鏡４によって得
られる電子顕微鏡画像とＸ線分析部６によって得られる
Ｘ線スペクトルとをコンピュータ５，７に取り込み可能
に構成されたＸ線分析装置１において、前記電子顕微鏡
画像を表わす画像データＤｂと、この電子顕微鏡画像上
の指定された分析位置から発生するＸ線のスペクトルデ
ータＤｓとを、前記コンピュータ５，７で読み書き可能
な一つの記録媒体７ｒに一回の操作で保存可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線分析装置およ
びＸ線分析装置の制御プログラムを記録した記録媒体に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、走査型電子顕微鏡と、この電
子顕微鏡に取り付けられた半導体Ｘ線検出器からの信号
を処理するＸ線分析装置を組み合わせたものがある。こ
のようなＸ線分析装置は、数μｍという微小領域の元素
分析を行なう装置で、電子顕微鏡による電子顕微鏡画像
（以下、単に顕微鏡画像という）を観察すると共に、観
察している部分の「定性分析」、「定量分析」、「Ｘ線
像による元素分析」などを行なうことができる。このた
め、Ｘ線分析装置は従来より金属、セラミックス、半導
体などの材料の研究に利用されている。また、近年で
は、製品のトラブル解析など品質管理の分野などにおい
ても利用されるようになってきている。

【０００３】図３は従来のＸ線分析装置１０の基本的な
構成を示す図である。このＸ線分析装置１０は、分析対
象である試料Ｓに電子線Ｅを照射し、試料Ｓによって反
射される電子線Ｅ’によって試料の顕微鏡画像を得る電
子顕微鏡１１と、電子線Ｅの照射によって試料Ｓから発
生するＸ線Ｌｘを測定するＸ線分析部１２と、これら電
子顕微鏡１１とＸ線分析部１２のそれぞれに設けられた
コンピュータ１３，１４と、これらのコンピュータ１
３，１４に接続されてそれぞれ電子顕微鏡１１およびＸ
線分析部１２を操作する操作部１５，１６を有してい
る。

【０００４】また、コンピュータ１３には電子顕微鏡１
１から得られた顕微鏡画像（以下、画像データという）
を表示するディスプレイ１７と、この画像データを保存
する記録媒体１８とを設けており、コンピュータ１４に
はＸ線スペクトルなどＸ線分析部１２から得られたデー
タ（以下、スペクトルデータという）を表示する表示装
置１９と、このスペクトルデータを保存する記録媒体２
０とを有している。

【０００５】図４は図３に示した従来のＸ線分析装置１
０における電子顕微鏡と、Ｘ線分析装置の動作の流れを
示す図である。顕微鏡側のコンピュータ１３は、まず前
記試料Ｓに電子線Ｅを走査しながら照射すると共に、試
料Ｓによって反射した電子線Ｅ’を測定するように電子
顕微鏡１１を制御する。（ステップＳs1）

【０００６】次いで、得られた画像データをディスプレ
イ１７に表示する。（ステップＳs2）このとき、操作者
は電子顕微鏡側の操作部１５を介して分析するべき位置
を指定し、指定された位置に電子ビームＥを照射するよ
うに電子顕微鏡１１が制御される。（ステップＳs3）

【０００７】このとき、Ｘ線分析部側のコンピュータ１
４は試料Ｓから発生するＸ線Ｌｘを検出して、Ｘ線分析
部１２によってスペクトルを測定する。（ステップＳe
1）また、操作者は解析されたスペクトルデータを確認
して、Ｘ線分析部１２の操作部１６を介して保存命令を
入力することにより、続くステップＳe2において、Ｘ線
分析部１２によるスペクトルデータを記録媒体２０に保
存する。（ステップＳe2）

【０００８】また、前記スペクトルデータの保存が終了
した後に、操作者がステップＳe4に示すように、電子顕
微鏡側の操作部１５を介して得られた顕微鏡画像の画像
データを記録媒体１８に保存することにより、前記記録
媒体２０に保存したスペクトルデータに対応する画像デ
ータを保存していた。したがって、操作者は両記録媒体
１８，２０に記録されたスペクトルデータと画像データ
を比較することにより、試料Ｓの分析をすることができ
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、操作者が個々に操作部１５，１６の両方
を操作しなければ関連付けられた画像データとスペクト
ルデータを保存することができないという欠点があっ
た。そして、電子顕微鏡側の操作部１５の操作性と、Ｘ
線分析部側の操作部１６の操作性が異なる場合には、操
作者が両操作部１５，１６を頻繁に操作するときに作業
性ミスをまねく原因ともなる。すなわち、従来の構成で
は、操作者がデータの保存作業に不便さを感じるだけで
なく、これがストレスの原因となることも考えられる。

【００１０】また、一旦保存されたスペクトルデータと
画像データを比較するときも、両記録媒体１８，２０か
ら関連付けられたデータを取出して、操作者側で関連付
けを行って管理する必要があった。これは、データ数が
多数ある場合には特に煩雑な作業であり、各データに関
連性を持たせることが極めて困難であった。データ同士
の関連性を明確にする方法としては、関連付けられる各
データに付与するファイル名に共通する部分を設ける方
法があるが、画像データとスペクトルデータの保存の段
階で同じ名称を繰り返し入力することは操作者にストレ
スを与えるものとなっていた。

【００１１】本発明は、上述の事柄を考慮に入れてなさ
れたものであって、その目的とするところは、Ｘ線分析
装置において測定したスペクトルデータが試料のどの分
析位置で測定したものであるかを画像データとして自動
で保存することができるＸ線分析装置およびＸ線分析装
置の制御プログラムを記録した記録媒体を提供すること
にある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のＸ線分析装置は、分析対象試料の顕微鏡画
像を出力する電子顕微鏡とＸ線分析部とこれらを制御す
るコンピュータとからなり、電子顕微鏡によって得られ
る顕微鏡画像とＸ線分析部によって得られるＸ線スペク
トルとをコンピュータに取り込み可能に構成されたＸ線
分析装置において、前記顕微鏡画像を表わす画像データ
と、この顕微鏡画像上の指定された分析位置から発生す
るＸ線のスペクトルデータとを、前記コンピュータで読
み書き可能な一つの記録媒体に一回の操作で保存可能で
あることを特徴としている。

【００１３】すなわち、電子顕微鏡やＸ線分析部から得
られた画像データやスペクトルデータを一括して保存可
能とすることにより、操作者の操作性が向上する。ま
た、一つの記録媒体に保存可能であるので、データの管
理を容易にすることができる。

【００１４】前記画像データとスペクトルデータに、使
用者が定める共通の字句を含む名前を付与すると共に、
これらのデータを、ファイル登録のための同じ場所に保
存可能である場合には、１回の操作で同じ部分を測定し
て得られた画像データやスペクトルデータには共通する
字句を含む名称を付与して保存することができ、データ
の関連性がより明白になり、両データを容易に関連付け
て管理することができる。また、両データが同じ場所に
保存されるので、管理を一層容易に行える。

【００１５】なお、共通の字句を含む名称とは、例え
ば、画像データとスペクトルデータのそれぞれに、使用
者が定める共通の字句のファイルネームを拡張子を変え
て付与することが考えられる。また、使用者が定める共
通の字句に異なる付加名称を加えたものをファイルネー
ムとして、拡張子を共通にするなど、様々に変形可能で
ある。さらに、一つの画像データに複数のスペクトルデ
ータが存在する場合にはシリアル番号を付与することも
考えられる。

【００１６】前記電子顕微鏡を制御するコンピュータ
と、Ｘ線分析部を制御するコンピュータとが別々に設け
られており、両コンピュータ同士を接続することで、前
記記録媒体に対して両コンピュータからアクセス可能と
すると共に、一方のコンピュータの操作で他方のコンピ
ュータにデータの保存命令を出力して両コンピュータが
ほぼ同時にデータ保存可能とする通信手段を設けた場合
には、前記電子顕微鏡を制御するコンピュータと、Ｘ線
分析部を制御するコンピュータとが別体であるときも、
例えばＸ線分析部を制御する一方のコンピュータだけを
操作して、画像データとスペクトルデータを１回の操作
で保存することができるので操作性がよい。

【００１７】なお、前記記憶媒体は共有設定しておくこ
とにより、たとえ画像データのように通信に時間がかか
るようなデータであっても、他方のコンピュータにデー
タの保存命令を出力するだけで、通信手段を介して接続
されたコンピュータ同士で適宜通信して保存することが
できるので、操作性が悪くなることはない。また、本出
願人が平成９年３月２０日に特許出願した特開平１０−
２６０１４４号において説明したように、一方のコンピ
ュータで画像データとスペクトルデータの両方を表示で
きるようにすることにより、操作性はより向上すること
は言うまでもない。

【００１８】また、前記記録媒体がリムーバブルディス
クである場合には、保存した画像データやスペクトルデ
ータをコンピュータから容易に取出して保管することが
可能となり、一連のデータを同じリムーバブルディスク
に保管するなど管理の方法に自由度を持たせることがで
きる。さらに、保存のための容量に際限がなくなる利点
もある。

【００１９】次に、本発明のＸ線分析装置の制御プログ
ラムを記録した記録媒体は、分析対象試料の顕微鏡画像
を出力する電子顕微鏡とＸ線分析部とこれらを制御する
コンピュータとからなるＸ線分析装置において、前記コ
ンピュータが、前記電子顕微鏡を制御して試料中の特定
部分の顕微鏡画像を表わす画像データを得る顕微鏡制御
プログラムと、前記Ｘ線分析部を制御して前記顕微鏡画
像中の使用者が指定する位置の試料から発生するＸ線の
スペクトルデータを得るＸ線分析部制御プログラムとか
らなる制御プログラムを実行し、この制御プログラム
が、使用者による一回の操作によって前記画像データお
よびスペクトルデータを一つの記録媒体に保存する機能
を有することを特徴とする制御プログラムを記録してい
る。

【００２０】また、前記制御プログラムは、前記画像デ
ータおよびスペクトルデータに、使用者が定める共通の
字句を含む名前を付与すると共に、両データをファイル
登録のための同じ場所に保存するものであってもよい。

【００２１】さらに、前記制御プログラムは、前記Ｘ線
分析装置が前記電子顕微鏡を制御するコンピュータと、
Ｘ線分析部を制御するコンピュータを別々に有すると共
に、両コンピュータ同士を接続することで、前記一つの
記憶媒体に対して両コンピュータからアクセス可能とす
る通信手段を有しており、前記顕微鏡制御プログラムが
電子顕微鏡を制御するコンピュータで実行され、前記Ｘ
線分析部制御プログラムがＸ線分析部を制御するコンピ
ュータで実行されると共に、一方のコンピュータの操作
で与えられたデータ保存命令を前記通信手段を介して通
信して、一方のコンピュータの操作で他方のコンピュー
タにおいてもデータ保存できるようにしたものであって
もよい。

【００２２】そして、前記一つの記録媒体として顕微鏡
制御プログラムとＸ線分析部制御プログラムの両方がア
クセス可能なリムーバブルディスクを用いてもよい。

【００２３】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１実施例である
Ｘ線分析装置１の構成を概略的に示す図であって、この
Ｘ線分析装置１は走査型電子顕微鏡システム（ＳＥＭ）
と、Ｘ線分析システム（ＥＤＸ）３とからなっている。
ＳＥＭ２は測定対象である試料Ｓに電子ビームＥを照射
し試料Ｓによって反射された電子線Ｅ’を測定する電子
顕微鏡４と、この電子顕微鏡４に接続された制御用コン
ピュータ５とを有している。また、ＥＤＸ３は前記電子
顕微鏡４の部分にセンサ６ｓを有するＸ線分析部６と、
このＸ線分析部６にＳＣＳＩケーブル７ｓを介して接続
された制御用コンピュータ７とを有している。

【００２４】また、前記コンピュータ５は試料Ｓの顕微
鏡画像を表示するディスプレイ５ｄと、ポインティング
デバイスの一例であるマウス５ｍと、キーボード５ｋを
有している。同様にコンピュータ７はディスプレイ７
ｄ、マウス７ｍ（ポインティングデバイスの一例）、キ
ーボード７ｋに加えて、前記ＳＣＳＩケーブル７ｓ上に
接続されたリムーバブルディスク７ｒ（例えばＭＯ）の
ドライブ、および、プリンタ７ｐを有している。

【００２５】そして、両コンピュータ５，７は例えばイ
ーサネット（ＬＡＮ）のケーブルＣで接続されており、
互いに通信可能に構成されている。なお、本例の場合は
通信手段としてイーサネットを例示しているが、本発明
はこれに限られるものではない。すなわち、例えば、シ
リアル通信（ＲＳ−２３２Ｃ規格に準じたものなど）な
ど他の手段を用いて接続されていてもよいことは言うま
でもない。

【００２６】上記構成のコンピュータ５は電子顕微鏡４
を制御するために必要な顕微鏡制御プログラムＰｓを実
行し、コンピュータ７はＸ線分析部６を制御するために
必要なＸ線分析部制御プログラムＰｅを実行する。本例
においては、電子顕微鏡４を制御するコンピュータ５と
Ｘ線分析部６を制御するコンピュータ７が別体であるの
で、制御プログラムＰｓ，Ｐｅはそれぞれのコンピュー
タ５，７内のコンピュータ読取可能な記録媒体であるメ
モリｍに記憶されている。

【００２７】そして、前記顕微鏡制御プログラムＰｓは
画像保存命令を受けて現状の画像を保存可能にプログラ
ムされている。

【００２８】図２は前記構成のＸ線分析装置１を用い
て、各制御プログラムＰｓ，Ｐｅを実行したときの処理
の流れを示す図である。以下、図１を参照しながら図２
に基づいて、各制御プログラムＰｓ，Ｐｅによる動作を
説明する。

【００２９】まず、ＳＥＭ２側では顕微鏡制御プログラ
ムＰｓによって電子顕微鏡４が制御されて、試料Ｓの特
定部分に電子ビームＥを走査しながら照射し、反射する
電子ビームＥ’を測定することにより、試料Ｓの電子顕
微鏡画像（画像データＤｂ）を得る。（ステップＳ₁）

【００３０】また、ステップＳ₁で得られた電子顕微鏡
画像はディスプレイ５ｄに表示される。（ステップ
Ｓ₂）

【００３１】次いで、操作者はＳＥＭ２側コンピュータ
５のマウス５ｍやキーボード５ｋ等の操作部を用いて分
析位置のポイントＰを位置指定することにより、ＳＥＭ
２は電子顕微鏡４を制御して試料Ｓ上の指定箇所に電子
ビームＥを照射する。（ステップＳ₃）このとき電子ビ
ームＥは試料Ｓによって幾らか吸収されるなどして減衰
すると共に、Ｘ線Ｌｘを発生する。

【００３２】そして、試料Ｓから発生したＸ線Ｌｘをセ
ンサ６ｓが検出することにより、ＥＤＸ３が前記Ｘ線Ｌ
ｘを測定し、これを解析して得られたスペクトルデータ
Ｄｓをディスプレイ７ｄに表示する。（ステップＳ₄）
なお、このとき、画像データＤｂやスペクトルデータＤ
ｓをプリンタ７ｐからを適宜出力可能である。

【００３３】次いで、作業者がＥＤＸ３側の入力装置７
ｍ，７ｋを用いて、現状の画像データＤｂやスペクトル
データＤｓの保存命令を入力する。このとき、コンピュ
ータ７は、Ｘ線分析部制御プログラムＰｅによって、ス
ペクトルデータＤｓをＭＯ７ｒに保存すると共にＳＥＭ
２側のコンピュータ５に画像保存命令を出力する。（ス
テップＳ₅）

【００３４】また、ＳＥＭ２側のコンピュータ５は画像
保存命令を受けることにより、顕微鏡制御プログラムＰ
ｓによって現状の画像データＤｂをＥＤＸ３側のＭＯ７
ｒに保存する。（ステップＳ₆）

【００３５】このとき、作業者はペクトルデータＤｓお
よび画像データＤｂを保存するディレクトリ（ファイル
登録のための場所）を指定すると共に、両データＤｓ，
Ｄｂに共通するファイル名の字句を指定する。

【００３６】図２に示す例では、作業者はキーボード７
ｋから、ファイルネームとして例えば”1999年３月Ｘ日
\SAMPLE ”と一度入力するだけで”1999年３月Ｘ日”と
いう名称のディレクトリＤｒ内に二つのデータＤｂ，Ｄ
ｓを保存することができる。すなわち、画像データＤｂ
には”SAMPLE.BMP”という名称、スペクトルデータＤｓ
には”SAMPLE.SPW”という名称を付与して保存すること
ができる。本例の場合、同一のファイル名（”SAMPL
E”）に拡張子（”BMP ”や”SPW ”）を異ならせるこ
とにより、データの種別化を容易に行うことができるよ
うにしている。

【００３７】前記ＭＯ７ｒ内のデータ保存用ディレクト
リＤｒは共有宣言されており、このＭＯ７ｒがＳＣＳＩ
ケーブル７ｓによって接続されているコンピュータ７の
みならず、このコンピュータ７にケーブルＣを介して接
続されているコンピュータ５からも自由にアクセス可能
に構成されている。したがって、画像データＤｂのよう
な比較的容量が大きなデータを保存する場合にも、デー
タの転送作業をコンピュータ５，７間の適宜の通信によ
り達成できるので、作業者の手を煩わすことなく、両デ
ータＤｂ，Ｄｓを一つの記録媒体（ＭＯ）７ｒの同じ場
所（ディレクトリ）Ｄｒに保存することができる。

【００３８】上記構成のＸ線分析装置１およびＸ線分析
装置の制御プログラムＰｅ，Ｐｓを用いることにより、
作業者はＥＤＸ３側の入力操作部７ｍ、７ｋを操作する
だけで、必要なデータＤｂ，Ｄｓを一度の操作で指定の
位置に保存することができる。特に、ＭＯのようなリム
ーバブルディスク７ｒを保存のための記録媒体とするこ
とにより、保存したデータＤｓ，Ｄｂの種別や管理が容
易になると共に、容量に制限がなくなる利点もある。な
お、本発明はデータＤｓ，Ｄｂの記録媒体をリムーバブ
ルディスクに限定するものではないことは言うまでもな
い。

【００３９】また、上述の例では本発明を達成する一例
を示すものに過ぎず、上記構成に限定するものではな
い。すなわち、たとえば、前記データＤｓ，Ｄｂを保存
するＭＯ７ｒがＳＥＭ２側のコンピュータ５に接続され
ていてもよい。また、操作者がＳＥＭ２側のコンピュー
タ５から保存命令を入力できるようにしてもよい。この
場合、Ｘ線分析部制御プログラムＰｅは、コンピュータ
５からの保存命令を受けることにより、コンピュータ７
がスペクトルデータＤｓを自動保存するように動作させ
る機能を有する必要がある。

【００４０】さらに、一台のコンピュータで電子顕微鏡
４とＸ線分析部６を制御するようにしてもよい。この場
合、前記制御プログラムＰｅ，Ｐｓは同じコンピュータ
内で動作することになり、ケーブルＣを始めとする通信
手段を設ける必要がなくなる。

【００４１】また、データＤｓ，Ｄｂに付与する名称
は、使用者が定める共通の字句（例えば”sample”な
ど）に異なる付加名称（例えば”-b”や”-p”など）を
加えたものをファイルネームとして、拡張子を共通にす
るなど、様々に変形可能である。さらに、一つの画像デ
ータに複数のスペクトルデータが存在する場合にはシリ
アル番号を付与することも考えられる。

【００４２】加えて、上述した例では、走査型電子顕微
鏡４にエネルギー分散型のＸ線分析部６を組み合わせた
例を示しているが、本発明は、顕微鏡の種類を走査型電
子顕微鏡に限定するものではない。たとえば、本発明は
透過型電子顕微鏡にＸ線分析部６を組み合わせたもので
あっても実施可能である。

【００４３】さらに、上述の例に示した効果は、上述し
た制御プログラムＰｅ，Ｐｓが記録された記録媒体を有
するコンピュータ５，７において得られるものであっ
て、本発明はこの記録媒体の種類を限定するものではな
い。すなわち、上述した例のように制御プログラムＰ
ｅ，Ｐｓは各コンピュータ５，７のメモリｍやハードデ
ィスクに予め組み込まれたものだけに限られるものでは
なく、既存のコンピュータにインストールできるよう
に、上述の制御プログラムＰｅ，ＰｓをＣＤ−ＲＯＭや
フロッピーディスクなどのコンピュータ読み取り可能な
記録媒体に記録して提供してもよいことはいうまでもな
い。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電子顕微鏡やＸ線分析部から得られた画像データやスペ
クトルデータを一括して保存できるので、操作者の操作
性が向上する。また、一つの記録媒体に保存すること
で、データの管理を容易にすることができる。スペクト
ルと同じ場所、名前で画像データを保存することによ
り、データの管理を一層簡単に行うことができる。さら
に、データを保存する媒体をリムーバブルディスクとし
た場合には、データを容易に取出して持ち運び、保管す
るこができると共に、容量に際限がなくなる利点もあ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のＸ線分析装置の構成を概略的に示すブ
ロック図である。

【図２】前記Ｘ線分析装置の制御プログラムの動作を説
明する説明図である。

【図３】従来のＸ線分析装置の構成を概略的に示すブロ
ック図である。

【図４】前記Ｘ線分析装置の動作を説明する説明図であ
る。

【符号の説明】

１…Ｘ線分析装置、４…電子顕微鏡、５，７…コンピュ
ータ、６…Ｘ線分析部、７ｒ…記録媒体、Ｃ…通信手
段、Ｄｂ…画像データ、Ｄｓ…スペクトルデータ、Ｄｒ
…ファイル登録のための場所、Ｓ…分析対象試料。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】分析対象試料の電子顕微鏡画像を出力す
る電子顕微鏡とＸ線分析部とこれらを制御するコンピュ
ータとからなり、電子顕微鏡によって得られる顕微鏡画
像とＸ線分析部によって得られるＸ線スペクトルとをコ
ンピュータに取り込み可能に構成されたＸ線分析装置に
おいて、前記顕微鏡画像を表わす画像データと、この顕
微鏡画像上の指定された分析位置から発生するＸ線のス
ペクトルデータとを、前記コンピュータで読み書き可能
な一つの記録媒体に一回の操作で保存するように構成し
たことを特徴とするＸ線分析装置。
【請求項２】前記画像データとスペクトルデータに、
使用者が定める共通の字句を含む名前を付与すると共
に、これらのデータを、ファイル登録のための同じ場所
に保存するように構成した請求項１に記載のＸ線分析装
置。
【請求項３】前記電子顕微鏡を制御するコンピュータ
と、Ｘ線分析部を制御するコンピュータとが別々に設け
られており、両コンピュータ同士を接続することで、前
記記録媒体に対して両コンピュータからアクセス可能と
すると共に、一方のコンピュータの操作で他方のコンピ
ュータにデータの保存命令を出力して両コンピュータが
ほぼ同時にデータ保存可能とする通信手段を設けた請求
項１または２に記載のＸ線分析装置。
【請求項４】前記記録媒体がリムーバブルディスクで
ある請求項１〜３の何れかに記載のＸ線分析装置。
【請求項５】分析対象試料の顕微鏡画像を出力する電
子顕微鏡とＸ線分析部とこれらを制御するコンピュータ
とからなるＸ線分析装置において、前記コンピュータ
が、前記電子顕微鏡を制御して試料中の特定部分の顕微
鏡画像を表わす画像データを得る顕微鏡制御プログラム
と、前記Ｘ線分析部を制御して前記顕微鏡画像中の使用
者が指定する位置の試料から発生するＸ線のスペクトル
データを得るＸ線分析部制御プログラムとからなる制御
プログラムを実行し、この制御プログラムが、使用者に
よる一回の操作によって前記画像データおよびスペクト
ルデータを一つの記録媒体に保存する機能を有すること
を特徴とするＸ線分析装置の制御プログラムを記録した
コンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項６】前記画像データおよびスペクトルデータ
に、使用者が定める共通の字句を含む名前を付与すると
共に、両データをファイル登録のための同じ場所に保存
するＸ線分析装置の制御プログラムを記録した請求項５
に記載のコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項７】前記Ｘ線分析装置が前記電子顕微鏡を制
御するコンピュータと、Ｘ線分析部を制御するコンピュ
ータを別々に有すると共に、両コンピュータ同士を接続
することで、前記一つの記憶媒体に対して両コンピュー
タからアクセス可能とする通信手段を有しており、前記
顕微鏡制御プログラムが電子顕微鏡を制御するコンピュ
ータで実行され、前記Ｘ線分析部制御プログラムがＸ線
分析部を制御するコンピュータで実行されると共に、一
方のコンピュータの操作で与えられたデータ保存命令を
前記通信手段を介して通信して、一方のコンピュータの
操作で他方のコンピュータにおいてもデータ保存できる
ようにしたＸ線分析装置の制御プログラムを記録した請
求項５または６に記載のコンピュータ読み取り可能な記
録媒体。
【請求項８】前記一つの記録媒体として顕微鏡制御プ
ログラムとＸ線分析部制御プログラムの両方がアクセス
可能なリムーバブルディスクを用いるＸ線分析装置の制
御プログラムを記録した請求項５〜７の何れかに記載の
コンピュータ読み取り可能な記録媒体。