JP2000283087A - Turbo-molecular pump - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To increase a maximum probability speed of a gas molecule effecting desorption from a blade on the outlet side more than a blade surface on the inlet side of a rotor blade and a stator blade. SOLUTION: The blade 310 of a rotor blade and a stator blade is formed by nipping a heater 313 and a heat insulation material 312 between two metallic material members 311 and 314. In this case, the heater 313 is fixed adjacently to the surface on the outlet side of the heat insulation material 312. By charging the heater 313 with a current, the metallic material member 314 on the outlet side is heated, and the metallic material member 311 on the inlet side is brought into a non-heated state by the heat insulation material 312. Exhaust is promoted by this temperature difference.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ分子ポンプ
及びターボ分子ポンプ装置に関し、例えば、半導体製造
装置や電子顕微鏡などの真空装置として使用されるター
ボ分子ポンプ及びターボ分子ポンプ装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a turbo-molecular pump and a turbo-molecular pump device, and more particularly to a turbo-molecular pump and a turbo-molecular pump device used as a vacuum device such as a semiconductor manufacturing device and an electron microscope.

【０００２】[0002]

【従来の技術】例えば、半導体や液晶の製造において、
ドライエッチング、ＣＶＤ等を行う場合には、チャンバ
内にプロセスガスを導入し、このプロセスガスをターボ
分子ポンプにより吸引排出するターボ分子ポンプ装置が
用いられている。このターボ分子ポンプは、高速回転す
るロータ軸に取付けられたロータ翼と、ケーシングに固
定されたステータ翼とが交互に配置され、ロータ翼とス
テータ翼との対が複数段設けられている。2. Description of the Related Art For example, in the production of semiconductors and liquid crystals,
When performing dry etching, CVD, or the like, a turbo molecular pump device that introduces a process gas into a chamber and suctions and discharges the process gas by a turbo molecular pump is used. In this turbo molecular pump, rotor blades attached to a rotor shaft that rotates at high speed and stator blades fixed to a casing are alternately arranged, and a plurality of pairs of rotor blades and stator blades are provided.

【０００３】そして、各段のロータ翼には、吸気口側が
進行方向（回転方向）に向かって傾斜したブレード（羽
根）が放射状に設けられ、各段のステータ翼には、ロー
タ翼のブレードと反対方向に傾斜したブレード（羽根）
が放射状に設けられている。そして、ロータ翼により気
体分子に排気口方向への運動量を与えることで移送され
た気体分子はステータ翼のブレードの傾斜面で斜めに反
射することで次段に移動する。このようにして、気体分
子は、順次各段のロータ翼とステータ翼により気体分子
を吸気口側から排気口まで移送され、排気される。The rotor blades of each stage are provided with blades (blades) whose intake ports are inclined in the traveling direction (rotation direction) in a radial direction, and the stator blades of each stage are provided with blades of the rotor blades. Blade (blade) inclined in the opposite direction
Are provided radially. The gas molecules transferred by imparting momentum to the gas molecules in the exhaust port direction by the rotor blades move to the next stage by being obliquely reflected by the inclined surfaces of the blades of the stator blades. In this way, the gas molecules are sequentially transferred from the intake port side to the exhaust port by the rotor blades and the stator blades of each stage, and are exhausted.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】図１４は、従来のター
ボ分子ポンプのロータ翼１ａとステータ翼２ａの一対
と、からなるブレードの断面形状と、そのブレードへ吸
着し、離脱する、分子流領域における気体分子の挙動を
表したものである。図１４に示すように、気体分子（３
ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ）に着目すると、高真空状態の分
子流領域では、ロータ翼１ａ若しくはステータ翼２ａ
の、ロータの回転方向に対して所定角度Ａ又はＢの角度
で傾斜されたブレード面に、気体分子が吸着後、脱離す
る。このとき、ブレードが、一般に均一の材質で作られ
ているので、翼表面の温度も全体に渡って均一であり、
その結果、気体分子が、ブレードの吸気口側の面と排気
口側の面から脱離する際、排気口側の面の気体分子（３
ａ、４ａ）と吸気口側の面の気体分子（３ｂ、４ｂ)の
脱離時の最大確率速度は実質的に同速度となる。このた
め、吸気口側に気体分子が進む速度分だけ、排気速度に
ロスがあった。。FIG. 14 shows a cross-sectional shape of a blade composed of a rotor blade 1a and a pair of stator blades 2a of a conventional turbo-molecular pump, and a molecular flow region which is adsorbed to and separated from the blade. FIG. 4 shows the behavior of gas molecules at the time. As shown in FIG. 14, gas molecules (3
a, 3b, 4a, and 4b), in the molecular flow region in a high vacuum state, the rotor blade 1a or the stator blade 2a
The gas molecules are desorbed after being adsorbed on the blade surface inclined at a predetermined angle A or B with respect to the rotation direction of the rotor. At this time, since the blades are generally made of a uniform material, the temperature of the blade surface is also uniform over the whole,
As a result, when the gas molecules are separated from the surface on the intake port side and the surface on the exhaust port side of the blade, the gas molecules (3
a, 4a) and the maximum probability velocity at the time of desorption of gas molecules (3b, 4b) on the surface on the side of the intake port are substantially the same. Therefore, there is a loss in the exhaust speed by the speed of the gas molecules traveling toward the intake port. .

【０００５】そこで、本発明はこのような従来技術の課
題を解決するためになされた装置を提供することを目的
とする。すなわち、本発明の目的は、ロータ翼若しくは
ステータ翼に気体分子が吸着され離脱する際の、翼の排
気口側の分子の最大確率速度を、翼の吸気口側の分子の
最大確率速度よりも、速くすることが可能なターボ分子
ポンプを提供することである。[0005] Therefore, an object of the present invention is to provide an apparatus made to solve such problems of the prior art. That is, an object of the present invention is to make the maximum probability velocity of the molecule on the exhaust port side of the blade when gas molecules are adsorbed and desorbed on the rotor blade or the stator blade higher than the maximum probability rate of the molecule on the intake port side of the blade. The object of the present invention is to provide a turbo molecular pump which can be made faster.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明では、モータにより回転されるロータ本体
と、このロータ本体の回転軸方向に複数段、配設され、
前記ロータ本体の回転軸に対して所定角度で傾斜させて
放射状に複数のロータブレードが設けられたロータ翼
と、ロータ翼の間で、このロータ本体の回転軸方向に複
数段、固定されて配設され、かつ、前記ロータ本体の回
転軸に対して所定角度で傾斜させて放射状に複数のステ
ータブレードが設けられたステータ翼と、前記ロータブ
レード及び前記ステータブレードの前記ポンプの排気口
側の面の少なくとも一部の温度を上昇させるための温度
上昇手段と、を具備するターボ分子ポンプを提供する。In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a rotor body rotated by a motor, and a plurality of stages arranged in a rotation axis direction of the rotor body.
A plurality of rotor blades are provided at a predetermined angle with respect to the rotation axis of the rotor body and radially provided with a plurality of rotor blades, and a plurality of stages are fixedly arranged in the rotation axis direction of the rotor body between the rotor blades. A stator blade provided with a plurality of stator blades radially provided at a predetermined angle with respect to a rotation axis of the rotor main body; and surfaces of the rotor blades and the stator blades on the exhaust port side of the pump. And a temperature increasing means for increasing the temperature of at least a part of the turbo molecular pump.

【０００７】[0007]

【発明の実施の形態】（１）実施の形態の概要 本発明に係る実施形態は、ターボ分子ポンプの、ロータ
翼又はステータ翼のブレードの、ポンプの排気口側の面
を、熱電交換部材又はヒータを、ブレードの内部に埋設
することにより加熱する。その結果、ポンプの吸気口側
の面と排気口側の面の温度差をもたらし、吸気口側より
も排気口側から脱離する気体分子の最大確率速度を上
げ、真空引時の排気を促進するものである。さらには、
ヒータのポンプの吸気口側の面に、断熱材を隣接させ
る。この際、ヒータと断熱材とが接する面において、ヒ
ータの面積が断熱材の面積と実質同一若しくは、ヒータ
の面積が断熱材の面積より小さく設定する。このよう
に、断熱材をヒータに対し吸気口側に配置し、この温度
差に、更に有意差をつけ、より排気を促進するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (1) Outline of Embodiment In an embodiment according to the present invention, a surface of a turbo-molecular pump on the side of an exhaust port of a rotor blade or a stator blade is formed by a thermoelectric exchange member or a thermoelectric exchange member. The heater is heated by being embedded inside the blade. As a result, a temperature difference between the surface of the pump on the inlet side and the surface on the exhaust side is brought about, increasing the maximum probability velocity of gas molecules desorbing from the exhaust side rather than the intake side, and promoting the evacuation during evacuation. Is what you do. Moreover,
A heat insulating material is made adjacent to the surface of the heater on the side of the suction port of the pump. At this time, on the surface where the heater and the heat insulating material are in contact, the area of the heater is set substantially equal to the area of the heat insulating material, or the area of the heater is set smaller than the area of the heat insulating material. As described above, the heat insulating material is arranged on the intake port side with respect to the heater, and this temperature difference is further made significantly different to further promote the exhaust.

【０００８】（２）実施の形態の詳細 以下、本発明の好適な実施の形態を、図１から図１３を
参照して詳細に説明する。図１は、本発明の真空ポンプ
の一実施形態の全体構成の断面を表したものである。こ
のターボ分子ポンプ１は、例えば半導体製造装置内等に
設置され、チャンバ等からプロセスガスの排出を行うも
のである。また、このターボ分子ポンプ１は、チャンバ
等からのプロセスガスをステータ翼７２とロータ翼６２
とにより下流側へ移送するターボ分子ポンプ部Ｔと、タ
ーボ分子ポンプ部Ｔからプロセスガスが送り込まれ、こ
のプロセスガスをネジ溝ポンプにより更に移送して排出
するネジ溝ポンプ部Ｓとを備えている。なお、このネジ
溝ポンプ部Ｓを省略して、ポンプ１の全長に渡って、タ
ーボ分子ポンプ部Ｔとしてもよい。(2) Details of the Preferred Embodiment Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 1 shows a cross section of the overall configuration of an embodiment of the vacuum pump of the present invention. The turbo molecular pump 1 is installed, for example, in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, and discharges a process gas from a chamber or the like. In addition, the turbo molecular pump 1 uses a process gas from a chamber or the like to feed the stator blades 72 and the rotor blades 62.
And a thread groove pump section S to which a process gas is fed from the turbo molecular pump section T and further transferred and discharged by the thread groove pump from the turbo molecular pump section T. . The thread groove pump section S may be omitted, and a turbo molecular pump section T may be provided over the entire length of the pump 1.

【０００９】図１に示すように、ターボ分子ポンプ１
は、略円筒形状の外装体１０と、この外装体１０の中心
部に配置される略円柱形状のロータ軸１８と、ロータ軸
１８に固定配置されロータ軸１８とともに回転するロー
タ６０と、ステータ７０とを備えている。外装体１０
は、その上端部に半径方向外方へ延設されたフランジ１
１を有しており、このフランジ１１をボルト等によって
半導体製造装置等に取り付けてフランジ１１の内側に形
成される吸入口１６とチャンバ等の容器の排出口とを連
接し、容器の内部と外装体１０の内部とを連通させるよ
うになっている。As shown in FIG. 1, a turbo molecular pump 1
Are a substantially cylindrical exterior body 10, a substantially cylindrical rotor shaft 18 disposed at the center of the exterior body 10, a rotor 60 fixed to the rotor shaft 18 and rotating with the rotor shaft 18, and a stator 70. And Exterior body 10
Is a flange 1 extending radially outward at its upper end.
The flange 11 is attached to a semiconductor manufacturing apparatus or the like by a bolt or the like, and an inlet 16 formed inside the flange 11 and an outlet of a container such as a chamber are connected to each other. The inside of the body 10 is communicated.

【００１０】ロータ６０は、ロータ軸１８の外周配置さ
れた断面略逆Ｕ字状のロータ本体６１を備えている。こ
のロータ本体６１は、ロータ軸１８の上部にボルト１９
で取り付けられている。ロータ本体６１は、ターボ分子
ポンプ部Ｔにおいては、ロータ翼６２が多段に形成され
てる。The rotor 60 includes a rotor main body 61 having a substantially inverted U-shaped cross section disposed on the outer periphery of the rotor shaft 18. The rotor main body 61 has a bolt 19
Installed with. In the rotor body 61, the rotor blades 62 are formed in multiple stages in the turbo molecular pump section T.

【００１１】図２は、ロータ６０をロータ翼６２の上下
面に沿って切断した場合の断面斜視図である。この図２
に示すように、各ロータ翼６２は、ロータ本体６１の外
周面に環装されるロータ円環部６４と、このロータ円環
部６４の外周等間隔に径方向放射状に設けられた複数の
ロータブレード（羽根）６３とから構成されている。こ
のロータブレード６３は、吸気口側（図面上側）が回転
方向に傾斜している。FIG. 2 is a sectional perspective view when the rotor 60 is cut along the upper and lower surfaces of the rotor blade 62. This figure 2
As shown in FIG. 2, each rotor blade 62 includes a rotor annular portion 64 mounted on the outer peripheral surface of the rotor main body 61 and a plurality of rotors radially provided at equal intervals on the outer periphery of the rotor annular portion 64. And a blade (blade) 63. The rotor blade 63 has an intake port side (upper side in the drawing) inclined in the rotation direction.

【００１２】図１において、ステータ７０は、ターボ分
子ポンプ部Ｔにおいては、スペーサ７１と、このスペー
サ７１、７１間に外周側が支持されることでロータ翼６
２の各段の間に配置されるステータ翼７２とを備えてい
る。ネジ溝ポンプ部Ｓにおいては、スペーサ７１に連設
するネジ溝部スペーサ８０を備えている。スペーサ７１
は段部を有する円筒状であり、外装体１０の内側に積み
重ねられている。各スペーサ７１の内側に位置する段部
の軸方向の長さはロータ翼６２における各段の間隔に応
じた長さになっている。In FIG. 1, in a turbo molecular pump section T, a stator 71 is provided with a spacer 71 and a rotor blade 6 having an outer peripheral side supported between the spacers 71, 71.
And a stator blade 72 disposed between the two stages. The thread groove pump section S includes a thread groove section spacer 80 that is provided continuously with the spacer 71. Spacer 71
Is a cylindrical shape having a step portion, and is stacked inside the exterior body 10. The axial length of the step located inside each spacer 71 is a length corresponding to the interval of each step in the rotor blade 62.

【００１３】図３は、ステータ翼７２の一部を表した斜
視図である。ステータ翼７２は、外周側の一部がスペー
サ７１によって周方向に挟持される外側円環部７３と、
内側円環部７４と、外側円環部７３と内側円環部７４と
により両端が放射状に所定角度で支持された複数のステ
ータブレード７５とから構成されている。内側円環部７
４の内径は、ロータ本体６１の外径よりも大きく形成さ
れ、内側円環部７４の内周面７７とロータ本体６１の外
周面６５とが接触しないようになっている。FIG. 3 is a perspective view showing a part of the stator blade 72. An outer annular portion 73 whose outer peripheral side is partially held in the circumferential direction by the spacer 71,
It is composed of an inner annular portion 74, and a plurality of stator blades 75 whose both ends are radially supported at a predetermined angle by the outer annular portion 73 and the inner annular portion 74. Inner ring part 7
The inner diameter of 4 is formed larger than the outer diameter of the rotor main body 61 so that the inner peripheral surface 77 of the inner annular portion 74 does not contact the outer peripheral surface 65 of the rotor main body 61.

【００１４】このステータ翼７２は、各段のロータ翼６
２間に配置される。例えば、このステータ翼７２は円周
が２分割されている。そして、ステータ翼７２は、この
２分割された例えばステンレス鋼製又はアルミニウム製
の薄肉の板から、エッチング法等により半円環状の外形
部分とステータブレード７５の部分を切り出し、ステー
タブレード７５の部分をプレス加工により所定角度に曲
げることで図３に示す形状に形成される。ステータブレ
ード７５は、図３に示されるように、ロータブレード６
３と反対方向に傾斜するように形成されている。そし
て、本実施形態のステータブレード７５とロータブレー
ド６３には、後述するように、温度上昇手段としてのヒ
ータ等が取り付けられている。The stator blades 72 are connected to the rotor blades 6 of each stage.
It is located between the two. For example, the circumference of the stator blade 72 is divided into two. Then, the stator blade 72 cuts out a semi-circular outer shape portion and a portion of the stator blade 75 from the two divided thin plates made of, for example, stainless steel or aluminum by an etching method or the like. It is formed into the shape shown in FIG. 3 by bending to a predetermined angle by press working. The stator blade 75 is, as shown in FIG.
3 is formed so as to be inclined in the opposite direction. As described later, a heater or the like as a temperature increasing unit is attached to the stator blade 75 and the rotor blade 63 of the present embodiment.

【００１５】なお、図２、図３及び後述の図４から図１
４における、翼ブレードの断面形状（本明細書における
断面形状は、ロータ６０の回転軸方向に切り取った断面
における形状とする。）を平行四辺形としているが、こ
の形状に限定されるものではない。さらに、ヒータ、熱
伝交換素子、断熱材の形状についても同様に以下に記述
する形状に限定されるものではない。It should be noted that FIGS. 2 and 3 and FIGS.
4, the cross-sectional shape of the blade blade (the cross-sectional shape in the present specification is a cross-section cut in the direction of the rotation axis of the rotor 60) is a parallelogram, but is not limited to this shape. . Further, the shapes of the heater, the heat exchange element, and the heat insulating material are not limited to the shapes described below.

【００１６】図１において、ネジ溝スペーサ部８０は、
スペーサ７１に連設され、スペーサ７１とステータ翼７
２と、の下方に配設されている。このネジ溝スペーサ部
８０は、内径壁がロータ本体６１の外周面と近接する位
置まで張り出した厚みを有しており、内径壁に螺旋構造
のネジ溝８１が複数条形成されている。このネジ溝８１
は、上記ステータ翼７２とロータ翼６２との間と連通さ
れており、移送排出されてきた気体がネジ溝８１に導入
されるようになっている。なお、この実施形態では、ネ
ジ溝８１をステータ７０側に形成したが、ネジ溝８１を
ロータ本体６１の外径壁に形成するようにしてもよい。
またネジ溝８１をネジ溝スペーサ部８０に形成すると共
に、ロータ本体６１の外径壁にも形成するようにしても
よい。In FIG. 1, the thread groove spacer portion 80 is
The spacer 71 and the stator blade 7 are connected to the spacer 71.
2 and below. The thread groove spacer portion 80 has a thickness such that the inner diameter wall protrudes to a position close to the outer peripheral surface of the rotor main body 61, and a plurality of thread grooves 81 having a helical structure are formed on the inner diameter wall. This screw groove 81
Is communicated between the stator blades 72 and the rotor blades 62 so that the transferred and discharged gas is introduced into the screw grooves 81. In this embodiment, the screw groove 81 is formed on the stator 70 side, but the screw groove 81 may be formed on the outer diameter wall of the rotor main body 61.
Further, the screw groove 81 may be formed on the outer diameter wall of the rotor main body 61 while being formed on the screw groove spacer portion 80.

【００１７】ターボ分子ポンプ１は、更に、軸受、例え
ば、ロータ軸１８を磁力により支持する磁気軸受２０
と、ロータ軸１８にトルクを発生させるモータ３０を備
えている。磁気軸受２０は、５軸制御の磁気軸受であ
り、ロータ軸１８に対して半径方向の磁力を発生させる
半径方向電磁石２１、２４と、ロータ軸１８の半径方向
の位置を検出する半径方向センサ２２、２６と、ロータ
軸１８に対して軸方向の磁力を発生させる軸方向電磁石
３２、３４と、軸方向電磁石３２、３４による軸方向の
力が作用するアーマチュアディスク３１、回路基板収納
部４０内からロータ軸１８の軸方向の位置を検出する軸
方向センサ３６と、を備えている。The turbo-molecular pump 1 further includes a bearing, for example, a magnetic bearing 20 for supporting the rotor shaft 18 by magnetic force.
And a motor 30 for generating torque on the rotor shaft 18. The magnetic bearing 20 is a five-axis control magnetic bearing, and includes radial electromagnets 21 and 24 that generate a magnetic force in the radial direction with respect to the rotor shaft 18 and a radial sensor 22 that detects the radial position of the rotor shaft 18. , 26, axial electromagnets 32, 34 for generating an axial magnetic force on the rotor shaft 18, an armature disk 31, on which axial forces are exerted by the axial electromagnets 32, 34, and the circuit board housing 40. An axial sensor 36 for detecting the axial position of the rotor shaft 18.

【００１８】半径方向電磁石２１は、互いに直交するよ
うに配置された２対の電磁石で構成されている。各対の
電磁石は、ロータ軸１８のモータ３０よりも上部の位置
に、ロータ軸１８を挟んで対向配置されている。この半
径方向電磁石２１の上部には、半径方向電磁石２１側に
隣接し、ロータ軸１８を挟んで対向する半径方向センサ
２２が２対設けられている。２対の半径方向センサ２２
は、２対の半径方向電磁石２１に対応して、互いに直交
するように配置されている。The radial electromagnet 21 is composed of two pairs of electromagnets arranged orthogonally to each other. The electromagnets of each pair are arranged opposite to each other with the rotor shaft 18 interposed therebetween at a position above the motor 30 of the rotor shaft 18. Above the radial electromagnet 21, two pairs of radial sensors 22 are provided adjacent to the radial electromagnet 21 and opposed to each other with the rotor shaft 18 interposed therebetween. Two pairs of radial sensors 22
Are arranged so as to be orthogonal to each other, corresponding to the two pairs of radial electromagnets 21.

【００１９】さらに、ロータ軸１８のモータ３０よりも
下部の位置には、同様に２対の半径方向電磁石２４が互
いに直交するように配置されている。この半径方向電磁
石２４の下部にも、同様に半径方向電磁石２４に隣接し
て半径方向センサ２６が２対設けられている。これら半
径方向電磁石２１、２４に励磁電流が供給されることに
よって、ロータ軸１８が磁気浮上される。この励磁電流
は、磁気浮上時に、半径方向センサ２２、２６からの位
置検知信号に応じて制御され、これによってロータ軸１
８が半径方向の所定位置に保持されるようになってい
る。Further, two pairs of radial electromagnets 24 are similarly arranged at a position below the motor 30 on the rotor shaft 18 so as to be orthogonal to each other. Similarly, two pairs of radial sensors 26 are provided below the radial electromagnet 24 adjacent to the radial electromagnet 24. When an exciting current is supplied to these radial electromagnets 21 and 24, the rotor shaft 18 is magnetically levitated. This exciting current is controlled in accordance with position detection signals from the radial sensors 22 and 26 during magnetic levitation, whereby the rotor shaft 1
8 is held at a predetermined position in the radial direction.

【００２０】ロータ軸１８の下部には、磁性体で形成さ
れた円盤状のアーマチュアディスク３１が固定されてお
り、このアーマチュアディスク３１を挟み、且つ対向し
た一対ずつの軸方向電磁石３２、３４が配置されてい
る。さらにロータ軸１８の下端部に対向して軸方向セン
サ３６が配置されている。この軸方向電磁石３２、３４
の励磁電流は、軸方向センサ３６からの位置検知信号に
応じて制御され、これによりロータ軸１８が軸方向の所
定位置に保持されるようになっている。磁気軸受２０
は、これら半径方向センサ２２、２６、および軸方向セ
ンサ３６の検出信号を基に、半径方向電磁石２１、２４
および軸方向電磁石３２、３４などの励磁電流をそれぞ
れフィードバック制御することでロータ軸１８を磁気浮
上させる磁気軸受制御部を制御系４５内に備えている。A disk-shaped armature disk 31 made of a magnetic material is fixed to a lower portion of the rotor shaft 18, and a pair of axial electromagnets 32, 34 opposed to each other with the armature disk 31 interposed therebetween are arranged. Have been. Further, an axial sensor 36 is arranged to face the lower end of the rotor shaft 18. The axial electromagnets 32, 34
Is controlled in accordance with a position detection signal from the axial sensor 36, so that the rotor shaft 18 is held at a predetermined position in the axial direction. Magnetic bearing 20
Are based on the detection signals of the radial sensors 22, 26 and the axial sensor 36.
The control system 45 includes a magnetic bearing control unit that magnetically levitates the rotor shaft 18 by performing feedback control of the exciting currents of the axial electromagnets 32 and 34, respectively.

【００２１】さらに、本実施形態のターボ分子ポンプ１
では、ロータ軸１８の上部側及び下部側には保護用ベア
リング３８、３９が配置されている。通常、ロータ軸１
８及びこれに取り付けられている各部からなるロータ部
は、モータ３０により回転している間、磁気軸受２０に
よりステータ部と非接触状態で軸支される。保護用ベア
リング３８、３９は、外部からの衝撃等でロータの異常
な変位によりタッチダウンが発生した場合に磁気軸受２
０に代わってロータ部を軸支することで装置全体を保護
するためのベアリングである。従って保護ベアリング３
８、３９は、内輪がロータ軸１８には非接触状態になる
ように配置されている。Furthermore, the turbo molecular pump 1 of the present embodiment
Here, protective bearings 38 and 39 are arranged on the upper and lower sides of the rotor shaft 18. Normally, rotor shaft 1
The rotor 8 including the rotor 8 and the components attached thereto is rotatably supported by the magnetic bearing 20 in a non-contact state with the stator while being rotated by the motor 30. The protective bearings 38 and 39 are provided for the magnetic bearing 2 when the touchdown occurs due to an abnormal displacement of the rotor due to an external impact or the like.
This is a bearing for protecting the entire apparatus by pivotally supporting the rotor unit in place of 0. Therefore, the protective bearing 3
Reference numerals 8 and 39 are arranged such that the inner ring does not contact the rotor shaft 18.

【００２２】モータ３０は、外装体１０の内側の半径方
向センサ２２と半径方向センサ２６との間で、ロータ軸
１８の軸方向ほぼ中心位置に配置されている。このモー
タ３０に通電することによって、ロータ軸１８および、
これに固定されたロータ６０、ロータ翼６２が回転する
ようになっている。この回転の回転数は回転数センサ４
１により検出され、この回転数センサ４１からの信号に
基づいて制御系４５によって制御されるようになってい
る。ターボ分子ポンプ１の外装体１０の下部には、ネジ
溝ポンプ部Ｓにより移送されてきた気体を外部へ排出す
る排気口５２が配置されている。また、ターボ分子ポン
プ１は、コネクタおよびケーブルを介して制御系４５に
接続されている。The motor 30 is disposed between the radial direction sensor 22 and the radial direction sensor 26 on the inner side of the exterior body 10 and substantially at the center of the rotor shaft 18 in the axial direction. By energizing the motor 30, the rotor shaft 18 and
The rotor 60 and the rotor blades 62 fixed thereto are rotated. The rotation speed of this rotation is a rotation speed sensor 4
1 and is controlled by a control system 45 based on a signal from the rotation speed sensor 41. An exhaust port 52 for discharging the gas transferred by the thread groove pump section S to the outside is disposed below the outer body 10 of the turbo molecular pump 1. The turbo-molecular pump 1 is connected to a control system 45 via a connector and a cable.

【００２３】次に、本実施形態における、ブレードの加
熱面について説明する。図４と図５は、本実施形態にお
けるターボ分子ポンプのロータ翼ブレード１０１、１０
２と、ステータ翼ブレード２０１、２０２のロータ６０
の回転軸方向の断面図である。本実施形態では、ロータ
翼ブレード１０１、１０２及びステータ翼ブレード２０
１、２０２の少なくとも一方の、排気口側の面、すなわ
ち、図４と図５の、２点鎖線１５１、２５１、１５２、
２５２で表される直線と平行な面に相当する部分である
排気口側の温度を吸気口側の面の温度よりも高く設定す
る。Next, the heating surface of the blade in this embodiment will be described. FIGS. 4 and 5 show the rotor blades 101, 10 of the turbo molecular pump according to the present embodiment.
2 and the rotor 60 of the stator blades 201, 202
FIG. 3 is a cross-sectional view in the rotation axis direction of FIG. In this embodiment, the rotor blades 101 and 102 and the stator blade 20
1, 202, at least one of the surfaces on the exhaust port side, that is, the two-dot chain lines 151, 251 and 152 in FIGS.
The temperature on the exhaust port side, which is a portion corresponding to the plane parallel to the straight line represented by 252, is set higher than the temperature on the surface on the intake port side.

【００２４】具体的には、ヒータを用いて、排気口側の
面、即ち、２点鎖線１５１、２５１、１５２、２５２と
平行な両ブレードの面に相当する部分をヒータを用いて
加熱する。又は、ペルチェ素子からなる熱伝変換素子を
用いて、ブレード１０１、１０２、２０１、２０２につ
いて、ブレードの排気口側の面、即ち、２点鎖線１５
１、２５１、１５２、２５２と平行な両ブレードの面に
相当する部分を加熱し、ブレードの吸気口側の面を冷却
する。More specifically, the heater is used to heat the surface on the exhaust port side, that is, the portion corresponding to the surfaces of both blades parallel to the two-dot chain lines 151, 251, 152, 252. Alternatively, by using a heat transfer element composed of a Peltier element, the blades 101, 102, 201, and 202 have the exhaust port side surface of the blade, that is, the two-dot chain line 15.
The portions corresponding to the surfaces of both blades parallel to 1, 251, 152, and 252 are heated, and the surface of the blade on the intake port side is cooled.

【００２５】さらに、図６から図１３を用いて、本実施
形態におけるブレードの具体的加熱方法について説明す
る。なお、図６から図８と、図１０から図１２の実施形
態が、上記図４の具体的改良に相当し、図９と図１３の
実施形態が、上記図５の具体的改良に相当する。ここで
は、ステータ翼のブレード１枚を例にして、その構造を
説明する。なお、当該構造は、ロータ翼とステータ翼の
双方に適用してもよいし、一方にのみ適用してもよい。
また、すべてのブレードについて適用してもよいし、一
部のブレードについて適用してもよい。また、ブレード
内に配置されるヒータ等へ給電は以下のように設定する
ことが好適である。即ち、ステータブレードのヒータ等
については、外部から給電し、また、ロータブレードの
ビータ等については、ロータ６０のいずれかの箇所に電
池等の電源を配置し、そこから給電するか、ブラシ手段
をロータ６０に接触させ、外部から給電する。ヒータへ
の給電は、連続的であってもよいし、断続的であっても
よく、図１の制御系により適宜制御される。Further, a specific heating method of the blade in the present embodiment will be described with reference to FIGS. The embodiments of FIGS. 6 to 8 and FIGS. 10 to 12 correspond to the specific improvement of FIG. 4, and the embodiments of FIGS. 9 and 13 correspond to the specific improvement of FIG. . Here, the structure of one stator blade will be described as an example. The structure may be applied to both the rotor blade and the stator blade, or may be applied to only one of them.
Further, the present invention may be applied to all blades, or may be applied to some blades. Further, it is preferable to set the power supply to the heater and the like arranged in the blade as follows. That is, for the heater and the like of the stator blade, power is supplied from the outside, and for the beater and the like of the rotor blade, a power source such as a battery is disposed at any part of the rotor 60, and power is supplied therefrom or a brush means is provided. It is brought into contact with the rotor 60 to supply power from outside. The power supply to the heater may be continuous or intermittent, and is appropriately controlled by the control system of FIG.

【００２６】図６は、本発明の実施形態である翼のブレ
ードの断面構造である。このブレード３１０は、断熱材
３１２と、断熱材３１２の排気口側の面上の一部又は全
部に隣接かつ固着されたヒータ３１３と、これら部材の
両面から同延状に挟み込むように、固着された断面平行
四辺形の六面体の金属部材３１１、３１４と、からな
る。この場合の固着手段は、例えば、接着材により互い
を接着させるか若しくは、各部材に貫通孔を開けて、ボ
ルト・ナットで締め込む。ここにおいて、断熱材３１２
については、平板状の、例えば、ロータの回転軸方向の
断面が平行四辺形の六面体の、熱伝導率の低い部材が使
用される。断熱材としての機能を有する低熱伝導率層の
好適な材質としては、断熱性のあるセラミックス（例え
ば、Ｋ２Ｏ・ｎＴｉＯ２、ＣａＯ・ＳｉＯ２等）や樹脂
（例えば、テフロン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹
脂、その他耐熱樹脂等）が使用できる。FIG. 6 shows a sectional structure of a blade of a wing according to an embodiment of the present invention. The blade 310 is fixed to the heat insulating material 312, the heater 313 adjacent and fixed to a part or all of the heat insulating material 312 on the exhaust port side, and is sandwiched between both surfaces of these members so as to be coextensive. And hexagonal metal members 311 and 314 each having a parallelogram cross section. The fixing means in this case is, for example, adhered to each other with an adhesive, or a through hole is formed in each member, and tightened with a bolt and a nut. Here, the heat insulating material 312
For example, a plate-shaped member having a low thermal conductivity, for example, a hexahedron having a parallelogram-shaped cross section in the rotation axis direction of the rotor is used. Suitable materials for the low thermal conductivity layer having a function as a heat insulating material include ceramics (for example, K2O.nTiO2, CaO.SiO2, etc.) and resins (for example, Teflon resin, acrylic resin, epoxy resin, etc.) Heat-resistant resin etc.) can be used.

【００２７】一方、ヒータ３１３については、その形状
は問わない。なお、ヒータ３１３は、排気口側の金属材
料部材３１４に嵌合穴を設け、この嵌合穴に埋設させて
もよいし、断熱材３１２に嵌合穴を設け、そこへ埋設さ
せてもよい。ただし、ブレード面から露出しないように
する。On the other hand, the shape of the heater 313 does not matter. The heater 313 may be provided with a fitting hole in the metal material member 314 on the exhaust port side and buried in the fitting hole, or may be provided with a fitting hole in the heat insulating material 312 and buried there. . However, do not expose it from the blade surface.

【００２８】図７は、本発明の実施形態である翼のブレ
ードのロータ６０の断面構造である。このブレード３２
０は、上述の第１の実施形態において、ヒータ３２３を
板状に形成し、かつ、ヒータ３２３を断熱材３２２と排
気口側の金属部材３２４との間に配置させた構造で、他
の構成や各部材の固着方法は、第１の実施形態と同様で
ある。図６又は図７の実施形態から、ブレードの排気口
側の面を選択的に加熱することができ、吸気口側の面と
の温度差をもたらすことができる。FIG. 7 is a sectional view of a rotor 60 of a blade of a wing according to an embodiment of the present invention. This blade 32
Reference numeral 0 denotes a structure in which the heater 323 is formed in a plate shape in the first embodiment, and the heater 323 is disposed between the heat insulating material 322 and the metal member 324 on the exhaust port side. The method for fixing the members and each member is the same as in the first embodiment. From the embodiment of FIG. 6 or FIG. 7, it is possible to selectively heat the surface of the blade on the outlet side, and to bring about a temperature difference with the surface on the inlet side.

【００２９】図８は、本発明の実施形態である翼のブレ
ードの断面構造である。このブレード３３０は、ペルチ
ェ素子からなる熱電変換部材３３２と、この熱電変換部
材３３２の両面から同延状に挟み込むように、固着され
た断面平行四辺形等の六面体の２枚の金属材料部材から
なる。この熱電変換部材３３２は、ペルチェ素子の物性
を利用したものであって、ポンプの吸気口側のブレード
面を冷却し、同時に、ポンプの排気口側のブレード面を
加熱するように通電する。なお、熱電変換部材３３２
は、金属材料部材３３１、３３３と隣接するが、熱電変
換部材３３２の隣接面と、金属材料部材３３１、３３３
の隣接面とが、実質同一の面積を有していることが好ま
しい。FIG. 8 shows a sectional structure of a blade of a blade according to an embodiment of the present invention. The blade 330 is composed of a thermoelectric conversion member 332 formed of a Peltier element and two metal members of a hexahedron such as a parallelogram in cross section fixed so as to be sandwiched from both sides of the thermoelectric conversion member 332. . The thermoelectric conversion member 332 utilizes the physical properties of the Peltier element, and cools the blade surface on the suction port side of the pump, and at the same time, supplies electricity so as to heat the blade surface on the exhaust port side of the pump. The thermoelectric conversion member 332
Is adjacent to the metal material members 331 and 333, and the adjacent surface of the thermoelectric conversion member 332 and the metal material members 331 and 333
Preferably have substantially the same area.

【００３０】この構造により、吸気口側のブレード面３
３１を冷却し、かつ、排気口側のブレード面３３３を加
熱することができる。よって、上述のヒータと断熱材を
用いた場合と比較すると、吸気口側の面温度と排気口側
の面温度との差を、断熱材を用いることなく容易にもた
らすことができる。また、その温度差もより大きくする
ことができる。さらには、その温度差の制御も可能とな
る。また、ブレードの内部構造もシンプルなものとなる
ため製造コストの削減にもつながる。なお、各部材の固
着方法は、第１の実施形態と同様である。With this structure, the blade surface 3 on the intake port side
31 can be cooled and the blade surface 333 on the exhaust port side can be heated. Therefore, as compared with the case where the above-described heater and the heat insulating material are used, the difference between the surface temperature on the intake port side and the surface temperature on the exhaust port side can be easily brought about without using the heat insulating material. Further, the temperature difference can be further increased. Further, the temperature difference can be controlled. In addition, since the internal structure of the blade is simplified, the manufacturing cost can be reduced. The fixing method of each member is the same as in the first embodiment.

【００３１】次の３つの実施形態においては、上述の実
施形態のそれぞれの断熱材３１２、３２２とヒータ３１
３、３２３や熱電変換部材３３２を、図９に示すよう
に、２つの断面三角形からなる、５面体の金属材料部材
３４１、３４３により挟持して配置させたものである。
すなわち、排気口側の面であるブレードの下側の面３４
４も加熱されるように断熱材をブレードの断面の対角線
上配置させたものである。したがって、このような配置
で有れば、金属材料部材３４１、３４３の形状は、特
に、断面三角形からなる、５面体に限定する必要はな
い。In the following three embodiments, the heat insulators 312 and 322 and the heater 31 of the above-described embodiment are used.
3, 323 and thermoelectric conversion members 332 are sandwiched and disposed by pentahedral metal material members 341 and 343 each having two triangular cross sections as shown in FIG.
That is, the lower surface 34 of the blade which is the surface on the exhaust port side.
Reference numeral 4 also indicates that the heat insulating material is arranged on a diagonal line of the cross section of the blade so as to be heated. Therefore, with such an arrangement, the shape of the metal material members 341 and 343 does not need to be particularly limited to a pentahedron having a triangular cross section.

【００３２】この構成から、ブレードの排気口方向の長
手方向の面のみならず、ブレードのの排気口側にある、
ブレードの厚さ方向の側面（底面）も、温度を向上させ
ることができ、尚一層、真空引きの効率が向上する。以
上の実施形態において、断熱材を図６、図７、図９に示
すブレードに適用したが、断熱材を使用しなくても、ヒ
ータの設置位置により、排気口側のブレード面と吸気口
側のブレード面に温度差を設けることができる。例え
ば、ヒータをブレードの排気口側の面になるべく近い所
に配置する。With this configuration, not only the surface in the longitudinal direction of the blade in the direction of the exhaust port, but also the exhaust port side of the blade,
The temperature can also be improved on the side surface (bottom surface) in the thickness direction of the blade, and the efficiency of evacuation is further improved. In the above embodiment, the heat insulating material is applied to the blades shown in FIGS. 6, 7, and 9. However, even if the heat insulating material is not used, depending on the installation position of the heater, the blade surface on the exhaust port side and the air inlet side may be used. Temperature difference can be provided on the blade surface of the blade. For example, the heater is disposed as close as possible to the exhaust port side surface of the blade.

【００３３】さらに、以上の実施形態において、それぞ
れが各部材の厚さ方向の側面部の露出部があるが、その
露出部も、ブレードの金属材料部材で覆い隠すこともで
きる。図６から図９に対応する同様の構造４１０、４２
０、４３０、４４０を、図１０から図１３に示す。これ
らの図において、４１１、４２１、４３１、４４１はブ
レードの金属材料部材であり、４１２、４２２は、断熱
材であり、４１３、４２３は、ヒータであり、４３２、
４４２は、ペルチェ素子からなる熱伝交換素子である。Further, in the above-described embodiments, each of the members has an exposed portion on the side surface in the thickness direction. However, the exposed portion can also be covered and covered by a metal material member of the blade. Similar structures 410, 42 corresponding to FIGS. 6 to 9
0, 430, and 440 are shown in FIGS. In these figures, 411, 421, 431, and 441 are metal material members of the blade, 412 and 422 are heat insulating materials, 413 and 423 are heaters, 432,
Reference numeral 442 denotes a heat exchange element composed of a Peltier element.

【００３４】この場合は、一面が開放されている、同じ
大きさの２つの箱状の金属材料部材で、ヒータ等を覆っ
た後、２つの箱の両端を溶接や半田付けや接着剤等で固
着したり、１つの箱状の金属材料部材の一部を直線上に
切断し、そこからヒータ等を埋め込み、その後、切断部
を溶接や半田付けや接着剤等で固着したり、又は、図６
等のブレードにおいて、各部材が露出する面を覆うよう
に蓋部材を固着する等により作成する。この実施形態に
よれば、排気口側の面と吸気口側の面との間に、温度差
を持つ翼ブレードの構造を有しつつ、翼ブレードの高速
回転により、相当の圧力をブレードの断層部が受けたと
しても、より耐久性のある構造が得られる。In this case, after covering the heater and the like with two box-shaped metal members of the same size, one side of which is open, both ends of the two boxes are welded, soldered, glued or the like. Fixing, cutting a part of one box-shaped metal material member in a straight line, embedding a heater etc. from there, and then fixing the cut portion by welding, soldering, adhesive, etc., or 6
In such a blade, the cover member is fixed so as to cover a surface where each member is exposed. According to this embodiment, while having a wing blade structure having a temperature difference between the surface on the exhaust port side and the surface on the intake port side, considerable pressure is generated by high-speed rotation of the wing blade. Even if the part receives, a more durable structure is obtained.

【００３５】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、ターボ分子ポンプ１において、目的とするチャンバ
内を真空状態に導くべく、ロータ翼６２が、所定の方向
に回転移動することにより、チャンバ内の気体分子に、
ロータ翼６２と同方向の運動量を与えつつ、翼ブレード
のの排気口側の面に気体分子が吸着・脱離する確率を上
げることができる。即ち、気体分子を排気する際に、ロ
ータブレード６２及びステータブレード７２の面の少な
くとも一方の、ポンプの排気口側のブレード面の温度
を、ポンプの吸気口側の面の温度よりも、ヒータ３１
３、３２３、４１３、４２３又はペルチェ素子３３２、
４３２による温度上昇手段により、高く設定することが
でき、排気口側のブレード面から脱離する気体分子の最
大確率速度を速めることができる。As described above, according to the present embodiment, in the turbo-molecular pump 1, the rotor blades 62 are rotated in a predetermined direction so as to bring a target chamber into a vacuum state. Gas molecules inside,
It is possible to increase the probability that gas molecules will be adsorbed and desorbed from the surface of the blade blade on the exhaust port side while providing momentum in the same direction as the rotor blade 62. That is, when exhausting gas molecules, the temperature of at least one of the surfaces of the rotor blade 62 and the stator blade 72 on the exhaust port side of the pump is set higher than the temperature of the surface of the pump on the intake port side.
3, 323, 413, 423 or Peltier device 332;
The temperature can be set high by the temperature increasing means 432, and the maximum probability velocity of gas molecules desorbing from the blade surface on the exhaust port side can be increased.

【００３６】温度上昇手段として、ヒータ３１３、３２
３、４１３、４２３を用いた場合には、断熱材との組み
合わせにより、若しくは、断熱材を使用することなくブ
レードの排気口側の面の近傍にヒータを配置することに
より、ブレードの排気口側の面を、選択的に加熱するこ
とができ、従来のブレード構造を有するターボ分子ポン
プより、排気速度を向上させることができる。また、同
手段として、ペルチェ素子３３２、４３２を用いた場合
には、常に断熱材を用いることなく、ブレードの排気口
側の面を加熱し、かつ、ブレードの吸気口側の面を冷却
することができ、同様に上記目的を達成できる。The heaters 313 and 32 serve as temperature increasing means.
In the case where 3, 413 and 423 are used, the heater is disposed in the vicinity of the exhaust port side surface of the blade in combination with the heat insulating material or without using the heat insulating material. Can be selectively heated, and the pumping speed can be improved as compared with a turbo molecular pump having a conventional blade structure. When the Peltier elements 332 and 432 are used as the same means, the surface of the blade on the exhaust port side is always heated and the surface of the blade on the intake port side is cooled without using heat insulating material. And the above object can be achieved similarly.

【００３７】[0037]

【発明の効果】以上述べたように、本発明のターボ分子
ポンプによれば、同ポンプのロータブレード及びステー
タブレードの少なくとも一方に対しポンプの排気口側の
少なくとも一部の面の温度を上昇させることにより、こ
の面から吸着後、脱離する気体分子の最大確率速度を速
め、もって、排気速度のさらなる促進を達成することが
できる。As described above, according to the turbo-molecular pump of the present invention, the temperature of at least a part of the exhaust port side of the pump is increased with respect to at least one of the rotor blade and the stator blade of the pump. In this way, the maximum probability velocity of gas molecules desorbed after being adsorbed from this surface can be increased, thereby further increasing the exhaust speed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施形態のターボ分子ポンプの全体断
面図である。FIG. 1 is an overall sectional view of a turbo-molecular pump according to an embodiment of the present invention.

【図２】本発明の実施形態のロータ翼の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a rotor blade according to the embodiment of the present invention.

【図３】本発明の実施形態のステータ翼の部分斜視図で
ある。FIG. 3 is a partial perspective view of a stator blade according to the embodiment of the present invention.

【図４】本発明の実施形態の概略を説明するためのロー
タ翼ブレードとステータ翼ブレードの断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a rotor blade and a stator blade, schematically illustrating an embodiment of the present invention.

【図５】本発明の実施形態の概略を説明するためのロー
タ翼ブレードとステータ翼ブレードの断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a rotor blade and a stator blade for describing an outline of an embodiment of the present invention.

【図６】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレー
ドの実施形態を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing an embodiment of a rotor blade and a stator blade of the present invention.

【図７】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレー
ドの実施形態を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing an embodiment of a rotor blade and a stator blade of the present invention.

【図８】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレー
ドの実施形態を示す断面図である。FIG. 8 is a sectional view showing an embodiment of a rotor blade blade and a stator blade blade of the present invention.

【図９】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレー
ドの実施形態を示す断面図である。FIG. 9 is a sectional view showing an embodiment of a rotor blade and a stator blade of the present invention.

【図１０】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレ
ードの実施形態を示す断面図である。FIG. 10 is a sectional view showing an embodiment of a rotor blade and a stator blade of the present invention.

【図１１】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレ
ードの実施形態を示す断面図である。FIG. 11 is a sectional view showing an embodiment of a rotor blade and a stator blade of the present invention.

【図１２】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレ
ードの実施形態を示す断面図である。FIG. 12 is a sectional view showing an embodiment of a rotor blade and a stator blade of the present invention.

【図１３】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレ
ードの実施形態を示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view showing an embodiment of a rotor blade and a stator blade of the present invention.

【図１４】従来のターボ分子ポンプのロータ翼ブレード
とステータ翼ブレードの断面図である。FIG. 14 is a sectional view of a rotor blade and a stator blade of a conventional turbo-molecular pump.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１６ 吸気口 ３０ モータ ５２ 排気口 ６０ ロータ ６２ ロータ翼 ７０ ステータ ７２ ステータ翼 ３１３、３２３、４１３、４２３ヒータ ３３２、４３２ 熱電交換素子 Reference Signs List 16 intake port 30 motor 52 exhaust port 60 rotor 62 rotor blade 70 stator 72 stator blade 313, 323, 413, 423 heater 332, 432 thermoelectric exchange element

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ０４Ｄ 29/54 Ｆ０４Ｄ 29/54 Ｆ Ｆターム(参考） 3H031 DA01 DA02 DA07 EA00 EA01 EA02 EA06 EA11 FA01 FA03 FA34 FA35 3H033 AA02 AA11 BB01 BB08 BB19 CC01 CC03 DD06 DD25 DD26 DD29 EE03 EE10 EE11 EE15 EE19 3H034 AA02 AA11 BB01 BB08 CC01 CC03 DD07 DD22 DD24 DD28 EE02 EE10 EE11 EE12 EE15 EE18 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. ⁷ Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) F04D 29/54 F04D 29/54 FF Term (Reference) 3H031 DA01 DA02 DA07 EA00 EA01 EA02 EA06 EA11 FA01 FA03 FA34 FA35 3H033 AA02 AA11 BB01 BB08 BB19 CC01 CC03 DD06 DD25 DD26 DD29 EE03 EE10 EE11 EE15 EE19 3H034 AA02 AA11 BB01 BB08 CC01 CC03 DD07 DD22 DD24 DD28 EE02 EE10 EE11 EE12 EE15 EE18

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 モータにより回転されるロータ本体と、 このロータ本体の回転軸方向に複数段、配設され、前記
ロータ本体の回転軸に対して所定角度で傾斜させて放射
状に複数のロータブレードが設けられたロータ翼と、 前記ロータ本体の回転軸方向において、ロータ翼の間
に、複数段、固定配設され、かつ、前記ロータ本体の回
転軸に対して所定角度で傾斜させて放射状に複数のステ
ータブレードが設けられたステータ翼と、 前記ロータブレード及び前記ステータブレードの少なく
とも一方に対しポンプの排気方向側の少なくとも一部の
面の温度を上昇させる温度上昇手段と、を具備すること
を特徴とするターボ分子ポンプ。1. A rotor main body rotated by a motor, and a plurality of rotor blades arranged in a plurality of stages in a rotation axis direction of the rotor main body and radially inclined at a predetermined angle with respect to a rotation axis of the rotor main body. And a plurality of stages, fixedly disposed between the rotor blades in the direction of the rotation axis of the rotor body, and radially inclined at a predetermined angle with respect to the rotation axis of the rotor body. A stator blade provided with a plurality of stator blades; and a temperature increasing unit configured to increase a temperature of at least a part of a surface on a pumping direction side of at least one of the rotor blade and the stator blade. Features turbo molecular pump. 【請求項２】 前記温度上昇手段が、ヒータ又は熱電変
換部材であることを特徴とする請求項１に記載のターボ
分子ポンプ。2. The turbo molecular pump according to claim 1, wherein said temperature increasing means is a heater or a thermoelectric conversion member. 【請求項３】 前記ヒータ又は熱電変換部材が、前記ロ
ータブレード又はステータブレードの内部に配設されて
いることを特徴とする請求項２に記載のターボ分子ポン
プ。3. The turbo molecular pump according to claim 2, wherein the heater or the thermoelectric conversion member is disposed inside the rotor blade or the stator blade. 【請求項４】 前記ロータブレード又はステータブレー
ドは、 ２つの板状の金属材料部材を有し、 前記ヒータ又は熱電変換部材は、前記２つの金属材料部
材に挟持されていることを特徴とする請求項３に記載の
ターボ分子ポンプ。4. The rotor blade or the stator blade has two plate-shaped metal material members, and the heater or the thermoelectric conversion member is sandwiched between the two metal material members. Item 4. A turbo-molecular pump according to Item 3. 【請求項５】 吸気口側に配設された前記金属材料部材
と前記ヒータとの間に断熱材を配設したことを特徴とす
る請求項４に記載のターボ分子ポンプ。5. The turbo-molecular pump according to claim 4, wherein a heat insulating material is provided between the metal material member and the heater provided on the intake port side.