JP2000276780A - 光ディスク用原盤の加工方法、スタンパ及び、光ディスク - Google Patents

光ディスク用原盤の加工方法、スタンパ及び、光ディスク

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JP2000276780A
JP2000276780A JP11082587A JP8258799A JP2000276780A JP 2000276780 A JP2000276780 A JP 2000276780A JP 11082587 A JP11082587 A JP 11082587A JP 8258799 A JP8258799 A JP 8258799A JP 2000276780 A JP2000276780 A JP 2000276780A
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pulse
pit
optical disk
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master
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JP11082587A
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Akira Miyamae
章 宮前
Hidemichi Furuhata
栄道 降旗
Hideaki Yamada
英明 山田
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Seiko Epson Corp
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Seiko Epson Corp
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/261Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】再生信号のジッター、変調度が改善された、読
取り精度の良好な光ディスク用原盤の加工方法を提供す
る。 【解決手段】光ディスク原盤に露光するレーザビーム1
02を断続ビームとして複数のパルス列のレーザビーム
露光により一つのピットを形成する露光方法において、
ピットの端部のパルス長を中央部のパルス長に比べて長
くする。又、前端パルス後のパルス間隔及び後端パルス
前のパルス間隔を中央部のパルス間隔に比べて長くす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク原盤加
工工程に関するものであり、特に光ディスク用原の盤加
工方法及び、それにより加工されたスタンパとそのスタ
ンパにより成形、製造された光ディスクに関する。
【0002】
【従来の技術】光ディスクは、通常、案内溝(グルー
ブ)やピットなどの凹凸パターンを備えたスタンパを用
いて、射出成形などの方法でその凹凸パターンを転写す
ることにより作成される。このスタンパの凹凸パターン
を作成する手段として、感光性材料が塗布された原盤上
にレーザビームを露光、記録する方法が一般的に用いら
れている。上記露光によって感光された感光性材料は、
現像によって凹凸パターンが作成され、その表面にメッ
キを施すことにより金属表面に転写されてスタンパが作
成される。
【0003】図6は、従来の光ディスク原盤の加工方法
を示す光路図である。レーザ装置101より出射された
レーザビーム102は、ミラー103、105、107
にて反射して対物レンズ108に入射する間に、音響光
学変調器104にて強度変調される。音響光学変調器1
04に入力される変調信号は、ピットの有無に応じてオ
ン、オフされる入力信号601である。対物レンズ10
8を透過したレーザビーム102は、感光性材料が塗布
された原盤109に集光され、その表面にスポット11
1を形成する。対物レンズ108、ミラー107を搭載
した移動光学台106が原盤109の半径方向に一定速
度で徐々に移動すると同時に、原盤109がターンテー
ブル110に搭載されて回転することにより、原盤10
9にはスパイラル状にピット112が記録される。
【0004】ピット112の形状は、前後のビームの干
渉により、短いピットは幅が細く、長いピットは幅が太
くなる傾向にあるため、ピット長に応じて光量を変えて
記録補償を行う、または特開平10−177722に開
示されているように、長いピットを断続ビームで記録す
る方法等が提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の方式を用い
てピットを作成した場合、図5に示すように、入力信号
501によって記録すると、ビームの干渉とレジストの
特性により、ピットの前端部及び後端部502(以後、
単に「端部」とする)に比べて中央部503の幅が太く
なるという問題が発生する。このピット幅の不均一性
は、再生信号のジッター、変調度に悪影響を及ぼし、読
取り精度を悪化させてしまう。また、ピットの端部壁面
504の角度が緩慢となり、さらにジッターを悪化させ
る要因となる。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明に
よれば、感光性材料が塗布された原盤にレーザビームを
集光して露光し、ピットを作成する光ディスク用原盤の
加工方法であり、上記レーザビームを断続ビームとし
て、複数のパルス列のレーザビーム露光により一つのピ
ットを形成する露光方法において、前端パルス及び/又
は後端パルスのパルス長が、中央部のパルス長に比べて
長いことを特徴とする光ディスク用原盤の加工方法が提
供される。このことにより、ピットの端部と中央部の幅
の差を補正し、さらにピットの端部の角度が急峻となる
ため、ジッター、変調度の良好な、よって読取り精度の
良好な光ディスク用原盤の加工が可能となる。
【0007】請求項2に記載の発明によれば、前端パル
ス後のパルス間隔及び/又は後端パルス前のパルス間隔
が、それ以外のパルス間隔に比べて長いことを特徴とす
る請求項1に記載の光ディスク用原盤の加工方法が提供
される。このことにより、ピットの端部の壁面角度をさ
らに急峻にし、しかも略均一な幅のピットを作成するこ
とが可能となり、さらにジッターの良好な光ディスク用
原盤の加工が可能となる。
【0008】請求項3に記載の発明によれば、上記請求
項1、2による加工方法を用いて製造したスタンパ及
び、それから成形し製造された光ディスクが提供され
る。
【0009】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例について、
図面を参照しながら説明する。
【0010】[実施例]図1は、本発明の実施形態に関わ
る光ディスク原盤加工方法を示す光路図である。レーザ
装置101より出射されたレーザビーム102は、ミラ
ー103、105、107にて反射して対物レンズ10
8に入射する間に、音響光学変調器104にて強度変調
される。音響光学変調器104に入力される入力信号1
13は、図3に示すように端部パルスのパルス長が中央
部のパルス長に比べて長い断続パルスであり、変調され
たビームはそのパルス長に応じた断続ビームとなる。対
物レンズ108を透過したレーザビーム102は、感光
性材料が塗布された原盤109に集光され、その表面に
スポット111を形成する。対物レンズ108、ミラー
107を搭載した移動光学台106が原盤109の半径
方向に一定速度で徐々に移動すると同時に、原盤109
がターンテーブル110に搭載されて回転することによ
り、原盤上にはスパイラル状にピット112が記録され
る。
【0011】図2は本発明の実施形態に関わる光ディス
ク原盤加工方法における入力信号113の生成方法であ
る。信号Aはピットの有無に応じてオン、オフする源信
号である。BはAをT1だけ遅延させた信号、 CはAを
2だけ進めた信号、DはAをT3だけ遅延させた信号、
EはAをT4だけ進めた信号、Fは断続ビームを生成す
るための高周波パルスの源信号である。 Gはそれぞれ
の信号のオン、オフをそれぞれ1、0に対応させ、A・
B+A・C+D・E・Fの論理演算を施した結果であり、
本発明に関わる入力信号113である。入力信号113
において、前端及び後端部のパルス長はそれぞれT1
2によって定まり、前端パルス後のパルス間隔Ts1
び後端パルス前のパルス間隔Ts2は、T1、T2、高周波
パルスFの周期Tpp、パルス長Tpw、ゲート長TG、及
び高周波パルスFとピット源信号Aの位相差によって定
まるので、これらを任意に設定することにより、自由に
調整が可能である。
【0012】入力信号113を音響光学変調器に入力す
ると、レーザービームがパルス変調され、断続ビームと
なって原盤109に露光、記録される。この時、断続ビ
ームの周期Tppは、原盤上での露光ピッチに変換した場
合、光スポット径よりも十分小さくなるような周期とな
っているため、作成されたピット形状はパルス状とはな
らずに連続した形状となる。これはローパスフィルタを
通したことと同等となり、等価的にPWM(Pulse
Width Modulation)変調方式となる。
つまり、パルス長の長い部分はパワーが高く、パルス長
の短い部分はパワーが低くなるのと同等の効果が発生す
る。
【0013】ここで、請求項1に記載の方法を用いる
と、図3に示すように、入力信号301の端部のパルス
長T1、T2が中央部のパルス長Tpwに比べて長いため、
端部の記録パワー302が中央部の記録パワー303に
比べて等価的に高くなる。そのため、従来問題となって
いた、ピットの端部502に比べてピットの中央部50
3の幅が太くなってしまうという現象を補正し、幅の均
一なピットを形成することが可能となる。
【0014】また、ピットの端部304の記録パワーが
等価的に高くなる為、端部壁面306の角度307が急
峻となり、さらにジッターの良好な光ディスクの作成が
可能となる。
【0015】請求項2に記載の方法を用いると、図4に
示すように、入力信号401のピットの端部のパルス長
、Tを上記補正量以上に長くして壁面405の角
度をさらに急峻とした場合に、前端パルス後のパルス間
隔Ts1及び後端パルス前のパルス間隔Ts2が中央部のパ
ルス間隔Tpsに比べて長いため、ピットの端部403と
ピットの中央部404の間に記録パワー減少部402が
発生し、ピットの端部が中央部に比べて逆に太くなって
しまうという現象を補正する効果が生ずる。記録パワー
の減少部402には、ピットのくびれ部403が形成さ
れるが、再生信号に影響する程ではない。その結果、幅
が略均一でかつ端部壁面405の角度406がさらに急
峻となり、さらにジッターの良好な光ディスクの作成が
可能となる。
【0016】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1の発明によれば、断続ビームとして複数のパルス列の
レーザビーム露光により一つのピットを形成する露光方
法において、ピットの端部のパルス長を中央部のパルス
長に比べて長くしたので、ピットの端部に比べて中央部
の幅が太くなってしまうという現象を補正し、幅の均一
なピットを形成することが可能となる。また、ピット端
部の壁面の角度が急峻となるため、再生信号のジッタ
ー、変調度が改善され、読取り精度の良好な光ディスク
用原盤の加工方法を提供することが可能となる。
【0017】又、請求項2の発明によれば、ピットの端
部のパルス長を上記補正量以上に長くして壁面の角度を
さらに急峻とした場合に、前端パルス後のパルス間隔及
び後端パルス前のパルス間隔は中央部のパルス間隔に比
べて長いため、ピットの端部が中央部に比べて逆に太く
なってしまうという現象を補正し、幅が略均一でかつ端
部の壁面角度がさらに急峻となり、さらにジッターの良
好な光ディスク用原盤の加工方法を提供することが可能
となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原盤加工方法の全体構成を示す光路
図。
【図2】本発明のパルス列信号の生成方法を示す図。
【図3】請求項1に記載のパルス列信号とピット形状を
示す図。
【図4】請求項2に記載のパルス列信号とピット形状を
示す図。
【図5】従来のレーザ露光に用いられる信号とピット形
状を示す図。
【図6】従来の原盤加工方法の全体構成を示す光路図。
【符号の説明】
101 レーザ装置 102 レーザビーム 103 ミラー 104 音響光学変調器 105 ミラー 106 移動光学台 107 ミラー 108 対物レンズ 109 原盤 110 ターンテーブル 111 スポット 112 ピット 113 入力信号 301 入力信号 302 端部の記録パワー 303 中央部の記録パワー 304 ピットの端部 305 ピットの中央部 306 端部壁面 307 壁面の角度 401 入力信号 402 記録パワー減少部 403 ピットの端部 404 ピットの中央部 405 ピットのくびれ部 406 端部壁面 407 壁面の角度 501 入力信号 502 ピットの端部 503 ピットの中央部 504 端部壁面 505 壁面の角度 601 入力信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 英明 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイコ ーエプソン株式会社内 Fターム(参考) 5D029 WA20 WD11 5D121 BB21 BB26 BB38 CA10

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】感光性材料が塗布された原盤にレーザビー
    ムを集光して露光し、ピットを作成する光ディスク用原
    盤の加工方法であり、上記レーザビームを断続ビームと
    して、複数のパルス列のレーザビーム露光により一つの
    ピットを形成する露光方法において、ピットの前端パル
    ス及び/又は後端パルスのパルス長が、中央部のパルス
    長に比べて長いことを特徴とする光ディスク用原盤の加
    工方法。
  2. 【請求項2】ピットの前端パルス後のパルス間隔及び/
    又は後端パルス前のパルス間隔が、中央部のパルス間隔
    に比べて長いことを特徴とする請求項1に記載の光ディ
    スク用原盤の加工方法。
  3. 【請求項3】上記請求項1、2による加工方法を用いて
    製造したスタンパ及び、それから成形し製造された光デ
    ィスク。
JP11082587A 1999-03-25 1999-03-25 光ディスク用原盤の加工方法、スタンパ及び、光ディスク Withdrawn JP2000276780A (ja)

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TW089105521A TW505912B (en) 1999-03-25 2000-03-24 Fabrication method for master of compact discs, pressing mold and compact discs manufactured using the master, and the manufacturing method for pits

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7297472B2 (en) 2002-03-11 2007-11-20 Tdk Corporation Processing method for photoresist master, production method for recording medium-use mater, production method for recording medium, photoresist master, recording medium-use master and recording medium

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000074045A1 (fr) * 1999-05-31 2000-12-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Dispositif et procede d'enregistrement d'informations optiques, et support d'enregistrement d'informations optiques
JP2004005872A (ja) * 2002-04-09 2004-01-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光ディスク原盤作製方法および光ディスクとその製造方法
JP2008509504A (ja) * 2004-08-04 2008-03-27 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ パルス記録ストラテジを用いたマスタディスクを製造するための装置及び方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0810490B2 (ja) * 1989-03-20 1996-01-31 富士通株式会社 光ディスク情報書込制御方法およびその装置
CA2020243C (en) * 1989-06-30 1994-12-13 Eiji Ohno Optical information recording method and recording apparatus
JP2674453B2 (ja) * 1993-01-18 1997-11-12 日本電気株式会社 光ディスク媒体の記録方法および装置
US5490126A (en) * 1993-04-07 1996-02-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Apparatus for recording and reproducing data on a disk
JPH06302042A (ja) 1993-04-15 1994-10-28 Hitachi Ltd 光磁気ディスク装置
JP3659524B2 (ja) 1996-01-09 2005-06-15 キヤノン株式会社 光情報記録方法及び装置
JPH10177722A (ja) 1996-12-16 1998-06-30 Seiko Epson Corp 記録装置
US5991252A (en) * 1997-07-21 1999-11-23 Discovision Associates Method and apparatus for reducing the width of marks written in optical media

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7297472B2 (en) 2002-03-11 2007-11-20 Tdk Corporation Processing method for photoresist master, production method for recording medium-use mater, production method for recording medium, photoresist master, recording medium-use master and recording medium

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