JP2000275865A - ドラム状露光装置とその装置を用いたプリント配線板の製造法 - Google Patents
ドラム状露光装置とその装置を用いたプリント配線板の製造法Info
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- JP2000275865A JP2000275865A JP11078798A JP7879899A JP2000275865A JP 2000275865 A JP2000275865 A JP 2000275865A JP 11078798 A JP11078798 A JP 11078798A JP 7879899 A JP7879899 A JP 7879899A JP 2000275865 A JP2000275865 A JP 2000275865A
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- resin layer
- photosensitive resin
- insulating substrate
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- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】精度に優れたレジストを形成できる露光装置
と、その装置によってプリント配線板を製造する方法を
提供すること。 【解決手段】フォトマスク１１を筒状に固定する透明ド
ラム１であって、感光性樹脂層２２を表面に形成した銅
張り積層板２０または絶縁基板２１の移動に合わせて回
転する透明ドラム１と、その透明ドラム１の内部に透明
ドラム１と同心状に設けられた回転しないドラムであっ
て、透明ドラム１の内部から透明ドラムの幅方向に設け
たスリット３１から紫外線を照射するスリットドラム３
とからなるドラム状露光装置。
と、その装置によってプリント配線板を製造する方法を
提供すること。 【解決手段】フォトマスク１１を筒状に固定する透明ド
ラム１であって、感光性樹脂層２２を表面に形成した銅
張り積層板２０または絶縁基板２１の移動に合わせて回
転する透明ドラム１と、その透明ドラム１の内部に透明
ドラム１と同心状に設けられた回転しないドラムであっ
て、透明ドラム１の内部から透明ドラムの幅方向に設け
たスリット３１から紫外線を照射するスリットドラム３
とからなるドラム状露光装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ドラム状露光装置
とその装置を用いたプリント配線板の製造法に関するも
のである。
とその装置を用いたプリント配線板の製造法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線板は、絶縁基板に銅箔を貼
り合わせた銅張り積層板の銅箔の不要な箇所をエッチン
グ除去して回路を形成するか、あるいは、絶縁基板の回
路となる箇所にのみ選択的に無電解めっきを行って回路
を形成して製造されている。
り合わせた銅張り積層板の銅箔の不要な箇所をエッチン
グ除去して回路を形成するか、あるいは、絶縁基板の回
路となる箇所にのみ選択的に無電解めっきを行って回路
を形成して製造されている。
【０００３】このうち、銅箔の不要な箇所をエッチング
除去するには、銅箔の表面に回路の形状にエッチングレ
ジストを形成し、化学エッチング液をスプレー噴霧して
行うのが通常であり、このエッチングレジストは、シル
クスクリーン印刷法によって形成されたり、あるいはエ
ッチングレジスト用感光性ドライフィルムを銅箔の表面
にラミネートし、回路の形状に紫外線を透過するフォト
マスクを重ね、紫外線を露光し、紫外線が露光されなか
った箇所を現像液で除去して形成することによって形成
される。
除去するには、銅箔の表面に回路の形状にエッチングレ
ジストを形成し、化学エッチング液をスプレー噴霧して
行うのが通常であり、このエッチングレジストは、シル
クスクリーン印刷法によって形成されたり、あるいはエ
ッチングレジスト用感光性ドライフィルムを銅箔の表面
にラミネートし、回路の形状に紫外線を透過するフォト
マスクを重ね、紫外線を露光し、紫外線が露光されなか
った箇所を現像液で除去して形成することによって形成
される。
【０００４】また、絶縁基板の回路となる箇所にのみ選
択的に無電解めっきを行うために、めっきに対して触媒
性の表面を有する絶縁基板を使用し、その表面に回路形
状の箇所以外の箇所をマスクして余分なめっきが行われ
ないようにする、いわゆるめっきレジストを形成するの
が、通常であり、このめっきレジストの形成は、回路を
形成しない箇所に形成するということを除いて、エッチ
ングレジストを形成する方法が適用され、つまり、シル
クスクリーン印刷法で回路とならない箇所にめっきレジ
ストを形成するか、あるいは、回路の形状に紫外線を透
過するフォトマスクを介して露光し、露光されなかった
箇所を現像液で除去することによって形成される。
択的に無電解めっきを行うために、めっきに対して触媒
性の表面を有する絶縁基板を使用し、その表面に回路形
状の箇所以外の箇所をマスクして余分なめっきが行われ
ないようにする、いわゆるめっきレジストを形成するの
が、通常であり、このめっきレジストの形成は、回路を
形成しない箇所に形成するということを除いて、エッチ
ングレジストを形成する方法が適用され、つまり、シル
クスクリーン印刷法で回路とならない箇所にめっきレジ
ストを形成するか、あるいは、回路の形状に紫外線を透
過するフォトマスクを介して露光し、露光されなかった
箇所を現像液で除去することによって形成される。
【０００５】なお、めっきに対して触媒性の表面を有す
る絶縁基板は、絶縁基板にめっき触媒となる金属を析出
させておくことによって作製することができ、また、絶
縁基板中にめっき触媒となる金属を担持させた粒子を充
填剤として混入しておき、表面を酸化剤や溶剤などで粗
化および／または膨潤することによって、その表面にめ
っき触媒となる金属を顕在させることによっても作製す
ることができる。
る絶縁基板は、絶縁基板にめっき触媒となる金属を析出
させておくことによって作製することができ、また、絶
縁基板中にめっき触媒となる金属を担持させた粒子を充
填剤として混入しておき、表面を酸化剤や溶剤などで粗
化および／または膨潤することによって、その表面にめ
っき触媒となる金属を顕在させることによっても作製す
ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、フォトマス
クを介して露光する方法は、一般に、シルクスリーン印
刷法による方法よりも精度の高い形状が得られる方法と
して、近年、多く用いられるようになってきた。
クを介して露光する方法は、一般に、シルクスリーン印
刷法による方法よりも精度の高い形状が得られる方法と
して、近年、多く用いられるようになってきた。
【０００７】また、精度を高めるために、最近の露光装
置は、フォトマスクと感光性樹脂層を形成した銅張り積
層板や絶縁基板とを密着させて露光できるよう、フォト
マスクの裏にアクリル板やガラス板などの透明の板をあ
てて、フォトマスクと感光性樹脂層を形成した銅張り積
層板や絶縁基板との間の空気を、ポンプで排気して減圧
した状態で露光するようになっている。
置は、フォトマスクと感光性樹脂層を形成した銅張り積
層板や絶縁基板とを密着させて露光できるよう、フォト
マスクの裏にアクリル板やガラス板などの透明の板をあ
てて、フォトマスクと感光性樹脂層を形成した銅張り積
層板や絶縁基板との間の空気を、ポンプで排気して減圧
した状態で露光するようになっている。
【０００８】ところが、近年の電子機器の発達に伴い、
より高密度の配線が要求され、より安価なプリント配線
板が求められる中、フォトマスクを用いたレジストの形
成が行われ、プリント配線板の単価を下げるために、１
枚の銅張り積層板や絶縁基板に多面取りすると、必然的
にフォトマスクが大きくなり、裏側から押さえる透明の
アクリル板やガラス板とフォトマスクの間、あるいは、
フォトマスクと感光性樹脂層を形成した銅張り積層板や
絶縁基板との間に残った空気が密閉され、その状態で露
光すると、レジストの画像がにじんでしまうという課題
があった。
より高密度の配線が要求され、より安価なプリント配線
板が求められる中、フォトマスクを用いたレジストの形
成が行われ、プリント配線板の単価を下げるために、１
枚の銅張り積層板や絶縁基板に多面取りすると、必然的
にフォトマスクが大きくなり、裏側から押さえる透明の
アクリル板やガラス板とフォトマスクの間、あるいは、
フォトマスクと感光性樹脂層を形成した銅張り積層板や
絶縁基板との間に残った空気が密閉され、その状態で露
光すると、レジストの画像がにじんでしまうという課題
があった。
【０００９】本発明は、精度に優れたレジストを形成で
きる露光装置と、その装置によってプリント配線板を製
造する方法を提供することを目的とする。
きる露光装置と、その装置によってプリント配線板を製
造する方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のドラム状露光装
置は、フォトマスク１１を筒状に固定する透明ドラム１
であって、感光性樹脂層２２を表面に形成した銅張り積
層板２０または絶縁基板の移動に合わせて回転する透明
ドラム１と、その透明ドラム１の内部に透明ドラム１と
同心状に設けられた回転しないドラムであって、透明ド
ラム１の内部から透明ドラムの幅方向に設けたスリット
３１から紫外線を照射するスリットドラム３とからなる
ことを特徴とする。
置は、フォトマスク１１を筒状に固定する透明ドラム１
であって、感光性樹脂層２２を表面に形成した銅張り積
層板２０または絶縁基板の移動に合わせて回転する透明
ドラム１と、その透明ドラム１の内部に透明ドラム１と
同心状に設けられた回転しないドラムであって、透明ド
ラム１の内部から透明ドラムの幅方向に設けたスリット
３１から紫外線を照射するスリットドラム３とからなる
ことを特徴とする。
【００１１】このドラム状露光装置を用いて、感光性樹
脂層を表面に形成した銅張り積層板または絶縁基板の移
動に合わせて回転させながら、露光し、露光しなかった
箇所を現像して除去することにより、プリント配線板を
製造するためのレジストを形成することができる。
脂層を表面に形成した銅張り積層板または絶縁基板の移
動に合わせて回転させながら、露光し、露光しなかった
箇所を現像して除去することにより、プリント配線板を
製造するためのレジストを形成することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明のドラム状露光装置は、図
１（ａ）に示すように、フォトマスク１１を筒状に固定
する透明ドラム１と、その透明ドラム１の内部に透明ド
ラム１と同心状に設けられその幅方向に設けたスリット
３１から紫外線を照射するスリットドラム３とからな
る。
１（ａ）に示すように、フォトマスク１１を筒状に固定
する透明ドラム１と、その透明ドラム１の内部に透明ド
ラム１と同心状に設けられその幅方向に設けたスリット
３１から紫外線を照射するスリットドラム３とからな
る。
【００１３】このフォトマスク１１を筒状に固定する透
明ドラム１は、透明プラスチックによって筒状に形成し
たものを用いる。材質としては、アクリル樹脂などを用
いることが好ましい。この透明ドラム１は、回転させな
がら、感光性樹脂層２２を表面に形成した銅張り積層板
２０または絶縁基板に押しつけるので、その押しつけの
力で変形しないことが好ましく、１〜３０ｍｍの厚さで
あることが好ましい。１ｍｍ未満では、感光性樹脂層２
２を表面に形成した銅張り積層板２０または絶縁基板に
押しつける力で変形しやすく、３０ｍｍを越えると、強
度にそれほど変化がなく、経済的でなく、しかも透明度
が低下して、露光量が低下するので好ましくない。さら
には、２〜２０ｍｍの厚さであることがより好ましい。
明ドラム１は、透明プラスチックによって筒状に形成し
たものを用いる。材質としては、アクリル樹脂などを用
いることが好ましい。この透明ドラム１は、回転させな
がら、感光性樹脂層２２を表面に形成した銅張り積層板
２０または絶縁基板に押しつけるので、その押しつけの
力で変形しないことが好ましく、１〜３０ｍｍの厚さで
あることが好ましい。１ｍｍ未満では、感光性樹脂層２
２を表面に形成した銅張り積層板２０または絶縁基板に
押しつける力で変形しやすく、３０ｍｍを越えると、強
度にそれほど変化がなく、経済的でなく、しかも透明度
が低下して、露光量が低下するので好ましくない。さら
には、２〜２０ｍｍの厚さであることがより好ましい。
【００１４】この透明ドラム１にフォトマスク１１を固
定するには、フォトマスク１１の両端に固定用の金具を
取り付け、その一方の金具を透明ドラム１に設けたくぼ
みにはめ込み、他方の金具を、フォトマスクを引っ張り
ながら透明ドラム１に設けたフックに引っかけるように
して行うことができる。
定するには、フォトマスク１１の両端に固定用の金具を
取り付け、その一方の金具を透明ドラム１に設けたくぼ
みにはめ込み、他方の金具を、フォトマスクを引っ張り
ながら透明ドラム１に設けたフックに引っかけるように
して行うことができる。
【００１５】その透明ドラム１の内部に透明ドラム１と
同心状に設けられた回転しないドラムであって、透明ド
ラム１の内部から透明ドラムの幅方向に設けたスリット
３１から紫外線を照射するスリットドラム３は、スリッ
ト３１からのみ紫外線を照射することが必要である。材
質は、紫外線ランプを内部に取り付けるので、耐熱性が
高く、強度の大きいものが好ましく、鉄、アルミニウ
ム、ステンレスなどの金属、カーボン繊維やガラス繊維
で補強した強化プラスチックなどが好ましい。形状は、
筒状で中心が透明ドラムと一致していればよく、四角
柱、三角柱、多角柱、円柱どのようなものでもよい。大
きさも、紫外線ランプを納めることができればどのよう
に小さくてもよいが、遮光した上で紫外線ランプからの
熱を放散する空気を流通させる必要がある。
同心状に設けられた回転しないドラムであって、透明ド
ラム１の内部から透明ドラムの幅方向に設けたスリット
３１から紫外線を照射するスリットドラム３は、スリッ
ト３１からのみ紫外線を照射することが必要である。材
質は、紫外線ランプを内部に取り付けるので、耐熱性が
高く、強度の大きいものが好ましく、鉄、アルミニウ
ム、ステンレスなどの金属、カーボン繊維やガラス繊維
で補強した強化プラスチックなどが好ましい。形状は、
筒状で中心が透明ドラムと一致していればよく、四角
柱、三角柱、多角柱、円柱どのようなものでもよい。大
きさも、紫外線ランプを納めることができればどのよう
に小さくてもよいが、遮光した上で紫外線ランプからの
熱を放散する空気を流通させる必要がある。
【００１６】このスリットドラムは、たとえば、感光性
樹脂層２２を表面に形成した銅張り積層板２０または絶
縁基板を運搬するロールコンベアの上に、ロールコンベ
アを跨ぐ２本のアームに軸をわたして、その軸に固定
し、取り付け、透明ドラム１をそのスリットドラム３１
の周囲を取り巻くように設け、透明ドラム１の両端を蓋
でふさぎ、その蓋を前記の軸に通して透明ドラム１が回
転できるようロールベアリングなどを用いて回転支持す
るように取り付けることが好ましい。このときに、軸と
アームとを上下に移動できるように、アームに設けた縦
方向に長い長穴に軸を通し、バネで両者を接続し、軸に
さらに上下に移動するロッドを取り付けて、モータから
の回転をウオームギヤで上下運動に変換した動力により
ロッドを駆動すれば、透明ドラム１を、感光性樹脂層２
２を両面に形成した銅張り積層板２０または絶縁基板に
押しつける力を発生させることができ、その上下の距離
を制御することにより、押しつける力を制御することが
できる。
樹脂層２２を表面に形成した銅張り積層板２０または絶
縁基板を運搬するロールコンベアの上に、ロールコンベ
アを跨ぐ２本のアームに軸をわたして、その軸に固定
し、取り付け、透明ドラム１をそのスリットドラム３１
の周囲を取り巻くように設け、透明ドラム１の両端を蓋
でふさぎ、その蓋を前記の軸に通して透明ドラム１が回
転できるようロールベアリングなどを用いて回転支持す
るように取り付けることが好ましい。このときに、軸と
アームとを上下に移動できるように、アームに設けた縦
方向に長い長穴に軸を通し、バネで両者を接続し、軸に
さらに上下に移動するロッドを取り付けて、モータから
の回転をウオームギヤで上下運動に変換した動力により
ロッドを駆動すれば、透明ドラム１を、感光性樹脂層２
２を両面に形成した銅張り積層板２０または絶縁基板に
押しつける力を発生させることができ、その上下の距離
を制御することにより、押しつける力を制御することが
できる。
【００１７】スリット３１は、紫外線を照射するための
照射口であり、その幅は、０．１〜１０ｍｍの範囲であ
ることが好ましく、０．１ｍｍ未満であると、紫外線の
露光量が低下するので、透明ドラムの回転速度を小さく
しなければ必要な露光量とならず、あまりに速度が小さ
いと、全体の製造速度を低下させ好ましくない。スリッ
ト３の幅が１０ｍｍを越えると、露光量は増加するもの
の、本発明の目的である、できるだけフォトマスクの上
から垂直な紫外線を照射して精度の高いレジスト形状を
形成することができず、フォトマスクのマスクの斜めか
ら紫外線が照射され、境界部がにじむおそれがある。さ
らには、０．５〜５ｍｍの幅であることがより好まし
い。
照射口であり、その幅は、０．１〜１０ｍｍの範囲であ
ることが好ましく、０．１ｍｍ未満であると、紫外線の
露光量が低下するので、透明ドラムの回転速度を小さく
しなければ必要な露光量とならず、あまりに速度が小さ
いと、全体の製造速度を低下させ好ましくない。スリッ
ト３の幅が１０ｍｍを越えると、露光量は増加するもの
の、本発明の目的である、できるだけフォトマスクの上
から垂直な紫外線を照射して精度の高いレジスト形状を
形成することができず、フォトマスクのマスクの斜めか
ら紫外線が照射され、境界部がにじむおそれがある。さ
らには、０．５〜５ｍｍの幅であることがより好まし
い。
【００１８】また、本発明の露光装置は、図１（ｂ）に
示すように、透明ドラム１とスリットドラム３からなる
露光装置を２組、感光性樹脂層２２を両面に形成した銅
張り積層板２０または絶縁基板の表裏を露光するよう
に、互いのスリットが相対するように設けたものであっ
てもよい。
示すように、透明ドラム１とスリットドラム３からなる
露光装置を２組、感光性樹脂層２２を両面に形成した銅
張り積層板２０または絶縁基板の表裏を露光するよう
に、互いのスリットが相対するように設けたものであっ
てもよい。
【００１９】感光性樹脂層２２を表面に形成した銅張り
積層板２０または絶縁基板に透明ドラム１を押しつける
機構４を有することによって、フォトマスク１１と感光
性樹脂層２２とを密着でき、レジストの精度を高めるこ
とができ好ましい。
積層板２０または絶縁基板に透明ドラム１を押しつける
機構４を有することによって、フォトマスク１１と感光
性樹脂層２２とを密着でき、レジストの精度を高めるこ
とができ好ましい。
【００２０】このような露光装置を用いれば、感光性樹
脂層を表面に形成した銅張り積層板に、回路の箇所を透
過するように形成されたフォトマスクを介して露光し、
露光しなかった箇所の感光性樹脂層を現像して除去し、
エッチングレジストを形成して、銅張り積層板の不要な
銅箔をエッイング除去して、プリント配線板とすること
ができる。
脂層を表面に形成した銅張り積層板に、回路の箇所を透
過するように形成されたフォトマスクを介して露光し、
露光しなかった箇所の感光性樹脂層を現像して除去し、
エッチングレジストを形成して、銅張り積層板の不要な
銅箔をエッイング除去して、プリント配線板とすること
ができる。
【００２１】また、感光性樹脂層を表面に形成した絶縁
基板に、回路以外の箇所を透過するように形成されたフ
ォトマスクを介して露光し、露光しなかった箇所の感光
性樹脂層を現像して除去し、めっきレジストを形成し
て、めっきレジストを形成していない箇所に無電解めっ
きによって回路を形成して、プリント配線板とすること
もできる。
基板に、回路以外の箇所を透過するように形成されたフ
ォトマスクを介して露光し、露光しなかった箇所の感光
性樹脂層を現像して除去し、めっきレジストを形成し
て、めっきレジストを形成していない箇所に無電解めっ
きによって回路を形成して、プリント配線板とすること
もできる。
【００２２】
【実施例】中央に紫外線ランプを備え、スリットから紫
外線を照射するスリットドラムで、スリットの幅は、６
５ｍｊ／ｃｍ2の露光量となるように幅１ｍｍとし、そ
のスリットドラムの周囲を回転できるように、厚さ１０
ｍｍ、直径１７０ｍｍ、幅１１００ｍｍのアクリル製の
透明ドラムを、上下にそれぞれ設け、スリットが相対す
るように設けた露光装置を用いた。
外線を照射するスリットドラムで、スリットの幅は、６
５ｍｊ／ｃｍ2の露光量となるように幅１ｍｍとし、そ
のスリットドラムの周囲を回転できるように、厚さ１０
ｍｍ、直径１７０ｍｍ、幅１１００ｍｍのアクリル製の
透明ドラムを、上下にそれぞれ設け、スリットが相対す
るように設けた露光装置を用いた。
【００２３】この露光装置は、感光性樹脂層を表面に形
成した銅張り積層板または絶縁基板を透明ドラムに送る
送りロールと、透明ドラムから出てきた感光性樹脂層を
表面に形成した銅張り積層板または絶縁基板をベルトコ
ンベアに移動する受けロールとが設けられており、２つ
の透明ドラムは、感光性樹脂層を表面に形成した銅張り
積層板または絶縁基板を挟んだときに、３．０ｋｇｆ／
ｃｍ2となるような圧力が加える加圧装置が備えられて
いるものを用いた。
成した銅張り積層板または絶縁基板を透明ドラムに送る
送りロールと、透明ドラムから出てきた感光性樹脂層を
表面に形成した銅張り積層板または絶縁基板をベルトコ
ンベアに移動する受けロールとが設けられており、２つ
の透明ドラムは、感光性樹脂層を表面に形成した銅張り
積層板または絶縁基板を挟んだときに、３．０ｋｇｆ／
ｃｍ2となるような圧力が加える加圧装置が備えられて
いるものを用いた。
【００２４】厚さ３５μｍの銅箔を両面に貼り合わせた
厚さ１．５ｍｍの銅張り積層板であるＭＣＬ−Ｅ−６７
９（日立化成工業株式会社製、商品名）のスルーホール
となる箇所に穴をあけ、全体に、無電解めっきを０．５
μｍの厚さに行い、電解めっきを２０μｍの厚さに行っ
た基板に、厚さ２５μｍのエッチングレジスト用ドライ
フィルムであるＳＲ−２０００（日立化成工業株式会社
製、商品名）を両面にラミネートし、両サイドに１０ｍ
ｍ×１０３３ｍｍのスチール製の留め具を装着したフォ
トマスクを巻き付け固定した上下の透明ドラムに、送り
速度１．０ｃｍ／ｓｅｃで供給し、紫外線を照射しなが
ら、フォトマスク付きの透明ドラムを回転させて露光し
た。
厚さ１．５ｍｍの銅張り積層板であるＭＣＬ−Ｅ−６７
９（日立化成工業株式会社製、商品名）のスルーホール
となる箇所に穴をあけ、全体に、無電解めっきを０．５
μｍの厚さに行い、電解めっきを２０μｍの厚さに行っ
た基板に、厚さ２５μｍのエッチングレジスト用ドライ
フィルムであるＳＲ−２０００（日立化成工業株式会社
製、商品名）を両面にラミネートし、両サイドに１０ｍ
ｍ×１０３３ｍｍのスチール製の留め具を装着したフォ
トマスクを巻き付け固定した上下の透明ドラムに、送り
速度１．０ｃｍ／ｓｅｃで供給し、紫外線を照射しなが
ら、フォトマスク付きの透明ドラムを回転させて露光し
た。
【００２５】受けロールから取り出した基板を、現像液
をスプレー噴霧する現像機に送り、エッチングレジスト
を形成し、塩化第二銅溶液をスプレー噴霧するエッチン
グマシンに送り、回路を形成し、溶剤をスプレー噴霧す
る剥離機に送り、エッチングレジストを剥離除去して、
プリント配線板を作製した。
をスプレー噴霧する現像機に送り、エッチングレジスト
を形成し、塩化第二銅溶液をスプレー噴霧するエッチン
グマシンに送り、回路を形成し、溶剤をスプレー噴霧す
る剥離機に送り、エッチングレジストを剥離除去して、
プリント配線板を作製した。
【００２６】比較例として、実施例と同じ材料、同じフ
ォトマスクを用いて、通常の減圧式の露光装置を用いて
露光・現像して、不要な銅箔をエッチング除去し、エッ
チングレジストを剥離除去して、プリント配線板とし
た。
ォトマスクを用いて、通常の減圧式の露光装置を用いて
露光・現像して、不要な銅箔をエッチング除去し、エッ
チングレジストを剥離除去して、プリント配線板とし
た。
【００２７】実施例と比較例で作製したプリント配線板
を製造する途中で、エッチングレジストのパターン形状
について、にじみの有無とライン幅を測定して比較した
結果を、表１に示すとおり、実施例では、比較例に比
べ、にじみの発生が少なく、高いライン幅精度を得るこ
とを確認できた。
を製造する途中で、エッチングレジストのパターン形状
について、にじみの有無とライン幅を測定して比較した
結果を、表１に示すとおり、実施例では、比較例に比
べ、にじみの発生が少なく、高いライン幅精度を得るこ
とを確認できた。
【００２８】
【表１】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 実施例 比較例 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ にじみ ０箇所／１００ｃｍ2 ２箇所／１００ｃｍ2 ────────────────────────────── ライン幅精度 の標準偏差 ０．３μｍ １．２μｍ （σｎ−１） ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【００２９】
【発明の効果】以上に説明したとおり、本発明によっ
て、精度に優れたレジストを形成できる露光装置と、そ
の装置によってプリント配線板を製造する方法を提供す
ることができる。
て、精度に優れたレジストを形成できる露光装置と、そ
の装置によってプリント配線板を製造する方法を提供す
ることができる。
【図１】（ａ）は、本発明の一実施例を示す断面図であ
り、（ｂ）は、本発明の他の実施例を示す断面図であ
る。
り、（ｂ）は、本発明の他の実施例を示す断面図であ
る。
１．透明ドラム １１．フォトマスク ２２．感光性樹脂層 ２０．銅張り積層板 ３．スリットドラム ３１．スリット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H097 AA05 AB04 AB07 GA43 LA09 5E339 AD01 AD03 BC02 BE11 CC01 CD01 CE14 CE15 CF16 CF17 EE10 5E343 AA02 AA11 BB21 BB71 CC63 DD32 ER11 ER18 FF30 GG06
Claims (6)
- 【請求項１】フォトマスクを筒状に固定する透明ドラム
であって、感光性樹脂層を表面に形成した銅張り積層板
または絶縁基板の移動に合わせて回転する透明ドラム
と、その透明ドラムの内部に透明ドラムと同心状に設け
られた回転しないドラムであって、透明ドラムの内部か
ら透明ドラムの幅方向に設けたスリットから紫外線を照
射するスリットドラムとからなることを特徴とするドラ
ム状露光装置。 - 【請求項２】透明ドラムとスリットドラムからなる露光
装置を２組、感光性樹脂層を両面に形成した銅張り積層
板または絶縁基板の表裏を露光するように、互いのスリ
ットが相対するように設けたことを特徴とする請求項１
に記載のドラム状露光装置。 - 【請求項３】感光性樹脂層を表面に形成した銅張り積層
板または絶縁基板に透明ドラムを押しつける機構を有す
ることを特徴とする請求項１または２に記載のドラム状
露光装置。 - 【請求項４】感光性樹脂層を表面に形成した銅張り積層
板に、請求項１〜３のうちいずれかに記載のドラム状露
光装置によって、回路の箇所を透過するように形成され
たフォトマスクを介して露光し、露光しなかった箇所の
感光性樹脂層を現像して除去し、エッチングレジストを
形成することを特徴とするプリント配線板の製造法。 - 【請求項５】感光性樹脂層を表面に形成した絶縁基板
に、請求項１〜３のうちいずれかに記載のドラム状露光
装置によって、回路以外の箇所を透過するように形成さ
れたフォトマスクを介して露光し、露光しなかった箇所
の感光性樹脂層を現像して除去し、めっきレジストを形
成することを特徴とするプリント配線板の製造法。 - 【請求項６】感光性樹脂層を表面に形成した銅張り積層
板または絶縁基板に、透明ドラムを押しつけながら露光
することを特徴とする請求項４または５に記載のプリン
ト配線板の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11078798A JP2000275865A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | ドラム状露光装置とその装置を用いたプリント配線板の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11078798A JP2000275865A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | ドラム状露光装置とその装置を用いたプリント配線板の製造法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000275865A true JP2000275865A (ja) | 2000-10-06 |
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ID=13671894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11078798A Pending JP2000275865A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | ドラム状露光装置とその装置を用いたプリント配線板の製造法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000275865A (ja) |
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- 1999-03-24 JP JP11078798A patent/JP2000275865A/ja active Pending
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