JP2000261266A - 圧電素子用成膜マスク装置および圧電素子用収納治具 - Google Patents
圧電素子用成膜マスク装置および圧電素子用収納治具Info
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- JP2000261266A JP2000261266A JP11059433A JP5943399A JP2000261266A JP 2000261266 A JP2000261266 A JP 2000261266A JP 11059433 A JP11059433 A JP 11059433A JP 5943399 A JP5943399 A JP 5943399A JP 2000261266 A JP2000261266 A JP 2000261266A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 生産性並びに製造歩留まりを向上させる圧電
素子用成膜マスク装置並びに圧電素子用収納治具を提供
する。 【解決手段】 成膜マスク装置は第１のマスクユニット
Ｍ１と第２のマスクユニットＭ２からなる。第１のマス
クユニットＭ１は、第１のマスク本体５とその上部に配
置される第１の押さえ板６を拡散接合してなり、第２の
マスクユニットＭ２は、スペーサ４と、当該スペーサ４
の下方に密着配置された第２のマスク本体３と、当該第
２のマスク本体下部に密着配置された第２の押さえ板１
とを拡散接合してなる。
素子用成膜マスク装置並びに圧電素子用収納治具を提供
する。 【解決手段】 成膜マスク装置は第１のマスクユニット
Ｍ１と第２のマスクユニットＭ２からなる。第１のマス
クユニットＭ１は、第１のマスク本体５とその上部に配
置される第１の押さえ板６を拡散接合してなり、第２の
マスクユニットＭ２は、スペーサ４と、当該スペーサ４
の下方に密着配置された第２のマスク本体３と、当該第
２のマスク本体下部に密着配置された第２の押さえ板１
とを拡散接合してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は水晶板、セラミック板等
の圧電素子に電極材料を形成する成膜マスク装置および
圧電素子の製造時に用いる収納治具に関するものであ
る。
の圧電素子に電極材料を形成する成膜マスク装置および
圧電素子の製造時に用いる収納治具に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、水晶振動子の電極形成工程にお
いて、電極用の金属材料形成を物理蒸着する場合、機械
的マスク装置を用いて真空蒸着法あるいはスパッタリン
グ法により、水晶板の必要な部分に電極を形成してい
た。この機械的マスク装置を用いる蒸着方法は、水晶板
を収納するスペーサ、上下のマスク板、その他の補助治
具等複数のマスク等の板体を重ねて、ネジ止め、あるい
は磁力等により一体化する構成が一般的であった。な
お、磁力によりマスク板等を一体化する方法の例として
例えば、特開平４−１３８５８号がある。
いて、電極用の金属材料形成を物理蒸着する場合、機械
的マスク装置を用いて真空蒸着法あるいはスパッタリン
グ法により、水晶板の必要な部分に電極を形成してい
た。この機械的マスク装置を用いる蒸着方法は、水晶板
を収納するスペーサ、上下のマスク板、その他の補助治
具等複数のマスク等の板体を重ねて、ネジ止め、あるい
は磁力等により一体化する構成が一般的であった。な
お、磁力によりマスク板等を一体化する方法の例として
例えば、特開平４−１３８５８号がある。
【０００３】このように分割可能な状態でマスク板等を
使用する理由は、マスク板等に付着した蒸着電極材料
（銀、金、アルミニウム等）を剥離除去する作業が必要
であるからである。この剥離除去作業は特定の洗浄液に
浸漬することにより行う。ネジ止め、磁力による一体化
方法は、この剥離除去作業が容易に行え、洗浄液あるい
は洗浄後に使用するリンス液を完全に除去することがで
きる利点を有しているが、一体化する作業工数が多くな
る等の製造作業上の問題がある。
使用する理由は、マスク板等に付着した蒸着電極材料
（銀、金、アルミニウム等）を剥離除去する作業が必要
であるからである。この剥離除去作業は特定の洗浄液に
浸漬することにより行う。ネジ止め、磁力による一体化
方法は、この剥離除去作業が容易に行え、洗浄液あるい
は洗浄後に使用するリンス液を完全に除去することがで
きる利点を有しているが、一体化する作業工数が多くな
る等の製造作業上の問題がある。
【０００４】また、各重ね合わせた構成部材の端部に隙
間が生じることがあり、このような隙間に圧電素子が入
り込む、位置ずれの問題が発生していた。特に、最近の
高周波数化に対応して、圧電素子の小型化、薄型化が著
しく、例えばＡＴカット水晶板においては、基本波周波
数で１００ＭＨｚ程度のものが実用に供されているが、
この場合、当該水晶板の厚さは約１６μｍ程度と極めて
薄くなっており、前述の位置ずれの問題の解決が重要な
課題となっていた。
間が生じることがあり、このような隙間に圧電素子が入
り込む、位置ずれの問題が発生していた。特に、最近の
高周波数化に対応して、圧電素子の小型化、薄型化が著
しく、例えばＡＴカット水晶板においては、基本波周波
数で１００ＭＨｚ程度のものが実用に供されているが、
この場合、当該水晶板の厚さは約１６μｍ程度と極めて
薄くなっており、前述の位置ずれの問題の解決が重要な
課題となっていた。
【０００５】上述の問題を解決するために、必要なマス
ク構成部分をスポット溶接により一体化し、２以上の一
体化物をネジ止め等により組み立てる構成も実用化され
ている。しかしながら、マスク板等に付着した蒸着電極
材料を剥離除去作業の際に使用する洗浄液、リンス液が
マスクとマスク押さえ板間に残留し、この状態で成膜マ
スク装置として真空蒸着作業に用いた際この残留物が気
化し、成膜に有害な不純物として放出され、成膜の品質
低下を招くことがある問題点があった。
ク構成部分をスポット溶接により一体化し、２以上の一
体化物をネジ止め等により組み立てる構成も実用化され
ている。しかしながら、マスク板等に付着した蒸着電極
材料を剥離除去作業の際に使用する洗浄液、リンス液が
マスクとマスク押さえ板間に残留し、この状態で成膜マ
スク装置として真空蒸着作業に用いた際この残留物が気
化し、成膜に有害な不純物として放出され、成膜の品質
低下を招くことがある問題点があった。
【０００６】さらに特開平８−３２５７０５号に示すよ
うに、マスク開口部分をレーザー溶接で接合し、前述の
隙間の発生を極力抑制しようとする構成も考えられてい
る。しかしながら前述の圧電素子の超薄型化により、マ
スクとスペーサ自体も超薄型になっていることから、自
由端部分に反りが発生しやすく、ここに形成される微小
な隙間に薄型の圧電素子が入り込み、位置ずれが生じる
ことがあった。
うに、マスク開口部分をレーザー溶接で接合し、前述の
隙間の発生を極力抑制しようとする構成も考えられてい
る。しかしながら前述の圧電素子の超薄型化により、マ
スクとスペーサ自体も超薄型になっていることから、自
由端部分に反りが発生しやすく、ここに形成される微小
な隙間に薄型の圧電素子が入り込み、位置ずれが生じる
ことがあった。
【０００７】また、圧電素子の製造工程において、圧電
素子をパレット等の治具に整列させることがあるが、従
来このような治具は加工の容易性の面からベークライト
等の樹脂を用いることが多かった。しかしながら、樹脂
が切削される等の理由で樹脂ダストの発生することが多
く、微小な圧電素子に適用することは好ましくなかっ
た。
素子をパレット等の治具に整列させることがあるが、従
来このような治具は加工の容易性の面からベークライト
等の樹脂を用いることが多かった。しかしながら、樹脂
が切削される等の理由で樹脂ダストの発生することが多
く、微小な圧電素子に適用することは好ましくなかっ
た。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点を
解決するためになされたもので、構成する各部材に反り
等が発生しにくく、また洗浄性が良好で、かつ組立性を
良好とすることにより、生産性並びに製造歩留まりを向
上させる圧電素子用成膜マスク装置を提供することを一
つの目的とし、またダスト等の異物が生じさせず、生産
性並びに製造歩留まりを向上させる圧電素子用収納治具
を提供することをもう一つの目的とするものである。
解決するためになされたもので、構成する各部材に反り
等が発生しにくく、また洗浄性が良好で、かつ組立性を
良好とすることにより、生産性並びに製造歩留まりを向
上させる圧電素子用成膜マスク装置を提供することを一
つの目的とし、またダスト等の異物が生じさせず、生産
性並びに製造歩留まりを向上させる圧電素子用収納治具
を提供することをもう一つの目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために、蒸着マスク装置等の各構成部材を固相状
態で接合する拡散接合により、接触面全体で一体接合す
ることを特徴とし、具体的には次の各構成を特徴として
いる。
決するために、蒸着マスク装置等の各構成部材を固相状
態で接合する拡散接合により、接触面全体で一体接合す
ることを特徴とし、具体的には次の各構成を特徴として
いる。
【００１０】請求項１に示す圧電素子用成膜マスク装置
は、所定のマスクパターンが複数形成された第１の蒸着
マスク本体と、当該第１の蒸着マスクの上面に配置さ
れ、前記各マスクパターン部分を露出させる開口を有す
る第１の押さえ板とを拡散接合することにより得られる
第１のマスクユニットと、圧電素子収納用孔が複数形成
されたスペーサと、その下面に配置され、前記圧電素子
収納用孔に対応する位置に所定のマスクパターンが各々
形成された第２の蒸着マスク本体と、その下面に配置さ
れ、前記第２の蒸着マスク本体を保持するとともに、前
記各マスクパターン部分を露出させる開口を有する第２
の押さえ板とを拡散接合することにより得られる第２の
マスクユニットからなり、前記各構成部材は同一金属か
ら構成され、前記スペーサの各圧電素子収納用孔に圧電
素子を収納し、両マスクユニットを締付具あるいは磁力
により密接させ、一体固定したことを特徴としている。
は、所定のマスクパターンが複数形成された第１の蒸着
マスク本体と、当該第１の蒸着マスクの上面に配置さ
れ、前記各マスクパターン部分を露出させる開口を有す
る第１の押さえ板とを拡散接合することにより得られる
第１のマスクユニットと、圧電素子収納用孔が複数形成
されたスペーサと、その下面に配置され、前記圧電素子
収納用孔に対応する位置に所定のマスクパターンが各々
形成された第２の蒸着マスク本体と、その下面に配置さ
れ、前記第２の蒸着マスク本体を保持するとともに、前
記各マスクパターン部分を露出させる開口を有する第２
の押さえ板とを拡散接合することにより得られる第２の
マスクユニットからなり、前記各構成部材は同一金属か
ら構成され、前記スペーサの各圧電素子収納用孔に圧電
素子を収納し、両マスクユニットを締付具あるいは磁力
により密接させ、一体固定したことを特徴としている。
【００１１】各構成部材の具体例として請求項２に示す
ように、ステンレス、コバール、銅のいずれか１種の金
属をあげることができる。
ように、ステンレス、コバール、銅のいずれか１種の金
属をあげることができる。
【００１２】請求項１によれば、２つのマスクユニット
は同一金属の各構成部材を拡散接合により面接合し、一
体化した構成であるので、各マスクユニットおいて各構
成部材の反りが発生すること等による隙間形成がなくな
り、圧電素子が超薄型化しても、従来のように圧電素子
が所定位置からずれて固定されると言うことが無くな
る。また各マスクユニットにおいて、接合部分に隙間が
形成されないので、従来のスポット溶接の場合のように
蒸着実行時、洗浄実行時の残留物が発生することもな
い。
は同一金属の各構成部材を拡散接合により面接合し、一
体化した構成であるので、各マスクユニットおいて各構
成部材の反りが発生すること等による隙間形成がなくな
り、圧電素子が超薄型化しても、従来のように圧電素子
が所定位置からずれて固定されると言うことが無くな
る。また各マスクユニットにおいて、接合部分に隙間が
形成されないので、従来のスポット溶接の場合のように
蒸着実行時、洗浄実行時の残留物が発生することもな
い。
【００１３】また請求項３に示すように、圧電素子用収
納治具にも適用でき、平板状金属基板と、当該平板状金
属基板と同一金属からなり、圧電素子収納用孔が複数形
成された有孔平板状金属基板とを拡散接合により一体化
したことを特徴とする。
納治具にも適用でき、平板状金属基板と、当該平板状金
属基板と同一金属からなり、圧電素子収納用孔が複数形
成された有孔平板状金属基板とを拡散接合により一体化
したことを特徴とする。
【００１４】各構成部材の具体例として請求項４に示す
ように、ステンレス、コバール、銅のいずれか１種の金
属をあげることができる。
ように、ステンレス、コバール、銅のいずれか１種の金
属をあげることができる。
【００１５】請求項３によれば、従来のように樹脂ダス
トが発生せず、また同一金属を拡散接合した構成である
ので、両基板間に隙間が生じることが無く、よって圧電
素子が当該隙間に入り込み作業性を阻害するという問題
の発生もない。
トが発生せず、また同一金属を拡散接合した構成である
ので、両基板間に隙間が生じることが無く、よって圧電
素子が当該隙間に入り込み作業性を阻害するという問題
の発生もない。
【００１６】
【実施の形態】本発明による第１の実施の形態を、モノ
リシック型水晶フィルタの電極形成を例にとり、図面と
ともに説明する。図１は本発明の第１の実施例による成
膜マスク装置を示す一部分解斜視図であり、図２は図１
の一部拡大斜視図であり、図３は図１のＡ−Ａ断面図で
あり、図４は図３に示す各マスクユニットを接合した状
態の断面図である。
リシック型水晶フィルタの電極形成を例にとり、図面と
ともに説明する。図１は本発明の第１の実施例による成
膜マスク装置を示す一部分解斜視図であり、図２は図１
の一部拡大斜視図であり、図３は図１のＡ−Ａ断面図で
あり、図４は図３に示す各マスクユニットを接合した状
態の断面図である。
【００１７】成膜マスク装置は第１のマスクユニットＭ
１と第２のマスクユニットＭ２からなる。第１のマスク
ユニットＭ１は、第１のマスク本体５とその上部に配置
される第１の押さえ板６からなる。第１のマスク本体５
は、例えばその厚さ０．０５mmで、後述の水晶板Ｂの所
定の位置に対応する上部マスクパターン５１，・・・が
水晶板個々に対応して複数個形成されている。当該第１
のマスク本体５の上部には第１の押さえ板６が密着配置
されている。当該第１の押さえ板６は例えば厚さ１．０
mm、前述の第１のマスク本体を押さえるもので、上述の
上部マスクパターン５１、・・・を露出させる開口部６
１，・・・が複数個形成されている。各構成部材は例え
ばＳＵＳ３０４等のステンレス鋼の同一材料からなり、
拡散接合により一体的に密着接合される。
１と第２のマスクユニットＭ２からなる。第１のマスク
ユニットＭ１は、第１のマスク本体５とその上部に配置
される第１の押さえ板６からなる。第１のマスク本体５
は、例えばその厚さ０．０５mmで、後述の水晶板Ｂの所
定の位置に対応する上部マスクパターン５１，・・・が
水晶板個々に対応して複数個形成されている。当該第１
のマスク本体５の上部には第１の押さえ板６が密着配置
されている。当該第１の押さえ板６は例えば厚さ１．０
mm、前述の第１のマスク本体を押さえるもので、上述の
上部マスクパターン５１、・・・を露出させる開口部６
１，・・・が複数個形成されている。各構成部材は例え
ばＳＵＳ３０４等のステンレス鋼の同一材料からなり、
拡散接合により一体的に密着接合される。
【００１８】第２のマスクユニットＭ２は、スペーサ４
と、当該スペーサ４の下方に密着配置された第２のマス
ク本体３と、当該第２のマスク本体下部に密着配置され
た第２の押さえ板１とからなる。スペーサ４は例えば厚
さ０．０５mmで、水晶板Ｂを所定の間隔で複数個位置決
め収納する圧電素子収納孔４１，・・・が設けられてい
る。第２のマスク本体３は例えば厚さ０．０５mmで、前
記スペーサ４の圧電素子収納孔位置に対応する下部マス
クパターン３１，・・・が水晶板個々に対応して複数個
形成されている。第２の押さえ板１は例えば厚さ１．０
mmで、前述の第１のマスク本体を押さえるもので、上述
の上部マスクパターン５１、・・・を露出させる開口部
６１，・・・が複数個形成されている。各構成部材は、
第１のマスクユニットで使用した材料と同じＳＵＳ３０
４等のステンレス鋼からなり、拡散接合により一体的に
密着接合される。
と、当該スペーサ４の下方に密着配置された第２のマス
ク本体３と、当該第２のマスク本体下部に密着配置され
た第２の押さえ板１とからなる。スペーサ４は例えば厚
さ０．０５mmで、水晶板Ｂを所定の間隔で複数個位置決
め収納する圧電素子収納孔４１，・・・が設けられてい
る。第２のマスク本体３は例えば厚さ０．０５mmで、前
記スペーサ４の圧電素子収納孔位置に対応する下部マス
クパターン３１，・・・が水晶板個々に対応して複数個
形成されている。第２の押さえ板１は例えば厚さ１．０
mmで、前述の第１のマスク本体を押さえるもので、上述
の上部マスクパターン５１、・・・を露出させる開口部
６１，・・・が複数個形成されている。各構成部材は、
第１のマスクユニットで使用した材料と同じＳＵＳ３０
４等のステンレス鋼からなり、拡散接合により一体的に
密着接合される。
【００１９】拡散接合は、高温の真空雰囲気中におい
て、各構成部材を固相状態で接合する方法であり、各構
成部材の接触面を強固に密着接合することができる。な
お、接合の具体例としては、各構成部材をスポット抵抗
溶接により仮固定し、その後拡散接合を行うことによ
り、接合時の位置決めを確実に行うことができる。ま
た、各構成部材はステンレス鋼のほかに、コバール、銅
等を用いることができる。
て、各構成部材を固相状態で接合する方法であり、各構
成部材の接触面を強固に密着接合することができる。な
お、接合の具体例としては、各構成部材をスポット抵抗
溶接により仮固定し、その後拡散接合を行うことによ
り、接合時の位置決めを確実に行うことができる。ま
た、各構成部材はステンレス鋼のほかに、コバール、銅
等を用いることができる。
【００２０】図１および図３に示すように、第２のマス
クユニットＭ２のスペーサ４に形成された圧電素子収納
孔４１、・・・にモノリシック水晶フィルタ素子（圧電
素子）Ｂを各々収納し、図１および図４に示すように、
第１のマスクユニットＭ１を密着させ、雄ねじ２，２を
各ネジ貫通孔３４，４４，５４，６４を貫通させ締め付
け固定する。これにより圧電素子に対し所定パターンの
マスキングを行うことができる。なお、この両者の固定
は磁力により行ってもよい。この場合、磁化させた磁性
体金属板を用いる等の工夫をしてもよい。以上のような
成膜マスク装置を真空蒸着法、スパッタリング法等によ
り物理蒸着を行うことにより、所望の成膜パターンのモ
ノリシック水晶フィルタ素子（圧電素子）Ｂを得ること
ができる。
クユニットＭ２のスペーサ４に形成された圧電素子収納
孔４１、・・・にモノリシック水晶フィルタ素子（圧電
素子）Ｂを各々収納し、図１および図４に示すように、
第１のマスクユニットＭ１を密着させ、雄ねじ２，２を
各ネジ貫通孔３４，４４，５４，６４を貫通させ締め付
け固定する。これにより圧電素子に対し所定パターンの
マスキングを行うことができる。なお、この両者の固定
は磁力により行ってもよい。この場合、磁化させた磁性
体金属板を用いる等の工夫をしてもよい。以上のような
成膜マスク装置を真空蒸着法、スパッタリング法等によ
り物理蒸着を行うことにより、所望の成膜パターンのモ
ノリシック水晶フィルタ素子（圧電素子）Ｂを得ること
ができる。
【００２１】なお、上記説明において、圧電素子とし
て、水晶フィルタ素子を例にとって説明したが、他の圧
電振動板であってもよい。これは次の実施の形態につい
ても同様に適用される。
て、水晶フィルタ素子を例にとって説明したが、他の圧
電振動板であってもよい。これは次の実施の形態につい
ても同様に適用される。
【００２２】本発明による第２の実施の形態について図
５とともに説明する。本発明は上述のような成膜マスク
装置に適用できるほか、例えば、圧電素子の加工工程に
用いる治具において、適用可能である。図５は圧電素子
用収納治具を示す断面図である。本収納治具は平板状金
属基板７と、その上面に接合される有孔平板状基板８と
からなる。有孔平板状基板８には、収納する圧電素子の
外形形状に対応した圧電素子収納孔が複数形成されてい
る。両金属基板はＳＵＳ３０４からなり、拡散接合によ
り一体化されている。このような収納治具は例えば蒸着
の前工程や洗浄時等、圧電素子を整列させる必要がある
場合に用いる。上述のように圧電素子用収納治具を、金
属材料を密着させた構成とすることにより、従来発生し
ていた樹脂ダストの発生がなくなり、圧電素子の特性に
悪影響を与えることがなくなる。また両基板間に隙間が
生じることが無く、圧電素子が当該隙間に入り込み作業
性を阻害するという問題の発生をなくすことができる。
５とともに説明する。本発明は上述のような成膜マスク
装置に適用できるほか、例えば、圧電素子の加工工程に
用いる治具において、適用可能である。図５は圧電素子
用収納治具を示す断面図である。本収納治具は平板状金
属基板７と、その上面に接合される有孔平板状基板８と
からなる。有孔平板状基板８には、収納する圧電素子の
外形形状に対応した圧電素子収納孔が複数形成されてい
る。両金属基板はＳＵＳ３０４からなり、拡散接合によ
り一体化されている。このような収納治具は例えば蒸着
の前工程や洗浄時等、圧電素子を整列させる必要がある
場合に用いる。上述のように圧電素子用収納治具を、金
属材料を密着させた構成とすることにより、従来発生し
ていた樹脂ダストの発生がなくなり、圧電素子の特性に
悪影響を与えることがなくなる。また両基板間に隙間が
生じることが無く、圧電素子が当該隙間に入り込み作業
性を阻害するという問題の発生をなくすことができる。
【００２３】
【発明の効果】請求項１または請求項２によれば、２つ
のマスクユニットは各々同一金属の各構成部材を拡散接
合により面接合し、一体化した構成であるので、各マス
クユニットおいて各構成部材の反りが抑制され、各部材
間に隙間が生じなくなる。よって、圧電素子が超薄型化
しても、従来のように圧電素子が所定位置からずれて固
定されることが無くなる。従って生産性並びに製造歩留
まりを向上させる圧電素子用成膜マスク装置を得ること
ができる。
のマスクユニットは各々同一金属の各構成部材を拡散接
合により面接合し、一体化した構成であるので、各マス
クユニットおいて各構成部材の反りが抑制され、各部材
間に隙間が生じなくなる。よって、圧電素子が超薄型化
しても、従来のように圧電素子が所定位置からずれて固
定されることが無くなる。従って生産性並びに製造歩留
まりを向上させる圧電素子用成膜マスク装置を得ること
ができる。
【００２４】また請求項３または請求項４によれば、従
来のように樹脂ダストが発生せず、また同一金属を拡散
接合した構成であるので、両基板間に隙間が生じること
が無く、よって圧電素子が当該隙間に入り込み作業性を
阻害するという問題の発生をなくすことができる。従っ
て生産性並びに製造歩留まりを向上させる圧電素子用収
納治具を得ることができる。
来のように樹脂ダストが発生せず、また同一金属を拡散
接合した構成であるので、両基板間に隙間が生じること
が無く、よって圧電素子が当該隙間に入り込み作業性を
阻害するという問題の発生をなくすことができる。従っ
て生産性並びに製造歩留まりを向上させる圧電素子用収
納治具を得ることができる。
【図１】第１の実施の形態を示す分解斜視図。
【図２】第１の部分拡大斜視図。
【図３】第１の実施の形態を示す断面図。
【図４】第１の実施の形態を示す断面図。
【図５】第２の実施の形態を示す断面図。
１ 第２の押さえ板 ２ 雄ねじ ３ 第２のマスク本体 ４ スペーサ ５ 第１のマスク本体 ６ 第２の押さえ板 ７．平板状金属基板 ８．有孔平板状基板
Claims (4)
- 【請求項１】 所定のマスクパターンが複数形成された
第１の蒸着マスク本体と、当該第１の蒸着マスクの上面
に配置され、前記各マスクパターン部分を露出させる開
口を有する第１の押さえ板とを拡散接合することにより
得られる第１のマスクユニットと、 圧電素子収納用孔が複数形成されたスペーサと、当該ス
ペーサの下面に配置され、前記圧電素子収納用孔に対応
する位置に所定のマスクパターンが各々形成された第２
の蒸着マスク本体と、当該第２の蒸着マスクの下面に配
置され、前記第２の蒸着マスク本体を保持するととも
に、前記各マスクパターン部分を露出させる開口を有す
る第２の押さえ板とを拡散接合することにより得られる
第２のマスクユニットからなり、 前記各構成部材は同一金属から構成され、前記スペーサ
の各圧電素子収納用孔に圧電素子を収納し、両マスクユ
ニットを締付具あるいは磁力により密接させたことを特
徴とする圧電素子用成膜マスク装置。 - 【請求項２】 各構成部材がステンレス、コバール、銅
のいずれか１種の金属からなる請求項１記載の圧電素子
用成膜マスク装置。 - 【請求項３】 平板状金属基板と、当該平板状金属基板
と同一金属からなり、圧電素子収納用孔が複数形成され
た有孔平板状金属基板とを拡散接合により一体化したこ
とを特徴とする圧電素子用収納治具。 - 【請求項４】 各基板がステンレス、コバール、銅のい
ずれか１種の金属からなる請求項３記載の圧電素子用収
納治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11059433A JP2000261266A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 圧電素子用成膜マスク装置および圧電素子用収納治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11059433A JP2000261266A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 圧電素子用成膜マスク装置および圧電素子用収納治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000261266A true JP2000261266A (ja) | 2000-09-22 |
Family
ID=13113147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11059433A Pending JP2000261266A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 圧電素子用成膜マスク装置および圧電素子用収納治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000261266A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010011373A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Kyocera Kinseki Corp | 電子部品用の蓋体及び圧電振動子並びに圧電発振器 |
| JP2010011372A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Kyocera Kinseki Corp | 電子部品用の蓋体及び圧電振動子並びに圧電発振器 |
| US8991656B2 (en) | 2010-10-29 | 2015-03-31 | Welcon Inc. | Container |
-
1999
- 1999-03-05 JP JP11059433A patent/JP2000261266A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010011373A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Kyocera Kinseki Corp | 電子部品用の蓋体及び圧電振動子並びに圧電発振器 |
| JP2010011372A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Kyocera Kinseki Corp | 電子部品用の蓋体及び圧電振動子並びに圧電発振器 |
| US8991656B2 (en) | 2010-10-29 | 2015-03-31 | Welcon Inc. | Container |
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