JP2000257730A - Operation valve and diaphragm therefor - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an operation valve with higher durability, in the operation valve provided in the flow route of a corrosive gas. SOLUTION: This valve stores a diaphragm 4, contacted to an opening 252 formed on the center of the valve seat 231 in the valve chamber 23, for opening/ closing this in the valve main body 2 having a valve chamber 23 provided between a gas flow in route 25 and gas flow out route 26 and has a tightening member 3 for tightening this diaphragm 4 and a valve operation member 5 for opening/closing the opening 252 by contacting from the outside to the diaphragm 4. By fixing a ceramics made push-press member 41 on the opening 252 side of the diaphragm 4, the wear resistance performance of the diaphragm 4 can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば高圧ボンベ
などの排出口等に取り付けられる操作弁に係り、特に腐
食性のあるガスを収容したボンベに用いられる操作弁に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an operation valve attached to an outlet of a high-pressure cylinder or the like, and more particularly to an operation valve used for a cylinder containing a corrosive gas.

【従来の技術】従来、例えばプロパンガスのボンベなど
のように、ガスを封入した容器には、排出口にガス用操
作弁が取り付けられている。この操作弁を開閉操作する
ことによって、ボンベ内に封入されているガスを排出
し、あるいは密封状態とする。このような従来の操作弁
は、弁本体に、弁部材を収容し弁座が形成された弁室
と、弁座の中央に開口して弁室に連通するガス流入口
と、ガス流入口が中央に開口する弁座と、ガス流出口
と、内側空間が弁室に連通する筒状部とを形成し、筒状
部の内側空間と弁室との間に設置されたダイヤフラム
と、筒状部の内側空間に螺合され、ダイヤフラムを締着
固定する締付部材と、締付部材の中央部を挿通し、ダイ
ヤフラムを弁座のガス流入口に押圧する弁操作部材と、
弁操作部材を進退操作する操作装置とから構成されてい
る。そして、操作装置によって、弁操作部材を進退させ
いることによって、ダイヤフラムを弁座に対して密着又
は開放させ、ガスの密閉又は流出を行う。2. Description of the Related Art Conventionally, a gas-operated valve is attached to a discharge port of a gas-sealed container such as a propane gas cylinder. By opening and closing this operation valve, the gas sealed in the cylinder is discharged or sealed. Such a conventional operation valve includes a valve body in which a valve member is accommodated and a valve seat is formed, a gas inlet opening at the center of the valve seat and communicating with the valve chamber, and a gas inlet. A valve seat that opens in the center, a gas outlet, and a cylindrical portion in which the inner space communicates with the valve chamber; a diaphragm installed between the inner space of the cylindrical portion and the valve chamber; A fastening member that is screwed into the inner space of the part and fastens and fixes the diaphragm, a valve operating member that passes through the center of the fastening member and presses the diaphragm against the gas inlet of the valve seat,
And an operating device for operating the valve operating member forward and backward. Then, by moving the valve operating member back and forth by the operating device, the diaphragm is brought into close contact with or open to the valve seat, and the gas is sealed or discharged.

【発明が解決しようとする課題】しかし、ボンベに封入
されているが、腐食性の強いガスものである場合には、
ガスとの接触によって、ダイヤフラムが腐蝕し、耐久性
が低下する。これに対して、ダイヤフラムの構成材料を
耐腐食性の高いものとしたとしても、ガス流入口から弁
室内へガスが流入する際、ダイヤフラムの弁座に当接し
ている部分にガスが直接当たるため、特にこの部分の腐
食が起こりやすい。また、この部分は、密閉時において
も、常時腐食性ガスに接触することとなり、一層腐蝕の
生じやすい個所である。この様に、特に部分的に腐蝕が
生じると、応力集中が生じて、腐蝕部分から亀裂が生じ
易くなるなどの問題ある。この発明の目的は、腐食性の
あるガスの流通経路に設けられる操作弁において、より
耐久性の高い操作弁及び操作弁用のダイヤフラムを提供
することである。However, if the gas contained in the cylinder is a highly corrosive gas,
The contact with the gas corrodes the diaphragm and reduces durability. On the other hand, even if the diaphragm is made of a material having high corrosion resistance, when the gas flows into the valve chamber from the gas inflow port, the gas directly hits the portion in contact with the valve seat of the diaphragm. In particular, corrosion of this portion is likely to occur. In addition, this portion is always in contact with the corrosive gas even during sealing, and is a place where corrosion is more likely to occur. As described above, in particular, when corrosion occurs partially, stress concentration occurs, and there is a problem that a crack is easily generated from the corroded portion. An object of the present invention is to provide a more durable operation valve and a diaphragm for the operation valve in an operation valve provided in a flow path of a corrosive gas.

【課題を解決するための手段】このような目的は、以下
の本発明により達成される。 （１） ガスが流入するガス流入路と、前記ガス流入路
から流入するガスが流出するガス流出路と、前記ガス流
入路と前記ガス流出路との間に設けられた弁室と、前記
弁室に内側空間が連通する筒状部とを有する弁本体と、
前記弁室内に設けられ、ガス流入路の流入口が開口する
弁座と、前記弁室と前記筒状部の内側空間とを隔てるダ
イヤフラムと、前記弁本体内に設けられた締着面と、前
記締着面に向けて押圧されて、前記締着面との間で前記
ダイヤフラムを挟持する締付部材と、前記ダイヤフラム
に固定された耐腐食性を有する押接部材と、前記締付部
材内の中央部に進退自在に収容され、前記ダイヤフラム
の押接部材を前記弁座へ向けて押圧する弁操作部材と、
前記弁操作部材の進退を操作する操作手段とを有するこ
とを特徴とする操作弁。 （２） 前記押接部材はセラミックス製である上記
（１）に記載の操作弁。 （３） 前記ダイヤフラムは、撓みを吸収する可撓部を
有する上記（１）または（２）に記載の操作弁。 （４） 腐食性ガスの流出経路に設けられる操作弁に用
いられるダイヤフラムであって、可撓性を有する薄板部
材と、該薄板部材の中央に固定されたセラミックス製の
押接部材とを有することを特徴とする操作弁用ダイヤフ
ラム。 （５） 押接部材の固定部分の周囲に形成された凹状の
可撓部を有する上記（４）に記載の操作弁用ダイヤフラ
ム。 （６） 薄板部材と押接部材の間に介挿された金属製の
介挿部材を有する上記（４）または（５）に記載の操作
弁用ダイヤフラム。 （７） 押接部材は、テーパ面を有する上記（４）ない
し（６）のいずれかに記載の操作弁用ダイヤフラム。This and other objects are achieved by the present invention described below. (1) a gas inflow path into which gas flows, a gas outflow path from which gas flowing in from the gas inflow path flows out, a valve chamber provided between the gas inflow path and the gas outflow path, and the valve A valve body having a cylindrical portion with which the inner space communicates with the chamber;
A valve seat provided in the valve chamber, the inflow opening of the gas inflow path is opened, a diaphragm separating the valve chamber and the inner space of the cylindrical portion, and a fastening surface provided in the valve body, A fastening member that is pressed toward the fastening surface and clamps the diaphragm between the fastening surface and the fastening surface; a corrosion-resistant pressing member fixed to the diaphragm; A valve operating member housed in the center of the valve so as to be able to advance and retreat, and pressing a pressing member of the diaphragm toward the valve seat;
Operating means for operating the valve operating member to advance or retreat. (2) The operation valve according to (1), wherein the pressing member is made of ceramic. (3) The operation valve according to (1) or (2), wherein the diaphragm has a flexible portion that absorbs deflection. (4) A diaphragm used for an operation valve provided in an outflow path of a corrosive gas, comprising a flexible thin plate member and a ceramic pressing member fixed to the center of the thin plate member. A diaphragm for a control valve. (5) The diaphragm for an operation valve according to the above (4), having a concave flexible portion formed around a fixed portion of the pressing member. (6) The diaphragm for an operation valve according to (4) or (5), further including a metal interposed member interposed between the thin plate member and the pressing member. (7) The diaphragm for an operation valve according to any one of (4) to (6), wherein the pressing member has a tapered surface.

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施形態の操
作弁について、添付図面に基づき詳細に説明する。本第
１実施形態の操作弁１は、弁本体２と、弁本体２の筒状
部２１に取り付けられる締付部材３と、ダイヤフラム４
と、締付部材３の中心部分に挿入されている弁操作部材
５と、弁操作部材５を進退操作する操作手段９とを有し
ている。この実施形態では、操作手段９は空気アクチュ
エーターである。弁本体２は、ほぼ円柱形状に近似した
形状に形成されており、下端部に設けられた取り付け部
２２と、弁座２３１を有する弁室２３と、弁室２３に内
側空間２１１が連通する筒状部２１と、排出口２６２を
先端に有する接続部２４と、ガス流入路２５と、ガス流
出路２６とを有している。取り付け部２２は、ガス流入
路２５の一方の開口２５１を先端に有し、外周部にはガ
ス容器排出口の接続部に螺合する雄ねじ２２１が形成さ
れている。弁室２３は、弁本体２を円柱状にくり抜いて
形成されており、底部には弁座２３１が設けられてい
る。この弁座２３１の周端には、円環状にシール部材２
３２が埋設され、弁座２３１の中央には、ガス流入路２
５の他方の開口２５２が設けられている。さらに弁室２
３内には、ガス流出路２６の一方の開口２６１が設けら
れている。弁室２３の開口部周縁部には、段部が形成さ
れ、ダイヤフラム４の周端部を締め付けて固定するため
の締着面２３４が円輪状に設けられている。この締着面
２３４のさらに上側には、締付部材３が螺入される筒状
部２１が形成されている。この筒状部２１の内側空間２
１１は、締着面２３４で囲まれた開口２３５を介して弁
室２３と連通し、取付部材１０が螺入される。筒状部２
１の内側面には、雌ねじ２１２が形成されている。筒状
部２１に螺入される、操作手段９の取付部材１０は、締
付部材３を介してダイヤフラム４を締着する。弁本体２
の外周面に設けられている接続部２４は、円筒形状であ
り、外周面には雄ねじ２４１が形成されている。接続部
２４の先端には、ガス流出路２６の他方の開口２６２が
設けられている。接続部２４には、ガス管など、他の流
通経路の接続端が接続される。ダイヤフラム４は、耐腐
蝕性を有する金属材料で構成され、円形の薄板状に形成
されている。金属材料の例としては、例えば、チタン、
インコネル、ステンレス、ニッケル・コバルト合金のよ
うな合金などが挙げられる。ダイヤフラム４は周端部
が、気密性を維持した状態で固定され、中央部がダイヤ
フラムの平面に対して垂直な方向へ撓むことが可能な可
撓部となっている。そして、この中央部には弁座２３１
の開口２５２を閉鎖する押接部材４１が、介挿部材４２
を介して固定されている。この押接部材４１は、ダイヤ
フラム４の構成材料に比較して、より耐腐食性の高い材
料で構成されている。例えば、この実施形態では、押接
部材４１は、セラミックス材料によって構成されてい
る。その他の構成材料としては、表面が耐腐蝕処理され
た金属、合金などであってもよい。また、セラミックス
は、基本的成分が無機酸化物で構成され、高温での焼成
によって得られる成形体であり、例えばエンジニアリン
グセラミックス等のファインセラミックスが用いられ
る。金属製のダイヤフラムや介挿部材４２にセラミック
ス材料を接着する方法は、公知の方法を用いることがで
きる。特に、特開平７−１１２３３０号に記載されてい
るように、セラミックス表面にレーザビームを照射し
て、その照射部にセラミックス成分の金属元素を析出さ
せ、次いでこの金属層を介して金属材料を接着させる接
着方法を用いることができる。ダイヤフラム４の開口側
には締着部材３が重ねられる。取付部材１０による締付
けによって、ダイヤフラム４は、締着部材３と締着面２
３４とによって気密性を確保しつつ、締着固定される。
これにより、ダイヤフラム４は、弁室２３と筒状部２１
の内側空間２１１との間を気密的に隔絶する。締着部材
３の中心には、弁操作部材５が収容され、弁操作部材５
と締着部材３の間には、スプリング５１が介挿されてい
る。このスプリング５１は、弁操作部材５を弁座２３１
から離れる方向に付勢する。弁操作部材５の下端は、凸
状球面に形成されており、ダイヤフラム４の中央部に当
接している。また、弁操作部材５の上端部５２は、取付
部材１０内を挿通して、操作手段９に接続されている。
取付部材１０がダイヤフラム４を締め付けた状態で、取
付部材１０の上端は弁本体２の上方に突出し、この突出
端に空気アクチュエーター９を固定するためのナット１
０２が螺合される。以下操作手段９の構成について説明
する。操作手段としての空気アクチュエーター６は、ケ
ーシングと、ケーシング内に収納されている第１のピス
トン９４、圧力板９５、第２のピストン９６と、皿バネ
９７とを有している。ケーシングは、底板９１と、底板
９１の周端に接続され、ケーシングの側面を構成する筒
状部材９２と、筒状部材９２の上端開口に嵌合される蓋
材９３とから構成されている。底板９１は、ナット１０
２によって筒状部２１との間に締着固定され、これによ
り、弁本体２１と空気アクチュエーター９とが一体とし
て固定される。第１のピストン９４は、筒状部材９２の
内壁に対して気密状態を維持したまま摺動自在に収納さ
れてかおり、中心にはピストンロッド９０１が一体とし
て形成されている。ピストンロッド９０１の下端は、弁
操作部材５の上端部５２当接しており、上端は第２のピ
ストン９６と当接している。第２のピストン９６と蓋材
９３との間には、皿バネ９７が介挿されており、ピスト
ンロッド９０１を介して、皿バネ９７が弁操作部材５を
下方へ付勢している。そして、底板９１と第１のピスト
ン９４との間には第１のチャンバ９０ａが、圧力板９５
と第３のピストン９６の間には第２のチャンバ９０ｂが
それぞれ形成されている。そして、この第１のチャンバ
９０ａと第２のチャンバ９０ｂは、ピストンロッド９０
１に形成された通路９０２によってつながっている。以
上のような空気アクチュエーター９の作用について説明
する。操作弁１を開放状態とするには、第１のチャンバ
９０ａに圧縮空気などの操作媒体（気体）流入させる。
これにより、皿バネ９７の付勢力に抗して第１のピスト
ン９４と第２のピストン９５が押し上げられ、スプリン
グバネ５１の付勢力によって弁操作部材５が上昇し、ダ
イヤフラム４はガスの圧力によって弁座２３１から離
れ、操作弁１は、開放状態となる。操作弁１を閉鎖状態
とするには、操作媒体の送入を停止し、第１のチャンバ
９０ａへの送気経路を開放することによって、チャンバ
９０ａ、９０ｂ内の気圧が下がり、皿バネ９７の付勢力
によって、弁操作部材５が押し下げられ、ダイヤフラム
４の押接部材４１が弁座２３１の開口２５２を塞ぎ、操
作弁１は閉鎖状態となる。ここで、ダイヤフラム４の構
成について詳説する。図２に示されているように、押接
部材４１とダイヤフラム４の間に金属製の介挿部材４２
を介在させた構成である。このような介挿部材４２を介
在させると、介挿部材４２とセラミックス製の押接部材
４１との接着が容易となり、かつ薄い金属材料のダイヤ
フラム４と介挿部材４２との溶接が容易となり、ダイヤ
フラム４と押接部材４１との接続が容易となり、かつ接
続強度も向上する。また、介挿部材４２とダイヤフラム
４との溶接は、図示されているように、介挿部材４２の
周端部において溶接する構成の他、ダイヤフラム４の裏
側からレーザ溶接し、介挿部材４２の周端部ではなく、
介挿部材４２とダイヤフラム４とが接触する面を溶接す
る構成としてもよい。さらに、ダイヤフラム４には、図
２に示されているように、撓みを担当する可撓部４４が
設けられている。この可撓部４４を設けることで、剛体
である押接部材４１又は介挿部材４２が接着されている
接着部４３の撓み（変形）が抑制され、ダイヤフラム４
全体の撓みによって生ずる変位量は、可撓部４４の撓み
によって担当される。このような可撓部４４は、ダイヤ
フラム４の中央に位置する平面状の接着部４３の周囲に
設けられ、ダイヤフラム４の直径方向に切断した場合の
断面視において、ダイヤフラム表面の片側方向へ、円弧
状に膨らんだ形状に形成されている。ダイヤフラム４が
表面から垂直方向に撓む（弾性変形）する場合には、こ
の可撓部４４の円弧状が広がって（或いは、窄まっ
て）、ダイヤフラム４の変形を担当する。このように可
撓部４４が変形することによって、接着部４３の変形は
最小限に抑えられ、ダイヤフラム４自体の寿命がさらに
向上する（延びる）。このような可撓部４４の形状は、
断面視で円弧状とする構成の他、波形の形状や、蛇腹形
状、或いは、図３に示されているように、段部（或い
は、傾斜部）４５を設けた状態としてもよい。このほ
か、可撓部４４の構成としては、可撓部４４の弾性係数
を他の部分よりも相対的に小さくした構成としてもよ
い。また、可撓部４４の剛性を他の部分（例えば、接着
部４３や、周端に位置する締着部４６）よりも相対的に
小さくする等の構成としてもよい。このような構成は、
ダイヤフラムを部分的（例えば、接着部４３や、周端に
位置する締着部４６）に焼き入れすること等によって、
得ることができる。以上説明した実施形態の他、図４に
示されているように、介挿部材４２を設けず、直接ダイ
ヤフラム４と押接部材４１とを接着した構成としてもよ
い。また、押接部材４１（介挿部材４２が設けられてい
る場合には、介挿部材４２）の貼付面側を球面にして、
ダイヤフラム４の変形形状に応じた形（変形形状に沿っ
た形）にすることで、ダイヤフラムに生じる応力集中を
緩和し、ダイヤフラム４に生ずる応力集中を抑制し、劣
化の進行を抑える構成としてもよい。一方、押接部材４
１の形状を他の形状とすることもできる。例えば、図５
に示されているように、押接部材４１Ａの押圧面４１１
の中央にテーパを形成し、このテーパ面が弁座２３１の
開口２５２の縁に当接して、開口２５２を塞ぐ構成とし
てもよい。このような構成とすることによって、押接部
材４１Ａと弁座２３１との密閉を一層向上させることが
できる。また、シール部材２３２が不要となるため、劣
化したシール部材の交換が必要なくなるので、メンテナ
ンスが容易となる。このような押接部材４１Ａは、金属
製の押圧部材４７に、既述の方法により接着されてい
る。押圧部材４７は、押接部材４１Ａが接着されている
面の反対側面の中央に、ボルト部４７１が立設されてい
る。ボルト部４７１は、ダイヤフラム４の中心に形成さ
れている孔４０を貫通し、ダイヤフラム４は、ボルト部
４７１の基端部に溶接により気密的に固定されている。
ボルト部４７１に形成されている雄螺旋４７２には、接
続部材４８の雌螺旋４８３が螺合する。接続部材４８の
先端４８１は、ダイヤフラム４の表面に当接し、押圧部
材４７との間でダイヤフラム４を気密的に挟持固定す
る。接続部材４８の後端部には、周方向に溝４８２が形
成されている。この溝４８２には、空気アクチュエータ
ーや手動開閉装置等の操作手段が接続される。図６は、
操作手段として手動開閉手段が用いられた構成を示す、
操作弁１Ａの全体側面図である。本第２実施形態の操作
弁１Ａは、弁本体２Ａと、弁本体２Ａの筒状部２１Ａに
取り付けられる締付部材３Ａと、ダイヤフラム４Ａと、
ダイヤフラム４Ａの接続部材４８を進退操作する操作手
段９Ａとを有している。この実施形態では、操作手段９
Ａは手動開閉手段である。弁本体２Ａは、第１実施形態
とほぼ同様の構成を有し、取り付け部２２Ａと、弁座２
３１Ａを有する弁室２３Ａと、弁室２３Ａに内側空間２
１１Ａが連通する筒状部２１Ａと、排出口２６２Ａを先
端に有する接続部２４Ａと、ガス流入路２５Ａと、ガス
流出路２６Ａとを有している。取り付け部２２Ａは、ガ
ス流入路２５Ａの一方の開口２５１Ａを先端に有し、外
周部には雄ねじ２２１Ａが形成されている。弁室２３Ａ
の弁座２３１Ａの中央には、ガス流入路２５Ａの他方の
開口２５２Ａが設けられている。さらに弁室２３Ａ内に
は、ガス流出路２６Ａの一方の開口２６１Ａが設けられ
ている。弁室２３Ａの開口部周縁部には、段部が形成さ
れ、ダイヤフラム４Ａの周端部を締め付けて固定するた
めの締着面２３４Ａが円輪状に設けられている。この締
着面２３４Ａのさらに上側には、締付部材３Ａが螺入さ
れる筒状部２１Ａが形成されている。この筒状部２１Ａ
の内側空間２１１Ａは、締着面２３４Ａで囲まれた開口
２３５Ａを介して弁室２３Ａと連通し、取付部材１０Ａ
が螺入される。筒状部２１Ａの内側面には、雌ねじ２１
２Ａが形成されている。操作手段９Ａの取付部材１０Ａ
は、締付部材３Ａを介してダイヤフラム４Ａを締着す
る。弁本体２Ａの外周面に設けられている接続部２４Ａ
は、円筒形状であり、外周面には雄ねじ２４１Ａが形成
されている。接続部２４Ａの先端には、ガス流出路２６
Ａの他方の開口２６２Ａが設けられている。接続部２４
Ａには、ガス管などの他の流通経路の接続端が接続され
る。取付部材１０Ａは筒状に形成され、その外周面に
は、雌ねじ２１２Ａに螺合する雄ねじ１０１Ａが形成さ
れ、内部には連結部材７と上記接続部材４８が収納され
ている。連結部材７は、先端に穴７１が形成され、穴の
開口部には、接続部材４８の溝４８２に接合される凸部
７２が形成されている。この凸部７２と溝４８２との接
合によって、連結部材７が回転しながら、接続部材４８
を軸方向に進退させる構成となっている。連結部材７後
端にはハンドル８が一体回転可能に、接続されている。
また、連結部材７の後端部外周面には、雄ねじ７３が形
成され、この雄ねじ７３は、取付部材１０Ａの内周面に
形成されている雌ねじ１０２Ａに螺合している。以上の
ような構成において、ハンドル８を手で握って、これを
回転させると、連結部材７が回転し、雌ねじ１０２Ａと
雄ねじ７３との螺合によつて、軸方向に連結部材７が移
動し、接続部材４８を介して、押接部材４１Ａを軸方向
に移動させる。押接部材４１Ａの移動の際、ダイヤフラ
ム４Ａが気密性を維持しつつ弾性変形し、押接部材４１
Ａが、ガス流入路２５Ａの開口２５２Ａに当接して、ガ
スの流通を遮断、解放する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an operation valve according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The operation valve 1 according to the first embodiment includes a valve body 2, a tightening member 3 attached to a tubular portion 21 of the valve body 2, and a diaphragm 4.
And a valve operating member 5 inserted into a central portion of the fastening member 3, and operating means 9 for operating the valve operating member 5 forward and backward. In this embodiment, the operating means 9 is a pneumatic actuator. The valve body 2 is formed in a substantially cylindrical shape, and has a mounting portion 22 provided at a lower end portion, a valve chamber 23 having a valve seat 231, and a cylinder in which an inner space 211 communicates with the valve chamber 23. It has a shape portion 21, a connection portion 24 having a discharge port 262 at the tip, a gas inflow passage 25, and a gas outflow passage 26. The mounting portion 22 has one opening 251 of the gas inflow passage 25 at the tip, and a male screw 221 screwed to a connection portion of the gas container outlet is formed in the outer peripheral portion. The valve chamber 23 is formed by hollowing out the valve body 2 in a cylindrical shape, and a valve seat 231 is provided at the bottom. A circumferential end of the valve seat 231 is provided with an annular sealing member 2.
32 is buried in the center of the valve seat 231,
5, the other opening 252 is provided. Furthermore, valve room 2
One opening 261 of the gas outflow passage 26 is provided in 3. A step is formed at the periphery of the opening of the valve chamber 23, and a fastening surface 234 for fastening and fixing the peripheral end of the diaphragm 4 is provided in an annular shape. Above the fastening surface 234, a tubular portion 21 into which the fastening member 3 is screwed is formed. Inside space 2 of this tubular portion 21
Reference numeral 11 communicates with the valve chamber 23 through an opening 235 surrounded by the fastening surface 234, and the mounting member 10 is screwed therein. Cylindrical part 2
A female screw 212 is formed on the inner surface of the first member 1. The mounting member 10 of the operating means 9 screwed into the tubular portion 21 fastens the diaphragm 4 via the fastening member 3. Valve body 2
The connection portion 24 provided on the outer peripheral surface of the first embodiment has a cylindrical shape, and a male screw 241 is formed on the outer peripheral surface. The other end 262 of the gas outflow passage 26 is provided at the tip of the connection portion 24. A connection end of another flow path such as a gas pipe is connected to the connection portion 24. The diaphragm 4 is made of a corrosion-resistant metal material, and is formed in a circular thin plate shape. Examples of metal materials include, for example, titanium,
Inconel, stainless steel, alloys such as nickel-cobalt alloys, and the like. The diaphragm 4 is fixed at its peripheral end while maintaining airtightness, and has a central portion serving as a flexible portion capable of bending in a direction perpendicular to the plane of the diaphragm. And, in this central part, the valve seat 231
The pressing member 41 for closing the opening 252 of the
Has been fixed through. The pressing member 41 is made of a material having higher corrosion resistance than the constituent material of the diaphragm 4. For example, in this embodiment, the pressing member 41 is made of a ceramic material. Other constituent materials may be metals, alloys, and the like, the surfaces of which are subjected to corrosion-resistant treatment. Further, ceramics is a molded body whose basic component is composed of an inorganic oxide and is obtained by firing at a high temperature. For example, fine ceramics such as engineering ceramics are used. A known method can be used as a method of bonding the ceramic material to the metal diaphragm or the interposition member 42. In particular, as described in JP-A-7-112330, a ceramic surface is irradiated with a laser beam to deposit a metal element of a ceramic component on the irradiated portion, and then a metal material is bonded through the metal layer. Bonding method can be used. The fastening member 3 is placed on the opening side of the diaphragm 4. By the fastening by the mounting member 10, the diaphragm 4 is brought into contact with the fastening member 3 and the fastening surface 2.
34, it is fastened and fixed while ensuring airtightness.
As a result, the diaphragm 4 is moved between the valve chamber 23 and the cylindrical portion 21.
Between the inner space 211 and the inner space 211 in an airtight manner. The valve operating member 5 is housed in the center of the fastening member 3, and the valve operating member 5
A spring 51 is interposed between the and the fastening member 3. This spring 51 connects the valve operating member 5 to the valve seat 231.
Bias away from The lower end of the valve operating member 5 is formed in a convex spherical shape, and is in contact with the center of the diaphragm 4. The upper end 52 of the valve operating member 5 is inserted into the mounting member 10 and connected to the operating means 9.
With the mounting member 10 tightening the diaphragm 4, the upper end of the mounting member 10 protrudes above the valve body 2, and a nut 1 for fixing the air actuator 9 to the protruding end.
02 is screwed. Hereinafter, the configuration of the operation unit 9 will be described. The pneumatic actuator 6 as an operating means has a casing, a first piston 94, a pressure plate 95, a second piston 96 housed in the casing, and a disc spring 97. The casing includes a bottom plate 91, a tubular member 92 connected to a peripheral end of the bottom plate 91, and forming a side surface of the casing, and a lid member 93 fitted to an upper end opening of the tubular member 92. The bottom plate 91 is a nut 10
2, the valve body 21 and the air actuator 9 are integrally fixed. The first piston 94 is housed slidably with respect to the inner wall of the tubular member 92 while maintaining an airtight state, and a piston rod 901 is formed integrally at the center. The lower end of the piston rod 901 is in contact with the upper end 52 of the valve operating member 5, and the upper end is in contact with the second piston 96. A disc spring 97 is interposed between the second piston 96 and the lid member 93, and the disc spring 97 urges the valve operating member 5 downward via the piston rod 901. A first chamber 90a is provided between the bottom plate 91 and the first piston 94, and a pressure plate 95
A second chamber 90b is formed between the second piston 90 and the third piston 96, respectively. The first chamber 90a and the second chamber 90b are provided with a piston rod 90
They are connected by a passage 902 formed in the same. The operation of the air actuator 9 described above will be described. To open the operation valve 1, an operation medium (gas) such as compressed air flows into the first chamber 90a.
Thereby, the first piston 94 and the second piston 95 are pushed up against the urging force of the disc spring 97, the valve operating member 5 is raised by the urging force of the spring spring 51, and the diaphragm 4 is moved by the gas pressure. The operating valve 1 is separated from the valve seat 231 to be in an open state. In order to close the operation valve 1, the supply of the operation medium is stopped and the air supply path to the first chamber 90 a is opened, whereby the air pressure in the chambers 90 a and 90 b is reduced, and the disc spring 97 is closed. The urging force pushes down the valve operating member 5, the pressing member 41 of the diaphragm 4 closes the opening 252 of the valve seat 231, and the operating valve 1 is closed. Here, the configuration of the diaphragm 4 will be described in detail. As shown in FIG. 2, a metal insertion member 42 is provided between the pressing member 41 and the diaphragm 4.
Is interposed. When such an insertion member 42 is interposed, adhesion between the insertion member 42 and the pressing member 41 made of ceramics becomes easy, and welding between the diaphragm 4 made of a thin metal material and the insertion member 42 becomes easy. The connection between the diaphragm 4 and the pressing member 41 is facilitated, and the connection strength is improved. In addition, as shown in the drawing, the welding of the insertion member 42 and the diaphragm 4 is performed by welding at the peripheral end of the insertion member 42 and by laser welding from the back side of the diaphragm 4. Not the edge,
It is good also as a structure which welds the surface where the insertion member 42 and the diaphragm 4 contact. Further, as shown in FIG. 2, the diaphragm 4 is provided with a flexible portion 44 responsible for bending. By providing the flexible portion 44, bending (deformation) of the bonding portion 43 to which the pressing member 41 or the interposing member 42, which is a rigid body, is bonded is suppressed, and the diaphragm 4
The amount of displacement caused by the entire bending is handled by the bending of the flexible portion 44. Such a flexible portion 44 is provided around a planar bonding portion 43 located at the center of the diaphragm 4, and has a circular shape in one side direction of the diaphragm surface in a cross-sectional view when cut in the diameter direction of the diaphragm 4. It is formed in an arc-shaped bulging shape. When the diaphragm 4 bends (elastically deforms) in the vertical direction from the surface, the arc of the flexible portion 44 expands (or narrows), and is responsible for the deformation of the diaphragm 4. By deforming the flexible portion 44 in this manner, deformation of the bonding portion 43 is minimized, and the life of the diaphragm 4 itself is further improved (extended). The shape of the flexible portion 44 is as follows.
In addition to the configuration having an arc shape in a sectional view, a waveform shape, a bellows shape, or a state in which a step (or an inclined portion) 45 is provided as shown in FIG. 3 may be provided. In addition, the configuration of the flexible portion 44 may be a configuration in which the elastic coefficient of the flexible portion 44 is relatively smaller than the other portions. Further, the rigidity of the flexible portion 44 may be made relatively smaller than other portions (for example, the adhesive portion 43 and the fastening portion 46 located at the peripheral end). Such a configuration,
By quenching the diaphragm partially (for example, the bonding portion 43 or the fastening portion 46 located at the peripheral end),
Obtainable. In addition to the embodiment described above, as shown in FIG. 4, the diaphragm 4 and the pressing member 41 may be directly bonded without providing the interposition member 42. Also, the pressing surface side of the pressing member 41 (in the case where the insertion member 42 is provided, the insertion member 42) is spherical.
By adopting a shape corresponding to the deformed shape of the diaphragm 4 (a shape along the deformed shape), stress concentration occurring in the diaphragm may be reduced, stress concentration occurring in the diaphragm 4 may be suppressed, and progress of deterioration may be suppressed. . On the other hand, the pressing member 4
One shape can be another shape. For example, FIG.
, The pressing surface 411 of the pressing member 41A
May be formed at the center thereof, and the tapered surface may abut on the edge of the opening 252 of the valve seat 231 to close the opening 252. With such a configuration, the sealing between the pressing member 41A and the valve seat 231 can be further improved. Further, since the seal member 232 is not required, it is not necessary to replace the deteriorated seal member, so that the maintenance is facilitated. Such a pressing member 41A is bonded to the metal pressing member 47 by the method described above. The pressing member 47 has a bolt portion 471 erected at the center of the side opposite to the surface to which the pressing member 41A is adhered. The bolt 471 penetrates a hole 40 formed at the center of the diaphragm 4, and the diaphragm 4 is hermetically fixed to the base end of the bolt 471 by welding.
The female spiral 483 of the connecting member 48 is screwed into the male spiral 472 formed on the bolt portion 471. The distal end 481 of the connecting member 48 comes into contact with the surface of the diaphragm 4 and hermetically clamps and fixes the diaphragm 4 with the pressing member 47. A groove 482 is formed at the rear end of the connection member 48 in the circumferential direction. Operating means such as an air actuator and a manual opening / closing device are connected to the groove 482. FIG.
Shows a configuration in which a manual opening and closing means is used as an operation means
It is an overall side view of the operation valve 1A. The operation valve 1A of the second embodiment includes a valve body 2A, a tightening member 3A attached to a cylindrical portion 21A of the valve body 2A, a diaphragm 4A,
Operating means 9A for moving the connecting member 48 of the diaphragm 4A forward and backward. In this embodiment, the operating means 9
A is a manual opening / closing means. The valve body 2A has substantially the same configuration as that of the first embodiment, and includes a mounting portion 22A and a valve seat 2A.
A valve chamber 23A having a valve chamber 31A and an inner space 2 in the valve chamber 23A.
It has a cylindrical portion 21A to which 11A communicates, a connecting portion 24A having a discharge port 262A at the tip, a gas inflow channel 25A, and a gas outflow channel 26A. The mounting portion 22A has one opening 251A of the gas inflow passage 25A at the tip, and a male screw 221A is formed on the outer peripheral portion. Valve room 23A
The other opening 252A of the gas inflow passage 25A is provided at the center of the valve seat 231A. Further, one opening 261A of the gas outflow passage 26A is provided in the valve chamber 23A. A step is formed at the periphery of the opening of the valve chamber 23A, and a fastening surface 234A for fastening and fixing the peripheral end of the diaphragm 4A is provided in an annular shape. Above the fastening surface 234A, a cylindrical portion 21A into which the fastening member 3A is screwed is formed. This cylindrical portion 21A
Inner space 211A communicates with the valve chamber 23A through an opening 235A surrounded by a fastening surface 234A, and the mounting member 10A
Is screwed. A female screw 21 is provided on the inner surface of the cylindrical portion 21A.
2A is formed. Mounting member 10A of operation means 9A
Fastens the diaphragm 4A via the fastening member 3A. Connecting portion 24A provided on the outer peripheral surface of valve body 2A
Has a cylindrical shape, and has an external thread 241A formed on the outer peripheral surface. A gas outflow passage 26 is provided at the tip of the connection portion 24A.
The other opening 262A of A is provided. Connection part 24
A is connected to a connection end of another flow path such as a gas pipe. The mounting member 10A is formed in a cylindrical shape, and on the outer peripheral surface thereof, a male screw 101A screwed with the female screw 212A is formed, and the connecting member 7 and the connecting member 48 are housed inside. The connection member 7 has a hole 71 formed at the tip, and a projection 72 joined to the groove 482 of the connection member 48 is formed at the opening of the hole. The joining between the convex portion 72 and the groove 482 causes the connecting member 7 to rotate while the connecting member 48 rotates.
Are advanced and retracted in the axial direction. A handle 8 is connected to the rear end of the connecting member 7 so as to be integrally rotatable.
A male screw 73 is formed on the outer peripheral surface of the rear end portion of the connecting member 7, and the male screw 73 is screwed with a female screw 102A formed on the inner peripheral surface of the mounting member 10A. In the above-described configuration, when the handle 8 is gripped by hand and rotated, the connecting member 7 rotates, and the connecting member 7 moves in the axial direction by the screwing of the female screw 102A and the male screw 73. The pressing member 41A is moved in the axial direction via the connecting member 48. When the pressing member 41A moves, the diaphragm 4A is elastically deformed while maintaining airtightness, and the pressing member 41A is deformed.
A comes into contact with the opening 252A of the gas inflow passage 25A to block and release the gas flow.

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、ガスに
接触している押接部材を、耐腐食性を有する材料で構成
したので、操作弁の耐久性が向上する。◎請求項２に記
載の発明によれぱ、押接部材をセラミックスで構成する
ことによって、一層耐腐食性が向上し、操作弁の寿命が
より延びる。◎請求項３に記載の発明によれば、ダイヤ
フラムに可撓部を設けることで、剛体であるセラミック
スを貼り付けたダイヤフラムに生ずる応力集中を緩和
し、ダイヤフラムの耐久性を向上させることができ、操
作弁の耐久性が向上する。請求項４に記載の発明によれ
ば、セラミックス部材を用いることで、ダイヤフラムの
耐食性が向上する。◎請求項５に記載の発明によれば、
薄板部材に可撓部を設けることで、剛体であるセラミッ
クスを貼り付けたダイヤフラムに生ずる応力集中を緩和
し、ダイヤフラムの耐久性を向上させることができる。
◎請求項６に記載の発明によれば、介挿部材を設けるこ
とで、薄板部材とセラミックス部材との接着作業を容易
とし、かつ薄板部材とセラミックス部材との接続をより
一層確実なものとすることができる。◎請求項７に記載
の発明によれば、セラミックス部材にテーパ面を設ける
ことによって、弁座の開口部との密閉性をより確実なも
とすることができる。◎According to the first aspect of the present invention, since the pressing member in contact with the gas is made of a material having corrosion resistance, the durability of the operation valve is improved. According to the second aspect of the present invention, when the pressing member is made of ceramics, the corrosion resistance is further improved, and the life of the operation valve is further extended. According to the third aspect of the invention, by providing the diaphragm with a flexible portion, it is possible to alleviate the stress concentration generated in the diaphragm to which the rigid ceramic is attached, and to improve the durability of the diaphragm. The durability of the operation valve is improved. According to the fourth aspect, the use of the ceramic member improves the corrosion resistance of the diaphragm. ◎ According to the invention described in claim 5,
By providing a flexible portion in the thin plate member, stress concentration occurring in the diaphragm to which the rigid ceramic is attached can be reduced, and the durability of the diaphragm can be improved.
According to the invention of claim 6, by providing the interposition member, the work of bonding the thin plate member and the ceramic member is facilitated, and the connection between the thin plate member and the ceramic member is further ensured. be able to. According to the seventh aspect of the invention, by providing the ceramic member with the tapered surface, it is possible to more reliably seal the valve member with the opening. ◎

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の操作弁の全体断面側面図である。FIG. 1 is an overall sectional side view of an operation valve of the present invention.

【図２】本発明のダイヤフラムの全体断面側面図であ
る。FIG. 2 is an overall sectional side view of the diaphragm of the present invention.

【図３】本発明のダイヤフラムの全体断面側面図であ
る。FIG. 3 is an overall sectional side view of the diaphragm of the present invention.

【図４】本発明のダイヤフラムの全体断面側面図であ
る。FIG. 4 is an overall sectional side view of the diaphragm of the present invention.

【図５】本発明のダイヤフラムの全体断面側面図であ
る。FIG. 5 is an overall sectional side view of the diaphragm of the present invention.

【図６】本発明の他の実施形態である操作弁の全体断面
側面図である。FIG. 6 is an overall sectional side view of an operation valve according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 操作弁 ２ 弁本体 ２１ 筒状部 ２３ 弁室 ２３１ 弁座 ２３４ 締着面 ３ 締付部材 ４ ダイヤフラム ４１ 押接部材 ５ 弁操作部材 ９ 操作手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Operating valve 2 Valve main body 21 Cylindrical part 23 Valve chamber 231 Valve seat 234 Fastening surface 3 Fastening member 4 Diaphragm 41 Pushing member 5 Valve operating member 9 Operating means

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成１１年３月１０日（１９９９．３．１
０）[Submission date] March 10, 1999 (1999.3.1.
0)

【手続補正１】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【書類名】 明細書[Document Name] Statement

【発明の名称】 操作弁及び操作弁用ダイヤフラ
ム[Title of the Invention] Operating valve and diaphragm for operating valve

【特許請求の範囲】[Claims]

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば高圧ボンベ
などの排出口等に取り付けられる操作弁に係り、特に腐
食性のあるガスを収容したボンベに用いられる操作弁に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an operation valve attached to an outlet of a high-pressure cylinder or the like, and more particularly to an operation valve used for a cylinder containing a corrosive gas.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、例えばプロパンガスのボンベなど
のように、ガスを封入した容器には、排出口にガス用操
作弁が取り付けられている。この操作弁を開閉操作する
ことによって、ボンベ内に封入されているガスを排出
し、あるいは密封状態とする。2. Description of the Related Art Conventionally, a gas-operated valve is attached to a discharge port of a gas-sealed container such as a propane gas cylinder. By opening and closing this operation valve, the gas sealed in the cylinder is discharged or sealed.

【０００３】このような従来の操作弁は、弁本体に、弁
部材を収容し弁座が形成された弁室と、弁座の中央に開
口して弁室に連通するガス流入口と、ガス流入口が中央
に開口する弁座と、ガス流出口と、内側空間が弁室に連
通する筒状部とを形成し、筒状部の内側空間と弁室との
間に設置されたダイヤフラムと、筒状部の内側空間に螺
合され、ダイヤフラムを締着固定する締付部材と、締付
部材の中央部を挿通し、ダイヤフラムを弁座のガス流入
口に押圧する弁操作部材と、弁操作部材を進退操作する
操作装置とから構成されている。[0003] Such a conventional operating valve includes a valve body in which a valve member is accommodated and a valve seat is formed, a gas inlet opening at the center of the valve seat and communicating with the valve chamber, and a gas inlet. A valve seat having an inlet opening at the center, a gas outlet, and a cylindrical portion having an inner space communicating with the valve chamber, and a diaphragm installed between the inner space of the cylindrical portion and the valve chamber; A fastening member screwed into the inner space of the cylindrical portion, for fastening and fixing the diaphragm, a valve operating member for inserting the central portion of the fastening member and pressing the diaphragm to the gas inlet of the valve seat; And an operating device for operating the operating member forward and backward.

【０００４】そして、操作装置によって、弁操作部材を
進退させいることによって、ダイヤフラムを弁座に対し
て密着又は開放させ、ガスの密閉又は流出を行う。[0004] Then, by moving the valve operating member forward and backward by the operating device, the diaphragm is brought into close contact with or open to the valve seat, thereby sealing or flowing out the gas.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、ボンベに封入
されているガスが、腐食性の強いガスである場合には、
ガスとの接触によって、ダイヤフラムが腐蝕し、耐久性
が低下する。これに対して、ダイヤフラムの構成材料を
耐腐食性の高いものとしたとしても、ガス流入口から弁
室内へガスが流入する際、ダイヤフラムの弁座に当接し
ている部分にガスが直接当たるため、特にこの部分の腐
食が起こりやすい。However, when the gas sealed in the cylinder is a highly corrosive gas,
The contact with the gas corrodes the diaphragm and reduces durability. On the other hand, even if the diaphragm is made of a material having high corrosion resistance, when the gas flows into the valve chamber from the gas inflow port, the gas directly hits the portion in contact with the valve seat of the diaphragm. In particular, corrosion of this portion is likely to occur.

【０００６】また、この部分は、密閉時においても、常
時腐食性ガスに接触することとなり、一層腐蝕の生じや
すい個所である。この様に、特に部分的に腐蝕が生じる
と、応力集中が生じて、腐蝕部分から亀裂が生じ易くな
るなどの問題ある。[0006] This portion is always in contact with corrosive gas even in the sealed state, and is a place where corrosion is more likely to occur. As described above, in particular, when corrosion occurs partially, stress concentration occurs, and there is a problem that a crack is easily generated from the corroded portion.

【０００７】この発明の目的は、腐食性のあるガスの流
通経路に設けられる操作弁において、より耐久性の高い
操作弁及び操作弁用のダイヤフラムを提供することであ
る。It is an object of the present invention to provide a more durable operating valve and a diaphragm for the operating valve provided in a corrosive gas flow path.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】このような目的は、以下
の本発明により達成される。This and other objects are achieved by the present invention described below.

【０００９】（１） ガスが流入するガス流入路と、前
記ガス流入路から流入するガスが流出するガス流出路
と、前記ガス流入路と前記ガス流出路との間に設けられ
た弁室と、前記弁室に内側空間が連通する筒状部とを有
する弁本体と、前記弁室内に設けられ、ガス流入路の流
入口が開口する弁座と、前記弁室と前記筒状部の内側空
間とを隔てるダイヤフラムと、前記弁本体内に設けられ
た締着面と、前記締着面に向けて押圧されて、前記締着
面との間で前記ダイヤフラムを挟持する締付部材と、前
記ダイヤフラムに固定された耐腐食性を有する押接部材
と、前記締付部材内の中央部に進退自在に収容され、前
記ダイヤフラムの押接部材を前記弁座へ向けて押圧する
弁操作部材と、前記弁操作部材の進退を操作する操作手
段とを有することを特徴とする操作弁。(1) A gas inflow path into which gas flows, a gas outflow path from which gas flowing out from the gas inflow path flows out, and a valve chamber provided between the gas inflow path and the gas outflow path. A valve body having a tubular portion with which an inner space communicates with the valve chamber, a valve seat provided in the valve chamber, and having an inlet of a gas inflow opening, and an inside of the valve chamber and the tubular portion. A diaphragm that separates a space, a fastening surface provided in the valve body, and a fastening member that is pressed toward the fastening surface and clamps the diaphragm between the fastening surface and the fastening member; A pressing member having corrosion resistance fixed to the diaphragm, a valve operating member housed in a central portion in the fastening member so as to be able to advance and retreat, and pressing the pressing member of the diaphragm toward the valve seat; Operating means for operating the advance / retreat of the valve operating member. Operating valve

【００１０】（２） 前記押接部材はセラミックス製で
ある上記（１）に記載の操作弁。(2) The operation valve according to (1), wherein the pressing member is made of ceramics.

【００１１】（３） 前記ダイヤフラムは、撓みを吸収
する可撓部を有する上記（１）または（２）に記載の操
作弁。(3) The operation valve according to (1) or (2), wherein the diaphragm has a flexible portion that absorbs bending.

【００１２】（４） 腐食性ガスの流出経路に設けられ
る操作弁に用いられるダイヤフラムであって、可撓性を
有する薄板部材と、該薄板部材の中央に固定されたセラ
ミックス製の押接部材とを有することを特徴とする操作
弁用ダイヤフラム。(4) A diaphragm used for an operation valve provided in an outflow path of a corrosive gas, comprising: a flexible thin plate member; and a ceramic pressing member fixed to the center of the thin plate member. A diaphragm for an operation valve, comprising:

【００１３】（５） 押接部材の固定部分の周囲に形成
された凹状の可撓部を有する上記（４）に記載の操作弁
用ダイヤフラム。(5) The diaphragm for an operation valve according to the above (4), having a concave flexible portion formed around a fixed portion of the pressing member.

【００１４】（６） 薄板部材と押接部材の間に介挿さ
れた金属製の介挿部材を有する上記（４）または（５）
に記載の操作弁用ダイヤフラム。(6) The above (4) or (5) having a metal insertion member inserted between the thin plate member and the pressing member.
4. The diaphragm for an operation valve according to 1.

【００１５】（７） 押接部材は、テーパ面を有する上
記（４）ないし（６）のいずれかに記載の操作弁用ダイ
ヤフラム。(7) The diaphragm for an operation valve according to any one of the above (4) to (6), wherein the pressing member has a tapered surface.

【００１６】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施形態の操
作弁について、添付図面に基づき詳細に説明する。本第
１実施形態の操作弁１は、弁本体２と、弁本体２の筒状
部２１に取り付けられる締付部材３と、ダイヤフラム４
と、締付部材３の中心部分に挿入されている弁操作部材
５と、弁操作部材５を進退操作する操作手段９とを有し
ている。この実施形態では、操作手段９は空気アクチュ
エーターである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an operation valve according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The operation valve 1 according to the first embodiment includes a valve body 2, a tightening member 3 attached to a tubular portion 21 of the valve body 2, and a diaphragm 4.
And a valve operating member 5 inserted into a central portion of the fastening member 3, and operating means 9 for operating the valve operating member 5 forward and backward. In this embodiment, the operating means 9 is a pneumatic actuator.

【００１７】弁本体２は、ほぼ円柱形状に近似した形状
に形成されており、下端部に設けられた取り付け部２２
と、弁座２３１を有する弁室２３と、弁室２３に内側空
間２１１が連通する筒状部２１と、排出口２６２を先端
に有する接続部２４と、ガス流入路２５と、ガス流出路
２６とを有している。取り付け部２２は、ガス流入路２
５の一方の開口２５１を先端に有し、外周部にはガス容
器排出口の接続部に螺合する雄ねじ２２１が形成されて
いる。The valve body 2 is formed in a shape substantially similar to a cylindrical shape, and has a mounting portion 22 provided at a lower end portion.
, A valve chamber 23 having a valve seat 231, a cylindrical portion 21 having an inner space 211 communicating with the valve chamber 23, a connecting portion 24 having a discharge port 262 at a distal end, a gas inflow channel 25, and a gas outflow channel 26. And The mounting portion 22 is provided in the gas inflow path 2.
5 has one opening 251 at its tip, and an external thread 221 that is screwed to the connection portion of the gas container outlet is formed in the outer peripheral portion.

【００１８】弁室２３は、弁本体２を円柱状にくり抜い
て形成されており、底部には弁座２３１が設けられてい
る。この弁座２３１の周端には、円環状にシール部材２
３２が埋設され、弁座２３１の中央には、ガス流入路２
５の他方の開口２５２が設けられている。さらに弁室２
３内には、ガス流出路２６の一方の開口２６１が設けら
れている。The valve chamber 23 is formed by hollowing out the valve body 2 in a cylindrical shape, and has a valve seat 231 at the bottom. A circumferential end of the valve seat 231 is provided with an annular sealing member 2.
32 is buried in the center of the valve seat 231,
5, the other opening 252 is provided. Furthermore, valve room 2
One opening 261 of the gas outflow passage 26 is provided in 3.

【００１９】弁室２３の開口部周縁部には、段部が形成
され、ダイヤフラム４の周端部を締め付けて固定するた
めの締着面２３４が円輪状に設けられている。この締着
面２３４のさらに上側には、締付部材３が螺入される筒
状部２１が形成されている。この筒状部２１の内側空間
２１１は、締着面２３４で囲まれた開口２３５を介して
弁室２３と連通し、取付部材１０が螺入される。筒状部
２１の内側面には、雌ねじ２１２が形成されている。筒
状部２１に螺入される、操作手段９の取付部材１０は、
締付部材３を介してダイヤフラム４を締着する。A step is formed in the periphery of the opening of the valve chamber 23, and a fastening surface 234 for fastening and fixing the peripheral end of the diaphragm 4 is provided in a ring shape. Above the fastening surface 234, a tubular portion 21 into which the fastening member 3 is screwed is formed. The inner space 211 of the tubular portion 21 communicates with the valve chamber 23 through an opening 235 surrounded by the fastening surface 234, and the mounting member 10 is screwed into the inner space 211. A female screw 212 is formed on the inner surface of the cylindrical portion 21. The mounting member 10 of the operating means 9 screwed into the cylindrical portion 21 includes:
The diaphragm 4 is fastened via the fastening member 3.

【００２０】弁本体２の外周面に設けられている接続部
２４は、円筒形状であり、外周面には雄ねじ２４１が形
成されている。接続部２４の先端には、ガス流出路２６
の他方の開口２６２が設けられている。接続部２４に
は、ガス管など、他の流通経路の接続端が接続される。The connecting portion 24 provided on the outer peripheral surface of the valve body 2 has a cylindrical shape, and a male screw 241 is formed on the outer peripheral surface. A gas outflow passage 26 is provided at the tip of the connection portion 24.
The other opening 262 is provided. A connection end of another flow path such as a gas pipe is connected to the connection portion 24.

【００２１】ダイヤフラム４は、耐腐蝕性を有する金属
材料で構成され、円形の薄板状に形成されている。金属
材料の例としては、例えば、チタン、インコネル、ステ
ンレス、ニッケル・コバルト合金のような合金などが挙
げられる。ダイヤフラム４は周端部が、気密性を維持し
た状態で固定され、中央部がダイヤフラムの平面に対し
て垂直な方向へ撓むことが可能な可撓部となっている。
そして、この中央部には弁座２３１の開口２５２を閉鎖
する押接部材４１が、介挿部材４２を介して固定されて
いる。この押接部材４１は、ダイヤフラム４の構成材料
に比較して、より耐腐食性の高い材料で構成されてい
る。例えば、この実施形態では、押接部材４１は、セラ
ミックス材料によって構成されている。その他の構成材
料としては、表面が耐腐蝕処理された金属、合金などで
あってもよい。また、セラミックスは、基本的成分が無
機酸化物で構成され、高温での焼成によって得られる成
形体であり、例えばエンジニアリングセラミックス等の
ファインセラミックスが用いられる。The diaphragm 4 is made of a metal material having corrosion resistance and is formed in a circular thin plate shape. Examples of the metal material include titanium, inconel, stainless steel, and alloys such as nickel-cobalt alloy. The diaphragm 4 is fixed at its peripheral end while maintaining airtightness, and has a central portion serving as a flexible portion capable of bending in a direction perpendicular to the plane of the diaphragm.
A pressing member 41 for closing the opening 252 of the valve seat 231 is fixed to the central portion via an insertion member 42. The pressing member 41 is made of a material having higher corrosion resistance than the constituent material of the diaphragm 4. For example, in this embodiment, the pressing member 41 is made of a ceramic material. Other constituent materials may be metals, alloys, and the like, the surfaces of which are subjected to corrosion-resistant treatment. Further, ceramics is a molded body whose basic component is composed of an inorganic oxide and is obtained by firing at a high temperature. For example, fine ceramics such as engineering ceramics are used.

【００２２】金属製のダイヤフラムや介挿部材４２にセ
ラミックス材料を接着する方法は、公知の方法を用いる
ことができる。特に、特開平７−１１２３３０号に記載
されているように、セラミックス表面にレーザビームを
照射して、その照射部にセラミックス成分の金属元素を
析出させ、次いでこの金属層を介して金属材料を接着さ
せる接着方法を用いることができる。A known method can be used for bonding the ceramic material to the metal diaphragm or the interposition member 42. In particular, as described in JP-A-7-112330, a ceramic surface is irradiated with a laser beam to deposit a metal element of a ceramic component on the irradiated portion, and then a metal material is bonded through the metal layer. Bonding method can be used.

【００２３】ダイヤフラム４の開口側には締着部材３が
重ねられる。取付部材１０による締付けによって、ダイ
ヤフラム４は、締着部材３と締着面２３４とによって気
密性を確保しつつ、締着固定される。これにより、ダイ
ヤフラム４は、弁室２３と筒状部２１の内側空間２１１
との間を気密的に隔絶する。締着部材３の中心には、弁
操作部材５が収容され、弁操作部材５と締着部材３の間
には、スプリング５１が介挿されている。このスプリン
グ５１は、弁操作部材５を弁座２３１から離れる方向に
付勢する。The fastening member 3 is placed on the opening side of the diaphragm 4. By the fastening by the mounting member 10, the diaphragm 4 is fastened and fixed by the fastening member 3 and the fastening surface 234 while ensuring airtightness. As a result, the diaphragm 4 is separated from the valve chamber 23 and the inner space 211 of the tubular portion 21.
Airtight isolation between The valve operating member 5 is housed in the center of the fastening member 3, and a spring 51 is interposed between the valve operating member 5 and the fastening member 3. The spring 51 urges the valve operating member 5 in a direction away from the valve seat 231.

【００２４】弁操作部材５の下端は、凸状球面に形成さ
れており、ダイヤフラム４の中央部に当接している。ま
た、弁操作部材５の上端部５２は、取付部材１０内を挿
通して、操作手段９に接続されている。取付部材１０が
ダイヤフラム４を締め付けた状態で、取付部材１０の上
端は弁本体２の上方に突出し、この突出端に空気アクチ
ュエーター９を固定するためのナット１０２が螺合され
る。The lower end of the valve operating member 5 is formed in a convex spherical shape, and is in contact with the center of the diaphragm 4. The upper end 52 of the valve operating member 5 is inserted into the mounting member 10 and connected to the operating means 9. With the mounting member 10 tightening the diaphragm 4, the upper end of the mounting member 10 protrudes above the valve body 2, and a nut 102 for fixing the air actuator 9 is screwed to the protruding end.

【００２５】以下操作手段９の構成について説明する。
操作手段としての空気アクチュエーター６は、ケーシン
グと、ケーシング内に収納されている第１のピストン９
４、圧力板９５、第２のピストン９６と、皿バネ９７と
を有している。ケーシングは、底板９１と、底板９１の
周端に接続され、ケーシングの側面を構成する筒状部材
９２と、筒状部材９２の上端開口に嵌合される蓋材９３
とから構成されている。底板９１は、ナット１０２によ
って筒状部２１との間に締着固定され、これにより、弁
本体２１と空気アクチュエーター９とが一体として固定
される。The configuration of the operating means 9 will be described below.
An air actuator 6 as an operating means includes a casing and a first piston 9 housed in the casing.
4, a pressure plate 95, a second piston 96, and a disc spring 97. The casing is connected to a bottom plate 91, a peripheral end of the bottom plate 91, a tubular member 92 constituting a side surface of the casing, and a lid member 93 fitted to an upper end opening of the tubular member 92.
It is composed of The bottom plate 91 is fastened and fixed to the cylindrical portion 21 by a nut 102, whereby the valve body 21 and the air actuator 9 are integrally fixed.

【００２６】第１のピストン９４は、筒状部材９２の内
壁に対して気密状態を維持したまま摺動自在に収納され
てかおり、中心にはピストンロッド９０１が一体として
形成されている。ピストンロッド９０１の下端は、弁操
作部材５の上端部５２当接しており、上端は第２のピス
トン９６と当接している。The first piston 94 is housed slidably with respect to the inner wall of the tubular member 92 while maintaining an airtight state, and a piston rod 901 is formed integrally at the center. The lower end of the piston rod 901 is in contact with the upper end 52 of the valve operating member 5, and the upper end is in contact with the second piston 96.

【００２７】第２のピストン９６と蓋材９３との間に
は、皿バネ９７が介挿されており、ピストンロッド９０
１を介して、皿バネ９７が弁操作部材５を下方へ付勢し
ている。そして、底板９１と第１のピストン９４との間
には第１のチャンバ９０ａが、圧力板９５と第３のピス
トン９６の間には第２のチャンバ９０ｂがそれぞれ形成
されている。そして、この第１のチャンバ９０ａと第２
のチャンバ９０ｂは、ピストンロッド９０１に形成され
た通路９０２によってつながっている。A disc spring 97 is interposed between the second piston 96 and the lid member 93, and the piston rod 90
1, the disc spring 97 urges the valve operating member 5 downward. A first chamber 90a is formed between the bottom plate 91 and the first piston 94, and a second chamber 90b is formed between the pressure plate 95 and the third piston 96. Then, the first chamber 90a and the second
The chambers 90b are connected by a passage 902 formed in the piston rod 901.

【００２８】以上のような空気アクチュエーター９の作
用について説明する。操作弁１を開放状態とするには、
第１のチャンバ９０ａに圧縮空気などの操作媒体（気
体）流入させる。これにより、皿バネ９７の付勢力に抗
して第１のピストン９４と第２のピストン９５が押し上
げられ、スプリングバネ５１の付勢力によって弁操作部
材５が上昇し、ダイヤフラム４はガスの圧力によって弁
座２３１から離れ、操作弁１は、開放状態となる。操作
弁１を閉鎖状態とするには、操作媒体の送入を停止し、
第１のチャンバ９０ａへの送気経路を開放することによ
って、チャンバ９０ａ、９０ｂ内の気圧が下がり、皿バ
ネ９７の付勢力によって、弁操作部材５が押し下げら
れ、ダイヤフラム４の押接部材４１が弁座２３１の開口
２５２を塞ぎ、操作弁１は閉鎖状態となる。The operation of the above air actuator 9 will be described. To open the operating valve 1,
An operation medium (gas) such as compressed air flows into the first chamber 90a. Thereby, the first piston 94 and the second piston 95 are pushed up against the urging force of the disc spring 97, the valve operating member 5 is raised by the urging force of the spring spring 51, and the diaphragm 4 is moved by the gas pressure. The operating valve 1 is separated from the valve seat 231 to be in an open state. In order to close the operation valve 1, the supply of the operation medium is stopped,
By opening the air supply path to the first chamber 90a, the air pressure in the chambers 90a and 90b decreases, the urging force of the disc spring 97 pushes down the valve operating member 5, and the pressing member 41 of the diaphragm 4 pushes down. The opening 252 of the valve seat 231 is closed, and the operation valve 1 is closed.

【００２９】ここで、ダイヤフラム４の構成について詳
説する。図２に示されているように、押接部材４１とダ
イヤフラム４の間に金属製の介挿部材４２を介在させた
構成である。このような介挿部材４２を介在させると、
介挿部材４２とセラミックス製の押接部材４１との接着
が容易となり、かつ薄い金属材料のダイヤフラム４と介
挿部材４２との溶接が容易となり、ダイヤフラム４と押
接部材４１との接続が容易となり、かつ接続強度も向上
する。また、介挿部材４２とダイヤフラム４との溶接
は、図示されているように、介挿部材４２の周端部にお
いて溶接する構成の他、ダイヤフラム４の裏側からレー
ザ溶接し、介挿部材４２の周端部ではなく、介挿部材４
２とダイヤフラム４とが接触する面を溶接する構成とし
てもよい。Here, the configuration of the diaphragm 4 will be described in detail. As shown in FIG. 2, a metal insertion member 42 is interposed between the pressing member 41 and the diaphragm 4. When such an insertion member 42 is interposed,
The adhesion between the insertion member 42 and the pressing member 41 made of ceramics becomes easy, and the welding between the diaphragm 4 made of a thin metal material and the insertion member 42 becomes easy, and the connection between the diaphragm 4 and the pressing member 41 becomes easy. And the connection strength is also improved. In addition, as shown in the drawing, the welding of the insertion member 42 and the diaphragm 4 is performed by welding at the peripheral end of the insertion member 42 and by laser welding from the back side of the diaphragm 4. Not the peripheral end, but the insertion member 4
A configuration in which the surface where the diaphragm 2 and the diaphragm 4 are in contact with each other may be welded.

【００３０】さらに、ダイヤフラム４には、図２に示さ
れているように、撓みを担当する可撓部４４が設けられ
ている。この可撓部４４を設けることで、剛体である押
接部材４１又は介挿部材４２が接着されている接着部４
３の撓み（変形）が抑制され、ダイヤフラム４全体の撓
みによって生ずる変位量は、可撓部４４の撓みによって
担当される。このような可撓部４４は、ダイヤフラム４
の中央に位置する平面状の接着部４３の周囲に設けら
れ、ダイヤフラム４の直径方向に切断した場合の断面視
において、ダイヤフラム表面の片側方向へ、円弧状に膨
らんだ形状に形成されている。ダイヤフラム４が表面か
ら垂直方向に撓む（弾性変形）する場合には、この可撓
部４４の円弧状が広がって（或いは、窄まって）、ダイ
ヤフラム４の変形を担当する。このように可撓部４４が
変形することによって、接着部４３の変形は最小限に抑
えられ、ダイヤフラム４自体の寿命がさらに向上する
（延びる）。Further, as shown in FIG. 2, the diaphragm 4 is provided with a flexible portion 44 responsible for bending. By providing the flexible portion 44, the bonding portion 4 to which the pressing member 41 or the interposing member 42 which is a rigid body is bonded is attached.
The flexure (deformation) of the diaphragm 3 is suppressed, and the amount of displacement caused by the flexure of the entire diaphragm 4 is handled by the flexure of the flexible portion 44. Such a flexible portion 44 is provided with the diaphragm 4.
Is formed around a flat bonding portion 43 located at the center of the diaphragm 4, and is formed in a shape bulging in an arc shape toward one side of the diaphragm surface in a cross-sectional view when cut in the diametric direction of the diaphragm 4. When the diaphragm 4 bends (elastically deforms) in the vertical direction from the surface, the arc of the flexible portion 44 expands (or narrows), and is responsible for the deformation of the diaphragm 4. By deforming the flexible portion 44 in this manner, deformation of the bonding portion 43 is minimized, and the life of the diaphragm 4 itself is further improved (extended).

【００３１】このような可撓部４４の形状は、断面視で
円弧状とする構成の他、波形の形状や、蛇腹形状、或い
は、図３に示されているように、段部（或いは、傾斜
部）４５を設けた状態としてもよい。このほか、可撓部
４４の構成としては、可撓部４４の弾性係数を他の部分
よりも相対的に小さくした構成としてもよい。また、可
撓部４４の剛性を他の部分（例えば、接着部４３や、周
端に位置する締着部４６）よりも相対的に小さくする等
の構成としてもよい。このような構成は、ダイヤフラム
を部分的（例えば、接着部４３や、周端に位置する締着
部４６）に焼き入れすること等によって、得ることがで
きる。以上説明した実施形態の他、図４に示されている
ように、介挿部材４２を設けず、直接ダイヤフラム４と
押接部材４１とを接着した構成としてもよい。The shape of such a flexible portion 44 is not only a configuration of an arc shape in cross section, but also a waveform shape, a bellows shape, or, as shown in FIG. (Inclining portion) 45 may be provided. In addition, the configuration of the flexible portion 44 may be a configuration in which the elastic coefficient of the flexible portion 44 is relatively smaller than the other portions. Further, the rigidity of the flexible portion 44 may be made relatively smaller than other portions (for example, the adhesive portion 43 and the fastening portion 46 located at the peripheral end). Such a configuration can be obtained by partially quenching the diaphragm (for example, the bonding portion 43 or the fastening portion 46 located at the peripheral end). In addition to the embodiment described above, as shown in FIG. 4, the diaphragm 4 and the pressing member 41 may be directly bonded without providing the interposition member 42.

【００３２】また、押接部材４１（介挿部材４２が設け
られている場合には、介挿部材４２）の貼付面側を球面
にして、ダイヤフラム４の変形形状に応じた形（変形形
状に沿った形）にすることで、ダイヤフラムに生じる応
力集中を緩和し、ダイヤフラム４に生ずる応力集中を抑
制し、劣化の進行を抑える構成としてもよい。The pressing surface of the pressing member 41 (in the case where the insertion member 42 is provided, the insertion member 42) is made spherical, and the shape corresponding to the deformed shape of the diaphragm 4 (the deformed shape). With such a configuration, the stress concentration generated in the diaphragm may be reduced, the stress concentration generated in the diaphragm 4 may be suppressed, and the progress of the deterioration may be suppressed.

【００３３】一方、押接部材４１の形状を他の形状とす
ることもできる。例えば、図５に示されているように、
押接部材４１Ａの押圧面４１１の中央にテーパを形成
し、このテーパ面が弁座２３１の開口２５２の縁に当接
して、開口２５２を塞ぐ構成としてもよい。このような
構成とすることによって、押接部材４１Ａと弁座２３１
との密閉を一層向上させることができる。また、シール
部材２３２が不要となるため、劣化したシール部材の交
換が必要なくなるので、メンテナンスが容易となる。On the other hand, the pressing member 41 may have another shape. For example, as shown in FIG.
A configuration is also possible in which a taper is formed at the center of the pressing surface 411 of the pressing member 41A, and the tapered surface contacts the edge of the opening 252 of the valve seat 231 to close the opening 252. With such a configuration, the pressing member 41A and the valve seat 231 are provided.
Sealing can be further improved. Further, since the seal member 232 is not required, it is not necessary to replace the deteriorated seal member, so that the maintenance is facilitated.

【００３４】このような押接部材４１Ａは、金属製の押
圧部材４７に、既述の方法により接着されている。押圧
部材４７は、押接部材４１Ａが接着されている面の反対
側面の中央に、ボルト部４７１が立設されている。ボル
ト部４７１は、ダイヤフラム４の中心に形成されている
孔４０を貫通し、ダイヤフラム４は、ボルト部４７１の
基端部に溶接により気密的に固定されている。ボルト部
４７１に形成されている雄螺旋４７２には、接続部材４
８の雌螺旋４８３が螺合する。接続部材４８の先端４８
１は、ダイヤフラム４の表面に当接し、押圧部材４７と
の間でダイヤフラム４を気密的に挟持固定する。接続部
材４８の後端部には、周方向に溝４８２が形成されてい
る。この溝４８２には、空気アクチュエーターや手動開
閉装置等の操作手段が接続される。図６は、操作手段と
して手動開閉手段が用いられた構成を示す、操作弁１Ａ
の全体側面図である。The pressing member 41A is bonded to the metal pressing member 47 by the method described above. The pressing member 47 has a bolt portion 471 erected at the center of the side opposite to the surface to which the pressing member 41A is adhered. The bolt 471 penetrates a hole 40 formed at the center of the diaphragm 4, and the diaphragm 4 is hermetically fixed to the base end of the bolt 471 by welding. The male spiral 472 formed in the bolt portion 471 has a connecting member 4
Eight female spirals 483 are screwed together. Tip 48 of connection member 48
Reference numeral 1 abuts on the surface of the diaphragm 4 and hermetically clamps and fixes the diaphragm 4 with the pressing member 47. A groove 482 is formed at the rear end of the connection member 48 in the circumferential direction. Operating means such as an air actuator and a manual opening / closing device are connected to the groove 482. FIG. 6 shows a configuration in which a manual opening / closing unit is used as an operating unit.
FIG.

【００３５】本第２実施形態の操作弁１Ａは、弁本体２
Ａと、弁本体２Ａの筒状部２１Ａに取り付けられる締付
部材３Ａと、ダイヤフラム４Ａと、ダイヤフラム４Ａの
接続部材４８を進退操作する操作手段９Ａとを有してい
る。この実施形態では、操作手段９Ａは手動開閉手段で
ある。The operation valve 1A according to the second embodiment includes a valve body 2
A, a tightening member 3A attached to the cylindrical portion 21A of the valve body 2A, a diaphragm 4A, and operating means 9A for moving the connecting member 48 of the diaphragm 4A forward and backward. In this embodiment, the operating means 9A is a manual opening / closing means.

【００３６】弁本体２Ａは、第１実施形態とほぼ同様の
構成を有し、取り付け部２２Ａと、弁座２３１Ａを有す
る弁室２３Ａと、弁室２３Ａに内側空間２１１Ａが連通
する筒状部２１Ａと、排出口２６２Ａを先端に有する接
続部２４Ａと、ガス流入路２５Ａと、ガス流出路２６Ａ
とを有している。取り付け部２２Ａは、ガス流入路２５
Ａの一方の開口２５１Ａを先端に有し、外周部には雄ね
じ２２１Ａが形成されている。The valve body 2A has substantially the same configuration as that of the first embodiment, and includes a mounting portion 22A, a valve chamber 23A having a valve seat 231A, and a cylindrical portion 21A in which an inner space 211A communicates with the valve chamber 23A. A connecting portion 24A having a discharge port 262A at its tip, a gas inflow channel 25A, and a gas outflow channel 26A.
And The mounting portion 22A is provided with the gas inflow passage 25.
A has an opening 251A at the tip, and an external thread 221A is formed in the outer peripheral portion.

【００３７】弁室２３Ａの弁座２３１Ａの中央には、ガ
ス流入路２５Ａの他方の開口２５２Ａが設けられてい
る。さらに弁室２３Ａ内には、ガス流出路２６Ａの一方
の開口２６１Ａが設けられている。The other opening 252A of the gas inflow passage 25A is provided at the center of the valve seat 231A of the valve chamber 23A. Further, one opening 261A of the gas outflow passage 26A is provided in the valve chamber 23A.

【００３８】弁室２３Ａの開口部周縁部には、段部が形
成され、ダイヤフラム４Ａの周端部を締め付けて固定す
るための締着面２３４Ａが円輪状に設けられている。こ
の締着面２３４Ａのさらに上側には、締付部材３Ａが螺
入される筒状部２１Ａが形成されている。この筒状部２
１Ａの内側空間２１１Ａは、締着面２３４Ａで囲まれた
開口２３５Ａを介して弁室２３Ａと連通し、取付部材１
０Ａが螺入される。筒状部２１Ａの内側面には、雌ねじ
２１２Ａが形成されている。操作手段９Ａの取付部材１
０Ａは、締付部材３Ａを介してダイヤフラム４Ａを締着
する。A step is formed at the periphery of the opening of the valve chamber 23A, and a fastening surface 234A for fastening and fixing the peripheral end of the diaphragm 4A is provided in an annular shape. Above the fastening surface 234A, a cylindrical portion 21A into which the fastening member 3A is screwed is formed. This cylindrical part 2
The inner space 211A of the mounting member 1A communicates with the valve chamber 23A through an opening 235A surrounded by a fastening surface 234A.
0A is screwed. A female screw 212A is formed on the inner surface of the cylindrical portion 21A. Mounting member 1 of operation means 9A
0A fastens the diaphragm 4A via the fastening member 3A.

【００３９】弁本体２Ａの外周面に設けられている接続
部２４Ａは、円筒形状であり、外周面には雄ねじ２４１
Ａが形成されている。接続部２４Ａの先端には、ガス流
出路２６Ａの他方の開口２６２Ａが設けられている。接
続部２４Ａには、ガス管などの他の流通経路の接続端が
接続される。取付部材１０Ａは筒状に形成され、その外
周面には、雌ねじ２１２Ａに螺合する雄ねじ１０１Ａが
形成され、内部には連結部材７と上記接続部材４８が収
納されている。The connecting portion 24A provided on the outer peripheral surface of the valve body 2A has a cylindrical shape, and has a male screw 241 on the outer peripheral surface.
A is formed. The other end 262A of the gas outflow passage 26A is provided at the tip of the connection portion 24A. A connection end of another flow path such as a gas pipe is connected to the connection portion 24A. The mounting member 10A is formed in a cylindrical shape, and on the outer peripheral surface thereof, a male screw 101A screwed with the female screw 212A is formed, and the connecting member 7 and the connecting member 48 are housed inside.

【００４０】連結部材７は、先端に穴７１が形成され、
穴の開口部には、接続部材４８の溝４８２に接合される
凸部７２が形成されている。この凸部７２と溝４８２と
の接合によって、連結部材７が回転しながら、接続部材
４８を軸方向に進退させる構成となっている。連結部材
７後端にはハンドル８が一体回転可能に、接続されてい
る。また、連結部材７の後端部外周面には、雄ねじ７３
が形成され、この雄ねじ７３は、取付部材１０Ａの内周
面に形成されている雌ねじ１０２Ａに螺合している。The connecting member 7 has a hole 71 at its tip,
At the opening of the hole, a convex portion 72 joined to the groove 482 of the connecting member 48 is formed. The connection between the protrusion 72 and the groove 482 causes the connection member 48 to advance and retreat in the axial direction while rotating the connection member 7. A handle 8 is connected to the rear end of the connecting member 7 so as to be integrally rotatable. A male screw 73 is provided on the outer peripheral surface of the rear end of the connecting member 7.
This male screw 73 is screwed into a female screw 102A formed on the inner peripheral surface of the mounting member 10A.

【００４１】以上のような構成において、ハンドル８を
手で握って、これを回転させると、連結部材７が回転
し、雌ねじ１０２Ａと雄ねじ７３との螺合によつて、軸
方向に連結部材７が移動し、接続部材４８を介して、押
接部材４１Ａを軸方向に移動させる。押接部材４１Ａの
移動の際、ダイヤフラム４Ａが気密性を維持しつつ弾性
変形し、押接部材４１Ａが、ガス流入路２５Ａの開口２
５２Ａに当接して、ガスの流通を遮断、解放する。In the above configuration, when the handle 8 is gripped by hand and rotated, the connecting member 7 is rotated, and the connecting member 7 is axially driven by the screwing of the female screw 102A and the male screw 73. Moves to move the pressing member 41 </ b> A in the axial direction via the connecting member 48. When the pressing member 41A is moved, the diaphragm 4A is elastically deformed while maintaining airtightness, and the pressing member 41A is moved to the opening 2 of the gas inflow passage 25A.
52A is abutted to shut off and release gas flow.

【００４２】[0042]

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、ガスに
接触している押接部材を、耐腐食性を有する材料で構成
したので、操作弁の耐久性が向上する。請求項２に記載
の発明によれぱ、押接部材をセラミックスで構成するこ
とによって、一層耐腐食性が向上し、操作弁の寿命がよ
り延びる。請求項３に記載の発明によれば、ダイヤフラ
ムに可撓部を設けることで、剛体であるセラミックスを
貼り付けたダイヤフラムに生ずる応力集中を緩和し、ダ
イヤフラムの耐久性を向上させることができ、操作弁の
耐久性が向上する。According to the first aspect of the present invention, since the pressing member in contact with the gas is made of a material having corrosion resistance, the durability of the operation valve is improved. According to the second aspect of the present invention, when the pressing member is made of ceramics, the corrosion resistance is further improved, and the life of the operation valve is further extended. According to the third aspect of the present invention, by providing the flexible portion on the diaphragm, stress concentration occurring on the diaphragm to which the rigid ceramic is attached can be reduced, and the durability of the diaphragm can be improved. The durability of the valve is improved.

【００４３】請求項４に記載の発明によれば、セラミッ
クス部材を用いることで、ダイヤフラムの耐食性が向上
する。請求項５に記載の発明によれば、薄板部材に可撓
部を設けることで、剛体であるセラミックスを貼り付け
たダイヤフラムに生ずる応力集中を緩和し、ダイヤフラ
ムの耐久性を向上させることができる。請求項６に記載
の発明によれば、介挿部材を設けることで、薄板部材と
セラミックス部材との接着作業を容易とし、かつ薄板部
材とセラミックス部材との接続をより一層確実なものと
することができる。請求項７に記載の発明によれば、セ
ラミックス部材にテーパ面を設けることによって、弁座
の開口部との密閉性をより確実なもとすることができ
る。According to the fourth aspect of the invention, the use of the ceramic member improves the corrosion resistance of the diaphragm. According to the fifth aspect of the present invention, by providing the flexible member on the thin plate member, stress concentration occurring in the diaphragm to which the rigid ceramic is attached can be reduced, and the durability of the diaphragm can be improved. According to the invention as set forth in claim 6, by providing the interposition member, the work of bonding the thin plate member and the ceramic member is facilitated, and the connection between the thin plate member and the ceramic member is further ensured. Can be. According to the seventh aspect of the present invention, by providing the ceramic member with the tapered surface, it is possible to more reliably seal the valve seat with the opening.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の操作弁の全体断面側面図である。FIG. 1 is an overall sectional side view of an operation valve of the present invention.

【図２】本発明のダイヤフラムの全体断面側面図であ
る。FIG. 2 is an overall sectional side view of the diaphragm of the present invention.

【図３】本発明のダイヤフラムの全体断面側面図であ
る。FIG. 3 is an overall sectional side view of the diaphragm of the present invention.

【図４】本発明のダイヤフラムの全体断面側面図であ
る。FIG. 4 is an overall sectional side view of the diaphragm of the present invention.

【図５】本発明のダイヤフラムの全体断面側面図であ
る。FIG. 5 is an overall sectional side view of the diaphragm of the present invention.

【図６】本発明の他の実施形態である操作弁の全体断面
側面図である。FIG. 6 is an overall sectional side view of an operation valve according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】 １ 操作弁 ２ 弁本体 ２１ 筒状部 ２３ 弁室 ２３１ 弁座 ２３４ 締着面 ３ 締付部材 ４ ダイヤフラム ４１ 押接部材 ５ 弁操作部材 ９ 操作手段[Description of Signs] 1 Operating valve 2 Valve body 21 Cylindrical part 23 Valve chamber 231 Valve seat 234 Fastening surface 3 Fastening member 4 Diaphragm 41 Pushing member 5 Valve operating member 9 Operating means

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ガスが流入するガス流入路と、 前記ガス流入路から流入するガスが流出するガス流出路
と、 前記ガス流入路と前記ガス流出路との間に設けられた弁
室と、 前記弁室に内側空間が連通する筒状部とを有する弁本体
と、 前記弁室内に設けられ、ガス流入路の流入口が開口する
弁座と、 前記弁室と前記筒状部の内側空間とを隔てるダイヤフラ
ムと、 前記弁本体内に設けられた締着面と、 前記締着面に向けて押圧されて、前記締着面との間で前
記ダイヤフラムを挟持する締付部材と、 前記ダイヤフラムに固定された耐腐食性を有する押接部
材と、 前記締付部材内の中央部に進退自在に収容され、前記ダ
イヤフラムの押接部材を前記弁座へ向けて押圧する弁操
作部材と、 前記弁操作部材の進退を操作する操作手段とを有するこ
とを特徴とする操作弁。A gas inflow passage into which a gas flows, a gas outflow passage through which a gas flowing out of the gas inflow passage flows out, a valve chamber provided between the gas inflow passage and the gas outflow passage, A valve body having a cylindrical portion with which an inner space communicates with the valve chamber; a valve seat provided in the valve chamber, wherein an inlet of a gas inflow path is opened; and an inner space between the valve chamber and the cylindrical portion. A diaphragm provided in the valve body; a clamping member pressed against the clamping surface to clamp the diaphragm between the diaphragm and the diaphragm; and the diaphragm. A pressing member having corrosion resistance fixed to the valve operating member; a valve operating member housed in a central portion of the fastening member so as to be able to advance and retreat, and pressing the pressing member of the diaphragm toward the valve seat; Operating means for operating the advance / retreat of the valve operating member. Operation valve for the butterflies. 【請求項２】 前記押接部材はセラミックス製である請
求項１に記載の操作弁。2. The operation valve according to claim 1, wherein the pressing member is made of ceramics. 【請求項３】 前記ダイヤフラムは、撓みを吸収する可
撓部を有する請求項１または２に記載の操作弁。3. The operation valve according to claim 1, wherein the diaphragm has a flexible portion that absorbs deflection. 【請求項４】 腐食性ガスの流出経路に設けられる操作
弁に用いられるダイヤフラムであって、 可撓性を有する薄板部材と、 該薄板部材の中央に固定されたセラミックス製の押接部
材とを有することを特徴とする操作弁用ダイヤフラム。4. A diaphragm used for an operation valve provided in an outflow path of a corrosive gas, comprising: a flexible thin plate member; and a ceramic pressing member fixed to the center of the thin plate member. A diaphragm for an operation valve, comprising: 【請求項５】 押接部材の固定部分の周囲に形成された
凹状の可撓部を有する請求項４に記載の操作弁用ダイヤ
フラム。5. The diaphragm for an operation valve according to claim 4, further comprising a concave flexible portion formed around a fixed portion of the pressing member. 【請求項６】 薄板部材と押接部材の間に介挿された金
属製の介挿部材を有する請求項４または５に記載の操作
弁用ダイヤフラム。6. The diaphragm for an operation valve according to claim 4, further comprising a metal insertion member inserted between the thin plate member and the pressing member. 【請求項７】 押接部材は、テーパ面を有する請求項４
ないし６のいずれかに記載の操作弁用ダイヤフラム。7. The pressing member has a tapered surface.
7. The diaphragm for an operation valve according to any one of claims 6 to 6.