JP2000251819A - 試料冷却ホルダー - Google Patents
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の課題は、電子顕微鏡の試料冷却ホルダ
ーの液体ヘリウム等の寒剤の消費量をできるだけ少なく
することにある。 【解決手段】試料台または熱交換器に寒剤を供給吐出す
る流通管に入る伝導熱と輻射熱を低減するために、寒剤
供給吐出管を二重管で構成し、低温の供給管を内側、高
温の吐出管を外側に配設して、この外側の吐出管と熱シ
ールド間をつないで支持する。
ーの液体ヘリウム等の寒剤の消費量をできるだけ少なく
することにある。 【解決手段】試料台または熱交換器に寒剤を供給吐出す
る流通管に入る伝導熱と輻射熱を低減するために、寒剤
供給吐出管を二重管で構成し、低温の供給管を内側、高
温の吐出管を外側に配設して、この外側の吐出管と熱シ
ールド間をつないで支持する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡に関わ
るもので、試料を極低温まで冷却して試料を観察するこ
とに好適な試料冷却ホルダーに関するものである。
るもので、試料を極低温まで冷却して試料を観察するこ
とに好適な試料冷却ホルダーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、母材表面を観察する為に使用され
ていた電子顕微鏡は、最近、高温超伝導の発見が引き金
となって低温状態で母材の観察が行われるようになって
きている。このため、試料を低温に冷却するホルダーの
開発も進められてきている。
ていた電子顕微鏡は、最近、高温超伝導の発見が引き金
となって低温状態で母材の観察が行われるようになって
きている。このため、試料を低温に冷却するホルダーの
開発も進められてきている。
【0003】また、最近では、細胞の構造を解析するた
めに、透過型電子顕微鏡を用い細胞の試料を極低温まで
冷却した状態で観察するようになってきた。この従来の
技術として、『MULITIPLE SPECIMEN CRYOTRANSFER HOLD
ER FOR ELECTORON MICROSCOPES』US Patent Nu
mber 4797261と『SPECIMEN COOLING HOLDER FOR ENTRY
TRANMISSION ELECTRON MICROSCPES』US Patent Number
4950901 及び『電子顕微鏡等の試料冷却ホルダ』特開
平6−76777号公報に記述されている。
めに、透過型電子顕微鏡を用い細胞の試料を極低温まで
冷却した状態で観察するようになってきた。この従来の
技術として、『MULITIPLE SPECIMEN CRYOTRANSFER HOLD
ER FOR ELECTORON MICROSCOPES』US Patent Nu
mber 4797261と『SPECIMEN COOLING HOLDER FOR ENTRY
TRANMISSION ELECTRON MICROSCPES』US Patent Number
4950901 及び『電子顕微鏡等の試料冷却ホルダ』特開
平6−76777号公報に記述されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来は、電子顕微鏡で
試料を冷却するために高熱伝導体の試料台と寒剤容器と
を高熱伝導体で熱的に連結する構成を取っていた。ま
た、寒剤として、液体窒素(約−200℃)を使用して
いた。このときの問題は、試料の温度が液体ヘリウム温
度より高く、使用者の希望とする温度(−296℃)を
十分満足するものではなかった。
試料を冷却するために高熱伝導体の試料台と寒剤容器と
を高熱伝導体で熱的に連結する構成を取っていた。ま
た、寒剤として、液体窒素(約−200℃)を使用して
いた。このときの問題は、試料の温度が液体ヘリウム温
度より高く、使用者の希望とする温度(−296℃)を
十分満足するものではなかった。
【0005】本発明の課題は、電子顕微鏡の試料を液体
窒素温度より低い液体ヘリウム温度に冷却できる装置の
開発にある。
窒素温度より低い液体ヘリウム温度に冷却できる装置の
開発にある。
【0006】従来の試料冷却手法は、伝導型冷却であ
る。この伝導型冷却では、伝導体の熱伝導特性が特に重
要となる。高熱伝導体の材質として一般的なものは、銅
である。しかしながら、銅は−260℃程度の極低温で
は、熱伝導率が室温時より低下してしまう。また、電子
顕微鏡のほぼ中心部に設置する試料台と寒剤容器の距離
は、構成上長くならざるをえない。したがって、寒剤の
沸点と試料台との温度差が大きくなってしまう欠点が生
じる。
る。この伝導型冷却では、伝導体の熱伝導特性が特に重
要となる。高熱伝導体の材質として一般的なものは、銅
である。しかしながら、銅は−260℃程度の極低温で
は、熱伝導率が室温時より低下してしまう。また、電子
顕微鏡のほぼ中心部に設置する試料台と寒剤容器の距離
は、構成上長くならざるをえない。したがって、寒剤の
沸点と試料台との温度差が大きくなってしまう欠点が生
じる。
【0007】そこで、試料台を冷却するために、寒剤容
器から試料台と熱的に連結された熱交換器へ液を供給す
る手法がある。これら手法の問題は、液体窒素ならびに
液体ヘリウムは、熱を受けると蒸発してなくなってしま
う。このため、電子顕微鏡による観察時間が制限されて
しまう問題を抱えている。このため、液体ヘリウムの消
費量をできるだけ少なくすることが本発明の課題であ
る。
器から試料台と熱的に連結された熱交換器へ液を供給す
る手法がある。これら手法の問題は、液体窒素ならびに
液体ヘリウムは、熱を受けると蒸発してなくなってしま
う。このため、電子顕微鏡による観察時間が制限されて
しまう問題を抱えている。このため、液体ヘリウムの消
費量をできるだけ少なくすることが本発明の課題であ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】課題を解決するための一
つの手段として、試料台または熱交換器に寒剤を供給吐
出する流通管に入る伝導熱と輻射熱を低減するために、
寒剤供給吐出管を二重管で構成し、低温の供給管を内
側,高温の吐出管を外側に配設して、この外側の吐出用
流通管と熱シールド間を接合する方法を取っている。
つの手段として、試料台または熱交換器に寒剤を供給吐
出する流通管に入る伝導熱と輻射熱を低減するために、
寒剤供給吐出管を二重管で構成し、低温の供給管を内
側,高温の吐出管を外側に配設して、この外側の吐出用
流通管と熱シールド間を接合する方法を取っている。
【0009】第二の手段は、試料台及び熱交換器に入る
輻射熱を低減するため、二重管の外側の吐出管と熱的に
連結した高熱伝導のコンタミネータで試料台,熱交換器
の一部を包囲している。
輻射熱を低減するため、二重管の外側の吐出管と熱的に
連結した高熱伝導のコンタミネータで試料台,熱交換器
の一部を包囲している。
【0010】第三の手段は、できるだけ少ない寒剤量で
試料台及び熱交換器の温度を低下させるため熱交換器近
傍に着脱可能な他の第二熱交換器を設けた。この第二熱
交換器は寒剤の供給管と吐出管を熱的に連結したもので
ある。
試料台及び熱交換器の温度を低下させるため熱交換器近
傍に着脱可能な他の第二熱交換器を設けた。この第二熱
交換器は寒剤の供給管と吐出管を熱的に連結したもので
ある。
【0011】第四の手段は、試料台及び熱交換器への輻
射熱を低減するために第三の手段で述べた熱交換器にア
ンチコンタミネータを取り付けている。
射熱を低減するために第三の手段で述べた熱交換器にア
ンチコンタミネータを取り付けている。
【0012】第五の手段は、試料台を支持している支持
体から試料台への伝導熱量を低減するため、寒剤吐出管
に低熱伝導率の支持体を設けている。
体から試料台への伝導熱量を低減するため、寒剤吐出管
に低熱伝導率の支持体を設けている。
【0013】
【発明の実施の形態】図1から図12を使って本発明の
個々の実施形態を説明する。尚、図1から図12におい
て、同一または同等部分については同一符号を付けて示
す。図1は、試料冷却ホルダーの断面図である。1は、
液体窒素または液体ヘリウム等の寒剤1aを入れる寒剤
容器である。この寒剤容器1の外周には外部容器3が設
置されている。この外部容器3は、内部を真空に保持し
て真空容器として使用されるものである。
個々の実施形態を説明する。尚、図1から図12におい
て、同一または同等部分については同一符号を付けて示
す。図1は、試料冷却ホルダーの断面図である。1は、
液体窒素または液体ヘリウム等の寒剤1aを入れる寒剤
容器である。この寒剤容器1の外周には外部容器3が設
置されている。この外部容器3は、内部を真空に保持し
て真空容器として使用されるものである。
【0014】寒剤容器1は、大気圧,飽和温度が十分低
い寒剤1aを収納保持するために、寒剤容器1の外周面
はアルミニウムで蒸着された高分子膜で被覆し、輻射熱
を遮蔽している。2は、室温の外部容器3から寒剤容器
1に入る輻射熱を遮蔽するためのシールドである。2a
は、シールドに巻き付けられている積層断熱材で、アル
ミニウムを蒸着した高分子膜を多重に積層したものであ
る。
い寒剤1aを収納保持するために、寒剤容器1の外周面
はアルミニウムで蒸着された高分子膜で被覆し、輻射熱
を遮蔽している。2は、室温の外部容器3から寒剤容器
1に入る輻射熱を遮蔽するためのシールドである。2a
は、シールドに巻き付けられている積層断熱材で、アル
ミニウムを蒸着した高分子膜を多重に積層したものであ
る。
【0015】4は、寒剤容器1の底板から熱交換器5に
寒剤1aを供給するための寒剤流通管である。5は、銅
等の高熱伝導材料で作られた熱交換器である。また、熱
交換器5には、寒剤または蒸発したガスが大気中に吐出
されるように、寒剤流通管4が外部容器3を貫通して接
続されている。6はベローズである。
寒剤1aを供給するための寒剤流通管である。5は、銅
等の高熱伝導材料で作られた熱交換器である。また、熱
交換器5には、寒剤または蒸発したガスが大気中に吐出
されるように、寒剤流通管4が外部容器3を貫通して接
続されている。6はベローズである。
【0016】注液管7は、寒剤が蒸発したガスを大気に
放出する配管の働きも兼ねている。注液管7は注液管7
の軸長の約半分の位置にシールド2と熱的に接続された
シールドネック3bが接続されている。シールドネック
3bは、寒剤流通管4内部の蒸発したガスの顕熱で冷却
されて室温と寒剤の温度の中間温度を示す。シールド2
はシールドネック3bと接続されているのでシールド2
の温度も寒剤の沸点と室温の中間温度に保たれる。
放出する配管の働きも兼ねている。注液管7は注液管7
の軸長の約半分の位置にシールド2と熱的に接続された
シールドネック3bが接続されている。シールドネック
3bは、寒剤流通管4内部の蒸発したガスの顕熱で冷却
されて室温と寒剤の温度の中間温度を示す。シールド2
はシールドネック3bと接続されているのでシールド2
の温度も寒剤の沸点と室温の中間温度に保たれる。
【0017】8は、熱交換器5と熱的に結合された試料
台である。9は、注液管に接続された流量調整弁であ
る。10は、寒剤容器1に液を溜めるときに生じた蒸発
ガスを大気中に吐出するための吐出口であり、寒剤が溜
まったときには閉じられる。
台である。9は、注液管に接続された流量調整弁であ
る。10は、寒剤容器1に液を溜めるときに生じた蒸発
ガスを大気中に吐出するための吐出口であり、寒剤が溜
まったときには閉じられる。
【0018】11は、熱収縮緩和ベローズである。
【0019】図2は、図1の試料台8の近傍の拡大断面
図である。12は、ストッパーで試料台8の位置を決定
する部材の一つである。13は、熱交換器5,試料台8
及び寒剤流通管4を保護するための室温のガードであ
る。14は、電子顕微鏡のレンズの焦点を試料台8に位
置合わせするためのピボットである。このピボットは、
電子顕微鏡に取り付けられたピボット受け(図示無し)
に常に接している。
図である。12は、ストッパーで試料台8の位置を決定
する部材の一つである。13は、熱交換器5,試料台8
及び寒剤流通管4を保護するための室温のガードであ
る。14は、電子顕微鏡のレンズの焦点を試料台8に位
置合わせするためのピボットである。このピボットは、
電子顕微鏡に取り付けられたピボット受け(図示無し)
に常に接している。
【0020】以下、本発明の動作について説明する。試
料冷却ホルダーの目的は試料を長時間に渡り、一定の低
温に保つことにある。しかも、その温度は、液体ヘリウ
ム温度、約−200℃以下の低温である。
料冷却ホルダーの目的は試料を長時間に渡り、一定の低
温に保つことにある。しかも、その温度は、液体ヘリウ
ム温度、約−200℃以下の低温である。
【0021】試料の温度を低温にするために、試料台8
を冷却する熱交換器5の内部に寒剤1aを供給してい
る。試料台8は、熱交換器5の一部を加工して得られる
他、試料台8を熱交換器5とはんだ付けまたは銀ろう付
け等によって熱的に結合することで得られる。試料台8
の温度をできるだけ低い温度に維持するには、試料台8
と熱交換器5との熱抵抗を小さくすることが必要であ
り、試料台8と熱交換器5は銅等の熱伝導率の高い材質
が望ましい。
を冷却する熱交換器5の内部に寒剤1aを供給してい
る。試料台8は、熱交換器5の一部を加工して得られる
他、試料台8を熱交換器5とはんだ付けまたは銀ろう付
け等によって熱的に結合することで得られる。試料台8
の温度をできるだけ低い温度に維持するには、試料台8
と熱交換器5との熱抵抗を小さくすることが必要であ
り、試料台8と熱交換器5は銅等の熱伝導率の高い材質
が望ましい。
【0022】寒剤1aを熱交換器5に供給する手法は、
図1の流量調整弁9により寒剤容器1の内部の圧力を大
気圧より少し高めにして、寒剤1aを圧送することによ
って熱交換器5へ供給される。この流量調整弁9を締め
切った場合には、寒剤流通管4の吐出口から寒剤1aが
流出する。これは、必要以上に寒剤容器1の内圧を高め
たことによるもので、試料台8の冷却する効果は少な
く、寒剤1aの浪費となる。従って、試料台8の温度を
低温にするには、この流量調整弁9の最適な開度があ
る。
図1の流量調整弁9により寒剤容器1の内部の圧力を大
気圧より少し高めにして、寒剤1aを圧送することによ
って熱交換器5へ供給される。この流量調整弁9を締め
切った場合には、寒剤流通管4の吐出口から寒剤1aが
流出する。これは、必要以上に寒剤容器1の内圧を高め
たことによるもので、試料台8の冷却する効果は少な
く、寒剤1aの浪費となる。従って、試料台8の温度を
低温にするには、この流量調整弁9の最適な開度があ
る。
【0023】また、寒剤1aの消費量を少なくすため
に、低温の寒剤容器1,シールド2,寒剤流通管4,熱
交換器5、そしてベローズ6等は高真空に保持して断熱
している。
に、低温の寒剤容器1,シールド2,寒剤流通管4,熱
交換器5、そしてベローズ6等は高真空に保持して断熱
している。
【0024】図3は、図2の寒剤流通管の部分を拡大し
た図である。4aは供給用寒剤流通管で4bは吐出用寒
剤流通管である。熱交換器5に低温の寒剤を供給するた
め、供給用寒剤流通管4aは吐出用寒剤流通管の内側に
設けて、外側の吐出用寒剤流通管4bとシールド2を連
結することで吐出用寒剤流通管4bは支持される。
た図である。4aは供給用寒剤流通管で4bは吐出用寒
剤流通管である。熱交換器5に低温の寒剤を供給するた
め、供給用寒剤流通管4aは吐出用寒剤流通管の内側に
設けて、外側の吐出用寒剤流通管4bとシールド2を連
結することで吐出用寒剤流通管4bは支持される。
【0025】また、供給用寒剤流通管4aは、熱交換器
5を介して間接的に吐出用寒剤流通管4bに支持されて
いる。シールド2と連結された吐出用寒剤流通管4bの
熱は、熱交換器5から吐出された寒剤により奪われる。
このため、供給用寒剤流通管4aには熱が入らないの
で、少ない寒剤量でも熱交換器5及び試料台8の温度を
下げることが可能となる。ベローズ6は、試料台8を軸
線にそって押すことで試料台8を固定する働きがある。
5を介して間接的に吐出用寒剤流通管4bに支持されて
いる。シールド2と連結された吐出用寒剤流通管4bの
熱は、熱交換器5から吐出された寒剤により奪われる。
このため、供給用寒剤流通管4aには熱が入らないの
で、少ない寒剤量でも熱交換器5及び試料台8の温度を
下げることが可能となる。ベローズ6は、試料台8を軸
線にそって押すことで試料台8を固定する働きがある。
【0026】図4は本発明の他の実施形態である。図4
は図3の吐出用寒剤流通管4bとシールドの接合部から
熱交換器5,試料台8の一部を包囲したコンタミネータ
15を取り付けたものである。このコンタミネータ15
の温度は、寒剤として液体ヘリウムを使用した場合約5
Kになる。このため、大気中に存在する水分を始め窒
素,酸素等のガス及び真空容器内の母材のアウトガスが
このコンタミネータ15によって吸着されるので電子顕
微鏡として外乱のない鮮明な映像が得られる。また、輻
射熱も遮蔽されるので侵入熱が低減できる。図5は、図
4のA−A断面図である。試料台8の上下の部分が開い
ているのは電子線が透過する窓の働きがある。
は図3の吐出用寒剤流通管4bとシールドの接合部から
熱交換器5,試料台8の一部を包囲したコンタミネータ
15を取り付けたものである。このコンタミネータ15
の温度は、寒剤として液体ヘリウムを使用した場合約5
Kになる。このため、大気中に存在する水分を始め窒
素,酸素等のガス及び真空容器内の母材のアウトガスが
このコンタミネータ15によって吸着されるので電子顕
微鏡として外乱のない鮮明な映像が得られる。また、輻
射熱も遮蔽されるので侵入熱が低減できる。図5は、図
4のA−A断面図である。試料台8の上下の部分が開い
ているのは電子線が透過する窓の働きがある。
【0027】図6は本発明の他の実施形態である。図6
は、これまで述べてきた図1から図5の熱交換器5近傍
の寒剤流通管4と異なり、吐出用寒剤流通管4bと供給
用寒剤流通管4aが平行に熱交換器5に接続されてい
る。16は、第二熱交換器であり、図6には第二熱交換
器が2個ある場合の例を示したものである。第二熱交換
器16の数は必要に応じて増減できるようにボルトナッ
ト機構で着脱可能になっている。
は、これまで述べてきた図1から図5の熱交換器5近傍
の寒剤流通管4と異なり、吐出用寒剤流通管4bと供給
用寒剤流通管4aが平行に熱交換器5に接続されてい
る。16は、第二熱交換器であり、図6には第二熱交換
器が2個ある場合の例を示したものである。第二熱交換
器16の数は必要に応じて増減できるようにボルトナッ
ト機構で着脱可能になっている。
【0028】図7は、図6のB−B断面を示したもので
ある。第二熱交換器16は、銅またはアルミニウム等の
高熱伝導率部材から成りサンドイッチのように寒剤流通
管4を挟み付けて構成される。17と18のボルトとネ
ジ溝は、第二熱交換器16の着脱及び固定を可能にして
いる。寒剤流通管4と第二熱交換器16との接触面を広
げる目的で、その接触面にグリースを塗布するかまたは
平面状のインジュウムを取り付けても良い。
ある。第二熱交換器16は、銅またはアルミニウム等の
高熱伝導率部材から成りサンドイッチのように寒剤流通
管4を挟み付けて構成される。17と18のボルトとネ
ジ溝は、第二熱交換器16の着脱及び固定を可能にして
いる。寒剤流通管4と第二熱交換器16との接触面を広
げる目的で、その接触面にグリースを塗布するかまたは
平面状のインジュウムを取り付けても良い。
【0029】図8は、図6の第二熱交換器16にアンチ
コンタミネータ19を取り付けたものである。このアン
チコンタミネータ19は銅及びアルミニウム等の高熱伝
導率部材でできているので低温の第二熱交換器16とほ
ぼ等しい温度になる。図9は、図8のC−C断面図であ
る。熱交換器5及び試料台8の上下の部分はアンチコン
タミネータが削除されており、電子顕微鏡の電子線が透
過できるようになっている。このアンチコンタミネータ
19の働きについては前述した通りである。
コンタミネータ19を取り付けたものである。このアン
チコンタミネータ19は銅及びアルミニウム等の高熱伝
導率部材でできているので低温の第二熱交換器16とほ
ぼ等しい温度になる。図9は、図8のC−C断面図であ
る。熱交換器5及び試料台8の上下の部分はアンチコン
タミネータが削除されており、電子顕微鏡の電子線が透
過できるようになっている。このアンチコンタミネータ
19の働きについては前述した通りである。
【0030】図10から図12は、本発明の他の実施形
態である。図10は図8に示した第二熱交換器16の替
わりにステンレス鋼または高分子複合材等の低熱伝導率
部材から成る支持体20を吐出用寒剤流通管4bとスト
ッパー12に接続して、熱交換器5及び試料台8を動か
ないように固定している。
態である。図10は図8に示した第二熱交換器16の替
わりにステンレス鋼または高分子複合材等の低熱伝導率
部材から成る支持体20を吐出用寒剤流通管4bとスト
ッパー12に接続して、熱交換器5及び試料台8を動か
ないように固定している。
【0031】図11は図10のD−D断面図である。こ
の支持体20は、供給用寒剤流通管4aと接触しないよ
うに供給用寒剤流通管4aの周りの支持体20と供給用
寒剤流通管4a間に間隙を設けている。供給用寒剤流通
管4aは、室温のガード13からの伝導熱を受けないた
め、熱交換器5には低温の寒剤が供給できるので少量の
寒剤量で熱交換器5および試料台8を低温に冷却でき
る。
の支持体20は、供給用寒剤流通管4aと接触しないよ
うに供給用寒剤流通管4aの周りの支持体20と供給用
寒剤流通管4a間に間隙を設けている。供給用寒剤流通
管4aは、室温のガード13からの伝導熱を受けないた
め、熱交換器5には低温の寒剤が供給できるので少量の
寒剤量で熱交換器5および試料台8を低温に冷却でき
る。
【0032】また、支持体20が低熱伝導率の部材から
できているので吐出用寒剤流通管4bへの侵入熱が少な
いこと、そしてこの侵入熱が無駄に捨てられる寒剤の顕
熱で冷却されるので熱交換器への侵入熱に依存しない利
点を持つ。図12は図10のE−E断面図である。スト
ッパー12は支持体20に固定されるので熱交換器5及
び試料台8の支持剛性が高くなる。
できているので吐出用寒剤流通管4bへの侵入熱が少な
いこと、そしてこの侵入熱が無駄に捨てられる寒剤の顕
熱で冷却されるので熱交換器への侵入熱に依存しない利
点を持つ。図12は図10のE−E断面図である。スト
ッパー12は支持体20に固定されるので熱交換器5及
び試料台8の支持剛性が高くなる。
【0033】
【発明の効果】本発明によれば、試料冷却ホルダーの試
料台温度を冷却するための寒剤量を少なくできるので試
料の観察及び撮像時間が長くなり作業効率が向上する。
また、伝導熱量の少ない支持体により試料台近傍の位置
を室温のガードに固定できるので耐振性が高くなるた
め、電子顕微鏡の映像が鮮明になる。さらに、試料冷却
ホルダーにアンチコンタミネータを設けることでコンタ
ミの無い鮮明な画像が得られる。
料台温度を冷却するための寒剤量を少なくできるので試
料の観察及び撮像時間が長くなり作業効率が向上する。
また、伝導熱量の少ない支持体により試料台近傍の位置
を室温のガードに固定できるので耐振性が高くなるた
め、電子顕微鏡の映像が鮮明になる。さらに、試料冷却
ホルダーにアンチコンタミネータを設けることでコンタ
ミの無い鮮明な画像が得られる。
【図1】本発明の一実施形態である試料冷却ホルダーの
断面図。
断面図。
【図2】図1の試料台近傍の拡大断面図。
【図3】図2の寒剤流通管近傍の拡大断面図。
【図4】本発明の一実施形態である試料台の断面図。
【図5】図4のA−A断面図。
【図6】本発明の他の実施形態である試料台の断面図。
【図7】図6のB−B断面図。
【図8】本発明の他の実施形態である試料台の断面図。
【図9】図8のC−C断面図。
【図10】本発明の他の実施形態である試料台の断面
図。
図。
【図11】図10のD−D断面図。
【図12】図10のE−E断面図。
1…寒剤容器、2…シールド、3…外部容器、4…寒剤
流通管、4a…供給用寒剤流通管、4b…吐出用寒剤流
通管、5…熱交換器、6…ベローズ、7…注液管、8…
試料台、11…熱収縮緩和ベローズ、12…ストッパ
ー、13…ガード、14…ピボット、15…コンタミネ
ータ、16…第二熱交換器、20…支持体。
流通管、4a…供給用寒剤流通管、4b…吐出用寒剤流
通管、5…熱交換器、6…ベローズ、7…注液管、8…
試料台、11…熱収縮緩和ベローズ、12…ストッパ
ー、13…ガード、14…ピボット、15…コンタミネ
ータ、16…第二熱交換器、20…支持体。
フロントページの続き (72)発明者 小林 弘幸 茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株 式会社日立製作所計測器事業部内 Fターム(参考) 5C001 AA01 BB02 CC01
Claims (1)
- 【請求項1】寒剤を注入する寒剤容器1と、該寒剤容器
1から前記寒剤を供給する寒剤流通管4aによって冷却
される熱交換器5と熱的に連結された試料台8と、該熱
交換器5から前記寒剤を排出する寒剤流通管4bを有
し、また、前記寒剤容器1の外周に輻射熱を遮蔽する熱
シールド2が寒剤流通管4と熱的に連結された試料冷却
ホルダーにおいて、 前記熱交換器5から寒剤を吐出する寒剤流通管4bの一
部が寒剤を前記熱交換器5に供給する寒剤流通管4aの
外周に、同心状または偏心状に設け、さらに該寒剤流通
管4bを前記熱シールド2と連結したことを特徴とする
試料冷却ホルダー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11056625A JP2000251819A (ja) | 1999-03-04 | 1999-03-04 | 試料冷却ホルダー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11056625A JP2000251819A (ja) | 1999-03-04 | 1999-03-04 | 試料冷却ホルダー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000251819A true JP2000251819A (ja) | 2000-09-14 |
Family
ID=13032490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11056625A Pending JP2000251819A (ja) | 1999-03-04 | 1999-03-04 | 試料冷却ホルダー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000251819A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005062424A1 (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Fujitsu Limited | アンテナ装置、電波受信装置、及び、電波送信装置 |
JP2008192616A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Fei Co | 粒子ビーム及び光を用いる顕微鏡で試料を観察する装置 |
JP2009150764A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Tohoku Univ | マイクロ波による水熱反応可視方法及び同方法に用いる水熱反応可視用セル |
JP2010061990A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Japan Science & Technology Agency | 電子顕微鏡用試料ホルダ。 |
JP2013037841A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Tsl Solutions:Kk | 透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダー |
JP2013127445A (ja) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | Korea Basic Science Institute | 新規な構造の透過型電子顕微鏡用クライオトランスファーホルダ |
CN103389268A (zh) * | 2013-07-24 | 2013-11-13 | 甘肃农业大学 | 显微镜的控温载物片及其使用光学显微镜观察抗冻蛋白冰晶形态变化的方法 |
KR101407234B1 (ko) | 2013-12-06 | 2014-06-13 | 한국기초과학지원연구원 | 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템 |
CN113345784A (zh) * | 2020-02-18 | 2021-09-03 | 中国科学院物理研究所 | 一种低温原位样品杆 |
CN113335767A (zh) * | 2020-02-18 | 2021-09-03 | 中国科学院物理研究所 | 一种低温容器 |
-
1999
- 1999-03-04 JP JP11056625A patent/JP2000251819A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005062424A1 (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Fujitsu Limited | アンテナ装置、電波受信装置、及び、電波送信装置 |
US7379023B2 (en) | 2003-12-18 | 2008-05-27 | Fujitsu Limited | Antenna device, radio-wave receiver and radio-wave transmitter |
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CN113345784A (zh) * | 2020-02-18 | 2021-09-03 | 中国科学院物理研究所 | 一种低温原位样品杆 |
CN113335767A (zh) * | 2020-02-18 | 2021-09-03 | 中国科学院物理研究所 | 一种低温容器 |
CN113345784B (zh) * | 2020-02-18 | 2023-06-02 | 中国科学院物理研究所 | 一种低温原位样品杆 |
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