JP2000248240A - 加熱剥離型粘着シート - Google Patents
加熱剥離型粘着シートInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 接着力を低減するための加熱処理による汚染
度の増大が少ない加熱剥離型粘着シートを得て、半導体
ウエハからなる電子部品の製造等にも実用できる加熱剥
離後の被着体における汚染度が少ないものの開発。 【解決手段】 熱膨張性微小球を含有して加熱により膨
張する熱膨張性層（２）の少なくとも片面に非熱膨張性
の粘着層（３）を有する加熱剥離型粘着シート。 【効果】 加熱前での優れた接着力等の目的とする粘着
特性を達成しつつ、加熱による優れた接着力低減を速や
かに達成でき、かつその接着力低減処理による被着体に
おける汚染度の増大が少なく、より薄い半導体ウエハか
らなる電子部品の製造等にも実用できる。
度の増大が少ない加熱剥離型粘着シートを得て、半導体
ウエハからなる電子部品の製造等にも実用できる加熱剥
離後の被着体における汚染度が少ないものの開発。 【解決手段】 熱膨張性微小球を含有して加熱により膨
張する熱膨張性層（２）の少なくとも片面に非熱膨張性
の粘着層（３）を有する加熱剥離型粘着シート。 【効果】 加熱前での優れた接着力等の目的とする粘着
特性を達成しつつ、加熱による優れた接着力低減を速や
かに達成でき、かつその接着力低減処理による被着体に
おける汚染度の増大が少なく、より薄い半導体ウエハか
らなる電子部品の製造等にも実用できる。
Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は、加熱処理にて接着力を低
減できて被着体より非汚染性よく簡単に剥離でき、電子
部品等への適用に好適な加熱剥離型粘着シートに関す
る。
減できて被着体より非汚染性よく簡単に剥離でき、電子
部品等への適用に好適な加熱剥離型粘着シートに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、基材上に発泡剤含有の粘着層を設
けてなる加熱剥離型粘着シートが知られていた（特公昭
５０−１３８７８号公報、同５１−２４５３４号公報、
特開昭５６−６１４６８号公報、同５６−６１４６９号
公報、同６０−２５２６８１号公報等）。これは、粘着
層の加熱による発泡ないし膨張処理でその粘着力を低減
できて被着体より簡単に剥離できるようにしたものであ
り、例えばセラミックコンデンサの製造工程における仮
固定などに用いられている。
けてなる加熱剥離型粘着シートが知られていた（特公昭
５０−１３８７８号公報、同５１−２４５３４号公報、
特開昭５６−６１４６８号公報、同５６−６１４６９号
公報、同６０−２５２６８１号公報等）。これは、粘着
層の加熱による発泡ないし膨張処理でその粘着力を低減
できて被着体より簡単に剥離できるようにしたものであ
り、例えばセラミックコンデンサの製造工程における仮
固定などに用いられている。
【０００３】しかしながら、従来の加熱剥離型粘着シー
トを半導体ウエハのダイシングや裏面研磨などに用いた
場合、加熱処理後にシートを剥離したウエハ上に肉眼に
ては視認できない程度の極微細な汚染が多数残存する汚
染問題を誘発して、実用に適さない場合のある問題点が
あった。かかる汚染問題は、加熱前後の汚染状況の比較
より加熱処理による汚染物の飛躍的増大による。ちなみ
にレーザー表面検査装置を介した４吋シリコンウエハ上
でのパーティクル数測定において、加熱前のシートの剥
離時では千個未満であったものが、加熱後には１万個を
越える１０倍以上に汚染度が増大することが通例であ
る。
トを半導体ウエハのダイシングや裏面研磨などに用いた
場合、加熱処理後にシートを剥離したウエハ上に肉眼に
ては視認できない程度の極微細な汚染が多数残存する汚
染問題を誘発して、実用に適さない場合のある問題点が
あった。かかる汚染問題は、加熱前後の汚染状況の比較
より加熱処理による汚染物の飛躍的増大による。ちなみ
にレーザー表面検査装置を介した４吋シリコンウエハ上
でのパーティクル数測定において、加熱前のシートの剥
離時では千個未満であったものが、加熱後には１万個を
越える１０倍以上に汚染度が増大することが通例であ
る。
【０００４】
【発明の技術的課題】本発明は、接着力を低減するため
の加熱処理による汚染度の増大が少ない加熱剥離型粘着
シートを得て、半導体ウエハからなる電子部品の製造等
にも実用できる加熱剥離後の被着体における汚染度が少
ないものの開発を課題とする。
の加熱処理による汚染度の増大が少ない加熱剥離型粘着
シートを得て、半導体ウエハからなる電子部品の製造等
にも実用できる加熱剥離後の被着体における汚染度が少
ないものの開発を課題とする。
【０００５】
【課題の解決手段】本発明は、熱膨張性微小球を含有し
て加熱により膨張する熱膨張性層の少なくとも片面に非
熱膨張性の粘着層を有することを特徴とする加熱剥離型
粘着シートを提供するものである。
て加熱により膨張する熱膨張性層の少なくとも片面に非
熱膨張性の粘着層を有することを特徴とする加熱剥離型
粘着シートを提供するものである。
【０００６】
【発明の効果】本発明によれば、熱膨張性微小球を使用
した熱膨張性層とその上に配置した粘着層により、加熱
前での優れた接着力等の目的とする粘着特性を達成しつ
つ、加熱による優れた接着力低減を速やかに達成でき、
かつその接着力低減処理による被着体における汚染度の
増大が少ない加熱剥離型粘着シートを得ることができ
る。その汚染増大の防止効果は、熱膨張性層に対する粘
着層のカバー作用によると考えられるが、接着力の低減
も達成されていることを考慮すると、かかる効果の発現
機能の詳細は不明である。
した熱膨張性層とその上に配置した粘着層により、加熱
前での優れた接着力等の目的とする粘着特性を達成しつ
つ、加熱による優れた接着力低減を速やかに達成でき、
かつその接着力低減処理による被着体における汚染度の
増大が少ない加熱剥離型粘着シートを得ることができ
る。その汚染増大の防止効果は、熱膨張性層に対する粘
着層のカバー作用によると考えられるが、接着力の低減
も達成されていることを考慮すると、かかる効果の発現
機能の詳細は不明である。
【０００７】しかし前記の熱膨張性層上に粘着層を配置
した構造による接着力低減と汚染増大防止との同時達成
の実用的意義は大きい。ちなみにそれにより、粘着層と
して糊残り等の剥離後の汚染が少ない汚染防止型のもの
を用いて、加熱剥離後の被着体における汚染度が少なく
て半導体ウエハからなる電子部品の製造等にも実用でき
る加熱剥離型シートを得ることができる。その結果、例
えば紫外線硬化による汚染防止型の粘着層の如く残留接
着力による剥離時の破損問題でこれまで制約されてきた
ウエハ厚を、かかるシートによるより小さい接着力の達
成でさらに薄くすることも可能になる。
した構造による接着力低減と汚染増大防止との同時達成
の実用的意義は大きい。ちなみにそれにより、粘着層と
して糊残り等の剥離後の汚染が少ない汚染防止型のもの
を用いて、加熱剥離後の被着体における汚染度が少なく
て半導体ウエハからなる電子部品の製造等にも実用でき
る加熱剥離型シートを得ることができる。その結果、例
えば紫外線硬化による汚染防止型の粘着層の如く残留接
着力による剥離時の破損問題でこれまで制約されてきた
ウエハ厚を、かかるシートによるより小さい接着力の達
成でさらに薄くすることも可能になる。
【０００８】
【発明の実施形態】本発明による加熱剥離型粘着シート
は、熱膨張性微小球を含有して加熱により膨張する熱膨
張性層の少なくとも片面に非熱膨張性の粘着層を有する
ものからなる。その例を図１、図２に示した。２，２１
が熱膨張性層、３，３１が粘着層である。なお１，４，
５は、それぞれ必要に応じて設けられる基材、セパレー
タ及びゴム状有機弾性層である。
は、熱膨張性微小球を含有して加熱により膨張する熱膨
張性層の少なくとも片面に非熱膨張性の粘着層を有する
ものからなる。その例を図１、図２に示した。２，２１
が熱膨張性層、３，３１が粘着層である。なお１，４，
５は、それぞれ必要に応じて設けられる基材、セパレー
タ及びゴム状有機弾性層である。
【０００９】熱膨張性層は、熱膨張性微小球を含有して
加熱により膨張し、その膨張による凹凸変形を介し表面
の粘着層も凹凸変形させて被着体に対する接着力を低減
させるものである。従って被着体に接着した加熱剥離型
粘着シートを任意な時にその熱膨張性層を加熱処理し
て、被着体より簡単に剥離することを可能とするもので
ある。
加熱により膨張し、その膨張による凹凸変形を介し表面
の粘着層も凹凸変形させて被着体に対する接着力を低減
させるものである。従って被着体に接着した加熱剥離型
粘着シートを任意な時にその熱膨張性層を加熱処理し
て、被着体より簡単に剥離することを可能とするもので
ある。
【００１０】熱膨張性層は、例えば熱膨張性微小球と結
合剤の混合層などとして形成することができる。その結
合剤としては、熱膨張性微小球の加熱による発泡及び／
又は膨張を許容するポリマー類やワックス類などの適宜
なものを用いうる。就中、熱膨張性微小球の発泡及び／
又は膨張を可及的に拘束しないものが好ましい。前記熱
膨張性微小球の加熱膨張性や被着体に対する粘着層を介
した接着力等の粘着特性の制御性などの点より特に好ま
しく用いうる結合剤は、粘着剤である。
合剤の混合層などとして形成することができる。その結
合剤としては、熱膨張性微小球の加熱による発泡及び／
又は膨張を許容するポリマー類やワックス類などの適宜
なものを用いうる。就中、熱膨張性微小球の発泡及び／
又は膨張を可及的に拘束しないものが好ましい。前記熱
膨張性微小球の加熱膨張性や被着体に対する粘着層を介
した接着力等の粘着特性の制御性などの点より特に好ま
しく用いうる結合剤は、粘着剤である。
【００１１】前記の粘着剤としては、特に限定はなく、
例えばゴム系やアクリル系、ビニルアルキルエーテル系
やシリコーン系、ポリエステル系やポリアミド系、ウレ
タン系やフッ素系、スチレン−ジエンブロック共重合体
系等のポリマーを用いたものや、融点が約２００℃以下
等の熱溶融性樹脂を配合してクリープ特性を改良したも
の、紫外線硬化型のものやそれらに必要に応じて例えば
架橋剤や粘着付与剤、可塑剤や軟化剤、充填剤や顔料、
着色剤や老化防止剤、界面活性剤等の各種の添加剤を配
合したものなどの適宜なものの１種又は２種以上を用い
ることができる（特開昭５６−６１４６８号公報、同６
１−１７４８５７号公報、同６３−１７９８１号公報、
同５６−１３０４０号公報等）。
例えばゴム系やアクリル系、ビニルアルキルエーテル系
やシリコーン系、ポリエステル系やポリアミド系、ウレ
タン系やフッ素系、スチレン−ジエンブロック共重合体
系等のポリマーを用いたものや、融点が約２００℃以下
等の熱溶融性樹脂を配合してクリープ特性を改良したも
の、紫外線硬化型のものやそれらに必要に応じて例えば
架橋剤や粘着付与剤、可塑剤や軟化剤、充填剤や顔料、
着色剤や老化防止剤、界面活性剤等の各種の添加剤を配
合したものなどの適宜なものの１種又は２種以上を用い
ることができる（特開昭５６−６１４６８号公報、同６
１−１７４８５７号公報、同６３−１７９８１号公報、
同５６−１３０４０号公報等）。
【００１２】粘着層を介した被着体に対する加熱前の適
度な接着力の制御性と加熱による接着力の低減性とのバ
ランスなどの点より好ましい粘着剤は、常温から１５０
℃の温度域における動的弾性率が５万〜１０００万dyn
／cm２のポリマーをベースポリマーとするものである
が、これに限定されない。
度な接着力の制御性と加熱による接着力の低減性とのバ
ランスなどの点より好ましい粘着剤は、常温から１５０
℃の温度域における動的弾性率が５万〜１０００万dyn
／cm２のポリマーをベースポリマーとするものである
が、これに限定されない。
【００１３】前記において一般に用いられる粘着剤は、
例えば天然ゴムやポリイソプレンゴム、スチレン・ブタ
ジエンゴムやスチレン・イソプレン・スチレンブロック
共重合体ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロッ
ク共重合体ゴムや再生ゴムやブチルゴム、ポリイソブチ
レンやＮＢＲの如きゴム系ポリマーをベースポリマーに
用いたゴム系粘着剤、アクリル酸ないしメタクリル酸の
アルキルエステルを成分とするアクリル系重合体をベー
スポリマーに用いたアクリル系粘着剤などである。
例えば天然ゴムやポリイソプレンゴム、スチレン・ブタ
ジエンゴムやスチレン・イソプレン・スチレンブロック
共重合体ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロッ
ク共重合体ゴムや再生ゴムやブチルゴム、ポリイソブチ
レンやＮＢＲの如きゴム系ポリマーをベースポリマーに
用いたゴム系粘着剤、アクリル酸ないしメタクリル酸の
アルキルエステルを成分とするアクリル系重合体をベー
スポリマーに用いたアクリル系粘着剤などである。
【００１４】なお前記のアクリル系重合体としては、例
えばメチル基やエチル基、プロピル基やブチル基、アミ
ル基やヘキシル基、ヘプチル基や２−エチルヘキシル
基、イソオクチル基やイソノニル基、イソデシル基やド
デシル基、ラウリル基やトリデシル基、テトラデシル基
やペンタデシル基、ヘキサデシル基やヘプタデシル基、
オクタデシル基やノナデシル基、エイコシル基の如き炭
素数が１〜２０、就中４〜１８の直鎖又は分岐のアルキ
ル基を有するアクリル酸やメタクリル酸のエステルの１
種又は２種以上を用いたものがあげられる。
えばメチル基やエチル基、プロピル基やブチル基、アミ
ル基やヘキシル基、ヘプチル基や２−エチルヘキシル
基、イソオクチル基やイソノニル基、イソデシル基やド
デシル基、ラウリル基やトリデシル基、テトラデシル基
やペンタデシル基、ヘキサデシル基やヘプタデシル基、
オクタデシル基やノナデシル基、エイコシル基の如き炭
素数が１〜２０、就中４〜１８の直鎖又は分岐のアルキ
ル基を有するアクリル酸やメタクリル酸のエステルの１
種又は２種以上を用いたものがあげられる。
【００１５】また用いるアクリル系重合体は、凝集力や
耐熱性や架橋性等の改質などを目的に適宜なモノマーの
１種又は２種以上を共重合したものであってもよい。そ
の共重合モノマーについては特に限定はなく、前記アク
リル酸系アルキルエステルと共重合しうるものであれば
よい。
耐熱性や架橋性等の改質などを目的に適宜なモノマーの
１種又は２種以上を共重合したものであってもよい。そ
の共重合モノマーについては特に限定はなく、前記アク
リル酸系アルキルエステルと共重合しうるものであれば
よい。
【００１６】ちなみに前記共重合モノマーの例として
は、アクリル酸やメタクリル酸、カルボキシエチルアク
リレートやカルボキシペンチルアクリレート、イタコン
酸やマレイン酸、フマール酸やクロトン酸の如きカルボ
キシル基含有モノマー、無水マレイン酸や無水イタコン
酸の如き酸無水物モノマー、（メタ）アクリル酸ヒドロ
キシエチルや（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、
（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチルや（メタ）アクリ
ル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキ
シオクチルや（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、
（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリルや（４−ヒドロ
キシメチルシクロヘキシル）−メチルメタクリレートの
如きヒドロキシル基含有モノマーがあげられる。
は、アクリル酸やメタクリル酸、カルボキシエチルアク
リレートやカルボキシペンチルアクリレート、イタコン
酸やマレイン酸、フマール酸やクロトン酸の如きカルボ
キシル基含有モノマー、無水マレイン酸や無水イタコン
酸の如き酸無水物モノマー、（メタ）アクリル酸ヒドロ
キシエチルや（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、
（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチルや（メタ）アクリ
ル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキ
シオクチルや（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、
（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリルや（４−ヒドロ
キシメチルシクロヘキシル）−メチルメタクリレートの
如きヒドロキシル基含有モノマーがあげられる。
【００１７】またスチレンスルホン酸やアリルスルホン
酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパン
スルホン酸や（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン
酸、スルホプロピル（メタ）アクリレートや（メタ）ア
クリロイルオキシナフタレンスルホン酸の如きスルホン
酸基含有モノマー、２−ヒドロキシエチルアクリロイル
ホスフェートの如き燐酸基含有モノマー、（メタ）アク
リルアミドやＮ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミ
ド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミドやＮ−メチロー
ル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン
（メタ）アクリルアミドの如き（Ｎ−置換）アミド系モ
ノマー、（メタ）アクリル酸アミノエチルや（メタ）ア
クリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アク
リル酸ｔ−ブチルアミノエチルの如き（メタ）アクリル
酸アルキルアミノ系モノマー、（メタ）アクリル酸メト
キシエチルや（メタ）アクリル酸エトキシエチルの如き
（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー、Ｎ
−シクロヘキシルマレイミドやＮ−イソプロピルマレイ
ミド、Ｎ−ラウリルマレイミドやＮ−フェニルマレイミ
ドの如きマレイミド系モノマー、Ｎ−メチルイタコンイ
ミドやＮ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコン
イミドやＮ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチル
ヘキシルイタコンイミドやＮ−シクロヘキシルイタコン
イミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドの如きイタコンイ
ミド系モノマー、Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチ
レンスクシンイミドやＮ−（メタ）アクリロイル−６−
オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）ア
クリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミド
の如きスクシンイミド系モノマーなども共重合モノマー
の例としてあげられる。
酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパン
スルホン酸や（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン
酸、スルホプロピル（メタ）アクリレートや（メタ）ア
クリロイルオキシナフタレンスルホン酸の如きスルホン
酸基含有モノマー、２−ヒドロキシエチルアクリロイル
ホスフェートの如き燐酸基含有モノマー、（メタ）アク
リルアミドやＮ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミ
ド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミドやＮ−メチロー
ル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン
（メタ）アクリルアミドの如き（Ｎ−置換）アミド系モ
ノマー、（メタ）アクリル酸アミノエチルや（メタ）ア
クリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アク
リル酸ｔ−ブチルアミノエチルの如き（メタ）アクリル
酸アルキルアミノ系モノマー、（メタ）アクリル酸メト
キシエチルや（メタ）アクリル酸エトキシエチルの如き
（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー、Ｎ
−シクロヘキシルマレイミドやＮ−イソプロピルマレイ
ミド、Ｎ−ラウリルマレイミドやＮ−フェニルマレイミ
ドの如きマレイミド系モノマー、Ｎ−メチルイタコンイ
ミドやＮ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコン
イミドやＮ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチル
ヘキシルイタコンイミドやＮ−シクロヘキシルイタコン
イミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドの如きイタコンイ
ミド系モノマー、Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチ
レンスクシンイミドやＮ−（メタ）アクリロイル−６−
オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）ア
クリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミド
の如きスクシンイミド系モノマーなども共重合モノマー
の例としてあげられる。
【００１８】さらに酢酸ビニルやプロピオン酸ビニル、
Ｎ−ビニルピロリドンやメチルビニルピロリドン、ビニ
ルピリジンやビニルピペリドン、ビニルピリミジンやビ
ニルピペラジン、ビニルピラジンやビニルピロール、ビ
ニルイミダゾールやビニルオキサゾール、ビニルモルホ
リンやＮ−ビニルカルボン酸アミド類、スチレンやα−
メチルスチレン、Ｎ−ビニルカプロラクタムの如きビニ
ル系モノマー、アクリロニトリルやメタクリロニトリル
の如きシアノアクリレート系モノマー、（メタ）アクリ
ル酸グリシジルの如きエポキシ基含有アクリル系モノマ
ー、（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコールや（メ
タ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）ア
クリル酸メトキシエチレングリコールや（メタ）アクリ
ル酸メトキシポリプロピレングリコールの如きグリコー
ル系アクリルエステルモノマー、（メタ）アクリル酸テ
トラヒドロフルフリルやフッ素（メタ）アクリレート、
シリコーン（メタ）アクリレートや２−メトキシエチル
アクリレートの如きアクリル酸エステル系モノマー、ヘ
キサンジオールジ（メタ）アクリレートや（ポリ）エチ
レングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロ
ピレングリコールジ（メタ）アクリレートやネオペンチ
ルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリ
トールジ（メタ）アクリレートやトリメチロールプロパ
ントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールト
リ（メタ）アクリレートやジペンタエリスリトールヘキ
サ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレートやポリ
エステルアクリレート、ウレタンアクリレートやジビニ
ルベンゼン、ブチルジアクリレートやヘキシルジアクリ
レートの如き多官能モノマー、イソプレンやブタジエ
ン、イソブチレンやビニルエーテルなども共重合モノマ
ーの例としてあげられる。
Ｎ−ビニルピロリドンやメチルビニルピロリドン、ビニ
ルピリジンやビニルピペリドン、ビニルピリミジンやビ
ニルピペラジン、ビニルピラジンやビニルピロール、ビ
ニルイミダゾールやビニルオキサゾール、ビニルモルホ
リンやＮ−ビニルカルボン酸アミド類、スチレンやα−
メチルスチレン、Ｎ−ビニルカプロラクタムの如きビニ
ル系モノマー、アクリロニトリルやメタクリロニトリル
の如きシアノアクリレート系モノマー、（メタ）アクリ
ル酸グリシジルの如きエポキシ基含有アクリル系モノマ
ー、（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコールや（メ
タ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）ア
クリル酸メトキシエチレングリコールや（メタ）アクリ
ル酸メトキシポリプロピレングリコールの如きグリコー
ル系アクリルエステルモノマー、（メタ）アクリル酸テ
トラヒドロフルフリルやフッ素（メタ）アクリレート、
シリコーン（メタ）アクリレートや２−メトキシエチル
アクリレートの如きアクリル酸エステル系モノマー、ヘ
キサンジオールジ（メタ）アクリレートや（ポリ）エチ
レングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロ
ピレングリコールジ（メタ）アクリレートやネオペンチ
ルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリ
トールジ（メタ）アクリレートやトリメチロールプロパ
ントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールト
リ（メタ）アクリレートやジペンタエリスリトールヘキ
サ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレートやポリ
エステルアクリレート、ウレタンアクリレートやジビニ
ルベンゼン、ブチルジアクリレートやヘキシルジアクリ
レートの如き多官能モノマー、イソプレンやブタジエ
ン、イソブチレンやビニルエーテルなども共重合モノマ
ーの例としてあげられる。
【００１９】一方、熱膨張性層に配合する熱膨張性微小
球としては、例えばイソブタンやプロパン、ペンタンの
如く容易にガス化して熱膨張性を示す適宜な物質をコア
セルベーション法や界面重合法等の適宜な方式にて殻形
成物質、例えば塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重
合体やポリビニルアルコール、ポリビニルブチラールや
ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリルやポ
リ塩化ビニリデン、ポリスルホンの如き熱溶融性物質や
熱膨張で破壊する物質などからなる殻の内部に内包させ
たマイクロカプセルなどがあげられる。
球としては、例えばイソブタンやプロパン、ペンタンの
如く容易にガス化して熱膨張性を示す適宜な物質をコア
セルベーション法や界面重合法等の適宜な方式にて殻形
成物質、例えば塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重
合体やポリビニルアルコール、ポリビニルブチラールや
ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリルやポ
リ塩化ビニリデン、ポリスルホンの如き熱溶融性物質や
熱膨張で破壊する物質などからなる殻の内部に内包させ
たマイクロカプセルなどがあげられる。
【００２０】熱膨張性微小球の使用により加熱による被
着体の汚染度の増大を安定に抑制することができる。マ
イクロカプセル化していない発泡剤等では、表面を形成
する粘着層を凝集破壊するためか前記汚染度増大の抑制
効果に乏しくなる。加熱による接着力低減の操作性、就
中その接着力低減の安定した達成性などの点よりは、破
裂するまでの体積膨張が５倍以上、就中７倍以上、特に
１０倍以上の熱膨張性微小球が好ましく用いられる。
着体の汚染度の増大を安定に抑制することができる。マ
イクロカプセル化していない発泡剤等では、表面を形成
する粘着層を凝集破壊するためか前記汚染度増大の抑制
効果に乏しくなる。加熱による接着力低減の操作性、就
中その接着力低減の安定した達成性などの点よりは、破
裂するまでの体積膨張が５倍以上、就中７倍以上、特に
１０倍以上の熱膨張性微小球が好ましく用いられる。
【００２１】用いる熱膨張性微小球の平均粒径は、適宜
に決定でき、一般には１００μm以下、就中８０μm以
下、特に１〜５０μmのものであるが、これに限定され
ない。なお熱膨張性微小球には、マイクロスフェア（商
品名、松本油脂製薬社製）などの市販物もある。
に決定でき、一般には１００μm以下、就中８０μm以
下、特に１〜５０μmのものであるが、これに限定され
ない。なお熱膨張性微小球には、マイクロスフェア（商
品名、松本油脂製薬社製）などの市販物もある。
【００２２】熱膨張性微小球の使用量は、熱膨張性層の
膨張倍率や接着力の低減性などにより適宜に決定してよ
い。一般には、上記した結合剤、粘着剤の場合にはその
ベースポリマー１００重量部あたり、１〜１５０重量
部、就中１０〜１３０重量部、特に２５〜１００重量部
の熱膨張性微小球が用いられる。
膨張倍率や接着力の低減性などにより適宜に決定してよ
い。一般には、上記した結合剤、粘着剤の場合にはその
ベースポリマー１００重量部あたり、１〜１５０重量
部、就中１０〜１３０重量部、特に２５〜１００重量部
の熱膨張性微小球が用いられる。
【００２３】熱膨張性層の形成は、例えば熱膨張性微小
球と結合剤等の配合成分を必要に応じ溶媒を用いて混合
し、その混合物を塗布方式等の適宜な方式で展開してシ
ート状の層を形成する方式などにより行うことができ
る。その層厚は、接着力の低減性などにより適宜に決定
しうる。
球と結合剤等の配合成分を必要に応じ溶媒を用いて混合
し、その混合物を塗布方式等の適宜な方式で展開してシ
ート状の層を形成する方式などにより行うことができ
る。その層厚は、接着力の低減性などにより適宜に決定
しうる。
【００２４】一般には、厚さの過小による熱膨張性微小
球に基づく表面の凹凸化でその上に設ける粘着層も凹凸
化して十分な接着力が発現しないことの防止や加熱処理
時にその上に設けた粘着層が凝集破壊して被着体の汚染
度が増大することの防止や、厚さの過大による加熱変形
不良に基づく接着力の低減不足の防止などの点より、３
００μm以下、就中２〜２００μm、特に５〜１５０μm
の厚さとされる。
球に基づく表面の凹凸化でその上に設ける粘着層も凹凸
化して十分な接着力が発現しないことの防止や加熱処理
時にその上に設けた粘着層が凝集破壊して被着体の汚染
度が増大することの防止や、厚さの過大による加熱変形
不良に基づく接着力の低減不足の防止などの点より、３
００μm以下、就中２〜２００μm、特に５〜１５０μm
の厚さとされる。
【００２５】前記熱膨張性層の形成に際しては、図例の
如く必要に応じ基材１にて熱膨張性層２を支持した形態
とすることもできる。かかる支持形態は、熱膨張性層、
ひいては粘着層が基材にて支持補強されて加熱剥離型粘
着シートの取扱性が向上し、被着体への接着や加熱後の
被着体からの剥離などを能率的に行える利点などを有し
ている。
如く必要に応じ基材１にて熱膨張性層２を支持した形態
とすることもできる。かかる支持形態は、熱膨張性層、
ひいては粘着層が基材にて支持補強されて加熱剥離型粘
着シートの取扱性が向上し、被着体への接着や加熱後の
被着体からの剥離などを能率的に行える利点などを有し
ている。
【００２６】前記の基材としては、例えば紙や布、不織
布やネットの如き多孔材、プラスチックフィルムやゴム
シート、発泡シートや金属箔、それらのラミネート体等
の、熱膨張性層等を支持しうる適宜な薄葉体などを用い
うる。就中、熱膨張性層の加熱処理温度で溶融しない耐
熱性に優れるものが加熱後の取扱性などの点より好まし
い。
布やネットの如き多孔材、プラスチックフィルムやゴム
シート、発泡シートや金属箔、それらのラミネート体等
の、熱膨張性層等を支持しうる適宜な薄葉体などを用い
うる。就中、熱膨張性層の加熱処理温度で溶融しない耐
熱性に優れるものが加熱後の取扱性などの点より好まし
い。
【００２７】また基材は、延伸処理等により伸び率など
の変形性を制御したものなどであってもよい。なお粘着
層を紫外線等にて処理する場合には、その処理線を透過
する基材が用いられる。基材の厚さは、強度や柔軟性、
使用目的などに応じて適宜に決定でき、一般には５００
μm以下、就中３〜３００μm、特に５〜２５０μmとさ
れるが、これに限定されない。
の変形性を制御したものなどであってもよい。なお粘着
層を紫外線等にて処理する場合には、その処理線を透過
する基材が用いられる。基材の厚さは、強度や柔軟性、
使用目的などに応じて適宜に決定でき、一般には５００
μm以下、就中３〜３００μm、特に５〜２５０μmとさ
れるが、これに限定されない。
【００２８】前記の基材支持形態のシートは、例えば上
記した展開操作を基材上で行って基材上に熱膨張性層を
直接付設する方式や、それに準じセパレータ上に熱膨張
性層を設けてその熱膨張性層を基材に移着する方式など
の適宜な方式で形成することができる。
記した展開操作を基材上で行って基材上に熱膨張性層を
直接付設する方式や、それに準じセパレータ上に熱膨張
性層を設けてその熱膨張性層を基材に移着する方式など
の適宜な方式で形成することができる。
【００２９】前記のセパレータは、例えば上記基材をシ
リコーン系や長鎖アルキル系、フッ素系や硫化モリブデ
ン等の適宜な剥離剤で表面処理したもの、ポリテトラフ
ルオロエチレンやポリクロロトリフルオロエチレン、ポ
リフッ化ビニルやポリフッ化ビニリデン、テトラフルオ
ロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体やクロ
ロトリフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体の
如きフッ素系ポリマーからなる低接着性基材、ポリエチ
レンやポリプロピレンの如き無極性ポリマーからなる低
接着性基材などとして得ることができる。なおセパレー
タも熱膨張性層を支持するための基材として用いうる。
リコーン系や長鎖アルキル系、フッ素系や硫化モリブデ
ン等の適宜な剥離剤で表面処理したもの、ポリテトラフ
ルオロエチレンやポリクロロトリフルオロエチレン、ポ
リフッ化ビニルやポリフッ化ビニリデン、テトラフルオ
ロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体やクロ
ロトリフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体の
如きフッ素系ポリマーからなる低接着性基材、ポリエチ
レンやポリプロピレンの如き無極性ポリマーからなる低
接着性基材などとして得ることができる。なおセパレー
タも熱膨張性層を支持するための基材として用いうる。
【００３０】前記において熱膨張性層は、図例の如く基
材の片面又は両面に設けることができ、基材を熱膨張性
層の内部に埋設した形態などとすることもできる。熱膨
張性層との密着力に優れる基材は、例えばポリエステル
の如き高極性のポリマーからなるフィルムを用いる方
式、クロム酸処理やオゾン暴露、火炎暴露や高圧電撃暴
露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的な方式に
よる表面酸化処理などの適宜な処理を基材に施す方式な
どにより得ることができる。
材の片面又は両面に設けることができ、基材を熱膨張性
層の内部に埋設した形態などとすることもできる。熱膨
張性層との密着力に優れる基材は、例えばポリエステル
の如き高極性のポリマーからなるフィルムを用いる方
式、クロム酸処理やオゾン暴露、火炎暴露や高圧電撃暴
露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的な方式に
よる表面酸化処理などの適宜な処理を基材に施す方式な
どにより得ることができる。
【００３１】また基材と熱膨張性層との密着力の向上に
は、基材に下塗り層を設ける方式なども有効である。こ
のように基材で熱膨張性層を支持した形態とする場合に
は、その基材と熱膨張性層の間に１層又は２層以上の中
間層を設けることもできる。その中間層は、上記した剥
離性の付与を目的とした剥離剤のコート層や、反対に密
着力の向上を目的とした前記下塗り層の如く適宜な目的
を有するものであってよい。
は、基材に下塗り層を設ける方式なども有効である。こ
のように基材で熱膨張性層を支持した形態とする場合に
は、その基材と熱膨張性層の間に１層又は２層以上の中
間層を設けることもできる。その中間層は、上記した剥
離性の付与を目的とした剥離剤のコート層や、反対に密
着力の向上を目的とした前記下塗り層の如く適宜な目的
を有するものであってよい。
【００３２】ちなみに前記した剥離コート層や下塗り層
以外の中間層の例としては、良好な変形性の付与を目的
とした層や被着体への接着面積の増大を目的とした層、
接着力の向上を目的とした層や被着体の表面形状に良好
に追従させることを目的とした層、加熱による接着力低
減の処理性の向上を目的とした層や加熱後の被着体より
の剥離性の向上を目的とした層などがあげられる。
以外の中間層の例としては、良好な変形性の付与を目的
とした層や被着体への接着面積の増大を目的とした層、
接着力の向上を目的とした層や被着体の表面形状に良好
に追従させることを目的とした層、加熱による接着力低
減の処理性の向上を目的とした層や加熱後の被着体より
の剥離性の向上を目的とした層などがあげられる。
【００３３】前記において変形性の付与や加熱後の剥離
性の向上などの点よりは、図２に例示した如くゴム状有
機弾性層５を中間層として設ける方式が有効である。か
かるゴム状有機弾性層は、加熱剥離型粘着シートを被着
体に接着する際に表面の粘着層が被着体の表面形状に良
好に追従して大きい接着面積を提供する働き、加熱時に
おける熱膨張性層の膨張の制御性を高める働き、加熱に
より熱膨張性層を面方向よりも厚さ方向に優位に膨張さ
せ、厚さの均一性に優れる膨張層を形成する働きなどを
するものである。
性の向上などの点よりは、図２に例示した如くゴム状有
機弾性層５を中間層として設ける方式が有効である。か
かるゴム状有機弾性層は、加熱剥離型粘着シートを被着
体に接着する際に表面の粘着層が被着体の表面形状に良
好に追従して大きい接着面積を提供する働き、加熱時に
おける熱膨張性層の膨張の制御性を高める働き、加熱に
より熱膨張性層を面方向よりも厚さ方向に優位に膨張さ
せ、厚さの均一性に優れる膨張層を形成する働きなどを
するものである。
【００３４】前記の働き性などの点より好ましいゴム状
有機弾性層は、ＡＳＴＭ Ｄ−２２４０のＤ型ショアー
によるＤ型硬度に基づいて５０以下、就中４５以下、特
に４０以下の天然ゴムや合成ゴム、又はゴム弾性を有す
る合成樹脂などにより形成したものである。厚さは通
例、前記働きなどの点より５００μm以下、就中３〜３
００μm、特に５〜１５０μmとされるが、これに限定さ
れない。
有機弾性層は、ＡＳＴＭ Ｄ−２２４０のＤ型ショアー
によるＤ型硬度に基づいて５０以下、就中４５以下、特
に４０以下の天然ゴムや合成ゴム、又はゴム弾性を有す
る合成樹脂などにより形成したものである。厚さは通
例、前記働きなどの点より５００μm以下、就中３〜３
００μm、特に５〜１５０μmとされるが、これに限定さ
れない。
【００３５】前記の合成ゴム又は合成樹脂としては、例
えばニトリル系やジエン系やアクリル系などの合成ゴ
ム、ポリオレフィン系やポリエステル系の如き熱可塑性
エラストマー、エチレン−酢酸ビニル共重合体やポリウ
レタン、ポリブタジエンや軟質ポリ塩化ビニルの如きゴ
ム弾性を有する合成樹脂があげられる。ポリ塩化ビニル
の如く本質的には硬質系のポリマーにても可塑剤や柔軟
剤等の配合剤との組合せでゴム弾性をもたせたものも本
発明においては用いうる。
えばニトリル系やジエン系やアクリル系などの合成ゴ
ム、ポリオレフィン系やポリエステル系の如き熱可塑性
エラストマー、エチレン−酢酸ビニル共重合体やポリウ
レタン、ポリブタジエンや軟質ポリ塩化ビニルの如きゴ
ム弾性を有する合成樹脂があげられる。ポリ塩化ビニル
の如く本質的には硬質系のポリマーにても可塑剤や柔軟
剤等の配合剤との組合せでゴム弾性をもたせたものも本
発明においては用いうる。
【００３６】ゴム状有機弾性層は、前記の形成材を主成
分とする粘着性物質で形成されていてもよく、またかか
る成分を主体とする発泡フィルム等で形成されていても
よい。ゴム状有機弾性層の形成は、例えば前記形成材の
溶液を基材上に塗布する方式や、前記形成材からなるフ
ィルム等を基材と接着する方式などの適宜な方式にて行
うことができ、ゴム状有機弾性層を熱膨張性層の粘着層
を設ける側とは反対側に重畳させた形態とすることが上
記した作用等の点より好ましい。なお粘着層を紫外線等
にて処理する場合には、その処理線を透過しうる中間層
とされる。
分とする粘着性物質で形成されていてもよく、またかか
る成分を主体とする発泡フィルム等で形成されていても
よい。ゴム状有機弾性層の形成は、例えば前記形成材の
溶液を基材上に塗布する方式や、前記形成材からなるフ
ィルム等を基材と接着する方式などの適宜な方式にて行
うことができ、ゴム状有機弾性層を熱膨張性層の粘着層
を設ける側とは反対側に重畳させた形態とすることが上
記した作用等の点より好ましい。なお粘着層を紫外線等
にて処理する場合には、その処理線を透過しうる中間層
とされる。
【００３７】本発明において熱膨張性層の上に設ける粘
着層は、被着体への接着と加熱による接着力の低減処理
時に被着体に対する汚染物、特にミクロな汚染物が増大
することの防止などを目的とする。粘着層は、被着体に
対する接着力等の目的とする粘着特性などに応じて適宜
な粘着剤を用いて形成でき、その種類について特に限定
はない。従って上記の熱膨張性層で例示した粘着剤や公
知物等のいずれも用いることができ、熱膨張性層の加熱
による変形を可及的に拘束しないものが好ましい。
着層は、被着体への接着と加熱による接着力の低減処理
時に被着体に対する汚染物、特にミクロな汚染物が増大
することの防止などを目的とする。粘着層は、被着体に
対する接着力等の目的とする粘着特性などに応じて適宜
な粘着剤を用いて形成でき、その種類について特に限定
はない。従って上記の熱膨張性層で例示した粘着剤や公
知物等のいずれも用いることができ、熱膨張性層の加熱
による変形を可及的に拘束しないものが好ましい。
【００３８】就中、例えばトリレンジイソシアネートや
トリメチロールプロパントリレンジイソシアネート、ジ
フェニルメタントリイソシアネートの如き多官能イソシ
アネート系架橋剤、ポリエチレングリコールジグリシジ
ルエーテルやジグリシジルエーテル、トリメチロールプ
ロパントリグリシジルエーテルの如きエポキシ系架橋
剤、アルキルエーテル化メラミン化合物の如きメラミン
系架橋剤や金属塩系架橋剤、金属キレート系架橋剤やア
ミノ系架橋剤、過酸化物系架橋剤やシラン系カップリン
グ剤の如きカップリング剤系架橋剤などからなる適宜な
架橋剤を配合した粘着剤が好ましく用いられる。
トリメチロールプロパントリレンジイソシアネート、ジ
フェニルメタントリイソシアネートの如き多官能イソシ
アネート系架橋剤、ポリエチレングリコールジグリシジ
ルエーテルやジグリシジルエーテル、トリメチロールプ
ロパントリグリシジルエーテルの如きエポキシ系架橋
剤、アルキルエーテル化メラミン化合物の如きメラミン
系架橋剤や金属塩系架橋剤、金属キレート系架橋剤やア
ミノ系架橋剤、過酸化物系架橋剤やシラン系カップリン
グ剤の如きカップリング剤系架橋剤などからなる適宜な
架橋剤を配合した粘着剤が好ましく用いられる。
【００３９】また半導体ウエハからなる電子部品を得る
とき、例えば回路パターンを形成した半導体ウエハを裏
面研磨しそれをダイシング処理して半導体チップを得る
ときなどの如く、被着体の汚染防止が特に望まれる場合
には紫外線硬化型、あるいはアクリル系や電子線の如き
放射線による硬化型等の非紫外線硬化型の粘着剤などで
代表される適宜な汚染防止型の粘着剤が好ましく用いら
れる。
とき、例えば回路パターンを形成した半導体ウエハを裏
面研磨しそれをダイシング処理して半導体チップを得る
ときなどの如く、被着体の汚染防止が特に望まれる場合
には紫外線硬化型、あるいはアクリル系や電子線の如き
放射線による硬化型等の非紫外線硬化型の粘着剤などで
代表される適宜な汚染防止型の粘着剤が好ましく用いら
れる。
【００４０】ちなみに前記した紫外線硬化型粘着剤は、
例えば多官能モノマー等の架橋性官能基を有するモノマ
ーを共重合したポリマーを成分とする粘着剤、又は多官
能モノマー等の架橋性低分量化合物を配合した粘着剤等
に、光重合開始剤を配合するなどして紫外線照射により
架橋硬化できるようにしたものであり、その架橋硬化に
て被着体に対する汚染物質の低減をはかると共に、必要
に応じ接着力の低下もはかりうるようにしたものであ
る。
例えば多官能モノマー等の架橋性官能基を有するモノマ
ーを共重合したポリマーを成分とする粘着剤、又は多官
能モノマー等の架橋性低分量化合物を配合した粘着剤等
に、光重合開始剤を配合するなどして紫外線照射により
架橋硬化できるようにしたものであり、その架橋硬化に
て被着体に対する汚染物質の低減をはかると共に、必要
に応じ接着力の低下もはかりうるようにしたものであ
る。
【００４１】用いる紫外線硬化型粘着剤は、その光重合
開始剤としては、例えば４−（２−ヒドロキシエトキ
シ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン
やα−ヒドロキシ−α,α’−ジメチルアセトフェノ
ン、メトキシアセトフェノンや２,２−ジメトキシ−２
−フェニルアセトフェノン、２,２−ジエトキシアセト
フェノンや１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケト
ン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）−フェニ
ル］−２−モルホリノプロパン−１の如きアセトフェノ
ン系開始剤、ベンゾインエチルエーテルやベンゾインイ
ソプロピルエーテル、アニゾインメチルエーテルの如き
ベンゾインエーテル系開始剤、２−メチル−２−ヒドロ
キシプロピオフェノンの如きα−ケトール系化合物、ベ
ンジルジメチルケタールの如きケタール系化合物、２−
ナフタレンスルホニルクロリドの如き芳香族スルホニル
クロリド系化合物、１−フェノン−１，１−プロパンジ
オン−２−（ο−エトキシカルボニル）オキシムの如き
光活性オキシム系化合物、ベンゾフェノンやベンゾイル
安息香酸、３,３'−ジメチル−４−メトキシベンゾフェ
ノンの如きベンゾフェノン系化合物、チオキサンソンや
２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン
や２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオ
キサンソンや２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４
−ジエチルチオキサンソンや２，４−ジイソプロピルチ
オキサンソンの如きチオキサンソン系化合物、その他、
カンファーキノンやハロゲン化ケトン、アシルホスフィ
ノキシドやアシルホスフォナートなどを用いた適宜な紫
外線硬化タイプのものであってよい。
開始剤としては、例えば４−（２−ヒドロキシエトキ
シ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン
やα−ヒドロキシ−α,α’−ジメチルアセトフェノ
ン、メトキシアセトフェノンや２,２−ジメトキシ−２
−フェニルアセトフェノン、２,２−ジエトキシアセト
フェノンや１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケト
ン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）−フェニ
ル］−２−モルホリノプロパン−１の如きアセトフェノ
ン系開始剤、ベンゾインエチルエーテルやベンゾインイ
ソプロピルエーテル、アニゾインメチルエーテルの如き
ベンゾインエーテル系開始剤、２−メチル−２−ヒドロ
キシプロピオフェノンの如きα−ケトール系化合物、ベ
ンジルジメチルケタールの如きケタール系化合物、２−
ナフタレンスルホニルクロリドの如き芳香族スルホニル
クロリド系化合物、１−フェノン−１，１−プロパンジ
オン−２−（ο−エトキシカルボニル）オキシムの如き
光活性オキシム系化合物、ベンゾフェノンやベンゾイル
安息香酸、３,３'−ジメチル−４−メトキシベンゾフェ
ノンの如きベンゾフェノン系化合物、チオキサンソンや
２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン
や２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオ
キサンソンや２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４
−ジエチルチオキサンソンや２，４−ジイソプロピルチ
オキサンソンの如きチオキサンソン系化合物、その他、
カンファーキノンやハロゲン化ケトン、アシルホスフィ
ノキシドやアシルホスフォナートなどを用いた適宜な紫
外線硬化タイプのものであってよい。
【００４２】なお粘着層の形成に用いる粘着剤は、上記
したように例えば可塑剤や充填剤、界面活性剤や老化防
止剤、粘着性付与剤などの適宜な添加剤を配合したもの
であってもよいが、前記の低汚染性が望まれる場合の如
く、かかる添加剤の被着体への転写が問題となる用途に
は、添加剤を配合しない組成の粘着剤とすることもでき
る。
したように例えば可塑剤や充填剤、界面活性剤や老化防
止剤、粘着性付与剤などの適宜な添加剤を配合したもの
であってもよいが、前記の低汚染性が望まれる場合の如
く、かかる添加剤の被着体への転写が問題となる用途に
は、添加剤を配合しない組成の粘着剤とすることもでき
る。
【００４３】粘着層の形成は、例えば液状の粘着剤を熱
膨張性層の上に塗布する方式や、それに準じセパレータ
上に形成した粘着層を熱膨張性層の上に移着する方式な
どの適宜な方式にて行うことができる。粘着層の厚さ
は、粘着シートの使用目的や加熱による接着力の低減性
などに応じて適宜に決定しうる。
膨張性層の上に塗布する方式や、それに準じセパレータ
上に形成した粘着層を熱膨張性層の上に移着する方式な
どの適宜な方式にて行うことができる。粘着層の厚さ
は、粘着シートの使用目的や加熱による接着力の低減性
などに応じて適宜に決定しうる。
【００４４】一般には、粘着層の厚さが薄すぎると接着
力不足や加熱による熱膨張性層の凹凸変形時に凝集破壊
が生じやすくなり、厚すぎると加熱による熱膨張性層の
凹凸変形に追従変形しにくくなるため、その加熱変形時
の凝集破壊の防止性、ひいては被着体汚染物の増大の防
止性や熱膨張性層の凹凸変形への追従性、ひいては被着
体に対する接着力の低下ないし喪失性などの点より、２
０μm以下、就中０．１〜１０μm、特に１〜５μmの粘
着層厚とされる。
力不足や加熱による熱膨張性層の凹凸変形時に凝集破壊
が生じやすくなり、厚すぎると加熱による熱膨張性層の
凹凸変形に追従変形しにくくなるため、その加熱変形時
の凝集破壊の防止性、ひいては被着体汚染物の増大の防
止性や熱膨張性層の凹凸変形への追従性、ひいては被着
体に対する接着力の低下ないし喪失性などの点より、２
０μm以下、就中０．１〜１０μm、特に１〜５μmの粘
着層厚とされる。
【００４５】上記のように本発明による加熱剥離型粘着
シートは、適宜な形態に形成することができる。その場
合、例えば熱膨張性層の片面又は両面に粘着層を有する
形態とすることもできるし、基材の片面に熱膨張性層と
粘着層等を有し、他面に普通の粘着層を有する形態など
とすることもできる。また基材にて支持した形態におい
ても、基材をゴム状有機弾性層又は熱膨張性層より容易
に剥離できる分離タイプのものとすることもできるし、
基材とゴム状有機弾性層又は熱膨張性層とが強接着した
固着タイプのものとすることもできる。
シートは、適宜な形態に形成することができる。その場
合、例えば熱膨張性層の片面又は両面に粘着層を有する
形態とすることもできるし、基材の片面に熱膨張性層と
粘着層等を有し、他面に普通の粘着層を有する形態など
とすることもできる。また基材にて支持した形態におい
ても、基材をゴム状有機弾性層又は熱膨張性層より容易
に剥離できる分離タイプのものとすることもできるし、
基材とゴム状有機弾性層又は熱膨張性層とが強接着した
固着タイプのものとすることもできる。
【００４６】前記した分離タイプの加熱剥離型粘着シー
トは、例えば上記したセパレータや低接着性基材などを
用いて形成でき、また固着タイプの加熱剥離型粘着シー
トは、例えば上記した強接着性基材や表面酸化処理等の
基材などを用いて形成することができる。なお粘着層に
対しては、図１に例示の如くセパレータ４等を仮着して
実用に供するまでの間、汚染による接着力の低下などを
防止することが好ましい。
トは、例えば上記したセパレータや低接着性基材などを
用いて形成でき、また固着タイプの加熱剥離型粘着シー
トは、例えば上記した強接着性基材や表面酸化処理等の
基材などを用いて形成することができる。なお粘着層に
対しては、図１に例示の如くセパレータ４等を仮着して
実用に供するまでの間、汚染による接着力の低下などを
防止することが好ましい。
【００４７】本発明による加熱剥離型粘着シートは、シ
ート状やテープ状やラベル状等の適宜な形態に成形して
被着体の接着などの従来の粘着シートに準じた各種の用
途に用いうるが、任意なときの加熱処理で接着力を低減
して被着体より容易に分離できるものであることより、
その特長を活かして被着体に所定期間接着した後、その
接着状態を解くことが要求される、あるいは望まれる用
途に好ましく用いることができる。被着体については、
特に限定はなく、例えば金属やセラミック、プラスチッ
クや木材、紙などの任意な素材からなるものであってよ
く、接着面も板状や曲面状や繊維状などの任意な形状を
有していてよい。
ート状やテープ状やラベル状等の適宜な形態に成形して
被着体の接着などの従来の粘着シートに準じた各種の用
途に用いうるが、任意なときの加熱処理で接着力を低減
して被着体より容易に分離できるものであることより、
その特長を活かして被着体に所定期間接着した後、その
接着状態を解くことが要求される、あるいは望まれる用
途に好ましく用いることができる。被着体については、
特に限定はなく、例えば金属やセラミック、プラスチッ
クや木材、紙などの任意な素材からなるものであってよ
く、接着面も板状や曲面状や繊維状などの任意な形状を
有していてよい。
【００４８】ちなみに前記用途の例としては、２体以上
の物品、例えばポリマーからなる物品と金属、繊維又は
紙等からなる物品とのリサイクルを目的とした接着複合
物の形成、各種の電気装置又は電子装置やディスプレイ
装置等の組立工程における部品の搬送用や仮止め用等の
キャリヤテープや仮止め材又は固定材、金属板やプラス
チック板、ガラス板等の汚染損傷防止を目的とした表面
保護材やマスキング材などがあげられる。
の物品、例えばポリマーからなる物品と金属、繊維又は
紙等からなる物品とのリサイクルを目的とした接着複合
物の形成、各種の電気装置又は電子装置やディスプレイ
装置等の組立工程における部品の搬送用や仮止め用等の
キャリヤテープや仮止め材又は固定材、金属板やプラス
チック板、ガラス板等の汚染損傷防止を目的とした表面
保護材やマスキング材などがあげられる。
【００４９】特に、本発明にては粘着層を介し接着力等
の粘着特性を使用目的に応じて適宜に設定でき、かつ加
熱による接着力の低減処理に伴う汚染物質、特にミクロ
な汚染物質の増大が少ないことより、半導体ウエハの裏
面研磨処理やダイシング処理の如く、加工時等には強い
接着力で被着体に接着でき、その接着状態を解いた場合
に被着体における汚染の少ないことが望まれる用途に好
ましく用いることができる。
の粘着特性を使用目的に応じて適宜に設定でき、かつ加
熱による接着力の低減処理に伴う汚染物質、特にミクロ
な汚染物質の増大が少ないことより、半導体ウエハの裏
面研磨処理やダイシング処理の如く、加工時等には強い
接着力で被着体に接着でき、その接着状態を解いた場合
に被着体における汚染の少ないことが望まれる用途に好
ましく用いることができる。
【００５０】前記において加熱剥離型粘着シートの接着
力を低減するための加熱処理は、例えばホットプレート
や熱風乾燥機、近赤外線ランプなどの適宜な加熱手段を
介して行うことができる。加熱処理の条件は、被着体の
表面状態や熱膨張性微粒子の種類等による接着面積の減
少性、基材や被着体の耐熱性、熱容量や加熱手段などの
条件により適宜に決定することができる。
力を低減するための加熱処理は、例えばホットプレート
や熱風乾燥機、近赤外線ランプなどの適宜な加熱手段を
介して行うことができる。加熱処理の条件は、被着体の
表面状態や熱膨張性微粒子の種類等による接着面積の減
少性、基材や被着体の耐熱性、熱容量や加熱手段などの
条件により適宜に決定することができる。
【００５１】一般には１００〜２５０℃の温度による、
５〜９０秒間（ホットプレート等）又は１〜１５分間
（熱風乾燥機等）の加熱処理などであるが、これに限定
されない。前記条件による加熱処理にて通例、熱膨張性
微粒子が膨張又は／及び発泡して熱膨張性層が凹凸変形
し、それに追従して粘着層も凹凸変形して接着力が低下
ないし喪失する。
５〜９０秒間（ホットプレート等）又は１〜１５分間
（熱風乾燥機等）の加熱処理などであるが、これに限定
されない。前記条件による加熱処理にて通例、熱膨張性
微粒子が膨張又は／及び発泡して熱膨張性層が凹凸変形
し、それに追従して粘着層も凹凸変形して接着力が低下
ないし喪失する。
【００５２】
【実施例】実施例１ アクリル酸ブチル１００部（重量部、以下同じ）、アク
リロニトリル５部及びアクリル酸ヒドロキシエチル３部
からなるアクリル系共重合体１００部を含むトルエン溶
液にイソシアネート系架橋剤２部を配合したアクリル系
粘着剤Ａに、熱膨張性微小球（マイクロスフェアＦ−５
０Ｄ）３５部を配合し、それを厚さ５０μmのＰＥＴフ
ィルムの片面に塗布し乾燥させて厚さ４０μmの熱膨張
性層を形成し、その上に厚さ３μmの汚染防止型粘着層
を設けて、加熱剥離型粘着シートを得た。
リロニトリル５部及びアクリル酸ヒドロキシエチル３部
からなるアクリル系共重合体１００部を含むトルエン溶
液にイソシアネート系架橋剤２部を配合したアクリル系
粘着剤Ａに、熱膨張性微小球（マイクロスフェアＦ−５
０Ｄ）３５部を配合し、それを厚さ５０μmのＰＥＴフ
ィルムの片面に塗布し乾燥させて厚さ４０μmの熱膨張
性層を形成し、その上に厚さ３μmの汚染防止型粘着層
を設けて、加熱剥離型粘着シートを得た。
【００５３】なお前記の汚染防止型粘着層は、アクリル
酸ブチル５０部、アクリル酸エチル５０部、アクリロニ
トリル１０部及びアクリル酸５部からなるアクリル系共
重合体１００部を含むトルエン溶液にエポキシ系架橋剤
３部を配合したアクリル系粘着剤をセパレータ上に塗布
乾燥して形成し、それを移着することにより設けた。
酸ブチル５０部、アクリル酸エチル５０部、アクリロニ
トリル１０部及びアクリル酸５部からなるアクリル系共
重合体１００部を含むトルエン溶液にエポキシ系架橋剤
３部を配合したアクリル系粘着剤をセパレータ上に塗布
乾燥して形成し、それを移着することにより設けた。
【００５４】実施例２ アクリル酸エチル７０部、アクリル酸ブチル３０部及び
アクリル酸ヒドロキシエチル５部からなるアクリル系共
重合体Ｂ１００部を含むトルエン溶液にイソシアネート
系架橋剤３部を配合したアクリル系粘着剤に、熱膨張性
微小球（マイクロスフェアＦ−３０）３０部を配合し、
それを厚さ２５μmの透明ＰＥＴフィルムの片面に塗布
し乾燥させて厚さ３０μmの熱膨張性層を形成し、その
上に厚さ２μmの汚染防止型で紫外線硬化型の粘着層を
設けて、加熱剥離型粘着シートを得た。
アクリル酸ヒドロキシエチル５部からなるアクリル系共
重合体Ｂ１００部を含むトルエン溶液にイソシアネート
系架橋剤３部を配合したアクリル系粘着剤に、熱膨張性
微小球（マイクロスフェアＦ−３０）３０部を配合し、
それを厚さ２５μmの透明ＰＥＴフィルムの片面に塗布
し乾燥させて厚さ３０μmの熱膨張性層を形成し、その
上に厚さ２μmの汚染防止型で紫外線硬化型の粘着層を
設けて、加熱剥離型粘着シートを得た。
【００５５】なお、前記の汚染防止型で紫外線硬化型の
粘着層は、アクリル系共重合体Ｂ１００部にウレタンア
クリレート１００部と光重合開始剤３部を配合したアク
リル系粘着剤をセパレータ上に塗布乾燥して形成し、そ
れを移着することにより設けた。
粘着層は、アクリル系共重合体Ｂ１００部にウレタンア
クリレート１００部と光重合開始剤３部を配合したアク
リル系粘着剤をセパレータ上に塗布乾燥して形成し、そ
れを移着することにより設けた。
【００５６】比較例１ 熱膨張性層の上に粘着層を設けないほかは実施例１に準
じて加熱剥離型粘着シートを得た。
じて加熱剥離型粘着シートを得た。
【００５７】比較例２ 熱膨張性層の上に粘着層を設けないほかは実施例２に準
じて加熱剥離型粘着シートを得た。
じて加熱剥離型粘着シートを得た。
【００５８】比較例３ アクリル系粘着剤Ａを用い、それに熱膨張性微粒子を配
合せずに単なる粘着層を形成し、かつその上に粘着層を
設けないほかは実施例１に準じて粘着シートを得た。
合せずに単なる粘着層を形成し、かつその上に粘着層を
設けないほかは実施例１に準じて粘着シートを得た。
【００５９】評価試験 接着力 実施例、比較例で得た幅２０mmの（加熱剥離型）粘着シ
ートを、厚さ２５μmのポリエステルフィルム（東レ社
製、ルミラーＳ−１０）に接着し、その１８０度ピール
接着力（剥離速度３００mm／分、２３℃）を調べた。な
お測定は、実施例１及び比較例１，２，３については、
加熱前及び１３０℃の熱風乾燥器中で３分間加熱処理し
た場合、実施例２については、紫外線の照射前かつ加熱
前、空冷式高圧水銀灯（４６ｍＪ／分）による紫外線１
０秒間の照射後（以下同じ）かつ加熱前、紫外線の照射
前かつ１００℃の熱風乾燥器中で３分間の加熱後（以下
同じ）、及び紫外線の照射後かつ加熱後について行っ
た。
ートを、厚さ２５μmのポリエステルフィルム（東レ社
製、ルミラーＳ−１０）に接着し、その１８０度ピール
接着力（剥離速度３００mm／分、２３℃）を調べた。な
お測定は、実施例１及び比較例１，２，３については、
加熱前及び１３０℃の熱風乾燥器中で３分間加熱処理し
た場合、実施例２については、紫外線の照射前かつ加熱
前、空冷式高圧水銀灯（４６ｍＪ／分）による紫外線１
０秒間の照射後（以下同じ）かつ加熱前、紫外線の照射
前かつ１００℃の熱風乾燥器中で３分間の加熱後（以下
同じ）、及び紫外線の照射後かつ加熱後について行っ
た。
【００６０】パーティクル数 実施例、比較例で得た（加熱剥離型）粘着シートを、鏡
面処理した４吋シリコンウエハに接着して１時間放置
後、前記の接着力測定試験に準じ剥離した場合における
ウエハ上のパーティクル数をレーザー表面検査装置にて
調べた。
面処理した４吋シリコンウエハに接着して１時間放置
後、前記の接着力測定試験に準じ剥離した場合における
ウエハ上のパーティクル数をレーザー表面検査装置にて
調べた。
【００６１】前記の結果を実施例１及び比較例１，２，
３については表１に、実施例２については表２に示し
た。 表１ 接着力（gf／20mm） パーティクル数 加熱前 加熱後 加熱前 加熱後 実施例１ ３００ ２ ６５０ ７６０ 比較例１ ３５０ ０ ８００ １００００以上 比較例２ ２８０ ０ ７２０ １００００以上 比較例３ ３１０ ４２０ ８００ ８３０
３については表１に、実施例２については表２に示し
た。 表１ 接着力（gf／20mm） パーティクル数 加熱前 加熱後 加熱前 加熱後 実施例１ ３００ ２ ６５０ ７６０ 比較例１ ３５０ ０ ８００ １００００以上 比較例２ ２８０ ０ ７２０ １００００以上 比較例３ ３１０ ４２０ ８００ ８３０
【００６２】 表２ 実 施 例 ２ 照射前 照射後 照射前 照射後 加熱前 加熱前 加熱後 加熱後 接着力(gf／20mm) １５０ ３０ ９０ ０ パーティクル数 ３００ ２０ ４７００ ４７
【図１】実施例の断面図
【図２】他の実施例の断面図
【符号説明】 １：基材 ２，２１：熱膨張性層 ３，３１：粘着層 ４：セパレータ ５：ゴム状有機弾性層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０９Ｊ 11/08 Ｃ０９Ｊ 11/08 (72)発明者 村田 秋桐 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号日東電 工株式会社内 (72)発明者 有満 幸生 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号日東電 工株式会社内 Ｆターム(参考） 4F100 AH00D AK25 AK27 AK42 AR00A AR00B AR00C BA03 BA04 BA06 BA07 BA10B BA10C BA13 DE01A EH46 GB41 GB90 JA02A JA02D JB14A JK07D JL06 JL13B JL13C JL14 4J004 AA04 AA05 AA06 AA07 AA08 AA10 AA11 AA17 AB01 CA01 CA08 CB01 CB02 CB04 CC02 CC03 DA02 DA04 DA05 DB02 FA05 4J040 CA011 CA071 CA081 CA101 DA141 DC072 DD022 DD072 DF041 DF051 DF052 DF082 DM011 EJ032 HB02 KA03 KA26 LA06 LA08 LA11 MA04 NA20 PA23
Claims (3)
- 【請求項１】 熱膨張性微小球を含有して加熱により膨
張する熱膨張性層の少なくとも片面に非熱膨張性の粘着
層を有することを特徴とする加熱剥離型粘着シート。 - 【請求項２】 請求項１において、熱膨張性層が粘着性
を示して基材により支持されてなり、粘着層が紫外線硬
化型又は非紫外線硬化型の低汚染性のものである加熱剥
離型粘着シート。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、熱膨張性層が
ゴム状有機弾性層と重畳してなる加熱剥離型粘着シー
ト。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11052996A JP2000248240A (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | 加熱剥離型粘着シート |
| SG200001278A SG85698A1 (en) | 1999-03-01 | 2000-02-28 | Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet |
| EP00104169A EP1033393A3 (en) | 1999-03-01 | 2000-02-29 | Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet |
| KR1020000010130A KR20010006722A (ko) | 1999-03-01 | 2000-02-29 | 가열-박리성 감압성 접착제 시이트 |
| US10/123,113 US7214424B2 (en) | 1999-03-01 | 2002-04-17 | Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11052996A JP2000248240A (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | 加熱剥離型粘着シート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000248240A true JP2000248240A (ja) | 2000-09-12 |
Family
ID=12930550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11052996A Pending JP2000248240A (ja) | 1999-03-01 | 1999-03-01 | 加熱剥離型粘着シート |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1033393A3 (ja) |
| JP (1) | JP2000248240A (ja) |
| KR (1) | KR20010006722A (ja) |
| SG (1) | SG85698A1 (ja) |
Cited By (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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