JP2000237760A - 有機性廃水処理方法 - Google Patents

有機性廃水処理方法

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JP2000237760A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 陰イオン界面活性剤が含まれる有機性廃水を
効率的に且つ経済的に処理する。 【解決手段】 陰イオン界面活性剤が含まれる有機性廃
水の処理において、陽イオン性高分子凝集剤を添加した
後、更に無機凝集剤を添加して得た処理水を生物処理す
る。無機凝集剤を添加した処理水はそのまま生物処理す
ることも可能であるが、無機凝集剤の添加により凝集物
(微細フロック)が生じるので、これを分離した後の処
理水を生物処理するのが、生物処理の効率の点では好ま
しい。また、無機凝集剤を添加した後に陰イオン性高分
子凝集剤を添加すると、大きなフロックが得られ、固液
分離が容易となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は有機性廃水の生物学
的処理方法に関し、詳しくは陰イオン界面活性剤を含有
する有機性廃水の生物学的処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、有機性廃水は、活性汚泥法や浸漬
濾床法などの生物学的方法により廃水処理を行ってい
る。半導体デバイス(LSI、VSLI等)やLCDの
製造工程などにはフォトリソグラフィー工程が含まれ、
この工程では、ウェハやガラス基板等の基板上にフォト
レジストの皮膜を形成し、その所定部分に光等を照射
し、現像液で現像することによって微細なパターンを形
成するが、この現像の際にTMAH(テトラメチルアン
モニウムハイドロオキサイド)等のTAAH(テトラア
ルキルアンモニウムハイドロオキサイド)の水溶液が現
像液として使用され、高濃度の有機性廃水が排出され
る。この有機性廃水の処理には、好気性生物処理が行わ
れてきた。最近、陰イオン界面活性剤が0.1〜1.0
重量%程度含まれるTMAH等のTAAHの水溶液も現
像液として使用されるようになり、TAAHの他に陰イ
オン界面活性剤を含む有機性廃水も排出されるようにな
ってきた。陰イオン界面活性剤は細菌に殺菌作用を及ぼ
すことが知られており、従って、これが含まれている有
機性廃水は生物処理ができない。このような有機性廃水
を他の排水や清水で希釈すれば、陰イオン界面活性剤の
殺菌効果が薄れ、生物処理が可能となるが、他の排水が
ない場合には、他の排水での希釈は不可能であり、ま
た、清水での希釈はランニングコストが掛かり、また、
排水量が増える。フェントン酸化などで陰イオン界面活
性剤成分を或る程度酸化した後に生物処理を行うことも
可能であるが、酸化剤や触媒の添加、発生した汚泥の処
理などのためにランニングコストが高くなる。PAC
(ポリ塩化アルミニウム)等の無機凝集剤で凝集沈澱し
た後に上澄水を生物処理することも可能であるが、陰イ
オン界面活性剤は廃水中に溶解しているのでこれを除去
するためには多量の無機凝集剤の添加が必要であり、そ
のためランニングコストが高くなる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、陰イ
オン界面活性剤が含まれる有機性廃水を経済的に処理す
る方法を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、陰イオン界面
活性剤が含まれる有機性廃水の処理において、陽イオン
性高分子凝集剤を添加した後、更に無機凝集剤を添加し
て得た処理水を生物処理することを特徴とする有機性廃
水処理方法を提供するものである。無機凝集剤を添加し
た処理水はそのまま生物処理することも可能であるが、
無機凝集剤の添加により凝集物(微細フロック)が生じ
るので、これを分離した後の処理水を生物処理するの
が、生物処理の効率の点では好ましい。また、無機凝集
剤を添加した後に更に陰イオン性高分子凝集剤を添加す
ると、大きなフロックが得られ、固液分離が容易とな
り、この様にしてフロックを除去した処理水を生物処理
するのが更に好ましい。
【0005】本発明の処理対象である有機性廃水は、陰
イオン界面活性剤を含む限りにおいて、特に限定されな
い。有機性廃水中の陰イオン界面活性剤は、例えば、全
有機物量の0.1〜10重量%の割合で含まれる。前述
のフォトリソグラフィー工程で用いられる陰イオン界面
活性剤含有現像液のアルカリ成分のTAAHとしては、
TMAHの他に、例えば、水酸化テトラエチルアンモニ
ウム、水酸化テトラプロピルアンモニウム、水酸化テト
ラブチルアンモニウム、水酸化メチルトリエチルアンモ
ニウム、水酸化トリメチルエチルアンモニウム、水酸化
ジメチルジエチルアンモニウム、水酸化トリメチル(2
−ヒドロキシエチル)アンモニウム(即ち、コリン)、
水酸化トリエチル(2−ヒドロキシエチル)アンモニウ
ム、水酸化ジメチルジ(2−ヒドロキシエチル)アンモ
ニウム、水酸化ジエチルジ(2−ヒドロキシエチル)ア
ンモニウム、水酸化メチルトリ(2−ヒドロキシエチ
ル)アンモニウム、水酸化エチルトリ(2−ヒドロキシ
エチル)アンモニウム、水酸化テトラ(2−ヒドロキシ
エチル)アンモニウム等を挙げることができる。従っ
て、この現像の際に排出される有機性廃水の本発明の方
法による処理においては、このようなTAAHを生物分
解する。
【0006】陽イオン性高分子凝集剤は、例えば、ポリ
ジメチルジアリルアンモニウムクロライド、ポリエチレ
ンイミン,ジアルキルアミンとエピクロルヒドリンの縮
合物、アルキレンジクロライドとポリアルキレンアミン
との縮合物、ジシアンジアミドとホルムアルデヒドとの
縮合物などが挙げられるが、特にこれらに限定されるも
のではない。陽イオン性高分子凝集剤の分子量は特に限
定されるものではないが、約1000〜100万の範囲
であるのが陰イオン界面活性剤との反応性が良好なこと
から好ましい。陽イオン性高分子凝集剤の添加量は、特
に限定されないが、効果と経済性との観点から、重量基
準で、有機性廃水中の陰イオン界面活性剤濃度の100
分の1から10倍の濃度になる様な範囲の量が好まし
い。
【0007】無機凝集剤は、例えば、PAC(ポリ塩化
アルミニウム)や硫酸アルミニウム、ポリ硫酸第二鉄、
塩化第二鉄などが挙げられるが、特にこれらに限定され
るものではない。無機凝集剤の添加量は、特に限定され
ないが、効果と経済性との観点から、重量基準で、有機
性廃水中の陰イオン界面活性剤濃度の100分の1から
10倍の濃度になる様な範囲の量が好ましい。
【0008】なお、陽イオン性高分子凝集剤と無機凝集
剤との添加は、前者を添加して良く被処理水(有機性廃
水)と混合した後に後者を添加する。凝集時pHは特に
限定されないが、4〜9の範囲が好ましい。
【0009】陰イオン性高分子凝集剤は、例えば、ポリ
アクリル酸塩(NaやK等の塩)、アクリルアミドとア
クリル酸塩(NaやK等の塩)の共重合物等が挙げられ
るが、特にこれらに限定されるものではない。陰イオン
性高分子凝集剤の分子量は、特に限定されるものではな
いが、大きなフロックの生成の容易性の観点から100
万以上であるのが好ましい。陰イオン性高分子凝集剤の
添加量は、特に限定されないが、効果と経済性との観点
から、有機性廃水に対して0.1〜100mg/L
(「リットル」、以下同様)の範囲が好ましい。
【0010】陽イオン性高分子凝集剤の添加後、無機凝
集剤、または、無機凝集剤と陰イオン性高分子凝集剤を
添加した後に生成したフロックの分離手段は、沈澱分
離、浮上分離、濾過などいずれの手段でもよい。
【0011】陰イオン界面活性剤が含まれる有機性廃水
に、陽イオン性高分子凝集剤を添加すると、この陽イオ
ン性高分子凝集剤が陰イオン界面活性剤と結合し、殺菌
効果が減少する。このままでは、不溶化されず殺菌効果
の減少が安定しないので、無機凝集剤を添加することが
必要である。この不溶化した凝集物は固液分離せずに、
残存するTMAH等のTAAHなどの有機物の生物処理
を行ってもよいが、固液分離して得られる処理水を生物
処理するのが、生物処理の効率の点で好ましい。固液分
離せずに生物処理を行うと、凝集物は生物処理されない
にしても、汚泥として除去することができる。上記の不
溶化した凝集物はこのままでは不安定な微細フロックで
あるので、陰イオン性高分子凝集剤を添加してフロック
を粗大化し、固液分離し易くするのが好ましい。
【0012】生物処理の方法は、特に限定されないが、
例えば、好気性の活性汚泥法、浸漬濾床法、また、UA
SB法(「UPFLOW ANAEROBIC SLUDGE BLANKET 」法、即
ち、上向流嫌気性汚泥床法)等の嫌気性処理でもよい。
なお、何れの方法でも、過剰となった汚泥はケーキの形
として除去していくのは、勿論である。
【0013】活性汚泥法は、フロック状の生物性増殖体
(活性汚泥)と処理すべき有機性廃水とを一様に混和・
曝気して処理する方法である。この連続法は、例えば、
有機性廃水を連続的に少なくとも曝気槽、沈澱池の順で
送り、曝気槽での曝気段階の後に沈澱池での固液分離段
階を行い、ここで分離した汚泥の一部を返送して廃水と
混合する方法で、回分法は、有機性廃水の供給を間欠的
に行い、その都度曝気と固液分離を行い、汚泥の一部の
返送を行わない方法である。
【0014】浸漬濾床法は、処理槽内に微生物の着生し
た濾床を設け、被処理水としての有機性廃水を濾床の上
部又は下部から下向流又は上向流で流入させ、その濾床
を有機性廃水中に浸漬させて、上記微生物の働きによっ
て有機性廃水中の有機物等を生物学的に分解除去する有
機性廃水処理方法であり、好気性微生物処理も嫌気性微
生物処理も行えるが、前者の場合は空気等の酸素含有ガ
スや酸素ガスを吹き込んで曝気を行う。浸漬濾床法にお
いて濾床を構成するために用いることができる充填材
(濾材)としては、特に限定されず、例えば、人工石、
砂利、砕石、ラシヒリング、粒状の発泡プラスチック充
填材、比重1以下の粒状の多孔性プラスチック充填材、
円筒網目状プラスチック充填材等を挙げることができ
る。
【0015】UASB法は、処理槽の下部から流入した
被処理水としての有機性廃水を、槽内に保有されている
嫌気性生物汚泥のブランケットに上向流で通水し、該有
機性廃水中の有機物を嫌気性生物学的な反応により生物
汚泥とガスに分解させる有機性廃水処理方法である。
【0016】
【発明の実施の形態】次に、本発明の好ましい実施の形
態を説明するが、本発明がこれらに限定されるものでな
いことは言うまでもない。
【0017】実施形態1 実施形態1では、凝集槽に陰イオン界面活性剤が含まれ
る有機性廃水が流入し、陽イオン性高分子凝集剤と無機
凝集剤がこの順序で添加され、pH調整を行う。その
後、陰イオン性高分子凝集剤が添加される。大きなフロ
ックの生成した処理水は分離槽に送られ、ここでフロッ
クが分離され、フロックが除去された処理水は生物処理
槽に送られ、残存した有機物が生物処理により除去され
る。
【0018】実施形態2 実施形態2では、凝集槽に陰イオン界面活性剤が含まれ
る有機性廃水が流入し、陽イオン性高分子凝集剤と無機
凝集剤がこの順序で添加され、pH調整を行う。微細フ
ロックが含まれる処理水はそのまま生物処理槽に送ら
れ、水中に残存した有機物が生物処理により除去され
る。
【0019】
【実施例】以下、比較例と対比して、実施例により本発
明を説明するが、これらの実施例により本発明が限定さ
れるものでないことは言うまでもない。
【0020】住友ベークライト株式会社製の半導体用現
像液CRS−820(TMAH1〜2重量%、陰イオン
界面活性剤0.1〜1.0重量%)が含まれる有機性廃
水について生物処理実験を行い、該廃水に含まれる有機
物の生物分解性を調べた。生物処理実験は、試料(生物
処理実験に供した原水)300mlに栄養無機元素と緩
衝液と植種物質(種汚泥)を所定量添加し、20℃で5
日間以上培養した。ここで、上記の「所定量」とは、表
1に示す各薬品濃度となる様な、また、種汚泥濃度が約
1000mg/Lとなる様な量である。以下の各表にお
いて、原水のTOCがかなり異なっているが、実験日が
異なるために有機性廃水の水質が変動したもので、特に
意味は無い。
【0021】
【表1】 HPO 0.363g/L KHPO 0.142g/L NaHPO・12HO 0.743g/L NHCl 0.028g/L MgSO・7HO 0.150g/L CaCl・2HO 0.243g/L FeCl・6HO 0.002g/L
【0022】比較例1 上記廃水をそのまま原水として無処理で生物処理実験に
供した。その実験結果を表2に示す。
【0023】
【表2】 原水 処理水 TOC(mg/L) 484 441 TOC除去率(%) − 9 分解日数 − 6
【0024】実施例1 上記廃水に陽イオン性高分子凝集剤オルフロックCL−
602(オルガノ株式会社製、ジアルキルアミンとエピ
クロルヒドリンの縮合物)を50mg/L添加した後
に、無機凝集剤PAC500mg/L、陰イオン性高分
子凝集剤オルフロックOA−23(オルガノ株式会社
製、アクリルアミドとアクリル酸塩の共重合物)を1m
g/L添加し、pH7で凝集処理し、フロックを分離
し、残余の処理水を原水として生物処理実験に供した。
その実験結果を表3に示す。
【0025】
【表3】 原水 処理水 TOC(mg/L) 428 17 TOC除去率(%) − 96 分解日数 − 10
【0026】実施例2 上記廃水に陽イオン性高分子凝集剤オルフロックCL−
602を25mg/L添加した後に、無機凝集剤PAC
100mg/Lを添加して凝集処理し、フロックを残存
させたままの処理水を原水として生物処理実験に供し
た。その実験結果を表4に示す。
【0027】
【表4】 原水 処理水 TOC(mg/L) 241 12 TOC除去率(%) − 95 分解日数 − 5
【0028】比較例2 上記廃水に陽イオン性高分子凝集剤オルフロックCL−
602を50mg/L添加した後に、無機凝集剤の添加
を行わず、陰イオン性高分子凝集剤オルフロックOA−
23を1mg/L添加し、pHを7に調整したが、フロ
ックが生成せず、固液分離は不可能であった。また、そ
の生物処理実験結果も下記表6とほぼ同じ結果で劣った
ものであった。
【0029】比較例3 上記廃水に無機凝集剤PAC500mg/Lを添加した
後、陰イオン性高分子凝集剤オルフロックOA−23を
1mg/L添加し、pH7で凝集処理し、フロックを分
離し、残余の処理水を原水として生物処理実験に供し
た。その実験結果を表5に示す。
【0030】
【表5】 原水 処理水 TOC(mg/L) 428 298 TOC除去率(%) − 30 分解日数 − 10
【0031】比較例4 上記廃水に陽イオン性高分子凝集剤オルフロックCL−
602を25mg/L添加して良く混合した。この処理
水を原水として生物処理実験に供した。その実験結果を
表6に示す。
【0032】
【表6】 原水 処理水 TOC(mg/L) 241 138 TOC除去率(%) − 43 分解日数 − 5
【0033】比較例5 上記廃水に無機凝集剤PACを100mg/L添加して
凝集処理し、フロックを残存させたままの処理水を原水
として生物処理実験に供した。その実験結果を表7に示
す。
【0034】
【表7】 原水 処理水 TOC(mg/L) 241 203 TOC除去率(%) − 16 分解日数 − 5
【0035】凝集剤を一切使わなかった比較例1、無機
凝集剤を使わなかった比較例2と4、陽イオン性高分子
凝集剤を使わなかった比較例3と5に比べ、実施例1と
2においてはTOC除去率が極めて高いことが分かる。
【0036】
【発明の効果】本発明による陰イオン界面活性剤含有有
機性廃水の処理方法によれば、陽イオン性高分子凝集剤
と無機凝集剤の添加によって陰イオン界面活性剤の殺菌
効果を減少させることができるので、生物処理を良好に
行うことができる。本発明による陰イオン界面活性剤含
有有機性廃水の処理方法は、無機凝集剤の添加量が少な
くて済むので、無機凝集剤の添加後、微細フロックを除
去せずにそのまま生物処理しても生物分解への影響が少
なく、このようにした場合は、凝集処理後の固液分離手
段を無くすこともでき、良好な生物処理効率を確保でき
るので、廃水処理設備の設置面積、イニシャルコストと
ランニングコストが著しく減少でき、経済性に優れた方
法である。
フロントページの続き Fターム(参考) 4D003 AA01 BA02 CA03 EA01 EA19 EA22 EA23 EA30 FA06 4D028 AB00 AC01 AC09 4D040 AA14 4D062 BA19 BA21 BB09 BB12 CA07 DA04 DA06 DA13 DA16 DB19 DB23 DB25 DB26 DC07 EA02 EA06 EA14 EA32 EA33 EA35 FA26

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 陰イオン界面活性剤が含まれる有機性廃
    水の処理において、陽イオン性高分子凝集剤を添加した
    後、更に無機凝集剤を添加して得た処理水を生物処理す
    ることを特徴とする有機性廃水処理方法。
  2. 【請求項2】 前記処理水を固液分離して得られる処理
    水を生物処理することを特徴とする請求項1に記載の有
    機性廃水処理方法。
  3. 【請求項3】 前記処理水に更に陰イオン性高分子凝集
    剤を添加し、生成したフロックを分離して得られる処埋
    水を生物処理することを特徴とする請求項1に記載の有
    機性廃水処理方法。
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