JP2000232097A - ウエハ平坦化方法 - Google Patents
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Abstract
定値に維持しながら局部エッチングすることで、ウエハ
の表面粗さの改善を図ったウエハ平坦化方法を提供す
る。 【解決手段】プラズマ発生過程を実行して、ボンベ31
内のSF6ガスをアルミナ放電管2内に供給した後、プ
ラズマ発生器1によってSF6ガスをプラズマ放電し
て、活性種ガスGを生成し、アルミナ放電管2のノズル
部20からシリコンウエハWの表面に局部的に噴射す
る。この状態で、局部エッチング過程を実行して、シリ
コンウエハW表面を平坦化する。このとき、プラズマ放
電部位の略中心からシリコンウエハWの表面までの距離
を活性種ガスG中のイオンの平均自由行程の3000倍
より大きく且つ6000倍より小さい距離に設定する。
これにより、活性種ガスG内のイオンがノズル部20か
ら噴射される前に消滅し、シリコンウエハWの表面がダ
メージを受けることなく、中性ラジカルのみによってエ
ッチングされる。
Description
部を活性種ガスにより局部的にエッチングして平坦化
し、あるいはウエハの相対的に厚い部分を局部的にエッ
チングしてウエハの厚さ分布を均一にするためのウエハ
平坦化方法に関するものである。
を示すための局部エッチング装置の概略断面図である。
図6において、符号100はプラズマ発生器であり、プ
ラズマ発生器100で生成したプラズマ中の活性種ガス
Gを、ノズル部101からシリコンウエハWの表面に噴
射する。シリコンウエハWはステージ120上に載置固
定されており、ステージ120を水平方向に移動させる
ことで、シリコンウエハWの表面のうち規定厚さよりも
相対的に厚い部分(以下、「相対厚部」という)Waを
ノズル部101の真下に導く。そして、活性種ガスGを
ノズル部101から凸状の相対厚部Waに噴射し、相対
厚部Waを局部的にエッチングすることで、シリコンウ
エハWの表面厚さ分布を均一化することにより、シリコ
ンウエハWの表面を平坦化する。
のウエハ平坦化方法では、次のような問題があった。ノ
ズル部101から噴射される活性種ガスG中には中性ラ
ジカルの他にも多数のイオンが含まれており、これらの
イオンもシリコンウエハWに衝突するので、イオンが衝
突した部分が大きなダメージを受ける。この結果、シリ
コンウエハWの表面粗さ(micro-roughness)が大きく
なってしまう。
なされたもので、プラズマ放電部位とウエハ表面との距
離を所定値に維持しながら局部エッチングすることで、
ウエハの表面粗さの改善を図ったウエハ平坦化方法を提
供することを目的とするものである。
に、請求項1の発明に係るウエハ平坦化方法は、放電管
内の所定のガスをプラズマ放電させて活性種ガスを生成
し、この活性種ガスを放電管のノズル部から噴射するプ
ラズマ発生過程と、放電管のノズル部をウエハの表面に
沿って相対的に移動させながら、ウエハの表面に存在す
る相対厚部を、ノズル部から噴射する活性種ガスによっ
て局部的にエッチングする局部エッチング過程とを具備
するウエハ平坦化方法において、所定のガスのプラズマ
放電部位の略中心からウエハの表面までの距離を、活性
種ガス中のイオンが活性種ガス中での衝突の繰り返しや
寿命によって消滅する距離以上の距離であって且つウエ
ハのエッチング深さが略所望値になるような距離に設定
した構成としてある。かかる構成により、プラズマ発生
過程の実行によって、放電管内の所定のガスがプラズマ
放電されて活性種ガスが生成され、この活性種ガスが放
電管のノズル部から噴射される。そして、局部エッチン
グ過程の実行により、放電管のノズル部がウエハの表面
に沿って相対的に移動させられ、ウエハの表面に存在す
る相対厚部がノズル部から噴射する活性種ガスによって
局部的にエッチングされる。この過程をウエハ全面に対
して実行することにより、ウエハの全表面が平坦化され
る。ところで、活性種ガス中には多数のイオンが存在す
る。このため、活性種ガスをウエハに噴き当てると、イ
オンがウエハ表面にダメージを与え、ウエハの表面粗さ
が大きくなってしまう。しかし、この発明では、所定の
ガスのプラズマ放電部位の略中心からウエハの表面まで
の距離を、活性種ガス中のイオンが活性種ガス中での衝
突の繰り返しや寿命で消滅する距離以上の距離に設定し
てあるので、イオンはウエハ表面に至るまでに消滅し、
中性ラジカルのみがウエハ表面に噴き当たることとな
る。かといって、プラズマ放電部位の略中心からウエハ
の表面までの距離が余り大きいと、ウエハに到達する中
性ラジカルの量が減少し、所望のエッチング形状を得る
ことができない。しかし、この発明では、上記距離を活
性種ガスによるウエハのエッチング深さが略所望値にな
るような距離に設定してあるので、所望のエッチング形
状を得ることができる。
その一例として、請求項2の発明は、請求項1に記載の
ウエハ平坦化方法において、所定のガスは、ハロゲン化
合物のガス又はハロゲン化合物を含む混合ガスのいずれ
かであり、プラズマ放電部位の略中心からウエハの表面
までの距離は、活性種ガス中に生じたイオンの平均自由
行程の3000倍より大きく且つ6000倍よりも小さ
い距離である構成とした。その具体例として、請求項3
の発明は、請求項2に記載のウエハ平坦化方法におい
て、ハロゲン化合物は、六フッ化硫黄,四フッ化炭素又
は三フッ化窒素のいずれかである構成とした。
いて図面を参照して説明する。図1は、この発明の一実
施形態に係るウエハ平坦化方法を実行するための局部エ
ッチング装置を示す概略構成図である。図1に示すよう
に、局部エッチング装置は、プラズマ発生器1と、アル
ミナ放電管2と、ガス供給装置3と、X−Y駆動機構5
と、Z駆動機構6とを具備している。
のガスをプラズマ放電させて中性ラジカルを含んだ活性
種ガスGを生成するための器機であり、マイクロ波発振
器10と導波管11とよりなる。マイクロ波発振器10
は、マグネトロンであり、所定周波数のマイクロ波Mを
発振することができる。導波管11は、マイクロ波発振
器10から発振されたマイクロ波Mを伝搬するためのも
ので、アルミナ放電管2に外挿されている。このような
導波管11の左側端内部には、マイクロ波Mを反射して
定在波を形成する反射板(ショートプランジャ)12が
取り付けられている。また、導波管11の中途には、マ
イクロ波Mの位相合わせを行う3スタブチューナ13
と、マイクロ波発振器10に向かう反射マイクロ波Mを
90゜方向(図1の表面方向)に曲げるアイソレータ1
4とが取り付けられている。
0を有した円筒体であり、上端部には、ガス供給装置3
の供給パイプ30が連結されている。ガス供給装置3
は、アルミナ放電管2内にガスを供給するための装置で
あり、SF6(六フッ化硫黄)ガスのボンベ31を有
し、ボンベ31がバルブ32と流量制御器33を介して
供給パイプ30に連結されている。
により、ガス供給装置3からアルミナ放電管2にガスを
供給すると共に、マイクロ波発振器10からマイクロ波
Mを発振すると、アルミナ放電管2内においてプラズマ
放電が行われ、プラズマ放電で生成された活性種ガスG
がノズル部20から噴射される。
ャック40上に配置されると、チャック40の静電気力
で吸着されるようになっている。チャンバー4には、真
空ポンプ41が取り付けられており、この真空ポンプ4
1によってチャンバー4内を真空にすることができる。
また、チャンバー4の上面中央部には、孔42が穿設さ
れ、この孔42を介してアルミナ放電管2のノズル部2
0がチャンバー4内に挿入されている。また、孔42と
アルミナ放電管2との間にはO−リング43が装着さ
れ、孔42とアルミナ放電管2との間が気密に保持され
ている。そして、このような孔42に挿入されたノズル
部20の周囲には、ダクト44が設けられ、真空ポンプ
45の駆動によって、エッチング時の反応生成ガスをチ
ャンバー4外部に排出することができる。
ー4内に配されており、チャック40を下方から支持し
ている。このX−Y駆動機構5は、そのX駆動モータ5
0によってチャック40を図1の左右に移動させ、その
Y駆動モータ51によってチャック40とX駆動モータ
50とを一体に図1の紙面表裏に移動させる。すなわ
ち、このX−Y駆動機構5によって、ノズル部20をシ
リコンウエハWに対して相対的にX−Y方向に移動させ
ることができるZ駆動機構6は、チャンバー4内のX−
Y駆動機構5全体を下方から支持している。このZ駆動
機構6は、そのZ駆動モータ60によって、X−Y駆動
機構5全体を上下に移動させて、ノズル部20の開口2
0aとシリコンウエハW表面との距離を調整することが
できる。
の実施形態のウエハ平坦化方法を実行する方法について
説明する。
てチャンバー4内を所定の低気圧状態にすると共に、Z
駆動機構6を駆動してX−Y駆動機構5全体を上昇さ
せ、シリコンウエハWをノズル部20の開口20aに近
付ける。このとき、図2に示すように、SF6ガスのプ
ラズマ放電部位の略中心PからシリコンウエハWの表面
Wc迄の距離Lを、SF6ガスのプラズマ放電で生成さ
れた活性種ガスG中のイオン(荷電活性種)が、活性種
ガスG中で他のイオン等の粒子等との衝突の繰り返しや
寿命によって消滅する距離に設定する。具体的には、1
Torrの圧力下でSF6ガスをプラズマ放電して生成
した活性種ガスG中のイオンの平均自由行程は約5×1
0−5mであるので、この平均自由行程の3000倍よ
り大きく且つ6000倍より小さい距離、即ち150m
m〜300mmの範囲の距離に設定する。また、シリコ
ンウエハWの表面Wcに吹き当たる活性種ガスGによる
シリコンウエハWのエッチング深さが1秒間当たり0.
1μm以上の範囲の値になるように、上記距離Lを設定
する。
なわち、ガス供給装置3のバルブ32を開き、ボンベ3
1内のSF6ガスを供給パイプ30に流出して、アルミ
ナ放電管2内に供給する。このとき、バルブ32の開度
を調整して、SF6ガスの圧力を所定の圧力に維持する
と共に、流量制御器33によりSF6ガスの流量を30
0SCCMに調整する。
して、マイクロ波発振器10を駆動する。すると、SF
6ガスがマイクロ波Mによってプラズマ放電されて、中
性ラジカルであるF(フッ素)ラジカル(中性活性種)
を含んだ活性種ガスGが生成される。これにより、活性
種ガスGがアルミナ放電管2のノズル部20に案内され
て、ノズル部20の開口20aからシリコンウエハW側
に噴射される。
る。制御コンピュータ49によりX−Y駆動機構5を駆
動し、シリコンウエハWを吸着したチャック40をX−
Y方向にジグザグ状に移動する。すなわち、図3に示す
ように、ノズル部20をシリコンウエハWに対して相対
的にジグザグ状に走査させる。このとき、ノズル部20
のシリコンウエハWに対する相対速度は、相対厚部の厚
さに略反比例するように設定しておく。これにより、図
4に示すように、ノズル部20が非相対厚部Wbの真上
を高速度で移動し、相対厚部Waの上方にくると相対厚
部Waの厚さに応じて速度を下げる。この結果、相対厚
部Waに対するエッチング時間が長くなり、相対厚部W
aが平坦に削られることとなる。このようにして、シリ
コンウエハWの表面全面を順次局部エッチングすること
で、シリコンウエハW表面を平坦化することができる。
て、プラズマ放電部位で生成された活性種ガスG中に
は、多数のイオンA− が含まれる。このため、上記局
部エッチング過程を実行すると、これらのイオンA
−が、フッ素の中性ラジカルF* と共に、アルミナ放
電管2内を開口20a側にダウンフローし、これらのイ
オンA −が開口20aから噴出して、シリコンウエハW
の表面Wcにダメージを与えるおそれがある。しかし、
この実施形態では、プラズマ放電部位の略中心Pからシ
リコンウエハWの表面Wcまでの距離Lを150mm〜
300mmの範囲の距離に設定したので、図5に示すよ
うに、イオンA−がアルミナ放電管2の内壁や他の粒子
Bに衝突する回数が多くなる。このため、イオンA−は
ノズル部20の開口20aから噴射される前に消滅する
こととなる。この結果、直進性に優れしかも衝突で消滅
しない中性ラジカルF*を含み且つイオンA−を含まな
い活性種ガスGのみがシリコンウエハWの表面Wcに噴
射されることとなる。したがって、表面Wcはダメージ
を受けることなく、中性ラジカルF*によってエッチン
グされる。しかも、活性種ガスGによるシリコンウエハ
Wのエッチング深さが1秒間当たり0.1μm以上の値
に設定されているので、高密度の中性ラジカルF*が表
面Wcに噴き当たることになり、所定のエッチングレー
トを確保することができる。
方法によれば、中性ラジカルF*を含み且つイオンA−
を含まない活性種ガスGのみをシリコンウエハWの表面
Wcに噴射することができるので、局部エッチングによ
るシリコンウエハWの表面粗さを小さくすることができ
る。例えば、プラズマ放電部位の略中心Pからシリコン
ウエハWの表面Wcまでの距離Lを150mm〜300
mmの範囲の距離よりも短く即ちノズル部20の開口2
0aを上記実施形態の場合よりも近づけて、局部エッチ
ング過程を実行したところ、シリコンウエハWの表面粗
さが5Å〜10Åであったが、上記距離Lに設定して、
局部エッチング過程を実行すると、シリコンウエハWの
表面粗さが2Å〜3Åになり、表面粗さが非常に向上し
た。
れるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の
変形や変更が可能である。例えば、上記実施形態では、
SF6ガスを用いたが、CF4(四フッ化炭素)ガスやN
F3 (三フッ化窒素)ガスを用いることもできる。ま
た、局部エッチング装置のアルミナ放電管2に単体のS
F6ガス供給する構成としたが、SF6ガスとO2ガス
等、他のガスとの混合ガスをアルミナ放電管2に供給す
る構成とすることもできる。また、CF4と他のガスと
の混合ガスやNF3 と他のガスとの混合ガス等も用いる
ことができる。また、上記実施形態では、放電管とし
て、アルミナ放電管2を用いたが、アルミナ放電管2の
代わりに、石英放電管や窒化アルミニウム放電管を用い
ても同様の効果を得ることができることは勿論である。
また、上記実施形態では、プラズマ発生器として、マイ
クロ波を発振してプラズマを発生するプラズマ発生器1
を用いたが、活性種ガスを生成しうる手段であれば良
く、例えば高周波によってプラズマを発生して活性種ガ
スを生成するプラズマ発生器など各種のプラズマ発生器
を用いることができることは勿論である。
ウエハ平坦化方法によれば、所定のガスのプラズマ放電
部位の略中心からウエハの表面までの距離を、活性種ガ
ス中のイオンが活性種ガス中での衝突の繰り返しで消滅
する距離以上の距離に設定してあるので、イオンはウエ
ハ表面に至るまでに消滅し、中性ラジカルのみがウエハ
表面に噴き当たる。この結果、イオンがウエハ表面に達
することはほとんどなく、中性ラジカルのみがウエハ表
面に達して、そのエッチングに寄与するので、ウエハの
表面粗さが向上する。しかも、上記距離をウエハのエッ
チング深さが略所望値になるような距離に設定してある
ので、所望のエッチング形状を得ることができる。すな
わち、この発明は、所望のエッチング形状を維持しなが
ら、ウエハの表面粗さを改善することができるという優
れた効果がある。
を実行するための局部エッチング装置を示す概略構成図
である。
での距離を説明するための断面図である。
示す平面図である。
図である。
ス供給装置、 5…X−Y駆動機構、 6…Z駆動機
構、 20…ノズル部、 A−…イオン、 F*…中性
ラジカル、 L…プラズマ放電部位の略中心からシリコ
ンウエハの表面迄の距離、 W…シリコンウエハ、 W
c…表面、 Wa…相対厚部。
Claims (3)
- 【請求項1】 放電管内の所定のガスをプラズマ放電さ
せて活性種ガスを生成し、この活性種ガスを放電管のノ
ズル部から噴射するプラズマ発生過程と、上記放電管の
ノズル部を上記ウエハの表面に沿って相対的に移動させ
ながら、ウエハの表面に存在する相対厚部を、ノズル部
から噴射する活性種ガスによって局部的にエッチングす
る局部エッチング過程とを具備するウエハ平坦化方法に
おいて、 上記所定のガスのプラズマ放電部位の略中心から上記ウ
エハの表面までの距離を、上記活性種ガス中のイオンが
活性種ガス中での衝突の繰り返しや寿命によって消滅す
る距離以上の距離であって且つウエハのエッチング深さ
が略所望値になるような距離に設定した、 ことを特徴とするウエハ平坦化方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載のウエハ平坦化方法にお
いて、 上記所定のガスは、ハロゲン化合物のガス又はハロゲン
化合物を含む混合ガスのいずれかであり、 上記プラズマ放電部位の略中心から上記ウエハの表面ま
での距離は、上記活性種ガス中に生じたイオンの平均自
由行程の3000倍より大きく且つ6000倍よりも小
さい距離である、 ことを特徴とするウエハ平坦化方法。 - 【請求項3】 請求項2に記載のウエハ平坦化方法にお
いて、 上記ハロゲン化合物は、六フッ化硫黄,四フッ化炭素又
は三フッ化窒素のいずれかである、 ことを特徴とするウエハ平坦化方法。
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