JP2000229379A - ガラス積層体及びその製造方法 - Google Patents

ガラス積層体及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】熱処理時の熱線反射層(金属層)の劣化が効果
的に防止され、熱処理を施しても低いヘイズ値を有する
ガラス積層体とその製造方法の提供。 【解決手段】ガラス基体10、底部反射防止層11、熱
線反射層15、中央部反射防止層17、熱線反射層1
9、頂部反射防止層21の順に構成され、底部反射防止
層はアルミニウムの窒化物を含む層を有するガラス積層
体とその製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス積層体、特
に太陽光制御フィルタとして適用でき、熱処理工程に耐
え得る、ガラス積層体とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ヨーロッパ特許出願公開第233003
号には、ガラス基板/SnO2底部反射防止層/Al、
Ti、Zn、Zr又はTaの第1金属バリア層/Ag層
/Al、Ti、Zn、Zr又はTaの第2金属バリア層
/SnO2頂部反射防止層、という構成の、スパッタリ
ングにより形成された光学フィルタを有するガラス積層
体が記載されている。この光学フィルタは、可視光領域
においては入射光の大部分を透過しながら、赤外光領域
においては入射光の大部分を遮断するように設計されて
いる。このため、このフィルタは、良好な可視透過性を
保ちつつ、入射太陽光による温度上昇を低減するように
働き、特に自動車の風防ガラスに適している。
【0003】Ag層は、赤外光領域の入射光を反射する
ように働くため、この役割を果たすためには、銀の酸化
物ではなく、金属の銀として維持されていなくてはなら
ない。Ag層を両側から挟んでいる反射防止層は、可視
光領域における反射を低減するように働く。
【0004】第2金属バリア層は、その上のSnO2
射防止層を酸化性雰囲気中でスパッタリングにより形成
する間に、Ag層が酸化されるのを防ぐように働く。こ
のバリア層は、このスパッタリングプロセス中に少なく
とも部分的に酸化される。
【0005】第1金属バリア層の主な役割は、Ag層へ
酸素を到達させずに、このバリア層自身が酸化されるこ
とによって、曲げ加工、強化加工などの熱処理中に、A
g層が酸化されるのを防ぐことである。この熱処理中の
バリア層の酸化は、ガラス積層体の光透過率の上昇を引
き起こす。
【0006】ヨーロッパ特許出願公開第792847号
には、これと同じ原理に基づく、ガラス基板/ZnO反
射防止層/Znバリア層/Ag層/Znバリア層/Zn
O反射防止層/Znバリア層/Ag層/Znバリア層/
ZnO反射防止層、という構成の、熱処理可能な太陽光
制御ガラス積層体が記載されている。各Ag層の下に位
置するZnバリア層は、熱処理中に完全に酸化され、A
g層が酸化されるのを防ぐように働くように意図されて
いる。この分野でよく知られているように、間隔をあけ
て設けられた2層のAg層を有する構成は、Ag層が1
層の場合に比べて、フィルタの選択透過度(可視光に対
する透明性を保ちつつ赤外光の入射を有効に抑制する性
能)を向上させる。
【0007】ヨーロッパ特許出願公開第718250号
には、このタイプの光学フィルタ多層膜において、酸素
拡散に対するバリアとして機能する層を、最も外側の反
射防止層の少なくとも一部として使用することが記載さ
れている。また、バリア層として有効に機能するために
は、10nm以上、好ましくは20nm以上の膜厚が必
要であり、SiO2、SiOxy、SiOxy等のケイ
素化合物、Si34やAlN等の窒化物、SiC、Ti
C、CrC、TaC等の炭化物などを含むことが記載さ
れている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、熱処理時の
熱線反射層(金属層)の劣化が効果的に防止され、熱処
理を施しても低いヘイズ値を有するガラス積層体とその
製造方法の提供を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも、
ガラス基体、底部反射防止層、熱線反射層、頂部反射防
止層、の順に構成された積層体を有するガラス積層体で
あって、底部反射防止層は、アルミニウムの窒化物を含
む層(以下、単にAlN層という)を有することを特徴
とするガラス積層体(第1の態様のガラス積層体)を提
供する。
【0010】本発明はまた、少なくとも、ガラス基体、
底部反射防止層、熱線反射層、中央部反射防止層、熱線
反射層、頂部反射防止層、の順に構成された積層体を有
するガラス積層体であって、底部反射防止層は、AlN
層を有することを特徴とするガラス積層体(第2の態様
のガラス積層体)を提供する。
【0011】本発明における積層体は、ガラス基体と、
その上の反射防止層や熱線反射層からなる積層膜とを含
み、本発明のガラス積層体は該積層体を有する。
【0012】本発明において、底部反射防止層はAlN
層を有するが、その他の反射防止層の材質は特に限定さ
れず、酸化物、窒化物及び炭化物から選ばれる少なくと
も1種からなる膜が用いられる。酸化物としては、例え
ば、Zn、Ti、Sn、Si、Al、Ta及びZrから
選ばれる少なくとも1種の元素の酸化物が挙げられる。
他には、例えば、Al、Ga、Si、Sn等を含む酸化
亜鉛、Snを含む酸化インジウムが挙げられる。
【0013】窒化物としては、例えば、Si、Al及び
Bから選ばれる少なくとも1種以上の元素の窒化物A、
又はZr、Tiいずれかの窒化物と窒化物Aとの混合物
(複合窒化物を含む。)などが挙げられる。また、その
他としては、SiOxy、SiOxy、SiAlxy
SiAlxyz等が挙げられる。反射防止層は、単膜
でもよいし、2種以上の膜が積層された膜でもよい。
【0014】特に、熱線反射層を安定的に、かつ高い結
晶性を有しながら形成できる点で、Znの酸化物膜、又
はSn、Al、Cr、Ti、Si、B、Mg、In及び
Gaから選ばれる少なくとも1種の元素を含むZnの酸
化物膜が好ましい。特に、Al及び/又はTiを含むZ
nの酸化物膜が好ましい。本発明においては、頂部反射
防止層もAlN層を有することが好ましい。
【0015】熱線反射層は、Agのみからなる層、又は
Agを主成分とし、他の金属元素(例えば、Pd、A
u、Cu等)を含む層である。他の金属元素を含む場
合、他の金属元素の含有割合は、Agと他の金属元素の
総量に対して0.3〜10原子%であることが好まし
い。他の金属元素が0.3原子%未満では、Agの安定
化の効果が低下し、また、10原子%を超えても安定化
の効果が低下する。特に、他の金属元素がPdである
と、Ag原子の不動化(すなわちAgのマイグレーショ
ンの低減)を図ることができ、高温下での安定性及び化
学的耐久性に優れた層を形成できる。Pdの含有量が多
くなると、成膜速度が低下し、可視光透過率も低下す
る。また、可視光線と近赤外線との選択遮断性(可視光
線を透過させ近赤外線を遮断する性能)が悪化する傾向
にある。そのため、Pdの含有量は、5.0原子%以下
が適当である。特に、0.3〜2.0原子%が好まし
い。
【0016】本発明のガラス積層体が、熱線反射層を複
数層有する場合には、それぞれの熱線反射層は、同じ組
成でもよいし、異なる組成でもよい。また、熱線反射層
は、複数の層が積層された構造の層でもよい。例えば、
Ag層とPd層とからなる多層構造の層でもよい。
【0017】第1の態様のガラス積層体において、基体
側から順に形成される底部反射防止層、熱線反射層及び
頂部反射防止層の各層の厚さは、それぞれ15〜45n
m、9〜16nm(特に9〜12nm)及び30〜45
nmが適当である。厚さ2mmの無着色ソーダライムガ
ラスをガラス基体として用いた場合、ガラス積層体の熱
処理後の代表的な光学特性としては、約75〜85%の
TLと、約50〜70%のTEが挙げられる。
【0018】第2の態様のガラス積層体において、基体
側から順に形成される底部反射防止層、熱線反射層、中
央部反射防止層、熱線反射層及び頂部反射防止層の各層
の厚さは、それぞれ16〜50nm(特に20〜45n
m)、6.5〜16nm(特に6.5〜12.5n
m)、40〜100nm(特に45〜90nm)、6.
5〜16nm(特に6.5〜12.5nm)及び16〜
50nm(特に20〜45nm)が適当である。厚さ2
mmの無着色ソーダライムガラスをガラス基体として用
いた場合、ガラス積層体の熱処理後の代表的な光学特性
としては、約70〜80%のTLと、約40〜50%の
TEが挙げられる。
【0019】本明細書において、TEは、太陽エネルギ
ー透過率(日射透過率)であり、入射した全太陽光エネ
ルギー(可視光領域及び可視光領域以外の波長の光のエ
ネルギー)に対する、基体を透過した全太陽光エネルギ
ーの割合を示す。また、TLは、光透過率(可視光透過
率)であり、入射した可視光に対する、基体を透過した
可視光の割合を示す。
【0020】本発明におけるガラス積層体においては、
熱線反射層の上に位置するバリア層、及び/又は、熱線
反射層の下に位置するバリア層を有していてもよい。こ
のようなバリア層は、1種又は2種以上の金属を含んで
いてもよく、例えば、金属酸化物、一部が未酸化の酸化
物、金属窒化物又は金属として、形成されていてもよ
い。
【0021】また、本発明において、反射防止層が酸化
物、又は酸窒化物等の酸化物を含む複合化合物からなる
層であって、酸化性ガスを雰囲気中に含む反応性スパッ
タリングによって反射防止層を形成する場合には、熱線
反射層の上に直接、反射防止層を形成すると、熱線反射
層が酸化されて、所要の光学特性及び電気的特性を有す
るガラス積層体が得られなくなるおそれがある。したが
って、バリア層を配設することが好ましい。バリア層
は、通常、一部が未酸化状態で残存しており、熱処理時
に酸化して酸化物となって透明化し、TLが向上する。
【0022】バリア層としては、Ti、Zn、Ta、A
l−Zn、Ti−Zn、SUS(ステンレス鋼)、Z
r、Ni−Cr、Ni、Ni−Ti、Crなどの金属、
該金属の一部が未酸化の酸化物、該金属の窒化物などが
挙げられる。バリア層の厚さは、1〜5nmの範囲が好
ましい。1nmより薄いとバリア層として充分に働か
ず、逆に、5nmより厚いとガラス積層体のTLが低下
する等の不具合が生じるおそれがある。
【0023】また、熱線反射層の直上に配設される反射
防止層が、例えば、Alを含む酸化亜鉛からなる層等の
酸化物層である場合には、同じ金属組成比のAl−Zn
合金からなるバリア層を配設すると、熱線反射層と、反
射防止層との層間接着力が大きくなり、多層構造の層の
耐久性の向上に有効である。また、熱線反射層における
銀の結晶性の観点から、及び耐熱性の観点から、やはり
Al−Zn合金からなるバリア層が好ましい。なお、バ
リア層は、熱線反射層の下に設けられてもよい。
【0024】本明細書において「熱処理可能なガラス積
層体」とは、積層体を有するガラス積層体が、熱処理
(曲げ加工、強化加工など)を経ても、ヘイズ値が0.
5を超えない、好ましくは0.3を超えないように設計
されていることを意味する。
【0025】熱処理は、例えば、1)曲げ加工、2)強
化加工、3)着色セラミックスプリントや銀からなるバ
スバープリントの焼成、4)真空複層ガラスの真空封止
シール加工、5)ウェット法により塗布した低反射層や
防眩層の焼成、などの工程において施される。例えば、
1)曲げ加工や2)強化加工では、大気雰囲気中で57
0〜700℃に加熱される。
【0026】本明細書において「実質的にヘイズのな
い、熱処理されたガラス積層体」とは、熱処理を施され
た後、ヘイズ値が0.5を超えていない(好ましくは
0.3を超えていない)ガラス積層体を意味する。
【0027】熱処理は、例えば、600℃以上で少なく
とも10分間(例えば12分間又は15分間)、620
℃以上で少なくとも10分間(例えば12分間又は15
分間)、又は、640℃以上で少なくとも10分間(例
えば12分間又は15分間)、の工程である。本明細書
において、ヘイズ値は、ASTM D 1003−61
(1988年版)に準じて測定されたものをいう。
【0028】本発明のガラス積層体における各層の形成
には、例えば、蒸着法(熱蒸着又は電子ビーム蒸着)、
液体を熱分解する方法、化学的気相蒸着法、真空蒸着
法、スパッタリング法(特にマグネトロンスパッタリン
グ法)などが用いられる。なかでも、直流マグネトロン
スパッタリング法が好ましい。各層は同一の方法で、又
は異なる方法で成膜できる。
【0029】AlN層としては、純粋なAlN層、実質
的に純粋なAlN層、不純物を含むAlN層、又は、1
種以上のドーパント(例えば、Cr、Si及びTiから
なる群から選ばれる1種以上の元素)を含むAlN層が
挙げられる。ドーパントを含むと、この材料の化学的耐
久性が向上することもある。
【0030】AlN層における純粋なAlNの含有割合
としては、例えば、質量比で約97%である。酸窒化
物、炭窒化物、又は酸化炭化窒化物を含んでいてもよ
い。アルミニウムの窒化物は窒素雰囲気中で、ターゲッ
トをスパッタリングして形成してもよいし、アルゴンと
窒素の混合雰囲気中で、ターゲットをスパッタリングし
て形成してもよい。ターゲットとしては、6061合
金、6066合金、4032合金などが挙げられる。
【0031】底部反射防止層におけるAlN層は、ガラ
ス基体からの酸素の通過を妨げるのに有効であるだけで
なく、特に本発明のガラス積層体が熱処理されたとき、
ガラス基体から積層膜へ拡散して光学特性を劣化させる
可能性のあるナトリウムイオンや他のイオンの通過を妨
げるのにも有効であると考えられる。
【0032】SiO2や Al23は、スパッタリングに
よって形成された積層膜において、ガラス基体からのナ
トリウムイオンの拡散に対して有効であることが知られ
ている。AlN層は、より簡単に、より早く、より経済
的に、スパッタリングによって形成できることに加え
て、ナトリウムイオンと酸素の両方の拡散に対して有効
であると考えられる。さらに、AlN層は、従来の材料
を用いたときに必要とされる幾何学的膜厚よりも薄い幾
何学的膜厚で、前記拡散に対して有効に作用すると考え
られる。
【0033】本発明のガラス積層体が、熱線反射層の下
に位置するバリア層(例えば金属又は一部が未酸化の酸
化物のバリア層)をも有する場合には、底部反射防止層
の一部として、4nm超(例えば約5nm)の幾何学的
膜厚のAlN層を設けることにより、ガラス基体からの
ナトリウムイオンと酸素の拡散を有効に防止する。
【0034】熱線反射層の下に位置するこのようなバリ
ア層がない場合には、底部反射防止層の一部として、5
nm超(好ましくは8nm超、さらには9nm超、例え
ば約10nm)の幾何学的膜厚のAlN層を設けること
により、ガラス基体からのナトリウムイオンと酸素の拡
散を有効に防止する。
【0035】AlN層は19.5nm未満の膜厚であっ
ても良好な結果が得られる。比較的薄い層を用いて、ガ
ラス基体からのイオンと酸素の拡散を防止できること
は、積層膜における他の全ての層についての、材料及び
膜厚の自由度を飛躍的に向上させる。
【0036】AlN層と熱線反射層(特に熱線反射層が
銀又は銀の合金からなる場合)との間に金属酸化物を含
む層を設けると良好な結果が得られる。金属酸化物を含
む層の好ましい例としては、ZnとAlの混合酸化物膜
が挙げられる。酸化亜鉛構造におけるAlの存在が混合
酸化物層の結晶粒成長を抑えると考えられる。原子比A
l/Znは、0.03〜1、特に0.05〜0.25、
さらには0.1〜0.2、またさらには、0.1〜0.
15が好ましい。AlN層が、熱的安定性を与えるにあ
たり比較的薄い層でも有効に働くので、ZnとAlの混
合酸化物膜を比較的厚い層にすることができる。
【0037】AlNは、従来用いられてきた酸化物(例
えばZnOやSnO2等)と比べると、通常のスパッタ
リング技術では、膜形成に長い時間がかかる。AlN層
は、比較的薄い層でもすぐれた熱的安定性を与えること
ができるので、製造工程においてAlN層の形成が生産
の律速となることはない。
【0038】AlN層はまた、例えばSi34と比べ
て、スパッタリングによって膜形成するのに、より経済
的(安価)であり、Si34の形成に必要な不純物混入
や制御の注意を必要としない。
【0039】反射防止層の光学的膜厚(特に頂部反射防
止層の光学的膜厚)は、本発明のガラス積層体の色調を
決めるうえできわめて重要である。反射防止層の一部
が、例えばガラス積層体の熱処理中に酸化されると、反
射防止層にSi34(屈折率は約2)を使用した場合、
Si34は酸化されてSiO2(屈折率は約1.45)
となる可能性があるため、反射防止層の光学的膜厚が変
わる可能性がある。反射防止層が、屈折率が約2.0で
あるアルミニウムの窒化物を有する場合には、この一部
が酸化されてAl23(屈折率は約1.7)となったと
しても、反射防止層の光学的膜厚には、無視できるほど
の影響しか及ぼさないと考えられる。
【0040】本発明において、頂部反射防止層は、10
nm未満の幾何学的膜厚のAlN層を有することが好ま
しい。有効な熱的バリア性能を有する膜厚10nm未満
のAlN層を使用できることは、頂部反射防止層の全体
の構成の選択の自由度を飛躍的に向上させる。AlN層
の膜厚は、5nm以上、特に6nm以上、さらには8n
m以上(例えば約8.5nm)が好ましい。また、9.
5nm以下、特に9nm以下、さらには8.5nm以下
が好ましい。
【0041】熱処理は、ガラス積層体のTLの上昇を引
き起こす可能性がある。TLの上昇は、自動車用の風防
ガラスに用いられるガラス積層体に対して、TLが充分
高いことを保証するうえで都合がよい。TLは、熱処理
中に、絶対値で、例えば、2.5%超、3%超、5%
超、8%超、又は10%超、上昇することがある。
【0042】本発明は、前記のガラス積層体に、570
℃以上の温度で、曲げ加工及び/又は強化加工を施すこ
とを特徴とするガラス積層体の製造方法を提供する。前
記の570℃以上の温度で熱処理(例えば大気雰囲気中
で熱処理)された後のガラス積層体は、ヘイズ値が0.
5未満(好ましくは0.3未満)であることが好まし
い。該製造方法は、例えば、建築用、自動車用や、産業
用の用途に好適な熱処理されたガラス積層体を生産する
のに採用できる。
【0043】
【実施例】本発明の実施例を、図1を参照しながら以下
に説明する。図1は、曲げ加工(又は強化加工)される
前のガラス積層体の模式断面図である。
【0044】「実施例1」図1に、2層の熱線反射層と
してのAg層を有し、熱処理可能な、マグネトロンスパ
ッタリング法によってガラス基体上に形成された、表1
に示すような連続した構成を有する被膜を示す。
【0045】
【表1】
【0046】表1のZnAlOxは、ZnとAlの合金
又は混合物のターゲットを用い、酸素存在下で反応性直
流マグネトロンスパッタリング法で形成された、Znと
Alを含む混合酸化物である。ZnAlOyバリア層は
どれも、完全には酸化されていないバリア層が形成でき
るように、酸素(完全に酸化させるには不充分な量の酸
素)を含むアルゴン雰囲気中で、ZnとAlの合金又は
混合物のターゲットを直流マグネトロンスパッタリング
法で形成された。
【0047】他の手段として、混合酸化物のZnAlO
x層は、酸化亜鉛及びアルミニウムの酸化物の混合物の
ターゲットを、アルゴンガス中又は酸素(完全に酸化さ
せるには不充分な量の酸素)を含むアルゴン雰囲気中で
スパッタリングして形成することもできる。
【0048】バリア層が、他の混合酸化物層(特に隣接
した混合酸化物層)と同じ材料を含んでいると、ターゲ
ットの管理や膜形成状態の制御が容易となる。また、層
間の密着力が上がり、機械的耐久性が向上することがあ
る。
【0049】底部、中央部、及び頂部ZnAlOx反射
防止層各々の酸化状態は必ずしも同一であることを要し
ない。同様に、ZnAlOyバリア層各々の酸化状態も
必ずしも同一であることを要しない。また、原子比Al
/Znの値も、すべての膜において同一であることを要
しない。例えば、バリア層が反射防止層と異なる原子比
Al/Znを有していてもよいし、反射防止層どうしが
互いに異なった原子比Al/Znを有していてもよい。
【0050】各上部バリア層は、その上のZnAlOx
酸化物層を直流マグネトロンスパッタリング法で形成す
る際に、その下のAg層が酸化されるのを防ぐ。これら
のバリア層は、その上の酸化物層を形成する際に酸化が
進むかもしれないが、続いてガラス積層体に対して行わ
れる熱処理においてバリアの役割を果たすために、これ
らのバリア層の一部分は、完全に酸化されていない酸化
物のまま残っていることが好ましい。
【0051】AlN層は6061合金ターゲットを用
い、窒素とアルゴンとの混合ガス雰囲気中で反応性直流
マグネトロンスパッタリング法で形成した。Ag層はA
gターゲットを用い、アルゴン雰囲気中で直流マグネト
ロンスパッタリング法で形成した。ガラス基体として
は、2mm厚のクリアガラスを用いた。
【0052】本実施例のガラス積層体は、自動車用合わ
せ風防ガラスやディスプレイに用いられることを意図さ
れており、表2に示す特性を有する。表中のa*、b
*は、CIE Lab表示における通常入射光での色度の
値である。システムムーン2は光源の種類である。RE
は、入射した全太陽光エネルギー(可視光領域及び可視
光領域以外の波長の光のエネルギー)に対する、基体か
ら反射された全太陽光エネルギーの割合を示す。
【0053】
【表2】
【0054】熱処理によって全てのバリア層が実質的に
完全に酸化され、熱処理後には表3に示すような被膜構
成となっていることが好ましい。
【0055】
【表3】
【0056】部分的に酸化されているAlN層は、Al
Nが熱処理中に部分的に酸化され、AlNとAl23
混合物を含んでいることがある。
【0057】「実施例2」実施例2は、実施例1におけ
る下部バリア層が省かれていること以外は、実施例1と
同様である。本実施例の被膜構成及び膜厚等を表4に示
す。
【0058】
【表4】
【0059】表4のZnAlOxは、ZnとAlの合金
又は混合物のターゲットを用い、酸素存在下で反応性直
流マグネトロンスパッタリング法で形成された、Znと
Alを含む混合酸化物である。ZnAlバリア層はどれ
も、実質的に酸素を含まない不活性雰囲気中で、Znと
Alの合金又は混合物のターゲットを用いて直流マグネ
トロンスパッタリング法で形成された。
【0060】上部バリア層16、20の少なくとも一部
分は、その上の酸化物層の形成中に酸化される。それで
も、これらのバリア層の一部分は、続いてガラス積層体
に対して行われる熱処理においてバリアの役割を果たす
ために、金属状態又は少なくとも完全には酸化されてい
ない酸化物の状態で残っていることが好ましい。
【0061】本実施例のガラス積層体は、自動車用合わ
せ風防ガラスやディスプレイに用いられることを意図さ
れており、表5に示す特性を有する。
【0062】
【表5】
【0063】熱処理によって全てのバリア層が実質的に
完全に酸化され、熱処理後には表6に示すような被膜構
成となっていることが好ましい。
【0064】
【表6】
【0065】「実施例3」被膜構成及び膜厚を表7に示
すように変更した以外は実施例2と同様に行った。
【0066】
【表7】
【0067】上部バリア層16、20の少なくとも一部
分は、その上の酸化物層の形成中に酸化される。それで
も、これらのバリア層の一部分は、続いてガラス積層体
に対して行われる熱処理においてバリアの役割を果たす
ために、金属状態又は少なくとも完全には酸化されてい
ない酸化物の状態で残っていることが好ましい。
【0068】本実施例のガラス積層体は、自動車用合わ
せ風防ガラスやディスプレイに用いられることを意図さ
れており、表8に示す特性を有する。以下の各表中の
「−」は測定しなかったという意である。
【0069】実施例3では、ZnAlOx及びZnAl
バリア層におけるAl/Zn比を0.14とした。64
5℃の高温で14分間という厳しい加熱条件の熱処理を
施しても良好な結果が得られた。
【0070】
【表8】
【0071】「実施例4」被膜構成及び膜厚を表9に示
すように変更した以外は実施例2と同様に行った。
【0072】
【表9】
【0073】上部バリア層16、20の少なくとも一部
分は、その上の酸化物層の形成中に酸化される。それで
も、これらのバリア層の一部分は、続いてガラス積層体
に対して行われる熱処理においてバリアの役割を果たす
ために、金属状態又は少なくとも完全には酸化されてい
ない酸化物の状態で残っていることが好ましい。
【0074】本実施例のガラス積層体は、自動車用合わ
せ風防ガラスやディスプレイに用いられることを意図さ
れており、表10に示す特性を有する。
【0075】実施例4では、ZnAlOx及びZnAl
バリア層におけるAl/Zn比を0.14とした。64
5℃の高温で14分間という厳しい加熱条件の熱処理を
施しても良好な結果が得られた。
【0076】
【表10】
【0077】「実施例5」被膜構成及び膜厚を表11に
示すように変更した以外は実施例2と同様に行った。
【0078】
【表11】
【0079】上部バリア層16、20の少なくとも一部
分は、その上の酸化物層の形成中に酸化される。それで
も、これらのバリア層の一部分は、続いてガラス積層体
に対して行われる熱処理においてバリアの役割を果たす
ために、金属状態又は少なくとも完全には酸化されてい
ない酸化物の状態で残っていることが好ましい。
【0080】本実施例のガラス積層体は、自動車用合わ
せ風防ガラスやディスプレイに用いられることを意図さ
れており、表12に示す特性を有する。実施例5では、
Pdをわずかに添加したAg層を用いることにより、Z
nAlOx及びZnAlバリア層中のAl/Zn比を小
さくした。645℃の高温で14分間という厳しい加熱
条件の熱処理を施しても良好な結果が得られた。
【0081】
【表12】
【0082】本発明においては、必要であれば、他の層
を本発明における積層膜の上、下、又は層間に、付加的
に導入してもよい。各実施例において得られる優れた光
学特性に加えて、各実施例で得られたガラス積層体は、
適当に配置された電気接続子(コネクタ)を付加すれ
ば、例えば、防曇及び/又は防霜機能を果たす自動車の
電気加熱可能な風防ガラスとして使用できる。
【0083】各実施例の色度(a*及びb*)は、ある角
度をもって車体に取り付けられたとき、反射色調がニュ
ートラル(見た目に無色)か、わずかに青味がかるか、
又は、わずかに緑がかるような値であり、特に自動車の
風防ガラスに好適な値である。他の用途、例えば、建築
用の用途には、従来から知られているように、反射防止
層及び/又は熱線反射層の膜厚を調整することにより、
反射色を調整できる。
【0084】本発明のガラス積層体のTLは、求められ
る用途に合うように調整できる。例えば、 1)ヨーロッパ市場向けの自動車用風防ガラスに使用さ
れる場合は、TLは75%超となるように選択される
(ヨーロッパの規則により必要とされている)、 2)日本と米国市場向けの自動車用風防ガラスに使用さ
れる場合は、TLは70%超となるように選択される
(日本と米国の規則により必要とされている)、 3)自動車の前方サイドガラスに使用される場合は、T
Lは70%超となるように選択される(ヨーロッパの規
則により必要とされている)、 4)自動車の後方サイドガラス又はリア窓ガラスに使用
される場合は、TLは約30%と70%の間となるよう
に選択される。
【0085】TLを調整するには、例えば、 1)形成される積層膜の各層の厚さ、特に反射防止層及
び/又は熱線反射層の膜厚を変える、 2)形成される積層膜を着色ガラス基体と組み合わせ
る、 3)形成させる積層膜を、着色されたPVB膜又は他の
合わせ加工用の膜と組み合わせる、などの方法を採用で
きる。
【0086】
【発明の効果】本発明によれば、熱処理時の熱線反射層
(金属層)の劣化が効果的に防止され、熱処理を施して
も低いヘイズ値を有するガラス積層体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガラス積層体の模式断面図。
【符号の説明】
10:ガラス基体 11:底部反射防止層 12:AlN層 13:ZnAlOx(ZnとAlを含む混合酸化物)層 14:下部バリア層 15:熱線反射層 16:上部バリア層 17:中央部反射防止層 18:下部バリア層 19:熱線反射層 20:上部バリア層 21:頂部反射防止層 22:ZnAlOx(ZnとAlを含む混合酸化物)層 23:AlN層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野田 和良 神奈川県愛甲郡愛川町角田426−1 旭硝 子株式会社内 (72)発明者 竹田 諭司 神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150 旭硝 子株式会社内

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも、ガラス基体、底部反射防止
    層、熱線反射層、頂部反射防止層、の順に構成された積
    層体を有するガラス積層体であって、底部反射防止層
    は、アルミニウムの窒化物を含む層を有することを特徴
    とするガラス積層体。
  2. 【請求項2】少なくとも、ガラス基体、底部反射防止
    層、熱線反射層、中央部反射防止層、熱線反射層、頂部
    反射防止層、の順に構成された積層体を有するガラス積
    層体であって、底部反射防止層は、アルミニウムの窒化
    物を含む層を有することを特徴とするガラス積層体。
  3. 【請求項3】アルミニウムの窒化物を含む層は、4nm
    超の幾何学的厚さを有することを特徴とする請求項1又
    は2に記載のガラス積層体。
  4. 【請求項4】アルミニウムの窒化物を含む層は、19.
    5nm未満の幾何学的厚さを有することを特徴とする請
    求項1〜3いずれか1項に記載のガラス積層体。
  5. 【請求項5】頂部反射防止層は、10nm未満の幾何学
    的膜厚のアルミニウムの窒化物を含む層を有することを
    特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載のガラス積
    層体。
  6. 【請求項6】底部反射防止層は、基体に隣接したアルミ
    ニウムの窒化物を含む第1層と、その上の、金属酸化物
    を含む上層とを有することを特徴とする請求項1〜5い
    ずれか1項に記載のガラス積層体。
  7. 【請求項7】頂部反射防止層は、金属酸化物を含む第1
    層と、その上のアルミニウムの窒化物を含む上層とを有
    することを特徴とする請求項1〜6いずれか1項に記載
    のガラス積層体。
  8. 【請求項8】金属酸化物を含む層が、ZnとAlの混合
    酸化物層であることを特徴とする請求項8又は9に記載
    のガラス積層体。
  9. 【請求項9】請求項1〜8いずれか1項に記載のガラス
    積層体に、570℃以上の温度で、曲げ加工及び/又は
    強化加工を施すことを特徴とするガラス積層体の製造方
    法。
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