JP2000229245A5

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Publication number: JP2000229245A5
Application number: JP1999031412A
Authority: JP
Filing date: 1999-02-09
Publication date: 2004-09-24

Description

【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の化学反応デバイスは、基板と、前記基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成された、溶液が導入されるピクセルポットと、前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスと、を備えることを特徴とする。
本構成によれば、反応の制御及び生成物検出を効率よく出来るという効果を有する。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、さらに、前記ピクセルポットの上方に設けられた透明なカバーを備えることを特徴とする。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、さらに、前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、前記サンプリングノズルにより前記溶液が供給される分析機器と、を備えることを特徴とする。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、前記機械的振動膜はピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする化学反応デバイス。
本構成によれば、微小反応ポット内で進む化学反応を効率よく進行でいるという効果を有する。[0005]
[Means for Solving the Problems]
The chemical reaction device according to the present invention comprises a substrate, a mechanical vibrating film and a heating unit formed on the substrate, and a pixel pot formed above the mechanical vibrating film and the heating unit into which a solution is introduced. A light source and a sensor device provided above the pixel pot.
According to this configuration, it is possible to efficiently control the reaction and detect the product.
The chemical reaction device according to the present invention is characterized in that the chemical reaction device further comprises a transparent cover provided above the pixel pot.
In the chemical reaction device according to the present invention, the chemical reaction device further includes a sampling nozzle provided in the pixel pot, and an analyzer to which the solution is supplied by the sampling nozzle. .
In the chemical reaction device according to the present invention, the mechanical vibration film is a piezo thin film composition.
According to this structure, it has the effect that the chemical reaction which advances in a micro reaction pot can be advanced efficiently.

【０００６】
また、本発明の化学反応デバイスは、基板と、前記基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成された、溶液が導入されるピクセルポットと、前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、前記サンプリングノズルにより前記溶液が供給される分析機器と、を備えることを特徴とする。
本構成によれば、それらの化学反応の制御及び生成物検出を効率よく出来るという効果を有する。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、さらに、前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスを備えることを特徴とする。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、さらに、前記ピクセルポットの上方に設けられた透明なカバーを備えることを特徴とする。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、前記機械的振動膜は、ピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする化学反応デバイス。
本構成によれば、微小反応ポット内で進む化学反応を効率よく進行でいるという効果を有する。[0006]
In the chemical reaction device of the present invention, a substrate, a mechanical vibrating membrane and a heating unit formed on the substrate, a pixel formed on the mechanical vibrating membrane and the heating unit, to which a solution is introduced It is characterized by comprising: a pot; a sampling nozzle provided in the pixel pot; and an analyzer to which the solution is supplied by the sampling nozzle.
According to this configuration, there is an effect that the control of the chemical reaction and the product detection can be efficiently performed.
The chemical reaction device of the present invention is characterized in that the chemical reaction device further comprises a light source and a sensor device provided above the pixel pot.
The chemical reaction device according to the present invention is characterized in that the chemical reaction device further comprises a transparent cover provided above the pixel pot.
In the chemical reaction device according to the present invention, the mechanical vibration film is a piezoelectric thin film composition.
According to this structure, it has the effect that the chemical reaction which advances in a micro reaction pot can be advanced efficiently.

【０００７】
また、本発明の生成物検出方法は、基板と、基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成されたピクセルポットと、前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスとを用いて、生成物を検出する生成物検出方法であって、（Ａ）前記ピクセルポットに、複数の原料溶液をそれぞれ複数のインクジェットノズルにより供給する工程と、（Ｂ）前記機械的振動膜を用いて、前記複数の原料溶液を攪拌する工程と、（Ｃ）前記加熱ユニットを用いて、前記攪拌された原料溶液を加熱し、生成物を生成する工程と、（Ｄ）前記光源を用いて、前記ピクセルポットに光を照射する工程と、（Ｅ）前記センサーデバイスを用いて、前記光の反射光を解析する工程と、を備えたことを特徴とする。
本構成によれば、短時間に、効率よく、化学材料を正確に導入する方法を提供し、それらの化学反応の制御及び生成物検出を効率よく出来るという効果を有する。
また、本発明の生成物検出方法は、前記生成物検出方法において、前記（Ａ）の工程の後に、前記ピクセルポットに透明なカバーを密着させる工程を備えることを特徴とする。
また、本発明の生成物検出方法は、前記生成物検出方法において、（Ｃ）の工程の後に、前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルを用いて、前記生成物を採取する工程と、前記サンプリングノズルにより前記採取された生成物が供給される分析機器を用いて、該採取された生成物の成分解析を行う工程と、を備える。[0007]
In the product detection method of the present invention, a substrate, a mechanical vibrating film and a heating unit formed on the substrate, a pixel pot formed above the mechanical vibrating film and the heating unit, and the pixel pot A product detection method for detecting a product using a light source and a sensor device provided above the step, wherein (A) supplying a plurality of raw material solutions to the pixel pot by a plurality of inkjet nozzles, respectively. And (B) stirring the plurality of raw material solutions using the mechanical vibration film, and (C) heating the stirred raw material solution using the heating unit to produce a product. And (D) irradiating the pixel pot with light using the light source, and (E) analyzing the reflected light of the light using the sensor device. And wherein the door.
According to this configuration, it is possible to provide a method for accurately introducing a chemical material efficiently in a short time, and to efficiently control the chemical reaction and detect a product.
In the product detection method of the present invention, the product detection method further comprises the step of bringing a transparent cover into close contact with the pixel pot after the step (A).
In the product detection method of the present invention, in the product detection method, after the step (C), a step of collecting the product using a sampling nozzle provided in the pixel pot, and the sampling Performing component analysis of the collected product using an analysis device to which the collected product is supplied by a nozzle.

【０００８】
また、本発明の生成物検出方法は、基板と、基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成されたピクセルポットと、前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、分析機器とを用いて、生成物を検出する生成物検出方法であって、（Ａ）前記ピクセルポットに、複数の原料溶液をそれぞれ複数のインクジェットノズルにより供給する工程と、（Ｂ）前記機械的振動膜を用いて、前記複数の原料溶液を攪拌する工程と、（Ｃ）前記加熱ユニットを用いて、前記攪拌された原料溶液を加熱し、生成物を生成する工程と、（Ｄ）前記サンプリングノズルを用いて、前記生成物を採取する工程と、（Ｅ）前記サンプリングノズルにより前記採取された生成物が供給される前記分析機器を用いて、該採取された生成物の成分解析を行う工程と、を備えたことを特徴とする。
本構成によれば、短時間に、効率よく、化学材料を正確に導入する方法を提供し、それらの化学反応の制御及び生成物検出を効率よく出来るという効果を有する。
また、本発明の生成物検出方法は、前記生成物検出方法において、前記（Ｃ）の工程の後に、（Ｆ）前記ピクセルポットの上方に設けられた光源を用いて、前記ピクセルポットに光を照射する工程と、（Ｇ）前記ピクセルポットの上方に設けられたセンサーデバイスを用いて、前記光の反射光を解析する工程と、を備えることを特徴とする。
また、本発明の生成物検出方法は、前記生成物検出方法において、前記（Ｃ）の工程と前記（Ｆ）の工程との間に、（Ｈ）前記ピクセルポットに透明なカバーを密着させる工程を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の生成物検出方法は、前記生成物検出方法において、前記機械的振動膜はピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする。
本構成によれば、微小反応ポット内で進む化学反応を効率よく進行でいるという効果を有する。[0008]
In the product detection method of the present invention, a substrate, a mechanical vibrating film and a heating unit formed on the substrate, a pixel pot formed above the mechanical vibrating film and the heating unit, and the pixel pot A product detection method for detecting a product using a sampling nozzle provided in the apparatus and an analysis device, wherein (A) supplying a plurality of raw material solutions to the pixel pot by And (B) stirring the plurality of raw material solutions using the mechanical vibration film, and (C) heating the stirred raw material solution using the heating unit to produce a product. (D) collecting the product using (D) the sampling nozzle; (E) analyzing the supplied product collected by the sampling nozzle. Using vessel, characterized in that and a step of performing component analysis of the harvested product.
According to this configuration, it is possible to provide a method for accurately introducing a chemical material efficiently in a short time, and to efficiently control the chemical reaction and detect a product.
In the product detection method of the present invention, in the product detection method, after the step (C), light is applied to the pixel pot using a light source provided above the pixel pot (F). And (G) analyzing the reflected light of the light using a sensor device provided above the pixel pot.
In the product detection method of the present invention, in the product detection method, (H) a step of bringing a transparent cover into intimate contact with the pixel pot between the step (C) and the step (F). And the like.
Furthermore, the product detection method according to the present invention is characterized in that, in the product detection method, the mechanical vibrating film is a piezo thin film composition.
According to this structure, it has the effect that the chemical reaction which advances in a micro reaction pot can be advanced efficiently.

Claims

基板と、
前記基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、
前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成された、溶液が導入されるピクセルポットと、
前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスと、を備えることを特徴とする化学反応デバイス。A substrate,
A mechanical vibrating film and a heating unit formed on the substrate;
A pixel pot into which a solution is introduced, formed above the mechanical vibrating membrane and the heating unit;
A chemical reaction device comprising: a light source and a sensor device provided above the pixel pot.

請求項１において、さらに、
前記ピクセルポットの上方に設けられた透明なカバーを備えることを特徴とする化学反応デバイス。In claim 1, further,
A chemical reaction device comprising a transparent cover provided above the pixel pot.

請求項１又は２において、さらに、
前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、
前記サンプリングノズルにより前記溶液が供給される分析機器と、を備えることを特徴とする化学反応デバイスIn claim 1 or 2, further,
A sampling nozzle provided in the pixel pot;
A chemical reaction device comprising: an analysis device to which the solution is supplied by the sampling nozzle

請求項１〜３のいずれかにおいて、前記機械的振動膜はピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする化学反応デバイス。The chemical reaction device according to any one of claims 1 to 3, wherein the mechanical vibration film is a piezoelectric thin film composition.

基板と、
前記基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、
前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成された、溶液が導入されるピクセルポットと、
前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、
前記サンプリングノズルにより前記溶液が供給される分析機器と、を備えることを特徴とする化学反応デバイス。A substrate,
A mechanical vibrating film and a heating unit formed on the substrate;
A pixel pot into which a solution is introduced, formed above the mechanical vibrating membrane and the heating unit;
A sampling nozzle provided in the pixel pot;
An analytical instrument to which the solution is supplied by the sampling nozzle.

請求項５において、さらに、
前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスを備えることを特徴とする化学反応デバイス。In claim 5, further,
A chemical reaction device comprising a light source and a sensor device provided above the pixel pot.

請求項６において、さらに、
前記ピクセルポットの上方に設けられた透明なカバーを備えることを特徴とする化学反応デバイス。In claim 6, further,
A chemical reaction device comprising a transparent cover provided above the pixel pot.

請求項5〜7のいずれかにおいて、
前記機械的振動膜は、ピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする化学反応デバイス。In any one of claims 5 to 7,
The chemical reaction device characterized in that the mechanical vibration film is a piezo thin film composition.

基板と、基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成されたピクセルポットと、前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスとを用いて、生成物を検出する生成物検出方法であって、
（Ａ）前記ピクセルポットに、複数の原料溶液をそれぞれ複数のインクジェットノズルにより供給する工程と、
（Ｂ）前記機械的振動膜を用いて、前記複数の原料溶液を攪拌する工程と、
（Ｃ）前記加熱ユニットを用いて、前記攪拌された原料溶液を加熱し、生成物を生成する工程と、
（Ｄ）前記光源を用いて、前記ピクセルポットに光を照射する工程と、
（Ｅ）前記センサーデバイスを用いて、前記光の反射光を解析する工程と、を備えたことを特徴とする生成物検出方法。A substrate, a mechanical vibrating film and a heating unit formed on the substrate, a pixel pot formed above the mechanical vibrating film and the heating unit, a light source and a sensor device provided above the pixel pot A product detection method for detecting a product using
(A) supplying a plurality of raw material solutions to the pixel pot by a plurality of ink jet nozzles, respectively;
(B) stirring the plurality of raw material solutions using the mechanical vibration film;
(C) heating the stirred raw material solution using the heating unit to produce a product;
(D) irradiating light to the pixel pot using the light source;
(E) analyzing the reflected light of the light using the sensor device.

請求項9において、前記（Ａ）の工程の後に、前記ピクセルポットに透明なカバーを密着させる工程を備えることを特徴とする生成物検出方法。The product detection method according to claim 9, further comprising the step of bringing a transparent cover into close contact with the pixel pot after the step (A).

請求項9又は10において、（Ｃ）の工程の後に、
前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルを用いて、前記生成物を採取する工程と、
前記サンプリングノズルにより前記採取された生成物が供給される分析機器を用いて、該採取された生成物の成分解析を行う工程と、を備えることを特徴とする生成物検出方法。In claim 9 or 10, after the step (C),
Collecting the product using a sampling nozzle provided in the pixel pot;
Performing a component analysis of the collected product using an analysis device to which the collected product is supplied by the sampling nozzle.

基板と、基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成されたピクセルポットと、前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、分析機器とを用いて、生成物を検出する生成物検出方法であって、
（Ａ）前記ピクセルポットに、複数の原料溶液をそれぞれ複数のインクジェットノズルにより供給する工程と、
（Ｂ）前記機械的振動膜を用いて、前記複数の原料溶液を攪拌する工程と、
（Ｃ）前記加熱ユニットを用いて、前記攪拌された原料溶液を加熱し、生成物を生成する工程と、
（Ｄ）前記サンプリングノズルを用いて、前記生成物を採取する工程と、
（Ｅ）前記サンプリングノズルにより前記採取された生成物が供給される前記分析機器を用いて、該採取された生成物の成分解析を行う工程と、を備えたことを特徴とする生成物検出方法。A substrate, a mechanical vibrating membrane and a heating unit formed on the substrate, a pixel pot formed above the mechanical vibrating membrane and the heating unit, a sampling nozzle provided in the pixel pot, an analyzer A product detection method for detecting a product using
(A) supplying a plurality of raw material solutions to the pixel pot by a plurality of ink jet nozzles, respectively;
(B) stirring the plurality of raw material solutions using the mechanical vibration film;
(C) heating the stirred raw material solution using the heating unit to produce a product;
(D) collecting the product using the sampling nozzle;
(E) performing a component analysis of the collected product using the analysis device to which the collected product is supplied by the sampling nozzle; .

請求項12において、前記（Ｃ）の工程の後に、
（Ｆ）前記ピクセルポットの上方に設けられた光源を用いて、前記ピクセルポットに光を照射する工程と、
（Ｇ）前記ピクセルポットの上方に設けられたセンサーデバイスを用いて、前記光の反射光を解析する工程と、を備えることを特徴とする生成物検出方法。In claim 12, after the step (C),
(F) irradiating the pixel pot with light using a light source provided above the pixel pot;
(G) analyzing the reflected light of the light using a sensor device provided above the pixel pot.

請求項13において、前記（Ｃ）の工程と前記（Ｆ）の工程との間に、
（Ｈ）前記ピクセルポットに透明なカバーを密着させる工程を備えることを特徴とする生成物検出方法。In Claim 13, between the process of said (C) and the process of said (F),
(H) A product detection method comprising the step of bringing a transparent cover into close contact with the pixel pot.

請求項9〜14のいずれかにおいて、前記機械的振動膜はピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする生成物検出方法。The product detection method according to any one of claims 9 to 14, wherein the mechanical vibration film is a piezoelectric thin film composition.