JP2000228618A - Crystal vibrator - Google Patents
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は中央部に矩形状の溝
を設けた水晶振動子を産業上の技術分野とし、特に引出
電極の延出方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a quartz resonator provided with a rectangular groove in the center thereof as an industrial technical field, and more particularly to a method for extending an extraction electrode.
【０００２】[0002]
【従来の技術】（発明の背景）水晶振動子は周波数安定
度に優れることから、各種の通信機器を含む電子機器に
周波数及び時間の基準源として広く使用されている。近
年では、水晶片（水晶振動子）の中央部に溝を設けて振
動部を薄くし、高周波数化（例えば６００ＭＨｚ帯、厚
み約３μ以下）に対応したものが考えられている（参
照：特開昭６１−３５１４号公報）。2. Description of the Related Art (Background of the Invention) Quartz oscillators are widely used as frequency and time reference sources in electronic devices including various communication devices because of their excellent frequency stability. In recent years, it has been considered to provide a groove in the center of a crystal blank (quartz oscillator) to make the vibrating portion thinner to cope with a higher frequency (for example, a 600 MHz band, and a thickness of about 3 μ or less) (see Special Features). JP-A-61-3514).
【０００３】（従来技術の説明）第５図及び第６図はこ
のような技術を説明する水晶振動子の図である。水晶振
動子は結晶軸（ＸＹＺ）のＸ軸を中心として、主面がＹ
軸からＺ軸方向に約３５゜１５’回転したＡＴカットの
水晶片１からなる。なお、回転した新たな軸をＹ’軸及
びＺ’軸と称している。水晶片１は例えばＺ’軸方向に
長い矩形状に形成され、中央部にはエッチングにより両
主面側から溝２を設けられる。エッチングは水晶片１の
外周部をマスクして例えばフッ酸液中にて処理される。
溝２は水晶片１の外形と同様にＺ’方向に長い矩形状と
する。そして、溝２の底面に励振電極３を形成し、Ｚ’
軸方向となる外周枠壁４の上面に引出電極５を延出す
る。励振電極３及び引出電極５は蒸着により同時に形成
される。そして、水晶片１の外周枠壁４の両端部を例え
ばセラミック容器の底面に導電性接着剤により固着して
構成する（未図示）。(Description of the Prior Art) FIGS. 5 and 6 are views of a quartz oscillator for explaining such a technique. The main surface of the crystal unit is Y-axis around the X-axis of the crystal axis (XYZ).
It consists of an AT-cut crystal blank 1 rotated about 35 15 'from the axis in the Z-axis direction. The rotated new axes are referred to as the Y 'axis and the Z' axis. The crystal blank 1 is formed in, for example, a rectangular shape that is long in the Z′-axis direction, and a groove 2 is provided at the center from both main surfaces by etching. Etching is performed, for example, in a hydrofluoric acid solution using the outer peripheral portion of the crystal blank 1 as a mask.
The groove 2 has a rectangular shape long in the Z ′ direction, similarly to the outer shape of the crystal blank 1. Then, an excitation electrode 3 is formed on the bottom surface of the groove 2 and Z ′
The extraction electrode 5 extends on the upper surface of the outer peripheral frame wall 4 in the axial direction. The excitation electrode 3 and the extraction electrode 5 are formed simultaneously by vapor deposition. Then, both ends of the outer peripheral frame wall 4 of the crystal blank 1 are fixed to, for example, the bottom surface of the ceramic container with a conductive adhesive (not shown).
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】（従来技術の問題点）
しかしながら、上記構成の水晶振動子では、結晶軸の方
向によってエッチング速度が異なる。この場合は、第７
図に示したように、一方の主面では溝２の左側が傾斜面
となって右側が食込面となり、他方の主面は一方の主面
に対して回転対称面（斜対称面）となる「参照：1993 I
EE INTERNATIONAL FREQENCY CONTROL SYMPOSIUM P399〜
406」。[Problems to be Solved by the Invention]
However, in the crystal resonator having the above configuration, the etching rate varies depending on the direction of the crystal axis. In this case, the seventh
As shown in the figure, on one main surface, the left side of the groove 2 is an inclined surface and the right side is a biting surface, and the other main surface is a rotationally symmetric surface (oblique symmetric surface) with respect to the one main surface. See “Ref: 1993 I
EE INTERNATIONAL FREQENCY CONTROL SYMPOSIUM P399〜
406 ".
【０００５】したがって、両主面に形成した励振電極３
の両端側から外周枠壁４の上面に引出電極５を延出させ
た場合、両主面の傾斜面側（斜対称傾斜面側）では引出
電極５は導通を維持する（第８図）。しかし、両主面の
食込面側（斜対称食込面側）では引出電極５は断線する
（第９図）。このことから、引出電極５の電極形成時に
は両主面を確認しなければならず、作業性が悪い問題が
あった。Therefore, the excitation electrodes 3 formed on both main surfaces
When the extraction electrode 5 is extended from both ends to the upper surface of the outer peripheral frame wall 4, the extraction electrode 5 maintains conduction on the inclined surfaces (obliquely symmetric inclined surfaces) of both main surfaces (FIG. 8). However, the extraction electrode 5 is disconnected at the biting surface side (the obliquely symmetric biting surface side) of both main surfaces (FIG. 9). For this reason, at the time of forming the extraction electrode 5, both main surfaces must be confirmed, and there has been a problem that workability is poor.
【０００６】（発明の目的）本発明は引出電極の導通を
確実にして作業性を向上した水晶振動子を提供すること
を目的とする。(Object of the Invention) It is an object of the present invention to provide a crystal resonator having improved workability by ensuring conduction of the extraction electrode.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ軸に直交す
る壁面はいずれも傾斜面となることを確認し、Ｘ軸に直
交する壁面を経て外周枠壁４の上面に引出電極５を延出
したことを基本的な解決手段とする。According to the present invention, it is confirmed that all the wall surfaces orthogonal to the X axis are inclined surfaces, and the extraction electrode 5 is mounted on the upper surface of the outer peripheral frame wall 4 via the wall surface orthogonal to the X axis. The extension is the basic solution.
【０００８】[0008]
【作用】このようなものでは、引出電極５は傾斜面に形
成されるので、断線することがない。In such a case, since the extraction electrode 5 is formed on the inclined surface, there is no disconnection.
【０００９】[0009]
【実施例】第１図は本発明の一実施例を説明する水晶振
動子の図である。なお、前従来例図と同一部分には同番
号を付与してその説明は簡略する。水晶振動子は、前述
したようにＡＴカットとしてＺ’軸方向に長い矩形状の
水晶片１からなり、フッ酸溶液中でのエッチングによ
り、両主面の中央部に各辺をＸ及びＹ’軸とした溝２が
形成される。Ｙ’軸方向での溝２の壁面は前述のように
傾斜面と食込面として、両主面間で斜対称となる。これ
に対し、Ｘ軸方向での壁面は、第２図に示したようにい
ずれも傾斜面として両主面間で斜対称面となった。この
例では、傾斜面は＋Ｘ軸側では６０度となり、−Ｘ軸側
では３０度となった。FIG. 1 is a view of a crystal unit for explaining an embodiment of the present invention. The same parts as those in the prior art are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be simplified. As described above, the crystal unit is formed of a rectangular crystal piece 1 that is long in the Z′-axis direction as an AT cut, and is etched in a hydrofluoric acid solution so that each side is X and Y ′ at the center of both main surfaces. A groove 2 having an axis is formed. As described above, the wall surface of the groove 2 in the Y'-axis direction has an inclined surface and a biting surface, and is obliquely symmetric between the two main surfaces. On the other hand, the wall surfaces in the X-axis direction were both inclined surfaces and were obliquely symmetric between the main surfaces as shown in FIG. In this example, the inclined surface was 60 degrees on the + X axis side and 30 degrees on the -X axis side.
【００１０】このことから、この実施例では、Ｘ軸方向
に直交する互いに反対方向の壁面に向かって励振電極３
から引出電極５を延出する。そして、枠壁側面を這い上
がって枠壁上面に到達させ、例えば両端部に引出電極５
を延出する。For this reason, in this embodiment, the excitation electrode 3 is directed toward the opposite wall surfaces orthogonal to the X-axis direction.
The extraction electrode 5 is extended from. Then, the side surface of the frame wall is crawled up to reach the upper surface of the frame wall.
To extend.
【００１１】このようなものでは、引出電極５をＸ軸方
向の壁面に延出するので、蒸着時の断線を防止して導通
を確実にする。したがって、電極形成時には両主面のい
ずれでもよく、表裏の方向性がないので作業性を向上す
る。In such a case, since the extraction electrode 5 extends to the wall surface in the X-axis direction, disconnection at the time of vapor deposition is prevented and conduction is ensured. Therefore, at the time of forming the electrode, either of the main surfaces may be used, and there is no direction of the front and back, so that the workability is improved.
【００１２】[0012]
【他の事項】上記実施例では、引出電極５は反対方向の
壁面に延出したが、同方向の両側でもよい（第３図）。
また、引出電極５はいずれかの壁面に線的に延出した
が、いずれの壁面にも面的に延出してもよい（第４
図）。また、引出電極５の最終的な延出位置は、実施例
で示した両端部でも、あるいは枠壁上面を利用して一端
部に延出してもよく、これらは一端保持あるいは両端保
持等の保持方法によって適宜変更できる。[Other Matters] In the above embodiment, the extraction electrode 5 extends on the wall surface in the opposite direction, but may be on both sides in the same direction (FIG. 3).
In addition, the extraction electrode 5 linearly extends to any of the wall surfaces, but may also extend to any of the wall surfaces (fourth).
Figure). The final extension position of the extraction electrode 5 may be at both ends shown in the embodiment, or may be extended to one end using the upper surface of the frame wall, and these may be held at one end or at both ends. It can be appropriately changed depending on the method.
【００１３】また、Ｚ’軸方向に長い矩形状の水晶片１
を例として説明したが、例えば円板状、楕円状あるいは
Ｘ軸方向に長い矩形状の水晶片１であってもよく、要は
一辺をＸ軸、他辺をＺ’軸とした矩形状の溝２を両主面
に有する水晶片１であれば適用できる。Further, a rectangular crystal piece 1 long in the Z'-axis direction is provided.
However, for example, it may be a disc-shaped, elliptical or rectangular crystal piece 1 that is long in the X-axis direction. In short, a rectangular crystal piece having one side as the X-axis and the other side as the Z′-axis may be used. Any crystal blank 1 having grooves 2 on both main surfaces can be applied.
【発明の効果】本発明は、Ｘ軸に直交する壁面を経て外
周枠壁の上面に引出電極を延出したので、引出電極の導
通を確実にして作業性を向上した水晶振動子を提供でき
る。According to the present invention, since the extraction electrode extends to the upper surface of the outer peripheral frame wall via the wall surface orthogonal to the X-axis, it is possible to provide a crystal resonator in which the conduction of the extraction electrode is ensured and the workability is improved. .
【図１】本発明の一実施例を説明する水晶振動子の平面
図である。FIG. 1 is a plan view of a crystal unit according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例を説明する水晶振動子の断面
図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a crystal unit explaining one embodiment of the present invention.
【図３】本発明の他の実施例を説明する水晶振動子の平
面図である。FIG. 3 is a plan view of a crystal unit for explaining another embodiment of the present invention.
【図４】本発明の他の実施例を説明する水晶振動子の平
面図である。FIG. 4 is a plan view of a crystal unit for explaining another embodiment of the present invention.
【図５】従来例を説明するＡＴカット水晶振動子の切断
方位図である。FIG. 5 is a cutting azimuth diagram of an AT-cut quartz crystal unit for explaining a conventional example.
【図６】従来例を説明する水晶振動子の図である。FIG. 6 is a view of a quartz oscillator for explaining a conventional example.
【図７】従来例を説明する水晶振動子の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a crystal unit illustrating a conventional example.
【図８】従来例を説明する水晶振動子の断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a crystal unit illustrating a conventional example.
【図９】従来例を説明する水晶振動子の断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of a crystal unit illustrating a conventional example.
１ 水晶片、２ 溝、３ 励振電極、４ 外周枠壁 ５
引出電極．1 crystal blank, 2 groove, 3 excitation electrode, 4 outer frame wall 5
Extraction electrode.
─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１１年２月２５日（１９９９．２．２
５）[Submission date] February 25, 1999 (1999.2.2
5)
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】全図[Correction target item name] All figures
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図１】 FIG.
【図２】 FIG. 2
【図３】 FIG. 3
【図４】 FIG. 4
【図５】 FIG. 5
【図６】 FIG. 6
【図７】 FIG. 7
【図８】 FIG. 8
【図９】 ─────────────────────────────────────────────────────
FIG. 9 ────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１１年５月１８日（１９９９．５．１
８）[Submission date] May 18, 1999 (1999.5.1
8)
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【書類名】 明細書[Document Name] Statement
【発明の名称】 水晶振動子[Title of the Invention] Quartz resonator
【特許請求の範囲】[Claims]
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は中央部に矩形状の溝
を設けた水晶振動子を産業上の技術分野とし、特に引出
電極の延出方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a quartz resonator provided with a rectangular groove in the center thereof as an industrial technical field, and more particularly to a method for extending an extraction electrode.
【０００２】[0002]
【従来の技術】（発明の背景）水晶振動子は周波数安定
度に優れることから、各種の通信機器を含む電子機器に
周波数及び時間の基準源として広く使用されている。近
年では、水晶片（水晶振動子）の中央部に溝を設けて振
動部を薄くし、高周波数化（例えば６００ＭＨｚ帯、厚
み約３μ以下）に対応したものが考えられている（参
照：特開昭６１−３５１４号公報）。2. Description of the Related Art (Background of the Invention) Quartz oscillators are widely used as frequency and time reference sources in electronic devices including various communication devices because of their excellent frequency stability. In recent years, it has been considered to provide a groove in the center of a crystal blank (quartz oscillator) to make the vibrating portion thinner to cope with a higher frequency (for example, a 600 MHz band, and a thickness of about 3 μ or less) (see Special Features). JP-A-61-3514).
【０００３】（従来技術の説明）第５図及び第６図はこ
のような技術を説明する水晶振動子の図である。水晶振
動子は結晶軸（ＸＹＺ）のＸ軸を中心として、主面がＹ
軸からＺ軸方向に約３５゜１５’回転したＡＴカットの
水晶片１からなる。なお、回転した新たな軸をＹ’軸及
びＺ’軸と称している。水晶片１は例えばＺ’軸方向に
長い矩形状に形成され、中央部にはエッチングにより両
主面側から溝２が設けられる。エッチングは水晶片１の
外周部をマスクして例えばフッ酸液中にて処理される。
溝２は水晶片１の外形と同様にＺ’方向に長い矩形状と
する。そして、溝２の底面に励振電極３を形成し、Ｚ’
軸方向となる外周枠壁４の上面に引出電極５を延出す
る。励振電極３及び引出電極５は蒸着により同時に形成
される。そして、水晶片１の外周枠壁４の両端部を例え
ばセラミック容器の底面に導電性接着剤により固着して
構成する（未図示）。(Description of the Prior Art) FIGS. 5 and 6 are views of a quartz oscillator for explaining such a technique. The main surface of the crystal unit is Y-axis around the X-axis of the crystal axis (XYZ).
It consists of an AT-cut crystal blank 1 rotated about 35 ° 15 ′ from the axis in the Z-axis direction. The rotated new axes are referred to as the Y 'axis and the Z' axis. The crystal blank 1 is formed in a rectangular shape that is long in the Z′-axis direction, for example, and a groove 2 is provided at the center from both main surfaces by etching. Etching is performed, for example, in a hydrofluoric acid solution using the outer peripheral portion of the crystal blank 1 as a mask.
The groove 2 has a rectangular shape long in the Z ′ direction, similarly to the outer shape of the crystal blank 1. Then, an excitation electrode 3 is formed on the bottom surface of the groove 2 and Z ′
The extraction electrode 5 extends on the upper surface of the outer peripheral frame wall 4 in the axial direction. The excitation electrode 3 and the extraction electrode 5 are formed simultaneously by vapor deposition. Then, both ends of the outer peripheral frame wall 4 of the crystal blank 1 are fixed to, for example, the bottom surface of the ceramic container with a conductive adhesive (not shown).
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】（従来技術の問題点）
しかしながら、上記構成の水晶振動子では、結晶軸の方
向によってエッチング速度が異なる。この場合は、第７
図に示したように、一方の主面では溝２の左側が傾斜面
となって右側が食込面となり、他方の主面は一方の主面
に対して回転対称面（斜対称面）となる「参照：1993 I
EE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM P397
〜406」。[Problems to be Solved by the Invention]
However, in the crystal resonator having the above configuration, the etching rate varies depending on the direction of the crystal axis. In this case, the seventh
As shown in the figure, on one main surface, the left side of the groove 2 is an inclined surface and the right side is a biting surface, and the other main surface is a rotationally symmetric surface (oblique symmetric surface) with respect to the one main surface. See “Ref: 1993 I
EE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM P397
~ 406 ".
【０００５】したがって、両主面に形成した励振電極３
の両端側から外周枠壁４の上面に引出電極５を延出させ
た場合、両主面の傾斜面側（斜対称傾斜面側）では引出
電極５は導通を維持する（第８図）。しかし、両主面の
食込面側（斜対称食込面側）では引出電極５は断線する
（第９図）。このことから、引出電極５の電極形成時に
は両主面を確認しなければならず、作業性が悪い問題が
あった。Therefore, the excitation electrodes 3 formed on both main surfaces
When the extraction electrode 5 is extended from both ends to the upper surface of the outer peripheral frame wall 4, the extraction electrode 5 maintains conduction on the inclined surfaces (obliquely symmetric inclined surfaces) of both main surfaces (FIG. 8). However, the extraction electrode 5 is disconnected at the biting surface side (the obliquely symmetric biting surface side) of both main surfaces (FIG. 9). For this reason, at the time of forming the extraction electrode 5, both main surfaces must be confirmed, and there has been a problem that workability is poor.
【０００６】（発明の目的）本発明は引出電極の導通を
確実にして作業性を向上した水晶振動子を提供すること
を目的とする。(Object of the Invention) It is an object of the present invention to provide a crystal resonator having improved workability by ensuring conduction of the extraction electrode.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ軸に直交す
る壁面はいずれも傾斜面となることを確認し、Ｘ軸に直
交する壁面を経て外周枠壁４の上面に引出電極５を延出
したことを基本的な解決手段とする。According to the present invention, it is confirmed that all the wall surfaces orthogonal to the X axis are inclined surfaces, and the extraction electrode 5 is mounted on the upper surface of the outer peripheral frame wall 4 via the wall surface orthogonal to the X axis. The extension is the basic solution.
【０００８】[0008]
【作用】このようなものでは、引出電極５は傾斜面に形
成されるので、断線することがない。In such a case, since the extraction electrode 5 is formed on the inclined surface, there is no disconnection.
【０００９】[0009]
【実施例】第１図は本発明の一実施例を説明する水晶振
動子の図である。なお、前従来例図と同一部分には同番
号を付与してその説明は簡略する。水晶振動子は、前述
したようにＡＴカットとしてＺ’軸方向に長い矩形状の
水晶片１からなり、フッ酸溶液中でのエッチングによ
り、両主面の中央部に各辺をＸ及びＹ’軸とした溝２が
形成される。Ｙ’軸方向での溝２の壁面は前述のように
傾斜面と食込面として、両主面間で斜対称となる。これ
に対し、Ｘ軸方向での壁面は、第２図に示したようにい
ずれも傾斜面として両主面間で斜対称面となった。この
例では、傾斜面は＋Ｘ軸側では６０度となり、−Ｘ軸側
では３０度となった。FIG. 1 is a view of a crystal unit for explaining an embodiment of the present invention. The same parts as those in the prior art are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be simplified. As described above, the crystal unit is formed of a rectangular crystal piece 1 that is long in the Z′-axis direction as an AT cut, and is etched in a hydrofluoric acid solution so that each side is X and Y ′ at the center of both main surfaces. A groove 2 having an axis is formed. As described above, the wall surface of the groove 2 in the Y'-axis direction has an inclined surface and a biting surface, and is obliquely symmetric between the two main surfaces. On the other hand, as shown in FIG. 2, the wall surfaces in the X-axis direction were both inclined surfaces and were obliquely symmetric between the two main surfaces. In this example, the inclined surface was 60 degrees on the + X axis side and 30 degrees on the -X axis side.
【００１０】このことから、この実施例では、Ｘ軸方向
に直交する互いに反対方向の壁面に向かって励振電極３
から引出電極５を延出する。そして、枠壁側面を這い上
がって枠壁上面に到達させ、例えば両端部に引出電極５
を延出する。For this reason, in this embodiment, the excitation electrode 3 is directed toward the opposite wall surfaces orthogonal to the X-axis direction.
The extraction electrode 5 is extended from. Then, the side surface of the frame wall is crawled up to reach the upper surface of the frame wall.
To extend.
【００１１】このようなものでは、引出電極５をＸ軸方
向の壁面に延出するので、蒸着時の断線を防止して導通
を確実にする。したがって、電極形成時には両主面のい
ずれでもよく、表裏の方向性がないので作業性を向上す
る。In such a case, since the extraction electrode 5 extends to the wall surface in the X-axis direction, disconnection at the time of vapor deposition is prevented and conduction is ensured. Therefore, at the time of forming the electrode, either of the main surfaces may be used, and there is no direction of the front and back, so that the workability is improved.
【００１２】[0012]
【他の事項】上記実施例では、引出電極５は反対方向の
壁面に延出したが、同方向の両側でもよい（第３図）。
また、引出電極５はいずれかの壁面に線的に延出した
が、いずれの壁面にも面的に延出してもよい（第４
図）。また、引出電極５の最終的な延出位置は、実施例
で示した両端部でも、あるいは枠壁上面を利用して一端
部に延出してもよく、これらは一端保持あるいは両端保
持等の保持方法によって適宜変更できる。[Other Matters] In the above embodiment, the extraction electrode 5 extends on the wall surface in the opposite direction, but may be on both sides in the same direction (FIG. 3).
In addition, the extraction electrode 5 linearly extends to any of the wall surfaces, but may also extend to any of the wall surfaces (fourth).
Figure). The final extension position of the extraction electrode 5 may be at both ends shown in the embodiment, or may be extended to one end using the upper surface of the frame wall, and these may be held at one end or at both ends. It can be appropriately changed depending on the method.
【００１３】また、Ｚ’軸方向に長い矩形状の水晶片１
を例として説明したが、例えば円板状、楕円状あるいは
Ｘ軸方向に長い矩形状の水晶片１であってもよく、要は
一辺をＸ軸、他辺をＺ’軸とした矩形状の溝２を両主面
に有する水晶片１であれば適用できる。Further, a rectangular crystal piece 1 long in the Z'-axis direction is provided.
However, for example, it may be a disc-shaped, elliptical or rectangular crystal piece 1 that is long in the X-axis direction. In short, a rectangular crystal piece having one side as the X-axis and the other side as the Z′-axis may be used. Any crystal blank 1 having grooves 2 on both main surfaces can be applied.
【発明の効果】本発明は、Ｘ軸に直交する壁面を経て外
周枠壁の上面に引出電極を延出したので、引出電極の導
通を確実にして作業性を向上した水晶振動子を提供でき
る。According to the present invention, since the extraction electrode extends to the upper surface of the outer peripheral frame wall via the wall surface orthogonal to the X-axis, it is possible to provide a crystal resonator in which the conduction of the extraction electrode is ensured and the workability is improved. .
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明の一実施例を説明する水晶振動子の平面
図である。FIG. 1 is a plan view of a crystal unit according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例を説明する水晶振動子の断面
図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a crystal unit explaining one embodiment of the present invention.
【図３】本発明の他の実施例を説明する水晶振動子の平
面図である。FIG. 3 is a plan view of a crystal unit for explaining another embodiment of the present invention.
【図４】本発明の他の実施例を説明する水晶振動子の平
面図である。FIG. 4 is a plan view of a crystal unit for explaining another embodiment of the present invention.
【図５】従来例を説明するＡＴカット水晶振動子の切断
方位図である。FIG. 5 is a cutting azimuth diagram of an AT-cut quartz crystal unit for explaining a conventional example.
【図６】従来例を説明する水晶振動子の図である。FIG. 6 is a view of a quartz oscillator for explaining a conventional example.
【図７】従来例を説明する水晶振動子の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a crystal unit illustrating a conventional example.
【図８】従来例を説明する水晶振動子の断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a crystal unit illustrating a conventional example.
【図９】従来例を説明する水晶振動子の断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of a crystal unit illustrating a conventional example.
【符号の説明】 １ 水晶片、２ 溝、３ 励振電極、４ 外周枠壁 ５
引出電極．[Description of Signs] 1 crystal blank, 2 grooves, 3 excitation electrodes, 4 outer peripheral frame wall 5
Extraction electrode.
【手続補正２】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】全図[Correction target item name] All figures
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図１】 FIG.
【図２】 FIG. 2
【図３】 FIG. 3
【図４】 FIG. 4
【図５】 FIG. 5
【図６】 FIG. 6
【図７】 FIG. 7
【図８】 FIG. 8
【図９】 FIG. 9
Claims (1)
Ｘ軸及びＹ’軸を各辺とした矩形状の溝を形成し、前記
溝の底面に励振電極を設けて引出電極を外周壁枠の上面
に延出したＡＴカットの水晶振動子において、前記引出
電極は結晶軸（ＸＹ’Ｚ’）の少なくともＸ軸に直交す
る壁面を経て前記外周壁枠の上面に延出したことを特徴
とする水晶振動子。1. A rectangular groove having the X-axis and the Y'-axis of a crystal axis (XY'Z ') at each side in the center of both main surfaces, and an excitation electrode is provided on the bottom surface of the groove. In an AT-cut crystal resonator in which an extraction electrode extends on the upper surface of the outer peripheral wall frame, the extraction electrode extends on the upper surface of the outer peripheral wall frame via at least a wall surface orthogonal to the X axis of the crystal axis (XY'Z '). A quartz oscillator characterized by being put out.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP11029459A JP2000228618A (en) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | Crystal vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|
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Family
ID=12276697
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP11029459A Pending JP2000228618A (en) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | Crystal vibrator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000228618A (en) |
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|---|---|---|---|---|
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-
1999
- 1999-02-08 JP JP11029459A patent/JP2000228618A/en active Pending
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