JP2000225331A - エアロック - Google Patents
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Abstract
すると同時に、基材のストリップの連続的な通過に対し
て最高の空気の気密性を可能にするエアロックを提供す
ることにある。 【解決手段】 基材のストリップを真空チャンバーの中
に導入し、その中を連続的に通過させるエアロックが、
ストリップの移動の方向に連続した少なくとも3つのロ
ーラーを含む包囲体を有し、該ローラーの間に前記スト
リップ用の通路が作られ、第1及び第3のローラーがこ
の通路の一方の側に配置され、第2のローラーがこの通
路の反対側に配置され、更に、本質的に気密の領域が、
ストリップと、第1及び第3のローラーとの間に形成さ
れ、かつ真空ポンプに連結され、ストリップをローラー
に当たる圧力を調整するための手段を備える。
Description
な基材のストリップを、移動の方向に従って真空チャン
バーの中に導入し、且つそれを真空チャンバーの中に連
続的に通すためのエアロックに関し、該エアロックは、
平行軸線を中心に回転することができるローラーを取付
けた包囲体を有し、前記ストリップはローラーの間を移
動することができる。
に整合したエアロックを開示する。その密封は、ストリ
ップとほとんど接触している僅かな隙間をもってシュー
を配置することによって達成される。ストリップは、1
80゜の角度に亘ってローラーの各々と接触して配置さ
れる。この装置は、多くの空間を取る欠点をもつ。加え
て、チャンバー間の気密性を保証するためにローラーの
各々の両側にシューが存在することにより、装置を比較
的複雑にする。大きな接触角により、ローラー間の通路
に新しいストリップを付与するのが難しい。
角度に亘ってローラーの各々と接触していエアロックを
開示する。領域間の気密性はシューの存在によって再び
保証される。従って、この装置も又、US 3,868,106の欠
点をもつ。
は、最小のサイズと、基材のストリップの連続的な通過
に対して最大の気密性を同時に達成することを可能にす
るエアロックを提供することにある。
れば、前記包囲体は、ストリップの移動方向に延び、か
つ、間にストリップ用の通路がある少なくとも3つの連
続したローラーを含み、第1及び第3のローラーはこの
通路の一方の側に配置され、第2のローラーは前記2つ
のローラーに対して、この通路の反対側に配置され、更
に、前記通路を移動するストリップと第1及び第3のロ
ーラーとの間に本質的に気密の領域を形成させる手段を
含み、この領域は真空ポンプに連結され、ストリップが
これらローラーに当たる圧力を調整するための他の手段
が設けられる。
図面を参照して、限定的でない例示の仕方によって、以
下の本発明によるエアロックの2つの特定の実施形態の
説明から明らかになるだろう。
じ要素又は同様な要素を参照する。
特に、鋼シートが連続的に通過する真空チャンバーの入
口の上流及び出口の下流に配置されるようにしたエアロ
ックに関する。
に維持されなければならない真空の強さに従って、等し
くても良いし、異なっていても良い。
かつ互いに平行に延びる軸線を中心に自由に回転するこ
とができるローラーが、これらのエアロックの各々に取
付けられる。
ップの移動方向に互いにずらされていることによって特
徴づけられる。
プの移動方向にずらされた少なくとも3つの連続したロ
ーラーを含み、その間にストリップ用の通路がある。
の側に、即ちローラーを通って移動するストリップの一
方の側に配置され、第2のローラーはこの通路の反対側
に、即ち前記2つのローラーに対してストリップの反対
側に配置され、これにより、このストリップと、第1及
び第3のローラーとの間に本質的に気密な領域を形成す
る。
域は真空ポンプに連結され、この領域とその周囲との間
の圧力差に応じて、ストリップがローラーに当たる圧力
を調整するための手段を設ける。
第1の特定の実施形態を概略的に示す。
面体ボックス1を有し、その中に水平かつ平行な軸線を
水平方向のずれをもって配置した3つのローラー2a、
2b及び2cが、連続シート3を案内する通路9を2つ
の連続したローラーの間に形成するように配置される。
配置され、一方、中間のローラー2bは2つのローラー
2a及び2cの間で、この通路の下に配置される。かく
してこれら3つのローラーは、連続したローラー、即
ち、矢印16で指示されたストリップ3の移動方向にず
らされたローラーを形成する。ローラー2a及び2cは
第1ローラー列に属し、一方、ローラー2bは第2ロー
ラー列に属する。かくして、領域6がこれらローラー
と、ボックス1の側壁11及び12と、ストリップ3と
の間に形成される。この領域の気密は、ボックス1の側
壁11及び12と、ローラー2a、2b及び2cとの間
の隙間を最小にすることによって、又ローラーの円筒壁
と、ボックス1の上壁13及び下壁14との間の密封部
材4によって確保される。密封部材は、特に、テフロン
製であるが、例えば、金属製であっても良い。少なくと
も0.2mmの隙間がローラーと密封部材との間に設け
られる。シート3は、これらローラーの円筒面の一部に
所定の圧力を付与して走行することによって、2つの連
続したローラー間に主な気密性をもたらす。
側壁とボックスの側壁11及び12との間に残るスロッ
ト8で起る。
端面15と、ボックス1の側壁11及び12との間の漏
れを最小に維持するために、これらローラーは、これら
ローラー2の両端の内部に配置された軸受7を中心に回
転できるように取付けられる。
に、この領域6は、ボックス1の頂壁13に作られた開
口5によって真空ポンプ(図示せず)に連結される。
形態では、ローラー2bの軸受7は、側壁11及び12
内で僅かに鉛直移動することができるように取付けられ
る。このローラー2bの円筒面と共同し、かつ矢印10
によって示すように、ボックス1の下壁14の中で鉛直
方向に摺動できるように取付けられた密封部材4にも、
同様のことが当てはまる。摺動する密封部材4'が、気
密性を保証するために、ボックス1の下壁14とほぼ接
触していることに注目すべきである。かくして、金属シ
ート3の厚さに依存して、2つの連続するローラーの間
の距離を、従って、これらローラーの間の通路9の断面
を容易に調整することができる。
しい、ローラー2a、2b及び2cの直径は、金属シー
ト3の塑性変形を引起こさない位大きい。有利には、厚
さ1mmの金属シートに対して、この直径は少なくとも
600mmである。
この領域の気密性を確保するのに役立つ金属シートとロ
ーラーとの間の接触圧力が、少なくとも、この領域内で
得られる圧力とその周囲の圧力との間の圧力差を釣り合
わせなければならないことが重要である。従って、50
0mbarの圧力差、600mmの直径のローラー、1
m幅のストリップに対して、矢印16で指示した移動方
向に金属ストリップに及ぼすべき張力は、有利には、少
なくとも3000kgであり、これは厚さ1mmの金属
シートに対して3kg/mm2の張力に相当する。そう
すると、同じ幅で厚さ0.5mmの金属シートに対して
は、張力は、6kg/mm2になる。最大張力が、例え
ば6kg/mm2に制限されるならば、厚さ0.25m
mの金属シートは最大圧力差250mbarまでの気密
性を提供するだろう。
g となる。
施形態に関し、それは、ボックス1が、その中にストリ
ップ3の一方の側と他方の側に交互に配置された5つの
連続したローラーを設けることによって得られる連続し
た3つの本質的な気密領域6a、6b及び6cを含む点
で前記の実施形態と異なる。ローラー2a、2c及び2
eは第1ローラー列に属し、一方、2b、2dは第2ロ
ーラー列に属する。
載したように、最大張力が、例えば、6kg/mm2に
制限されたならば、厚さ0.25mmの金属シートは、
この第2の実施形態の連続する2つの領域の間の、25
0mbarに制限された最大圧力差までだけで、所望の
気密性を提供する。これはボックス内に2つの追加の領
域があるためであり、そして、これはストリップの一方
の側及び他方の側で交互に延びる連続したローラーの数
を増やすことによって得られものであることを指示す
る。
たエアロックの実施形態に限定されないことが明確に理
解される。特に、ローラーの数、ローラーの相対的配置
及び2つの連続するローラーの間の距離を調整するため
に設けられる任意の手段、及びボックスの壁とローラー
との間の気密性を確保するために設ける手段について、
他の変更を考えることができる。
の幅に比べて比較的大きいとき、金属シートの横縁の両
側の、2つの連続するローラーの間のスロット8に配置
される追加の密封手段を設けることが、ある場合、有益
であろう。
態の長手方向断面の略図である。
態の、図1と類似の断面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 金属シートのような基材のストリップ
を、移動の方向に従って真空チャンバーの中に導入し、
且つそれを真空チャンバーの中に連続的に通すためのエ
アロックにおいて、 a)壁を有する包囲体と、 b)包囲体内に取付けられた少なくとも2つのローラー
からなる第1ローラー列と、を有し、該第1ローラー列
のローラーは、平行軸線を中心に回転することができ、
かつストリップはローラーの間を移動することができ、 c)第1ローラー列からずれて包囲体内に取付けられた
第2ローラー列を有し、該第2ローラー列のローラーは
平行軸線を中心に回転することができ、かつストリップ
はローラーの間を移動することができ、前記第2ローラ
ー列の各ローラーは第1ローラー列の2つのローラーに
隣接して配置され、 d)ローラーの間にストリップ用の通路が設けられ、ス
トリップは、ローラーの軸線に対して180゜よりも小
さい角度に亘ってローラーの各々と接触しており、 e)ストリップと、前記第1ローラー列及び第2ローラ
ー列の隣接した2つのローラーとの間に、各々真空ポン
プに連結された一連の本質的に気密な領域が形成され、 f)ストリップに付与される張力を調整することによっ
て、ストリップがローラーに当たる圧力を調整するため
の手段を設けたことを特徴とする、エアロック。 - 【請求項2】 少なくとも2つの隣接したローラーの間
の距離を調整するための手段を更に有することを特徴と
する、請求項1に記載のエアロック。 - 【請求項3】 少なくとも2つの隣接したローラーの間
の距離を調整するための手段が、ストリップの移動方向
に本質的に直交する方向に調整するように設けられるこ
とを特徴とする、請求項2に記載のエアロック。 - 【請求項4】 包囲体の壁とローラーとの間に設けられ
た密封部材を更に有することを特徴とする、請求項1に
記載のエアロック。 - 【請求項5】 ストリップが、2つの連続する領域の間
の圧力差を吸収することができるように所定の張力下に
置かれることを特徴とする、金属シートのような基材の
ストリップを、移動の方向に従って真空チャンバーの中
に導入し、且つそれを真空チャンバーの中に連続的に通
すためのエアロックを操作する方法。 - 【請求項6】 所定の張力が、少なくとも、 F≧Δp×D×w ここで、 F :付与すべき張力(kg) Δp:2つの連続する領域の間の最大圧力差(bar) D :ローラーの直径(cm) w :ストリップの幅(cm) に等しいことを特徴とする、請求項5に記載のエアロッ
クを操作する方法。
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