JP2000221105A - Apparatus for inspecting end surface of optical fiber and method therefor - Google Patents
Apparatus for inspecting end surface of optical fiber and method thereforInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバの切
断端面が軸に対して直角になっているかあるいは凹凸が
あるか等の端面の状態を検査する装置および方法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and a method for inspecting the state of an end face of an optical fiber, such as whether the cut end face is perpendicular to an axis or has irregularities.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光ファイバを付き合わせ接続するような
場合、端面が軸に対して直角でかつ鏡面になっている必
要がある。光ファイバ切断装置は、上記のような端面が
得られるように光ファイバを切断するものであり、つね
に良好な端面が得られることが保証されていなければな
らない。そこで、光ファイバ切断装置の製造工程におい
て、実際にその切断装置で光ファイバを切断してみて、
その切断状況の良否を判定することで、その光ファイバ
切断装置そのものの最終的なチェックを行っている。光
ファイバ端面検査装置はこのような用途に用いられる。2. Description of the Related Art In a case where optical fibers are butt-connected, it is necessary that an end face is perpendicular to an axis and is mirror-finished. The optical fiber cutting device cuts the optical fiber so as to obtain the above-mentioned end face, and it must be ensured that a good end face is always obtained. Therefore, in the manufacturing process of the optical fiber cutting device, actually cut the optical fiber with the cutting device,
The final check of the optical fiber cutting device itself is performed by determining the quality of the cutting condition. The optical fiber end face inspection apparatus is used for such an application.
【０００３】従来の光ファイバ端面検査装置は、マイケ
ルソン干渉計やミロー型干渉対物レンズを用いた干渉顕
微鏡により構成されているが、いずれにしても、光軸に
対して基準面を正確に垂直にセットする必要があり、そ
の上で、基準面と試料面との距離的差異に応じて干渉縞
を発生させるものである。すなわち、この光ファイバ端
面検査装置によって光ファイバの切断端面の状態（切断
角度など）を観察しようとすれば、光ファイバ軸が干渉
顕微鏡の光軸に正確に平行となるように被観察光ファイ
バをセットする必要がある。A conventional optical fiber end face inspection apparatus is constituted by a Michelson interferometer or an interference microscope using a Millau-type interference objective lens. In any case, the reference plane is accurately perpendicular to the optical axis. In addition, interference fringes are generated according to the difference in distance between the reference surface and the sample surface. In other words, when trying to observe the state of the cut end face of the optical fiber (cutting angle, etc.) with this optical fiber end face inspection apparatus, the optical fiber to be observed is set so that the optical fiber axis is exactly parallel to the optical axis of the interference microscope. Need to set.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光ファイバ端面検査装置では、被観察光ファイバの軸を
光軸に対して厳密に平行にセットすることは難しく、そ
の調整に非常に多くの手間をかける必要があり、またそ
の作業者には経験も要求される。However, in the conventional optical fiber end face inspection apparatus, it is difficult to set the axis of the optical fiber to be observed strictly parallel to the optical axis. And the workers also need experience.
【０００５】この発明は、上記に鑑み、比較的簡単な構
成で、被観察光ファイバの軸を光軸に対して厳密に平行
にセットすることを、経験の浅い作業者でも容易に行う
ことができるように改善した、光ファイバ端面検査装置
および方法を提供することを目的とする。In view of the above, the present invention makes it possible to set the axis of the optical fiber to be observed strictly parallel to the optical axis with a relatively simple configuration, even for an inexperienced worker. It is an object of the present invention to provide an optical fiber end face inspection apparatus and method improved as much as possible.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明による光ファイバ端面検査装置において
は、表面に被観察光ファイバをセットするためのＶ溝が
形成され、かつそのＶ溝の長さ方向に垂直な光反射面と
された側面が形成されているＶ溝ブロックと、該Ｖ溝ブ
ロックを直交３軸方向に傾斜可能に保持する傾斜ユニッ
トと、上記Ｖ溝ブロックの光反射面とされた側面方向に
配置される干渉顕微鏡とが備えられることが特徴となっ
ている。In order to achieve the above object, in the optical fiber end face inspection apparatus according to the present invention, a V-groove for setting an optical fiber to be observed is formed on the surface, and the V-groove is formed on the V-groove. A V-groove block having a side surface which is a light reflecting surface perpendicular to the length direction, a tilt unit for holding the V-groove block so as to be tiltable in three orthogonal axes, and a light reflecting surface of the V-groove block And an interference microscope arranged in the lateral direction.
【０００７】また、この発明による光ファイバ端面検査
方法では、表面に被観察光ファイバをセットするための
Ｖ溝が形成され、かつそのＶ溝の長さ方向に垂直な光反
射面とされた側面が形成されているＶ溝ブロックを、傾
斜ユニットにより直交３軸方向に傾斜可能に保持し、干
渉顕微鏡によって上記Ｖ溝ブロックの光反射面とされた
側面を観察しながら、傾斜ユニットの傾きを調整した
後、上記のＶ溝にセットされた被観察光ファイバの端面
を干渉顕微鏡で観察することが特徴となっている。In the method for inspecting an end face of an optical fiber according to the present invention, a V-groove for setting an optical fiber to be observed is formed on the surface, and a light reflecting surface perpendicular to the longitudinal direction of the V-groove is formed. The V-groove block in which is formed is held by the tilting unit so as to be tiltable in three orthogonal directions, and the tilt of the tilting unit is adjusted while observing the light reflection surface of the V-groove block with an interference microscope. Then, the end face of the optical fiber to be observed set in the V-groove is observed with an interference microscope.
【０００８】Ｖ溝ブロックは、直交３軸方向に傾斜可能
な傾斜ユニットにより保持されているので、あらゆる方
向に傾けることができる。このＶ溝ブロックの、光反射
面とされた側面の方向には干渉顕微鏡が配置される。干
渉顕微鏡で、この側面を観察しながら、干渉縞が発生し
ないように傾斜ユニットの傾きを調整することにより、
その顕微鏡の光軸に対してその側面が正確に直角となる
よう調整することが容易にできる。この側面はＶ溝の長
さ方向に垂直に形成されているので、Ｖ溝に被観察光フ
ァイバをセットすれば、その光ファイバの軸はこの側面
と正確に直角つまり顕微鏡の光軸に対して正確に平行と
なる。そのため、被観察光ファイバの端面により生じる
干渉縞を干渉顕微鏡で観察することによって、その端面
の光ファイバ軸に対する角度やその端面に生じた凹凸状
態の検査が可能になる。[0008] The V-groove block is held by a tilting unit that can tilt in three orthogonal directions, so that it can be tilted in any direction. An interference microscope is arranged in the direction of the side surface of the V-groove block that is the light reflecting surface. By observing this side with an interference microscope and adjusting the tilt of the tilt unit so that interference fringes do not occur,
It can be easily adjusted so that the side surface is exactly perpendicular to the optical axis of the microscope. Since this side surface is formed perpendicular to the longitudinal direction of the V-groove, if the optical fiber to be observed is set in the V-groove, the axis of the optical fiber is exactly perpendicular to this side surface, that is, to the optical axis of the microscope. Exactly parallel. Therefore, by observing the interference fringes generated by the end face of the observed optical fiber with an interference microscope, it becomes possible to inspect the angle of the end face with respect to the optical fiber axis and the unevenness state generated on the end face.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態に
ついて図面を参照しながら詳細に説明する。図１に示す
ように、被観測光ファイバである光ファイバ心線（の被
覆が剥離された部分）１０がＶ溝ブロック２０に、ファ
イバクランプ２３によってクランプされるようになって
いる。つまり、このＶ溝ブロック２０には、図２に示す
ようにＶ溝２１が形成されていて、そのＶ溝２１に入る
ように光ファイバ心線１０がセットされる。そして、こ
のＶ溝ブロック２０のＶ溝２１の長さ方向に直角な側面
２２は光反射面とされている。この側面２２に、たとえ
ば照明光を反射するような表面処理が施されたり、ある
いは反射型平行オプティカルフラットが貼り合わされる
ことにより光反射面とされている。この光反射面２２
は、Ｖ溝２１の長さ方向に対して厳密に垂直となるよう
に精密加工される。Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, an optical fiber core wire (the part from which the coating has been stripped) 10, which is an optical fiber to be observed, is clamped by a fiber clamp 23 in a V-groove block 20. That is, the V-groove block 20 is formed with the V-groove 21 as shown in FIG. 2, and the optical fiber 10 is set so as to enter the V-groove 21. The side surface 22 of the V-groove block 20 perpendicular to the longitudinal direction of the V-groove 21 is a light reflecting surface. The side surface 22 is formed as a light reflecting surface by, for example, being subjected to a surface treatment for reflecting illumination light or being bonded with a reflective parallel optical flat. This light reflecting surface 22
Is precisely machined so as to be strictly perpendicular to the length direction of the V-groove 21.
【００１０】このＶ溝ブロック２０は、傾斜ユニット３
０により保持される。この傾斜ユニット３０はあらゆる
方向、つまり直交３軸をＸ，Ｙ，Ｚ（横、縦、高さ）と
したときその各軸の回り方向に傾斜させられるようにな
っているとともに、高さ方向（Ｚ方向）へ移動できるよ
うにされている。すなわち、Ｖ溝ブロック２０はまず回
転ステージ３１上に載置されているが、この回転ステー
ジ３１は矢印ｃに示すようにＺ軸の回りに回転できるよ
うになっている。この回転ステージはＸＹ軸傾斜ステー
ジ３２上に載せられている。このＸＹ軸傾斜ステージ３
２は、矢印ｂに示すようにＸ軸回りとＹ軸回りとにそれ
ぞれ独立に傾斜できるようにされたものである。このＸ
Ｙ傾斜ステージ３２はＺ軸方向ガイドステージ３３によ
りＺ方向（矢印ａ方向）に移動できるように保持され
る。The V-groove block 20 is provided with the tilt unit 3
It is held by 0. The tilt unit 30 can be tilted in all directions, that is, when the three orthogonal axes are X, Y, and Z (horizontal, vertical, and height), and can be tilted around the respective axes. (Z direction). That is, the V-groove block 20 is first placed on the rotary stage 31, which can be rotated around the Z axis as shown by the arrow c. This rotary stage is mounted on an XY axis tilt stage 32. This XY axis tilt stage 3
Numeral 2 is such that it can be independently tilted around the X-axis and around the Y-axis as shown by the arrow b. This X
The Y-tilt stage 32 is held by the Z-axis direction guide stage 33 so as to be movable in the Z direction (arrow a direction).
【００１１】ＸＹ軸傾斜ステージ３２はたとえば図３の
ように構成されている。ここではその１軸回り方向の傾
斜を可能とする機構のみを示す。基台５１の上に傾斜台
５２を置き、基台５１の上面の一端に設けた支点５３で
支持して、この支点５３を中心にして、つまり図の支点
５３における紙面に直角な軸の回りに、回転できるよう
にする。この傾斜台５２に軸止されたレバー５５を、基
台５１中央のスプリング収納孔５６に収納されたスプリ
ング５４で引っ張ることにより傾斜台５２を基台５１側
へ、つまり図の時計回り方向に付勢する。基台５１の他
端側には調整ネジ５７が設けられていて、この先端に傾
斜台５２が突き当たるようにされる。この調整ネジ５７
を回してその先端の突出量を調整することにより、傾斜
角度の調整ができる。支点５３における回転軸をＸ軸と
平行とするなら、これの下（または上）に同様な機構
を、その支点軸がＹ軸と平行になるように重ね合わせる
ことにより、Ｘ軸回りとＹ軸回りとにそれぞれ独立に傾
斜できることになる。The XY-axis tilt stage 32 is configured, for example, as shown in FIG. Here, only a mechanism that enables the tilt around one axis is shown. The inclined base 52 is placed on the base 51, and is supported by a fulcrum 53 provided at one end of the upper surface of the base 51. The fulcrum 53 is centered around the fulcrum 53, that is, around the axis perpendicular to the paper surface of the fulcrum 53 in the drawing. To be able to rotate. The lever 55 fixed to the inclined base 52 is pulled by a spring 54 housed in a spring accommodating hole 56 at the center of the base 51 to attach the inclined base 52 toward the base 51, that is, in the clockwise direction in the drawing. Energize. An adjusting screw 57 is provided on the other end side of the base 51 so that the inclined table 52 abuts on this tip. This adjustment screw 57
By turning to adjust the amount of protrusion of the tip, the inclination angle can be adjusted. If the rotation axis at the fulcrum 53 is parallel to the X axis, a similar mechanism is superimposed below (or above) such that the fulcrum axis is parallel to the Y axis, so that the rotation around the X axis and the Y axis can be performed. It is possible to incline to each other independently.
【００１２】Ｖ溝ブロック２０のＶ溝２１にセットされ
た光ファイバ心線１０の先端方向つまりＶ溝ブロック２
０の光反射面２２側には、干渉顕微鏡４０が配置され
る。ここでは干渉顕微鏡４０は、ミロー型干渉対物レン
ズにより構成されたものを用いているが、他のタイプの
干渉顕微鏡でもよいことはもちろんである。この干渉顕
微鏡４０は、光軸４５上にミロー型干渉対物レンズ４１
と接眼レンズ４２とを有するとともに、その間にハーフ
ミラー４３を備え、光源４４からの光を導入するように
している。ミロー型干渉対物レンズ４１は光軸４１方向
に矢印ｄに示すように移動してフォーカス調整ができる
ようにされている。The tip direction of the optical fiber 10 set in the V-groove 21 of the V-groove block 20, ie, the V-groove block 2
The interference microscope 40 is arranged on the light reflection surface 22 side of the zero. Here, the interference microscope 40 is constituted by a Mirau type interference objective lens, but it is needless to say that another type of interference microscope may be used. The interference microscope 40 has a mirror-type interference objective lens 41 on an optical axis 45.
And an eyepiece 42, and a half mirror 43 is provided therebetween to introduce light from a light source 44. The Mirow-type interference objective lens 41 is moved in the direction of the optical axis 41 as shown by an arrow d so that the focus can be adjusted.
【００１３】ここで、干渉顕微鏡４０が光ファイバ心線
１０の先端の端面を観察するように設置されており、Ｖ
溝ブロック２０におけるこの先端側の側面は光反射面２
２とされているため、その光反射面２２も、干渉顕微鏡
４０の視野内に入ることになる。そこで、この干渉顕微
鏡４０によって観察することにより光反射面２２につき
干渉縞が生じていないかどうかを観察する。この観察を
行いながら、ＸＹ傾斜ステージ３２および回転ステージ
３１を調整してＸ、Ｙ、Ｚの３軸の各々について傾斜角
度の調整を行う。干渉縞が生じないように調整できれ
ば、光反射面２２が干渉顕微鏡４０の光軸４５に精密に
直角にセットされたことになる。Here, an interference microscope 40 is installed so as to observe the end face of the tip of the optical fiber core wire 10.
The side surface on the front end side of the groove block 20 is the light reflecting surface 2
Therefore, the light reflection surface 22 also falls within the field of view of the interference microscope 40. Therefore, by observing with the interference microscope 40, it is observed whether or not interference fringes are generated on the light reflection surface 22. While performing this observation, the XY tilt stage 32 and the rotary stage 31 are adjusted to adjust the tilt angle for each of the three axes X, Y, and Z. If it can be adjusted so as not to cause interference fringes, it means that the light reflecting surface 22 has been precisely set at right angles to the optical axis 45 of the interference microscope 40.
【００１４】このことは、Ｖ溝２１の長さ方向が干渉顕
微鏡４０の光軸４５に精密に平行にセットされたことを
意味する。このような調整ができた後、Ｚ軸方向ガイド
ステージ３３により矢印ａ方向に移動し、光ファイバ心
線１０の先端の端面が干渉顕微鏡４０の視野中心に位置
するように調整し、この端面の観察を行う。この端面が
光ファイバ心線１０の軸に直角で鏡面状であるなら、干
渉縞は発生しない。ところが、端面が直角でなかった
り、完全にフラットでなくて凹凸があるようなら、干渉
縞が発生し、その角度や凹凸状態を知ることが可能とな
る。This means that the length direction of the V-groove 21 is set precisely parallel to the optical axis 45 of the interference microscope 40. After such adjustment is made, the optical fiber 10 is moved in the direction of arrow a by the Z-axis direction guide stage 33 so that the end face of the distal end of the optical fiber core wire 10 is positioned at the center of the visual field of the interference microscope 40. Observe. If this end face is perpendicular to the axis of the optical fiber 10 and is mirror-like, no interference fringes will occur. However, if the end face is not a right angle or is not completely flat and has irregularities, interference fringes are generated, and it is possible to know the angles and the irregularities.
【００１５】なお、上記はこの発明の一つの実施の形態
に関して説明したものであり、具体的な構造などはこの
発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々に変更できることは
言うまでもないことであろう。すなわち、Ｖ溝ブロック
２０を直交３軸方向に傾斜可能に保持する傾斜ユニット
３０の構造は図示のものに限らない。干渉顕微鏡４０に
ついても他のタイプのものを使用することができる。The above description has been made with reference to one embodiment of the present invention, and it goes without saying that the specific structure and the like can be variously changed without departing from the spirit of the present invention. That is, the structure of the tilting unit 30 that holds the V-groove block 20 so as to be tiltable in the three orthogonal directions is not limited to the illustrated one. Other types of the interference microscope 40 can be used.
【００１６】また、Ｖ溝ブロック２０の側面２２は、Ｖ
溝の長さ方向に正確に垂直な光反射面であればどのよう
なものでもよい。この光反射面とされた側面２２に代わ
るものとして、図４に示すようなゲージ２５の端面２６
を用いてもよい。このゲージ２５は、石英ガラスあるい
はスチールなどで被観測光ファイバである光ファイバ心
線１０と同様な形状の円柱形に作成されており、その端
面２６が円柱の中心軸に高精度に直角に形成されてい
る。そして、この端面２６は、高精度に平坦な鏡面に加
工されることが望ましい。The side surface 22 of the V-groove block 20 has a V
Any light reflecting surface that is exactly perpendicular to the length direction of the groove may be used. As an alternative to the side surface 22 serving as the light reflecting surface, an end surface 26 of a gauge 25 as shown in FIG.
May be used. The gauge 25 is made of quartz glass or steel or the like, and is formed in a cylindrical shape similar to the optical fiber core wire 10 as an optical fiber to be observed, and its end face 26 is formed at a high accuracy at right angles to the central axis of the cylinder. Have been. The end face 26 is desirably processed into a flat mirror surface with high precision.
【００１７】このゲージ２５を測定される光ファイバ心
線１０が配置されるＶ溝２１あるいはこれと高精度に平
行に形成されたＶ溝２４に配置して、その端面２６を干
渉顕微鏡４０で観察して干渉縞が生じないように傾斜ユ
ニット３０を調整する。こうして、端面２６が干渉顕微
鏡４０の光軸４５に精密に直角にセットされた状態に調
整できる。すると、Ｖ溝２４とＶ溝２１とは精密に平行
とされているので、Ｖ溝２１の長さ方向が干渉顕微鏡４
０の光軸４５に精密に平行にセットされたことになる。
そのため、このＶ溝２１に配置された光ファイバ心線１
０の端面を干渉顕微鏡で観察してその縞模様により端面
の品質を検査することができる。１つのＶ溝２１に最初
ゲージ２５を配置して上記の調整を行った後、観測すべ
き光ファイバ心線１０に置き換えるようにすれば、この
Ｖ溝２１と平行なＶ溝２４を作っておく必要はなくな
る。The gauge 25 is arranged in the V-groove 21 in which the optical fiber 10 to be measured is arranged or the V-groove 24 formed in parallel with the V-groove with high precision, and the end face 26 is observed with the interference microscope 40. The tilt unit 30 is adjusted so that interference fringes do not occur. In this way, it is possible to adjust the end surface 26 to a state where it is set at a right angle to the optical axis 45 of the interference microscope 40 precisely. Then, since the V-groove 24 and the V-groove 21 are precisely parallel, the longitudinal direction of the V-groove 21 is
This means that it is set precisely parallel to the optical axis 45 of 0.
Therefore, the optical fiber core 1 disposed in this V-groove 21
The end face of No. 0 can be observed with an interference microscope, and the quality of the end face can be inspected by the stripe pattern. After the gauge 25 is first arranged in one V-groove 21 and the above adjustment is performed, if the optical fiber core wire 10 to be observed is replaced, a V-groove 24 parallel to the V-groove 21 is formed. There is no need.
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上説明したように、この発明による光
ファイバ端面検査装置および方法によれば、観察すべき
光ファイバ端面と同じ側にあるＶ溝ブロック側面を、Ｖ
溝の長さ方向に直角な光反射面としているので、このＶ
溝ブロック側面を干渉顕微鏡で観察してその干渉縞によ
りこの側面を干渉顕微鏡の光軸に直角なものとする調整
を容易に行うことができる。このことは、Ｖ溝の長さ方
向つまりＶ溝にセットされる光ファイバの軸を干渉顕微
鏡の光軸に平行なものとする調整が容易に行えることを
意味する。これにより、経験の浅い作業者でも容易に光
ファイバ端面の検査が行えるようになる。しかも装置の
構成としても比較的簡単な構成となっている。As described above, according to the optical fiber end face inspection apparatus and method according to the present invention, the V-groove block side face on the same side as the optical fiber end face to be observed can be
Since the light reflecting surface is perpendicular to the length direction of the groove, this V
The side surface of the groove block is observed with an interference microscope, and the interference fringes make it easy to adjust the side surface to be perpendicular to the optical axis of the interference microscope. This means that it is easy to adjust the length of the V-groove, that is, the axis of the optical fiber set in the V-groove to be parallel to the optical axis of the interference microscope. As a result, even an inexperienced worker can easily inspect the end face of the optical fiber. Moreover, the configuration of the apparatus is relatively simple.
【図１】この発明の実施の形態を示す模式図。FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the present invention.
【図２】同実施の形態におけるＶ溝ブロックを示す模式
的な斜視図。FIG. 2 is a schematic perspective view showing a V-groove block in the embodiment.
【図３】同実施の形態におけるＸＹ傾斜ステージの例を
模式的に示す断面図。FIG. 3 is a sectional view schematically showing an example of the XY tilt stage in the embodiment.
【図４】変形例におけるＶ溝ブロック部分を示す模式的
な斜視図。FIG. 4 is a schematic perspective view showing a V-groove block portion in a modified example.
１０ 光ファイバ心線 ２０ Ｖ溝ブロック ２１、２４ Ｖ溝 ２２ 光反射面 ２３ ファイバクランプ ２５ ゲージ ２６ ゲージの端面 ３０ 傾斜ユニット ３１ 回転ステージ ３２ ＸＹ軸傾斜ステージ ３３ Ｚ軸方向ガイドステージ ４０ 干渉顕微鏡 ４１ ミロー型干渉対物レンズ ４２ 接眼レンズ ４３ ハーフミラー ４４ 光源 ４５ 光軸 ５１ 基台 ５２ 傾斜台 ５３ 支点 ５４ スプリング ５５ レバー ５６ スプリング収納孔 ５７ 調整ネジ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Optical fiber core wire 20 V-groove block 21, 24 V-groove 22 Light reflection surface 23 Fiber clamp 25 Gauge 26 Gauge end face 30 Tilt unit 31 Rotation stage 32 XY-axis tilt stage 33 Z-axis direction guide stage 40 Interference microscope 41 Mirro type Interference objective lens 42 Eyepiece 43 Half mirror 44 Light source 45 Optical axis 51 Base 52 Slope 53 Support point 54 Spring 55 Lever 56 Spring storage hole 57 Adjustment screw
Claims (2)
めのＶ溝が形成され、かつそのＶ溝の長さ方向に垂直な
光反射面とされた側面が形成されているＶ溝ブロック
と、該Ｖ溝ブロックを直交３軸方向に傾斜可能に保持す
る傾斜ユニットと、上記Ｖ溝ブロックの光反射面とされ
た側面方向に配置される干渉顕微鏡とを備えることを特
徴とする光ファイバ端面検査装置。1. A V-groove block in which a V-groove for setting an optical fiber to be observed is formed on a surface, and a side surface serving as a light reflecting surface perpendicular to the length direction of the V-groove is formed. An optical fiber end face inspection comprising: a tilting unit that holds the V-groove block so as to be tiltable in three orthogonal directions, and an interference microscope that is arranged in a side direction that is a light reflecting surface of the V-groove block. apparatus.
めのＶ溝が形成され、かつそのＶ溝の長さ方向に垂直な
光反射面とされた側面が形成されているＶ溝ブロック
を、傾斜ユニットにより直交３軸方向に傾斜可能に保持
し、干渉顕微鏡によって上記Ｖ溝ブロックの光反射面と
された側面を観察しながら、傾斜ユニットの傾きを調整
した後、上記のＶ溝にセットされた被観察光ファイバの
端面を干渉顕微鏡で観察することを特徴とする光ファイ
バ端面検査方法。2. A V-groove block in which a V-groove for setting an optical fiber to be observed is formed on the surface and a side surface which is a light reflecting surface perpendicular to the length direction of the V-groove is formed. The tilt unit is held by the tilt unit so that it can tilt in three orthogonal directions, and the oblique unit adjusts the tilt of the tilt unit while observing the light reflecting surface of the V-groove block with an interference microscope. A method for inspecting an end face of an optical fiber, wherein the end face of the observed optical fiber is observed with an interference microscope.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11020778A JP2000221105A (en) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | Apparatus for inspecting end surface of optical fiber and method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP11020778A JP2000221105A (en) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | Apparatus for inspecting end surface of optical fiber and method therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000221105A true JP2000221105A (en) | 2000-08-11 |
Family
ID=12036612
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| JP11020778A Pending JP2000221105A (en) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | Apparatus for inspecting end surface of optical fiber and method therefor |
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|---|---|
| JP (1) | JP2000221105A (en) |
Cited By (6)
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