JP2000218655A - マイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法 - Google Patents
マイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法Info
- Publication number
- JP2000218655A JP2000218655A JP11026243A JP2624399A JP2000218655A JP 2000218655 A JP2000218655 A JP 2000218655A JP 11026243 A JP11026243 A JP 11026243A JP 2624399 A JP2624399 A JP 2624399A JP 2000218655 A JP2000218655 A JP 2000218655A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- forming
- small
- holes
- concave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/082—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses having profiled, patterned or microstructured surfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/41—Profiled surfaces
- C03B2215/414—Arrays of products, e.g. lenses
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各レンズの曲率の変動を生じないマイクロレ
ンズアレイ形成用金型を提供する。 【解決手段】 マイクロレンズアレイ形成用金型の製造
方法は、貫通孔１ａを含む蜂の巣状板１を形成し、所定
の硬化収縮率と所定の粘性を有する液状樹脂２ａを貫通
孔１ａの各々内に含ませ、その液状樹脂２ａを硬化収縮
させることによって貫通孔の各々において硬化樹脂の凹
型自由表面を形成し、複数の凹型自由表面領域を含めて
蜂の巣状板１の主表面を覆うように金属層を厚くめっき
することによって、それらの凹型表面領域が逆転写され
た凸型表面領域の配列を含む金型３Ａを形成することを
特徴としている。
ンズアレイ形成用金型を提供する。 【解決手段】 マイクロレンズアレイ形成用金型の製造
方法は、貫通孔１ａを含む蜂の巣状板１を形成し、所定
の硬化収縮率と所定の粘性を有する液状樹脂２ａを貫通
孔１ａの各々内に含ませ、その液状樹脂２ａを硬化収縮
させることによって貫通孔の各々において硬化樹脂の凹
型自由表面を形成し、複数の凹型自由表面領域を含めて
蜂の巣状板１の主表面を覆うように金属層を厚くめっき
することによって、それらの凹型表面領域が逆転写され
た凸型表面領域の配列を含む金型３Ａを形成することを
特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロレンズア
レイの製造方法に関連し、特にマイクロレンズアレイ形
成用金型の製造方法に関するものである。
レイの製造方法に関連し、特にマイクロレンズアレイ形
成用金型の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７において、特開平７−１４９５２８
に開示されたマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方
法が概略的な断面図で図解されている。
に開示されたマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方
法が概略的な断面図で図解されている。
【０００３】まず図７（Ａ）では、たとえばＷＣを主成
分とする硬質焼結合金材料からなる基台１０上に、金型
層１１が形成される。金型層１１としては、たとえばＰ
ｔ−Ｉｒ合金層がスパッタリング法によって形成され得
る。金型層１１上には、フォトレジスト層１２が塗布さ
れる。フォトレジスト層１２上には、規則的に配列され
た小さな開口１３ａを含むフォトマスク１３が配置され
る。そして、レジスト層１２は、フォトマスク１３の開
口１３ａを介して光照射される。
分とする硬質焼結合金材料からなる基台１０上に、金型
層１１が形成される。金型層１１としては、たとえばＰ
ｔ−Ｉｒ合金層がスパッタリング法によって形成され得
る。金型層１１上には、フォトレジスト層１２が塗布さ
れる。フォトレジスト層１２上には、規則的に配列され
た小さな開口１３ａを含むフォトマスク１３が配置され
る。そして、レジスト層１２は、フォトマスク１３の開
口１３ａを介して光照射される。
【０００４】図７（Ｂ）において、マスク１３を介して
露光されたレジスト層１２が現像されて、マスク１３の
開口１３ａに対応した開口１２ａが形成される。金型層
１１は、レジスト層１２の開口１２ａを介して、Ａｒ+
イオンビームによって所定深さまでドライエッチングさ
れる。
露光されたレジスト層１２が現像されて、マスク１３の
開口１３ａに対応した開口１２ａが形成される。金型層
１１は、レジスト層１２の開口１２ａを介して、Ａｒ+
イオンビームによって所定深さまでドライエッチングさ
れる。
【０００５】図７（Ｃ）において、ドライエッチング後
に残存するレジスト層１２を除去することによって、レ
ジスト層１２の開口１２ａに対応した複数の孔１１ａの
規則的な配列を含む金型１０，１１が得られる。
に残存するレジスト層１２を除去することによって、レ
ジスト層１２の開口１２ａに対応した複数の孔１１ａの
規則的な配列を含む金型１０，１１が得られる。
【０００６】図８には、図７（Ｃ）に示されているよう
な金型１０，１１が斜視図で表わされている。
な金型１０，１１が斜視図で表わされている。
【０００７】図９においては、図８に示されているよう
な金型を利用してマイクロレンズアレイを形成する方法
が断面図で図解されている。この方法において、マイク
ロレンズアレイ形成用金型１０，１１に加えて平金型１
４，１５が用いられる。この平金型は、マイクロレンズ
アレイ形成用金型の基台１０および金型層１１にそれぞ
れ対応して、同じ材料で形成された基材１４および平金
型層１５を含んでいる。
な金型を利用してマイクロレンズアレイを形成する方法
が断面図で図解されている。この方法において、マイク
ロレンズアレイ形成用金型１０，１１に加えて平金型１
４，１５が用いられる。この平金型は、マイクロレンズ
アレイ形成用金型の基台１０および金型層１１にそれぞ
れ対応して、同じ材料で形成された基材１４および平金
型層１５を含んでいる。
【０００８】平金型層１５上には加熱されて軟化させら
れたガラス板１６が配置され、ガラス板１６の上面には
マイクロレンズアレイ形成用金型層１１が押圧される。
このとき、金型層１１の各孔１１ａ内にガラス板１６が
部分的に押し込まれ、各孔１１ａごとに凸型マイクロレ
ンズ１６ａが形成される。その結果、複数のマイクロレ
ンズ１６ａが規則的に配列されたガラス製マイクロレン
ズアレイが得られる。
れたガラス板１６が配置され、ガラス板１６の上面には
マイクロレンズアレイ形成用金型層１１が押圧される。
このとき、金型層１１の各孔１１ａ内にガラス板１６が
部分的に押し込まれ、各孔１１ａごとに凸型マイクロレ
ンズ１６ａが形成される。その結果、複数のマイクロレ
ンズ１６ａが規則的に配列されたガラス製マイクロレン
ズアレイが得られる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】図９に示されているよ
うな金型を用いてガラス製マイクロレンズアレイを形成
する場合、ガラス板１６上に形成される凸レンズ１６ａ
の形状は、加熱によるガラス板１６の軟化度、表面張
力、および金型の押圧力などに依存して変化する。
うな金型を用いてガラス製マイクロレンズアレイを形成
する場合、ガラス板１６上に形成される凸レンズ１６ａ
の形状は、加熱によるガラス板１６の軟化度、表面張
力、および金型の押圧力などに依存して変化する。
【００１０】したがって、加工されるガラス板ごとに金
型の押圧力が変動すれば、それに伴ってマイクロレンズ
アレイ板ごにとレンズの形状が変動することになる。
型の押圧力が変動すれば、それに伴ってマイクロレンズ
アレイ板ごにとレンズの形状が変動することになる。
【００１１】また、１枚のガラス板の加工においても、
局所的な温度分布の変動が存在すれば、１枚のマイクロ
レンズアレイに含まれるレンズの形状が場所に依存して
変動することになる。
局所的な温度分布の変動が存在すれば、１枚のマイクロ
レンズアレイに含まれるレンズの形状が場所に依存して
変動することになる。
【００１２】そこで、本発明は、このような問題を生じ
ることのないマイクロレンズアレイ形成用金型を製造す
る方法を提供することを目的としている。
ることのないマイクロレンズアレイ形成用金型を製造す
る方法を提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の１つの態様によ
るマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法において
は、規則的に配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の
巣状板を形成し、所定の硬化収縮率と所定の粘性を有す
る液体状樹脂を貫通孔の各々内に含ませ、液体状樹脂を
硬化収縮させることによって貫通孔の各々において硬化
樹脂の凹型自由表面を形成し、複数の小さな凹型表面領
域を含めて蜂の巣状板の主表面を覆うように気相堆積に
よってめっき用金属電極層を形成し、めっき用電極層上
に厚くめっきすることによって凹型表面領域が逆転写さ
れた複数の小さな凸型表面領域の配列を含む金型を形成
することを特徴としている。
るマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法において
は、規則的に配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の
巣状板を形成し、所定の硬化収縮率と所定の粘性を有す
る液体状樹脂を貫通孔の各々内に含ませ、液体状樹脂を
硬化収縮させることによって貫通孔の各々において硬化
樹脂の凹型自由表面を形成し、複数の小さな凹型表面領
域を含めて蜂の巣状板の主表面を覆うように気相堆積に
よってめっき用金属電極層を形成し、めっき用電極層上
に厚くめっきすることによって凹型表面領域が逆転写さ
れた複数の小さな凸型表面領域の配列を含む金型を形成
することを特徴としている。
【００１４】本発明のもう１つの態様によるマイクロレ
ンズアレイ形成用金型の製造方法においては、規則的に
配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の巣状板を形成
し、所定の粘性を有する液体状樹脂を貫通孔の各々内に
含ませ、すべての貫通孔内の液体状樹脂の一方の自由表
面と他方の自由表面との間にガス圧差を生じさせること
によって一方と他方の自由表面をそれぞれ凹型表面と凸
型表面にした状態で樹脂を硬化させ、複数の小さな凹型
または凸型表面領域を含めて蜂の巣状板の主表面を覆う
ように気相堆積によってめっき用金属電極層を形成し、
めっき用電極層上に厚くめっきすることによって凹型ま
たは凸型表面領域が逆転写された複数の小さな凸型また
は凹型表面領域の配列を含む金型を形成することを特徴
としている。
ンズアレイ形成用金型の製造方法においては、規則的に
配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の巣状板を形成
し、所定の粘性を有する液体状樹脂を貫通孔の各々内に
含ませ、すべての貫通孔内の液体状樹脂の一方の自由表
面と他方の自由表面との間にガス圧差を生じさせること
によって一方と他方の自由表面をそれぞれ凹型表面と凸
型表面にした状態で樹脂を硬化させ、複数の小さな凹型
または凸型表面領域を含めて蜂の巣状板の主表面を覆う
ように気相堆積によってめっき用金属電極層を形成し、
めっき用電極層上に厚くめっきすることによって凹型ま
たは凸型表面領域が逆転写された複数の小さな凸型また
は凹型表面領域の配列を含む金型を形成することを特徴
としている。
【００１５】本発明のさらに他の態様によるマイクロレ
ンズアレイ形成用金型の製造方法においては、規則的に
配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の巣状板を形成
し、その蜂の巣状板の１主面に導電性膜の第１主面を密
着させ、その膜の第１主面側に比べて第２主面側のガス
圧を相対的に大きくすることによる膜の局所的な塑性変
形によって膜の第２主面上で貫通孔に対応して複数の小
さな凹型表面領域を形成し、膜の第２主面上に厚くめっ
きすることによって凹型表面領域が逆転写された複数の
小さな凸型表面領域の配列を含む金型を形成することを
特徴としている。
ンズアレイ形成用金型の製造方法においては、規則的に
配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の巣状板を形成
し、その蜂の巣状板の１主面に導電性膜の第１主面を密
着させ、その膜の第１主面側に比べて第２主面側のガス
圧を相対的に大きくすることによる膜の局所的な塑性変
形によって膜の第２主面上で貫通孔に対応して複数の小
さな凹型表面領域を形成し、膜の第２主面上に厚くめっ
きすることによって凹型表面領域が逆転写された複数の
小さな凸型表面領域の配列を含む金型を形成することを
特徴としている。
【００１６】本発明のさらに他の態様によるマイクロレ
ンズアレイ形成用金型の製造方法においては、規則的に
配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の巣状板を形成
し、所定の硬化収縮率と所定の粘性を有する液体状樹脂
を貫通孔の各々内に含ませ、液体状樹脂を硬化収縮させ
ることによって貫通孔の各々において硬化樹脂の凹型自
由表面を形成し、複数の小さな凹型表面領域を含めて蜂
の巣状板の主表面を覆うように気相堆積によってめっき
用金属電極層を形成し、めっき用電極層上に厚くめっき
することによって凹型表面領域が逆転写された複数の小
さな凸型表面領域の配列を含む放電加工用電極を形成
し、放電加工用電極を用いて高融点の金属または合金の
表面を加工することによって、放電加工用電極の凸型表
面領域が逆転写された複数の小さな凹型表面領域の配列
を含む金型を形成することを特徴としている。
ンズアレイ形成用金型の製造方法においては、規則的に
配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の巣状板を形成
し、所定の硬化収縮率と所定の粘性を有する液体状樹脂
を貫通孔の各々内に含ませ、液体状樹脂を硬化収縮させ
ることによって貫通孔の各々において硬化樹脂の凹型自
由表面を形成し、複数の小さな凹型表面領域を含めて蜂
の巣状板の主表面を覆うように気相堆積によってめっき
用金属電極層を形成し、めっき用電極層上に厚くめっき
することによって凹型表面領域が逆転写された複数の小
さな凸型表面領域の配列を含む放電加工用電極を形成
し、放電加工用電極を用いて高融点の金属または合金の
表面を加工することによって、放電加工用電極の凸型表
面領域が逆転写された複数の小さな凹型表面領域の配列
を含む金型を形成することを特徴としている。
【００１７】本発明のさらに他の態様によるマイクロレ
ンズアレイ形成用金型の製造方法においては、規則的に
配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の巣状板を形成
し、所定の粘性を有する液体状樹脂を貫通孔の各々内に
含ませ、すべての貫通孔内の液体状樹脂の一方の自由表
面と他方の自由表面との間にガス圧差を生じさせること
によって一方と他方の自由表面をそれぞれ凹型表面と凸
型表面にした状態で樹脂を硬化させ、複数の小さな凹型
または凸型表面領域を含めて蜂の巣状板の主表面を覆う
ように気相堆積によってめっき用金属電極層を形成し、
めっき用電極層上に厚くめっきすることによって凹型ま
たは凸型表面領域が逆転写された複数の小さな凸型また
は凹型表面領域の配列を含む放電加工用電極を形成し、
その放電加工用電極を用いて高融点の金属または合金の
表面を加工することによって、放電加工用電極の凸型ま
たは凹型表面領域が逆転写された複数の小さな凹型また
は凸型表面領域の配列を含む金型を形成することを特徴
としている。
ンズアレイ形成用金型の製造方法においては、規則的に
配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の巣状板を形成
し、所定の粘性を有する液体状樹脂を貫通孔の各々内に
含ませ、すべての貫通孔内の液体状樹脂の一方の自由表
面と他方の自由表面との間にガス圧差を生じさせること
によって一方と他方の自由表面をそれぞれ凹型表面と凸
型表面にした状態で樹脂を硬化させ、複数の小さな凹型
または凸型表面領域を含めて蜂の巣状板の主表面を覆う
ように気相堆積によってめっき用金属電極層を形成し、
めっき用電極層上に厚くめっきすることによって凹型ま
たは凸型表面領域が逆転写された複数の小さな凸型また
は凹型表面領域の配列を含む放電加工用電極を形成し、
その放電加工用電極を用いて高融点の金属または合金の
表面を加工することによって、放電加工用電極の凸型ま
たは凹型表面領域が逆転写された複数の小さな凹型また
は凸型表面領域の配列を含む金型を形成することを特徴
としている。
【００１８】本発明のさらに他の態様によるマイクロレ
ンズアレイ形成用金型の製造方法においては、規則的に
配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の巣状板を形成
し、その蜂の巣状板の１主面に導電性膜の第１主面を密
着させ、その膜の第１主面側に比べて第２主面側のガス
圧を相対的に大きくすることによる膜の局所的な塑性変
形によって膜の第２主面上で貫通孔に対応して複数の小
さな凹型表面領域を形成し、膜の第２主面上に厚くめっ
きすることによって凹型表面領域が逆転写された複数の
小さな凸型表面領域の配列を含む放電加工用電極を形成
し、この放電加工用電極を用いて高融点の金属または合
金の表面を加工することによって、放電加工用電極の凸
型表面領域が逆転写された複数の小さな凹型表面領域の
配列を含む金型を形成することを特徴としている。
ンズアレイ形成用金型の製造方法においては、規則的に
配列された複数の小さな貫通孔を含む蜂の巣状板を形成
し、その蜂の巣状板の１主面に導電性膜の第１主面を密
着させ、その膜の第１主面側に比べて第２主面側のガス
圧を相対的に大きくすることによる膜の局所的な塑性変
形によって膜の第２主面上で貫通孔に対応して複数の小
さな凹型表面領域を形成し、膜の第２主面上に厚くめっ
きすることによって凹型表面領域が逆転写された複数の
小さな凸型表面領域の配列を含む放電加工用電極を形成
し、この放電加工用電極を用いて高融点の金属または合
金の表面を加工することによって、放電加工用電極の凸
型表面領域が逆転写された複数の小さな凹型表面領域の
配列を含む金型を形成することを特徴としている。
【００１９】
【発明の実施の形態】図１において、本発明の１つの実
施の形態によるマイクロレンズアレイ形成用金型の製造
方法が、概略的に図解されている。図１（Ａ）は一部切
断斜視図を表わし、図１（Ｂ）〜（Ｄ）は断面図を表わ
している。
施の形態によるマイクロレンズアレイ形成用金型の製造
方法が、概略的に図解されている。図１（Ａ）は一部切
断斜視図を表わし、図１（Ｂ）〜（Ｄ）は断面図を表わ
している。
【００２０】まず図１（Ａ）では、規則的に配列された
複数の小さな貫通孔１ａを含む蜂の巣状板１が用意され
る。このような蜂の巣状板１は、周知のフォトリソグラ
フィまたはＸ線リソグラフィを利用して、金属、セラミ
ックス、樹脂などの材料で形成され得る。また、マイク
ロレンズアレイの使用目的などに応じて、貫通孔１ａの
形状や寸法や配列が種々に変更され得ることは言うまで
もない。
複数の小さな貫通孔１ａを含む蜂の巣状板１が用意され
る。このような蜂の巣状板１は、周知のフォトリソグラ
フィまたはＸ線リソグラフィを利用して、金属、セラミ
ックス、樹脂などの材料で形成され得る。また、マイク
ロレンズアレイの使用目的などに応じて、貫通孔１ａの
形状や寸法や配列が種々に変更され得ることは言うまで
もない。
【００２１】図１（Ｂ）において、蜂の巣状板１の各貫
通孔１ａの各々は、所定の硬化収縮率と所定の粘性を有
する液体状樹脂２ａで満たされる。このような樹脂２ａ
としては、たとえば、５〜２０％の硬化収縮率と１万ｃ
ｐｓ以下の粘度を有するエポキシ系樹脂やアクリル系樹
脂などが用いられ得る。
通孔１ａの各々は、所定の硬化収縮率と所定の粘性を有
する液体状樹脂２ａで満たされる。このような樹脂２ａ
としては、たとえば、５〜２０％の硬化収縮率と１万ｃ
ｐｓ以下の粘度を有するエポキシ系樹脂やアクリル系樹
脂などが用いられ得る。
【００２２】図１（Ｃ）においては、蜂の巣状板１の各
貫通孔１ａ内の液体状樹脂２ａが硬化収縮させられて、
小さな円柱状の硬化樹脂２Ａになる。円柱状樹脂２Ａの
上面と下面は、硬化時の収縮によって、凹型自由表面に
なる。この凹型自由表面の湾曲率は、液状樹脂２ａの硬
化収縮率、貫通孔１ａの長さ（すなわち板１の厚さ）な
どを選択することによって調節され得る。
貫通孔１ａ内の液体状樹脂２ａが硬化収縮させられて、
小さな円柱状の硬化樹脂２Ａになる。円柱状樹脂２Ａの
上面と下面は、硬化時の収縮によって、凹型自由表面に
なる。この凹型自由表面の湾曲率は、液状樹脂２ａの硬
化収縮率、貫通孔１ａの長さ（すなわち板１の厚さ）な
どを選択することによって調節され得る。
【００２３】図１（Ｄ）において、各貫通孔１ａ内の円
柱状樹脂２Ａの上面の凹型自由表面を含めて、蜂の巣状
板１の上面を覆うように、めっき電極としての電極膜
（図示せず）が形成される。このようなめっき電極用金
属膜としては、たとえば、アルミニウムやチタンなどの
膜がスパッタリングなどによって堆積され得る。その
後、めっき電極上に、たとえばニッケルのような金属層
を厚くめっきすることによって、凹型マイクロレンズア
レイ形成用金型３Ａが形成され得る。
柱状樹脂２Ａの上面の凹型自由表面を含めて、蜂の巣状
板１の上面を覆うように、めっき電極としての電極膜
（図示せず）が形成される。このようなめっき電極用金
属膜としては、たとえば、アルミニウムやチタンなどの
膜がスパッタリングなどによって堆積され得る。その
後、めっき電極上に、たとえばニッケルのような金属層
を厚くめっきすることによって、凹型マイクロレンズア
レイ形成用金型３Ａが形成され得る。
【００２４】図２において、本発明のもう１つの実施の
形態によるマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法
が、概略的な断面図で図解されている。
形態によるマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法
が、概略的な断面図で図解されている。
【００２５】まず図２（Ａ）では、図１（Ｂ）の場合に
類似して、蜂の巣状板１の各貫通孔１ａの各々が液体状
樹脂２ｂで満たされる。しかし、液体状樹脂２ｂは、小
さな硬化収縮率と比較的大きな粘性を有することが好ま
しい。このような液体状樹脂２ｂとして、たとえば、１
０％以下の小さな硬化収縮率と１００ｃｐｓ以上の大き
な粘度を有するエポキシ系樹脂やアクリル系樹脂などが
用いられ得る。
類似して、蜂の巣状板１の各貫通孔１ａの各々が液体状
樹脂２ｂで満たされる。しかし、液体状樹脂２ｂは、小
さな硬化収縮率と比較的大きな粘性を有することが好ま
しい。このような液体状樹脂２ｂとして、たとえば、１
０％以下の小さな硬化収縮率と１００ｃｐｓ以上の大き
な粘度を有するエポキシ系樹脂やアクリル系樹脂などが
用いられ得る。
【００２６】図２（Ｂ）では、蜂の巣状板１の上面に対
して、矢印Ｐで示されているように、下面に比べて相対
的に高いガス圧が印加される。なお、この代わりに、蜂
の巣状板１の下面側のガス圧が低減されてもよいことは
言うまでもない。蜂の巣状板１の下面側に比べて相対的
に高い上面側のガス圧Ｐによって、各貫通孔１ａ内の液
体状樹脂２ｂの上面と下面がそれぞれ凹型自由表面と凸
型自由表面とになる。この状態で液体状の各樹脂柱２ｂ
が硬化させられて、硬化樹脂柱２Ｂに変えられる。樹脂
柱の上面と下面における湾曲面の曲率は、液状樹脂２ｂ
の粘性、ガス圧力差Ｐなどを選択することによって調節
され得る。
して、矢印Ｐで示されているように、下面に比べて相対
的に高いガス圧が印加される。なお、この代わりに、蜂
の巣状板１の下面側のガス圧が低減されてもよいことは
言うまでもない。蜂の巣状板１の下面側に比べて相対的
に高い上面側のガス圧Ｐによって、各貫通孔１ａ内の液
体状樹脂２ｂの上面と下面がそれぞれ凹型自由表面と凸
型自由表面とになる。この状態で液体状の各樹脂柱２ｂ
が硬化させられて、硬化樹脂柱２Ｂに変えられる。樹脂
柱の上面と下面における湾曲面の曲率は、液状樹脂２ｂ
の粘性、ガス圧力差Ｐなどを選択することによって調節
され得る。
【００２７】図２（Ｃ）においては、図１（Ｄ）の場合
と同様に蜂の巣状板１の上側に厚くめっきすることによ
って、凸型マイクロレンズアレイ形成用金型３Ａが形成
され得る。
と同様に蜂の巣状板１の上側に厚くめっきすることによ
って、凸型マイクロレンズアレイ形成用金型３Ａが形成
され得る。
【００２８】他方、図２（Ｄ）に示されているように、
蜂の巣状板１の下側に厚くめっきすることによって、凹
型マイクロレンズアレイ形成用金型３Ｂが形成され得
る。
蜂の巣状板１の下側に厚くめっきすることによって、凹
型マイクロレンズアレイ形成用金型３Ｂが形成され得
る。
【００２９】図３においては、本発明のさらに他の実施
の形態によるマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方
法が概略的な断面図で図解されている。
の形態によるマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方
法が概略的な断面図で図解されている。
【００３０】まず図３（Ａ）では、導電性膜４が蜂の巣
状板１の上面に密着配置される。このような導電性膜４
としては、たとえば導電性を持たせたＬＢ（ラングミュ
ア−ブロジェット）膜や厚さ１０μｍ以下のアルミニウ
ム箔などが用いられ得る。
状板１の上面に密着配置される。このような導電性膜４
としては、たとえば導電性を持たせたＬＢ（ラングミュ
ア−ブロジェット）膜や厚さ１０μｍ以下のアルミニウ
ム箔などが用いられ得る。
【００３１】図３（Ｂ）においては、図２（Ｂ）の場合
に類似して、矢印Ｐで示されているように、導電性膜４
の上面側のガス圧が下面側に比べて相対的に高められ
る。その相対的ガス圧差Ｐによって、導電性膜４は貫通
孔１ａに対応して局所的に塑性変形を生じ、その塑性変
形した膜４Ａの上側に複数の小さな凹型表面領域が形成
される。この凹型表面の湾曲率は、膜４の材質や厚さ、
さらには圧力差Ｐを選択することによって調節され得
る。
に類似して、矢印Ｐで示されているように、導電性膜４
の上面側のガス圧が下面側に比べて相対的に高められ
る。その相対的ガス圧差Ｐによって、導電性膜４は貫通
孔１ａに対応して局所的に塑性変形を生じ、その塑性変
形した膜４Ａの上側に複数の小さな凹型表面領域が形成
される。この凹型表面の湾曲率は、膜４の材質や厚さ、
さらには圧力差Ｐを選択することによって調節され得
る。
【００３２】図３（Ｃ）では、導電性膜４Ａ上に厚くめ
っきすることによって、凹型マイクロレンズアレイ形成
用金型３Ａが形成され得る。
っきすることによって、凹型マイクロレンズアレイ形成
用金型３Ａが形成され得る。
【００３３】図４において、本発明のさらに他の実施の
形態によるマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法
が、概略的な断面図で図解されている。
形態によるマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法
が、概略的な断面図で図解されている。
【００３４】図４（Ａ）においては、図１（Ｄ）、図２
（Ｃ）、または図３（Ｃ）に示されているような凹型マ
イクロレンズアレイ形成用金型３Ａが放電加工用電極と
して用いられる。金型３Ａが放電加工用電極として用い
られる場合、それは、好ましくは銅めっき層として形成
され得る。放電加工用電極３Ａは、高融点材料の導電性
板（またはブロック）５の表面を冷却用液体６中で放電
加工するために用いられる。導電性高融点材料として
は、たとえば、モリブデン、タングステン、金属炭化物
焼結材などが用いられ得る。また、冷却用液体６として
は、油や水が用いられ得る。図４（Ａ）に示されている
ような放電加工によって、図５（Ａ）に示されているよ
うに、凸型マイクロレンズアレイ形成用の高融点材料製
金型５Ａが得られる。
（Ｃ）、または図３（Ｃ）に示されているような凹型マ
イクロレンズアレイ形成用金型３Ａが放電加工用電極と
して用いられる。金型３Ａが放電加工用電極として用い
られる場合、それは、好ましくは銅めっき層として形成
され得る。放電加工用電極３Ａは、高融点材料の導電性
板（またはブロック）５の表面を冷却用液体６中で放電
加工するために用いられる。導電性高融点材料として
は、たとえば、モリブデン、タングステン、金属炭化物
焼結材などが用いられ得る。また、冷却用液体６として
は、油や水が用いられ得る。図４（Ａ）に示されている
ような放電加工によって、図５（Ａ）に示されているよ
うに、凸型マイクロレンズアレイ形成用の高融点材料製
金型５Ａが得られる。
【００３５】図４（Ｂ）に示されている放電加工は図４
（Ａ）の場合に類似しているが、図２（Ｄ）に示されて
いるような凸型マイクロレンズアレイ形成用金型３Ｂが
放電加工用電極として用いられることのみにおいて異な
っている。図４（Ｂ）に示されているような放電加工に
よって、図５（Ｂ）に示されているように、凸型マイク
ロレンズアレイ形成用の高融点材料製金型５Ｂが得られ
る。
（Ａ）の場合に類似しているが、図２（Ｄ）に示されて
いるような凸型マイクロレンズアレイ形成用金型３Ｂが
放電加工用電極として用いられることのみにおいて異な
っている。図４（Ｂ）に示されているような放電加工に
よって、図５（Ｂ）に示されているように、凸型マイク
ロレンズアレイ形成用の高融点材料製金型５Ｂが得られ
る。
【００３６】図５においては、金型を用いてマイクロレ
ンズアレイを形成する方法が、概略的な断面図で図解さ
れている。図５（Ａ）において、めっきによって形成さ
れた金型３Ｂが用いられる場合、透明樹脂を射出成形す
ることによって、樹脂製の凸型マイクロレンズアレイ７
Ａが得られる。他方、図５（Ａ）において高融点材料の
金型５Ａが用いられる場合、加熱軟化されたガラス板に
その金型５Ａを押圧することによって、ガラス製の凸型
マイクロレンズアレイ７Ａが得られる。
ンズアレイを形成する方法が、概略的な断面図で図解さ
れている。図５（Ａ）において、めっきによって形成さ
れた金型３Ｂが用いられる場合、透明樹脂を射出成形す
ることによって、樹脂製の凸型マイクロレンズアレイ７
Ａが得られる。他方、図５（Ａ）において高融点材料の
金型５Ａが用いられる場合、加熱軟化されたガラス板に
その金型５Ａを押圧することによって、ガラス製の凸型
マイクロレンズアレイ７Ａが得られる。
【００３７】同様に、図５（Ｂ）においてめっきによっ
て形成された金型３Ａが用いられる場合、透明樹脂を射
出成形することによって、樹脂製の凹型マイクロレンズ
アレイ７Ｂが得られる。他方、図５（Ｂ）において高融
点材料の金型５Ｂが用いられる場合、加熱軟化されたガ
ラス板にその金型５Ｂを押圧することによって、ガラス
製の凹型マイクロレンズアレイ７Ｂが得られる。
て形成された金型３Ａが用いられる場合、透明樹脂を射
出成形することによって、樹脂製の凹型マイクロレンズ
アレイ７Ｂが得られる。他方、図５（Ｂ）において高融
点材料の金型５Ｂが用いられる場合、加熱軟化されたガ
ラス板にその金型５Ｂを押圧することによって、ガラス
製の凹型マイクロレンズアレイ７Ｂが得られる。
【００３８】その結果、図６の概略的な斜視図に示され
ているように、凸型または凹型の複数のマイクロレンズ
が規則的に配列された樹脂製またはガラス製のマイクロ
レンズアレイ板７が得られる。
ているように、凸型または凹型の複数のマイクロレンズ
が規則的に配列された樹脂製またはガラス製のマイクロ
レンズアレイ板７が得られる。
【００３９】
【発明の効果】以上から理解されるように、本発明の製
造方法によって得られた金型を用いることにとよって、
形成されるマイクロレンズアレイ板ごとにレンズの曲面
が変動することはなく、また、１枚のマイクロレンズア
レイに含まれるレンズの形状が場所に依存して変動する
ことが防止され得る。
造方法によって得られた金型を用いることにとよって、
形成されるマイクロレンズアレイ板ごとにレンズの曲面
が変動することはなく、また、１枚のマイクロレンズア
レイに含まれるレンズの形状が場所に依存して変動する
ことが防止され得る。
【図１】本発明の１つの実施の形態によるマイクロレン
ズアレイ形成用金型の製造方法を説明するための概略図
であり、（Ａ）は一部切断斜視図を表わし、（Ｂ）〜
（Ｄ）は断面図を表わしている。
ズアレイ形成用金型の製造方法を説明するための概略図
であり、（Ａ）は一部切断斜視図を表わし、（Ｂ）〜
（Ｄ）は断面図を表わしている。
【図２】本発明のもう１つの実施の形態によるマイクロ
レンズアレイ形成用金型の製造方法を図解する概略的な
断面図である。
レンズアレイ形成用金型の製造方法を図解する概略的な
断面図である。
【図３】本発明のさらに他の実施の形態によるマイクロ
レンズアレイ形成用金型を製造する方法を図解する概略
的な断面図である。
レンズアレイ形成用金型を製造する方法を図解する概略
的な断面図である。
【図４】本発明のさらに他の実施の形態によるマイクロ
レンズアレイ形成用金型の製造方法を示す概略的な断面
図である。
レンズアレイ形成用金型の製造方法を示す概略的な断面
図である。
【図５】本発明の製造方法によって得られたマイクロレ
ンズアレイ形成用金型を用いてマイクロレンズアレイ板
を形成する過程を示す概略的な断面図である。
ンズアレイ形成用金型を用いてマイクロレンズアレイ板
を形成する過程を示す概略的な断面図である。
【図６】本発明によって得られた金型を用いて形成され
たマイクロレンズアレイ板の一例を示す概略的な斜視図
である。
たマイクロレンズアレイ板の一例を示す概略的な斜視図
である。
【図７】先行技術によるマイクロレンズアレイ形成用金
型を製造する方法を図解する概略的な断面図である。
型を製造する方法を図解する概略的な断面図である。
【図８】図７（Ｃ）に対応するマイクロレンズアレイ形
成用金型の斜視図である。
成用金型の斜視図である。
【図９】図８の金型を利用してマイクロレンズアレイを
形成する工程を示す概略的な断面図である。
形成する工程を示す概略的な断面図である。
１ 蜂の巣状板 １ａ 貫通孔 ２ａ，２ｂ 液状樹脂 ２Ａ，２Ｂ 硬化樹脂 Ｐ ガス圧差 ３Ａ，３Ｂ めっきによって形成された金型または放電
加工用電極 ４ 導電性薄膜 ４Ａ ガス圧差Ｐによって局所的に塑性変形された導電
性膜 ５ 導電性高融点材料 ６ 冷却用液体 ７ 金型を用いて形成されたマイクロレンズアレイ板
加工用電極 ４ 導電性薄膜 ４Ａ ガス圧差Ｐによって局所的に塑性変形された導電
性膜 ５ 導電性高融点材料 ６ 冷却用液体 ７ 金型を用いて形成されたマイクロレンズアレイ板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ２９Ｌ 11:00
Claims (8)
- 【請求項１】 規則的に配列された複数の小さな貫通孔
を含む蜂の巣状板を形成し、 所定の硬化収縮率と所定の粘性を有する液体状樹脂を前
記貫通孔の各々内に含ませ、 前記液体状樹脂を硬化収縮させることによって、前記貫
通孔の各々において硬化樹脂の凹型自由表面を形成し、
複数の小さな前記凹型表面領域を含めて前記蜂の巣状板
の主表面を覆うように、気相堆積によってめっき用金属
電極層を形成し、 前記電極層上に厚くめっきすることによって、前記凹型
表面領域が逆転写された複数の小さな凸型表面領域の配
列を含む金型を形成することを特徴とするマイクロレン
ズアレイ形成用金型の製造方法。 - 【請求項２】 規則的に配列された複数の小さな貫通孔
を含む蜂の巣状板を形成し、 所定の粘性を有する液体状樹脂を前記貫通孔の各々内に
含ませ、 すべての前記貫通孔内の前記液体状樹脂の一方の自由表
面と他方の自由表面との間にガス圧差を生じさせること
によって前記一方と他方の自由表面をそれぞれ凹型表面
と凸型表面にした状態で前記樹脂を硬化させ、 複数の小さな前記凹型または凸型表面領域を含めて前記
蜂の巣状板の主表面を覆うように、気相堆積によってめ
っき用金属電極層を形成し、 前記電極層上に厚くめっきすることによって、前記凹型
または凸型表面領域が逆転写された複数の小さな凸型ま
たは凹型表面領域の配列を含む金型を形成することを特
徴とするマイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法。 - 【請求項３】 規則的に配列された複数の小さな貫通孔
を含む蜂の巣状板を形成し、 前記蜂の巣状板の１主面に導電性膜の第１主面を密着さ
せ、 前記膜の第１主面側に比べて第２主面側のガス圧を相対
的に大きくすることによる前記膜の局所的な塑性変形に
よって、前記膜の第２主面上で前記孔に対応して複数の
小さな凹型表面領域を形成し、 前記膜の第２主面上に厚くめっきすることによって、前
記凹型表面領域が逆転写された複数の小さな凸型表面領
域の配列を含む金型を形成することを特徴とするマイク
ロレンズアレイ形成用金型の製造方法。 - 【請求項４】 規則的に配列された複数の小さな貫通孔
を含む蜂の巣状板を形成し、 所定の硬化収縮率と所定の粘性を有する液体状樹脂を前
記貫通孔の各々内に含ませ、 前記液体状樹脂を硬化収縮させることによって、前記貫
通孔の各々において硬化樹脂の凹型自由表面を形成し、 複数の小さな前記凹型表面領域を含めて前記蜂の巣状板
の主表面を覆うように気相堆積によってめっき用金属電
極層を形成し、 前記めっき用電極層上に厚くめっきすることによって、
前記凹型表面領域が逆転写された複数の小さな凸型表面
領域の配列を含む放電加工用電極を形成し、 前記放電加工用電極を用いて高融点の金属または合金の
表面を加工することによって、前記放電加工用電極の前
記凸型表面領域が逆転写された複数の小さな凹型表面領
域の配列を含む金型を形成することを特徴とするマイク
ロレンズアレイ形成用金型の製造方法。 - 【請求項５】 規則的に配列された複数の小さな貫通孔
を含む蜂の巣状板を形成し、 所定の粘性を有する液体状樹脂を前記貫通孔の各々内に
含ませ、 すべての前記貫通孔内の前記液体状樹脂の一方の自由表
面と他方の自由表面との間にガス圧差を生じさせること
によって前記一方と他方の自由表面をそれぞれ凹型表面
と凸型表面にした状態で前記樹脂を硬化させ、 複数の小さな前記凹型または凸型表面領域を含めて前記
蜂の巣状板の主表面を覆うように気相堆積によってめっ
き用金属電極層を形成し、 前記めっき用電極層上に厚くめっきすることによって、
前記凹型または凸型表面領域が逆転写された複数の小さ
な凸型または凹型表面領域の配列を含む放電加工用電極
を形成し、 前記放電加工用電極を用いて高融点の金属または合金の
表面を加工することによって、前記放電加工用電極の前
記凸型または凹型表面領域が逆転写された複数の小さな
凹型または凸型表面領域の配列を含む金型を形成するこ
とを特徴とするマイクロレンズアレイ形成用金型の製造
方法。 - 【請求項６】 規則的に配列された複数の小さな貫通孔
を含む蜂の巣状板を形成し、 前記蜂の巣状板の１主面に導電性膜の第１主面を密着さ
せ、 前記膜の第１主面側に比べて第２主面側のガス圧を相対
的に大きくすることによる前記膜の局所的な塑性変形に
よって、前記膜の第２主面上で前記孔に対応して複数の
小さな凹型表面領域を形成し、 前記膜の第２主面上に厚くめっきすることによって、前
記凹型表面領域が逆転写された複数の小さな凸型表面領
域の配列を含む放電加工用電極を形成し、 前記放電加工用電極を用いて高融点の金属または合金の
表面を加工することによって、前記放電加工用電極の前
記凸型表面領域が逆転写された複数の小さな凹型表面領
域の配列を含む金型を形成することを特徴とするマイク
ロレンズアレイ形成用金型の製造方法。 - 【請求項７】 請求項１から３のいずれかの項に記載さ
れた製造方法によって得られた金型に対して透明樹脂を
射出成形することによって樹脂製マイクロレンズアレイ
を形成することを特徴とするマイクロレンズアレイの製
造方法。 - 【請求項８】 請求項４から６のいずれかの項に記載さ
れた製造方法によって得られた金型を加熱軟化されたガ
ラス板の表面に押圧することによってガラス製マイクロ
レンズアレイを形成することを特徴とするマイクロレン
ズアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11026243A JP2000218655A (ja) | 1999-02-03 | 1999-02-03 | マイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11026243A JP2000218655A (ja) | 1999-02-03 | 1999-02-03 | マイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000218655A true JP2000218655A (ja) | 2000-08-08 |
Family
ID=12187869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11026243A Withdrawn JP2000218655A (ja) | 1999-02-03 | 1999-02-03 | マイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000218655A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103675958A (zh) * | 2012-09-04 | 2014-03-26 | 菱光科技股份有限公司 | 透镜阵列模块及其制法 |
| CN104199130A (zh) * | 2014-08-29 | 2014-12-10 | 河北工业大学 | 一种pdms透镜的制作方法 |
| KR20150123743A (ko) * | 2014-04-25 | 2015-11-04 | 한국과학기술원 | 액체 렌즈 어레이 제조용 금형의 제조 방법 |
| CN105366919A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-03-02 | 湘潭大学 | 一种用于制造微结构薄玻璃元件的锡液辅助模压成形装置 |
| CN105366918A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-03-02 | 湘潭大学 | 基于锡液介质超声振动辅助模压成形的方法及其专用成形装置 |
| JP2016055362A (ja) * | 2014-09-08 | 2016-04-21 | 学校法人千葉工業大学 | 放電加工用電極及び該電極を用いた放電加工方法 |
| CN106363108A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-02-01 | 科斗（苏州）脑机科技有限公司 | 微丝阵列电极生产模具 |
| CN106493264A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-03-15 | 科斗（苏州）脑机科技有限公司 | 微丝阵列电极生产模具 |
| CN111087165A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-05-01 | 山东力诺特种玻璃股份有限公司 | 玻璃透镜的模具装置及玻璃透镜的生产线 |
| KR20200049042A (ko) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 한국광기술원 | 자유 형상 렌즈 제조장치 및 방법 |
-
1999
- 1999-02-03 JP JP11026243A patent/JP2000218655A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103675958A (zh) * | 2012-09-04 | 2014-03-26 | 菱光科技股份有限公司 | 透镜阵列模块及其制法 |
| KR20150123743A (ko) * | 2014-04-25 | 2015-11-04 | 한국과학기술원 | 액체 렌즈 어레이 제조용 금형의 제조 방법 |
| KR101683699B1 (ko) | 2014-04-25 | 2016-12-20 | 한국과학기술원 | 액체 렌즈 어레이 제조용 금형의 제조 방법 |
| CN104199130B (zh) * | 2014-08-29 | 2016-08-24 | 河北工业大学 | 一种pdms透镜的制作方法 |
| CN104199130A (zh) * | 2014-08-29 | 2014-12-10 | 河北工业大学 | 一种pdms透镜的制作方法 |
| JP2016055362A (ja) * | 2014-09-08 | 2016-04-21 | 学校法人千葉工業大学 | 放電加工用電極及び該電極を用いた放電加工方法 |
| CN105366919A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-03-02 | 湘潭大学 | 一种用于制造微结构薄玻璃元件的锡液辅助模压成形装置 |
| CN105366918A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-03-02 | 湘潭大学 | 基于锡液介质超声振动辅助模压成形的方法及其专用成形装置 |
| CN106363108A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-02-01 | 科斗（苏州）脑机科技有限公司 | 微丝阵列电极生产模具 |
| CN106493264A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-03-15 | 科斗（苏州）脑机科技有限公司 | 微丝阵列电极生产模具 |
| KR20200049042A (ko) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 한국광기술원 | 자유 형상 렌즈 제조장치 및 방법 |
| KR102152504B1 (ko) | 2018-10-31 | 2020-09-04 | 한국광기술원 | 자유 형상 렌즈 제조장치 및 방법 |
| CN111087165A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-05-01 | 山东力诺特种玻璃股份有限公司 | 玻璃透镜的模具装置及玻璃透镜的生产线 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100880104B1 (ko) | 기판 상에 마이크로전자 스프링 구조체를 형성하는 방법 | |
| US7364930B2 (en) | Method for producing micromechanical and micro-optic components consisting of glass-type materials | |
| JP2000218655A (ja) | マイクロレンズアレイ形成用金型の製造方法 | |
| US20060039818A1 (en) | Method of forming a die | |
| JP2007070709A (ja) | 電鋳型、電鋳型の製造方法及び電鋳部品の製造方法 | |
| JP4243129B2 (ja) | 導光板成形用金型の加工方法 | |
| TWI762059B (zh) | 製造鐘錶元件的方法及依此方法生產的元件 | |
| TWI833053B (zh) | 製造時計組件之方法及由此方法所獲得之組件 | |
| JP2006235195A (ja) | 反射防止構造体を有する部材の製造方法 | |
| EP1639411B1 (en) | A nano impression lithographic process which involves the use of a die having a region able to generate heat | |
| EP3266905B1 (en) | Method for manufacturing a timepiece component | |
| US20060110845A1 (en) | Method of manufacturing micro-structure element by utilizing molding glass | |
| JP4515207B2 (ja) | 型の製造方法とその型を用いて製造された部品 | |
| WO2008001487A1 (fr) | corps microstructureL et son procédé de fabrication | |
| EP1212181B1 (en) | A method for the manufacturing of a matrix and a matrix manufactured according to said method | |
| JP2008208431A (ja) | 電鋳型とその製造方法および電鋳部品の製造方法 | |
| WO2003061356A1 (en) | Embossing die for fabricating high density interconnects and method for its fabrication | |
| JP4106407B2 (ja) | 光学素子の製造方法 | |
| JPH0627302A (ja) | 光学素子の母型およびその製造方法 | |
| KR100354864B1 (ko) | 미세방전가공용 방전전극의 제조방법 | |
| CN113835295B (zh) | 微纳特征的压印方法 | |
| JP2006022365A (ja) | 電解コンデンサ電極用アルミニウム箔の製造方法 | |
| JPH07149528A (ja) | マイクロレンズアレイの成形用型及びその製造方法並びにマイクロレンズの製造方法 | |
| US6251565B1 (en) | Method of making molds for manufacturing multiple-lead microstructures | |
| JP2021184021A (ja) | 光学素子の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060404 |