JP2000216593A - 帯状部材搬送用ガイドレ―ル - Google Patents
帯状部材搬送用ガイドレ―ルInfo
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】摩擦抵抗の低減が図れると共に、ガイド部より
帯状部材を容易に引き出すことができる帯状部材搬送用
ガイドレールの提供。 【解決手段】ガイドレール10A、10Bは、レール本
体11A、11Bと、帯状部材1の上面を部分的にガイ
ドするようにレール本体11A、11Bの上面に固定さ
れたガイド部材12A、12Bとからなる。前記ガイド
部材12A、12Bは、帯状部材1の中方向をガイドす
る軸部13A、13Bと、帯状部材1の上下方向をガイ
ドする上下方向ガイド部となるつば部14A、14Bと
からなっている。
帯状部材を容易に引き出すことができる帯状部材搬送用
ガイドレールの提供。 【解決手段】ガイドレール10A、10Bは、レール本
体11A、11Bと、帯状部材1の上面を部分的にガイ
ドするようにレール本体11A、11Bの上面に固定さ
れたガイド部材12A、12Bとからなる。前記ガイド
部材12A、12Bは、帯状部材1の中方向をガイドす
る軸部13A、13Bと、帯状部材1の上下方向をガイ
ドする上下方向ガイド部となるつば部14A、14Bと
からなっている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
おいて使用する帯状部材搬送用ガイドレールに関する。
おいて使用する帯状部材搬送用ガイドレールに関する。
【0002】
【従来の技術】半導体製造装置において使用する帯状部
材搬送用ガイドレールは、図3に示すような構造となっ
ている。帯状部材1の両側部をガイドする一対のガイド
レール2A、2Bが相対向して配設されている。ガイド
レール2A、2Bは、レール本体3A、3Bと、このレ
ール本体3A、3Bの上面に固定され、帯状部材1の上
下方向をガイドする上下方向ガイド板4A、4Bとから
なり、レール本体3A、3Bと上下方向ガイド板4A、
4Bとでガイド溝5A、5Bを形成している。なお、こ
の種のガイドレール2A、2Bとして、例えば特公平1
−57498号公報、特公平2−54664号公報、特
公平3−14226号公報等があげられる。
材搬送用ガイドレールは、図3に示すような構造となっ
ている。帯状部材1の両側部をガイドする一対のガイド
レール2A、2Bが相対向して配設されている。ガイド
レール2A、2Bは、レール本体3A、3Bと、このレ
ール本体3A、3Bの上面に固定され、帯状部材1の上
下方向をガイドする上下方向ガイド板4A、4Bとから
なり、レール本体3A、3Bと上下方向ガイド板4A、
4Bとでガイド溝5A、5Bを形成している。なお、こ
の種のガイドレール2A、2Bとして、例えば特公平1
−57498号公報、特公平2−54664号公報、特
公平3−14226号公報等があげられる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の帯状部材搬送用
ガイドレールにおいては、帯状部材1の両側部の上下面
の全体がレール本体3A、3Bと上下方向ガイド板4
A、4Bによって形成されるガイド溝5A、5Bによっ
て上下方向が規制されて搬送される。このため、帯状部
材1の搬送時の摩擦抵抗が大きい。特に帯状部材1がフ
ィルムキャリアテープの場合には、厚さが25〜125
μmと薄く、かつ柔軟性を有するので、搬送時にうね
り、ねじり等が発生する。このうねり、ねじり等によ
り、タブテープの両側部の上下面のガイド溝5A、5B
への摩擦抵抗が大きくなり、タブテープの形状変形が生
じたり、傷が付く等の問題があった。帯状部材1がリー
ドフレームの場合はうねり、ねじり等は生じないが、や
はり摩擦抵抗が大きくなると、搬送動力源の動力を大き
くする必要があった。
ガイドレールにおいては、帯状部材1の両側部の上下面
の全体がレール本体3A、3Bと上下方向ガイド板4
A、4Bによって形成されるガイド溝5A、5Bによっ
て上下方向が規制されて搬送される。このため、帯状部
材1の搬送時の摩擦抵抗が大きい。特に帯状部材1がフ
ィルムキャリアテープの場合には、厚さが25〜125
μmと薄く、かつ柔軟性を有するので、搬送時にうね
り、ねじり等が発生する。このうねり、ねじり等によ
り、タブテープの両側部の上下面のガイド溝5A、5B
への摩擦抵抗が大きくなり、タブテープの形状変形が生
じたり、傷が付く等の問題があった。帯状部材1がリー
ドフレームの場合はうねり、ねじり等は生じないが、や
はり摩擦抵抗が大きくなると、搬送動力源の動力を大き
くする必要があった。
【0004】また帯状部材1の搬送中に何らかのトラブ
ルが生じた時に、装置を停止させて帯状部材1をガイド
溝5A、5Bより引き出す必要がある。しかし、ガイド
溝5A、5Bは連続しているので、帯状部材1をガイド
溝5A、5Bより引き出すのが困難であった。
ルが生じた時に、装置を停止させて帯状部材1をガイド
溝5A、5Bより引き出す必要がある。しかし、ガイド
溝5A、5Bは連続しているので、帯状部材1をガイド
溝5A、5Bより引き出すのが困難であった。
【0005】本発明の課題は、摩擦抵抗の低減が図れる
と共に、ガイド部より帯状部材を容易に引き出すことが
できる帯状部材搬送用ガイドレールを提供することにあ
る。
と共に、ガイド部より帯状部材を容易に引き出すことが
できる帯状部材搬送用ガイドレールを提供することにあ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第1の手段は、帯状部材の両側部をガイドす
るように相対向して配設された一対のガイドレールから
なる帯状部材搬送用ガイドレールにおいて、前記ガイド
レールは、レール本体と、前記帯状部材の上面を部分的
にガイドするように前記レール本体の上面に固定された
ガイド部材とからなることを特徴とする。
の本発明の第1の手段は、帯状部材の両側部をガイドす
るように相対向して配設された一対のガイドレールから
なる帯状部材搬送用ガイドレールにおいて、前記ガイド
レールは、レール本体と、前記帯状部材の上面を部分的
にガイドするように前記レール本体の上面に固定された
ガイド部材とからなることを特徴とする。
【0007】上記課題を解決するための本発明の第2の
手段は、前記第1の手段において、前記ガイド部材は、
前記帯状部材の幅方向をガイドするように、前記帯状部
材の搬送方向に一定間隔を保って前記レール本体に固定
された幅方向ガイド部と、前記帯状部材の上下方向をガ
イドするように、前記幅方向ガイド部に設けられた上下
方向ガイド部とからなることを特徴とする。
手段は、前記第1の手段において、前記ガイド部材は、
前記帯状部材の幅方向をガイドするように、前記帯状部
材の搬送方向に一定間隔を保って前記レール本体に固定
された幅方向ガイド部と、前記帯状部材の上下方向をガ
イドするように、前記幅方向ガイド部に設けられた上下
方向ガイド部とからなることを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明の第1の実施の形態を図1
により説明する。フィルムキャリアテープよりなる帯状
部材1の両側部をガイドするように相対向して配設され
た一対のガイドレール10A、10Bは、レール本体1
1A、11Bと、その上面に帯状部材1の搬送方向に沿
って固定された複数個のガイド部材12A、12Bとか
らなっている。ガイド部材12A、12Bは、帯状部材
1の幅方向をガイドする幅方向ガイド部となる軸部13
A、13Bと、帯状部材1の上下方向をガイドする上下
方向ガイド部となるつば部14A、14Bとからなって
いる。
により説明する。フィルムキャリアテープよりなる帯状
部材1の両側部をガイドするように相対向して配設され
た一対のガイドレール10A、10Bは、レール本体1
1A、11Bと、その上面に帯状部材1の搬送方向に沿
って固定された複数個のガイド部材12A、12Bとか
らなっている。ガイド部材12A、12Bは、帯状部材
1の幅方向をガイドする幅方向ガイド部となる軸部13
A、13Bと、帯状部材1の上下方向をガイドする上下
方向ガイド部となるつば部14A、14Bとからなって
いる。
【0009】そこで、帯状部材1の上下方向は、レール
本体11A、11Bの上面とつば部14A、14Bの下
面との間隔によって規制されて搬送される。この場合、
帯状部材1の上面はつば部14A、14Bによって部分
的に規制されるので、搬送方向におけるガイド部材12
A、12B間の部分は規制されない。このため、搬送時
における摩擦抵抗が軽減し、変形及び傷等が生じにくい
と共に、搬送動力源の動力も小さくてよい。
本体11A、11Bの上面とつば部14A、14Bの下
面との間隔によって規制されて搬送される。この場合、
帯状部材1の上面はつば部14A、14Bによって部分
的に規制されるので、搬送方向におけるガイド部材12
A、12B間の部分は規制されない。このため、搬送時
における摩擦抵抗が軽減し、変形及び傷等が生じにくい
と共に、搬送動力源の動力も小さくてよい。
【0010】また帯状部材1の搬送中に何らかのトラブ
ルが生じた時に、装置を停止させて帯状部材1をレール
本体11A、11B上より引き出す場合、帯状部材1を
該ガイド部材12A、12Bより外すせばよいので、帯
状部材1をレール本体11A、11Bより容易に引き出
すことができる。また引き出して処置したら帯状部材1
をガイド部材12A、12Bに挿入すればよいので、帯
状部材1をガイドレール10A、10Bに容易に戻すこ
とができる。
ルが生じた時に、装置を停止させて帯状部材1をレール
本体11A、11B上より引き出す場合、帯状部材1を
該ガイド部材12A、12Bより外すせばよいので、帯
状部材1をレール本体11A、11Bより容易に引き出
すことができる。また引き出して処置したら帯状部材1
をガイド部材12A、12Bに挿入すればよいので、帯
状部材1をガイドレール10A、10Bに容易に戻すこ
とができる。
【0011】図2は本発明の第2の実施の形態を示す。
本実施の形態は、前記実施の形態におけるつば部14
A、14Bをローラ21A、21Bに代えたものであ
る。即ち、ガイド部材12A、12Bは、レール本体1
1A、11Bに固定されたピン軸20A、20Bと、こ
のピン軸20A、20Bに回転自在に設けられたローラ
21A、21Bとからなっている。
本実施の形態は、前記実施の形態におけるつば部14
A、14Bをローラ21A、21Bに代えたものであ
る。即ち、ガイド部材12A、12Bは、レール本体1
1A、11Bに固定されたピン軸20A、20Bと、こ
のピン軸20A、20Bに回転自在に設けられたローラ
21A、21Bとからなっている。
【0012】従って、本実施の形態においても前記実施
の形態と同様に、ピン軸20A、20Bの間隔が帯状部
材1の動きを規制し、レール本体11A、11Bの上面
とローラ21A、21Bの下面の間隔が帯状部材1の上
下方向を部分的に規制する。本実施の形態の場合には、
帯状部材1の搬送によりローラ21A、21Bが回転し
て転がり接触となるので、前記実施の形態より更に摩擦
抵抗の軽減が図れる。また帯状部材1をガイドレール1
0A、10Bより容易に引き出すことができる。
の形態と同様に、ピン軸20A、20Bの間隔が帯状部
材1の動きを規制し、レール本体11A、11Bの上面
とローラ21A、21Bの下面の間隔が帯状部材1の上
下方向を部分的に規制する。本実施の形態の場合には、
帯状部材1の搬送によりローラ21A、21Bが回転し
て転がり接触となるので、前記実施の形態より更に摩擦
抵抗の軽減が図れる。また帯状部材1をガイドレール1
0A、10Bより容易に引き出すことができる。
【0013】
【発明の効果】本発明の第1及び第2の手段によれば、
帯状部材の搬送時における摩擦抵抗の軽減が図れると共
に、ガイド部より帯状部材を容易に引き出すことができ
る帯状部材搬送用ガイドレールを提供することにある。
帯状部材の搬送時における摩擦抵抗の軽減が図れると共
に、ガイド部より帯状部材を容易に引き出すことができ
る帯状部材搬送用ガイドレールを提供することにある。
【図1】本発明の帯状部材搬送用ガイドレールの第1の
実施の形態を示し、(a)は斜視図、(b)は搬送方向
より見た図である。
実施の形態を示し、(a)は斜視図、(b)は搬送方向
より見た図である。
【図2】本発明の帯状部材搬送用ガイドレールの第2の
実施の形態を示し、(a)は斜視図、(b)は搬送方向
より見た図である。
実施の形態を示し、(a)は斜視図、(b)は搬送方向
より見た図である。
【図3】従来の帯状部材搬送用ガイドレールを示し、
(a)は斜視図、(b)は搬送方向より見た図である。
(a)は斜視図、(b)は搬送方向より見た図である。
1 帯状部材 2A、2B ガイドレール 3A、3B レール本体 4A、4B 上下方向ガイド板 5A、5B ガイド溝 10A、10B ガイドレール 11A、11B レール本体 12A、12B ガイド部材 13A、13B 軸部 14A、14B つば部 20A、20B ピン軸 21A、21B ローラ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成11年5月7日(1999.5.7)
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図2
【補正方法】変更
【補正内容】
【図2】
Claims (2)
- 【請求項1】 帯状部材の両側部をガイドするように相
対向して配設された一対のガイドレールからなる帯状部
材搬送用ガイドレールにおいて、前記ガイドレールは、
レール本体と、前記帯状部材の上面を部分的にガイドす
るように前記レール本体の上面に固定されたガイド部材
とからなることを特徴とする帯状部材搬送用ガイドレー
ル。 - 【請求項2】 前記ガイド部材は、前記帯状部材の幅方
向をガイドするように、前記帯状部材の搬送方向に一定
間隔を保って前記レール本体に固定された幅方向ガイド
部と、前記帯状部材の上下方向をガイドするように、前
記幅方向ガイド部に設けられた上下方向ガイド部とから
なることを特徴とする請求項1記載の帯状部材搬送用ガ
イドレール。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11013831A JP2000216593A (ja) | 1999-01-22 | 1999-01-22 | 帯状部材搬送用ガイドレ―ル |
TW088122086A TW430912B (en) | 1999-01-22 | 1999-12-16 | Guide rail for carrying belt-like member |
KR10-2000-0002553A KR100380919B1 (ko) | 1999-01-22 | 2000-01-20 | 띠형상 부재 반송용 가이드 레일 |
US09/489,700 US7334754B1 (en) | 1999-01-22 | 2000-01-24 | Guide rails for conveying band-form members |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11013831A JP2000216593A (ja) | 1999-01-22 | 1999-01-22 | 帯状部材搬送用ガイドレ―ル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000216593A true JP2000216593A (ja) | 2000-08-04 |
Family
ID=11844229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11013831A Pending JP2000216593A (ja) | 1999-01-22 | 1999-01-22 | 帯状部材搬送用ガイドレ―ル |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7334754B1 (ja) |
JP (1) | JP2000216593A (ja) |
KR (1) | KR100380919B1 (ja) |
TW (1) | TW430912B (ja) |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1251982B (ja) * | 1965-12-10 | 1967-10-12 | ||
US3692223A (en) * | 1970-12-18 | 1972-09-19 | Anaconda American Brass Co | Adjustable guide for a moving sheet |
US3927814A (en) * | 1972-11-06 | 1975-12-23 | Riggs & Lombard Inc | Guide for a moving belt |
CH565698A5 (ja) * | 1973-03-09 | 1975-08-29 | Bobst Fils Sa J | |
US3949920A (en) * | 1974-08-01 | 1976-04-13 | Uniroyal Inc. | Fabric alignment apparatus |
JPH0725446B2 (ja) * | 1986-05-31 | 1995-03-22 | ノーリツ鋼機株式会社 | 写真処理機におけるペ−パ−ガイド装置 |
JPH0254664A (ja) | 1988-08-19 | 1990-02-23 | Canon Inc | 情報処理装置 |
JPH08203949A (ja) * | 1995-01-26 | 1996-08-09 | Sony Corp | ワイヤーボンディング装置 |
KR0176439B1 (ko) * | 1996-02-02 | 1999-04-15 | 이대원 | 리드 프레임 가이드 레일 |
IT1286171B1 (it) * | 1996-07-12 | 1998-07-07 | Bridgestone Firestone Tech | Gruppo convogliatore di materiale in strisce. |
-
1999
- 1999-01-22 JP JP11013831A patent/JP2000216593A/ja active Pending
- 1999-12-16 TW TW088122086A patent/TW430912B/zh not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-01-20 KR KR10-2000-0002553A patent/KR100380919B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-01-24 US US09/489,700 patent/US7334754B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW430912B (en) | 2001-04-21 |
US7334754B1 (en) | 2008-02-26 |
KR100380919B1 (ko) | 2003-04-21 |
KR20000053536A (ko) | 2000-08-25 |
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Legal Events
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050125 |