JP2000216593A - 帯状部材搬送用ガイドレ―ル - Google Patents
帯状部材搬送用ガイドレ―ルInfo
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】摩擦抵抗の低減が図れると共に、ガイド部より
帯状部材を容易に引き出すことができる帯状部材搬送用
ガイドレールの提供。 【解決手段】ガイドレール１０Ａ、１０Ｂは、レール本
体１１Ａ、１１Ｂと、帯状部材１の上面を部分的にガイ
ドするようにレール本体１１Ａ、１１Ｂの上面に固定さ
れたガイド部材１２Ａ、１２Ｂとからなる。前記ガイド
部材１２Ａ、１２Ｂは、帯状部材１の中方向をガイドす
る軸部１３Ａ、１３Ｂと、帯状部材１の上下方向をガイ
ドする上下方向ガイド部となるつば部１４Ａ、１４Ｂと
からなっている。
帯状部材を容易に引き出すことができる帯状部材搬送用
ガイドレールの提供。 【解決手段】ガイドレール１０Ａ、１０Ｂは、レール本
体１１Ａ、１１Ｂと、帯状部材１の上面を部分的にガイ
ドするようにレール本体１１Ａ、１１Ｂの上面に固定さ
れたガイド部材１２Ａ、１２Ｂとからなる。前記ガイド
部材１２Ａ、１２Ｂは、帯状部材１の中方向をガイドす
る軸部１３Ａ、１３Ｂと、帯状部材１の上下方向をガイ
ドする上下方向ガイド部となるつば部１４Ａ、１４Ｂと
からなっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
おいて使用する帯状部材搬送用ガイドレールに関する。
おいて使用する帯状部材搬送用ガイドレールに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置において使用する帯状部
材搬送用ガイドレールは、図３に示すような構造となっ
ている。帯状部材１の両側部をガイドする一対のガイド
レール２Ａ、２Ｂが相対向して配設されている。ガイド
レール２Ａ、２Ｂは、レール本体３Ａ、３Ｂと、このレ
ール本体３Ａ、３Ｂの上面に固定され、帯状部材１の上
下方向をガイドする上下方向ガイド板４Ａ、４Ｂとから
なり、レール本体３Ａ、３Ｂと上下方向ガイド板４Ａ、
４Ｂとでガイド溝５Ａ、５Ｂを形成している。なお、こ
の種のガイドレール２Ａ、２Ｂとして、例えば特公平１
−５７４９８号公報、特公平２−５４６６４号公報、特
公平３−１４２２６号公報等があげられる。
材搬送用ガイドレールは、図３に示すような構造となっ
ている。帯状部材１の両側部をガイドする一対のガイド
レール２Ａ、２Ｂが相対向して配設されている。ガイド
レール２Ａ、２Ｂは、レール本体３Ａ、３Ｂと、このレ
ール本体３Ａ、３Ｂの上面に固定され、帯状部材１の上
下方向をガイドする上下方向ガイド板４Ａ、４Ｂとから
なり、レール本体３Ａ、３Ｂと上下方向ガイド板４Ａ、
４Ｂとでガイド溝５Ａ、５Ｂを形成している。なお、こ
の種のガイドレール２Ａ、２Ｂとして、例えば特公平１
−５７４９８号公報、特公平２−５４６６４号公報、特
公平３−１４２２６号公報等があげられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の帯状部材搬送用
ガイドレールにおいては、帯状部材１の両側部の上下面
の全体がレール本体３Ａ、３Ｂと上下方向ガイド板４
Ａ、４Ｂによって形成されるガイド溝５Ａ、５Ｂによっ
て上下方向が規制されて搬送される。このため、帯状部
材１の搬送時の摩擦抵抗が大きい。特に帯状部材１がフ
ィルムキャリアテープの場合には、厚さが２５〜１２５
μｍと薄く、かつ柔軟性を有するので、搬送時にうね
り、ねじり等が発生する。このうねり、ねじり等によ
り、タブテープの両側部の上下面のガイド溝５Ａ、５Ｂ
への摩擦抵抗が大きくなり、タブテープの形状変形が生
じたり、傷が付く等の問題があった。帯状部材１がリー
ドフレームの場合はうねり、ねじり等は生じないが、や
はり摩擦抵抗が大きくなると、搬送動力源の動力を大き
くする必要があった。
ガイドレールにおいては、帯状部材１の両側部の上下面
の全体がレール本体３Ａ、３Ｂと上下方向ガイド板４
Ａ、４Ｂによって形成されるガイド溝５Ａ、５Ｂによっ
て上下方向が規制されて搬送される。このため、帯状部
材１の搬送時の摩擦抵抗が大きい。特に帯状部材１がフ
ィルムキャリアテープの場合には、厚さが２５〜１２５
μｍと薄く、かつ柔軟性を有するので、搬送時にうね
り、ねじり等が発生する。このうねり、ねじり等によ
り、タブテープの両側部の上下面のガイド溝５Ａ、５Ｂ
への摩擦抵抗が大きくなり、タブテープの形状変形が生
じたり、傷が付く等の問題があった。帯状部材１がリー
ドフレームの場合はうねり、ねじり等は生じないが、や
はり摩擦抵抗が大きくなると、搬送動力源の動力を大き
くする必要があった。
【０００４】また帯状部材１の搬送中に何らかのトラブ
ルが生じた時に、装置を停止させて帯状部材１をガイド
溝５Ａ、５Ｂより引き出す必要がある。しかし、ガイド
溝５Ａ、５Ｂは連続しているので、帯状部材１をガイド
溝５Ａ、５Ｂより引き出すのが困難であった。
ルが生じた時に、装置を停止させて帯状部材１をガイド
溝５Ａ、５Ｂより引き出す必要がある。しかし、ガイド
溝５Ａ、５Ｂは連続しているので、帯状部材１をガイド
溝５Ａ、５Ｂより引き出すのが困難であった。
【０００５】本発明の課題は、摩擦抵抗の低減が図れる
と共に、ガイド部より帯状部材を容易に引き出すことが
できる帯状部材搬送用ガイドレールを提供することにあ
る。
と共に、ガイド部より帯状部材を容易に引き出すことが
できる帯状部材搬送用ガイドレールを提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１の手段は、帯状部材の両側部をガイドす
るように相対向して配設された一対のガイドレールから
なる帯状部材搬送用ガイドレールにおいて、前記ガイド
レールは、レール本体と、前記帯状部材の上面を部分的
にガイドするように前記レール本体の上面に固定された
ガイド部材とからなることを特徴とする。
の本発明の第１の手段は、帯状部材の両側部をガイドす
るように相対向して配設された一対のガイドレールから
なる帯状部材搬送用ガイドレールにおいて、前記ガイド
レールは、レール本体と、前記帯状部材の上面を部分的
にガイドするように前記レール本体の上面に固定された
ガイド部材とからなることを特徴とする。
【０００７】上記課題を解決するための本発明の第２の
手段は、前記第１の手段において、前記ガイド部材は、
前記帯状部材の幅方向をガイドするように、前記帯状部
材の搬送方向に一定間隔を保って前記レール本体に固定
された幅方向ガイド部と、前記帯状部材の上下方向をガ
イドするように、前記幅方向ガイド部に設けられた上下
方向ガイド部とからなることを特徴とする。
手段は、前記第１の手段において、前記ガイド部材は、
前記帯状部材の幅方向をガイドするように、前記帯状部
材の搬送方向に一定間隔を保って前記レール本体に固定
された幅方向ガイド部と、前記帯状部材の上下方向をガ
イドするように、前記幅方向ガイド部に設けられた上下
方向ガイド部とからなることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態を図１
により説明する。フィルムキャリアテープよりなる帯状
部材１の両側部をガイドするように相対向して配設され
た一対のガイドレール１０Ａ、１０Ｂは、レール本体１
１Ａ、１１Ｂと、その上面に帯状部材１の搬送方向に沿
って固定された複数個のガイド部材１２Ａ、１２Ｂとか
らなっている。ガイド部材１２Ａ、１２Ｂは、帯状部材
１の幅方向をガイドする幅方向ガイド部となる軸部１３
Ａ、１３Ｂと、帯状部材１の上下方向をガイドする上下
方向ガイド部となるつば部１４Ａ、１４Ｂとからなって
いる。
により説明する。フィルムキャリアテープよりなる帯状
部材１の両側部をガイドするように相対向して配設され
た一対のガイドレール１０Ａ、１０Ｂは、レール本体１
１Ａ、１１Ｂと、その上面に帯状部材１の搬送方向に沿
って固定された複数個のガイド部材１２Ａ、１２Ｂとか
らなっている。ガイド部材１２Ａ、１２Ｂは、帯状部材
１の幅方向をガイドする幅方向ガイド部となる軸部１３
Ａ、１３Ｂと、帯状部材１の上下方向をガイドする上下
方向ガイド部となるつば部１４Ａ、１４Ｂとからなって
いる。
【０００９】そこで、帯状部材１の上下方向は、レール
本体１１Ａ、１１Ｂの上面とつば部１４Ａ、１４Ｂの下
面との間隔によって規制されて搬送される。この場合、
帯状部材１の上面はつば部１４Ａ、１４Ｂによって部分
的に規制されるので、搬送方向におけるガイド部材１２
Ａ、１２Ｂ間の部分は規制されない。このため、搬送時
における摩擦抵抗が軽減し、変形及び傷等が生じにくい
と共に、搬送動力源の動力も小さくてよい。
本体１１Ａ、１１Ｂの上面とつば部１４Ａ、１４Ｂの下
面との間隔によって規制されて搬送される。この場合、
帯状部材１の上面はつば部１４Ａ、１４Ｂによって部分
的に規制されるので、搬送方向におけるガイド部材１２
Ａ、１２Ｂ間の部分は規制されない。このため、搬送時
における摩擦抵抗が軽減し、変形及び傷等が生じにくい
と共に、搬送動力源の動力も小さくてよい。
【００１０】また帯状部材１の搬送中に何らかのトラブ
ルが生じた時に、装置を停止させて帯状部材１をレール
本体１１Ａ、１１Ｂ上より引き出す場合、帯状部材１を
該ガイド部材１２Ａ、１２Ｂより外すせばよいので、帯
状部材１をレール本体１１Ａ、１１Ｂより容易に引き出
すことができる。また引き出して処置したら帯状部材１
をガイド部材１２Ａ、１２Ｂに挿入すればよいので、帯
状部材１をガイドレール１０Ａ、１０Ｂに容易に戻すこ
とができる。
ルが生じた時に、装置を停止させて帯状部材１をレール
本体１１Ａ、１１Ｂ上より引き出す場合、帯状部材１を
該ガイド部材１２Ａ、１２Ｂより外すせばよいので、帯
状部材１をレール本体１１Ａ、１１Ｂより容易に引き出
すことができる。また引き出して処置したら帯状部材１
をガイド部材１２Ａ、１２Ｂに挿入すればよいので、帯
状部材１をガイドレール１０Ａ、１０Ｂに容易に戻すこ
とができる。
【００１１】図２は本発明の第２の実施の形態を示す。
本実施の形態は、前記実施の形態におけるつば部１４
Ａ、１４Ｂをローラ２１Ａ、２１Ｂに代えたものであ
る。即ち、ガイド部材１２Ａ、１２Ｂは、レール本体１
１Ａ、１１Ｂに固定されたピン軸２０Ａ、２０Ｂと、こ
のピン軸２０Ａ、２０Ｂに回転自在に設けられたローラ
２１Ａ、２１Ｂとからなっている。
本実施の形態は、前記実施の形態におけるつば部１４
Ａ、１４Ｂをローラ２１Ａ、２１Ｂに代えたものであ
る。即ち、ガイド部材１２Ａ、１２Ｂは、レール本体１
１Ａ、１１Ｂに固定されたピン軸２０Ａ、２０Ｂと、こ
のピン軸２０Ａ、２０Ｂに回転自在に設けられたローラ
２１Ａ、２１Ｂとからなっている。
【００１２】従って、本実施の形態においても前記実施
の形態と同様に、ピン軸２０Ａ、２０Ｂの間隔が帯状部
材１の動きを規制し、レール本体１１Ａ、１１Ｂの上面
とローラ２１Ａ、２１Ｂの下面の間隔が帯状部材１の上
下方向を部分的に規制する。本実施の形態の場合には、
帯状部材１の搬送によりローラ２１Ａ、２１Ｂが回転し
て転がり接触となるので、前記実施の形態より更に摩擦
抵抗の軽減が図れる。また帯状部材１をガイドレール１
０Ａ、１０Ｂより容易に引き出すことができる。
の形態と同様に、ピン軸２０Ａ、２０Ｂの間隔が帯状部
材１の動きを規制し、レール本体１１Ａ、１１Ｂの上面
とローラ２１Ａ、２１Ｂの下面の間隔が帯状部材１の上
下方向を部分的に規制する。本実施の形態の場合には、
帯状部材１の搬送によりローラ２１Ａ、２１Ｂが回転し
て転がり接触となるので、前記実施の形態より更に摩擦
抵抗の軽減が図れる。また帯状部材１をガイドレール１
０Ａ、１０Ｂより容易に引き出すことができる。
【００１３】
【発明の効果】本発明の第１及び第２の手段によれば、
帯状部材の搬送時における摩擦抵抗の軽減が図れると共
に、ガイド部より帯状部材を容易に引き出すことができ
る帯状部材搬送用ガイドレールを提供することにある。
帯状部材の搬送時における摩擦抵抗の軽減が図れると共
に、ガイド部より帯状部材を容易に引き出すことができ
る帯状部材搬送用ガイドレールを提供することにある。
【図１】本発明の帯状部材搬送用ガイドレールの第１の
実施の形態を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は搬送方向
より見た図である。
実施の形態を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は搬送方向
より見た図である。
【図２】本発明の帯状部材搬送用ガイドレールの第２の
実施の形態を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は搬送方向
より見た図である。
実施の形態を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は搬送方向
より見た図である。
【図３】従来の帯状部材搬送用ガイドレールを示し、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は搬送方向より見た図である。
（ａ）は斜視図、（ｂ）は搬送方向より見た図である。
１ 帯状部材 ２Ａ、２Ｂ ガイドレール ３Ａ、３Ｂ レール本体 ４Ａ、４Ｂ 上下方向ガイド板 ５Ａ、５Ｂ ガイド溝 １０Ａ、１０Ｂ ガイドレール １１Ａ、１１Ｂ レール本体 １２Ａ、１２Ｂ ガイド部材 １３Ａ、１３Ｂ 軸部 １４Ａ、１４Ｂ つば部 ２０Ａ、２０Ｂ ピン軸 ２１Ａ、２１Ｂ ローラ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年５月７日（１９９９．５．７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (2)
- 【請求項１】 帯状部材の両側部をガイドするように相
対向して配設された一対のガイドレールからなる帯状部
材搬送用ガイドレールにおいて、前記ガイドレールは、
レール本体と、前記帯状部材の上面を部分的にガイドす
るように前記レール本体の上面に固定されたガイド部材
とからなることを特徴とする帯状部材搬送用ガイドレー
ル。 - 【請求項２】 前記ガイド部材は、前記帯状部材の幅方
向をガイドするように、前記帯状部材の搬送方向に一定
間隔を保って前記レール本体に固定された幅方向ガイド
部と、前記帯状部材の上下方向をガイドするように、前
記幅方向ガイド部に設けられた上下方向ガイド部とから
なることを特徴とする請求項１記載の帯状部材搬送用ガ
イドレール。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11013831A JP2000216593A (ja) | 1999-01-22 | 1999-01-22 | 帯状部材搬送用ガイドレ―ル |
| TW088122086A TW430912B (en) | 1999-01-22 | 1999-12-16 | Guide rail for carrying belt-like member |
| KR10-2000-0002553A KR100380919B1 (ko) | 1999-01-22 | 2000-01-20 | 띠형상 부재 반송용 가이드 레일 |
| US09/489,700 US7334754B1 (en) | 1999-01-22 | 2000-01-24 | Guide rails for conveying band-form members |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11013831A JP2000216593A (ja) | 1999-01-22 | 1999-01-22 | 帯状部材搬送用ガイドレ―ル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000216593A true JP2000216593A (ja) | 2000-08-04 |
Family
ID=11844229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11013831A Pending JP2000216593A (ja) | 1999-01-22 | 1999-01-22 | 帯状部材搬送用ガイドレ―ル |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7334754B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000216593A (ja) |
| KR (1) | KR100380919B1 (ja) |
| TW (1) | TW430912B (ja) |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1251982B (ja) * | 1965-12-10 | 1967-10-12 | ||
| US3692223A (en) * | 1970-12-18 | 1972-09-19 | Anaconda American Brass Co | Adjustable guide for a moving sheet |
| US3927814A (en) * | 1972-11-06 | 1975-12-23 | Riggs & Lombard Inc | Guide for a moving belt |
| CH565698A5 (ja) * | 1973-03-09 | 1975-08-29 | Bobst Fils Sa J | |
| US3949920A (en) * | 1974-08-01 | 1976-04-13 | Uniroyal Inc. | Fabric alignment apparatus |
| JPH0725446B2 (ja) * | 1986-05-31 | 1995-03-22 | ノーリツ鋼機株式会社 | 写真処理機におけるペ−パ−ガイド装置 |
| JPH0254664A (ja) | 1988-08-19 | 1990-02-23 | Canon Inc | 情報処理装置 |
| JPH08203949A (ja) * | 1995-01-26 | 1996-08-09 | Sony Corp | ワイヤーボンディング装置 |
| KR0176439B1 (ko) * | 1996-02-02 | 1999-04-15 | 이대원 | 리드 프레임 가이드 레일 |
| IT1286171B1 (it) * | 1996-07-12 | 1998-07-07 | Bridgestone Firestone Tech | Gruppo convogliatore di materiale in strisce. |
-
1999
- 1999-01-22 JP JP11013831A patent/JP2000216593A/ja active Pending
- 1999-12-16 TW TW088122086A patent/TW430912B/zh not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-01-20 KR KR10-2000-0002553A patent/KR100380919B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-01-24 US US09/489,700 patent/US7334754B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW430912B (en) | 2001-04-21 |
| US7334754B1 (en) | 2008-02-26 |
| KR100380919B1 (ko) | 2003-04-21 |
| KR20000053536A (ko) | 2000-08-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A977 | Report on retrieval |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041109 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041125 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050125 |