JP2000208421A - 固体デバイス製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 停電が発生した場合、復電後の処理を自動的
に決定することができるようにする。 【解決手段】 温度センサ２４は、反応炉２１の内部の
温度を検出する。圧力センサ２５は、反応炉２１の内部
の圧力を検出する。停電／復電検知回路３１は、ヒータ
用電源の停電および復電を検出する。停電／復電検知回
路３２は、真空ポンプ用電源の停電および復電を検出す
る。コントローラ２７は、停電／復電検知回路３１また
は３２によって、ヒータ用電源または真空ポンプ用電源
に停電が発生したことが検知されると、温度センサ２４
と圧力センサ２５の検出出力に基づいて、停電発生時と
復電時の炉内温度差および炉内圧力差を求め、これらに
基づいて、復電後の処理を自動的に決定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固体デバイスの製
造工程で用いられる固体デバイス製造装置に係わり、特
に、密閉された処理空間で被処理物に所定の処理を施す
固体デバイス製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体デバイスや液晶表示デバ
イス等の固体デバイスの製造工程で用いられる固体デバ
イス製造装置では、停電が発生した場合に、装置の動作
が停止すること等を極力防止する必要がある。

【０００３】このため、このような固体デバイス製造装
置では、通常、主電源の他にバックアップ電源を設け、
主電源に停電が発生すると、装置をバックアップ電源に
よってバックアップするようになっている。

【０００４】しかし、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposit
ion）装置等の固体デバイス製造装置では、コントロー
ラのような消費電力の小さな負荷だけでなく、ヒータや
真空ポンプのような消費電力の大きな負荷が存在する。
ここで、消費電力の大きな負荷をバックアップする場合
は、多大な設備が必要となる。このため、消費電力の大
きな負荷を有する固体デバイス製造装置では、通常、消
費電力の小さな負荷をバックアップし、消費電力の大き
な負荷はバックアップしないようになっている。

【０００５】図１５は、このような電源バックアップ機
能を備えた従来のＣＶＤ装置の構成を示すブロック図で
ある。図示の装置は、反応炉１１と、ヒータ１２と、真
空ポンプ１３と、コントローラ１４と、無停電電源（以
下「ＵＰＳ」という。）１５とを有し、コントローラ用
電源に停電が発生すると、ＵＰＳ１５によってコントロ
ーラ１４をバックアップするようになっている。

【０００６】このような構成によれば、コントローラ１
４は、コントローラ用電源に停電が発生しても、この停
電に左右されることなく、予め定められた処理を実行す
ることができる。

【０００７】しかしながら、このような構成では、ヒー
タ用電源や真空ポンプ用電源に停電が発生した場合、ヒ
ータ１２や真空ポンプ１３をバックアップすることがで
きない。これにより、コントローラ１４が処理を続行す
ることができても、反応炉１１の内部の温度や圧力の制
御は不可能となる。

【０００８】このため、ＣＶＤ装置のような固体デバイ
ス製造装置では、従来、ヒータ用電源や真空ポンプ用電
源に停電が発生すると、これをオペレータが認識し、停
電時間が停電許容時間内であれば、停電が復旧した後、
オペレータが自動復帰操作を行い、被処理物の処理を続
行するようになっていた。これに対し、停電時間が停電
許容時間外であれば、停電が復旧したときの装置の状態
をオペレータが目視で確認し、被処理物の処理を続行す
るか、中断するか等を決定するようになっていた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成では、停電が発生したことをオペレータが気づ
かなかった場合、または、気づいたとしてもオペレータ
の対処が遅れた場合や判断ミスが生じた場合、固体デバ
イスに不良が発生するという問題があった。

【００１０】そこで、本発明は、停電が発生した場合、
復電後の処理を自動的に決定することができる固体デバ
イス製造装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の固体デバイス製造装置は、固体デバイ
スの製造工程で用いられ、密閉された処理空間で被処理
物に所定の処理を施す装置において、処理空間の温度を
検出する温度検出手段と、処理空間の圧力を検出する圧
力検出手段と、停電が発生すると、温度検出手段の検出
出力と圧力検出手段の検出出力の少なくとも一方に基づ
いて、停電が復旧した後に実行すべき処理を自動的に決
定する処理決定手段とを備えたことを特徴とする。

【００１２】この請求項１記載の装置では、温度検出手
段により処理空間の温度が検出され、圧力検出手段によ
り処理空間の圧力が検出される。そして、停電が発生す
ると、これら２つの検出出力の少なくとも一方に基づい
て、処理決定手段によって、復電後の処理が自動的に決
定される。これにより、停電が発生したことをオペレー
タが気づかなかった場合等でも、固体デバイスに不良が
発生することを防止することができる。また、温度や圧
力のような被処理物の処理の実行条件を規定するパラメ
ータに基づいて、復電後の処理を決定することができ
る。これにより、信頼性の高い決定を行うことができ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態を詳細に説明する。

【００１４】［１］一実施の形態 ［１−１］構成 図１は、本発明の一実施の形態の構成を示すブロック図
である。なお、以下の説明では、本発明を縦型のＣＶＤ
装置に適用した場合を代表として説明する。

【００１５】図示のＣＶＤ装置は、基板の表面に所定の
薄膜を形成するための密閉された反応空間を形成する反
応炉２１と、この反応炉２１の内部（反応空間）に収容
された基板を加熱するためのヒータ２２と、この反応炉
２１の内部の雰囲気を排出するための真空ポンプ２３と
を有する。

【００１６】また、この装置は、反応炉２１の内部の温
度を検出するための温度センサ２４と、反応炉２１の内
部の圧力を検出するための圧力センサ２５と、装置にデ
ータや命令等を入力したり、装置の状態を示すデータ等
を出力するための入出力部２６と、装置の動作を制御す
るためのコントローラ２７と、各種プログラムや各種テ
ーブル等を記憶するためのメモリ２８と、時刻を計測す
るためのタイマ２９とを有する。

【００１７】さらに、この装置は、コントローラ用電源
に停電が発生した場合にコントローラ２４をバックアッ
プするためのＵＰＳ３０と、ヒータ用電源の停電および
復電を検知する停電／復電検知回路３１と、真空ポンプ
用電源の停電および復電を検知する停電／復電検知回路
３２とを有する。これら停電／復電検知回路３１，３２
は、例えば、ヒータ２２や真空ポンプ２３の電源ライン
に接続されたリレーによって構成されている。

【００１８】なお、コントローラ用電源と、ヒータ用電
源と、真空ポンプ用電源としては、例えば、異なる電源
が用いられる。この場合、コントローラ用電源として
は、例えば、ＡＣ１００ボルトまたは１１５ボルトの電
源が用いられ、ヒータ用電源やポンプ用電源としては、
例えば、ＡＣ２００ボルトまたは２０８ボルトの電源が
用いられる。

【００１９】［１−２］動作 上記構成において、動作を説明する。

【００２０】基板に所定の薄膜を形成する場合、まず、
基板チャージ処理が実行される。これにより、図示しな
いカセットに収容されている複数の基板が図示しないボ
ートに移載される。この基板チャージ処理が終了する
と、ボートローディング処理が実行される。これによ
り、ボートが反応炉２１の内部に搬入される。その結
果、ボートに収容されている複数の基板がヒータ２２に
より加熱される。

【００２１】このボートローディング処理が終了する
と、成膜処理が実行される。これにより、反応炉２１の
内部に反応ガス等が供給される。その結果、基板表面に
所定に薄膜が形成される。また、このとき、真空ポンプ
２３により、反応炉２１の内部の雰囲気が排出される。
これにより、反応生成物等が排出される。

【００２２】この成膜処理が終了すると、ボートアンロ
ーディング処理が実行される。これにより、ボートが反
応炉２１から搬出される。このボートアンローディング
処理が終了すると、基板ディスチャージ処理が実行され
る。これにより、成膜処理の済んだ複数の基板がボート
からカセットに移載される。以下、同様に、１回分の成
膜処理が終了するたびに、上述した処理が実行される。

【００２３】この成膜プロセスにおいて、コントローラ
２７の電源電圧は、コントローラ用電源から供給され
る。同様に、ヒータ２２の電源電圧は、ヒータ用電源か
ら供給され、真空ポンプ２３の電源電圧は、ポンプ用電
源から供給される。

【００２４】この状態で、コントローラ用電源に停電が
発生すると、この停電はＵＰＳ３０によって検出され
る。ＵＰＳ３０は、この停電を検出すると、コントロー
ラ２７に電源電圧を供給する。これにより、コントロー
ラ用電源に停電が発生すると、コントローラ２７は、Ｕ
ＰＳ３０によってバックアップされる。この状態で、コ
ントローラ用電源の停電が復旧すると、コントローラ２
７の電源供給は、コントローラ用電源に戻される。

【００２５】また、ヒータ用電源に停電が発生すると、
この停電は、停電／復電検知回路３１によって検知され
る。停電／復電検知回路３１は、この停電を検知する
と、停電検知信号をコントローラ２７に供給する。この
状態で、ヒータ用電源の停電が復旧すると、この復電
は、停電／復電検知回路３１によって検知される。停電
／復電検知回路３１は、この復電を検知すると、復電検
知信号をコントローラ２７に供給する。コントローラ２
７は、停電／復電検知回路３１から停電検知信号を受信
すると、停電処理を実行し、復電検知信号を受信する
と、復電後の処理を決定する。

【００２６】同様に、ポンプ用電源に停電が発生する
と、停電／復電検知回路３２からコントローラ２７に停
電検知信号が供給され、この停電が復旧すると、復電検
知信号が供給される。コントローラ２７は、停電／復電
検知回路３２から停電検知信号を受信すると、停電処理
を実行し、復電検知信号を受信すると、復電後の処理を
決定する。

【００２７】図２および図３は、コントローラ２７によ
る停電処理を示すフローチャートである。なお、この停
電処理を実行するためのプログラムは、メモリ２８に格
納されている。

【００２８】図示のごとく、コントローラ２７は、停電
／復電検知回路３１または３２から停電検知信号を受信
すると、停電が発生したときの時刻と、炉内温度と、炉
内圧力とを停電発生時制御状態テーブルに書き込む（ス
テップＳ１１）。ここで、停電発生時制御状態テーブル
とは、停電発生時の装置の制御状態を書き込むためのテ
ーブルである。停電発生時の時刻はタイマ２９によって
計測され、炉内温度は温度センサ２４によって検出さ
れ、炉内圧力は圧力センサ２５によって検出される。

【００２９】図４は、停電発生時制御状態テーブルの構
成の一例を示す図である。図示の停電発生時制御状態テ
ーブルには、停電発生時の時刻Ａ１、炉内温度Ａ２、炉
内圧力Ａ３等が書き込まれるようになっている。このテ
ーブルは、図１のメモリ２８に格納されている。

【００３０】この書込み処理が終了すると、コントロー
ラ２７は、停電発生時の炉内温度と、炉内圧力とを最大
・最小値テーブルに書き込む（ステップＳ１２）。ここ
で、最大・最小値テーブルとは、停電発生期間における
炉内温度の最大値および最小値、炉内圧力の最大値およ
び最小値等を書き込むためのテーブルである。

【００３１】図５は、最大・最小値テーブルの構成の一
例を示す図である。図示の最大・最小値テーブルには、
炉内温度の最大値Ｂ１および最小値Ｂ２、炉内圧力の最
大値Ｂ３および最小値Ｂ４等が書き込まれるようになっ
ている。この場合、停電発生時の炉内温度は、炉内温度
の最大値Ｂ１および最小値Ｂ２として書き込まれる。ま
た、停電発生時の炉内圧力は、炉内圧力の最大値Ｂ３お
よび最小値Ｂ４として書き込まれる。

【００３２】この書込み処理が終了すると、コントロー
ラ２７は、所定時間が経過したか否かを判定し（ステッ
プＳ１３）、経過すると、炉内温度の最大値または最小
値の更新処理を実行する（ステップＳ１４）。この更新
処理は、現在の炉内温度と、最大・最小値テーブルに書
き込まれている炉内温度の最大値Ｂ１および最小値Ｂ２
とを比較することにより行われる。

【００３３】すなわち、この比較の結果、現在の炉内温
度が最大・最小値テーブルに書き込まれている炉内温度
の最大値Ｂ１より高ければ、この最大値Ｂ１が現在の炉
内温度に書き換えられる。これに対し、現在の炉内温度
が最大・最小値テーブルに書き込まれている炉内温度の
最小値Ｂ２より低ければ、この最小値Ｂ２が現在の炉内
温度に書き換えられる。また、現在の炉内温度が最小値
Ｂ２以上で最大値Ｂ１以下であれば、この書換えは行わ
れない。

【００３４】この更新処理が終了すると、コントローラ
２７は、炉内圧力の最大値Ｂ３および最小値Ｂ４の更新
処理を実行する（ステップＳ１５）。この更新処理も、
炉内温度の最大値Ｂ１および最小値Ｂ２の更新処理と同
じようにして行われる。

【００３５】この更新処理が終了すると、コントローラ
２７は、停電／復電検知回路３１または３２から復電検
知信号を受信したか否かを判定し（ステップＳ１６）、
受信しない場合は、ステップＳ１３に戻り、所定時間が
経過した時点で、再び、更新処理を実行する。これに対
し、復電検知信号を受信した場合は、復電時の時刻と、
炉内温度と、炉内圧力とを復電時制御状態テーブルに書
き込む（ステップＳ１７）。ここで、復電時制御状態テ
ーブルとは、ヒータ用電源や真空ポンプ用電源が復電し
たときの装置の制御状態を書き込むためのテーブルであ
る。

【００３６】図６は、復電時制御状態テーブルの構成の
一例を示す図である。図示の復電時制御状態テーブル
は、復電時の時刻Ｃ１、炉内温度Ｃ２、炉内圧力Ｃ３等
が書き込まれるようになっている。

【００３７】この書込み処理が終了すると、コントロー
ラ２７は、炉内温度の最大値Ｂ１および最小値Ｂ２と、
炉内圧力の最大値Ｂ３および最小値Ｂ４との更新処理を
実行する（ステップＳ１８，Ｓ１９）。これにより、炉
内温度の最大値Ｂ１および最小値Ｂ２と、炉内圧力の最
大値Ｂ３および最小値Ｂ４が確定する。

【００３８】この更新処理が終了すると、コントローラ
２７は、復電後の処理を決定するための決定処理とし
て、時間決定処理を行うか、温度差等決定処理を行うか
を判定する（ステップＳ２０）。ここで、時間決定処理
とは、停電時間によって規定される決定処理である。ま
た、温度差等決定処理とは、停電発生時と復電時の炉内
温度差および炉内圧力差によって規定される決定処理で
ある。

【００３９】図７は、時間決定処理（図３のステップＳ
２１）を示すフローチャートである。図示のごとく、こ
の時間決定処理においては、コントローラ２７は、ま
ず、停電時間を算出する（ステップＳ３１）。この算出
は、復電時制御状態テーブル（図６参照）に書き込まれ
ている復電時刻から停電発生時制御状態テーブル（図４
参照）に書き込まれている停電発生時刻を引くことによ
り求められる。

【００４０】この算出処理が終了すると、コントローラ
２４は、算出した停電時間に基づいて、復電後の処理を
決定し、これを実行する（ステップＳ３２〜Ｓ３６）。
復電後の処理の決定は、時間決定処理用テーブルを用い
て行われる。

【００４１】図８は、この時間決定処理用テーブルの構
成の一例を示す図である。図示の時間決定処理用テーブ
ルには、停電許容時間Ｄ１と、処理コマンドＥ１と、停
電許容時間Ｄ２と、処理コマンドＥ２と、処理コマンド
Ｅ３とが書き込まれるようになっている。ここで、停電
許容時間Ｄ２は、停電許容時間Ｄ１より長くなるように
設定されている。また、処理コマンドＥ１，Ｅ２，Ｅ３
によって指定される処理としては、例えば、安全状態へ
の移行処理、成膜プロセスの中断処理、ブザー鳴動処
理、一時停止処理、処理をスキップまたはジャンプさせ
る処理、復電時処理等がある。安全状態への移行処理と
は、炉内温度、炉内圧力、ガス流量を初期状態に戻して
装置の安全を確保するリセットモードへの移行処理であ
る。また、復電時処理とは、復電時に実行する処理のこ
とで、予めサブレシピ等で定義された処理である。

【００４２】上述した図７のフローチャートは、時間決
定処理テーブルとして、図８の時間決定処理テーブルを
用いる場合を示す。この場合、コントローラ２７は、算
出した停電時間が停電許容時間Ｄ１以内か否かを判定し
（ステップＳ３２）、停電許容時間Ｄ１以内であれば、
処理コマンドＥ１を実行する（ステップＳ３３）。これ
に対し、停電許容時間Ｄ１より大きい場合は、停電許容
時間Ｄ２以内か否かを判定し（ステップＳ３４）、停電
許容時間Ｄ２以内であれば、処理コマンドＥ２を実行す
る（ステップＳ３５）。これに対し、停電許容時間Ｄ２
より大きい場合は、処理コマンドＥ３を実行した後（ス
テップＳ３６）、停電許容時間Ｄ２より大きかったこと
をエラーテーブルに書き込む（ステップＳ３７）。

【００４３】図９は、上述した停電許容時間Ｄ１，Ｄ２
と処理コマンドＥ１，Ｅ２，Ｅ３との関係を示す図であ
る。図示のごとく、停電時間が停電許容時間Ｄ１以内の
場合は、処理コマンドＥ１が実行され、許容停電時間Ｄ
２以内の場合は、処理コマンドＥ２が実行され、許容停
電時間Ｄ３より大きい場合は、処理コマンドＥ３が実行
される。

【００４４】図１０および図１１は、温度差等決定処理
（図３のステップＳ２２）を示すフローチャートであ
る。図示のごとく、この温度差等決定処理においては、
コントローラ２７は、まず、復電時の炉内温度と停電発
生時の炉内温度との差を算出する（ステップＳ４１）。
この算出は、復電時制御状態テーブル（図６参照）に書
き込まれている復電時の炉内温度から停電発生時制御状
態テーブル（図４参照）に書き込まれている停電発生時
の炉内温度を引くことにより求められる。

【００４５】この算出処理が終了すると、コントローラ
２７は、算出した炉内温度差が許容温度差以内か否かを
判定し、許容温度差以内であれば、許容温度差用エラー
フラグを０にし、許容温度差より大きければ、このエラ
ーフラグを１にする（ステップＳ４２〜Ｓ４７）。

【００４６】このあと、コントローラ２７は、まず、復
電時の炉内圧力と停電発生時の炉内圧力との差を算出す
る（ステップＳ４８）。この算出は、復電時制御状態テ
ーブル（図６参照）に書き込まれている復電時の炉内圧
力から停電発生時制御状態テーブル（図４参照）に書き
込まれている停電発生時の炉内圧力を引くことにより求
められる。

【００４７】この算出処理が終了すると、コントローラ
２７は、算出した炉内圧力差が許容圧力差以内か否かを
判定し、許容圧力差以内であれば、許容圧力差用エラー
フラグを０にし、許容圧力差より大きければ、このエラ
ーフラグを１にする（ステップ４９〜Ｓ５８）。

【００４８】このあと、コントローラ２７は、エラーフ
ラグに基づいて、復電後の処理を決定し、これを実行す
る（ステップＳ５５〜Ｓ５８）。復電後の処理の決定
は、温度差等決定処理用テーブルを用いて行われる。

【００４９】図１２は、この温度差等決定処理用テーブ
ルの構成の一例を示す図である。図示の温度差決定処理
用テーブルには、許容温度差として、マイナスの許容温
度差Ｆ１と、プラスの許容温度差Ｆ２とが書き込まれる
ようになっている。同様に、許容圧力差として、マイナ
スの許容圧力差Ｇ１と、プラスの許容圧力差Ｆ２とが書
き込まれるようになっている。また、処理コマンドＨ１
としては、炉内温度差と炉内圧力差とがともに許容値内
の場合に実行される処理コマンドＨ１と、１つでも許容
値外である場合に実行される処理コマンドＨ２とが書き
込まれるようになっている。この処理コマンドＨ１，Ｈ
２も、上述したような処理コマンドＥ１，Ｅ２，Ｅ３と
同じような内容を有する。

【００５０】上述した図１０および図１１のフローチャ
ートは、温度差決定処理テーブルとして、図１２の温度
差決定処理テーブルを用いる場合を示す。この場合、コ
ントローラ２７は、算出した炉内温度差がマイナス許容
温度差Ｆ１以内か否かを判定し（ステップＳ４２）、マ
イナス許容温度差Ｆ１以内であれば、マイナス許容温度
差用エラーフラグを０にした後（ステップＳ４３）、炉
内温度差がプラス許容温度差Ｆ２以内か否かを判定する
（ステップＳ４５）。これに対し、マイナス許容温度差
Ｆ１以内でなければ、マイナス許容温度差用エラーフラ
グを１にした後（ステップＳ４４）、炉内圧力差を算出
する（ステップＳ４８）。

【００５１】炉内温度差がプラス許容温度差Ｆ２以内で
あれば、プラス許容温度差用エラーフラグを０にした後
（ステップＳ４６）、炉内圧力差を算出する（ステップ
Ｓ４８）。これに対し、プラス許容温度差Ｆ２以内でな
ければ、プラス許容温度差用エラーフラグを１にした後
（ステップＳ４７）、炉内圧力差を算出する（ステップ
Ｓ４８）。

【００５２】このあと、コントローラ２７は、算出した
炉内圧力差について、炉内温度差に対する処理と同じよ
うな処理を実行する（ステップＳ４９〜Ｓ５４）。この
処理が終了すると、コントローラ２７は、すべてのエラ
ーフラグが０か否かを判定し（ステップＳ５５）、０の
場合は、処理コマンドＨ１を実行し（ステップＳ５
６）、１つでも１があると、処理コマンドＨ２を実行し
た後（ステップＳ５７）、どのエラーフラグが１であっ
たかをエラーテーブルに書き込む（ステップＳ５８）。

【００５３】図１３は、停電が発生した後の炉内温度の
変化の一例を示す特性図である。図において、横軸は時
間を示し、縦軸は、炉内温度を示し、Ｊは、炉内温度の
変化特性を示す。図には、炉内温度が停電発生時から徐
々に低下する場合を示す。今、停電が時刻Ｋ１に復旧し
たものとする。この場合は、炉内温度差がマイナス許容
温度差Ｆ１に達しない。これにより、この場合は、処理
コマンドＨ１が実行される。これに対し、停電が時刻Ｋ
２に復旧したものとする。この場合は、炉内温度差がマ
イナス許容温度差Ｆ１に達する。これにより、この場合
は、処理コマンドＨ２が実行される。

【００５４】決定処理として、時間決定処理を実行する
か、温度差等決定処理を実行するかは、レシピの各ステ
ップごとに指定される。これを図１４を参照しながら説
明する。図１４は、成膜用レシピの一例を概念的に示す
図である。

【００５５】図示のごとく、成膜用レシピには、各ステ
ップＭｎ（ｎ＝１，２，３，…）ごとに、処理コマンド
Ｎｎと、制御パラメータＰｎと、決定処理指定データＱ
１またはＱ２が記述されている。ここで、ステップＭ
１，Ｍ２，Ｍ３，…は、それぞれ、例えば、上述した基
板チャージ処理、ボートローディング処理、成膜処理、
…を実行するためのステップである。また、処理コマン
ドＮ１，Ｎ２，Ｎ３，…は、それぞれ、対応するの処理
を指示するためのコマンドである。さらに、制御パラメ
ータＰ１，Ｐ２，Ｐ３，…は、それぞれ対応する処理の
実行条件を指定するためのパラメータである。このパラ
メータＰｎとしては、例えば、温度、圧力、処理時間等
がある。決定処理指定データＱ１は、時間決定処理を指
定するデータであり、決定処理指定データＱ２は、温度
差等決定処理を指定するデータである。

【００５６】このような構成においては、コントローラ
２７は、あるステップＭｎの実行中に、ヒータ用電源や
ポンプ用電源に停電が発生すると、このステップＭｎの
決定処理指定データに基づいて、時間決定処理を実行す
るか、温度差等決定処理を実行するかを判定する（図３
のステップＳ２０参照）。これにより、図１４の例の場
合、例えば、成膜処理ステップＡ３の実行中に、ヒータ
用電源やポンプ用電源に停電が発生すると、温度差等決
定処理が実行される。

【００５７】時間決定処理と温度差等決定処理のどちら
を指定するかは、ユーザの自由であるが、一例として、
例えば、次のような指定の仕方が考えられる。すなわ
ち、時間決定処理を指定する場合としては、例えば、ど
のくらい停電すれば、成膜プロセスに支障を来すか否か
が経験によって確かめられている場合が考えられる。こ
れに対し、温度差等決定処理を指定する場合としては、
このような経験がない場合が考えられる。

【００５８】なお、停電発生時制御状態テーブル（図４
参照）、最大・最小値テーブル（図５参照）、復電時制
御状態テーブル（図６参照）、エラーテーブルの情報
は、コントローラ２７のアラーム情報として記録され
る。これにより、オペレータは、停電発生後の自動処理
の状態を後で確認することができる。

【００５９】［１−３］効果 以上詳述した本実施の形態によれば、次のような効果を
得ることができる。

【００６０】（１）まず、本実施の形態によれば、停電
が発生すると、炉内温度および炉内圧力を検出し、この
検出出力に基づいて、復電後の処理を自動的に決定する
ようになっている。これにより、停電が発生したことを
オペレータが気づかなかった場合等でも、固体デバイス
に不良が発生することを防止することができる。

【００６１】（２）また、本実施の形態によれば、炉内
温度や炉内圧力のような基板の処理（基板チャージ処
理、ボートローディング処理、成膜処理等）の実行条件
を規定するパラメータに基づいて、復電後の処理を決定
するようになっている。これにより、信頼性の高い決定
を行うことができる。

【００６２】（３）さらに、本実施の形態によれば、炉
内温度と炉内圧力のいずれか一方ではなく、両方に基づ
いて、復電後の処理を決定するようになっている。これ
により、いずれか一方に基づいて復電後の処理を決定す
る場合より、決定の信頼性を高くすることができる。

【００６３】（４）さらにまた、本実施の形態によれ
ば、復電後の処理を決定するための情報として、停電発
生時と復電時の炉内温度差および炉内圧力差を用いるよ
うになっている。これにより、復電後の処理を決定する
場合、停電中の炉内温度および炉内圧力の変化を加味し
た決定を行うことができる。その結果、復電後の処理を
決定するための情報として、停電発生中のある時点の炉
内温度および炉内圧力を用いる場合に比べ、決定の信頼
性を高めることができる。

【００６４】（５）また、本実施の形態によれば、復電
後の処理を決定するための情報として、炉内温度および
炉内圧力の代わりに停電時間も指定可能となっている。
これにより、柔軟性の高い装置を提供することができ
る。

【００６５】（６）さらに、本実施の形態によれば、成
膜レシピの各ステップごとに、復電後の処理を決定する
ための情報を指定可能となっている。これにより、柔軟
性の高い装置を提供することができる。

【００６６】［２］その他の実施の形態 以上、本発明の一実施の形態を詳細に説明したが、本発
明は、上述したような実施の形態に限定されるものでは
ない。

【００６７】（１）例えば、先の実施の形態では、復電
後の処理を決定するための情報として、停電発生時と復
電時の炉内温度差および炉内圧力差を用いる場合を説明
した。しかしながら、本発明は、これらのいずれか一方
を用いるようにしてもよい。また、本発明は、炉内温度
差や炉内圧力差ではなく、停電発生中のある時点の炉内
温度や炉内圧力を用いるようにしてもよい。

【００６８】（２）また、先の実施の形態では、温度差
等決定処理用テーブルとして、１つのテーブルを用いる
場合を説明した。しかしながら、本発明では、複数のテ
ーブルを設け、これらを選択的に用いるようにしてもよ
い。これは、時間決定処理用テーブルについても同様で
ある。

【００６９】（３）さらに、先の実施の形態では、復電
後の処理を決定するための情報として、炉内温度や炉内
圧力と停電時間とを用いる場合を説明した。しかしなが
ら、本発明は、炉内温度や炉内圧力のみを用いるように
してもよい。この場合、温度差等決定処理用テーブルと
して複数のテーブルを設ける場合は、例えば、各ステッ
プごとにこのテーブルを指定するようにしてもよい。

【００７０】（４）この他にも、本発明は、その要旨を
逸脱しない範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論で
ある。

【００７１】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１記載の固体
デバイス製造装置によれば、停電が発生すると、炉内温
度と炉内圧力の少なくとも一方に基づいて、復電後の処
理を自動的に決定するようになっている。これにより、
停電が発生したことをオペレータが気づかなかった場合
等でも、固体デバイスに不良が発生することを防止する
ことができる。また、被処理物の処理の実行条件を規定
するパラメータに基づいて、復電後の処理が決定するこ
とができる。これにより、信頼性の高い決定を行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の構成を示す図である。

【図２】本発明の一実施の形態における停電処理を示す
フローチャートである。

【図３】本発明の一実施の形態における停電処理を示す
フローチャートである。

【図４】本発明の一実施の形態における停電発生時制御
状態テーブルの構成を示す図である。

【図５】本発明の一実施の形態における最大値・最小値
テーブルの構成を示す図である。

【図６】本発明の一実施の形態における復電時制御状態
テーブルの構成を示す図である。

【図７】本発明の一実施の形態における時間決定処理を
示すフローチャートである。

【図８】本発明の一実施の形態における時間決定処理用
テーブルを示す図である。

【図９】本発明の一実施の形態における時間決定処理を
示す図である。

【図１０】本発明の一実施の形態における温度差等決定
処理を示すフローチャートである。

【図１１】本発明の一実施の形態における温度差等決定
処理を示すフローチャートである。

【図１２】本発明の一実施の形態における温度差等決定
処理用テーブルを示す図である。

【図１３】本発明の一実施の形態における温度差等時間
決定処理の一例を示す図である。

【図１４】本発明の一実施の形態における成膜レシピの
構成を示す図である。

【図１５】従来の固体デバイス製造装置の構成を示すブ
ロック図である。

【符号の説明】

２１…反応炉、２２…ヒータ、２３…真空ポンプ、２４
…温度センサ、２５…圧力センサ、２６…入出力部、２
７…コントローラ、２８…メモリ、２９…タイマ、３０
…ＵＰＳ、３１，３２…停電／復電検知回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固体デバイスの製造工程で用いられ、密
   閉された処理空間で被処理物に所定の処理を施す固体デ
   バイス製造装置において、 前記処理空間の温度を検出する温度検出手段と、 前記処理空間の圧力を検出する圧力検出手段と、 停電が発生すると、前記温度検出手段の検出出力と前記
   圧力検出手段の検出出力の少なくとも一方に基づいて、
   前記停電が復旧した後に実行すべき処理を自動的に決定
   する処理決定手段とを備えたことを特徴とする固体デバ
   イス製造装置。