JP2000199480A - Safety mechanism for vacuum system - Google Patents
Safety mechanism for vacuum systemInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、真空装置の安全機
構に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a safety mechanism for a vacuum device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】排気装置において、動力源であるモータ
ー自体が故障するか、伝達ベルトの破損やたるみにより
モーターが異常回転ないし伝達障害を起こしてモーター
に過負荷がかかった場合、モーターが過熱して火災を起
こす危険がある。この事態に対処すべく、モーターに温
度ヒューズを設置してモーターの急激な温度上昇を検知
し、モーターを停止させる機構が考案され、実用されて
いる。しかしながら、当該方法では、モーターの温度が
異常に上昇しない、例えば、真空ポンプのロックなどの
真空ポンプの異常または故障や伝達ベルトの劣化などに
よる過度な摩擦に起因する伝達ベルトの過熱により生じ
る火災には対処できない。2. Description of the Related Art In an exhaust system, when a motor which is a power source fails or an abnormal rotation or transmission failure occurs due to a damage or a slack in a transmission belt, the motor is overheated. Risk of fire. In order to deal with this situation, a mechanism has been devised and put into practical use, in which a thermal fuse is installed in the motor to detect a sudden rise in the temperature of the motor and stop the motor. However, in this method, the temperature of the motor does not rise abnormally, for example, a fire caused by overheating of the transmission belt due to excessive friction due to abnormality or failure of the vacuum pump such as lock of the vacuum pump or deterioration of the transmission belt. Can not cope.
【０００３】また、排気装置に異常または故障が発生し
て真空ポンプが作動しなくなったり、停電によりモータ
ーが停止した場合、真空ライン中真空容器内だけ減圧度
が下がらないため、真空容器内に真空ポンプのオイルが
逆流し、かつ真空容器および真空容器内の試料が汚染さ
れる危険性がある。このようなオイルの逆流に備えて、
通常、真空ポンプには逆流防止弁やコールドトラップが
連通されている。しかしながら、逆流防止弁を使用した
場合、減圧度が１０ トール以上の高真空の状態では
真空容器内が常圧状態に達する迄に要する時間が長いた
めにオイルが逆流防止弁を越えて漏出する危険性が高
い。また、コールドトラップを使用した場合、トラップ
能力を越えたオイルは依然真空容器内へ流出してしまう
ため安全機構として確実ではない。[0003] In addition, when the vacuum pump stops operating due to an abnormality or failure in the exhaust device, or when the motor stops due to a power failure, the degree of decompression in the vacuum vessel is not reduced only in the vacuum vessel in the vacuum line. There is a risk that the pump oil will flow back and the vacuum container and the sample in the vacuum container will be contaminated. In preparation for such oil backflow,
Usually, a check valve and a cold trap are connected to the vacuum pump. However, when a check valve is used, the risk of oil leaking over the check valve is high in a high vacuum state where the degree of pressure reduction is 10 Torr or more because the time required for the inside of the vacuum vessel to reach normal pressure is long. High in nature. Further, when a cold trap is used, the oil exceeding the trapping capacity still flows out into the vacuum vessel, so that it is not reliable as a safety mechanism.
【０００４】更に、逆流防止弁では構造上排気口が狭い
ために、排気能力が低く、減圧状態に達する迄に非常に
時間を要するので吸引効率上望ましくない。また、コー
ルドトラップは高価な装置であり、簡便に使用すること
ができず、逆流した場合オイルを除去し、真空ポンプ内
に流出した量のオイルを充填しなければならないなどの
問題点を有する。Further, the check valve has a narrow exhaust port due to its structure, so its exhaust capacity is low, and it takes a very long time to reach a reduced pressure, which is not desirable in terms of suction efficiency. In addition, the cold trap is an expensive device, cannot be used easily, and has a problem that oil must be removed in the case of backflow and the amount of oil that has flowed out into the vacuum pump must be filled.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】真空装置は種々の用途
で使用されるが、例えば、ある試料を減圧乾燥するため
に用いた場合、試料中の水分及び酸性又はアルカリ性物
質が真空ポンプ内に吸引され、真空ポンプを錆びつかせ
る。更に、減圧乾燥は酸性物質及びアルカリ性物質など
種々の試料に対して行われるものであり、真空ポンプ内
で塩物質が析出する危険性もある。この錆びつきや塩物
質の析出は外観では判断できないため、不意に真空ポン
プが異常または故障することがあり、特に終夜運転など
の監視する者が近くにいない時間に発生した場合には火
災にまで至る恐れがあり、このような事態を未然に防ぐ
手段を講じる必要があった。また、何らかの化学物質ま
たは長期乃至過酷な使用による伝達ベルトの異常により
発生する種々の事態にも対処することが要求される。The vacuum apparatus is used in various applications. For example, when a vacuum apparatus is used for drying a sample under reduced pressure, moisture and acidic or alkaline substances in the sample are sucked into a vacuum pump. And rust the vacuum pump. Furthermore, drying under reduced pressure is performed on various samples such as an acidic substance and an alkaline substance, and there is a risk that a salt substance is precipitated in a vacuum pump. Since the rust and the precipitation of the salt substance cannot be judged from the external appearance, the vacuum pump may suddenly become abnormal or break down. Therefore, it was necessary to take measures to prevent such a situation. It is also required to cope with various situations caused by an abnormality of the transmission belt due to some chemical substance or long-term or severe use.
【０００６】更に、停電時は勿論の事、真空ポンプの不
作動時、真空ポンプ内のオイルにより大切な試料が汚染
されてしまうため、種々の事態に対処できるオイルの逆
流を防止する安全機構を考案することが切望されてい
る。Further, not only during a power failure but also when the vacuum pump does not operate, an important sample is contaminated by oil in the vacuum pump. Therefore, a safety mechanism for preventing backflow of oil which can cope with various situations is provided. It is eager to devise.
【０００７】本発明の目的は、モーター、真空ポンプ及
び伝達ベルトなどの排気装置の異常または故障による火
災を防止することができる真空装置の安全機構を提供す
ることである。An object of the present invention is to provide a vacuum device safety mechanism which can prevent a fire due to an abnormality or failure of an exhaust device such as a motor, a vacuum pump and a transmission belt.
【０００８】更には、排気装置の異常または故障や停電
に際し、真空ポンプからのオイルの逆流を未然に防ぐこ
とのできる真空装置の安全機構を提供することである。It is a further object of the present invention to provide a vacuum device safety mechanism capable of preventing backflow of oil from a vacuum pump in the event of abnormality, failure, or power failure of an exhaust device.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の真空装置の安全
機構は、真空ポンプの回転速度を検出し、検出値が設定
以下のときにモーターを停止させるものである。SUMMARY OF THE INVENTION A safety mechanism of a vacuum apparatus according to the present invention detects the rotation speed of a vacuum pump and stops the motor when the detected value is equal to or less than a set value.
【００１０】望ましくは、本発明の真空装置の安全機構
は、真空ポンプの回転速度を検出し、検出値が設定以下
のときにモーターを停止させ、モーターの停止に連動し
真空容器を開放させるものである。Preferably, the safety mechanism of the vacuum device of the present invention detects the rotation speed of a vacuum pump, stops the motor when the detected value is equal to or less than a set value, and opens the vacuum vessel in conjunction with the stop of the motor. It is.
【００１１】例えば、本発明は、真空ポンプのリングの
回転数を検知器により検知することにより真空ポンプの
回転速度を連続測定し、測定値が設定値以下に低下した
場合モーターを停止し、また更には真空容器を開放させ
ることを特徴とする真空装置の安全機構に関するもので
ある。For example, according to the present invention, the rotation speed of the vacuum pump is continuously measured by detecting the rotation speed of the ring of the vacuum pump by a detector, and when the measured value falls below a set value, the motor is stopped. Further, the present invention relates to a safety mechanism for a vacuum device, characterized by opening a vacuum container.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１３】回転検知部５は真空ポンプ１の回転速度を
測定する装置である。回転検知部において使用される検
知器としては、例えば、金属を検知する近接センサー、
赤外線の遮断または反射を検知する赤外線センサー、可
視光の遮断または反射を検知する光センサーなどをあげ
ることが出来る。当該回転検出部５により検出された真
空ポンプ１の回転速度の情報は、電源制御回路６に出力
される。The rotation detector 5 is a device for measuring the rotation speed of the vacuum pump 1. As a detector used in the rotation detection unit, for example, a proximity sensor for detecting metal,
Examples include an infrared sensor that detects blocking or reflection of infrared rays, and an optical sensor that detects blocking or reflection of visible light. Information on the rotation speed of the vacuum pump 1 detected by the rotation detection unit 5 is output to the power supply control circuit 6.
【００１４】電源制御回路６は、回転検知部５からの出
力信号を内蔵の設定値と対比し、回転検知部５からの出
力信号が設定値以下の場合、電気供給を遮断してモータ
ー４を停止させる。望ましくは、開閉口２への電気供給
も遮断し、真空容器７を開放する。安全性の向上のた
め、電源制御回路６は使用するセンサーに合わせて適宜
設定値を入力する事ができるものが望ましく、設定値は
真空ポンプ１の停止に至る危険性がある値を適宜選択す
ることができる。当該設定値と回転検知部５からの出力
信号の対比は、真空ポンプ１の運転が安定するだけの十
分な時間を経過した後作動するように設定する。更に、
排気装置の異常または故障ではなく停電によるモーター
４の停止の場合、電源制御回路６は再通電によりモータ
ー４を再作動させるべく働く。The power supply control circuit 6 compares the output signal from the rotation detecting section 5 with a built-in set value. If the output signal from the rotation detecting section 5 is equal to or less than the set value, the power supply is cut off and the motor 4 is turned off. Stop. Desirably, the supply of electricity to the opening 2 is also shut off, and the vacuum vessel 7 is opened. In order to improve safety, it is desirable that the power supply control circuit 6 be capable of appropriately inputting a set value in accordance with a sensor to be used. The set value is appropriately selected so that there is a risk of stopping the vacuum pump 1. be able to. The comparison between the set value and the output signal from the rotation detection unit 5 is set so that the vacuum pump 1 operates after a lapse of a sufficient time to stabilize the operation. Furthermore,
In the case where the motor 4 stops due to a power failure rather than an abnormality or failure of the exhaust system, the power supply control circuit 6 operates to restart the motor 4 by re-energizing.
【００１５】開閉口２としては、例えば、電磁弁を使用
することができ、通電時、真空容器７を閉成し、遮断時
にはばねの働きにより真空容器７を開放するように作動
する。真空容器７の開放により外気が真空容器７内に流
入して真空容器７内を常圧に戻す事により、真空ポンプ
１からのオイルの逆流を防止する事が出来る。開閉口２
の内径は真空容器７及び真空ライン内の真空度に依存し
決定することができ、真空ポンプ１からのオイルの逆流
が起こらない範囲で適宜選択することができる。また、
外気流入口８に不活性ガスを充満させた容器を接続する
事により、開閉口２が開放作動した際に真空容器７内を
不活性ガスで満たし、試料が外気により劣化するのを防
止する事が出来る。尚、停電時において電磁弁は、再通
電により閉成作動し、再度真空ラインを真空状態に戻す
ことができる。As the opening / closing port 2, for example, an electromagnetic valve can be used, and when energized, the vacuum vessel 7 is closed, and when shut off, the vacuum vessel 7 is opened by the action of a spring. Opening of the vacuum container 7 allows outside air to flow into the vacuum container 7 and return the inside of the vacuum container 7 to normal pressure, whereby backflow of oil from the vacuum pump 1 can be prevented. Opening 2
Can be determined depending on the degree of vacuum in the vacuum vessel 7 and the vacuum line, and can be appropriately selected within a range in which the backflow of oil from the vacuum pump 1 does not occur. Also,
By connecting a container filled with an inert gas to the outside air inlet 8, the inside of the vacuum container 7 is filled with the inert gas when the opening / closing port 2 is opened, thereby preventing the sample from being deteriorated by the outside air. Can be done. In addition, at the time of a power failure, the solenoid valve is closed by re-energization, and the vacuum line can be returned to the vacuum state again.
【００１６】真空ポンプ１は伝達ベルト３によってモー
ター４と連動して作動し、真空ポンプ１は真空容器７と
連通している。開閉口２は、例えば、真空ポンプ１と真
空容器７の間に分枝して設置してもよく、真空容器７の
先に設置してもよい。真空ポンプ１と真空容器７の間に
分枝して設置した開閉口２は逆流防止弁やコールドトラ
ップと代替することができ、開閉口２を適宜設置するこ
とにより、吸引効率の問題を解消することができる。特
に、開閉口２は真空ポンプ１と真空容器７の間に分枝し
て設置した方が、開口時外気が真空ポンプ１および真空
容器７に向かって流入するため、真空容器７から真空ポ
ンプ１への試料粒子の漂着を防止することができ、真空
ラインが試料によって汚染されないことからも好まし
い。The vacuum pump 1 operates in conjunction with a motor 4 by a transmission belt 3, and the vacuum pump 1 communicates with a vacuum vessel 7. The opening / closing port 2 may be provided, for example, as being branched between the vacuum pump 1 and the vacuum vessel 7 or may be provided at the tip of the vacuum vessel 7. The opening / closing port 2 branching and installed between the vacuum pump 1 and the vacuum vessel 7 can be replaced with a check valve or a cold trap. be able to. In particular, when the opening / closing port 2 is branched and installed between the vacuum pump 1 and the vacuum vessel 7, the outside air flows toward the vacuum pump 1 and the vacuum vessel 7 at the time of opening. This is preferable because the sample particles can be prevented from drifting to the vacuum line and the vacuum line is not contaminated by the sample.
【００１７】[0017]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空ポンプの回転速度により真空装置の異常又は故障を
察知するため、モーターの異常又は故障以外の真空ポン
プや伝達ベルトに起因する種々の異常又は故障に対処す
ることができ、火災発生を未然に防ぐことができる。ま
た、真空装置の異常又は故障時や停電時、開閉口が作動
するため、真空ラインの急激な減圧度の低下に伴う真空
ポンプからのオイルの逆流や逆流したオイルによる真空
容器及び真空容器内の試料の汚染を防止することができ
る。オイルの流出により真空ポンプ内のオイル量が減少
するが、その際生じる吸引効率の悪化の問題を解消する
ことができ、また真空ポンプ内へのオイルの補充の作業
を削減することができる。更に、電磁弁などの開閉口を
適宜設置することにより、逆流防止弁使用時の吸引効率
を改善することができる。As described above, according to the present invention,
Since the abnormality or failure of the vacuum device is detected based on the rotation speed of the vacuum pump, various abnormalities or failures caused by the vacuum pump or the transmission belt other than the abnormality or failure of the motor can be dealt with, thereby preventing a fire from occurring. be able to. In addition, in the event of a vacuum device abnormality or failure or power failure, the opening / closing port operates, so the backflow of oil from the vacuum pump due to a sudden decrease in the degree of decompression of the vacuum line or the vacuum vessel due to backflowed oil and the inside of the vacuum vessel Sample contamination can be prevented. Although the amount of oil in the vacuum pump decreases due to the outflow of oil, it is possible to solve the problem of deterioration in suction efficiency that occurs at that time, and it is possible to reduce the work of replenishing oil in the vacuum pump. Further, by appropriately providing an opening and closing port such as a solenoid valve, it is possible to improve the suction efficiency when the check ring is used.
【図１】図１は本発明の一実施形態に係わるものであ
り、真空装置の安全機構の全体的構成図を示す。尚、排
気装置とは、真空ポンプ１、伝達ベルト３及びモーター
４を指し、真空ラインとは、真空ポンプ１から開閉口２
及び真空容器７までの管及び真空容器７内部全体を指
す。FIG. 1 relates to one embodiment of the present invention, and shows an overall configuration diagram of a safety mechanism of a vacuum device. Note that the exhaust device refers to the vacuum pump 1, the transmission belt 3, and the motor 4, and the vacuum line refers to the vacuum pump 1
And the entire tube up to the vacuum vessel 7 and the inside of the vacuum vessel 7.
１ 真空ポンプ ２ 開閉口 ３ 伝達ベルト ４ モーター ５ 回転検知部 ６ 電源制御回路 ７ 真空容器 ８ 外気流入口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum pump 2 Opening / closing port 3 Transmission belt 4 Motor 5 Rotation detection part 6 Power supply control circuit 7 Vacuum container 8 Outside air inlet
Claims (3)
装置と真空容器を有する真空装置において、真空ポンプ
の回転速度低下によりモーターを停止する手段を有する
ことを特徴とする真空装置の安全機構。1. A safety mechanism for a vacuum device, comprising: a vacuum device having a vacuum pump and a motor, and an evacuation device having a motor and a vacuum device, comprising means for stopping the motor when the rotation speed of the vacuum pump is reduced.
ーの停止に連動して真空容器を開放させる手段を有する
ことを特徴とする請求項１記載の真空装置の安全機構。2. A safety mechanism for a vacuum apparatus according to claim 1, further comprising means for opening a vacuum vessel in conjunction with a stop of the motor due to a decrease in the rotation speed of the vacuum pump.
ることを特徴とする請求項２記載の真空装置の安全機
構。3. The safety mechanism for a vacuum device according to claim 2, wherein the means for opening the vacuum vessel is an electromagnetic valve.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10378425A JP2000199480A (en) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Safety mechanism for vacuum system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10378425A JP2000199480A (en) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Safety mechanism for vacuum system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000199480A true JP2000199480A (en) | 2000-07-18 |
Family
ID=18509670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10378425A Pending JP2000199480A (en) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Safety mechanism for vacuum system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000199480A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006253517A (en) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Reduced-pressure dryer |
| JP2009534645A (en) * | 2006-04-20 | 2009-09-24 | ミロトロン ケイエフティー． | Manufacturing method of low wave neutron guide plane |
| JP2017129095A (en) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | 株式会社島津製作所 | Power supply device for vacuum pump |
-
1998
- 1998-12-25 JP JP10378425A patent/JP2000199480A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006253517A (en) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Reduced-pressure dryer |
| JP2009534645A (en) * | 2006-04-20 | 2009-09-24 | ミロトロン ケイエフティー． | Manufacturing method of low wave neutron guide plane |
| JP2017129095A (en) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | 株式会社島津製作所 | Power supply device for vacuum pump |
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