JP2000190258A - Cylindrical coordinates robot - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は円筒座標系ロボット
に係り、詳しくはロボットのアーム駆動メカニズムとし
てシャフト-イン-シャフト構造を採り入れてロボットの
構造をコンパクト化させるように改善された円筒座標系
ロボットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cylindrical coordinate system robot, and more particularly, to an improved cylindrical coordinate system robot which adopts a shaft-in-shaft structure as a robot arm driving mechanism to reduce the size of the robot structure. About.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、円筒座標系ロボットは、無人化
により製品のローディング及びアンロディング、部品の
加工または組立、完成品のハドリング等のような作業を
遂行するために物体を３方向に移動させるものとして生
産ラインに設けられる。すなわち、産業現場で大部分の
製造工程の自動化は、そうした製造工程に必要な材料及
び部品を取扱うことができる多様な形態のロボットによ
り可能になる。このようなロボットは、重大な任務を帯
びている産業用ロボットから小さい精密ロボットに至る
までその範囲が多様である。また、このようなロボット
は、一つの特定の目的以外にさらに一般的な目的を有す
ることができる。2. Description of the Related Art Generally, a cylindrical coordinate system robot moves an object in three directions to perform operations such as loading and unloading of a product, processing or assembling of a part, and hadling of a finished product by unmanned operation. Installed on the production line. That is, automation of most manufacturing processes at an industrial site is enabled by various types of robots capable of handling materials and components required for such manufacturing processes. Such robots range in variety from industrial robots with critical missions to small precision robots. Also, such a robot may have a more general purpose than one specific purpose.
【０００３】或るロボットは、対象物を円筒形空間内の
所望する地点に位置させるアーム構造を有することがで
きる。このような種のロボットに対する例が米国特許第
４、４６６、７６９号、第５、１７８、５１２号、及び
第４、７２８、２５２号に開示されている。前記ロボッ
トは、円筒形空間の平面上において対象物を動かし、従
来の昇降メカニズムを利用して円筒形空間の垂直軸を追
って対象物を動かす。[0003] Some robots can have an arm structure that positions an object at a desired point in a cylindrical space. Examples for such robots are disclosed in U.S. Pat. Nos. 4,466,769, 5,178,512, and 4,728,252. The robot moves an object on a plane of a cylindrical space, and moves the object along a vertical axis of the cylindrical space using a conventional lifting mechanism.
【０００４】半導体製造産業において、対象物を取扱う
ロボットは、多様な目的に用いられることができる。こ
のような目的中の一つは、シリコンウェーハを取扱うこ
とである。そうした作業は例えば、クリーンルームのよ
うな環境で行なわれなければならなく、そうしたロボッ
トは、極めて精密な運動が可能でなければならない。こ
の目的のために現在用いられる最も通常的なロボットは
回転できる回転手段、シリンダを昇降させることができ
る昇降手段を有する。ひいては、ロボットには対象物を
把持することができるハンドが設けられたアームを伸ば
したりまたは後退させるための手段が提供される。[0004] In the semiconductor manufacturing industry, robots that handle objects can be used for a variety of purposes. One such purpose is to handle silicon wafers. Such tasks must be performed in an environment such as a clean room, for example, and such robots must be capable of extremely precise movements. The most common robots currently used for this purpose have rotating means which can rotate and lifting means which can raise and lower the cylinder. Consequently, the robot is provided with means for extending or retracting an arm provided with a hand capable of gripping an object.
【０００５】しかし、従来の二つのアームを有する円筒
座標系ロボットの構成において、ロボットの下部に位置
された各アーム駆動軸の入力部にはハーモニックドライ
ブ(harmonic drive)のような減速機がモータの回転軸に
直接結合され、ロボットの上部に位置する二つのアーム
をその半径方向に動かすために各アーム駆動軸にもモー
タと減速機が直接的に結合される。したがって、高価の
減速機が多数用いられるので製造コストが上昇し、ロボ
ットのサイズが大きくなる。However, in a conventional configuration of a cylindrical coordinate system robot having two arms, a speed reducer such as a harmonic drive is provided at an input portion of each arm drive shaft located below the robot. A motor and a speed reducer are also directly connected to each arm drive shaft in order to move the two arms located at the top of the robot in the radial direction, which are directly connected to the rotation shaft. Therefore, a large number of expensive reducers are used, so that the manufacturing cost increases and the size of the robot increases.
【０００６】のみならず、ロボットの下部に配置された
モータ及び減速機からロボット上部に動力を伝達する構
造を有するロボットにおいては２個のアームを有するロ
ボットの開発に難しさがある。この場合、モータの電源
及び制御信号ケーブルをロボットの上層部まで配線しな
ければならない問題点がある。一方、シャフト-イン-シ
ャフト構造の従来のロボットは、ロボットの回転軸と一
つのアームを駆動させる構造に限定されており、前記シ
ャフト-イン-シャフト構造を二つのアームを有するロボ
ットに適用することには相当な難しさがある。In addition, it is difficult to develop a robot having two arms in a robot having a structure in which power is transmitted from a motor and a speed reducer arranged below the robot to the upper part of the robot. In this case, there is a problem that the power supply of the motor and the control signal cable must be wired to the upper layer of the robot. On the other hand, a conventional robot having a shaft-in-shaft structure is limited to a structure in which a rotation axis of the robot and one arm are driven, and the shaft-in-shaft structure is applied to a robot having two arms. Has considerable difficulty.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記問題点を
勘案して着想されたものであり、本発明の目的は、ロボ
ットの回転軸とアーム駆動軸が同一軸上に位置するすな
わち、シャフト-イン-シャフト構造を採択し、ロボット
を回転させたり上下移動させたり、ロボットのアームを
駆動させるための複数のモータをロボット下部に位置さ
せ、ひいては、前記シャフト-イン-シャフト構造の最内
側のシャフトには、ケーブル配線及び配管のための中空
を形成させることによってロボットの構造をコンパクト
化できる円筒座標系ロボットを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a robot in which a rotation axis and an arm drive axis are located on the same axis, that is, a shaft. -Adopting the in-shaft structure, a plurality of motors for rotating and moving the robot up and down and driving the arm of the robot are located at the bottom of the robot, and thus the innermost shaft of the shaft-in-shaft structure An object of the present invention is to provide a cylindrical coordinate system robot in which the shaft is formed with a hollow for cable wiring and piping so that the structure of the robot can be made compact.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明は、フレームと、前記フレームに対して回転可
能に設けられた回転ステージと、前記回転ステージに対
して回転可能に各々設けられた親ネジ(leading screw)
及びガイド棒と、前記親ネジに結合された第１ナット結
合体と、前記ガイド棒に結合された第２ナットとを備
え、前記親ネジ及び前記ガイド棒に対して昇降可能な移
動部材と、回転可能な中空の内部シャフトと、前記内部
シャフトと各々同軸的に位置されて独立的に回転可能な
外部シャフト、及び中間シャフトとを備え、一端は、前
記移動部材に結合され他端は、前記回転ステージ及び前
記フレームを貫通して延設されたシャフト構造物と、前
記シャフト構造物の他端に結合され、両端に一対のアー
ム駆動シャフトが設けられたアームサポートフレーム
と、前記フレームに対して前記回転ステージを回転させ
るための第１駆動手段と、前記回転ステージに対して前
記親ネジを回転させるための第２駆動手段と、前記回転
ステージに対して前記シャフト構造物の各シャフトを回
転させるための第３駆動手段とを備える。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a frame, a rotary stage provided rotatably with respect to the frame, and a rotary stage provided rotatably with respect to the rotary stage. Leading screw
And a guide rod, a first nut coupling body coupled to the lead screw, and a second nut coupled to the guide rod, and a moving member that can move up and down with respect to the lead screw and the guide rod; A rotatable hollow inner shaft, an independently rotatable outer shaft positioned coaxially with the inner shaft, and an intermediate shaft, one end of which is coupled to the moving member and the other end of which is A shaft structure extending through the rotary stage and the frame, an arm support frame coupled to the other end of the shaft structure, and a pair of arm drive shafts provided at both ends; First driving means for rotating the rotary stage, second driving means for rotating the lead screw with respect to the rotary stage, and And a third drive means for rotating each shaft Yafuto structure.
【０００９】本発明の他の特徴によると、前記第１ナッ
ト結合体は、前記親ネジに回転可能に設けられた第１ナ
ットと、前記親ネジを沿って昇降可能に前記第１ナット
に一体で結合された第３ナットとを備える。本発明のま
た他の特徴によると、前記シャフト構造物の前記外部シ
ャフトは、第１ベルト／プーリ手段により前記一対のア
ーム駆動シャフトの第１アーム駆動シャフトに連結さ
れ、前記中間シャフトは、第２ベルト／プーリ手段によ
り前記一対のアーム駆動シャフトの第２アーム駆動シャ
フトに連結されて前記外部シャフトの内側と前記内部シ
ャフト内側に位置されることが望ましい。According to another feature of the present invention, the first nut assembly is integrally formed with the first nut rotatably provided on the lead screw and the first nut so as to be able to move up and down along the lead screw. And a third nut coupled with the third nut. According to yet another feature of the invention, the outer shaft of the shaft structure is connected to a first arm drive shaft of the pair of arm drive shafts by a first belt / pulley means, and the intermediate shaft is connected to a second arm drive shaft. Preferably, the pair of arm drive shafts are connected to a second arm drive shaft of the pair of arm drive shafts by belt / pulley means, and are positioned inside the outer shaft and the inner shaft.
【００１０】本発明の望ましい進歩された様相による
と、前記シャフト構造物に連動されて回転できるように
前記一対のアーム駆動シャフトに各々垂直に延設された
一対のアーム部をさらに備えることが望ましい。本発明
の有益に進歩された様相によると、前記フレームは、支
持軸により連結される上部固定板と下部固定板を含み、
前記内部シャフトに形成された空洞に設けられるケーブ
ル及びチューブの数を減らすために前記シャフト構造物
の回転に干渉されないように前記上部固定板、前記下部
固定板、及び前記支持軸にフィルタ、真空センサ、ソレ
ノイドバルブが位置されることが望ましい。According to a preferred aspect of the present invention, it is preferable that a pair of arm driving shafts is further provided with a pair of arm portions vertically extending from the pair of arm driving shafts so as to be able to rotate in conjunction with the shaft structure. . According to a beneficially advanced aspect of the present invention, the frame includes an upper fixing plate and a lower fixing plate connected by a support shaft,
In order to reduce the number of cables and tubes provided in the cavity formed in the inner shaft, the upper fixed plate, the lower fixed plate, and a filter and a vacuum sensor are provided on the support shaft so as not to interfere with the rotation of the shaft structure. Preferably, the solenoid valve is located.
【００１１】ここで、前記第１駆動手段は、前記回転ス
テージに固着されたモータと、入力端が前記モータに設
けられ、出力端が前記下部固定板に付着された減速機と
を備える。また、前記第２駆動手段は、前記移動部材と
一緒に移動できるように前記移動部材に設けられたモー
タと、前記モータの回転力を前記親ネジに伝達する第３
ベルト／プーリ手段とを備える。Here, the first driving means includes a motor fixed to the rotary stage, and a speed reducer having an input end provided to the motor and an output end attached to the lower fixed plate. Further, the second driving means includes a motor provided on the moving member so as to be able to move together with the moving member, and a third motor for transmitting a rotational force of the motor to the lead screw.
Belt / pulley means.
【００１２】ひいては、前記第３駆動手段は独立的に制
御可能で前記回転ステージに設けられた２個のモータ
と、前記モータの回転力を前記中間シャフト及び外部シ
ャフトに各々伝達するためのベルト／プーリ手段とを備
えることを特徴とする円筒座標系ロボットである。Further, the third drive means can be independently controlled and provided with two motors provided on the rotary stage, and a belt / motor for transmitting the torque of the motors to the intermediate shaft and the external shaft. A cylindrical coordinate system robot comprising a pulley means.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明をより詳しく説明する。図１及び図２に示されたよ
うに、本発明の望ましい実施形態による円筒座標系ロボ
ット１００は、下部固定板１１２と上部固定板１１４を
含むフレーム１１０と、フレーム１１０に対して回転可
能に配置された回転ステージ１２０とを備える。前記回
転ステージ１２０は下部円板１２２と上部円板１２４と
を含む。前記下部円板１２２と上部円板１２４との間に
は親ネジ１３０とガイド棒１４０が各々回転できるよう
に設けられる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. As shown in FIGS. 1 and 2, a cylindrical coordinate system robot 100 according to a preferred embodiment of the present invention includes a frame 110 including a lower fixed plate 112 and an upper fixed plate 114, and a rotatable frame 110. And a rotating stage 120 that is provided. The rotation stage 120 includes a lower disk 122 and an upper disk 124. A lead screw 130 and a guide rod 140 are provided between the lower disk 122 and the upper disk 124 so as to be rotatable.
【００１４】前記親ネジ１３０はロボットの昇降運動手
段であり、一般的なボールネジ(ball screw)が利用され
ることが望ましい。親ネジ１３０の端部はベアリング１
２２ａ、１２４ｂにより上部円板１２４と下部円板１２
２とに各々結合される。また、親ネジ１３０には第１ナ
ット結合体１３４が結合され、ガイド棒１４０には第２
ナット１４４が結合される。ここで、第１ナット結合体
１３４は第１ナット１３６と第３ナット１３８とが一体
に形成されたものであり、第１ナット１３６は通常的な
ボールネジナット構造であり、第３ナット１３８は通常
的なスプライン(spline)ナット構造である。また、第１
ナット結合体１３４と第２ナット１４４とは各々移動部
材１５０に設けられる。したがって、移動部材１５０は
親ネジ１３０とガイド棒１４０とを追って昇降される。The lead screw 130 is a means for raising and lowering the robot, and it is preferable that a general ball screw be used. The end of lead screw 130 is bearing 1
The upper disk 124 and the lower disk 12 are formed by 22a and 124b.
2 respectively. A first nut combination 134 is coupled to the lead screw 130, and a second nut combination 134 is coupled to the guide rod 140.
The nut 144 is connected. Here, the first nut assembly 134 has a first nut 136 and a third nut 138 integrally formed, the first nut 136 has a normal ball screw nut structure, and the third nut 138 has a normal It is a typical spline nut structure. Also, the first
The nut combination 134 and the second nut 144 are provided on the moving member 150, respectively. Therefore, the moving member 150 moves up and down following the lead screw 130 and the guide rod 140.
【００１５】前記ガイド棒１４０は上部円板１２４と下
部円板１２２との間に位置され、通常的なロボット装置
と同じく一般的なボールスプラインが利用される。すな
わち、ガイド棒１４０自らの回転により、それに連結さ
れた第２ナット１４４を回転させることもでき、回転さ
れないガイド棒１４０を追って第２ナット１４４を昇降
させることもできる。一方、ガイド棒１４０の回転を円
滑にするために上部円板１２４と下部円板１２２とには
ガイド棒ベアリング１２４ｃが介在されている。The guide rod 140 is located between the upper disk 124 and the lower disk 122, and uses a general ball spline as in a general robot device. That is, the second nut 144 connected thereto can be rotated by the rotation of the guide rod 140 itself, and the second nut 144 can be moved up and down following the guide rod 140 which is not rotated. On the other hand, a guide rod bearing 124c is interposed between the upper disk 124 and the lower disk 122 in order to smoothly rotate the guide rod 140.
【００１６】前記第２ナット１４４は、一般的なスプラ
インナットであることが望ましい。すなわち、第２ナッ
ト１４４はガイド棒１４０が回転される時にはガイド棒
１４０と一緒に回転されて中間シャフト１６４を回転さ
せ、Ｚモータ１３２により前記移動部材１５０が昇降さ
れる時にはガイド棒１４０を追って昇降できる。第２ナ
ット１４４には第２ナットプーリ１４４ａが設けられ
る。前記第２ナットプーリ１４４ａは第２ナットベルト
１４５により中間シャフト１６４に設けられた第２ナッ
ト従動プーリ１６４ａに連結される。The second nut 144 is preferably a general spline nut. That is, when the guide rod 140 is rotated, the second nut 144 rotates together with the guide rod 140 to rotate the intermediate shaft 164, and when the moving member 150 is moved up and down by the Z motor 132, the second nut 144 follows the guide rod 140. it can. The second nut 144 is provided with a second nut pulley 144a. The second nut pulley 144a is connected to a second nut driven pulley 164a provided on the intermediate shaft 164 by a second nut belt 145.
【００１７】前記移動部材１５０は、シャフト構造物１
６０を上部円板１２４と下部円板１２２との間で往復運
動させるためのものである。前記移動部材１５０にはシ
ャフト構造物１６０の内部シャフト１６６の一端が固定
される。したがって、円筒座標系ロボット１００の昇降
運動のために親ネジ１３０に結合された第１ナット１３
４が回転される時、移動部材１５０は第２ナット１４４
及びシャフト構造物１６０を昇降させる。The moving member 150 includes a shaft structure 1.
60 is for reciprocating between the upper disk 124 and the lower disk 122. One end of the inner shaft 166 of the shaft structure 160 is fixed to the moving member 150. Therefore, the first nut 13 coupled to the lead screw 130 for the vertical movement of the cylindrical coordinate system robot 100.
4 is rotated, the moving member 150 is moved to the second nut 144.
Then, the shaft structure 160 is moved up and down.
【００１８】前記移動部材１５０にはシャフト構造物１
６０の一端が結合される。前記シャフト構造物１６０は
外側から順序通り外部シャフト１６２、中間シャフト１
６４及び内部シャフト１６６が一定の間隔を開いて同軸
的に位置される。シャフト構造物１６０の他端は上部円
板１２４と上部固定板１１４とを貫通して延設される。
シャフト構造物１６０の延設された部分の端部はアーム
サポートフレーム１８０に結合される。前記アームサポ
ートフレーム１８０には一対のアーム部１９２、１９４
が各々設けられる。The moving member 150 includes a shaft structure 1.
One end of 60 is coupled. The shaft structure 160 includes an outer shaft 162 and an intermediate shaft 1 in order from the outside.
64 and the inner shaft 166 are coaxially spaced at regular intervals. The other end of the shaft structure 160 extends through the upper disk 124 and the upper fixing plate 114.
The end of the extended portion of the shaft structure 160 is connected to the arm support frame 180. The arm support frame 180 has a pair of arm portions 192 and 194.
Are respectively provided.
【００１９】前記シャフト構造物１６０の各シャフト１
６２、１６４、１６６は独立的に回転される。シャフト
構造物１６０は外部シャフト１６２内部に中間シャフト
１６４が離隔されて位置され、中間シャフト１６４内部
に内部シャフト１６６が離隔されて位置されるいわゆ
る、シャフト-イン-シャフト(Shaft−in−Shaft)構造で
ある。前記外部シャフト１６２、中間シャフト１６４、
及び内部シャフト１６６間にはベアリング１６３、１６
５が介在される。Each shaft 1 of the shaft structure 160
62, 164, 166 are independently rotated. The shaft structure 160 has a so-called “shaft-in-shaft” structure in which an intermediate shaft 164 is located inside an outer shaft 162 and an inner shaft 166 is located inside an intermediate shaft 164. It is. The outer shaft 162, the intermediate shaft 164,
And between the inner shaft 166 and the bearings 163, 16
5 are interposed.
【００２０】前記内部シャフト１６６には、アーム駆動
用またはシステム制御信号用ケーブルが位置される空洞
１６６ａが形成される。内部シャフト１６６の下部は移
動部材１５０に固定される。外部シャフト１６２の上端
には第１アーム駆動プーリ１８２が設けられる。外部シ
ャフト１６２の下部外周面には第３ナット従動プーリ１
６２ａが設けられる。中間シャフト１６４の上端には第
２アーム駆動プーリ１８４が設けられる。中間シャフト
１６４の下端には第２ナット従動プーリ１６４ａが設け
られる。The inner shaft 166 has a cavity 166a in which a cable for driving an arm or a signal for controlling a system is located. The lower portion of the inner shaft 166 is fixed to the moving member 150. A first arm drive pulley 182 is provided at an upper end of the outer shaft 162. A third nut driven pulley 1 is provided on a lower outer peripheral surface of the outer shaft 162.
62a are provided. A second arm drive pulley 184 is provided at an upper end of the intermediate shaft 164. A second nut driven pulley 164a is provided at a lower end of the intermediate shaft 164.
【００２１】前記下部固定板１１２は、全体ロボットを
支える。前記上部固定板１１４は下部固定板１１２と一
定の間隔すなわち、円筒座標系ロボットに要求される垂
直上昇距離ほど離れて位置される。下部固定板１１２と
上部固定板１１４とは支持フレーム１１６により連結さ
れる。外部シャフト１６２に各々接触される上部固定板
１１４及び上部円板１２４にはオイル供給部１１４ａ、
１２４ａが用意される。前記オイル供給部１１４ａ、１
２４ａはシャフト構造物１６０の昇降運動を円滑にす
る。The lower fixing plate 112 supports the entire robot. The upper fixed plate 114 is spaced apart from the lower fixed plate 112 by a predetermined distance, that is, a vertical ascending distance required for the cylindrical coordinate system robot. The lower fixing plate 112 and the upper fixing plate 114 are connected by a support frame 116. The upper fixed plate 114 and the upper disk 124 that are in contact with the outer shaft 162 respectively have oil supply portions 114a
124a is prepared. The oil supply sections 114a, 1
24a facilitates the elevating movement of the shaft structure 160.
【００２２】回転ステージ１２０の中心には中空の中心
シャフト１２３が結合され、回転ステージ１２０は中心
シャフト１２３を中心にフレーム１１０に対して回転さ
れる。フレーム１１０に対して回転ステージ１２０を回
転させるための第１駆動手段はθモータ１２６と、減速
機１２８と、θベルト／プーリ手段とを備える。A hollow center shaft 123 is connected to the center of the rotation stage 120, and the rotation stage 120 is rotated about the center shaft 123 with respect to the frame 110. The first driving means for rotating the rotary stage 120 with respect to the frame 110 includes a θ motor 126, a speed reducer 128, and a θ belt / pulley means.
【００２３】前記θモータ１２６は、下部固定板１１２
に固定されて制御手段(図示せず)により動力を発生さ
せ、通常的な電気モータが用いられることが望ましい。
前記θベルト／プーリ手段は、θモータ１２６の出力軸
に設けられたθモータ駆動プーリ１２６ａ、中心シャフ
ト１２３に設けられた中心シャフトプーリ１２３ａ、及
びθモータ駆動プーリ１２６ａと中心シャフトプーリ１
２３ａとを連結するθモータ駆動ベルト１２７を含む。
前記減速機１２８の入力端は、θモータ１２６に連結さ
れて減速機１２８の出力端は下部固定板１１２に固定さ
れる。したがって、θモータ１２６を作動させると、前
記θベルト／プーリ手段によりθモータ１２６が回転さ
れ、その回転力は下部固定板１１２に対して下部円板１
２２を相対回転させる。The θ motor 126 is connected to the lower fixed plate 112
It is preferable that a general electric motor be used while the power is generated by control means (not shown).
The θ belt / pulley means includes a θ motor driving pulley 126 a provided on the output shaft of the θ motor 126, a central shaft pulley 123 a provided on the central shaft 123, and the θ motor driving pulley 126 a and the central shaft pulley 1.
23a and a θ motor drive belt 127 that connects the belt 23a to the motor 23.
The input end of the speed reducer 128 is connected to the θ motor 126, and the output end of the speed reducer 128 is fixed to the lower fixing plate 112. Therefore, when the θ motor 126 is operated, the θ motor 126 is rotated by the θ belt / pulley means, and the rotational force is applied to the lower fixed plate 112 by the lower disk 1.
22 is relatively rotated.
【００２４】フレーム１１０に対して親ネジ１３０を回
転させることによってロボット１００のアームサポート
フレーム１８０を昇降させるための第２駆動手段は、Ｚ
モータ１３２と、Ｚベルト／プーリ手段とを備える。前
記Ｚモータ１３２は、独立的に制御可能で逆回転可能な
ものであって移動部材１５０に設けられる。前記Ｚベル
ト／プーリ手段はＺモータ１３２の出力軸に設けられる
Ｚモータ駆動プーリ１３２ａ、Ｚモータ駆動プーリ１３
２ａと第１ナット１３６とに設けられた第１ナットプー
リ１３６ａを連結するＺベルト１３３を含む。The second driving means for raising and lowering the arm support frame 180 of the robot 100 by rotating the lead screw 130 with respect to the frame 110 includes Z
It comprises a motor 132 and Z belt / pulley means. The Z motor 132 is independently controllable and capable of reverse rotation, and is provided on the moving member 150. The Z belt / pulley means includes a Z motor driving pulley 132a provided on the output shaft of the Z motor 132, a Z motor driving pulley 13
2a and a Z-belt 133 for connecting a first nut pulley 136a provided on the first nut 136.
【００２５】前記Ｚモータ１３２の回転力は、Ｚベルト
／プーリ手段により第１ナット結合体１３４の第１ナッ
ト１３６に伝達され、第１ナット１３６は親ネジ１３０
に対して相対回転される。そうすると、第１ナット１３
６は回転されない親ネジ１３０を中心に回転される。こ
こで、第３ナット１３８は第１ナット１３６と一緒に回
転されない親ネジ１３０を追って昇降されることによっ
て移動部材１５０は昇降運動できる。この場合、ガイド
棒１４０に結合された第２ナット１４４は移動部材１５
０の昇降運動をガイドするためにガイド棒１４０を追っ
て昇降される。前記第１ナット１３６はＺモータ１３２
により回転され、前記第３ナット１３８は親ネジ１３０
が回転される時親ネジ１３０と一緒に回転される。ま
た、第３ナット１３８の上部には第３ナットプーリ１３
８ａが設けられて第３ナットベルト１３９により外部シ
ャフト１６２に設けられた第３ナット従動プーリ１６２
ａに連結される。The rotational force of the Z motor 132 is transmitted to the first nut 136 of the first nut combination 134 by the Z belt / pulley means, and the first nut 136 is connected to the lead screw 130.
Is rotated relative to. Then, the first nut 13
6 is rotated about the lead screw 130 which is not rotated. Here, the third nut 138 is moved up and down following the lead screw 130 that is not rotated together with the first nut 136, so that the moving member 150 can move up and down. In this case, the second nut 144 connected to the guide rod 140 is
It is moved up and down by following the guide rod 140 to guide the 0 elevating movement. The first nut 136 is a Z motor 132
The third nut 138 is rotated by the lead screw 130.
Is rotated together with the lead screw 130 when rotated. The third nut 138 is provided above the third nut 138.
8a and a third nut driven pulley 162 provided on the outer shaft 162 by the third nut belt 139.
a.
【００２６】回転ステージ１２０に対して外部シャフト
１６２及び中間シャフト１６４を個別的に回転させるた
めの第３駆動手段は、独立的に制御可能で正逆転可能な
ように回転ステージ１２０に各々設けられた第１アーム
駆動モータ(図３の１７２)及び第２アーム駆動モータ１
７６と、第１、２アーム駆動ベルト／プーリ手段とを備
える。前記第１、２アーム駆動モータ１７２、１７６の
回転力は外部シャフト１６２及び中間シャフト１６４に
各々伝達されて最終的に相応する第１、２アーム駆動シ
ャフト１８６、１８８を回転させる。Third drive means for individually rotating the external shaft 162 and the intermediate shaft 164 with respect to the rotary stage 120 are provided on the rotary stage 120 so as to be independently controllable and to be able to rotate forward and backward. First arm drive motor (172 in FIG. 3) and second arm drive motor 1
76 and first and second arm drive belt / pulley means. The torque of the first and second arm drive motors 172 and 176 is transmitted to the outer shaft 162 and the intermediate shaft 164, respectively, and finally rotates the corresponding first and second arm drive shafts 186 and 188.
【００２７】図３に示されたように、第１アーム駆動モ
ータ１７２の出力軸には第１アーム駆動モータプーリ１
７２ａが設けられる。前記第１アーム駆動モータプーリ
１７２ａは多数のベルトとプーリとよりなる第１アーム
駆動ベルト／プーリ手段１７３により親ネジ１３０の下
端に設けられた第１アーム駆動モータ従動プーリ１３０
ａに連結される。前記第１アーム駆動ベルト／プーリ手
段１７３はロボットの他の構成要素の配置によって複数
のベルトとプーリとで構成でき、代案として第１アーム
駆動モータプーリ１７２ａと第１アーム駆動モータ従動
プーリ１３０ａとは一つのベルトにより連結される場合
もある。As shown in FIG. 3, the output shaft of the first arm drive motor 172 is connected to the first arm drive motor pulley 1.
72a are provided. The first arm drive motor pulley 172a is provided at the lower end of the lead screw 130 by a first arm drive belt / pulley means 173 comprising a number of belts and pulleys.
a. The first arm driving belt / pulley means 173 may be composed of a plurality of belts and pulleys depending on the arrangement of other components of the robot. Alternatively, the first arm driving motor pulley 172a and the first arm driving motor driven pulley 130a may be one. It may be connected by one belt.
【００２８】前記第１アーム駆動モータ１７２の回転力
は第１アーム駆動モータベルト／プーリ手段１７３によ
り親ネジ１３０に伝達され、第３ナット１３８に設けら
れた第３ナットベルト／プーリ手段により外部シャフト
１６２が回転される。そうすると、第１アーム駆動シャ
フト１８６が回転するようになって終局的に第１アーム
部１９２が回転される。親ネジ１３０が回転される時第
１ナット１３６が垂直方向に移動しないようにするため
に反回転手段が提供される。前記反回転手段は、第１ア
ーム駆動モータ１７２の回転方向と反対方向とにＺモー
タ１３２を駆動させて第１ナット１３６が親ネジ１３０
に連動されないようにする。The rotational force of the first arm drive motor 172 is transmitted to the lead screw 130 by the first arm drive motor belt / pulley means 173, and the external shaft is driven by the third nut belt / pulley means provided on the third nut 138. 162 is rotated. Then, the first arm drive shaft 186 is rotated, and the first arm 192 is eventually rotated. An anti-rotation means is provided to prevent the first nut 136 from moving vertically when the lead screw 130 is rotated. The anti-rotation means drives the Z motor 132 in a direction opposite to the rotation direction of the first arm drive motor 172 so that the first nut 136
Not be linked to
【００２９】前記第２アーム駆動モータ１７６の出力軸
には第２アーム駆動ベルト／プーリ手段として第２アー
ム駆動モータプーリ１７６ａが設けられる。前記第２ア
ーム駆動モータプーリ１７６ａは第２アーム駆動モータ
ベルト１７７によりガイド棒１４０の下端に設けられた
第２アーム駆動モータ従動プーリ１４０ａに連結され
る。すなわち、第２アーム駆動モータ１７６の回転力は
第２アーム駆動ベルト／プーリ手段によりガイド棒１４
０に伝達され、第２ナット１４４に設けられた第２ナッ
トベルト／プーリ手段により中間シャフト１６４を回転
させる。したがって、第２アーム駆動シャフト１８８が
回転されて終局的に第２アーム部１９４が回動される。The output shaft of the second arm drive motor 176 is provided with a second arm drive motor pulley 176a as a second arm drive belt / pulley means. The second arm driving motor pulley 176a is connected to a second arm driving motor driven pulley 140a provided at a lower end of the guide rod 140 by a second arm driving motor belt 177. That is, the rotational force of the second arm drive motor 176 is applied to the guide rod 14 by the second arm drive belt / pulley means.
0, and the intermediate shaft 164 is rotated by the second nut belt / pulley means provided on the second nut 144. Therefore, the second arm drive shaft 188 is rotated, and the second arm 194 is eventually rotated.
【００３０】前記アームサポートフレーム１８０はシャ
フト構造物１６０の一端に設けられてシャフト構造物１
６０と一緒に回転される。また、第１、２アーム駆動シ
ャフト１８６、１８８とアームサポートフレーム１８０
との間にはアーム駆動シャフトベアリング１８６ａ、１
８８ａが介在されてアームサポートフレーム１８０に対
するアーム駆動シャフト１８６、１８８の回転を円滑に
する。The arm support frame 180 is provided at one end of the shaft structure 160 so that the shaft structure 1
Rotated with 60. Also, the first and second arm drive shafts 186 and 188 and the arm support frame 180
Between the arm drive shaft bearings 186a, 1
The rotation of the arm drive shafts 186 and 188 with respect to the arm support frame 180 is smoothly performed with the interposition 88a.
【００３１】第１アーム駆動シャフト１８６と第２アー
ム駆動シャフト１８８とは各々独立的に駆動されて回転
できる。前記第１アーム駆動シャフト１８６の下端には
第１アーム従動プーリ１８３が設けられ、第１アーム駆
動ベルト１８５により第１アーム駆動プーリ１８２に連
結される。また、第２アーム駆動シャフト１８８の下端
には第２アーム従動プーリ１８７が設けられる。前記第
１アーム従動プーリ１８７は第２アーム駆動ベルト１８
９により第２アーム駆動プーリ１８４に連結される。The first arm drive shaft 186 and the second arm drive shaft 188 can be independently driven and rotated. A first arm driven pulley 183 is provided at a lower end of the first arm driving shaft 186, and is connected to the first arm driving pulley 182 by a first arm driving belt 185. A second arm driven pulley 187 is provided at a lower end of the second arm drive shaft 188. The first arm driven pulley 187 is connected to the second arm drive belt 18.
9 is connected to the second arm drive pulley 184.
【００３２】前記第１、２アーム駆動シャフト１８６、
１８８の上端にはシャフト構造物１６０の外部シャフト
１６２及び中間シャフト１６４に各々連動されて回動で
きるように第１、２アーム部１９２、１９４がアーム駆
動シャフト１８６、１８８に垂直に延設される。すなわ
ち、第１アーム部１９２は第１アーム部ベルト／プーリ
手段及びベアリング１９１により第１アーム駆動シャフ
ト１８６の上端に設けられ、第２アーム部１９４は第２
アーム部ベルト／プーリ手段及びベアリング１９５によ
り第２アーム駆動シャフト１８８の上端に設けられる。The first and second arm drive shafts 186,
First and second arm portions 192 and 194 extend perpendicularly to the arm driving shafts 186 and 188 at the upper end of the arm driving shaft 188 so as to rotate in conjunction with the outer shaft 162 and the intermediate shaft 164 of the shaft structure 160. . That is, the first arm portion 192 is provided on the upper end of the first arm drive shaft 186 by the first arm portion belt / pulley means and the bearing 191, and the second arm portion 194 is provided on the second arm portion 194.
An arm belt / pulley means and a bearing 195 are provided at the upper end of the second arm drive shaft 188.
【００３３】図４に示されたように、フレーム１１０に
は空圧または油圧チューブ１１１、フィルタ１１３、ソ
レノイドバルブ１１５、及び真空センサ(図示せず)のよ
うにロボットの駆動のための多くの部品が設けられる。
したがって、内部シャフト１６６に形成された空洞１６
６ａに設けられるケーブルまたはチューブ１１７(図
２）の数を減らすことができるのみならずシャフト構造
物１６０の回転に対して前記部品が干渉されないように
する。As shown in FIG. 4, the frame 110 includes many components for driving the robot, such as a pneumatic or hydraulic tube 111, a filter 113, a solenoid valve 115, and a vacuum sensor (not shown). Is provided.
Thus, the cavity 16 formed in the inner shaft 166
Not only can the number of cables or tubes 117 (FIG. 2) provided in 6a be reduced, but also the components do not interfere with the rotation of the shaft structure 160.
【００３４】前記のように構成された本発明の望ましい
実施形態による円筒座標系ロボットの作動を図１ないし
図３を参照して説明する。第一、ロボットのθ方向回転
運動に対して説明する。ロボットの制御部がθモータ１
２６を作動させると、その出力軸に設けられたθモータ
駆動プーリ１２６ａが回転される。そうすると、θモー
タ駆動ベルト１２７により中心シャフト１２３に設けら
れた中心シャフトプーリ１２３ａが回転されようとす
る。しかし、θモータ１２６の出力端が下部固定板１１
２に固定された減速機１２８の入力端に連結されている
ために、下部円板１２２に固定されたθモータ１２６の
回転力は前記θベルト／プーリ手段により下部固定板１
１２に対して下部円板１２２を相対回転させる。したが
って、回転ステージ１２０がフレーム１１０に対して回
転されるようになる。The operation of the cylindrical coordinate robot according to the preferred embodiment of the present invention will now be described with reference to FIGS. First, the rotational movement in the θ direction of the robot will be described. The control unit of the robot is the θ motor 1
When 26 is operated, the θ motor driving pulley 126a provided on the output shaft is rotated. Then, the central shaft pulley 123 a provided on the central shaft 123 is about to be rotated by the θ motor drive belt 127. However, the output end of the θ motor 126 is
2 is connected to the input end of the speed reducer 128 fixed to the lower disk 122, the rotational force of the θ motor 126 fixed to the lower disk 122 is reduced by the θ belt / pulley means.
The lower disk 122 is relatively rotated with respect to 12. Therefore, the rotation stage 120 is rotated with respect to the frame 110.
【００３５】第二、移動部材１５０が昇降されながらア
ームサポートフレームを上下に往復運動させる作動を説
明する。ロボットの制御部がＺモータ１３２を駆動させ
ると、その出力軸に設けられたＺモータ駆動プーリ１３
２ａが回転される。そうすると、Ｚベルト１３３により
第１ナットプーリ１３６ａが回転され、第１ナット１３
６は親ネジ１３０を中心に回転されながら昇降される。
したがって、第１ナット１３６が設けられた移動部材１
５０が昇降運動できる。この際、第３ナット１３８は回
転されなく親ネジ１３０を追って昇降しながら移動部材
１５０の昇降運動をガイドする。同様に、移動部材１５
０に設けられた第２ナット１４４もガイド棒１４０を追
って動きながら移動部材１５０の往復運動をガイドす
る。Second, the operation of reciprocating the arm support frame up and down while the moving member 150 is raised and lowered will be described. When the control unit of the robot drives the Z motor 132, the Z motor driving pulley 13 provided on its output shaft
2a is rotated. Then, the first nut pulley 136a is rotated by the Z belt 133, and the first nut 13
6 is raised and lowered while being rotated about the lead screw 130.
Therefore, the moving member 1 provided with the first nut 136
50 can move up and down. At this time, the third nut 138 guides the up and down movement of the moving member 150 while moving up and down following the lead screw 130 without being rotated. Similarly, the moving member 15
The second nut 144 provided at 0 also guides the reciprocating motion of the moving member 150 while moving following the guide rod 140.
【００３６】第三、一対のアーム部中第１アーム部１９
０を駆動させる作動を説明する。ロボットの制御部が前
記第１アーム駆動モータ１７２を駆動させると、その出
力軸に設けられた第１アーム駆動モータプーリ１７２ａ
が回転され、この回転力は第１アーム駆動モータベルト
／プーリ手段１７３により親ネジ１３０の下端に設けら
れた第１アーム駆動モータ従動プーリ１３０ａに伝達さ
れる。このように伝達された回転力は親ネジ１３０を回
転させるようになる。そうすると、親ネジ１３０に結合
された第３ナット１３８が一緒に回転されてその外周面
に設けられた第３ナットプーリ１３８ａを回転させる。Third, the first arm portion 19 of the pair of arm portions
The operation for driving 0 will be described. When the control unit of the robot drives the first arm drive motor 172, a first arm drive motor pulley 172a provided on its output shaft
Is rotated, and the torque is transmitted to the first arm drive motor driven pulley 130 a provided at the lower end of the lead screw 130 by the first arm drive motor belt / pulley means 173. The torque transmitted in this manner causes the lead screw 130 to rotate. Then, the third nut 138 coupled to the lead screw 130 is rotated together to rotate the third nut pulley 138a provided on the outer peripheral surface.
【００３７】前記回転力は第３ナットベルト１３９によ
り第３ナット従動プーリ１６２ａに伝達されて外部シャ
フト１６２を回転させるようになる。このような外部シ
ャフト１６２の回転はその上端に設けられた第１アーム
駆動プーリ１８２を回転させるようになり、その回転力
は第１アーム駆動ベルト１８５により第１アーム従動プ
ーリ１８３に伝達されることによって第１アーム駆動シ
ャフト１８６が回転される。したがって、第１アーム駆
動シャフト１８６に設けられた第１アーム部１９２は水
平に回転できる。The torque is transmitted to the third nut driven pulley 162a by the third nut belt 139 to rotate the external shaft 162. Such rotation of the external shaft 162 causes the first arm driving pulley 182 provided at the upper end thereof to rotate, and the rotation force is transmitted to the first arm driven pulley 183 by the first arm driving belt 185. As a result, the first arm drive shaft 186 is rotated. Therefore, the first arm portion 192 provided on the first arm drive shaft 186 can rotate horizontally.
【００３８】最後に、一対のアーム部の中第２アーム部
１９４を駆動させる作動を説明する。ロボットの制御部
が第２アーム駆動モータ１７６を駆動させる。そうする
と、その出力軸に設けられた第２アーム駆動モータプー
リ１７６ａが回転され、この回転力は第２アーム駆動ベ
ルト１７７によりガイド棒１４０下端に設けられた第２
アーム駆動モータ従動プーリ１４０ａに伝達される。こ
のように伝達された回転力はガイド棒１４０を回転させ
るようになる。そうすると、ガイド棒１４０に結合され
た第２ナット１４４が一緒に回転されてその外周面に設
けられた第２ナットプーリ１４４ａを回転させる。Finally, the operation of driving the second arm 194 of the pair of arms will be described. The control unit of the robot drives the second arm drive motor 176. Then, the second arm drive motor pulley 176a provided on the output shaft is rotated, and this rotation force is applied to the second arm drive belt 177 provided at the lower end of the guide rod 140 by the second arm drive belt 177.
The power is transmitted to the arm drive motor driven pulley 140a. The torque transmitted in this manner causes the guide rod 140 to rotate. Then, the second nut 144 coupled to the guide rod 140 is rotated together to rotate the second nut pulley 144a provided on the outer peripheral surface thereof.
【００３９】この回転力は第２ナットベルト１４５によ
り第２ナット従動プーリ１６４ａに伝達されて中間シャ
フト１６４を回転させるようになる。このような中間シ
ャフト１６４の回転はその上端に設けられた第２アーム
駆動プーリ１８４を回転させるようになって、その回転
力は第２アーム駆動ベルト１８９により第１アーム従動
プーリ１８７に伝達されることによって第２アーム駆動
シャフト１８８が回転される。したがって、第２アーム
駆動シャフト１８８に設けられた第２アーム部１９４は
水平に回動できる。This rotational force is transmitted to the second nut driven pulley 164a by the second nut belt 145 to rotate the intermediate shaft 164. Such rotation of the intermediate shaft 164 causes the second arm driving pulley 184 provided at the upper end thereof to rotate, and the rotational force is transmitted to the first arm driven pulley 187 by the second arm driving belt 189. Thus, the second arm drive shaft 188 is rotated. Therefore, the second arm portion 194 provided on the second arm drive shaft 188 can rotate horizontally.
【００４０】[0040]
【発明の効果】本発明による円筒座標系ロボットは次の
ような効果を有する。第一、ロボットのθ方向の回転の
ための一台の減速機をロボット下部に位置させてアーム
駆動用または垂直昇降用減速機が除去されることによっ
てコストが節減され、ロボットサイズが縮まる。第二、
アーム駆動メカニズムをシャフト-イン-シャフト構造を
取ることによってロボットのコンパクト化を図ることが
できる。第三、シャフト構造物の内部シャフトに空洞を
形成してそこにロボット制御信号ケーブル及びチューブ
を内蔵させることによってケーブル配線または配管を効
率的にすることができる。The cylindrical coordinate system robot according to the present invention has the following effects. First, a single speed reducer for rotating the robot in the θ direction is positioned below the robot, and the cost of the robot is reduced by removing the arm drive or vertical speed reducer, thereby reducing the size of the robot. second,
By adopting a shaft-in-shaft structure for the arm drive mechanism, the robot can be made more compact. Third, by forming a cavity in the inner shaft of the shaft structure and incorporating the robot control signal cable and the tube therein, the cable wiring or piping can be made efficient.
【図１】 本発明の望ましい実施形態による円筒座標系
ロボットを概略的に示した斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing a cylindrical coordinate system robot according to a preferred embodiment of the present invention.
【図２】 図１に示された円筒座標系ロボットの部分断
面図である。FIG. 2 is a partial sectional view of the cylindrical coordinate system robot shown in FIG. 1;
【図３】 図１に示された円筒座標系ロボットの背面図
である。FIG. 3 is a rear view of the cylindrical coordinate system robot shown in FIG. 1;
【図４】 図１に示された円筒座標系ロボットの底面図
である。FIG. 4 is a bottom view of the cylindrical coordinate system robot shown in FIG. 1;
１００ 円筒座標系ロボット １１０ フレーム １１２ 下部固定板 １１４ 上部固定板 １１６ 支持フレーム １２０ 回転ステージ １２２ 下部円板 １２６ θモータ １３０ 親ネジ １３２ Ｚモータ １３４ 第１ナット １４０ ガイド棒 １４４ 第２ナット １４５ 第２ナットベルト １５０ 移動部材 １６０ シャフト構造物 １６２ 外部シャフト １６４ 中間シャフト １６６ 内部シャフト １７６ 第２アーム駆動モータ １８０ アームサポートフレーム １９２、１９４ 第１、２アーム部 REFERENCE SIGNS LIST 100 cylindrical coordinate system robot 110 frame 112 lower fixing plate 114 upper fixing plate 116 support frame 120 rotating stage 122 lower disk 126 θ motor 130 lead screw 132 Z motor 134 first nut 140 guide rod 144 second nut 145 second nut belt 150 Moving member 160 Shaft structure 162 Outer shaft 164 Intermediate shaft 166 Inner shaft 176 Second arm drive motor 180 Arm support frame 192, 194 First and second arm unit
Claims (8)
ジと、 前記回転ステージに対して回転可能に各々設けられた親
ネジ及びガイド棒と、 前記親ネジに結合された第１ナット結合体と前記ガイド
棒に結合された第２ナットを備え、前記親ネジ及び前記
ガイド棒に対して昇降可能な移動部材と、 回転可能な中空の内部シャフトと、前記内部シャフトと
各々同軸的に位置されて独立的に回転可能な外部シャフ
ト、及び中間シャフトとを備え、一端は前記移動部材に
結合され他端は前記回転ステージ及び前記フレームを貫
通して延設されたシャフト構造物と、 前記シャフト構造物の他端に中心部が結合され、両端に
アーム駆動シャフトが各々設けられたアームサポートフ
レームと、 前記フレームに対して前記回転ステージを回転させるた
めの第１駆動手段と、 前記回転ステージに対して前記親ネジを回転させるため
の第２駆動手段と、 前記回転ステージに対して前記シャフト構造物の各シャ
フトを回転させるための第３駆動手段とを備えることを
特徴とする円筒座標系ロボット。1. A frame, a rotary stage rotatably provided with respect to the frame, a lead screw and a guide rod each rotatably provided with respect to the rotary stage, and coupled to the lead screw. A first nut assembly and a second nut coupled to the guide rod, a movable member capable of moving up and down with respect to the lead screw and the guide rod, a rotatable hollow inner shaft, and the inner shaft; A shaft structure comprising an outer shaft coaxially positioned and independently rotatable, and an intermediate shaft, one end of which is connected to the moving member and the other end of which extends through the rotary stage and the frame. An arm support frame having a center portion coupled to the other end of the shaft structure, and arm drive shafts provided at both ends, respectively; A first drive unit for rotating the stage, a second drive unit for rotating the lead screw with respect to the rotary stage, and a unit for rotating each shaft of the shaft structure with respect to the rotary stage. A cylindrical coordinate system robot comprising: a third driving unit.
一体に結合された第３ナットとを備えることを特徴とす
る請求項１に記載の円筒座標系ロボット。2. The first nut assembly further includes: a first nut rotatably provided on the lead screw; and a third nut integrally coupled to the first nut so as to be able to move up and down following the lead screw. The cylindrical coordinate system robot according to claim 1, further comprising a nut.
ャフトの第１アーム駆動シャフトに連結され、 前記中間シャフトは第２ベルト／プーリ手段により前記
一対のアーム駆動シャフトの第２アーム駆動シャフトに
連結され、前記外部シャフトの内側と前記内部シャフト
内側とに位置されることを特徴とする請求項１に記載の
円筒座標系ロボット。3. The outer shaft is connected to a first arm drive shaft of the pair of arm drive shafts by a first belt / pulley means, and the intermediate shaft is connected to the pair of arm drive shafts by a second belt / pulley means. 2. The cylindrical coordinate system robot according to claim 1, wherein the robot is connected to the second arm drive shaft, and is positioned inside the external shaft and inside the internal shaft. 3.
きるように前記一対のアーム駆動シャフトに各々垂直に
延設された一対のアーム部をさらに備えることを特徴と
する請求項１に記載の円筒座標系ロボット。4. The cylinder according to claim 1, further comprising a pair of arm portions vertically extended from the pair of arm drive shafts so as to be able to rotate in conjunction with the shaft structure. Coordinate robot.
とを含み、 前記内部シャフトに形成された空洞に設けられるケーブ
ル及びチューブの数を減らすために前記シャフト構造物
の回転に干渉されないように前記上部固定板、前記下部
固定板、及び前記支持フレームにフィルタ、真空セン
サ、ソレノイドバルブが位置されたことを特徴とする請
求項１に記載の円筒座標系ロボット。5. The frame structure includes an upper fixing plate and a lower fixing plate connected by a support frame, and the shaft structure for reducing the number of cables and tubes provided in a cavity formed in the inner shaft. The cylindrical coordinate system robot according to claim 1, wherein a filter, a vacuum sensor, and a solenoid valve are located on the upper fixed plate, the lower fixed plate, and the support frame so as not to be interfered by rotation of the robot.
板に付着された減速機とを備えることを特徴とする請求
項１に記載の円筒座標系ロボット。6. The first driving means includes: a motor fixed to the rotary stage; and a speed reducer having an input end provided to the motor and an output end attached to the lower fixed plate. The cylindrical coordinate system robot according to claim 1.
設けられたモータと、 前記モータの回転力を前記親ネジに伝達する第３ベルト
／プーリ手段とを備えることを特徴とする請求項１に記
載の円筒座標系ロボット。7. The second driving means includes: a motor provided on the moving member so as to be able to move together with the moving member; and a third belt / pulley means for transmitting a rotating force of the motor to the lead screw. The cylindrical coordinate system robot according to claim 1, comprising:
のモータと、 前記モータの回転力を前記中間シャフト及び外部シャフ
トに各々伝達するためのベルト／プーリ手段とを備える
ことを特徴とする請求項１に記載の円筒座標系ロボッ
ト。8. The third driving means includes: two motors provided on the rotary stage so as to be independently controllable; and a belt for transmitting a rotational force of the motor to the intermediate shaft and the external shaft. 2. The cylindrical coordinate system robot according to claim 1, further comprising: a pulley unit.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980058843A KR20000042618A (en) | 1998-12-26 | 1998-12-26 | Robot of cylindrical coordinates |
| KR199858843 | 1998-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000190258A true JP2000190258A (en) | 2000-07-11 |
Family
ID=19565865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11328824A Pending JP2000190258A (en) | 1998-12-26 | 1999-11-18 | Cylindrical coordinates robot |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000190258A (en) |
| KR (1) | KR20000042618A (en) |
| CN (1) | CN1258590A (en) |
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| CN1258590A (en) | 2000-07-05 |
| KR20000042618A (en) | 2000-07-15 |
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