JP2000174365A - Laser oscillator - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ発振器に関
し、特に安定型光共振器を備えたレーザ発振器に関す
る。The present invention relates to a laser oscillator, and more particularly, to a laser oscillator having a stable optical resonator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のレーザ発振器においては、大出力
で集光特性の優れた、つまりスポット径の小さいレーザ
ビームを得るための光共振器の構成として図２に示され
ているような安定型光共振器１０１、図３及び図４に示
されているような不安定型光共振器１０３Ａ，１０３Ｂ
が知られている。2. Description of the Related Art In a conventional laser oscillator, a stable laser as shown in FIG. 2 is used as a configuration of an optical resonator for obtaining a laser beam having a large output and excellent light focusing characteristics, that is, a small spot diameter. Optical resonator 101, unstable optical resonators 103A and 103B as shown in FIGS.
It has been known.
【０００３】従来の安定型光共振器１０１は、図２に示
されているように例えば、外部からＨｅ，Ｎ２，ＣＯ２
の混合ガスが一定圧力で供給されている放電容器１０５
内に、相対向した一対の電極１０７が設けられている。
これらの２つの電極１０７間に高圧電源からの高電圧が
印加されてガス放電が行われる。この放電が行われる放
電領域ＤＡを挟んで両側には全部で４つの反射鏡、つま
り出力ミラー１０９、第１折返しミラー１１１、第２折
返しミラー１１３、第３リアミラー１１５が設けられて
いる。As shown in FIG. 2, a conventional stable optical resonator 101 is composed of, for example, He, N2, CO2
Discharge vessel 105 to which a mixed gas of
Inside, a pair of electrodes 107 facing each other is provided.
A high voltage from a high-voltage power supply is applied between these two electrodes 107 to perform gas discharge. A total of four reflecting mirrors, that is, an output mirror 109, a first folding mirror 111, a second folding mirror 113, and a third rear mirror 115 are provided on both sides of the discharge area DA where this discharge is performed.
【０００４】出力ミラー１０９は幾らかの透過性を有す
る部分反射鏡でなる平面鏡であり、第１折返しミラー１
１１は全反射鏡からなる平面鏡で、出力ミラー１０９に
対して放電領域ＤＡを挟んで対向する位置に僅かに傾斜
角度を設けた状態にある。第２折返しミラー１１３は全
反射鏡からなる平面鏡で、第１折返しミラー１１１に対
して放電領域ＤＡを挟んで対向する位置にある。リアミ
ラー１１５は全反射鏡からなる凹面鏡で、第２折返しミ
ラー１１３に対して放電領域ＤＡを挟んで対向する位置
に僅かに傾斜角度を設けた状態にある。The output mirror 109 is a plane mirror composed of a partially reflecting mirror having some transmittance, and the first folding mirror 1
Reference numeral 11 denotes a plane mirror composed of a total reflection mirror, which is in a state where a slight inclination angle is provided at a position facing the output mirror 109 with the discharge area DA interposed therebetween. The second folding mirror 113 is a plane mirror composed of a total reflection mirror, and is located at a position facing the first folding mirror 111 across the discharge area DA. The rear mirror 115 is a concave mirror composed of a total reflection mirror, and is in a state where a slight inclination angle is provided at a position facing the second folding mirror 113 across the discharge area DA.
【０００５】従来の不安定型光共振器１０３Ａは、図３
に示されているように例えば、図２と同様の放電領域Ｄ
Ａを挟んで両側には全反射鏡からなる凹面鏡のリアミラ
ー１１７と、全反射鏡からなる凸面鏡のフロントミラー
１１９が設けられている。光は特にリアミラー１１７と
フロントミラー１１９間で共振される。A conventional unstable optical resonator 103A is shown in FIG.
For example, as shown in FIG.
On both sides of A, a rear mirror 117 of a concave mirror made of a total reflection mirror and a front mirror 119 of a convex mirror made of a total reflection mirror are provided. Light resonates particularly between the rear mirror 117 and the front mirror 119.
【０００６】出力ミラー１２１は全反射鏡からなる平面
鏡で、その中心部にはリアミラー１１７とフロントミラ
ー１１９間で共振されるレーザビームＬＢを通過可能な
抜き穴１２３を有しており、リアミラー１１７とフロン
トミラー１１９との間に位置し且つリアミラー１１７か
らのレーザビームＬＢをほぼ直角方向に出射するように
傾斜角を持ってフロントミラー１１９の側に備えられて
いる。The output mirror 121 is a plane mirror composed of a total reflection mirror. The output mirror 121 has a hole 123 at the center thereof through which a laser beam LB resonated between the rear mirror 117 and the front mirror 119 can pass. It is located between the front mirror 119 and the front mirror 119 with an inclination angle so that the laser beam LB from the rear mirror 117 is emitted in a substantially right angle direction.
【０００７】出力ミラー１２１から出射されたレーザビ
ームＬＢは全透過性（透過率１００％）のウィンドウ１
２５を通過して取り出される。[0007] The laser beam LB emitted from the output mirror 121 has a window 1 having total transmittance (transmittance 100%).
It is taken out through 25.
【０００８】従来の不安定型光共振器１０３Ｂは、図４
に示されているように例えば、図２と同様の放電領域Ｄ
Ａを挟んで両側には全反射鏡からなる凸面鏡の出力ミラ
ー１２７と、この出力ミラー１２７より大きい全反射鏡
からなる凹面鏡のリアミラー１２９がほぼ対向する位置
に設けられている。リアミラー１２９と出力ミラー１２
７との差の部分に該当する出力ミラー１２７の図４にお
いて下方には全透過性（透過率１００％）のウィンドウ
１３１が設けられている。リアミラー１２９と出力ミラ
ー１２７の間で共振されたレーザビームＬＢは部分的に
設けられたウィンドウ１３１を通過して取り出される。A conventional unstable optical resonator 103B is shown in FIG.
For example, as shown in FIG.
An output mirror 127 of a convex mirror made of a total reflection mirror and a rear mirror 129 of a concave mirror made of a total reflection mirror larger than the output mirror 127 are provided on both sides of A. Rear mirror 129 and output mirror 12
In FIG. 4, a window 131 of total transmittance (transmittance 100%) is provided below the output mirror 127 corresponding to the difference from FIG. The laser beam LB resonated between the rear mirror 129 and the output mirror 127 is extracted through a window 131 provided partially.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の安定
型光共振器１０１を備えたレーザ発振器においては、大
出力で集光特性の優れたレーザビームＬＢを得るために
は、放電領域ＤＡを通過する光共振器の間隔を長くとる
ので、レーザ発振器の全体の大きさが大きくなったり、
複雑な形状になるという問題点があった。また、出力ミ
ラー１０９が部分反射鏡であるために光エネルギーの吸
収率が全透過性のウィンドウより大きいので、レーザビ
ームＬＢの大出力用としては熱レンズ効果対策が必要に
なるという問題点があった。By the way, in the laser oscillator provided with the conventional stable type optical resonator 101, in order to obtain a laser beam LB having a large output and excellent condensing characteristics, the laser beam passing through the discharge area DA is required. Since the distance between the optical resonators is increased, the overall size of the laser oscillator increases,
There is a problem that the shape becomes complicated. Further, since the output mirror 109 is a partially reflecting mirror, the absorptivity of light energy is larger than that of the total transmissive window, so that there is a problem that a countermeasure against the thermal lens effect is required for a large output of the laser beam LB. Was.
【００１０】従来の不安定型光共振器１０３Ａを備えた
レーザ発振器においては、出力ミラー１２１の中心部に
レーザビームＬＢを通過せしめるための抜き穴１２３が
設けられているにもかかわらず、この出力ミラー１２１
の傾斜角によりレーザビームＬＢの取出しを行うので、
レーザビームＬＢの取出しの調整が難しいという問題点
があった。また、出力ミラー１２１の中心部に抜き穴１
２３があるために出力ミラー１２１が大きくなってしま
うので出射されるレーザビームＬＢは大口径であり、外
部の光学系部材も大口径のものが必要であるという問題
点があった。In the conventional laser oscillator having the unstable optical resonator 103A, the output mirror 121 is provided with a hole 123 for allowing the laser beam LB to pass therethrough at the center thereof. 121
The laser beam LB is taken out according to the inclination angle of
There is a problem that it is difficult to adjust the extraction of the laser beam LB. Also, a hole 1 is provided at the center of the output mirror 121.
Since the output mirror 121 becomes large due to the presence of the laser beam 23, the emitted laser beam LB has a large diameter, and there is a problem that an external optical system member also needs to have a large diameter.
【００１１】従来の不安定型光共振器１０３Ｂを備えた
レーザ発振器においては、レーザビームＬＢの光エネル
ギーの密度分布が光軸に対して回転対称ではないので、
レーザビームＬＢの特性を整えるための光学系部材が必
要になるという問題点があった。In the conventional laser oscillator having the unstable optical resonator 103B, the density distribution of the light energy of the laser beam LB is not rotationally symmetric with respect to the optical axis.
There is a problem that an optical system member for adjusting the characteristics of the laser beam LB is required.
【００１２】本発明は叙上の課題を解決するためになさ
れたもので、その目的は、大出力で集光特性の優れたレ
ーザビームを得るための光共振器構成を備えたレーザ発
振器を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a laser oscillator having an optical resonator configuration for obtaining a laser beam having a high power and excellent light-collecting characteristics. Is to do.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明のレーザ発振器は、放電領域
の両側に相対向する１対の出力ミラーとリアミラーとか
らなる安定型光共振器を備えたレーザ発振器において、
前記出力ミラーを全反射鏡で構成すると共にこの出力ミ
ラーの中心部にレーザビーム取出し用穴を設け、ビーム
取出用穴を通過したレーザビームを外部へ取出す全透過
性ウィンドウを設けてなることを特徴とするものであ
る。According to a first aspect of the present invention, there is provided a laser oscillator comprising a pair of output mirrors and a rear mirror opposed to each other on both sides of a discharge region. In a laser oscillator having
The output mirror is constituted by a total reflection mirror, a laser beam extraction hole is provided at the center of the output mirror, and a total transmissive window for extracting a laser beam passing through the beam extraction hole to the outside is provided. It is assumed that.
【００１４】したがって、放電領域内のレーザビームは
出力ミラーとリアミラーの２つの全反射鏡の間で共振さ
れ、出力ミラーの中心部の小径のレーザビーム取出し用
穴から出射されるので、レーザビームの大出力に望まし
い特性を持ちながら、エネルギー密度分布も中心軸対称
で小口径のレーザビームが得られる。また、放電領域内
のレーザビームが通過しない部分が少なくなるので、光
エネルギーへの変換効率が向上する。また、従来の安定
型光共振器との互換性も備えている。Therefore, the laser beam in the discharge area is resonated between the two total reflection mirrors, the output mirror and the rear mirror, and is emitted from the small-diameter laser beam extraction hole at the center of the output mirror. A laser beam having a small diameter with an energy density distribution symmetric with respect to the central axis while having characteristics desirable for a large output is obtained. In addition, since the portion of the discharge region through which the laser beam does not pass is reduced, the conversion efficiency into light energy is improved. It also has compatibility with conventional stable optical resonators.
【００１５】請求項２によるこの発明のレーザ発振器
は、請求項１記載のレーザ発振器において、前記出力ミ
ラーが平面鏡からなると共に前記リアミラーが全反射型
の凹面鏡からなることを特徴とするものである。According to a second aspect of the present invention, in the laser oscillator according to the first aspect, the output mirror comprises a plane mirror and the rear mirror comprises a total reflection type concave mirror.
【００１６】したがって、放電領域内のレーザビームは
出力ミラーとリアミラーの２つの全反射鏡間で往復しな
がら効率よく確実に徐々に中心軸側に近づくことにな
り、出力ミラーの中心部のレーザビーム取出し用穴から
出射される。Therefore, the laser beam in the discharge region gradually and efficiently approaches the central axis side while reciprocating between the two total reflection mirrors of the output mirror and the rear mirror. The light is emitted from the extraction hole.
【００１７】請求項３によるこの発明のレーザ発振器
は、請求項１又は２記載のレーザ発振器において、全透
過性のウィンドウの代りに、平面あるいは曲率を有する
反射面を備えた透過性を有する部分反射鏡を設けてなる
ことを特徴とするものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided the laser oscillator according to the first or second aspect, wherein a partially reflecting transmissive member having a flat or curved reflecting surface instead of the totally transmitting window. A mirror is provided.
【００１８】したがって、前記ウィンドウの代りに部分
反射鏡を用いてレーザビームが平面を有する反射面で取
り出される場合は、透過する際に光エネルギーが吸収さ
れるのであるが、曲率を有する反射面であることにより
共振の条件を変更することが可能になる。Therefore, when a laser beam is extracted by a reflecting surface having a flat surface using a partial reflecting mirror instead of the window, light energy is absorbed when the laser beam is transmitted. This makes it possible to change the conditions of the resonance.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明のレーザ発振器の実
施の形態について、図面を参照して説明する。Embodiments of a laser oscillator according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２０】図１を参照するに、本実施の形態のレーザ
発振器１としての例えばガスレーザ発振器（以下、単に
「レーザ発振器」という）は、放電容器３内に相対向し
た一対の電極５が設けられており、これらの２つの電極
５間に高圧電源からの高電圧が印加されてガス放電が行
われるものである。なお、放電容器３には外部からＨ
ｅ，Ｎ２，ＣＯ２の混合ガスが一定圧力で供給されてい
る。Referring to FIG. 1, for example, a gas laser oscillator (hereinafter simply referred to as a “laser oscillator”) as a laser oscillator 1 of the present embodiment has a pair of electrodes 5 opposed to each other in a discharge vessel 3. A high voltage from a high-voltage power supply is applied between these two electrodes 5 to perform gas discharge. The discharge vessel 3 has H
A mixed gas of e, N2, and CO2 is supplied at a constant pressure.
【００２１】また、上記の２つの電極５間で放電が行わ
れる放電領域ＤＡは図１において２点鎖線で示されてお
り、この放電領域ＤＡを挟んで両側には相対向する１対
の出力ミラー７とリアミラー９とからなる安定型光共振
器が備えられている。The discharge area DA in which the discharge is performed between the two electrodes 5 is indicated by a two-dot chain line in FIG. 1, and a pair of opposed outputs is provided on both sides of the discharge area DA. A stable optical resonator including a mirror 7 and a rear mirror 9 is provided.
【００２２】出力ミラー７及びリアミラー９はそれぞれ
全反射鏡であり、特に出力ミラー７は中心部にレーザビ
ームＬＢの取出しのためのレーザビーム取出し用穴１１
が設けられており、いわゆるドーナツ状に形成されてい
る。Each of the output mirror 7 and the rear mirror 9 is a total reflection mirror. In particular, the output mirror 7 has a laser beam extraction hole 11 for extracting a laser beam LB at the center.
Are formed in a so-called donut shape.
【００２３】なお、出力ミラー７とリアミラー９との２
つの全反射鏡の曲率の組み合わせは安定型光共振器の構
成であり、本実施の形態では一例として出力ミラー７が
平面鏡で、リアミラー９が凹面鏡で構成されている。The output mirror 7 and the rear mirror 9
The combination of the curvatures of the two total reflection mirrors is a configuration of a stable optical resonator. In this embodiment, as an example, the output mirror 7 is a plane mirror, and the rear mirror 9 is a concave mirror.
【００２４】また、前記出力ミラー７のレーザビーム取
出し用穴１１からレーザビームＬＢの進行方向前方に
は、全透過性（透過率１００％）のウィンドウ１３が設
けられている。なお、このウィンドウ１３の部分には曲
率を有する反射面を備えた幾らかの透過性を有する部分
反射鏡を設けても構わない。この場合、部分反射鏡であ
るので透過する際に光エネルギーが吸収されるのである
が、曲率を有する反射面であることにより共振の条件を
変更することが可能になるという点で効果がある。A window 13 of total transmittance (100% transmittance) is provided in front of the laser beam extraction hole 11 of the output mirror 7 in the traveling direction of the laser beam LB. The window 13 may be provided with a partially reflecting mirror having a reflecting surface having a curvature and having some transparency. In this case, light energy is absorbed when the light is transmitted because it is a partial reflecting mirror. However, there is an effect in that the condition of resonance can be changed by using a reflecting surface having a curvature.
【００２５】上記構成により、放電領域ＤＡ内のレーザ
ビームＬＢは出力ミラー７とリアミラー９の２つの全反
射鏡間を往復するにつれて徐々に中心軸側に近づくの
で、必ず出力ミラー７の中心部のレーザビーム取出し用
穴１１から出射される。この出射されるレーザビームＬ
Ｂの径はレーザビーム取出し用穴１１の径の大きさで決
定されるもので、エネルギー密度分布も中心軸対称にな
る。したがって、レーザビーム取出し用穴１１の径の大
きさを小さくすることにより所望の大きさで小口径のレ
ーザビームＬＢが容易に得られる。According to the above configuration, the laser beam LB in the discharge area DA gradually approaches the central axis side as it reciprocates between the two total reflection mirrors of the output mirror 7 and the rear mirror 9, so that the laser beam LB at the center of the output mirror 7 must The light is emitted from the laser beam extraction hole 11. This emitted laser beam L
The diameter of B is determined by the diameter of the laser beam extraction hole 11, and the energy density distribution is also symmetric with respect to the central axis. Therefore, by reducing the size of the diameter of the laser beam extraction hole 11, a laser beam LB having a desired size and a small diameter can be easily obtained.
【００２６】また、放電領域ＤＡのうちでレーザビーム
ＬＢが通過しない部分が少なくなるので、光エネルギー
への変換効率も従来の安定型光共振器より向上する。Further, since the portion of the discharge area DA where the laser beam LB does not pass is reduced, the conversion efficiency into light energy is improved as compared with the conventional stable type optical resonator.
【００２７】さらに、レーザビーム取出し用穴１１から
出射されるレーザビームＬＢは全透過性のウィンドウ１
３を通過して取り出されるので、部分反射鏡を用いたと
きよりも光エネルギーの吸収率を抑えることが可能とな
り、大出力のレーザビームＬＢの取り出しに効果的であ
る。Further, the laser beam LB emitted from the laser beam extracting hole 11 is transmitted through the totally transparent window 1.
3, the light beam is extracted through the third reflector 3, so that the light energy absorption rate can be suppressed as compared with the case where the partial reflecting mirror is used, which is effective for extracting the high-power laser beam LB.
【００２８】以上のように、本発明のレーザ発振器１は
レーザビームＬＢの大出力に望ましい特性を持ちなが
ら、小口径の中心軸対称のレーザビームＬＢが得られる
と共に従来の安定型光共振器との互換性も備えている。As described above, the laser oscillator 1 of the present invention can obtain a small-diameter centrally symmetric laser beam LB while having a desirable characteristic for a large output of the laser beam LB, and can provide a laser beam having a small diameter and a conventional stable optical resonator. It is also compatible.
【００２９】なお、この発明は前述した実施の形態の例
に限定されることなく、適宜な変更を行うことによりそ
の他の態様で実施し得るものである。本実施の形態では
レーザ発振器として気体レーザ装置におけるレーザ発振
器を例にとって説明したが固体レーザ装置や液体レーザ
装置およびその他のレーザ装置におけるレーザ発振器で
あっても構わない。つまり、前述した実施の形態の放電
領域ＤＡとなるレーザ活性媒質が気体であるか、固体、
液体あるいは他の媒質であるかの違いである。The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be implemented in other modes by making appropriate changes. In this embodiment, a laser oscillator in a gas laser device has been described as an example of a laser oscillator, but a laser oscillator in a solid-state laser device, a liquid laser device, and other laser devices may be used. That is, the laser active medium serving as the discharge region DA of the above-described embodiment is a gas, a solid,
The difference is whether it is a liquid or another medium.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上のごとき発明の実施の形態の説明か
ら理解されるように、請求項１の発明によれば、出力ミ
ラーとリアミラーの２つの全反射鏡間で共振されたレー
ザビームを、出力ミラーの中心部の小径のレーザビーム
取出し用穴から出射できるので、レーザビームの大出力
に望ましい特性を持ちながら、エネルギー密度分布も中
心軸対称で小口径のレーザビームを得ることができる。
また、放電領域内のレーザビームが通過しない部分を少
なくできるので、光エネルギーへの変換効率を向上でき
る。また、従来の安定型光共振器との互換性も備えてい
るので、交換容易である。As will be understood from the above description of the embodiments of the present invention, according to the first aspect of the present invention, the laser beam resonated between the two total reflection mirrors, the output mirror and the rear mirror, is formed by: Since the laser beam can be emitted from a small-diameter laser beam extraction hole at the center of the output mirror, a laser beam having a characteristic that is desirable for a large output of the laser beam and a small-diameter laser beam having an energy density distribution symmetric with respect to the central axis can be obtained.
In addition, since the portion of the discharge region through which the laser beam does not pass can be reduced, the conversion efficiency into light energy can be improved. Also, since it has compatibility with the conventional stable type optical resonator, it is easy to replace.
【００３１】請求項２の発明によれば、出力ミラーとリ
アミラーの２つの全反射鏡間で放電領域内のレーザビー
ムを効率よく確実に徐々に中心軸側に近づけることがで
き、出力ミラーの中心部のレーザビーム取出し用穴から
出射できる。According to the second aspect of the invention, the laser beam in the discharge region can be efficiently and surely gradually brought closer to the center axis side between the two total reflection mirrors of the output mirror and the rear mirror, and the center of the output mirror can be adjusted. It can be emitted from the laser beam extraction hole of the part.
【００３２】請求項３の発明によれば、部分反射鏡を用
いてレーザビームを平面を有する反射面で取出される場
合は、透過する際に光エネルギーが吸収されるとはい
え、曲率を有する反射面であるので共振の条件を変更可
能になるという効果性がある。According to the third aspect of the present invention, when a laser beam is extracted by a reflecting surface having a flat surface using a partial reflecting mirror, the laser beam has a curvature although light energy is absorbed when transmitted. Since it is a reflection surface, there is an effect that the condition of resonance can be changed.
【図１】本発明の実施の形態を示すもので、レーザ発振
器の要部縦断面を含む正面図である。FIG. 1, showing an embodiment of the present invention, is a front view including a longitudinal section of a main part of a laser oscillator.
【図２】従来の安定型光共振器を備えたレーザ発振器の
要部縦断面を含む正面図である。FIG. 2 is a front view including a longitudinal section of a main part of a conventional laser oscillator having a stable optical resonator.
【図３】従来の不安定型光共振器を備えたレーザ発振器
の要部縦断面を含む正面図である。FIG. 3 is a front view including a vertical cross section of a main part of a conventional laser oscillator having an unstable optical resonator.
【図４】従来の他の形態の不安定型光共振器を備えたレ
ーザ発振器の要部縦断面を含む正面図である。FIG. 4 is a front view including a vertical cross section of a main part of a laser oscillator provided with another conventional unstable optical resonator.
１ レーザ発振器 ３ 放電容器 ５ 電極 ７ 出力ミラー ９ リアミラー １１ レーザビーム取出し用穴 １３ ウィンドウ ＬＢ レーザビーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser oscillator 3 Discharge vessel 5 Electrode 7 Output mirror 9 Rear mirror 11 Laser beam extraction hole 13 Window LB Laser beam
Claims (3)
ミラーとリアミラーとからなる安定型光共振器を備えた
レーザ発振器において、 前記出力ミラーを全反射鏡で構成すると共にこの出力ミ
ラーの中心部にレーザビーム取出し用穴を設け、ビーム
取出用穴を通過したレーザビームを外部へ取出す全透過
性のウィンドウを設けてなることを特徴とするレーザ発
振器。1. A laser oscillator comprising a stable optical resonator comprising a pair of output mirrors and a rear mirror opposing each other on both sides of a discharge region, wherein said output mirror is constituted by a total reflection mirror, and A laser oscillator comprising: a laser beam extraction hole provided at a center portion; and a total transmission window for extracting a laser beam passing through the beam extraction hole to the outside.
前記リアミラーが全反射型の凹面鏡からなることを特徴
とする請求項１記載のレーザ発振器。2. The laser oscillator according to claim 1, wherein said output mirror comprises a plane mirror and said rear mirror comprises a total reflection type concave mirror.
いは曲率を有する反射面を備えた透過性を有する部分反
射鏡を設けてなることを特徴とする請求項１又は２記載
のレーザ発振器。3. The laser oscillator according to claim 1, wherein a partially reflecting mirror having a flat surface or a reflecting surface having a curvature is provided in place of the totally transmitting window.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10343238A JP2000174365A (en) | 1998-12-02 | 1998-12-02 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10343238A JP2000174365A (en) | 1998-12-02 | 1998-12-02 | Laser oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000174365A true JP2000174365A (en) | 2000-06-23 |
Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10343238A Pending JP2000174365A (en) | 1998-12-02 | 1998-12-02 | Laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000174365A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10324286B2 (en) | 2014-01-30 | 2019-06-18 | Cailabs | Device for processing light/optical radiation, method and system for designing such a device |
-
1998
- 1998-12-02 JP JP10343238A patent/JP2000174365A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10324286B2 (en) | 2014-01-30 | 2019-06-18 | Cailabs | Device for processing light/optical radiation, method and system for designing such a device |
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