JP2000162504A - 拡大観察装置 - Google Patents
拡大観察装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】観察対象物の観察したい領域の全てについて焦
点があった画像を得ることができ、この画像から容易に
観察対象物の立体形状を把握可能な拡大観察装置を提供
する。 【解決手段】観察対象物の光学拡大像を得る顕微鏡鏡筒
７と、光学拡大像を撮像する撮像装置８と、観察対象物
に対する焦点位置を変更する移動手段としての顕微鏡鏡
筒７のＺ軸送り機構１１と、異なる焦点位置で撮像した
複数の画像データから焦点の合っている合焦点領域を抽
出し、これら各合焦点領域を合成して全ての領域で焦点
の合っている二次元画像データを生成する二次元画像デ
ータ合成部３５と、二次元画像データを表示する画像表
示装置５１と、画像表示装置５１に表示された二次元画
像の指定した位置の深さ方向の相対的高さ情報を当該画
像表示装置に表示する立体情報表示手段としての高さ情
報保持部３６を有する。
点があった画像を得ることができ、この画像から容易に
観察対象物の立体形状を把握可能な拡大観察装置を提供
する。 【解決手段】観察対象物の光学拡大像を得る顕微鏡鏡筒
７と、光学拡大像を撮像する撮像装置８と、観察対象物
に対する焦点位置を変更する移動手段としての顕微鏡鏡
筒７のＺ軸送り機構１１と、異なる焦点位置で撮像した
複数の画像データから焦点の合っている合焦点領域を抽
出し、これら各合焦点領域を合成して全ての領域で焦点
の合っている二次元画像データを生成する二次元画像デ
ータ合成部３５と、二次元画像データを表示する画像表
示装置５１と、画像表示装置５１に表示された二次元画
像の指定した位置の深さ方向の相対的高さ情報を当該画
像表示装置に表示する立体情報表示手段としての高さ情
報保持部３６を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡等の光学機
器を通じて取得した観察対象物の光学拡大像を画像表示
装置に表示する拡大観察装置に関する。
器を通じて取得した観察対象物の光学拡大像を画像表示
装置に表示する拡大観察装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡などの光学機器によって、観察対
象物の立体的な像を拡大観察する場合、被写界深度の範
囲は限られているため、その像の一部がぼやけてしまう
ことがある。この場合には、焦点位置を変化させたり、
倍率を変化させるなどして、焦点を合わせ、観察したい
部分を鮮明にする作業を行なう。
象物の立体的な像を拡大観察する場合、被写界深度の範
囲は限られているため、その像の一部がぼやけてしまう
ことがある。この場合には、焦点位置を変化させたり、
倍率を変化させるなどして、焦点を合わせ、観察したい
部分を鮮明にする作業を行なう。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいて、特に高倍率の顕微鏡などの光学機器では、被写
界深度がきわめて浅いため、像の鮮明な部分がごくわず
かとなってしまい、観察対象物の被写界深度以上の深さ
を有する段差を同時に観察することができない。たとえ
ば、半導体装置における配線パターン等の段差を有する
観察対象物では、段差の高部と低部とを同時に観察でき
ないことがあり、配線パターンの検査を迅速に行うこと
ができない。このため、従来においては、顕微鏡などの
光学機器の有する被写界深度によらず、観察対象物の観
察したい領域の全てについて焦点があった画像を得る技
術への要求が存在した。
おいて、特に高倍率の顕微鏡などの光学機器では、被写
界深度がきわめて浅いため、像の鮮明な部分がごくわず
かとなってしまい、観察対象物の被写界深度以上の深さ
を有する段差を同時に観察することができない。たとえ
ば、半導体装置における配線パターン等の段差を有する
観察対象物では、段差の高部と低部とを同時に観察でき
ないことがあり、配線パターンの検査を迅速に行うこと
ができない。このため、従来においては、顕微鏡などの
光学機器の有する被写界深度によらず、観察対象物の観
察したい領域の全てについて焦点があった画像を得る技
術への要求が存在した。
【０００４】一方、観察対象物の観察したい領域の全て
について焦点があった画像が得られたとしても、この画
像は二次元の画像であるため、たとえば、観察対象物を
初めて観察するような場合には、二次元画像から観察対
象物の立体形状を認識するのは困難なこともある。ま
た、観察対象物の二次元画像から立体的な画像を得る技
術については、たとえば、論文”Image processing and
synthesis for extended depth of opticalmicroscope
s, The Visual Computer(1992)8:351-360" に開示され
ているが、表示された画像を立体的に認識するために
は、たとえば、立体視化するための左右眼用の特殊眼鏡
を必要とするため、実用的ではなかった。
について焦点があった画像が得られたとしても、この画
像は二次元の画像であるため、たとえば、観察対象物を
初めて観察するような場合には、二次元画像から観察対
象物の立体形状を認識するのは困難なこともある。ま
た、観察対象物の二次元画像から立体的な画像を得る技
術については、たとえば、論文”Image processing and
synthesis for extended depth of opticalmicroscope
s, The Visual Computer(1992)8:351-360" に開示され
ているが、表示された画像を立体的に認識するために
は、たとえば、立体視化するための左右眼用の特殊眼鏡
を必要とするため、実用的ではなかった。
【０００５】本発明は、上述の従来の問題に鑑みてなさ
れたものであって、観察対象物の観察したい領域の全て
について焦点があった画像を得ることができ、この画像
から容易に観察対象物の立体形状を把握可能な拡大観察
装置を提供することを目的とする。
れたものであって、観察対象物の観察したい領域の全て
について焦点があった画像を得ることができ、この画像
から容易に観察対象物の立体形状を把握可能な拡大観察
装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、観察対象物の
光学拡大像を得る光学拡大手段と、前記光学拡大像を撮
像する撮像手段と、前記光学拡大手段の前記観察対象物
に対する焦点位置を変更する移動手段と、異なる焦点位
置で撮像した複数の画像データから焦点の合っている合
焦点領域を抽出し、これら各合焦点領域を合成して全て
の領域で焦点の合っている二次元画像データを生成する
二次元画像データ合成手段と、前記二次元画像データを
表示する画像表示装置と、前記画像表示装置に表示され
た二次元画像の任意位置の深さ方向の相対的高さ情報を
当該画像表示装置に表示する立体情報表示手段とを有す
る。
光学拡大像を得る光学拡大手段と、前記光学拡大像を撮
像する撮像手段と、前記光学拡大手段の前記観察対象物
に対する焦点位置を変更する移動手段と、異なる焦点位
置で撮像した複数の画像データから焦点の合っている合
焦点領域を抽出し、これら各合焦点領域を合成して全て
の領域で焦点の合っている二次元画像データを生成する
二次元画像データ合成手段と、前記二次元画像データを
表示する画像表示装置と、前記画像表示装置に表示され
た二次元画像の任意位置の深さ方向の相対的高さ情報を
当該画像表示装置に表示する立体情報表示手段とを有す
る。
【０００７】前記立体情報表示手段は、前記各合焦点領
域の各画素情報から得られる前記二次元画像の深さ方向
の相対的な高さ情報を保持しており、前記二次元画像で
指定された位置の高さ情報を前記画像表示装置に出力す
る。
域の各画素情報から得られる前記二次元画像の深さ方向
の相対的な高さ情報を保持しており、前記二次元画像で
指定された位置の高さ情報を前記画像表示装置に出力す
る。
【０００８】前記立体情報表示手段は、前記二次元画像
で指定された任意の２点間における前記高さ情報を連続
的にグラフ表示する。
で指定された任意の２点間における前記高さ情報を連続
的にグラフ表示する。
【０００９】前記画像表示装置の画面上にポインタを表
示し、当該ポインタの画面上での位置を設定し、前記二
次元画像の任意の位置を指定する指示手段を有する。
示し、当該ポインタの画面上での位置を設定し、前記二
次元画像の任意の位置を指定する指示手段を有する。
【００１０】前記移動手段は、前記観察対象物と前記光
学拡大手段との前記二次元画像の深さ方向の相対的な位
置決めを行う。
学拡大手段との前記二次元画像の深さ方向の相対的な位
置決めを行う。
【００１１】前記光学拡大手段は、光学顕微鏡である。
【００１２】本発明では、二次元画像データ合成手段に
よって全ての領域で焦点の合った二次元画像が合成さ
れ、この二次元画像は画像表示装置に表示される。この
二次元画像から直接観察対象物の立体形状を把握するこ
とは難しいが、立体情報表示手段によって二次元画像の
指定した位置の深さ方向の相対的高さ情報が画像表示装
置に同時に表示されるため、この高さ情報から観察対象
物の立体形状が容易に把握される。
よって全ての領域で焦点の合った二次元画像が合成さ
れ、この二次元画像は画像表示装置に表示される。この
二次元画像から直接観察対象物の立体形状を把握するこ
とは難しいが、立体情報表示手段によって二次元画像の
指定した位置の深さ方向の相対的高さ情報が画像表示装
置に同時に表示されるため、この高さ情報から観察対象
物の立体形状が容易に把握される。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施
形態に係る顕微鏡拡大観察システムの構成を示す説明図
である。図１において、本実施形態に係る顕微鏡拡大観
察システムは、撮像部１と、画像処理／駆動制御装置３
１と、画像表示装置５１とを有する。撮像部１は、ベー
ス２上に設けられたＸＹテーブル３と、ベース２上に立
設されたコラム９に設けられた顕微鏡鏡筒７と、顕微鏡
鏡筒７に取り付けられた撮像装置８と、顕微鏡鏡筒７に
取り付けられた対物レンズ６と、コラム９に設けられた
照明装置１０とを有する。
いて図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施
形態に係る顕微鏡拡大観察システムの構成を示す説明図
である。図１において、本実施形態に係る顕微鏡拡大観
察システムは、撮像部１と、画像処理／駆動制御装置３
１と、画像表示装置５１とを有する。撮像部１は、ベー
ス２上に設けられたＸＹテーブル３と、ベース２上に立
設されたコラム９に設けられた顕微鏡鏡筒７と、顕微鏡
鏡筒７に取り付けられた撮像装置８と、顕微鏡鏡筒７に
取り付けられた対物レンズ６と、コラム９に設けられた
照明装置１０とを有する。
【００１４】ＸＹテーブル３は、図示しないスライダに
よってベース２上をＸ軸およびＹ軸方向に移動自在に保
持されており、ＸＹテーブル３上に観察対象物Ｗが載置
される。ＸＹテーブル３には、ＸＹテーブル３をＸ軸方
向に沿って移動位置決めするためのＸ軸送り機構４が設
けられている。Ｘ軸送り機構４は、たとえば、電動モー
タと送りネジで構成され、送りネジがＸＹテーブル３の
所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによって
回転駆動されることにより、ＸＹテーブル３がＸ軸方向
の任意の位置に位置決めされる。また、ＸＹテーブル３
には、ＸＹテーブル３をＹ軸方向に沿って移動位置決め
するためのＹ軸送り機構５が設けられている。Ｙ軸送り
機構５は、Ｘ軸送り機構４と同様に、たとえば、電動モ
ータと送りネジで構成され、送りネジがＸＹテーブル３
の所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによっ
て回転駆動されることにより、ＸＹテーブル３がＹ軸方
向の任意の位置に位置決めされる。
よってベース２上をＸ軸およびＹ軸方向に移動自在に保
持されており、ＸＹテーブル３上に観察対象物Ｗが載置
される。ＸＹテーブル３には、ＸＹテーブル３をＸ軸方
向に沿って移動位置決めするためのＸ軸送り機構４が設
けられている。Ｘ軸送り機構４は、たとえば、電動モー
タと送りネジで構成され、送りネジがＸＹテーブル３の
所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによって
回転駆動されることにより、ＸＹテーブル３がＸ軸方向
の任意の位置に位置決めされる。また、ＸＹテーブル３
には、ＸＹテーブル３をＹ軸方向に沿って移動位置決め
するためのＹ軸送り機構５が設けられている。Ｙ軸送り
機構５は、Ｘ軸送り機構４と同様に、たとえば、電動モ
ータと送りネジで構成され、送りネジがＸＹテーブル３
の所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによっ
て回転駆動されることにより、ＸＹテーブル３がＹ軸方
向の任意の位置に位置決めされる。
【００１５】顕微鏡鏡筒７は、観察対象物Ｗの光学拡大
像を得るためのものであり、たとえば、ズーム式の組み
合わせレンズから構成されている。ズームレンズは顕微
鏡鏡筒７に内蔵された電動モータ等からなる図示しない
ズームレンズ駆動部により駆動される。対物レンズ６
は、観察対象物Ｗを光学的に拡大するために顕微鏡鏡筒
７の先端に設けられている。顕微鏡鏡筒７は、コラム９
に移動自在に設けられており、コラム９に内蔵された、
たとえば、電動モータと送りネジで構成されるＺ軸送り
機構１１によってＺ軸方向の任意の位置に位置決めされ
る。
像を得るためのものであり、たとえば、ズーム式の組み
合わせレンズから構成されている。ズームレンズは顕微
鏡鏡筒７に内蔵された電動モータ等からなる図示しない
ズームレンズ駆動部により駆動される。対物レンズ６
は、観察対象物Ｗを光学的に拡大するために顕微鏡鏡筒
７の先端に設けられている。顕微鏡鏡筒７は、コラム９
に移動自在に設けられており、コラム９に内蔵された、
たとえば、電動モータと送りネジで構成されるＺ軸送り
機構１１によってＺ軸方向の任意の位置に位置決めされ
る。
【００１６】撮像装置８は、たとえば、ＣＣＤ(charge
coupled device) 撮像素子を用いたカラーカメラであ
り、顕微鏡鏡筒７の上端に設けられており、対物レンズ
６および顕微鏡鏡筒７を通じて拡大された観察対象物Ｗ
の光学拡大像を撮像する。
coupled device) 撮像素子を用いたカラーカメラであ
り、顕微鏡鏡筒７の上端に設けられており、対物レンズ
６および顕微鏡鏡筒７を通じて拡大された観察対象物Ｗ
の光学拡大像を撮像する。
【００１７】照明装置１０は、観察対象物Ｗに光を照ら
すために、顕微鏡鏡筒８に取り付けられている。照明装
置１０から照射された光は、顕微鏡鏡筒８および対物レ
ンズ６を通って観察対象物Ｗを上方から照らす。
すために、顕微鏡鏡筒８に取り付けられている。照明装
置１０から照射された光は、顕微鏡鏡筒８および対物レ
ンズ６を通って観察対象物Ｗを上方から照らす。
【００１８】画像処理／駆動制御装置３１は、上記した
顕微鏡鏡筒７に設けられたズームレンズ駆動部を駆動
し、顕微鏡鏡筒７の光学的な拡大倍率が指定された値に
なるようにズームレンズの位置決め制御を行う。また、
画像処理／駆動制御装置３１は、上記した撮像装置８の
撮像した画像データを取り込んで、この画像データに所
定の処理を施し、これを画像表示装置５１に表示する。
顕微鏡鏡筒７に設けられたズームレンズ駆動部を駆動
し、顕微鏡鏡筒７の光学的な拡大倍率が指定された値に
なるようにズームレンズの位置決め制御を行う。また、
画像処理／駆動制御装置３１は、上記した撮像装置８の
撮像した画像データを取り込んで、この画像データに所
定の処理を施し、これを画像表示装置５１に表示する。
【００１９】さらに、画像処理／駆動制御装置３１に
は、マウス４０が接続されている。画像処理／駆動制御
装置３１は、たとえば、マウス４０の操作によって入力
される信号に基づいて、画像表示装置５１の画面５２に
表示するポインタ３８ａの位置を設定したり、マウス４
０に設けられた２つの操作ボタン４０ａおよび４０ｂの
操作に基づく信号によって、各種の処理を行ったりす
る。
は、マウス４０が接続されている。画像処理／駆動制御
装置３１は、たとえば、マウス４０の操作によって入力
される信号に基づいて、画像表示装置５１の画面５２に
表示するポインタ３８ａの位置を設定したり、マウス４
０に設けられた２つの操作ボタン４０ａおよび４０ｂの
操作に基づく信号によって、各種の処理を行ったりす
る。
【００２０】画像処理／駆動制御装置３１は、たとえ
ば、パーソナルコンピュータ（以下、パソコンという）
に、画像処理用ボードおよび上記の顕微鏡鏡筒７に設け
られたズームレンズ駆動部の有する電動モータやＸ軸送
り機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構１１の電
動モータを駆動制御するモーターコントロールボードを
付加し、これらボードを動作させるソフトウェアをパソ
コンに備えることによって構成することができる。画像
表示装置５１には、たとえば、パソコン用のモニタを使
用することができる。
ば、パーソナルコンピュータ（以下、パソコンという）
に、画像処理用ボードおよび上記の顕微鏡鏡筒７に設け
られたズームレンズ駆動部の有する電動モータやＸ軸送
り機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構１１の電
動モータを駆動制御するモーターコントロールボードを
付加し、これらボードを動作させるソフトウェアをパソ
コンに備えることによって構成することができる。画像
表示装置５１には、たとえば、パソコン用のモニタを使
用することができる。
【００２１】図２は、画像処理／駆動制御装置３１の一
構成例を示す説明図である。画像処理／駆動制御装置３
１は、移動制御部３２と、画像データ入力部３３と、画
像データ記憶部３４と、二次元画像データ合成部３５
と、高さ情報保持部３６と、マウス信号制御部３７と、
画像表示部３８と、ズームレンズ駆動制御部３９を有す
る。
構成例を示す説明図である。画像処理／駆動制御装置３
１は、移動制御部３２と、画像データ入力部３３と、画
像データ記憶部３４と、二次元画像データ合成部３５
と、高さ情報保持部３６と、マウス信号制御部３７と、
画像表示部３８と、ズームレンズ駆動制御部３９を有す
る。
【００２２】移動制御部３２は、上記したＸ軸送り機構
４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構１１の各電動モ
ータの回転位置制御を行なう制御信号３２ｓをＸ軸送り
機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構１１に対し
てそれぞれ出力し、観察対象物Ｗと顕微鏡鏡筒７とを目
標位置に移動する位置決め制御を行う。Ｚ軸送り機構１
１を駆動することにより、顕微鏡鏡筒７の観察対象物Ｗ
に対する焦点位置を任意に変更することができる。ま
た、移動制御部３２は、マウス４０の操作に基づくマウ
ス信号制御部３７からの制御信号３７ｓ1 にしたがっ
て、Ｘ軸送り機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機
構１１の駆動制御が可能となっている。
４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構１１の各電動モ
ータの回転位置制御を行なう制御信号３２ｓをＸ軸送り
機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構１１に対し
てそれぞれ出力し、観察対象物Ｗと顕微鏡鏡筒７とを目
標位置に移動する位置決め制御を行う。Ｚ軸送り機構１
１を駆動することにより、顕微鏡鏡筒７の観察対象物Ｗ
に対する焦点位置を任意に変更することができる。ま
た、移動制御部３２は、マウス４０の操作に基づくマウ
ス信号制御部３７からの制御信号３７ｓ1 にしたがっ
て、Ｘ軸送り機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機
構１１の駆動制御が可能となっている。
【００２３】ズームレンズ駆動制御部３９は、マウス信
号制御部３７から入力された信号３７ｓ2 に基づいて、
顕微鏡鏡筒７に内蔵されたズームレンズ駆動部の電動モ
ータの駆動制御を行う拡大率指定信号３９ｓをズームレ
ンズ駆動部に出力する。これにより、顕微鏡鏡筒７の拡
大倍率が指定された倍率となるように、ズームレンズの
位置が制御される。
号制御部３７から入力された信号３７ｓ2 に基づいて、
顕微鏡鏡筒７に内蔵されたズームレンズ駆動部の電動モ
ータの駆動制御を行う拡大率指定信号３９ｓをズームレ
ンズ駆動部に出力する。これにより、顕微鏡鏡筒７の拡
大倍率が指定された倍率となるように、ズームレンズの
位置が制御される。
【００２４】画像データ入力部３３は、顕微鏡鏡筒７に
よる観察対象物Ｗの光学拡大像の撮像装置８による画像
データを画像処理／駆動制御装置３１に取り込む。画像
データ記憶部３４は、画像データ入力部３３から取り込
まれた複数の画像データを記憶保持する。
よる観察対象物Ｗの光学拡大像の撮像装置８による画像
データを画像処理／駆動制御装置３１に取り込む。画像
データ記憶部３４は、画像データ入力部３３から取り込
まれた複数の画像データを記憶保持する。
【００２５】マウス信号制御部３７に接続されたマウス
４０は、たとえば、マウス４０を平面上で移動操作する
ことにより、マウス４０の下部に設けられたローラの回
転量および回転方向を検出しこれに応じた信号４０ｓを
出力する。また、マウス４０は、左右の操作ボタン４０
ａおよび４０ｂを有しており、こらら操作ボタン４０ａ
および４０ｂを操作（クリック）することにより、信号
４０ｓをマウス信号制御部３７に出力する。
４０は、たとえば、マウス４０を平面上で移動操作する
ことにより、マウス４０の下部に設けられたローラの回
転量および回転方向を検出しこれに応じた信号４０ｓを
出力する。また、マウス４０は、左右の操作ボタン４０
ａおよび４０ｂを有しており、こらら操作ボタン４０ａ
および４０ｂを操作（クリック）することにより、信号
４０ｓをマウス信号制御部３７に出力する。
【００２６】マウス信号制御部３７は、マウス４０の移
動および操作ボタン４０ａ、４０ｂの操作による信号４
０ｓの内容に応じて、Ｘ軸送り機構４、Ｙ軸送り機構５
およびＺ軸送り機構１１の制御信号３７ｓ1 を適宜生成
する。たとえば、画像表示装置５１の画面５２の所定の
位置に表示されたＸ軸送り機構４、Ｙ軸送り機構５およ
びＺ軸送り機構１１の位置決めの操作スイッチにマウス
ポインタ３８ａを移動させ、マウス４０の操作ボタン４
０ａまたは４０ｂをクリックすることにより、制御信号
３７ｓ1 を生成する構成とすることができる。このよう
な構成とすることにより、マウス４０の操作で観察対象
物Ｗの見たい位置を所望の焦点位置として撮像すること
ができる。
動および操作ボタン４０ａ、４０ｂの操作による信号４
０ｓの内容に応じて、Ｘ軸送り機構４、Ｙ軸送り機構５
およびＺ軸送り機構１１の制御信号３７ｓ1 を適宜生成
する。たとえば、画像表示装置５１の画面５２の所定の
位置に表示されたＸ軸送り機構４、Ｙ軸送り機構５およ
びＺ軸送り機構１１の位置決めの操作スイッチにマウス
ポインタ３８ａを移動させ、マウス４０の操作ボタン４
０ａまたは４０ｂをクリックすることにより、制御信号
３７ｓ1 を生成する構成とすることができる。このよう
な構成とすることにより、マウス４０の操作で観察対象
物Ｗの見たい位置を所望の焦点位置として撮像すること
ができる。
【００２７】また、マウス信号制御部３７は、画像表示
装置５１の画面５２でのマウスポインタ３８ａの座標位
置を保持しており、マウス４０からの信号４０ｓに基づ
いて、マウスポインタ３８ａの位置を設定するためのマ
ウス位置設定信号３７ｓ3 を生成して画像表示部３８に
出力したり、マウス４０からの信号４０ｓに基づいて、
ズームレンズ駆動制御部３９に対して出力する拡大率指
定信号３７ｓ2 を生成する。
装置５１の画面５２でのマウスポインタ３８ａの座標位
置を保持しており、マウス４０からの信号４０ｓに基づ
いて、マウスポインタ３８ａの位置を設定するためのマ
ウス位置設定信号３７ｓ3 を生成して画像表示部３８に
出力したり、マウス４０からの信号４０ｓに基づいて、
ズームレンズ駆動制御部３９に対して出力する拡大率指
定信号３７ｓ2 を生成する。
【００２８】また、マウス信号制御部３９は、マウス４
０からの信号４０ｓに基づいて、高さ情報保持部３６に
対して画像表示装置５１の画面５２に表示された２次元
画像の位置を指定する位置指定信号３７ｓ4 を出力す
る。たとえば、マウスポインタ３８ａを画像表示装置５
１の画面５２上の所望の位置に位置させて、この位置で
操作ボタン４０ａをダブルクリックすることにより、２
次元画像の位置を指定する位置指定信号３７ｓ4 を生成
する構成とすることができる。なお、上記のマウス信号
制御部３９のマウス４０の操作内容に応じた各種処理内
容は、ソフトウエアの変更によって任意に設定すること
ができる。
０からの信号４０ｓに基づいて、高さ情報保持部３６に
対して画像表示装置５１の画面５２に表示された２次元
画像の位置を指定する位置指定信号３７ｓ4 を出力す
る。たとえば、マウスポインタ３８ａを画像表示装置５
１の画面５２上の所望の位置に位置させて、この位置で
操作ボタン４０ａをダブルクリックすることにより、２
次元画像の位置を指定する位置指定信号３７ｓ4 を生成
する構成とすることができる。なお、上記のマウス信号
制御部３９のマウス４０の操作内容に応じた各種処理内
容は、ソフトウエアの変更によって任意に設定すること
ができる。
【００２９】二次元画像データ合成部３５は、画像デー
タ記憶部３４に記憶された焦点位置の異なる複数の画像
データから、焦点の合っている合焦点領域を抽出し、こ
れら各合焦点領域を合成することによって全ての領域で
焦点の合った二次元画像データを生成する。
タ記憶部３４に記憶された焦点位置の異なる複数の画像
データから、焦点の合っている合焦点領域を抽出し、こ
れら各合焦点領域を合成することによって全ての領域で
焦点の合った二次元画像データを生成する。
【００３０】高さ情報保持部３６は、二次元画像データ
合成部３５において生成された全ての領域で焦点の合っ
た二次元画像データの各画素の深さ方向の相対的な高さ
データＨｄを二次元画像データ合成部３５から取得し、
これを保持している。また、高さ情報保持部３６は、マ
ウス信号制御部３７から入力される位置指定信号３７ｓ
4 にしたがって、全ての領域で焦点の合った二次元画像
データの指定された座標位置の高さ情報３６ｓを画像表
示部３８に出力する。
合成部３５において生成された全ての領域で焦点の合っ
た二次元画像データの各画素の深さ方向の相対的な高さ
データＨｄを二次元画像データ合成部３５から取得し、
これを保持している。また、高さ情報保持部３６は、マ
ウス信号制御部３７から入力される位置指定信号３７ｓ
4 にしたがって、全ての領域で焦点の合った二次元画像
データの指定された座標位置の高さ情報３６ｓを画像表
示部３８に出力する。
【００３１】画像表示部３８は、二次元画像データ合成
部３５から出力される二次元画像データ３５ｓを画像表
示装置５１の画面５２に表示する。また、高さ情報保持
部３６から出力された高さ情報３６ｓを所定の形式で画
像表示装置５１の画面５２に表示する。また、マウス信
号制御３７からのマウス位置設定信号３７ｓ3 にしたが
って、画像表示装置５１の画面５２のマウスポインタ３
８ａの表示位置を更新する。さらに、各種の操作スイッ
チ、ウィンドウ等の種々の画面表示を行う。画像表示部
３８は、たとえば、グラフィックソフトウエアや画像処
理を行うグラフィック回路から構成することができる。
部３５から出力される二次元画像データ３５ｓを画像表
示装置５１の画面５２に表示する。また、高さ情報保持
部３６から出力された高さ情報３６ｓを所定の形式で画
像表示装置５１の画面５２に表示する。また、マウス信
号制御３７からのマウス位置設定信号３７ｓ3 にしたが
って、画像表示装置５１の画面５２のマウスポインタ３
８ａの表示位置を更新する。さらに、各種の操作スイッ
チ、ウィンドウ等の種々の画面表示を行う。画像表示部
３８は、たとえば、グラフィックソフトウエアや画像処
理を行うグラフィック回路から構成することができる。
【００３２】ここで、上記した二次元画像データ合成部
３５の全ての領域で焦点の合っている二次元画像データ
の合成の原理について説明する。たとえば、図３に示す
ように、ＸＹテーブル３上に載置して観察する対象とし
て、四角錐状の観察対象物Ｗの場合について説明する。
図３において、観察対象物Ｗに対して先端に対物レンズ
６が設けられた顕微鏡鏡筒７のＺ軸方向位置をＰA 、Ｐ
B およびＰC のように変化させ、顕微鏡鏡筒７の焦点位
置を変えてＸＹテーブル３上に載置された観察対象物Ｗ
の光学拡大像を撮像する。
３５の全ての領域で焦点の合っている二次元画像データ
の合成の原理について説明する。たとえば、図３に示す
ように、ＸＹテーブル３上に載置して観察する対象とし
て、四角錐状の観察対象物Ｗの場合について説明する。
図３において、観察対象物Ｗに対して先端に対物レンズ
６が設けられた顕微鏡鏡筒７のＺ軸方向位置をＰA 、Ｐ
B およびＰC のように変化させ、顕微鏡鏡筒７の焦点位
置を変えてＸＹテーブル３上に載置された観察対象物Ｗ
の光学拡大像を撮像する。
【００３３】図４は、各焦点位置での観察対象物Ｗの光
学拡大像の撮像データの一例である。顕微鏡鏡筒７をＺ
軸方向の位置ＰA に移動して観察対象物Ｗの光学拡大像
を撮像した画像データＧには、図４（ａ）に示すよう
に、焦点の合った合焦点領域Ｒ1 と焦点の合わないぼや
けた非合焦点領域Ｒ2 とが存在する。合焦点領域Ｒ1
は、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対象物Ｗ
の錐面の下部領域からなる。
学拡大像の撮像データの一例である。顕微鏡鏡筒７をＺ
軸方向の位置ＰA に移動して観察対象物Ｗの光学拡大像
を撮像した画像データＧには、図４（ａ）に示すよう
に、焦点の合った合焦点領域Ｒ1 と焦点の合わないぼや
けた非合焦点領域Ｒ2 とが存在する。合焦点領域Ｒ1
は、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対象物Ｗ
の錐面の下部領域からなる。
【００３４】顕微鏡鏡筒７をＺ軸方向の位置ＰB に移動
して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画像データＧ
には、図４（ｂ）に示すように、四角錐状の観察対象物
Ｗの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域Ｒ
4 となり、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対
象物Ｗの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域Ｒ3 およびＲ5 となる。
して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画像データＧ
には、図４（ｂ）に示すように、四角錐状の観察対象物
Ｗの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域Ｒ
4 となり、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対
象物Ｗの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域Ｒ3 およびＲ5 となる。
【００３５】顕微鏡鏡筒７をＺ軸方向の位置ＰC に移動
して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画像データＧ
には、図４（ｃ）に示すように、四角錐状の観察対象物
Ｗの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域Ｒ
4 となり、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対
象物Ｗの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域Ｒ3 およびＲ5 となる。
して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画像データＧ
には、図４（ｃ）に示すように、四角錐状の観察対象物
Ｗの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域Ｒ
4 となり、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対
象物Ｗの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域Ｒ3 およびＲ5 となる。
【００３６】このように、観察対象物Ｗの顕微鏡鏡筒７
の有する被写界深度に対応する領域のみが合焦点領域と
なり、図４（ａ）〜図４（ｃ）の合焦点領域を合成する
ことにより、画像データＧの全ての領域で焦点の合った
二次元画像データを得ることができる。なお、顕微鏡鏡
筒７の拡大倍率が大きくなるほど被写界深度は浅くなる
ため合焦点領域が狭くなることから、焦点位置の異なる
多数の画像データが必要になるが、観察対象物Ｗの立体
形状や、顕微鏡鏡筒７の拡大倍率等から必要な画像デー
タ数は適宜決定する。
の有する被写界深度に対応する領域のみが合焦点領域と
なり、図４（ａ）〜図４（ｃ）の合焦点領域を合成する
ことにより、画像データＧの全ての領域で焦点の合った
二次元画像データを得ることができる。なお、顕微鏡鏡
筒７の拡大倍率が大きくなるほど被写界深度は浅くなる
ため合焦点領域が狭くなることから、焦点位置の異なる
多数の画像データが必要になるが、観察対象物Ｗの立体
形状や、顕微鏡鏡筒７の拡大倍率等から必要な画像デー
タ数は適宜決定する。
【００３７】各画像データからの合焦点領域の抽出方法
は、たとえば、論文”Image processing and synthesis
for extended depth of optical microscopes, The Vi
sualComputer(1992)8:351-360" に開示された技術を用
いることができる。上記論文に記載されているように、
一般的に、顕微鏡による光学拡大像の画像データにおい
ては、焦点が合っている領域ほど、高い空間周波数を含
んでおり、焦点の合っていない領域ほど空間周波数が低
いことから、この空間周波数の違いを利用することによ
り、最も焦点の合っている領域を抽出することができ
る。すなわち、複数の画像データの同一のＸおよびＹ座
標において、空間周波数の違いから焦点の合った度合い
を比較することにより、複数の異なる焦点位置の画像デ
ータから最も焦点の合った領域を抽出することができ
る。
は、たとえば、論文”Image processing and synthesis
for extended depth of optical microscopes, The Vi
sualComputer(1992)8:351-360" に開示された技術を用
いることができる。上記論文に記載されているように、
一般的に、顕微鏡による光学拡大像の画像データにおい
ては、焦点が合っている領域ほど、高い空間周波数を含
んでおり、焦点の合っていない領域ほど空間周波数が低
いことから、この空間周波数の違いを利用することによ
り、最も焦点の合っている領域を抽出することができ
る。すなわち、複数の画像データの同一のＸおよびＹ座
標において、空間周波数の違いから焦点の合った度合い
を比較することにより、複数の異なる焦点位置の画像デ
ータから最も焦点の合った領域を抽出することができ
る。
【００３８】また、上記した論文に記載されているよう
に、全ての領域で焦点の合った二次元画像データの各画
素（ピクセル）は、図５に示すように、相対的な高さｈ
の情報を有している。この高さｈの情報は、焦点の合っ
た二次元画像データの各画素の焦点の合った度合いに対
応している。したがって、上記した高さ情報保持部３６
は、図５に示すような高さ情報を取得することができ、
焦点の合った二次元画像データの各画素の深さ方向の相
対的な高さ情報（Ｚ方向の相対座標値）を保持すること
ができる。
に、全ての領域で焦点の合った二次元画像データの各画
素（ピクセル）は、図５に示すように、相対的な高さｈ
の情報を有している。この高さｈの情報は、焦点の合っ
た二次元画像データの各画素の焦点の合った度合いに対
応している。したがって、上記した高さ情報保持部３６
は、図５に示すような高さ情報を取得することができ、
焦点の合った二次元画像データの各画素の深さ方向の相
対的な高さ情報（Ｚ方向の相対座標値）を保持すること
ができる。
【００３９】図６は、上記構成の顕微鏡拡大観察システ
ムの画像表示装置５１の表示例を示す説明図である。図
６に示すように、画像表示装置５１の画面５２上には、
顕微鏡鏡筒７を通じて撮像装置８によって撮像された観
察対象物Ｗ、たとえば、回路基板の二次元画像が所定の
拡大倍率で光学的に拡大されて写し出されている。画面
５２に表示された二次元画像は全ての領域で焦点が合っ
た画像である。
ムの画像表示装置５１の表示例を示す説明図である。図
６に示すように、画像表示装置５１の画面５２上には、
顕微鏡鏡筒７を通じて撮像装置８によって撮像された観
察対象物Ｗ、たとえば、回路基板の二次元画像が所定の
拡大倍率で光学的に拡大されて写し出されている。画面
５２に表示された二次元画像は全ての領域で焦点が合っ
た画像である。
【００４０】また、画像表示装置５１の画面５２上に
は、マウスポインタ３８ａが表示されているとともに、
画面５２の右側の座標表示部５３には、マウスポインタ
３８ａで指示された二次元画像の位置ＰのＸ，Ｙ，Ｚ方
向の基準位置からの相対位置が表示される。たとえば、
マウスポインタ３８ａを任意の位置に移動して、当該位
置でマウス４０の操作ボタン４０ａをクリックすると、
二次元画像のＺ方向の高さ情報が表示されるようにする
ことができる。二次元画像の深さ方向であるＺ方向の高
さ情報が表示されるため、マウス４０を操作してマウス
ポインタ３８ａを二次元画像の任意の位置に移動するこ
とにより、任意の位置のＺ方向の高さ情報を簡単に把握
することができる。なお、図６では、位置ＰのＺ方向の
高さ情報を表示しているが、複数の点を指定して同時に
複数の点のＺ方向の高さ情報を表示することも可能であ
る。
は、マウスポインタ３８ａが表示されているとともに、
画面５２の右側の座標表示部５３には、マウスポインタ
３８ａで指示された二次元画像の位置ＰのＸ，Ｙ，Ｚ方
向の基準位置からの相対位置が表示される。たとえば、
マウスポインタ３８ａを任意の位置に移動して、当該位
置でマウス４０の操作ボタン４０ａをクリックすると、
二次元画像のＺ方向の高さ情報が表示されるようにする
ことができる。二次元画像の深さ方向であるＺ方向の高
さ情報が表示されるため、マウス４０を操作してマウス
ポインタ３８ａを二次元画像の任意の位置に移動するこ
とにより、任意の位置のＺ方向の高さ情報を簡単に把握
することができる。なお、図６では、位置ＰのＺ方向の
高さ情報を表示しているが、複数の点を指定して同時に
複数の点のＺ方向の高さ情報を表示することも可能であ
る。
【００４１】図７および図８は、上記構成の顕微鏡拡大
観察システムの画像表示装置５１の他の表示例を説明す
るための図である。図７は、マウス４０を操作して画面
５２に表示された二次元画像の任意の２点Ｐ1 ，Ｐ2 を
指定した状態を示している。マウス４０の操作によっ
て、二次元画像の任意の２点Ｐ1 ，Ｐ2 を指定すると、
この２点Ｐ1 ，Ｐ2 のＸＹ座標情報が画像処理／駆動制
御装置３１のマウス信号制御部３７を通じて高さ情報保
持部３６に入力される。高さ情報保持部３６では、入力
された２点Ｐ1 ，Ｐ2 のＸＹ座標情報に基づいて、２点
Ｐ1 ，Ｐ2 を結ぶ線分間の二次元画像の高さ情報を画像
表示部３８に出力する。
観察システムの画像表示装置５１の他の表示例を説明す
るための図である。図７は、マウス４０を操作して画面
５２に表示された二次元画像の任意の２点Ｐ1 ，Ｐ2 を
指定した状態を示している。マウス４０の操作によっ
て、二次元画像の任意の２点Ｐ1 ，Ｐ2 を指定すると、
この２点Ｐ1 ，Ｐ2 のＸＹ座標情報が画像処理／駆動制
御装置３１のマウス信号制御部３７を通じて高さ情報保
持部３６に入力される。高さ情報保持部３６では、入力
された２点Ｐ1 ，Ｐ2 のＸＹ座標情報に基づいて、２点
Ｐ1 ，Ｐ2 を結ぶ線分間の二次元画像の高さ情報を画像
表示部３８に出力する。
【００４２】画像表示部３８は、２点Ｐ1 ，Ｐ2 を結ぶ
線分間の二次元画像の高さ情報を、たとえば、図８に示
すように、新たな表示ウィンドウ５５を重ねて表示し、
表示ウィンドウ５５に２点Ｐ1 ，Ｐ2 を結ぶ線分間の高
さ情報を連続的にグラフ表示する。これによって、観察
対象物Ｗの表面形状を把握することができ、二次元画像
の各位置の高さ情報だけでは視覚的には把握が難しい観
察対象物Ｗの立体形状を容易に把握することができる。
線分間の二次元画像の高さ情報を、たとえば、図８に示
すように、新たな表示ウィンドウ５５を重ねて表示し、
表示ウィンドウ５５に２点Ｐ1 ，Ｐ2 を結ぶ線分間の高
さ情報を連続的にグラフ表示する。これによって、観察
対象物Ｗの表面形状を把握することができ、二次元画像
の各位置の高さ情報だけでは視覚的には把握が難しい観
察対象物Ｗの立体形状を容易に把握することができる。
【００４３】以上のように、本実施形態によれば、画像
表示装置５１の画面５２に表示された全ての領域で焦点
の合った観察対象物Ｗの二次元画像を見ながら任意の位
置の深さ方向の測長が可能であり、二次元画像から観察
対象物Ｗの立体形状を把握することが可能となる。すな
わち、顕微鏡等の光学機器のみでは見ることができない
高被写界深度で微細な観察対象物の広い領域を観察でき
ると同時に、観察対象物の二次元画像を見ながら顕微鏡
等の光学機器のみでは難しかった観察対象物の深さ方向
の測長が可能となる。また、二次元画像の位置は、マウ
ス４０の操作によって指定できるため、非常に操作が簡
単である。また、画像表示装置５１の画面５２に表示さ
れた二次元画像は、全ての領域で焦点が合っているた
め、二次元画像におけるＺ方向の高さ情報を調べたい位
置の特定が非常に容易となる。また、画像表示装置５１
の画面５２上で二次元画像の任意の２点Ｐ1 ，Ｐ2 を指
定して２点Ｐ1 ，Ｐ2 を結ぶ線分間の高さ情報を連続的
にグラフ表示することで、二次元画像から観察対象物Ｗ
の立体形状の把握が一層容易となる。
表示装置５１の画面５２に表示された全ての領域で焦点
の合った観察対象物Ｗの二次元画像を見ながら任意の位
置の深さ方向の測長が可能であり、二次元画像から観察
対象物Ｗの立体形状を把握することが可能となる。すな
わち、顕微鏡等の光学機器のみでは見ることができない
高被写界深度で微細な観察対象物の広い領域を観察でき
ると同時に、観察対象物の二次元画像を見ながら顕微鏡
等の光学機器のみでは難しかった観察対象物の深さ方向
の測長が可能となる。また、二次元画像の位置は、マウ
ス４０の操作によって指定できるため、非常に操作が簡
単である。また、画像表示装置５１の画面５２に表示さ
れた二次元画像は、全ての領域で焦点が合っているた
め、二次元画像におけるＺ方向の高さ情報を調べたい位
置の特定が非常に容易となる。また、画像表示装置５１
の画面５２上で二次元画像の任意の２点Ｐ1 ，Ｐ2 を指
定して２点Ｐ1 ，Ｐ2 を結ぶ線分間の高さ情報を連続的
にグラフ表示することで、二次元画像から観察対象物Ｗ
の立体形状の把握が一層容易となる。
【００４４】上記した実施形態では、顕微鏡鏡筒７を通
じて得た画像データから観察対象物Ｗの深さ方向（Ｚ軸
方向）の位置情報を得ているが、本発明は、これに限定
されるわけではない。たとえば、ＸＹテーブル３に対し
てレーザー式の測距型のセンサを設け、このレーザー式
の測距型のセンサを、Ｘ軸およびＹ軸方向にスキャニン
グして観察対象物ＷのＺ軸方向の高さ情報を得て、これ
を画像処理／駆動制御装置３１の高さ情報保持部３６に
保持しておく構成とすることも可能である。この場合に
は、複数の異なる焦点位置で得られた画像データからＺ
軸方向の高さ情報を得る場合よりも、精度の良い高さ情
報が得られる。
じて得た画像データから観察対象物Ｗの深さ方向（Ｚ軸
方向）の位置情報を得ているが、本発明は、これに限定
されるわけではない。たとえば、ＸＹテーブル３に対し
てレーザー式の測距型のセンサを設け、このレーザー式
の測距型のセンサを、Ｘ軸およびＹ軸方向にスキャニン
グして観察対象物ＷのＺ軸方向の高さ情報を得て、これ
を画像処理／駆動制御装置３１の高さ情報保持部３６に
保持しておく構成とすることも可能である。この場合に
は、複数の異なる焦点位置で得られた画像データからＺ
軸方向の高さ情報を得る場合よりも、精度の良い高さ情
報が得られる。
【００４５】
【発明の効果】本発明によれば、全ての領域で焦点の合
った二次元画像を観察しながら、観察対象物の深さ方向
の測長が可能になる。この結果、焦点の合った二次元画
像から観察対象物の立体形状を把握することが可能とな
る。また、本発明によれば、画像表示装置に観察対象物
の拡大像が表示されるため、複数の観察者が同時に観察
対象物を観察することができる。
った二次元画像を観察しながら、観察対象物の深さ方向
の測長が可能になる。この結果、焦点の合った二次元画
像から観察対象物の立体形状を把握することが可能とな
る。また、本発明によれば、画像表示装置に観察対象物
の拡大像が表示されるため、複数の観察者が同時に観察
対象物を観察することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る顕微鏡拡大観察シス
テムの構成を示す説明図である。
テムの構成を示す説明図である。
【図２】本実施形態に係る画像処理／駆動制御装置の一
構成例を示す説明図である。
構成例を示す説明図である。
【図３】全ての領域で焦点の合っている二次元画像デー
タの合成の原理を説明するための図である。
タの合成の原理を説明するための図である。
【図４】各焦点位置での観察対象物Ｗの光学拡大像の撮
像データの一例である。
像データの一例である。
【図５】全ての領域で焦点の合っている二次元画像デー
タの各画素から取得される深さ方向の高さ情報を説明す
るための図である。
タの各画素から取得される深さ方向の高さ情報を説明す
るための図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る顕微鏡拡大観察シス
テムの画像表示装置の表示例を説明するための図であ
る。
テムの画像表示装置の表示例を説明するための図であ
る。
【図７】本発明の一実施形態に係る顕微鏡拡大観察シス
テムの画像表示装置の他の表示例を説明するための図で
ある。
テムの画像表示装置の他の表示例を説明するための図で
ある。
【図８】図７に示す表示に続く表示例を説明するための
図である。
図である。
１…撮像部、３…ＸＹテーブル、４…Ｘ軸送り機構部、
５…Ｙ軸送り機構部６…対物レンズ、７…顕微鏡鏡筒、
８…撮像装置、３１…画像処理／駆動制御装置、３２…
移動制御部、３３…画像データ入力部、３４…画像デー
タ記憶部、３５…二次元画像データ合成部、３６…高さ
情報保持部、３７…マウス信号制御部、３８…画像表示
部、３９…ズームレンズ駆動制御部、４０…マウス、５
１…画像表示装置。
５…Ｙ軸送り機構部６…対物レンズ、７…顕微鏡鏡筒、
８…撮像装置、３１…画像処理／駆動制御装置、３２…
移動制御部、３３…画像データ入力部、３４…画像デー
タ記憶部、３５…二次元画像データ合成部、３６…高さ
情報保持部、３７…マウス信号制御部、３８…画像表示
部、３９…ズームレンズ駆動制御部、４０…マウス、５
１…画像表示装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｎ 5/232 Ｈ０４Ｎ 7/18 Ｕ 7/18 Ｃ Ｇ０６Ｆ 15/62 ３５０Ａ (72)発明者 中村 英雄 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 熊谷 徹 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 2H052 AF17 AF21 AF25 5B050 BA09 BA13 DA01 EA04 EA19 FA02 FA09 5C022 AA01 AB21 AB65 AB66 AB68 AC01 AC13 AC14 AC31 AC51 AC69 AC74 5C054 CC05 CD03 CF03 CF07 EH01 FC12 FE16 FE19 HA05 5C076 AA19
Claims (6)
- 【請求項１】観察対象物の光学拡大像を得る光学拡大手
段と、 前記光学拡大像を撮像する撮像手段と、 前記光学拡大手段の前記観察対象物に対する焦点位置を
変更する移動手段と、 異なる焦点位置で撮像した複数の画像データから焦点の
合っている合焦点領域を抽出し、これら各合焦点領域を
合成して全ての領域で焦点の合っている二次元画像デー
タを生成する二次元画像データ合成手段と、 前記二次元画像データを表示する画像表示装置と、 前記画像表示装置に表示された二次元画像の指定した位
置の深さ方向の相対的高さ情報を当該画像表示装置に表
示する立体情報表示手段とを有する拡大観察装置。 - 【請求項２】前記立体情報表示手段は、前記各合焦点領
域の各画素情報から得られる前記二次元画像の深さ方向
の相対的な高さ情報を保持しており、 前記二次元画像で指定された位置の高さ情報を前記画像
表示装置に出力する請求項１に記載の拡大観察装置。 - 【請求項３】前記立体情報表示手段は、前記二次元画像
で指定された任意の２点間における前記高さ情報を連続
的にグラフ表示する請求項１に記載の拡大観察装置。 - 【請求項４】前記画像表示装置の画面上にポインタを表
示し、当該ポインタの画面上での位置を設定し、前記二
次元画像の任意の位置を指定する指示手段を有する請求
項１に記載の拡大観察装置。 - 【請求項５】前記移動手段は、前記観察対象物と前記光
学拡大手段との前記二次元画像の深さ方向の相対的な位
置決めを行う請求項１に記載の拡大観察装置。 - 【請求項６】前記光学拡大手段は、光学顕微鏡である請
求項１に記載の拡大観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335893A JP2000162504A (ja) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | 拡大観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335893A JP2000162504A (ja) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | 拡大観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000162504A true JP2000162504A (ja) | 2000-06-16 |
Family
ID=18293559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10335893A Pending JP2000162504A (ja) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | 拡大観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000162504A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005518570A (ja) * | 2002-02-22 | 2005-06-23 | バクス リサーチ ラボラトリーズ インコーポレイテッド | 集束可能な仮想顕微鏡装置及びその方法 |
| JP2005521123A (ja) * | 2001-10-22 | 2005-07-14 | ライカ ミクロジュステムス ヴェツラー ゲーエムベーハー | 光学顕微鏡検出３次元画像の生成方法及び生成装置 |
| CN100368860C (zh) * | 2001-09-14 | 2008-02-13 | 麦克奥迪实业集团有限公司 | 显微图像层切扫描方法及其装置 |
| JP2008533554A (ja) * | 2005-01-27 | 2008-08-21 | アペリオ・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 三次元仮想スライドを可視化するためのシステム及び方法 |
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| CN100574382C (zh) * | 2003-01-23 | 2009-12-23 | 索尼株式会社 | 图像拍摄设备 |
| JP2010170025A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Hamamatsu Photonics Kk | 画像出力システム、画像出力方法及び画像出力プログラム |
| WO2015156378A1 (en) * | 2014-04-10 | 2015-10-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing apparatus, image processing method, and image processing system |
| DE102018217782A1 (de) | 2017-10-17 | 2019-04-18 | Keyence Corporation | Vergrößerungsbeobachtungsvorrichtung |
| DE102018217786A1 (de) | 2017-10-17 | 2019-04-18 | Keyence Corporation | Vergrößerungsbeobachtungsvorrichtung |
| CN112738393A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-30 | 珠海西山居移动游戏科技有限公司 | 调焦方法及装置 |
-
1998
- 1998-11-26 JP JP10335893A patent/JP2000162504A/ja active Pending
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