JP2000162042A - 分光器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 分光器の波長分解能およびダイナミックレン
ジを向上させる。 【解決手段】 コリメータ２２に入射した入射光Ａを第
１の回折格子２３および第２の回折格子２５によって３
回の回折を行い波長分散してコリメータ２２を介して一
旦出射し、この出射光から第１のスリット２８によって
抽出した抽出光Ｂを第１、第２の平面鏡２６、２９によ
って回折格子の刻線と垂直（または平行）な方向に折り
返してコリメータ２２へ再入射し、第１の回折格子２３
と第２の回折格子２５によりさらに３回の回折を行いコ
リメータ２２を介して第２のスリット３１から出射す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光に含まれている
波長成分を分離抽出する分光器（モノクロメータ）にお
いて、波長分解能を高くし、ダイナミックレンジを広く
するための技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】光に含まれている波長成分を分離抽出す
るために従来より図１２に示すように、入射光Ａをコリ
メータ１によって平行光に変換して回折格子２の回折面
２ａに入射し、回折格子２で波長分散された回折光をコ
リメータ１を介してスリット板３へ出射して、スリット
板３に設けられたスリット４によって回折光に含まれる
波長を選択的に抽出する構造の分光器が用いられてい
る。

【０００３】この分光器では、図示しない回転駆動装置
によって回折格子２をその回折面２ａに設けられた刻線
に平行な軸で回転させることで、スリット４を通過する
光の波長を可変することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
たように単一の回折格子２とスリットだけで波長の分散
と抽出を行う分光器では、波長分解能が低く、また、迷
光等の影響を受けてダナミックレンジが狭くなるという
問題があった。

【０００５】本発明は、この問題を解決し、波長分解能
が高く、ダイナミックレンジが広い分光器を提供するこ
とを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項１の分光器は、入射光を平行光に変
換するコリメータ（２２）と、前記コリメータから出射
された平行光を受ける位置に配置され、該平行光を回折
面で回折して第１の回折光として出射する第１の回折格
子（２３）と、前記第１の回折格子に対して回折面の刻
線方向が互いに平行となり且つ前記第１の回折格子から
の第１の回折光を受ける位置に配置され、該第１の回折
光を前記回折面で回折して第２の回折光として前記第１
の回折格子へ出射する第２の回折格子（２５）と、前記
第１の回折格子または第２の回折格子のいずれか一方を
刻線に平行な軸を中心にして回転させる回転駆動装置
（２４）と、前記第２の回折光が前記第１の回折格子に
よって回折された第３の回折光を前記コリメータを介し
て受ける位置に配置され、該第３の回折光の波長分散方
向と直交する方向に延びた第１のスリット（２８）と、
前記第３の回折光のうち前記第１のスリットを通過した
抽出光を、前記回折格子の刻線に垂直または平行な方向
に折り返して前記コリメータへ再入射する折り返し手段
（２６、２９）と、前記コリメータを介して再入射され
た抽出光が、前記第１の回折格子によって回折されて第
４の回折光として前記第２の回折格子へ入射され、該第
２の回折格子によって回折されて第５の回折光として前
記第１の回折格子へ入射され、さらに、第１の回折格子
によって回折されて前記コリメータから再出射された第
６の回折光を受ける位置に配置され、該第６の回折光の
波長分散方向と直交する方向に延びた第２のスリット
（３１）とを備え、前記回転駆動装置によって前記第１
の回折格子または前記第２の回折格子のいずれか一方を
回転することによって、入射光に含まれる波長成分のう
ち該回折格子の角度に応じた波長成分が前記第２のスリ
ットを通過するようにしている。

【０００７】また、本発明の請求項２の分光器は、請求
項１の分光器において、前記第１のスリットおよび第２
のスリットの少なくとも一方を、入射する回折光の波長
分散方向に移動させる移動手段（７５）を備えている。

【０００８】また、本発明の請求項３の分光器は、請求
項１または請求項２の分光器において、前記コリメータ
に対する前記入射光の入射光路に偏波解消板（８１）を
配置したことを特徴としている。

【０００９】また、本発明の請求項４の分光器は、請求
項１または請求項２の分光器において、前記コリメータ
に対する前記抽出光の入射光路に、任意の波長のλ／２
板（９１）を、その主軸方向が前記第２次入射光の光軸
に垂直な平面内において前記第１、第２の回折格子の刻
線方向と４５度の角度をなすように配置したことを特徴
としている。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を説明する。図１、図２は、実施形態の分光器２
０を示している。

【００１１】これらの図において、分光対象の入射光Ａ
は、ベース２１の平坦な上面２１ａに固定された反射型
のコリメータ２２の反射面中心Ｏでない位置Ｒａに入射
され、平行光に変換されて第１の回折格子２３の回折面
２３ａへ向かって出射される。

【００１２】第１の回折格子２３は、回折面２３ａおよ
びその回折面２３ａに矢印Ｋ方向に設けられている刻線
（図示せず）がベース２１の上面２１ａに垂直となる状
態でモータ等からなる回転駆動装置２４に支持されてい
る。

【００１３】回転駆動装置２４は、回折面２３ａのほぼ
中央の刻線と一致する線Ｊを中心軸にして、第１の回折
格子２３を回転駆動する。

【００１４】コリメータ２２からの入射光Ａはこの第１
の回折格子２３によって刻線と直交する平面（ベース２
１の上面２１ａと平行な面）上で波長分散（一次分散と
いう）する。

【００１５】第１の回折格子２３の回折面２３ａが向い
ている方向には、第２の回折格子２５が配置されてい
る。

【００１６】第２の回折格子２５は、その回折面２５ａ
に矢印Ｋ方向に設けられた刻線（図示せず）が第１の回
折格子２３の回折面２３ａの刻線と平行となるように、
回折面２５ａおよび刻線がベース２１の上面２１ａに垂
直となる状態で固定されており、第１の回折格子２３に
よって波長分散された第１の回折光Ａ１を回折面２５ａ
でさらに波長分散（二次分散という）して第１の回折格
子２３へ出射する。

【００１７】第２の回折格子２５によって波長分散され
た第２の回折光Ａ２を受けた第１の回折格子２３は、第
２の回折光Ａ２をさらに波長分散（三次分散という）し
て第３の回折光Ａ３として、コリメータ２２側へ出射す
る。

【００１８】コリメータ２２は、反射面中心Ｏについて
入射光Ａが入射された位置Ｒａと対称な位置Ｒｂに第３
の回折光Ａ３を受けて入射光Ａと平行な光軸に沿って反
射する。

【００１９】第１の回折格子２３からの第３の回折光Ａ
３がコリメータ２２によって反射される位置には、第１
の平面鏡２６が配置されている。

【００２０】第１の平面鏡２６は、後述の第２の平面鏡
２９とともにこの実施形態の折り返し手段を形成するも
のであり、その反射面２６ａがコリメータ２２側に向き
且つ第３の回折光Ａ３に対して４５度傾いた状態でベー
ス２１上に固定されており、コリメータ２２からの第３
の回折光Ａ３を、第１、第２の回折格子２３、２５の刻
線と垂直な方向（ここでは、入射光Ａの光軸と直角に交
差する方向）に反射する。

【００２１】第１の平面鏡２６によって反射された第３
の回折光Ａ３は、第１のスリット板２７へ入射される。
第１のスリット板２７には、第１、第２の回折格子２
３、２５の刻線と平行な方向、即ち、第３の回折光Ａ３
の波長分散方向と垂直な方向に延びた第１のスリット２
８が設けられており、第３の回折光Ａ３のうち、第１の
回折格子２３の角度に応じた波長の光がこの第１のスリ
ット２８で選択されて通過する（これを一次抽出光Ｂと
いう）。

【００２２】第１のスリット２８を通過した一次抽出光
Ｂは第２の平面鏡２９に入射する。第２の平面鏡２９
は、その反射面２９ａがコリメータ２２側を向き且つ入
射光の光軸に対して４５度傾いた状態でベース２１上に
固定されており、第１のスリット２８を通過した一次抽
出光Ｂを、入射光Ａと平行でベース上面側からみて入射
光Ａと重なる光軸に沿ってコリメータ２２側へ反射す
る。

【００２３】この一次抽出光Ｂは、コリメータ２２の反
射面中心Ｏを含みベース２１に垂直な平面について位置
Ｒａと対称な位置Ｒｃに再入射され、コリメータ２２
は、この一次抽出光Ｂを第１の回折格子２３へ反射す
る。

【００２４】第１の回折格子２３はコリメータ２２から
の一次抽出光Ｂを入射光の場合と同様に波長分散（四次
分散という）して第４の回折光Ｂ１として第２の回折格
子２５へ出射し、第２の回折格子２５はこの第４の回折
光Ｂ１をさらに波長分散（五次分散という）して第５の
回折光Ｂ２として第１の回折格子２３へ出射し、第１の
回折格子２３は第５の回折光Ｂ２をさらに波長分散（六
次分散という）して第６の回折光Ｂ３として、コリメー
タ２２へ出射する。

【００２５】コリメータ２２は、第１の回折格子２３か
らの第６の回折光Ｂ３を、反射面中心Ｏについて位置Ｒ
ｃと対称な位置Ｒｄで受けて、入射光と平行でベース上
面側からみてコリメータ２２から第１の平面鏡２６に入
射される第３の回折光Ａ３と重なる光軸に沿って反射す
る。

【００２６】第６の回折光Ｂ３がコリメータ２２によっ
て反射される位置には、第２のスリット板３０が第６の
回折光Ｂ３の光軸と直交するように配置されている。

【００２７】第２のスリット板３０には、第１の回折格
子２３の刻線と平行、即ち、第６の回折光Ｂ３の波長分
散方向と垂直な方向に延びた第２のスリット３１が設け
られており、第６の回折光Ｂ３のうちの第２のスリット
３１の位置に応じた波長の光が選択的に通過する（これ
を二次抽出光Ｃという）。

【００２８】なお、第１の平面鏡２６は、コリメータ２
２から第２のスリット板３０へ出射される第６の回折光
Ｂ３または二次抽出光Ｃを遮らないように図示しない支
持部材によってベース２１上に支持され、第２の平面鏡
２９は、入射光のコリメータ２２に対する入射を妨げな
いように図示しない支持部材によってベース２１上に支
持されている。

【００２９】このように、実施形態の分光器２０は、２
つの回折格子を用いるとともに、第１の回折格子と第２
の回折格子を加分散配列して、入射光に対して六次の分
散を行うようにしている。

【００３０】このため、図３に示すように、多くの波長
成分を含む入射光Ａが、コリメータ２２→第１の回折格
子２３→第２の回折格子２５→第１の回折格子２３→コ
リメータ２２の経路（これを第１パスという）で３回の
波長分散を受けて、入射光に含まれていた各波長成分が
回折格子の刻線に直交する平面上で分散する。

【００３１】そして、この分散した光（第３の回折光Ａ
３）のうち、例えば波長成分λ（ｎ−２）、λ（ｎ−
１）、λ（ｎ）、λ（ｎ＋１）、λ（ｎ＋２）が第１の
スリット２８で抽出され、この一次抽出光Ｂが第１、第
２の平面鏡２６、２９によって折り返されて、コリメー
タ２２→第１の回折格子２３→第２の回折格子２５→第
１の回折格子２３→コリメータ２２の経路（これを第２
パスという）でさらに３回の波長分散を受けて、一次抽
出光Ｂに含まれていた各波長成分が回折格子の刻線に直
交する平面上でさらに分散するので、第１の回折格子２
３の角度に対応した波長成分λ（ｎ）のみを第２のスリ
ット３１で選択的に抽出することができ、波長分解能が
非常に高くなる。

【００３２】また、第１パスと第２パスの間に第１のス
リット２８を配置し、第２パスの出力に第２のスリット
３１を設けているので、迷光を大幅に低減でき、広ダイ
ナミックレンジで分光できる。

【００３３】また、コリメータ２２からの入射光を最初
に回折する第１の回折格子２３を回転させるようにして
いるので、高い波長分解能が不要なときには、第１の回
折格子２３の角度を大きく変えて、第１の回折光Ａ１を
コリメータメータ２１へ直接戻すことが可能となる。こ
の場合、入射光に対して２回の波長分散を行うことにな
る。

【００３４】

【他の実施の形態】前記実施形態では、第１、第２の回
折格子２３、２５を入射光の光軸の一方の側方に配置し
ていたが、これは本発明を限定するものでなく、図４に
示す分光器４０のように第１、第２の回折格子２３、２
５を入射光の光軸を挟むように配置してもよい。この分
光器４０のように第１、第２の回折格子２３、２５を入
射光の光軸を挟むように配置することは、反射型のコリ
メータ２２を用いた後述の分光器６０、８０、９０にも
適用できる。

【００３５】また、前記実施形態では、コリメータとし
て反射型のものを用いていたが、これは本発明を限定す
るものでなく、例えば図５に示す分光器５０のように反
射型のコリメータ２２の代わりに透過型（レンズ式）の
コリメータ５２を用いてもよい。

【００３６】この場合、コリメータ５２を通過した入射
光Ａに対して前記分光器２０と同様に第１、第２の回折
格子２３、２５で３回の回折を行ない、第３の回折光Ａ
３をコリメータ５２および第１の平面鏡２６を介して第
１のスリット２８へ入射し、第１のスリット２８を通過
した一次抽出光Ｂを第２の平面鏡２９によってコリメー
タ５２へ再入射して、第１、第２の回折格子２３、２５
でさらに３回の回折を行なって、コリメータ５２を介し
て第２のスリット３１に出射する。

【００３７】また、前記実施形態では、第１の回折格子
２３を回転させるようにしていたが、これは本発明を限
定するものでなく、例えば図６に示す分光器６０のよう
に、第１の回折格子２３側をベース２１上に固定し、第
２の回折格子２５側を回転駆動装置２４によって回転し
てもよい。この分光器６０のように第１の回折格子２３
側を固定し、第２の回折格子側２５を回転駆動する方式
は、前記分光器４０、５０および後述する分光器７０、
８０、９０にも適用できる。

【００３８】また、前記実施形態では、第１のスリット
２８で抽出した一次抽出光Ｂを回折格子の刻線に垂直な
方向に折り返してコリメータ２２へ再入射することで、
第２のパスにおいても波長分散するようにしていたが、
図７に示す分光器７０（ベースは図示せず）ように、第
１の平面鏡２６と第２の平面鏡２９を回折格子の刻線と
平行に配置するとともに第１のスリット板２７をその第
１のスリット２８が回折格子の刻線に直交し且つ入射光
の光軸と平行となる向きに配置して、一次抽出光Ｂを回
折格子の刻線と平行な方向に折り返してコリメータ５２
へ再入射してもよい。

【００３９】このようにした場合、図８に示すように、
多くの波長成分を含む入射光Ａが第１のパスで前記実施
形態と同様に３回の波長分散を受けて、入射光に含まれ
ていた各波長成分が回折格子の刻線に直交する平面上で
分散する。

【００４０】そして、分散した光（第３の回折光Ａ３）
のうち、第１のスリット２８で抽出した波長成分λ（ｎ
−１）、λ（ｎ）、λ（ｎ＋１）からなる一次抽出光Ｂ
は、第１の回折格子２３の回折面２３ａにおける分散光
Ａ３の出射経路と全く同一経路で入射されるため、一次
抽出光Ｂは第１パスと逆に３回の波長集合（差分散とい
う）を受けて、ほぼ一点に集光して第２のスリット３１
を通過することになる。

【００４１】つまり、この分光器７０では、第１パスで
波長分散し第１のスリット２８によって抽出した波長成
分を一点に集光させているので、前記実施形態に比べて
選択帯域の広い、バンドパス型のフィルタとして使用す
ることができ、また、集光手段を用いることなく、受光
素子で容易に強度の検出ができる。

【００４２】なお、この分光器７０の場合でも、３回の
波長分散によって波長分解能は向上し、また、２つのス
リットを用いているので迷光を大幅に低減でき、広ダイ
ナミックレンジで分光できる。

【００４３】また、前記実施形態では、第１、第２のス
リット板２７、３０が固定されていたが、これは本発明
を限定するものでなく、図９に示すように、少なくとも
一方のスリット板、例えば第１のスリット板２７を移動
装置７５によって第３の回折光Ａ３の波長分散方向に移
動できるようにしておけば、第１のスリット２８と第２
のスリット３１との相対的な位置ずれを補正することが
でき、第１パスと第２パスの抽出波長のずれを補正する
ことができる。また、第２のスリット板３０を移動装置
７５によって第６の回折光Ｂ３の波長分散方向に移動で
きるようにしたり、両方のスリット板２７、３０をそれ
ぞれ移動装置７５によって移動できるようにしても第１
パスと第２パスの抽出波長のずれを補正することができ
る。なお、この移動装置７５は、手動操作によるもので
あってもモータ等で駆動する方式であってもよい。この
ように、少なくとも一方のスリット板を移動装置によっ
て入射する回折光の波長分散方向に移動できるようにす
ることは、前記した分光器２０、４０、５０、６０、７
０および後述する分光器８０、９０にも適用できる。

【００４４】また、例えば図１０に示す分光器８０のよ
うに、コリメータ２２に対する入射光Ａの入射光路に偏
波解消板８１を挿入すれば、入射光Ａの偏波の影響を防
止することができる。この偏波解消板８１は、前記した
分光器４０、５０、６０、７０の各コリメータに対する
入射光Ａの入射光路にも挿入できる。

【００４５】また、例えば図１１に示す分光器９０のよ
うに、コリメータ２２に対する一次抽出光Ｂの入射経
路、即ち、第２の平面鏡２９とコリメータ２２の間（あ
るいは第１のスリット板２７と第２の平面鏡２９との
間）の光路上に任意の波長のλ／２板９１を、その主軸
方向が光軸に垂直な平面内において回折格子の刻線方向
と４５度の角度をなすように配置すれば、入射光の偏波
の影響を防止することができる。このλ／２板９１は、
前記した分光器４０、５０、６０、７０のコリメータに
対する一次抽出光Ｂの入射経路にも挿入できる。

【００４６】また、前記実施形態では、第１の平面鏡２
６と第２の平面鏡２９の間に第１のスリット板２７を配
置していたが、これは本発明を限定するものでなく、第
１のスリット板２７を、コリメータ２２（またはコリメ
ータ５２）から第１の平面鏡２６に至る光路あるいは第
２の平面鏡２９からコリメータ２２（またはコリメータ
５２）に至る光路に配置してもよい。このように、第１
のスリット板２７をコリメータから第１の平面鏡に至る
光路あるいは第２の平面鏡からコリメータに至る光路に
配置することは、前記した分光器２０、４０、５０、６
０、７０、８０、９０のいずれにも適用できる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の分光器
は、コリメータに入射した入射光に対し第１の回折格子
および第２の回折格子によって３回の回折を行い波長分
散してコリメータを介して一旦出射し、この出射光から
第１のスリットによって抽出した抽出光を回折格子の刻
線と垂直または平行な方向に折り返してコリメータへ再
入射し、第１の回折格子と第２の回折格子により３回の
回折を行いコリメータを介して第２のスリットから出射
するようにしている。

【００４８】このため、抽出光を回折格子の刻線に直交
する方向に折り返して再入射する加分散配列にした場合
には、入射光に対する６回の回折がすべて波長分解能の
向上に寄与する波長分散となり、また、抽出光を回折格
子の刻線と平行な方向に折り返して再入射する差分散配
列にした場合でも、６回の回折のうち３回の回折が波長
分解能の向上に寄与する波長分散となるため、入射光に
対する波長分解能が格段に向上する。

【００４９】また、加分散配列および差分散配列の回折
光に対してそれぞれ第１、第２のスリットを通過させる
ようにしているので、迷光を除去でき、ダイナミックレ
ンジが格段に広くなる。

【００５０】また、第１のスリットおよび第２のスリッ
トの少なくとも一方を波長分散方向に移動できるように
した分光器では、第１スリットと第２のスリットとの相
対的な位置ずれを補正することができ、分光特性がさら
に高くなる。

【００５１】また、偏波解消板をコリメータに対する入
射光の入射光路に挿入した場合、およびλ／２板をコリ
メータに対する抽出光の再入射光路に挿入した場合に
は、入射光の偏波依存性を改善することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の構成を示す平面図

【図２】実施形態の構成を示す斜視図

【図３】実施形態の動作を説明するための概略図

【図４】第２の回折格子の配置を変えた場合の平面図

【図５】透過型のコリメータを用いた場合の平面図

【図６】第２の回折格子側を回転駆動する場合の平面図

【図７】差分散配列の場合の構成を示す斜視図

【図８】差分散配列の場合の動作を説明するための概略
図

【図９】スリット板を移動自在にした場合の要部斜視図

【図１０】偏波解消板を用いた場合の平面図

【図１１】λ／２板を用いた場合の平面図

【図１２】従来の分光器の構成を示す図

【符号の説明】

２０、４０、５０、６０、７０、８０、９０ 分光器 ２１ ベース ２２ コリメータ ２３ 第１の回折格子 ２４ 回転駆動装置 ２５ 第２の回折格子 ２６ 第１の平面鏡 ２７ 第１のスリット板 ２８ 第１のスリット ２９ 第２の平面鏡 ３０ 第２のスリット板 ３１ 第２のスリット ５２ コリメータ ７５ 移動装置 ８１ 偏波解消板 ９１ λ／２板

【手続補正書】

【提出日】平成１１年１月１１日（１９９９．１．１
１）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図２】

【図３】

【図７】

【図１２】

【図４】

【図５】

【図６】

【図８】

【図９】

【図１０】

【図１１】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G020 CB02 CB04 CB12 CB14 CC02 CC05 CC26 CC42 CC52 2H049 AA50 AA51 AA58 AA69 BA06 BA12 BB03 BC23

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】入射光を平行光に変換するコリメータ（２
   ２）と、 前記コリメータから出射された平行光を受ける位置に配
   置され、該平行光を回折面で回折して第１の回折光とし
   て出射する第１の回折格子（２３）と、 前記第１の回折格子に対して回折面の刻線方向が互いに
   平行となり且つ前記第１の回折格子からの第１の回折光
   を受ける位置に配置され、該第１の回折光を前記回折面
   で回折して第２の回折光として前記第１の回折格子へ出
   射する第２の回折格子（２５）と、 前記第１の回折格子または第２の回折格子のいずれか一
   方を刻線に平行な軸を中心にして回転させる回転駆動装
   置（２４）と、 前記第２の回折光が前記第１の回折格子によって回折さ
   れた第３の回折光を前記コリメータを介して受ける位置
   に配置され、該第３の回折光の波長分散方向と直交する
   方向に延びた第１のスリット（２８）と、 前記第３の回折光のうち前記第１のスリットを通過した
   抽出光を、前記回折格子の刻線に垂直または平行な方向
   に折り返して前記コリメータへ再入射する折り返し手段
   （２６、２９）と、 前記コリメータを介して再入射された抽出光が、前記第
   １の回折格子によって回折されて第４の回折光として前
   記第２の回折格子へ入射され、該第２の回折格子によっ
   て回折されて第５の回折光として前記第１の回折格子へ
   入射され、さらに、第１の回折格子によって回折されて
   前記コリメータから再出射された第６の回折光を受ける
   位置に配置され、該第６の回折光の波長分散方向と直交
   する方向に延びた第２のスリット（３１）とを備え、 前記回転駆動装置によって前記第１の回折格子または前
   記第２の回折格子のいずれか一方を回転することによっ
   て、入射光に含まれる波長成分のうち該回折格子の角度
   に応じた波長成分が前記第２のスリットを通過するよう
   にしたことを特徴とする分光器。
2. 【請求項２】前記第１のスリットおよび第２のスリット
   の少なくとも一方を、入射する回折光の波長分散方向に
   移動させる移動手段（７５）を備えたことを特徴とする
   請求項１記載の分光器。
3. 【請求項３】前記コリメータに対する前記入射光の入射
   光路に偏波解消板（８１）を配置したことを特徴とする
   請求項１または請求項２記載の分光器。
4. 【請求項４】前記コリメータに対する前記抽出光の入射
   光路に、任意の波長のλ／２板（９１）を、その主軸方
   向が前記第２次入射光の光軸に垂直な平面内において前
   記第１、第２の回折格子の刻線方向と４５度の角度をな
   すように配置したことを特徴とする請求項１または請求
   項２記載の分光器。