JP2000155924A - Method for forming crown of levitated magnetic head and its device - Google Patents

Method for forming crown of levitated magnetic head and its device

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JP2000155924A
JP2000155924A JP32734098A JP32734098A JP2000155924A JP 2000155924 A JP2000155924 A JP 2000155924A JP 32734098 A JP32734098 A JP 32734098A JP 32734098 A JP32734098 A JP 32734098A JP 2000155924 A JP2000155924 A JP 2000155924A
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Japan
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bar
crown
jig
magnetic head
lap
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JP32734098A
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Japanese (ja)
Inventor
Koichi Nakagawa
浩一 中川
Katsuya Sugai
勝弥 菅井
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Alps Alpine Co Ltd
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Alps Electric Co Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/048—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a crown formation method and device with high mass production for forming a crown having protrusions only to the longitudinal direction of a slider by reducing the fluctuation of the shape of the crown. SOLUTION: This method for forming the crown of a levitated magnetic head is realized by using a jig 3 having a protruding curved surface 6 with curvature radius R1 and a lap surface plate 2 having a working face 4 formed like a recessed curved surface whose curvature radius R2, and R1>R2 is set. Then, the lower face (face to be worker) of an almost rectangular parallelepiped bar formed so that one or more magnetic head elements can be lined up in a row on the side wall face is faced to the lap surface plate 2 side, and the bar is placed through an elastic sheet on the jig 3. The bar is deformed like an arc along the longitudinal direction, and adhered to the protruding curved surface 6 with the elastic sheet, and the upper face (face to be worked) is butted to the working face 4, and the upper face (face to be worked) and the working face 4 are relatively moved so that the upper face (face to be worked) can be lapped.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、浮上式磁気ヘッド
の浮上面にクラウンを形成する方法に関し、また、浮上
式磁気ヘッドのクラウン形成装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a crown on a flying surface of a flying magnetic head, and to a crown forming apparatus for a flying magnetic head.

【０００２】[0002]

【従来の技術】浮上式磁気ヘッドは、磁気記録媒体から
浮上しつつ、磁気記録媒体に対して情報の記録及び再生
を行うものである。この浮上式磁気ヘッドは、磁気記録
媒体の移動によって磁気記録媒体から浮上し、磁気記録
媒体の停止により再び磁気記録媒体上に載置するいわゆ
るＣＳＳ方式に基づいて動作する。浮上式磁気ヘッドと
磁気記録媒体は、それぞれ対向する面の平滑性が高いた
めに互いに吸着しやすく、浮上式磁気ヘッド及び磁気記
録媒体に不具合が生ずるおそれがある。そこで、浮上式
磁気ヘッドの浮上面を凸曲面とし、浮上面と磁気記録媒
体との接触面積を小さくして相互の吸着を防止すること
が行われている。浮上面に形成された凸曲面はクラウン
と称されている。このクラウンの形成には、従来から種
々の方法が採用されている。2. Description of the Related Art A floating magnetic head performs recording and reproduction of information on and from a magnetic recording medium while floating from the magnetic recording medium. The floating magnetic head operates based on a so-called CSS system in which the magnetic recording medium floats from the magnetic recording medium by moving, and is mounted on the magnetic recording medium again when the magnetic recording medium stops. The floating magnetic head and the magnetic recording medium are easily attracted to each other due to the high smoothness of the surfaces facing each other, and there is a possibility that the floating magnetic head and the magnetic recording medium may have problems. Therefore, the floating surface of the floating magnetic head is made to have a convex curved surface, and the contact area between the floating surface and the magnetic recording medium is reduced to prevent mutual adsorption. The convex curved surface formed on the air bearing surface is called a crown. Various methods have conventionally been employed for forming the crown.

【０００３】そこで、従来の浮上式磁気ヘッドのクラウ
ン形成方法を図面を参照して説明する。図１０には、従
来の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法の第１の例を
示す。図１０において、浮上式磁気ヘッド素子が一列に
連なってなる略直方体状のバー６１と、溝治具６２を用
意する。バー６１は、その一面（左側面）６１ａに複数
の磁気ヘッド゛素子が形成されている。バー６１は、多
数の磁気ヘッド素子が形成されたウエハを略直方体状に
切り出し、他面（底面）６１ｃを研磨して磁気ヘッド素
子のコイルとギャップの間隔を調整したものである。ま
た、溝治具６２には、その一面（上面）に溝６２ａが形
成されている。A conventional method for forming a crown of a floating magnetic head will be described with reference to the drawings. FIG. 10 shows a first example of a conventional crown forming method for a floating magnetic head. In FIG. 10, a substantially rectangular parallelepiped bar 61 in which floating magnetic head elements are arranged in a row and a groove jig 62 are prepared. The bar 61 has a plurality of magnetic head elements on one surface (left side surface) 61a. The bar 61 is obtained by cutting a wafer on which a large number of magnetic head elements are formed into a substantially rectangular parallelepiped shape and polishing the other surface (bottom surface) 61c to adjust the gap between the coil of the magnetic head element and the gap. The groove jig 62 has a groove 62a formed on one surface (upper surface).

【０００４】次に、溶融したワックス６３を溝６２ａに
塗布し、バー６１を、他面６１ｃを下とし、他面６１ｃ
とワックス６３が触れるようにして溝治具６２に載置す
る。次にワックス６３を冷却固化させることによりワッ
クス６３を収縮させ、バー６１を弧状に変形させる。バ
ー６１は、ワックス６３により溝治具６２に固定され
る。このとき、湾曲したバーの他面６１ｃは凸曲面とさ
れる。次に、バー６１の他面６１ｃに対向して湾曲して
いる面６１ｂを研磨して平面６１ｄとする。次に、バー
６１を溝治具６２から取り外し、バーの長手方向に対し
て等間隔に切断して浮上式磁気ヘッドを得る。この浮上
式磁気ヘッドには、バー６１の変形により凸曲面とされ
たクラウンが形成される。Next, a molten wax 63 is applied to the groove 62a, and the bar 61 is placed on the other surface 61c with the other surface 61c facing down.
And the wax 63 is placed on the groove jig 62 so as to be in contact with the wax 63. Next, the wax 63 is contracted by cooling and solidifying the wax 63, and the bar 61 is deformed into an arc shape. The bar 61 is fixed to the groove jig 62 by the wax 63. At this time, the other surface 61c of the curved bar is a convex curved surface. Next, the curved surface 61b facing the other surface 61c of the bar 61 is polished to a flat surface 61d. Next, the bar 61 is removed from the groove jig 62 and cut at equal intervals in the longitudinal direction of the bar to obtain a floating magnetic head. The flying magnetic head has a crown formed as a convex curved surface by deformation of the bar 61.

【０００５】図１１には、従来の浮上式磁気ヘッドのク
ラウン形成方法の第２の例を示す。図１１において、ま
ず略直方体状の磁気ヘッドスライダ７１を用意する。磁
気ヘッドスライダ７１には、予め磁気ヘッド素子（図示
せず）が設けられている。また、磁気ヘッドスライダ７
１の浮上面７２には、一対のレール７２ａ、７２ａが形
成されている。次に、磁気ヘッドスライダ７１のレール
７２ａ、７２ａの間にレーザー光７４を照射して、磁気
ヘッドスライダ７１の短手方向に沿った複数のクラック
７３…を形成する。次に、磁気ヘッドスライダ７１をそ
の長手方向に沿って弧状に変形し、浮上面７２を凸曲面
とする。浮上面７２にはクラック７３…が形成されてい
るので、磁気ヘッドスライダ７１は容易に変形される。
このようにして、磁気ヘッドスライダ７１の浮上面７２
にクラウンが形成される。FIG. 11 shows a second example of a conventional method for forming a crown of a floating magnetic head. In FIG. 11, first, a substantially rectangular parallelepiped magnetic head slider 71 is prepared. The magnetic head slider 71 is provided with a magnetic head element (not shown) in advance. Also, the magnetic head slider 7
On one floating surface 72, a pair of rails 72a, 72a is formed. Next, a laser beam 74 is irradiated between the rails 72a, 72a of the magnetic head slider 71 to form a plurality of cracks 73 along the lateral direction of the magnetic head slider 71. Next, the magnetic head slider 71 is deformed in an arc shape along the longitudinal direction, and the flying surface 72 is formed into a convex curved surface. Since the cracks 73 are formed on the flying surface 72, the magnetic head slider 71 is easily deformed.
Thus, the flying surface 72 of the magnetic head slider 71
A crown is formed.

【０００６】図１２には、従来の浮上式磁気ヘッドのク
ラウン形成方法の第３の例を示す。図１２において、ま
ず略直方体状の磁気ヘッドスライダ８１を用意する。ま
た、加工面８５ａが凹曲面状であるラップ定盤８５を用
意する。磁気ヘッドスライダ８１には、予め磁気ヘッド
素子（図示せず）が設けられている。また、磁気ヘッド
スライダ８１の浮上面８２には、一対のレール８２ａ、
８２ａが形成されている。FIG. 12 shows a third example of a conventional method for forming a crown of a floating magnetic head. 12, first, a substantially rectangular parallelepiped magnetic head slider 81 is prepared. Also, a lap surface plate 85 having a processing surface 85a having a concave curved surface is prepared. The magnetic head slider 81 is provided with a magnetic head element (not shown) in advance. Also, a pair of rails 82a are provided on the floating surface 82 of the magnetic head slider 81.
82a are formed.

【０００７】次に、磁気ヘッドスライダ８１を、浮上面
８２を上にし、かつ弾性シート８３を介して治具８４の
平面８４ａ上に固定する。次に、磁気ヘッドスライダ８
１が固定された治具８４を、磁気ヘッドスライダ８１の
浮上面８２とラップ定盤８５の加工面８５ａとが当接さ
れるように定盤８５上に載置する。次に、加工面８５ａ
上に研磨剤を散布し、磁気ヘッドスライダ８１に治具８
４による荷重をかけて浮上面８２を加工面８５ａに押し
当てる。更にラップ定盤８５を回転させつつ治具８４を
回転させ、磁気ヘッドスライダ８１の浮上面８２と加工
面８５ａとを互いに摺動させてラップ処理を行う。この
とき浮上面８２は、加工面８５ａの形状が転写されて凸
曲面となり、その曲率は加工面８５ａの曲率と同等とな
る。このようにして得られた磁気ヘッドスライダ８１に
は、その長手方向及び短手方向に沿って凸曲面とされる
クラウン８７が形成される。Next, the magnetic head slider 81 is fixed on the flat surface 84a of the jig 84 via the elastic sheet 83 with the flying surface 82 facing upward. Next, the magnetic head slider 8
The jig 84 to which 1 is fixed is placed on the surface plate 85 so that the flying surface 82 of the magnetic head slider 81 and the processing surface 85a of the lap surface plate 85 are in contact with each other. Next, the processing surface 85a
The abrasive is sprayed on the jig 8 and the jig 8
The floating surface 82 is pressed against the processing surface 85a by applying a load of 4. Further, the jig 84 is rotated while the lapping plate 85 is rotated, and the floating surface 82 of the magnetic head slider 81 and the processing surface 85a are slid with each other to perform the lapping process. At this time, the flying surface 82 is transferred to the shape of the processing surface 85a and becomes a convex curved surface, and its curvature becomes equal to the curvature of the processing surface 85a. On the magnetic head slider 81 thus obtained, a crown 87 having a convex curved surface is formed along the longitudinal direction and the lateral direction.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の浮上式
磁気ヘッドのクラウン形成方法の第１の例においては、
クラウンの形成がワックス６３の収縮及び溝治具６２の
溝６２ａによるので、クラウンの形状のばらつきが生じ
やすいという課題があった。However, in the first example of the conventional method of forming a crown of a floating magnetic head,
Since the formation of the crown is caused by the shrinkage of the wax 63 and the groove 62a of the groove jig 62, there is a problem that the shape of the crown tends to vary.

【０００９】また、従来の浮上式磁気ヘッドのクラウン
形成方法の第２の例においては、レーザー光７４を複数
回照射してクラック７３を形成させる必要があるので工
程が複雑となり、生産性が低いという課題があった。In the second example of the conventional method of forming a crown of a floating magnetic head, it is necessary to irradiate a laser beam 74 a plurality of times to form a crack 73, so that the process becomes complicated and the productivity is low. There was a problem that.

【００１０】更に、従来の浮上式磁気ヘッドのクラウン
形成方法の第３の他の例においては、磁気ヘッドスライ
ダ８１を１個づつ取り扱うので生産性が低く、また、ク
ラウンの形状は、磁気ヘッドスライダ８１の長手方向及
び短手方向に凸である凸曲面（クロスクラウン）とさ
れ、磁気ヘッドスライダ８１の長手方向のみに凸である
クラウンを形成させることができないという課題があっ
た。Further, in the third other example of the conventional method for forming a crown of a floating magnetic head, the productivity is low because the magnetic head sliders 81 are handled one by one. The magnetic head slider 81 has a convex curved surface (cross crown) that is convex in the longitudinal direction and the lateral direction, and there is a problem that a crown that is convex only in the longitudinal direction of the magnetic head slider 81 cannot be formed.

【００１１】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであって、生産性が高く、クラウン形状のば
らつきが小さく、スライダの長手方向のみに凸であるク
ラウンを形成させることが可能なクラウン形成方法を提
供することを目的とする。また本発明は、生産性が高
く、クラウン形状のばらつきが小さく、スライダの長手
方向のみに凸であるクラウンを形成することが可能なク
ラウン形成装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is capable of forming a crown having high productivity, small variations in crown shape, and convex only in the longitudinal direction of the slider. It is an object of the present invention to provide a simple crown forming method. Another object of the present invention is to provide a crown forming apparatus which has high productivity, has small variations in crown shape, and can form a crown which is convex only in the longitudinal direction of the slider.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は以下の構成を採用した。本発明の浮上式
磁気ヘッドのクラウン形成方法は、側壁面に１以上の磁
気ヘッド素子が一列に連なって形成されてなる略直方体
状のバーの前記側壁面に隣接する被加工面をラップ処理
し、該バーを短手方向に沿って切断することにより、前
記被加工面が浮上面となり、かつ少なくとも１つの前記
磁気ヘッド素子を具備してなる浮上式磁気ヘッドを製造
する際に、曲率半径Ｒ1の凸曲面を有する治具と、曲率
半径Ｒ2の凹曲面状の加工面を有するラップ定盤とを用
いて、Ｒ1＞Ｒ2とし、前記バーの前記被加工面をラップ
定盤側にして、前記バーを前記治具の前記凸曲面に弾性
シートを介して載置し、前記バーを長手方向に沿って弧
状に変形して前記弾性シートと共に前記凸曲面に貼り付
け、前記バーの被加工面を前記ラップ定盤の前記加工面
に当接し、前記被加工面と前記加工面とを相対移動させ
て前記被加工面をラップ処理することにより、前記浮上
式磁気ヘッドの前記浮上面にクラウンを形成させること
を特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention employs the following constitution. In the method of forming a crown of a floating magnetic head according to the present invention, a surface to be processed adjacent to the side wall surface of a substantially rectangular parallelepiped bar having one or more magnetic head elements formed in a row on the side wall surface is lapped. By cutting the bar along the transverse direction, the surface to be processed becomes a floating surface, and when manufacturing a floating magnetic head including at least one magnetic head element, the curvature radius R a jig having a first convex curved surface, by using a lap plate having a concave surface shaped working surface radius of curvature R 2, R 1> and R 2, the processed surface lap plate side of the bar Then, the bar is placed on the convex curved surface of the jig via an elastic sheet, the bar is deformed in an arc shape along the longitudinal direction, and is attached to the convex curved surface together with the elastic sheet, Place the work surface on the work surface of the lap platen Contact, said by the workpiece surface and the processing surface are relatively moved to lapping said workpiece surface, characterized in that to form a crown on the floating surface of the floating magnetic head.

【００１３】また、前記の浮上式磁気ヘッドのクラウン
形成方法においては、前記ラップ定盤を回転し、かつ前
記バーを前記ラップ定盤の回転方向と直交する方向に揺
動して、前記バーの被加工面と前記ラップ定盤の前記加
工面とを相対移動させることが好ましい。更に、前記の
浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法においては、前記
バーと同一形状かつ同一材料からなるダミーバーを、前
記バーの長手方向に対して平行に、かつ前記バーと離間
して弾性シートを介在して前記治具の前記凸曲面に貼り
付けたことが好ましい。In the above-mentioned method for forming a crown of a floating magnetic head, the lap plate is rotated, and the bar is swung in a direction orthogonal to the rotation direction of the lap plate to form the bar. It is preferable that the work surface and the work surface of the lap surface plate are relatively moved. Further, in the method for forming a crown of a floating magnetic head, a dummy bar having the same shape and the same material as the bar is provided with an elastic sheet interposed in parallel with a longitudinal direction of the bar and separated from the bar. Then, the jig is preferably attached to the convex curved surface of the jig.

【００１４】本発明のクラウン形成装置は、凹曲面状の
加工面を有するラップ定盤と、凸曲面を有する治具と、
前記治具の前記凸曲面を前記ラップ定盤の前記加工面に
対向させて、前記治具と前記加工面とを相対移動させる
駆動手段とを具備してなり、前記治具の前記凸曲面の曲
率半径Ｒ1と前記ラップ定盤の前記加工面の曲率半径Ｒ2
が、Ｒ1＞Ｒ2とされ、１以上の浮上式磁気ヘッド素子が
側壁面に一列に連なって形成してなる略直方体状のバー
が、被加工面をラップ定盤側にして長手方向に沿って弧
状に変形されて弾性シートを介して前記治具の前記凸曲
面に貼り付けられて、前記バーの前記被加工面が前記加
工面に当接されるように構成されたことを特徴とする。[0014] The crown forming apparatus of the present invention comprises: a lap surface plate having a concave curved processing surface; a jig having a convex curved surface;
Driving means for moving the jig and the processing surface relative to each other so that the convex surface of the jig faces the processing surface of the lap platen, The radius of curvature R 1 and the radius of curvature R 2 of the processing surface of the lap platen
It is assumed that R 1 > R 2, and a substantially rectangular parallelepiped bar in which one or more floating magnetic head elements are formed in a row on the side wall surface is formed in the longitudinal direction with the surface to be processed being the lap surface side. The bar is deformed in an arc shape, is attached to the convex curved surface of the jig via an elastic sheet, and the processed surface of the bar is configured to be in contact with the processed surface. I do.

【００１５】また、前記駆動手段は、前記ラップ定盤を
回転させる回転機構と、 前記治具を保持して前記バー
の前記被加工面を前記ラップ定盤の前記加工面に押し当
てて、前記治具を前記ラップ定盤の回転方向と直交する
方向に揺動させる揺動機構とからなり、前記バーは、前
記バーの長手方向が前記治具の揺動方向と一致するよう
に、前記治具に取り付けられたことを特徴とする。更
に、前記のクラウン形成装置においては、前記バーと同
一形状かつ同一材料からなるダミーバーが、前記バーの
長手方向に対して平行に、かつ前記バーと離間して弾性
シートを介して前記治具の前記凸曲面に貼り付けられた
ことが好ましい。[0015] The driving means may further comprise: a rotating mechanism for rotating the lap plate; holding the jig and pressing the processed surface of the bar against the processed surface of the lap plate; A swinging mechanism for swinging the jig in a direction orthogonal to the rotation direction of the lap platen, wherein the bar is arranged so that a longitudinal direction of the bar coincides with a swinging direction of the jig. It is characterized by being attached to a tool. Further, in the crown forming device, a dummy bar having the same shape and the same material as the bar is parallel to a longitudinal direction of the bar, and is separated from the bar by an elastic sheet. It is preferable that it is attached to the convex curved surface.

【００１６】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態である
浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法及びクラウン形成
装置を図面を参照して説明する。図１には、本発明に係
るクラウン形成装置１を示す。このクラウン形成装置１
は、テーブルＴの上に設けられたラップ定盤２と、その
上に設けられた治具３と、駆動手段１０と、ラップ定盤
２の背後側に立設された制御盤Ｓと、この制御盤Ｓに支
持された揺動板１１と、研磨液噴出ノズル１６と、修正
リング１５とを主体として構成されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method and apparatus for forming a crown of a floating magnetic head according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a crown forming apparatus 1 according to the present invention. This crown forming device 1
A lap plate 2 provided on a table T, a jig 3 provided thereon, a driving means 10, a control plate S provided upright behind the lap plate 2, The oscillating plate 11 supported by the control panel S, the polishing liquid jet nozzle 16, and the correction ring 15 are mainly configured.

【００１７】ラップ定盤２は、図２Ａ及び図２Ｂに示す
ように、その形状が略円盤状とされ、その上面が凹曲面
状である加工面４とされている。加工面４は、ラップ定
盤２の中央に向けて下方に傾斜している。As shown in FIGS. 2A and 2B, the lapping platen 2 has a substantially disk shape and a processed surface 4 having a concave upper surface. The processing surface 4 is inclined downward toward the center of the lap surface plate 2.

【００１８】治具３は、図３に示すように円柱状であっ
てその上面が凸曲面６とされている。また、凸曲面６に
は、図４Ａ〜図４Ｃに示すように、バー２１が取り付け
られている。バー２１は、浮上式磁気ヘッドのスライダ
の材料からなるウエハの一面に、多数の磁気ヘッド素子
を薄膜形成技術等を用いて形成した後に、ウエハーの一
部を切り出して略直方体としたものである。バー２１
は、図５Ａに示すように、側壁面２３に複数の磁気ヘッ
ド素子２９…が一列に連なって配置されるようにウエハ
ーから切り出されたものである。バー２１の側壁面２３
に隣接する上面（被加工面）２４は、最終的に得られる
浮上式磁気ヘッドの浮上面となる。バー２１は、図５Ｂ
及び図５Ｃに示すように、上面（被加工面）２４を上に
し、上面２４と対向する低面２５を下にして、バー２１
の長手方向に沿って弧状に変形されて治具３に取り付け
られている。バー２１を変形させるには、バー２１を予
め加熱しておくことが好ましい。The jig 3 has a columnar shape as shown in FIG. Further, a bar 21 is attached to the convex curved surface 6 as shown in FIGS. 4A to 4C. The bar 21 is formed by forming a large number of magnetic head elements on one surface of a wafer made of a material of a slider of a floating magnetic head by using a thin film forming technique or the like, and then cutting out a part of the wafer to form a substantially rectangular parallelepiped. . Bar 21
5A is cut out from the wafer such that a plurality of magnetic head elements 29 are arranged in a row on the side wall surface 23 as shown in FIG. 5A. Side wall surface 23 of bar 21
The upper surface (worked surface) 24 adjacent to the surface becomes the floating surface of the finally obtained floating magnetic head. Bar 21 is shown in FIG.
As shown in FIG. 5C, the upper surface (working surface) 24 is turned up, and the lower surface 25 facing the upper surface 24 is turned down.
Are attached to the jig 3 in an arc shape along the longitudinal direction. To deform the bar 21, it is preferable to heat the bar 21 in advance.

【００１９】図４Ａに示すように、治具３の凸曲面６に
は、バー２１と同一形状かつ同一材料からなるダミーバ
ー２２が、バー２１の長手方向と平行に、かつバー２１
と離間されて取り付けられる。また、図４Ａに示すよう
に、バー２１及びダミーバー２２と凸曲面６との間に
は、弾性シート３０が介在されている。弾性シート３０
は、例えばウレタンからなるものであり、表面が粘着性
を有していてバー２１を凸曲面６に固定することが可能
となっている。また、弾性シート３０の硬度（ＪＩＳ
Ａ）は、６以上４０以下であることが好ましく、１０以
上２０以下であることがより好ましい。更に、弾性シー
トの厚さは、０．１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることが好
ましく、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることがより好
ましい。ラップ定盤２の加工面４の曲率半径Ｒ1と治具
３の凸曲面６の曲率半径Ｒ2は、Ｒ1＞Ｒ2とされてい
る。As shown in FIG. 4A, a dummy bar 22 having the same shape and the same material as the bar 21 is provided on the convex curved surface 6 of the jig 3 in parallel with the longitudinal direction of the bar 21.
It is attached at a distance. As shown in FIG. 4A, an elastic sheet 30 is interposed between the bar 21 and the dummy bar 22 and the convex curved surface 6. Elastic sheet 30
Is made of, for example, urethane, and has a sticky surface so that the bar 21 can be fixed to the convex curved surface 6. The hardness of the elastic sheet 30 (JIS
A) is preferably from 6 to 40, more preferably from 10 to 20. Furthermore, the thickness of the elastic sheet is preferably from 0.1 mm to 3 mm, more preferably from 0.5 mm to 1 mm. The radius of curvature R 1 of the processing surface 4 of the lap surface plate 2 and the radius of curvature R 2 of the convex curved surface 6 of the jig 3 satisfy R 1 > R 2 .

【００２０】図１に示すように、駆動手段１０は、ラッ
プ定盤２を回転させる回転機構１７と、治具３をラップ
定盤２の加工面４に押し当てて、治具３をラップ定盤２
の回転方向と直交する方向に揺動させる揺動機構１８と
からなる。回転機構１７は、ラップ定盤２を回転させる
ものであればどのようなものであっても良い。例えば図
１に示すように、ラップ定盤２の中央に連結され、ラッ
プ定盤２を矢印Ａ方向に回転させるモータ７であっても
良い。揺動機構１８は、制御盤Ｓの前面側に設けられた
揺動板１１と、揺動板１１の前面上部に設けられた凸部
１２と、凸部１２から下方に突出する左右一対の荷重棒
１３、１３と、荷重棒１３、１３に吊り下げて設けられ
た荷重ブロック１４とからなる。As shown in FIG. 1, the driving means 10 presses the jig 3 against the processing surface 4 of the lap platen 2 by rotating the lapping plate 2 with a rotating mechanism 17 to rotate the jig 3. Board 2
And a swing mechanism 18 for swinging in a direction orthogonal to the rotation direction of The rotating mechanism 17 may be of any type as long as it rotates the lap platen 2. For example, as shown in FIG. 1, a motor 7 connected to the center of the lap surface plate 2 and rotating the lap surface plate 2 in the direction of arrow A may be used. The oscillating mechanism 18 includes an oscillating plate 11 provided on the front side of the control panel S, a convex portion 12 provided on an upper front portion of the oscillating plate 11, and a pair of right and left loads projecting downward from the convex portion 12. It comprises rods 13, 13 and load blocks 14 suspended from the load rods 13, 13.

【００２１】揺動板１１の背面側には、図１に示すよう
に、支持面１９が設けられ、支持面１９のラップ定盤２
側の前面には、図１５に示すレール部材１１８、１１８
が取り付けられ、これらのレール部材１１８、１１８に
係合するようにレール受け部材１１９、１１９が設けら
れ、レール受け部材１１９、１１９が揺動板１１の背面
に接続されていて、揺動板１１はレール部材１１８、１
１８に沿って左右往復移動できるように構成されてい
る。As shown in FIG. 1, a support surface 19 is provided on the back side of the swing plate 11, and the lap surface plate 2 of the support surface 19 is provided.
The rail members 118, 118 shown in FIG.
And rail receiving members 119 and 119 are provided so as to engage with the rail members 118 and 118. The rail receiving members 119 and 119 are connected to the back surface of the swing plate 11, Are the rail members 118, 1
It is configured to be able to reciprocate left and right along 18.

【００２２】また、支持面１９の前面側には、図１５に
示すようにモータ１２０とリンクアーム１２３が揺動板
１１と支持盤１９との間に位置して設けられ、モータ１
２０の回転軸１２１に取り付けられたアーム板１２２の
端部にリンクアーム１２３の一端がピン１２５により回
動自在に連結され、このリンクアーム１２３の他端が駆
動板１２６の中央部にピン１２７により回動自在に連結
されると共に、駆動板１２６の上下部にそれぞれレール
受け部材１１９、１１９が取り付けられている。On the front side of the support surface 19, a motor 120 and a link arm 123 are provided between the swing plate 11 and the support plate 19 as shown in FIG.
One end of a link arm 123 is rotatably connected to an end of an arm plate 122 attached to the rotation shaft 121 of the drive shaft 126 by a pin 125, and the other end of the link arm 123 is connected to a center of a drive plate 126 by a pin 127. In addition to being rotatably connected, rail receiving members 119 and 119 are attached to upper and lower portions of the driving plate 126, respectively.

【００２３】以上の構成により、モータ１２０の回転に
伴ってアーム板１２２が回転され、これによりリンクア
ーム１２３の一端側が偏心回転すると共に、リンクアー
ム１２３の他端側が駆動板１２６をレール部材１１８、
１１８の沿って左右に往復移動させるので、揺動板１１
が図１における矢印Ｘ方向に揺動可能とされている。With the above arrangement, the arm plate 122 is rotated with the rotation of the motor 120, whereby one end of the link arm 123 rotates eccentrically, and the other end of the link arm 123 connects the drive plate 126 to the rail member 118,
Since the reciprocating movement is performed right and left along 118, the swinging plate 11
Are swingable in the direction of arrow X in FIG.

【００２４】図１に示すように、凸曲面６がラップ定盤
２の加工面４と対向するように荷重ブロック１４に取り
付けられて、荷重棒１３、１３に内蔵された図示しない
弾性材によりラップ定盤２に向けて治具３は付勢されて
いる。このようにして、バー２１及びダミーバー２２
は、加工面４に押し当てられる。As shown in FIG. 1, the convex curved surface 6 is attached to the load block 14 so as to face the processing surface 4 of the lap platen 2 and is wrapped by an elastic material (not shown) built in the load rods 13, 13. The jig 3 is biased toward the surface plate 2. Thus, the bar 21 and the dummy bar 22
Is pressed against the processing surface 4.

【００２５】治具３は、図６及び図７に示すように、バ
ー２１の上面（被加工面）２４とラップ定盤２の加工面
４とが当接するように加工面４上に配置される。また、
バー２１及びダミーバー２２は、バー２１及びダミーバ
ー２２の長手方向と、治具３の揺動方向とが一致するよ
うに、治具にに取り付けられることが好ましい。As shown in FIGS. 6 and 7, the jig 3 is disposed on the processing surface 4 so that the upper surface (working surface) 24 of the bar 21 and the processing surface 4 of the lapping plate 2 come into contact with each other. You. Also,
The bar 21 and the dummy bar 22 are preferably attached to the jig such that the longitudinal direction of the bar 21 and the dummy bar 22 coincides with the swing direction of the jig 3.

【００２６】図１に示すように、研磨液噴出ノズル１６
は、ラップ定盤２の加工面４に向けて研磨液を噴出する
ものである。研磨液には、例えばダイヤモンド砥粒等が
含まれている。修正リング１５は、ラップ定盤２の加工
面４と当接して固定されている。ラップ定盤２の回転に
よって加工面４と修正リング１５とが摺動して、研磨液
を加工面４の全体に均一に塗布させることが可能となっ
ている。As shown in FIG. 1, the polishing liquid jet nozzle 16
Is for spraying a polishing liquid toward the processing surface 4 of the lap surface plate 2. The polishing liquid contains, for example, diamond abrasive grains. The correction ring 15 is fixed in contact with the processing surface 4 of the lap surface plate 2. The rotation of the lap surface plate 2 causes the processing surface 4 and the correction ring 15 to slide, so that the polishing liquid can be uniformly applied to the entire processing surface 4.

【００２７】上述のクラウン形成装置１を用いて、バー
２１の上面（被加工面）２４にクラウンを形成するに
は、次のような操作を行う。まず、加工面４上に研磨液
噴出ノズル１６から研磨液を散布する。次に、ラップ定
盤２を回転させ、治具に取り付けられたバー２１及びダ
ミーバー２２を、揺動機構１８により加工面４に押し当
てながらラップ定盤２の回転方向の直交方向に揺動し
て、バー２１及びダミーバー２２と加工面４を相対移動
させ、バー２１の上面（被加工面）２４及びダミーバー
と加工面４とを互いに摺動させて、バー２１の上面２４
にラップ処理を施す。このとき、ダミーバー２２は、バ
ー２１と同様にして加工面４によりラップ処理される。In order to form a crown on the upper surface (working surface) 24 of the bar 21 by using the above-described crown forming apparatus 1, the following operation is performed. First, a polishing liquid is sprayed from the polishing liquid jet nozzle 16 onto the processing surface 4. Next, the lapping plate 2 is rotated, and the bar 21 and the dummy bar 22 attached to the jig are rocked in a direction perpendicular to the rotation direction of the lapping plate 2 while being pressed against the processing surface 4 by the rocking mechanism 18. Then, the bar 21 and the dummy bar 22 and the processing surface 4 are relatively moved, and the upper surface (processed surface) 24 of the bar 21 and the dummy bar and the processing surface 4 are slid with each other.
Is wrapped. At this time, the dummy bar 22 is wrapped by the processing surface 4 in the same manner as the bar 21.

【００２８】ここで、クラウン形成装置１の要部を図
４、図６、図７に示す。図４Ａ、図４Ｂに示すように、
バー２１が治具３に取り付けられたときは、バー２１が
長手方向に沿って容易に弧状に変形して治具３の凸曲面
６に密着するため、バー２１の上面２４は長手方向に沿
って曲面となり、その曲率半径は、バー２１及び弾性シ
ート３０の厚み分だけ凸曲面６の曲率半径よりも大きく
なっている。更に、加工面４の曲率半径よりも凸曲面６
の曲率半径が大きいので、バー２１の上面２４の曲率半
径は、加工面４の曲率半径よりも大きくなる。Here, the main part of the crown forming apparatus 1 is shown in FIG. 4, FIG. 6, and FIG. As shown in FIGS. 4A and 4B,
When the bar 21 is attached to the jig 3, the bar 21 is easily deformed into an arc shape along the longitudinal direction and closely adheres to the convex curved surface 6 of the jig 3, so that the upper surface 24 of the bar 21 extends along the longitudinal direction. The curvature radius is larger than the curvature radius of the convex curved surface 6 by the thickness of the bar 21 and the elastic sheet 30. Further, the convex surface 6 is larger than the radius of curvature of the processing surface 4.
Is large, the radius of curvature of the upper surface 24 of the bar 21 is larger than the radius of curvature of the processing surface 4.

【００２９】次に、図６に示すように、バー２１が加工
面４に押し当てられると、バー２１の長手方向の両端
が、加工面４に押されて弾性シート３０が変形し、上面
２４の曲率半径が加工面４の曲率半径とほぼ等しくな
る。このとき、バー２１の両端部分では、弾性シート３
０がバー２１からはみ出るように変形するため、治具３
から印加される荷重は、バーの中央部分よりもバーの両
端部分の方が小さくなる。このとき、加工面４の曲率半
径Ｒ2と凸曲面の曲率半径Ｒ1との関係がＲ1＞Ｒ2である
と、バー２１の両端部分を凸曲面６が押して、バー２１
の上面２４の全面を均等に加工面４に押し当てることが
可能となる。Next, as shown in FIG. 6, when the bar 21 is pressed against the processing surface 4, both ends in the longitudinal direction of the bar 21 are pressed by the processing surface 4, and the elastic sheet 30 is deformed. Is substantially equal to the radius of curvature of the processing surface 4. At this time, the elastic sheet 3
The jig 3 is deformed so that 0 protrudes from the bar 21.
Is smaller at both ends of the bar than at the center of the bar. At this time, the relationship between the radius of curvature R 1 of the radius of curvature R 2 and the convex curved surface of the machined surface 4 is in R 1> R 2, press the both end portions of the bar 21 the convex surface 6, bars 21
Can be uniformly pressed against the processing surface 4.

【００３０】バー２１の上面２４の曲率半径は、その長
さ方向に対して加工面４の曲率半径とほぼ同等となり、
バー２１は、治具３によりバー２１の長手方向と平行な
方向に揺動されるので、バー２１の長さ方向に対して均
一にラップ処理される。The radius of curvature of the upper surface 24 of the bar 21 is substantially equal to the radius of curvature of the processing surface 4 in the longitudinal direction.
Since the bar 21 is swung by the jig 3 in a direction parallel to the longitudinal direction of the bar 21, the bar 21 is uniformly lapped in the longitudinal direction of the bar 21.

【００３１】弾性シート３０の硬度（ＪＩＳ Ａ）は、
上述のように、１０以上２０以下であることが好まし
い。硬度が１０未満であると、弾性シート３０の弾性歪
みが大きくなって、バー２１からはみ出しやすくなり、
バー２１の上面２４の全面を均等に加工面４に押し当て
ることができなくなるので好ましくない。また、硬度が
２０を越えると、弾性シート３０の弾性歪みが小さくな
って、バー２１を加工面に押し当てたときに、バー２１
の上面２４と加工面４との曲率半径を一致させることが
できなくなり、バー２１の長手方向に対して均一なクラ
ウンを形成させることができなくなるので好ましくな
い。The hardness (JIS A) of the elastic sheet 30 is
As described above, the number is preferably 10 or more and 20 or less. When the hardness is less than 10, the elastic strain of the elastic sheet 30 increases, and the elastic sheet 30 easily protrudes from the bar 21.
This is not preferable because the entire upper surface 24 of the bar 21 cannot be uniformly pressed against the processing surface 4. On the other hand, if the hardness exceeds 20, the elastic distortion of the elastic sheet 30 decreases, and when the bar 21 is pressed against the processing surface,
The curvature radius of the upper surface 24 cannot be matched with the radius of curvature of the processing surface 4, and a uniform crown cannot be formed in the longitudinal direction of the bar 21, which is not preferable.

【００３２】また、上述のように、弾性シートの厚さ
は、０．１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることが好ましい。
厚さが０．１ｍｍ未満では、弾性シート３０が薄すぎ
て、バー２１の長手方向の両端が凸曲面６と干渉して、
バー２１の上面２４と加工面４との曲率半径を一致させ
ることができなくなるので好ましくない。また、厚さが
３ｍｍを越えると、弾性シート３０が厚すぎるためにバ
ー２１と凸曲面６との距離が大きくなり、バー２１を安
定して弧状に変形させることができなくなるので好まし
くない。As described above, the thickness of the elastic sheet is preferably 0.1 mm or more and 3 mm or less.
When the thickness is less than 0.1 mm, the elastic sheet 30 is too thin, and both ends in the longitudinal direction of the bar 21 interfere with the convex curved surface 6,
The curvature radius of the upper surface 24 of the bar 21 and the radius of curvature of the processing surface 4 cannot be matched, which is not preferable. On the other hand, if the thickness exceeds 3 mm, the elastic sheet 30 is too thick, so that the distance between the bar 21 and the convex curved surface 6 is increased, and the bar 21 cannot be stably deformed in an arc shape, which is not preferable.

【００３３】次に、バー２１の短手方向においては、図
４Ｃ及び図７に示すように、バー２１が短手方向に剛性
が高く撓みにくいために、上面（被加工面）２４は短手
方向に向けて平坦となっている。従って、図８に示すよ
うに、バー２１の上面２４の短手方向の両端（図中斜線
部分）が、上述と同様にして砥粒に研磨されてラップ処
理され、上面２４が短手方向に向けて凸曲面となる。こ
のとき、バー２１の上面２４は、加工面４の凹曲面が転
写されてラップ処理されるので、上面２４の短手方向に
対する曲率半径は、加工面の曲率半径と同一になる。Next, in the short direction of the bar 21, as shown in FIGS. 4C and 7, the bar 21 has high rigidity in the short direction and is hard to bend, so that the upper surface (worked surface) 24 is short. It is flat in the direction. Therefore, as shown in FIG. 8, both ends (the hatched portions in the figure) of the upper surface 24 of the bar 21 in the short direction are polished into abrasive grains in the same manner as described above, and lapping is performed. It becomes a convex curved surface. At this time, since the concave curved surface of the processing surface 4 is transferred to the upper surface 24 of the bar 21 and wrapped, the radius of curvature of the upper surface 24 in the short direction becomes the same as the radius of curvature of the processing surface.

【００３４】このようにして、ラップ処理後のバー２１
の上面（被加工面）２４は、図９Ａに示すように、バー
２１の短手方向に向けて凸の凸曲面となる。このバー２
１を長手方向に対して等間隔に切断することにより、浮
上式磁気ヘッド２６が得られる（図９Ｂ）。この浮上式
磁気ヘッド２６の浮上面２７は、バー２１の上面（被加
工面）２４であり、浮上面２７には加工面４と同一の曲
率半径のクラウン２８が形成される。In this manner, the bar 21 after the lapping process
As shown in FIG. 9A, the upper surface (worked surface) 24 is a convex curved surface that is convex toward the short direction of the bar 21. This bar 2
By cutting 1 at equal intervals in the longitudinal direction, a floating magnetic head 26 is obtained (FIG. 9B). The flying surface 27 of the flying magnetic head 26 is the upper surface (working surface) 24 of the bar 21, and a crown 28 having the same radius of curvature as the working surface 4 is formed on the flying surface 27.

【００３５】上述の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法は、複数の磁気ヘッド素子が一列に連なってなるバー
２１を治具３の凸曲面６に貼り付け、バー２１を凹曲面
状の加工面４に押し当ててラップ処理するので、複数の
浮上式磁気ヘッドの浮上面を同時にラップ処理すること
が可能となり、浮上式磁気ヘッドの生産性を向上するこ
とができる。In the above-described method of forming a crown of a floating magnetic head, a bar 21 in which a plurality of magnetic head elements are arranged in a row is attached to the convex curved surface 6 of the jig 3 and the bar 21 is formed into a concave curved processing surface 4. The lapping process is performed by pressing the levitation surface of the plurality of floating magnetic heads, so that it is possible to simultaneously lap the floating surfaces of the plurality of floating magnetic heads, thereby improving the productivity of the floating magnetic head.

【００３６】また、上述の浮上式磁気ヘッドのクラウン
形成方法においては、バー２１と凸曲面６との間に弾性
シート３０が介在するので、バー２１を加工面４に押し
当てた際に、弾性シート３０の変形によりバー２１が弾
性変形して、バー２１の上面（被加工面）２４の長さ方
向に対する曲率半径が加工面４の曲率半径と同一になる
ので、バー２１の上面２４を、バー２１の長手方向に対
して均一にラップ処理をすることができると共に、バー
の短手方向に対して加工面４と同等な曲率半径のクラウ
ンとすることができる。In the above-described method for forming a crown of a floating magnetic head, since the elastic sheet 30 is interposed between the bar 21 and the convex curved surface 6, when the bar 21 is pressed against the processing surface 4, the elastic sheet 30 is elastic. The bar 21 is elastically deformed by the deformation of the sheet 30, and the radius of curvature of the upper surface (working surface) 24 of the bar 21 in the longitudinal direction becomes equal to the radius of curvature of the processing surface 4, so that the upper surface 24 of the bar 21 is The lapping process can be performed uniformly in the longitudinal direction of the bar 21, and a crown having the same radius of curvature as the processing surface 4 in the short direction of the bar can be obtained.

【００３７】また、上述の浮上式磁気ヘッドのクラウン
形成方法においては、加工面４の曲率半径Ｒ2と凸曲面
の曲率半径Ｒ1との関係がＲ1＞Ｒ2であるので、バー２
１の長手方向の両端を凸曲面６が押して、バー２１の上
面（被加工面）２４の全面を均等に加工面４に押し当て
ることが可能となり、バー２１の長手方向に対して均一
にラップ処理することができる。また、バー２１を加工
面４に押し当てたときに、バー２１の両端が加工面４に
常に押されるので、バー２１を常に弧状に変形したまま
でラップ処理することができる。また、上記の凸曲面
は、加工面４の形状が転写されて形成されるので、形状
の寸法精度に優れたクラウンを得ることができる。In the above-described method for forming a crown of a floating magnetic head, since the relationship between the radius of curvature R 2 of the processing surface 4 and the radius of curvature R 1 of the convex surface is R 1 > R 2 , the bar 2
1 is pressed by the convex curved surface 6 at both ends in the longitudinal direction, so that the entire upper surface (working surface) 24 of the bar 21 can be evenly pressed against the processing surface 4, and the bar 21 is uniformly wrapped in the longitudinal direction. Can be processed. Further, when the bar 21 is pressed against the processing surface 4, both ends of the bar 21 are constantly pressed against the processing surface 4, so that the lap processing can be performed while the bar 21 is constantly deformed in an arc shape. Further, since the above-mentioned convex curved surface is formed by transferring the shape of the processed surface 4, a crown having excellent dimensional accuracy of the shape can be obtained.

【００３８】上述の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法においては、ラップ定盤２を回転し、かつ治具３をラ
ップ定盤２の回転方向と直交する方向に揺動してバー２
１と加工面４とが相対移動するので、効率よくラップ処
理を行うことができる。また、上述の浮上式磁気ヘッド
のクラウン形成方法においては、バー２１とダミーバー
２２を、それぞれの長手方向に対して相互に平行となる
ように治具３に貼り付けて、バー２１とダミーバー２２
が常に加工面４に押し付けられるので、バー２１は、バ
ー２１の短手方向に対して安定して加工面４と接触して
ラップ処理されることが可能となり、形状の寸法精度に
優れたクラウンを形成することができる。In the above-described method for forming a crown of a floating magnetic head, the bar 2 is rotated by rotating the lapping plate 2 and swinging the jig 3 in a direction perpendicular to the rotation direction of the lapping plate 2.
Since the workpiece 1 and the processing surface 4 move relative to each other, the lapping process can be performed efficiently. Further, in the above-described crown forming method of the floating magnetic head, the bar 21 and the dummy bar 22 are attached to the jig 3 so as to be parallel to each other in the longitudinal direction, and the bar 21 and the dummy bar 22 are attached.
Is constantly pressed against the processing surface 4, so that the bar 21 can be stably wrapped in contact with the processing surface 4 in the short-side direction of the bar 21, and a crown having excellent shape dimensional accuracy can be obtained. Can be formed.

【００３９】上述のクラウン形成装置１は、複数の磁気
ヘッド素子が一列に連なってなるバー２１が貼り付けら
れた治具３と、凹曲面状である加工面４を有するラップ
定盤２と、駆動手段１０とを具備してなるので、複数の
浮上式磁気ヘッドの浮上面を同時にラップ処理すること
ができる。また、治具３は、凸曲面６を有しているの
で、バー２１を長手方向に弧状に変形させたまま保持す
ることが可能であり、バー２１の上面（被加工面）２４
に、バー２１の短手方向に沿って凸であるクラウンを形
成させることができる。The above-described crown forming apparatus 1 includes a jig 3 to which a bar 21 in which a plurality of magnetic head elements are arranged in a row is attached, a lap surface plate 2 having a concavely processed surface 4, Since the drive unit 10 is provided, the floating surfaces of the plurality of floating magnetic heads can be simultaneously lapped. Further, since the jig 3 has the convex curved surface 6, it is possible to hold the bar 21 while deforming the bar 21 in an arc shape in the longitudinal direction.
In addition, a crown that is convex along the short direction of the bar 21 can be formed.

【００４０】また、上述のクラウン形成装置１において
は、バー２１と凸曲面６との間に弾性シート３０が介在
されているので、バー２１が加工面４に押し当てられた
際に、弾性シート３０の変形によりバー２１が弾性変形
されて、バー２１の上面２４の長さ方向に対する曲率半
径が加工面４の曲率半径と同一とされるので、バー２１
の上面２４が、バー２１の長手方向に対して均一にラッ
プ処理されると共に、バーの短手方向に対して加工面４
と同等な曲率半径のクラウンとすることができる。更
に、上述のクラウン形成装置１においては、加工面４の
曲率半径Ｒ2と凸曲面の曲率半径Ｒ1との関係がＲ1＞Ｒ2
とされるので、バー２１の両端部分が凸曲面６に押され
て、バー２１の上面（被加工面）２４の全面を、均等な
力で加工面４に押し当てさせることができる。また、バ
ー２１が加工面４に押し当てられたときに、バー２１の
両端が加工面４に常に押されるので、バー２１を常に弧
状に変形させたままでバー２１にラップ処理を施すこと
ができると共に、バー２１の上面２４の短手方向に対し
て加工面４の形状が転写されて凸曲面が形成されるの
で、形状の寸法精度に優れたクラウンを形成させること
ができる。In the crown forming apparatus 1 described above, since the elastic sheet 30 is interposed between the bar 21 and the convex curved surface 6, the elastic sheet 30 is pressed when the bar 21 is pressed against the processing surface 4. The bar 21 is elastically deformed by the deformation of the bar 30, and the radius of curvature of the upper surface 24 of the bar 21 in the length direction is the same as the radius of curvature of the processing surface 4.
Of the bar 21 is uniformly wrapped in the longitudinal direction of the bar 21 and the processing surface 4 is
And a crown having a radius of curvature equivalent to that of. Further, in the crown forming apparatus 1 described above, the relationship between the radius of curvature R 1 of the radius of curvature R 2 and the convex curved surface of the machined surface 4 is R 1> R 2
Therefore, both end portions of the bar 21 are pressed by the convex curved surface 6, and the entire upper surface (worked surface) 24 of the bar 21 can be pressed against the processed surface 4 with a uniform force. Further, when the bar 21 is pressed against the processing surface 4, both ends of the bar 21 are constantly pressed against the processing surface 4, so that the bar 21 can be lapped while the bar 21 is constantly deformed in an arc shape. At the same time, the shape of the processed surface 4 is transferred to the short side direction of the upper surface 24 of the bar 21 to form a convex curved surface, so that a crown having excellent shape dimensional accuracy can be formed.

【００４１】上述のクラウン形成装置１は、ラップ定盤
２を回転させ、かつ治具３をラップ定盤２の回転方向と
直交する方向に揺動させる駆動手段１０が具備されてい
るので、効率よくラップ処理を行うことができる。ま
た、バー２１は、バー２１の長手方向に揺動されるの
で、バー２１の長手方向に対して均一にラップ処理する
ことができる。更にまた、上述のクラウン形成装置１
は、バー２１とダミーバー２２が、それぞれの長手方向
に対して相互に平行となるように治具３に貼り付けられ
ているので、バー２１は、バー２１の短手方向に対して
揺れることなく安定して加工面４と接触することによ
り、形状の寸法精度に優れたクラウンを形成させること
ができる。The above-described crown forming apparatus 1 is provided with the driving means 10 for rotating the lapping plate 2 and swinging the jig 3 in a direction orthogonal to the rotation direction of the lapping plate 2, so that the efficiency is improved. Wrap processing can be performed well. Further, since the bar 21 is swung in the longitudinal direction of the bar 21, the lapping process can be performed uniformly in the longitudinal direction of the bar 21. Furthermore, the above-described crown forming device 1
Is attached to the jig 3 such that the bar 21 and the dummy bar 22 are parallel to each other in the longitudinal direction, so that the bar 21 does not swing in the short direction of the bar 21. By stably contacting the processing surface 4, it is possible to form a crown having excellent shape dimensional accuracy.

【００４２】[0042]

【実施例】ラップ定盤の加工面の曲率半径Ｒ2と治具の
凸曲面の曲率半径Ｒ1との関係に対するバーのクラウン
高さへの影響を調査した。まず、Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣ系セ
ラッミクスからなるウエハを切断して、略直方体状のバ
ーを切り出した。また、バーと同一形状であり、Ａｌ2
Ｏ3−ＴｉＣ系セラッミクスからなるダミーバーを用意
した。Example were investigated the effects of the bars of the crown height to the relationship between the radius of curvature R 1 of the convex curved surface of curvature radius R 2 and the jig of the processing surface of the lap plate. First, by cutting the wafer formed of Al 2 O 3 -TiC based Serammikusu were cut substantially rectangular parallelepiped bar. The same shape as the bar, Al 2
O 3 were prepared dummy bar consisting -TiC system Serammikusu.

【００４３】次に、凸曲面を有する治具を用意し、この
凸曲面に厚さ１ｍｍのウレタンからなる弾性シートを貼
り付け、更にバー及びダミーバーを弧状に変形させて凸
曲面上の弾性シートに貼り付けた。バー及びダミーバー
は、互いの長手方向に平行かつ互いに離間して治具に貼
り付けられた。治具は、凸曲面の曲率半径（Ｒ1）が１
０．０ｍと１２．０ｍのものを用いた。 また、凹曲面
状の加工面を有するラップ定盤を用意した。加工面の曲
率半径（Ｒ2）は、１０．０ｍであった。Next, a jig having a convex curved surface is prepared, an elastic sheet made of urethane having a thickness of 1 mm is attached to the convex curved surface, and furthermore, the bar and the dummy bar are deformed in an arc shape to form an elastic sheet on the convex curved surface. Pasted. The bar and the dummy bar were attached to a jig parallel to each other in the longitudinal direction and apart from each other. The jig has a radius of curvature (R 1 ) of a convex curved surface of 1
Thicknesses of 0.0 m and 12.0 m were used. In addition, a lap surface plate having a concave curved processing surface was prepared. The radius of curvature (R 2 ) of the processed surface was 10.0 m.

【００４４】次に、治具及びラップ定盤を、図１に示す
クラウン形成装置に取り付け、治具を揺動させつつラッ
プ定盤を回転してバーにラップ処理を行うことにより、
バーの被加工面にクラウンを形成した。次に、ラップ処
理済みのバー及びダミーバーを取り外して新品のバー及
びダミーバーを治具に取り付け、再び治具とラップ定盤
を作動させてラップ処理を行った。この操作を繰り返し
て、クラウンが形成されたバーを多数得た。得られたバ
ーのクラウン高さを測定した。このようにして、Ｒ1及
びＲ2の関係に対する、クラウン高さへの影響を調査し
た。結果を図１３及び図１４に示す。Next, the jig and the lap plate are attached to the crown forming apparatus shown in FIG. 1, and the bar is wrapped by rotating the lap plate while swinging the jig.
A crown was formed on the work surface of the bar. Next, the wrapped bar and the dummy bar were removed, a new bar and a dummy bar were attached to the jig, and the lapping was performed by operating the jig and the lapping plate again. This operation was repeated to obtain a number of crown-formed bars. The crown height of the obtained bar was measured. Thus, the influence on the crown height of the relationship between R 1 and R 2 was investigated. The results are shown in FIGS.

【００４５】図１３Ａ〜図１３Ｃには、Ｒ1が１２．０
ｍでありＲ2が１０．０ｍであるときのバーの長手方向
に対するクラウン高さの分布を示す。また、図１４Ａ〜
図１４Ｃには、Ｒ1、Ｒ2が共に１０．０ｍであるときの
バーの長手方向に対するクラウン高さの分布を示す。ク
ラウン高さは、バーの長手方向に沿って等間隔に３７ヶ
所に設定した測定位置において測定した。図１３Ａ〜図
１３Ｃ及び図１４Ａ〜図１４Ｃの横軸はこれらの測定位
置を示している。図１３Ａ及び図１４Ａには８０個目、
図１３Ｂ及び図１４Ｂには８５個目、図１３Ｃ及び図１
４Ｃには９０個目のバーのクラウン高さの分布を示して
いる。更に、図１３Ａ〜図１４Ｃの結果を統計処理し、
各バーにおけるクラウン高さの平均値と標準偏差を求め
た。平均値を表１に、標準偏差を表２に示す。FIGS. 13A to 13C show that R 1 is 12.0.
shows the distribution of crown height is m R 2 is with respect to the longitudinal direction of the bar when it is 10.0 m. In addition, FIG.
FIG. 14C shows the distribution of the crown height in the longitudinal direction of the bar when both R 1 and R 2 are 10.0 m. The crown height was measured at 37 measurement positions set at equal intervals along the longitudinal direction of the bar. The horizontal axis in FIGS. 13A to 13C and FIGS. 14A to 14C indicates these measurement positions. FIG. 13A and FIG.
13B and FIG. 14B show the 85th, FIG. 13C and FIG.
FIG. 4C shows the distribution of the crown height of the 90th bar. Further, the results of FIGS. 13A to 14C are statistically processed,
The average value and standard deviation of the crown height in each bar were determined. The average is shown in Table 1 and the standard deviation is shown in Table 2.

【００４６】図１３Ａ〜図１３Ｃから明らかなように、
Ｒ1＞Ｒ2であるときには、９０個目のバーをラップ処理
した時点で、バーの両端のクラウン高さの低下が初めて
認められる。一方、図１４Ａ〜図１４Ｃから明らかなよ
うに、Ｒ1＝Ｒ2であるときには、８５個目のバーをラッ
プ処理した時点で、バーの両端のクウン高さの低下が認
められる。As is apparent from FIGS. 13A to 13C,
When R 1 > R 2 , a decrease in the crown height at both ends of the bar is recognized for the first time when the 90th bar is wrapped. On the other hand, as is clear from FIGS. 14A to 14C, when R 1 = R 2 , a decrease in the height of the Khun at both ends of the bar is recognized when the 85th bar is wrapped.

【００４７】また、表２に示すように、Ｒ1＝Ｒ2である
ときには、８５個目のバーをラップ処理した時点で、ク
ラウン高さの標準偏差が１．４３となり、Ｒ1＞Ｒ2のと
きの９０個目のバーの標準偏差（０．５８）よりも大き
くなっており、バーの両端のクウン高さの低下の影響が
現れている。従って、本発明の浮上式磁気ヘッドのクラ
ウン形成方法及びクラウン形成装置によれば、バーの長
手方向に対するクラウンの形状を均一にすることができ
ることが明らかになった。Further, as shown in Table 2, when R 1 = R 2 , the standard deviation of the crown height becomes 1.43 when the 85th bar is wrapped, and R 1 > R 2 Is larger than the standard deviation (0.58) of the 90th bar at the time of, indicating the effect of the decrease in the height of the Khun at both ends of the bar. Therefore, according to the crown forming method and the crown forming apparatus of the floating magnetic head of the present invention, it became clear that the shape of the crown in the longitudinal direction of the bar can be made uniform.

【００４８】 [0048]

【００４９】 [0049]

【００５０】[0050]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法は、複数の磁気ヘ
ッド素子が一列に連なってなるバーを治具の凸曲面に取
り付け、凹曲面状の加工面に当接してラップ処理するの
で、複数の浮上式磁気ヘッドの浮上面を同時にラップ処
理することが可能となり、浮上式磁気ヘッドの生産性を
向上することができる。As described above in detail, according to the method for forming a crown of a floating magnetic head of the present invention, a bar in which a plurality of magnetic head elements are arranged in a row is attached to a convex curved surface of a jig, and a concave curved surface is formed. Since the lapping process is performed in contact with the processing surface, the lapping process of the floating surfaces of the plurality of floating magnetic heads can be performed at the same time, and the productivity of the floating magnetic head can be improved.

【００５１】本発明の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成
方法においては、バーを加工面に押し当てた際に、弾性
シートの変形によりバーが弾性変形して、バーの被加工
面の長さ方向に対する曲率半径が加工面の曲率半径と同
一となるので、バーの被加工面を、バーの長手方向に対
して均一にラップ処理をすることができると共に、バー
の短手方向に対して加工面と同等な曲率半径の凸曲面を
形成することができる。In the method of forming a crown of a floating magnetic head according to the present invention, when the bar is pressed against the processing surface, the bar is elastically deformed by the deformation of the elastic sheet, so that the bar extends in the longitudinal direction of the processing surface of the bar. Since the radius of curvature is the same as the radius of curvature of the processing surface, the processing surface of the bar can be uniformly lapped with respect to the longitudinal direction of the bar, and the processing surface with respect to the short direction of the bar. A convex curved surface having the same radius of curvature can be formed.

【００５２】また、本発明の浮上式磁気ヘッドのクラウ
ン形成方法においては、加工面の曲率半径Ｒ2と凸曲面
の曲率半径Ｒ1との関係がＲ1＞Ｒ2であるので、バーの
長手方向の両端を凸曲面が押して、バーの被加工面の全
面を均等な力で加工面に押し当てることが可能となり、
バーの長手方向に対して均一にラップ処理することがで
きる。また、バーを加工面に押し当てたときに、バーの
両端が加工面に常に押されるので、バーを常に弧状に変
形したままでラップ処理することができる。また、上記
の凸曲面は、加工面の形状が転写されて形成されるの
で、形状の寸法精度に優れたクラウンを得ることができ
る。In the method for forming a crown of a floating magnetic head according to the present invention, since the relationship between the radius of curvature R 2 of the processed surface and the radius of curvature R 1 of the convex surface is R 1 > R 2 , the longitudinal length of the bar is reduced. The convex surface presses both ends in the direction, and it becomes possible to press the entire surface of the bar to be processed against the processing surface with even force,
The lapping process can be performed uniformly in the longitudinal direction of the bar. Further, when the bar is pressed against the processing surface, both ends of the bar are constantly pressed against the processing surface, so that the lap processing can be performed while the bar is always deformed in an arc shape. Further, since the above-mentioned convex curved surface is formed by transferring the shape of the processed surface, a crown having excellent dimensional accuracy of the shape can be obtained.

【００５３】本発明の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成
方法においては、ラップ定盤を回転し、かつ治具をラッ
プ定盤の回転方向と直交する方向に揺動してバーと加工
面とが相対移動するので、効率よくラップ処理を行うこ
とができる。また、本発明の浮上式磁気ヘッドのクラウ
ン形成方法においては、バーとダミーバーを、それぞれ
の長手方向に対して相互に平行となるように治具に取り
付けて、バーとダミーバーが常に加工面に押し付けられ
るので、バーは、バーの短手方向に対して安定して加工
面と接触してラップ処理されることが可能となり、形状
の寸法精度に優れたクラウンを形成することができる。In the method for forming a crown of a floating magnetic head according to the present invention, the lap plate is rotated, and the jig is swung in a direction perpendicular to the rotation direction of the lap plate so that the bar and the processing surface are relatively opposed to each other. Since it moves, the lapping process can be performed efficiently. In the method of forming a crown of a floating magnetic head according to the present invention, the bar and the dummy bar are attached to a jig so as to be parallel to each other in the longitudinal direction, and the bar and the dummy bar are constantly pressed against the processing surface. Therefore, the bar can be stably wrapped in contact with the processing surface in the short direction of the bar, and a crown having excellent dimensional accuracy of the shape can be formed.

【００５４】本発明のクラウン形成装置は、複数の磁気
ヘッド素子が一列に連なってなるバーが取り付けられた
治具と、凹曲面状である加工面を有するラップ定盤と、
駆動手段とを具備してなるので、複数の浮上式磁気ヘッ
ドの浮上面を同時にラップ処理することができる。ま
た、本発明のクラウン形成装置の治具は、凸曲面を有し
ているので、バーを長手方向に弧状に変形させたまま保
持することが可能であり、バーの被加工面に、バーの短
手方向に沿って凸であるクラウンを形成させることがで
きる。According to the crown forming apparatus of the present invention, there is provided a jig to which a bar in which a plurality of magnetic head elements are arranged in a row is attached, a lap surface plate having a concavely processed surface,
Since the driving means is provided, the floating surfaces of the plurality of floating magnetic heads can be simultaneously lapped. Further, since the jig of the crown forming device of the present invention has a convex curved surface, it is possible to hold the bar while deforming the bar in an arc shape in the longitudinal direction, and to apply the bar to the surface to be processed of the bar. A crown that is convex along the short direction can be formed.

【００５５】また、本発明のクラウン形成装置において
は、バーと凸曲面との間に弾性シートが介在されている
ので、バーが加工面に押し当てられた際に、弾性シート
の変形によりバーが弾性変形されて、バーの被加工面の
長さ方向に対する曲率半径が加工面の曲率半径と同一と
されるので、バーの被加工面が、バーの長手方向に対し
て均一にラップ処理されると共に、バーの短手方向に対
して加工面と同等な曲率半径のクラウンとすることがで
きる。更に、本発明のクラウン形成装置においては、加
工面の曲率半径Ｒ2と凸曲面の曲率半径Ｒ1との関係がＲ
1＞Ｒ2とされるので、バーの両端部分が凸曲面に押され
て、バー２１の被加工面の全面が均等な力で加工面に押
し当てさせることができる。また、バーが加工面に押し
当てられたときに、バーの両端が加工面に常に押される
ので、バーを常に弧状に変形させたままでバーにラップ
処理を施すことができると共に、バーの被加工面の短手
方向に対して加工面の形状が転写されて凸曲面が形成さ
れて、形状の寸法精度に優れたクラウンを形成させるこ
とができる。Further, in the crown forming apparatus of the present invention, since the elastic sheet is interposed between the bar and the convex curved surface, when the bar is pressed against the processing surface, the bar is deformed by the elastic sheet. Since the bar is elastically deformed and the radius of curvature of the bar in the length direction of the processed surface is the same as the radius of curvature of the processed surface, the processed surface of the bar is uniformly lapped in the longitudinal direction of the bar. At the same time, it is possible to form a crown having a radius of curvature equivalent to the machined surface in the short direction of the bar. Furthermore, the crown forming apparatus of the present invention, the relationship between the radius of curvature R 1 of the radius of curvature R 2 and the convex curved surface of the work surface is R
1> Because are R 2, can be both end portions of the bar is pushed to the convex curved surface, the entire surface of the work surface of the bar 21 causes pressed against the processing surface with a uniform force. In addition, when the bar is pressed against the processing surface, both ends of the bar are constantly pressed against the processing surface, so that the bar can be wrapped while the bar is always deformed in an arc shape, and the bar is processed. The shape of the processed surface is transferred to the short direction of the surface to form a convex curved surface, so that a crown excellent in dimensional accuracy of the shape can be formed.

【００５６】本発明のクラウン形成装置において、前記
駆動手段は、ラップ定盤を回転させ、かつ治具をラップ
定盤の回転方向と直交する方向に揺動させるので、効率
よくラップ処理を行うことができる。また、前記バー
は、前記バーの長手方向に揺動されるので、前記バーの
長手方向に対して均一にラップ処理することができる。
更にまた、本発明のクラウン形成装置は、バーとダミー
バーが、それぞれの長手方向に対して相互に平行となる
ように治具に貼り付けられているので、バーは、バーの
短手方向に対して揺れることなく安定して加工面と接触
することにより、形状の寸法精度に優れたクラウンを形
成させることができる。In the crown forming apparatus according to the present invention, the driving means rotates the lapping plate and swings the jig in a direction perpendicular to the rotation direction of the lapping plate, so that the lapping process can be performed efficiently. Can be. Further, since the bar is swung in the longitudinal direction of the bar, the bar can be uniformly lapped in the longitudinal direction of the bar.
Furthermore, in the crown forming device of the present invention, since the bar and the dummy bar are attached to the jig so as to be parallel to each other in the longitudinal direction, the bar is moved in the short direction of the bar. By being stably in contact with the processing surface without shaking, a crown having excellent dimensional accuracy of the shape can be formed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置を
示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a crown forming device according to an embodiment of the present invention.

【図２】 本発明の実施形態であるラップ定盤を示す図
であって、Ａは斜視図であり、Ｂは側面断面図である。FIG. 2 is a diagram showing a lap surface plate according to an embodiment of the present invention, wherein A is a perspective view and B is a side sectional view.

【図３】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置の
治具を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a jig of the crown forming apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図４】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置の
治具を示す図であって、Ａは斜視図であり、Ｂは側面断
面図であり、Ｃは正面断面図である。FIG. 4 is a view showing a jig of the crown forming device according to the embodiment of the present invention, wherein A is a perspective view, B is a side sectional view, and C is a front sectional view.

【図５】 治具にバーを取り付ける工程を説明する説明
図である。FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating a process of attaching a bar to a jig.

【図６】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置の
要部を示す側面断面図である。FIG. 6 is a side sectional view showing a main part of the crown forming apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図７】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置の
要部を示す正面断面図である。FIG. 7 is a front sectional view showing a main part of the crown forming apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図８】 バーがラップ処理される過程を示す説明図で
ある。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a process in which a bar is wrapped.

【図９】 バーから浮上式磁気ヘッドを得るための工程
を説明する説明図である。FIG. 9 is an explanatory view illustrating a process for obtaining a floating magnetic head from a bar.

【図１０】 従来の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法の第１の例を説明する工程図である。FIG. 10 is a process diagram illustrating a first example of a conventional method for forming a crown of a floating magnetic head.

【図１１】 従来の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法の第２の例を説明する工程図である。FIG. 11 is a process diagram illustrating a second example of a conventional method for forming a crown of a floating magnetic head.

【図１２】 従来の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法の第３の例を説明する工程図である。FIG. 12 is a process diagram illustrating a third example of a conventional method for forming a crown of a floating magnetic head.

【図１３】 Ｒ2＞Ｒ1としたときの磁気ヘッド素子が設
けられた位置と、バーのクラウン高さとの関係を示す図
であって、Ａは８０個目のバーのクラウン高さを示す図
であり、Ｂは８５個目のバーのクラウン高さを示す図で
あり、Ｃは９０個目のバーのクラウン高さを示す図であ
る。FIG. 13 is a diagram showing a relationship between a position where a magnetic head element is provided and a crown height of a bar when R 2 > R 1 , wherein A indicates a crown height of an 80th bar; It is a figure, B is a figure which shows the crown height of the 85th bar, and C is a figure which shows the crown height of a 90th bar.

【図１４】 Ｒ2＝Ｒ1としたときの磁気ヘッド素子が設
けられた位置と、バーのクラウン高さとの関係を示す図
であって、Ａは８０個目のバーのクラウン高さを示す図
であり、Ｂは８５個目のバーのクラウン高さを示す図で
あり、Ｃは９０個目のバーのクラウン高さを示す図であ
る。FIG. 14 is a diagram showing the relationship between the position where the magnetic head element is provided and the crown height of the bar when R 2 = R 1 , wherein A indicates the crown height of the 80th bar; It is a figure, B is a figure which shows the crown height of the 85th bar, and C is a figure which shows the crown height of a 90th bar.

【図１５】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置
の駆動機構の要部を示す模式図である。FIG. 15 is a schematic view showing a main part of a driving mechanism of the crown forming device according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ クラウン形成装置 ２ ラップ定盤 ３ 治具 ４ 加工面 ５ 中心軸 ６ 凸曲面 ７ モータ １０ 駆動手段 １７ 回転機構 １８ 揺動機構 ２１ バー ２２ ダミーバー ２３ 側壁面 ２４ 上面（被加工面） ２６ 浮上式磁気ヘッド ２７ 浮上面 ２８ クラウン ２９ 磁気ヘッド素子 ３０ 弾性シート DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Crown forming apparatus 2 Lapping plate 3 Jig 4 Processing surface 5 Center axis 6 Convex curved surface 7 Motor 10 Driving means 17 Rotation mechanism 18 Swing mechanism 21 Bar 22 Dummy bar 23 Side wall surface 24 Top surface (work surface) 26 Floating magnet Head 27 air bearing surface 28 crown 29 magnetic head element 30 elastic sheet

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C058 AA07 AA09 AA11 AA12 AA16 AA19 AB04 AB08 AB09 AC04 CB01 CB03 DA16 5D042 NA02 PA10 QA03 RA02 RA04 5D093 AA03 AC08 DA04  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page F term (reference) 3C058 AA07 AA09 AA11 AA12 AA16 AA19 AB04 AB08 AB09 AC04 CB01 CB03 DA16 5D042 NA02 PA10 QA03 RA02 RA04 5D093 AA03 AC08 DA04

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 側壁面に１以上の磁気ヘッド素子が一列
に連なって形成されてなる略直方体状のバーの前記側壁
面に隣接する被加工面をラップ処理し、該バーを短手方
向に沿って切断することにより、前記被加工面が浮上面
となり、かつ少なくとも１つの前記磁気ヘッド素子を具
備してなる浮上式磁気ヘッドを製造する際に、 曲率半径Ｒ1の凸曲面を有する治具と、曲率半径Ｒ2の凹
曲面状の加工面を有するラップ定盤とを用いて、Ｒ1＞
Ｒ2とし、前記バーの前記被加工面をラップ定盤側にし
て、前記バーを前記治具の前記凸曲面に弾性シートを介
して載置し、前記バーを長手方向に沿って弧状に変形し
て前記弾性シートと共に前記凸曲面に貼り付け、前記バ
ーの被加工面を前記ラップ定盤の前記加工面に当接し、
前記被加工面と前記加工面とを相対移動させて前記被加
工面をラップ処理することにより、前記浮上式磁気ヘッ
ドの前記浮上面にクラウンを形成させることを特徴とす
る浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法。A lapping process is performed on a surface of a substantially rectangular parallelepiped bar having at least one magnetic head element formed in a row on a side wall surface, the surface being processed adjacent to the side wall surface, and the bar is moved in a transverse direction. A jig having a convex curved surface with a radius of curvature R 1 when manufacturing a floating magnetic head comprising the at least one magnetic head element, wherein And a lap surface plate having a concave-shaped processed surface having a curvature radius R 2 , R 1 >
R 2 , the bar is placed on the convex curved surface of the jig via an elastic sheet with the work surface of the bar facing the lap platen side, and the bar is deformed in an arc shape along the longitudinal direction. Attached to the convex curved surface together with the elastic sheet, the work surface of the bar abuts the work surface of the lap platen,
A crown is formed on the floating surface of the floating magnetic head by relatively moving the processed surface and the processed surface to lap the processed surface to form a crown on the floating surface of the floating magnetic head. Forming method. 【請求項２】 前記ラップ定盤を回転し、かつ前記バー
を前記ラップ定盤の回転方向と直交する方向に揺動し
て、前記バーの被加工面と前記ラップ定盤の前記加工面
とを相対移動させることを特徴とする請求項１記載の浮
上式磁気ヘッドのクラウン形成方法。2. The method according to claim 1, wherein the lapping plate is rotated, and the bar is swung in a direction orthogonal to a rotation direction of the lapping plate. 2. The method for forming a crown of a flying magnetic head according to claim 1, wherein 【請求項３】 前記バーと同一形状かつ同一材料からな
るダミーバーを、前記バーの長手方向に対して平行に、
かつ前記バーと離間して弾性シートを介在して前記治具
の前記凸曲面に貼り付けたことを特徴とする請求項１ま
たは請求項２記載の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法。3. A dummy bar having the same shape and the same material as the bar is provided in parallel with a longitudinal direction of the bar.
3. A method for forming a crown of a floating magnetic head according to claim 1, wherein the jig is attached to the convex curved surface of the jig with an elastic sheet interposed between the bar and the bar. 【請求項４】 凹曲面状の加工面を有するラップ定盤
と、凸曲面を有する治具と、前記治具の前記凸曲面を前
記ラップ定盤の前記加工面に対向させて、前記治具と前
記加工面とを相対移動させる駆動手段とを具備してな
り、 前記治具の前記凸曲面の曲率半径Ｒ1と前記ラップ定盤
の前記加工面の曲率半径Ｒ2が、Ｒ1＞Ｒ2とされ、 １以上の浮上式磁気ヘッド素子が側壁面に一列に連なっ
て形成してなる略直方体状のバーが、被加工面をラップ
定盤側にして長手方向に沿って弧状に変形されて弾性シ
ートを介して前記治具の前記凸曲面に貼り付けられて、
前記バーの前記被加工面が前記加工面に当接されるよう
に構成されたことを特徴とするクラウン形成装置。4. A lap surface plate having a concave curved processing surface, a jig having a convex curved surface, and the jig with the convex curved surface of the jig facing the processing surface of the lap surface plate. And a driving means for relatively moving the processing surface and the processing surface, wherein a radius of curvature R 1 of the convex surface of the jig and a radius of curvature R 2 of the processing surface of the lap plate are R 1 > R. A substantially rectangular parallelepiped bar formed by forming one or more floating magnetic head elements in a row on the side wall surface is deformed in an arc shape along the longitudinal direction with the work surface being the lap surface side. Affixed to the convex curved surface of the jig via an elastic sheet,
A crown forming device, wherein the processing surface of the bar is configured to be in contact with the processing surface. 【請求項５】 前記駆動手段は、前記ラップ定盤を回転
させる回転機構と、 前記治具を保持して前記バーの前記被加工面を前記ラッ
プ定盤の前記加工面に押し当てて、前記治具を前記ラッ
プ定盤の回転方向と直交する方向に揺動させる揺動機構
とからなり、 前記バーは、前記バーの長手方向が前記治具の揺動方向
と一致するように、前記治具に取り付けられたことを特
徴とする請求項４記載のクラウン形成装置。5. The driving means comprises: a rotating mechanism for rotating the lap surface plate; and holding the jig and pressing the processed surface of the bar against the processed surface of the lap surface plate, A swinging mechanism for swinging the jig in a direction perpendicular to the rotation direction of the lap platen, wherein the bar is arranged so that a longitudinal direction of the bar coincides with a swinging direction of the jig. The crown forming device according to claim 4, wherein the crown forming device is attached to a tool. 【請求項６】 前記バーと同一形状かつ同一材料からな
るダミーバーが、前記バーの長手方向に対して平行に、
かつ前記バーと離間して弾性シートを介して前記治具の
前記凸曲面に貼り付けられたことを特徴とする請求項４
または請求項５記載のクラウン形成装置。6. A dummy bar having the same shape and the same material as that of the bar is provided in parallel with the longitudinal direction of the bar.
And affixed to the convex curved surface of the jig via an elastic sheet separated from the bar.
Or the crown forming device according to claim 5.
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