JP2000150427A - Dividing device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently and economically transfer individual pellets to a transport tray after a base, such as the CSP base is divided. SOLUTION: A dividing device 10 contains at least a chuck area 13 for holding a work, a cutting area 14 for cutting the work, a cleaning area 15 for cleaning the work, a transfer area 17 for picking up pellets divided in the cutting area 14 and transferring the picked-up pellets to a transport tray, and a carry-out area 18 for carrying out the transport tray.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基盤等の各
種の基盤を個々のペレットに分割し、分割されたペレッ
トを搬送トレーに収納するまでを行う分割装置に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dividing apparatus for dividing various substrates such as a semiconductor substrate into individual pellets and storing the divided pellets in a transport tray.

【０００２】[0002]

【従来の技術】例えば、半導体基盤の一種である図８に
示すＣＳＰ（Chip Size Package）基盤７０は、複数の
半導体ペレットをガラスエポキシ等の樹脂によって封止
して一体的にパッケージングしたもので、縦横に設けた
切削ライン７１、７２に沿って切削することにより個々
のＣＳＰに分割される。2. Description of the Related Art For example, a CSP (Chip Size Package) board 70 shown in FIG. 8, which is a kind of semiconductor board, is obtained by sealing a plurality of semiconductor pellets with a resin such as glass epoxy and integrally packaging them. Is divided into individual CSPs by cutting along the cutting lines 71 and 72 provided in the vertical and horizontal directions.

【０００３】このようなＣＳＰ基盤７０の分割には、例
えば図９に示すような分割装置８０が用いられる。この
分割装置８０を用いてＣＳＰ基盤７０を分割するとき
は、図示したようにテープＴを介してフレームＦに保持
されたＣＳＰ基盤７０が、または、テープＴが貼着され
ていないＣＳＰ基盤７０がカセット８５に予め収容され
る。For dividing the CSP board 70, for example, a dividing device 80 as shown in FIG. 9 is used. When the CSP base 70 is divided using the dividing device 80, the CSP base 70 held on the frame F via the tape T as shown in the drawing or the CSP base 70 to which the tape T is not attached is It is stored in the cassette 85 in advance.

【０００４】そして、カセット８５から搬出入手段８６
によってＣＳＰ基盤７０が１枚ずつ搬出され、第一の搬
送手段８７に吸着されて旋回動することによりチャック
テーブル８１に載置され、吸引保持される。[0004] Then, the loading / unloading means 86 from the cassette 85 is carried out.
As a result, the CSP bases 70 are unloaded one by one, and are adsorbed by the first transport means 87 and pivoted to be placed on the chuck table 81 and held by suction.

【０００５】更に、チャックテーブル８１がＸ軸方向に
移動して撮像手段８２によってＣＳＰ基盤７０の表面が
撮像され、アライメント手段８３によって切削ライン７
１、７２が検出された後、更にチャックテーブル８１が
Ｘ軸方向に移動して、検出された切削ライン７１が切削
手段８４の作用を受けて切削される。Further, the chuck table 81 moves in the X-axis direction, the surface of the CSP base 70 is imaged by the imaging means 82, and the cutting line 7 is aligned by the alignment means 83.
After 1 and 72 are detected, the chuck table 81 is further moved in the X-axis direction, and the detected cutting line 71 is cut by the action of the cutting means 84.

【０００６】また、横方向の切削ライン７１が全て切削
されると、次にチャックテーブル８１が９０度回転し、
切削手段８４の作用を受けて切削ライン７２が切削され
る。When all of the horizontal cutting lines 71 are cut, the chuck table 81 is rotated by 90 degrees.
The cutting line 72 is cut by the action of the cutting means 84.

【０００７】こうして切削ライン７１、７２が縦横に切
削されると、そのままの状態で第二の搬送手段８８によ
って洗浄領域８９に搬送されて洗浄・乾燥された後、搬
出入手段８６によって再びカセット８５に収納される。
このようにして、分割により形成された個々のＣＳＰ
は、カセット８６に収容され、カセット８６ごと分割装
置８０から搬出され、後の工程において個々のＣＳＰは
搬送トレーに適宜の間隔をおいて整列して収容され、出
荷されるか、または、電化製品の組立ラインに搬送され
る。When the cutting lines 71 and 72 are cut vertically and horizontally in this manner, they are conveyed to the cleaning area 89 by the second conveying means 88 as they are, washed and dried, and then again loaded into the cassette 85 by the carrying-in / out means 86. Is stored in.
In this way, the individual CSPs formed by the division
Are housed in a cassette 86 and are carried out of the dividing device 80 together with the cassette 86. In a later step, the individual CSPs are housed in a carrier tray in a line at an appropriate interval and shipped, or Conveyed to the assembly line.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】通常の半導体ウェーハ
のような基盤の場合は、分割後に個々のペレットをピッ
クアップしてワイヤボンディング、パッケージング等の
工程を経る必要があるが、ＣＳＰ基盤等の場合は分割に
より形成された個々のペレットが製品となり得るため、
そのままトレーに収容すればすぐに出荷または電化製品
の組立ラインに搬送できる状態にある。In the case of a substrate such as an ordinary semiconductor wafer, it is necessary to pick up individual pellets after division and to go through a process such as wire bonding and packaging. Because individual pellets formed by division can be products,
If stored in a tray as it is, it is ready to be shipped or transported to the assembly line for electrical appliances.

【０００９】しかしながら、図９に示した分割装置８０
は、個々のペレットに分割してカセットに収容するまで
の機能しか有していないため、ＣＳＰをピックアップし
てトレーに収容するには、カセットをトレーへの収容を
行う工程に搬送し、他の装置等においてペレットをトレ
ーに収容する作業を経る必要があり、生産性の点で問題
がある。However, the dividing device 80 shown in FIG.
Has only the function of dividing into individual pellets and storing them in the cassette. Therefore, in order to pick up the CSP and store it in the tray, the CSP is transferred to the step of storing the cassette in the tray, It is necessary to go through an operation of accommodating the pellets in a tray in an apparatus or the like, and there is a problem in productivity.

【００１０】また、ピックアップから搬送トレーへの収
容を行うために別個の装置が必要となったり、またはそ
れを操作するための人手が必要となったりするため、経
済性の面でも問題がある。[0010] In addition, a separate device is required for accommodating the pickup to the transport tray, or a manual operation is required, and thus there is a problem in terms of economy.

【００１１】このように、分割後のペレットをトレーに
収容する場合においては、工程を簡略化して生産性及び
経済性を高めることに解決すべき課題を有している。As described above, in a case where the divided pellets are accommodated in a tray, there is a problem to be solved in that the process is simplified and productivity and economy are improved.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、被加工物をペレットに分
割する分割装置であって、被加工物を保持するチャック
領域と、被加工物を切削する切削領域と、被加工物を洗
浄する洗浄領域と、切削領域において分割されたペレッ
トをピックアップして搬送トレーに移し替える移し替え
領域と、搬送トレーを搬出する搬出領域とを少なくとも
含む分割装置を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION As a specific means for solving the above problems, the present invention relates to a dividing apparatus for dividing a work into pellets, comprising: a chuck area for holding the work; A cutting area for cutting an object, a washing area for washing a workpiece, a transfer area for picking up the pellets divided in the cutting area and transferring the same to a transfer tray, and an unloading area for unloading the transfer tray. A dividing device is provided.

【００１３】そして、被加工物を収容する治具が位置付
けられる治具領域と、治具内に被加工物を収容する治具
内収容領域と、洗浄領域において洗浄された被加工物を
乾燥する乾燥領域とを更に含むこと、被加工物をチャッ
ク領域から切削領域まで搬送するチャックテーブルと、
治具を治具領域から治具内収容領域まで搬送する第一の
搬送手段と、被加工物を治具内収容領域からチャック領
域まで搬送する第二の搬送手段と、被加工物をチャック
領域から洗浄領域まで搬送する第三の搬送手段と、被加
工物を洗浄領域から乾燥領域まで搬送する第四の搬送手
段と、被加工物を乾燥領域から移し替え領域まで搬送す
る第五の搬送手段と、治具を移し替え領域から治具領域
まで搬送する第六の搬送手段とが少なくとも配設される
こと、チャック領域と切削領域との間には、被加工物の
切削領域を検出するアライメント手段が配設され、切削
領域には、被加工物の切削を行う割り出し移動可能な切
削手段が配設され、洗浄領域には、被加工物を洗浄する
洗浄手段が配設され、治具領域には、適宜の治具を選択
する治具選択手段が配設され、治具内収容領域には、被
加工物が収容されたカセットを載置する第一のカセット
載置手段と、カセットから被加工物を搬出して治具内に
該被加工物を収容する被加工物搬出手段とが配設され、
移し替え領域には、ペレットをピックアップするピック
アップ手段と、空の搬送トレーが収容されたカセットを
載置する第二のカセット載置手段と、カセットから空の
搬送トレーを搬出する搬出手段とが配設され、搬出領域
には、ペレットが収納された搬送トレーを収容するカセ
ットを載置する第三のカセット載置手段と、カセットに
ペレットが収容された搬送トレーを搬入する搬入手段と
が配設されていることを付加的要件とするものである。[0013] The jig area where the jig for accommodating the workpiece is positioned, the accommodating area in the jig for accommodating the workpiece in the jig, and the workpiece cleaned in the cleaning area are dried. Further comprising a drying area, a chuck table for transporting the workpiece from the chuck area to the cutting area,
A first conveying means for conveying the jig from the jig area to the accommodation area in the jig; a second conveyance means for conveying the workpiece from the accommodation area in the jig to the chuck area; A third transporting means for transporting the workpiece from the cleaning area to the drying area, and a fifth transporting means for transporting the workpiece from the drying area to the transfer area. And at least a sixth transfer means for transferring the jig from the transfer area to the jig area is provided, and between the chuck area and the cutting area, an alignment for detecting the cutting area of the workpiece. Means is provided, a cutting area is provided with indexable movable cutting means for cutting the workpiece, and a cleaning area is provided with cleaning means for cleaning the workpiece, and a jig area is provided. Jig selection means for selecting an appropriate jig A first cassette mounting means for mounting a cassette accommodating the workpiece in the jig accommodating area, and a workpiece being unloaded from the cassette and placed in the jig; And a workpiece discharging means for accommodating the
Pickup means for picking up pellets, second cassette mounting means for mounting a cassette containing an empty transport tray, and unloading means for unloading an empty transport tray from the cassette are arranged in the transfer area. A third cassette mounting means for mounting a cassette accommodating a transport tray containing pellets, and a loading means for loading a transport tray containing pellets in the cassette are provided in the carry-out area. Is an additional requirement.

【００１４】このように構成される分割装置では、基盤
の切削から切削により形成されたペレットの搬送トレー
への収容までを一つの装置で行うことができるため、搬
送トレーへの収容までにかかる時間を短縮することがで
き、また、人手も少なくて済むようになる。In the dividing device configured as described above, since the process from cutting of the base to the storage of the pellets formed by the cutting in the transport tray can be performed by one device, the time required for storing in the transport tray is reduced. Can be shortened, and the number of labors can be reduced.

【００１５】[0015]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態として、図１
及び図２に示す分割装置１０を例に挙げて説明する。ま
ず図１は、分割装置１０を機能に基づいて領域ごとに区
分して示したもので、被加工物を分割する際に使用する
治具が位置付けられる治具領域１１、治具に被加工物を
収容する治具内収容領域１２、被加工物が収容された治
具を保持するチャック領域１３、被加工物を切削する切
削領域１４、切削された被加工物を洗浄する洗浄領域１
５、洗浄された被加工物を乾燥する乾燥領域１６、分割
により形成された個々のペレットをピックアップして搬
送トレーに移し替える移し替え領域１７、ペレットが収
容された搬送トレーを搬出する搬出領域１８とから構成
されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As an embodiment of the present invention, FIG.
And the dividing device 10 shown in FIG. 2 as an example. First, FIG. 1 shows a dividing device 10 divided into regions based on functions. A jig region 11 in which a jig used when dividing a workpiece is located, , A chuck area 13 for holding a jig in which a workpiece is stored, a cutting area 14 for cutting the workpiece, and a cleaning area 1 for cleaning the cut workpiece.
5. A drying area 16 for drying the washed workpiece, a transfer area 17 for picking up individual pellets formed by division and transferring them to a transport tray, and an unloading area 18 for unloading a transport tray containing pellets. It is composed of

【００１６】治具領域１１には、治具格納手段１９に収
容された複数ある治具の中から被加工物の形状、大きさ
等に合致した治具を選択する治具選択手段２０が配設さ
れており、治具格納手段１９においては同種の治具が重
ねて収納され１セットとして複数セット棚状に収納され
ている。例えば、分割しようとする基盤が３種類ある場
合は、図２に示したように、治具も治具セット２１、２
２、２３と３セット用意する。The jig area 11 is provided with jig selection means 20 for selecting a jig that matches the shape and size of the workpiece from a plurality of jigs stored in the jig storage means 19. In the jig storing means 19, the same kind of jigs are stored in a stacked manner and stored as a set in a plurality of sets of shelves. For example, when there are three types of substrates to be divided, as shown in FIG.
Prepare 2, 23 and 3 sets.

【００１７】個々の治具セットは、治具選択手段２０に
よって選択され、治具格納手段１９からセット単位で取
り出される。ここで、治具選択手段２０は、Ｙ軸方向に
配設されモータ１９ｂに駆動されて回転するボールスク
リュー１９ａと、その両側に平行に配設された一対のレ
ール１９ｃと、ボールスクリュー１９ａに螺合しその回
転に伴ってレール１９ｃにガイドされてＹ軸方向に移動
するスライド板２０ｂと、スライド板２０ｂの端部から
立設された壁体２０ｃと、壁体２０ｃにＺ軸方向に設け
られた一対のレール２０ｄと、レール２０ｄに沿って所
要範囲昇降する第一の昇降板２０ａとから構成されてい
る。Each jig set is selected by the jig selection means 20 and taken out from the jig storage means 19 in units of a set. Here, the jig selecting means 20 includes a ball screw 19a arranged in the Y-axis direction and rotated by being driven by a motor 19b, a pair of rails 19c arranged in parallel on both sides thereof, and a screw into the ball screw 19a. The slide plate 20b guided in the Y-axis direction by being guided by the rail 19c with the rotation thereof, a wall 20c standing upright from an end of the slide plate 20b, and provided on the wall 20c in the Z-axis direction. And a first elevating plate 20a that moves up and down a required range along the rail 20d.

【００１８】例えば、治具収納手段１９から治具セット
２１を取り出す場合は、第一の昇降板２０ａの上面が治
具セット２１の下端の高さとほぼ一致するよう第一の昇
降板２０ａを位置付け、スライド板２０ｂ及びこれと一
体となった壁体２０ｃがボールスクリュー１９ａの回転
により＋Ｙ方向に移動して治具セット２１をセット単位
で第一の昇降板２０ａに載置する。そして、その状態で
スライド板２０ｂ及び壁体２０ｃが−Ｙ方向に戻ると共
に第一の昇降板２０ａが上昇して最上位置に位置付けら
れることで、治具セット２１の一番目の治具２１ａが搬
出可能に準備される。For example, when taking out the jig set 21 from the jig storage means 19, the first elevating plate 20a is positioned so that the upper surface of the first elevating plate 20a is substantially equal to the height of the lower end of the jig set 21. The slide plate 20b and the wall body 20c integrated therewith are moved in the + Y direction by the rotation of the ball screw 19a, and the jig set 21 is placed on the first elevating plate 20a in set units. Then, in this state, the first jig 21a of the jig set 21 is unloaded by returning the slide plate 20b and the wall body 20c in the -Y direction and raising the first elevating plate 20a to the uppermost position. Be prepared as possible.

【００１９】なお、生産性の向上のためには、１セット
を構成する治具の個数は、分割装置１０を同時に流通可
能な最大数とするのが望ましく、本実施の形態において
は４個の治具で１セットを構成する場合について説明す
る。In order to improve the productivity, the number of jigs constituting one set is desirably the maximum number that can simultaneously circulate the dividing device 10. In the present embodiment, four jigs are used. A case where one set is constituted by a jig will be described.

【００２０】治具セットが載置された第一の昇降板２０
ａが最上位置に位置付けられると、その治具セットのう
ち最も上にある一番目の治具２１ａが、第一の搬送手
段、第五の搬送手段、第六の搬送手段を兼ね備えたＸ搬
送手段２４により治具内収容領域１２に搬送される。こ
こで、Ｘ搬送手段２４は、３６０度回動可能でかつＸ軸
方向に所要範囲移動可能な軸部２５と、軸部２５の上端
から水平方向に延びるアーム部２６と、その先端から垂
設された保持部２７とからなり、保持部２７の先端には
吸着部２８が形成されている。そして、準備された治具
セットのうち、最も上にある一番目の治具２１ａが吸着
部２８に吸着され、軸部２５のＸ軸方向の移動によって
治具内収容領域１２に位置付けられ、吸着力を解除する
ことにより載置される。First lifting plate 20 on which a jig set is placed
When a is positioned at the uppermost position, the first jig 21a at the top of the jig set is used as the X transport means having the first transport means, the fifth transport means, and the sixth transport means. The wafer is conveyed to the in-jig accommodation area 12 by 24. Here, the X transport means 24 includes a shaft portion 25 rotatable by 360 degrees and movable in a required range in the X-axis direction, an arm portion 26 extending horizontally from the upper end of the shaft portion 25, and a vertically extending portion from the tip thereof. The holding portion 27 has a suction portion 28 formed at the tip of the holding portion 27. Then, the uppermost first jig 21a of the prepared jig set is sucked by the suction unit 28, and is positioned in the jig housing area 12 by the movement of the shaft 25 in the X-axis direction. It is placed by releasing the force.

【００２１】治具内収容領域１２には、被加工物が収容
される図３に示すような被加工物カセット２９が載置さ
れる第一のカセット載置手段３０と、Ｙ軸及びＺ軸方向
に所要範囲移動可能で被加工物を下部において吸着して
搬出する被加工物搬出手段３１とが配設されている。第
一のカセット載置手段３０は、Ｚ軸方向に設けられたレ
ール３２に沿って第二の昇降板３３が上下動する構成と
なっており、第二の昇降板３３には、複数の基盤をスロ
ットに収容した例えば図３に示したような被加工物カセ
ット２９が載置され、第二の昇降板３３の上下動により
被加工物カセット２９が適宜の高さに位置付けられる。
そして、被加工物搬出手段３１が＋Ｙ方向に移動すると
共に下降して基盤を吸着し、若干上昇してから−Ｙ方向
に移動することにより分割しようとする基盤を搬出す
る。A first cassette mounting means 30 for mounting a workpiece cassette 29 as shown in FIG. 3 for accommodating a workpiece, and a Y-axis and a Z-axis Workpiece unloading means 31 which is movable in the required range in the direction and adsorbs and unloads the workpiece at the lower portion is provided. The first cassette mounting means 30 has a configuration in which a second elevating plate 33 moves up and down along a rail 32 provided in the Z-axis direction. For example, the workpiece cassette 29 as shown in FIG. 3 is placed in the slot, and the workpiece cassette 29 is positioned at an appropriate height by the vertical movement of the second elevating plate 33.
Then, the workpiece carrying-out means 31 moves in the + Y direction and descends to adsorb the substrate, and after slightly rising, moves in the -Y direction to carry out the substrate to be divided.

【００２２】そして、搬出した基盤を予め載置された治
具の直上まで搬出し、その位置で被加工物搬出手段３１
が下降して吸着力を解除することによって図４、図５に
示すようにして治具２１ａ内に基盤２９ａが収容され
る。こうして基盤２９ａを収容した治具２１ａは、第二
の搬送手段、第三の搬送手段、第四の搬送手段を兼ね備
えたＹ搬送手段３４に吸着されてチャック領域１３へと
搬送される。Then, the unloaded base is unloaded to a position immediately above the previously mounted jig, and the workpiece unloading means 31 is located at that position.
Is released to release the attraction force, whereby the base 29a is accommodated in the jig 21a as shown in FIGS. In this way, the jig 21a containing the base 29a is sucked by the Y transport means 34, which also has the second transport means, the third transport means, and the fourth transport means, and is transported to the chuck area 13.

【００２３】ここで、Ｙ搬送手段３４は、Ｘ軸方向及び
Ｙ軸方向に移動可能なアーム部３５と、その先端から垂
設された保持部３６と、保持部３６に対して上下動可能
な吸着部３７とから構成されている。Here, the Y transport means 34 includes an arm 35 movable in the X-axis direction and the Y-axis direction, a holding part 36 vertically provided from the tip thereof, and a vertically movable part with respect to the holding part 36. And a suction unit 37.

【００２４】チャック領域１３には、基盤が収容された
治具を吸引保持するチャックテーブル３８がＸ軸方向に
移動可能に配設されており、第二の搬送手段３４によっ
て搬送された治具２１ａは、チャックテーブル３８に吸
引保持された後、＋Ｘ方向に移動する。In the chuck area 13, a chuck table 38 for sucking and holding a jig accommodating the base is provided so as to be movable in the X-axis direction, and the jig 21a conveyed by the second conveying means 34 is provided. Moves in the + X direction after being suction-held by the chuck table 38.

【００２５】その移動経路の上方には、基盤の切削領域
を撮像手段３９によって撮像して検出するアライメント
手段４０が配設されている。そして、撮像手段３９の直
下に位置付けられて切削すべき領域が撮像されてアライ
メント手段４０により切削ラインが検出されると、更に
チャックテーブル３８が＋Ｘ方向に移動して切削領域１
４に位置付けられる。Above the movement path, there is provided an alignment means 40 for imaging and detecting the cutting area of the base by the imaging means 39. When the area to be cut is imaged immediately below the image pickup means 39 and a cutting line is detected by the alignment means 40, the chuck table 38 is further moved in the + X direction to cut the cut area 1.
No. 4

【００２６】切削領域１４には、回転可能なスピンドル
の先端に切削ブレード４１が装着されブレードカバー４
２によって覆われた切削手段４３が配設されており、切
削手段４３は全体としてＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可
能となっている。アライメント時には検出された切削ラ
インと切削ブレード４１とのＹ軸方向の位置合わせがな
されており、チャックテーブル３８が＋Ｘ方向に移動す
ると共に切削手段４３が下降して所定深さ切り込むこと
により基盤２９ａの切削領域に形成された切削ラインが
切削される。また、切削ラインを１本切削した後は、切
削手段４３が切削ライン間隔分Ｙ軸方向に移動（割り出
し移動）して同様に切削を行うことにより横方向の切削
ラインがすべて切削される。なお、治具２１ａには切削
ブレード４１の逃げ溝が予め形成されていることが好ま
しい。In the cutting area 14, a cutting blade 41 is mounted on the tip of a rotatable spindle and a blade cover 4 is provided.
2 is provided, and the cutting means 43 is movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction as a whole. At the time of alignment, the detected cutting line and the cutting blade 41 are aligned with each other in the Y-axis direction. The chuck table 38 moves in the + X direction, and the cutting means 43 descends to cut a predetermined depth. The cutting line formed in the cutting area is cut. After one cutting line has been cut, the cutting means 43 moves in the Y-axis direction by the cutting line interval (indexing movement) and performs cutting in the same manner, thereby cutting all transverse cutting lines. It is preferable that a relief groove for the cutting blade 41 is formed in the jig 21a in advance.

【００２７】更に、チャックテーブル３８が９０度回転
して上記と同様の切削が行われると、すべての切削ライ
ンが縦横に切削されて個々のペレットとなる。こうして
切削が行われると、基盤２９ａを収容した治具２１ａが
Ｙ搬送手段３４によって洗浄領域１５に搬送される。Further, when the chuck table 38 is rotated 90 degrees and the same cutting as described above is performed, all the cutting lines are cut vertically and horizontally into individual pellets. When the cutting is performed in this manner, the jig 21 a containing the base 29 a is transported to the cleaning area 15 by the Y transport means 34.

【００２８】洗浄領域１５は、所定量の洗浄水（５０℃
以上の温水が好ましい）を貯水した洗浄槽４１及びこれ
に振動を与える例えば超音波発生部（図示せず）とから
なり、Ｙ搬送手段３４の吸着部３７に治具２１ａが吸着
された状態で吸着部３７を下降させて洗浄水に基盤２９
ａを浸漬させ、超音波を与えて洗浄槽を振動させること
により、振動する洗浄水により基盤２９ａが洗浄され、
切削により付着した切削屑（コンタミ）を除去すること
ができる。こうして洗浄が行われた後、吸着部３７が上
昇すると共にアーム部３５がＸ軸方向に移動して基盤２
９ａが乾燥領域１６に位置付けられる。The washing area 15 contains a predetermined amount of washing water (50 ° C.).
A cleaning tank 41 storing the above-mentioned hot water is preferable and an ultrasonic generator (not shown) for applying vibration to the cleaning tank 41. The jig 21a is adsorbed on the adsorbing section 37 of the Y transport means 34. The suction unit 37 is moved down to place the base 29 in the washing water.
a is immersed, and ultrasonic waves are applied to vibrate the cleaning tank, whereby the base 29a is cleaned by vibrating cleaning water,
Cutting debris (contamination) attached by cutting can be removed. After the cleaning is performed in this manner, the suction unit 37 is moved up, and the arm unit 35 is moved in the X-axis direction, and
9 a is located in the drying area 16.

【００２９】乾燥領域１６には、例えば適宜の送風手段
が配設されており、送風手段から基盤２９ａに対して温
風を吹き付けることによって乾燥が行われる。そして、
乾燥が行われた基盤２９ａを収容する治具２１ａは、Ｘ
搬送手段２４によって移し替え領域１７に搬送される。The drying area 16 is provided with, for example, appropriate blowing means, and drying is performed by blowing warm air from the blowing means to the base 29a. And
The jig 21a for accommodating the dried base 29a is X
It is transported to the transfer area 17 by the transport means 24.

【００３０】移し替え領域１７には、分割後の基盤２９
ａが収容された治具２１ａが載置される治具載置領域４
４と空の搬送トレーが載置される搬送トレー載置領域４
５とが設けられ、更に、切削により形成され治具２１ａ
に収容された個々のペレットをピックアップするピック
アップ手段４６と、空の搬送トレーが収容される図６に
示すような搬送トレーカセット４７が載置される第二の
カセット載置手段４８と、搬送トレーカセット４７から
空の搬送トレーを搬出する搬出手段４９とが配設されて
いる。The transfer area 17 contains the divided base 29.
jig mounting area 4 on which the jig 21a accommodating a is mounted.
4 and a transport tray mounting area 4 on which an empty transport tray is placed
And jigs 21a formed by cutting.
A pickup means 46 for picking up the individual pellets stored in the tray, a second cassette mounting means 48 for mounting a transport tray cassette 47 as shown in FIG. An unloading means 49 for unloading an empty transfer tray from the cassette 47 is provided.

【００３１】ピックアップ手段４６は、上下動及び回動
可能な軸部５０に第一アーム５１が回動可能に係合し、
更に第一アーム５１の先端部に第二アーム５２が回動可
能に係合しており、第二アーム５２の先端においては、
保持部５３が回動可能に垂設されている。更に、保持部
５３の下端には、吸着部５４が形成されている。The pickup means 46 has a first arm 51 rotatably engaged with a shaft 50 which can be moved up and down and rotated.
Further, the second arm 52 is rotatably engaged with the distal end of the first arm 51, and at the distal end of the second arm 52,
The holding portion 53 is vertically rotatably provided. Further, a suction portion 54 is formed at a lower end of the holding portion 53.

【００３２】第二のカセット載置手段４８は、第三の昇
降板５５がＺ軸方向に設けられたレール５６に沿って上
下動する構成となっており、第三の昇降板５５に載置さ
れた搬送トレーカセット４７は、第三の昇降板５５の上
下動により適宜の高さに位置付けられる。そして、搬出
手段４９によって搬送トレーカセット４７から空の搬送
トレーが搬送トレー載置領域４５に搬出される。The second cassette mounting means 48 has a configuration in which a third elevating plate 55 moves up and down along a rail 56 provided in the Z-axis direction. The transport tray cassette 47 thus set is positioned at an appropriate height by the vertical movement of the third elevating plate 55. Then, an empty transport tray is transported from the transport tray cassette 47 to the transport tray mounting area 45 by the transporting means 49.

【００３３】搬出手段４９は、挟持部５７が搬送フレー
ムを上下方向に挟持してガイド溝５８、５９に沿ってＸ
軸方向及びＹ軸方向に移動する構成となっており、＋Ｙ
方向に移動して搬送トレーカセット４７内に収容された
搬送トレーを挟持部５７によって挟持し、次に−Ｙ方向
に移動することによって搬送トレーが搬送トレー載置領
域４５に搬出される。The unloading means 49 is arranged so that the holding portion 57 holds the transport frame in the up-down direction and X
It is configured to move in the axial direction and the Y-axis direction.
Then, the transport tray is held in the transport tray cassette 47 by the holding unit 57 and then moved in the −Y direction, whereby the transport tray is carried out to the transport tray mounting area 45.

【００３４】第一の搬送手段２４によって搬送され、分
割された基盤２９ａを収容した治具２１ａが治具載置領
域４４に載置され、空の搬送トレーが搬送トレー載置領
域４５に載置されると、図７に示すように、ピックアッ
プ手段４６の保持部５３がピックアップしようとするペ
レットの直上に移動し、軸部５０が下降して吸着部５４
によってペレットが吸着される。The jig 21a, which has been conveyed by the first conveying means 24 and accommodates the divided base 29a, is placed on the jig placing area 44, and the empty carrying tray is placed on the carrying tray placing area 45. Then, as shown in FIG. 7, the holding portion 53 of the pickup means 46 moves directly above the pellet to be picked up, and the shaft portion 50 descends to move the suction portion 54
Thus, the pellet is adsorbed.

【００３５】そして、軸部５０が上昇し、軸部５０の適
宜の回動、第一アーム５１と第二アーム５２の適宜の旋
回によって、搬送トレーのペレットを収容しようとする
位置の直上に吸着したペレットを位置付け、軸部５０が
下降すると共に吸着力を解除することによってペレット
を開放し、所定の位置にペレットを収容する。このよう
にして順次ペレットを収容していくと、搬送トレー４７
ａに多数のペレットＰが収容され、挟持部５７により挟
持された状態で搬出手段４９が＋Ｘ方向に移動すること
により搬送トレー４７ａが搬出領域１８に位置付けられ
る。Then, the shaft portion 50 is lifted, and the shaft portion 50 is appropriately rotated, and the first arm 51 and the second arm 52 are appropriately rotated, so that the carrier tray is sucked immediately above the position where the pellets are to be stored. The pellets are positioned and the pellets are released by lowering the shaft portion 50 and releasing the suction force, and the pellets are stored in predetermined positions. When the pellets are sequentially stored in this manner, the transport tray 47
When a large number of pellets P are accommodated in a and the carrying-out means 49 moves in the + X direction while being held by the holding portion 57, the transport tray 47a is positioned in the carrying-out area 18.

【００３６】搬出領域１８には、ペレットが収容された
搬送トレーが収容される、図６に示したものと同様に構
成される搬送トレーカセット４７が載置される第三のカ
セット載置手段６０と、搬送トレーを搬送トレーカセッ
ト４７に搬入する搬入手段６１とが配設されている。In the unloading area 18, a third cassette mounting means 60 on which a transport tray cassette 47 having the same configuration as that shown in FIG. And a carrying-in means 61 for carrying the carrying tray into the carrying tray cassette 47.

【００３７】第三のカセット載置手段６０は、第四の昇
降板６２がＺ軸方向に設けられたレール６３に沿って上
下動する構成となっており、第四の昇降板６２に載置さ
れた搬送トレーカセット４７は、第四の昇降板６２の上
下動により適宜の高さに位置付けられる。そして、搬入
手段６１によって搬送トレーカセット４７にペレットが
収容された搬送トレーが搬入される。The third cassette mounting means 60 has a structure in which a fourth elevating plate 62 moves up and down along a rail 63 provided in the Z-axis direction, and is mounted on the fourth elevating plate 62. The moved transport tray cassette 47 is positioned at an appropriate height by the vertical movement of the fourth lifting plate 62. Then, the carrying tray containing the pellets is carried into the carrying tray cassette 47 by the carrying means 61.

【００３８】搬入手段６１は、ガイド溝６４に沿ってＹ
軸方向に所要範囲移動可能となっており、搬送トレーを
押しながら＋Ｙ方向に移動することによって適宜の高さ
に位置付けられた搬送トレーカセット４７に搬送トレー
を搬入することができる。The carry-in means 61 moves along the guide groove 64
The transport tray can be moved in a required range in the axial direction, and can be carried into the transport tray cassette 47 positioned at an appropriate height by moving in the + Y direction while pressing the transport tray.

【００３９】以上のように構成される分割装置１０を用
いて基盤を分割して搬送トレーに収容する場合、基盤の
治具への収容、基盤の切削、切削後の基盤の洗浄と乾
燥、ペレットの搬送トレーへの収容といった作業は並行
して行われる。When the base is divided and accommodated in the transport tray using the dividing apparatus 10 configured as described above, accommodation of the base in a jig, cutting of the base, cleaning and drying of the base after cutting, pelleting, The work such as storing in a transport tray is performed in parallel.

【００４０】例えば、図２に示すように、治具セット２
１が４枚の治具２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄにより
構成される場合、まず最初に棚状に収納された治具セッ
ト２１、２２、２３のうち、第一の昇降板２０ａが昇降
して適宜の高さに位置付けられると共に、＋Ｙ方向に移
動してその高さに位置する治具セット２１が第一の昇降
板２０ａ上に載置される。そして、その状態で第一の昇
降板２０ａが−Ｙ方向に戻ると共に上昇して最上位置に
位置付けられることで、最上にある一番目の治具である
第一の治具２１ａが搬出可能に準備される。For example, as shown in FIG.
When 1 is composed of four jigs 21a, 21b, 21c, and 21d, first of the jig sets 21, 22, and 23 stored in a shelf shape, the first elevating plate 20a moves up and down. The jig set 21, which is positioned at an appropriate height and moves in the + Y direction and is positioned at that height, is placed on the first elevating plate 20a. Then, in this state, the first lifting / lowering plate 20a returns in the -Y direction and rises and is positioned at the uppermost position, so that the first jig 21a at the uppermost position is ready to be carried out. Is done.

【００４１】次に、第一の治具２１ａがＸ搬送手段２４
の吸着部２８に吸着され、治具内収容領域１２に搬送さ
れ載置される。そして、第一の治具２１ａが治具内収容
領域１２に載置されると、被加工物が収容された被加工
物カセット２９から被加工物搬出手段３１によって基盤
２９ａが搬出されて第一の治具２１ａ内に収容され、第
二の搬送手段３４に吸着されてチャック領域１３へと搬
送される。Next, the first jig 21a is
And is conveyed and placed in the jig accommodation area 12. Then, when the first jig 21a is placed in the accommodation area 12 in the jig, the substrate 29a is unloaded from the workpiece cassette 29 in which the workpiece is accommodated by the unloading means 31, and the first jig 21a is unloaded. And is conveyed to the chuck area 13 by being sucked by the second conveying means 34.

【００４２】一方、この間に治具領域１１においては、
第一の昇降板２０ａが若干上方に移動し、二番目の治具
である第二の治具２１ｂが搬出可能に準備される。そし
て、第一の治具２１ａがチャック領域１３に搬送される
ことにより治具内収容領域１２から離れると、第二の治
具２１ｂがＸ搬送手段２４によって治具内収容領域１２
に搬送され、次に切削する基盤２９ｂが第二の治具２１
ｂに収容される。更に、第二の治具２１ｂが治具内収容
領域１２に搬送されると、第一の昇降板２０ａが上方に
移動して三番目の治具である第三の治具２１ｃが搬出可
能に準備される。On the other hand, in the jig area 11 during this time,
The first lifting plate 20a moves slightly upward, and the second jig, the second jig 21b, is prepared so as to be able to be carried out. Then, when the first jig 21 a is separated from the in-jig storage area 12 by being transferred to the chuck area 13, the second jig 21 b is moved by the X transfer means 24 to the in-jig storage area 12.
Is transferred to the second jig 21
b. Further, when the second jig 21b is conveyed to the jig accommodation area 12, the first elevating plate 20a moves upward and the third jig 21c as the third jig can be carried out. Be prepared.

【００４３】チャック領域１３に搬送された第一の治具
２１ａに収容された基盤２９ａは、チャックテーブル３
８の＋Ｘ方向の移動により切削領域１４において切削手
段４３の作用を受けて切削される。なお、治具領域１１
における治具の準備、治具内収容領域１２における基盤
の収容に比べると、切削領域１４における切削には比較
的時間を要するため、この間、基盤２９ｂを収容した第
二の治具２１ｂは、治具内収容領域１２において待機す
ることになる。The base 29a housed in the first jig 21a conveyed to the chuck area 13 holds the chuck table 3
By the movement of 8 in the + X direction, cutting is performed in the cutting area 14 under the action of the cutting means 43. The jig area 11
In comparison with the preparation of the jig and the accommodation of the base in the accommodation area 12 in the jig, cutting in the cutting area 14 requires a relatively long time, and during this time, the second jig 21b accommodating the base 29b is It will wait in the inside accommodation area 12.

【００４４】第一の治具２１ａに収容された基盤２９ａ
のすべての切削ラインが切削されると、Ｙ搬送手段３４
に吸着されて洗浄領域１５に搬送され、洗浄水によって
洗浄されてコンタミが取り除かれてから乾燥領域１６に
おいて乾燥され、Ｘ搬送手段２４によって移し替え領域
１７の治具載置領域４４に搬送され、予め搬送トレー載
置領域４５に載置されていた搬送トレーへのペレットの
移し替えが行われる。The base 29a accommodated in the first jig 21a
When all the cutting lines are cut, the Y transport means 34
Is transported to the cleaning area 15, washed with cleaning water to remove contaminants, dried in the drying area 16, and transported by the X transport means 24 to the jig mounting area 44 of the transfer area 17. The transfer of the pellets to the transport tray previously placed in the transport tray mounting area 45 is performed.

【００４５】上記のようにして第一の治具が移し替え領
域１７に搬送されると、基盤２９ｂを収容して治具内収
容領域１２において待機していた第二の治具２１ｂがＹ
搬送手段３４によってチャック領域１３に搬送されて切
削が行われる。またこのとき、治具領域１１から第三の
治具２１ｃが治具内収容領域１２に搬送され、第三の治
具２１ｃに基盤２９ｃが収容されて待機する。更に、第
三の治具２１ｃが治具内収容領域１２に搬送されると、
第一の昇降板２０ａが上方に移動して四番目の治具であ
る第四の治具２１ｄが搬出可能に準備される。When the first jig is conveyed to the transfer area 17 as described above, the second jig 21b, which has accommodated the base 29b and has been waiting in the jig accommodation area 12, becomes Y
The sheet is conveyed to the chuck area 13 by the conveying means 34 and cut. At this time, the third jig 21c is conveyed from the jig area 11 to the in-jig accommodation area 12, and the base 29c is accommodated in the third jig 21c and stands by. Further, when the third jig 21c is transported to the jig accommodation area 12,
The first lifting plate 20a moves upward, and a fourth jig 21d, which is the fourth jig, is prepared so as to be able to be carried out.

【００４６】そして、第二の治具２１ｂに収容された基
盤２９ｂのすべての切削ラインが切削されると、洗浄領
域１５における洗浄、乾燥領域１６における乾燥を経て
移し替え領域１７に搬送される。このとき、第一の治具
２１ａから搬送トレー４７ａへのペレットの移し替えが
まだ終了していない場合には、乾燥領域１６において第
二の治具２１ｂを待機させる。When all the cutting lines of the base 29b accommodated in the second jig 21b have been cut, they are transferred to the transfer area 17 after being cleaned in the cleaning area 15 and dried in the drying area 16. At this time, if the transfer of the pellets from the first jig 21a to the transport tray 47a has not been completed, the second jig 21b is put on standby in the drying area 16.

【００４７】一方、第一の治具２１ａから搬送トレー４
７ａへのペレットの移し替えが終了したときは、第四の
治具２１ｄが既に治具内収容領域１２に搬送されて治具
領域１１に何も載置されていない場合には、空になった
第一の治具２１ａをＸ搬送手段２４によって治具領域１
１に載置するが、第四の治具が治具領域１１にまだ載置
されている場合には移し替え領域１７において待機す
る。On the other hand, from the first jig 21a to the transport tray 4
When the transfer of the pellets to 7a is completed, the fourth jig 21d is empty when the fourth jig 21d has already been conveyed to the jig accommodation area 12 and nothing is placed on the jig area 11. The first jig 21a is moved to the jig area 1 by the X transport means 24.
1, but waits in the transfer area 17 if the fourth jig is still mounted in the jig area 11.

【００４８】第二の治具２１ｂに収容された基盤２９ｂ
の切削が終了し、第二の治具２９ｂが洗浄領域１５に搬
送された場合は、第三の治具２９ｃがチャック領域１３
に搬送されるので、第四の治具２９ｄが治具内収容領域
１２に搬送されて、治具領域１１に何もない状態とな
る。従ってこのときは移し替え領域１７から空になった
第一の治具を治具領域１１に搬送する。The base 29b accommodated in the second jig 21b
Is completed and the second jig 29b is conveyed to the cleaning area 15, the third jig 29c is moved to the chuck area 13
, The fourth jig 29d is conveyed to the jig accommodation area 12, and the jig area 11 becomes empty. Therefore, at this time, the first jig emptied from the transfer area 17 is transported to the jig area 11.

【００４９】このようにして４つの治具を順次各領域に
流通させ、分割しようとする基盤を収容して切削し、切
削により形成されたペレットを搬送トレーに移し替え、
更に空になった治具を再び治具領域１１に載置して同様
の作業を繰り返すことにより、限られた数の治具が循環
しながら効率的に基盤の分割を行うことができる。In this way, the four jigs are sequentially passed through each area, the base to be divided is accommodated and cut, and the pellets formed by the cut are transferred to the transport tray.
Further, the empty jig is placed on the jig area 11 again and the same operation is repeated, whereby the base can be efficiently divided while a limited number of jigs circulate.

【００５０】なお、本実施の形態においては、領域間の
搬送手段としてＸ搬送手段２４、Ｙ搬送手段３４を配設
し、各搬送手段に複数の機能を持たせる構成としたが、
生産性をより向上させるために、機能ごとにそれぞれ別
個の搬送手段を設けてもよい。例えば、治具を治具領域
から治具内収容領域まで搬送する第一の搬送手段、基盤
を収容した治具を治具内収容領域からチャック領域まで
搬送する第二の搬送手段、切削後の基盤を収容した治具
をチャック領域から洗浄領域まで搬送する第三の搬送手
段、洗浄した基盤を収容した治具を洗浄領域から乾燥領
域まで搬送する第四の搬送手段、乾燥した基盤を収容し
た治具を乾燥領域から移し替え領域まで搬送する第五の
搬送手段、ペレットを搬送トレーに移し替えたことによ
り空になった治具を治具領域に搬送する第六の搬送手段
とするように、各領域間で搬送を行う手段をそれぞれ個
別に設けても良い。In this embodiment, the X transport means 24 and the Y transport means 34 are provided as transport means between the areas, and each transport means has a plurality of functions.
In order to further improve productivity, separate transport means may be provided for each function. For example, a first conveying means for conveying the jig from the jig area to the holding area in the jig, a second conveying means for transferring the jig accommodating the base from the holding area in the jig to the chuck area, after cutting A third conveying means for conveying the jig containing the base from the chuck area to the washing area, a fourth conveying means for conveying the jig containing the washed base from the washing area to the drying area, and containing the dried base The fifth transfer means for transferring the jig from the drying area to the transfer area, the sixth transfer means for transferring the empty jig to the jig area by transferring the pellets to the transfer tray. Alternatively, means for transporting between the areas may be individually provided.

【００５１】また、本分割装置により分割される基盤
は、ＣＳＰ等の半導体基盤には限定されず、例えばガラ
ス、フェライトのようなものでもよい。The substrate to be divided by the dividing device is not limited to a semiconductor substrate such as a CSP, but may be, for example, glass or ferrite.

【００５２】[0052]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る分割
装置では、基盤の切削から切削により形成されたペレッ
トの搬送トレーへの収容までを一つの装置で行うことが
できるため、基盤の分割とペレットの搬送トレーへの収
容を別個の装置等によって行う場合に比べて搬送トレー
への収容までにかかる時間を短縮することができ、生産
性が大幅に向上する。また、機械の操作等に必要な人手
も減らすことができるため、経済性の面でも優れてい
る。As described above, in the dividing apparatus according to the present invention, the steps from the cutting of the base to the storage of the pellets formed by the cutting in the transport tray can be performed by one apparatus. Compared with the case where the pellets are stored in the transport tray by a separate device or the like, the time required for storing the pellets in the transport tray can be reduced, and the productivity is greatly improved. In addition, since the number of manpower required for operating the machine can be reduced, it is also excellent in terms of economy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に係る分割装置の実施の形態の一例を領
域ごとに区分して示した説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing an example of an embodiment of a dividing device according to the present invention, divided into regions.

【図２】同分割装置の外観を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an appearance of the dividing device.

【図３】同分割装置の第一のカセット載置手段に載置さ
れる被加工物カセットを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a workpiece cassette mounted on a first cassette mounting means of the dividing apparatus.

【図４】治具とその治具に収容される基盤を示す斜視図
である。FIG. 4 is a perspective view showing a jig and a base housed in the jig.

【図５】治具に基盤を収容する様子を示す正面図であ
る。FIG. 5 is a front view showing a state where a base is accommodated in a jig.

【図６】第二、第三のカセット載置手段に載置される搬
送トレーカセットを示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a transport tray cassette placed on the second and third cassette placing means.

【図７】治具に収容されたペレットをピックアップして
搬送トレーに移し替える様子を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a state in which pellets stored in a jig are picked up and transferred to a transport tray.

【図８】分割の対象となるＣＳＰ基盤を示す斜視図であ
る。FIG. 8 is a perspective view showing a CSP board to be divided.

【図９】従来の分割装置を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a conventional dividing device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０……分割装置 １１……治具領域 １２……治具内
収容領域 １３……チャック領域 １４……切削領域 １５……洗
浄領域 １６……乾燥領域 １７……移し替え領域 １８……搬
出領域 １９……治具格納手段 １９ａ……ボールスクリュー
１９ｂ……モータ １９ｃ……レール ２０……治具選択手段 ２０ａ……
第一の昇降板 ２０ｂ……スライド板 ２０ｃ……壁体 ２０ｄ……レ
ール ２１、２２、２３……治具セット ２４……Ｘ搬送手段
２５……軸部 ２６……アーム部 ２７……保持部 ２８……吸着部 ２９……被加工物カセット ２９ａ……基盤 ３０……
第一のカセット載置手段 ３１……被加工物搬出手段 ３２……レール ３３……
第二の昇降板 ３４……Ｙ搬送手段 ３５……アーム部 ３６……保持
部 ３７……吸着部 ３８……チャックテーブル ３９……撮像手段 ４０…
…アライメント手段 ４１……切削ブレード ４２……ブレードカバー ４３
……切削手段 ４４……治具載置領域 ４５……搬送トレー載置領域 ４６……ピックアップ手段 ４７……搬送トレーカセッ
ト ４８……第二のカセット載置手段 ４９……搬出手段
５０……軸部 ５１……第一アーム ５２……第二アーム ５３……保
持部 ５４……吸着部 ５５……第三の昇降板 ５６……レール ５７……挟持
部 ５８、５９……ガイド溝 ６０……第三のカセット載置
手段 ６１……搬入手段 ６２……第四の昇降板 ６３……レール ６４……ガイ
ド溝 ７０……ＣＳＰ基盤 ７１、７２……切削ライン ８０
……分割装置 ８１……チャックテーブル ８２……撮像手段 ８３…
…アライメント手段 ８４……切削手段 ８５……カセット ８６……搬出入
手段 ８７……第一の搬送手段 ８８……第二の搬送手段 ８
９……洗浄領域Reference Signs List 10 splitting device 11 jig area 12 jig accommodating area 13 chuck area 14 cutting area 15 cleaning area 16 drying area 17 transfer area 18 unloading area 19: Jig storage means 19a: Ball screw
19b ... motor 19c ... rail 20 ... jig selection means 20a ...
First lifting plate 20b Slide plate 20c Wall 20d Rail 21, 22, 23 Jig set 24 X transport means 25 Shaft 26 Arm 27 Hold 28 suction part 29 workpiece cassette 29a base 30
First cassette mounting means 31 Workpiece unloading means 32 Rail 33
Second lifting plate 34 Y transport means 35 Arm 36 Holding part 38 Suction part 38 Chuck table 39 Imaging means 40
...... Alignment means 41 Cutting blade 42 Blade cover 43
... Cutting means 44... Jig mounting area 45... Transport tray mounting area 46... Pickup means 47... Transport tray cassette 48... Second cassette mounting means 49.
50 shaft part 51 first arm 52 second arm 53 holding part suction part 55 third lifting plate 56 rail 57 clamping parts 58 and 59 guide Groove 60 Third cassette mounting means 61 Loading means 62 Fourth elevating plate 63 Rail 64 Guide groove 70 CSP base 71, 72 Cutting line 80
…… Dividing device 81 …… Chuck table 82 …… Imaging means 83…
Alignment means 84 Cutting means 85 Cassette 86 Carry-in / out means 87 First conveyance means 88 Second conveyance means 8
9: Cleaning area

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 被加工物をペレットに分割する分割装置
であって、 被加工物を保持するチャック領域と、被加工物を切削す
る切削領域と、被加工物を洗浄する洗浄領域と、該切削
領域において分割されたペレットをピックアップして搬
送トレーに移し替える移し替え領域と、該搬送トレーを
搬出する搬出領域とを少なくとも含む分割装置。1. A dividing device for dividing a workpiece into pellets, comprising: a chuck area for holding the workpiece; a cutting area for cutting the workpiece; a cleaning area for cleaning the workpiece; A splitting device including at least a transfer area for picking up pellets divided in a cutting area and transferring them to a transport tray, and an unloading area for unloading the transport tray. 【請求項２】 被加工物を収容する治具が位置付けられ
る治具領域と、該治具内に被加工物を収容する治具内収
容領域と、洗浄領域において洗浄された被加工物を乾燥
する乾燥領域とを更に含む請求項１に記載の分割装置。2. A jig area in which a jig for accommodating a workpiece is positioned, an accommodation area in a jig for accommodating the workpiece in the jig, and a workpiece washed in the cleaning area. 2. The dividing device according to claim 1, further comprising a drying area. 【請求項３】 治具を治具領域から治具内収容領域まで
搬送する第一の搬送手段と、被加工物を該治具内収容領
域からチャック領域まで搬送する第二の搬送手段と、被
加工物を該チャック領域から切削領域まで搬送するチャ
ックテーブルと、被加工物を該チャック領域から洗浄領
域まで搬送する第三の搬送手段と、被加工物を該洗浄領
域から乾燥領域まで搬送する第四の搬送手段と、被加工
物を該乾燥領域から移し替え領域まで搬送する第五の搬
送手段と、治具を該移し替え領域から治具領域まで搬送
する第六の搬送手段とが少なくとも配設される請求項２
に記載の分割装置。3. A first conveying means for conveying the jig from the jig area to the holding area in the jig, a second conveying means for transferring the workpiece from the holding area in the jig to the chuck area, A chuck table that transports the workpiece from the chuck area to the cutting area, a third transport unit that transports the workpiece from the chuck area to the cleaning area, and transports the workpiece from the cleaning area to the drying area. Fourth transport means, fifth transport means for transporting the workpiece from the drying area to the transfer area, and sixth transport means for transporting the jig from the transfer area to the jig area are at least Claim 2 to be provided
A splitting device according to claim 1. 【請求項４】 チャック領域と切削領域との間には、被
加工物の切削すべき領域を検出するアライメント手段が
配設され、 該切削領域には、被加工物の切削を行う割り出し移動可
能な切削手段が配設され、 洗浄領域には、被加工物を洗浄する洗浄手段が配設さ
れ、 治具領域には、適宜の治具を選択する治具選択手段が配
設され、 治具内収容領域には、被加工物が収容されたカセットを
載置する第一のカセット載置手段と、該カセットから被
加工物を搬出して治具内に該被加工物を収容する被加工
物搬出手段とが配設され、 移し替え領域には、ペレットをピックアップするピック
アップ手段と、空の搬送トレーが収容されたカセットを
載置する第二のカセット載置手段と、該カセットから空
の搬送トレーを搬出する搬出手段とが配設され、 搬出領域には、ペレットが収納された搬送トレーを収容
するカセットを載置する第三のカセット載置手段と、該
カセットにペレットが収容された搬送トレーを搬入する
搬入手段とが配設されている請求項３に記載の分割装
置。4. An alignment means for detecting an area of the workpiece to be cut is provided between the chuck area and the cutting area, and the cutting area is capable of performing indexing for cutting the workpiece. In the cleaning area, cleaning means for cleaning the workpiece is provided, and in the jig area, jig selecting means for selecting an appropriate jig is provided. A first cassette mounting means for mounting a cassette in which the workpiece is accommodated, and a workpiece for unloading the workpiece from the cassette and accommodating the workpiece in a jig; In the transfer area, a pickup means for picking up pellets, a second cassette mounting means for mounting a cassette containing an empty transport tray, and an empty An unloading means for unloading the transport tray is provided. In the exit area, a third cassette mounting means for mounting a cassette accommodating a transport tray containing pellets, and a loading means for loading a transport tray containing pellets in the cassette are provided. The splitting device according to claim 3.