JP2000146699A - Measuring device - Google Patents

Measuring device

Info

Publication number
JP2000146699A
JP2000146699A JP10313335A JP31333598A JP2000146699A JP 2000146699 A JP2000146699 A JP 2000146699A JP 10313335 A JP10313335 A JP 10313335A JP 31333598 A JP31333598 A JP 31333598A JP 2000146699 A JP2000146699 A JP 2000146699A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
analyzer
sample
light
value
polarization
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10313335A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Youji Shindo
洋爾 神藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jasco Corp
Original Assignee
Jasco Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jasco Corp filed Critical Jasco Corp
Priority to JP10313335A priority Critical patent/JP2000146699A/en
Publication of JP2000146699A publication Critical patent/JP2000146699A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a CD measuring device capable of surely measuring CD of even a sample with a large LD and LB such as solid. SOLUTION: A monochromator 2, a polarizer 3, a polarization modulator 4, a sample room 5, an analyzer 6 and a detector 7 are arranged on the path of light emitted from a light source 1 and the output of the detector 7 is given to a signal processor 8. Frequencies of 50 kHz the same as the modulation frequency of the polarization modulator and its double of 100 kHz are outputted from the detector. The analyzer being movable measures a rotation angle of the sample where apparent CD value (50 kHz component) and LD value (100 kHz component) of the sample become maximum in the state the analyzer is positioned out of the light path and LB value at the time of the sample rotation angle where LB value (50 kHz component) becomes maximum in the state the analyzer is positioned on the light path. The signal processor calculates the true CD value with these measured values.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、測定装置に関する
もので、より具体的には固体等のLB,LDが大きい試
料のCDなどの光学的性質を測定することのできる測定
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a measuring apparatus, and more particularly, to a measuring apparatus capable of measuring optical properties such as CD of a sample having a large LB or LD such as a solid.

【0002】[0002]

【発明の背景】よく知られているように、円二色性(C
D)は、発色団を持ち光学活性な物質が左右円偏光に対
して異なった吸収を示す現象をいう。そこで、CD測定
装置では、右回りの円偏光と左回りの円偏光を交番的に
変化させながら試料を透過させ、その透過光に基づいて
当該試料のCDを求めるようになっている。これによ
り、紫外・可視分光計では得ることのできない分子の立
体構造に関する情報など、光学活性物質の構造解明のた
めに広く用いられている。
BACKGROUND OF THE INVENTION As is well known, circular dichroism (C
D) refers to a phenomenon in which an optically active substance having a chromophore exhibits different absorption for left and right circularly polarized light. Therefore, in a CD measuring apparatus, a sample is transmitted while alternating clockwise circularly polarized light and counterclockwise circularly polarized light, and a CD of the sample is obtained based on the transmitted light. Accordingly, it is widely used for elucidating the structure of optically active substances, such as information on the three-dimensional structure of molecules that cannot be obtained with an ultraviolet / visible spectrometer.

【0003】ところが、ゲルやDNAフィルム等の巨視
的異方性を持つ試料を測定する場合には、試料の持つ直
線異方性(直線複屈折(LB)、直線二色性(LD))
に起因する偽のCDスペクトルが現れる。すなわち、C
D測定装置で検出されるCDrは、真のCDにLD,L
Bに基づく成分が含まれた偽(見かけ上)のCDスペク
トルであり、次式で表すことができる。
However, when measuring a sample having macroscopic anisotropy such as a gel or a DNA film, the linear anisotropy (linear birefringence (LB), linear dichroism (LD)) of the sample is measured.
A false CD spectrum appears. That is, C
The CDr detected by the D measuring device is LD, L
This is a false (apparent) CD spectrum containing a component based on B, and can be expressed by the following equation.

【0004】[0004]

【数1】 (Equation 1)

【0005】試料が溶液の場合、溶液自身が等方性なの
で巨視的異方性がなく、LB,LDが存在しない。従っ
て、上記した式中、LD,LBに0を代入すると、{}
内の第2,第3項がともに0となるので、 CDr=G0CD となり、測定結果がそのまま真のCDとなる。
When the sample is a solution, there is no macroscopic anisotropy since the solution itself is isotropic, and LB and LD do not exist. Therefore, when 0 is substituted for LD and LB in the above equation, {}
Since both of the second and third terms are 0, CDr = G0CD, and the measurement result is a true CD as it is.

【0006】一方、例えばカンファー・スルフォン酸ア
ンモニウム(CSA)を配向PVAフィルムに吸着させ
た場合、配向PVAフィルムは巨視的異方性(LB)を
持ち、CSAは配向PVA鎖に沿って吸着するためLD
を持つようになる。その結果、試料全体ではLBとLD
を持ち、しかもLB信号とLD信号の大きさは、真のC
Dと比較して10から10ほど大きい。
On the other hand, when, for example, ammonium camphor sulfonate (CSA) is adsorbed on an oriented PVA film, the oriented PVA film has macroscopic anisotropy (LB), and CSA adsorbs along an oriented PVA chain. LD
To have As a result, LB and LD
And the magnitudes of the LB and LD signals are true C
It is about 10 3 to 10 5 larger than D.

【0007】従って、上記した式(1)中、{}内の第
2項は、固定的(θに依存しない)に増え、第1項のC
Dの値よりも大きくなる。また、第3項は試料の回転角
θにより変動するもののやはり誤差要因となる。このよ
うに、試料にLDやLBを有する場合、真のCDを直接
測定することはできなかった。
Therefore, in the above equation (1), the second term in {} increases fixedly (independently of θ), and the first term C
It becomes larger than the value of D. The third term varies depending on the rotation angle θ of the sample, but still causes an error. Thus, when the sample has LD or LB, the true CD cannot be directly measured.

【0008】本発明は、上記した背景に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、上記した問題を解決
し、固体等のLD,LBが大きい試料であっても確実に
CDを測定することのできるCD測定装置を提供するこ
とにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above background, and has as its object to solve the above-mentioned problems and to reliably measure CD even in a sample such as a solid having a large LD and LB. It is an object of the present invention to provide a CD measuring device that can perform the measurement.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明に係る測定装置では、単色光を直線偏光
させる偏光子と、その偏光子を透過した光の偏光状態を
所定の変調周波数で、右回りの円偏光、左回りの円偏光
に同時に基本変調周波数の2倍の周波数で垂直方向の直
線偏光、水平方向の直線偏光に交番的に変化させる偏光
変調器と、その偏光変調器から得られた光の光路に配置
された試料室と、その試料室を通過した光が透過する検
光子を透過した光の強度を検出する検出器と、その検出
器の出力に基づいて信号処理する信号処理部を備えた偏
光変調測定装置であって、前記検光子の光軸が前記偏光
子の光軸に対し45度の差を持った配置とするととも
に、前記検光子は光路に対して出没可能とし、前記信号
処理部は、前記検出器の出力信号のうち前記偏光変調器
における変調周波数に相当する周波数成分及びその変調
周波数の2倍の周波数成分に基づいて信号処理するもの
で、前記検光子を光路外に位置させた状態で前記試料の
見かけのCD値及びLD値が最大となる前記試料の回転
角θ1とそのときのLD値と、前記検光子を光路上に位
置させた状態でLB値が最大となる前記試料の回転角θ
2とそのときのLB値を測定し、これらの測定値より計
算により真のCD値を算出するように構成した(請求項
1)。
In order to achieve the above-mentioned object, in the measuring apparatus according to the present invention, a polarizer for linearly polarizing monochromatic light and a polarization state of light transmitted through the polarizer are modulated by a predetermined modulation. A polarization modulator that alternates between clockwise circularly polarized light and counterclockwise circularly polarized light at the same time as twice the fundamental modulation frequency, alternately to vertical linear polarization and horizontal linear polarization, and its polarization modulation A sample chamber arranged in the optical path of the light obtained from the detector, a detector that detects the intensity of light transmitted through an analyzer through which the light passes through the sample chamber, and a signal based on the output of the detector. A polarization modulation measurement device having a signal processing unit for processing, wherein the optical axis of the analyzer is arranged with a difference of 45 degrees with respect to the optical axis of the polarizer, and the analyzer is positioned with respect to an optical path. And the signal processing unit detects The signal processing is performed based on a frequency component corresponding to a modulation frequency in the polarization modulator and a frequency component that is twice the modulation frequency in the output signal of the polarization modulator, and the sample is placed in a state where the analyzer is positioned outside the optical path. Of the sample at which the apparent CD value and the LD value of the sample are maximized, the LD value at that time, and the sample rotation angle θ at which the LB value is maximized with the analyzer positioned on the optical path.
2 and the LB value at that time were measured, and a true CD value was calculated by calculation from these measured values (claim 1).

【0010】また、上記した発明のポイントは、偏光し
ていない白色光と、その白色光の光路に配置された試料
室と、試料を通過した光を直線偏光させる偏光子と、そ
の偏光子を透過した光の偏光状態を所定の変調周波数
で、右回りの円偏光、左回りの円偏光に同時に基本変調
周波数の2倍の周波数で垂直方向の直線偏光、水平方向
の直線偏光に交番的に変化させる偏光変調器と、その偏
光変調器から得られた光から所定周波数の光を抽出する
モノクロメータと、そのモノクロメータから出力される
光の強度を検出する検出器とその検出器の出力に基づい
て信号処理する信号処理部を備えた偏光変調測定装置に
対しても適用できる(請求項2)。
[0010] The points of the invention described above are that unpolarized white light, a sample chamber arranged in the optical path of the white light, a polarizer that linearly polarizes the light passing through the sample, and The polarization state of the transmitted light is alternately changed to right-handed circularly polarized light and left-handed circularly polarized light at the specified modulation frequency, and simultaneously to vertical linearly polarized light and horizontal linearly polarized light at twice the fundamental modulation frequency. A polarization modulator that changes the light, a monochromator that extracts light of a predetermined frequency from the light obtained from the polarization modulator, a detector that detects the intensity of light output from the monochromator, and an output of the detector. The present invention can also be applied to a polarization modulation measurement device including a signal processing unit that performs signal processing based on the signal.

【0011】また、そのように真のCDを求めることも
なく、上記した各発明の前提条件を同一にし、さらにθ
1,θ2の角度差を算出する機能を設けてもよい(請求
項3,4)。
In addition, the precondition of each of the above-mentioned inventions is made the same without obtaining the true CD, and θ
A function for calculating an angle difference between 1, and θ2 may be provided (claims 3 and 4).

【0012】本発明では、試料を試料室に設置し、試料
のLDmaxが得られるように、試料を回転させ、その
ときの試料の角度θ1を記憶しておく。そしてそのとき
のLD値(LDmax)を測定しておく。
In the present invention, the sample is set in the sample chamber, the sample is rotated so that the LDmax of the sample is obtained, and the angle θ1 of the sample at that time is stored. Then, the LD value (LDmax) at that time is measured.

【0013】次に、試料のLDmax値を得た試料の位
置から45度回転させた位置でCD値を測定する。この
ときは、LD′max=0であり、またLDmaxから
45度回転しているので、cos2θ=cos90=0
となるので、このときの見かけのCDの値は、
Next, the CD value is measured at a position rotated 45 degrees from the position of the sample from which the LDmax value of the sample was obtained. At this time, LD′max = 0, and since it is rotated 45 degrees from LDmax, cos2θ = cos90 = 0.
Therefore, the apparent CD value at this time is

【数2】 (Equation 2)

【0014】最後に、検光子を試料の後方に設置し、最
大のLD値を得る試料の角度に戻してから最大のLB値
を得る試料の角度位置を求め、これをθ2とし、さらに
LBmax を測定する。ここでθ3=θ2−θ1である。
LB′の値は次式で与えられる。
Finally, the analyzer is placed behind the sample, and after returning to the angle of the sample that obtains the maximum LD value, the angular position of the sample that obtains the maximum LB value is determined. This is set to θ2, and LBmax is further set to LBmax. Measure. Here, θ3 = θ2−θ1.
The value of LB 'is given by the following equation.

【0015】[0015]

【数3】 (Equation 3)

【0016】これらの見かけCD値、LDmax 及びL
B′より、次式を用いて真のCD値を求めることができ
る。
These apparent CD values, LDmax and L
From B ′, the true CD value can be obtained using the following equation.

【0017】[0017]

【数4】 (Equation 4)

【0018】上記の演算処理を信号処理装置8で行う。
また、上記θ3を求めることにより、分子の配向軸とク
ロムファーの配向軸の差を求めることができる。
The above arithmetic processing is performed by the signal processing device 8.
Further, by determining the above θ3, the difference between the molecular orientation axis and the chromium fur orientation axis can be determined.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の測定装置の好適
な一実施の形態を示している。同図に示すように、光源
1から出射される光の光路上にモノクロメータ2,偏光
子3,偏光変調器4,試料室5,検光子6,検出器7を
配置し、その検出器7の出力を信号処理装置8に与える
ようになっている。
FIG. 1 shows a preferred embodiment of a measuring apparatus according to the present invention. As shown in the figure, a monochromator 2, a polarizer 3, a polarization modulator 4, a sample chamber 5, an analyzer 6, and a detector 7 are arranged on the optical path of light emitted from the light source 1, and the detector 7 Is supplied to the signal processing device 8.

【0020】これにより、光源1から出射される光がモ
ノクロメータ2で単色光に変換され、さらにその単色光
が偏光子3を透過することにより直線偏光になり、その
直線偏光は偏光変調器4にてその偏向方向が交番的に変
更され円偏光と直線偏光が同時に形成される。そして、
偏光変調器4から出射される光を試料室5内の試料に照
射することにより、試料の光学特性に応じて所定の光成
分が吸収され出力されるので、係る出力を検出器7で受
光する。検出器7は、例えば光−電気変換素子であり、
受光した光強度に応じた電気信号を出力するので、その
出力信号(電気信号)に基づいて信号処理装置8で所定
の信号処理を行い、CDを算出するようになっている。
Thus, the light emitted from the light source 1 is converted into monochromatic light by the monochromator 2, and the monochromatic light is transmitted through the polarizer 3 to become linearly polarized light. , The direction of deflection is changed alternately, and circularly polarized light and linearly polarized light are simultaneously formed. And
By irradiating the sample in the sample chamber 5 with light emitted from the polarization modulator 4, a predetermined light component is absorbed and output according to the optical characteristics of the sample, and the output is received by the detector 7. . The detector 7 is, for example, a light-electric conversion element,
Since an electric signal corresponding to the received light intensity is output, predetermined signal processing is performed by the signal processing device 8 based on the output signal (electric signal) to calculate the CD.

【0021】光源1は、波長領域が長く輝度も高いもの
としてキセノンランプが使用されるが、これに限られる
わけではない。例えば、短波長領域を測定領域とする場
合は重水素ランプでもよい。また、可視光領域から赤外
波長領域に限るのであればタングステンランプを用いて
もよく、その場合、金額的にも安くなる。
As the light source 1, a xenon lamp is used as a light source having a long wavelength range and high luminance, but is not limited thereto. For example, when the short wavelength region is used as the measurement region, a deuterium lamp may be used. In addition, a tungsten lamp may be used as long as it is limited to the visible light region to the infrared wavelength region, and in that case, the cost is reduced.

【0022】モノクロメータ2としては、偏光に対して
悪影響の少ないプリズム分光器が望ましいが、回折格子
を用いた分光器でもかまわない。また、偏光子3,検光
子6としては、通常グラントムソンプリズムを使用する
ことが好ましい。偏光子3としてより完全を期するた
め、ブリュースター角に石英板をおいた偏光子を併用し
てもよい。また、結晶プリズムを使用し、モノクロメー
タと偏光子を兼用してもよい。
As the monochromator 2, a prism spectroscope having little adverse effect on polarized light is desirable, but a spectroscope using a diffraction grating may be used. It is generally preferable to use a Glan-Thompson prism as the polarizer 3 and the analyzer 6. In order to ensure completeness as the polarizer 3, a polarizer having a Brewster angle with a quartz plate may be used in combination. Further, a monochromator and a polarizer may be used together by using a crystal prism.

【0023】なお、グランテーラープリズムは方解石を
使っているので235nm以下の波長は測れないが、本
発明のように、固体等のCDを測ろうとする場合には可
視域を注目しているので十分適用できる。なおまた、検
光子6にローションプリズムを使用することは、ローシ
ョンプリズムにはLBが存在するため、本発明に使用す
ることは望ましくない。
Since the Glan-Taylor prism uses calcite, the wavelength of 235 nm or less cannot be measured. However, when the CD of a solid or the like is to be measured as in the present invention, the visible region is focused on, so that it is sufficient. Applicable. In addition, using a lotion prism for the analyzer 6 is not desirable for use in the present invention because LB exists in the lotion prism.

【0024】偏光変調器4は、例えばPEMを用いるこ
とができる。PEMに対する変調周波数は、50kHz
とする。良質のPEMの場合、残留歪みαは0.1度か
ら0.01度くらいの小さなものであるので、LD,L
Bが小さくなるため、もともとの検出信号内での誤差が
少なくなるためである。従って、ポッケルスセルのよう
に残留歪みが10度と大きいものはあまり好ましくはな
い。もちろん、係るポッケルスセルを本発明の範囲から
積極的に除く意図はなく、仕様・要求に応じて使うのは
かまわない。なお、偏光変調器4の基準位置は試料を設
置しない状態で、装置のベースラインがまっすぐになる
ような位置に設定する。
As the polarization modulator 4, for example, PEM can be used. The modulation frequency for the PEM is 50 kHz
And In the case of a high-quality PEM, the residual strain α is as small as 0.1 degrees to 0.01 degrees.
This is because B becomes smaller and the error in the original detection signal becomes smaller. Therefore, a Pockels cell having a large residual distortion of 10 degrees is not so preferable. Of course, there is no intention to positively exclude such Pockels cells from the scope of the present invention, and they may be used according to specifications and requirements. Note that the reference position of the polarization modulator 4 is set to a position where the baseline of the apparatus is straight without a sample being set.

【0025】さらに本発明では、検光子6の材質等は上
記した通りであるが、さらに、検光子6を移動させ、光
路上に位置させた第1位置と、光路から外れた第2位置
の間をとることができるような移動機構を設けている。
さらに、光軸方向を回転させて、所定の方向で停止・保
持させる機構も有する。そして、一旦決めた検光子6の
光軸の方向が、第1位置と第2位置の間を移動しても変
化しない、より具体的には、第1位置に位置している状
態で設定した検光子の光軸の角度を一旦第2位置に移動
させて光路からはずした後、再度第1位置に移動して光
路上に戻した際に、上記設定した角度になっている必要
がある。そこで、このように測定の間に検光子6を正確
に取り外すとともに再度設置するため、例えばコンピュ
ータで再現性良く出し入れできる検光子設置台を使用す
る。
Further, in the present invention, the material and the like of the analyzer 6 are as described above, but the analyzer 6 is further moved so that the first position where the analyzer 6 is located on the optical path and the second position which is off the optical path. A moving mechanism that can take a time is provided.
Further, there is a mechanism for rotating in the optical axis direction to stop and hold in a predetermined direction. The direction of the optical axis of the analyzer 6 once determined does not change even if it moves between the first position and the second position. More specifically, the direction is set in a state where the analyzer 6 is located at the first position. Once the angle of the optical axis of the analyzer is once moved to the second position and removed from the optical path, it must be at the above set angle when it is moved to the first position again and returned on the optical path. Therefore, in order to accurately remove and re-install the analyzer 6 during the measurement in this way, for example, an analyzer mounting table that can be inserted and removed with good reproducibility by a computer is used.

【0026】なお、検光子6の基準位置(角度)を正確
に設置するためには、試料室5内に試料を入れない状態
でのベースラインがゼロになるように検光子6の角度を
決めることで達成できる。
In order to accurately set the reference position (angle) of the analyzer 6, the angle of the analyzer 6 is determined so that the baseline without the sample in the sample chamber 5 becomes zero. Can be achieved by

【0027】検出器7は、CD信号が微小であるため、
例えば、光電子増倍管(PMT)のように高感度な検出
器を用いるのが好ましい。そして、検出器7からは、変
調周波数と同一の50kHz成分と、その2倍波の10
0kHz成分が出力されるようになっている。そして、
図2に示すように検光子6が光路上にない状態(第2位
置)では、50kHz成分の出力がCD信号となり、1
00kHzの成分の出力がLD信号となる。さらに、図
3に示すように検光子6が光路上にある状態(第1位
置)では、50kHz成分の出力がLB信号となり、1
00kHzの成分の出力がLD信号となる。
Since the detector 7 has a very small CD signal,
For example, it is preferable to use a highly sensitive detector such as a photomultiplier tube (PMT). Then, the detector 7 outputs a 50 kHz component that is the same as the modulation frequency and 10
A 0 kHz component is output. And
As shown in FIG. 2, when the analyzer 6 is not on the optical path (second position), the output of the 50 kHz component becomes a CD signal, and
The output of the 00 kHz component is an LD signal. Further, as shown in FIG. 3, when the analyzer 6 is on the optical path (first position), the output of the 50 kHz component becomes an LB signal, and
The output of the 00 kHz component is an LD signal.

【0028】さらに、検出器7からの出力信号は、CD
は微小な信号なので、実際には同期検波法を用いる。つ
まり、実際には検出器7の出力を周波数成分を取り出す
ためのロックインアンプに接続し、そのロックインアン
プから出力される所定周波数の信号成分を信号処理装置
8に与えるようになる。なお、信号処理装置8の範疇に
ロックインアンプを含めて考えてもよい。
Further, the output signal from the detector 7 is CD
Is a very small signal, so the synchronous detection method is actually used. That is, the output of the detector 7 is actually connected to a lock-in amplifier for extracting a frequency component, and a signal component of a predetermined frequency output from the lock-in amplifier is supplied to the signal processing device 8. Note that a lock-in amplifier may be included in the category of the signal processing device 8.

【0029】また、信号処理装置8は、後述する手順に
従って検出器7からの出力信号に基づいて演算処理する
機能と、各種の装置に対して制御信号を出力するように
している。
The signal processing device 8 has a function of performing arithmetic processing based on an output signal from the detector 7 in accordance with a procedure described later, and outputs a control signal to various devices.

【0030】次に、測定の手順・原理について説明す
る。まず、実際の試料測定に先立ち、検光子6の初期設
定等を行う。つまり、図2に示すように検光子6を第1
位置(光路)に位置させる。そして、試料室5に試料を
入れない状態で検光子6を回転させ、LBのベースライ
ンがまっすぐになるように調整する。これにより、検光
子6の基準回転角度が決定する。そして、以下の手順で
見かけ上のCD値、LDmax の値、及びLBの値を測定
し、計算式に従って真のCD値を測定する。
Next, the procedure and principle of measurement will be described. First, prior to actual sample measurement, initial settings of the analyzer 6 and the like are performed. That is, as shown in FIG.
Position (optical path). Then, the analyzer 6 is rotated in a state where the sample is not put in the sample chamber 5, and adjustment is performed so that the LB baseline becomes straight. Thereby, the reference rotation angle of the analyzer 6 is determined. Then, the apparent CD value, LDmax value, and LB value are measured by the following procedure, and the true CD value is measured according to the calculation formula.

【0031】(1)まず、第2位置(光路上に検光子な
し)の状態で、試料室5に試料を入れてLD(100k
Hz成分)を測る。そして、試料を回転させながらLD
を監視し、LDmax を測る。なお、このLDmax を測定
する場合、必ずしも全角度をスキャンする必要はなく、
その前に試料のUV吸収を測っておき、その最大のとこ
ろでLD値が得られるように、試料を回転するようにし
てもよい。すなわち、吸収が大きい所はLDも大きくな
るからである。このLDmax が得られる試料の回転角を
正確に決めて、その角度をθ1として記憶する。このと
きのLD値(LDmax )ももちろん記憶する。 (2)次いで、そのθ1の位置から試料を45度回転し
(LDが最小)、CDスペクトル(50kHz成分)を
測定する。
(1) First, in the state of the second position (there is no analyzer on the optical path), a sample is put in the sample chamber 5 and LD (100 k
Hz component). Then, while rotating the sample, LD
Is monitored and LDmax is measured. When measuring this LDmax, it is not always necessary to scan all angles.
Before that, the UV absorption of the sample may be measured, and the sample may be rotated so that the LD value is obtained at the maximum. That is, where the absorption is large, the LD also becomes large. The rotation angle of the sample from which this LDmax is obtained is accurately determined, and the angle is stored as θ1. Of course, the LD value (LDmax) at this time is also stored. (2) Next, the sample is rotated 45 degrees from the position of θ1 (LD is minimum), and a CD spectrum (50 kHz component) is measured.

【0032】(3)次に、検光子6を移動して第1位置
(光路上にある)に位置させる。このとき、上記した初
期設定により試料なしのベースラインがまっすぐになる
ように調整されている。この状態で、試料を回転させL
Dmax の角度位置まで戻し、次いで試料をさらに回転さ
せてLBスペクトル(50kHz)が最大となる角度位
置を探し、その回転角(θ2)を記憶し、LBスペクト
ルを測定する。
(3) Next, the analyzer 6 is moved to the first position (on the optical path). At this time, the initial setting is adjusted so that the baseline without the sample becomes straight. In this state, the sample is rotated and L
The sample is further rotated to find an angular position where the LB spectrum (50 kHz) is maximized, the rotation angle (θ2) is stored, and the LB spectrum is measured.

【0033】(4)そして、上記記憶した2つの回転角
度θ1,θ2の差(θ2−θ1)は、分子の配向軸とク
ロムファーの配向軸の差であり、その差をθ3とする。
この角度θ3と、手順(3)で得られたLBスペクトル
によりLB′を求める。 (5)手順(2)で得られたCDスペクトルよりLD,
LB′の寄与を引くことにより、真のCDスペクトルを
求める。
(4) The difference (θ2−θ1) between the two stored rotation angles θ1 and θ2 is the difference between the molecular orientation axis and the chromium fur orientation axis, and the difference is defined as θ3.
LB ′ is obtained from the angle θ3 and the LB spectrum obtained in the procedure (3). (5) From the CD spectrum obtained in the procedure (2), LD,
The true CD spectrum is obtained by subtracting the contribution of LB '.

【0034】つまり、信号処理装置8が、手順(1)を
実行して得られる試料のLDmax とそのときの試料の角
度θ1をメモリに記憶する。次に、手順(2)を実行
し、試料のLDmax値を得た試料の位置から45度回
転させた位置でCD値を測定する。このときは、LD′
max=0であり、またLDmaxから45度回転して
いるので、cos2θ=cos90=0となるので、こ
のときの見かけのCD(CDr )の値は、
That is, the signal processor 8 stores the LDmax of the sample obtained by executing the procedure (1) and the angle θ1 of the sample at that time in the memory. Next, the procedure (2) is executed, and the CD value is measured at a position rotated by 45 degrees from the position of the sample from which the LDmax value of the sample was obtained. In this case, LD '
Since max = 0 and rotated 45 degrees from LDmax, cos2θ = cos90 = 0, so the apparent CD (CDr) value at this time is:

【数5】 (Equation 5)

【0035】次いで、手順(3)を実行することにより
得られるθ2とLBmax をメモリに記憶する。そして、
θ3=θ2−θ1を求め、算出したθ3及びメモリに格
納したLBmax を下記式に代入しLB′を求める。
Next, θ2 and LBmax obtained by executing the procedure (3) are stored in the memory. And
θ3 = θ2−θ1 is obtained, and the calculated θ3 and LBmax stored in the memory are substituted into the following equation to obtain LB ′.

【0036】[0036]

【数6】 (Equation 6)

【0037】そして、上記したメモリに格納された測定
値及び算出値であるこれらの見かけCD値、LDmax 及
びLB′より、次式を用いて真のCD値を求める。
From the apparent CD value, LDmax and LB ', which are the measured values and the calculated values stored in the memory, a true CD value is obtained by the following equation.

【0038】[0038]

【数7】 (Equation 7)

【0039】**上記各手順の理論的裏付け 見かけ上のCDスペクトル(CDr ),見かけ上のLD
スペクトル(LDr ),見かけ上のLBスペクトル(L
Br )は、それぞれ次のように定義される。
** Theoretical support for the above procedures Apparent CD spectrum (CDr), Apparent LD
Spectrum (LDr), apparent LB spectrum (L
Br) is defined as follows.

【0040】[0040]

【数8】 (Equation 8)

【0041】sinαが10−3以下のオーダーであれ
ば、(3)式は以下のように近似できる。
If sin α is on the order of 10 −3 or less, equation (3) can be approximated as follows.

【0042】[0042]

【数9】 (Equation 9)

【0043】さらに(2)式を変形することにより下記
式が得られる。
By further transforming equation (2), the following equation is obtained.

【0044】[0044]

【数10】 (Equation 10)

【0045】ここで、{(LD′)+(−LD)
1/2LDとおき、最大のLDr を与える位置をx
y平面上におけるLDの見かけ光軸とする新しい光軸と
決める。LD,LD′は初期設定によるもので定数であ
るから、このLDも定数となる。そして、(2θ+γ)
を2θ′とおくと(5)式は、 LDr =LDsin2θ′ …(6) となる。ここで、LD ′=LDcos45−LDsin45 と定義されるので、LD′=0となる。よって、 LDr (max)=LD′ …(6)′ となる。これが、手順(1)の処理に相当する。
Here, {(LD ′) 2 + (− LD) 2 }
1/2 = LD , and the position giving the maximum LDr is x
A new optical axis is determined as the apparent optical axis of the LD on the y-plane. LD and LD 'are constants based on the initial setting, so that LD is also a constant. And (2θ + γ)
Is set to 2θ ′, the equation (5) becomes: LDr = LD sin2θ ′ (6) Here, LD ′ is defined as LD ′ = LD cos45− LD sin45, so that LD ′ = 0. Therefore, LDr (max) = LD '(6)'. This corresponds to the procedure (1).

【0046】次に(6′)式を(1)式に代入すると、Next, substituting equation (6 ') into equation (1) gives:

【数11】 [Equation 11]

【0047】となり、LDr 最大のときから45度回転
したときのCDr は、
The CDr when rotated 45 degrees from the maximum LDr is:

【数12】 (Equation 12)

【0048】となる。このときのCDスペクトルを測定
する。これは手順(2)に相当する。LB′を求めるた
めに(4)式を変形して下記式が得られる。
Is as follows. The CD spectrum at this time is measured. This corresponds to the procedure (2). The following equation is obtained by modifying equation (4) to obtain LB '.

【0049】[0049]

【数13】 (Equation 13)

【0050】{(LB′)+(−LB)1/2
LBと定義すると、LBr の最大のときから、LB
求まる。つまり、 LBr (max)=LB 最大のLBr を与える位置をxy平面上におけるLBの
見かけ光軸と決める。このときのLBスペクトルを測定
する。これが手順(3)に相当する。
{(LB ') 2 + (− LB) 2 } 1/2
= LB , LB is obtained from the maximum value of LBr. In other words, positioning give LBr (max) = LB largest LBr the apparent optical axis of LB in the xy plane. The LB spectrum at this time is measured. This corresponds to the procedure (3).

【0051】これにより、LDの見かけの光軸と、LB
の見かけの光軸のずれをθ3とすると、LB′は以下の
ようになる。
Thus, the apparent optical axis of the LD and LB
Assuming that the apparent deviation of the optical axis is θ3, LB ′ is as follows.

【0052】[0052]

【数14】 [Equation 14]

【0053】測定によって求められたLBとθ3を用い
ることによってLB′が求まる。(8)式から、LD
LB′を差し引くことにより真のCDが得られることに
なる。つまり、CD測定値CDr を規定する(8)式の
うち、既知数であるLDLB′を差し引くことによ
り、第2項の寄与は取り除ける。 **第1,第2位置における検出器の50kHz,10
0kHzの意味 CD測定装置により得られる信号をミューラー行列を用
いて理論的に解析すると以下のようになる。すなわち、
単色入射光Iin,偏光子P,偏光変調器M,検出器D,
試料Sのミューラー行列は、次のように与えられる。
LB 'is determined by using LB and θ3 obtained by the measurement. From equation (8), LD ,
By subtracting LB ', a true CD is obtained. That is, the contribution of the second term can be removed by subtracting the known numbers LD and LB 'from the equation (8) defining the CD measured value CDr. ** 50 kHz, 10 of detector at 1st and 2nd position
Meaning of 0 kHz A signal obtained by the CD measuring device is theoretically analyzed using a Mueller matrix as follows. That is,
Monochromatic incident light Iin, polarizer P, polarization modulator M, detector D,
The Mueller matrix of the sample S is given as follows.

【0054】[0054]

【数15】 (Equation 15)

【0055】[0055]

【数16】 (Equation 16)

【0056】[0056]

【数17】 [Equation 17]

【0057】検出器での光の強度Id は、D,S,M,
P,Iinの行列計算を行うことによって次のように与え
られる。
The light intensity Id at the detector is D, S, M,
By performing a matrix calculation of P and Iin, it is given as follows.

【0058】[0058]

【数18】 (Equation 18)

【0059】sin(δ+α)、cos(δ+α)は、
フーリエ変換すると近似的に以下のようになる。
Sin (δ + α) and cos (δ + α) are
The Fourier transform is approximately as follows.

【0060】[0060]

【数19】 [Equation 19]

【0061】[0061]

【数20】 (Equation 20)

【0062】ここで、J0 (δm ),J1 (δm ),
J2 (δm )は、それぞれ0次、1次、2次のベッセ
ル関数である。これにより、ωm 、2ωm 成分は次のよ
うになる。
Here, J0 (δ 0 m), J1 (δ 0 m),
J2 (δ 0 m) is a 0th-order, 1st-order, and 2nd-order Bessel function, respectively. Thus, the ωm and 2ωm components are as follows.

【0063】[0063]

【数21】 (Equation 21)

【0064】[0064]

【数22】 (Equation 22)

【0065】この2つの式からわかるように、ωm 信号
にはCD,LD,LBが、2ωm 信号にはLDがそれぞ
れ反映されている。そして、このsignalωm が、
第1位置(検光子がない)における50kHz成分の出
力であり、CDr となり、signal2ωm が、第1
位置における100kHz成分の出力であり、LDrと
なる。
As can be seen from these two equations, CD, LD, and LB are reflected in the ωm signal, and LD is reflected in the 2ωm signal. And this signal ωm is
This is the output of the 50 kHz component at the first position (no analyzer), which is CDr, and signal2ωm is the first
This is the output of the 100 kHz component at the position, which is LDr.

【0066】一方、検光子Aをx軸に対して45度の方
向に回転させて検出器の前に置くと、検出器における光
の強度はA,D,S,M,P,Iinの行列計算を行うこ
とによって次のように与えられる。ここで、検光子Aの
ミューラー行列は、
On the other hand, when the analyzer A is rotated in the direction of 45 degrees with respect to the x-axis and placed in front of the detector, the light intensity at the detector becomes a matrix of A, D, S, M, P, and Iin. By performing the calculation, it is given as follows. Here, the Mueller matrix of analyzer A is

【数23】 (Equation 23)

【0067】である。Is as follows.

【0068】[0068]

【数24】 (Equation 24)

【0069】これにより、ωm ,2ωm 成分は、近似的
に次のようになる。
Thus, the components ωm and 2ωm are approximately as follows.

【0070】[0070]

【数25】 (Equation 25)

【0071】[0071]

【数26】 (Equation 26)

【0072】一般にCD,CBは、LB,LDに比べて
10−2から10−3のオーダーが小さいので、さらに
近似的に以下のようになる。
Generally, CD and CB are on the order of 10 −2 to 10 −3 smaller than LB and LD, so that they are more approximated as follows.

【0073】[0073]

【数27】 [Equation 27]

【0074】[0074]

【数28】 [Equation 28]

【0075】この2つの式からわかるように、ωm 信号
には主としてLBが、2ωm 信号にはLDがそれぞれ反
映されている。そして、このsignalωm が、第2
位置(検光子がある)における50kHz成分の出力で
あり、LBr となる。
As can be seen from these two equations, the ωm signal reflects mainly LB, and the 2ωm signal reflects LD. And this signal ωm is the second
This is the output of the 50 kHz component at the position (there is an analyzer) and is LBr.

【0076】上記した実施の形態では、光源1,モノク
ロメータ2,偏光子3,偏光変調器4,試料室5,検光
子6,検出器7の順に配置したが、本発明はこれに限る
ことはなく、例えば,光源1の次に試料室5を配置し、
白色光を試料室5内の試料に照射するようにし、その試
料室5から出射された光の光路上に偏光子3,偏光変調
器4,モノクロメータ2,検光子6,検出器7の順に配
置してももちろんよい。
In the above embodiment, the light source 1, the monochromator 2, the polarizer 3, the polarization modulator 4, the sample chamber 5, the analyzer 6, and the detector 7 are arranged in this order, but the present invention is not limited to this. For example, the sample chamber 5 is arranged next to the light source 1,
The sample in the sample chamber 5 is irradiated with white light, and a polarizer 3, a polarization modulator 4, a monochromator 2, an analyzer 6, and a detector 7 are arranged on the optical path of the light emitted from the sample chamber 5. Of course, it may be arranged.

【0077】[0077]

【発明の効果】上記したように、LDやLBを持つ固体
では、従来のようなCD測定装置ではクロスタームによ
り、真のCD値を求めることができなかった。しかし、
本発明では、見かけ上のCD値、LD値及びLB値を測
定できる偏光変調分光光度計によりこれらの値を個別に
測定し計算により見かけのCD値から、妨害要素を差し
引くことにより真のCD値を得ることができた。
As described above, with a solid having LD or LB, a true CD value could not be obtained by a conventional CD measuring apparatus due to cross terms. But,
In the present invention, these values are individually measured by a polarization modulation spectrophotometer capable of measuring the apparent CD value, LD value, and LB value, and the true CD value is calculated by subtracting the interfering element from the apparent CD value. Could be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るCD測定装置の好適な一実施の形
態を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a preferred embodiment of a CD measuring device according to the present invention.

【図2】作用を説明する図(その1)である。FIG. 2 is a diagram (part 1) for explaining the operation;

【図3】作用を説明する図(その2)である。FIG. 3 is a diagram (part 2) for explaining the operation;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光源 2 モノクロメータ 3 検光子 4 偏光変調器 5 試料室 6 検光子 7 検出器 8 信号処理装置 Reference Signs List 1 light source 2 monochromator 3 analyzer 4 polarization modulator 5 sample chamber 6 analyzer 7 detector 8 signal processing device

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 単色光を直線偏光させる偏光子と、その
偏光子を透過した光の偏光状態を所定の基本変調周波数
で、右回りの円偏光、左回りの円偏光に同時に基本変調
周波数の2倍の周波数で垂直方向の直線偏光、水平方向
の直線偏光に交番的に変化させる偏光変調器と、その偏
光変調器から得られた光の光路に配置された試料室と、
その試料室を通過した光が透過する検光子を透過した光
の強度を検出する検出器と、その検出器の出力に基づい
て信号処理する信号処理部を備えた偏光変調測定装置で
あって、 前記検光子の光軸が前記偏光子の光軸に対し45度の差
を持った配置とするとともに、前記検光子は光路に対し
て出没可能とし、 前記信号処理部は、前記検出器の出力信号のうち前記偏
光変調器における変調周波数に相当する周波数成分及び
その変調周波数の2倍の周波数成分に基づいて信号処理
するもので、 前記検光子を光路外に位置させた状態で前記試料の見か
けのCD値及びLD値が最大となる前記試料の回転角θ
1とそのときのLD値と、 前記検光子を光路上に位置させた状態でLB値が最大と
なる前記試料の回転角θ2とそのときのLB値を測定
し、これらの測定値より計算により真のCD値を算出す
る測定装置。
1. A polarizer that linearly polarizes monochromatic light, and a polarization state of light transmitted through the polarizer is converted into clockwise circular polarization and counterclockwise circular polarization at a predetermined basic modulation frequency at the same time. A polarization modulator that alternately changes to vertical linear polarization and horizontal linear polarization at twice the frequency, and a sample chamber arranged in the optical path of light obtained from the polarization modulator;
A detector that detects the intensity of light transmitted through an analyzer that transmits light passing through the sample chamber, and a polarization modulation measurement device including a signal processing unit that performs signal processing based on an output of the detector. The analyzer is arranged such that the optical axis of the analyzer has a difference of 45 degrees with respect to the optical axis of the polarizer, and the analyzer can be protruded and retracted with respect to the optical path. The signal is processed based on a frequency component corresponding to a modulation frequency in the polarization modulator and a frequency component twice as high as the modulation frequency in the signal, and the sample is apparent with the analyzer positioned outside the optical path. Rotation angle θ of the sample at which the CD value and LD value of
1 and the LD value at that time, the rotation angle θ2 of the sample at which the LB value is maximized with the analyzer positioned on the optical path, and the LB value at that time are measured. A measuring device that calculates the true CD value.
【請求項2】 偏光していない白色光と、その白色光の
光路に配置された試料室と、試料を通過した光を直線偏
光させる偏光子と、その偏光子を透過した光の偏光状態
を所定の変調周波数で、右回りの円偏光、左回りの円偏
光に交番的に同時に基本変調周波数の2倍の周波数で垂
直方向の直線偏光、水平方向の直線偏光に変化させる偏
光変調器と、その偏光変調器から得られた光から所定周
波数の光を抽出するモノクロメータと、そのモノクロメ
ータから出力される光の強度を検出する検出器とその検
出器の出力に基づいて信号処理する信号処理部を備えた
偏光変調測定装置であって、 前記検光子の光軸が前記偏光子の光軸に対し45度の差
を持った配置とするとともに、前記検光子は光路に対し
て出没可能とし、 前記信号処理部は、前記検出器の出力信号のうち前記偏
光変調器における変調周波数に相当する周波数成分及び
その変調周波数の2倍の周波数成分に基づいて信号処理
するもので、 前記検光子を光路外に位置させた状態で前記試料の見か
けのCD値及びLD値が最大となる前記試料の回転角θ
1とそのときのLD値と、 前記検光子を光路上に位置させた状態でLB値が最大と
なる前記試料の回転角θ2とそのときのLB値を測定
し、これらの測定値より計算により真のCD値を算出す
る測定装置。
2. An unpolarized white light, a sample chamber arranged in an optical path of the white light, a polarizer for linearly polarizing light passing through the sample, and a polarization state of light transmitted through the polarizer. At a predetermined modulation frequency, clockwise circularly polarized light, a counterclockwise circularly polarized light alternately and simultaneously at a frequency twice as high as the fundamental modulation frequency, a vertical linear polarization, a horizontal linear polarization, and a polarization modulator, A monochromator that extracts light of a predetermined frequency from the light obtained from the polarization modulator, a detector that detects the intensity of light output from the monochromator, and a signal processing that performs signal processing based on the output of the detector A polarization modulation measuring device comprising a part, wherein the optical axis of the analyzer is arranged with a difference of 45 degrees with respect to the optical axis of the polarizer, and the analyzer can be protruded and retracted with respect to an optical path. The signal processing unit is configured to Signal processing based on a frequency component corresponding to the modulation frequency in the polarization modulator and a frequency component twice as high as the modulation frequency in the output signal of the polarization modulator, wherein the analyzer is positioned outside the optical path. The rotation angle θ of the sample at which the apparent CD and LD values of the sample are maximized
1 and the LD value at that time, the rotation angle θ2 of the sample at which the LB value is maximized with the analyzer positioned on the optical path, and the LB value at that time are measured. A measuring device that calculates the true CD value.
【請求項3】 単色光を直線偏光させる偏光子と、その
偏光子を透過した光の偏光状態を所定の変調周波数で、
右回りの円偏光、左回りの円偏光に同時に基本変調周波
数の2倍の周波数で垂直方向の直線偏光、水平方向の直
線偏光に交番的に変化させる偏光変調器と、その偏光変
調器から得られた光の光路に配置された試料室と、その
試料室を通過した光が透過する検光子を透過した光の強
度を検出する検出器と、その検出器の出力に基づいて信
号処理する信号処理部を備えた測定装置であって、 前記検光子の光軸が前記偏光子の光軸に対し45度の差
を持った配置とするとともに、前記検光子は光路に対し
て出没可能とし、 前記信号処理部は、前記検出器の出力信号のうち前記偏
光変調器における変調周波数に相当する周波数成分及び
その変調周波数の2倍の周波数成分に基づいて信号処理
するもので、前記検光子を光路外に位置させた状態で前
記試料の見かけのCD値及びLD値が最大となる前記試
料の回転角θ1と、前記検光子を光路上に位置させた状
態でLB値が最大となる前記試料の回転角θ2とを取得
し、これらの測定値より計算により両角度差を算出する
測定装置。
3. A polarizer for linearly polarizing monochromatic light and a polarization state of light transmitted through the polarizer at a predetermined modulation frequency.
A polarization modulator that alternately changes right-handed circularly polarized light, left-handed circularly polarized light into vertical linearly polarized light and horizontal linearly polarized light at the same frequency twice as the fundamental modulation frequency, and the polarization modulator A sample chamber disposed in the optical path of the received light, a detector for detecting the intensity of light transmitted through an analyzer through which the light passes through the sample chamber, and a signal for signal processing based on the output of the detector A measurement device provided with a processing unit, wherein the optical axis of the analyzer is arranged with a difference of 45 degrees with respect to the optical axis of the polarizer, and the analyzer is capable of appearing and retracting in an optical path, The signal processing unit performs signal processing based on a frequency component corresponding to a modulation frequency in the polarization modulator and a frequency component twice as high as the modulation frequency in the output signal of the detector. With it positioned outside Obtain the rotation angle θ1 of the sample at which the apparent CD value and LD value of the sample are maximum, and the rotation angle θ2 of the sample at which the LB value is maximum with the analyzer positioned on the optical path, A measuring device that calculates both angle differences by calculation from these measured values.
【請求項4】 偏光していない白色光と、その白色光の
光路に配置された試料室と、試料を通過した光を直線偏
光させる偏光子と、その偏光子を透過した光の偏光状態
を所定の変調周波数で、右回りの円偏光、左回りの円偏
光に同時に基本変調周波数の2倍の周波数で垂直方向の
直線偏光、水平方向の直線偏光に交番的に変化させる偏
光変調器と、その偏光変調器から得られた光から所定周
波数の光を抽出するモノクロメータと、そのモノクロメ
ータから出力される光の強度を検出する検出器とその検
出器の出力に基づいて信号処理する信号処理部を備えた
偏光変調測定装置であって、 前記検光子の光軸が前記偏光子の光軸に対し45度の差
を持った配置とするとともに、前記検光子は光路に対し
て出没可能とし、 前記信号処理部は、前記検出器の出力信号のうち前記偏
光変調器における変調周波数に相当する周波数成分及び
その変調周波数の2倍の周波数成分に基づいて信号処理
するもので、前記検光子を光路外に位置させた状態で前
記試料の見かけのCD値及びLD値が最大となる前記試
料の回転角θ1と、前記検光子を光路上に位置させた状
態でLB値が最大となる前記試料の回転角θ2とを取得
し、これらの測定値より計算により両角度差を算出する
測定装置。
4. A non-polarized white light, a sample chamber arranged in an optical path of the white light, a polarizer for linearly polarizing light passing through the sample, and a polarization state of light transmitted through the polarizer. At a predetermined modulation frequency, clockwise circular polarization, counterclockwise circular polarization at the same time double frequency of the basic modulation frequency at the same time vertical linear polarization, alternately to horizontal linear polarization alternately, A monochromator that extracts light of a predetermined frequency from the light obtained from the polarization modulator, a detector that detects the intensity of light output from the monochromator, and a signal processing that performs signal processing based on the output of the detector A polarization modulation measuring device comprising a part, wherein the optical axis of the analyzer is arranged with a difference of 45 degrees with respect to the optical axis of the polarizer, and the analyzer can be protruded and retracted with respect to an optical path. The signal processing unit is configured to Signal processing based on a frequency component corresponding to the modulation frequency in the polarization modulator and a frequency component that is twice the modulation frequency in the output signal of the polarization modulator, and the analyzer is positioned outside the optical path while the analyzer is positioned outside the optical path. Obtain the sample rotation angle θ1 at which the apparent CD value and LD value of the sample are maximum, and the sample rotation angle θ2 at which the LB value is maximum with the analyzer positioned on the optical path, A measuring device that calculates both angle differences by calculation from these measured values.
JP10313335A 1998-09-11 1998-11-04 Measuring device Pending JP2000146699A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10313335A JP2000146699A (en) 1998-09-11 1998-11-04 Measuring device

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25900898 1998-09-11
JP10-259008 1998-09-11
JP10313335A JP2000146699A (en) 1998-09-11 1998-11-04 Measuring device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000146699A true JP2000146699A (en) 2000-05-26

Family

ID=26543924

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10313335A Pending JP2000146699A (en) 1998-09-11 1998-11-04 Measuring device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000146699A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009123307A1 (en) * 2008-04-04 2009-10-08 国立大学法人 東京大学 Method for measuring circular dichroism spectra and measurement device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009123307A1 (en) * 2008-04-04 2009-10-08 国立大学法人 東京大学 Method for measuring circular dichroism spectra and measurement device
JP2009250765A (en) * 2008-04-04 2009-10-29 System Instruments Kk Method and instrument for measuring circular dichroic spectrum
US8542357B2 (en) 2008-04-04 2013-09-24 The University Of Tokyo Method and device for measuring circular dichroism spectra

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5956147A (en) Two modulator generalized ellipsometer for complete mueller matrix measurement
US7889339B1 (en) Complementary waveplate rotating compensator ellipsometer
US7286226B2 (en) Method and apparatus for measuring birefringence
US6473181B1 (en) Measurement of waveplate retardation using a photoelastic modulator
JP2004271510A (en) Liquid crystal based polarimetric device, calibration method of the polarimetric device, and polarimetric measurement method
WO2014189967A2 (en) Polarization properties imaging systems
JP4249608B2 (en) Birefringence measurement at deep ultraviolet wavelength
KR100195397B1 (en) Method and apparatus for measuring thickness of birefringence layer
US20150029507A1 (en) Alignment method for optical axes of composite waveplate
EP2610665B1 (en) Depolarizer and circular dichroism spectrometer using the same
JP3285365B2 (en) Rotation compensator-type spectroscopic ellipsometer system with regression calibration with photoarray detector
US6618145B1 (en) Spectroplarimetric reflectometer
WO2016173399A1 (en) Calibration method and device for broad-band achromatic composite wave plate and corresponding measurement system
KR20010107968A (en) Method and apparatus for measuring cell gap of VA liquid crystal panel
JP2003516533A (en) Polarization analyzer and polarization analysis method
EP2013594A2 (en) Measurement of linear and circular diattenuation in optical elements
EP0080540A1 (en) Method and apparatus for measuring quantities which characterize the optical properties of substances
JPS63236945A (en) Crystal bearing analysis instrument which utilizes polarization characteristic of raman scattering light
CN113295278B (en) High-precision Stokes-Mueller channel spectral polarization detection system
JP2000146699A (en) Measuring device
JP4010760B2 (en) measuring device
JP3341928B2 (en) Dichroic dispersion meter
JP3940376B2 (en) Spectrometer for gel sample
JP5991230B2 (en) Phase difference measuring method and apparatus
CN113654996A (en) Device and method for measuring phase retardation of composite achromatic wave plate