JP2000121969A - Optical switch - Google Patents
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- JP2000121969A JP2000121969A JP29063298A JP29063298A JP2000121969A JP 2000121969 A JP2000121969 A JP 2000121969A JP 29063298 A JP29063298 A JP 29063298A JP 29063298 A JP29063298 A JP 29063298A JP 2000121969 A JP2000121969 A JP 2000121969A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信システム等
における光路設定・切替に用いられる光スイッチの構造
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of an optical switch used for setting / switching an optical path in an optical communication system or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】熱毛細管現象を利用した交差導波路形光
スイッチが提案されている（特開平８−６２６４５６号
公報：「表面張力熱制御型導波路光スイッチ及びマトリ
クス型光スイッチ」）。この光スイッチの素子構造を図
５に示す。同図に示すように、光導波路基板５に互いに
交差する光導波路１が形成され、その交差部にこの光導
波路１を遮るのに充分な深さを有する溝２が形成されて
いる。この溝２は上から上部基板６で気密に蓋がされて
いる。2. Description of the Related Art A crossed waveguide type optical switch utilizing the thermocapillary phenomenon has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 8-626456: "Surface tension thermally controlled waveguide optical switch and matrix type optical switch"). FIG. 5 shows the element structure of this optical switch. As shown in FIG. 1, optical waveguides 1 intersecting each other are formed in an optical waveguide substrate 5, and a groove 2 having a depth sufficient to block the optical waveguide 1 is formed at the intersection. The groove 2 is hermetically covered with an upper substrate 6 from above.
【０００３】この溝２には光導波路１と等しい屈折率を
有する液体（以下、屈折率整合液という）３が部分的に
満たされており、この屈折率整合液３が溝２の光導波路
交差部側に存在すると、光導波路１を伝搬する光信号は
溝２を横切って直進し、また、屈折率整合液３が溝２の
反対側に存在すると、光信号は溝２の側壁で反射して交
差する一方の光導波路１へ進む。The groove 2 is partially filled with a liquid 3 having a refractive index equal to that of the optical waveguide 1 (hereinafter referred to as a refractive index matching liquid). The optical signal propagating in the optical waveguide 1 travels straight across the groove 2 when it is present on the side of the groove 2, and the optical signal is reflected on the side wall of the groove 2 when the refractive index matching liquid 3 is present on the opposite side of the groove 2. To one of the optical waveguides 1 that intersects.
【０００４】当然ながら、溝側壁の一方の面は、光導波
路１の交差部の交点を含む平面で、なおかつ、それぞれ
の光導波路１とは同じ角度をなしている。しかもその角
度は全反射条件を満足するように臨界角より低い角度で
ある。屈折率整合液３の移動は、溝２の両端付近に形成
してあるヒータ４による加熱で行われる。一方のヒータ
４を加熱すると、溝２の長手方向に温度の勾配を生じ
る。溝２の中の屈折率整合液３にも温度勾配が生じ、屈
折率整合液３の前後のメニスカス部の表面張力に差が発
生する。この表面張力の差で発生する力により屈折率整
合液３は移動する。Naturally, one surface of the groove side wall is a plane including the intersection of the intersections of the optical waveguides 1 and forms the same angle with each of the optical waveguides 1. Moreover, the angle is lower than the critical angle so as to satisfy the condition of total reflection. The movement of the refractive index matching liquid 3 is performed by heating by heaters 4 formed near both ends of the groove 2. When one heater 4 is heated, a temperature gradient occurs in the longitudinal direction of the groove 2. A temperature gradient also occurs in the refractive index matching liquid 3 in the groove 2, causing a difference in the surface tension of the meniscus portion before and after the refractive index matching liquid 3. The refractive index matching liquid 3 moves by the force generated by this difference in surface tension.
【０００５】一般に温度の上昇に伴い屈折率整合液３の
表面張力は減少するため、屈折率整合液３は温度の低い
方向に移動する。なお、屈折率整合液３の移動に伴い、
屈折率整合液３の前後の気体に圧力差が生じて屈折率整
合液３の移動を妨げることを防止するため、上部基板６
に溝２の両端をつなぐ気体の迂回路用溝が設けられてい
る。Generally, as the temperature rises, the surface tension of the refractive index matching liquid 3 decreases, so that the refractive index matching liquid 3 moves in the direction of lower temperature. In addition, with the movement of the refractive index matching liquid 3,
In order to prevent the pressure difference between the gas before and after the refractive index matching liquid 3 from being generated and hindering the movement of the refractive index matching liquid 3, the upper substrate 6
Are provided with a gas bypass groove connecting both ends of the groove 2.
【０００６】さて、この光スイッチでは光導波路１の交
差部に接している溝２に屈折率整合液３が存在するか、
存在しないかで光路の切替を行っているので、屈折率整
合液３がその溝２を満たした状態と、完全に屈折率整合
液３が除去された状態を確実に実現しなければならな
い。さもないと、屈折率整合液３のメニスカスが光路の
一部に接して、溝２を本来透過すべき光の一部が反射さ
れたり、散乱されて、挿入損失が高くなるといった不都
合を生じる。あるいは、反射切替されるべき光が一部透
過してしまい、挿入損失が高くなるだけでなく、クロス
トークを発生させてしまう。In this optical switch, whether the refractive index matching liquid 3 exists in the groove 2 which is in contact with the intersection of the optical waveguide 1 or not.
Since the optical path is switched depending on the absence, the state where the refractive index matching liquid 3 fills the groove 2 and the state where the refractive index matching liquid 3 is completely removed must be reliably realized. Otherwise, the meniscus of the refractive index matching liquid 3 comes in contact with a part of the optical path, and a part of the light that should originally pass through the groove 2 is reflected or scattered, resulting in an increase in insertion loss. Alternatively, part of the light to be switched for reflection is transmitted, which not only increases insertion loss but also causes crosstalk.
【０００７】これを防ぐため、従来の光スイッチでは、
光導波路交差部と接する部分の溝２を他の部分より狭く
して、屈折率整合液３がそこに捕獲される工夫が施され
ていた。また、溝２の反対側にも同じ狭い部分を設け、
導波路側を空にする際の、屈折率整合液３の待避捕獲部
としている。従来の溝形状には、図６に示す２種類があ
った。その一つは図６（ａ）に示すように、屈折率整合
液３が完全に溝の狭い部分に捕獲されるものである。以
下、これを溝形状タイプＡと呼ぶ。この溝形状タイプＡ
では中央部に短い距離の幅の広い部分があり、これが屈
折率整合液３の戻りを防ぐ働きをする。In order to prevent this, in a conventional optical switch,
The groove 2 at the portion in contact with the optical waveguide intersection is made narrower than the other portion, and a measure is taken to capture the refractive index matching liquid 3 therein. Also, the same narrow portion is provided on the opposite side of the groove 2,
When the waveguide side is emptied, it serves as an escape trapping portion for the refractive index matching liquid 3. There are two types of conventional groove shapes shown in FIG. One is that the refractive index matching liquid 3 is completely captured in a narrow portion of the groove, as shown in FIG. Hereinafter, this is referred to as a groove shape type A. This groove shape type A
In the figure, there is a wide portion with a short distance at the center, which functions to prevent the refractive index matching liquid 3 from returning.
【０００８】もう一つの種類は、図６（ｂ）に示す溝中
央部の幅の広い部分が長く、屈折率整合液３のメニスカ
スの一方がその幅の広い部分に必ず存在するものであ
る。これを、以下、溝形状タイプＢと呼ぶことにする。
この溝形状タイプＢでは、もう一方のメニスカスが幅の
狭い場所に存在するため、常に屈折率整合液３は溝の端
に押しやられた状態で保持される。屈折率整合液注入の
際の注入液量の制御が正確に行えるならば溝の長さは光
学的特性と、液保持に必要な長さを確保して最短に設計
できる。その場合は上記２つの種類に長さの差は無く、
ほとんど同じ構造で設計される。The other type is such that the wide portion at the center of the groove shown in FIG. 6 (b) is long and one of the meniscuses of the refractive index matching liquid 3 always exists in the wide portion. This is hereinafter referred to as a groove type B.
In the groove type B, since the other meniscus is present in a narrow place, the refractive index matching liquid 3 is always held in a state of being pushed to the end of the groove. If the amount of liquid to be injected can be accurately controlled at the time of injecting the refractive index matching liquid, the length of the groove can be designed to be the shortest by securing the optical characteristics and the length necessary for holding the liquid. In that case, there is no difference in length between the above two types,
Designed with almost the same structure.
【０００９】しかし、実際には液量の注入には、数１０
％程度の誤差は避けられないので、液量のマージンを見
込んで溝を設計する必要がある。その場合、溝形状タイ
プＡは左右の幅の狭い部分にそれぞれマージンを見込ま
ねばならず、中央部の幅広部分の長さもあり、溝形状タ
イプＢに比べ、液注入量のマージンと中央部の幅広部分
の長さを加えた長さ分長くならざるを得ない。However, actually, the injection of the liquid amount requires several tens of
Since an error of about% is inevitable, it is necessary to design a groove in consideration of a margin of the liquid amount. In this case, the groove type A must have a margin in each of the narrow portions on the left and right sides, and the length of the wide portion in the center is also large. It has to be longer by the length of the part plus the length.
【００１０】そのため、溝の設計では溝形状タイプＢが
通常採用される。ここでは溝形状として溝の平面形状を
もとに議論しているが、これで十分である。なぜなら、
溝の形成はＲＩＥなどのエッチングにより行われるの
で、もともと深さ方向には溝幅を変えるなどの細工はで
きない。なお、図に記載してある溝幅ｗ0，ｗ1，ｗ
2は、液保持機能を実現するため、ｗ0＜ｗ1＜ｗ2の条件
を満たしている必要がある。For this reason, the groove shape type B is usually adopted in designing the groove. Here, the groove shape is discussed based on the planar shape of the groove, but this is sufficient. Because
Since the formation of the groove is performed by etching such as RIE, it is not possible to originally perform a work such as changing the groove width in the depth direction. Note that the groove widths w 0 , w 1 , w
2, in order to realize a liquid holding function, it is necessary to meet the condition of w 0 <w 1 <w 2 .
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】溝加工が理想的に行え
るならば、溝幅は深さに関わり無く開口部の形状をその
ままに転写されたものになるが、実際には深さ方向に多
少幅が狭くなる。屈折率整合液３の圧力はメニスカス部
の曲率できまり、溝形状タイプＢの場合中央の幅の広い
箇所にメニスカスが存在するので、溝幅と深さそれぞれ
の１／２の逆数の和と表面張力の積として表すことがで
きる。If groove processing can be performed ideally, the groove width will be transferred as it is regardless of the depth, regardless of the depth. The width becomes narrow. The pressure of the refractive index matching liquid 3 is determined by the curvature of the meniscus portion. In the case of the groove type B, since the meniscus is present at a wide central portion, the sum of the reciprocal of 1/2 of the groove width and the depth, respectively, and the surface It can be expressed as a product of tension.
【００１２】光導波路１に接している狭い部分は反射状
態では空の状態を維持しなければならないが、底の幅が
ある幅より狭いと、屈折率整合液３の圧力のバランスを
維持するために、屈折率整合液が底から持ち上がってメ
ニスカスが光導波路１にかかり光学特性を損なうことが
ある。つまり、溝幅が充分広ければ、メニスカスは底に
留まり、底のコーナー部のみが曲率半径が溝幅の１／２
以下のメニスカスで濡れた状態になる。このときは、光
学的特性を損なうことはない。The narrow portion in contact with the optical waveguide 1 must be kept empty in the reflection state, but if the bottom width is smaller than a certain width, the pressure balance of the refractive index matching liquid 3 is maintained. In some cases, the refractive index matching liquid rises from the bottom and a meniscus is applied to the optical waveguide 1 to deteriorate optical characteristics. In other words, if the groove width is sufficiently large, the meniscus remains at the bottom, and only the bottom corner has a radius of curvature equal to １ ／ of the groove width.
It becomes wet with the following meniscus. At this time, the optical characteristics are not impaired.
【００１３】ところが、溝幅が狭く、コーナーのメニス
カスの曲率半径が溝幅の１／２でも圧力バランスを維持
できないときは、底からメニスカスが鞍形に持ち上がる
ことでバランスがとられる。従来の溝形状では、エッチ
ング加工の不完全さ、すなわち垂直な加工からの加工公
差のために、このような屈折率整合液の持ち上がりが発
生し、反射特性の劣化を生じることがあった。However, when the groove width is small and the pressure balance cannot be maintained even when the radius of curvature of the meniscus at the corner is の of the groove width, the meniscus is lifted from the bottom in a saddle shape to achieve the balance. In the case of a conventional groove shape, such refractive index matching liquid is lifted due to imperfect etching processing, that is, processing tolerance from vertical processing, and the reflection characteristics may be deteriorated.
【００１４】これを以下に定量的に説明する。説明を簡
単にするため、溝は垂直に加工されているとして、溝幅
の違いによる液面上昇を説明する。この結果は、溝の底
が狭まるように加工された溝に対しても、底の部分のみ
が幅が狭いと仮定することで容易に類推して適用するこ
とができる。図７は溝形状タイプＢの溝の一部を断面で
表した図である。正面図は溝の側方から見た図で、溝の
開口側すなわち上から見た平面図に示すＡ−Ａ’の平面
で切断した断面を示す。This will be described quantitatively below. For the sake of simplicity, assuming that the grooves are processed vertically, a description will be given of a rise in liquid level due to a difference in groove width. This result can be easily analogized and applied to a groove processed so that the bottom of the groove is narrowed, assuming that only the bottom is narrow. FIG. 7 is a diagram showing a part of the groove of the groove type B in a cross section. The front view is a diagram viewed from the side of the groove, and shows a cross section taken along the plane AA ′ shown in the plan view of the opening side of the groove, that is, a top view as viewed from above.
【００１５】同じく、平面図は正面図に示すＢ−Ｂ’の
平面で切断した断面図であり、側面図は正面図のＣ−
Ｃ’平面で切断した断面図である。正面図中央部は、溝
幅が狭くなった部分で、ここに光導波路の交差部が位置
する。右側は注入液量の誤差を吸収するための溝中央に
設けた溝幅の広い部分である。したがって、図には溝の
左半分が描かれている。屈折率整合液３は、図の右側に
捕獲され、屈折率整合液３の左側のメニスカスは右側に
凹んだ形となる。Similarly, the plan view is a sectional view taken along the plane BB 'shown in the front view, and the side view is C-
It is sectional drawing cut | disconnected by C 'plane. The central part of the front view is a part where the groove width is narrowed, and the intersection of the optical waveguide is located here. The right side is a wide groove portion provided at the center of the groove for absorbing an error in the amount of the injected liquid. Therefore, the left half of the groove is depicted in the figure. The refractive index matching liquid 3 is captured on the right side of the figure, and the meniscus on the left side of the refractive index matching liquid 3 has a concave shape on the right side.
【００１６】溝は光導波路層に形成されているので溝内
壁は光導波路の材料である石英ガラスが露出している。
屈折率整合液３としてはシリコンオイルが用いられ、ガ
ラスはシリコンオイルに極めて良く濡れる性質を持って
いる。すなわち濡れの接触角は０度である。そのため、
溝内のメニスカスは図に示すように各溝幅方向で溝幅を
直径とする半円形となる。Since the groove is formed in the optical waveguide layer, the inner wall of the groove exposes quartz glass, which is the material of the optical waveguide.
Silicone oil is used as the refractive index matching liquid 3, and glass has a property of being very well wetted by the silicon oil. That is, the contact angle of wetting is 0 degree. for that reason,
As shown in the figure, the meniscus in the groove has a semicircular shape whose diameter is the groove width in each groove width direction.
【００１７】屈折率整合液の圧力は接している気体の圧
力よりも、次式で表される圧力分低くなる。 ΔＰ＝２σ（１／ｗ1＋１／Ｄ） …（１） 屈折率整合液の塊がない溝の部分もコーナー部は屈折率
整合液に濡れた状態である。そのコーナー部の屈折率整
合液の圧力も、屈折率整合液の塊と等しく、したがっ
て、曲率半径をｒとすると、次の関係が成り立つ。 ２（１／ｗ1＋１／Ｄ）＝１／ｒ …（２）The pressure of the refractive index matching liquid is lower than the pressure of the gas in contact therewith by the pressure represented by the following equation. ΔP = 2σ (1 / w 1 + 1 / D) (1) The corners of the grooves where there is no lump of the refractive index matching liquid are wet with the refractive index matching liquid. The pressure of the refractive index matching liquid at the corner is also equal to the mass of the refractive index matching liquid. Therefore, if the radius of curvature is r, the following relationship is established. 2 (1 / w 1 + 1 / D) = 1 / r (2)
【００１８】この曲率半径ｒが、溝幅の１／２より小さ
ければ、溝のコーナーが濡れるだけだが、式（３）のよ
うになると、溝幅の狭い部分で液面が持ち上がることに
なる。 １／ｗ1＋１／Ｄ＜１／ｗ0 …（３） これは、コーナー部の液面の曲率半径が溝幅の１／２よ
り大きくなれないためである。そのため、正面図に示す
ように液面が凸に競り上がるように鞍形のメニスカスを
形成して圧力のバランスがとられる。If the radius of curvature r is smaller than 溝 of the groove width, the corner of the groove is only wet, but according to the formula (3), the liquid surface rises at the narrow portion of the groove width. 1 / w 1 + 1 / D <1 / w 0 (3) This is because the radius of curvature of the liquid surface at the corner cannot be larger than 溝 of the groove width. Therefore, as shown in the front view, a saddle-shaped meniscus is formed so that the liquid surface rises convexly, and the pressure is balanced.
【００１９】その曲率半径をＲとすると、次の関係式が
成り立つ。 ２（１／ｗ1＋１／Ｄ）＝２／ｗ0＋１／Ｒ …（４） したがって、曲率半径Ｒは、式（５）を満たす。 Ｒ＝−（１／２）（１／ｗ0−１／ｗ1−１／Ｄ）-1 …（５） このとき、液面の持ち上がりｈは、溝幅の狭い部分の長
さＬ0として、次のように表される。 ｈ＝Ｒ［１−cos｛sin-1（Ｌ0／２Ｒ）｝］ …（６）Assuming that the radius of curvature is R, the following relational expression holds. 2 (1 / w 1 + 1 / D) = 2 / w 0 + 1 / R (4) Therefore, the radius of curvature R satisfies Expression (5). R = − (1/2) (1 / w 0 −1 / w 1 −1 / D) −1 (5) At this time, the lift h of the liquid surface is defined as the length L 0 of the narrow groove portion. Is expressed as follows. h = R [1-cos {sin -1 (L 0 / 2R)}] (6)
【００２０】この液面の持ち上がりは溝の底だけでな
く、上部でも同じことが起きるはずである。図７の正面
図に表すように上下から屈折率整合液が張り出してくる
形になる。この屈折率整合液のメニスカスが光導波路の
近傍にまで達すると、本来全反射して光路が切り替わる
ところが、一部の光が屈折率整合液へ漏れだして意図し
ない方向へ散乱されることになる。あるいは、液の持ち
上がりが強い場合は、反射状態であるべきところが透過
状態となり、光スイッチとして全く機能しなくなる。The same rise of the liquid level should occur not only at the bottom of the groove but also at the top. As shown in the front view of FIG. 7, the refractive index matching liquid protrudes from above and below. When the meniscus of the refractive index matching liquid reaches the vicinity of the optical waveguide, a part of the light that is originally totally reflected and the optical path is switched will leak to the refractive index matching liquid and be scattered in an unintended direction. . Alternatively, when the lifting of the liquid is strong, a portion that should be in a reflection state is in a transmission state, and does not function as an optical switch at all.
【００２１】次に、どのような寸法の条件で液の持ち上
りが発生するか、具体的な数値で確認する。通常、溝幅
は１０μｍ前後であり、ｗ1を１２μｍ、ｗ0を１０μ
ｍ、溝の深さを４５μｍ、溝幅の狭い部分の長さＬ0を
７０μｍとする。屈折率整合液の表面張力σは約２０ｍ
Ｎ／ｍである。この場合、式（２）からｒを見積もる
と、ｒ＝４７μｍとなり、これはｗ0／２の５μｍより
小さな値なので液面の持ち上がりは発生しない。ただ
し、メニスカスの縁は４．７μｍほど持ち上がってい
る。光導波路の位置は溝の深さのほぼ中央付近にあり、
メニスカスが導波路の中央部から１５μｍ以上離れてい
れば光学的に影響は無い。この場合は１８μｍ離れてい
るので問題ない。Next, specific numerical values are used to confirm under what conditions the liquid is lifted. Usually, the groove width is around 10 μm, w 1 is 12 μm, w 0 is 10 μm.
m, the depth of the groove is 45 μm, and the length L 0 of the narrow portion of the groove is 70 μm. The surface tension σ of the refractive index matching liquid is about 20 m
N / m. In this case, the estimate r from equation (2), r = 47 [mu] m, and the because this is w 0/2 of smaller than 5μm lifting of the liquid level does not occur. However, the edge of the meniscus has been raised by about 4.7 μm. The position of the optical waveguide is near the center of the depth of the groove,
If the meniscus is at least 15 μm from the center of the waveguide, there is no optical effect. In this case, there is no problem because the distance is 18 μm.
【００２２】ところが、ｗ0を９μｍと先ほどより１μ
ｍ狭く設定すると、式（３）が成立する状況となる。式
（５）により持ち上がりの半径Ｒを算出すると、−９０
μｍとなる。Ｒが負の値であるのは、曲率の方向が逆に
なっていることを意味し、メニスカスが鞍型であること
を意味する。この値をもとに式（６）により持ち上がる
高さｈを算出すると、ｈ＝７．１μｍとなる。この値に
メニスカスの縁の持ち上がり４．５μｍを加えて、１
１．６μｍほど液面が持ち上がることになる。However, w 0 is set to 9 μm, which is 1 μm more than the above.
When m is set to be narrower, a situation where Expression (3) holds. When the lifting radius R is calculated by the equation (5), -90
μm. A negative value of R means that the direction of curvature is reversed, and that the meniscus is saddle-shaped. When the lift height h is calculated based on this value by Expression (6), h = 7.1 μm. Add 4.5 μm of the lift of the edge of the meniscus to this value to obtain 1
The liquid level rises by about 1.6 μm.
【００２３】この場合は、光導波路の中心から、１０．
９μｍのところまでメニスカスが接近することになる。
このくらい近づくと反射損失の増加として光学特性の劣
化が観測されるようになる。さらに溝幅を狭くしてｗ0
＝８μｍに設定すると、Ｒ＝−２５μｍとなり、持ち上
がる屈折率整合液の直径は、幅の狭い部分の長さより短
くなるので、もはや、図７の正面図に表すように上下か
ら迫り出した形で留まることができず、この幅の狭い部
分は屈折率整合液で満たされてしまうことになる。In this case, from the center of the optical waveguide, 10.
The meniscus approaches up to 9 μm.
As the distance approaches, deterioration of optical characteristics is observed as an increase in reflection loss. Further narrow the groove width to w 0
= 8 μm, R = −25 μm, and the diameter of the refractive index matching liquid that is lifted is shorter than the length of the narrow portion, so that it no longer protrudes from above and below as shown in the front view of FIG. 7. The narrow portion cannot be stopped, and is filled with the refractive index matching liquid.
【００２４】このような状況になると光スイッチとして
は全く機能しなくなる。液保持構造として設けられた溝
幅の段差は大きいほどその保持力がおおきくなるのでは
あるが、液を捕獲するための幅の狭い部分の幅を狭くし
すぎると、空にすべき状況で液が逆戻りして光スイッチ
としての機能を損なうことになる。そのため、溝形状の
設計では、このような問題が起きないよう、例えば、上
記説明で用いた最初の条件、すなわちｗ1を１２μｍ、
ｗ0を１０μｍ、溝の深さを４５μｍ、溝幅の狭い部分
の長さＬ0を７０μｍといった、液面の上昇が起きない
ような条件を採用することになる。In such a situation, the optical switch does not function at all. The larger the step of the groove width provided as the liquid holding structure, the greater the holding power, but if the width of the narrow portion for capturing the liquid is too narrow, the liquid should be emptied in a situation where it should be emptied. Reverts to impair the function as an optical switch. Therefore, in designing the groove shape, for example, the first condition used in the above description, that is, w 1 is set to 12 μm so that such a problem does not occur.
A condition such that the liquid level does not rise, such as 10 μm for w 0 , 45 μm for the depth of the groove, and 70 μm for the length L 0 of the narrow groove width, is adopted.
【００２５】しかし、実際の溝加工では、エッチング加
工の性質上、先にも説明したように底部の幅が狭く加工
されるのが普通である。開口部の幅が１０μｍのとき、
４５μｍの溝深さで、底部の幅は２μｍ程度狭くなる。
そのため、上記に説明したような液面の上昇が底部側で
発生し、光スイッチの反射特性が劣化することが起き
る。However, in the actual groove processing, it is usual that the bottom width is narrowed as described above due to the nature of the etching processing. When the width of the opening is 10 μm,
At a groove depth of 45 μm, the width at the bottom is reduced by about 2 μm.
Therefore, the rise in the liquid level as described above occurs on the bottom side, and the reflection characteristics of the optical switch may deteriorate.
【００２６】溝形状タイプＢの溝形状では、捕獲された
液のメニスカスの一方が幅の広い部分に位置するので、
溝の底部が狭く加工されると上記の説明のように液面の
上昇が避けられない。これに対して溝形状タイプＡの溝
形状では、液は幅の狭い部分に完全に捕獲され、メニス
カスは幅の狭い場所に位置する。そのため、同じ幅を持
っている反対側の幅の狭い部分での液の上昇は起こりに
くい。In the groove shape of the groove type B, one of the meniscuses of the captured liquid is located in a wide portion.
If the bottom of the groove is processed to be narrow, a rise in the liquid level is inevitable as described above. On the other hand, in the groove shape of the groove shape type A, the liquid is completely captured in the narrow portion, and the meniscus is located in the narrow portion. Therefore, the liquid is unlikely to rise in the narrow portion on the opposite side having the same width.
【００２７】しかし、溝形状タイプＡの溝形状は、溝形
状タイプＢに比べ長くなるといった欠点を持っている。
以上、説明したように、本発明が解決しようとする課題
は、反射特性の劣化の原因となる溝の垂直加工公差によ
る溝底の幅の狭まりによる液の持ち上がりを防止し、か
つ、液注入の制御量誤差に対処するためのマージンを見
込んだ設計をしても従来と比べて実質的に溝長さを増や
すことのない新規な溝形状を提供することである。However, the groove shape of the groove shape type A has a disadvantage that it is longer than the groove shape type B.
As described above, the problem to be solved by the present invention is to prevent the liquid from being lifted due to the narrowing of the groove bottom due to the vertical processing tolerance of the groove which causes the deterioration of the reflection characteristics, and to prevent the liquid injection. An object of the present invention is to provide a novel groove shape which does not substantially increase the groove length as compared with the related art, even if a design is made with a margin for coping with a control amount error.
【００２８】[0028]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明では、互いに交差する光導波路の交差部に、
光導波路を遮る深さを有する溝が形成され、その溝の中
を光導波路と等しい屈折率を有する屈折率整合液が移動
することにより動作する光スイッチにおいて、その溝の
両端に幅の狭い箇所が設けられ、溝の中央部の幅が広
く、この幅の広い中央部に上記光導波路の交差部が位置
することを特徴としている。In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, at the intersection of optical waveguides which intersect each other,
A groove having a depth that blocks an optical waveguide is formed, and an optical switch that operates by moving a refractive index matching liquid having a refractive index equal to that of the optical waveguide in the groove has narrow portions at both ends of the groove. The width of the central portion of the groove is wide, and the intersection of the optical waveguide is located in the wide central portion.
【００２９】〔作用〕本発明の光スイッチにおける溝形
状は、図１に示すように、液のメニスカスの位置する溝
幅と光導波路が存在する溝部分の幅が同じなので液の上
昇は起こりにくい。また、最小液量の長さをＬ、液注入
の誤差マージンをＬmとして、溝の長さ（気体の迂回路
用溝と接続するための溝両端の幅広部の長さは除外）
は、２Ｌ＋Ｌ m＋２Ｌ0である。[Operation] Groove type in the optical switch of the present invention
The shape is the groove where the liquid meniscus is located, as shown in FIG.
Since the width and the width of the groove where the optical waveguide exists are the same,
Ascent is unlikely to occur. In addition, the minimum liquid volume length is L, liquid injection
Error margin of LmAs the groove length (gas detour
(Excluding the length of the wide part at both ends of the groove to connect with the groove for use)
Is 2L + L m+ 2L0It is.
【００３０】ここで液量を長さで表現しているのは、溝
の深さは場所にかかわらず一定で、溝幅の変化もわずか
であるため、平面図で見られる屈折率整合液の長さで液
量を表現するのが便利なためである。従来の溝形状、図
６（ａ）（ｂ）の溝形状タイプＡと溝形状タイプＢで
は、この溝の長さは、それぞれ、２Ｌ＋２Ｌm＋Ｌ1と２
Ｌ＋Ｌmになる。Here, the amount of the liquid is expressed by the length because the depth of the groove is constant regardless of the location and the change in the groove width is slight, so that the refractive index matching liquid shown in the plan view is used. This is because it is convenient to express the liquid volume by length. In the conventional groove shape, groove shape type A and groove shape type B shown in FIGS. 6A and 6B, the lengths of the grooves are 2L + 2L m + L 1 and 2L, respectively.
Become L + L m.
【００３１】従来の溝形状タイプＢが３種類の中で最も
短いが、Ｌ0は数μｍと短く設計できるので実質的に
は、本発明の溝形状は従来の溝形状タイプＢと長さに差
はほとんどない。ちなみに、典型的なＬの値は溝幅１０
μｍ、光導波路の交差角７０度として、７０μｍ程度で
ある。Although the conventional groove shape type B is the shortest of the three types, L 0 can be designed as short as several μm, so that the groove shape of the present invention is substantially the same length as the conventional groove shape type B. There is almost no difference. By the way, a typical value of L is a groove width of 10
μm, the intersection angle of the optical waveguide is 70 degrees, and is about 70 μm.
【００３２】液量の注入誤差は±１０％程度なのでＬ＝
７０μｍとしてマージンはＬm＝１５μｍと見積もられ
る。実際の設計ではＬの値を数割増し、マージンＬmを
この数倍見込んで設計するので、両脇の液保持用の構造
の長さ２Ｌ0は全体の長さからはほとんど無視できる。Since the injection error of the liquid volume is about ± 10%, L =
Assuming 70 μm, the margin is estimated to be L m = 15 μm. The actual number value of L in the design premium, since the design anticipates this several times a margin L m, the length 2L 0 structure for both sides of the liquid holding can almost ignored from the total length of the.
【００３３】[0033]
【発明の実施の形態】以下、本発明について、実施例を
参照して具体的に説明する。 （実施例１）本発明の第１の実施例に係る光スイッチを
図２に示す。図２は、光スイッチにおける溝形状を表
し、溝の開口の形状を表す。屈折率整合液を保持するた
めの幅の狭い部分の溝幅ｗ0＝９μｍ、中央の幅の広い
部分の溝幅ｗ1＝１０μｍとする。それぞれの長さをＬ0
＝５μｍ、Ｌ1＝２４０μｍとする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to embodiments. Embodiment 1 FIG. 2 shows an optical switch according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 shows the shape of the groove in the optical switch, and shows the shape of the opening of the groove. The groove width w 0 of the narrow portion for holding the refractive index matching liquid is 9 μm, and the groove width w 1 of the central wide portion is 10 μm. Each length is L 0
= 5 μm and L 1 = 240 μm.
【００３４】最小の液量を長さでＬ＝８０μｍとし、屈
折率整合液の長さのマージンを同じくＬm＝８０μｍに
設定する。導波路の交差部は幅ｗ1の部分の端から４０
μｍとする。この液量と溝形状の関係であれば、屈折率
整合液が右に捕獲された状態では反射状態、屈折率整合
液が左に捕獲された状態では透過状態になる。屈折率整
合液が右側に捕獲された状態で、空の部分の屈折率整合
液の上昇を考えることにする。溝の深さを４５μｍとし
て、式（２）からコーナーの濡れのメニスカスの曲率半
径は、ｒ＝４．１μｍとなる。The minimum liquid amount is set to L = 80 μm in length, and the length margin of the refractive index matching liquid is set to L m = 80 μm. Intersection of the waveguide from an end portion of the width w 1 40
μm. With this relationship between the liquid amount and the groove shape, the liquid crystal becomes a reflection state when the refractive index matching liquid is captured to the right and a transmission state when the refractive index matching liquid is captured to the left. With the refractive index matching liquid captured on the right side, the rise of the refractive index matching liquid in an empty portion will be considered. Assuming that the depth of the groove is 45 μm, the radius of curvature of the wet meniscus at the corner is r = 4.1 μm from Equation (2).
【００３５】捕獲された屈折率整合液のメニスカスの位
置する溝幅と導波路の位置する溝幅は同じなので、この
半径は溝幅より必ず小さくなる。したがって、液面が上
昇することはあり得ない。これは溝が垂直に理想的に形
成された場合であるが、溝の底が狭まって形成されたと
しても、メニスカスの曲率半径がｒ＝４．１μｍと算出
されるので幅８．２μｍまでは液面の上昇は抑制され
る。Since the groove width where the meniscus of the captured refractive index matching liquid is located is the same as the groove width where the waveguide is located, this radius is always smaller than the groove width. Therefore, the liquid level cannot rise. This is a case where the groove is ideally formed vertically. However, even if the groove is formed with a narrow bottom, the radius of curvature of the meniscus is calculated as r = 4.1 μm. The rise in the liquid level is suppressed.
【００３６】このように従来の溝形状に比べ液面の上昇
は少なくなる。また、溝の長さについても、従来の溝形
状タイプＢの溝形状と比べほとんど差はない。同じ条件
すなわち、最小の液量を長さで８０μｍ、屈折率整合液
の長さのマージンを８０μｍとして、従来の溝形状では
溝形状タイプＡの長さは、３２５μｍ、溝形状タイプＢ
では、２４０μｍとなる。As described above, the rise of the liquid level is reduced as compared with the conventional groove shape. Also, there is almost no difference in the length of the groove as compared with the groove shape of the conventional groove shape type B. Under the same conditions, that is, the minimum liquid volume is 80 μm in length and the length margin of the refractive index matching liquid is 80 μm, the length of the groove type A is 325 μm and the groove type B is the conventional groove shape.
Is 240 μm.
【００３７】ただし、溝形状タイプＡでの中央の溝幅の
広い部分の長さを５μｍとした。本発明の溝では、長さ
は、２５０μｍとなり、従来の溝形状タイプＢの２４０
μｍと比較して大きな差はない。以上のように、本発明
によれば、反射特性の劣化の原因となる溝の垂直加工公
差による溝底の幅の狭まりによる屈折率整合液の持ち上
がりを防止し、かつ、液注入の制御量誤差に対処するた
めのマージンを見込んだ設計をしても従来と比べて実質
的に溝長さを増やすことのない溝形状を提供することが
できる。However, the length of the wide portion at the center of the groove type A was 5 μm. In the groove of the present invention, the length is 250 μm, which is 240 μm of the conventional groove shape type B.
There is no significant difference compared to μm. As described above, according to the present invention, it is possible to prevent the refractive index matching liquid from lifting due to the narrowing of the groove bottom due to the vertical processing tolerance of the groove that causes the deterioration of the reflection characteristic, and to control the liquid injection control amount error. Even if the design is made in consideration of a margin for coping with the above, it is possible to provide a groove shape which does not substantially increase the groove length as compared with the related art.
【００３８】（実施例２）本発明の第２の実施例に係る
光スイッチを図３に示す。本実施例は、上記溝形状と類
似の形状を表したものである。図３（ａ）は光導波路の
交差部が位置する側の溝形状は実施例１と同じで、反対
側が図６（ａ）に示す従来の溝形状タイプＡと同じ構造
の溝である。この溝形状では、反射状態（すなわち図の
左側が空の状態）の時、屈折率整合液は右側の幅の狭い
部分に完全に捕獲され、メニスカスの位置する溝幅は、
確実に導波路の位置する溝幅より狭いので、屈折率整合
液の上昇は抑制される。(Embodiment 2) FIG. 3 shows an optical switch according to a second embodiment of the present invention. This embodiment shows a shape similar to the above-mentioned groove shape. In FIG. 3A, the groove shape on the side where the intersection of the optical waveguide is located is the same as that of the first embodiment, and the opposite side is a groove having the same structure as the conventional groove shape type A shown in FIG. In this groove shape, in the reflection state (that is, the left side of the figure is empty), the refractive index matching liquid is completely captured by the narrow part on the right side, and the groove width where the meniscus is located is:
Since the width is surely smaller than the groove width where the waveguide is located, the rise of the refractive index matching liquid is suppressed.
【００３９】この溝パターンのように、左右で非対称の
場合も、屈折率整合液のメニスカス部の溝幅が導波路の
ある溝幅と比べて同じか、あるいはそれより狭ければ、
液面の上昇は抑制され、実施例１で説明したと同様の効
果が期待される。図３（ａ）の溝形状の変形として、図
３（ｂ）のように左側の中央部に近い箇所に屈折率整合
液を保持するための幅の狭い箇所を設けた溝形状でも同
様の効果が期待される。この場合は、透過状態での液保
持が溝の左側の幅の狭い箇所の２つのうちどちらかで行
われる。As in this groove pattern, even in the case of asymmetrical left and right, if the groove width of the meniscus portion of the refractive index matching liquid is equal to or smaller than the groove width of the waveguide,
The rise in the liquid level is suppressed, and the same effects as described in the first embodiment are expected. As a modification of the groove shape shown in FIG. 3A, the same effect can be obtained by forming a groove having a narrow width for holding the refractive index matching liquid at a position near the center on the left side as shown in FIG. 3B. There is expected. In this case, the liquid holding in the transmission state is performed at one of two narrow portions on the left side of the groove.
【００４０】図３（ｃ）は、図３（ａ）の右平分が図６
（ｂ）に示す従来の溝形状タイプＢと同じ形状である溝
形状である。これの変形として図３（ｄ）は、図３
（ｃ）の左半分が図３（ｂ）と同じ溝形状である。図３
（ｃ）（ｄ）は、反射状態の時の屈折率整合液のメニス
カス位置が中央部の幅の広い部分になるが、導波路の位
置する部分の溝幅はこれと同じなので、液面上昇が抑制
される。FIG. 3 (c) shows that the right half of FIG.
The groove shape is the same as the conventional groove shape type B shown in FIG. FIG. 3D is a modification of FIG.
The left half of (c) has the same groove shape as in FIG. 3 (b). FIG.
In (c) and (d), the meniscus position of the refractive index matching liquid in the reflective state is a wide portion at the center, but the groove width at the portion where the waveguide is located is the same, so the liquid level rises. Is suppressed.
【００４１】ここで説明した４つの溝形状は、従来の溝
形状と実施例１で説明した新規な溝形状との折衷形状な
ので、溝の長さに関しては、溝形状タイプＢや実施例１
の溝形状より長くなる。また、屈折率整合液の保持構造
が左右で非対称なので、液保持の特性も非対称になり、
光スイッチの切替特性も透過、反射の切替で速度や必要
な加熱電力、時間に差を生じる。したがって、実際のス
イッチとして使用する場合は駆動に注意が必要である。Since the four groove shapes described here are a compromise between the conventional groove shape and the new groove shape described in the first embodiment, the length of the groove is not limited to the groove shape type B or the first embodiment.
It becomes longer than the groove shape. In addition, since the holding structure of the refractive index matching liquid is asymmetric on the left and right, the liquid holding characteristics are also asymmetric,
The switching characteristics of the optical switch also cause differences in speed, required heating power, and time when switching between transmission and reflection. Therefore, when used as an actual switch, care must be taken in driving.
【００４２】（実施例３）上記説明及び実施例１、実施
例２では、溝内の一部に屈折率整合液が存在し、これが
溝内を動くことにより光路の切り替わる光スイッチに限
定して議論してきた。実施例３では、溝、迂回路用溝の
ほとんどが屈折率整合液で満たされて溝の中を気泡が動
くことで光路の切替を行う光スイッチについて溝形状を
示す。熱毛細管現象を利用した交差導波路形光スイッチ
には、屈折率整合液を溝内で移動させるタイプと気泡を
移動させるタイプの２種類がある。(Embodiment 3) In the above description and the first and second embodiments, the refractive index matching liquid exists in a part of the groove, and is limited to an optical switch whose optical path is switched by moving in the groove. Have been discussing. In the third embodiment, a groove shape is shown for an optical switch that switches the optical path by moving most of the groove and the bypass groove with the refractive index matching liquid and moving bubbles in the groove. There are two types of cross-waveguide optical switches utilizing the thermocapillary phenomenon: a type that moves the refractive index matching liquid in the groove and a type that moves bubbles.
【００４３】後者は、前者の屈折率整合液と気体の量的
関係を逆にしただけで、動作原理などは全く同じであ
る。ただし、気泡を所定の位置に捕獲するための溝構造
は、屈折率整合液を捕獲する場合と逆に溝幅を広くする
ことで実現され、そのため溝形状は、屈折率整合液を移
動させるタイプと溝幅の大小関係が逆になる。すなわ
ち、図に記載してある溝幅ｗ0，ｗ1，ｗ2は、液保持機
能を実現するため、ｗ0＞ｗ1＞ｗ2の条件を満たしてい
る必要がある。In the latter, the principle of operation and the like are exactly the same, except that the quantitative relationship between the refractive index matching liquid and the gas is reversed. However, the groove structure for trapping air bubbles at a predetermined position is realized by widening the groove width contrary to the case of capturing the refractive index matching liquid, and therefore, the groove shape is a type in which the refractive index matching liquid is moved. And the relationship between the groove widths is reversed. That is, the groove widths w 0 , w 1 , and w 2 shown in the drawing need to satisfy the condition w 0 > w 1 > w 2 in order to realize the liquid holding function.
【００４４】本発明の第３の実施例に係る光スイッチを
図４に示す。図４に示す溝形状は、気泡を移動させるタ
イプの光スイッチである。図４（ａ）と図４（ｂ）はそ
れぞれ図６（ａ）（ｂ）に示す屈折率整合液を移動する
従来の溝形状タイプＡ、溝形状タイプＢに対応する溝形
状である。図４（ｃ）の溝形状は、実施例１で説明した
溝形状に対応する気泡移動タイプの溝形状である。これ
らは、気泡が存在する場所が空の状態で、気泡が導波路
の交差部側にあるとき反射状態となる。FIG. 4 shows an optical switch according to a third embodiment of the present invention. The groove shape shown in FIG. 4 is an optical switch of a type that moves bubbles. FIGS. 4A and 4B show groove shapes corresponding to the conventional groove shape type A and groove shape type B for moving the refractive index matching liquid shown in FIGS. 6A and 6B, respectively. The groove shape in FIG. 4C is a bubble moving type groove shape corresponding to the groove shape described in the first embodiment. These are in a reflection state when the place where the bubble exists is empty and the bubble is on the intersection side of the waveguide.
【００４５】これら３種類とも、図４（ａ）に示すよう
にメニスカスの存在する位置の溝幅に対して気泡の中央
部が位置する溝の幅は同じか、図４（ｂ）（ｃ）に示す
ように広いので、液面の持ち上がりに関しては、もとも
と抑制効果があることが分かる。図４（ｃ）は実施例１
の溝形状をもとに、気泡を移動するタイプの光スイッチ
に変更したものなので、基本的に本発明に関わる溝形状
の一つである。In all three types, as shown in FIG. 4A, the width of the groove where the center of the bubble is located is the same as the width of the groove where the meniscus is present, or FIGS. 4B and 4C. It can be seen that there is an effect of suppressing the rising of the liquid level from the beginning as shown in FIG. FIG. 4C shows the first embodiment.
Since the optical switch is of a type that moves bubbles based on the groove shape described above, this is basically one of the groove shapes related to the present invention.
【００４６】[0046]
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の光スイ
ッチでは、反射特性の劣化の原因となる溝の垂直加工公
差による溝底の幅の狭まりによる屈折率整合液の持ち上
がりが防止され、かつ、液注入の制御量誤差に対処する
ためのマージンを見込んだ設計をしても従来と比べて実
質的に溝長さを増やすことがない新規な溝形状を有して
いるので、光スイッチの製造性を向上するのに有効であ
る。As described above, in the optical switch according to the present invention, the refractive index matching liquid is prevented from rising due to the narrowing of the groove bottom due to the vertical processing tolerance of the groove, which causes the deterioration of the reflection characteristic. In addition, the optical switch has a new groove shape that does not substantially increase the groove length compared to the conventional one, even if it is designed with a margin to cope with the error in the control amount of liquid injection. It is effective for improving the productivity of the.
【図１】本発明の光スイッチの溝形状の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a groove shape of an optical switch of the present invention.
【図２】本発明に関わる実施例１の光スイッチの溝形状
の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a groove shape of the optical switch according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明に関わる実施例２の光スイッチの溝形状
の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a groove shape of an optical switch according to a second embodiment of the present invention.
【図４】本発明に関わる実施例３の気泡を移動するタイ
プの光スイッチの溝形状を表す平面図である。FIG. 4 is a plan view illustrating a groove shape of an optical switch that moves bubbles in a third embodiment according to the present invention.
【図５】光スイッチの構造を表す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view illustrating a structure of an optical switch.
【図６】従来の光スイッチにおける溝形状を表す平面図
である。FIG. 6 is a plan view illustrating a groove shape in a conventional optical switch.
【図７】従来の光スイッチにおける溝内部の液面上昇を
説明する断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a rise in liquid level inside a groove in a conventional optical switch.
１ 光導波路 ２ 溝 ３ 屈折率整合液 ４ ヒータ ５ 光導波路基板 ６ 上部基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical waveguide 2 Groove 3 Refractive index matching liquid 4 Heater 5 Optical waveguide substrate 6 Upper substrate
─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１１年１２月２４日（１９９９．１２．
２４）[Submission date] December 24, 1999 (1999.12.
24)
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】特許請求の範囲[Correction target item name] Claims
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【特許請求の範囲】[Claims]
【手続補正２】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２８[Correction target item name] 0028
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００２８】[0028]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明では、互いに交差する光導波路の交差部に、
光導波路を遮る深さを有する溝が形成され、その溝の中
を光導波路と等しい屈折率を有する屈折率整合液が移動
することにより動作する光スイッチにおいて、その溝の
両端に幅の狭い箇所が設けられ、溝の中央部の幅が広
く、この幅の広い中央部に上記光導波路の交差部が位置
し、前記幅の狭い箇所の幅ｗ1と前記溝の深さＤとから
２（１／ｗ1＋１／Ｄ）＝１／ｒで表される前記液体の
メニスカスの曲率半径ｒが前記中央部の幅ｗ0の二分の
一より小さいことを特徴としている。In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, at the intersection of optical waveguides which intersect each other,
A groove having a depth that blocks an optical waveguide is formed, and an optical switch that operates by moving a refractive index matching liquid having a refractive index equal to that of the optical waveguide in the groove has narrow portions at both ends of the groove. The width of the central portion of the groove is wide, and the intersection of the optical waveguide is located at the wide central portion.
Then, from the width w 1 of the narrow portion and the depth D of the groove,
2 (1 / w 1 + 1 / D) = 1 / r
The radius of curvature r of the meniscus is half the width w 0 of the central portion.
It is characterized by being smaller than one .
Claims (1)
導波路を遮る深さを有する溝が形成され、その溝の巾を
光導波路と等しい屈折率を有する液体が移動することに
より動作する光スイッチにおいて、その溝の両端に幅の
狭い箇所が設けられ、溝の中央部の幅が広く、この幅の
広い中央部に上記光導波路の交差部が位置することを特
徴とする光スイッチ。A light having a depth that blocks an optical waveguide is formed at an intersection of optical waveguides that intersect each other, and light that operates by moving a liquid having a refractive index equal to that of the optical waveguide to the width of the groove. An optical switch, wherein narrow portions are provided at both ends of the groove, a central portion of the groove is wide, and an intersection of the optical waveguide is located at the wide central portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29063298A JP2000121969A (en) | 1998-10-13 | 1998-10-13 | Optical switch |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29063298A JP2000121969A (en) | 1998-10-13 | 1998-10-13 | Optical switch |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000121969A true JP2000121969A (en) | 2000-04-28 |
Family
ID=17758499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29063298A Pending JP2000121969A (en) | 1998-10-13 | 1998-10-13 | Optical switch |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000121969A (en) |
Cited By (3)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000808 |