JP2000121689A - Capacitive load driving unit and inspecting method and inspecting device therefor - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately determine the quality of a unit without influence of a capacitor in inspection, and function the capacitor to supply instantaneous current after the end of inspection. SOLUTION: A head unit 11 is formed by an ink jet print head 12 which uses a piezoelectric member and adapted to discharge ink by distortion deformation of the piezoelectric member by voltage application, a driving circuit 13 for driving the print head, and a series circuit of a capacitor 14 connected between driving power supply lines Vcc, Vss to the driving circuit for supplying instantaneous current at the time of driving the head, and a select means 15 selectively connected between the driving power supply lines Vcc and Vss. In inspection, the capacitor 14 is separated from the circuit by the select means, and a current waveform flowing through the driving power supply line Vcc outside the head unit 11 is detected by the current probe 211 of an oscilloscope 21 to be displayed on the screen. After the end of inspection, the capacitor 14 is connected to the circuit by the select means.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の容量性素子
から成る容量性負荷とこの容量性負荷を駆動する駆動回
路とを一体化した容量性負荷駆動ユニット及びこのユニ
ットの検査方向並びに検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a capacitive load drive unit in which a capacitive load composed of a plurality of capacitive elements and a drive circuit for driving the capacitive load are integrated, a test direction of the unit and a test apparatus. About.

【０００２】[0002]

【従来の技術】例えば、圧電部材の両面に電極を添設
し、この各電極間に電圧を印加することで圧電部材に歪
みを起してインク室内に圧力変化を与えインク室のイン
ク吐出口からインク滴を吐出させるタイプのインジェッ
トプリントヘッドが知られているが、この種のインクジ
ェットプリントヘッドは等価回路で表わすと複数の容量
性素子を接続した容量性負荷と見なすことができる。2. Description of the Related Art For example, electrodes are provided on both sides of a piezoelectric member, and when a voltage is applied between the electrodes, the piezoelectric member is distorted to cause a pressure change in the ink chamber to provide an ink discharge port of the ink chamber. An ink jet print head of a type that ejects ink droplets from an inkjet print head is known, but this type of ink jet print head can be regarded as a capacitive load in which a plurality of capacitive elements are connected in an equivalent circuit.

【０００３】例えば、図２１は１つの容量性素子に対す
る駆動回路の等価回路を示す例で、駆動電源と駆動回路
グランドとの間に２つのトランジスタＴr1，Ｔr2との直
列回路を接続し、その各トランジスタＴr1，Ｔr2の接続
点を圧電素子からなる印字ヘッドＨを介してヘッドグラ
ンドに接続している。そして、各トランジスタＴr1，Ｔ
r2をレベル変換器Ｌからの電圧信号により交互にオン、
オフ動作し、トランジスタＴr1がオン、トランジスタＴ
r2がオフのときには駆動電源からトランジスタＴr1を介
して印字ヘッドＨに充電電流が流れてその印字ヘッドＨ
に電荷を充電し、逆にトランジスタＴr2がオン、トラン
ジスタＴr1がオフのときには印字ヘッドＨの充電電荷が
トランジスタＴr2、駆動回路グランド、ヘッドグランド
を介して放電し、この動作により印字ヘッドＨの圧電素
子が変形動作を行うことになる。For example, FIG. 21 shows an example of an equivalent circuit of a drive circuit for one capacitive element. A series circuit of two transistors Tr1 and Tr2 is connected between a drive power supply and a drive circuit ground, and each of the series circuits is connected. A connection point between the transistors Tr1 and Tr2 is connected to a head ground via a print head H composed of a piezoelectric element. Then, each transistor Tr1, T
r2 is alternately turned on by the voltage signal from the level converter L,
The transistor Tr1 is turned on and the transistor T1 is turned off.
When r2 is off, a charging current flows from the driving power supply to the print head H via the transistor Tr1, and the print head H
When the transistor Tr2 is turned on and the transistor Tr1 is turned off, the charged charge of the print head H is discharged via the transistor Tr2, the drive circuit ground, and the head ground, and this operation causes the piezoelectric element of the print head H to be charged. Performs the deformation operation.

【０００４】ところで、製造工程においてインクジェッ
トプリントヘッドに駆動回路を接続しヘッドユニットと
して一体化する場合に、ヘッドと駆動回路との接続状態
等を検査してヘッドユニットの良品、不良品を判別する
必要がある。しかし、ヘッドと駆動回路との間を接続す
る信号線の数は１００〜３０００本程度と多く、また、
各信号線は極めて細く、しかも各信号線間のピッチが５
０〜２００μｍ程度と極めて狭いため、例えば、各信号
線に順次プローブを当てて電流や電圧の状態を検査する
ことは不可能に近い。When a drive circuit is connected to an ink jet print head in a manufacturing process and integrated as a head unit, it is necessary to inspect the connection state and the like between the head and the drive circuit to determine a good or defective head unit. There is. However, the number of signal lines connecting between the head and the drive circuit is as large as about 100 to 3000, and
Each signal line is extremely thin, and the pitch between each signal line is 5
Since it is extremely narrow, about 0 to 200 μm, for example, it is almost impossible to inspect current and voltage states by sequentially applying probes to each signal line.

【０００５】このようなことから、特開平１０−８６３
５８号公報に記載したものは、図２２に示すように、ユ
ニットインターフェース１、駆動回路２及び印字ヘッド
３で印字ヘッドユニット４を形成し、駆動回路２からの
駆動回路グランド５と印字ヘッド３からのヘッドグラン
ド６との間に溶解により両グランド５，６間を短絡する
ソルダーポイント７を設け、このソルダーポイント７を
非接続状態として印字ヘッド３−ヘッドグランド６間の
電流波形を電流プローブ８で検出し、この電流波形を電
流−電圧変換器で電圧波形に変換し、さらに積分装置で
積分して波形記録装置に供給し、この波形記録装置で波
形を記録し、この記録した波形を正常時の波形と比較し
てヘッドユニット４の良否を判定している。そして、検
査が終了するとソルダーポイント７を溶解して短絡し、
印字ヘッド３の充放電電流がヘッドユニット外に流れな
いようにしている。In view of the above, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-863
No. 58, as shown in FIG. 22, a print head unit 4 is formed by a unit interface 1, a drive circuit 2 and a print head 3, and a drive circuit ground 5 from the drive circuit 2 and a print head 3 A solder point 7 for short-circuiting the two grounds 5 and 6 by dissolution between the head ground 6 and the head ground 6 is provided. With the solder point 7 disconnected, the current waveform between the print head 3 and the head ground 6 is measured by the current probe 8. The current waveform is detected, converted into a voltage waveform by a current-voltage converter, further integrated by an integrator and supplied to a waveform recording device, and the waveform is recorded by the waveform recording device. The quality of the head unit 4 is determined by comparing the waveforms of FIG. When the inspection is completed, the solder point 7 is melted and short-circuited,
The charge / discharge current of the print head 3 is prevented from flowing outside the head unit.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、複数の容量
性素子を接続した容量性負荷である印字ヘッドとこれを
駆動する駆動回路を一体化したヘッドユニットに対して
電源を供給する場合、比較的長いケーブルを介して供給
が行われるため、ケーブルのインダクタンス成分がヘッ
ドユニットへの電源供給に大きな影響を及ぼす。すなわ
ち、印字ヘッドを高速で駆動する場合には電源電流の高
速な供給が要求されるが、ケーブルのインダクタンス成
分による遅れが生じるため、電源電流の供給が追従でき
なくなる。このようなことから、駆動回路への電源の供
給ラインにバイパス用のコンデンサを設け、印字ヘッド
の高速駆動に対してこのコンデンサから駆動回路に瞬時
に電流を供給する必要がある。しかも、このコンデンサ
はインダクタンス成分の影響をほとんど受けないように
するために駆動回路に近接して配置する必要がある。す
なわち、コンデンサをヘッドユニット内に一体に組込む
必要がある。In the case where power is supplied to a head unit that integrates a print head, which is a capacitive load connected to a plurality of capacitive elements, and a drive circuit for driving the print head, a relatively large amount of power is supplied. Since the power is supplied through a long cable, the inductance component of the cable has a great influence on the power supply to the head unit. That is, when the print head is driven at a high speed, a high-speed supply of the power supply current is required. However, the supply of the power supply current cannot be followed because a delay occurs due to the inductance component of the cable. For this reason, it is necessary to provide a bypass capacitor in the power supply line to the drive circuit, and to supply current to the drive circuit instantaneously from this capacitor for high-speed drive of the print head. In addition, this capacitor needs to be arranged close to the drive circuit so as to be hardly affected by the inductance component. That is, it is necessary to integrally incorporate the capacitor in the head unit.

【０００７】このように、ヘッドユニット内にコンデン
サを組込んだ場合、前述した公報のように駆動回路から
の駆動回路グランドと印字ヘッドからのヘッドグランド
との間を切離して印字ヘッド−ヘッドグランド間の電流
波形を検出するものでは、コンデンサの影響を受けてし
まい正しい電流波形の検出ができなくなり、結果として
ヘッドユニットの良否判定を正確にできなくなるという
問題があった。As described above, when the capacitor is incorporated in the head unit, the drive circuit ground from the drive circuit and the head ground from the print head are separated from each other as described in the above-mentioned publication, so that the print head and the head ground are separated. In the case of detecting the current waveform, there is a problem that the influence of the capacitor makes it impossible to detect a correct current waveform, and as a result, the quality of the head unit cannot be accurately determined.

【０００８】そこで、請求項１乃至６記載の発明は、容
量性負荷とこの駆動回路及び容量性負荷に瞬時電流を供
給するためのコンデンサをユニットとして組込んだもの
において、検査時にはコンデンサの影響を受けずにユニ
ットの良否判定が正確にでき、しかも、検査終了後には
コンデンサを瞬時電流の供給用として機能させることが
できる容量性負荷駆動ユニットを提供する。Therefore, the inventions according to the first to sixth aspects of the present invention incorporate a capacitive load, a drive circuit and a capacitor for supplying an instantaneous current to the capacitive load as a unit. Provided is a capacitive load drive unit capable of accurately determining the quality of a unit without receiving the same, and further allowing a capacitor to function as an instantaneous current supply after completion of an inspection.

【０００９】また、請求項７乃至９記載の発明は、容量
性負荷とこの駆動回路及び容量性負荷に瞬時電流を供給
するためのコンデンサを組込んだ容量性負荷駆動ユニッ
トに対して、コンデンサの影響を受けずにユニットの良
否判定の検査を正確にできる容量性負荷駆動ユニットの
検査方法を提供する。The invention according to claims 7 to 9 provides a capacitive load drive unit incorporating a capacitive load and a capacitor for supplying an instantaneous current to the drive circuit and the capacitive load. Provided is a method of inspecting a capacitive load drive unit that can accurately inspect the quality of a unit without being affected.

【００１０】また、請求項１０乃至１５記載の発明は、
容量性負荷とこの駆動回路及び容量性負荷に瞬時電流を
供給するためのコンデンサを組込んだ容量性負荷駆動ユ
ニットに対して、コンデンサの影響を受けずにユニット
の良否判定の検査を電流波形により正確かつ容易にでき
る容量性負荷駆動ユニットの検査装置を提供する。Further, the invention according to claims 10 to 15 is:
For a capacitive load drive unit that incorporates a capacitive load and a capacitor for supplying instantaneous current to the drive circuit and the capacitive load, a test of the unit's pass / fail judgment is performed by the current waveform without being affected by the capacitor. Provided is an accurate and easy inspection apparatus for a capacitive load drive unit.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
複数の容量性素子から成る容量性負荷と、この容量性負
荷を駆動する駆動回路と、この駆動回路への駆動電源供
給ライン間に接続した、容量性負荷に瞬時電流を供給す
るためのコンデンサとこのコンデンサを駆動電源供給ラ
イン間に接続するか否かを選択する選択手段との直列回
路によって構成した容量性負荷駆動ユニットにある。According to the first aspect of the present invention,
A capacitive load composed of a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, and a capacitor connected between a drive power supply line for the drive circuit and for supplying an instantaneous current to the capacitive load. The capacitive load driving unit is constituted by a series circuit with a selecting means for selecting whether or not this capacitor is connected between the driving power supply lines.

【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載の容
量性負荷駆動ユニットにおいて、選択手段を開閉スイッ
チで構成したものである。請求項３記載の発明は、請求
項１記載の容量性負荷駆動ユニットにおいて、選択手段
をオープン端子を備えたコネクタとこのコネクタのオー
プン端子を短絡するショートプラグで構成したものであ
る。請求項４記載の発明は、請求項１記載の容量性負荷
駆動ユニットにおいて、選択手段をハンダで短絡する回
路パターンのオープン端子で構成したものである。請求
項５記載の発明は、請求項１記載の容量性負荷駆動ユニ
ットにおいて、選択手段をジャンパー素子で短絡する回
路パターンのオープン端子で構成したものである。According to a second aspect of the present invention, in the capacitive load driving unit according to the first aspect, the selecting means is constituted by an open / close switch. According to a third aspect of the present invention, in the capacitive load driving unit according to the first aspect, the selecting means is constituted by a connector having an open terminal and a short plug for short-circuiting the open terminal of the connector. According to a fourth aspect of the present invention, in the capacitive load driving unit according to the first aspect, the selection means is constituted by an open terminal of a circuit pattern short-circuited by solder. According to a fifth aspect of the present invention, in the capacitive load driving unit according to the first aspect, the selecting means is constituted by an open terminal of a circuit pattern short-circuited by a jumper element.

【００１３】請求項６記載の発明は、複数の容量性素子
から成る容量性負荷と、この容量性負荷を駆動する駆動
回路と、容量性負荷に瞬時電流を供給するためのコンデ
ンサと、駆動回路を制御する制御回路をその駆動回路に
接続するために使用するケーブルが接続される複数の接
続端子を備えたコネクタとを備え、コネクタに接続する
ケーブルの種類によりコンデンサをコネクタの所定の接
続端子を介して駆動回路の駆動電源供給ライン間に接続
するか切り離すかを選択する容量性負荷駆動ユニットに
ある。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a capacitive load comprising a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, a capacitor for supplying an instantaneous current to the capacitive load, and a drive circuit. A connector having a plurality of connection terminals to which a cable used to connect a control circuit for controlling the drive circuit to the drive circuit is provided, and a capacitor is connected to a predetermined connection terminal of the connector according to the type of cable connected to the connector. And a capacitive load driving unit for selecting connection or disconnection between the driving power supply lines of the driving circuit via the driving circuit.

【００１４】請求項７記載の発明は、複数の容量性素子
から成る容量性負荷、この容量性負荷を駆動する駆動回
路、及びこの駆動回路への駆動電源供給ライン間に接続
して容量性負荷に瞬時電流を供給するコンデンサによっ
て構成した容量性負荷駆動ユニットに対し、コンデンサ
を駆動電源供給ライン間に非接続状態にした状態で駆動
回路により容量性負荷の各容量性素子を順次駆動すると
ともにその時の駆動電源供給ラインに流れる電源電流若
しくは電圧変動を検出して容量性素子駆動ユニットの良
否を判定する容量性負荷駆動ユニットの検査方法にあ
る。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a capacitive load comprising a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, and a capacitive load connected between drive power supply lines to the drive circuit. For each capacitive load drive unit composed of a capacitor that supplies instantaneous current to the drive circuit, each capacitive element of the capacitive load is sequentially driven by the drive circuit with the capacitor disconnected from the drive power supply line. The present invention relates to a method of inspecting a capacitive load driving unit which detects a power supply current or a voltage fluctuation flowing through a driving power supply line to determine the quality of a capacitive element driving unit.

【００１５】請求項８記載の発明は、複数の容量性素子
から成る容量性負荷、この容量性負荷を駆動する駆動回
路、及びこの駆動回路への駆動電源供給ライン間に接続
して容量性負荷に瞬時電流を供給するコンデンサによっ
て構成した容量性負荷駆動ユニットに対し、コンデンサ
を駆動電源供給ライン間に非接続状態にした状態で駆動
回路により容量性負荷の各容量性素子を順次駆動すると
ともにその駆動タイミングに同期して駆動電源の電流波
形若しくは電圧変動波形を重ねて記録し、この重ねて記
録した電流波形若しくは電圧変動波形が予め定めた範囲
内にあるか否かにより容量性素子駆動ユニットの良否を
判定する容量性負荷駆動ユニットの検査方法にある。According to a further aspect of the present invention, there is provided a capacitive load comprising a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, and a capacitive load connected between drive power supply lines to the drive circuit. The drive circuit sequentially drives each capacitive element of the capacitive load with the capacitor disconnected from the drive power supply line for the capacitive load drive unit composed of a capacitor that supplies instantaneous current to the capacitor. The current waveform or the voltage fluctuation waveform of the driving power supply is superimposed and recorded in synchronization with the driving timing, and the current and the voltage fluctuation waveform superimposed and recorded are determined by whether or not the waveform is within a predetermined range. An inspection method of a capacitive load drive unit for determining pass / fail.

【００１６】請求項９記載の発明は、複数の容量性素子
から成る容量性負荷、この容量性負荷を駆動する駆動回
路、及びこの駆動回路への駆動電源供給ライン間に接続
して容量性負荷に瞬時電流を供給するコンデンサによっ
て構成した容量性負荷駆動ユニットに対し、コンデンサ
を駆動電源供給ライン間に非接続状態にした状態で駆動
回路により容量性負荷の各容量性素子を順次駆動すると
ともにその駆動タイミングに同期して駆動電源の電流波
形若しくは電圧変動波形をオシロスコープに重ねて表示
し、この重ねて表示した電流波形若しくは電圧変動波形
の表示残像が予め定めた範囲内にあるか否かにより容量
性素子駆動ユニットの良否を判定する容量性負荷駆動ユ
ニットの検査方法にある。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a capacitive load comprising a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, and a capacitive load connected between drive power supply lines to the drive circuit. The drive circuit sequentially drives each capacitive element of the capacitive load with the capacitor disconnected from the drive power supply line for the capacitive load drive unit composed of a capacitor that supplies instantaneous current to the capacitor. The current waveform or voltage fluctuation waveform of the driving power supply is displayed on the oscilloscope in synchronization with the drive timing, and the capacitance is determined by whether or not the display afterimage of the superimposed current waveform or voltage fluctuation waveform is within a predetermined range. The present invention is directed to a method of inspecting a capacitive load drive unit for determining the quality of a capacitive element drive unit.

【００１７】請求項１０記載の発明は、複数の容量性素
子から成る容量性負荷、この容量性負荷を駆動する駆動
回路、及びこの駆動回路への駆動電源供給ライン間に接
続して容量性負荷に瞬時電流を供給するコンデンサによ
って構成した容量性負荷駆動ユニットに対し、コンデン
サを駆動電源供給ライン間に非接続状態にした状態で駆
動回路に容量性負荷の各容量性素子を順次駆動する信号
を与える制御手段と、各容量性素子を順次駆動する時の
駆動タイミングに同期して駆動電源の電流若しくは電圧
変動を検出する検出手段と、この検出手段の検出波形を
記録する波形記録手段とを備え、波形記録手段が記録し
た検出波形から容量性負荷駆動ユニットの良否検査を行
う容量性負荷駆動ユニットの検査装置にある。According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a capacitive load comprising a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, and a capacitive load connected between a drive power supply line to the drive circuit. To the capacitive load drive unit composed of capacitors that supply instantaneous current to the drive circuit while the capacitors are disconnected between the drive power supply lines. Control means for supplying the current, voltage detecting means for detecting a current or voltage fluctuation of a driving power supply in synchronization with a driving timing when each capacitive element is sequentially driven, and waveform recording means for recording a detected waveform of the detecting means. A capacitive load driving unit inspection apparatus for inspecting the quality of the capacitive load driving unit from the detected waveform recorded by the waveform recording means.

【００１８】請求項１１記載の発明は、請求項１０記載
の容量性負荷駆動ユニットの検査装置において、波形記
録手段をオシロスコープで構成し、各容量性素子の駆動
開始に同期した信号をトリガ信号として取込み、このト
リガ信号の入力を起点に検出手段が検出する検出波形を
画面に表示するものである。According to an eleventh aspect of the present invention, in the inspection apparatus for a capacitive load driving unit according to the tenth aspect, the waveform recording means is constituted by an oscilloscope, and a signal synchronized with the start of driving of each capacitive element is used as a trigger signal. The detected waveform is detected on the screen starting from the input of the trigger signal and detected by the detecting means.

【００１９】請求項１２記載の発明は、請求項１１記載
の容量性負荷駆動ユニットの検査装置において、制御手
段は駆動回路に容量性負荷の各容量性素子を順次駆動す
る信号を全容量性素子に対して繰返し与え、オシロスコ
ープの画面に検出手段が検出する検出波形を重ねかつ繰
返し表示するものである。According to a twelfth aspect of the present invention, in the inspection apparatus for a capacitive load driving unit according to the eleventh aspect, the control means transmits a signal for sequentially driving each capacitive element of the capacitive load to the drive circuit by the all capacitive elements. , And the detected waveform detected by the detecting means is superimposed and displayed repeatedly on the screen of the oscilloscope.

【００２０】請求項１３記載の発明は、請求項１０記載
の容量性負荷駆動ユニットの検査装置において、波形記
録手段をデジタルストレージ式のオシロスコープで構成
し、制御手段は駆動回路に容量性負荷の各容量性素子を
順次駆動する信号をそれぞれ１回ずつ与え、この信号供
給が終了すると表示手段に検査終了表示を行わせ、オシ
ロスコープは、画面に検出手段が検出する検出波形を重
ねて表示するものである。According to a thirteenth aspect of the present invention, in the inspection apparatus for a capacitive load driving unit according to the tenth aspect, the waveform recording means is constituted by an oscilloscope of a digital storage type, and the control means includes a driving circuit for each of the capacitive loads. A signal for sequentially driving the capacitive elements is given once each, and when the supply of the signal is completed, the display means is made to perform an inspection end display. The oscilloscope displays the detection waveform detected by the detection means in a superimposed manner on a screen. is there.

【００２１】請求項１４記載の発明は、複数の容量性素
子から成る容量性負荷、この容量性負荷を駆動する駆動
回路、及びこの駆動回路への駆動電源供給ライン間に接
続して容量性負荷に瞬時電流を供給するコンデンサによ
って構成した容量性負荷駆動ユニットに対し、コンデン
サを駆動電源供給ライン間に非接続状態にした状態で駆
動回路により容量性負荷の各容量性素子を順次駆動する
信号を与える手段と、各容量性素子の駆動タイミングに
同期して駆動電源の電流波形若しくは電圧変動波形を重
ねて記録する波形記録手段とを備え、波形記録手段が重
ねて記録した電流波形若しくは電圧変動波形が予め定め
た範囲内にあるか否かにより容量性素子駆動ユニットの
良否を判定する容量性負荷駆動ユニットの検査装置にあ
る。According to a fourteenth aspect of the present invention, there is provided a capacitive load comprising a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, and a capacitive load connected between drive power supply lines to the drive circuit. Signal to drive each capacitive element of the capacitive load by the drive circuit with the capacitor disconnected from the drive power supply line. And a waveform recording means for superimposing and recording a current waveform or a voltage fluctuation waveform of a drive power supply in synchronization with the drive timing of each capacitive element, wherein the waveform recording means superimposes and records a current waveform or a voltage fluctuation waveform. Is in the inspection apparatus for the capacitive load drive unit, which determines whether the capacitive element drive unit is good or not based on whether or not is within a predetermined range.

【００２２】請求項１５記載の発明は、請求項１４記載
の容量性負荷駆動ユニットの検査装置において、波形記
録手段をオシロスロープで構成し、このオシロスコープ
の画面上に駆動電源の電流波形若しくは電圧変動波形を
重ねて表示し、この重ねて表示した電流波形若しくは電
圧変動波形の表示残像が予め定めた範囲内にあるか否か
により容量性素子駆動ユニットの良否を判定することに
ある。According to a fifteenth aspect of the present invention, in the inspection apparatus for a capacitive load driving unit according to the fourteenth aspect, the waveform recording means is constituted by an oscilloscope, and the current waveform or voltage fluctuation of the driving power supply is displayed on the screen of the oscilloscope. Waveforms are displayed in a superimposed manner, and the quality of the capacitive element drive unit is determined based on whether or not a display afterimage of the superimposed and displayed current waveform or voltage fluctuation waveform is within a predetermined range.

【００２３】[0023]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して説明する。図１において、１１は、容量性負荷とし
ての圧電部材を使用したインクジェットプリントヘッド
１２、このプリントヘッド１２に接続した駆動回路１３
及びこの駆動回路１３を介して前記プリントヘッド１２
に瞬時電流を供給するためのコンデンサ１４とこのコン
デンサ１４を駆動電源供給ラインＶcc、Ｖss間に選択的
に接続する選択手段１５との直列回路を設けた容量性負
荷ユニットとしてのヘッドユニットである。前記コンデ
ンサ１４は駆動電源のバイパス用として機能するもので
ある。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In FIG. 1, reference numeral 11 denotes an inkjet print head 12 using a piezoelectric member as a capacitive load, and a driving circuit 13 connected to the print head 12.
And the print head 12 via the drive circuit 13.
A head unit as a capacitive load unit provided with a series circuit of a capacitor 14 for supplying an instantaneous current to the power supply line and a selecting means 15 for selectively connecting the capacitor 14 between driving power supply lines Vcc and Vss. The capacitor 14 functions as a drive power supply bypass.

【００２４】前記インクジェットプリントヘッド１２
は、ライン方向に多数のインク室を並べたタイプのヘッ
ドで、各インク室のインクを電圧印加による圧電部材の
歪み変形動作によりインク室内に圧力変化を与えて吐出
するようになっている。従って、各インク室を構成する
圧電部材には電極が添設され、等価回路で見た場合、容
量性素子として表わすことができる。The ink jet print head 12
Is a type of head in which a large number of ink chambers are arranged in a line direction, and the ink in each ink chamber is ejected by applying a pressure change to the ink chamber by a distortion deformation operation of a piezoelectric member by applying a voltage. Therefore, the electrodes are attached to the piezoelectric members constituting the respective ink chambers, and can be represented as capacitive elements when viewed from an equivalent circuit.

【００２５】前記プリントヘッド１２と駆動回路１３と
の接続は、ＴＡＢやワイヤボンディング等で行われ、接
続線数が１００〜３０００程度で、各線のピッチが５０
〜２００μｍ程度になっている。前記ヘッドユニット１
１にはコネクタ１６が設けられ、このコネクタ１６と前
記駆動回路１３との間に前記駆動電源供給ラインＶcc、
Ｖss、イネーブル、ラッチ、データ、シフトクロックの
各信号ライン、５Ｖ電源供給ラインＶdd、Ｖssが配線さ
れている。The connection between the print head 12 and the drive circuit 13 is made by TAB, wire bonding, or the like. The number of connection lines is about 100 to 3000, and the pitch of each line is 50.
It is about 200 μm. The head unit 1
1 is provided with a connector 16, and the drive power supply line Vcc, between the connector 16 and the drive circuit 13.
Vss, enable, latch, data, and shift clock signal lines, and 5 V power supply lines Vdd and Vss are wired.

【００２６】前記ヘッドユニット１１はコネクタ１６に
より検査装置に対して着脱自在になっており、検査装置
には、定電圧電源１７、制御回路１８及び５Ｖ電源１９
が設けられている。そして前記定電圧電源１７に、前記
コネクタ１６を介してヘッドユニット１１内の駆動電源
供給ラインＶcc、Ｖssを接続し、前記制御回路１８に前
記コネクタ１６を介してヘッドユニット１１内の各信号
ラインを接続し、前記５Ｖ電源１９に前記コネクタ１６
を介してヘッドユニット１１内の５Ｖ電源供給ラインＶ
dd、Ｖssを接続している。なお、前記５Ｖ電源１９には
前記制御回路１８も接続している。そして、前記定電圧
電源１７とコネクタ１６との間の駆動電源供給ラインＶ
cc、Ｖss間に前記コンデンサ１４と略同程度の容量を持
つコンデンサ２０を接続している。The head unit 11 is detachably attached to an inspection device by a connector 16. The inspection device includes a constant voltage power supply 17, a control circuit 18, and a 5V power supply 19.
Is provided. Drive power supply lines Vcc and Vss in the head unit 11 are connected to the constant voltage power supply 17 via the connector 16, and each signal line in the head unit 11 is connected to the control circuit 18 via the connector 16. Connect the 5V power supply 19 to the connector 16
5V power supply line V in the head unit 11 through the
dd and Vss are connected. The control circuit 18 is also connected to the 5V power supply 19. A drive power supply line V between the constant voltage power supply 17 and the connector 16 is provided.
A capacitor 20 having approximately the same capacity as the capacitor 14 is connected between cc and Vss.

【００２７】図２は前記駆動回路１３の構成を示す図
で、バッファ１３１、ゲート回路１３２、ラッチ回路１
３３、シフトレジスタ１３４からなり、前記シフトレジ
スタ１３４に対して前記制御回路１８からのデータをシ
フトクロックに同期して順次シフトしながら格納するよ
うになっている。そして、前記シフトレジスタ１３４に
対して前記プリントヘッド１２を駆動する一連のデータ
が格納されると、前記ラッチ回路１３３に制御回路１８
からラッチ信号が入力してシフトレジスタ１３４のデー
タをラッチ回路１３３にラッチするようになっている。
その後、制御回路１８からのイネーブルがアクティブに
なると前記ゲート回路１３２が動作しラッチ回路１３３
がラッチしているデータが前記バッファ１３１に供給さ
れ、プリントヘッド１２の各インク室を構成している容
量性素子にデータに基づいて駆動電圧が印加されるよう
になっている。FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the drive circuit 13, wherein a buffer 131, a gate circuit 132, a latch circuit 1
33, a shift register 134 for storing data from the control circuit 18 in the shift register 134 while sequentially shifting the data in synchronization with a shift clock. When a series of data for driving the print head 12 is stored in the shift register 134, the control circuit 18
, A latch signal is input to the latch circuit 133 to latch the data in the shift register 134.
Thereafter, when the enable from the control circuit 18 becomes active, the gate circuit 132 operates and the latch circuit 133 is activated.
Is supplied to the buffer 131, and a driving voltage is applied to the capacitive elements constituting each ink chamber of the print head 12 based on the data.

【００２８】前記定電圧電源１７とコネクタ１６とに接
続した駆動電源供給ラインＶccにおけるコンデンサ２０
とコネクタ１６との間には電流波形記録手段としてのオ
シロスコープ２１の電流プローブ２１１が配置されてい
る。また、前記オシロスコープ２１の電圧プローブ２１
２をイネーブル信号ラインと５Ｖ電源供給ラインＶssと
の間に接続している。これにより、前記オシロスコープ
２１は、イネーブル信号をトリガーとして駆動電源供給
ラインＶccに流れる電流波形を検出し、その電流波形を
表示画面上に表示するようになっている。The capacitor 20 in the drive power supply line Vcc connected to the constant voltage power supply 17 and the connector 16
A current probe 211 of an oscilloscope 21 as current waveform recording means is disposed between the power probe 211 and the connector 16. The voltage probe 21 of the oscilloscope 21
2 is connected between the enable signal line and the 5V power supply line Vss. Thus, the oscilloscope 21 detects a current waveform flowing through the drive power supply line Vcc with the enable signal as a trigger, and displays the current waveform on the display screen.

【００２９】前記ヘッドユニット１１は駆動時に大きな
パルス電流が流れるので、駆動回路１３の近傍にコンデ
ンサ１４を接続する必要があり、このコンデンサ１４が
なければ同時に複数の容量性素子が動作した時には駆動
電源供給ラインＶcc、Ｖssのインピーダンスによって電
圧降下が生じて動作に支障を来し、また、この急激な電
圧降下により不要な高周波電波が発生するという問題が
生じる。従って、前記ヘッドユニット１１をプリンタに
組込んで実際に使用する場合には前記選択手段１５を閉
成状態にする。Since a large pulse current flows in the head unit 11 during driving, it is necessary to connect a capacitor 14 in the vicinity of the driving circuit 13. If the capacitor 14 does not exist, a driving power supply is used when a plurality of capacitive elements operate simultaneously. A voltage drop occurs due to the impedance of the supply lines Vcc and Vss, which hinders operation, and an unnecessary high-frequency radio wave is generated due to the sudden voltage drop. Therefore, when the head unit 11 is incorporated in a printer and actually used, the selecting means 15 is closed.

【００３０】一方、ヘッドユニット１１の検査時におい
て、前記オシロスコープ２１の電流プローブ２１１で駆
動電源供給ラインＶccに流れる電流波形を検出する場合
は、コンデンサ１４が駆動電源供給ラインＶcc、Ｖss間
に接続されていると、電流がこのコンデンサ１４により
ほとんど吸収されて電流波形の検出が不可能となるた
め、検査時には選択手段１５を開放状態にしてコンデン
サ１４を切離す。ここで、検査時においては容量性素子
を順次駆動するため同時に複数の容量性素子を駆動する
ことはなく、コンデンサ１４を切離しても支障はない。
また、コンデンサ１４の代わりにヘッドユニット１１の
外部にあるコンデンサ２０がある程度の機能を果たすこ
とができる。On the other hand, when the current probe 211 of the oscilloscope 21 detects the waveform of the current flowing through the drive power supply line Vcc during the inspection of the head unit 11, the capacitor 14 is connected between the drive power supply lines Vcc and Vss. In this case, the current is almost absorbed by the capacitor 14 and the detection of the current waveform becomes impossible. Therefore, at the time of inspection, the selecting means 15 is opened and the capacitor 14 is disconnected. Here, at the time of inspection, since the capacitive elements are sequentially driven, a plurality of capacitive elements are not driven at the same time, and there is no problem even if the capacitor 14 is disconnected.
Further, instead of the capacitor 14, the capacitor 20 outside the head unit 11 can perform a certain function.

【００３１】前記制御回路１８は、図３に示すように、
クロック発生器１８１、第１、第２、第３のカウンタ１
８２，１８３，１８４、レジスタ１８５、第１、第２、
第３、第４の比較器１８６，１８７，１８８，１８９、
第１、第２のフリップフロップ１９０，１９１、２入力
オアゲート１９２，１９３、２入力アンドゲート１９
４、２入力ナンドゲート１９５、電源の５Ｖ端子と接地
間に接続した抵抗１９６と選択手段１９７との直列回路
を設け、前記クロック発生器１８１からのクロックをシ
ステムクロックＳＣとして、前記各カウンタ１８２，１
８３，１８４、各フリップフロップ１９０，１９１及び
ナンドゲート１９５にそれぞれ供給している。As shown in FIG. 3, the control circuit 18
Clock generator 181, first, second, third counter 1
82, 183, 184, register 185, first, second,
Third and fourth comparators 186, 187, 188, 189,
First and second flip-flops 190 and 191, two-input OR gates 192 and 193, two-input AND gate 19
4, a two-input NAND gate 195, a series circuit of a resistor 196 connected between a 5V terminal of a power supply and the ground, and a selection means 197 are provided, and a clock from the clock generator 181 is used as a system clock SC, and the counters 182, 1
83, 184, flip-flops 190, 191 and NAND gate 195, respectively.

【００３２】図４及び図５は前記制御回路１８の動作タ
イミングを示すタイミング図で、選択手段１９７がオフ
状態のとき回路は初期化されており、この選択手段１９
７がオン状態になると回路が動作を開始する。第１のカ
ウンタ１８２はプリントヘッド１２の各容量性素子の駆
動周期を決定する。この第１のカウンタ１８２の前半で
データのシフトを行い、後半でイネーブルがハイレベル
となってデータにより選択された容量性素子が駆動され
る。FIGS. 4 and 5 are timing charts showing the operation timing of the control circuit 18. The circuit is initialized when the selection means 197 is in the OFF state.
When 7 is turned on, the circuit starts operating. The first counter 182 determines the driving cycle of each capacitive element of the print head 12. The data is shifted in the first half of the first counter 182, and the enable is set to the high level in the second half to drive the capacitive element selected by the data.

【００３３】前記第４の比較器１８９は、第１のカウン
タ１８２の最初のカウントで第２のフリップフロップ１
９１をセットする。第２のフリップフロップ１９１がセ
ットすると、第２のカウンタ１８３がカウントを開始す
る。また、同時にナンドゲート１９５を介してシフトク
ロックが出力する。The fourth comparator 189 supplies the second flip-flop 1 with the first count of the first counter 182.
Set 91. When the second flip-flop 191 is set, the second counter 183 starts counting. At the same time, a shift clock is output via the NAND gate 195.

【００３４】前記レジスタ１８５には予め値「ｎ−１」
を設定する。最初は、第２の比較器１８７は成立せず、
第３のカウンタ１８４は動作しない。従って、この第３
のカウンタ１８４の出力は「０」のままであり、第２の
カウンタ１８３の初期値と一致するため、第１の比較器
１８６から出力するデータは「１」である。そして、第
２のカウンタ１８３の最初のカウントでこのカウンタ１
８３の出力は「１」となる。しかし、第３のカウンタ１
８４の出力は「０」のままであるので、第１の比較器１
８６が不成立となり、出力するデータは「０」になる。The value "n-1" is previously stored in the register 185.
Set. At first, the second comparator 187 does not hold,
The third counter 184 does not operate. Therefore, this third
The output of the first comparator 186 is “1” because the output of the counter 184 remains “0” and matches the initial value of the second counter 183. Then, this counter 1 is counted by the first count of the second counter 183.
The output of 83 is "1". However, the third counter 1
84 remains at "0", the first comparator 1
86 is not established, and the output data becomes "0".

【００３５】その後、第２のカウンタ１８３がクロック
発生器１８１からのシステムクロックによりカウント動
作を継続し、第２のカウンタ１８３のカウント値が「ｎ
−１」に到達すると、第２の比較器１８７が成立し、第
３のカウンタ１８４は１つカウントアップする。同時に
第１のフリップフロップ１９０がセットし、このフリッ
プフロップ１９０からラッチ信号が出力する。また、第
２のフリップフロップ１９１がリセットし、第２のカウ
ンタ１８３はクリアされるとともにナンドゲート１９５
が不成立となってシフトクロックの出力が停止される。
また、第３のカウンタ１８４の出力は「１」なので、第
３の比較器１８８は成立せず、従って、アンドゲート１
９４は成立しない。Thereafter, the second counter 183 continues the counting operation by the system clock from the clock generator 181 and the count value of the second counter 183 becomes "n".
When it reaches “−1”, the second comparator 187 is established, and the third counter 184 counts up by one. At the same time, the first flip-flop 190 is set, and the flip-flop 190 outputs a latch signal. Further, the second flip-flop 191 is reset, the second counter 183 is cleared, and the NAND gate 195 is reset.
Is not established, and the output of the shift clock is stopped.
Also, since the output of the third counter 184 is "1", the third comparator 188 does not hold, and therefore, the AND gate 1
94 does not hold.

【００３６】次に、第１のカウンタ１８２のＱ出力の最
上位ビットが「１」になって後半のカウントに入ると、
イネーブル信号が出力される。そして、ｎ番目の容量性
素子を駆動するヘッド駆動電圧波形が駆動回路１３から
発生してプリントヘッド１２に供給される。Next, when the most significant bit of the Q output of the first counter 182 becomes "1" and enters the latter half of counting,
An enable signal is output. Then, a head drive voltage waveform for driving the n-th capacitive element is generated from the drive circuit 13 and supplied to the print head 12.

【００３７】こうして、第１のカウンタ１８２のカウン
トが１周すると、回路の状態は最初に戻るが、このと
き、第３のカウンタ１８４のみは１つカウントアップし
たままクリアされることはないので、次の周期ではシフ
トクロックの２クロック目で第１の比較器１８６が成立
し、この比較器１８６からデータ「１」が出力される。
従って、次の周期で第１のカウンタ１８２が後半のカウ
ントに入り、イネーブル信号が出力されると、ｎ−１番
目の容量性素子を駆動するヘッド駆動電圧波形が駆動回
路１３から発生してプリントヘッド１２に供給されるこ
とになる。In this way, when the count of the first counter 182 makes one round, the state of the circuit returns to the beginning, but at this time, only the third counter 184 is not cleared while counting up by one. In the next cycle, the first comparator 186 is established at the second shift clock, and the comparator 186 outputs data “1”.
Therefore, in the next cycle, when the first counter 182 starts counting in the latter half and the enable signal is output, a head drive voltage waveform for driving the (n-1) th capacitive element is generated from the drive circuit 13 and printed. It will be supplied to the head 12.

【００３８】このようにして、駆動される容量性素子が
ｎ，ｎ−１，ｎ−２，…，３，２，１と順次変化し、常
に１つの容量性素子だけが駆動されることになる。そし
て、１番目の容量性素子を駆動するためのデータをシフ
トしているとき、第３のカウンタ１８４の値は「ｎ−
１」となっているので、第３の比較器１８８が成立して
いる。この状態でデータ転送が終了し、第２の比較器１
８７が成立すると、アンドゲート１９４が成立し、第３
のカウンタ１８４がクリアされる。In this way, the driven capacitive elements are sequentially changed to n, n-1, n-2,..., 3, 2, 1, so that only one capacitive element is always driven. Become. When shifting data for driving the first capacitive element, the value of the third counter 184 becomes “n−
Since it is "1", the third comparator 188 is established. In this state, the data transfer is completed, and the second comparator 1
When 87 is established, the AND gate 194 is established, and the third
Is cleared.

【００３９】こうして、１番目の容量性素子を駆動した
後は、最初の状態に戻る。従って、この制御回路１８の
動作を継続すれば、プリントヘッド１２の各容量性素子
に対する駆動が、ｎ，ｎ−１，ｎ−２，…，３，２，
１，ｎ，ｎ−１，ｎ−２，…と繰返されることになる。After driving the first capacitive element, the state returns to the initial state. Therefore, if the operation of the control circuit 18 is continued, the drive of the print head 12 with respect to each capacitive element becomes n, n-1, n-2,.
1, n, n-1, n-2,...

【００４０】従って、ヘッドユニット１１の選択手段１
５を開放状態にして制御回路１８を駆動することにより
プリントヘッド１２の各容量性素子を検査のために順次
駆動することができる。そして、このような検査を行っ
ている間、制御回路１８から出力するイネーブル信号を
トリガとしてオシロスコープ２１を動作し電流プローブ
２１１により駆動電源供給ラインＶccに流れる電流波形
を検出して観測すると、図６に示すような観測波形が得
られる。Therefore, the selecting means 1 of the head unit 11
By driving the control circuit 18 with the circuit 5 open, each capacitive element of the print head 12 can be sequentially driven for inspection. During such inspection, the oscilloscope 21 is operated by using the enable signal output from the control circuit 18 as a trigger, and the current probe 211 detects and observes a current waveform flowing through the drive power supply line Vcc. Observed waveforms as shown in Fig. 7 are obtained.

【００４１】すなわち、全ての容量性素子が正常で等し
い静電容量と等価直列抵抗を持っていて、プリントヘッ
ド１２と駆動回路１３との接続も、また、駆動回路１３
も正常であれば、１〜ｎ番目の容量性素子の駆動波形は
オシロスコープ２１の画面上に１本の波形ｈ1として重
なって表示されることになる。すなわち、図６の(a)に
示すような表示になる。この波形は容量性素子への充電
波形である。この波形にはバウンドがあるが、これは配
線のインダクタンス分が容量性素子の静電容量と共振す
るために生じるバウンドである。That is, all the capacitive elements have normal and equal capacitances and equivalent series resistances, and the connection between the print head 12 and the drive circuit 13
Is normal, the driving waveforms of the first to n-th capacitive elements are superimposed and displayed on the screen of the oscilloscope 21 as one waveform h1. That is, the display is as shown in FIG. This waveform is a waveform for charging the capacitive element. This waveform has a bound, which is generated due to resonance of the inductance of the wiring with the capacitance of the capacitive element.

【００４２】しかし、１〜ｎ番目の容量性素子におい
て、オープン状態になっている容量性素子や容量性素子
への接続部電極があったり、あるいは容量性素子に対し
て作動しない駆動回路部あると、オシロスコープ２１の
画面に表示される観測波形は図６の(b)に示すようにな
る。すなわち、オープンしている容量性素子や接続部電
極、あるいは容量性素子に対して作動しない駆動回路部
があると、その部分に対するオシロスコープ２１の輝線
はグランドラインｈ2となって他の正常な波形ｈ1と重な
って表示される。However, in the first to n-th capacitive elements, there is a capacitive element in an open state, an electrode for connection to the capacitive element, or a drive circuit section that does not operate for the capacitive element. Then, the observed waveform displayed on the screen of the oscilloscope 21 is as shown in FIG. That is, if there is an open capacitive element, a connection electrode, or a drive circuit section that does not operate with respect to the capacitive element, the luminescent line of the oscilloscope 21 for that part becomes the ground line h2 and becomes another normal waveform h1. Is displayed overlapping.

【００４３】また、逆に１〜ｎ番目の容量性素子におい
て、ショート状態になっている部分があると、オシロス
コープ２１の画面に表示される観測波形は図６の(c)に
示すようになる。すなわち、ショートしている部分に相
当するオシロスコープ２１の輝線はステップ状ｈ3に変
化し、これが他の正常な波形ｈ1と重なって表示され
る。さらに、オープン状態の部分とショート状態の部分
が混在している時には図６の(d)に示す観測波形とな
る。このような観測波形は、オシロスコープ２１の画面
上で容易に判別できる。なお、これとは別に観測波形を
デジタル化して自動的に判断することもできる。Conversely, if there is a short-circuited portion in the first to n-th capacitive elements, the observed waveform displayed on the screen of the oscilloscope 21 is as shown in FIG. 6C. . That is, the bright line of the oscilloscope 21 corresponding to the short-circuited portion changes to a step-like h3, which is displayed overlapping with another normal waveform h1. Further, when the open state part and the short state part are mixed, the observation waveform shown in FIG. 6D is obtained. Such an observation waveform can be easily determined on the screen of the oscilloscope 21. In addition to this, the observation waveform can be digitized and automatically determined.

【００４４】このように、圧電部材を使用し、等価回路
的に複数の容量性素子からなるインクジェットプリント
ヘッド１２、この駆動回路１３及び各容量性素子の駆動
時に瞬時電流を供給するためのコンデンサ１４を組込ん
だヘッドユニット１１において、検査時には選択手段１
５を開放状態とすることでコンデンサ１４の影響を受け
ずにオシロスコープ２１により駆動電源供給ラインＶcc
に流れる電流波形を検出して観測することができ、ヘッ
ドユニットの良否判定が正確にできる。そして、検査終
了後には選択手段１５を閉成状態にすることでコンデン
サ１４を瞬時電流の供給用として機能させることがで
き、ヘッドユニット１１を支障なく確実に動作させるこ
とができる。As described above, the ink jet print head 12 using a piezoelectric member and comprising a plurality of capacitive elements in an equivalent circuit, the drive circuit 13 and the capacitor 14 for supplying an instantaneous current when each capacitive element is driven. In the head unit 11 incorporating the
5 is opened so that the oscilloscope 21 does not affect the drive power supply line Vcc without being affected by the capacitor 14.
The current waveform flowing through the head unit can be detected and observed, and the quality of the head unit can be accurately determined. Then, after the inspection is completed, the capacitor 14 can be made to function as an instantaneous current supply by closing the selection means 15, and the head unit 11 can be reliably operated without any trouble.

【００４５】図７乃至図１１はヘッドユニット１１の具
体的構成を示す図である。図７はＩＣ化した駆動回路１
３及びコネクタ１６をプリント基板２２の上の一端と他
端に配置し、前記駆動回路１３の出力側をプリントヘッ
ド１２の各リード電極に対してＴＡＢ又はワイヤボンデ
ィング等２３によって接続している。FIGS. 7 to 11 are views showing a specific configuration of the head unit 11. FIG. FIG. 7 shows a drive circuit 1 made into an IC.
3 and the connector 16 are arranged at one end and the other end on the printed circuit board 22, and the output side of the drive circuit 13 is connected to each lead electrode of the print head 12 by TAB or wire bonding 23.

【００４６】また、前記プリント基板２２上に駆動電源
供給ラインＶcc、Ｖssをパターン配置するとともにコン
デンサ１４及び選択手段１５としてスライド式開閉スイ
ッチ１５１を配置し、前記駆動電源供給ラインＶcc、Ｖ
ssの一端を前記駆動回路１３の入力側に接続するととも
に他端を前記コネクタ１６に接続している。そして、前
記コンデンサ１４と開閉スイッチ１５１を回路パターン
により直列に接続し、その直列回路の一端を回路パター
ンにより前記駆動電源供給ラインＶccに接続するととも
に他端を前記駆動電源供給ラインＶssに接続している。Further, drive power supply lines Vcc and Vss are arranged on the printed circuit board 22 in a pattern, and a slidable open / close switch 151 is arranged as a capacitor 14 and a selection means 15, so that the drive power supply lines Vcc and Vss are arranged.
One end of ss is connected to the input side of the drive circuit 13 and the other end is connected to the connector 16. Then, the capacitor 14 and the open / close switch 151 are connected in series by a circuit pattern, one end of the series circuit is connected to the drive power supply line Vcc by the circuit pattern, and the other end is connected to the drive power supply line Vss. I have.

【００４７】なお、前記プリント基板２２上には、その
他、イネーブル、ラッチ、データ、シフトクロックの各
信号ライン及び５Ｖ電源供給ラインＶdd、Ｖssの回路パ
ターンが配置され、それぞれ駆動回路１３の入力側とコ
ネクタ１６に接続されている。このように、選択手段１
５としてスライド式の開閉スイッチ１５１を使用するこ
とにより、コンデンサ１４を接続したり、切離したりす
る切換え操作が容易になる。In addition, on the printed circuit board 22, other signal patterns of enable, latch, data and shift clock and circuit patterns of 5V power supply lines Vdd and Vss are arranged. It is connected to a connector 16. Thus, the selection means 1
By using the slide open / close switch 151 as 5, the switching operation for connecting and disconnecting the capacitor 14 becomes easy.

【００４８】図８は選択手段１５として、オープン端子
を備えたコネクタ１５２ａと、このコネクタ１５２ａの
オープン端子を短絡するショートプラグ１５２ｂとから
なるものを使用している。なお、その他の構成は図７と
同様である。この場合は、検査時にはショートプラグ１
５２ｂを外した状態にし、検査が終了するとショートプ
ラグ１５２ｂをコネクタ１５２ａのオープン端子に差込
んで短絡し、コンデンサ１４を接続する。このようにす
れば選択手段をより安価に構成でき、また、ショートプ
ラグ１５２ｂの有無により検査が終了しているか否かを
容易に判断できる。FIG. 8 shows the selection means 15 using a connector 152a having an open terminal and a short plug 152b for short-circuiting the open terminal of the connector 152a. The other configuration is the same as that of FIG. In this case, the short plug 1
When the inspection is completed, the short plug 152b is inserted into the open terminal of the connector 152a to short-circuit, and the capacitor 14 is connected. In this way, the selection means can be configured at a lower cost, and it can be easily determined whether or not the inspection has been completed based on the presence or absence of the short plug 152b.

【００４９】図９は選択手段１５として、ハンダで短絡
する回路パターンのオープン端子１５３を使用してい
る。なお、その他の構成は図７と同様である。この場合
は、検査はヘッドユニット１１をそのまま使用して行
い、検査が終了するとオープン端子１５３をハンダでブ
リッジ接続して短絡し、コンデンサ１４を接続する。こ
のようにすれば選択手段をさらに安価に構成でき、ま
た、配置する面積を小さくできる。FIG. 9 uses an open terminal 153 of a circuit pattern that is short-circuited by solder as the selection means 15. The other configuration is the same as that of FIG. In this case, the inspection is performed using the head unit 11 as it is, and when the inspection is completed, the open terminal 153 is bridge-connected with solder to short-circuit, and the capacitor 14 is connected. In this way, the selection means can be configured at a lower cost, and the arrangement area can be reduced.

【００５０】図１０は選択手段１５として、抵抗が０Ω
のチップジャンパー素子１５４ｂで短絡する回路パター
ンのオープン端子１５４ａを使用している。なお、その
他の構成は図７と同様である。この場合は、検査時には
チップジャンパー素子１５４ｂを外した状態にし、検査
が終了するとこのチップジャンパー素子１５４ｂをオー
プン端子１５４ａにハンダ付けにより実装し、このオー
プン端子１５４ａを短絡してコンデンサ１４を接続す
る。FIG. 10 shows the selection means 15 having a resistance of 0Ω.
The open terminal 154a of the circuit pattern short-circuited by the chip jumper element 154b is used. The other configuration is the same as that of FIG. In this case, at the time of inspection, the chip jumper element 154b is removed, and when the inspection is completed, the chip jumper element 154b is mounted on the open terminal 154a by soldering, and the open terminal 154a is short-circuited and the capacitor 14 is connected.

【００５１】この構成においては、工程の歩留まりが向
上し、検査が省略可能になった場合には、チップジャン
パー素子１５４ｂを回路部の組立て時に他の実装部品と
一緒に自動的に取付けることができる。また、何らかの
原因で歩留まりが悪化した場合は、回路部の組立て時に
チップジャンパー素子１５４ｂを実装しないで、検査終
了後に実装すれば良い。このように、検査の実施、非実
施に対して融通性がある。In this configuration, when the yield of the process is improved and the inspection can be omitted, the chip jumper element 154b can be automatically mounted together with other mounting parts when assembling the circuit portion. . If the yield is deteriorated for some reason, the chip jumper element 154b may be mounted after the inspection is completed without mounting the chip jumper element 154b when assembling the circuit section. Thus, there is flexibility in performing and not performing inspections.

【００５２】図１１はコンデンサ１４の一端を駆動電源
供給ラインＶssに接続するとともに他端をコネクタ１６
の所定の接続端子、例えば、駆動電源供給ラインＶccが
接続する左端の接続端子の隣りの接続端子に接続してい
る。そして、このヘッドユニット１１のコネクタ１６に
接続するのが検査装置の制御回路の場合には、図１２の
(a)に示す検査用ケーブル３１又は図１２の(b)に示す検
査用ケーブル３２を使用して制御回路とコネクタ１６を
接続する。また、このヘッドユニット１１のコネクタ１
６に接続するのが製品の制御回路の場合には、図１２の
(c)に示す製品用ケーブル３３を使用して制御回路とコ
ネクタ１６を接続する。FIG. 11 shows one end of the capacitor 14 connected to the drive power supply line Vss and the other end connected to the connector 16.
, For example, a connection terminal adjacent to the leftmost connection terminal to which the drive power supply line Vcc is connected. In the case where the control circuit of the inspection device is connected to the connector 16 of the head unit 11, FIG.
The control circuit and the connector 16 are connected using the inspection cable 31 shown in FIG. 12A or the inspection cable 32 shown in FIG. The connector 1 of the head unit 11
6 is connected to the control circuit of the product,
The control circuit and the connector 16 are connected using the product cable 33 shown in FIG.

【００５３】前記検査用ケーブル３１はコネクタ１６に
おける駆動電源供給ラインＶccが接続する左端の接続端
子の隣りの接続端子に接続するラインＬ1が途中でとぎ
れているので、この検査用ケーブル３１を使用した場
合、コンデンサ１４の他端は駆動電源供給ラインＶccに
接続することはない。そして、駆動電源供給ラインＶcc
が接続する左端の接続端子に接続するラインＬ2におい
て電流測定を行うことで、コンデンサ１４の影響を受け
ずに駆動時の電流波形が検出できる。The inspection cable 31 is used because the line L1 connected to the connection terminal adjacent to the left end connection terminal to which the drive power supply line Vcc of the connector 16 is connected is interrupted in the middle. In this case, the other end of the capacitor 14 is not connected to the drive power supply line Vcc. And a drive power supply line Vcc
By measuring the current on the line L2 connected to the leftmost connection terminal to which the is connected, the current waveform during driving can be detected without being affected by the capacitor 14.

【００５４】また、前記検査用ケーブル３２はコネクタ
１６における駆動電源供給ラインＶccが接続する左端の
接続端子に接続するラインＬ3とこの接続端子の隣りの
接続端子に接続するラインＬ4がコネクタ１６側から離
れた位置で接続し、その接続点よりもコネクタ１６側に
位置するラインＬ3において電流測定を行うようになっ
ている。この検査用ケーブル３１を使用した場合、コン
デンサ１４の他端は駆動電源供給ラインＶccに接続する
ことになるが、その接続点が電流測定点よりも電源側に
なっているので、この場合もコンデンサ１４の影響を受
けずに駆動時の電流波形が検出できる。The inspection cable 32 has a line L3 connected to the leftmost connection terminal to which the drive power supply line Vcc of the connector 16 is connected and a line L4 connected to the connection terminal adjacent to this connection terminal from the connector 16 side. The connection is made at a remote position, and the current is measured on a line L3 located on the connector 16 side from the connection point. When the inspection cable 31 is used, the other end of the capacitor 14 is connected to the drive power supply line Vcc, but the connection point is closer to the power supply than the current measurement point. Thus, the current waveform at the time of driving can be detected without being affected by.

【００５５】また、前記製品用ケーブル３３はコネクタ
１６における駆動電源供給ラインＶccが接続する左端の
接続端子に接続するラインＬ5とこの接続端子の隣りの
接続端子に接続するラインＬ6がコネクタ１６の近傍で
接続している。従って、検査が終了し、製品を組立てる
ときにこの製品用ケーブル３３を使用して制御回路とコ
ネクタ１６を接続すればコンデンサ１４の他端は短い配
線で駆動電源供給ラインＶccに接続することになり、ヘ
ッドの駆動時に駆動回路１３に対して瞬時電流を供給す
ることができる。このように、ヘッドユニット１１のコ
ネクタ１６に接続するケーブルの種類を検査用、製品用
とで変えることでコンデンサ１４の機能を非可動状態、
可動状態に自動的に切替えることができる。The product cable 33 has a line L5 connected to the leftmost connection terminal to which the drive power supply line Vcc of the connector 16 is connected, and a line L6 connected to the connection terminal adjacent to this connection terminal. Connected with. Therefore, when the inspection is completed and the control circuit is connected to the connector 16 using the product cable 33 when assembling the product, the other end of the capacitor 14 is connected to the drive power supply line Vcc with a short wiring. When the head is driven, an instantaneous current can be supplied to the drive circuit 13. As described above, by changing the type of the cable connected to the connector 16 of the head unit 11 for the inspection and the product, the function of the capacitor 14 is set to the non-movable state,
It can be automatically switched to a movable state.

【００５６】図１３及び図１４はヘッドユニット１１に
おけるコンデンサ１４の実装位置にこのコンデンサ１４
を接続するためのパッド３４を設けたもので、検査を図
１３に示すようにコンデンサ１４が実装されていない状
態で行い、検査が終了した後は図１４に示すようにコン
デンサ１４をパッド３４の位置に実装してこのコンデン
サ１４を駆動電源供給ラインＶcc、Ｖss間に接続する。
このようにすれば、検査後にコンデンサ１４を実装しな
ければならないので組立て工数が増すことになるが、特
別な機構を設けることなく簡単に電流波形の検出ができ
る。従って、製造数量が少ない場合には有効である。FIGS. 13 and 14 show the position of the capacitor 14 in the head unit 11.
The inspection is performed in a state where the capacitor 14 is not mounted as shown in FIG. 13, and after the inspection is completed, the capacitor 14 is connected to the pad 34 as shown in FIG. And the capacitor 14 is connected between the drive power supply lines Vcc and Vss.
In this case, since the capacitor 14 must be mounted after the inspection, the number of assembling steps increases, but the current waveform can be easily detected without providing a special mechanism. Therefore, it is effective when the production quantity is small.

【００５７】また、この実施の形態における検査方法
は、駆動回路の電源電流を検出するので、駆動回路グラ
ンドとヘッドグランドの分離を必要とせず、従って、各
種タイプのインクジェットプリントヘッドの駆動回路に
適用できる。すなわち、図１５に示すものは、プリント
ヘッド１２として、駆動電源供給ラインＶccに各容量性
素子１２ａに添設した電極の一方を共通に接続し、各容
量性素子１２ａに添設した電極の他方を個々に駆動回路
１３１の各出力部１３１ａに接続したものである。The inspection method according to the present embodiment does not require the separation of the drive circuit ground from the head ground because the power supply current of the drive circuit is detected, and is therefore applicable to various types of ink jet print head drive circuits. it can. That is, the one shown in FIG. 15 is a print head 12 in which one of the electrodes attached to each capacitive element 12a is commonly connected to the drive power supply line Vcc, and the other of the electrodes attached to each capacitive element 12a. Are individually connected to each output unit 131a of the drive circuit 131.

【００５８】また、図１６に示すものは、プリンタヘッ
ド１２として、各容量性素子１２ａに対して、隣合う容
量性素子間に共通電極を配置し、各電極が容量性素子を
介して直列に接続するとともに各共通電極を駆動回路１
３２の各出力部１３２ａに個々に接続したものである。FIG. 16 shows a printer head 12 in which a common electrode is arranged between adjacent capacitive elements for each capacitive element 12a, and each electrode is connected in series via the capacitive element. Connect each common electrode and drive circuit 1
32 are individually connected to the respective output units 132a.

【００５９】また、図１７に示すものは、プリントヘッ
ド１２を構成する各容量性素子１２ａに添設した電極を
マトリクス回路２４に接続し、このマトリクス回路２４
の一方の信号制御ラインを駆動回路１３３の一方の出力
回路１３３１の各出力部１３３１ａに個々に接続すると
ともにこのマトリクス回路２４の他方の信号制御ライン
を駆動回路１３３の他方の出力回路１３３２の各出力部
１３３２ａに個々に接続したものである。FIG. 17 shows an arrangement in which electrodes attached to the respective capacitive elements 12a constituting the print head 12 are connected to a matrix circuit 24.
Is connected individually to each output section 1331a of one output circuit 1331 of the drive circuit 133, and the other signal control line of the matrix circuit 24 is connected to each output of the other output circuit 1332 of the drive circuit 133. This is individually connected to the unit 1332a.

【００６０】このように図１５、図１６、図１７に示す
各種タイプのインクジェットプリントヘッドの駆動回路
１３１，１３２，１３３に対して、選択手段１５を開放
してコンデンサ１４を切離し、各容量性素子１２ａを順
次駆動して駆動電源供給ラインＶccに流れる電流波形を
検出し、その電流波形をオシロスコープ２１で観測する
ことでヘッドユニットの良否判断ができる。As described above, for the drive circuits 131, 132, and 133 of the various types of ink jet print heads shown in FIGS. 15, 16, and 17, the selection means 15 is opened to separate the capacitor 14, and the respective capacitive elements are separated. 12a is sequentially driven to detect a current waveform flowing through the drive power supply line Vcc, and the oscilloscope 21 observes the current waveform to determine the quality of the head unit.

【００６１】なお、この実施の形態においては、駆動電
源供給ラインＶccに流れる電流波形を検出して測定を行
ったが、これは駆動電源供給ラインＶssに流れる電流波
形を検出して測定を行っても同様である。また、この実
施の形態においては、駆動電源供給ラインＶccに流れる
電流波形を電流プローブ２１１で検出する場合について
述べたが必ずしもこれに限定するものではなく、図１８
に示すように、駆動電源供給ラインＶss中に動作上の影
響を与えない程度に充分に小さい抵抗値の抵抗２５を直
列に挿入し、この抵抗２５の両端の電圧降下を測定して
も間接的に電流波形の検出ができるので、同様の結果が
得られる。In this embodiment, the current waveform flowing through the drive power supply line Vcc is detected and measured. However, the measurement is performed by detecting the current waveform flowing through the drive power supply line Vss. The same is true for In this embodiment, the case where the current probe 211 detects the waveform of the current flowing through the drive power supply line Vcc has been described. However, the present invention is not limited to this.
As shown in FIG. 7, a resistor 25 having a resistance value sufficiently small so as not to affect the operation is inserted in series into the drive power supply line Vss, and the voltage drop across the resistor 25 is indirectly measured. Since the current waveform can be detected at the same time, the same result can be obtained.

【００６２】なお、この実施の形態では直接的あるいは
間接的に電流波形を検出して検査を行う場合について述
べたが必ずしもこれに限定するものではなく、電圧変動
波形を直接検出して検査を行ってもよい。例えば、定電
圧電源１７の出力電圧が安定している場合には、図１９
に示すように、駆動電源供給ラインＶccとＶssとの間の
電源電圧を直接検出して電源電圧変動波形を測定しても
よい。なお、この場合、抵抗２５を駆動電源供給ライン
Ｖcc中に直列に挿入する。すなわち、検出する波形は良
品と不良品の区別ができればよく、電流波形にこだわる
必要はなく、また、抵抗２５の代わりにインダクタ、半
導体等やこれらの組み合わせによる任意のインピーダン
ス回路を用いて検出感度を上げたり、検出波形を判別し
やすい形に変形してもよい。In this embodiment, the case where the inspection is performed by directly or indirectly detecting the current waveform has been described. However, the present invention is not necessarily limited to this, and the inspection is performed by directly detecting the voltage fluctuation waveform. You may. For example, when the output voltage of the constant voltage power supply 17 is stable,
As shown in (1), the power supply voltage between the drive power supply lines Vcc and Vss may be directly detected to measure the power supply voltage fluctuation waveform. In this case, the resistor 25 is inserted in series into the drive power supply line Vcc. That is, the waveform to be detected only needs to be able to discriminate between a good product and a defective product, and there is no need to stick to the current waveform. It may be raised or deformed so that the detected waveform can be easily discriminated.

【００６３】また、この実施の形態では、プリントヘッ
ド１２における各容量性素子１２ａをｎ番目から１番目
へと順次駆動し、最初に戻ると再度繰返す制御を行って
いるので、オシロスコープ２１として、例えば、非スト
レージのアナログ式のオシロスコープを使用することが
可能となる。アナログ式のオシロスコープはデジタル式
のオシロスコープに比較して波形の繰返し表示周期が高
速であるので、クロック発生器１８１からのクロックを
高速にでき、検査に要する時間の短縮化を図ることがで
きる。Further, in this embodiment, since each capacitive element 12a in the print head 12 is sequentially driven from the nth to the first, and the control is repeated when returning to the first, the oscilloscope 21 is, for example, used. This makes it possible to use a non-storage analog oscilloscope. An analog oscilloscope has a faster repetitive display cycle of waveforms than a digital oscilloscope, so that the clock from the clock generator 181 can be made faster and the time required for inspection can be reduced.

【００６４】ところで、ヘッドユニット１１の検査で
は、容量性素子の駆動において不良として検出される箇
所はごく僅かである。従って、アナログ式のオシロスコ
ープで電流波形の観測を行った場合にほとんどが正常な
波形の繰返し表示になるのに対し、異常を示す波形が表
示される回数は極めて少なく、このため、正常部の表示
波形は輝度が高く、異常部の表示波形は輝度が極めて低
くなる。このようなことから、オシロスコープの観測者
が不良波形を見落とすおそれもある。これを解決するに
は、アナログ式のオシロスコープでさらに残像式のもの
を使用すれば良い。By the way, in the inspection of the head unit 11, there are very few locations detected as defective in driving the capacitive element. Therefore, when the current waveform is observed with an analog oscilloscope, most of the normal waveforms are repeatedly displayed. On the other hand, the number of times that a waveform indicating an abnormality is displayed is extremely small. The waveform has high luminance, and the display waveform of the abnormal portion has extremely low luminance. For this reason, the oscilloscope observer may overlook the bad waveform. In order to solve this, an analog oscilloscope may be used, which is of an afterimage type.

【００６５】また、オシロスコープ２１として、デジタ
ルストレージ式のオシロスコープを使用することも可能
である。デジタルストレージ式のオシロスコープは一般
に出現頻度に拘らず一定の輝度で表示されるため、出現
頻度の少ない不良波形の輝度が低下するという問題は生
じない。従って、不良波形の観測が確実にできるように
なる。そして、デジタルストレージ式のオシロスコープ
ではｎ個の容量性素子に対する駆動をそれぞれ１回行え
ば良い。As the oscilloscope 21, a digital storage type oscilloscope can be used. Digital storage oscilloscopes are generally displayed at a constant luminance regardless of the frequency of appearance, so that there is no problem that the luminance of a defective waveform with a low frequency of appearance decreases. Therefore, it is possible to reliably observe the defective waveform. Then, in a digital storage oscilloscope, it is sufficient to drive each of the n capacitive elements once.

【００６６】これを実行するには、図３に示す構成の制
御回路１８において、ｎ個の容量性素子に対する駆動が
一通り終えてアンドゲート１９４が成立したとき、回路
の動作が繰返されずに停止するように変更すれば良い。
そして、制御回路１８がｎ個の容量性素子に対する駆動
を一通り終えて停止したとき、ＬＥＤなどの表示手段を
使用してオペレータに知らせるようにすればオペレータ
は検査の終了を容易に知ることができる。In order to execute this, in the control circuit 18 having the configuration shown in FIG. 3, when the driving of the n capacitive elements is completed and the AND gate 194 is established, the operation of the circuit is stopped without being repeated. You can change it to
Then, when the control circuit 18 stops driving after completing the driving of the n capacitive elements, if the operator is notified by using display means such as an LED, the operator can easily know the end of the inspection. it can.

【００６７】なお、デジタルストレージ式のオシロスコ
ープは、波形の繰返し表示周期が遅いので、各容量性素
子を順次駆動する時の時間間隔をこの周期に合わせて遅
く設定する必要がある。また、デジタルストレージ式オ
シロスコープでは、取込んだ電流波形をデジタル処理す
ることが可能であるため、人が表示内容を観測して判定
するのではなく、取込んだ電流波形が正常波形の範囲で
あるか否かをデジタル処理によって自動的に判定するこ
ともできる。この場合、電流波形の画面表示は特に必要
ではないので、電流波形記録手段としてオシロスコープ
を使用する必要はなく、電流波形の記録機能を有する単
なるデジタルメモリであっても良い。Since the oscilloscope of the digital storage type has a slow repetition display cycle of the waveform, it is necessary to set a time interval for sequentially driving each capacitive element to be slow according to this cycle. In addition, with a digital storage oscilloscope, it is possible to digitally process the captured current waveform, so that the captured current waveform is in the range of a normal waveform instead of observing and judging the display contents. Whether or not it is possible can be automatically determined by digital processing. In this case, since it is not particularly necessary to display the current waveform on the screen, it is not necessary to use an oscilloscope as the current waveform recording means, and it may be a simple digital memory having a current waveform recording function.

【００６８】また、この実施の形態では、観測した各容
量性素子の駆動波形をオシロスコープ２１の画面上に重
ねて表示し、正常波形と異常波形との波形のずれを見て
ヘッドユニットの良否判定を行ったが必ずしもこれに限
定するものではなく、オシロスコープ２１の画面上に正
常波形の範囲をマーキングしておき、マーキングした範
囲に波形が入っているか否かによってヘッドユニットの
良否判定を行ってもよい。マーキングはオシロスコープ
のカーソル表示機能を利用して行うこともできるが、よ
り簡単には画面上に例えばマーカペンなどで直接マーキ
ングすれば良い。In this embodiment, the observed drive waveform of each capacitive element is superimposed and displayed on the screen of the oscilloscope 21, and the deviation between the normal waveform and the abnormal waveform is determined to determine the quality of the head unit. However, the present invention is not limited to this. Marking a range of a normal waveform on the screen of the oscilloscope 21 and determining whether the head unit is good or not based on whether a waveform is included in the marked range may be performed. Good. The marking can be performed using the cursor display function of the oscilloscope, but more simply, the marking may be performed directly on the screen by using, for example, a marker pen.

【００６９】オシロスコープ２１の画面上に正常波形の
範囲をマーキングする例について述べると、例えば、図
２０に斜線ａで示すようにマーキングする。このような
マーキングを行うことで、全ての容量性素子が正常で等
しい静電容量と等価直列抵抗を持っていて、プリントヘ
ッド１２と駆動回路１３との接続も、また、駆動回路１
３も正常であれば、１〜ｎ番目の容量性素子の駆動波形
は、図２０の(a)に示すように、オシロスコープ２１の
画面上に１本の波形ｈ1として重なって表示され、しか
もマーキングの範囲内に収まることになる。An example of marking the range of the normal waveform on the screen of the oscilloscope 21 will be described. For example, marking is performed as shown by the oblique line a in FIG. By performing such a marking, all the capacitive elements have a normal and equal capacitance and an equivalent series resistance, and the connection between the print head 12 and the drive circuit 13 is also changed.
If No. 3 is also normal, the driving waveforms of the first to n-th capacitive elements are superimposed and displayed as one waveform h1 on the screen of the oscilloscope 21, as shown in FIG. Within the range.

【００７０】しかし、１〜ｎ番目の容量性素子におい
て、オープン状態になっている容量性素子や容量性素子
への接続部電極があったり、あるいは容量性素子に対し
て作動しない駆動回路部あると、オシロスコープ２１の
画面上には、図２０の(b)に示すように、正常な駆動波
形ｈ1とグランドラインの波形ｈ2の輝線が重なって表示
され、グランドラインの波形ｈ2が正常な駆動波形ｈ1の
ピークとなる位置でマーキングの範囲から逸脱すること
になる。However, in the first to n-th capacitive elements, there is a capacitive element in an open state, a connection electrode to the capacitive element, or a drive circuit section that does not operate for the capacitive element. On the screen of the oscilloscope 21, the normal drive waveform h1 and the bright line of the ground line waveform h2 are displayed overlapping each other, as shown in FIG. 20 (b), and the ground line waveform h2 is the normal drive waveform. The position deviates from the range of the marking at the position of the peak of h1.

【００７１】また、逆に１〜ｎ番目の容量性素子におい
て、ショート状態になっている部分があると、オシロス
コープ２１の画面上には、図２０の(c)に示すように、
正常な駆動波形ｈ1とステップ状に立ち上がる波形ｈ3の
輝線が重なって表示され、波形ｈ3がマーキングの範囲
から逸脱することになる。On the other hand, if there is a short-circuited portion in the first to n-th capacitive elements, the screen of the oscilloscope 21 displays, as shown in FIG.
The normal drive waveform h1 and the bright line of the waveform h3 rising stepwise are displayed in an overlapping manner, and the waveform h3 deviates from the range of the marking.

【００７２】また、１〜ｎ番目の容量性素子において、
オープン状態の部分とショート状態の部分が混在してい
る場合には、オシロスコープ２１の画面上には、図２０
の(d)に示すように、正常な駆動波形ｈ1とグランドライ
ンの波形ｈ2とステップ状に立ち上がる波形ｈ3の３本の
輝線が重なって表示され、波形ｈ2と波形ｈ3の両方がマ
ーキングの範囲から逸脱することになる。In the first to n-th capacitive elements,
When the open state part and the short state part are mixed, the screen of the oscilloscope 21 displays FIG.
As shown in (d), three bright lines of a normal drive waveform h1, a ground line waveform h2, and a waveform h3 rising stepwise are displayed in an overlapping manner, and both the waveform h2 and the waveform h3 are out of the range of the marking. Will deviate.

【００７３】また、１〜ｎ番目の容量性素子において、
静電容量が異常に小さい容量性素子があったり、容量性
素子への接続部や駆動回路に回路抵抗が異常に大きいも
のがあると、オシロスコープ２１の画面上には、図２０
の(e)に示すように、正常な駆動波形ｈ1と電流が小さい
異常波形ｈ4が重なって表示され、異常波形ｈ4がマーキ
ングの範囲から逸脱することになる。In the first to n-th capacitive elements,
If there is a capacitive element having an abnormally small capacitance, or if there is an abnormally large circuit resistance in a connection portion to the capacitive element or in a drive circuit, the screen of the oscilloscope 21 will be displayed as shown in FIG.
As shown in (e), the normal drive waveform h1 and the abnormal waveform h4 with a small current are displayed overlapping, and the abnormal waveform h4 deviates from the range of the marking.

【００７４】また、１〜ｎ番目の容量性素子において、
静電容量が異常に大きな容量性素子があると、オシロス
コープ２１の画面上には、図２０の(f)に示すように、
正常な駆動波形ｈ1と電流が大きい異常波形ｈ5が重なっ
て表示され、異常波形ｈ5がマーキングの範囲から逸脱
することになる。In the first to n-th capacitive elements,
When there is a capacitive element having an abnormally large capacitance, the screen of the oscilloscope 21 displays, as shown in FIG.
The normal drive waveform h1 and the abnormal waveform h5 with a large current are displayed overlapping, and the abnormal waveform h5 deviates from the range of the marking.

【００７５】さらに、駆動回路の遅れが異常に大きいも
のがあると、オシロスコープ２１の画面上には、図２０
の(g)に示すように、正常な駆動波形ｈ1と時間的に遅れ
ている異常波形ｈ6が重なって表示され、異常波形ｈ6が
マーキングの範囲から逸脱することになる。Further, if there is an abnormally large delay in the driving circuit, the screen of the oscilloscope 21 displays
As shown in (g), the normal drive waveform h1 and the abnormal waveform h6 delayed in time are displayed overlapping, and the abnormal waveform h6 deviates from the range of the marking.

【００７６】このように、オシロスコープ２１の画面上
に付したマーキングを使用してもヘッドユニットの良否
判定が正確にできる。また、オシロスコープ２１の画面
上に各容量性素子の駆動波形を重ねて表示することとオ
シロスコープ２１の画面上に正常範囲を示すマーキング
を付すことを合せれば、駆動波形の異常状態を容易に見
つけだすことができ、ヘッドユニットの良否判定がさら
に正確にできる。なお、各容量性素子の駆動波形をオシ
ロスコープ２１の画面上に重ねて表示することで図２０
の(g)に示すような時間的変化の情報を含んだ動的な特
性不良に対して的確に検出ができる。As described above, the quality of the head unit can be accurately determined by using the markings on the screen of the oscilloscope 21. In addition, when the driving waveform of each capacitive element is superimposed and displayed on the screen of the oscilloscope 21 and the marking indicating the normal range is provided on the screen of the oscilloscope 21, an abnormal state of the driving waveform can be easily found. The quality of the head unit can be determined more accurately. Note that the driving waveform of each capacitive element is superimposed and displayed on the screen of the oscilloscope 21 so that FIG.
It is possible to accurately detect a dynamic characteristic failure including information on a temporal change as shown in FIG.

【００７７】さらに、図３の制御回路１８において、第
３のカウンタ１８４をクリアする代わりにプリセットレ
ジスタを設け、このプリセットレジスタによって第３の
カウンタ１８４に値「ｎ−ｍ」をプリセットするように
し、第３の比較器１８８のレジスタ１８５に接続してい
る比較入力を別のレジスタに接続し、このレジスタに値
「ｎ−ｋ」を設定しておけば、ｋ〜ｍ番目（但し、ｎ≧
ｍ≧ｋ≧１）の容量性素子のみを順次駆動させることが
できる。このような制御を行うことで、最初の検査で動
作が不良となった容量性素子があった場合に、その容量
性素子がどの位置にあるかを絞り込みによって特定する
解析ができる。Further, in the control circuit 18 of FIG. 3, a preset register is provided instead of clearing the third counter 184, and the value "nm" is preset in the third counter 184 by the preset register. If the comparison input connected to the register 185 of the third comparator 188 is connected to another register and a value “nk” is set in this register, the kth to mth (where n ≧ m)
Only the capacitive elements satisfying m ≧ k ≧ 1) can be sequentially driven. By performing such control, when there is a capacitive element that has malfunctioned in the first inspection, it is possible to perform an analysis for specifying the position of the capacitive element by narrowing down.

【００７８】なお、前述した実施の形態では、容量性負
荷として圧電部材を使用したインクジェットプリントヘ
ッドを使用し、このヘッドを駆動する場合について述べ
たが必ずしもこれに限定するものではなく、容量性負荷
として圧電部材と同様に容量性素子である液晶素子を使
用した装置やＥＬプリントヘッド等を使用し、これらを
駆動する場合にも適用できるものである。In the above-described embodiment, a case has been described in which an inkjet print head using a piezoelectric member is used as the capacitive load, and this head is driven. However, the present invention is not limited to this. A device using a liquid crystal element, which is a capacitive element like a piezoelectric member, an EL print head, or the like is used, and the present invention can be applied to a case where these are driven.

【００７９】[0079]

【発明の効果】請求項１乃至６記載の発明によれば、容
量性負荷とこの駆動回路及び容量性負荷に瞬時電流を供
給するためのコンデンサをユニットとして組込んだもの
において、検査時にはコンデンサの影響を受けずにユニ
ットの良否判定が正確にでき、しかも、検査終了後には
コンデンサを瞬時電流の供給用として機能させることが
できる容量性負荷駆動ユニットを提供できる。According to the first to sixth aspects of the present invention, a capacitive load, a drive circuit and a capacitor for supplying an instantaneous current to the capacitive load are incorporated as a unit. It is possible to provide a capacitive load drive unit that can accurately judge the quality of the unit without being affected by the influence and can function the capacitor to supply the instantaneous current after the inspection is completed.

【００８０】また、請求項７乃至９記載の発明によれ
ば、容量性負荷とこの駆動回路及び容量性負荷に瞬時電
流を供給するためのコンデンサを組込んだ容量性負荷駆
動ユニットに対して、コンデンサの影響を受けずにユニ
ットの良否判定の検査を正確にできる容量性負荷駆動ユ
ニットの検査方法を提供できる。According to the present invention, a capacitive load drive unit incorporating a capacitive load, a capacitor for supplying an instantaneous current to the drive circuit and the capacitive load, is provided. It is possible to provide a method of inspecting a capacitive load drive unit that can accurately inspect the quality of a unit without being affected by a capacitor.

【００８１】また、請求項１０乃至１５記載の発明によ
れば、容量性負荷とこの駆動回路及び容量性負荷に瞬時
電流を供給するためのコンデンサを組込んだ容量性負荷
駆動ユニットに対して、コンデンサの影響を受けずにユ
ニットの良否判定の検査を電流波形により正確かつ容易
にできる容量性負荷駆動ユニットの検査装置を提供でき
る。According to the tenth to fifteenth aspects, a capacitive load driving unit incorporating a capacitive load, a capacitor for supplying an instantaneous current to the driving circuit and the capacitive load, is provided. It is possible to provide an inspection apparatus for a capacitive load driving unit that can accurately and easily inspect the quality of a unit by a current waveform without being affected by a capacitor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施の形態を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram illustrating an embodiment of the present invention.

【図２】同実施の形態における駆動回路の構成を示すブ
ロック図。FIG. 2 is a block diagram showing a structure of a driver circuit in the embodiment.

【図３】同実施の形態における制御回路の構成を示すブ
ロック図。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a control circuit in the embodiment.

【図４】同実施の形態における制御回路の各部の動作タ
イミングを示す部分タイミング図。FIG. 4 is a partial timing chart showing operation timing of each unit of the control circuit according to the embodiment;

【図５】同実施の形態における制御回路の各部の動作タ
イミングを示す部分タイミング図。FIG. 5 is a partial timing chart showing operation timing of each unit of the control circuit in the embodiment.

【図６】同実施の形態におけるオシロスコープによる電
流波形の表示例を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a display example of a current waveform by the oscilloscope in the embodiment.

【図７】同実施の形態におけるヘッドユニットの具体的
構成例を示す図。FIG. 7 is a diagram showing a specific configuration example of a head unit in the embodiment.

【図８】同実施の形態におけるヘッドユニットの具体的
構成例を示す図。FIG. 8 is a diagram showing a specific configuration example of a head unit in the embodiment.

【図９】同実施の形態におけるヘッドユニットの具体的
構成例を示す図。FIG. 9 is a diagram showing a specific configuration example of a head unit in the embodiment.

【図１０】同実施の形態におけるヘッドユニットの具体
的構成例を示す図。FIG. 10 is a diagram showing a specific configuration example of a head unit in the embodiment.

【図１１】同実施の形態におけるヘッドユニットの具体
的構成例を示す図。FIG. 11 is a diagram showing a specific configuration example of a head unit in the embodiment.

【図１２】図１１のヘッドユニットを使用した場合の検
査時、製品作成時に使用するケーブル例を示す図。FIG. 12 is a diagram showing an example of a cable used at the time of inspection and product creation when the head unit of FIG. 11 is used.

【図１３】同実施の形態におけるヘッドユニットの具体
的構成例を示す図。FIG. 13 is a view showing a specific configuration example of a head unit in the embodiment.

【図１４】図１３のヘッドユニットを使用した場合の製
品時の状態を示す図。FIG. 14 is a diagram showing a state of a product when the head unit of FIG. 13 is used.

【図１５】同実施の形態において検査可能なインクジェ
ットプリントヘッドと駆動回路の例を等価回路で示した
図。FIG. 15 is a diagram showing an example of an inkjet print head and a drive circuit which can be inspected in the embodiment by using an equivalent circuit.

【図１６】同実施の形態において検査可能なインクジェ
ットプリントヘッドと駆動回路の例を等価回路で示した
図。FIG. 16 is a diagram showing an example of an inkjet print head and a drive circuit which can be inspected in the embodiment by using an equivalent circuit.

【図１７】同実施の形態において検査可能なインクジェ
ットプリントヘッドと駆動回路の例を等価回路で示した
図。FIG. 17 is a diagram showing an example of an inkjet print head and a drive circuit which can be inspected in the embodiment by using an equivalent circuit.

【図１８】電流波形検出部の他の実施の形態を示すブロ
ック図。FIG. 18 is a block diagram showing another embodiment of the current waveform detector.

【図１９】電流波形検出部の他の実施の形態を示すブロ
ック図。FIG. 19 is a block diagram showing another embodiment of the current waveform detector.

【図２０】オシロスコープによる電流波形の他の表示例
を示す図。FIG. 20 is a diagram showing another display example of the current waveform by the oscilloscope.

【図２１】圧電部材を使用したインクジェットプリント
ヘッドにおける１つの容量性素子に対する駆動回路の等
価回路を示す回路図。FIG. 21 is a circuit diagram showing an equivalent circuit of a drive circuit for one capacitive element in an ink jet print head using a piezoelectric member.

【図２２】従来例を示すブロック図。FIG. 22 is a block diagram showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１…ヘッドユニット １２…インクジェットプリントヘッド １３…駆動回路 １４…コンデンサ １５…選択手段 １８…制御回路 ２１…オシロスコープ ２１１…電流プローブ DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Head unit 12 ... Ink-jet print head 13 ... Drive circuit 14 ... Capacitor 15 ... Selection means 18 ... Control circuit 21 ... Oscilloscope 211 ... Current probe

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 複数の容量性素子から成る容量性負荷
と、この容量性負荷を駆動する駆動回路と、この駆動回
路への駆動電源供給ライン間に接続した、前記容量性負
荷に瞬時電流を供給するためのコンデンサとこのコンデ
ンサを前記駆動電源供給ライン間に接続するか否かを選
択する選択手段との直列回路によって構成したことを特
徴とする容量性負荷駆動ユニット。1. A capacitive load comprising a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, and an instantaneous current connected to the capacitive load connected between a drive power supply line to the drive circuit. A capacitive load drive unit comprising a series circuit of a capacitor for supplying and a selection means for selecting whether or not to connect the capacitor between the drive power supply lines. 【請求項２】 選択手段は、開閉スイッチであることを
特徴とする請求項１記載の容量性負荷駆動ユニット。2. The capacitive load drive unit according to claim 1, wherein the selection means is an open / close switch. 【請求項３】 選択手段は、オープン端子を備えたコネ
クタとこのコネクタのオープン端子を短絡するショート
プラグからなることを特徴とする請求項１記載の容量性
負荷駆動ユニット。3. The capacitive load drive unit according to claim 1, wherein the selection means comprises a connector having an open terminal and a short plug for short-circuiting the open terminal of the connector. 【請求項４】 選択手段は、ハンダで短絡する回路パタ
ーンのオープン端子からなることを特徴とする請求項１
記載の容量性負荷駆動ユニット。4. The apparatus according to claim 1, wherein said selecting means comprises an open terminal of a circuit pattern short-circuited by solder.
A capacitive load drive unit as described. 【請求項５】 選択手段は、ジャンパー素子で短絡する
回路パターンのオープン端子からなることを特徴とする
請求項１記載の容量性負荷駆動ユニット。5. The capacitive load driving unit according to claim 1, wherein the selecting means comprises an open terminal of a circuit pattern short-circuited by a jumper element. 【請求項６】 複数の容量性素子から成る容量性負荷
と、この容量性負荷を駆動する駆動回路と、この駆動回
路の駆動電源供給ライン間に接続して前記容量性負荷に
瞬時電流を供給するコンデンサと、前記駆動回路を制御
する制御回路をその駆動回路に接続するために使用する
ケーブルが接続される複数の接続端子を備えたコネクタ
とを備え、前記コネクタに接続するケーブルの種類によ
り前記コンデンサを前記コネクタの所定の接続端子を介
して前記駆動回路の駆動電源供給ライン間に接続するか
切り離すかを選択することを特徴とする容量性負荷駆動
ユニット。6. A capacitive load composed of a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, and an instantaneous current supplied to the capacitive load by being connected between drive power supply lines of the drive circuit. And a connector having a plurality of connection terminals to which a cable used to connect a control circuit for controlling the drive circuit to the drive circuit is provided. A capacitive load drive unit for selecting whether to connect or disconnect a capacitor between drive power supply lines of the drive circuit via a predetermined connection terminal of the connector. 【請求項７】 複数の容量性素子から成る容量性負荷、
この容量性負荷を駆動する駆動回路、及びこの駆動回路
への駆動電源供給ライン間に接続して前記容量性負荷に
瞬時電流を供給するコンデンサによって構成した容量性
負荷駆動ユニットに対し、 前記コンデンサを前記駆動電源供給ライン間に非接続状
態にした状態で前記駆動回路により前記容量性負荷の各
容量性素子を順次駆動するとともにその時の前記駆動電
源供給ラインに流れる電源電流若しくは電圧変動を検出
して前記容量性素子駆動ユニットの良否を判定すること
を特徴とする容量性負荷駆動ユニットの検査方法。7. A capacitive load comprising a plurality of capacitive elements,
A drive circuit for driving the capacitive load, and a capacitive load drive unit including a capacitor connected between a drive power supply line to the drive circuit and supplying an instantaneous current to the capacitive load; The drive circuit sequentially drives each capacitive element of the capacitive load in a state of being disconnected between the drive power supply lines, and detects a power supply current or a voltage change flowing through the drive power supply line at that time. A method for inspecting a capacitive load drive unit, comprising determining whether the capacitive element drive unit is good or bad. 【請求項８】 複数の容量性素子から成る容量性負荷、
この容量性負荷を駆動する駆動回路、及びこの駆動回路
への駆動電源供給ライン間に接続して前記容量性負荷に
瞬時電流を供給するコンデンサによって構成した容量性
負荷駆動ユニットに対し、 前記コンデンサを前記駆動電源供給ライン間に非接続状
態にした状態で前記駆動回路により前記容量性負荷の各
容量性素子を順次駆動するとともにその駆動タイミング
に同期して駆動電源の電流波形若しくは電圧変動波形を
重ねて記録し、この重ねて記録した電流波形若しくは電
圧変動波形が予め定めた範囲内にあるか否かにより前記
容量性素子駆動ユニットの良否を判定することを特徴と
する容量性負荷駆動ユニットの検査方法。8. A capacitive load comprising a plurality of capacitive elements,
A drive circuit for driving the capacitive load, and a capacitive load drive unit including a capacitor connected between a drive power supply line to the drive circuit and supplying an instantaneous current to the capacitive load; Each of the capacitive elements of the capacitive load is sequentially driven by the drive circuit in a state of being disconnected between the drive power supply lines, and a current waveform or a voltage fluctuation waveform of the drive power supply is superimposed in synchronization with the drive timing. And inspecting the capacitive load drive unit based on whether the overprinted current waveform or voltage fluctuation waveform is within a predetermined range. Method. 【請求項９】 複数の容量性素子から成る容量性負荷、
この容量性負荷を駆動する駆動回路、及びこの駆動回路
への駆動電源供給ライン間に接続して前記容量性負荷に
瞬時電流を供給するコンデンサによって構成した容量性
負荷駆動ユニットに対し、 前記コンデンサを前記駆動電源供給ライン間に非接続状
態にした状態で前記駆動回路により前記容量性負荷の各
容量性素子を順次駆動するとともにその駆動タイミング
に同期して駆動電源の電流波形若しくは電圧変動波形を
オシロスコープに重ねて表示し、この重ねて表示した電
流波形若しくは電圧変動波形の表示残像が予め定めた範
囲内にあるか否かにより前記容量性素子駆動ユニットの
良否を判定することを特徴とする容量性負荷駆動ユニッ
トの検査方法。9. A capacitive load comprising a plurality of capacitive elements,
A drive circuit for driving the capacitive load, and a capacitive load drive unit including a capacitor connected between a drive power supply line to the drive circuit and supplying an instantaneous current to the capacitive load; Each of the capacitive elements of the capacitive load is sequentially driven by the drive circuit in a state of being disconnected between the drive power supply lines, and a current waveform or a voltage fluctuation waveform of the drive power supply is synchronized with the drive timing by an oscilloscope. And determining whether the capacitive element drive unit is good or not based on whether or not a display afterimage of the overlaid current waveform or voltage fluctuation waveform is within a predetermined range. Inspection method of load drive unit. 【請求項１０】 複数の容量性素子から成る容量性負
荷、この容量性負荷を駆動する駆動回路、及びこの駆動
回路への駆動電源供給ライン間に接続して前記容量性負
荷に瞬時電流を供給するコンデンサによって構成した容
量性負荷駆動ユニットに対し、 前記コンデンサを前記駆動電源供給ライン間に非接続状
態にした状態で前記駆動回路に前記容量性負荷の各容量
性素子を順次駆動する信号を与える制御手段と、前記各
容量性素子を順次駆動する時の駆動タイミングに同期し
て駆動電源の電流若しくは電圧変動を検出する検出手段
と、この検出手段の検出波形を記録する波形記録手段と
を備え、前記波形記録手段が記録した検出波形から前記
容量性負荷駆動ユニットの良否検査を行うことを特徴と
する容量性負荷駆動ユニットの検査装置。10. A capacitive load composed of a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, and an instantaneous current supplied to the capacitive load by being connected between a drive power supply line to the drive circuit. A signal for sequentially driving each capacitive element of the capacitive load is provided to the drive circuit in a state where the capacitor is not connected between the drive power supply lines to the capacitive load drive unit configured by the capacitor. Control means; detecting means for detecting a current or voltage fluctuation of a driving power supply in synchronization with a driving timing when sequentially driving each of the capacitive elements; and waveform recording means for recording a detected waveform of the detecting means. An inspection apparatus for inspecting the capacitive load driving unit based on the detected waveform recorded by the waveform recording means. 【請求項１１】 波形記録手段は、オシロスコープから
なり、各容量性素子の駆動開始に同期した信号をトリガ
信号として取込み、このトリガ信号の入力を起点に検出
手段が検出する検出波形を画面に表示することを特徴と
する請求項１０記載の容量性負荷駆動ユニットの検査装
置。11. A waveform recording means comprising an oscilloscope, fetches a signal synchronized with the start of driving of each capacitive element as a trigger signal, and displays a detected waveform detected by the detection means on the screen starting from the input of the trigger signal. The inspection apparatus for a capacitive load driving unit according to claim 10, wherein 【請求項１２】 制御手段は、駆動回路に容量性負荷の
各容量性素子を順次駆動する信号を全容量性素子に対し
て繰返し与え、オシロスコープの画面に検出手段が検出
する検出波形を重ねかつ繰返し表示することを特徴とす
る請求項１１記載の容量性負荷駆動ユニットの検査装
置。12. The control means repeatedly applies a signal for sequentially driving each capacitive element of the capacitive load to the drive circuit to all the capacitive elements, and superimposes a detection waveform detected by the detection means on a screen of an oscilloscope; The inspection apparatus for a capacitive load drive unit according to claim 11, wherein the inspection is performed repeatedly. 【請求項１３】 波形記録手段は、デジタルストレージ
式のオシロスコープからなり、制御手段は、駆動回路に
容量性負荷の各容量性素子を順次駆動する信号をそれぞ
れ１回ずつ与え、この信号供給が終了すると表示手段に
検査終了表示を行わせ、前記オシロスコープは、画面に
検出手段が検出する検出波形を重ねて表示することを特
徴とする請求項１０記載の容量性負荷駆動ユニットの検
査装置。13. The waveform recording means comprises a digital storage type oscilloscope, and the control means supplies a signal for sequentially driving each capacitive element of the capacitive load to the drive circuit once each, and this signal supply ends. 11. The inspection apparatus for a capacitive load drive unit according to claim 10, wherein the inspection means causes the display means to perform an inspection end display, and the oscilloscope displays the detection waveform detected by the detection means in a superimposed manner on a screen. 【請求項１４】 複数の容量性素子から成る容量性負
荷、この容量性負荷を駆動する駆動回路、及びこの駆動
回路への駆動電源供給ライン間に接続して前記容量性負
荷に瞬時電流を供給するコンデンサによって構成した容
量性負荷駆動ユニットに対し、 前記コンデンサを前記駆動電源供給ライン間に非接続状
態にした状態で前記駆動回路により前記容量性負荷の各
容量性素子を順次駆動する信号を与える手段と、前記各
容量性素子の駆動タイミングに同期して駆動電源の電流
波形若しくは電圧変動波形を重ねて記録する波形記録手
段とを備え、前記波形記録手段が重ねて記録した電流波
形若しくは電圧変動波形が予め定めた範囲内にあるか否
かにより前記容量性素子駆動ユニットの良否を判定する
ことを特徴とする容量性負荷駆動ユニットの検査装置。14. A capacitive load composed of a plurality of capacitive elements, a drive circuit for driving the capacitive load, and an instantaneous current supplied to the capacitive load by being connected between a drive power supply line to the drive circuit. A signal for sequentially driving each capacitive element of the capacitive load by the drive circuit in a state where the capacitor is disconnected between the drive power supply lines to the capacitive load drive unit constituted by the capacitor to be driven. Means, and waveform recording means for superimposing and recording a current waveform or a voltage fluctuation waveform of a driving power supply in synchronization with the drive timing of each of the capacitive elements, wherein the waveform recording means superimposedly records the current waveform or the voltage fluctuation. A capacitive load driving unit, wherein the quality of the capacitive element driving unit is determined based on whether a waveform is within a predetermined range.査 apparatus. 【請求項１５】 波形記録手段は、オシロスロープから
なり、このオシロスコープの画面上に駆動電源の電流波
形若しくは電圧変動波形を重ねて表示し、この重ねて表
示した電流波形若しくは電圧変動波形の表示残像が予め
定めた範囲内にあるか否かにより前記容量性素子駆動ユ
ニットの良否を判定することを特徴とする請求項１４記
載の容量性負荷駆動ユニットの検査装置。15. A waveform recording means comprising an oscilloscope, displaying a current waveform or a voltage fluctuation waveform of a driving power supply on the oscilloscope screen in a superimposed manner, and displaying an afterimage of the superimposed current waveform or the voltage fluctuation waveform. 15. The inspection apparatus for a capacitive load drive unit according to claim 14, wherein the quality of the capacitive element drive unit is determined based on whether or not is within a predetermined range.