JP2000121537A - Scanning probe microscope - Google Patents
Scanning probe microscopeInfo
- Publication number
- JP2000121537A JP2000121537A JP10297376A JP29737698A JP2000121537A JP 2000121537 A JP2000121537 A JP 2000121537A JP 10297376 A JP10297376 A JP 10297376A JP 29737698 A JP29737698 A JP 29737698A JP 2000121537 A JP2000121537 A JP 2000121537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cantilever
- mark
- probe
- abnormality
- detecting means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、試料表面の微細な
構造を観察するのに用いる走査型プローブ顕微鏡に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning probe microscope used for observing a fine structure on a sample surface.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１０は従来の走査型プローブ顕微鏡の
一つである原子間力顕微鏡の説明図である。図におい
て、１はカンチレバー、１２はカンチレバーのたわみ検
出器、１３は試料、１４は試料ステージ、１５はXYZト
ランスレータ、１６はコンピュータおよびコントローラ
である。2. Description of the Related Art FIG. 10 is an explanatory view of an atomic force microscope which is one of the conventional scanning probe microscopes. In the figure, 1 is a cantilever, 12 is a cantilever deflection detector, 13 is a sample, 14 is a sample stage, 15 is an XYZ translator, and 16 is a computer and a controller.
【０００３】この従来の原子間力顕微鏡においては、XY
Zトランスレータ上の試料ステージに試料をのせ、試料
をカンチレバー先端に固定された先鋭化されたプローブ
へ接触させ、トランスレータで試料をX-Y面内に走査す
る。このとき、カンチレバーのたわみを１２のたわみ検
出器でモニターし一定のたわみになるようにコントロー
ラがフィードバック制御を行いトランスレータで試料の
Z方向の位置を調節する。試料表面上の各位置での調節
量をコンピュータで画面上にマッピングすることによっ
て試料表面の微細な構造を観察することができる。In this conventional atomic force microscope, XY
The sample is placed on the sample stage on the Z translator, the sample is brought into contact with a sharpened probe fixed to the tip of the cantilever, and the sample is scanned in the XY plane by the translator. At this time, the deflection of the cantilever is monitored by the 12 deflection detectors, the controller performs feedback control so that the deflection becomes constant, and the sample of the sample is transmitted by the translator.
Adjust the position in the Z direction. By mapping the adjustment amount at each position on the sample surface on a screen by a computer, a fine structure of the sample surface can be observed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたよ
うに、走査型プローブ顕微鏡は試料表面の微細な構造を
観察できるため、たとえば、CDや、DVDのように、凹凸
によってマークを形成する記録媒体のマーク形状の評
価、また、磁性体からなるプローブを用いることによっ
て、たとえばハードディスクや、光磁気ディスクのよう
に磁気によってマークを形成する記録媒体のマーク形状
の評価に用いられている。As described in the prior art, a scanning probe microscope can observe a fine structure on the surface of a sample, so that a mark is formed by irregularities such as a CD or DVD. It is used for evaluating the mark shape of a recording medium and for evaluating the mark shape of a recording medium that forms a mark by magnetism such as a hard disk or a magneto-optical disk by using a probe made of a magnetic material.
【０００５】しかし、現在のところ、記録媒体表面の限
られたマークを観察しているにすぎないため、異常なマ
ークを探すことは難しく、また、媒体表面すべてを走査
型プローブ顕微鏡で観察するためには走査スピードの制
約から測定時間が非常に長くなり困難である。一方で、
記録密度は年々上がってきており、マークのサイズが小
さくなるにつれマーク形状の評価は重要になってくる。
そこで、本発明においては、記録媒体の原盤、スタンパ
および記録媒体のような基板上に形成されたマークの異
常部分を検出し、異常部分を走査型プローブ顕微鏡で観
察可能な装置を提供することを目的とする。However, at present, only a limited number of marks on the surface of a recording medium are observed, so that it is difficult to search for an abnormal mark. Further, since the entire surface of the medium is observed with a scanning probe microscope. However, the measurement time is extremely long due to the limitation of the scanning speed, which is difficult. On the other hand,
The recording density is increasing year by year, and as the size of the mark becomes smaller, the evaluation of the mark shape becomes more important.
In view of the above, the present invention provides an apparatus capable of detecting an abnormal portion of a mark formed on a substrate such as a master of a recording medium, a stamper and a recording medium, and observing the abnormal portion with a scanning probe microscope. Aim.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明にかかる走査型プ
ローブ顕微鏡においては、試料表面に形成されたマーク
の位置を検出し、プローブを追従させるための位置検出
手段と、マーク異常を検出する異常検出手段と、マーク
の異常部分でプローブを走査させマーク形状を観察する
形状観察手段を有し、マークの異常部分のみを走査型プ
ローブ顕微鏡で形状観察することで、試料表面に形成さ
れたマークすべてを短時間に検査することができる構成
とした。In a scanning probe microscope according to the present invention, a position detecting means for detecting the position of a mark formed on the surface of a sample and following the probe, and an abnormality detecting an abnormal mark. It has a detecting means and a shape observing means for observing the mark shape by scanning the probe with the abnormal part of the mark. By observing the shape of only the abnormal part of the mark with a scanning probe microscope, all the marks formed on the sample surface are observed. Was inspected in a short time.
【０００７】さらに、位置検出手段とマーク異常を検出
する手段に先端にプローブをもつカンチレバーを用い
て、より微小なマークが形成された試料表面において
も、正確な位置検出とマーク異常検出を行える構成とし
た。さらに、位置検出手段に先端にプローブを持つカン
チレバーを、マーク異常を検出する手段に光検出器を用
いることで、位置検出を高精度に行いかつ高速にマーク
異常を検出可能な構成とした。[0007] Further, by using a cantilever having a probe at the tip as a position detecting means and a means for detecting a mark abnormality, it is possible to perform accurate position detection and mark abnormality detection even on a sample surface on which a finer mark is formed. And Furthermore, by using a cantilever having a probe at the tip as a position detecting means and a photodetector as a means for detecting a mark abnormality, a configuration capable of performing position detection with high accuracy and detecting a mark abnormality at high speed is provided.
【０００８】さらに、位置検出手段に光検出器、マーク
異常を検出する手段に先端にプローブを持つカンチレバ
ーを用いることで、微小なマークに対しても高速にマー
ク異常を検出可能な構成とした。さらに、位置検出手段
とマーク異常を検出する手段に光検出器を用いること
で、より高速にマーク異常を検出可能な構成とした。Further, by using a photodetector for the position detecting means and a cantilever having a probe at the tip for the means for detecting a mark abnormality, a structure capable of detecting a mark abnormality at a high speed even for a minute mark is provided. Further, by using a photodetector for the position detecting means and the means for detecting the mark abnormality, the configuration is made such that the mark abnormality can be detected more quickly.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、図を用いてCDのように表面
に凹凸でマークを形成する記録媒体のマークを検査する
場合を例にして、本発明の実施の形態を説明する。 ［実施の形態１］図１において、１は先端にプローブを
有するカンチレバー、９は試料表面のマークを読みとる
光検出器、１５はカンチレバーを試料表面でラスタスキ
ャンするためのXYZトランスレータ、１２はカンチレバ
ーのたわみを検出するたわみ検出器、１６はコンピュー
タおよびコントローラ、１７はマークを有する試料であ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings by taking, as an example, a case of inspecting a mark of a recording medium in which a mark is formed on the surface such as a CD with irregularities. Embodiment 1 In FIG. 1, 1 is a cantilever having a probe at the tip, 9 is a photodetector for reading a mark on the sample surface, 15 is an XYZ translator for raster-scanning the cantilever on the sample surface, and 12 is a cantilever. A flexure detector for detecting flexure, 16 is a computer and a controller, and 17 is a sample having a mark.
【００１０】本実施の形態においては、光検出器９が位
置検出手段と異常検出手段を兼ねているが、他の実施の
形態で述べているように、位置検出手段、異常検出手段
ともにカンチレバーを用いることもできる。光検出器の
出力からコンピュータおよびコントローラが位置のずれ
を検出し、図１には図示されてないが位置調節用の粗動
機構によって、光検出器の照射する光スポットと、プロ
ーブが常に対象となるマーク上にくるように光検出器と
カンチレバー１の位置を調節する。また、同時に光検出
器によってマーク異常を検出し、その異常部分にカンチ
レバー１を移動させ、その場所で通常の走査型プローブ
顕微鏡と同様に、ＸＹＺトランスレータ１５がカンチレ
バー１を平面内で走査させると同時にたわみ検出器１２
でカンチレバーのたわみを検出し、たわみ量に基づいて
コンピュータおよびコントローラ１６がＸＹＺトランス
レータ１５を使ってカンチレバーの上下方向の位置を調
節することによって異常部分の形状観察を行う。In this embodiment, the photodetector 9 serves both as a position detecting means and an abnormality detecting means. However, as described in other embodiments, both the position detecting means and the abnormality detecting means use a cantilever. It can also be used. The computer and the controller detect the displacement from the output of the photodetector, and the coarse spotting mechanism (not shown in FIG. 1) for adjusting the position always illuminates the light spot irradiated by the photodetector and the probe. The positions of the photodetector and the cantilever 1 are adjusted so as to be on the mark. At the same time, a mark abnormality is detected by the photodetector, the cantilever 1 is moved to the abnormal portion, and the XYZ translator 15 causes the cantilever 1 to scan in a plane at that location, similarly to a normal scanning probe microscope. Deflection detector 12
Then, the computer and the controller 16 use the XYZ translator 15 to adjust the position of the cantilever in the vertical direction based on the amount of deflection, thereby observing the shape of the abnormal portion.
【００１１】カンチレバー１のたわみおよびねじれの測
定には、光てこ法または、カンチレバーに取り付けた圧
電体の起電力変化や、圧電抵抗体の抵抗値変化による方
法等、通常の走査型プローブ顕微鏡においてカンチレバ
ーのねじれやたわみの測定に用いられている方法を用い
る。また、プローブに磁性体からなるプローブを用いる
ことで、光磁気ディスクのような磁気によってマークを
形成するような記録媒体へ応用することができる。The deflection and torsion of the cantilever 1 are measured by an optical lever method, a method using a change in the electromotive force of a piezoelectric body attached to the cantilever, a method using a change in the resistance value of a piezoresistor, or the like. The method used for the measurement of the torsion and the deflection is used. In addition, by using a probe made of a magnetic material as a probe, the present invention can be applied to a recording medium such as a magneto-optical disk in which marks are formed by magnetism.
【００１２】なお、本実施の形態において、マーク異常
とは、たとえば記録媒体、スタンパ、原盤等に記録した
マークの欠落、またはマーク読みとり時に読みとり不能
となるような、また、Ｓ／Ｎ比を低下させるような欠陥
等を指す。 ［実施の形態２］図２において、１はカンチレバー、２
はプローブ、３はマーク列または案内溝の側壁、４はカ
ンチレバー支持体である。（ａ）および（ｂ）は正面
図、（ｃ）および（ｄ）は側面図である。In the present embodiment, a mark abnormality means that a mark recorded on a recording medium, a stamper, a master, or the like is missing, that the mark cannot be read at the time of reading the mark, or that the S / N ratio decreases. Refers to a defect or the like that causes [Embodiment 2] In FIG. 2, 1 is a cantilever, 2
Is a probe, 3 is a side wall of a mark row or a guide groove, and 4 is a cantilever support. (A) and (b) are front views, (c) and (d) are side views.
【００１３】（ｃ）において、矢印の方向へプローブ２
を走査する場合、プローブ２の位置が側壁間の中心から
ずれると、プローブ２が側壁３に接触し、プローブ２に
は、横方向の力が働きカンチレバー１はねじれる。この
とき、カンチレバー１のねじれを測定し、ねじれを一定
に保つように、支持体４の位置を制御することによって
つねにプローブ２の位置を補正すると同時に、（ｄ）に
示すように、カンチレバー１の上下方向のたわみを測定
することによって、試料表面上のマーク異常を検出し、
その場所でカンチレバー１を用いて通常の走査型プロー
ブ顕微鏡と同様の方法でマークの形状を観察する。In (c), the probe 2 is moved in the direction of the arrow.
When scanning is performed, when the position of the probe 2 is deviated from the center between the side walls, the probe 2 comes into contact with the side wall 3 and a lateral force acts on the probe 2 to twist the cantilever 1. At this time, the position of the probe 2 is always corrected by measuring the torsion of the cantilever 1 and controlling the position of the support 4 so as to keep the torsion constant, and at the same time, as shown in FIG. By measuring the vertical deflection, mark abnormalities on the sample surface are detected,
At that location, the shape of the mark is observed using the cantilever 1 in the same manner as in a normal scanning probe microscope.
【００１４】このような構成とすることで、位置検出手
段、異常検出手段、形状観察手段を一つのプローブで構
成することができる。さらに、プローブおよびカンチレ
バーを複数とすることで測定時間を短縮することができ
る。また、プローブに磁性体からなるプローブを用いる
ことで、光磁気ディスクのような磁気によってマークを
形成するような記録媒体へ応用することができる。カン
チレバー１のたわみおよびねじれの測定には、光てこ法
または、カンチレバーに取り付けた圧電体の起電力変化
や、圧電抵抗体の抵抗値変化による方法等、通常の走査
型プローブ顕微鏡においてカンチレバーのねじれやたわ
みの測定に用いられている方法を用いる。With this configuration, the position detecting means, the abnormality detecting means, and the shape observing means can be constituted by one probe. Further, the measurement time can be reduced by using a plurality of probes and cantilevers. In addition, by using a probe made of a magnetic material as a probe, the present invention can be applied to a recording medium such as a magneto-optical disk in which marks are formed by magnetism. The deflection and torsion of the cantilever 1 are measured by an optical lever method, a method of changing the electromotive force of a piezoelectric body attached to the cantilever, a method of changing the resistance value of a piezoresistor, and the like. The method used for measuring deflection is used.
【００１５】なお、本実施の形態におけるマーク異常と
は実施の形態１のマーク異常と同義である。 ［実施の形態３］図３において、２はプローブ、４はカ
ンチレバー支持体、５は位置決め用のカンチレバー、６
はマーク異常検出用および形状観察用のカンチレバーで
ある。The mark abnormality in the present embodiment is synonymous with the mark abnormality in the first embodiment. [Embodiment 3] In FIG. 3, 2 is a probe, 4 is a cantilever support, 5 is a cantilever for positioning, 6
Is a cantilever for detecting a mark abnormality and for observing the shape.
【００１６】（ａ）は位置決め用カンチレバー５にプロ
ーブ２が固定されている形式で、（ｂ）はマーク異常検
出用および形状観察用のカンチレバー６にプローブ２が
固定されている形式である。プローブ２がマーク列また
は、案内溝の側面に接触すると、プローブ２には横方向
の力が加わり、カンチレバー５が矢印の方向にたわむ。
このとき、カンチレバー５のたわみを測定し、たわみを
一定に保つように支持体４の位置を制御することによっ
てつねにプローブの位置を補正すると同時に、カンチレ
バー６の上下方向のたわみを測定することによって、試
料表面上のマーク異常を検出し、その場所でカンチレバ
ー６を用いて、通常の走査型プローブ顕微鏡と同様の方
法でマークの形状を観察する。(A) shows a form in which the probe 2 is fixed to the positioning cantilever 5, and (b) shows a form in which the probe 2 is fixed to the cantilever 6 for detecting mark abnormality and observing the shape. When the probe 2 comes into contact with the mark row or the side surface of the guide groove, a lateral force is applied to the probe 2 and the cantilever 5 bends in the direction of the arrow.
At this time, by measuring the deflection of the cantilever 5 and always correcting the position of the probe by controlling the position of the support body 4 so as to keep the deflection constant, by measuring the vertical deflection of the cantilever 6 at the same time, An abnormal mark on the surface of the sample is detected, and the shape of the mark is observed by using the cantilever 6 at the position in the same manner as in a normal scanning probe microscope.
【００１７】このような構成とすることで、位置検出手
段、異常検出手段、形状観察手段を一つのプローブで構
成することができる。また、横方向にたわむカンチレバ
ー５と上下方向にたわむカンチレバー６というようにカ
ンチレバーを分けることによって、横方向と上下方向の
力を分離することができより正確な位置決め、マーク検
査および形状観察を行うことができる。さらに、プロー
ブおよびカンチレバーを複数とすることで測定時間を短
縮することができる。With this configuration, the position detecting means, the abnormality detecting means, and the shape observing means can be constituted by one probe. Further, by separating the cantilever 5 into the cantilever 5 which bends in the horizontal direction and the cantilever 6 which bends in the vertical direction, the forces in the horizontal direction and the vertical direction can be separated, so that more accurate positioning, mark inspection and shape observation can be performed. Can be. Further, the measurement time can be reduced by using a plurality of probes and cantilevers.
【００１８】カンチレバー５およびカンチレバー６のた
わみの測定には、光てこ法または、カンチレバーに取り
付けた圧電体の起電力変化や、圧電抵抗体の抵抗値変化
による方法等、通常の走査型プローブ顕微鏡においてカ
ンチレバーのたわみの測定に用いられている方法を用い
る。また、プローブに磁性体からなるプローブを用いる
ことで、光磁気ディスクのような磁気によってマークを
形成するような記録媒体へ応用することができる。The deflection of the cantilever 5 and the cantilever 6 is measured by an ordinary scanning probe microscope such as an optical lever method, a method using a change in electromotive force of a piezoelectric body attached to the cantilever, or a method using a change in resistance value of a piezoelectric resistor. The method used for measuring the deflection of the cantilever is used. In addition, by using a probe made of a magnetic material as a probe, the present invention can be applied to a recording medium such as a magneto-optical disk in which marks are formed by magnetism.
【００１９】なお、本実施の形態におけるマーク異常と
は実施の形態１のマーク異常と同義である。 ［実施の形態４］図４において、２および７はプロー
ブ、５は位置決め用カンチレバー、６はマーク異常検出
および形状観察用カンチレバーである。The mark abnormality in the present embodiment is synonymous with the mark abnormality in the first embodiment. [Embodiment 4] In FIG. 4, 2 and 7 are probes, 5 is a cantilever for positioning, and 6 is a cantilever for mark abnormality detection and shape observation.
【００２０】プローブ７がマーク列または、案内溝の側
面に接触するとプローブ７には横方向の力が働きカンチ
レバー５が横方向にたわむ。このとき、カンチレバー５
のたわみを測定し、たわみを一定に保つようにカンチレ
バー支持体４の位置を制御することによってつねにプロ
ーブ２の位置を補正すると同時に、カンチレバー６の上
下方向のたわみを測定することによって、試料表面上の
マーク異常を検出し、その場所でカンチレバー６をもち
いて、通常の走査型プローブ顕微鏡と同様の方法で、マ
ークの形状を観察する。このように、横方向にたわむカ
ンチレバーと縦方向にたわむカンチレバーを分離した構
成とすることで、上下方向と横方向のたわみが干渉する
ことがなくなり、より精度の高い位置検出、マーク異常
検出、マーク形状観察を行うことができる。さらに、こ
れらのカンチレバーを複数もちいることにより測定時間
を短縮することができる。When the probe 7 comes into contact with the mark array or the side surface of the guide groove, a lateral force acts on the probe 7 and the cantilever 5 bends in the lateral direction. At this time, the cantilever 5
By measuring the deflection of the cantilever 6 and controlling the position of the cantilever support 4 so as to keep the deflection constant, the position of the probe 2 is always corrected, and at the same time, the deflection of the cantilever 6 in the vertical direction is measured. Is detected, and the shape of the mark is observed by using the cantilever 6 at that location in the same manner as in a normal scanning probe microscope. In this manner, by separating the cantilever that bends in the horizontal direction and the cantilever that bends in the vertical direction, the vertical and horizontal deflections do not interfere with each other, so that more accurate position detection, mark abnormality detection, and mark detection can be performed. Shape observation can be performed. Further, the measurement time can be reduced by using a plurality of these cantilevers.
【００２１】カンチレバー５およびカンチレバー６のた
わみの測定には、光てこ法または、カンチレバーに取り
付けた圧電体の起電力変化や、圧電抵抗体の抵抗値変化
による方法等、通常の走査型プローブ顕微鏡においてカ
ンチレバーのたわみの測定に用いられている方法を用い
る。また、プローブに磁性体からなるプローブを用いる
ことで、光磁気ディスクのような磁気によってマークを
形成するような記録媒体へ応用することができる。The deflection of the cantilever 5 and the cantilever 6 can be measured by an ordinary scanning probe microscope such as an optical lever method, a method using a change in electromotive force of a piezoelectric body attached to the cantilever, or a method using a change in resistance value of a piezoelectric resistor. The method used for measuring the deflection of the cantilever is used. In addition, by using a probe made of a magnetic material as a probe, the present invention can be applied to a recording medium such as a magneto-optical disk in which marks are formed by magnetism.
【００２２】なお、本実施の形態におけるマーク異常と
は実施の形態１のマーク異常と同義である。 ［実施の形態５］図５において、２および７はプロー
ブ、４はカンチレバー支持体、５は位置決め用カンチレ
バー、６はマーク異常検出および形状観察用カンチレバ
ー、８は力制御用カンチレバーである。The mark abnormality in this embodiment is synonymous with the mark abnormality in the first embodiment. [Embodiment 5] In FIG. 5, 2 and 7 are probes, 4 is a cantilever support, 5 is a cantilever for positioning, 6 is a cantilever for mark abnormality detection and shape observation, and 8 is a cantilever for force control.
【００２３】（ａ）は力制御用カンチレバー８にプロー
ブ７が固定されている形式で、（ｂ）は位置決め用カン
チレバー５にプローブ７が固定されている形式である。
プローブ７がマーク列または、案内溝の側面に接触する
とプローブ７には横方向の力が働きカンチレバー５が横
方向にたわむ。このとき、カンチレバー５のたわみを測
定し、たわみを一定に保つようにカンチレバー支持体４
の位置を制御することによってつねにプローブ２の位置
を補正すると同時に、カンチレバー６の上下方向のたわ
みを測定することによって、試料表面上のマーク異常を
検出することができる。このときカンチレバー８は上下
にたわむことによりプローブと試料のダメージを軽減さ
せる。(A) shows a form in which the probe 7 is fixed to the force control cantilever 8, and (b) shows a form in which the probe 7 is fixed to the positioning cantilever 5.
When the probe 7 contacts the mark row or the side surface of the guide groove, a lateral force acts on the probe 7 and the cantilever 5 bends in the lateral direction. At this time, the deflection of the cantilever 5 is measured, and the cantilever support 4 is maintained so as to keep the deflection constant.
By always controlling the position of the probe 2, the position of the probe 2 is always corrected, and at the same time, the mark abnormality on the sample surface can be detected by measuring the vertical deflection of the cantilever 6. At this time, the cantilever 8 bends up and down to reduce damage to the probe and the sample.
【００２４】また、カンチレバー８のたわみを測定した
わみ量を制御することでプローブと試料との触圧を調節
することができる。そして、試料表面のマークの異常部
分で、カンチレバー６をもちいて通常の走査型プローブ
顕微鏡と同様の方法で、マークの形状を観察する。この
ような構成とすることで、上下方向と横方向のたわみが
干渉することがなくなり、より精度の高い位置検出、マ
ーク異常検出、マーク形状観察を行うことができ、さら
に位置決め手段のプローブ７の損傷を軽減することがで
きる。さらに、これらのカンチレバーを複数もちいるこ
とにより測定時間を短縮することができる。Further, by controlling the amount of deflection obtained by measuring the deflection of the cantilever 8, the contact pressure between the probe and the sample can be adjusted. Then, at the abnormal portion of the mark on the sample surface, the shape of the mark is observed using the cantilever 6 in the same manner as in a normal scanning probe microscope. With this configuration, the vertical and horizontal deflections do not interfere with each other, so that more accurate position detection, mark abnormality detection, and mark shape observation can be performed. Damage can be reduced. Further, the measurement time can be reduced by using a plurality of these cantilevers.
【００２５】カンチレバー５およびカンチレバー６のた
わみの測定には、光てこ法または、カンチレバーに取り
付けた圧電体の起電力変化や、圧電抵抗体の抵抗値変化
による方法等、通常の走査型プローブ顕微鏡においてカ
ンチレバーのたわみの測定に用いられている方法を用い
る。また、プローブに磁性体からなるプローブを用いる
ことで、光磁気ディスクのような磁気によってマークを
形成するような記録媒体へ応用することができる。The deflection of the cantilever 5 and the cantilever 6 is measured by an optical lever method, a method using a change in electromotive force of a piezoelectric body attached to the cantilever, a method using a change in resistance value of a piezoresistor, or the like. The method used for measuring the deflection of the cantilever is used. In addition, by using a probe made of a magnetic material as a probe, the present invention can be applied to a recording medium such as a magneto-optical disk in which marks are formed by magnetism.
【００２６】なお、本実施の形態におけるマーク異常と
は実施の形態１のマーク異常と同義である。 ［実施の形態６］図６において、１はカンチレバー、２
はプローブ、４はカンチレバー支持体、５は位置決め用
カンチレバー、６は形状観察用カンチレバー、７はプロ
ーブ、８は力制御用カンチレバー、９はマーク異常検出
用の光検出器、１０は前記光検出器から試料へ照射され
る光のスポットを表している。The mark abnormality in the present embodiment is synonymous with the mark abnormality in the first embodiment. [Embodiment 6] In FIG. 6, 1 is a cantilever, 2
Is a probe, 4 is a cantilever support, 5 is a cantilever for positioning, 6 is a cantilever for shape observation, 7 is a probe, 8 is a cantilever for force control, 9 is a photodetector for detecting mark abnormality, and 10 is the photodetector. Represents a spot of light emitted from the sample to the sample.
【００２７】（ａ）〜（ｃ）は一つのカンチレバーが位
置決めと、形状観察をおこない光検出器がマークの異常
を検出する走査型プローブ顕微鏡を示している。プロー
ブ２がピット列または案内溝の側面に接触するとプロー
ブ２には横方向の力が働き（ａ）では、カンチレバー１
がねじれ、（ｂ）および（ｃ）では、カンチレバー５が
横方向へたわむ。このとき、カンチレバー１のねじれ、
または、カンチレバー５のたわみを測定し、ねじれまた
は、たわみが一定になるようにカンチレバー支持体４と
ともに光検出器９の位置を制御することによってつねに
光スポット１０およびプローブ２の位置を補正すると同
時に、光検出器９でマークを読み取り、異常を検出す
る。光スポットから照射される光スポット１０の中心と
プローブ２の先端を結ぶ直線は破線で示すようにカンチ
レバーの長さ方向と平行になっている。そのため、同じ
マークを光検出器９とプローブ２で読み取り、それぞれ
から得られた結果を比較することにより光スポット１０
とプローブ２の相対的な位置を知ることができるので、
光検出器９で検出したマークの異常部分へプローブを正
確に移動させることができ、光検出器９が検出したマー
クの異常部分で、カンチレバー１または６をもちいて通
常の走査型プローブ顕微鏡と同様の方法で、マークの形
状を観察する。(A) to (c) show a scanning probe microscope in which one cantilever is positioned, a shape is observed, and a photodetector detects an abnormal mark. When the probe 2 comes into contact with the side of the pit row or the guide groove, a lateral force acts on the probe 2 (a).
Is twisted, and in (b) and (c), the cantilever 5 bends laterally. At this time, the twist of the cantilever 1
Alternatively, the deflection of the cantilever 5 is measured and the position of the light spot 10 and the probe 2 is always corrected by controlling the position of the photodetector 9 together with the cantilever support 4 so that the torsion or the deflection is constant. The mark is read by the photodetector 9 to detect an abnormality. A straight line connecting the center of the light spot 10 irradiated from the light spot and the tip of the probe 2 is parallel to the length direction of the cantilever as shown by a broken line. Therefore, the same mark is read by the photodetector 9 and the probe 2 and the result obtained from each is compared to obtain the light spot 10.
And the relative position of the probe 2
The probe can be accurately moved to the abnormal part of the mark detected by the photodetector 9, and the abnormal part of the mark detected by the photodetector 9 is the same as that of a normal scanning probe microscope using the cantilever 1 or 6. Observe the shape of the mark by the above method.
【００２８】（ｄ）〜（ｆ）は位置決め用のカンチレバ
ーと形状観察用のカンチレバーとマーク異常を検出する
ための光検出器を有する走査型プローブ顕微鏡を示して
いる。プローブ７がピット列または案内溝の側面に接触
するとプローブ７には横方向の力が働きカンチレバー５
が横方向へたわむ。このとき、カンチレバー５のたわみ
を測定し、たわみが一定になるようにカンチレバー支持
体４とともに光検出器９の位置を制御することによって
つねに光スポット１０およびプローブ２の位置を補正す
ると同時に、光検出器９でマークを読み取り、異常を検
出する。光スポットから照射される光スポット１０の中
心とプローブ２の先端を結ぶ直線は破線で示すようにカ
ンチレバーの長さ方向と平行になっている。そのため、
同じマークを光検出器９とプローブ２で読み取り、それ
ぞれから得られた結果を比較することにより光スポット
１０とプローブ２の相対的な位置を知ることができるの
で、光検出器９で検出したマークの異常部分へプローブ
を正確に移動させることができ、光検出器９が検出した
マークの異常部分で、カンチレバー６をもちいて通常の
走査型プローブ顕微鏡と同様の方法で、マークの形状を
観察する。(D) to (f) show a scanning probe microscope having a positioning cantilever, a shape observation cantilever, and a photodetector for detecting mark abnormalities. When the probe 7 comes into contact with the pit row or the side surface of the guide groove, a lateral force acts on the probe 7 and the cantilever 5 is moved.
Bends sideways. At this time, the bending of the cantilever 5 is measured, and the position of the light spot 10 and the probe 2 is always corrected by controlling the position of the light detector 9 together with the cantilever support 4 so that the bending becomes constant. The mark is read by the detector 9 to detect an abnormality. A straight line connecting the center of the light spot 10 irradiated from the light spot and the tip of the probe 2 is parallel to the length direction of the cantilever as shown by a broken line. for that reason,
By reading the same mark with the photodetector 9 and the probe 2 and comparing the results obtained from each, the relative position between the light spot 10 and the probe 2 can be known. The probe can be accurately moved to an abnormal portion of the mark, and at the abnormal portion of the mark detected by the photodetector 9, the shape of the mark is observed using the cantilever 6 in the same manner as a normal scanning probe microscope. .
【００２９】カンチレバー８についてはすでに実施の形
態４で説明したものと同じである。さらに、これらの光
検出器およびカンチレバーを複数もちいることで測定時
間を短縮することができる。カンチレバー１のねじれお
よび、カンチレバー１，５、６および８のたわみの測定
には、光てこ法または、カンチレバーに取り付けた圧電
体の起電力変化や、圧電抵抗体の抵抗値変化による方法
等、通常の走査型プローブ顕微鏡においてカンチレバー
のねじれやたわみの測定に用いられている方法を用い
る。The cantilever 8 is the same as that described in the fourth embodiment. Furthermore, the measurement time can be reduced by using a plurality of these photodetectors and cantilevers. The torsion of the cantilever 1 and the deflection of the cantilevers 1, 5, 6, and 8 are usually measured by an optical lever method, a method of changing an electromotive force of a piezoelectric body attached to the cantilever, or a method of changing a resistance value of a piezoelectric resistor. The method used for measuring the torsion and the deflection of the cantilever in the scanning probe microscope described above is used.
【００３０】また、プローブに磁性体からなるプローブ
を用いることで、光磁気ディスクのような磁気によって
マークを形成するような記録媒体へ応用することができ
る。なお、本実施の形態におけるマーク異常とは実施の
形態１のマーク異常と同義である。 ［実施の形態７］図７において、１はカンチレバー、２
はプローブ、４はカンチレバー支持体、９は光検出器、
１０は光検出器から照射される光スポットを示してい
る。Further, by using a probe made of a magnetic material as the probe, the present invention can be applied to a recording medium such as a magneto-optical disk in which marks are formed by magnetism. Note that the mark abnormality in the present embodiment is synonymous with the mark abnormality in the first embodiment. [Embodiment 7] In FIG. 7, 1 is a cantilever, 2
Is a probe, 4 is a cantilever support, 9 is a photodetector,
Reference numeral 10 denotes a light spot emitted from the photodetector.
【００３１】光検出器９は光を照射することによって常
に位置を検出し、光検出器とともにカンチレバー支持体
が移動しプローブ２の位置を補正する。これと同時に、
カンチレバー１のたわみを測定することによってマーク
を読み取り異常部分を検出する。そして、試料表面のマ
ークの異常部分で、カンチレバー１をもちいて通常の走
査型プローブ顕微鏡と同様の方法で、マークの形状を観
察する。The light detector 9 always detects the position by irradiating light, and the cantilever support moves together with the light detector to correct the position of the probe 2. At the same time,
The mark is read by measuring the deflection of the cantilever 1 to detect an abnormal portion. Then, at the abnormal part of the mark on the sample surface, the shape of the mark is observed by using the cantilever 1 in the same manner as in a normal scanning probe microscope.
【００３２】さらに、これらの光検出器およびカンチレ
バーを複数もちいることで測定時間を短縮することがで
きる。カンチレバー１のたわみの測定には、光てこ法ま
たは、カンチレバーに取り付けた圧電体の起電力変化
や、圧電抵抗体の抵抗値変化による方法等、通常の走査
型プローブ顕微鏡においてカンチレバーのたわみの測定
に用いられている方法を用いる。Further, the measurement time can be reduced by using a plurality of these photodetectors and cantilevers. The deflection of the cantilever 1 is measured by an optical lever method, a method based on a change in electromotive force of a piezoelectric body attached to the cantilever, a method based on a change in the resistance value of a piezoresistor, or the like. Use the method used.
【００３３】また、プローブに磁性体からなるプローブ
を用いることで、光磁気ディスクのような磁気によって
マークを形成するような記録媒体へ応用することができ
る。なお、本実施の形態におけるマーク異常とは実施の
形態１のマーク異常と同義である。 ［実施の形態８］図８において、１はカンチレバー、２
はプローブ、４はカンチレバー支持体、９は光検出器、
１０は光スポットを示している。Further, by using a probe made of a magnetic material as the probe, the present invention can be applied to a recording medium such as a magneto-optical disk in which marks are formed by magnetism. Note that the mark abnormality in the present embodiment is synonymous with the mark abnormality in the first embodiment. [Embodiment 8] In FIG. 8, 1 is a cantilever, 2
Is a probe, 4 is a cantilever support, 9 is a photodetector,
Reference numeral 10 denotes a light spot.
【００３４】光検出器９は光を照射し位置を検出し光ス
ポット１０およびカンチレバー支持体４の位置を補正し
ながらマークを読み取り異常を検出する。そして、試料
表面のマークの異常部分で、カンチレバー１をもちいて
通常の走査型プローブ顕微鏡と同様の方法で、マークの
形状を観察する。光スポット１０の中心とプローブ２の
先端を結ぶ直線は破線で示したようにカンチレバーの長
さ方向に対し平行となるようになっている。このため、
あらかじめ、任意のマークを光検出器９とプローブ２で
読み取り、それぞれの結果を比較することで光スポット
１０とプローブ２の相対的な位置を知ることができるの
で、光検出器９で検出したマークの異常部分へプローブ
を簡単に移動させることができる。The light detector 9 irradiates light to detect the position, and corrects the positions of the light spot 10 and the cantilever support 4 to read the mark and detect an abnormality. Then, at the abnormal part of the mark on the sample surface, the shape of the mark is observed by using the cantilever 1 in the same manner as in a normal scanning probe microscope. A straight line connecting the center of the light spot 10 and the tip of the probe 2 is parallel to the length direction of the cantilever as shown by a broken line. For this reason,
An arbitrary mark is read by the photodetector 9 and the probe 2 in advance, and by comparing the respective results, the relative position of the light spot 10 and the probe 2 can be known. The probe can be easily moved to an abnormal portion of the probe.
【００３５】このような構成とすることで、非接触でマ
ークの異常検出を行うことができるので、より短時間で
測定を行うことができる。さらに、これらの光検出器お
よびカンチレバーを複数用いることでより測定時間を短
縮することができる。カンチレバー１のたわみの測定に
は、光てこ法または、カンチレバーに取り付けた圧電体
の起電力変化や、圧電抵抗体の抵抗値変化による方法
等、通常の走査型プローブ顕微鏡においてカンチレバー
のたわみの測定に用いられている方法を用いる。With such a configuration, it is possible to detect the abnormality of the mark in a non-contact manner, so that the measurement can be performed in a shorter time. Further, by using a plurality of these photodetectors and cantilevers, the measurement time can be further reduced. The deflection of the cantilever 1 is measured by an optical lever method, a method based on a change in electromotive force of a piezoelectric body attached to the cantilever, a method based on a change in the resistance value of a piezoresistor, or the like. Use the method used.
【００３６】また、プローブに磁性体からなるプローブ
を用いることで、光磁気ディスクのような磁気によって
マークを形成するような記録媒体へ応用することができ
る。なお、本実施の形態におけるマーク異常とは実施の
形態１のマーク異常と同義である。 ［実施の形態９］図９において、１はカンチレバー、２
はプローブ、４はカンチレバー支持体、９は光検出器、
１０は光スポット、１１は開口またはレンズである。Further, by using a probe made of a magnetic material as a probe, the present invention can be applied to a recording medium such as a magneto-optical disk in which marks are formed by magnetism. Note that the mark abnormality in the present embodiment is synonymous with the mark abnormality in the first embodiment. Embodiment 9 In FIG. 9, 1 is a cantilever, 2
Is a probe, 4 is a cantilever support, 9 is a photodetector,
10 is a light spot, 11 is an aperture or a lens.
【００３７】光検出器は開口またはレンズ１１をとおし
て試料へ光を照射し、位置の検出を行い、光検出器９と
ともにカンチレバー支持体４が移動し、プローブ２の位
置を補正しながらマークを読み取り、異常を検出する。
そして、異常部分にプローブ２を移動し、カンチレバー
１をもちいて通常の走査型プローブ顕微鏡と同様の方法
で、マークの形状を観察する。The photodetector irradiates the sample with light through an aperture or a lens 11 to detect the position, and the cantilever support 4 moves together with the photodetector 9 to correct the position of the probe 2 while forming a mark. Read and detect abnormalities.
Then, the probe 2 is moved to the abnormal portion, and the shape of the mark is observed using the cantilever 1 in the same manner as in a normal scanning probe microscope.
【００３８】このような構成とすることで、位置決めお
よび読み取り用の光スポットとプローブの位置あわせを
簡単にでき、かつ、非接触でマーク異状を検出するた
め、より短時間で測定を行うことができる。さらに、こ
れらの光検出器およびカンチレバーを複数用いることで
より測定時間を短縮することができる。カンチレバー１
のたわみの測定には、光てこ法または、カンチレバーに
取り付けた圧電体の起電力変化や、圧電抵抗体の抵抗値
変化による方法等、通常の走査型プローブ顕微鏡におい
てカンチレバーのたわみの測定に用いられている方法を
用いる。With this configuration, it is possible to easily align the probe for positioning and reading with the light spot, and detect the mark abnormality without contact, so that the measurement can be performed in a shorter time. it can. Further, by using a plurality of these photodetectors and cantilevers, the measurement time can be further reduced. Cantilever 1
The deflection of the cantilever is measured by a conventional scanning probe microscope, such as an optical lever method or a method based on a change in electromotive force of a piezoelectric body attached to the cantilever or a change in the resistance value of a piezoresistor. Use the method that
【００３９】また、プローブに磁性体からなるプローブ
を用いることで、光磁気ディスクのような磁気によって
マークを形成するような記録媒体へ応用することができ
る。なお、本実施の形態におけるマーク異常とは実施の
形態１のマーク異常と同義である。By using a probe made of a magnetic material as a probe, the present invention can be applied to a recording medium such as a magneto-optical disk in which marks are formed by magnetism. Note that the mark abnormality in the present embodiment is synonymous with the mark abnormality in the first embodiment.
【００４０】[0040]
【発明の効果】本発明の走査型プローブ顕微鏡によれ
ば、たとえばCDやMOのような記録媒体、そのスタンパお
よび原盤に形成されたマークの位置を検出する手段、マ
ークの異常を検出する手段、異常部分にプローブを移動
し形状観察をする手段を有する構造としたことで、すべ
てのマークを検査し、異常部分のみを走査型プローブ顕
微鏡観察する事ができるので、異常部分を検出する時間
を短縮することができる。According to the scanning probe microscope of the present invention, for example, a recording medium such as a CD or MO, a means for detecting a position of a mark formed on a stamper and a master, a means for detecting a mark abnormality, With a structure that has a means to move the probe to the abnormal part and observe the shape, all marks can be inspected and only the abnormal part can be observed with a scanning probe microscope, reducing the time to detect the abnormal part can do.
【００４１】さらに、マーク異常検出手段にプローブを
用いる構造としたので、光では読み出せないような微少
なマークを検査することができる。さらに、光検出器で
異常を検出し、その部分を走査型プローブ顕微鏡で形状
観察することができるので、記録媒体における読み出し
異常とマークの形状との関係を簡単に調べることができ
る。Further, since a probe is used for the mark abnormality detecting means, it is possible to inspect a minute mark which cannot be read by light. Furthermore, since the abnormality can be detected by the photodetector and the shape can be observed with a scanning probe microscope, the relationship between the reading abnormality on the recording medium and the mark shape can be easily examined.
【図１】本発明の実施の形態１にかかわる走査型プロー
ブ顕微鏡の模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram of a scanning probe microscope according to Embodiment 1 of the present invention.
【図２】本発明の実施の形態２にかかわる走査型プロー
ブ顕微鏡の模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram of a scanning probe microscope according to Embodiment 2 of the present invention.
【図３】本発明の実施の形態３にかかわる走査型プロー
ブ顕微鏡の模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram of a scanning probe microscope according to Embodiment 3 of the present invention.
【図４】本発明の実施の形態４にかかわる走査型プロー
ブ顕微鏡の模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram of a scanning probe microscope according to Embodiment 4 of the present invention.
【図５】本発明の実施の形態５にかかわる走査型プロー
ブ顕微鏡の模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram of a scanning probe microscope according to a fifth embodiment of the present invention.
【図６】本発明の実施の形態６にかかわる走査型プロー
ブ顕微鏡の模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram of a scanning probe microscope according to Embodiment 6 of the present invention.
【図７】本発明の実施の形態７にかかわる走査型プロー
ブ顕微鏡の模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram of a scanning probe microscope according to Embodiment 7 of the present invention.
【図８】本発明の実施の形態８にかかわる走査型プロー
ブ顕微鏡の模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram of a scanning probe microscope according to Embodiment 8 of the present invention.
【図９】本発明の実施の形態９にかかわる走査型プロー
ブ顕微鏡の模式図である。FIG. 9 is a schematic diagram of a scanning probe microscope according to Embodiment 9 of the present invention.
【図１０】従来の走査型プローブ顕微鏡の模式図であ
る。FIG. 10 is a schematic view of a conventional scanning probe microscope.
１ カンチレバー ２ プローブ ３ マーク列または案内溝の側壁 ４ カンチレバー支持体 ５ カンチレバー ６ カンチレバー ７ プローブ ８ カンチレバー ９ 光検出器 １０ 光スポット １１ 開口またはレンズ １２ たわみ検出器 １３ 試料 １４ 試料台 １５ XYZトランスレータ １６ コンピュータおよびコントローラ Reference Signs List 1 cantilever 2 probe 3 mark row or side wall of guide groove 4 cantilever support 5 cantilever 6 cantilever 7 probe 8 cantilever 9 light detector 10 light spot 11 aperture or lens 12 flexure detector 13 sample 14 sample table 15 XYZ translator 16 computer and controller
Claims (9)
ことによって、試料表面の微小な構造を観察する走査型
プローブ顕微鏡において、 前記試料表面に形成されたマークの位置を検出する位置
検出手段と、 前記マークの異常を検出する異常検出手段と、 前記マークの異常部分で前記プローブを走査させ、前記
マークの形状を観察する形状観察手段と、を有すること
を特徴とする走査型プローブ顕微鏡。1. A scanning probe microscope for observing a minute structure on a sample surface by scanning a minute probe on the sample surface, wherein: a position detecting means for detecting a position of a mark formed on the sample surface; A scanning probe microscope comprising: an abnormality detecting unit that detects an abnormality of the mark; and a shape observing unit that scans the probe at an abnormal portion of the mark and observes a shape of the mark.
よび前記形状観察手段は、前記プローブが先端に固定さ
れたカンチレバーを用いることを特徴とする請求項１記
載の走査型プローブ顕微鏡。2. The scanning probe microscope according to claim 1, wherein the position detecting means, the abnormality detecting means, and the shape observing means use a cantilever having the probe fixed to a tip thereof.
ーブが先端に固定されたカンチレバーを用いること、を
特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。3. The apparatus according to claim 2, wherein the position detecting means detects the position by irradiating the sample with light, and the abnormality detecting means and the shape observing means use a cantilever having the probe fixed to a tip thereof. The scanning probe microscope according to claim 1, wherein
手段は、前記プローブが先端に固定されたカンチレバー
を用いること、 前記異常検出手段は、前記試料表面へ光を照射し、前記
マークを読み取ること、を特徴とする請求項１記載の走
査型プローブ顕微鏡。4. The position detecting means and the shape observing means use a cantilever having the probe fixed to the tip, and the abnormality detecting means irradiates the sample surface with light to read the mark. The scanning probe microscope according to claim 1, wherein:
手段は、前記試料表面へ光を照射し、前記マークを読み
取ること、 前記形状観察手段は、前記プローブが先端に固定された
カンチレバーを用いること、を特徴とする請求項１記載
の走査型プローブ顕微鏡。5. The position detecting means and the abnormality detecting means irradiate the sample surface with light to read the mark, and the shape observing means uses a cantilever having the probe fixed to a tip. The scanning probe microscope according to claim 1, wherein:
手段のうち、少なくともどちらか一方は前記カンチレバ
ー背面に形成された開口またはレンズを通して前記試料
表面へ光を照射することを特徴とした請求項３から５の
いずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。6. The apparatus according to claim 3, wherein at least one of the position detecting means and the abnormality detecting means irradiates the sample surface with light through an opening or a lens formed on a back surface of the cantilever. 6. The scanning probe microscope according to any one of claims 1 to 5,
横方向の力を受けて横方向へたわむ部分と、 プローブに働く上下方向の力を受けて上下にたわむ部分
と、を有することを特徴とする請求項２または４記載の
走査型プローブ顕微鏡。7. The device according to claim 1, wherein the cantilever has a portion which bends in a horizontal direction by receiving a lateral force acting on the probe, and a portion which flexes in a vertical direction by receiving a vertical force acting on the probe. Item 5. A scanning probe microscope according to item 2 or 4.
横方向の力を受けて横方向へたわむカンチレバーと、 前記プローブに働く上下方向の力を受けて上下にたわむ
カンチレバーと、を有することを特徴とする請求項２ま
たは４記載の走査型プローブ顕微鏡。8. The cantilever having a cantilever that bends in a horizontal direction by receiving a lateral force acting on the probe, and a cantilever that bends in a vertical direction by receiving a vertical force acting on the probe. The scanning probe microscope according to claim 2.
にたわむ部分を有することを特徴とする請求項８記載の
走査型プローブ顕微鏡。9. The scanning probe microscope according to claim 8, wherein the cantilever flexing in the lateral direction has a portion flexing up and down.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10297376A JP2000121537A (en) | 1998-10-19 | 1998-10-19 | Scanning probe microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10297376A JP2000121537A (en) | 1998-10-19 | 1998-10-19 | Scanning probe microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000121537A true JP2000121537A (en) | 2000-04-28 |
Family
ID=17845695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10297376A Withdrawn JP2000121537A (en) | 1998-10-19 | 1998-10-19 | Scanning probe microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000121537A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113267147A (en) * | 2021-06-28 | 2021-08-17 | 江苏杜邦建设工程有限公司 | Road surface depression detection device for municipal engineering |
-
1998
- 1998-10-19 JP JP10297376A patent/JP2000121537A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113267147A (en) * | 2021-06-28 | 2021-08-17 | 江苏杜邦建设工程有限公司 | Road surface depression detection device for municipal engineering |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7091476B2 (en) | Scanning probe microscope assembly | |
| US7323684B2 (en) | Scanning probe microscope and specimen observation method and semiconductor device manufacturing method using said scanning probe microscope | |
| EP2195635B1 (en) | Method and apparatus of automatic scanning probe imaging | |
| US8220066B2 (en) | Vibration compensation in probe microscopy | |
| US20110302676A1 (en) | Method and Device for Examining a Sample with a Probe Microscope | |
| US9081028B2 (en) | Scanning probe microscope with improved feature location capabilities | |
| JPH08152430A (en) | Microscope with aligning function | |
| JP2004264039A (en) | Scanning probe microscope, and compact disk/cross-sectional profile measuring method as well as semiconductor device manufacturing method | |
| US9428384B2 (en) | Inspection instrument | |
| JP2002156409A (en) | Measuring sonde for detecting electrical signal in integrated circuit, method for using the measuring sonde, method for manufacturing the measuring sonde and measuring system by the measuring sonde | |
| JP2000121537A (en) | Scanning probe microscope | |
| JPH10239242A (en) | Apparatus and method for inspection of smooth face of sample | |
| JP2001024038A (en) | Probe positioning method and apparatus and method of evaluating member using the same | |
| US20030214285A1 (en) | Property evaluating system and method for magnetic material | |
| JP3753215B2 (en) | Scanning probe microscope | |
| JP6129630B2 (en) | Thermally assisted magnetic head element inspection method and apparatus, temperature measurement method and apparatus for micro heat source, cantilever and manufacturing method thereof | |
| JP2005308406A (en) | Scanning probe microscope | |
| JP4482652B2 (en) | Recording medium inspection device | |
| EP4187259A1 (en) | Atomic force microscope equipped with optical measurement device and method of acquiring information on surface of measurement target using the same | |
| US11619649B1 (en) | Atomic force microscope equipped with optical measurement device and method of acquiring information on surface of measurement target using the same | |
| JP2001165844A (en) | Scan probe microscope | |
| JP2007212470A (en) | Scanning probe microscope | |
| JP4143722B2 (en) | Sensitivity calibration method for atomic force / horizontal force microscope | |
| KR100720456B1 (en) | Method and Apparatus for Automatic Aiming Laser Beam of AFM | |
| JP2006337379A (en) | Scanning probe microscope |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040302 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040414 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050802 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050922 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060418 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20060526 |