JP2000120660A - Dynamic pressure air bearing, motor with the bearing, and light polarizer - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dynamic pressure bearing to ensure stable rotation and allowing suppression of the costs. SOLUTION: At the peripheral surface of a shaft 14, grooves 62 stretching in the circumferential direction are formed in such a way as mating with the upper part and lower part of a sleeve 40. The upper and lower grooves 62 are formed for 180 degs. around the axis in the same radial direction of the shaft 14. When the sleeve 40 rotates round the shaft 14, a dynamic pressure is generated between the shaft 14 and sleeve 40. The dynamic pressure generating area differs in the two areas with and without grooves about the axis interposed, and according to the formula that the force = pressure × area, the sleeve 40 can rotate stably in the condition that a force F is applied in the radial direction on the side free of such grooves 62.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、動圧空気軸受、動
圧空気軸受モータ及び光偏向器に係り、レーザビームプ
リンタ、電子写真複写機等の電子写真装置に好適な動圧
空気軸受、動圧空気軸受モータ及び光偏向器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dynamic pressure air bearing, a dynamic pressure air bearing motor and an optical deflector, and more particularly to a dynamic pressure air bearing, a dynamic pressure air bearing suitable for an electrophotographic apparatus such as a laser beam printer and an electrophotographic copying machine. The present invention relates to a compressed air bearing motor and an optical deflector.

【０００２】[0002]

【従来の技術】デジタルの画像形成装置では、一般に、
光源からレーザなどの光ビームで画像担体を走査してそ
の画像を読み取ったり、画像信号や文字信号で変調され
た光ビームで記録媒体を走査して画像の記録が行われ
る。2. Description of the Related Art In a digital image forming apparatus, generally,
An image is read by scanning the image carrier with a light beam such as a laser from a light source, or by scanning a recording medium with a light beam modulated by an image signal or a character signal.

【０００３】この中で、上記光ビームを走査するための
手段としては、複数の反射面を外周に有する回転多面鏡
と回転多面鏡を回転させるための駆動モータとからなる
光偏向器が用いられている。Among them, as a means for scanning the light beam, an optical deflector comprising a rotary polygon mirror having a plurality of reflection surfaces on its outer periphery and a drive motor for rotating the rotary polygon mirror is used. ing.

【０００４】図１２に示すように、従来の光偏向器１０
０では、ハウジング１０２の中央部に軸１０４が固定さ
れており、軸１０４の外周面には動圧を発生するための
深さ数μｍのヘリングボーン溝１０６が多数形成されて
いる。[0004] As shown in FIG.
In the case of 0, the shaft 104 is fixed to the center of the housing 102, and a large number of herringbone grooves 106 having a depth of several μm for generating dynamic pressure are formed on the outer peripheral surface of the shaft 104.

【０００５】軸１０４には、回転多面鏡１０８、台座１
１０、回転駆動用磁石１１２、回転側磁石１１４、回転
数検出用磁石１１６を設けたスリーブ１１８が挿入され
ている。On the shaft 104, a rotating polygon mirror 108, a pedestal 1
10, a sleeve 118 provided with a rotation driving magnet 112, a rotation side magnet 114, and a rotation speed detection magnet 116 is inserted.

【０００６】回転多面鏡１０８、台座１１０、回転駆動
用磁石１１２、回転側磁石１１４、回転数検出用磁石１
１６及びスリーブ１１８からなる回転体１１９は、軸１
０４に形成されたヘリングボーン溝１０６と、回転する
スリーブ１１８との間の軸受隙間に発生する空気の動圧
作用によって、半径方向に非接触で支持される。Rotating polygon mirror 108, pedestal 110, rotation driving magnet 112, rotation side magnet 114, rotation speed detecting magnet 1
The rotating body 119 composed of the sleeve 16 and the sleeve 118
Due to the dynamic pressure effect of air generated in the bearing gap between the herringbone groove 106 formed in the sleeve 04 and the rotating sleeve 118, the bearing is supported in a non-contact manner in the radial direction.

【０００７】即ち、ヘリングボーン溝１０６の形成され
た軸１０４とスリーブ１１８とによって動圧軸受が構成
されている。That is, a dynamic pressure bearing is constituted by the shaft 104 having the herringbone groove 106 and the sleeve 118.

【０００８】台座１１０はスリーブ１１８に固着されて
おり、回転多面鏡１０８はスリーブ１１８に挿入されて
バネ１２０によって固定されている。The pedestal 110 is fixed to a sleeve 118, and the rotary polygon mirror 108 is inserted into the sleeve 118 and fixed by a spring 120.

【０００９】ハウジング１０２の上に取り付けられた回
路基板１２２には、周波数発電パターン（ＦＧパター
ン）１２４が形成され、上面には駆動コイル１２６及び
磁極検出素子１２８がそれぞれ複数個配置されている。A frequency power generation pattern (FG pattern) 124 is formed on a circuit board 122 mounted on the housing 102, and a plurality of drive coils 126 and a plurality of magnetic pole detection elements 128 are arranged on the upper surface.

【００１０】また、回路基板１２２の下側にはヨーク１
３０が配置されている。A yoke 1 is provided below the circuit board 122.
30 are arranged.

【００１１】回転は、回転駆動用磁石１１２の複数の磁
極を磁極検出素子１２８により検出し、所定のタイミン
グロジックによって駆動コイル１２６に通電することで
得られる。The rotation is obtained by detecting a plurality of magnetic poles of the rotation driving magnet 112 by the magnetic pole detecting element 128 and applying a current to the driving coil 126 by predetermined timing logic.

【００１２】回転数は、回転数検出用磁石１１６によっ
て周波数発電パターン１２４に誘起された電圧の周波数
の変動成分を検出信号とすることで、一定に制御され
る。The rotation speed is controlled to be constant by using a fluctuation component of the frequency of the voltage induced in the frequency power generation pattern 124 by the rotation speed detecting magnet 116 as a detection signal.

【００１３】回転体１１９に設けられた回転側磁石１１
４と、ハウジング１０２に設けられた固定側磁石１３２
とで磁気軸受が構成されており、回転体１１９は、軸方
向に着磁された回転側磁石１１４と、回転側磁石１１４
とは反対方向に着磁された固定側磁石１３２との間で発
生する吸引力によって軸方向の一定の位置に浮かされた
状態で保持されている。The rotating magnet 11 provided on the rotating body 119
4 and the fixed-side magnet 132 provided in the housing 102
A rotating body 119 includes a rotating magnet 114 that is magnetized in the axial direction and a rotating magnet 114.
Is held at a certain position in the axial direction by an attractive force generated between the fixed magnet 132 and the fixed magnet 132 magnetized in the opposite direction.

【００１４】なお、回転体を軸方向に支持する方法とし
て、この他に磁石と磁性体で構成する方法や、空気の動
圧作用で支持する方法等がある。In addition, as a method of supporting the rotating body in the axial direction, there are a method of supporting the rotating body with a magnet and a magnetic body, and a method of supporting the rotating body with a dynamic pressure action of air.

【００１５】回転体を半径方向に保持しようとする動圧
空気軸受の従来例として、上記の他に、特開平２−１１
９１７号、特開平１−１０５０１５号に開示されている
ものがある。As a conventional example of a hydrodynamic air bearing for holding a rotating body in a radial direction, besides the above, Japanese Patent Laid-Open No. 2-11 / 1990
917 and JP-A-1-105015.

【００１６】特開平２−１１９１７号に開示されている
動圧空気軸受は、回転軸にヤマバ溝を形成すると共に軸
受の両端面を斜めに切断し、ラジアル荷重受圧面に軸の
中心に対して非対象に分布する空気圧力により発生する
ラジアル方向荷重によって軸の振れ回り不安定性を制御
している。The dynamic pressure air bearing disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. HEI 2-11917 has a groove formed in a rotary shaft, and both end surfaces of the bearing are cut obliquely. The whirling instability of the shaft is controlled by the radial load generated by the air pressure distributed to the asymmetric object.

【００１７】一方、特開平１−１０５０１５号に開示さ
れている動圧空気軸受は、らせん状の動圧溝による動圧
効果で発生する圧縮空気を利用してラジアル方向荷重を
発生させ、縦軸の動圧溝付空気軸受に発生するホワール
を制御している。On the other hand, a dynamic pressure air bearing disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-105015 generates a radial load using compressed air generated by a dynamic pressure effect of a spiral dynamic pressure groove. The whirl generated in the air bearing with dynamic pressure grooves is controlled.

【００１８】[0018]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年レーザ
プリンタ、複写機、およびファクシミリ装置等において
も、低価格化がより強く求められるようになっている。
このため、性能を維持しつつ低コスト化を図った光偏向
器の必要性が高まってきている。In recent years, there has been an increasing demand for lower prices in laser printers, copiers, facsimile machines and the like.
For this reason, there is an increasing need for an optical deflector that achieves cost reduction while maintaining performance.

【００１９】しかしながら、上記従来例では、動圧発生
用の溝によって半径方向に幾つかの強い圧力分布を持た
せて回転体を安定させる点では効果的であるが、微細で
浅い溝を多数形成しなければならず、製造コストが高く
なる問題がある。However, the above-mentioned conventional example is effective in stabilizing the rotating body by providing several strong pressure distributions in the radial direction by the grooves for generating dynamic pressure, but it forms a large number of fine and shallow grooves. And there is a problem that the manufacturing cost increases.

【００２０】また、ラジアル荷重受圧面に軸の中心に対
して非対象に分布する空気圧力を発生させる、らせん状
の動圧溝による動圧効果で発生する圧縮空気を利用して
ラジアル方向荷重を発生させるものなどでは、ラジアル
方向荷重によって軸の振れ回り不安定性を制御させ、縦
軸の動圧溝付空気軸受に発生するホワールを制御する点
で、前記従来例よりさらに安定性は高いと言える。Further, the radial load is generated by utilizing the compressed air generated by the dynamic pressure effect of the spiral dynamic pressure groove, which generates an air pressure asymmetrically distributed with respect to the center of the shaft on the radial load receiving surface. It can be said that the stability is higher than that of the conventional example in terms of controlling the whirling instability of the shaft by the radial load and controlling the whirl generated in the air bearing with the dynamic pressure groove on the vertical axis. .

【００２１】しかしながら、これも従来例同様、溝によ
って発生する動圧を利用することや、動圧発生用の溝を
偏心させること等は製造コストの観点からは必ずしも適
当とは言えない。However, as in the conventional example, it is not always appropriate to use the dynamic pressure generated by the groove or to decenter the groove for generating the dynamic pressure from the viewpoint of manufacturing cost.

【００２２】本発明は上記事実を考慮し、性能を維持し
つつ低コスト化を図ることのできる動圧空気軸受、動圧
空気軸受モータ及び光偏向器を提供することが目的であ
る。An object of the present invention is to provide a dynamic pressure air bearing, a dynamic pressure air bearing motor, and an optical deflector which can reduce the cost while maintaining the performance in consideration of the above facts.

【００２３】[0023]

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、相対的に回転可能とされたスリーブと軸との何れか
一方を回転させ、他方を固定し、前記スリーブと前記軸
との相対回転によって前記スリーブと前記軸との間隙に
動圧を発生させる動圧空気軸受であって、前記スリーブ
及び前記軸のうちの何れか固定されている方の前記隙間
と面している部分に動圧低下用の凹部を設け、軸心の半
径方向一側の動圧と他側の動圧とに差を生じさせたこと
を特徴としている。According to the first aspect of the present invention, one of a relatively rotatable sleeve and a shaft is rotated and the other is fixed, and the sleeve and the shaft are fixed to each other. A dynamic pressure air bearing that generates a dynamic pressure in a gap between the sleeve and the shaft by relative rotation, wherein a portion of the sleeve and the shaft facing the gap is fixed. It is characterized in that a concave portion for reducing the dynamic pressure is provided, and a difference is generated between the dynamic pressure on one side in the radial direction of the axis and the dynamic pressure on the other side.

【００２４】請求項１に記載の動圧軸受の作用を説明す
る。The operation of the dynamic pressure bearing according to the first aspect will be described.

【００２５】スリーブと軸との何れか一方を回転させ、
他方を固定すると、スリーブと軸との相対回転によって
スリーブと軸との間隙に動圧が発生し、スリーブと軸の
何れか回転する方が非接触で支持される。By rotating either the sleeve or the shaft,
When the other is fixed, dynamic pressure is generated in the gap between the sleeve and the shaft due to the relative rotation between the sleeve and the shaft, and the rotating one of the sleeve and the shaft is supported in a non-contact manner.

【００２６】請求項１に記載の発明では、スリーブ及び
軸のうちの何れか固定されている方の隙間と面している
部分に動圧低下用の凹部が設けられており、スリーブ及
び軸の何れか一方を固定して他方を回転させると、軸心
の半径方向一側の動圧と他側の動圧とに差が生じる。According to the first aspect of the present invention, a concave portion for reducing the dynamic pressure is provided in a portion of the sleeve and the shaft which faces one of the fixed gaps. When either one is fixed and the other is rotated, a difference occurs between the dynamic pressure on one side in the radial direction of the axis and the dynamic pressure on the other side.

【００２７】これにより、スリーブ及び軸のうちの回転
している方は、動圧の差によって生じる半径方向の力を
常に受けるので、回転中心線が半径方向に振れることな
く安定した状態で回転することができる。Thus, since the rotating one of the sleeve and the shaft always receives the radial force generated by the difference in dynamic pressure, the rotating center line rotates in a stable state without swinging in the radial direction. be able to.

【００２８】また、凹部を形成すれば、その部分の動圧
を低下させることができるので、特に凹部の形状は問わ
ない。このため、加工し易い簡単な形状の凹部を形成す
るのみで安定した回転を得ることができ、従来の動圧軸
受で用いられていた加工の面倒な動圧発生用の溝（所謂
ヘリングボーン溝）を必要としない。したがって、動圧
軸受の製造コストを従来品よりも大幅に低減することが
可能となる。Further, if a concave portion is formed, the dynamic pressure at that portion can be reduced, so that the shape of the concave portion is not particularly limited. For this reason, stable rotation can be obtained only by forming a recess having a simple shape that is easy to process, and a groove for generating a dynamic pressure (so-called herringbone groove) which is used in a conventional dynamic pressure bearing and is troublesome for processing. ) Is not required. Therefore, the manufacturing cost of the dynamic pressure bearing can be significantly reduced as compared with the conventional product.

【００２９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の動圧空気軸受において、前記凹部は前記スリーブの軸
方向両端付近に対向するように前記軸に設けられている
ことを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, in the hydrodynamic air bearing according to the first aspect, the concave portion is provided on the shaft so as to face near both ends in the axial direction of the sleeve. I have.

【００３０】請求項２に記載の動圧軸受の作用を説明す
る。The operation of the dynamic pressure bearing according to the second aspect will be described.

【００３１】軸を固定し、スリーブを回転させると、ス
リーブと軸との相対回転によってスリーブと軸との間隙
に動圧が発生し、スリーブと軸の何れか回転する方が非
接触で支持される。When the shaft is fixed and the sleeve is rotated, the relative rotation between the sleeve and the shaft generates a dynamic pressure in the gap between the sleeve and the shaft, and the rotating one of the sleeve and the shaft is supported in a non-contact manner. You.

【００３２】請求項２に記載の動圧空気軸受では、凹部
をスリーブの軸方向両端付近に対向するように軸に設け
たので、スリーブの両端部付近の２か所で動圧の差によ
る力を受けさせることができ、いわゆる２点支持の状態
となるので、スリーブを安定して回転させることができ
る。In the dynamic air bearing according to the second aspect, since the concave portion is provided on the shaft so as to face the vicinity of both ends in the axial direction of the sleeve, the force due to the difference in dynamic pressure at two places near both ends of the sleeve. The sleeve can be stably rotated since it is in a so-called two-point support state.

【００３３】請求項３に記載の発明は、請求項１または
請求項２に記載の動圧空気軸受において、前記軸に設け
られる凹部は、軸直角断面形状が略半円形状を呈してい
ることを特徴としている。According to a third aspect of the present invention, in the dynamic pressure air bearing according to the first or second aspect, the concave portion provided in the shaft has a substantially semicircular cross section perpendicular to the axis. It is characterized by.

【００３４】請求項３に記載の動圧軸受では、軸に設け
られる凹部の軸直角断面形状を略半円形状としたので、
回転するカッターまたは砥石等（フライス盤、研削盤等
を使用）を軸直角方向に相対移動して凹部を簡単に加工
することができる。特に、高硬度のセラミックス等で軸
を形成した場合に好ましい。In the dynamic pressure bearing according to the third aspect, since the cross section perpendicular to the axis of the concave portion provided on the shaft is substantially semicircular,
The concave portion can be easily processed by relatively moving a rotating cutter or grindstone (using a milling machine, a grinding machine, or the like) in a direction perpendicular to the axis. Particularly, it is preferable when the shaft is formed of a ceramic or the like having high hardness.

【００３５】請求項４に記載の動圧空気軸受モータは、
前記スリーブ及び前記軸の何れか一方に連結され複数の
異なる極性の磁極が周方向に交互に配列された回転駆動
用磁石と、前記スリーブ及び前記軸の何れか他方に連結
され前記回転駆動用磁石との間で回転トルクを発生する
駆動コイルと、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記
載の動圧空気軸受と、を有することを特徴としている。The dynamic pressure air bearing motor according to claim 4 is
A rotation driving magnet connected to one of the sleeve and the shaft and having a plurality of magnetic poles of different polarities arranged alternately in a circumferential direction, and the rotation driving magnet connected to the other of the sleeve and the shaft And a dynamic pressure air bearing according to any one of claims 1 to 3.

【００３６】請求項４に記載の動圧空気軸受モータの作
用を説明する。The operation of the hydrodynamic air bearing motor according to claim 4 will be described.

【００３７】請求項４に記載の動圧空気軸受モータで
は、回転駆動用磁石に電流を流すことによって磁界が発
生して回転駆動用磁石との間で吸引または反発が起こ
り、回転トルクを発生することができる。In the hydrodynamic air bearing motor according to the fourth aspect, a magnetic field is generated by passing an electric current through the rotary driving magnet, so that attraction or repulsion occurs with the rotary driving magnet to generate a rotary torque. be able to.

【００３８】請求項４に記載の発明では、請求項１乃至
請求項３の何れか１項に記載の動圧空気軸受を用いてい
るので、軸またはスリーブが安定した状態で回転する。
また、モータの製造コストも従来品よりも低減すること
ができる。According to the fourth aspect of the present invention, since the hydrodynamic air bearing according to any one of the first to third aspects is used, the shaft or the sleeve rotates in a stable state.
Also, the manufacturing cost of the motor can be reduced as compared with the conventional product.

【００３９】請求項５に記載の光偏向器は、請求項４に
記載の動圧空気軸受モータと、前記スリーブ及び前記軸
の何れか回転する方に設けられ外周面に光ビームを反射
する複数の反射鏡面が形成された回転多面鏡と、を有す
ることを特徴としている。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an optical deflector comprising: a hydrodynamic air bearing motor according to the fourth aspect; And a rotating polygonal mirror on which a reflecting mirror surface is formed.

【００４０】請求項５に記載の光偏向器の作用を説明す
る。The operation of the optical deflector according to claim 5 will be described.

【００４１】請求項５に記載の光偏向器では、請求項４
の動圧空気軸受モータによって回転多面鏡を安定した状
態で回転させることができるので、回転多面鏡の反射面
で光ビームを反射させて、光ビームを正確かつ滑らかに
走査することができる。In the optical deflector according to the fifth aspect, in the fourth aspect,
Since the rotating polygon mirror can be rotated in a stable state by the dynamic pressure air bearing motor, the light beam can be reflected by the reflecting surface of the rotating polygon mirror, and the light beam can be scanned accurately and smoothly.

【００４２】また、光偏向器の製造コストも従来品より
も低減することができる。Further, the manufacturing cost of the optical deflector can be reduced as compared with the conventional product.

【００４３】[0043]

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図１乃至図
７にしたがって説明する。 （画像記録装置の概略構成）まず、図２を用いて、光偏
向器８０を含んで構成された画像記録装置７０の概略構
成を説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. (Schematic Configuration of Image Recording Apparatus) First, a schematic configuration of an image recording apparatus 70 including an optical deflector 80 will be described with reference to FIG.

【００４４】図２に示すように、光偏向器８０は、複数
の反射鏡面４８Ａが外周の側面に形成された回転多面鏡
４８と、この回転多面鏡４８を軸１４の回りを矢印Ａ方
向に等速度で回転させる動圧空気軸受モータ８１とを備
えている。As shown in FIG. 2, the optical deflector 80 includes a rotating polygon mirror 48 having a plurality of reflecting mirror surfaces 48A formed on the outer peripheral side surface, and the rotating polygon mirror 48 is rotated around the axis 14 in the direction of arrow A. And a dynamic pressure air bearing motor 81 that rotates at a constant speed.

【００４５】また、画像記録装置７０には、半導体レー
ザあるいはガスレーザ等のレーザ光出射装置８５と、該
レーザ光出射装置８５からのレーザ光を平行光束とする
コリメータレンズ８６と、レーザ光が照射されることで
表面に像が形成される感光体ドラム８８と、回転多面鏡
４８の反射鏡面４８Ａで反射したレーザ光を感光体ドラ
ム８８の表面に集光し且つ該レーザ光が感光体ドラム８
８の表面を等速度で走査するように作用する集光光学系
８７と、感光体ドラム８８の表面に形成された像を現像
して可視像とする図示しない現像装置とが、設けられて
いる。Further, the image recording device 70 is irradiated with a laser light emitting device 85 such as a semiconductor laser or a gas laser, a collimator lens 86 that converts the laser light from the laser light emitting device 85 into a parallel light beam, and a laser light. The laser beam reflected by the reflecting mirror surface 48A of the rotating polygon mirror 48 is condensed on the surface of the photosensitive drum 88, and the laser beam is
And a developing device (not shown) that develops an image formed on the surface of the photosensitive drum 88 into a visible image by developing a condensing optical system 87 that scans the surface of the photosensitive drum 8 at a constant speed. I have.

【００４６】形成される画像のデジタル画像データに基
づき図示しない変調手段によって変調されたレーザ光が
レーザ光出射装置８５から射出され、コリメータレンズ
８６で平行光とされた後、反射鏡面４８Ａに入射する。A laser beam modulated by a modulating means (not shown) based on digital image data of an image to be formed is emitted from a laser beam emitting device 85, collimated by a collimator lens 86, and then enters a reflecting mirror surface 48A. .

【００４７】反射鏡面４８Ａで反射したレーザ光は集光
光学系８７を通して感光体ドラム８８の表面に照射され
る。The laser beam reflected by the reflecting mirror surface 48A is applied to the surface of the photoreceptor drum 88 through the condensing optical system 87.

【００４８】このとき回転多面鏡４８の矢印Ａ方向への
回転に伴って、レーザ光が偏向される方向が矢印Ｂ方向
に沿って変化するので、該レーザ光は感光体ドラム８８
の表面を走査することになる。At this time, with the rotation of the rotary polygon mirror 48 in the direction of arrow A, the direction in which the laser light is deflected changes along the direction of arrow B.
Will be scanned.

【００４９】これと同時に、感光体ドラム８８は矢印Ｃ
方向に回転するので、レーザ光による感光体ドラム８８
に対する上記走査方向に垂直な方向に沿った副走査も行
われることになる。At the same time, the photosensitive drum 88 has an arrow C
The photosensitive drum 88 by the laser light.
Is also performed in the direction perpendicular to the above scanning direction.

【００５０】これにより、感光体ドラム８８の表面が２
次元的に走査され、該感光体ドラム８８上に上記デジタ
ル画像データに基づく像が形成される。この像は図示し
ない現像装置により現像され、可視像となる。 （光偏向器８０の構造）次に、図１を用いて光偏向器８
０の構造を説明する。Thus, the surface of the photosensitive drum 88 becomes 2
An image based on the digital image data is formed on the photosensitive drum 88 by being scanned in a two-dimensional manner. This image is developed by a developing device (not shown) and becomes a visible image. (Structure of Optical Deflector 80) Next, referring to FIG.
The structure of 0 will be described.

【００５１】図１に示すように、光偏向器８０では、ス
テータ１０側のハウジング１２の中央部に圧入等でセラ
ミックス製の円柱状の軸１４が固定されている。As shown in FIG. 1, in the optical deflector 80, a ceramic cylindrical shaft 14 is fixed to the center of the housing 12 on the stator 10 side by press fitting or the like.

【００５２】ハウジング１２の上面には、回路基板１８
が配置されている。A circuit board 18 is provided on the upper surface of the housing 12.
Is arranged.

【００５３】この回路基板１８には、図３に示すよう
に、６個の駆動コイル２０が全体として円環を描くよう
に等間隔で配置されており、これら駆動コイル２０の励
磁切り替え制御を行う図示しない制御回路も設けられて
いる。As shown in FIG. 3, six drive coils 20 are arranged at equal intervals on the circuit board 18 so as to draw a ring as a whole, and the excitation switching of these drive coils 20 is controlled. A control circuit (not shown) is also provided.

【００５４】また、回路基板１８には、ロータ１６（図
１参照）の位置を検出する位置検出素子としてのホール
素子２１が所定の駆動コイル２０の中に固定されてい
る。On the circuit board 18, a Hall element 21 as a position detecting element for detecting the position of the rotor 16 (see FIG. 1) is fixed in a predetermined drive coil 20.

【００５５】これらホール素子２１により後述する回転
駆動用磁石２２の複数の磁極が検出され、該検出結果に
基づいてロータ１６の回転中の位置が検出される。The plurality of magnetic poles of the rotation driving magnet 22 described later are detected by these Hall elements 21, and the rotating position of the rotor 16 is detected based on the detection result.

【００５６】また、図１に示すように、回路基板１８の
駆動コイル２０と反対側（駆動コイル２０の下側）に
は、珪素鋼板から成るステータヨーク２８が、ハウジン
グ１２上に穿設した浅溝３０に設置されている。As shown in FIG. 1, a stator yoke 28 made of a silicon steel plate is provided on the opposite side of the drive coil 20 of the circuit board 18 (below the drive coil 20). It is installed in the groove 30.

【００５７】また、ハウジング１２の上面には、ハウジ
ング１２と一体的に形成されたスラストマグネットホル
ダ３２が立設されており、このスラストマグネットホル
ダ３２の上部には、垂直断面が矩形でリング状に形成さ
れたステータ側スラストマグネット３８が、接着等の方
法によって取り付けられている。A thrust magnet holder 32 formed integrally with the housing 12 is provided upright on the upper surface of the housing 12, and a vertical cross section is rectangular and ring-shaped on the upper part of the thrust magnet holder 32. The formed stator-side thrust magnet 38 is attached by a method such as bonding.

【００５８】一方、ロータ１６側には、セラミックス製
で中空円筒状に形成されたスリーブ４０が、例えば３〜
８μｍ程度の隙間をおいて軸１４に挿通されている。On the other hand, on the rotor 16 side, a sleeve 40 made of ceramic and formed in a hollow cylindrical shape, for example, 3 to
It is inserted through the shaft 14 with a gap of about 8 μm.

【００５９】ここで、軸１４及びスリーブ４０によって
動圧軸受が構成されている。Here, the shaft 14 and the sleeve 40 constitute a dynamic pressure bearing.

【００６０】スリーブ４０の外周部の所定位置には、ア
ルミニウム製のリング状の台座４２が焼き嵌めや圧入等
の方法により固定されている。A ring-shaped pedestal 42 made of aluminum is fixed to a predetermined position on the outer peripheral portion of the sleeve 40 by a method such as shrink fitting or press fitting.

【００６１】この台座４２の上面には、取り付け面４６
が形成されており、この取り付け面４６上にアルミニウ
ム製の回転多面鏡４８が固定用のバネ５０によって固定
されている。The mounting surface 46 is provided on the upper surface of the base 42.
A rotating polygon mirror 48 made of aluminum is fixed on the mounting surface 46 by a fixing spring 50.

【００６２】この回転多面鏡４８は多角形柱状に形成さ
れており、各側面４８Ａは鏡面に加工されている。な
お、取り付け面４６はスリーブ４０の軸芯に対して垂直
となるよう高精度に加工されている。The rotary polygon mirror 48 is formed in a polygonal column shape, and each side face 48A is machined into a mirror surface. The mounting surface 46 is processed with high precision so as to be perpendicular to the axis of the sleeve 40.

【００６３】台座４２における駆動コイル２０に対応す
る部位には切欠き部４２Ａが形成されており、この切欠
き部４２Ａには回転駆動用の回転駆動用磁石２２が接着
等によって取り付けられている。A cutout portion 42A is formed in a portion of the pedestal 42 corresponding to the drive coil 20, and a rotary drive magnet 22 for rotary drive is attached to the cutout portion 42A by bonding or the like.

【００６４】回転駆動用磁石２２は全体がリング状に成
形されており（図３参照）、その中央の穴部におけるス
テータ１０側には、内径を一段広げた開口とした開口段
部５２が形成されている。The rotation driving magnet 22 is formed in a ring shape as a whole (see FIG. 3), and an opening step 52 having an opening whose inner diameter is increased by one step is formed on the stator 10 side in the center hole. Have been.

【００６５】また、回転駆動用磁石２２では、中心角４
５度ずつに８等分した各区分に、隣接する区分が異極と
なるようＮ極とＳ極とが着磁されている（図３参照）。The rotation driving magnet 22 has a center angle of 4 degrees.
The N and S poles are magnetized so that adjacent sections have different polarities in each section divided into eight equal parts at 5 ° intervals (see FIG. 3).

【００６６】台座４２の切欠き部５６には、回転数に応
じた周波数信号を発電するための周波数発電マグネット
（以下、ＦＧマグネットと記す）６０が接着によって取
り付けられている。A frequency generating magnet (hereinafter, referred to as an FG magnet) 60 for generating a frequency signal corresponding to the number of rotations is attached to the notch 56 of the base 42 by bonding.

【００６７】このＦＧマグネット６０は全体がリング状
に成形されており、中心角４５度ずつに８等分した各区
分に、隣接する区分が異極となるようＮ極とＳ極とが着
磁されている。The FG magnet 60 is formed in a ring shape as a whole, and N and S poles are magnetized so that adjacent sections have different polarities in each section divided into eight equal parts at a central angle of 45 degrees. Have been.

【００６８】回路基板１８におけるＦＧマグネット６０
に対向する位置には、櫛歯状の周波数発電パターン（以
下、ＦＧパターンと称する）６１（図３参照）がエッチ
ング等によって形成されており、このＦＧパターン６１
に発生する誘起電圧に基づいて、ロータ１６の回転数が
検出される。The FG magnet 60 on the circuit board 18
A comb-shaped frequency power generation pattern (hereinafter, referred to as an FG pattern) 61 (see FIG. 3) is formed by etching or the like at a position facing the FG pattern 61.
The rotation speed of the rotor 16 is detected on the basis of the induced voltage generated in the above.

【００６９】台座４２の外周面には、リング状に形成さ
れたロータ側スラストマグネット５８が接着によって取
り付けられている。A rotor-side thrust magnet 58 formed in a ring shape is attached to the outer peripheral surface of the base 42 by bonding.

【００７０】このロータ側スラストマグネット５８は、
ステータ側スラストマグネット３８に対向するよう所定
間隔を置いて配置されており、ロータ側スラストマグネ
ット５８の外周面部とステータ側スラストマグネット３
８の内周面部とで吸引力が働くよう相互に異極に着磁さ
れている。This rotor-side thrust magnet 58 is
The outer circumferential surface of the rotor-side thrust magnet 58 and the stator-side thrust magnet 3 are arranged at predetermined intervals so as to face the stator-side thrust magnet 38.
The magnets 8 are magnetized to different polarities with each other so that an attractive force is exerted on the inner peripheral surface portion 8.

【００７１】このため、これらロータ側スラストマグネ
ット５８とステータ側スラストマグネット３８とでスラ
スト磁気軸受が構成され、ロータ１６はスラスト磁気軸
受によりスラスト方向（軸方向）に支持される。Therefore, the rotor-side thrust magnet 58 and the stator-side thrust magnet 38 form a thrust magnetic bearing, and the rotor 16 is supported in the thrust direction (axial direction) by the thrust magnetic bearing.

【００７２】このスラスト磁気軸受では、ロータ側スラ
ストマグネット５８とステータ側スラストマグネット３
８とで働く吸引力がロータ１６のスリーブ４０における
スラスト方向（軸方向）の荷重よりも大きく設定されて
おり、このため、上記吸引力によりロータ１６全体が浮
上する。In this thrust magnetic bearing, the rotor-side thrust magnet 58 and the stator-side thrust magnet 3
The suction force acting on the rotor 8 is set to be larger than the load in the thrust direction (axial direction) of the sleeve 40 of the rotor 16, so that the entire rotor 16 floats due to the suction force.

【００７３】また、軸１４の外周面には、周方向に沿っ
て延びる一定深さの溝６２が軸方向に間隔をあけて形成
されている。On the outer peripheral surface of the shaft 14, grooves 62 having a constant depth extending along the circumferential direction are formed at intervals in the axial direction.

【００７４】上部の溝６２はスリーブ４０の上端近傍の
内周面（軸受面）に対向して設けられ、下部の溝６２は
スリーブ４０の下端近傍の内周面（軸受面）に対向して
設けられている。The upper groove 62 is provided facing the inner peripheral surface (bearing surface) near the upper end of the sleeve 40, and the lower groove 62 is facing the inner peripheral surface (bearing surface) near the lower end of the sleeve 40. Is provided.

【００７５】上部及び下部の溝６２は、各々軸１４の同
一半径方向に、軸心回りに１８０°に渡って形成されて
いる。The upper and lower grooves 62 are formed in the same radial direction of the shaft 14 and over 180 ° around the axis.

【００７６】この溝６２は、スリーブ４０が回転したと
きに軸１４とスリーブ４０との間に発生する動圧が、溝
６２の無い部分の動圧よりも小（または零）とする役目
をしている。なお、動圧を低下させるためには、溝６２
の溝深さは５０μｍ以上とすることが好ましい。The groove 62 serves to make the dynamic pressure generated between the shaft 14 and the sleeve 40 when the sleeve 40 rotates is smaller (or zero) than the dynamic pressure of the portion without the groove 62. ing. In order to reduce the dynamic pressure, the grooves 62
Is preferably 50 μm or more.

【００７７】なお、本実施形態では、スリーブ４０の内
面には、積極的に動圧を発生させるための溝は形成され
ておらず、軸方向及び周方向の何れの方向にも凹部は形
成されていない。In this embodiment, no groove is formed on the inner surface of the sleeve 40 for actively generating dynamic pressure, and a recess is formed in any of the axial direction and the circumferential direction. Not.

【００７８】また、軸１４においても、積極的に動圧を
発生させるための溝は形成されおらず、スリーブ４０と
対向している外周面で、前記溝６２以外の部分において
は、軸方向及び周方向の何れの方向にも凹部は形成され
ていない（即ち、真円形状である）。 （本実施形態の作用）回路基板１８上の駆動制御回路の
制御により各駆動コイル２０に電圧が印加されると、各
駆動コイル２０に電流が流れ、各駆動コイル２０に対向
する回転駆動用磁石２２の磁界と上記電流とで電磁誘導
作用が働き、回転駆動用磁石２２に対し回転駆動力が発
生する。Also, the shaft 14 is not provided with a groove for positively generating dynamic pressure, and in the outer peripheral surface facing the sleeve 40 except for the groove 62, the shaft 14 No concave portion is formed in any of the circumferential directions (that is, a perfect circular shape). (Operation of the Present Embodiment) When a voltage is applied to each drive coil 20 under the control of the drive control circuit on the circuit board 18, a current flows through each drive coil 20, and a rotary drive magnet opposing each drive coil 20. The magnetic induction of the magnetic field 22 and the above-mentioned current act to generate a rotational driving force on the rotational driving magnet 22.

【００７９】この回転駆動力によって、ロータ１６が所
定方向に高速回転する。The rotor 16 rotates at a high speed in a predetermined direction by the rotational driving force.

【００８０】スリーブ４０が軸１４の回りを高速回転す
ると、軸１４とスリーブ４０との間に動圧が発生する。When the sleeve 40 rotates at high speed around the shaft 14, a dynamic pressure is generated between the shaft 14 and the sleeve 40.

【００８１】ここで、図４に示すように、外周面が真円
の軸２００と、円筒状のスリーブ２０２とからなる真円
動圧空気軸受２０４において、スリーブ２０２が回転
（矢印Ａ方向）すると、半径方向の片側には圧力Ｐ１、
反対側にはＰ２が発生する。この場合、軸心に対して圧
力変化による支持作用がなく、しかも動圧の分布が対象
であることから、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２とは等しくなる。Here, as shown in FIG. 4, when the sleeve 202 rotates (in the direction of arrow A) in a perfect circular dynamic pressure air bearing 204 composed of a shaft 200 having a perfect circular outer surface and a cylindrical sleeve 202, , Pressure P1 on one side in the radial direction,
P2 occurs on the opposite side. In this case, the pressure P1 is equal to the pressure P2 because there is no supporting action by the pressure change on the axis and the distribution of the dynamic pressure is a target.

【００８２】しかしながら、これは、元来、真円動圧空
気軸受のスリーブを偏心させて回転中心を一定に保つこ
との法則に反するために回転の不安定さを引き起こす問
題がある。However, this is originally against the law of keeping the center of rotation constant by eccentricity of the sleeve of the perfect circular dynamic pressure air bearing, which causes a problem of instability of rotation.

【００８３】一方、本実施形態において、図５に示すよ
うに、スリーブ４０の軸方向長さをＬ１、軸１４の溝６
２の形成されている側の軸方向外周面長さをＬ２（スリ
ーブ４０と対向している部分の中で、溝６２の形成され
ていない部分の長さ）とすると、Ｌ１＞Ｌ２である。On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG.
Assuming that the length of the outer peripheral surface in the axial direction on the side where 2 is formed is L2 (the length of the portion facing the sleeve 40 where the groove 62 is not formed), L1> L2.

【００８４】軸１４とスリーブ４０との間には、溝６２
の形成されていない側では、スリーブ４０と対向してい
る長さＬ１の部分に圧力Ｐ１が発生する。A groove 62 is provided between the shaft 14 and the sleeve 40.
The pressure P1 is generated at the portion of the length L1 facing the sleeve 40 on the side where is not formed.

【００８５】ここで、図６の断面図で示すように、溝６
２の形成されている側では、溝６２の形成されていない
側よりも低い動圧（矢印の長さが圧力の大きさを示して
いる。）しか発生しないので（または動圧を発生しない
ので）、図５に示すように、おおよそ長さＬ２部分（溝
６２と溝６２との間の部分）に圧力Ｐ２が発生すること
になる。Here, as shown in the sectional view of FIG.
On the side where the groove 2 is formed, only a lower dynamic pressure (the length of the arrow indicates the magnitude of the pressure) is generated than on the side where the groove 62 is not formed (or the dynamic pressure is not generated). As shown in FIG. 5, a pressure P2 is generated approximately in the length L2 portion (portion between the grooves 62).

【００８６】即ち、軸心を挟んで溝６２の形成されてい
る側と溝６２の形成されていない側とでは動圧発生面積
が異なり、また圧力×面積＝力であるので、スリーブ４
０には、溝６２の形成されていない側の半径方向へ力Ｆ
を受け、回転中は、スリーブ４０の軸心４０Ａ（回転中
心線）が軸１４の軸心１４Ａに対して偏心量ｅだけ溝６
２の形成されていない側へ偏心する。That is, the dynamic pressure generation area is different between the side where the groove 62 is formed and the side where the groove 62 is not formed across the axis, and pressure × area = force.
0, the force F in the radial direction on the side where the groove 62 is not formed.
During rotation, the axis 40A (rotation center line) of the sleeve 40 is shifted from the axis 14A of the shaft 14 by the amount of eccentricity e to the groove 6A.
Eccentric to the side where 2 is not formed.

【００８７】スリーブ４０が回転している際、スーリブ
４０は方向の変化することのない力Ｆを常に受けるの
で、スリーブ４０は安定して回転することができる。When the sleeve 40 is rotating, the sub rib 40 always receives the force F whose direction does not change, so that the sleeve 40 can rotate stably.

【００８８】なお、図６に示すように、溝６２の形成さ
れている部分の圧力及び溝の形成されていない部分の圧
力と、スリーブ４０の回転数との関係をグラフに示すと
図７に示すようになり、回転数の増加と共に圧力差（Δ
Ｐ）が大きくなる。したがって、回転数の増加に伴って
半径方向の力Ｆも大となり、高速回転時の安定性が向上
する。As shown in FIG. 6, the relationship between the pressure at the portion where the groove 62 is formed, the pressure at the portion where the groove 62 is not formed, and the rotational speed of the sleeve 40 is shown in a graph in FIG. And the pressure difference (Δ
P) increases. Therefore, the radial force F increases with an increase in the number of rotations, and the stability during high-speed rotation improves.

【００８９】また、溝６２を形成して回転を安定させる
ことができるので、従来の動圧空気軸受に施されていた
動圧発生用溝（ヘリングボーン溝）を必要としない。ま
た、溝６２は、溝深さを５０μｍ以上としていれば、溝
６２の寸法精度も、従来の動圧空気軸受に施されていた
動圧発生用溝（ヘリングボーン溝）のように精密さは必
要としない。Further, since the rotation can be stabilized by forming the groove 62, the dynamic pressure generating groove (herringbone groove) provided in the conventional dynamic pressure air bearing is not required. Also, if the groove 62 has a groove depth of 50 μm or more, the dimensional accuracy of the groove 62 is not as precise as the dynamic pressure generating groove (herringbone groove) provided in the conventional dynamic pressure air bearing. do not need.

【００９０】このため、製造コストを大幅に低減するこ
とが可能となる。 （他の実施形態１）なお、上記実施形態では、動圧を低
下させるために軸１４に一定深さの溝６２を設けたが、
本発明はこれに限らず、少なくとも動圧発生面が他の部
分よりも凹んでいれば動圧を低下させることができ、溝
の代わりに図８及び図９に示すような軸直角断面が半円
状の切欠６４及び溝６５を軸１４に形成しても良く、孔
等を形成しても良い。Therefore, it is possible to greatly reduce the manufacturing cost. (Other Embodiment 1) In the above-described embodiment, a groove 62 having a constant depth is provided on the shaft 14 in order to reduce the dynamic pressure.
The present invention is not limited to this, and at least the dynamic pressure can be reduced if the dynamic pressure generating surface is more concave than the other parts, and instead of the groove, the cross section perpendicular to the axis as shown in FIGS. The circular notch 64 and the groove 65 may be formed in the shaft 14, and a hole or the like may be formed.

【００９１】図８に示すように、半円状の切欠６４及び
溝６５を設けた場合においても、図９に示すように、切
欠６４（及び溝６５）の形成されている側では、切欠６
４（及び溝６５）の形成されていない側よりも低い動圧
しか発生しない。As shown in FIG. 8, even when the semicircular notch 64 and the groove 65 are provided, as shown in FIG. 9, the notch 6 is formed on the side where the notch 64 (and the groove 65) is formed.
Only a lower dynamic pressure is generated than on the side where the groove 4 (and the groove 65) is not formed.

【００９２】したがって、スリーブ４０は切欠６４及び
溝６５の形成されていない側の半径方向へ力Ｆを受け、
上記実施形態と同様に安定して回転することができる。Therefore, the sleeve 40 receives the force F in the radial direction on the side where the notch 64 and the groove 65 are not formed,
It is possible to rotate stably as in the above embodiment.

【００９３】この実施形態では、切欠６４及び溝６５の
軸直角断面形状を略半円形状としたので、回転するカッ
ターまたは砥石等（フライス盤、研削盤等を使用）を軸
直角方向に相対移動して凹部を簡単に加工することがで
きる。In this embodiment, since the notch 64 and the groove 65 have a substantially semicircular cross section perpendicular to the axis, the rotating cutter or grindstone (using a milling machine, a grinding machine, etc.) is relatively moved in the direction perpendicular to the axis. The recess can be easily processed.

【００９４】特に、セラミックス等の高硬度の部材は加
工が困難であるので、本実施形態のような半円形状の切
欠６４及び溝６５を形成するようにれば、製造コストを
更に低く抑えることができる。 （他の実施形態２）なお、前記実施形態の動圧軸受部分
では、円柱状の軸１４に対して円筒状のスリーブ４０が
回転する構成であったが、本発明はこれに限らず、スリ
ーブ４０を固定し、軸１４を回転させても良い。Particularly, since it is difficult to process a high-hardness member such as ceramics, if the semicircular notch 64 and the groove 65 are formed as in this embodiment, the manufacturing cost can be further reduced. Can be. (Other Embodiment 2) In the dynamic pressure bearing portion of the above-described embodiment, the cylindrical sleeve 40 is configured to rotate with respect to the cylindrical shaft 14, but the present invention is not limited to this. The shaft 14 may be rotated while the shaft 40 is fixed.

【００９５】この場合、図１０に示すように、固定側で
あるスリーブ４０の長手方向両端部付近の内周面に、外
周方向に沿って延びる溝６９を同一半径方向に形成す
る。この場合、図１１に示すように、溝６９の形成され
ている側では、溝６９の形成されていない側よりも低い
動圧しか発生しない。In this case, as shown in FIG. 10, a groove 69 extending in the outer peripheral direction is formed on the inner peripheral surface near both ends in the longitudinal direction of the sleeve 40 on the fixed side in the same radial direction. In this case, as shown in FIG. 11, a lower dynamic pressure is generated on the side where the groove 69 is formed than on the side where the groove 69 is not formed.

【００９６】この実施形態の場合においては、溝６９の
形成されている側の動圧Ｐ２の発生面積が反対側の同圧
Ｐ１の発生面積よりも小さいので、軸１４は溝６９の形
成されている側に力Ｆを受けて安定した状態で回転す
る。In the case of this embodiment, since the area where the dynamic pressure P2 is generated on the side where the groove 69 is formed is smaller than the area where the same pressure P1 is generated on the opposite side, the shaft 14 is formed with the groove 69. It receives a force F on its side and rotates in a stable state.

【００９７】なお、上記実施形態では、動圧軸受を光偏
向器のモータに適用した例を示したが、本発明はこれに
限らず、回転体を支持する装置には全て適用可能であ
る。In the above embodiment, the example in which the dynamic pressure bearing is applied to the motor of the optical deflector has been described. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to all devices for supporting a rotating body.

【００９８】また、本発明の動圧軸受は、軸心を鉛直方
向以外（斜め、水平）に向けて使用することもできる。The dynamic pressure bearing of the present invention can be used with its axis centered in a direction other than the vertical direction (oblique, horizontal).

【００９９】[0099]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の動圧空気
軸受、動圧空気軸受モータ及び光偏向器は上記の構成と
したので、安定した回転を得ることができると共に低コ
スト化を図ることができる、という優れた効果を有す
る。As described above, the dynamic pressure air bearing, the dynamic pressure air bearing motor, and the optical deflector of the present invention have the above-mentioned structures, so that stable rotation can be obtained and cost reduction can be achieved. Has an excellent effect that

【０１００】また、本発明の光偏向器は上記の構成とし
たので、回転多面鏡の反射面で光ビームを反射させて、
光ビームを正確かつ滑らかに走査することができる、と
いう優れた効果を有する。Further, since the optical deflector of the present invention has the above-described configuration, the light beam is reflected by the reflecting surface of the rotary polygon mirror, and
This has an excellent effect that the light beam can be scanned accurately and smoothly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 光偏向器の構造を説明するための縦断面図で
ある。FIG. 1 is a longitudinal sectional view for explaining a structure of an optical deflector.

【図２】 光偏向器を含んで構成された画像記録装置の
概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an image recording apparatus including an optical deflector.

【図３】 光偏向器のＦＧパターン周辺を示す上面図で
ある。FIG. 3 is a top view showing the periphery of an FG pattern of the optical deflector.

【図４】 真円動圧空気軸受の圧力の発生分布を示す斜
視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a distribution of pressure generation of a perfect circular dynamic pressure air bearing.

【図５】 実施形態の動圧空気軸受の圧力の発生分布を
示す一部断面図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional view illustrating a pressure generation distribution of the dynamic air bearing according to the embodiment.

【図６】 実施形態の動圧空気軸受の軸回りの圧力の発
生分布を示す断面図（図５の６−６線断面図）である。FIG. 6 is a cross-sectional view (cross-sectional view along line 6-6 in FIG. 5) illustrating the distribution of pressure generation around the axis of the dynamic pressure air bearing of the embodiment.

【図７】 回転数と動圧空気軸受に発生する圧力との関
係を示すグラフである。FIG. 7 is a graph showing the relationship between the number of revolutions and the pressure generated in the dynamic air bearing.

【図８】 他の実施形態１に係る動圧空気軸受の斜視図
である。FIG. 8 is a perspective view of a dynamic pressure air bearing according to another embodiment 1.

【図９】 図８に示す動圧空気軸受の軸回りの圧力の発
生分布を示す断面図（図８の９−９線断面図）である。FIG. 9 is a cross-sectional view (cross-sectional view along line 9-9 in FIG. 8) showing the distribution of pressure generation around the axis of the dynamic pressure air bearing shown in FIG.

【図１０】 他の実施形態２に係る動圧空気軸受の斜視
図である。FIG. 10 is a perspective view of a dynamic pressure air bearing according to another embodiment 2.

【図１１】 図１０に示す動圧空気軸受の軸回りの圧力
の発生分布を示す断面図（図１０の１１−１１線断面
図）である。11 is a cross-sectional view (a cross-sectional view taken along line 11-11 of FIG. 10) illustrating a generation distribution of pressure around an axis of the dynamic pressure air bearing illustrated in FIG. 10;

【図１２】 従来の光偏向器の構造を説明するための縦
断面図である。FIG. 12 is a longitudinal sectional view for explaining the structure of a conventional optical deflector.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１４ 軸（動圧空気軸受） ２０ 駆動コイル ２２ 回転駆動用磁石 ４０ スリーブ（動圧空気軸受） ４８ 回転多面鏡 ６２ 溝（凹部） ６９ 溝（凹部） ８０ 光偏向器 ８１ 動圧空気軸受モータ Reference Signs List 14 shaft (dynamic pressure air bearing) 20 drive coil 22 rotation driving magnet 40 sleeve (dynamic pressure air bearing) 48 rotating polygon mirror 62 groove (recess) 69 groove (recess) 80 optical deflector 81 dynamic pressure air bearing motor

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 相対的に回転可能とされたスリーブと軸
との何れか一方を回転させ、他方を固定し、前記スリー
ブと前記軸との相対回転によって前記スリーブと前記軸
との間隙に動圧を発生させる動圧空気軸受であって、 前記スリーブ及び前記軸のうちの何れか固定されている
方の前記隙間と面している部分に動圧低下用の凹部を設
け、軸心の半径方向一側の動圧と他側の動圧とに差を生
じさせたことを特徴とする動圧空気軸受。1. A method comprising: rotating one of a relatively rotatable sleeve and a shaft, fixing the other, and moving the sleeve and the shaft in a gap between the sleeve and the shaft by the relative rotation of the sleeve and the shaft. A dynamic pressure air bearing for generating pressure, wherein a concave portion for reducing dynamic pressure is provided in a portion facing one of the sleeve and the shaft, the portion being fixed to the gap; A dynamic pressure air bearing wherein a difference is generated between a dynamic pressure on one side and a dynamic pressure on the other side. 【請求項２】 前記凹部は前記スリーブの軸方向両端付
近に対向するように前記軸に設けられていることを特徴
とする請求項１に記載の動圧空気軸受。2. The dynamic pressure air bearing according to claim 1, wherein the recess is provided on the shaft so as to face near both ends in the axial direction of the sleeve. 【請求項３】 前記軸に設けられる凹部は、軸直角断面
形状が略半円形状を呈していることを特徴とする請求項
１または請求項２に記載の動圧空気軸受。3. The hydrodynamic air bearing according to claim 1, wherein the concave portion provided in the shaft has a substantially semicircular cross-section perpendicular to the shaft. 【請求項４】 前記スリーブ及び前記軸の何れか一方に
連結され複数の異なる極性の磁極が周方向に交互に配列
された回転駆動用磁石と、 前記スリーブ及び前記軸の何れか他方に連結され前記回
転駆動用磁石との間で回転トルクを発生する駆動コイル
と、 請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の動圧空気軸
受と、 を有することを特徴とする動圧空気軸受モータ。4. A rotary driving magnet connected to one of the sleeve and the shaft and having a plurality of magnetic poles of different polarities alternately arranged in a circumferential direction, and connected to one of the other of the sleeve and the shaft. A dynamic pressure air bearing comprising: a drive coil that generates a rotational torque between the rotary drive magnet; and the dynamic pressure air bearing according to any one of claims 1 to 3. motor. 【請求項５】 請求項４に記載の動圧空気軸受モータ
と、 前記スリーブ及び前記軸の何れか回転する方に設けられ
外周面に光ビームを反射する複数の反射鏡面が形成され
た回転多面鏡と、 を有することを特徴とする光偏向器。5. A dynamic pressure air bearing motor according to claim 4, further comprising: a rotating polygonal surface provided with a plurality of reflecting mirrors formed on an outer peripheral surface of the sleeve and the shaft for reflecting a light beam. An optical deflector comprising: a mirror;