JP2000117977A - Printing head and manufacture thereof - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はプリントヘッド及び
その製造方法に関し、特にインクジェットプリントヘッ
ドに適用して好適なものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a print head and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a print head and an ink jet print head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、インクジェットプリンタ装置にお
いては、記録信号に応じてインク液滴を紙やフィルム等
の記録媒体に吐出することにより、当該記録信号に応じ
た文字や図形等を記録媒体にプリントし得るようになさ
れている。2. Description of the Related Art Conventionally, in an ink-jet printer, characters or graphics are printed on a recording medium by discharging ink droplets onto a recording medium such as paper or film in response to a recording signal. It is made to be able to do.
【０００３】図１１はこのようなインクジェットプリン
タ装置に用いられる従来のインクジェットプリントヘッ
ドの一構成例を示すものであり、流路板２の一面２Ａに
圧電アクチュエータ３が固着されると共に、当該流路板
２の他面２Ｂにノズルプレート４が貼着されることによ
り構成されている。FIG. 11 shows an example of the configuration of a conventional ink jet print head used in such an ink jet printer apparatus. A piezoelectric actuator 3 is fixed to one surface 2A of a flow path plate 2, and the flow path The nozzle plate 4 is attached to the other surface 2B of the plate 2.
【０００４】この場合流路板２の一面２Ａ側には矢印ｘ
1 方向に沿って複数の凹部でなるインク貯蔵用の圧力室
２Ｃが所定ピッチで並設されている。そしてこれら各圧
力室２Ｃには、それぞれ共通流路２Ｄを介して図示しな
いインクカートリッジからインクを順次供給し得るよう
になされている。In this case, an arrow x is provided on one surface 2A side of the flow path plate 2.
A plurality of recessed pressure chambers 2C for ink storage are arranged in parallel at a predetermined pitch along one direction. Each of the pressure chambers 2C can be successively supplied with ink from an ink cartridge (not shown) via a common channel 2D.
【０００５】また各圧力室２Ｃの先端部にはそれぞれ流
路板２をその厚み方向（矢印ｚ1 方向）に貫通する貫通
路２Ｅが穿設され、ノズルプレート４にはこれら各貫通
路２Ｅとそれぞれ対応させて複数の貫通孔でなるノズル
４Ａが矢印ｘ1 方向に沿って所定ピッチで穿設されてい
る。[0005] throughway 2E which through the respective passage plate 2 to the distal end portion of the pressure chamber 2C in the thickness direction (arrow z 1 direction) is bored, the nozzle plate 4 and the respective through passages 2E nozzle 4A respectively in correspondence consisting of a plurality of through holes are formed at a predetermined pitch along the arrow x 1 direction.
【０００６】一方圧電アクチュエータ３は、可撓性材料
からなる振動板５の一面上に、当該振動板５を介して流
路板２の各圧力室２Ｃとそれぞれ対向するように複数の
ピエゾ素子等の圧電素子６が矢印ｘ1 方向に沿って配設
されることにより構成されており、振動板５の他面を流
路板２の一面２Ａ上に貼着又は溶着するようにして当該
流路板２に固着されている。On the other hand, the piezoelectric actuator 3 has a plurality of piezoelectric elements or the like on one surface of a vibration plate 5 made of a flexible material so as to face each pressure chamber 2C of the flow path plate 2 via the vibration plate 5. Are arranged along the direction of the arrow x 1 , and the other surface of the vibration plate 5 is adhered or welded to the one surface 2 </ b> A of the flow passage plate 2. It is fixed to the plate 2.
【０００７】このとき各圧電素子６はそれぞれその厚み
方向（矢印ｚ1 方向）に分極されると共に、各圧電素子
６の一面及び他面にはそれぞれ上部電極又は下部電極が
形成されており、かくしてこれら上部電極及び下部電極
間に電位差を生じさせることによって、圧電素子６をモ
ノモルフ効果により振動板５を対応する圧力室２Ｃの内
側に変位させる方向（矢印ｚ1 方向と逆方向）に撓ませ
得るようになされている。[0007] while being polarized in this case the piezoelectric element 6 is a thickness direction, respectively (arrow z 1 direction), and one surface and the other surface is respectively upper or lower electrode formed of the piezoelectric elements 6, thus by generating a potential difference between these upper and lower electrodes, may deflect in a direction of displacing the piezoelectric element 6 diaphragm 5 inside the corresponding pressure chamber 2C by monomorph effect (arrow z 1 direction opposite) It has been made like that.
【０００８】これによりこの種のインクジェットプリン
トヘッド１においては、圧電素子６の上部電極及び下部
電極間に電位差を生じさせて振動板５を対応する圧力室
２Ｃの内側に変位させることによって、当該変位量に応
じた圧力をその圧力室２Ｃ内に発生させることができ、
この圧力によって当該圧力室２Ｃ内のインクを貫通路２
Ｅを介して対応するノズル４Ａから外部に吐出させ得る
ようになされている。As a result, in this type of ink jet print head 1, a potential difference is generated between the upper electrode and the lower electrode of the piezoelectric element 6 to displace the diaphragm 5 to the inside of the corresponding pressure chamber 2C. A pressure corresponding to the amount can be generated in the pressure chamber 2C,
This pressure causes the ink in the pressure chamber 2C to pass through the passage 2.
The corresponding nozzle 4A can be discharged to the outside via E.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ところでかかる構成の
インクジェットプリントヘッド１においては、流路板２
の他面２Ｂに接着剤を塗布した後、当該他面２Ｂにノズ
ルプレート４を所定圧力で押し付けた状態でこの接着剤
を加熱硬化させるようにして流路板２の他面２Ｂにノズ
ルプレート４を貼着していた。In the ink jet print head 1 having such a configuration, the flow path plate 2
After the adhesive is applied to the other surface 2B of the flow path plate 2, the nozzle plate 4 is pressed against the other surface 2B at a predetermined pressure, and the adhesive is heated and cured. Was stuck.
【００１０】ところがこのような流路板２とノズルプレ
ート４との貼着方法によると、図１２に示すように、当
該流路板２の他面２Ｂに接着剤７を介してノズルプレー
ト４を押し付けた際に、この流路板２の他面２Ｂとノズ
ルプレート４との間の接着剤７が貫通路２Ｅ及びノズル
４Ａ内に溢れ出し、当該貫通路２Ｅ及びノズル４Ａが目
詰まりする場合がある。However, according to such a method of adhering the flow path plate 2 and the nozzle plate 4, as shown in FIG. 12, the nozzle plate 4 is attached to the other surface 2 B of the flow path plate 2 via the adhesive 7. When pressed, the adhesive 7 between the other surface 2B of the flow path plate 2 and the nozzle plate 4 may overflow into the through passage 2E and the nozzle 4A, and the through passage 2E and the nozzle 4A may be clogged. is there.
【００１１】そしてこのようなインクジェットプリント
ヘッド１を用いて記録媒体に文字や図形をプリントした
場合、流路板２の貫通路２Ｅを介してノズル４Ａから吐
出されるインク液滴の吐出量が極端に少なくなったり、
又は全く吐出し難くなるなどのようにインク液滴を安定
して吐出し難くなることから、印画画像の画質が劣化す
る問題があった。When characters and figures are printed on a recording medium using such an ink jet print head 1, the discharge amount of ink droplets discharged from the nozzle 4A through the through passage 2E of the flow path plate 2 is extremely large. Or
In addition, since it becomes difficult to stably eject ink droplets, for example, it becomes difficult to eject ink at all, there is a problem that the image quality of a printed image is deteriorated.
【００１２】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、印画画像の劣化を防止し得るプリントヘッド及びそ
の製造方法を提案しようとするものである。The present invention has been made in view of the above points, and has as its object to propose a print head capable of preventing deterioration of a printed image and a method of manufacturing the print head.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、プリントヘッドにおいて、流路板
の他面及び又はノズルプレートの対向する面に所定パタ
ーンに所定パターンの凹部又は凸部を形成するようにし
た。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, in a print head, a concave portion or a convex portion of a predetermined pattern is formed in a predetermined pattern on the other surface of the flow path plate and / or the opposite surface of the nozzle plate. It was formed.
【００１４】この結果、流路板の他面及び又はノズルプ
レートの対向する面の凸部又は凹部が形成されていない
部分上に接着剤からなる接着剤層を形成した後、当該流
路板の他面にノズルプレートの対向する面を押し付けた
際に接着剤を凹部内又は凸部が形成されていな部分内に
流れ込ませ、これにより貫通路及びノズル内に溢れだす
接着剤の量をコントロールしてこれら貫通路及びノズル
が目詰まりすることをほぼ確実に防止することができ
る。As a result, an adhesive layer made of an adhesive is formed on the other surface of the flow channel plate and / or on the portion of the nozzle plate facing the surface where no projections or depressions are formed. When the opposing surface of the nozzle plate is pressed against the other surface, the adhesive flows into the concave portion or the portion where the convex portion is not formed, thereby controlling the amount of the adhesive overflowing into the through passage and the nozzle. Thus, clogging of these through passages and nozzles can be almost surely prevented.
【００１５】また本発明においては、プリントヘッドの
製造方法において、流路板の他面及び又はノズルプレー
トの対向する面に所定パターンに所定パターンの凹部又
は凸部を形成する第１の工程と、流路板の他面及び又は
ノズルプレートの対向する面の凸部又は凹部が形成され
ていない部分上に接着剤からなる接着剤層を形成する第
２のステップと、流路板の他面にノズルプレートの対向
する面を位置決めして押し付けるようにして流路板の他
面にノズルプレートの対向する面を貼着する第３の工程
とを設けるようにした。Further, in the present invention, in the method of manufacturing a print head, a first step of forming a concave portion or a convex portion of a predetermined pattern in a predetermined pattern on the other surface of the flow path plate and / or the opposite surface of the nozzle plate; A second step of forming an adhesive layer made of an adhesive on the other surface of the flow channel plate and / or on a portion of the opposing surface of the nozzle plate where no convex or concave portion is formed, and on the other surface of the flow channel plate A third step of adhering the opposing surface of the nozzle plate to the other surface of the flow path plate by positioning and pressing the opposing surface of the nozzle plate is provided.
【００１６】この結果、流路板の他面にノズルプレート
の対向する面を押し付けた際に接着剤を凹部内又は凸部
が形成されていない部分内に流れ込ませ、これにより貫
通路及びノズル内に溢れだす接着剤の量をコントロール
してこれら貫通路及びノズルが目詰まりすることをほぼ
確実に防止することができる。As a result, when the opposite surface of the nozzle plate is pressed against the other surface of the flow path plate, the adhesive flows into the concave portion or the portion where the convex portion is not formed. By controlling the amount of the adhesive that overflows into the nozzle, it is possible to almost certainly prevent the through passage and the nozzle from being clogged.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施の形態を詳述する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１８】（１）パウダービーム加工装置の構成 近年、エッチング加工法の１つとして、粒径が１〜20
〔μｍ〕程度の砥粒を高圧エアにほぼ均一に混合するこ
とにより固気二相流を形成し、当該固気二相流を被加工
物の加工面に吹きつけることにより、当該加工面を固気
二相流に含まれる砥粒によって削るようにして除去加工
する加工法（以下、これをパウダービーム加工法と呼
ぶ）が提案されている。(1) Configuration of Powder Beam Processing Apparatus In recent years, as one of the etching processing methods, a particle size of 1 to 20 has been used.
A solid-gas two-phase flow is formed by mixing approximately [μm] abrasive grains with high-pressure air almost uniformly, and the solid-gas two-phase flow is blown onto the processing surface of the workpiece, thereby processing the processing surface. 2. Description of the Related Art A processing method of removing a workpiece by grinding with abrasive grains contained in a solid-gas two-phase flow (hereinafter, this is referred to as a powder beam processing method) has been proposed.
【００１９】そしてこのようなパウダービーム加工法に
よると、使用する砥粒の粒径が１〜20〔μｍ〕程度と小
さいため、微細なパターンを精度良く高速加工すること
ができ、しかも加工時の砥粒の噴射量を確実にコントロ
ールすることができるため、加工量を精度良く制御する
ことができる利点がある。According to such a powder beam processing method, since the particle size of the abrasive grains used is as small as about 1 to 20 [μm], a fine pattern can be processed at high speed with high accuracy. Since the injection amount of the abrasive grains can be reliably controlled, there is an advantage that the processing amount can be accurately controlled.
【００２０】ここで図１は、このようなパウダービーム
加工法による加工処理を行い得るようになされた加工装
置（以下、これをパウダービーム加工装置と呼ぶ）１０
を示すものである。Here, FIG. 1 shows a processing apparatus (hereinafter, referred to as a powder beam processing apparatus) 10 capable of performing processing by such a powder beam processing method.
It shows.
【００２１】この場合このパウダービーム加工装置１０
においては、エアコンプレッサ１１から出力された高圧
エアＡＩＲ1 を調節弁１２及び電磁弁１３を通した後分
流し、当該分流した一方の高圧エア（以下、これを第１
の分流高圧エアと呼ぶ）ＡＩＲ2 を第１の空気供給管１
４、混合タンク１５の下部に設けられた空気室１５Ａ及
びフィルタ１６を順次介して当該混合タンク１５の砥粒
貯蔵室１５Ｂ内に噴出させるようになされている。In this case, the powder beam processing apparatus 10
In the above, after the high-pressure air AIR 1 output from the air compressor 11 passes through the control valve 12 and the solenoid valve 13, the high-pressure air AIR 1 is divided, and the divided high-pressure air (hereinafter, referred to as the first
AIR 2 is connected to the first air supply pipe 1
4. The air is ejected into the abrasive grain storage chamber 15B of the mixing tank 15 through the air chamber 15A and the filter 16 provided in the lower part of the mixing tank 15 sequentially.
【００２２】このとき混合タンク１５の砥粒貯蔵室１５
Ｂ内には炭化珪素やアルミナ又はガラス等の平均粒径が
１〜20〔μｍ〕程度の砥粒１７が溜められており、かく
してこれが当該砥粒貯蔵室１５Ｂ内に噴出された第１の
分流高圧エアＡＩＲ2 によって吹き上げられる。At this time, the abrasive grain storage chamber 15 of the mixing tank 15
In B, abrasive grains 17 having an average particle size of about 1 to 20 [μm] such as silicon carbide, alumina, or glass are stored, and thus, the first diverted stream jetted into the abrasive grain storage chamber 15B It is blown up by the high-pressure air aIR 2.
【００２３】また分流された他方の高圧エア（以下、こ
れを第２の分流高圧エアと呼ぶ）ＡＩＲ3 は、調節弁１
８及び第２の空気供給管１９を順次介して送出管２０内
に噴出される。この結果送出管２０のうち、第２の空気
供給管１９との連結部２０Ａと、混合タンク１５の上部
とを連結する部分（以下、この部分を送出管２０の連結
部２０Ｂと呼ぶ）に第２の分流高圧エアＡＩＲ3 の空気
流による負圧が生じる。The other divided high-pressure air (hereinafter referred to as a second divided high-pressure air) AIR 3 is connected to the control valve 1.
The air is ejected into the delivery pipe 20 via the air supply pipe 8 and the second air supply pipe 19 in order. As a result, a portion (hereinafter, this portion is referred to as a connecting portion 20B of the delivery pipe 20) connecting the connecting portion 20A of the delivery pipe 20 and the upper portion of the mixing tank 15 to the upper portion of the mixing tank 15 is connected to the second connecting portion 20A. negative pressure by the air flow of the second shunt high pressure air aIR 3 occurs.
【００２４】そしてこの負圧によって、第１の分流高圧
エアＡＩＲ2 により吹き上げられて混合タンク１５の砥
粒貯蔵室１５Ｂ内において空気中に拡散された状態（固
気状態）の砥粒１７が送出管２０の連結部２０Ｂに吸い
込まれ、送出管２０の第２の空気供給管１９との連結部
２０Ａにおいて第２の分流高圧エアＡＩＲ3 とほぼ均一
に混合されて固気二相流ＡＩＲ4 が生成される。By this negative pressure, the abrasive grains 17 blown up by the first split high pressure air AIR 2 and diffused into the air (solid-air state) in the abrasive grain storage chamber 15B of the mixing tank 15 are sent out. is sucked into the connecting portion 20B of the tube 20, the second second diverted high pressure air aIR 3 and are substantially uniformly mixed solid-gas two-phase flow aIR 4 at connecting portions 20A of the air supply pipe 19 the delivery tube 20 Generated.
【００２５】さらにこの固気二相流ＡＩＲ4 は、この後
この送出管２０及びその先端部に取り付けられたノズル
２１を介して噴射室２２内のアーム２３の先端部に固定
されるようにしてセットされた被加工物２４の加工面に
所定の角度をもって吹きつけられる。Further, this solid-gas two-phase flow AIR 4 is thereafter fixed to the distal end of the arm 23 in the injection chamber 22 through the delivery pipe 20 and the nozzle 21 attached to the distal end thereof. It is sprayed onto the processing surface of the set workpiece 24 at a predetermined angle.
【００２６】このようにしてこのパウダービーム加工装
置１０においては、この固気二相流ＡＩＲ4 に含まれる
砥粒１７によって被加工物２４の加工面を削るようにし
てエッチング加工することができるようになされてい
る。[0026] In this powder beam processing apparatus 10 in this manner, so that it can be etched so as to cut the machined surface of the workpiece 24 by the abrasive grains 17 contained in the solid-gas two-phase flow AIR 4 Has been made.
【００２７】なおこのときアーム２３は、その先端部を
駆動部２５により前後左右方向（ｘ2 及びｙ2 方向）に
自在に移動させ得るようになされており、これにより被
加工物２４の加工面の全面に亘って固気二相流ＡＩＲ4
によるエッチング加工を行い得るようになされている。At this time, the arm 23 can be freely moved in the front-rear and left-right directions (x 2 and y 2 directions) by the drive unit 25, whereby the processing surface of the workpiece 24 is Air-solid two-phase flow AIR 4
Etching can be performed.
【００２８】一方被加工物２４の加工面に吹き付けるよ
うにして噴射室２２内に噴出された固気二相流ＡＩＲ4
はこの後搬送管２６、２７を介して混合タンク１５の上
部に一体に取り付けられた砥粒貯蔵タンク２８内に供給
される。On the other hand, a solid-gas two-phase flow AIR 4 jetted into the injection chamber 22 so as to be sprayed on the processing surface of the workpiece 24.
Thereafter, the abrasive is supplied to the abrasive storage tank 28 integrally attached to the upper part of the mixing tank 15 via the transfer pipes 26 and 27.
【００２９】そしてこの固気二相流ＡＩＲ4 に含まれて
いた砥粒１７がこの後砥粒貯蔵タンク２８内に溜められ
ると共に、固気二相流ＡＩＲ4 を形成していた高圧エア
が砥粒貯蔵タンク２８の上部に連結された排気管２９及
び電磁弁３０を介して排風機３１に与えられ、当該排風
機３１において濾過された後外部に排出される。The abrasive grains 17 contained in the solid-gas two-phase flow AIR 4 are thereafter stored in an abrasive grain storage tank 28, and the high-pressure air forming the solid-gas two-phase flow AIR 4 is removed by the abrasive. The air is supplied to an air blower 31 via an exhaust pipe 29 and an electromagnetic valve 30 connected to the upper part of the grain storage tank 28, and is filtered and then discharged to the outside.
【００３０】このとき砥粒貯蔵タンク２８には、当該砥
粒貯蔵タンク２８及び混合タンク１５の砥粒貯蔵室１５
Ｂ間を連通する連通口を塞ぐように、かつコイルばね３
２により上方向（ｚ2 方向）に付勢されるようにして供
給弁３３が配設されている。At this time, the abrasive grain storage tank 28 and the abrasive grain storage chamber 15 of the mixing tank 15 are stored in the abrasive grain storage tank 28.
B so as to close the communication port communicating between the coil springs B and the coil spring 3
The supply valve 33 is provided so as to be urged upward (z 2 direction) by the second valve 2.
【００３１】これによりパウダービーム加工装置１０に
おいては、所定量の砥粒１７が砥粒貯蔵タンク２８内に
蓄積された段階でその重みによって供給弁３３がコイル
ばね３２の弾性力に逆らって下方向に移動することによ
り砥粒貯蔵タンク２８内に溜められた砥粒１７を混合タ
ンク１５の砥粒貯蔵室１５Ｂに供給し得るようになされ
ている。Thus, in the powder beam processing apparatus 10, when a predetermined amount of the abrasive grains 17 is accumulated in the abrasive grain storage tank 28, the weight of the supply valve 33 causes the supply valve 33 to move downward against the elastic force of the coil spring 32. The abrasive grains 17 stored in the abrasive grain storage tank 28 can be supplied to the abrasive grain storage chamber 15B of the mixing tank 15 by moving to.
【００３２】かかる構成に加えこのパウダービーム加工
装置１０の場合、混合タンク１５の砥粒貯蔵室１５Ｂ内
にはモータ３４の回転出力に基づいて矢印ａ方向に回転
する撹拌部材３５が配設されている。In addition to this configuration, in the case of the powder beam processing apparatus 10, a stirring member 35 that rotates in the direction of arrow a based on the rotation output of the motor 34 is provided in the abrasive storage chamber 15B of the mixing tank 15. I have.
【００３３】これによりこのパウダービーム加工装置１
０においては、第１の分流高圧エアＡＩＲ2 により一時
的に吹き上げられた砥粒１７の固気状態を撹拌部材３５
の撹拌によって持続させることができ、かくして常に一
定量の砥粒１７を含む固気二相流ＡＩＲ4 を生成して、
当該固気二相流ＡＩＲ4 によって被加工物２４の加工面
を精度良く加工し得るようになされている。Thus, the powder beam processing apparatus 1
0, the solid-air state of the abrasive grains 17 temporarily blown up by the first branch high-pressure air AIR 2 is changed to the stirring member 35.
To produce a solid-gas two-phase flow AIR 4 that always contains a certain amount of abrasive grains 17,
The solid-gas two-phase flow AIR 4 enables the processing surface of the workpiece 24 to be processed with high precision.
【００３４】（２）インクジェットプリントヘッド４０
の構成 ここで図２及び図３は、本発明を適用して製造したイン
クジェットプリントヘッド４０を示すものであり、流路
板４１の一面４１Ａ側に圧電アクチュエータ４２が固着
されると共に、当該流路板４１の他面４１Ｂ側にノズル
プレート４３が貼着されることにより構成されている。(2) Inkjet print head 40
2 and 3 show an inkjet print head 40 manufactured by applying the present invention. A piezoelectric actuator 42 is fixed to one surface 41A of a flow path plate 41, and the flow path A nozzle plate 43 is attached to the other surface 41B side of the plate 41.
【００３５】この場合流路板４１の一面４１Ａには、矢
印ｘ3 方向に沿って所定ピッチで複数のインク貯蔵用の
凹部でなる圧力室４１Ｃが並設されている。そしてこれ
ら各圧力室４１Ｃには、図示しないインクカートリッジ
から流路板４１の一面４１Ａに設けられた凹部でなる共
通流路４１Ｄ及び対応するインク導入路４１Ｅを順次介
してインクを供給し得るようになされている。[0035] one surface 41A of the case flow path plate 41, the pressure chambers 41C formed of recesses for a plurality of ink storage at a predetermined pitch along the arrow x 3 direction are juxtaposed. An ink cartridge (not shown) can supply ink to each of these pressure chambers 41C via a common flow path 41D, which is a concave portion provided on one surface 41A of the flow path plate 41, and a corresponding ink introduction path 41E. It has been done.
【００３６】また各圧力室４１Ｃの前端部にはそれぞれ
流路板４１のその厚み方向（矢印ｚ3 方向）に貫通する
ように貫通路４１Ｆが穿設されており、ノズルプレート
４３にはこれら各貫通路４１Ｆとそれぞれ連通するよう
に矢印ｘ3 方向に沿って所定ピッチで複数の貫通孔でな
るノズル４３Ａが穿設されている。Further it is through passage 41F is drilled so as to penetrate in the thickness direction of each flow channel plate 41 at the front end of the pressure chambers 41C (arrow z 3 direction), each of these in the nozzle plate 43 nozzles 43A comprising a plurality of through holes at a predetermined pitch respectively through passages 41F along the arrow x 3 direction so as to communicate with are bored.
【００３７】一方圧電アクチュエータ４２は、可撓性材
料からなる振動板４４の一面上に当該振動板４４を介し
て流路板４１の対応する圧力室４１Ｃとそれぞれ対向す
るように複数のピエゾ素子等の圧電素子４５が矢印ｘ3
方向に沿って配設されることにより構成されており、振
動板４４の他面を流路板４１の一面４１Ａに貼着するよ
うにして当該流路板４１に固着されている。On the other hand, the piezoelectric actuator 42 has a plurality of piezoelectric elements or the like on one surface of a vibration plate 44 made of a flexible material so as to face the corresponding pressure chamber 41C of the flow path plate 41 via the vibration plate 44, respectively. The piezoelectric element 45 of arrow x 3
The diaphragm 44 is fixed to the flow path plate 41 such that the other surface of the vibration plate 44 is attached to one surface 41A of the flow path plate 41.
【００３８】このとき各圧電素子４５はそれぞれその厚
み方向（矢印ｚ3 方向）に分極されると共に、各圧電素
子４５の一面及び他面にはそれぞれ導電材料からなる上
部電極又は下部電極が形成されており、かくしてこれら
上部電極及び下部電極間に電位差を生じさせることによ
って、各圧電素子４５をそれぞれ個別にモノモルフ効果
により振動板４４を対応する圧力室４１Ｃの内側に変位
する方向（矢印ｚ3 方向と逆方向）に撓ませ得るように
なされている。[0038] At this time the piezoelectric elements 45 while being polarized in a thickness direction, respectively (arrow z 3 direction), one side and consisting each of a conductive material on the other side the upper electrode or the lower electrode of each piezoelectric element 45 is formed Thus, by generating a potential difference between the upper electrode and the lower electrode, each piezoelectric element 45 is individually displaced to the inside of the corresponding pressure chamber 41C by the monomorph effect in the direction (arrow z 3 direction). (In the direction opposite to the above).
【００３９】これによりこのインクジェットプリントヘ
ッド４０においては、圧電素子４５の上部電極及び下部
電極間に電位差を生じさせて振動板４４を対応する圧力
室４１Ｃの内側に変位させることによって、当該変位量
に応じた圧力をその圧力室４１Ｃ内に発生させることが
てき、この圧力によって当該圧力室４１Ｃ内のインクを
貫通路４１Ｆを介してノズルプレート４３の対応するノ
ズル４３Ａから外部に吐出させ得るようになされてい
る。Thus, in the ink jet print head 40, a potential difference is generated between the upper electrode and the lower electrode of the piezoelectric element 45 to displace the vibration plate 44 to the inside of the corresponding pressure chamber 41C. A corresponding pressure can be generated in the pressure chamber 41C, and the ink can be ejected from the corresponding nozzle 43A of the nozzle plate 43 to the outside through the passage 41F by the pressure. ing.
【００４０】かかる構成に加えこのインクジェットプリ
ントヘッド４０の場合、流路板４１の他面４１Ｂには、
図４に示すように、各貫通路４１Ｆを中心にして同心円
状に複数の凹部４１Ｇが所定ピッチで形成され、これら
各凹部４１Ｇ内に充填された接着剤４７によりノズルプ
レート４３がこの流路板４１の他面４１Ｂに貼着されて
いる。In addition to this configuration, in the case of the ink jet print head 40, the other surface 41B of the flow path plate 41 has
As shown in FIG. 4, a plurality of recesses 41G are formed concentrically at predetermined pitches around each through passage 41F, and the adhesive plate 47 filled in each of the recesses 41G causes the nozzle plate 43 to form the flow path plate. 41 is attached to the other surface 41B.
【００４１】実際上この流路板４１の他面４１Ｂにおい
ては、各凹部４１Ｇの形成されていない部分上に接着剤
４７からなる接着剤層を形成した後ノズルプレート４３
を押し付けることにより、各凹部４１Ｇが形成されてい
ない部分上の接着剤４７を各凹部４１Ｇに流れ込ませ、
これにより各貫通路４１Ｆ及びノズル４３Ａ内に溢れだ
す接着剤４７の量をコントロールして目詰まりを防止
し、かくして各圧力室４１Ｃ内のインクを外部に安定し
て吐出させることができるようになされている。In practice, on the other surface 41B of the flow path plate 41, an adhesive layer made of an adhesive 47 is formed on a portion where the concave portions 41G are not formed, and then the nozzle plate 43 is formed.
Is pressed, the adhesive 47 on the portion where the concave portions 41G are not formed flows into the concave portions 41G,
Thus, the amount of the adhesive 47 overflowing into each through passage 41F and the nozzle 43A is controlled to prevent clogging, and thus the ink in each pressure chamber 41C can be stably ejected to the outside. ing.
【００４２】因みにこの流路板４１の他面４１Ｂにおい
て、各凹部４１Ｇの面積は、これら各凹部４１Ｇが形成
されていない部分の面積とがほぼ等しくなるように選定
されており、これによりこれら各凹部４１Ｇが形成され
ていない部分上の接着剤４７を各凹部４１ＦＧ内に流れ
込ませることができる。Incidentally, on the other surface 41B of the flow path plate 41, the area of each concave portion 41G is selected so that the area of each of the concave portions 41G is not substantially equal to that of each of the concave portions 41G. The adhesive 47 on the portion where the concave portion 41G is not formed can flow into each concave portion 41FG.
【００４３】また各凹部４１Ｇが形成されていない部分
上に転写される接着剤４７は、その量が各凹部４１Ｇの
深さに応じてコントロールされており、これにより各凹
部４１Ｇが形成されていない部分上から各凹部４１Ｇ内
に流れ込む接着剤４７の量をほぼ正確にコントロールす
ることができる。The amount of the adhesive 47 transferred onto the portion where the concave portions 41G are not formed is controlled in accordance with the depth of each concave portion 41G, whereby the concave portions 41G are not formed. The amount of the adhesive 47 flowing into each recess 41G from above the portion can be controlled almost accurately.
【００４４】さらに流路板４１の他面４１Ｂにおいて、
各凹部４１Ｇの間に順次位置する当該凹部４１Ｇの形成
されていない部分のうち、各貫通路４１Ｆに最も近いこ
の凹部４１Ｇの形成されていない部分（以下、これを最
も内側の凹部４１Ｇの形成されていない部分と呼ぶ）の
幅をこれを除く他の凹部４１Ｇが形成されていない部分
の幅よりも小さく選定されている。Further, on the other surface 41B of the flow path plate 41,
Of the portions where the concave portions 41G are sequentially formed between the concave portions 41G and which are not formed, the portions where the concave portions 41G closest to the through paths 41F are not formed (hereinafter, the portions where the innermost concave portions 41G are formed). (Referred to as a portion that is not formed) is smaller than the width of a portion where the other concave portion 41G is not formed.
【００４５】これによりこの最も内側の凹部４１Ｇが形
成されていない部分上に転写される接着剤４７の量を他
の凹部４１Ｇが形成されていない部分上に形成される接
着際４７の量よりも少なくし、この結果ノズルプレート
４３の貼着時にこの最も内側の凹部４１Ｇが形成されて
いない部分上からこれよりも内側の貫通路４１Ｆにかか
る凹部４１Ｇ内に流れ込む接着剤４７を当該凹部４１Ｇ
の内周面に沿って充填させるようにコントロールするこ
とができ、かくしてこの貫通路４１Ｆにかかる凹部４１
Ｇ内の接着剤４７により当該貫通路４１Ｆ及び対応する
ノズル４３が目詰まりすることをさらに確実に防止する
ことができるようになされている。Thus, the amount of the adhesive 47 transferred onto the portion where the innermost concave portion 41G is not formed is larger than the amount of the adhesive 47 formed on the portion where the other concave portion 41G is not formed. As a result, when the nozzle plate 43 is adhered, the adhesive 47 flowing into the concave portion 41G on the inner side passage 41F from the portion where the innermost concave portion 41G is not formed is attached to the concave portion 41G.
Can be controlled to be filled along the inner peripheral surface of the through-hole 41F.
The adhesive 47 in the G can more reliably prevent the through passage 41F and the corresponding nozzle 43 from being clogged.
【００４６】そしてこのようにして流路板４１の他面４
１Ｂにノズルプレート４３を貼着した場合には、各凹部
４１Ｇが形成されていない部分上の接着剤４７を各凹部
４１Ｇ内に流れ込ませてこれら各凹部４１Ｇが形成され
ていない部分にこのノズルプレート４３を当接させ、こ
れにより当該流路板４１の他面４１Ｂに対してノズルプ
レート４３が傾くことを防止することができ、かくして
貫通路４１Ｆからノズル４３Ａを介して吐出されるイン
クの吐出方向を安定させることができる。Then, the other surface 4 of the flow path plate 41 is
In the case where the nozzle plate 43 is adhered to 1B, the adhesive 47 on the portion where the concave portions 41G are not formed flows into the concave portions 41G and the nozzle plate 43 is formed on the portions where the concave portions 41G are not formed. 43, thereby preventing the nozzle plate 43 from tilting with respect to the other surface 41B of the flow path plate 41. Thus, the discharge direction of the ink discharged from the through passage 41F through the nozzle 43A. Can be stabilized.
【００４７】（３）インクジェットプリントヘッド４０
の製造手順 ここで実際上このようなインクジェットプリントヘッド
４０は、図５（Ａ）〜図８（Ｄ）に示す以下の手順によ
り製造することができる。(3) Inkjet print head 40
Here, in practice, such an ink jet print head 40 can be manufactured by the following procedure shown in FIGS. 5A to 8D.
【００４８】すなわち、まず図５（Ａ）に示すように、
流路板４１の元となるガラス板５０の一面５０Ａ上にド
ライフィルム５１を被着する。次いで図５（Ｂ）に示す
ように、このドライフィルム５１を貫通路パターン用の
マスク５２を介して露光し、現像することにより、図５
（Ｃ）のようにこのドライフィルム５１に貫通路パター
ンに応じた開口部５１Ａを形成する。That is, first, as shown in FIG.
A dry film 51 is applied on one surface 50A of a glass plate 50 that is a base of the flow path plate 41. Next, as shown in FIG. 5B, the dry film 51 is exposed to light through a mask 52 for a through-passage pattern, and developed, whereby
An opening 51A is formed in the dry film 51 according to the through-path pattern as shown in FIG.
【００４９】続いて図５（Ｄ）に示すように、図１に示
すパウダービーム加工装置１０を用い、ドライフィルム
５１をレジストとしてガラス板５０の一面５０Ａをパウ
ダービーム加工法によりエッチング加工するようにし
て、当該ガラス板５０にこの後貫通路４１Ｆ（図２及び
図３）となる貫通孔５０Ｂを形成する。そしてこの後こ
のガラス板５０を洗浄するようにして当該ガラス板５０
の一面５０Ａからドライフィルム５１を除去する。Subsequently, as shown in FIG. 5 (D), the surface 50A of the glass plate 50 is etched by the powder beam processing method using the dry film 51 as a resist by using the powder beam processing apparatus 10 shown in FIG. Then, a through-hole 50B to be a through passage 41F (FIGS. 2 and 3) is formed in the glass plate 50. Thereafter, the glass plate 50 is cleaned so as to be washed.
The dry film 51 is removed from the one surface 50A.
【００５０】次いで図５（Ｅ）に示すように、このガラ
ス板５０の一面５０Ａ側に新たなドライフィルム５３を
被着し、この後図６（Ａ）に示すように、このドライフ
ィルム５３をインク流路パターン用のマスク５４を介し
て露光し、現像することにより、当該ドライフィルム５
３に図６（Ｂ）に示すような各圧力室４１Ｃ（図２及び
図３）、各インク導入路４１Ｅ（図２及び図３）及び各
共通流路４１Ｄ（図２及び図３）等のインク流路の形状
に応じた開口部５３Ａを形成する。Next, as shown in FIG. 5 (E), a new dry film 53 is applied to one surface 50A of the glass plate 50, and thereafter, as shown in FIG. The dry film 5 is exposed and developed through a mask 54 for an ink flow path pattern.
3 includes pressure chambers 41C (FIGS. 2 and 3), ink introduction paths 41E (FIGS. 2 and 3), and common flow paths 41D (FIGS. 2 and 3) as shown in FIG. 6B. An opening 53A corresponding to the shape of the ink flow path is formed.
【００５１】続いて図６（Ｃ）に示すように、図１に示
すパウダービーム加工装置１０を用い、ドライフィルム
５３をレジストとしてガラス板５０の一面５０Ａをパウ
ダービーム加工法によりエッチング加工するようにし
て、図６（Ｄ）のように当該ガラス板５０の一面５０Ａ
側にこの後各圧力室４１Ｃ、各インク導入路４１Ｅ及び
各共通流路４１Ｄ等となる凹部５０Ｃを形成する。そし
てこの後このガラス板５０を洗浄するようにして当該ガ
ラス板５０の一面５０Ａからドライフィルム５３を除去
する。Subsequently, as shown in FIG. 6C, the surface 50A of the glass plate 50 is etched by the powder beam processing method using the dry film 53 as a resist by using the powder beam processing apparatus 10 shown in FIG. As shown in FIG. 6D, one surface 50A of the glass plate 50 is used.
On the side, concave portions 50C to be each pressure chamber 41C, each ink introduction path 41E, each common flow path 41D, and the like are formed. Thereafter, the dry film 53 is removed from one surface 50A of the glass plate 50 by cleaning the glass plate 50.
【００５２】次いで図７（Ａ）に示すように、このガラ
ス板５０の他面５０Ｄ側にドライフィルム５５を被着
し、この後図７（Ｂ）に示すように、このドライフィル
ム５５を凹凸パターン用のマスク５６を介して露光し、
現像することにより、当該ドライフィルム５５に図７
（Ｃ）に示すような各貫通路４１Ｆ（図２及び図３）を
中心にした同心円状の複数の凹部４１Ｇに応じた開口部
５５Ａを所定ピッチで形成する。Next, as shown in FIG. 7A, a dry film 55 is applied to the other surface 50D side of the glass plate 50, and thereafter, as shown in FIG. Exposure through a pattern mask 56,
By developing, the dry film 55 shown in FIG.
Openings 55A corresponding to a plurality of concentric recesses 41G centered on each through passage 41F (FIGS. 2 and 3) as shown in FIG.
【００５３】続いて図７（Ｄ）に示すように、図１に示
すパウダービーム加工装置１０を用い、ドライフィルム
５５をレジストとしてガラス板５０の他面５０Ｅをパウ
ダービーム加工法によりエッチング加工するようにし
て、図７（Ｅ）のように当該ガラス板５０の他面５０Ｅ
側にこの後例えば３〔μｍ] 程度の深さの複数の凹部４
１Ｇとなる溝部５０Ｅを所定ピッチに形成する。Subsequently, as shown in FIG. 7D, the other surface 50E of the glass plate 50 is etched by the powder beam processing method using the dry film 55 as a resist by using the powder beam processing apparatus 10 shown in FIG. Then, the other surface 50E of the glass plate 50 as shown in FIG.
Then, a plurality of recesses 4 having a depth of, for example, about 3 μm
The grooves 50E to be 1G are formed at a predetermined pitch.
【００５４】そしてこの後ガラス板５０を洗浄するよう
にして当該ガラス板５０の他面５０Ｅからドライフィル
ム５５を除去する。この結果図８（Ａ）に示すような圧
力室４１Ｃ及び凹部４１Ｇ等が一体に形成されてなる流
路板４１が形成される。Thereafter, the dry film 55 is removed from the other surface 50E of the glass plate 50 by washing the glass plate 50. As a result, as shown in FIG. 8A, a flow path plate 41 in which the pressure chamber 41C and the recess 41G are integrally formed is formed.
【００５５】次いで図８（Ｂ）に示すように、例えば転
写法によりこの流路板４１の他面４１Ｂの各凹部４１Ｇ
が形成されていない部分上に接着剤４７を転写するよう
にして例えば３〔μｍ] 程度の厚さの接着剤層を形成す
る。この後図８（Ｃ）に示すように、この流路板４１の
他面４１Ｂに対して、この流路板４１とは別工程により
電鋳法を用いて形成されたニッケルでなるノズルプレー
ト４３を位置決めし、この状態においてこの流路板４１
の他面４１Ｂにノズルプレート４３を所定圧力で押し付
ける。Next, as shown in FIG. 8B, each recess 41G of the other surface 41B of the flow path plate 41 is formed by, for example, a transfer method.
An adhesive layer having a thickness of, for example, about 3 [μm] is formed so as to transfer the adhesive 47 onto a portion where no is formed. Thereafter, as shown in FIG. 8C, a nozzle plate 43 made of nickel formed by electroforming in a separate step from the flow path plate 41 is formed on the other surface 41B of the flow path plate 41. And in this state, the flow path plate 41
The nozzle plate 43 is pressed against the other surface 41B at a predetermined pressure.
【００５６】この結果流路板４１の他面４１Ｂの各凹部
４１Ｇが形成されていない部分上の接着剤４７がノズル
プレート４３に押されて各凹部４１Ｇ内に流れ込み、こ
のようにして各凹部４１Ｇ内に充填された接着剤４７を
所定温度で加熱硬化させることにより、かくしてこれら
各凹部４１Ｇ内の接着剤４７により流路板４１の他面４
１Ｂにノズルプレート４３を貼着することができる。As a result, the adhesive 47 on the portion of the other surface 41B of the flow path plate 41 where the recesses 41G are not formed is pushed by the nozzle plate 43 and flows into the recesses 41G. By heating and curing the adhesive 47 filled in the inside at a predetermined temperature, the adhesive 47 in each of the recesses 41G thus causes the other surface 4 of the flow path plate 41 to be hardened.
The nozzle plate 43 can be attached to 1B.
【００５７】続いて図８（Ｄ）に示すように、この流路
板４１の一面４１Ａ側にこの流路板４１及びノズルプレ
ート４３とは別工程で形成された振動板４４及び複数の
圧電素子４５からなる圧電アクチュエータ４２を位置決
めして固着する。これにより図２及び図３に示すインク
ジェットプリントヘッド４０を得ることができる。Subsequently, as shown in FIG. 8D, a vibration plate 44 and a plurality of piezoelectric elements formed on the one surface 41A side of the flow path plate 41 in a process different from the flow path plate 41 and the nozzle plate 43 are formed. The piezoelectric actuator 42 composed of 45 is positioned and fixed. Thus, the ink jet print head 40 shown in FIGS. 2 and 3 can be obtained.
【００５８】（４）本実施の形態の動作及び効果 以上の構成において、ガラス板５０の一面５０Ａ側に貫
通孔５０Ｂ等を形成すると共に、他面５０Ｄ側にこれら
各貫通路４１Ｆを中心にして同心円状に複数の凹部４１
Ｇを所定ピッチで形成するようにして流路板４１を作製
し、当該作成した流路板４１の他面４１Ｂの各凹部４１
Ｇが形成されていない部分上に接着剤４７を転写した
後、この他面４１Ｂに別工程で作製したノズルプレート
４３を押し付け、かくしてこの接着剤４７により流路板
４１の他面４１Ｂにノズルプレート４３を貼着するよう
にしてインクジェットプリントヘッド４０を製造する。(4) Operation and Effect of the Present Embodiment In the above configuration, a through hole 50B and the like are formed on one surface 50A of the glass plate 50, and the through holes 41F are centered on the other surface 50D. A plurality of concave portions 41 concentrically
G is formed at a predetermined pitch to produce the flow path plate 41, and each recess 41 on the other surface 41 B of the flow path plate 41 thus prepared.
After transferring the adhesive 47 onto the portion where the G is not formed, the nozzle plate 43 manufactured in another process is pressed against the other surface 41B, and the nozzle plate 43 is thus pressed onto the other surface 41B of the flow path plate 41 by the adhesive 47. The ink jet print head 40 is manufactured so that the ink jet print head 43 is attached.
【００５９】この場合このインクジェットプリントヘッ
ド４０の製造方法によれば、流路板４１の他面４１Ｂに
ノズルプレート４３を押し付けた際、当該他面４１Ｂの
各凹部４１Ｇが形成されていない部分上の接着剤４７を
これら各凹部４１Ｇ内に流れ込ませ、この結果各貫通路
４１Ｆ及びノズル４３Ａ内に溢れだす接着剤４７の量を
コントロールして当該流路板４１の他面４１Ｂに各凹部
４１Ｇ内の接着剤４７によりこのノズルプレート４３を
貼着することができる。In this case, according to the method of manufacturing the ink jet print head 40, when the nozzle plate 43 is pressed against the other surface 41B of the flow path plate 41, the portion of the other surface 41B where the concave portions 41G are not formed is formed. The adhesive 47 is caused to flow into each of the recesses 41G, and as a result, the amount of the adhesive 47 that overflows into each of the through passages 41F and the nozzle 43A is controlled, and the other surface 41B of the flow path plate 41 is filled with the adhesive 47 in each of the recesses 41G. The nozzle plate 43 can be attached by the adhesive 47.
【００６０】またこの際流路板４１の他面４１Ｂにおい
て、最も内側の凹部４１Ｇが形成されていない部分の幅
をこれを除く他の凹部４１Ｇが形成されていない部分の
幅よりも小さく選定する分、当該最も内側の凹部４１Ｇ
の形成されていない部分上の接着剤４７の量と共にこの
最も内側の凹部４１Ｇの形成されていない部分上から貫
通路４１Ｆにかかる凹部４１Ｇ内に流れ込む接着剤４７
の量を少なくすることができ、かくしてこの貫通路４１
Ｆ及び対応するノズル４３の目詰まりをさらに確実に防
止することができる。At this time, in the other surface 41B of the flow path plate 41, the width of the portion where the innermost recess 41G is not formed is selected to be smaller than the width of the other portion where the recess 41G is not formed. Minute, the innermost recess 41G
Along with the amount of the adhesive 47 on the portion where no is formed, the adhesive 47 flowing into the concave portion 41G on the through passage 41F from the portion where the innermost concave portion 41G is not formed.
And thus the amount of the through-hole 41 can be reduced.
Clogging of F and the corresponding nozzle 43 can be more reliably prevented.
【００６１】従ってこのようなインクジェットプリント
ヘッド４０の製造方法によって製造されたインクジェッ
トプリントヘッド４０では、流路板４１の各圧力室４１
Ｃ内のインクを外部に安定して吐出することができる。Accordingly, in the ink jet print head 40 manufactured by such a method of manufacturing the ink jet print head 40, each pressure chamber 41 of the flow path plate 41 is provided.
The ink in C can be stably ejected to the outside.
【００６２】因みにこのようなインクジェットプリント
ヘッド４０の製造方法によれば、流路板４１を作製する
際にパウダービーム加工法を用いることから、当該流路
板４１の一面４１Ａ側の貫通路４１Ｆ等のインク流路及
び他面４１Ｂ側の凹部４１Ｇの加工を微細にかつ高精度
に行うことができる。According to the manufacturing method of the ink jet print head 40, since the powder beam processing method is used for manufacturing the flow path plate 41, the through-passage 41F on the one surface 41A side of the flow path plate 41 and the like are used. Of the ink flow path and the concave portion 41G on the other surface 41B side can be finely and accurately performed.
【００６３】ところでこのような加工を行うもう１つの
方法として、サンドブラスト加工法を用いることが考え
られる。ここでサンドブラスト加工法とは、粒径25〜10
0 〔μｍ〕程度の砥粒を被加工物の加工面に吹き付け、
当該砥粒によって被加工物の加工面を削るようにしてエ
ッチングする加工法をいう。As another method for performing such processing, it is conceivable to use a sandblasting method. Here, the sandblasting method refers to a particle size of 25 to 10
0 [μm] abrasive particles are sprayed on the processing surface of the workpiece,
It refers to a processing method in which etching is performed such that the processing surface of a workpiece is cut by the abrasive grains.
【００６４】しかしながらサンドブラスト加工法は、使
用する砥粒の粒径が大きく、また加工時の砥粒の噴射量
をコントロールすることができないために加工精度が悪
い問題がある。またサンドブラスト加工法では、使用す
る砥粒の３倍程度の寸法までしか微細加工を行えない。
このため加工時にサンドブラスト加工法を用いると、当
該加工を微細かつ高精度に行い得ない問題がある。However, the sandblasting method has a problem in that the processing accuracy is poor because the grain size of the abrasive grains used is large and the injection amount of the abrasive grains during processing cannot be controlled. In the sandblasting method, fine processing can be performed only up to about three times the size of the abrasive grains used.
For this reason, if the sandblasting method is used at the time of processing, there is a problem that the processing cannot be performed finely and with high accuracy.
【００６５】この点に関して本実施の形態によれば、上
述のような流路板４１の貫通路４１Ｆ等のインク流路部
分及び凹部４１Ｇを形成するための加工法としてパウダ
ービーム加工法を用いることにより、例えばノズル４３
Ａの狭ピッチ化に伴って流路板４１の貫通路４１Ｆの狭
ピッチ化が進んだ場合や、流路板４１の外形が複雑な場
合にも実用上十分に対応し得る利点がある。In this regard, according to the present embodiment, the powder beam processing method is used as a processing method for forming the ink flow path portion such as the through-passage 41F of the flow path plate 41 and the concave portion 41G as described above. Thus, for example, the nozzle 43
There is an advantage that it is practically sufficient to cope with the case where the pitch of the through-passage 41F of the flow path plate 41 is narrowed with the pitch of A, or the case where the outer shape of the flow path plate 41 is complicated.
【００６６】以上の構成によれば、流路板４１の他面４
１Ｂに各貫通路４１Ｆを中心にして同心円状に複数の凹
部４１Ｇを所定ピッチに形成し、これら各凹部４１Ｇが
形成されていない部分上に接着剤４７を転写した後、当
該他面４１Ｂにノズルプレート４３を押し付けるように
してこの流路板４１の他面４１Ｂにノズルプレート４３
を貼着するようにしたことにより、接着剤４７による貫
通路４１及びノズル４３Ａの目詰まりをほぼ確実に防止
することができ、かくして印画画像の画質の劣化を防止
し得るインクジェットプリントヘッド及びその製造方法
を実現することができる。According to the above configuration, the other surface 4 of the flow path plate 41
1B, a plurality of recesses 41G are formed concentrically around the respective through paths 41F at a predetermined pitch, and the adhesive 47 is transferred onto a portion where each of the recesses 41G is not formed. The nozzle plate 43 is attached to the other surface 41B of the flow path plate 41 by pressing the plate 43.
Is applied, clogging of the through passage 41 and the nozzle 43A by the adhesive 47 can be almost surely prevented, and thus, an ink jet print head capable of preventing deterioration of image quality of a printed image and manufacturing thereof. The method can be realized.
【００６７】（４）他の実施の形態 なお上述の実施の形態においては、流路板４１の他面４
１Ｂに各貫通路４１Ｆを中心にして同心円状に複数の凹
部４１Ｇを所定ピッチに形成し、これら各凹部４１Ｇ内
の接着剤４７により当該流路板４１の他面４１Ｂにノズ
ルプレート４３を貼着するようにした場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、例えば図４との対応部分
に同一符号を付して示す図９のように、流路板７０の他
面７０Ａに対するノズルプレート７１の対向する面（以
下、これを単に対向する面と呼ぶ）７１Ａに各貫通路７
０Ｂを中心にして同心円状に複数の凹部７１Ｂを所定ピ
ッチに形成し、これら各凹部７１Ｂ内の接着剤４７によ
り流路板７０の他面７０Ａにノズルプレート７１を貼着
したり、又は図４との対応部分に同一符号を付して示す
図１０のように、流路板８０の他面８０Ａとノズルプレ
ート８１の対向する面８１Ａとにそれぞれ各貫通路８０
Ｂを中心にして同心円状に複数の凹部８０Ｃ及び８１Ｂ
を所定ピッチに形成し、これら各凹部８０Ｃ及び８１Ｂ
内の接着剤４７により当該流路板８０の他面８０Ａにノ
ズルプレート８１を貼着することもできる。(4) Other Embodiments In the above embodiment, the other surface 4 of the flow path plate 41
A plurality of recesses 41G are formed concentrically with a predetermined pitch around each through passage 41F in 1B at a predetermined pitch, and a nozzle plate 43 is attached to the other surface 41B of the flow path plate 41 by an adhesive 47 in each of the recesses 41G. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 9 where parts corresponding to those in FIG. Each of the through-paths 7 is provided on an opposing surface 71A (hereinafter simply referred to as an opposing surface) 71A.
A plurality of recesses 71B are formed concentrically at a predetermined pitch around 0B, and the nozzle plate 71 is adhered to the other surface 70A of the flow path plate 70 by the adhesive 47 in each of the recesses 71B, or FIG. As shown in FIG. 10 in which the same reference numerals are given to the corresponding portions of the flow path plate 80, the through surface 80 </ b> A
A plurality of recesses 80C and 81B concentrically around B
Are formed at a predetermined pitch, and these concave portions 80C and 81B are formed.
The nozzle plate 81 can be attached to the other surface 80A of the flow path plate 80 by the adhesive 47 inside.
【００６８】因みにノズルプレート７１及び８１の一面
７１Ａ及び８１Ａに凹部７１Ｂ、８１Ｂ又は凸部を形成
する場合には、電鋳法により貫通孔でなるノズル及び凹
部７１Ｂ、８１Ｂ又は凸部を有するようにノズルプレー
ト７１及び８１を一体形成したり、又は電鋳法によって
貫通孔でなるノズルを有するようにノズルプレート７１
及び８１を形成した後、その対向する面７１Ａ及び８１
Ａに例えばパウダービーム加工法によって凹部７１Ｂ、
８１Ｂ又は凸部を形成するようにしても良い。When the concave portions 71B, 81B or the convex portions are formed on the surfaces 71A and 81A of the nozzle plates 71 and 81, the nozzles having the through holes and the concave portions 71B, 81B or the convex portions are formed by electroforming. The nozzle plates 71 and 81 may be integrally formed, or the nozzle plate 71 may be formed by electroforming to have a nozzle having a through hole.
And 81 are formed, and the opposing surfaces 71A and 81A are formed.
A, for example, a concave portion 71B by a powder beam processing method,
81B or a convex portion may be formed.
【００６９】また上述の実施の形態においては、流路板
４１の他面４１Ｂに貫通路４１Ｆを中心して同心円状に
複数の凹部４１Ｇを所定ピッチに形成するようにした場
合について述べたが、本発明はこれに限らず、流路板４
１の他面４１Ｂ及び又はノズルプレート４３の対向する
面にこの他種々のパターンに凹部又は凸部を形成するよ
うにしても良い。In the above-described embodiment, a case has been described in which a plurality of recesses 41G are formed concentrically at a predetermined pitch around the through passage 41F in the other surface 41B of the flow path plate 41. The invention is not limited to this.
A concave portion or a convex portion may be formed in other various patterns on the other surface 41B and / or the opposite surface of the nozzle plate 43.
【００７０】さらに上述の実施の形態においては、流路
板４１の他面４１Ｂにノズルプレート４３を貼着した
後、この流路板４１の一面４１Ａに圧電アクチュエータ
４２を固着するようにした場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、流路板４１の一面４１Ａに圧電アク
チュエータ４２を固着した後、この流路板４１の他面４
１Ｂにノズルプレート４３を貼着するようにしても良
い。Further, in the above-described embodiment, after the nozzle plate 43 is adhered to the other surface 41B of the flow path plate 41, the piezoelectric actuator 42 is fixed to one surface 41A of the flow path plate 41. As described above, the present invention is not limited to this. After the piezoelectric actuator 42 is fixed to one surface 41A of the flow path plate 41, the other surface 4
The nozzle plate 43 may be attached to 1B.
【００７１】さらに上述の実施の形態においては、本発
明をインクジェットプリントヘッド４０に適用するよう
にした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
例えば発熱素子によりインクを加熱沸騰させ、かくして
発生した泡の圧力でインクを外部に吐出させるいわゆる
バブルジェット方式のプリントヘッドや、他のプリント
ヘッドに広く適用することができる。Further, in the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to the ink jet print head 40 has been described. However, the present invention is not limited to this.
For example, the present invention can be widely applied to a so-called bubble jet type print head in which ink is heated and boiled by a heating element, and the ink is ejected to the outside by the pressure of the generated bubbles, and other print heads.
【００７２】さらに上述の実施の形態においては、ガラ
ス板５０をエッチング加工するようにして流路板４１を
形成するようにした場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、流路板４１の材料としては、ガラス材以外
のインク耐久性を有する例えばセラミックや、ステンレ
ス等の金属材又はアクリル等の樹脂材を適用することが
できる。Further, in the above-described embodiment, the case has been described in which the flow path plate 41 is formed by etching the glass plate 50. However, the present invention is not limited to this. As a material for the above, for example, a ceramic material having ink durability other than a glass material, a metal material such as stainless steel, or a resin material such as acryl can be used.
【００７３】さらに上述の実施の形態においては、電鋳
法によりニッケルでなるノズルプレート４３を作製する
ようにした場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、ノズルプレート４３は、通常、貫通路４１Ｆ側でイ
ンクと馴染み、かつノズル４３Ａの外側では吐出したイ
ンクの切れを良くするために、流路板４１と対向する面
側に親水処理が施され、かつこの対向する面の裏面側に
撥水処理が施されており、従ってノズルプレート４３の
材料としては、ニッケル以外の親水処理及び撥水処理を
施すことのできるステンレス等の金属材や、ボリイミド
樹脂等の樹脂材又はガラス材等を適用することができ
る。Further, in the above-described embodiment, the case where the nozzle plate 43 made of nickel is manufactured by the electroforming method has been described. However, the present invention is not limited to this. In order to be familiar with the ink on the side of the path 41F and to improve the cut of the ejected ink outside the nozzle 43A, a hydrophilic treatment is performed on a surface side facing the flow path plate 41, and on a back surface side of the facing surface. The nozzle plate 43 is made of a metal material such as stainless steel that can be subjected to a hydrophilic treatment and a water-repellent treatment other than nickel, a resin material such as polyimide resin, a glass material, or the like. Can be applied.
【００７４】[0074]
【発明の効果】上述のように本発明によれば、プリント
ヘッドにおいて、流路板の他面及び又はノズルプレート
の対向する面に所定パターンに所定パターンの凹部又は
凸部を形成するようにしたことにより、流路板の他面及
び又はノズルプレートの対向する面の凸部又は凹部が形
成されていない部分上に接着剤からなる接着剤層を形成
した後、当該流路板の他面にノズルプレートの対向する
面を押し付けた際に接着剤を凹部内又は凸部が形成され
ていな部分内に流れ込ませ、これにより貫通路及びノズ
ル内に溢れだす接着剤の量をコントロールしてこれら貫
通路及びノズルが目詰まりすることをほぼ確実に防止す
ることができ、かくして印画画像の画質の劣化を防止し
得るプリントヘッドを実現することができる。As described above, according to the present invention, in the print head, concave portions or convex portions of a predetermined pattern are formed in a predetermined pattern on the other surface of the flow path plate and / or the opposite surface of the nozzle plate. Thereby, after forming an adhesive layer made of an adhesive on the other surface of the flow path plate and / or a portion where the convex portion or the concave portion of the opposing surface of the nozzle plate is not formed, on the other surface of the flow path plate When the opposing surface of the nozzle plate is pressed, the adhesive flows into the concave portion or the portion where the convex portion is not formed, thereby controlling the amount of the adhesive overflowing into the through passage and the nozzle and controlling the amount of the adhesive flowing through the nozzle plate. Clogging of the path and the nozzles can be almost certainly prevented, and thus a print head that can prevent deterioration of the quality of a printed image can be realized.
【００７５】またプリントヘッドの製造方法において、
流路板の他面及び又はノズルプレートの対向する面に所
定パターンに所定パターンの凹部又は凸部を形成する第
１の工程と、流路板の他面及び又はノズルプレートの対
向する面の凸部又は凹部が形成されていない部分上に接
着剤からなる接着剤層を形成する第２のステップと、流
路板の他面にノズルプレートの対向する面を位置決めし
て押し付けるようにして流路板の他面にノズルプレート
の対向する面を貼着する第３の工程とを設けるようにし
たことにより、流路板の他面にノズルプレートの対向す
る面を押し付けた際に接着剤を凹部内又は凸部が形成さ
れていない部分内に流れ込ませ、これにより貫通路及び
ノズル内に溢れだす接着剤の量をコントロールしてこれ
ら貫通路及びノズルが目詰まりすることをほぼ確実に防
止することができ、かくして印画画像の画質の劣化を防
止し得るプリントヘッドの製造方法を実現することがで
きる。In the method of manufacturing a print head,
A first step of forming a concave or convex portion of a predetermined pattern in a predetermined pattern on the other surface of the flow channel plate and / or the opposing surface of the nozzle plate; A second step of forming an adhesive layer made of an adhesive on a portion where a portion or a concave portion is not formed, and positioning and pressing the opposite surface of the nozzle plate against the other surface of the flow channel plate to form a flow channel. A third step of attaching the opposing surface of the nozzle plate to the other surface of the plate, so that the adhesive is recessed when the opposing surface of the nozzle plate is pressed against the other surface of the flow path plate. To control the amount of adhesive that overflows into the through-passage and the nozzle, thereby almost completely preventing the through-passage and the nozzle from being clogged. Can Thus it is possible to realize a method of manufacturing a printhead capable of preventing deterioration of the image quality of the printed image.
【図１】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの製造時に用いるパウダービーム加工装置の構成を
示す略線的断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing a configuration of a powder beam processing apparatus used in manufacturing an ink jet print head according to the present embodiment.
【図２】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの構成を一部断面をとって示す略線的斜視図であ
る。FIG. 2 is a schematic perspective view showing a partial cross section of the configuration of the ink jet print head according to the present embodiment.
【図３】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの構成を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an inkjet print head according to the present embodiment.
【図４】本実施の形態による流路板とノズルプレートの
貼着の説明に供する断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the attachment of the flow path plate and the nozzle plate according to the present embodiment.
【図５】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの製造手順を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a procedure for manufacturing the inkjet print head according to the embodiment.
【図６】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの製造手順を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a procedure for manufacturing the inkjet print head according to the embodiment.
【図７】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの製造手順を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a procedure for manufacturing the inkjet print head according to the embodiment.
【図８】本実施の形態によるインクジェットプリントヘ
ッドの製造手順を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a procedure for manufacturing the inkjet print head according to the embodiment.
【図９】他の実施の形態による流路板とノズルプレート
との貼着の説明に供する断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view for explaining the attachment of a flow path plate and a nozzle plate according to another embodiment.
【図１０】他の実施の形態による流路板とノズルプレー
トとの貼着の説明に供する断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view for explaining the attachment of a flow path plate and a nozzle plate according to another embodiment.
【図１１】従来のインクジェットプリントヘッドの構成
を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a conventional inkjet print head.
【図１２】従来の流路板とノズルプレートとの貼着の説
明に供する断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view for explaining a conventional attachment of a flow path plate and a nozzle plate.
４０……インクジェットプリントヘッド、４１、７０、
８０……流路板、４１Ｂ、７０Ａ、８０Ａ……他面、４
１Ｃ……圧力室、４１Ｆ、７０Ｂ、８０Ｂ……貫通路、
４１Ｇ、８０Ｃ、７１Ｂ、８１Ｂ……凹部、４３、７
１、８１……ノズルプレート、４３Ａ……ノズル、７１
Ａ、８１Ａ……対向する面。40 ink jet print head, 41, 70,
80 ... channel plate, 41B, 70A, 80A ... other surface, 4
1C: pressure chamber, 41F, 70B, 80B: through passage,
41G, 80C, 71B, 81B ... recesses, 43, 7
1, 81 ... nozzle plate, 43A ... nozzle 71
A, 81A ... Opposing surfaces.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野寺 由弘 宮城県登米郡中田町宝江新井田字加賀野境 30番地ソニー・プレジション・マグネ株式 会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF24 AF93 AG12 AG44 AP02 AP13 AP25 AP31 AQ01 BA04 BA14 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Yoshihiro Onodera 30 No. Kagano Sakai, Takara Niida, Nakata-cho, Tome-gun, Miyagi Pref. BA14
Claims (6)
が設けられ、当該圧力室から他面側に貫通する貫通路が
穿設された流路板と、当該流路板の上記貫通路に対応さ
せて貫通孔でなるノズルが穿設され、当該ノズルが上記
貫通路と連通するように上記流路板の上記他面に接着剤
を用いて貼着されたノズルプレートとを有するプリント
ヘッドにおいて、 上記流路板の上記他面及び又は上記ノズルプレートの対
向する面に所定パターンに所定パターンの凹部又は凸部
が形成されたことを特徴とするプリントヘッド。A pressure plate formed of a concave portion on one surface side for storing ink; a flow path plate having a through-hole penetrating therethrough from the pressure chamber to the other surface side; A print having a nozzle plate formed with a through-hole corresponding to the path and having a nozzle plate adhered to the other surface of the flow path plate using an adhesive so that the nozzle communicates with the through-path; A print head, wherein a concave portion or a convex portion of a predetermined pattern is formed in a predetermined pattern on the other surface of the flow path plate and / or the surface facing the nozzle plate.
プレートの上記対向する面には、 上記凹部又は凸部の面積と、当該凹部又は凸部が形成さ
れていない部分の面積とがほぼ等しくなるように当該凹
部又は凸部が形成されたことを特徴とする請求項１に記
載のプリントヘッド。2. The area of the concave portion or the convex portion and the area of the portion where the concave portion or the convex portion is not formed on the other surface of the flow path plate and / or the opposed surface of the nozzle plate. The print head according to claim 1, wherein the concave portion or the convex portion is formed so as to be substantially equal.
プレートの上記対向する面には、 貫通路に最も近い凸部又は上記凹部が形成されていない
部分の幅が当該凸部又は上記凹部が形成されていない部
分を除く他の凸部又は上記凹部が形成されていない部分
の幅よりも小さく選定されたことを特徴とする請求項１
に記載のプリントヘッド。3. The other surface of the flow path plate and / or the opposing surface of the nozzle plate have a width of a portion where the convex portion or the concave portion closest to a through passage is not formed, the width of the convex portion or the width of the portion. 2. The method according to claim 1, wherein the width is selected to be smaller than the width of the other protrusions other than the portion where the recess is not formed or the width of the portion where the recess is not formed.
The print head according to 1.
が設けられ、当該圧力室から他面側に貫通する貫通路が
穿設された流路板と、当該流路板の上記貫通路に対応さ
せて貫通孔でなるノズルが穿設され、当該ノズルが上記
貫通路と連通するように上記流路板の上記他面に接着剤
を用いて貼着されたノズルプレートとを有するプリント
ヘッドの製造方法において、 上記流路板の上記他面及び又は上記ノズルプレートの対
向する面に所定パターンに所定パターンの凹部又は凸部
を形成する第１の工程と、 上記流路板の上記他面及び又は上記ノズルプレートの上
記対向する面の上記凸部又は上記凹部が形成されていな
い部分上に上記接着剤からなる接着剤層を形成する第２
のステップと、 上記流路板の上記他面に上記ノズルプレートの上記対向
する面を位置決めして押し付けるようにして上記流路板
の上記他面に上記ノズルプレートの上記対向する面を貼
着する第３の工程とを具えることを特徴とするプリント
ヘッドの製造方法。4. A flow path plate provided with an ink storage pressure chamber formed of a concave portion on one surface side, and a through-passage penetrating from the pressure chamber to the other surface side; A print having a nozzle plate formed with a through-hole corresponding to the path and having a nozzle plate adhered to the other surface of the flow path plate using an adhesive so that the nozzle communicates with the through-path; In the method for manufacturing a head, a first step of forming a concave portion or a convex portion of a predetermined pattern in a predetermined pattern on the other surface of the flow path plate and / or the opposite surface of the nozzle plate; A second step of forming an adhesive layer made of the adhesive on a surface and / or a portion of the opposed surface of the nozzle plate on which the convex portion or the concave portion is not formed.
And adhering the opposing surface of the nozzle plate to the other surface of the flow path plate such that the opposing surface of the nozzle plate is positioned and pressed against the other surface of the flow path plate. A method of manufacturing a print head, comprising: a third step.
記対向する面に、上記凹部又は凸部の面積と、当該凹部
又は凸部が形成されていない部分の面積とがほぼ等しく
なるように当該凹部又は凸部を形成することを特徴とす
る請求項４に記載のプリントヘッドの製造方法。5. In the first step, the area of the concave portion or the convex portion and the concave portion or the convex portion are formed on the other surface of the flow path plate and / or the opposed surface of the nozzle plate. 5. The method according to claim 4, wherein the concave portion or the convex portion is formed such that the area of the non-existent portion is substantially equal.
記対向する面に、貫通路に最も近い凸部又は上記凹部が
形成されていない部分の幅が当該凸部又は上記凹部が形
成されていない部分を除く他の凸部又は上記凹部が形成
されていない部分の幅よりも小さくなるように、上記凹
部又は凸部を形成することを特徴とする請求項４に記載
のプリントヘッドの製造方法。6. The first step, wherein the other surface of the flow path plate and / or the facing surface of the nozzle plate has a width of a portion where a convex portion or a concave portion closest to a through-passage is not formed. The concave portion or the convex portion is formed such that the width is smaller than the width of another convex portion or the portion where the concave portion is not formed except for the portion where the convex portion or the concave portion is not formed. A method for manufacturing a print head according to claim 4.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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-
1998
- 1998-10-20 JP JP29891798A patent/JP2000117977A/en active Pending
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