JP2000114317A - 回路板 - Google Patents

回路板

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JP2000114317A
JP2000114317A JP10277392A JP27739298A JP2000114317A JP 2000114317 A JP2000114317 A JP 2000114317A JP 10277392 A JP10277392 A JP 10277392A JP 27739298 A JP27739298 A JP 27739298A JP 2000114317 A JP2000114317 A JP 2000114317A
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Akira Nagai
朗 永井
Itsuo Watanabe
伊津夫 渡辺
Satoru Ota
悟 太田
Kenzo Takemura
賢三 竹村
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Abstract

(57)【要約】 【課題】接続部での接続抵抗の増大や接着剤の剥離がな
く、接続信頼性が大幅に向上する回路板を提供する。 【解決手段】接着樹脂組成物が少なくとも三次元架橋性
樹脂及び吸水率0.01〜0.2重量%、かつガラス転
移温度80℃〜150℃の熱可塑性樹脂を含むことを特
徴とする接着剤を用いて接着フィルムを作製した。接着
フィルムをNi/AuめっきCu回路プリント基板に貼
り付け、接着フィルム側にチップを対向し、チップのバ
ンプとNi/AuめっきCu回路プリント基板の位置合
わせを行い、加熱、加圧を行い接続を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばフリップチ
ップ実装方式により半導体チップを基板と接着剤で接着
固定すると共に、両者の電極同士を電気的に接続する回
路板に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体実装分野では、低コスト化・高精
細化に対応した新しい実装形態としてICチップを直接
プリント基板やフレキシブル配線板に搭載するフリップ
チップ実装が注目されている。フリップチップ実装方式
としては、チップの端子にはんだバンプを設け、はんだ
接続を行う方式や導電性接着剤を介して電気的接続を行
う方式が知られている。これらの方式では、接続するチ
ップと基板の熱膨張係数差に基づくストレスが、各種環
境に曝した場合、接続界面で発生し接続信頼性が低下す
るという問題がある。このため、接続界面のストレスを
緩和する目的で一般にエポキシ樹脂系のアンダフィル材
をチップ/基板の間隙に注入する方式が検討されてい
る。しかし、このアンダフィル注入工程は、プロセスを
煩雑化し、生産性、コストの面で不利になるという問題
がある。このような問題を解決すべく最近では、異方導
電性と封止機能を有する異方導電性接着剤を用いたフリ
ップチップ実装が、プロセス簡易性という観点から注目
されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】チップを異方導電材を
介して基板に搭載する場合、吸湿条件下では接着剤とチ
ップまたは接着剤と基板界面の接着力が低下し、さら
に、温度サイクル条件下ではチップと基板の熱膨張係数
差に基づくストレスが接続部において生じることによっ
て、熱衝撃試験、PCT試験、高温高湿試験等の信頼性
試験を行うと接続抵抗の増大や接着剤の剥離が生じると
いう問題がある。また、半導体パッケージでは高温高湿
試験で吸湿させた後に耐はんだリフロー温度試験を行う
ため、接着剤中に吸湿された水分が急激に膨張すること
によって接続抵抗の増大や接着剤の剥離が生じるという
問題がある。一般に、エポキシ樹脂の内部応力を緩和し
強靭化を図る目的で、液状ゴムや架橋ゴム及びコアシェ
ル型のゴム粒子を分散させる技術が知られている。しか
しながら、エポキシ樹脂中にゴムを分散させた硬化物は
エポキシ樹脂単体の硬化物に対して軟化点温度(又はガ
ラス転移温度、以下Tgと記す)が低下することが知ら
れており、高耐熱性が要求される分野では信頼性を低下
させる原因となる。一方、ゴム分散系でTgを向上させ
るべくエポキシ樹脂の架橋密度を増加させることは、ゴ
ム分散の効果を低下させ、硬化物の脆さを増加させると
共に、吸水率を増加させ、信頼性を低下させる原因とな
る。また、Tgを低下させずにエポキシ樹脂を強靭化さ
せる方法として、エンジニアリングプラスチックとして
知られる高耐熱性の熱可塑性樹脂との配合が知られてい
るが、一般に、これらのエンジニアリングプラスチック
は溶剤に対する溶解性に乏しい為、エポキシ樹脂との配
合は粉体の練り込みによるものであり、接着剤用途への
展開は不適当である。本発明は、接続部での接続抵抗の
増大や接着剤の剥離がなく、接続信頼性が大幅に向上す
る回路板を提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の回路板は、第一
の接続端子を有する第一の回路部材と、第二の接続端子
を有する第一の回路部材より熱膨張係数が大きい第二の
回路部材とを、第一の接続端子と第二の接続端子を対向
して配置し、前記対向は位置した第一の接続端子と第二
の接続端子の間に接着剤を介在させ、加熱加圧して前記
対向配置した第一の接続端子と第二の接続端子を電気的
に接続させた回路板であって、前記接着剤が、少なくと
も三次元架橋性樹脂及び吸水率0.01〜0.2重量%
かつガラス転移温度80℃〜150℃の熱可塑性樹脂を
含む接着剤であることを特徴とする回路板。相対向する
回路電極間に介在され、相対向する回路電極を加圧し加
圧方向の電極間を電気的に接続する回路部材接続用接着
剤であって、接着樹脂組成物が少なくとも三次元架橋性
樹脂及び吸水率0.01〜0.2重量%かつガラス転移
温度80℃〜150℃の熱可塑性樹脂を含むことを特徴
とするものである。吸水率0.01〜0.3重量%かつ
ガラス転移温度80℃〜150℃の熱可塑性樹脂は、化
2の一般式(1)で示され、芳香族炭化水素系溶剤に溶
解できるポリアリレート樹脂が使用される。
【0005】
【化2】 (ここでR1 は水素原子または炭素数1〜2のアルキル
基、好ましくは炭素数1〜4の直鎖または分岐したアル
キル基であり、R2 は炭素数2〜13の直鎖状または分
岐したアルキル基であり、nは10〜250の整数であ
る)
【0006】三次元架橋性樹脂は、少なくともエポキシ
系樹脂と潜在性硬化剤を含有しているものが好ましい。
接着剤樹脂組成物はフィルム状であることが好ましい。
接着剤樹脂組成物には、導電粒子が0.1〜20体積%
含有されていてもよい。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明に用いられる回路部材とし
て半導体チップ等の能動素子、抵抗体、コンデンサ等の
受動素子、プリント基板、ポリイミドやポリエステルを
基材としたフレキシブル配線等が挙げられる。半導体チ
ップや基板の電極パッド上には、めっきで形成されるバ
ンプや金ワイヤの先端をトーチ等により溶融させ、金ボ
ールを形成し、このボールを電極パッド上に圧着した
後、ワイヤを切断して得られるワイヤバンプ等の突起電
極を設け、接続端子として用いることができる。本発明
に用いられる接着剤の吸水率0.01〜0.3重量%か
つガラス転移温度80℃〜150℃の熱可塑性樹脂とし
ては一般式(1)で示され、芳香族炭化水素系溶媒に可
溶であるポリアリレート樹脂が使用される。前記ポリア
リレート樹脂は、ビスフェノール化合物又はそのエステ
ル化誘導体と芳香族ジカルボン酸又はその酸塩化物から
合成される。
【0008】前記ポリアリレート樹脂を合成するための
ビスフェノール化合物としては、1,1(4,4’−ジ
ヒドロキシジフェニル)3−メチルブタン(R1は水素
原子、R2は炭素数4の分岐したアルキル基)、2,2
(4,4’−ジヒドロキシジフェニル)4−メチルペン
タン(R1は炭素数1のアルキル基、R2は炭素数4の
分岐したアルキル基)、1,1(4,4’−ジヒドロキ
シジフェニル)3ーエチルヘキサン(R1は水素原子、
R2は炭素数7の分岐したアルキル基)3,3(4,
4’−ジヒドロキシジフェニル)ペンタン(R1は炭素
数2のアルキル基、R2は炭素数2のアルキル基)、
2,2(4,4’−ジヒドロキシジフェニル)ヘプタン
(R1は炭素数1のアルキル基、R2は炭素数5の直鎖
状アルキル基)、1,1(4,4’−ジヒドロキシジフ
ェニル)ヘプタン(R1は水素原子、R2は炭素数6の
直鎖状アルキル基)、2,2(4,4’−ジヒドロキシ
ジフェニル)オクタン(R1は炭素数1のアルキル基、
R2は炭素数6の直鎖状アルキル基)、1,1(4,
4’−ジヒドロキシジフェニル)オクタン(R1は炭素
数1のアルキル基、R2は炭素数7の直鎖状アルキル
基)、2,2(4,4’−ジヒドロキシジフェニル)ノ
ナン(R1は炭素数1のアルキル基、R2は炭素数7の
直鎖状アルキル基)、1,1(4,4’−ジヒドロキシ
ジフェニル)ノナン(R1は炭素数1のアルキル基、R
2は炭素数8の直鎖状アルキル基)、2,2(4,4’
−ジヒドロキシジフェニル)デカン(R1は炭素数1の
アルキル基、R2は炭素数8の直鎖状アルキル基)、
1,1(4,4’−ジヒドロキシジフェニル)デカン
(R1は炭素数1のアルキル基、R2は炭素数9の直鎖
状アルキル基)、2,2(4,4’−ジヒドロキシジフ
ェニル)ウンデカン(R1は炭素数1のアルキル基、R
2は炭素数9の直鎖状アルキル基)、1,1(4,4’
−ジヒドロキシジフェニル)ウンデカン(R1は水素原
子、R2は炭素数10の直鎖状アルキル基)、2,2
(4,4’−ジヒドロキシジフェニル)ドデカン(R1
は炭素数1のアルキル基、R2は炭素数10の直鎖状ア
ルキル基)、1,1(4,4’−ジヒドロキシジフェニ
ル)ドデカン(R1は水素原子、R2は炭素数11の直
鎖状アルキル基)、2,2(4,4’−ジヒドロキシジ
フェニル)トリデカン(R1は炭素数1のアルキル基、
R2は炭素数11の直鎖状アルキル基)、1,1(4,
4’−ジヒドロキシジフェニル)トリデカン(R1は水
素原子、R2は炭素数12の直鎖状アルキル基)、2,
2(4,4’−ジヒドロキシジフェニル)テトラデカン
(R1は炭素数1のアルキル基、R2は炭素数12の直
鎖状アルキル基)、1,1(4,4’−ジヒドロキシジ
フェニル)テトラデカン(R1は水素原子、R2は炭素
数13の直鎖状アルキル基)、及び2,2(4,4’−
ジヒドロキシジフェニル)ペンタデカン(R1は炭素数
1のアルキル基、R2は炭素数13の直鎖状アルキル
基)が挙げられ、これらは2種以上が混合されていても
よい。好ましくは2,2(4,4’−ジヒドロキシジフ
ェニル)オクタン(R1は炭素数1のアルキル基、R2
は炭素数6の直鎖状アルキル基)、1,1(4,4’−
ジヒドロキシジフェニル)デカン(R1は炭素数1のア
ルキル基、R2は炭素数9の直鎖状アルキル基)が使用
される。
【0009】また、前記ポリアリレート樹脂を合成する
ための芳香族ジカルボン酸としては、フタル酸、イソフ
タル酸、テレフタル酸、4ーメチルフタル酸、5ーte
rtーブチルーイソフタル酸及び2,5ージメチルフタ
ル酸が挙げられる。これらは単独もしくは2種以上が混
合されてもよく、好ましくは(A)イソフタル酸または
5ーtertーブチルーイソフタル酸及び(B)テレフ
タル酸が(A):(B)=1:99〜99:1の混合比
であることが好ましく、さらに好ましくは(A):
(B)=50:50であることが好ましい。
【0010】前記ポリアリレート樹脂は界面重合法、溶
液重合法又は溶融重合法等の通常の方法で合成すること
ができる。例えば、界面重合法の場合、ビスフェノール
化合物をベンジルトリエチルアンモニウムクロリド等の
触媒と共に水酸化ナトリウム水溶液に溶解し、芳香族ジ
カルボン酸塩化物を水に溶解せず、生成したポリアリレ
ート樹脂が溶解する溶媒、例えば、トルエンに溶解し、
これらの溶液を混合して10〜50℃で30分〜3時間
反応させて目的のポリアリレート樹脂を合成する。ま
た、溶液重合法の場合、生成するポリアリレート樹脂が
溶解するような溶媒、例えば、トルエン、クロロホル
ム、テトラヒドロフラン、1、4−ジオキサン、シクロ
ヘキサノン、ピリジン等にビスフェノール化合物及び芳
香族ジカルボン酸塩化物を溶解し、トリエチルアミン等
の塩基存在下に10℃〜50℃で30分〜3時間反応さ
せて目的のポリアリレート樹脂を合成する。さらに、溶
融重合法の場合、ビスフェノール化合物のエステル化誘
導体例えばビスフェノールジアセテートと芳香族ジカル
ボン酸を200〜350℃の高温でエステル交換反応を
行うことによって、目的のポリアリレート化合物を合成
する。
【0011】本発明のポリアリレート樹脂は、接着剤に
強靭性を付与する目的で、テトラヒドロフランを溶媒と
したゲルパーミテーションクロマトグラフィーで測定し
た際の分子量が、ポリスチレン換算で2万以上30万以
下が好ましい。2万以下では硬化物が脆くなくおそれが
あり、30万以上では樹脂組成物の流動性が低下するた
め、電子部品と回路基板の接続行った際、電子部品と回
路基板間の接着剤樹脂による充填が困難になる。
【0012】本発明に用いられる三次元架橋性樹脂は、
接着時の高信頼性を得られる樹脂として、エポキシ系樹
脂とイミダゾール系、ヒドラジド系、三フッ化ホウ素−
アミン錯体、スルホニウム塩、アミンイミド、ポリアミ
ンの塩、ジシアンジアミド等の潜在性硬化剤の混合物が
用いられる。
【0013】本発明の接着剤樹脂組成物は、前記ポリア
リレート樹脂と前記三次元架橋性樹脂の配合比が重量部
で1:99〜99:1で使用することができ、好ましく
は10:90〜90:10である。本発明の接着剤樹脂
組成物には、硬化物の弾性率を低減する目的でアクリル
ゴム等のゴム成分を配合することもできる。本発明の接
着剤樹脂組成物には、フィルム形成性をより容易にする
ために、フェノキシ樹脂等の熱可塑性樹脂を配合するこ
ともできる。特に、フェノキシ樹脂は、エポキシ系樹脂
をベース樹脂とした場合、エポキシ樹脂と構造が類似し
ているため、エポキシ樹脂との相溶性、接着性に優れる
等の特徴を有するので好ましい。フィルム形成は、これ
ら少なくともポリアリレート樹脂、エポキシ樹脂、潜在
性硬化剤からなる接着組成物を有機溶剤に溶解あるいは
分散により、液状化して、剥離性基材上に塗布し、硬化
剤の活性温度以下で溶剤を除去することにより行われ
る。この時用いる溶剤は、芳香族炭化水素系と含酸素系
の混合溶剤が材料の溶解性を向上させるため好ましい。
【0014】本発明の接着剤には、チップのバンプや基
板電極の高さばらつきを吸収するために、異方導電性を
積極的に付与する目的で導電粒子を分散することもでき
る。本発明において導電粒子は、例えばAu、Ni、A
g、Cuやはんだ等の金属の粒子またはこれらの金属表
面に、金やパラジウムなどの薄膜をめっきや蒸着によっ
て形成した金属粒子であり、また、ポリスチレン等の高
分子の球状の核材にNi、Cu、Au、はんだ等の導電
層を設けた導電粒子を用いることができる。粒径は、基
板の電極の最小の間隔よりも小さいことが必要で、電極
の高さばらつきがある場合、高さばらつきよりも大きい
ことが好ましく、かつ無機充填材の平均粒径より大きい
ことが好ましく、1〜10μmが好ましい。また、接着
剤に分散される導電粒子量は、0.1〜30体積%であ
り、好ましくは0.2〜15体積%である。
【0015】本発明の回路部材接続用接着剤は、各成分
を有機溶剤に溶解あるいは分散させ、任意の方法で攪
拌、混合することによって容易に製造することができ、
さらに、剥離性基材上に塗布し、硬化剤の活性温度以下
で溶剤を除去することによってフィルム形成を行うこと
ができる。その際に、上記の配合組成物以外にも、通常
のエポキシ樹脂系組成物の調整で用いられる添加剤を加
えて差し支えない。本発明のフィルム状接着剤の膜厚
は、特に限定するものではないが、第一および第2の回
路部材間のギャップに比べ、厚いほうが好ましく、一般
にはギャップに対して5μm以上厚い膜厚が望ましい。
【0016】
【実施例】以下に、本発明を実施例に基づいて詳細に説
明する。 実施例1 2,2(4,4’−ジヒドロキシジフェニル)オクタン
2.98gとトリエチルアミン2.63gをTHF50
ml中で窒素雰囲気下10℃で攪拌した。この混合物
に、イソフタル酸クロリド1.01gとテレフタルサン
クロリド1.01gを加え、ゆっくりと攪拌した。2時
間攪拌した後、アセトン300ml中に滴下し、生成し
た沈殿物をろ取した。沈殿物をTHFに溶解し、不溶物
をろ別した後、ろ液をメタノール300mlに滴下し
た。生成した沈殿物をろ取してポリアリレート樹脂1.
3gを得た。GPC測定の結果、ポリスチレン換算でM
n=17400、Mw=32000、Mw/Mn=1.
83であった。生成物のFT−IR分析を行い、原料の
ジフェノール由来のOH伸縮振動(3200〜3400
cm-1)の消失とエステル結合に由来するC−CO−O
伸縮振動(1260〜1170cm-1)の存在を確認し
た。生成したポリアリレート樹脂をTHFに溶解させ、
シャーレに塗布し、溶媒を気散させることによってキャ
ストフィルムを作製した。キャストフィルムを2cm角
に切断し、減圧下に100℃で乾燥させた後、重量を測
定し、さらに、純水に24時間浸漬後、重量を測定して
重量増加を算出することによって、ポリアリレート樹脂
の吸水率を測定した。吸水率測定の結果、生成したポリ
アリレート樹脂の吸水率は0.05であった。また、キ
ャストフィルムを動的粘弾性測定装置を用いて弾性率を
測定し、tanδのピーク値によってTgを測定した結
果、Tg145℃であった。生成したポリアリレート樹
脂1.0gをトルエン5gに溶解し、20%溶液を得
た。次いで、マイクロカプセル型潜在性硬化剤を含有す
る液状エポキシ(エポキシ当量185)1.85gをこ
の溶液に加え、攪拌し、さらにポリスチレン系核体(直
径:5μm)の表面にAu層を形成した導電粒子を5容
量%分散してフィルム塗工用溶液を得た。この溶液をセ
パレータ(シリコーン処理したポリエチレンテレフタレ
ートフィルム、厚み40μm)にロールコータで塗布
し、100℃、10分乾燥し厚み40μmの接着フィル
ムを作製した。接着フィルムを150℃で3時間硬化さ
せ、硬化フィルムを動的粘弾性測定装置を用いて弾性率
を測定し、tanδのピーク値によってTgを測定した
結果、Tg150℃であった。次に、作製した接着フィ
ルムを用いて、金バンプ(面積:80×80μm、スペ
ース30μm、高さ:15μm、バンプ数288)付き
チップ(10×10mm、厚み:0.5mm)とNi/
AuめっきCu回路プリント基板(電極高さ:20μ
m、厚み:0.8mm)の接続を以下に示すように行っ
た。接着フィルム3(12×12mm)をNi/Auめ
っきCu回路プリント基板に60℃、0.5MPaで仮
接続工程を行った。仮接続工程後、セパレータを剥離し
た。チップのバンプとNi/AuめっきCu回路プリン
ト基板の位置合わせを行った後、170℃、30g/バ
ンプ、20秒の条件でチップ上方から加熱、加圧を行
い、本接続を行った。本接続後の接続抵抗は、1バンプ
あたり最高で5mΩ、平均で1.5mΩ、絶縁抵抗は1
08Ω以上であり、これらの値は−55〜125℃の熱
衝撃試験1000サイクル処理、PCT試験(121
℃、2気圧)200時間、260℃のはんだバス浸漬1
0秒後においても変化がなく、良好な接続信頼性を示し
た。
【0017】
【発明の効果】本発明の回路板は、接着剤として、接着
樹脂組成物が少なくとも三次元架橋性樹脂及び吸水率
0.01〜0.2重量%かつガラス転移温度80℃〜1
50℃の熱可塑性樹脂を含むことによって、耐湿特性及
び耐熱性の良好な硬化物を得ることができ、結果とし
て、接続信頼性を大幅に向上させることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/32 H05K 3/32 A (72)発明者 太田 悟 茨城県つくば市和台48 日立化成工業株式 会社筑波開発研究所内 (72)発明者 竹村 賢三 茨城県つくば市和台48 日立化成工業株式 会社筑波開発研究所内 Fターム(参考) 4J004 AA02 AA11 AA13 AA17 AA19 AB05 BA02 FA05 4J040 EC001 EC002 ED041 ED042 HA326 HC01 HC15 HC18 HC24 HD18 JA09 JB10 KA03 KA16 KA32 LA02 LA06 LA07 NA20 PA32 PA33 5E319 AA03 AB05 BB04 BB20 CC03 CC61 GG20 5E344 AA01 AA22 BB02 CC24 CD01 CD04 DD08 DD16 EE16 5F044 KK03 LL07

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第一の接続端子を有する第一の回路部材
    と、第二の接続端子を有する第一の回路部材より熱膨張
    係数が大きい第二の回路部材とを、第一の接続端子と第
    二の接続端子を対向して配置し、前記対向は位置した第
    一の接続端子と第二の接続端子の間に接着剤を介在さ
    せ、加熱加圧して前記対向配置した第一の接続端子と第
    二の接続端子を電気的に接続させた回路板であって、前
    記接着剤が、少なくとも三次元架橋性樹脂及び吸水率
    0.01〜0.2重量%かつガラス転移温度80℃〜1
    50℃の熱可塑性樹脂を含む接着剤であることを特徴と
    する回路板。
  2. 【請求項2】接着剤樹脂組成物の熱可塑性樹脂が化1の
    一般式(1)で示されるポリアリレート樹脂である請求
    項1記載の回路板。 【化1】 (ここでR1 は水素原子または炭素数1〜2のアルキル
    基、好ましくは炭素数1〜4の直鎖または分岐したアル
    キル基であり、R2 は炭素数2〜13の直鎖状または分
    岐したアルキル基であり、nは10〜250の整数であ
    る)
  3. 【請求項3】接着剤樹脂組成物の三次元架橋性樹脂がエ
    ポキシ樹脂と潜在性硬化剤を含有している請求項2記載
    の回路板。
  4. 【請求項4】接着樹脂組成物が少なくともエポキシ系樹
    脂と、芳香族炭化水素系溶剤に溶解するポリアリレート
    樹脂及び潜在性硬化剤を含有している回路部材接続用接
    着剤である回路板。
  5. 【請求項5】接着剤がフィルム状である請求項1〜4い
    ずれかに記載の回路板。
  6. 【請求項6】接着剤に0.2〜20体積%の導電粒子が
    分散されていることを特徴とする請求項1〜5いずれか
    に記載の回路板。
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