JP2000107940A - Electrical discharge machining device - Google Patents
Electrical discharge machining deviceInfo
- Publication number
- JP2000107940A JP2000107940A JP28410598A JP28410598A JP2000107940A JP 2000107940 A JP2000107940 A JP 2000107940A JP 28410598 A JP28410598 A JP 28410598A JP 28410598 A JP28410598 A JP 28410598A JP 2000107940 A JP2000107940 A JP 2000107940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- saddle
- holding tank
- bed
- support beam
- electrode support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電極を加工液で満
たした微小な隙間を介して被加工物に近接させ、この電
極と被加工物の間に放電を生じさせて加工する放電加工
装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electric discharge machining apparatus in which an electrode is brought close to a workpiece through a minute gap filled with a machining fluid, and a discharge is generated between the electrode and the workpiece to perform machining. It is about.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１２は、従来の放電加工機の構成を説
明するための側面図である。図において、１はベッドで
あり、その上部の一端側に被加工物を載置し、他端側に
後述のサドル、コラム、電極支持ビームなどからなる電
極駆動機構を搭載している。２は被加工物を載置するテ
ーブル、３は加工液を保持し被加工物をこの加工液に浸
漬させるための加工液保持槽、４はサドルであり、左右
方向（以下、Ｘ軸方向と呼ぶ）の平行運動の軌跡を規制
する案内機構（以下、Ｘ軸案内機構という）４aを介し
てベッド１が支持している。５はコラムであり、前後方
向（以下、Ｙ軸方向と呼ぶ）の平行運動の軌跡を規制す
る案内機構（以下、Ｙ軸案内機構という）５a を介して
サドル４が支持している。６1 は第１の電極支持ビーム
で、上下方向（以下、Ｚ軸方向と呼ぶ）の平行運動の軌
跡を規制する案内機構（以下、Ｚ軸案内機構という）６
a を介してコラム５が支持しており、その先端部で後述
の第２の電極支持ビーム６2 とともに図示しない電極を
支持している。６2 はコラム５が支持し被加工物の下側
で電極を支持する第２の電極支持ビームであり、加工液
保持槽３のコラム５に対向する側面には第２の電極支持
ビーム６2 が貫通する貫通孔を設けてある。７はサドル
５が支持するシール板であり、第２の電極支持ビーム６
2 がＹ軸方向に摺動自在に貫通し、かつ、加工液が加工
液保持槽３の貫通孔を通して漏出しないように加工液保
持槽２の側面に押つけ、サドル４のＸ軸方向平行移動に
応じて加工液保持槽２の側面を摺動するようになってい
る。2. Description of the Related Art FIG. 12 is a side view for explaining the structure of a conventional electric discharge machine. In the figure, reference numeral 1 denotes a bed on which a workpiece is placed on one end side and an electrode drive mechanism including a saddle, a column, an electrode support beam and the like described later is mounted on the other end side. Reference numeral 2 denotes a table on which a workpiece is placed. Reference numeral 3 denotes a working fluid holding tank for holding a working fluid and immersing the workpiece in the working fluid. guide mechanism (hereinafter for regulating the locus of translational movement of the called), that X-axis guide mechanism) 4 bed 1 through a is supporting. 5 is a column, the front-rear direction (hereinafter, referred to as a Y-axis direction) guide mechanism for restricting the trajectory of the parallel movement of the supporting saddle 4 through the (hereinafter, Y-axis of the guide mechanism) 5 a. Reference numeral 1 denotes a first electrode support beam, which is a guide mechanism (hereinafter, referred to as a Z-axis guide mechanism) that regulates a trajectory of parallel movement in a vertical direction (hereinafter, referred to as a Z-axis direction).
The column 5 is supported via a , and the tip of the column 5 supports an electrode (not shown) together with a second electrode support beam 62 described later. 6 2 is a second electrode support beam column 5 supports the electrodes in the lower supporting workpiece machining liquid supporting the second electrode on the side opposite to the column 5 of the holding tank 3 beams 6 2 Are provided with through holes. Reference numeral 7 denotes a seal plate supported by the saddle 5, and a second electrode support beam 6
2 is slidably penetrated in the Y-axis direction, and is pressed against the side surface of the processing liquid holding tank 2 so that the processing liquid does not leak through the through hole of the processing liquid holding tank 3, and the saddle 4 moves in the X-axis direction in parallel. , The side surface of the processing liquid holding tank 2 is slid.
【０００３】なお、一部の図示および当該部分への符号
付けを省略しているが、Ｘ軸案内機構４a 、Ｙ軸案内機
構５a およびＺ軸案内機構６a のそれぞれ中央付近には
サドル４、コラム５および電極支持ビーム６1 をそれぞ
れの方向に平行移動させるサーボモータおよびボールね
じを有し、数値制御装置（以下、ＮＣ装置と呼ぶ）で駆
動される各軸の駆動装置を備えている。なお、各軸の案
内機構は平行移動する２つの要素のうちの一方に固着さ
れ他方の要素の平行移動する方向に延在する２本の軌道
と他方の要素に固着し各軌道上を移動する複数の荷重支
持台とからなっている。[0003] Although not signed to some of illustration and that portion, X-axis guide mechanism 4 a, are each vicinity of the center of the Y-axis guide mechanism 5 a and Z-axis guide mechanism 6 a saddle 4, has a servo motor and a ball screw to translate the column 5 and the electrode support beam 61 in the respective directions, a numerical control device (hereinafter, referred to as NC device) provided with a driving device for each axis is driven by I have. The guide mechanism of each axis is fixed to one of the two elements that move in parallel, and is fixed to two orbits extending in the direction in which the other element moves in parallel with the other element, and moves on each of the orbits. It consists of a plurality of load supports.
【０００４】次に動作を説明する。テーブル２上に載置
した被加工物に対し、電極支持ビーム６1 および６2 の
先端部で支持する電極を所望の軌跡にそって移動させ被
加工物の加工を行う。ベッド１に対するサドル４と平行
移動によって電極のＸ軸方向位置の、サドル４に対する
コラム５の平行移動によって電極のＹ軸方向位置の位置
決めを行い、コラム５に対する電極支持ビーム６1 の平
行移動によって被加工物の高さに応じた電極支持ビーム
６1 のＺ軸方向位置決めを行う。それぞれの方向への移
動は互いに平行移動する２つの要素間に設けた上述の駆
動装置によって行う。なお、サドル４のＸ軸方向への移
動に伴って加工液保持槽３の側面とシール板７との間に
摩擦力が発生する。Next, the operation will be described. To the workpiece which is placed on the table 2, for machining of the workpiece the electrode supported by an electrode support beams 6 1 and 6 2 of the front end portion is moved along a desired trajectory. The X-axis direction position of the electrode by parallel movement and the saddle 4 relative to the bed 1, positioning is performed in the Y-axis direction position of the electrode by parallel movement of the column 5 for the saddle 4, the by parallel movement of the electrode support beams 6 1 for column 5 performing height electrodes Z-axis direction positioning of the support beams 6 1 in accordance with the workpiece. The movement in each direction is performed by the above-described drive device provided between two elements that move in parallel with each other. In addition, as the saddle 4 moves in the X-axis direction, a frictional force is generated between the side surface of the processing liquid holding tank 3 and the seal plate 7.
【０００５】特開平１−２２２３０２号公報には、工作
機械で生じる位置決め誤差を、駆動装置を構成するボー
ルねじなどのバックラッシュと、駆動装置各部の剛性や
摩擦トルク、さらには被加工物の慣性量などによって変
化するロストモーションとに分離して把握し、位置決め
誤差を精度よく補償するように構成したＮＣ装置が記載
されている。[0005] Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-2222302 discloses that a positioning error generated in a machine tool is corrected by a backlash of a ball screw or the like constituting a driving device, rigidity and friction torque of each portion of the driving device, and an inertia of a workpiece. There is described an NC device configured to grasp separately from a lost motion that changes depending on an amount or the like and to accurately compensate for a positioning error.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】従来の放電加工機では
電極を直交する３方向のそれぞれに設けた駆動装置によ
り移動させており、電極の位置検出は各軸の駆動装置
（具体的には各駆動装置を構成するサーボモータ）の回
転角度に応じた位置信号を生成する位置検出器（以下、
ロータリエンコーダと呼ぶ）からの信号に基づいてい
る。しかし、加工液保持槽３とシール板７の位置がＸ軸
駆動装置のサドル４に対する駆動力の作用点から離れて
いるため、サドル４をＸ軸方向に移動させると、シール
板７と加工液保持槽３の側面の間に作用する摩擦力によ
ってＸ軸駆動装置のサドル４に対する駆動力の作用点を
中心としてサドル５が回転変位し、真の電極位置とＸ軸
駆動装置が備えるロータリエンコーダの信号に基づいて
取得する電極位置との間に誤差が発生する。この誤差は
電極とＸ軸駆動装置のサドル５に対する駆動力の作用点
との間のＹ軸方向距離にも依存するため、サドル４とコ
ラム５との平行移動の移動距離につれて変化する。In a conventional electric discharge machine, the electrodes are moved by driving devices provided in three orthogonal directions, and the position of the electrodes is detected by the driving device of each axis (specifically, each driving device). A position detector (hereinafter, referred to as a position detector) that generates a position signal corresponding to the rotation angle of a servo motor that constitutes a driving device.
(Referred to as a rotary encoder). However, since the positions of the working fluid holding tank 3 and the seal plate 7 are far from the point of application of the driving force to the saddle 4 of the X-axis driving device, when the saddle 4 is moved in the X-axis direction, the seal plate 7 and the working fluid The frictional force acting between the side surfaces of the holding tank 3 causes the saddle 5 to be rotationally displaced about the point of application of the driving force to the saddle 4 of the X-axis driving device, and the true electrode position and the rotary encoder of the X-axis driving device are provided. An error occurs between the position of the electrode and the position obtained based on the signal. Since this error also depends on the distance in the Y-axis direction between the electrode and the point of application of the driving force to the saddle 5 of the X-axis driving device, the error varies with the translation distance of the saddle 4 and the column 5.
【０００７】先に述べた特開平１−２２２３０２号公報
に記載のＮＣ装置では、上記のような放電加工機に特有
の誤差を想定しておらず、この種の誤差の補正に対して
は無力である。ことに大型の放電加工機のように長尺の
電極支持ビーム６1 および６2 を備えたものではこの誤
差が顕著となり、高い加工精度が得られない。この誤差
は各部のねじり剛さを大きくすることによって相対的に
抑制できるが、経済性が犠牲になるという問題がある。The above-described NC apparatus described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-222302 does not assume an error peculiar to the electric discharge machine described above, and is ineffective in correcting such an error. It is. Especially intended with electrodes supporting beams 6 1 and 6 2 long as large electric discharge machine the error becomes remarkable, not obtain high machining accuracy. This error can be relatively suppressed by increasing the torsional rigidity of each part, but there is a problem that economy is sacrificed.
【０００８】また、加工液保持槽３とシール板７との間
に作用する摩擦力は放電加工による加工くず等の堆積な
どによっても変化し、稼動時間とともに大きくなる傾向
があり、経年的に誤差が増加するという問題点もある。
この発明はこのような課題を解決するためになされたも
ので、経済性を確保しながら位置決め精度の劣化を防止
し、かつ精度の高い加工を実現できる放電加工装置を提
供するものである。Further, the frictional force acting between the machining fluid holding tank 3 and the seal plate 7 also changes due to the accumulation of machining waste and the like due to electric discharge machining, and tends to increase with the operating time. There is also a problem that increases.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide an electric discharge machine capable of preventing deterioration of positioning accuracy while ensuring economy, and realizing high-precision machining.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明に係る放電加工
装置は、Ｘ軸駆動装置のサドルとの連結位置に対する加
工液保持槽とシール板の摩擦力による回転モーメント
と、Ｘ軸案内機構の摩擦力による回転モーメントとが互
いに相殺するようにＸ軸駆動装置のサドルとの連結位置
を設定したものである。According to the electric discharge machining apparatus of the present invention, the rotational moment due to the frictional force between the machining fluid holding tank and the seal plate with respect to the connecting position of the X-axis driving device with the saddle, and the friction of the X-axis guide mechanism. The connection position of the X-axis drive device with the saddle is set such that the rotational moment due to the force cancels each other.
【００１０】また、Ｘ軸駆動装置のサドルとの連結位置
に対するＸ軸案内機構の摩擦力による回転モーメントと
加工液保持槽とシール板の摩擦力による回転モーメント
のとは互いに逆の向きを有し、前者の大きさが後者のそ
れの３分の２乃至３分の４の範囲となるようＸ軸駆動装
置のサドルとの連結位置を設定したものである。The rotational moment due to the frictional force of the X-axis guide mechanism with respect to the connection position of the X-axis drive unit with the saddle and the rotational moment due to the frictional force between the working fluid holding tank and the seal plate have directions opposite to each other. The connection position of the X-axis drive unit with the saddle is set so that the former size is in the range of two-thirds to four-thirds that of the latter.
【００１１】また、サドルに固着しかつベッドの他端側
を押圧して、サドルのＸ軸方向への移動に応じて摺動す
るモーメント発生機構を備え、Ｘ軸駆動装置のサドルと
の連結位置に対する加工液保持槽とシール板の摩擦力に
よる回転モーメントと、モーメント発生機構による回転
モーメントとが互いに相殺するように構成したものであ
る。A moment generating mechanism which is fixed to the saddle and presses the other end of the bed to slide in accordance with the movement of the saddle in the X-axis direction is provided. The rotational moment due to the frictional force between the working fluid holding tank and the seal plate and the rotational moment due to the moment generating mechanism cancel each other.
【００１２】また、コラムとベッドもしくは加工液保持
槽との間にコラムとベッドもしくは加工液保持槽との間
のＸ軸方向の相対位置を直接検知する位置検出器を備
え、この位置検出器の信号とＸ軸駆動装置の位置指令と
に基づいてサドルのベッドに対する回転変位量を生成
し、この回転変位量とＹ軸駆動装置に対する位置指令と
により前記電極の変位量を生成し、この変位量によりＸ
軸駆動装置に対する位置指令を補正するように構成した
ものである。A position detector is provided between the column and the bed or the working fluid holding tank for directly detecting a relative position in the X-axis direction between the column and the bed or the working fluid holding tank. A rotational displacement amount of the saddle with respect to the bed is generated based on the signal and a position command of the X-axis driving device, and a displacement amount of the electrode is generated based on the rotational displacement amount and a position command of the Y-axis driving device. By X
It is configured to correct a position command to the shaft driving device.
【００１３】また、コラムとベッドもしくは加工液保持
槽との間のＸ軸方向の相対位置を直接検知する位置検出
器を、コラムのＹ軸方向の両端部近傍に設置した２つの
位置検出器で構成したものである。A position detector for directly detecting the relative position in the X-axis direction between the column and the bed or the working fluid holding tank is provided by two position detectors installed near both ends of the column in the Y-axis direction. It is composed.
【００１４】また、コラムと加工液保持槽との間にコラ
ムと加工液保持槽との間の摩擦力を検知する摩擦力検出
手段を備え、この摩擦力検出手段の信号に基づいてサド
ルのベッドに対する回転変位量を生成し、この回転変位
量とＹ軸駆動装置に対する位置指令とにより電極の変位
量を生成し、この変位量によりＸ軸の駆動装置に対する
位置指令を補正するように構成したものである。Further, a frictional force detecting means for detecting a frictional force between the column and the working fluid holding tank is provided between the column and the working fluid holding tank, and a saddle bed is provided based on a signal from the frictional force detecting means. , A displacement amount of the electrode is generated based on the rotation displacement amount and a position command to the Y-axis driving device, and a position command to the X-axis driving device is corrected by the displacement amount. It is.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、この発明をその実施の形態
を示す図面を用いて具体的に説明する。なお、前述した
従来の放電加工装置と同一もしくは相当する部分には同
一の符号を付し重複する部分についての説明は省略す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below with reference to the drawings showing the embodiments. The same or corresponding parts as those of the above-described conventional electric discharge machining apparatus are denoted by the same reference numerals, and the description of the overlapping parts will be omitted.
【００１６】実施の形態１．図１は、この発明の第１の
実施形態である放電加工装置の構成を説明するための上
面図および側面図である。図において、４b はＸ軸案内
機構５a の２つの軌道の中央よりもシール板７寄りに設
置したＸ軸駆動装置で、サドル４に連結したボールナッ
ト（図示しない）と係合してサドル４をＸ軸方向に駆動
するボールねじ４1 、ベッド１とボールねじ４1 に連結
したサーボモータ４2 を備えている。５b はＹ軸案内機
構５a の２つの軌道のほぼ中央に設置したＹ軸駆動装置
で、コラム５のＸ軸方向の略中央に連結したボールナッ
ト（図示しない）と係合しコラム５をＹ軸方向に駆動す
るボールねじ５1 、サドル４とボールねじ５1 に連結し
たサーボモータ５2 を備えている。なお、サーボモータ
４2 および５2 はいずれも図示しないＮＣ装置で駆動し
ている。Embodiment 1 FIG. 1 is a top view and a side view for explaining a configuration of an electric discharge machine according to a first embodiment of the present invention. In FIG, 4 b in the X-axis driving device installed in the sealing plate 7 nearer the center of the two trajectories of the X-axis guide mechanism 5 a, (not shown) ball nut coupled to the saddle 4 engage the saddle ball screw 4 1 that drives 4 in the X-axis direction, and a servo motor 4 2 coupled to the bed 1 and the ball screw 4 1. Reference numeral 5b denotes a Y-axis driving device installed substantially at the center of the two tracks of the Y-axis guide mechanism 5a . The Y-axis driving device engages with a ball nut (not shown) connected to substantially the center of the column 5 in the X-axis direction. ball screw 5 1 for driving the Y-axis direction, and a servomotor 5 2 coupled to the saddle 4 and the ball screw 5 1. Incidentally, both the servo motors 4 2 and 5 2 are driven by an NC device (not shown).
【００１７】つぎに、Ｘ軸駆動装置４b とＸ軸案内機構
４a の２本の軌道の位置との最適な配置について説明す
る。ボールねじ４1 と係合するボールナットのサドル４
との連結位置をＢ点とし、ベッド１とサドル４との間に
作用するＢ点のまわりの回転モーメントをＭB とする
と、 ＭB＝ｎ・Ｆg・(Ｌb−Ｌg1)＋Ｆs・Ｌb＋ｎ・Ｆg・(Ｌb−Ｌg2) ＝(２ｎ・Ｆg＋Ｆs)・Ｌb−ｎ・Ｆg・(Ｌg1＋Ｌg2) として求めることができる。ここで、 ｎ ：Ｘ軸案内機構４a の１つの軌道に取付けた荷重支
持台の数 Ｆg ：１つの荷重支持台と軌道との間の摩擦力 Ｆs ：加工液保持槽２とシール板７との間の摩擦力 Ｌb ：シール板７とＸ軸駆動装置４a のＹ軸方向距離 Ｌg1：一方の軌道とシール板７のＹ軸方向距離 Ｌg2：他方の軌道とシール板７のＹ軸方向距離 である。Next, the optimal placement of the two positions of the trajectory of the X-axis drive unit 4 b and X-axis guide mechanism 4 a will be described. Ball nut saddle 4 that engages with ball screw 4 1
And the rotational moment around the point B acting between the bed 1 and the saddle 4 as M B , M B = n · F g · (L b −L g1 ) + F s · L b + n · F g · (L b -L g2) = (2n · F g + F s) · L b can be determined as -n · F g · (L g1 + L g2). Here, n: number of load bearing base mounted on one of the trajectory of the X-axis guide mechanism 4 a F g: frictional force between the one load support table and the raceway F s: machining liquid holding tank 2 and the seal plate frictional force between the 7 L b: the sealing plate 7 and the X-axis drive unit 4 a of the Y-axis direction by a distance L g1: Y-axis direction by a distance of one track and the sealing plate 7 L g2: the other raceway and the seal plate 7 Is the distance in the Y-axis direction.
【００１８】Ｘ軸駆動装置４b によってサドル４が目的
とする位置に達したとき、Ｂ点のＸ軸方向位置と真の電
極のＸ軸方向位置との差（以後、電極遅れ量という）Δ
Ｘは、ベッド１とサドル４との間のＢ点を中心とする回
転ばね定数をＫ（サドル４、Ｘ軸案内機構４a 等のねじ
り剛さできまる）として、 ΔＸ＝Ｌz・ＭB／Ｋ として求めることができる。ここで、Ｌz はＢ点から電
極までのＹ軸方向距離である。以上のことから、ベッド
１とサドル４との間に作用するＢ点まわりの回転モーメ
ントＭB を小さくすれば、電極遅れ量ΔＸを小さくでき
ることが解る。[0018] When the saddle 4 by the X-axis drive unit 4 b has reached the desired position, the difference between the X-axis direction position of the X-axis direction position and the true electrode point B (hereinafter, referred to as the electrodes delay amount) delta
X is a rotational spring constant about the point B between the bed 1 and the saddle 4 as K (determined in the saddle 4, X-axis guide mechanism 4 a torsional stiffness etc.), ΔX = L z · M B / K. Here, Lz is the distance in the Y-axis direction from the point B to the electrode. From the above, by reducing the rotation moment M B around point B acting between the bed 1 and the saddle 4, it can be seen that the electrodes delay amount ΔX can be reduced.
【００１９】例えば、図１２に示したワイヤ放電加工機
のように、Ｂ点をＸ軸案内機構４aの２つの軌道の中央
に配置した場合は、Ｂ点に対するＸ軸案内機構４a の荷
重支持台と軌道との間の摩擦力Ｆg は、一方の軌道上の
各荷重支持台におけるものと他方の各荷重支持台におけ
るものとがＢ点に対称に作用するので、ベッド１とサド
ル４との間の回転モーメントとしては互いに相殺するこ
とになり、Ｂ点を中心とするベッド１とサドル４との間
に作用する回転モーメントＭB は加工液保持槽３とシー
ル板７の間の摩擦力Ｆs によるＦs・Ｌb のみである。加
工液保持槽３とシール板７の間の摩擦力Ｆs を３kg-f以
下にすることは困難で、摩擦力Ｆs によってベッド１と
サドル４との間に作用する回転モーメントが電極遅れ量
ΔＸを決定している。[0019] For example, as a wire electric discharge machine shown in FIG. 12, when placing the point B in the middle of the two trajectories of the X-axis guide mechanism 4 a, the load of the X-axis guide mechanism 4 a for point B The frictional force F g between the support and the track is such that the load at each load support on one track and the load at the other load work on the other track act symmetrically at point B. And the rotational moment MB acting between the bed 1 and the saddle 4 about the point B is the friction between the working fluid holding tank 3 and the seal plate 7. only F s · L b due to the force F s. To the frictional force F s between the machining fluid holding tank 3 and the sealing plate 7 below 3 kg-f it is difficult, rotational moment electrodes delay amount which acts between the bed 1 and the saddle 4 by frictional force F s ΔX has been determined.
【００２０】Ｂ点をＸ軸案内機構４a の２つの軌道の中
央からシール板７側へ移すと、Ｘ軸案内機構４a の摩擦
力Ｆg によって加工液保持槽３とシール板７の間の摩擦
力Ｆs によるベッド１とサドル４との間に作用する回転
モーメントとは逆向きの回転モーメントが生じ、回転モ
ーメントＭB と電極遅れ量ΔＸが減少する。ベッド１と
サドル４との間に作用する回転モーメントＭB をＸ軸駆
動装置４b をＸ軸案内機構５a の２つの軌道の中央に配
置した場合の３分の１以下にするためには、Ｘ軸案内機
構４a の２つの軌道の中央からシール板７までのＹ軸方
向距離をＬ、Ｂ点のＸ軸案内機構５a の２つの軌道の中
央からシール板７側に見た距離（以下、オフセット距離
という）をΔＬb をとして、 −(１／３)・Ｆs・Ｌ＜(２ｎ・Ｆg＋Ｆs)・(Ｌ−ΔＬb)−ｎ
・Ｆg・(Ｌg1＋Ｌg2)＜(１／３)・Ｆs・Ｌ の条件を満たすように設定すればよい。すなわち、オフ
セット距離ΔＬb を(２／３)・Ｆs・Ｌ／(２・ｎ・Ｆg＋
Ｆs) から(４／３)・Ｆs・Ｌ／(２・ｎ・Ｆg＋Ｆs) の範囲
におけば、ベッド１とサドル４との間に作用する回転モ
ーメントＭB および電極遅れ量ΔＸを前述した従来のワ
イヤ放電加工機のそれの３分の１以下になる。上に述べ
た条件は、Ｂ点に対するＸ軸案内機構の摩擦力による回
転モーメントを、Ｂ点に対する加工液保持槽３とシール
板７の間の摩擦力による回転モーメントの３分の２から
３分の４の範囲になるようにＢ点を設定するといい替え
ても安全側に略等価である。[0020] B point moves from the center of the two trajectories of the X-axis guide mechanism 4 a to the seal plate 7 side, while the machining fluid holding tank 3 and the seal plate 7 by a frictional force F g of X-axis guide mechanism 4 a the rotation moment acting between the bed 1 and the saddle 4 by the frictional force F s of the rotational moment of the opposite direction occurs, rotation moment M B and the electrode delay amount ΔX is decreased. Bed 1 and the rotation moment M B acting between the saddle 4 to less than one-third of the case of arranging the X-axis drive unit 4 b in the center of the two trajectories of the X-axis guide mechanism 5 a is , the distance viewed in the Y-axis direction distance from the center of the two trajectories of the X-axis guide mechanism 4 a to seal plate 7 L, from the center of the two trajectories of the X-axis guide mechanism 5 a point B on the seal plate 7 side (hereinafter, referred to as the offset distance) as the ΔL b, - (1/3) · F s · L <(2n · F g + F s) · (L-ΔL b) -n
· F g · (L g1 + L g2) <(1/3) · may be set so as to satisfy the condition of F s · L. That is, the offset distance ΔL b (2/3) · F s · L / (2 · n · F g +
If put from F s) in the range of (4/3) · F s · L / (2 · n · F g + F s), the rotation moment M B and electrodes delay amount acting between the bed 1 and the saddle 4 ΔX is one third or less of that of the conventional wire electric discharge machine described above. The condition described above is that the rotational moment due to the frictional force of the X-axis guide mechanism with respect to the point B is two thirds to three minutes of the rotational moment due to the frictional force between the machining fluid holding tank 3 and the seal plate 7 with respect to the point B. Even if the point B is set so as to fall within the range of 4, it is substantially equivalent to the safe side.
【００２１】図２は、加工液保持槽３とシール板７の間
の摩擦力Ｆs を３、５および９kg-fとして、横軸にＸ軸
駆動装置４b の設置位置をとり、縦軸にその設置位置に
対応するベッド１とサドル４との間に作用する回転モー
メントＭB を示したものである。加工液保持槽３とシー
ル板７の間の摩擦力がＦs のとき、オフセット距離ΔＬ
b をＦs・Ｌ／(２・ｎ・Ｆg＋Ｆs)とすれば、ベッド１とサ
ドル４との間に作用する回転モーメントＭB が０になる
ことを示している。図から、摩擦力Ｆs が３kg-fのとき
ベッド１とサドル４との間に作用する回転モーメントＭ
B が０になるようオフセット距離ΔＬb を設定すれば、
摩擦力Ｆs が９kg-fになっても、Ｘ軸案内機構４a の２
つの軌道の中央にＸ軸駆動装置４b を設置する場合に比
べて、ベッド１とサドル４との間に作用する回転モーメ
ントＭB が２分の１以下になることがみてとれる。[0021] Figure 2, as a friction force F s to 3,5 and 9 kg-f between the machining fluid holding tank 3 and the sealing plate 7 takes the installation position of the X-axis drive unit 4 b on the horizontal axis, vertical axis shows the rotation moment M B acting between the bed 1 and the saddle 4 corresponding to the installation position on. When the frictional force between the working fluid holding tank 3 and the sealing plate 7 of F s, the offset distance ΔL
If the b F s · L / a (2 · n · F g + Fs), shows that the rotation moment M B acting between the bed 1 and the saddle 4 becomes zero. From the figure, the rotation moment M frictional force F s is applied between the bed 1 and the saddle 4 for a 3 kg-f
If the offset distance ΔL b is set so that B becomes 0,
Even frictional force F s becomes 9 kg-f, 2 of X-axis guide mechanism 4 a
One of as compared with the case of installing the X-axis drive unit 4 b in the center of the track, the rotation moment M B acting between the bed 1 and the saddle 4 it can be seen that become less than half.
【００２２】サドルが支持するシール板で加工液保持槽
を押さえる構成の放電加工装置では、シール板と加工液
保持槽との間の摩擦力によってサドルとベッドとの間に
回転モーメントが生じ電極の位置決め誤差を生じるが、
ベッドとサドルとの間に生じるＸ軸案内機構の摩擦力お
よび加工液保持槽とシール板の間の摩擦力それぞれによ
る回転モーメントが互いに相殺するようにＸ軸駆動装置
を配置すれば、ベッドとサドルの間に作用する回転モー
メントおよび電極遅れ量を抑制でき加工精度が高くな
る。In an electric discharge machining apparatus having a structure in which a working fluid holding tank is held down by a seal plate supported by a saddle, a rotational moment is generated between the saddle and the bed due to frictional force between the sealing plate and the working fluid holding tank. A positioning error occurs,
If the X-axis drive device is arranged so that the rotational moments caused by the frictional force of the X-axis guide mechanism generated between the bed and the saddle and the frictional force between the working fluid holding tank and the seal plate cancel each other, the distance between the bed and the saddle can be reduced. And the machining accuracy can be increased.
【００２３】なお、以上の説明では、Ｘ軸案内機構は２
つの軌道と各軌道の上に同数の荷重支持台を備えるもの
としたが、３つ以上の軌道を備え、各軌道上に異なる数
の荷重支持台を備える放電加工装置の場合は、上述の軌
道の中央を荷重支持台と軌道との間の摩擦力の重心と置
き換え、各荷重支持台毎にベッドとサドルの間に作用す
る回転モーメントを求めＢ点の位置を設定すればよい。In the above description, the X-axis guide mechanism is 2
It is assumed that one track and the same number of load supports are provided on each track. However, in the case of an electric discharge machine having three or more tracks and a different number of load supports on each track, the above-described track is used. May be replaced with the center of gravity of the frictional force between the load support and the track, the rotational moment acting between the bed and the saddle may be determined for each load support and the position of point B may be set.
【００２４】実施の形態２．図３は、この発明の第２の
実施形態である放電加工装置の構成を説明するための側
面図である。Ｘ軸駆動装置４b はＸ軸案内機構４a の２
つの軌道の中央に配置しており、このＸ軸駆動装置４b
に対してシール板７とほぼ対称な位置にモーメント発生
機構８を備えている。モーメント発生機構８はベッド７
の後面に押し当て加工液保持槽３とシール板７との間の
摩擦力Ｆs と同じ大きさの摩擦力を発生させる摺り板８
1 とこの摺り板８1 をサドル４に固定する支持板８2 と
を備え、支持板８2 はシール板７をサドル４に固定する
支持板７1 とともに互いに近接してサドル４に固定して
いる。Embodiment 2 FIG. FIG. 3 is a side view for explaining the configuration of an electric discharge machine according to a second embodiment of the present invention. The X-axis driving device 4b is connected to the X-axis guide mechanism 4a- 2.
X-axis drive 4 b
A moment generating mechanism 8 is provided at a position substantially symmetrical with respect to the seal plate 7. The moment generating mechanism 8 is a bed 7
Sliding plate 8 to generate a frictional force of the same magnitude as the frictional force F s between pressing the rear surface and the machining fluid holding tank 3 sealing plate 7 of
1 and a support plate 82 for fixing the sliding plate 81 on the saddle 4, the support plate 82 is in close proximity to each other together with the support plate 71 for fixing the sealing plate 7 in the saddle 4 is fixed to the saddle 4 I have.
【００２５】ベッド１の後面とモーメント発生機構８と
の間の摩擦力によりベッド１とサドル４との間に生じる
回転モーメントと加工液保持槽３とシール板７の間の摩
擦力Ｆs によりベッド１とサドル４との間に生じる回転
モーメントは互いに逆向きのため相殺される。また、シ
ール板７を摺り板８1 とともにサドル４に対して互いに
近接した位置で固定しているので、サドル４には変形が
ほとんど生じない。このため、サドル４の剛性が小さく
ても２つの摩擦力による位置決め精度の低下は生じな
い。The bed by the frictional force F s between torque and the machining fluid holding tank 3 and the sealing plate 7 caused between the bed 1 and the saddle 4 by a frictional force between the surface and the moment generating mechanism 8 after the bed 1 The rotational moments generated between 1 and the saddle 4 are opposite to each other and therefore cancel each other. Further, since the sealing plate 7 with sliding plate 81 is fixed at a position close to each other with respect to the saddle 4, modified in saddle 4 hardly occurs. For this reason, even if the rigidity of the saddle 4 is small, the positioning accuracy does not decrease due to the two frictional forces.
【００２６】図１を用いて説明したこの発明の第１の実
施形態である放電加工装置では、最適なオフセット距離
を設定して、加工液保持槽とシール板の間の摩擦力によ
ってベッドとサドルとの間に作用する回転モーメントと
Ｘ軸案内機構の摩擦力によってベッドとサドルとの間に
作用する回転モーメントとが互いに相殺するような構成
としたが、オフセット距離を最適値より縮めてＸ軸駆動
装置を設置し、残るベッドとサドルとの間に作用する回
転モーメントを上に述べたモーメント発生機構と同等な
機構によってベッドとサドルとの間に回転モーメントを
作用させ互いに相殺するようにしてもよいのはいうまで
もない。In the electric discharge machine according to the first embodiment of the present invention described with reference to FIG. 1, an optimum offset distance is set, and the friction between the working fluid holding tank and the seal plate causes the bed and the saddle to move. Although the rotational moment acting between them and the rotational moment acting between the bed and the saddle are offset each other by the frictional force of the X-axis guide mechanism, the offset distance is reduced from the optimum value to reduce the X-axis driving device. May be installed, and the remaining rotational moment acting between the bed and the saddle may be offset by mutually acting a rotational moment between the bed and the saddle by a mechanism equivalent to the above-described moment generating mechanism. Needless to say.
【００２７】実施の形態３．図４は、この発明の第３の
実施形態である放電加工装置の構成を説明するための構
成概念図である。４3 はサーボモータ４2 に連結したロ
ータリエンコーダ、４4 は加工液保持槽３に近接したサ
ドル４の端部下面付近に取り付け、サドル４のベッド１
に対するＸ軸方向の移動距離を検出する位置検出器（以
下、リニアエンコーダという）、５3 はサーボモータ５
2 に連結したロータリエンコーダである。１０はサーボ
モータ４2 を駆動するＮＣ装置、１０1 は位置指令生成
手段、１０2 はロータリエンコーダ４3 、５3 およびリ
ニアエンコーダ４4 からの信号に基づいて電極の位置決
め誤差を算出する位置決め誤差算出手段、１０3 は位置
指令生成手段１０1の信号と位置決め誤差算出手段１０2
の信号を加算しサーボモータ４2 の位置指令信号を生
成する位置決め誤差補正手段、１０4 はサーボモータ駆
動手段である。Embodiment 3 FIG. 4 is a conceptual diagram illustrating the configuration of an electric discharge machine according to a third embodiment of the present invention. 4 3 rotary encoder coupled to the servomotor 4 2, 4 4 attached in the vicinity of the end lower surface of the saddle 4 adjacent to the working fluid holding tank 3, the bed of the saddle 4 1
Position detector for detecting a moving distance of the X-axis direction with respect to (hereinafter, referred to as a linear encoder), 5 3 servomotor 5
This is a rotary encoder connected to 2 . 10 NC apparatus for driving a servo motor 4 2, 10 1 position command generating unit, 10 2 positioning error to calculate the positioning error of the electrodes on the basis of a signal from the rotary encoder 4 3, 5 3 and the linear encoder 4 4 calculation means, 10 3 and positioning the position command generating unit 10 1 of the signal error calculation unit 10 2
Positioning error correction means for adding the signal generating a position command signal of the servo motor 4 2, 10 4 is servo-motor driving means.
【００２８】次に、位置決め誤差算出手段１０2 におけ
る位置決め誤差の算出方法を説明する。真の電極位置と
ＮＣ装置１０で生成される位置指令との差は、ロータリ
エンコーダ４3 のからの信号Ｘe をフィードバックする
セミクローズド方式の場合は、電極遅れ量ΔＸとＸ軸駆
動装置４b の上述したバックラッシュおよびロストモー
ションとの和であり、リニアエンコーダ４4 の信号Ｘs
をフィードバックするフルクローズド方式の場合は、電
極遅れ量ΔＸである。セミクローズド方式においては、
Ｘ軸駆動装置４b のバックラッシュおよびロストモーシ
ョンは上述したとおり従来から行われている方法で補正
することができる。[0028] Next, a method of calculating the positioning error in the positioning error calculating unit 10 2. The difference between the position command generated in the true electrode position and the NC device 10, in the case of semi-closed system for feeding back a signal X e from the rotary encoder 4 3 of the electrode delay amount ΔX and X-axis drive unit 4 b the sum of the backlash and lost motion described above, the linear encoder 4 4 signal X s
In the case of the fully closed system in which the feedback is made, the electrode delay amount ΔX is used. In the semi-closed system,
Backlash and lost motion of the X-axis drive unit 4 b can be corrected in a manner conventionally performed as described above.
【００２９】電極遅れ量ΔＸは次式で表すことができ
る。 ΔＸ＝ＬB・(Ｘe−Ｘs)／Ｌs＝(ＬB−Ｌs)・(サドル５の
回転角度) ここで、 Ｌs ：リニアエンコーダ４4 とＸ軸駆動装置４b との間
のＹ軸方向距離 ＬB ：Ｘ軸駆動装置と電極との間のＹ軸方向距離で、Ｎ
Ｃ装置で生成するＹ軸位置指令に放電加工装置の大きさ
によって決まる定数を加えたもの セミクローズド方式の場合は位置指令生成手段１０1 で
生成した位置指令を別途バックラッシュおよびロストモ
ーションによる補正量で補正した後、位置決め誤差算出
手段１０2 で電極遅れ量ΔＸを加算しＸ軸位置指令とす
ることにより、電極遅れ量ΔＸで補正した位置指令で電
極を正確に位置決めできる。もちろん、位置指令生成手
段１０1 で生成した位置指令に対して電極遅れ量とバッ
クラッシュおよびロストモーションを同時に補正しても
よいことはいうまでもない。フルクローズド方式の場合
は、先に説明したとおり電極遅れ量のみの補正を行えば
よい。The electrode delay ΔX can be expressed by the following equation. ΔX = L B · (X e -X s) / L s = ( rotational angle of the saddle 5) (L B -L s) · Here, L s: linear encoders 4 4 and the X-axis drive unit 4 b and the Y-axis direction by a distance L B between: the Y-axis direction distance between the X-axis drive unit and the electrodes, N
Correction amount by separately backlash and lost motion of the position command generated by the position command generating unit 10 1 for semi-closed system plus the constant determined by the size of the electric discharge machining apparatus in the Y-axis position command generated in C device in after correcting, by the adding electrodes delay amount [Delta] X in the positioning error calculating unit 10 2 X-axis position command, you can accurately position the electrode in position command corrected by the electrode delay amount [Delta] X. Of course, the electrodes delay amount and the backlash and lost motion with respect to the generated position command by the position command generating unit 10 1 may be corrected at the same time course. In the case of the full closed system, correction of only the electrode delay amount may be performed as described above.
【００３０】図５は、バックラッシュおよびロストモー
ションの補正済み位置指令に対して電極遅れ量ΔＸの補
正する場合のフローチャートであり、各ステップの内容
は次のとおりである。 Ｓ11：ロータリエンコーダ４3 からの信号Ｘe およびリ
ニアエンコーダ４4 からの信号Ｘs の読込み Ｓ12：位置指令生成手段１０1 で生成したＹ軸位置指令
またはロータリエンコーダ５3 からのＹ軸位置Ｙの読込
み Ｓ13：Ｙ軸位置指令またはＹ軸位置ＹによってＸ軸駆動
装置４b と電極との間のＹ軸方向距離ＬB を算出 Ｓ14：ＬB 、Ｘs 、Ｘe およびＬs とからＬB・(Ｘe−Ｘ
s)／Ｌs （電極遅れ量ΔＸ）の算出 Ｓ15：Ｘ軸位置指令値Ｘの電極遅れ量ΔＸによる補正
（位置指令生成手段１０1 からのＸ軸位置指令にバック
ラッシュおよびロストモーションによる補正をしたＸ軸
位置指令に、電極遅れ量ΔＸを加算する） このようにＸ軸位置指令を補正して位置決め精度を高
め、加工精度を向上させることができる。FIG. 5 is a flowchart in the case of correcting the electrode delay amount ΔX with respect to the backlash and lost motion corrected position commands. The contents of each step are as follows. S11: Reading of the signal X s from the signal X e and the linear encoder 4 4 from the rotary encoder 4 3 S12: Y-axis position Y from the Y-axis position command or the rotary encoder 5 3 generated by the position command generating unit 10 1 reading S13: calculate the Y-axis direction by a distance L B between the X-axis drive unit 4 b and the electrode by the Y-axis position command or Y-axis position Y S14: L B, L B from the X s, X e and L s・ (X e −X
calculation of s) / L s (electrode delay amount [Delta] X) S15: The X-axis position command correction based on the backlash and lost motion in from the X-axis position correction by the electrode delay amount [Delta] X of the command value X (position command generating unit 10 1 The electrode delay amount ΔX is added to the X-axis position command thus obtained. As described above, the X-axis position command is corrected, the positioning accuracy is increased, and the processing accuracy can be improved.
【００３１】以上の説明では、加工液保持槽３に近接し
たサドル４の端部下面付近にリニアエンコーダ４4 を設
け、サドル４のベッド１に対するＸ軸方向の移動距離を
検出するものとしたが、図６に示すように、加工液保持
槽３とサドル４との間のコラム５を支持するＹ軸案内機
構５a と略同じ高さの部位にリニアエンコーダ４4■を
設け、これから得られる信号Ｘs■を用いることにより
Ｘ軸位置指令の位置決め精度をより高めることができ
る。ただしこの場合、加工液保持槽３のサドル４と対向
する面に摩擦力Ｆs による変形が生じないよう十分な補
強を施すことが重要である。図では、リニアエンコーダ
４4■のスケールを加工液保持槽３に、検出センサーを
サドル５に取り付けた場合を示している。[0031] In the above description, a linear encoder 4 4 provided in the vicinity of the end lower surface of the saddle 4 adjacent to the working fluid holding tank 3, it is assumed for detecting a moving distance of the X-axis direction with respect to the bed 1 of the saddle 4 6, substantially a linear encoder 4 4 ■ provided to the site of the same height as the Y-axis guide mechanism 5 a supporting column 5 between the working fluid holding tank 3 and the saddle 4, obtained therefrom By using the signal X s (1), the positioning accuracy of the X-axis position command can be further improved. However, in this case, it is important to apply sufficient reinforcement so that deformation due to frictional force F s on the surface facing the saddle 4 the machining fluid holding tank 3 does not occur. The figure shows a case where the scale of the linear encoder 4 4 is attached to the machining fluid holding tank 3 and the detection sensor is attached to the saddle 5.
【００３２】次に、このように構成した場合に位置決め
誤差が少なくなる理由を説明する。リニアエンコーダ４
4■からの信号Ｘs■を用いることによってコラム５を支
持するＹ軸案内機構５a と略同じ高さにあるサドル５前
面の位置を検出するので、テーブル２とサドル５の間に
生じる変位および補正量をより正確に検出できる。また
テーブル２により近い位置で変位を検出するので、電極
遅れ量ΔＸが小さくなり高い位置決め精度が得られる。Next, the reason why the positioning error is reduced in such a configuration will be described. Linear encoder 4
And it detects an approximately saddle 5 front positions at the same height as the Y-axis guide mechanism 5 a for supporting the column 5 by using a signal X s ■ from 4 ■, displacement occurs between the table 2 and saddle 5 And the correction amount can be detected more accurately. Further, since the displacement is detected at a position closer to the table 2, the electrode delay amount ΔX is reduced, and high positioning accuracy is obtained.
【００３３】以上の説明ではサドル４の加工液保持槽３
側にリニアエンコーダ４4 を設けるものとしたが、これ
とは反対側に設けるようにしてもよい。この場合の電極
遅れ量ΔＸは ΔＸ＝ＬB・(Ｘs−Ｘe)／Ｌs として求めればよい。In the above description, the working fluid holding tank 3 of the saddle 4
It was to be arranged linear encoder 4 4 side, may be provided on the side opposite to this. The electrode delay amount [Delta] X in this case may be obtained as ΔX = L B · (X s -X e) / L s.
【００３４】さらに、サドル４の加工液保持槽３側およ
びその反対側に２つのリニアエンコーダを設け、両リニ
アエンコーダ４4 の信号をＸs1（加工液保持槽３側のリ
ニアエンコーダの信号）、Ｘs2（加工液保持槽３の反対
側のリニアエンコーダの信号）として、電極遅れ量ΔＸ
を ΔＸ＝ＬB・(Ｘs1−Ｘs2)／Ｌz として求めればよい。ここで、 Ｌz ：２つのリニアエンコーダの間のＹ軸方向距離 である。Furthermore, the processing solution holding tank 3 side of the saddle 4 and two linear encoder provided on the opposite side thereof, (signals of the machining fluid holding tank 3 side linear encoder) both the linear encoder 4 4 signal X s1, X s2 (the signal of the linear encoder on the opposite side of the machining fluid holding tank 3) is used as the electrode delay amount ΔX
The may be obtained as ΔX = L B · (X s1 -X s2) / L z. Here, L z is a distance between two linear encoders in the Y-axis direction.
【００３５】実施の形態４．図７は、この発明の第４の
実施形態である放電加工装置の構成を説明するための側
面図である。図において、４5 はサドル５側から延在す
るシール板７の支持具に取付けた例えばひずみセンサー
からなる摩擦力検出手段である。加工液保持槽３とシー
ル板７との間の摩擦力Ｆを摩擦力検出手段４5 で検出
し、予め当該放電加工装置について求めた摩擦力検出手
段４5 の出力と電極遅れ量ΔＸの関係から電極遅れ量Δ
Ｘを算出し、図４および図５を用いて説明した放電加工
装置と同様にＸ軸位置指令に補正を行えばよい。図８は
摩擦力検出手段４5 のひずみセンサー出力εと摩擦力Ｆ
の関係を示すグラフで、ひずみセンサー出力εと摩擦力
Ｆが比例関係にあることを示している。Embodiment 4 FIG. FIG. 7 is a side view for explaining the configuration of an electric discharge machine according to a fourth embodiment of the present invention. In FIG, 4 5 are frictional force detecting means comprising, for example, strain sensor attached to the bracket of the sealing plate 7 extending from the saddle 5. The frictional force F between the machining fluid holding tank 3 and the sealing plate 7 is detected by the frictional force detecting means 4 5, advance the electrical discharge machining apparatus for the determined friction force detecting means 4 5 and the output of the electrode delay amount ΔX relationship From the electrode delay Δ
X may be calculated and the X-axis position command may be corrected in the same manner as in the electric discharge machine described with reference to FIGS. Figure 8 is a friction force F and the strain sensor output ε of the frictional force detecting means 4 5
Is a graph showing a relationship between the strain sensor output ε and the frictional force F in a proportional relationship.
【００３６】図９は、摩擦力検出手段４5 の出力に基づ
いて電極遅れ量ΔＸの補正する場合のフローチャートで
あり、各ステップの内容は次のとおりである。 Ｓ21：ひずみセンサー４5 出力ε読込み Ｓ22：ＮＣ装置１０が生成したＹ軸位置指令Ｙとひずみ
センサー４5 出力εとからの電極遅れ量ΔＸ算出 Ｓ23：Ｘ軸位置指令値Ｘの電極遅れ量ΔＸによる補正[0036] Figure 9 is a flowchart for correction of the electrodes delay amount ΔX is based on the output of the frictional force detecting means 4 5, the contents of each step are as follows. S21: Strain sensor 4 5 Output ε reading S22: NC device 10 electrodes delay amount ΔX calculated from the strain sensor 4 5 Output ε and generated Y axis position command Y S23: electrodes delay amount ΔX in the X-axis position command value X Correction by
【００３７】このように構成すれば、Ｘ軸駆動装置４b
を構成するボールねじ４1 のリード誤差やバックラッシ
ュの影響を受けずに精度よく電極遅れ量ΔＸの補正がで
き、位置決め精度を高め、加工精度を向上することがで
きる。また、加工液保持槽３とシール板７と間の摩擦力
の変動に応じて、正確な電極遅れ量ΔＸによりＸ軸位置
指令を補正することができ、位置決め精度の低下を防止
できる。なお、摩擦力検出手段として、ひずみセンサー
ばかりでなく圧電型ロードセルなどの力検出器を用いて
もよい。With this configuration, the X-axis driving device 4 b
The unaffected lead error and backlash of the ball screw 4 1 constituting can be corrected accurately electrodes delay amount [Delta] X, enhance the positioning accuracy, it is possible to improve the machining accuracy. In addition, the X-axis position command can be corrected with the accurate electrode delay amount ΔX in accordance with the change in the frictional force between the working fluid holding tank 3 and the seal plate 7, and a decrease in the positioning accuracy can be prevented. In addition, as the frictional force detecting means, not only a strain sensor but also a force detector such as a piezoelectric load cell may be used.
【００３８】実施の形態６．図１０は、この発明の第５
の実施形態である放電加工装置の構成を説明するための
構成概念図である。１０5 は例えばサーボモータ４2 の
駆動電流とロータリエンコーダ４3 からの信号Ｘe によ
り、サーボモータ４2 に加わる摩擦力を算出する摩擦力
推定手段である。１０2■は信号Ｘe とロータリエンコ
ーダ５3 からの信号Ｙおよび摩擦力推定手段１０5 から
の信号Ｆに基づいて、電極遅れ量ΔＸを算出する位置決
め誤差算出手段である。Embodiment 6 FIG. FIG. 10 shows a fifth embodiment of the present invention.
1 is a configuration conceptual diagram for describing a configuration of an electric discharge machine according to an embodiment. 10 5 by the signal X e from the servo motor 4 second drive current and the rotary encoder 4 3 example, a frictional force estimation means for calculating the frictional force applied to the servo motor 4 2. 10 2 ■ based on the signal F from the signal Y and the frictional force estimation unit 105 from the signal X e and the rotary encoder 5 3, a positioning error calculating means for calculating the electrodes delay amount [Delta] X.
【００３９】次に、位置決め誤差算出手段１０2■の動
作について説明する。加工液保持槽３とシール板７との
間の摩擦力Ｆを摩擦力推定手段１０5 で検出し、予め当
該放電加工装置について求めた加工液保持槽３とシール
板７との間の摩擦力Ｆと電極遅れ量ΔＸの関係を求めて
おき、摩擦力推定手段１０5 の出力から電極遅れ量ΔＸ
を算出し、Ｘ軸位置指令を補正する。Next, the operation of the positioning error calculating means 102 2 will be described. The frictional force F between the machining fluid holding tank 3 and the seal plate 7 is detected by the frictional force estimating means 10 5 , and the frictional force between the machining fluid holding tank 3 and the seal plate 7 is determined in advance for the electric discharge machining apparatus. to previously obtain a relation between F and electrodes delay amount [Delta] X, electrodes delay amount [Delta] X from the output of the frictional force estimating means 10 5
Is calculated, and the X-axis position command is corrected.
【００４０】図１１は電極遅れ量ΔＸの補正する場合の
フローチャートであり、各ステップの内容は次のとおり
である。 Ｓ31：サーボモータ４2 の駆動電流およびロータリエン
コーダ４3 の信号Ｘeの読込み Ｓ32：駆動電流および信号Ｘe からのサーボモータ４2
に加わる摩擦力Ｆの算出 Ｓ33：Ｙ軸位置指令またはロータリエンコーダ５3 から
の信号Ｙの読込み Ｓ34：摩擦力Ｆと信号Ｙからの電極遅れ量ΔＸ算出 Ｓ35：Ｘ軸位置指令値Ｘの電極遅れ量ΔＸによる補正FIG. 11 is a flowchart in the case of correcting the electrode delay amount ΔX. The contents of each step are as follows. S31: Reading of the servo motor 4 2 of the drive current and the rotary encoder 4 3 signal X e S32: Servo motor 4 2 from the driving current and signal X e
Calculation of the frictional force F applied to the S33: Y axis position command or read signal Y from the rotary encoder 5 3 S34: frictional force F and the electrodes delay amount ΔX calculated from the signal Y S35: the X-axis position command value X electrodes delay Correction by the amount ΔX
【００４１】このように構成すれば、図７を用いて説明
した放電加工装置と同様にボールねじのリード誤差やバ
ックラッシュの影響を除いた電極遅れ量ΔＸの補正、さ
らに加工液保持槽とシール板との間の摩擦力の変動に応
じた電極遅れ量ΔＸによる補正ができる。With this configuration, similarly to the electric discharge machine described with reference to FIG. 7, the correction of the electrode delay amount ΔX excluding the influence of the lead error of the ball screw and the backlash, and the machining fluid holding tank and the seal The correction can be performed by the electrode delay amount ΔX according to the fluctuation of the frictional force with the plate.
【００４２】[0042]
【発明の効果】この発明によれば、Ｘ軸駆動装置のサド
ルとの連結位置に対する加工液保持槽とシール板の摩擦
力による回転モーメントと、Ｘ軸案内機構の摩擦力によ
る回転モーメントとが互いに相殺するようにＸ軸駆動装
置のサドルとの連結位置を設定したので、ベッドとサド
ルの間に作用する回転モーメントおよび電極遅れ量を抑
制でき加工精度が高くなる。According to the present invention, the rotational moment due to the frictional force between the working fluid holding tank and the seal plate and the rotational moment due to the frictional force of the X-axis guide mechanism with respect to the connection position of the X-axis driving device with the saddle are mutually different. Since the connection position of the X-axis drive device with the saddle is set so as to cancel each other, the rotational moment acting between the bed and the saddle and the electrode delay amount can be suppressed, and the processing accuracy can be increased.
【００４３】また、Ｘ軸駆動装置のサドルとの連結位置
に対するＸ軸案内機構の摩擦力による回転モーメントと
加工液保持槽とシール板の摩擦力による回転モーメント
のとは互いに逆の向きを有し、前者の大きさが後者のそ
れの３分の２乃至３分の４の範囲となるようＸ軸駆動装
置のサドルとの連結位置を設定したので、従来の放電加
工機に比べてベッドとサドルの間に作用する回転モーメ
ントおよび電極遅れ量を大幅に抑制でき加工精度が高く
なる。The rotational moment due to the frictional force of the X-axis guide mechanism and the rotational moment due to the frictional force between the working fluid holding tank and the seal plate with respect to the connection position of the X-axis drive unit with the saddle have directions opposite to each other. Since the connection position of the X-axis drive unit with the saddle is set so that the size of the former is in the range of two-thirds to four-thirds of that of the latter, the bed and the saddle are compared with the conventional electric discharge machine. The amount of rotation moment and the amount of electrode delay acting between the electrodes can be greatly suppressed, and the processing accuracy can be increased.
【００４４】また、サドルに固着しかつベッドの一端側
に押圧して、サドルのＸ軸方向への移動に応じて摺動す
るモーメント発生機構を備え、Ｘ軸駆動装置のサドルと
の連結位置に対する加工液保持槽とシール板の摩擦力に
よる回転モーメントと、モーメント発生機構による回転
モーメントとが互いに相殺するように構成したので、ベ
ッドとサドルの間に作用する回転モーメントおよび電極
遅れ量を抑制でき加工精度が高くなる。Further, a moment generating mechanism which is fixed to the saddle and is pressed against one end of the bed to slide according to the movement of the saddle in the X-axis direction is provided. The rotational moment due to the frictional force between the machining fluid holding tank and the seal plate and the rotational moment due to the moment generating mechanism are configured to cancel each other, so the rotational moment acting between the bed and saddle and the electrode delay can be suppressed. Accuracy increases.
【００４５】また、コラムとベッドもしくは加工液保持
槽との間にコラムとベッドもしくは加工液保持槽との間
のＸ軸方向の相対位置を直接検知する位置検出器を備
え、この位置検出器の信号とＸ軸駆動装置の位置指令と
に基づいてサドルのベッドに対する回転変位量を生成
し、この回転変位量とＹ軸駆動装置に対する位置指令と
により前記電極の変位量を生成し、この変位量によりＸ
軸駆動装置に対する位置指令を補正するように構成した
ので、電極遅れ量に応じてＸ軸位置指令を補正ができ、
位置決め精度の経年劣化を防止し位置決め精度を高め加
工精度を向上させることができる。A position detector is provided between the column and the bed or the working fluid holding tank for directly detecting the relative position in the X-axis direction between the column and the bed or the working fluid holding tank. A rotational displacement amount of the saddle with respect to the bed is generated based on the signal and a position command of the X-axis driving device, and a displacement amount of the electrode is generated based on the rotational displacement amount and a position command of the Y-axis driving device. By X
Since the position command to the axis driving device is configured to be corrected, the X-axis position command can be corrected according to the electrode delay amount,
It is possible to prevent aging of the positioning accuracy and improve the positioning accuracy to improve the processing accuracy.
【００４６】また、コラムとベッドもしくは加工液保持
槽との間のＸ軸方向の相対位置を直接検知する位置検出
器を、コラムのＹ軸方向の両端部近傍に設置した２つの
位置検出器で構成したので、精度よく電極遅れ量を検出
でき、この電極遅れ量に応じてＸ軸位置指令を補正がで
き、位置決め精度の経年劣化を防止し位置決め精度を高
め加工精度を向上させることができる。A position detector for directly detecting the relative position in the X-axis direction between the column and the bed or the working fluid holding tank is provided by two position detectors installed near both ends of the column in the Y-axis direction. With this configuration, the electrode delay amount can be detected with high accuracy, the X-axis position command can be corrected according to the electrode delay amount, the aging of the positioning accuracy can be prevented, the positioning accuracy can be increased, and the processing accuracy can be improved.
【００４７】また、コラムと加工液保持槽との間にコラ
ムと加工液保持槽との間の摩擦力を検知する摩擦力検出
手段を備え、この摩擦力検出手段の信号に基づいてサド
ルのベッドに対する回転変位量を生成し、この回転変位
量とＹ軸駆動装置に対する位置指令とにより電極の変位
量を生成し、この変位量によりＸ軸の駆動装置に対する
位置指令を補正するように構成したので、電極遅れ量に
応じてＸ軸位置指令を補正ができ、位置決め精度の経年
劣化を防止し位置決め精度を高め加工精度を向上させる
ことができる。Further, a frictional force detecting means for detecting a frictional force between the column and the working liquid holding tank is provided between the column and the working liquid holding tank, and the saddle bed is detected based on a signal from the frictional force detecting means. , A displacement amount of the electrode is generated based on the rotation displacement amount and a position command to the Y-axis driving device, and the position command to the X-axis driving device is corrected by the displacement amount. In addition, the X-axis position command can be corrected according to the electrode delay amount, and the aging of the positioning accuracy can be prevented, the positioning accuracy can be increased, and the processing accuracy can be improved.
【図１】 この発明の第１の実施形態である放電加工装
置の上面図および側面図である。FIG. 1 is a top view and a side view of an electric discharge machine according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 オフセット距離とベッドとサドルとの間に作
用する回転モーメントの関係を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing a relationship between an offset distance and a rotational moment acting between a bed and a saddle.
【図３】 この発明の第２の実施形態である放電加工装
置の側面図である。FIG. 3 is a side view of an electric discharge machine according to a second embodiment of the present invention.
【図４】 この発明の第３の実施形態である放電加工装
置の構成概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram illustrating a configuration of an electric discharge machine according to a third embodiment of the present invention.
【図５】 この発明の第３の実施形態における電極遅れ
量ΔＸの補正に係るフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart relating to correction of an electrode delay amount ΔX according to a third embodiment of the present invention.
【図６】 この発明の第３の実施形態の変形例を示す構
成概念図である。FIG. 6 is a configuration conceptual diagram showing a modification of the third embodiment of the present invention.
【図７】 この発明の第４の実施形態である放電加工装
置の側面図である。FIG. 7 is a side view of an electric discharge machine according to a fourth embodiment of the present invention.
【図８】 この発明の第４の実施形態における摩擦力検
出手段センサー出力と摩擦力の関係を示すグラフであ
る。FIG. 8 is a graph showing a relationship between a frictional force detecting means sensor output and a frictional force according to a fourth embodiment of the present invention.
【図９】 この発明の第３の実施形態における摩擦力検
出手段４5 の出力に基づいて電極遅れ量ΔＸの補正する
場合のフローチャートである。9 is a flowchart of a case of correcting electrode delay amount ΔX based on the output of the frictional force detecting means 4 5 in the third embodiment of the present invention.
【図１０】 この発明の第５の実施形態である放電加工
装置の構成概念図である。FIG. 10 is a conceptual diagram showing the configuration of an electric discharge machine according to a fifth embodiment of the present invention.
【図１１】 この発明の第５の実施形態における電極遅
れ量ΔＸの補正に係るフローチャートである。FIG. 11 is a flowchart relating to correction of an electrode delay amount ΔX according to a fifth embodiment of the present invention.
【図１２】 従来のワイヤ放電加工機の側面図である。FIG. 12 is a side view of a conventional wire electric discharge machine.
１…ベッド 、２…テーブル、３…加工液保持槽 ４…サドル、４a …Ｘ軸案内機構、４b …Ｘ軸駆動装置 ４4 …リニアエンコーダ、４5 …摩擦力検出手段 ５…コラム、５a …Ｙ軸案内機構、５b …Ｙ軸駆動装置 ６1 …第１の電極支持ビーム、６2 …第２の電極支持ビ
ーム ６a …Ｚ軸案内機構、７…シール板、１０…ＮＣ装置DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Bed, 2 ... Table, 3 ... Machining fluid holding tank 4 ... Saddle, 4a ... X-axis guide mechanism, 4b ... X-axis drive device 4 4 ... Linear encoder, 4 5 ... Friction force detection means 5 ... Column, 5 a ... Y-axis guide mechanism, 5 b ... Y-axis driving device 61 ... first electrode support beam, 6 2 ... second electrode support beam 6 a ... Z-axis guide mechanism, 7 ... sealing plate, 10 ... NC apparatus
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 誠 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 仲 成章 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 安達 章人 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 渡辺 浩太郎 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 木場 亮吾 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3C059 AA01 JA04 JA06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Makoto Tanaka 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Mitsui Electric Co., Ltd. (72) Inventor Shigeaki Naka 2-3-2, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo Rishi Electric Co., Ltd. (72) Inventor Akihito Adachi 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Sanbishi Electric Co., Ltd. (72) Inventor Kotaro Watanabe 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Electric Co., Ltd. (72) Inventor Ryogo Kiba 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo F-term (reference) 3C059 AA01 JA04 JA06
Claims (6)
加工物を載置するテーブルと、該テーブルを囲繞し加工
液を保持する加工液保持槽と、前記ベッドの他端側に搭
載し第１の駆動装置によって駆動しかつ第１の案内機構
が第１の方向への移動軌跡を規制するサドルと、該サド
ル上に搭載し第２の駆動装置によって駆動しかつ第２の
案内機構が前記第１の方向と直交する第２の方向への移
動軌跡を規制するコラムと、該コラム上に搭載し第３の
駆動装置によって駆動しかつ第３の案内機構が前記第１
の方向および前記第２の方向と直交する第３の方向への
移動軌跡を規制する第１の電極支持ビームと、前記サド
ルが支持し前記加工液保持槽を貫通して前記テーブル下
部に延在する第２の電極支持ビームと、前記サドルが支
持し前記第１の電極支持ビームが貫通する前記加工液保
持槽に押圧し前記第１の方向への前記サドルの移動に応
じて摺動し前記加工液保持槽からの前記加工液の漏出を
防止するシール板と、前記第１の電極支持ビームおよび
前記第２の電極支持ビームとによって支持する電極とを
備える放電加工装置において、 前記加工液保持槽と前記シール板の摩擦力による前記第
１の駆動装置の前記サドルとの連結位置に対する第１の
回転モーメントと、前記第１の案内機構の摩擦力による
前記第１の駆動装置の前記サドルとの連結位置に対する
第２の回転モーメントとが互いに相殺するよう前記第１
の駆動装置の前記サドルとの連結位置を設定したことを
特徴とする放電加工装置。1. A bed, a table mounted on one end of the bed for mounting a workpiece, a processing liquid holding tank surrounding the table and holding a processing liquid, and mounted on the other end of the bed A saddle that is driven by the first drive device and that the first guide mechanism regulates a movement trajectory in the first direction; a saddle mounted on the saddle and driven by the second drive device and that is driven by the second guide mechanism A column for restricting a movement trajectory in a second direction orthogonal to the first direction, a column mounted on the column, driven by a third driving device, and a third guide mechanism provided in the first direction.
A first electrode support beam that regulates a movement trajectory in a third direction orthogonal to the second direction and the second direction, and extends below the table through the machining fluid holding tank supported by the saddle. The second electrode support beam to be pressed, the saddle supports the first electrode support beam, presses against the processing liquid holding tank through which the first electrode support beam passes, and slides in accordance with the movement of the saddle in the first direction. An electric discharge machining apparatus comprising: a seal plate for preventing leakage of the machining fluid from a machining fluid holding tank; and electrodes supported by the first electrode support beam and the second electrode support beam. A first rotational moment of the first driving device with respect to a connection position with the saddle due to a frictional force between a tank and the seal plate; and a saddle of the first driving device due to a frictional force of the first guide mechanism. Concatenation of The first rotational moment relative to the position to cancel each other.
An electric discharge machining device, wherein a connection position of the drive device with the saddle is set.
回転モーメントとは互いに逆の向きを有し、前記第２の
回転モーメントの大きさが前記第１の回転モーメントの
３分の２乃至３分の４の範囲となるよう前記第１の駆動
装置の前記サドルとの連結位置を設定した請求項１に記
載の放電加工装置。2. The first rotation moment and the second rotation moment have directions opposite to each other, and the magnitude of the second rotation moment is two-thirds or less of the first rotation moment. The electric discharge machining apparatus according to claim 1, wherein a connection position of the first drive device with the saddle is set to be in a range of four-thirds.
加工物を載置するテーブルと、該テーブルを囲繞し加工
液を保持する加工液保持槽と、前記ベッドの他端側に搭
載し第１の駆動装置によって駆動しかつ第１の案内機構
が第１の方向への移動軌跡を規制するサドルと、該サド
ル上に搭載し第２の駆動装置によって駆動しかつ第２の
案内機構が前記第１の方向と直交する第２の方向への移
動軌跡を規制するコラムと、該コラム上に搭載し第３の
駆動装置によって駆動しかつ第３の案内機構が前記第１
の方向および前記第２の方向と直交する第３の方向への
移動軌跡を規制する第１の電極支持ビームと、前記サド
ルが支持し前記加工液保持槽を貫通して前記テーブル下
部に延在する第２の電極支持ビームと、前記サドルが支
持し前記第１の電極支持ビームが貫通する前記加工液保
持槽に押圧し前記第１の方向への前記サドルの移動に応
じて摺動し前記加工液保持槽からの前記加工液の漏出を
防止するシール板と、前記第１の電極支持ビームおよび
前記第２の電極支持ビームとによって支持する電極とを
備える放電加工装置において、 前記サドルに固着しかつ前記ベッドの他端側を押圧し
て、前記サドルの前記第１の方向への移動に応じて摺動
するモーメント発生機構を備え、前記加工液保持槽と前
記シール板の摩擦力による前記第１の駆動装置の前記サ
ドルとの連結位置に対する第１の回転モーメントと、前
記モーメント発生機構による前記第１の駆動装置の前記
サドルとの連結位置に対する第３の回転モーメントとが
互いに相殺するように構成したことを特徴とする放電加
工装置。3. A bed, a table mounted on one end of the bed for mounting a workpiece, a processing liquid holding tank surrounding the table and holding a processing liquid, and mounted on the other end of the bed. A saddle that is driven by the first drive device and that the first guide mechanism regulates a movement trajectory in the first direction; a saddle mounted on the saddle and driven by the second drive device and that is driven by the second guide mechanism A column for restricting a movement trajectory in a second direction orthogonal to the first direction, a column mounted on the column, driven by a third driving device, and a third guide mechanism provided in the first direction.
A first electrode support beam that regulates a movement trajectory in a third direction orthogonal to the second direction and the second direction, and extends below the table through the machining fluid holding tank supported by the saddle. The second electrode support beam to be pressed, the saddle supports the first electrode support beam, presses against the processing liquid holding tank through which the first electrode support beam passes, and slides in accordance with the movement of the saddle in the first direction. An electric discharge machining apparatus comprising: a seal plate for preventing leakage of the machining fluid from a machining fluid holding tank; and electrodes supported by the first electrode support beam and the second electrode support beam. And a moment generating mechanism that presses the other end of the bed and slides in accordance with the movement of the saddle in the first direction, wherein the frictional force between the working fluid holding tank and the seal plate is provided. First drive unit And a third rotational moment of the first drive unit with respect to a position of connection of the first drive unit with the saddle by the moment generating mechanism cancels each other. An electric discharge machine characterized by the above.
加工物を載置するテーブルと、該テーブルを囲繞し加工
液を保持する加工液保持槽と、前記ベッドの他端側に搭
載し第１の駆動装置によって駆動しかつ第１の案内機構
が第１の方向への移動軌跡を規制するサドルと、該サド
ル上に搭載し第２の駆動装置によって駆動しかつ第２の
案内機構が前記第１の方向と直交する第２の方向への移
動軌跡を規制するコラムと、該コラム上に搭載し第３の
駆動装置によって駆動しかつ第３の案内機構が前記第１
の方向および前記第２の方向と直交する第３の方向への
移動軌跡を規制する第１の電極支持ビームと、前記サド
ルが支持し前記加工液保持槽を貫通して前記テーブル下
部に延在する第２の電極支持ビームと、前記サドルが支
持し前記第１の電極支持ビームが貫通する前記加工液保
持槽に押圧し前記第１の方向への前記サドルの移動に応
じて摺動し前記加工液保持槽からの前記加工液の漏出を
防止するシール板と、前記第１の電極支持ビームおよび
前記第２の電極支持ビームとによって支持する電極とを
備える放電加工装置において、 前記コラムと前記ベッドもしくは前記加工液保持槽との
間に前記コラムと前記ベッドもしくは前記加工液保持槽
との間の前記第１の方向の相対位置を直接検知する第２
の位置検出器を備え、該第２の位置検出器の信号と前記
第１の駆動装置に対する位置指令とに基づいて前記サド
ルの前記ベッドに対する回転変位量を生成し、該回転変
位量と前記第２の駆動装置に対する位置指令とにより前
記電極の変位量を生成し、該変位量により前記第１の駆
動装置に対する位置指令を補正するように構成したこと
を特徴とする放電加工装置。4. A bed, a table mounted on one end of the bed for mounting a workpiece, a processing liquid holding tank surrounding the table and holding a processing liquid, and mounted on the other end of the bed. A saddle that is driven by the first drive device and that the first guide mechanism regulates a movement trajectory in the first direction; a saddle mounted on the saddle and driven by the second drive device and that is driven by the second guide mechanism A column for restricting a movement trajectory in a second direction orthogonal to the first direction, a column mounted on the column, driven by a third driving device, and a third guide mechanism provided in the first direction.
A first electrode support beam that regulates a movement trajectory in a third direction orthogonal to the second direction and the second direction, and extends below the table through the machining fluid holding tank supported by the saddle. The second electrode support beam to be pressed, the saddle supports the first electrode support beam, presses against the processing liquid holding tank through which the first electrode support beam passes, and slides in accordance with the movement of the saddle in the first direction. An electric discharge machining apparatus comprising: a seal plate for preventing leakage of the machining fluid from a machining fluid holding tank; and electrodes supported by the first electrode support beam and the second electrode support beam. A second for directly detecting a relative position in the first direction between the column and the bed or the processing liquid holding tank between the bed and the processing liquid holding tank;
A position detector for generating a rotational displacement amount of the saddle with respect to the bed based on a signal of the second position detector and a position command for the first drive device, and the rotational displacement amount and the An electric discharge machining apparatus, wherein a displacement amount of the electrode is generated by a position command to the second driving device, and a position command to the first driving device is corrected by the displacement amount.
前記第２の方向の両端部近傍に設置した２つの位置検出
器からなることを特徴とする請求項４に記載の放電加工
装置。5. The electric discharge machining apparatus according to claim 4, wherein the second position detector comprises two position detectors installed near both ends of the column in the second direction. .
加工物を載置するテーブルと、該テーブルを囲繞し加工
液を保持する加工液保持槽と、前記ベッドの他端側に搭
載し第１の駆動装置によって駆動しかつ第１の案内機構
が第１の方向への移動軌跡を規制するサドルと、該サド
ル上に搭載し第２の駆動装置によって駆動しかつ第２の
案内機構が前記第１の方向と直交する第２の方向への移
動軌跡を規制するコラムと、該コラム上に搭載し第３の
駆動装置によって駆動しかつ第３の案内機構が前記第１
の方向および前記第２の方向と直交する第３の方向への
移動軌跡を規制する第１の電極支持ビームと、前記サド
ルが支持し前記加工液保持槽を貫通して前記テーブル下
部に延在する第２の電極支持ビームと、前記サドルが支
持し前記第１の電極支持ビームが貫通する前記加工液保
持槽に押圧し前記第１の方向への前記サドルの移動に応
じて摺動し前記加工液保持槽からの前記加工液の漏出を
防止するシール板と、前記第１の電極支持ビームおよび
前記第２の電極支持ビームとによって支持する電極とを
備える放電加工装置において、 前記コラムと前記加工液保持槽との間に前記コラムと前
記加工液保持槽との間の摩擦力を検知する摩擦力検出手
段を備え、該摩擦力検出手段の信号に基づいて前記サド
ルの前記ベッドに対する回転変位量を生成し、該回転変
位量と前記第２の駆動装置に対する位置指令とにより前
記電極の変位量を生成し、該変位量により前記第１の駆
動装置に対する位置指令を補正するように構成したこと
を特徴とする放電加工装置。6. A bed, a table mounted on one end of the bed for mounting a workpiece, a processing liquid holding tank surrounding the table and holding a processing liquid, and mounted on the other end of the bed. A saddle that is driven by the first drive device and that the first guide mechanism regulates a movement trajectory in the first direction; a saddle mounted on the saddle and driven by the second drive device and that is driven by the second guide mechanism A column for restricting a movement trajectory in a second direction orthogonal to the first direction, a column mounted on the column, driven by a third driving device, and a third guide mechanism provided in the first direction.
A first electrode support beam that regulates a movement trajectory in a third direction orthogonal to the second direction and the second direction, and extends below the table through the machining fluid holding tank supported by the saddle. The second electrode support beam to be pressed, the saddle supports the first electrode support beam, presses against the processing liquid holding tank through which the first electrode support beam passes, and slides in accordance with the movement of the saddle in the first direction. An electric discharge machining apparatus comprising: a seal plate for preventing leakage of the machining fluid from a machining fluid holding tank; and electrodes supported by the first electrode support beam and the second electrode support beam. A frictional force detecting means for detecting a frictional force between the column and the processing liquid holding tank between the processing liquid holding tank and a rotational displacement of the saddle with respect to the bed based on a signal from the frictional force detecting means; Generate quantity Then, a displacement amount of the electrode is generated based on the rotation displacement amount and a position command for the second drive device, and the position command for the first drive device is corrected based on the displacement amount. Electrical discharge machining equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28410598A JP3744229B2 (en) | 1998-10-06 | 1998-10-06 | EDM machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28410598A JP3744229B2 (en) | 1998-10-06 | 1998-10-06 | EDM machine |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005293624A Division JP4013973B2 (en) | 2005-10-06 | 2005-10-06 | EDM machine |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000107940A true JP2000107940A (en) | 2000-04-18 |
| JP3744229B2 JP3744229B2 (en) | 2006-02-08 |
Family
ID=17674276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28410598A Expired - Fee Related JP3744229B2 (en) | 1998-10-06 | 1998-10-06 | EDM machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3744229B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112427756A (en) * | 2020-10-26 | 2021-03-02 | 浙江三奇机械设备有限公司 | Automatic reversing method and system for wire barrel |
-
1998
- 1998-10-06 JP JP28410598A patent/JP3744229B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112427756A (en) * | 2020-10-26 | 2021-03-02 | 浙江三奇机械设备有限公司 | Automatic reversing method and system for wire barrel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3744229B2 (en) | 2006-02-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7372231B2 (en) | Movable body position control device and stage device using the movable body position control device | |
| JP5897891B2 (en) | Machine Tools | |
| US9152142B2 (en) | Servo controller for correcting position error when moving member reverses | |
| US7333862B2 (en) | Position control device of moving body, stage device using the position control device, and position control method of moving body | |
| KR20080079590A (en) | Method and apparatus for compensating a stick motion generated at a quadrant changing position in nc machine tools | |
| JP4299865B2 (en) | Machine tool control apparatus and control method | |
| JP5385330B2 (en) | High precision processing equipment | |
| JPH10138075A (en) | Work attitude adjusting device, adjusting tool, and adjusting method | |
| JP3811088B2 (en) | Servo control method | |
| KR100450455B1 (en) | Servo control method | |
| JP5972553B2 (en) | Positioning control device and machine tool equipped with the same | |
| JP2006192558A (en) | Table device and its controlling method | |
| JP2000107940A (en) | Electrical discharge machining device | |
| EP1008419B1 (en) | Vertical axis translation mechanism | |
| JP4013973B2 (en) | EDM machine | |
| JP3194246B2 (en) | XY stage control device | |
| JP4448219B2 (en) | Dynamic deflection correction method in motion controller and motion controller | |
| JP4503148B2 (en) | Compensator for feeding mechanism of numerically controlled machine tool and numerically controlled machine tool | |
| TWI726498B (en) | Method for synchronous control of gantry mechanism with online inertia matching | |
| JP3404645B2 (en) | Position control device for processing head in processing device | |
| JP4583616B2 (en) | Method and apparatus for controlling welding robot | |
| JP3681884B2 (en) | Electric discharge machine | |
| JP5587040B2 (en) | Positioning device | |
| JPH079304A (en) | Correcting method for correctingly positioning elastic deformation of mechanical structure | |
| KR20230152373A (en) | One-step, one-step double-sided integrated drilling device for semiconductor parts with Auto Plate Reverse Positioner technology applied |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040628 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050315 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050809 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051006 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051101 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051114 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091202 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091202 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101202 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111202 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111202 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121202 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121202 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131202 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |