JP2000088822A5 - - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の内部電極層と、複数の振動子の層をお互いに交互に積層してなる積層構造の振動子素子をアレイ状に配設した超音波探触子において、積層される前記内部電極層の層数が前記振動子の短軸方向中央部において多く、周辺部になるにしたがって少なくなるように構成されたことを特徴とする超音波探触子。
【請求項2】
複数の内部電極層と、複数の振動子の層とをお互いに交互に積層してなる積層構造の振動子素子をアレイ状に配設した超音波探触子において、前記内部電極層に交互に接続される2組の外部電極層を備え、積層される前記内部電極層の層数が前記振動子の短軸方向中央部において多く、周辺部になるにしたがって少なくなるように構成されたことを特徴とする超音波探触子。
【0004】
【課題を解決するための手段】
複数の内部電極層と、複数の振動子の層をお互いに交互に積層してなる積層構造の振動子素子をアレイ状に配設した超音波探触子において、駆動される振動子素子の層数が前記振動子の短軸方向中央部において多く、周辺部になるにしたがって少なくなる構成とされる。また、前記内部電極層に交互に接続された2つの外部電極層を備え、積層される前記内部電極層の層数が前記振動子の短軸方向中央部において多く、周辺部になるにしたがって少なくなるように構成される。
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