JP2000088764A - Automatic inspection apparatus for microscope - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、鋼材等の試験片を
顕微鏡により拡大して介在物等の有無を検査する作業を
自動的に行う自動顕微鏡検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic microscope inspection apparatus for automatically inspecting the presence or absence of inclusions by enlarging a test piece such as a steel material with a microscope.
【０００２】[0002]
【従来の技術】製鉄所などの生産現場では、品質管理上
の要請から、製品の一部を切り取った試験片を顕微鏡な
どで拡大し、これをテレビモニターなどに表示させて詳
しく観察し、介在物等の欠陥がないかどうか、あるい
は、欠陥がある場合はそれがどのようなものか等を詳し
く調べる検査が行われている。顕微鏡による観察は部分
的な拡大画像ごとに行うため、試験片のすべての部分を
観察するにはある程度の時間を要し、また、生産量の多
い現場では多数の試験片を検査しなければならないた
め、効率的な作業が求められる。このため、かかる検査
を自動化し省力化を図った検査装置が使用されている。
このような検査を自動化する装置の一例が、特公平５−
７０１２６号公報に開示されている。2. Description of the Related Art At a production site such as a steel mill, due to a request for quality control, a test piece obtained by cutting a part of a product is magnified by a microscope or the like, and is displayed on a television monitor or the like for detailed observation and intervening. Inspections are being conducted to determine in detail whether there is any defect in the object or the like, or if there is a defect, what the defect is. Observation with a microscope is performed for each partial enlarged image, so it takes a certain amount of time to observe all parts of the test piece, and many test pieces must be inspected in high production areas Therefore, efficient work is required. For this reason, an inspection apparatus that automates the inspection and saves labor is used.
An example of an apparatus for automating such an inspection is disclosed in
No. 70126 discloses this.
【０００３】前記公報に記載されている装置には、走査
位置の割り出しを行うための「位置割り出しステージ」
と、必要な範囲で走査を行って実際の画像測定を行うた
めの「検査ステージ」という二つのステージが設けられ
ている。各ステージには顕微鏡が設けられており、位置
割り出しステージ用の顕微鏡は低倍率、検査ステージ用
の顕微鏡は高倍率とされている。各顕微鏡によって得ら
れた画像は、接眼レンズに取り付けられた二次元カメラ
によって撮像され、テレビモニター等に表示される。The apparatus described in the above publication includes a "position determining stage" for determining a scanning position.
And an "inspection stage" for performing actual image measurement by scanning in a required range. Each stage is provided with a microscope. The microscope for the position indexing stage has a low magnification, and the microscope for the inspection stage has a high magnification. An image obtained by each microscope is captured by a two-dimensional camera attached to an eyepiece, and displayed on a television monitor or the like.
【０００４】前記公報に記載されている装置で試験片の
検査を行う場合は、まず、試験片を検体載置台に載せ、
これを位置割り出しステージ側に置いて低倍率の顕微鏡
で画像を得て、この画像から本来の画像測定を行うため
の走査位置を求める。次に、この試験片を載せた検体載
置台を検査ステージへ移動し、ここで、位置割り出しス
テージにおいて求められた走査位置において走査を行
い、実際の画像測定を行う。すなわち、試験片は、検体
載置台の上に載置され、更にこの検体載置台が移動可能
な載置台によって搬送され、位置割り出しステージと検
査ステージとの間で行き来する。すなわち、各ステージ
上での試験片の微少な移動は検体載置台によって行わ
れ、各ステージ間の移動は載置台によって行われことに
なるので、実質的に、検体載置台と載置台という二つの
ステージが使用されている。When testing a test piece with the apparatus described in the above publication, first, the test piece is placed on a sample mounting table,
This is placed on the position indexing stage side, an image is obtained with a low-magnification microscope, and a scanning position for performing an original image measurement is obtained from this image. Next, the sample mounting table on which the test piece is mounted is moved to the inspection stage, where scanning is performed at the scanning position determined in the position indexing stage, and actual image measurement is performed. That is, the test piece is mounted on the sample mounting table, and further, the sample mounting table is transported by the movable mounting table, and moves between the position indexing stage and the inspection stage. That is, the minute movement of the test piece on each stage is performed by the sample mounting table, and the movement between each stage is performed by the mounting table, so that there are practically two sample mounting tables and a mounting table. The stage is being used.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のよう
に、ステージ間の移動を行う載置台と、一方のステージ
における微少な移動を行うための検体載置台という、実
質的に二つの移動可能な台を設けると、載置台に載せて
ステージ間の移動を行う際に位置に誤差が生じる原因と
なる。また、位置割り出しステージ及び検査ステージに
おけるカメラはいずれも二次元カメラであるため、検体
載置台の移動距離は、ほぼ位置割り出しステージと検査
ステージの間隔と同じであり、移動距離が大きくなる。
このように移動距離が大きいと、移動後の位置誤差はそ
れだけ大きくなる。By the way, as described above, there are substantially two movable stages: a stage for moving between stages, and a stage for finely moving one of the stages. The provision of the table causes an error in the position when the stage is moved on the mounting table. In addition, since both the position indexing stage and the camera in the inspection stage are two-dimensional cameras, the moving distance of the sample mounting table is substantially the same as the distance between the position indexing stage and the inspection stage, and the moving distance is large.
When the moving distance is large as described above, the position error after the movement increases accordingly.
【０００６】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、ステージを一つにするとともに移動距離を少な
くし、予備位置決めの際と実際の検査の際の位置誤差を
小さくした自動顕微鏡検査装置を提供することを目的と
する。The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and has an automatic microscope inspection apparatus in which a single stage is used, the moving distance is reduced, and a position error between preliminary positioning and actual inspection is reduced. The purpose is to provide.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明に係る自動顕微鏡検査装置は、載置された
試験片を水平面内で移動させる搬送手段と、前記試験片
の予備位置決めに用いる一次元撮像手段と、前記試験片
を拡大して二次元画像を得る拡大画像撮像手段と、前記
一次元撮像手段によって撮像された画像に画像処理を施
す画像処理手段と、前記拡大画像撮像手段によって撮像
された画像に基づいて所定の検査を行う検査手段とを具
備し、前記一次元撮像手段によって撮像された画像を前
記画像処理手段に処理させて前記試験片の位置を認識
し、その情報に基づいて前記搬送手段により前記拡大画
像撮像手段の撮像位置に前記試験片を移動させ、前記拡
大画像撮像手段により撮像された拡大画像に基づいて前
記検査手段による検査を行うことを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, an automatic microscopy apparatus according to the present invention comprises a conveying means for moving a mounted test piece in a horizontal plane, and a preliminary positioning of the test piece. A one-dimensional imaging unit used for imaging, an enlarged image imaging unit that enlarges the test piece to obtain a two-dimensional image, an image processing unit that performs image processing on an image captured by the one-dimensional imaging unit, and the enlarged image imaging Inspection means for performing a predetermined inspection based on the image captured by the means, the image processing means to process the image captured by the one-dimensional imaging means to recognize the position of the test piece, The test piece is moved to the imaging position of the enlarged image imaging means by the transport means based on the information, and the inspection is performed by the inspection means based on the enlarged image imaged by the enlarged image imaging means. And performing.
【０００８】前記搬送手段は、単一のｘ−ｙステージと
することができる。また、前記一次元撮像手段は、前記
拡大画像撮像手段の中心軸に対して傾けて設置すること
ができる。[0008] The transfer means may be a single xy stage. Further, the one-dimensional imaging means can be installed so as to be inclined with respect to a central axis of the enlarged image imaging means.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して、発明の実
施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施形
態に係る自動顕微鏡検査装置の斜視図、図２は、図１に
示した装置のブロック図である。図１において、自動顕
微鏡検査装置の本体１０は、除震台１１の上に載置固定
され、さらに除震台１１の上の部分がアクリルカバーで
覆われたケース１２に収納されている。後部には、ケー
ス１２の中を除湿するための除湿器１３が設けられてい
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an automatic microscope inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of the apparatus shown in FIG. In FIG. 1, a main body 10 of the automatic microscope inspection apparatus is placed and fixed on a vibration isolation table 11, and further housed in a case 12 in which an upper portion of the vibration isolation table 11 is covered with an acrylic cover. At the rear, a dehumidifier 13 for dehumidifying the inside of the case 12 is provided.
【００１０】自動顕微鏡検査装置の本体１０は、試験片
を入れたサンプルパレット３０を載置してｘ軸方向、ｙ
軸方向に独立して移動可能なｘ−ｙステージ２０、ｘ−
ｙステージ２０の上に配置されたオートフォーカス式顕
微鏡（以下単に「顕微鏡」という）２１、顕微鏡２１の
上部に取り付けられ、顕微鏡２１による拡大画像を撮像
するテレビカメラ２２、そして、図１の破線の円で囲ん
だ部分に取り付けられる図３に示したラインセンサカメ
ラ４０を具備している。顕微鏡２１及びテレビカメラ２
２は、本発明の拡大画像撮像手段に該当し、ラインセン
サカメラ４０は、本発明の一次元撮像手段に該当する。The main body 10 of the automatic microscope inspection apparatus mounts a sample pallet 30 containing a test piece on the main body 10 in the x-axis direction and y direction.
Xy stage 20, x-y that can move independently in the axial direction
An autofocus microscope (hereinafter simply referred to as “microscope”) 21 disposed on a y-stage 20, a television camera 22 attached to the upper part of the microscope 21 and capturing an enlarged image by the microscope 21, and a broken line in FIG. It has the line sensor camera 40 shown in FIG. 3 which is attached to the circled part. Microscope 21 and TV camera 2
Reference numeral 2 corresponds to an enlarged image pickup unit of the present invention, and the line sensor camera 40 corresponds to one-dimensional image pickup unit of the present invention.
【００１１】ｘ−ｙステージ２０の移動は、図２に示し
たｘ−ｙコントローラ６０によって制御される。テレビ
カメラ２２によって撮像された画像、およびラインセン
サカメラ４０によって撮像された画像は、図２に示した
画像処理部６１へ送られる。画像処理部６１では、例え
ば、ラインセンサカメラ２０によって得られた画像から
試験片の部分を認識するという処理をはじめとして、種
々の画像処理が行われる。画像処理部６１によって処理
された結果は、図２に示した主処理部６２へ送られる。
ここでは、所定の処理が行われ、その結果はｘ−ｙコン
トローラ６０に送られ、ｘ−ｙステージ２０の移動がこ
の情報に基づいて制御される。なお、図２には明示して
いないが、実際には、顕微鏡２１用の照明と、ラインセ
ンサカメラ４０用の照明、およびこれらの照明のための
コントローラが設けられている。The movement of the xy stage 20 is controlled by the xy controller 60 shown in FIG. The image captured by the television camera 22 and the image captured by the line sensor camera 40 are sent to the image processing unit 61 illustrated in FIG. The image processing unit 61 performs various image processing, including, for example, a process of recognizing a test piece portion from an image obtained by the line sensor camera 20. The result processed by the image processing unit 61 is sent to the main processing unit 62 shown in FIG.
Here, a predetermined process is performed, and the result is sent to the xy controller 60, and the movement of the xy stage 20 is controlled based on this information. Although not explicitly shown in FIG. 2, actually, illumination for the microscope 21, illumination for the line sensor camera 40, and a controller for these illuminations are provided.
【００１２】図４は、試験片パレットを上から見た図で
あり、（ａ）は断面が長方形の試験片のモールドを載せ
たもの、（ｂ）は断面が円形の試験片のモールドを載せ
たものである。これら以外の形状の試験片のモールド
や、異なる形状の試験片のモールドとを混在させて載せ
ることもできる。試験片５０，５１は、樹脂で円柱状に
モールドされ、このモールド５３，５４が、ここでは９
個ずつ各サンプルパレット５６，５７上に載置されてい
る。図４（ａ）では各モールドに試験片が３個ずつ、図
４（ｂ）では各モールドに試験片が４個ずつ含まれてい
るが、この数も一例に過ぎない。FIGS. 4A and 4B are views of a test piece pallet as viewed from above. FIG. 4A shows a test piece with a rectangular test piece mounted thereon, and FIG. 4B shows a test piece with a circular test piece mount. It is a thing. A mold of a test piece having a shape other than these or a mold of a test piece having a different shape can be mixed and placed. The test pieces 50 and 51 are molded into a cylindrical shape with a resin.
Individual pieces are placed on each of the sample pallets 56 and 57. In FIG. 4A, three test pieces are included in each mold, and in FIG. 4B, four test pieces are included in each mold. However, this number is merely an example.
【００１３】ラインセンサカメラ４０は、光センサが直
線状に配列されたカメラで、この配列方向に沿った一次
元の画像を撮像することができる。本実施形態では、こ
のラインセンサカメラ４０を、予備的な位置決めのため
のカメラとして用いる。図１に示した装置では、光セン
サの配列方向がｘ軸方向と平行となるようラインセンサ
カメラ４０を配置し、ｘ−ｙステージ２０をｙ軸方向に
移動させながら撮像して、二次元的な画像を得る。ライ
ンセンサカメラは、光センサの配列密度が高く、二次元
カメラの場合に比べ、容易に高い解像度の画像を得るこ
とができる。例えば、二次元マクロカメラの現状での標
準的な画素数が６４０×４８０画素程度であるのに対
し、ラインセンサカメラでは、一次元で５０００画素が
程度のものが容易に入手できる。The line sensor camera 40 is a camera in which optical sensors are arranged in a straight line, and can capture a one-dimensional image along the arrangement direction. In the present embodiment, the line sensor camera 40 is used as a camera for preliminary positioning. In the apparatus shown in FIG. 1, the line sensor camera 40 is arranged so that the arrangement direction of the optical sensors is parallel to the x-axis direction, and images are taken while moving the xy stage 20 in the y-axis direction. To get the perfect image. The line sensor camera has a high array density of optical sensors, and can easily obtain a high-resolution image as compared with a two-dimensional camera. For example, while the current standard number of pixels of a two-dimensional macro camera is about 640 × 480 pixels, a line sensor camera having a size of about 5000 pixels in one dimension can be easily obtained.
【００１４】また、ラインセンサカメラ４０を用いる
と、次のような利点もある。すなわち、図３に示すよう
に、光センサの配列方向をｘ軸方向に一致させておけ
ば、ラインセンサカメラ４０をｘ−ｚ面内で傾けても、
ｘ軸と平行な直線画像が得られる。したがって、ライン
センサカメラ４０が顕微鏡２１から離れて取り付けてあ
っても、顕微鏡２１の視野領域又はこれに近い領域を撮
像することができる。このことにより、ラインセンサカ
メラ４０で予備の位置決めを行ったあと、顕微鏡２１で
実際の検査のための撮像を行うときに移動量が少なくて
済み、このため移動に伴う誤差を小さく抑えることがで
きるという利点がある。仮に、予備位置決めのためのカ
メラとして二次元カメラを用い、これを傾けて設置した
とすると、長方形のものを撮像しても台形に写ってしま
い、予備位置決めが難しくなる。The use of the line sensor camera 40 has the following advantages. That is, as shown in FIG. 3, if the arrangement direction of the optical sensors is aligned with the x-axis direction, even if the line sensor camera 40 is tilted in the xz plane,
A straight line image parallel to the x-axis is obtained. Therefore, even if the line sensor camera 40 is attached away from the microscope 21, it is possible to capture an image of the field of view of the microscope 21 or a region close thereto. As a result, after performing preliminary positioning with the line sensor camera 40, the amount of movement is small when performing imaging for actual inspection with the microscope 21, and errors due to movement can be reduced. There is an advantage. If a two-dimensional camera is used as a camera for pre-positioning and installed at an angle, even if an image of a rectangular object is taken, it will be trapezoidal, making pre-positioning difficult.
【００１５】実際に顕微鏡２１で検査をする前に、ライ
ンセンサカメラ４０と顕微鏡２１の位置関係を求めてお
く必要がある。そのために、予め較正用の試験片をｘ−
ｙステージ２０上に載置し、ラインセンサカメラ４０で
得られた画像と、顕微鏡２１を介して上部のカメラ２２
で得られた画像とを比較し、例えば較正用試験片の特定
の点が、両カメラの画像の中心にくるようにするために
必要な移動量を予め求めておく。この移動量の算出は、
図２に示した主処理部６２において行われる。こうして
求められた移動量は、二つのカメラの撮像位置の相対的
な距離に対応する。この移動量に関する情報は、ｘ−ｙ
ステージ２１の移動を制御するｘ−ｙコントローラ６０
に与えられる。Before actually inspecting with the microscope 21, it is necessary to determine the positional relationship between the line sensor camera 40 and the microscope 21. For this purpose, a test piece for calibration is
An image obtained by the line sensor camera 40 placed on the y-stage 20 and the camera 22
Is compared with the image obtained in step (1), for example, the amount of movement necessary to bring a specific point of the calibration test piece to the center of the images of both cameras is obtained in advance. The calculation of this movement amount is
This is performed in the main processing unit 62 shown in FIG. The amount of movement determined in this way corresponds to the relative distance between the imaging positions of the two cameras. Information on this movement amount is xy
An xy controller 60 for controlling the movement of the stage 21
Given to.
【００１６】実際の試験片について検査を行う場合に
は、まず、ラインセンサカメラ４０によって試験片の低
倍率の画像を得る。この画像は、画像処理部６１におい
てディジタル化され、ソフトウェア的に樹脂と試験片と
の境界部を認識する処理を行う。これにより、各モール
ド中のどこに試料があるかが求められる。この画像処理
の結果に基づいて、予め較正用試験片を用いて得られて
いる二つのカメラの相対位置に関する情報に基づいて顕
微鏡２１の真下に、試験片の最初の検査部位が来るよ
う、ｘ−ｙコントローラ６０がｘ−ｙステージ２０を移
動させる。そして、この最初の検査部位の視野内に介在
物等の欠陥がないかどうかを、所定の画像処理の手法で
検出する。続いて、所定の間隔でｘ−ｙステージ２０を
移動させて顕微鏡の次の視野に移り、同様の処理を行
う。以後、同様の動作を繰り返してゆき、介在物等の欠
陥が検出された場合には、その寸法、形状、座標位置を
記憶しておく。座標を記憶しておくことによって、後に
その部分を迅速にテレビモニター等に表示させることが
でき、介在物の画像をオペレータが目で直接確認するこ
とができる。When an actual test piece is inspected, first, a low-magnification image of the test piece is obtained by the line sensor camera 40. This image is digitized in the image processing unit 61, and a process of recognizing a boundary portion between the resin and the test piece is performed by software. This determines where the sample is in each mold. Based on the result of this image processing, based on the information about the relative positions of the two cameras obtained in advance using the calibration test piece, the first inspection region of the test piece is located just below the microscope 21 so that x The -y controller 60 moves the xy stage 20. Then, it is detected by a predetermined image processing method whether or not there is a defect such as an inclusion in the visual field of the first inspection site. Subsequently, the xy stage 20 is moved at predetermined intervals to move to the next field of view of the microscope, and the same processing is performed. Thereafter, the same operation is repeated, and when a defect such as an inclusion is detected, its size, shape, and coordinate position are stored. By storing the coordinates, the portion can be promptly displayed on a television monitor or the like later, and the image of the inclusion can be directly checked by the operator with eyes.
【００１７】このように、試験片を自動的に顕微鏡２１
の下の所定位置に配置することができるので、検査が自
動化され、効率が向上する。本実施形態の場合、試験片
の移動は、ｘ−ｙステージ２０のみによって行う。した
がって、実質的に二つのステージを必要とする従来の装
置に比べ、移動に伴う位置誤差を小さく抑えることがで
きる。また、実質的に一個のステージで済むので、その
分製造コストを抑えことができる。As described above, the test piece is automatically transferred to the microscope 21.
Inspection can be automated and efficiency can be improved. In the case of the present embodiment, the test piece is moved only by the xy stage 20. Therefore, the position error due to the movement can be reduced as compared with the conventional apparatus that requires substantially two stages. In addition, since only one stage is required, the manufacturing cost can be reduced accordingly.
【００１８】尚、本発明は上記実施形態に限定されるも
のではなく、その要旨の範囲内で種々の変更が可能であ
る。It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made within the scope of the invention.
【００１９】[0019]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
試験片の移動手段として、単一の搬送手段を用いて、二
つの撮像手段（一次元撮像手段と拡大画像撮像手段）の
間の移動と、各撮像手段のところでの微少移動の両方を
行うようにしたので、複数の搬送手段を用いた場合に比
べて移動に伴う誤差をより小さく抑えるできる。また、
予備位置決めを一次元撮像手段を用いて行うことによ
り、この一次元撮像手段を傾けて配置できるので、予備
位置決めを行ってから実際の検査を行う部位まで移動さ
せるときの移動距離を短くでき、このことによっても、
移動に伴う誤差を小さくできる。したがって、総合的な
誤差を従来よりも小さくできる自動顕微鏡検査装置を提
供することができる。As described above, according to the present invention,
Using a single transporting means as the moving means of the test piece, both the movement between the two imaging means (one-dimensional imaging means and the enlarged image imaging means) and the minute movement at each imaging means are performed. As a result, it is possible to reduce errors caused by movement as compared with the case where a plurality of transport means are used. Also,
By performing the pre-positioning by using the one-dimensional imaging means, the one-dimensional imaging means can be arranged at an inclination, so that the moving distance when performing the pre-positioning and then moving to the part to be actually inspected can be shortened. Also by
Errors due to movement can be reduced. Therefore, it is possible to provide an automatic microscopy apparatus capable of reducing the total error as compared with the related art.
【図１】本発明の一実施形態に係る自動顕微鏡検査装置
の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an automatic microscope inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示した自動顕微鏡検査装置のブロック図
である。FIG. 2 is a block diagram of the automatic microscope inspection apparatus shown in FIG.
【図３】ラインセンサカメラの斜視図であるFIG. 3 is a perspective view of a line sensor camera.
【図４】試験片を含むモールドを載置した試験片パレッ
トを上から見た図である。FIG. 4 is a top view of a test piece pallet on which a mold including a test piece is placed.
１０ 自動顕微鏡検査装置本体 １１ 除震台 １２ ケース １３ 除湿器 ２０ ｘ−ｙステージ ２１ オートフォーカス顕微鏡 ２２ テレビカメラ ３０，５６，５７ サンプルパレット ４０ ラインセンサカメラ ５０，５１ 試験片 ５３，５４ モールド ６０ ｘ−ｙコントローラ ６１ 画像処理部 ６２ 主処理部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Automatic microscope inspection apparatus main body 11 Vibration isolation table 12 Case 13 Dehumidifier 20 xy stage 21 Autofocus microscope 22 Television camera 30, 56, 57 Sample pallet 40 Line sensor camera 50, 51 Test piece 53, 54 Mold 60 x- y controller 61 image processing unit 62 main processing unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｇ０１Ｎ 13/10 Ｇ０１Ｎ 37/00 Ｕ Ｆターム(参考） 2G051 AA37 AB01 AC15 CA03 CA04 CC20 DA05 DA07 ED15 FA01 FA04 2G059 AA05 BB15 CC20 DD13 FF03 FF08 KK04 2H052 AC04 AC07 AC28 AD09 AD19 AF02 AF14 AF20 AF25 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (reference) // G01N 13/10 G01N 37/00 U F term (reference) 2G051 AA37 AB01 AC15 CA03 CA04 CC20 DA05 DA07 ED15 FA01 FA04 2G059 AA05 BB15 CC20 DD13 FF03 FF08 KK04 2H052 AC04 AC07 AC28 AD09 AD19 AF02 AF14 AF20 AF25
Claims (3)
る搬送手段と、 前記試験片の予備位置決めに用いる一次元撮像手段と、 前記試験片を拡大して二次元画像を得る拡大画像撮像手
段と、 前記一次元撮像手段によって撮像された画像に画像処理
を施す画像処理手段と、 前記拡大画像撮像手段によって撮像された画像に基づい
て所定の検査を行う検査手段と、 を具備し、前記一次元撮像手段によって撮像された画像
を前記画像処理手段に処理させて前記試験片の位置を認
識し、その情報に基づいて前記搬送手段により前記拡大
画像撮像手段の撮像位置に前記試験片を移動させ、前記
拡大画像撮像手段により撮像された拡大画像に基づいて
前記検査手段による検査を行うことを特徴とする自動顕
微鏡検査装置。1. A conveying means for moving a placed test piece in a horizontal plane, a one-dimensional imaging means used for preliminary positioning of the test piece, and an enlarged image imaging for enlarging the test piece to obtain a two-dimensional image Means, image processing means for performing image processing on the image captured by the one-dimensional imaging means, and inspection means for performing a predetermined inspection based on the image captured by the enlarged image imaging means, The image taken by the one-dimensional imaging means is processed by the image processing means to recognize the position of the test piece, and the test piece is moved to the imaging position of the enlarged image taking means by the carrying means based on the information. An automatic microscope inspection apparatus, wherein an inspection is performed by the inspection unit based on the enlarged image captured by the enlarged image imaging unit.
からなることを特徴とする請求項１記載の自動顕微鏡検
査装置。2. The automatic microscopy apparatus according to claim 1, wherein said transfer means comprises a single xy stage.
像手段の中心軸に対して傾けて設置されていることを特
徴とする請求項１又は２記載の自動顕微鏡検査装置。3. The automatic microscope inspection apparatus according to claim 1, wherein the one-dimensional imaging unit is installed at an angle with respect to a center axis of the enlarged image imaging unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26281098A JP2000088764A (en) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | Automatic inspection apparatus for microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
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-
1998
- 1998-09-17 JP JP26281098A patent/JP2000088764A/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP1892667A3 (en) * | 2006-08-25 | 2008-03-05 | Olympus Corporation | Examination apparatus |
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| US11611722B2 (en) | 2020-05-20 | 2023-03-21 | Evident Corporation | Microscope system, control method, and recording medium |
| WO2022014247A1 (en) | 2020-07-15 | 2022-01-20 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Imaging system, inspection system, information processing device, information processing method and program thereof, and imaging control method and program thereof |
| KR20230037587A (en) | 2020-07-15 | 2023-03-16 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | Imaging system, inspection system, information processing device, information processing method and program thereof, and imaging control method and program thereof |
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