JP2000084841A - 板状物の研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的は、作業者の経験に基づく研磨
装置の調整操作を不要とし、板状物の研磨量を一定にし
て、常に安定した研磨状態が得られるようになした板状
物の研磨方法を提供することにある。 【解決手段】 本発明の板状物の研磨方法は、板状物を
複数のキャリアの保持孔に嵌合保持して回転する上定盤
と下定盤の間に挟み、上定盤と下定盤の間に研磨剤を供
給しながら各キャリアを自転させつつ公転させて板状物
の表裏面を研磨する研磨方法において、上定盤の駆動モ
ーターと下定盤の駆動モーターとを別々に設け、それぞ
れのモーターに電流検出器を取り付け、検出された電流
値が予め設定された基準電流値に合致するように各キャ
リアの公転速度を制御しながら研磨することを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、板状物の研磨方法に関
し、特にフラットパネルディスプレイ装置の基板として
用いられるガラス板の表裏面の凹凸、うねり等を除去
し、平坦度を向上させるのに適した方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】フラットパネルディスプレイ装置の基板
として用いられる板ガラスは、各種のダウンドロー法や
フロート法によって成形されるが、このような周知の工
業的な成形法により製造された板ガラスには、表面に微
細な欠陥、うねり、凹凸が存在し、そのままでは、フラ
ットパネルディスプレイ装置の基板として使用できる平
坦性を有していないため、その表裏面を研磨することに
よって平坦性を向上させている。

【０００３】このような板ガラスを研磨する場合、例え
ば板ガラスを複数のキャリアのそれぞれの保持孔に嵌合
保持した状態で回転する上定盤と下定盤の間に挟み、上
定盤と下定盤の間に研磨剤を供給しながら各キャリアを
自転させつつ公転させて板ガラスの表裏面を研磨する方
法が採られる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した研磨方法で
は、通常、研磨盤の圧力（研磨圧力）と研磨盤の回転速
度を一定値に設定して研磨しており、例えば、研磨圧力
については、レギュレーター（圧力調整器）により所定
の圧力に設定し、また回転速度については、研磨盤のモ
ーターの回転速度を所定の回転速度に設定するが、使用
時間の経過に伴い次第に摩耗するため、所期の研磨状態
が得られなくなり、研磨精度が低下するという問題があ
った。

【０００５】つまり従来の研磨方法では、板ガラスの表
裏面の研磨量が異なることが一般的であり、板ガラスの
表面あるいは裏面を必要以上に研磨していた。

【０００６】その対策として、作業者が研磨盤の使用時
間や、実際に研磨された板ガラスの研磨状態を基に経験
的に判断して、研磨剤の量、定盤に貼り付ける研磨パッ
ドの厚み、定盤に形成する溝の本数や幅等を調整してい
るが、斯様な調整操作は正確でなく、また作業者によっ
ても操作量が異なり、結果的に各々の板ガラスについて
の研磨量にバラツキが生じやすいという問題があった。

【０００７】本発明の目的は、作業者の経験に基づく研
磨装置の調整操作を不要とし、板状物の研磨量を一定に
して、常に安定した研磨状態が得られるようになした板
状物の研磨方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の板状物の研磨方
法は、板状物を複数のキャリアの保持孔に嵌合保持して
回転する上定盤と下定盤の間に挟み、上定盤と下定盤の
間に研磨剤を供給しながら各キャリアを自転させつつ公
転させて板状物の表裏面を研磨する研磨方法において、
上定盤の駆動モーターと下定盤の駆動モーターとを別々
に設け、それぞれのモーターに電流検出器を取り付け、
検出された電流値が予め設定された基準電流値に合致す
るように上下定盤の回転速度と各キャリアの公転速度を
制御しながら研磨することを特徴とする。

【０００９】上記構成により、上定盤と下定盤を一定の
回転速度で回転させて、上下定盤と板状物との間の抵抗
の変化を、上下定盤を回転駆動するそれぞれのモーター
の電流値の変化として捉え、この電流値の変化を基にし
て、上下定盤の回転速度と各キャリアの公転速度を変更
制御することができる。すなわち、各モーターの電流値
を、基準電流値と一致するように各キャリアに対する上
定盤の相対スピードと下定盤の相対スピードを調整で
き、上下定盤と板状物との間の抵抗を常に一定に維持し
て、研磨量のばらつきを抑えることができる。

【００１０】また本発明の板状物の研磨方法において
は、上下定盤と板状物との間の抵抗の変化を、研磨盤を
回転駆動するモータの電流値の変化として捉え、この電
流値の変化を基にして、研磨盤の研磨圧力を変更制御す
る方法を組み合わせても良い。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の方法を実施する
ための研磨装置の概略構成を示す側面図であり、図２
は、図１の研磨装置の下定盤とキャリアを示す平面図で
ある。

【００１２】図中、複数のキャリア１０は、布入りベー
クライト、ガラスクロス入りエポキシ樹脂、ステンレス
スチール等の材料から形成され、略円盤状を呈し、その
中に板状物（例えば板ガラス）１１を嵌合保持する矩形
の保持孔１２が設けられ、その外周には、太陽歯車１３
と内歯車１４に噛合する歯車の歯１５が付設されてい
る。

【００１３】上定盤１６と下定盤１７は、キャリア１０
を挟んで上下に対向して位置しており、それぞれの対向
面には、研磨パッド１８、１９が貼り付けられている。
上定盤１６と、それに貼り付けられた研磨パッド１８に
は、複数のスラリー供給孔２０が設けられ、これらのス
ラリー供給孔２０を通して研磨剤供給手段２１からスラ
リー状の研磨剤２２が板状物１１に供給されるようにな
っている。

【００１４】上定盤１６は、研磨ヘッド２３に支持され
た第１のモーター２４に連結され、研磨動作中、この第
１のモーター２４により一定の回転速度で回転駆動され
る。また下定盤１７も、研磨ヘッド２４に支持された第
２のモーター２５に連結され、この第２のモーター２５
により一定の回転速度で回転駆動される。

【００１５】第１の電流検出器２６は、上定盤１６を回
転駆動する第１のモーター２４の電流値を検出し、また
第２の電流検出器２７は、下定盤１７の回転駆動する第
２のモーター２５の電流値を検出し、これらの電流値を
電圧信号に変換して電流比較制御器２８へ出力するもの
である。

【００１６】電流比較制御器２８は、電流検出器２６、
２７から出力された電圧信号を受けて、これを電流値に
変換し、予め設定されている基準電流値と比較して、そ
の偏差信号を回転制御器２９へ出力するものである。

【００１７】回転制御器２９は、電流比較制御器２８か
ら出力された電流値の偏差信号を受けて、この偏差信号
に応じた回転制御信号を、インバータ３０、３１、３
２、３３を介して第１、２のモーター２４、２５、太陽
歯車駆動モーター３４及び内歯車駆動モーター３５に出
力するものである。

【００１８】これらのモーター２４、２５、３４、３５
は、電流比較制御器２８から出力された回転制御信号を
受けて、この回転制御信号に応じた回転数を上下定盤１
６、１７の回転数と各キャリア１０の公転回数として付
与することを可能にするものである。

【００１９】次に、この研磨装置を用いて板状物を研磨
する方法を説明する。

【００２０】まず下定盤１７に張り付けた研磨パッド１
９上に載置した複数のキャリア１０に付設された歯１５
を、太陽歯車１３と内歯車１４とに噛合させ、各キャリ
ア１０のそれぞれの保持孔１２に板状物１１を嵌合保持
し、それらの上に研磨パッド１８を張り付けた上定盤１
６を降ろして、上定盤１６と下定盤１７の間に板状物１
１及びキャリア１０を挟み込む。

【００２１】また電流比較制御器２８には、板状物１１
の研磨条件に基づく基準電流値を予め設定しておき、研
磨剤供給手段２１からスラリー供給孔２０を通じて上定
盤１６と下定盤１７の間にスラリー状の研磨剤２２を供
給しながら、第１、２のモーター２４、２５により上定
盤１６と下定盤１７を、それぞれ回転駆動すると共に、
内歯車１４に対して太陽歯車１３を回転駆動して各キャ
リア１０を自転させつつ公転させて板状物１１の表裏面
を上定盤１６と下定盤１７に貼り付けたそれぞれの研磨
パッド１８、１９により同時に研磨する。

【００２２】この研磨動作中、各電流検出器２６、２７
は、上下定盤１６、１７を回転駆動する第１、２のモー
ター２４、２５の電流値を常時検出し、これらの電流値
を電圧信号に変換して電流比較制御器２８へ出力する。
電流比較制御器２８は、各電流検出器２６、２７から出
力された電圧信号を受けて、これを電流値に変換し、予
め設定されている基準電流値と比較して、その偏差信号
を回転制御器２９へ出力する。回転制御器２９は、電流
比較制御器２８から出力された電流値の偏差信号を受け
て、この偏差信号に応じた回転制御信号をインバータ３
０、３１、３２、３３を介して、第１、２のモーター２
４、２５、太陽歯車駆動モーター３４及び内歯車駆動モ
ーター３５へ出力する。これらのモーター２４、２５、
３４、３５は、回転制御器２１から出力された回転制御
信号を受けて、この回転制御信号に応じた回転数を上下
定盤１６、１７の回転数と各キャリア１０の公転回数と
して付与する。

【００２３】例えば、上下定盤１６、１７の研磨パッド
１８、１９が使用時間の経過に伴い摩耗し始めると、上
下定盤１６、１７と板状物１１との間の抵抗が低下し、
上下定盤１６、１７を回転駆動している第１、２のモー
ター２４、２５の電流値が低下し始めるが、この電流値
は、各電流検出器２６、２７から電流比較制御器２８に
送られて基準電流値と比較され、その偏差信号に応じ
た、即ち、低下しようとする電流値を基準電流値の値に
戻すべく回転制御信号を回転制御器２９へ出力し、これ
により上下定盤１６、１７の回転速度と各キャリア１０
の公転速度が増加される。

【００２４】また逆に、上下定盤１６、１７と板状物１
１との間の抵抗が増加し始める場合には、上昇しようと
する第１、２のモーター２４、２５の電流値を基準電流
値の値に戻すべく回転制御信号を回転制御器２９へ出力
し、これにより上下定盤１６、１７の回転速度と各キャ
リア１０の公転速度が減少せしめられる。斯様にして、
上下定盤１６、１７と板状物１１との間の抵抗を一定に
維持することにより、各々の板状物１１に対する研磨量
は、一定に保持され、常に安定した研磨状態が得られ
る。

【００２５】尚、本発明の方法は、ガラス板、セラミッ
ク板、金属板、プラスチック板、その他の板状物全般の
研磨に適用し得るものであるが、特に高い表面品位が要
求されるフラットパネルディスプレイ装置の基板として
用いられるガラス板の研磨に好適である。

【００２６】

【発明の効果】以上のように本発明の研磨方法によれ
ば、作業者の経験に基づく研磨装置の調整操作を不要と
し、板状物の研磨量を一定にして、常に安定した研磨状
態が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法を実施するための研磨装置の概略
構成を示す側面図である。

【図２】図１の研磨装置の下定盤とキャリアを示す平面
図である。

【符号の説明】

１０ キャリア １１ 板状物 １２ 保持孔 １６ 上定盤 １７ 下定盤 １８、１９ 研磨パッド ２２ 研磨剤 ２４ 第１のモーター ２５ 第２のモーター ２６ 第１の電流検出器 ２７ 第２の電流検出器 ２８ 電流比較制御器 ２９ 回転制御器 ３４ 太陽歯車駆動モーター ３５ 内歯車駆動モーター

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状物を複数のキャリアの保持孔に嵌合
   保持して回転する上定盤と下定盤の間に挟み、上定盤と
   下定盤の間に研磨剤を供給しながら各キャリアを自転さ
   せつつ公転させて板状物の表裏面を研磨する研磨方法に
   おいて、上定盤の駆動モーターと下定盤の駆動モーター
   とを別々に設け、それぞれのモーターに電流検出器を取
   り付け、検出された電流値が予め設定された基準電流値
   に合致するように上下定盤の回転速度と各キャリアの公
   転速度を制御しながら研磨することを特徴とする板状物
   の研磨方法。