JP2000076634A - Contact test device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ディスク装置の
スライダおよびディスクの機械的特性ならびにトライボ
ロジ的特性を評価するために用いられるスライダとディ
スクとの接触検査装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a slider and disk contact inspection apparatus used for evaluating mechanical characteristics and tribological characteristics of a slider and a disk of a disk device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ディスク装置として例えば磁気的に情報
の記録および／または再生を行う磁気ディスク装置にお
いては、磁気ディスクの記録再生面に対し磁気ヘッドを
搭載したスライダを略一定の間隔で浮上させて、情報の
記録再生を行っている。このような磁気ディスク装置の
開発ならびに製造においては、スライダおよび磁気ディ
スクの機械的特性ならびにトライボロジ的特性を保証す
るために、各種の検査装置が使用されている。スライダ
と磁気ディスクの接触検査装置はその一つである。2. Description of the Related Art For example, in a magnetic disk device for magnetically recording and / or reproducing information as a disk device, a slider on which a magnetic head is mounted is floated at substantially constant intervals on a recording / reproducing surface of a magnetic disk. Recording and reproducing information. In the development and manufacture of such magnetic disk devices, various inspection devices are used to guarantee the mechanical characteristics and tribological characteristics of the slider and the magnetic disk. A contact inspection device between a slider and a magnetic disk is one of them.
【０００３】スライダと磁気ディスクとの接触検査装置
としては特開平８ー２９７８１６号公報に記載の技術が
知られている。図６は従来から使用されているスライダ
と磁気ディスクとの接触検査装置の一例である。記録媒
体である磁気ディスク１と、磁気ディスク１を保持し回
転させるスピンドル２と、スピンドル２を駆動するスピ
ンドル駆動手段としてのスピンドル駆動回路３と、磁気
ディスク１に記録再生を行う磁気ヘッド（図示せず）を
搭載したスライダ４と、スライダ４を支持するアーム５
と、アーム５を動かし、かつアーム５に取り付けられた
スライダ４を磁気ディスク１の半径方向に移動させるア
クチュエータとしてのボイスコイルモータ６と、ボイス
コイルモータ６の駆動手段としてのアクチュエータ駆動
回路７と、ディスク１に搭載された微小振動検出素子と
してのＡＥ（音響弾性波）センサ１００と、ＡＥセンサ
１００の出力信号の信号伝達手段としてのスリップリン
グ１１、ブラシ１２と、ＡＥセンサ１００の出力信号を
増幅する信号増幅手段としての高帯域アンプ８と、前記
高帯域アンプ８の出力信号から接触検査に必要な周波数
成分を取り出すフィルタ９と、前記フィルタ９の出力信
号を表示する表示手段としてのオシロスコープ１０とで
構成されている。As a device for inspecting the contact between a slider and a magnetic disk, a technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-297816 is known. FIG. 6 shows an example of a conventionally used contact inspection device between a slider and a magnetic disk. A magnetic disk 1 as a recording medium, a spindle 2 for holding and rotating the magnetic disk 1, a spindle drive circuit 3 as a spindle driving means for driving the spindle 2, and a magnetic head for recording and reproducing on the magnetic disk 1 (not shown) 4), and an arm 5 supporting the slider 4
A voice coil motor 6 as an actuator for moving the arm 5 and moving the slider 4 attached to the arm 5 in the radial direction of the magnetic disk 1, an actuator driving circuit 7 as driving means for the voice coil motor 6, An AE (acoustic elastic wave) sensor 100 as a micro-vibration detecting element mounted on the disk 1, a slip ring 11 and a brush 12 as signal transmission means of an output signal of the AE sensor 100, and an output signal of the AE sensor 100 is amplified. A high-band amplifier 8 as a signal amplifying means, a filter 9 for extracting a frequency component necessary for contact inspection from an output signal of the high-band amplifier 8, and an oscilloscope 10 as a display means for displaying an output signal of the filter 9. It is composed of
【０００４】以下動作について説明する。磁気ディスク
１は、スピンドル２によって例えば５、４００ｒｐｍで
高速回転する。スライダ４は磁気ディスク１の記録再生
面に対向する面に空気軸受け面を持ち、磁気ディスク１
に対して略一定間隔で浮上する。ボイスコイルモータ６
は、アーム５を動かし、スライダ４を磁気ディスク１の
半径方向に移動する。上記したように、通常、スライダ
４は、磁気ディスク１に対し浮上している。すなわちス
ライダ４と磁気ディスク１とは非接触の状態にある。し
かしながら磁気ディスク１の回転の起動、停止、スライ
ダ４へのゴミの付着さらにはスライダ４、磁気ディスク
１の形状的欠陥などが原因になって、しばしばスライダ
４は磁気ディスク１と接触をする。The operation will be described below. The magnetic disk 1 is rotated at a high speed of, for example, 5,400 rpm by the spindle 2. The slider 4 has an air bearing surface on the surface facing the recording / reproducing surface of the magnetic disk 1.
Float at substantially constant intervals. Voice coil motor 6
Moves the slider 5 in the radial direction of the magnetic disk 1 by moving the arm 5. As described above, the slider 4 normally floats with respect to the magnetic disk 1. That is, the slider 4 and the magnetic disk 1 are in a non-contact state. However, the slider 4 often comes into contact with the magnetic disk 1 due to the start and stop of the rotation of the magnetic disk 1, the attachment of dust to the slider 4, and the shape defect of the slider 4 and the magnetic disk 1.
【０００５】図６に示した従来例では、ディスク１上に
微小振動検出素子としてのＡＥセンサ１００が搭載され
ており、スライダ４と磁気ディスク１との接触によって
発生したＡＥすなわち音響弾性波を検出する。検出され
たＡＥセンサ１００からの出力信号は、高帯域アンプ８
によって観測可能なレベルまで増幅される。さらにフィ
ルタ９によってノイズ成分が除去され、オシロスコープ
１０で観測される。オシロスコープ１０で観察されたＡ
Ｅセンサ１００の出力信号の波形から接触の強度、接触
の持続時間等を評価することができる。In the conventional example shown in FIG. 6, an AE sensor 100 as a micro-vibration detecting element is mounted on the disk 1, and an AE generated by the contact between the slider 4 and the magnetic disk 1, that is, an acoustic elastic wave is detected. I do. The detected output signal from the AE sensor 100 is output to the high-bandwidth amplifier 8.
To an observable level. Further, the noise component is removed by the filter 9 and observed by the oscilloscope 10. A observed with the oscilloscope 10
From the waveform of the output signal of the E sensor 100, the strength of the contact, the duration of the contact, and the like can be evaluated.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述の接触検査装置に
おいては、ＡＥセンサ１００がディスク１に搭載されて
おり、ディスク１と一体となって回転する。したがって
回転体から外部に信号を伝達することが必要になる。そ
れを実現する信号伝達手段の一例がスリップリング１１
とブラシ１２であるが、ＡＥセンサ１００の出力信号
は、例えば数十マイクロボルトと非常に微弱であるた
め、これら信号伝達手段を通過する際にＳ／Ｎが低下
し、そのため接触検査の精度も低下していた。In the above-described contact inspection apparatus, the AE sensor 100 is mounted on the disk 1, and rotates together with the disk 1. Therefore, it is necessary to transmit a signal from the rotating body to the outside. One example of signal transmission means for realizing this is the slip ring 11.
And the brush 12, the output signal of the AE sensor 100 is very weak, for example, several tens of microvolts, so the S / N decreases when passing through these signal transmission means, and the accuracy of the contact inspection also increases. Had declined.
【０００７】したがって、この発明の目的は、振動検出
素子の信号を、Ｓ／Ｎの低下を抑えて、保持機構の外部
に取り出すことによって、スライダとディスクの接触を
高精度に評価可能とすることができる接触検査装置を提
供することである。Accordingly, an object of the present invention is to make it possible to evaluate the contact between the slider and the disk with high accuracy by extracting the signal of the vibration detecting element to the outside of the holding mechanism while suppressing a decrease in S / N. The object of the present invention is to provide a contact inspection device capable of performing the following.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明の請求項１記載の接触検査装置は、ディスク
を保持し一体的に回転する保持機構と、ディスクに対し
記録および／または再生を行うヘッドを搭載したスライ
ダと、スライダを支持した状態で所定方向に動かされる
アームと、ディスクあるいは保持機構に搭載されスライ
ダとディスクの接触を検出する少なくとも１個の振動検
出素子と、保持機構に搭載され振動検出素子の信号を増
幅する信号増幅手段と、この信号増幅手段により増幅さ
れた振動検出素子の出力信号を伝達する信号伝達手段と
を備えた。According to a first aspect of the present invention, there is provided a contact inspection apparatus, comprising: a holding mechanism for holding a disk and rotating integrally with the disk; and recording and / or reproducing data on and from the disk. A slider mounted with a head for performing the operation, an arm which is moved in a predetermined direction while supporting the slider, at least one vibration detecting element mounted on the disk or the holding mechanism for detecting contact between the slider and the disk, and There is provided a signal amplifying means mounted to amplify a signal of the vibration detecting element, and a signal transmitting means for transmitting an output signal of the vibration detecting element amplified by the signal amplifying means.
【０００９】このように、保持機構に搭載され振動検出
素子の信号を増幅する信号増幅手段と、この信号増幅手
段により増幅された振動検出素子の出力信号を伝達する
信号伝達手段とを備えているので、振動検出素子の微弱
な信号が信号伝達手段を通ることなく、十分に増幅され
た信号が通る。このため、信号伝達によるＳ／Ｎの低下
を抑え、接触検査の精度を高く保つことが可能となる。As described above, there are provided signal amplifying means mounted on the holding mechanism for amplifying the signal of the vibration detecting element, and signal transmitting means for transmitting the output signal of the vibration detecting element amplified by the signal amplifying means. Therefore, a sufficiently amplified signal passes without passing a weak signal of the vibration detecting element through the signal transmission means. For this reason, it is possible to suppress a decrease in S / N due to signal transmission, and to keep the accuracy of the contact inspection high.
【００１０】請求項２記載の接触検査装置は、ディスク
を保持し一体的に回転する保持機構と、ディスクに対し
記録および／または再生を行うヘッドを搭載したスライ
ダと、スライダを支持した状態で所定方向に動かされる
アームと、ディスクあるいは保持機構に搭載されスライ
ダとディスクとの接触を検出する少なくとも１個の振動
検出素子と、保持機構に搭載され振動検出素子の出力イ
ンピーダンスを変換するインピーダンス変換手段と、こ
のインピーダンス変換手段により変換された振動検出素
子の出力信号を伝達する信号伝達手段とを備えた。According to a second aspect of the present invention, there is provided a contact inspection apparatus, wherein a holding mechanism for holding a disk and rotating integrally therewith, a slider having a head for recording and / or reproducing data on and from the disk, and a predetermined state with the slider being supported. An arm moved in the direction, at least one vibration detection element mounted on the disk or the holding mechanism for detecting contact between the slider and the disk, and impedance conversion means mounted on the holding mechanism for converting the output impedance of the vibration detection element. Signal transmitting means for transmitting the output signal of the vibration detecting element converted by the impedance converting means.
【００１１】このように、保持機構に搭載され振動検出
素子の出力インピーダンスを変換するインピーダンス変
換手段と、このインピーダンス変換手段により変換され
た振動検出素子の出力信号を伝達する信号伝達手段とを
備えているので、信号伝達手段のインピーダンスと振動
検出素子の出力インピーダンスとの整合を取ることがで
きる。このため、周波数レンジの広い伝送が可能とな
り、請求項１と同様に接触検査の精度を高く保つことが
可能となる。As described above, there are provided the impedance conversion means mounted on the holding mechanism for converting the output impedance of the vibration detection element, and the signal transmission means for transmitting the output signal of the vibration detection element converted by the impedance conversion means. Therefore, the impedance of the signal transmission means and the output impedance of the vibration detecting element can be matched. For this reason, transmission over a wide frequency range becomes possible, and the accuracy of the contact inspection can be kept high as in the first aspect.
【００１２】請求項３記載の接触検査装置は、請求項１
または２において、信号伝達手段が、保持機構に固定さ
れこの保持機構の回転動作と共に回転する回転導電体
と、保持機構の回転動作と共に回転する回転導電体に接
触する接触導電体とからなり、振動検出素子と信号増幅
手段あるいはインピーダンス変換手段の電力を回転導電
体と接触導電体との接触を介して伝達するようにした。According to a third aspect of the present invention, there is provided a contact inspection apparatus.
(2) In the above (2), the signal transmission means comprises a rotating conductor fixed to the holding mechanism and rotating with the rotation of the holding mechanism, and a contact conductor contacting the rotating conductor with the rotation of the holding mechanism. The power of the detection element and the signal amplifying means or the impedance converting means is transmitted through the contact between the rotating conductor and the contact conductor.
【００１３】このように、振動検出素子と信号増幅手段
あるいはインピーダンス変換手段の電力を回転導電体と
接触導電体との接触を介して伝達するようにしたので、
新たに電力供給のための手段を設ける必要がなく、装置
の低コスト化を実現できる。請求項４記載の接触検査装
置は、請求項１または２において、信号伝達手段が、保
持機構に固定されこの保持機構の回転動作と共に回転し
かつ信号を空中に送信する信号送信器と、この信号送信
器で変換された信号を受信する信号受信器とからなり、
振動検出素子と信号増幅手段あるいはインピーダンス変
換手段の電力を信号送信器と信号受信器との非接触によ
る送受信を介して伝達するようにした。このように、振
動検出素子と信号増幅手段あるいはインピーダンス変換
手段の電力を信号送信器と信号受信器との非接触による
送受信を介して伝達するようにしたので、請求項３と同
様の効果が得られる。As described above, the power of the vibration detecting element and the signal amplifying means or the impedance converting means is transmitted through the contact between the rotating conductor and the contact conductor.
There is no need to provide a new power supply means, and the cost of the apparatus can be reduced. According to a fourth aspect of the present invention, in the first or second aspect, the signal transmission means is fixed to the holding mechanism, rotates with the rotation of the holding mechanism, and transmits a signal to the air. A signal receiver for receiving the signal converted by the transmitter,
The power of the vibration detecting element and the signal amplifying means or the impedance converting means is transmitted via non-contact transmission and reception between the signal transmitter and the signal receiver. As described above, the power of the vibration detecting element and the power of the signal amplifying means or the impedance converting means are transmitted via the non-contact transmission and reception between the signal transmitter and the signal receiver. Can be
【００１４】請求項５記載の接触検査装置は、請求項１
または２において、信号増幅手段あるいはインピーダン
ス変換手段に電力を供給する電池を保持機構に搭載し
た。このように、信号増幅手段あるいはインピーダンス
変換手段に電力を供給する電池を保持機構に搭載したの
で、請求項３と同様の効果が得られるとともに、振動検
出素子の出力信号を電力供給のための手段と同一の伝達
手段を用いて伝送する場合に比較すると信号に電源ノイ
ズが重畳することがない。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a contact inspection apparatus.
In or 2, the battery for supplying power to the signal amplifying means or the impedance converting means was mounted on the holding mechanism. As described above, since the battery for supplying power to the signal amplifying means or the impedance converting means is mounted on the holding mechanism, the same effect as in claim 3 can be obtained, and the means for supplying the output signal of the vibration detecting element to power supply As compared with the case where transmission is performed using the same transmission means, power supply noise is not superimposed on the signal.
【００１５】請求項６記載の接触検査装置は、請求項１
または２において、信号増幅手段あるいはインピーダン
ス変換手段の入力段に電界効果トランジスタを用いた。
このように、信号増幅手段あるいはインピーダンス変換
手段の入力段に電界効果トランジスタを用いたので、出
力インピーダンスが１０キロオーム以上と高い振動検出
素子とのインピーダンスマッチングを取ることが可能に
なる。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a contact inspection apparatus.
In or 2, the field effect transistor is used in the input stage of the signal amplifying means or the impedance converting means.
As described above, since the field effect transistor is used in the input stage of the signal amplifying means or the impedance converting means, it is possible to perform impedance matching with a vibration detecting element having an output impedance as high as 10 kΩ or more.
【００１６】請求項７記載の接触検査装置は、請求項１
または２において、信号増幅手段あるいはインピーダン
ス変換手段の入力インピーダンスが１０キロオーム以上
である。このように、信号増幅手段あるいはインピーダ
ンス変換手段の入力インピーダンスが１０キロオーム以
上であることによって、請求項６と同様の効果が得られ
る。[0016] The contact inspection apparatus according to claim 7 is the first aspect of the invention.
In (2), the input impedance of the signal amplification means or the impedance conversion means is 10 kΩ or more. As described above, when the input impedance of the signal amplifying means or the impedance converting means is 10 kΩ or more, the same effect as that of the sixth aspect can be obtained.
【００１７】請求項８記載の接触検査装置は、ディスク
を保持し一体的に回転する保持機構と、ディスクに対し
記録および／または再生を行うヘッドを搭載したスライ
ダと、スライダを支持した状態で所定方向に動かされる
アームと、ディスクあるいは保持機構に搭載されスライ
ダとディスクの接触を検出する少なくとも１個の振動検
出素子と、振動検出素子の振動検出部をディスクあるい
は保持機構に一定の力で付勢する弾性体とを備えた。According to another aspect of the present invention, there is provided a contact inspection device which holds a disk and rotates integrally therewith, a slider having a head for recording and / or reproducing data on and from the disk, and a predetermined state in which the slider is supported. Arm that is moved in the direction, at least one vibration detecting element mounted on the disk or the holding mechanism for detecting contact between the slider and the disk, and a vibration detecting unit of the vibration detecting element biasing the disk or the holding mechanism with a constant force. Elastic body.
【００１８】このように、振動検出素子の振動検出部を
ディスクあるいは保持機構に一定の力で付勢する弾性体
を備えているので、ディスクあるいは保持機構と振動検
出素子の振動検出部の接触状態が常に一定に保たれるこ
とによって、接触検査の精度を高く保つことが可能とな
る。請求項９記載の接触検査装置は、ディスクを保持し
一体的に回転する保持機構と、ディスクに対し記録およ
び／または再生を行うヘッドを搭載したスライダと、ス
ライダを支持した状態で所定方向に動かされるアーム
と、スライダとディスクとの接触を検出する少なくとも
１個の振動検出素子と、ディスクと保持機構の間に配設
され保持機構からディスクへの振動を遮蔽する音響遮蔽
部材とを備えた。As described above, since the elastic body which urges the vibration detecting section of the vibration detecting element against the disk or the holding mechanism with a constant force is provided, the contact state between the disk or the holding mechanism and the vibration detecting section of the vibration detecting element is provided. Is kept constant, it is possible to keep the accuracy of the contact inspection high. A contact inspection device according to a ninth aspect of the present invention provides a contact inspection device that holds a disk and integrally rotates the disk, a slider equipped with a head that performs recording and / or reproduction on the disk, and moves the slider in a predetermined direction while supporting the slider. Arm, at least one vibration detecting element for detecting contact between the slider and the disk, and an acoustic shielding member disposed between the disk and the holding mechanism for shielding vibration from the holding mechanism to the disk.
【００１９】このように、ディスクと保持機構の間に配
設され保持機構からディスクへの振動を遮蔽する音響遮
蔽部材を備えているので、スライダとディスクの接触以
外で発生した振動を振動検出素子で検出することがな
く、スライダとディスクの接触検査の精度を高く保つこ
とが可能となる。As described above, since the acoustic shielding member is provided between the disk and the holding mechanism and shields the vibration from the holding mechanism to the disk, the vibration generated by means other than the contact between the slider and the disk is detected by the vibration detecting element. , And the accuracy of the contact inspection between the slider and the disk can be kept high.
【００２０】[0020]
【発明の実施の形態】この発明の第１の実施の形態を図
１に基づいて説明する。図１はこの発明の第１の実施の
形態の接触検査装置を示すブロック図である。なお、図
１において図６と対応する部分には同一の符号を付す。
図１において、１は記録媒体であるディスクとしての磁
気ディスク、２は磁気ディスク１を保持し一体的に回転
させる保持機構の一例としてのスピンドル、３はスピン
ドル２を駆動するスピンドル駆動手段、４は磁気ディス
ク１に対し記録および／または再生を行う磁気ヘッドを
搭載したスライダ、５はスライダ４を支持した状態で所
定方向に動かされるアーム、６はスライダ４を磁気ディ
スク１の半径方向に移動させるアクチュエータとしての
ボイスコイルモータ、７はボイスコイルモータ６の駆動
手段としてのアクチュエータ駆動回路、１０１は磁気デ
ィスク１に搭載されスライダ４と磁気ディスク１の接触
を検出する振動検出素子としてのＡＥセンサである。Ａ
Ｅセンサ１０１は、例えばＰＺＴによって構成される非
常に微小な振動も捕らえることが可能なセンサである。
２００はＡＥセンサ１０１の出力信号を増幅する手段と
しての高帯域アンプ（信号増幅手段）である。この高帯
域アンプ２００はスピンドル２に搭載されている。２０
１は高帯域アンプ２００に電力を供給する電源、９は高
帯域アンプ２００の出力信号から接触検査に必要な周波
数成分を取り出すフィルタ、１０はフィルタの出力信号
を表示する表示手段としてのオシロスコープである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing a contact inspection device according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, the same reference numerals are given to portions corresponding to FIG.
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a magnetic disk as a disk serving as a recording medium, 2 denotes a spindle as an example of a holding mechanism for holding and rotating the magnetic disk 1 integrally, 3 denotes spindle driving means for driving the spindle 2, and 4 denotes A slider on which a magnetic head for recording and / or reproducing data on and from the magnetic disk 1 is mounted, 5 is an arm which is moved in a predetermined direction while supporting the slider 4, and 6 is an actuator which moves the slider 4 in a radial direction of the magnetic disk 1. Reference numeral 7 denotes an actuator drive circuit as a driving unit of the voice coil motor 6; 101, an AE sensor mounted on the magnetic disk 1 and serving as a vibration detecting element for detecting contact between the slider 4 and the magnetic disk 1; A
The E sensor 101 is a sensor that can capture very small vibrations made of, for example, PZT.
Reference numeral 200 denotes a high band amplifier (signal amplifying unit) as a unit for amplifying the output signal of the AE sensor 101. This high-band amplifier 200 is mounted on the spindle 2. 20
1 is a power supply for supplying power to the high-band amplifier 200, 9 is a filter for extracting a frequency component necessary for contact inspection from an output signal of the high-band amplifier 200, and 10 is an oscilloscope as a display means for displaying an output signal of the filter. .
【００２１】また、高帯域アンプ２００により増幅され
たＡＥセンサ１０１の出力信号を伝達する信号伝達手段
を有する。信号伝達手段は、スピンドル２に固定されこ
のスピンドル１の回転動作と共に回転する回転導電体
と、スピンドル２の回転動作と共に回転する回転導電体
に接触する接触導電体とからなり、ＡＥセンサ１０１の
出力信号と高帯域アンプ２００の電力を電源２０１によ
って回転導電体と接触導電体との接触を介して伝達す
る。１１は回転導電体の一例としてのスリップリング、
１２は接触導電体の一例としてのブラシである。Further, there is provided a signal transmitting means for transmitting the output signal of the AE sensor 101 amplified by the high band amplifier 200. The signal transmission means comprises a rotating conductor fixed to the spindle 2 and rotating with the rotation of the spindle 1 and a contact conductor contacting the rotating conductor with the rotation of the spindle 2. The signal and the power of the high band amplifier 200 are transmitted by the power supply 201 through the contact between the rotating conductor and the contact conductor. 11 is a slip ring as an example of a rotating conductor,
Reference numeral 12 denotes a brush as an example of a contact conductor.
【００２２】さらに詳しく説明すると、磁気ディスク１
は、スピンドル２に例えばねじ止め等によって固定され
る。スピンドル２用のモータにはＤＣサーボモータが使
用され、０ｒｐｍから１０，０００ｒｐｍ以上まで磁気
ディスク１を一定の回転速度で駆動することが可能にし
てある。スピンドル２の軸受け部には流体軸受けを使用
している。アーム５には、磁気ヘッド（図示せず）が搭
載されたスライダ４が取り付けられている。スライダ４
の磁気ディスク１の記録再生面に対向する面には、機械
加工あるいはエッチング等によって空気軸受け面が形成
されている。スライダ４の空気軸受け面は、アーム５に
よって磁気ディスク１の記録再生面に例えば３０ｍＮと
いった一定の荷重で押し付けられている。スライダ４
は、磁気ディスク１が回転することによって、空気軸受
け面に圧力が発生し磁気ディスク１に対して浮上する。
アーム５は、アクチュエータとしてのボイスコイルモー
タ６に取り付けられており、ボイスコイルモータ６の回
転動作によってアーム５も同様にボイスコイルモータ６
の軸を中心に回転動作を行う。それによってアーム５に
取り付けられたスライダ４は、磁気ディスク１の半径方
向に移動する。磁気ディスク１の記録再生面には、微小
振動検出素子としてのＡＥセンサ１０１が搭載されてい
る。More specifically, the magnetic disk 1
Is fixed to the spindle 2 by, for example, screwing. A DC servomotor is used as a motor for the spindle 2, and the magnetic disk 1 can be driven at a constant rotation speed from 0 rpm to 10,000 rpm or more. A fluid bearing is used for a bearing portion of the spindle 2. A slider 4 on which a magnetic head (not shown) is mounted is attached to the arm 5. Slider 4
An air bearing surface is formed on the surface of the magnetic disk 1 facing the recording / reproducing surface by machining or etching. The air bearing surface of the slider 4 is pressed by the arm 5 against the recording / reproducing surface of the magnetic disk 1 with a constant load of, for example, 30 mN. Slider 4
As the magnetic disk 1 rotates, pressure is generated on the air bearing surface and the magnetic disk 1 flies above the magnetic disk 1.
The arm 5 is attached to a voice coil motor 6 as an actuator.
Rotate around the axis. Thus, the slider 4 attached to the arm 5 moves in the radial direction of the magnetic disk 1. On the recording / reproducing surface of the magnetic disk 1, an AE sensor 101 as a micro vibration detecting element is mounted.
【００２３】つぎに、この接触検査装置の作用について
説明する。上記スライダ４が、何らかの理由で磁気ディ
スク１と接触すると、その接触点では、ＡＥすなわち音
響弾性波が発生する。ＡＥセンサ１０１は、そのＡＥす
なわち音響弾性波を電気信号に変換する。ＡＥセンサ１
０１の出力信号は、スピンドル２に搭載された高帯域ア
ンプ２００によってまず伝送に十分なレベルまで増幅さ
れる。高帯域アンプの電源２０１は、電圧１５ＶのＤＣ
電源である。高帯域アンプ２００の出力信号は、信号伝
達手段としてのスリップリング１１とブラシ１２とに導
かれ外部に取り出される。外部に取り出された信号は、
フィルタ９によって観察する周波数のみが取り出され
る。そしてフィルタ９を通ったＡＥセンサ１０１からの
出力信号は、表示手段としてのオシロスコープ１０で観
察される。オシロスコープ１０で観察される信号波形か
ら、スライダ４と磁気ディスク１との接触の強さ、接触
の持続時間等を知ることができる。Next, the operation of the contact inspection device will be described. When the slider 4 comes into contact with the magnetic disk 1 for some reason, AE, that is, an acoustic elastic wave is generated at the contact point. The AE sensor 101 converts the AE, that is, the acoustic elastic wave into an electric signal. AE sensor 1
The output signal 01 is first amplified to a level sufficient for transmission by the high-bandwidth amplifier 200 mounted on the spindle 2. The power supply 201 of the high-band amplifier is a DC 15 V
Power supply. The output signal of the high-band amplifier 200 is guided to the slip ring 11 and the brush 12 as signal transmission means and taken out. The signal taken out is
Only the frequency to be observed is extracted by the filter 9. The output signal from the AE sensor 101 that has passed through the filter 9 is observed by an oscilloscope 10 as a display unit. From the signal waveform observed by the oscilloscope 10, the strength of the contact between the slider 4 and the magnetic disk 1, the duration of the contact, and the like can be known.
【００２４】ここでは微小振動検出素子としてＡＥセン
サ１０１を用いる場合で説明したが、スライダ４と磁気
ディスク１との接触による微小な振動を検出できる素子
であればよく、加速度センサ、歪みゲージ等を用いるこ
ともできる。また、ＡＥセンサは１個のみ使用する場合
で説明したが、磁気ディスク１上に複数個のＡＥセンサ
を搭載しても良い。ただしその場合には高帯域アンプも
同様に複数チャンネル搭載する。この実施の形態では、
スピンドル２の軸受け部として、流体軸受けを用いた例
で説明したが、これは玉軸受け等の接触型の軸受けを用
いた場合は、その振動もＡＥセンサ１０１で検出してし
まい、スライダ４と磁気ディスク１の接触検出のＳ／Ｎ
が劣化するからである。したがって、十分にＳ／Ｎが確
保できるのであれば、軸受けは流体軸受けに限るもので
はない。Here, the case where the AE sensor 101 is used as the microvibration detecting element has been described. However, any element capable of detecting microvibration due to contact between the slider 4 and the magnetic disk 1 may be used. It can also be used. Also, the case where only one AE sensor is used has been described, but a plurality of AE sensors may be mounted on the magnetic disk 1. However, in that case, a high-band amplifier is also equipped with a plurality of channels. In this embodiment,
Although the description has been given of the example in which the fluid bearing is used as the bearing portion of the spindle 2, when a contact type bearing such as a ball bearing is used, the vibration is also detected by the AE sensor 101, and the slider 4 is magnetically coupled to the slider 4. S / N of contact detection of disk 1
Is deteriorated. Therefore, the bearing is not limited to the fluid bearing as long as the S / N can be sufficiently secured.
【００２５】以上のようにこの実施の形態では構成され
ているので、ＡＥセンサ１０１の微弱な信号が、スリッ
プリング１１とブラシ１２を通ることなく、十分に増幅
された信号が通るため信号のＳ／Ｎの低下を抑え、接触
検査の精度を高く保つことが可能となる。この発明の第
２の実施の形態を図２に基づいて説明する。図２はこの
発明の第２の実施の形態の接触検査装置を示すブロック
図である。第１の実施の形態と同様の構成については説
明を省略する。As described above, according to the present embodiment, the weak signal of the AE sensor 101 passes through a sufficiently amplified signal without passing through the slip ring 11 and the brush 12, so that the signal S / N can be suppressed, and the accuracy of the contact inspection can be kept high. A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a block diagram showing a contact inspection device according to a second embodiment of the present invention. A description of the same configuration as in the first embodiment will be omitted.
【００２６】第１の実施の形態では、磁気ディスク１に
搭載されたＡＥセンサ１０２からの出力信号は、信号伝
達手段としてスリップリング１１とブラシ１２とを用い
ることによって外部に取り出していたが、この第２の実
施の形態では、磁気ディスク１に搭載されたＡＥセンサ
１０２の信号伝達手段として、非接触で信号を伝達でき
るものとしてスピンドル２に固定され該スピンドル２の
回転動作と共に回転しかつ信号を空中に送信する信号送
信器の一例としての回転トランス１３ａと、前記信号を
受信する信号受信器の一例としての固定トランス１３ｂ
とを用いている。In the first embodiment, the output signal from the AE sensor 102 mounted on the magnetic disk 1 is extracted to the outside by using the slip ring 11 and the brush 12 as signal transmission means. In the second embodiment, the signal transmission means of the AE sensor 102 mounted on the magnetic disk 1 is fixed to the spindle 2 so as to be able to transmit a signal in a non-contact manner, and is rotated with the rotation of the spindle 2 and transmits the signal. A rotary transformer 13a as an example of a signal transmitter for transmitting in the air, and a fixed transformer 13b as an example of a signal receiver for receiving the signal
And are used.
【００２７】さらに第１の実施の形態で用いた、高帯域
アンプ２００の代わりに、ＡＥセンサ１０２の出力イン
ピーダンスを変換しスピンドル２に搭載されたインピー
ダンス変換器（インピーダンス変換手段）２０２を用い
ている。ＡＥセンサ１０２とインピーダンス変換器２０
２の電力は、電源２１０によって前記回転トランス１３
ａと固定トランス１３ｂとの非接触による送受信を介し
て伝達される。この時電源２１０は交流電源であり、イ
ンピーダンス変換器２０２の電源入力段には、整流回路
が設けられている。回転トランス１３ａと固定トランス
１３ｂの周波数特性は、それぞれのインピーダンスと密
接な関係があり、インピーダンスが高くなると高い周波
数が通過しにくくなる。したがって回転トランス１３ａ
と固定トランス１３ｂのインピーダンスは、小さくする
ことが望ましい。しかしながらトランスのインピーダン
スを小さくすると、数十キロオーム以上と高いＡＥセン
サ１０２の出力インピーダンスとの整合がとれなくな
り、伝送効率が低下する。そこでこの第２の実施の形態
に示すように、ＡＥセンサ１０２の出力インピーダンス
を、インピーダンス変換器２０２によって変換すること
によって、回転トランス１３ａと固定トランス１３ｂに
よって伝送しても、接触検出に十分な出力を取り出すこ
とが可能になる。この場合、インピーダンス変換器２０
２によって変換されたＡＥセンサ１０２の出力信号が高
帯域アンプ８により増幅される。このように回転トラン
ス１３ａと固定トランス１３ｂ、ならびにインピーダン
ス変換器２０２を用いることによって、非接触かつ周波
数レンジの広い伝送が可能となり、接触検査の精度を高
く保つことが可能となる。また、インピーダンス変換器
２０２の入力段に電界効果トランジスタを用いること
で、出力インピーダンスが１０キロオーム以上と高いＡ
Ｅセンサ１０２とのインピーダンスマッチングを取るこ
とが可能になる。Further, instead of the high-bandwidth amplifier 200 used in the first embodiment, an impedance converter (impedance conversion means) 202 which converts the output impedance of the AE sensor 102 and is mounted on the spindle 2 is used. . AE sensor 102 and impedance converter 20
2 is supplied from the power supply 210 to the rotary transformer 13.
a and the fixed transformer 13b are transmitted via non-contact transmission / reception. At this time, the power supply 210 is an AC power supply, and a rectifier circuit is provided at a power supply input stage of the impedance converter 202. The frequency characteristics of the rotary transformer 13a and the fixed transformer 13b are closely related to their respective impedances, and the higher the impedance, the more difficult it is for high frequencies to pass. Therefore, the rotary transformer 13a
It is desirable that the impedance of the fixed transformer 13b be reduced. However, when the impedance of the transformer is reduced, the output impedance of the AE sensor 102 as high as several tens of kilohms or more cannot be matched, and the transmission efficiency decreases. Therefore, as shown in the second embodiment, by converting the output impedance of the AE sensor 102 by the impedance converter 202, even if the output is transmitted by the rotary transformer 13a and the fixed transformer 13b, an output sufficient for contact detection is obtained. Can be taken out. In this case, the impedance converter 20
2 is amplified by the high-band amplifier 8. By using the rotating transformer 13a, the fixed transformer 13b, and the impedance converter 202 in this manner, non-contact transmission over a wide frequency range becomes possible, and the accuracy of contact inspection can be kept high. Further, by using a field-effect transistor in the input stage of the impedance converter 202, the output impedance can be as high as 10 kΩ or more.
Impedance matching with the E sensor 102 can be achieved.
【００２８】なお、第１の実施の形態において高帯域ア
ンプ２００の代わりにインピーダンス変換器２０２を用
いてもよく、また第２の実施の形態においてインピーダ
ンス変換器２０２の代わりに高帯域アンプ２００を用い
てもよい。この発明の第３の実施の形態を図３に基づい
て説明する。図３はこの発明の第３の実施の形態の接触
検査装置を示すブロック図である。第１の実施の形態お
よび第２の実施の形態と同様の構成については説明を省
略する。In the first embodiment, an impedance converter 202 may be used in place of the high-band amplifier 200, and in the second embodiment, the high-band amplifier 200 may be used instead of the impedance converter 202. You may. A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a block diagram showing a contact inspection device according to a third embodiment of the present invention. The description of the same configuration as the first embodiment and the second embodiment is omitted.
【００２９】第１の実施の形態および第２の実施の形態
では、高帯域アンプ２００、インピーダンス変換器２０
２には、電源２０１あるいは電源２１０によって電力を
供給していたが、このような構成であると、外部から電
力を供給するために、例えばスリップリング１１とブラ
シ１２、回転トランス１３ａと固定トランス１３ｂとい
った電力を供給する手段が必要であった。またＡＥセン
サ１０３の出力信号を同一の伝達手段を用いて伝送する
場合には、信号に電源ノイズが重畳する問題があった。
そこでこの第３の実施の形態では、外部に電源を用いる
ことなく、スピンドル２に電池２０３を搭載することに
よって、上記のような問題を解決することが可能とな
る。なお、図３では第２の実施の形態に適用した状態を
示しているが、第１の実施の形態に適用してもよい。In the first embodiment and the second embodiment, the high-bandwidth amplifier 200 and the impedance converter 20
2, the power is supplied from the power supply 201 or the power supply 210. With such a configuration, for example, the slip ring 11 and the brush 12, the rotary transformer 13a and the fixed transformer 13b Such a means for supplying electric power was required. Further, when the output signal of the AE sensor 103 is transmitted using the same transmission unit, there is a problem that power supply noise is superimposed on the signal.
Therefore, in the third embodiment, the above-described problem can be solved by mounting the battery 203 on the spindle 2 without using an external power supply. Although FIG. 3 shows a state applied to the second embodiment, it may be applied to the first embodiment.
【００３０】この発明の第４の実施の形態を図４に基づ
いて説明する。図４（ａ）はこの発明の第４の実施の形
態の接触検査装置を示すブロック図、（ｂ）はそのＡ部
拡大断面図である。なお、図４において図６と対応する
部分には同一の符号を付す。図４において、１は記録媒
体であるディスクとしての磁気ディスク、２ａは磁気デ
ィスク１を保持し一体的に回転させる保持機構の一例と
してのスピンドル、２ｂは磁気ディスク１をスピンドル
２ａに固定するクランプ部材、３はスピンドルを駆動す
るスピンドル駆動手段、４は磁気ディスク１に対し記録
および／または再生を行う磁気ヘッドを搭載したスライ
ダ、５はスライダ４を支持するアーム、６はスライダ４
を磁気ディスク１の半径方向に移動させるアクチュエー
タとしてのボイスコイルモータ、７はボイスコイルモー
タの駆動手段としてのアクチュエータ駆動回路、１０４
は磁気ディスク１に搭載された振動検出素子としてのＡ
Ｅセンサである。８はＡＥセンサ１０４の出力信号を増
幅する手段としての高帯域アンプ、９は高帯域アンプの
出力信号から接触検査に必要な周波数成分を取り出すフ
ィルタ、１０はフィルタの出力信号を表示する表示手段
としてのオシロスコープである。A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4A is a block diagram showing a contact inspection device according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 4B is an enlarged sectional view of a portion A thereof. Note that, in FIG. 4, the portions corresponding to FIG. 6 are denoted by the same reference numerals. In FIG. 4, reference numeral 1 denotes a magnetic disk as a recording medium disk; 2a, a spindle as an example of a holding mechanism for holding and rotating the magnetic disk 1 integrally; 2b, a clamp member for fixing the magnetic disk 1 to the spindle 2a; Numeral 3 is a spindle driving means for driving a spindle, 4 is a slider on which a magnetic head for recording and / or reproducing data on and from the magnetic disk 1 is mounted, 5 is an arm for supporting the slider 4, and 6 is a slider 4
Voice coil motor as an actuator for moving the magnetic disk 1 in the radial direction of the magnetic disk 1, an actuator driving circuit 7 as a driving means of the voice coil motor, 104
Represents A as a vibration detecting element mounted on the magnetic disk 1.
E sensor. Reference numeral 8 denotes a high-band amplifier as a unit for amplifying the output signal of the AE sensor 104, 9 denotes a filter for extracting a frequency component necessary for contact inspection from the output signal of the high-band amplifier, and 10 denotes a display unit for displaying the output signal of the filter. Oscilloscope.
【００３１】１１は回転導電体の一例としてのスリップ
リング、１２は接触導電体の一例としてのブラシ、２０
４はＡＥセンサ１０４を磁気ディスク１に押圧する弾性
体としてのばねである。さらに詳しく説明すると、磁気
ディスク１は、クランプ部材２ｂによってスピンドル２
ａに例えばねじ止めされる。ＡＥセンサ１０４の検出部
１０４ａは、磁気ディスク１を固定する前には、ばね２
０４が自然長の状態にあるので、スピンドル２ａの上端
面よりも上方にある。クランプ部材２ｂで、磁気ディス
ク１をスピンドル２ａに固定するために、押し下げるこ
とによって、ばね２０４は縮み、ＡＥセンサ１０４の検
出部１０４ａは、磁気ディスク１に一定の力で、押圧さ
れる。Numeral 11 is a slip ring as an example of a rotating conductor, 12 is a brush as an example of a contact conductor, 20
Reference numeral 4 denotes a spring as an elastic body that presses the AE sensor 104 against the magnetic disk 1. More specifically, the magnetic disk 1 is fixed to the spindle 2 by the clamp member 2b.
a, for example. Before fixing the magnetic disk 1, the detecting unit 104a of the AE sensor 104
Since 04 is in the natural length state, it is above the upper end surface of the spindle 2a. When the magnetic disk 1 is pressed down by the clamp member 2b to fix the same to the spindle 2a, the spring 204 contracts, and the detection unit 104a of the AE sensor 104 is pressed against the magnetic disk 1 with a constant force.
【００３２】以上のようにこの実施の形態は構成されて
いるので、磁気ディスク１の交換等によっても、常にＡ
Ｅセンサ１０４と磁気ディスク１の接触状態を一定に保
つことが可能となり、接触検査の再現性が向上する。ま
た接着剤等を用いる必要がないので、磁気ディスク１を
痛めることがない。この発明の第５の実施の形態を図５
に基づいて説明する。図５はこの発明の第５の実施の形
態の接触検査装置を示すブロック図である。なお、図５
において図６と対応する部分には同一の符号を付す。Since this embodiment is configured as described above, even if the magnetic disk 1 is replaced, A
The contact state between the E sensor 104 and the magnetic disk 1 can be kept constant, and the reproducibility of the contact inspection is improved. Further, since there is no need to use an adhesive or the like, the magnetic disk 1 is not damaged. FIG. 5 shows a fifth embodiment of the present invention.
It will be described based on. FIG. 5 is a block diagram showing a contact inspection device according to a fifth embodiment of the present invention. FIG.
In FIG. 7, the portions corresponding to those in FIG.
【００３３】図５において、１は記録媒体であるディス
クとしての磁気ディスク、２ａは磁気ディスク１を保持
し回転させる保持機構の一例としてのスピンドル、２ｂ
は磁気ディスク１をスピンドル２ａに固定するクランプ
部材、３はスピンドルを駆動するスピンドル駆動手段、
４は磁気ディスク１に対し記録および／または再生を行
う磁気ヘッドを搭載したスライダ、５はスライダ４を支
持するアーム、６はスライダ４を磁気ディスク１の半径
方向に移動させるアクチュエータとしてのボイスコイル
モータ、７はボイスコイルモータの駆動手段としてのア
クチュエータ駆動回路、１０５は磁気ディスク１に搭載
された振動検出素子としてのＡＥセンサ、８はＡＥセン
サ１０５の出力信号を増幅する手段としての高帯域アン
プ、９は高帯域アンプの出力信号から接触検査に必要な
周波数成分を取り出すフィルタ、１０はフィルタの出力
信号を表示する表示手段としてのオシロスコープであ
る。In FIG. 5, reference numeral 1 denotes a magnetic disk as a recording medium disk; 2a, a spindle as an example of a holding mechanism for holding and rotating the magnetic disk 1;
Is a clamp member for fixing the magnetic disk 1 to the spindle 2a, 3 is spindle driving means for driving the spindle,
Reference numeral 4 denotes a slider on which a magnetic head for performing recording and / or reproduction on the magnetic disk 1 is mounted. Reference numeral 5 denotes an arm for supporting the slider 4. Reference numeral 6 denotes a voice coil motor as an actuator for moving the slider 4 in the radial direction of the magnetic disk 1. , 7 are an actuator driving circuit as a driving means of the voice coil motor, 105 is an AE sensor as a vibration detecting element mounted on the magnetic disk 1, 8 is a high band amplifier as a means for amplifying an output signal of the AE sensor 105, Reference numeral 9 denotes a filter for extracting a frequency component necessary for contact inspection from an output signal of the high-band amplifier, and reference numeral 10 denotes an oscilloscope as display means for displaying an output signal of the filter.
【００３４】１１は回転導電体の一例としてのスリップ
リング、１２は接触導電体の一例としてのブラシ、２０
５ａ，２０５ｂは、磁気ディスク１をスピンドル２ａお
よびクランプ部材２ｂから振動の伝搬に関して分離する
ための音響遮蔽部材としてのシリコンゴムである。さら
に詳しく説明すると、シリコンゴム２０５ａ，２０５ｂ
が無い場合は、スリップリング１１とブラシ１２の摺
動、あるいはスピンドル２ａの軸受け等で発生した振動
がＡＥセンサ１０５によって、スライダ４と磁気ディス
ク１の接触によって発生した振動と重畳して検出される
ため、スライダ４と磁気ディスク１の接触検査の精度が
低下する。そのため、この実施の形態で示したような構
成とすることによって、スリップリング１１とブラシ１
２の摺動、あるいはスピンドル２ａの軸受け等で発生し
た振動がＡＥセンサ１０５によって、スライダ４と磁気
ディスク１の接触によって発生した振動と重畳して検出
されることがなく、接触検査の精度が低下することがな
い。また磁気ディスク１を、スピンドル２ａおよびクラ
ンプ部材２ｂで保持する際に、シリコンゴム２０５ａ，
２０５ｂがあるため磁気ディスク１に傷等を付けること
がない。この実施の形態では、音響遮蔽部材としてシリ
コンゴムを用いたが、音響を遮蔽するものであればどの
ような材料でも同様の効果が得られるので、シリコンゴ
ムに限るものではない。Numeral 11 is a slip ring as an example of a rotating conductor, 12 is a brush as an example of a contact conductor, 20
Reference numerals 5a and 205b denote silicon rubber as an acoustic shielding member for separating the magnetic disk 1 from the spindle 2a and the clamp member 2b with respect to propagation of vibration. More specifically, the silicone rubber 205a, 205b
If there is no vibration, the vibration generated by the sliding of the slip ring 11 and the brush 12 or the bearing of the spindle 2a is detected by the AE sensor 105 so as to be superimposed on the vibration generated by the contact between the slider 4 and the magnetic disk 1. Therefore, the accuracy of the contact inspection between the slider 4 and the magnetic disk 1 is reduced. Therefore, by adopting the configuration shown in this embodiment, the slip ring 11 and the brush 1
2 is not detected by the AE sensor 105 in a manner superimposed on the vibration generated by the contact between the slider 4 and the magnetic disk 1, and the accuracy of the contact inspection is reduced. Never do. When the magnetic disk 1 is held by the spindle 2a and the clamp member 2b, the silicon rubber 205a,
Since the magnetic disk 205 is provided, the magnetic disk 1 is not damaged. In this embodiment, silicon rubber is used as the sound shielding member. However, any material can be used as long as it can shield sound.
【００３５】なお、第４と第５の実施の形態を、第１〜
第３の実施の形態に適用してもよい。The fourth and fifth embodiments are described in the first to fifth embodiments.
This may be applied to the third embodiment.
【００３６】[0036]
【発明の効果】この発明の請求項１記載の接触検査装置
によれば、保持機構に搭載され振動検出素子の信号を増
幅する信号増幅手段と、この信号増幅手段により増幅さ
れた振動検出素子の出力信号を伝達する信号伝達手段と
を備えているので、振動検出素子の微弱な信号が信号伝
達手段を通ることなく、十分に増幅された信号が通る。
このため、信号伝達によるＳ／Ｎの低下を抑え、接触検
査の精度を高く保つことが可能となる。According to the contact inspection apparatus of the present invention, the signal amplifying means mounted on the holding mechanism for amplifying the signal of the vibration detecting element, and the signal of the vibration detecting element amplified by the signal amplifying means are provided. Since the signal transmission means for transmitting the output signal is provided, a sufficiently amplified signal passes without passing a weak signal of the vibration detecting element through the signal transmission means.
For this reason, it is possible to suppress a decrease in S / N due to signal transmission, and to keep the accuracy of the contact inspection high.
【００３７】この発明の請求項２記載の接触検査装置に
よれば、保持機構に搭載され振動検出素子の出力インピ
ーダンスを変換するインピーダンス変換手段と、このイ
ンピーダンス変換手段により変換された振動検出素子の
出力信号を伝達する信号伝達手段とを備えているので、
信号伝達手段のインピーダンスと振動検出素子の出力イ
ンピーダンスとの整合を取ることができる。このため、
周波数レンジの広い伝送が可能となり、請求項１と同様
に接触検査の精度を高く保つことが可能となる。According to the contact inspection apparatus of the second aspect of the present invention, the impedance conversion means mounted on the holding mechanism for converting the output impedance of the vibration detection element, and the output of the vibration detection element converted by the impedance conversion means Signal transmission means for transmitting signals,
The impedance of the signal transmission means and the output impedance of the vibration detection element can be matched. For this reason,
Transmission over a wide frequency range becomes possible, and the accuracy of the contact inspection can be kept high as in the first aspect.
【００３８】請求項３では、振動検出素子と信号増幅手
段あるいはインピーダンス変換手段の電力を回転導電体
と接触導電体との接触を介して伝達するようにしたの
で、新たに電力供給のための手段を設ける必要がなく、
装置の低コスト化を実現できる。請求項４では、振動検
出素子と信号増幅手段あるいはインピーダンス変換手段
の電力を信号送信器と信号受信器との非接触による送受
信を介して伝達するようにしたので、請求項３と同様の
効果が得られる。According to the third aspect, the power of the vibration detecting element and the signal amplifying means or the impedance converting means is transmitted through the contact between the rotating conductor and the contact conductor. There is no need to provide
The cost of the device can be reduced. In the fourth aspect, the power of the vibration detecting element and the signal amplifying means or the impedance converting means is transmitted via non-contact transmission / reception between the signal transmitter and the signal receiver. can get.
【００３９】請求項５では、信号増幅手段あるいはイン
ピーダンス変換手段に電力を供給する電池を保持機構に
搭載したので、請求項３と同様の効果が得られるととも
に、振動検出素子の出力信号を電力供給のための手段と
同一の伝達手段を用いて伝送する場合に比較すると信号
に電源ノイズが重畳することがない。請求項６では、信
号増幅手段あるいはインピーダンス変換手段の入力段に
電界効果トランジスタを用いたので、出力インピーダン
スが１０キロオーム以上と高い振動検出素子とのインピ
ーダンスマッチングを取ることが可能になる。According to the fifth aspect, a battery for supplying power to the signal amplifying means or the impedance converting means is mounted on the holding mechanism, so that the same effects as those of the third aspect are obtained, and the output signal of the vibration detecting element is supplied to the power supply. The power supply noise is not superimposed on the signal as compared with the case where the transmission is performed using the same transmission means as the means for transmitting. According to the sixth aspect, since the field effect transistor is used in the input stage of the signal amplifying means or the impedance converting means, it is possible to perform impedance matching with a vibration detecting element having an output impedance as high as 10 kΩ or more.
【００４０】請求項７では、信号増幅手段あるいはイン
ピーダンス変換手段の入力インピーダンスが１０キロオ
ーム以上であることによって、請求項６と同様の効果が
得られる。この発明の請求項８記載の接触検査装置によ
れば、振動検出素子の振動検出部をディスクあるいは保
持機構に一定の力で付勢する弾性体を備えているので、
ディスクあるいは保持機構と振動検出素子の振動検出部
の接触状態が常に一定に保たれることによって、接触検
査の精度を高く保つことが可能となる。According to the seventh aspect, the same effect as the sixth aspect can be obtained by setting the input impedance of the signal amplifying means or the impedance converting means to 10 kΩ or more. According to the contact inspection device according to the eighth aspect of the present invention, since the vibration detecting unit of the vibration detecting element is provided with the elastic body that urges the disk or the holding mechanism with a constant force,
Since the contact state between the disk or the holding mechanism and the vibration detecting section of the vibration detecting element is always kept constant, it is possible to keep the accuracy of the contact inspection high.
【００４１】この発明の請求項９記載の接触検査装置に
よれば、ディスクと保持機構の間に配設され保持機構か
らディスクへの振動を遮蔽する音響遮蔽部材を備えてい
るので、スライダとディスクの接触以外で発生した振動
を振動検出素子で検出することがなく、スライダとディ
スクの接触検査の精度を高く保つことが可能となる。According to the contact inspection apparatus of the ninth aspect of the present invention, the slider and the disk are provided because the sound shielding member is provided between the disk and the holding mechanism and shields the vibration from the holding mechanism to the disk. Vibration generated by means other than the contact of the disk is not detected by the vibration detecting element, so that the accuracy of the contact inspection between the slider and the disk can be kept high.
【図１】この発明の第１の実施の形態の接触検査装置を
示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a contact inspection device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】この発明の第２の実施の形態の接触検査装置を
示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a contact inspection device according to a second embodiment of the present invention.
【図３】この発明の第３の実施の形態の接触検査装置を
示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing a contact inspection device according to a third embodiment of the present invention.
【図４】（ａ）はこの発明の第４の実施の形態の接触検
査装置を示すブロック図、（ｂ）はそのＡ部拡大断面図
である。FIG. 4A is a block diagram showing a contact inspection device according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 4B is an enlarged sectional view of a portion A.
【図５】この発明の第５の実施の形態の接触検査装置を
示すブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing a contact inspection device according to a fifth embodiment of the present invention.
【図６】従来の接触検査装置を示すブロック図である。FIG. 6 is a block diagram showing a conventional contact inspection device.
１ 磁気ディスク ２ スピンドル ３ スピンドル駆動手段 ４ スライダ ５ アーム ６ アクチュエータ ７ アクチュエータ駆動手段 ８ 信号増幅手段 ９ フィルタ １０ 表示手段 １１ スリップリング １２ ブラシ １３ａ 回転トランス １３ｂ 固定トランス １０１〜１０５ ＡＥセンサ ２００ 高帯域アンプ ２０１ 電源 ２０２ インピーダンス変換器 ２０３ 電池 ２０４ ばね ２０５ａ，２０５ｂ シリコンゴム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic disk 2 Spindle 3 Spindle drive means 4 Slider 5 Arm 6 Actuator 7 Actuator drive means 8 Signal amplifying means 9 Filter 10 Display means 11 Slip ring 12 Brush 13a Rotary transformer 13b Fixed transformer 101-105 AE sensor 200 High band amplifier 201 Power supply 202 Impedance converter 203 Battery 204 Spring 205a, 205b Silicon rubber
Claims (9)
機構と、前記ディスクに対し記録および／または再生を
行うヘッドを搭載したスライダと、前記スライダを支持
した状態で所定方向に動かされるアームと、前記ディス
クあるいは保持機構に搭載され前記スライダと前記ディ
スクの接触を検出する少なくとも１個の振動検出素子
と、前記保持機構に搭載され前記振動検出素子の信号を
増幅する信号増幅手段と、この信号増幅手段により増幅
された前記振動検出素子の出力信号を伝達する信号伝達
手段とを備えた接触検査装置。1. A holding mechanism for holding and integrally rotating a disk, a slider having a head for recording and / or reproducing data on and from the disk, and an arm which is moved in a predetermined direction while supporting the slider. At least one vibration detection element mounted on the disk or holding mechanism for detecting contact between the slider and the disk; signal amplification means mounted on the holding mechanism for amplifying a signal of the vibration detection element; A signal transmission unit that transmits an output signal of the vibration detection element amplified by the amplification unit.
機構と、前記ディスクに対し記録および／または再生を
行うヘッドを搭載したスライダと、前記スライダを支持
した状態で所定方向に動かされるアームと、前記ディス
クあるいは保持機構に搭載され前記スライダと前記ディ
スクとの接触を検出する少なくとも１個の振動検出素子
と、前記保持機構に搭載され前記振動検出素子の出力イ
ンピーダンスを変換するインピーダンス変換手段と、こ
のインピーダンス変換手段により変換された前記振動検
出素子の出力信号を伝達する信号伝達手段とを備えた接
触検査装置。2. A holding mechanism for holding a disk and rotating integrally therewith, a slider having a head for recording and / or reproducing data on and from the disk, and an arm which is moved in a predetermined direction while supporting the slider. At least one vibration detection element mounted on the disk or holding mechanism for detecting contact between the slider and the disk, and impedance conversion means mounted on the holding mechanism and converting output impedance of the vibration detection element; A signal transmission unit for transmitting an output signal of the vibration detection element converted by the impedance conversion unit.
の保持機構の回転動作と共に回転する回転導電体と、前
記保持機構の回転動作と共に回転する前記回転導電体に
接触する接触導電体とからなり、振動検出素子と信号増
幅手段あるいはインピーダンス変換手段の電力を前記回
転導電体と前記接触導電体との接触を介して伝達するよ
うにした請求項１または２記載の接触検査装置。3. A rotating conductor which is fixed to a holding mechanism and which rotates with the rotation of the holding mechanism, and a contact conductor which contacts the rotating conductor which rotates with the rotation of the holding mechanism. The contact inspection apparatus according to claim 1, wherein the power of the vibration detection element and the signal amplifying means or the impedance conversion means is transmitted via the contact between the rotating conductor and the contact conductor.
の保持機構の回転動作と共に回転しかつ信号を空中に送
信する信号送信器と、この信号送信器で変換された信号
を受信する信号受信器とからなり、振動検出素子と信号
増幅手段あるいはインピーダンス変換手段の電力を前記
信号送信器と前記信号受信器との非接触による送受信を
介して伝達するようにした請求項１または２記載の接触
検査装置。4. A signal transmitter which is fixed to a holding mechanism, rotates with the rotation of the holding mechanism, and transmits a signal in the air, and a signal receiver which receives a signal converted by the signal transmitter. The contact according to claim 1 or 2, wherein the power of the vibration detecting element and the signal amplifying means or the impedance converting means is transmitted through non-contact transmission and reception between the signal transmitter and the signal receiver. Inspection equipment.
換手段に電力を供給する電池を前記保持機構に搭載した
請求項１または２記載の接触検査装置。5. The contact inspection apparatus according to claim 1, wherein a battery for supplying power to the signal amplification unit or the impedance conversion unit is mounted on the holding mechanism.
換手段の入力段に電界効果トランジスタを用いた請求項
１または２記載の接触検査装置。6. The contact inspection apparatus according to claim 1, wherein a field effect transistor is used in an input stage of the signal amplification means or the impedance conversion means.
換手段の入力インピーダンスが１０キロオーム以上であ
る請求項１または２記載の接触検査装置。7. The contact inspection apparatus according to claim 1, wherein the input impedance of the signal amplification means or the impedance conversion means is 10 kΩ or more.
機構と、前記ディスクに対し記録および／または再生を
行うヘッドを搭載したスライダと、前記スライダを支持
した状態で所定方向に動かされるアームと、前記ディス
クあるいは保持機構に搭載され前記スライダと前記ディ
スクの接触を検出する少なくとも１個の振動検出素子
と、前記振動検出素子の振動検出部を前記ディスクある
いは保持機構に一定の力で付勢する弾性体とを備えた接
触検査装置。8. A holding mechanism for holding and rotating integrally with a disk, a slider having a head for recording and / or reproducing data on and from the disk, and an arm which is moved in a predetermined direction while supporting the slider. And at least one vibration detecting element mounted on the disk or the holding mechanism for detecting contact between the slider and the disk, and biasing the vibration detecting section of the vibration detecting element to the disk or the holding mechanism with a constant force. A contact inspection device having an elastic body.
機構と、前記ディスクに対し記録および／または再生を
行うヘッドを搭載したスライダと、前記スライダを支持
した状態で所定方向に動かされるアームと、前記スライ
ダと前記ディスクとの接触を検出する少なくとも１個の
振動検出素子と、前記ディスクと前記保持機構の間に配
設され保持機構からディスクへの振動を遮蔽する音響遮
蔽部材とを備えた接触検査装置。9. A holding mechanism for holding and rotating integrally with a disk, a slider having a head for recording and / or reproducing data on and from the disk, and an arm which is moved in a predetermined direction while supporting the slider. And at least one vibration detecting element for detecting contact between the slider and the disk, and an acoustic shielding member disposed between the disk and the holding mechanism for shielding vibration from the holding mechanism to the disk. Contact inspection device.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10247158A JP2000076634A (en) | 1998-09-01 | 1998-09-01 | Contact test device |
| US09/225,759 US6105432A (en) | 1998-01-07 | 1999-01-05 | Contact tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10247158A JP2000076634A (en) | 1998-09-01 | 1998-09-01 | Contact test device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000076634A true JP2000076634A (en) | 2000-03-14 |
Family
ID=17159310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10247158A Pending JP2000076634A (en) | 1998-01-07 | 1998-09-01 | Contact test device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000076634A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005045838A1 (en) * | 2003-11-10 | 2005-05-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Contact inspection device, and contact inspection device and method for magnetic disk device |
| JPWO2021045236A1 (en) * | 2019-09-08 | 2021-09-27 | トライポッド・デザイン株式会社 | Systems and equipment |
-
1998
- 1998-09-01 JP JP10247158A patent/JP2000076634A/en active Pending
Cited By (6)
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